KR101198025B1 - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

Abstract

웨이퍼 캐리어가 개시되어 있다.
개시된 웨이퍼 캐리어는 다수의 웨이퍼가 수납되며 전방이 개구된 웨이퍼 박스, 상기 웨이퍼 박스의 바텀 플레이트, 상기 웨이퍼박스의 배면에 구비되는 네임카드홀더를 포함하는 웨이퍼 캐리어에 있어서,
상기 바텀 플레이트는,
전방 양측에 사선 방향으로 함몰형의 전방 끼움단차가 대칭되게 형성되되, 상기 각 전방 끼움단차의 바닥면에는 2개의 원형 관통홀이 인접하게 형성되며, 상기 각 원형 관통홀의 상부 테두리에는 전방 상부 가이드가 형성됨을 포함하며;
후방 중앙에 트랙 형태의 함몰형 후방 끼움단차가 형성되되, 상기 후방 끼움단차의 바닥면에는 1개의 트랙형 관통홀이 형성되며, 상기 트랙형 관통홀의 상부 테두리에는 후방 상부 가이드가 형성됨을 포함하고;
상기 각 전방 끼움단차의 상부에는 2개의 콘형 핀홈을 갖는 전방 그루브 부재가 끼움되되, 상기 전방 그루브 부재는 상기 각 원형 관통홀의 내부로 삽입되도록 각 콘형 핀홈의 하단 테두리를 따라 전방 하부 가이드가 형성되고, 상기 전방 하부 가이드의 외곽에는 상기 전방 상부 가이드의 외면과 밀접되는 전방 가이드 면이 형성된 것을 포함하며;
상기 후방 끼움단차의 상부에는 1개의 트랙형 핀홈을 갖는 후방 그루브 부재가 끼움되되, 상기 후방 그루브 부재는 상기 트랙형 관통홀의 내부로 삽입되도록 트랙형 핀홈의 하단 테두리를 따라 후방 하부 가이드가 형성되고, 상기 후방 하부 가이드의 외곽에는 상기 후방 상부 가이드의 외면과 밀접되는 후방 가이드 면이 형성된 것을 더 포함하고;
상기 네임카드홀더는,
상기 웨이퍼박스의 볼록한 외형에 상응하게 만곡된 사각형상을 이루고 있으며, 각 모서리의 외향에 상기 웨이퍼박스를 눕혔을 때 웨이퍼박스를 수평으로 받쳐주기 위한 레그부가 형성되고, 상기 각 모서리의 내향에는 상기 레그부와 일체로 되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 점 접촉되는 받침부가 형성된 것을
더 포함하는 것이다.

Description

웨이퍼 캐리어{WAFER CARRIER}

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.

특히, 웨이퍼 캐리어의 배면상에 설치되는 네임카드홀더의 구조개선을 통해 웨이퍼박스의 배면이 바닥을 향하도록 눕혔을 때 웨이퍼박스를 안정적으로 지지할 수 있음과 아울러 네임카드홀더와 웨이퍼박스의 접촉을 최소화하여 웨이퍼박스의 훼손을 방지할 수 있다는 점을 제1 특징으로 하고,

키메네틱 핀이 삽입되는 그루브 부재를 바텀 플레이트와 조립되게 구성하여, 훼손시 교체가 용이하다는 점, 3개의 그루브 부재 중 프론트 측의 2개의 그루브 부재는 각각 2개의 콘형 그루브를 형성하여 이 중 어느 하나에 키메네틱 핀이 긴밀하게 결합됨으로써 유동을 방지하면서도 선택적 삽입이 가능하다는 점, 각 그루브 부재의 재질을 내마모성 재질로 하여 수명이 연장된 점 등에 제2 특징을 갖는 웨이퍼에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼가 최종 전자 부품으로 처리되기 위해서는 많은 처리 단계가 요구된다. 웨이퍼는 고가이며, 매우 섬세하여 물리적인 충격 및 전기적인 충격에 의해 쉽게 손상될 수 있다. 또한, 성공적인 처리를 위해 극도의 청결함이 요구되며 미립자들 및 다른 오염물로부터 자유로워야 한다.

그 결과, 웨이퍼의 처리, 취급 및 이송 중 사용하기 위한 특화된 용기 또는 캐리어가 웨이퍼의 처리 및 취급 중 사용을 위해 개발되었다. 이러한 캐리어는 그 내부에 수납되는 웨이퍼를 물리적, 전기적 위험으로부터 보호하고, 오염물질로부터 보호하기 위해 밀봉 가능한 구조를 갖고 있다.

도 1은 종래 웨이퍼 캐리어의 일예를 도시한 것이다.

도 1에 의하면, 종래 웨이퍼 캐리어는, 내부에 수 매의 웨이퍼(w)를 수납할 수 있도록 리테이너(11)가 설치된 전면 개방형의 웨이퍼박스(10), 상기 웨이퍼박스(10)이 지지를 위해 웨이퍼박스(10)의 하부에 설치되는 바텀 플레이트(20) 및 상기 웨이퍼박스(10)의 전면 개구부를 밀폐하기 위한 도어(12)를 포함하여 구성되어 있다.

이러한 웨이퍼 캐리어의 일 표면에는 웨이퍼 캐리어의 모델명, 사양 등 웨이퍼 캐리어의 기본정보를 기록한 네임카드(name card)가 부착될 수 있다. 통상, 네임카드를 부착할 때는 네임카드를 스티커 형태로 하여 부착하게 되는데, 네임카드를 일일이 부착하는 과정으로 인해 웨이퍼 캐리어의 공급작업이 지연될 수 있고, 네임카드를 새로이 부착하는 경우에는 먼저 부착되어 있던 네임카드를 뜯어내고 뜯어낸 부위에 새로운 네임카드를 붙여야 하나 단단히 부착된 네임카드를 완전하게 뜯어내기가 어렵고 뜯어내더라도 잔재가 남아서 외관이 지저분해지게 된다.

이를 개선하기 위해, 일본특허공개 제2008-068888호(식별부품의 보관유지부재)에서는 ㄴ자 형태의 네임카드홀더가 개시된 바 있다.

그러나, 위의 일본특허에서 제시된 네임카드홀더는 본 발명과는 달리 웨이퍼박스의 배면이 아래를 향하도록 눕혔을 때 받침대 기능을 할 수 있는 구조가 없으며, 이를 무시한 채 눕히게 되면 네임카드홀더가 웨이퍼박스의 하부에 치우쳐 있는 관계로 기우뚱하게 눕혀져서 안정성이 떨어진다.

아울러, 일본특허는 네임카드홀더의 수직한 부분의 내면이 웨이퍼박스의 배면에 면접되어 있어서 그 사이의 미세한 틈새로 이물질이 끼일 우려가 있고, 이로 인해 고정진행 중에 이물질이 탈락하면서 청정상태를 유지해야 하는 웨이퍼 제조공정에 악영향으로 미치게 된다.

또한, 일본특허는 네임카드홀더의 내면이 웨이퍼박스의 배면과 면접촉되어 있어서 마찰면적이 크다. 따라서 이들의 마찰로 인해 상대적으로 경도가 약한 부분이 갈라지면서 분말이 발생하게 되고, 이러한 분말은 이물질화 되어 웨이퍼 제조공정에 악영향을 가져오게 됨은 물론 웨이퍼박스의 배면이 갈리게 되면 스크레칭되므로 웨이퍼 박스에 흠집으로 남게 된다.

한편, 도 2는 종래 웨이퍼 캐리어의 다른 예를 도시한 측면 개략도이다.

도 2에 도시된 웨이퍼 캐리어의 웨이퍼 박스(10)는 상부에 미도시된 자동반송장치에 의해 파지되기 위한 탑 플랜지(미도시)가 설치되며, 하부에는 3개의 V자홈(21)이 3각 배열된 바텀플레이트(20)가 설치되어 있다.

특히, 상기 각 V자홈(21)은, 웨이퍼 캐리어가 안착되는 로드포트(30) 상에 돌출되게 형성되는 키네매틱 핀(31)이 삽입되는 것으로서, 로드포트(30)에 대한 웨이퍼 캐리어의 안착위치를 설정하기 위한 역할을 한다.

그런데, 종래의 각 V자홈(21)은 바텀플레이트(20)에 일체로 형성되어 있어서 키네매틱 핀(31)과의 잦은 마찰로 인해 훼손되었을 때 바텀플레이트(20) 전체를 교체해야 하므로 비 경제적이다.

또한, 종래의 각 V자홈(21)은 트랙 형태로 되어 있어서 키네매틱 핀(31)과 정합되지 않으므로 로드포트(30) 상에서 바텀플레이트(20)가 유동될 수 있다.

또한, 종래의 각 V자홈(21)은 내마모성에 취약한 소재로 되어 있어서 키네매틱 핀(31)과의 마찰로 인해 쉽게 마모되어 수명이 짧다는 문제점도 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로, 본 발명의 제1 목적은 그루브 부재를 조립식으로 구성하여 훼손시 해당 부재만 교체할 수 있도록 하고, 전방 측 그루브 부재를 2개의 콘형 그루브로 형성하여 이 중 어느 하나의 콘형 그루브에 키네매틱 핀이 정합되게 함으로써 바텀플레이트의 유동을 방지하고, 키네매틱 핀의 위치에 따른 선택적 정합이 가능하게 하며, 그루브 부재의 재질을 내마모성 재질로 구성함으로써 수명이 연장된 웨이퍼 캐리어를 제공함에 있다.

본 발명의 제2 목적은 네임카드홀더의 구조 개선을 통해서 웨이퍼 박스의 배면이 바닥을 향하도록 눕혔을 때 웨이퍼 박스를 안정적으로 받침할 수 있는 받침대 역할을 병행할 수 있도록 한 점, 네임카드홀더를 곡면형인 웨이퍼 캐리어의 배면 형태에 맞게 형합되도록 유연구조를 갖도록 한 점, 원재료를 최소화하면서도 적정의 강도를 가지는 점, 응력집중 부위에 응력 분산을 위한 블랭크부를 형성함으로써 설치 및 해체시 네임카드홀더가 파단되는 문제를 해소한 점 등에 특징을 갖는 웨이퍼 캐리어를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,

다수의 웨이퍼가 수납되며 전방이 개구된 웨이퍼 박스, 상기 웨이퍼 박스의 하부에 설치되는 바텀 플레이트, 상기 웨이퍼박스의 배면에 구비되는 네임카드홀더를 포함하는 웨이퍼 캐리어에 있어서,

상기 바텀 플레이트는,

전방 양측에 사선 방향으로 함몰형의 전방 끼움단차가 대칭되게 형성되되, 상기 각 전방 끼움단차의 바닥면에는 2개의 원형 관통홀이 인접하게 형성되며, 상기 각 원형 관통홀의 상부 테두리에는 전방 상부 가이드가 형성됨을 포함하며;

후방 중앙에 트랙 형태의 함몰형 후방 끼움단차가 형성되되, 상기 후방 끼움단차의 바닥면에는 1개의 트랙형 관통홀이 형성되며, 상기 트랙형 관통홀의 상부 테두리에는 후방 상부 가이드가 형성됨을 포함하고;

상기 각 전방 끼움단차의 상부에는 2개의 콘형 핀홈을 갖는 전방 그루브 부재가 끼움되되, 상기 전방 그루브 부재는 상기 각 원형 관통홀의 내부로 삽입되도록 각 콘형 핀홈의 하단 테두리를 따라 전방 하부 가이드가 형성되고, 상기 전방 하부 가이드의 외곽에는 상기 전방 상부 가이드의 외면과 밀접되는 전방 가이드 면이 형성된 것을 포함하며;

상기 후방 끼움단차의 상부에는 1개의 트랙형 핀홈을 갖는 후방 그루브 부재가 끼움되되, 상기 후방 그루브 부재는 상기 트랙형 관통홀의 내부로 삽입되도록 트랙형 핀홈의 하단 테두리를 따라 후방 하부 가이드가 형성되고, 상기 후방 하부 가이드의 외곽에는 상기 후방 상부 가이드의 외면과 밀접되는 후방 가이드 면이 형성된 것을 더 포함하고;

상기 네임카드홀더는,

상기 웨이퍼박스의 볼록한 외형에 상응하게 만곡된 사각형상을 이루고 있으며, 각 모서리의 외향에 상기 웨이퍼박스를 눕혔을 때 웨이퍼박스를 수평으로 받쳐주기 위한 레그부가 형성되고, 상기 각 모서리의 내향에는 상기 레그부와 일체로 되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 점 접촉되는 받침부가 형성된 것을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어를 제공한다.

또한, 본 발명의 웨이퍼 캐리어는, 상기 전방 상부 가이드 및 후방 상부 가이드의 외주면은 그 상단으로부터 하단으로 갈수록 점차적으로 외경이 커지게 형성되고, 상기 전방 하부 가이드 및 하부 가이드의 외주면은 그 상단으로부터 하단으로 갈수록 점차적으로 외경이 작아지게 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 웨이퍼 캐리어는, 상기 전방 그루브 부재 및 후방 그루브 부재의 재질은 슈퍼 엔지니어링 플라스틱인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 웨이퍼 캐리어는, 상기 받침부는, 상기 웨이퍼박스의 볼록한 배면에 상응하도록 경사진 받침단면을 가지며, 상기 받침단면 상에는 상기 웨이퍼박스의 배면과 점접촉되는 다수의 지지돌기가 소정간격을 두고 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 웨이퍼 캐리어는, 상기 네임카드홀더는, 상기 웨이퍼 박스의 배면과 나사 체결할 수 있도록 외면 중앙부에 제1 체결리브가 일체로 형성된 좌측면판; 상기 좌측면판과 마주하게 배치되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 나사 체결할 수 있도록 외면 중앙부에 제2 체결리브가 일체로 형성된 우측면판; 상기 좌측면판 및 우측면판 사이를 일체로 연결하게 형성되며, 상기 웨이퍼 박스의 배면과 동일 곡률로 외향으로 볼록하게 만곡 형성되는 만곡면, 상기 만곡면의 좌측단과 상기 좌측면판의 내면을 일체로 연결하는 제1 평면, 상기 만곡면의 우측단과 상기 우측면판의 내면을 일체로 연결하는 제2 평면으로 이루어져 네임카드의 뒷면을 지지하는 후면판; 상기 만곡면의 하단에 만곡면과 동일 곡률로 만곡되게 형성된 만곡저면, 상기 만곡저면의 좌측단에 일체로 연결되며 상기 좌측면판의 하단과 일체로 연결되는 좌측저면, 상기 만곡저면의 우측단에 일체로 연결되며 상기 우측면판의 하단과 일체로 연결되는 우측저면으로 이루어진 저면판; 상기 후면판의 좌측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 좌측단은 상기 좌측면판과 일체로 되고 하단은 상기 저면판의 좌측저면과 일체로 되어 네임카드의 전면 좌측을 지지하는 좌 전면판; 및 상기 후면판의 우측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 우측단은 상기 우측면판과 일체로 되고 하단은 상기 저면판의 우측저면과 일체로 되어 네임카드의 전면 우측을 지지하는 우 전면판으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 웨이퍼 캐리어는, 상기 후면판에 형성된 만곡면 중앙부에는 상부 개구형의 중앙 블랭크부가 형성된 것을 특징으로 한다.

이상의 본 발명은, 그루브 부재를 바텀 플레이트와 조립식으로 구성함에 따라 훼손된 그루브 부재만을 선택적으로 교체할 수 있어서 경제적이다.

또한, 본 발명은 적어도 프론트 측의 전방 그루브 부재와 이에 대응하는 키네매틱 핀이 정합되므로 바텀 플레이트의 유동을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명은 전방 그루브 부재가 각각 2개의 그루브를 가지고 있어서 키네매틱 핀과의 선택적 정합이 가능하다.

또한, 본 발명은 전,후방 그루브 부재의 재질이 내마모성 재질(즉, 엔지니어링 플라스틱)로 되어 있어서 수명이 길다.

또한, 본 발명은 네임카드홀더의 구조 개선을 통해 그 기능을 다양화 함으로써, 웨이퍼 박스의 배면이 바닥을 향하도록 눕혔을 때 웨이퍼 박스를 안정적으로 받침할 수 있는 받침대 역할을 병행할 수 있다.

또한, 본 발명은 네임카드홀더의 본래 기능인 카드수납과 웨이퍼 박스를 지지하는 레그의 역할을 병행할 수 있어서 다양한 기능의 네임카드홀더를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명은 네임카드홀더와 웨이퍼 프레임 배면을 점 접촉되게 함으로써 이물질 끼임을 방지할 수 있고, 설사 이물질이 끼게 되더라도 지지돌기로 인해 네임카드홀더와 웨이퍼 프레임 배면과의 사이에 적정의 틈새를 가짐에 따라 세척수가 원활히 통과할 수 있어서 이물질 제거가 용이하다. 즉, 세정성이 용이하다.

또한, 본 발명은 네임카드홀더와 웨이퍼 프레임의 접촉면이 축소됨에 따라 접촉마찰을 현저히 감소시킬 수 있어서 웨이퍼 박스에 스크레치가 발생됨을 미연에 방지할 수 있다.

도 1은 종래 웨이퍼 캐리어의 일 예시도이다.
도 2는 종래 웨이퍼 캐리어의 다른 예시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 분해사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 전방 그루브 부재 및 전방 끼움단차의 상세사시도이다.
도 5는 도 4의 조립전 및 조립후 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 후방 그루브 부재 및 후방 끼움단차의 상세 사시도이다.
도 7은 도 6의 조립단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 배면 사시도로서, 네임카드홀더를 분해한 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 네임카드홀더의 전면 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 네임카드홀더의 배면 사시도이다.
도 11은 도 9의 C-C선 단면도이다.
도 12는 도 9의 D-D선 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 웨이퍼 캐리어는, 웨이퍼 박스(100)와, 상기 웨이퍼 박스(100)의 하부에 조립되는 바텀플레이트(200)를 구비하고 있다.

상기 바텀플레이트(200)에는 상기 웨이퍼 박스(100)와의 조립을 위해 다수의 나사 조립부(210)가 형성되어 있고, 전방 양측에는 상호 대칭되는 사선방향으로 2개의 전방 끼움단차(220)가 형성되어 있으며, 후방 중앙에는 후방 끼움단차(230)가 형성되어 있다.

도 4는 본 발명에 따른 전방 그루브 부재 및 전방 끼움단차의 상세 사시도이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 전방 끼움단차(220)는, 전체적으로 트랙 형태로 되며, 바닥면에는 2개의 원형 관통홀(221)이 서로 인접하게 형성되어 있다.

또한, 상기 각 원형 관통홀(221)의 상부 테두리에는 전방 상부 가이드(222)가 형성되어 있다. 이때, 상기 전방 상부 가이드(222)의 외주면은 그 상단으로부터 하단으로 갈수록 점차적으로 그 외경이 커지게 형성하여, 후술될 전방 그루브 부재(300)의 끼움성이 용이하도록 하였다.

도 5는 도 4의 조립전 및 조립후 단면도이다.

도 5를 참조하면, 상기 전방 끼움단차(220)에는 그 상부로부터 전방 그루브 부재(300)가 끼움 결합된다.

상기 전방 그루브 부재(300)는, 상기 각 원형 관통홀(221)과 연통되는 2개의 콘형 핀홈(310)을 갖는다.

상기 콘형 핀홈(310)의 하단 테두리에는 전방 하부 가이드(320)가 형성되어, 상기 각 원형 관통홀(221)에 삽입된다.

이때, 상기 전방 하부 가이드(320)의 외주면은 그 상단으로부터 하단으로 갈수록 점차적으로 외경이 작아지게 구성하여 전방 하부 가이드(320)를 상기 원형 관통홀(221)에 삽입할 때 용이성을 확보할 수 있도록 하였다. 아울러, 상기 전방 하부 가이드(320)를 원형 관통홀(221)에 끼워 넣었을 때 압입되는 구조가 되어 유동성의 문제도 해소된다.

또한, 상기 전방 그루브 부재(300)의 전방 하부 가이드(320)의 외곽에는 상기 전방 상부 가이드(222)의 외면과 밀접되는 전방 가이드 면(330)이 형성된다. 이때, 전방 가이드 면(330)은 위쪽에서 아래쪽으로 갈수록 점차적으로 넓어지게 형성하여 결합의 용이성을 확보할 수 있도록 하였다.

한편, 상기 전방 끼움단차(220)에 대한 전방 그루브 부재(300)의 끼움이 완료되면, 로드포트(600)의 키네매틱 핀(610)을 전방 그루브 부재(300)의 2개의 콘형 핀홈(310)중 어느 하나에 선택적으로 끼워넣으면 된다.

부연하면, 제품별로 키네매틱 핀(610)의 위치가 다르더라도 2개의 콘형 핀홈(310)중 어느 하나에 선택적으로 끼워넣을 수 있으므로 호환성을 갖추게 되며, 아울러, 콘형 핀홈(310)과 키네매틱 핀(610)이 긴밀하게 정합됨에 따라 결합의 견고성을 더할 수 있다.

상기 전방 그루브 부재(300)는 키네매틱 핀(610)과의 접촉에 따른 조기 마모를 방지하기 위해 내마모성이 우수한 슈퍼 엔지니어링 플라스틱(엔프라 수지라고도 함)으로 되는 것이 바람직하다.

슈퍼 엔지니어링 플라스틱(Super engineering plastics)은 폴리페닐렌설피드(PPS), 폴리아미드이미드(PAI), 폴리에테르술폰(PES), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르이미드(PEI), 액정폴리에스테르(LCP), 폴리에테르케톤(PEK) 등의 종류들이 있으며, 이들은 저비중(1.0 ~ 2.0), 가공성, 양산효율, 내부식성, 내약품성, 착색자유도, 자기 윤활성, 내마모성 등이 우수하다는 장점을 갖고 있다. 본원에서는 이들 장점 중 내마모성 및 내윤활성의 장점이 보다 부각되는 부분이다.

도 6은 본 발명에 따른 후방 그루브 부재 및 후방 끼움단차의 상세 사시도이다.

도 6을 참조하면, 상기 후방 끼움단차(230)는 전체적으로 트랙 형태의 함몰형으로 되며, 바닥면에는 1개의 트랙형 관통홀(231)이 형성되어 있다.

또한, 상기 트랙형 관통홀(231)의 상부 테두리에는 후방 상부 가이드(232)가 형성된다. 이때, 상기 후방 상부 가이드(232)의 외주면은 그 상단으로부터 하단으로 갈수록 점차적으로 그 외경이 커지게 형성하여, 후술될 후방 그루브 부재(400)의 끼움성이 용이하도록 하였다.

도 7은 도 6의 조립 단면도이다.

도 7을 참조하면, 상기 후방 끼움단차(230)에는 그 상부로부터 후방 그루브 부재(400)가 끼움 결합된다.

상기 후방 그루브 부재(400)는, 그 단면이 콘형인 1개의 트랙형 핀홈(410)이 형성된다.

상기 트랙형 핀홈(410)의 하단 테두리에는 후방 하부 가이드(420)가 형성되어, 상기 트랙형 관통홀(231)에 삽입된다.

이때, 상기 후방 하부 가이드(420)의 외주면은 그 상단으로부터 하단으로갈수록 점차적으로 외경이 작아지게 구성하여, 후방 하부 가이드(420)를 상기 트랙형 관통홀(231)에 삽입할 때 용이성을 확보할 수 있도록 하였다.

또한, 상기 후방 그루브 부재(400)의 후방 하부 가이드(420)의 외곽에는 상기 후방 상부 가이드(232)의 외면과 밀접되는 후방 가이드 면(430)이 형성된다. 이때, 후방 가이드 면(430)은 위쪽에서 아래쪽으로 갈수록 점차적으로 넓어지게 형성하여 결합의 용이성을 확보할 수 있도록 하였다.

한편, 상기 후방 끼움단차(230)에 대한 후방 그루브 부재(400)의 끼움이 완료되면, 로드포트(600)의 3개의 키네매틱 핀(610) 중 후방에 위치하는 하나의 키네매틱 핀이 삽입되도록 하면 된다.

상기한 후방 그루브 부재(400)의 트랙형 핀홈(410)은 길게 형성되어 있으므로 제품별로 키네매틱 핀(610)의 위치가 다르더라도 트랙형 핀홈(410)의 길이범위 내에서 자유로운 위치에 삽입이 가능하므로 결합의 호환성을 갖추고 있다.

한편, 상기 후방 그루브 부재(400)는 앞선 전방 그루브 부재(300)와 마찬가지로 그 소재를 슈퍼 엔지니어링 플라스틱으로 제작하는 것이 바람직하다. 슈퍼 엔지니어링 플라스틱의 물성 및 효과는 앞서 설명한 바 있으므로 생략한다.

한편, 도 8은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 배면 사시도로서, 네밍카드홀더를 분해한 사시도이다.

도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어는 네임카드홀더(700)가 착탈 가능하게 설치된다. 네임카드홀더(700)의 상세 구성 및 결합구조는 도 9 및 도 12를 통해 명확하게 설명된다.

도 8은 본 발명에 따른 네임카드홀더의 전면 사시도이고, 도 9는 본 발명에 따른 네임카드홀더의 배면 사시도이다.

도 8 내지 도 12를 참조하면, 본 발명의 네임카드홀더(700)는 상기 웨이퍼박스(100)의 볼록한 외형에 상응하게 만곡된 사각형상을 이루고 있으며, 좌측면판(710), 우측면판(720), 후면판(730), 저면판(740), 좌 전면판(750) 및 우 전면판(76으로 구성된다.

좌측면판(710)은 네임카드홀더(700)의 좌측면을 형성하는 구성요소로서, 상기 웨이퍼 박스(100)의 배면(101)과 나사 체결할 수 있도록 외면(外面) 중앙부에 제1 체결리브(711)가 일체로 형성된다. 여기서, 상기 제1 체결리브(711)는 중앙에 전방 삽입부(712)와 후방 삽입부(713)가 격막(714)을 사이에 두고 형성된다. 상기 격막(714)의 중앙에는 나사(S)가 관통할 수 있게 관통공(714a)이 형성된다.

우측면판(720)은 네임카드홀더(700)의 우측면을 형성하는 판으로서, 상기 좌측면판(710)과 마주하게 배치된다.

우측면판(720)은 웨이퍼 박스(100)의 배면(101)과 나사 체결할 수 있도록 외면(外面) 중앙부에 제2 체결리브(721)가 일체로 형성된다. 여기서, 상기 제2 체결리브(721)는 중앙에 전방 삽입부(722)와 후방 삽입부(723)가 격막(724)을 사이에 두고 형성되며, 상기 격막(724)의 중앙에는 나사(S)가 관통할 수 있게 관통공(724a)이 형성된다.

후면판(730)은 좌측면판(710)과 우측면판(720) 사이를 연결하게 형성되어 네임카드(C)의 뒷면을 지지하는 역할을 한다.

후면판(730)은 상기 웨이퍼 박스(100)의 배면(101)과 동일 곡률로 외향으로 볼록하게 형성되는 만곡면(731)과, 상기 만곡면(731)의 좌측단과 상기 좌측면판(710)의 내면을 일체로 연결하는 제1 평면(732)과, 상기 만곡면(731)의 우측단과 상기 우측면판(720)의 내면을 일체로 연결하는 제2 평면(733)으로 이루어진다.

여기서, 상기 만곡면(731)의 중앙부에는 상부 개구형의 중앙 블랭크부(734)가 형성될 수 있다. 이와는 다르게 상기 만곡면(731)은 중앙 블랭크부(734)가 형성됨이 없이 전면이 채워질 수도 있으나, 이 경우 필요량 이상의 원재료가 소요되고, 유연구조를 가질 수 없게 되어 크기가 다른 여러 종류의 웨이퍼 박스(100)의 배면(101) 형태에 맞게 밀착 설치가 어렵게 될 수 있으며, 무리하게 밀착 설치를 시행하다가 파단될 수 있다. 이에 반해 중앙 블랭크부(734)가 형성될 경우 유연구조를 가지게 되므로 밀착설치가 가능하므로 파단의 우려가 적다.

그리고, 상기 중앙 블랭크부(734)의 내측 좌,우 단부는 요철구조로 하여 강도 약화를 방지하였고, 이 요철구조들의 각 경계부위는 응력집중을 방지하기 위해 라운드 또는 모따기 처리 하는 것이 바람직하다.

또한, 후면판(730)에서 제1 평면(732)의 상기 좌 전면판(750)과 대응하는 위치에는 좌 블랭크부(735)가 형성되고, 상기 제2 평면(733)의 상기 우 전면판(760)과 대응하는 위치에는 우 블랭크부(736)가 형성될 수 있다. 상기 좌,우 블랭크부(735,736)는 원소재 절감의 효과와, 상기 제1, 2 체결리브(711,721)를 나사조임에 의해 웨이퍼 박스(100)에 조립할 때 제1, 2 체결리브(711,721)의 주변부에서 발생되는 응력집중을 분산시켜주는 역할을 하게 된다.

저면판(740)은 네임카드홀더(700)의 저면을 형성하는 구성요소이다.

저면판(740)은 상기 만곡면(731)의 하단에 만곡면과 동일 곡률로 만곡되게 형성된 만곡저면(741)과, 상기 만곡저면(741)의 좌측단에 일체로 연결되며 상기 좌측면판(710)의 하단과 일체로 연결되는 좌측저면(742)과, 상기 만곡저면(741)의 우측단에 일체로 연결되며 상기 우측면판(720)의 하단과 일체로 연결되는 우측저면(743)으로 이루어진다.

좌 전면판(750)은 네임카드홀더(100)의 전면 일부를 형성하는 구성요소이다.

좌 전면판(750)은 상기 후면판(730)의 좌측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 좌측단은 상기 좌측면판(710)과 일체로 되고 하단은 상기 저면판(740)의 좌측저면(742)과 일체로 되어, 좌 전면판(750)과 후면판(730) 사이에 형성되는 슬롯(SL)을 통해 삽입되는 네임카드(C)의 전면 좌측을 지지하게 된다.

여기서, 상기 좌 전면판(760)은 네임카드(C)의 전면 우측을 지지하면 족하므로 필요 이상 크게 할 필요는 없다. 따라서, 상기 후면판(730)의 도면상 좌측면적보다 작게 하여도 큰 문제가 없으며, 오히려 소재절감의 효과를 얻을 수 있다.

우 전면판(760)은 네임카드홀더(100)의 전면 다른 일부를 형성하는 구성요소이다.

우 전면판(760)은 상기 후면판(730)의 우측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 우측단은 상기 우측면판(720)과 일체로 되고 하단은 상기 저면판(740)의 우측저면(743)과 일체로 되어, 우 전면판(760)과 후면판(730) 사이에 형성되는 슬롯(SL)을 통해 삽입되는 네임카드(C)의 전면 우측을 지지하게 된다.

여기서, 상기 우 전면판(760)은 네임카드(C)의 전면 우측을 지지하면 족하므로 필요 이상 크게 할 필요는 없다. 따라서, 상기 후면판(730)의 도면상 우측면적보다 작게 하여도 큰 문제가 없으며, 오히려 소재절감의 효과를 얻을 수 있다.

이러한 상기 네임카드홀더(700)는 각 모서리의 외향에 상기 웨이퍼 박스(100)를 눕혔을 때 웨이퍼 박스(100)를 수평상태로 받쳐주기 위한 레그부(770)가 형성된다. 따라서, 웨이퍼 박스(100)의 배면(101)이 아래를 향하도록 하여 웨이퍼 박스(100)를 눕혀 놓았을 때 레그부(770)에 의해 수평상태로 안정되게 지지할 수 있다.

또한, 네임카드홀더(700)는 상기 각 모서리의 내향에 상기 레그부(770)와 일체로 되며, 상기 웨이퍼 박스(100)의 배면(101)과 점 접촉되는 받침부(780)가 형성된다. 이때, 상기 각 받침부(780)는 상기 웨이퍼 박스(100)의 볼록한 배면(101)에 상응하도록 경사진 받침단면(781)을 가지며, 상기 받침단면(781) 상에는 상기 웨이퍼 박스(100)의 배면(101)과 점접촉되는 다수의 지지돌기(782)가 소정 간격을 두고 형성된다.

따라서, 네임카드홀더(700)와 웨이퍼 박스(100)의 접촉면적의 축소로 접촉마찰을 현저히 감소시킬 수 있어서 웨이퍼 박스에 스크레치가 발생됨을 미연에 방지할 수 있고, 지지돌기(782)가 소정간격으로 이격되게 형성되어 있어서 이물질이 끼는 것을 방지할 수 있게 된다.

한편, 웨이퍼 박스(100)의 배면(101)에는 네임카드홀더(700)를 체결하기 위한 상대 체결구조를 구성하고 있다.

즉, 웨이퍼 박스(100)의 배면(101) 좌측에는 상기 제1 체결리브(711)의 후방삽입부(713)에 삽입되며, 중앙에 암나사공(102a)이 형성된 제1 체결돌부(102)가 형성된다.

또한, 웨이퍼 박스(100)의 배면(101) 우측에는 상기 제2 체결리브(721)의 후방삽입부(723)에 삽입되며, 중앙에 암나사공(103a)이 형성된 제2 체결돌부(103)가 형성된다.

아울러, 상기 제1 체결돌부(102)의 외곽에는 제1 체결돌부(102)의 외주면 일부를 둘러싸고 있는 반원통형상의 제1 가이드부(104)가 형성되어 있고, 마찬가지로 상기 제2 체결돌부(103)의 외곽에는 제2 체결돌부(103)의 외주면 일부를 둘러싸고 있는 반원통형상의 제2 가이드부(105)가 형성되어 있다. 상기 제1, 2 가이드부(104,105)는 네임카드홀더(700)를 웨이퍼 박스(100)의 배면(101)에 장착하고자 할 때 네임카드홀더(700)의 제1 체결리브(711) 및 제2 체결리브(721)를 가이드 해 줌으로써 이들이 결합될 위치를 결정해 주는 역할을 하게 된다.

이상의 본 발명은, 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

100 : 웨이퍼 박스 200 : 바텀플레이트
220 : 전방 끼움단차 221 : 원형 관통홀
222 : 전방 상부 가이드 230 : 후방 끼움단차
231 : 트랙형 관통홀 232 : 후방 상부 가이드
300 : 전방 그루브 부재 310 : 콘형 핀홈
320 : 전방 하부 가이드 330 : 전방 가이드 면
400 : 후방 그루브 부재 410 : 트랙형 핀홈
420 : 후방 하부 가이드 430 : 후방 가이드 면
700 : 네임카드홀더 710 : 좌측면판
720 : 우측면판 730 : 후면판
740 : 저면판 750 : 좌 전면판
760 : 우 전면판 770 : 레그부
780 : 받침부

Claims (6)

1. 다수의 웨이퍼가 수납되며 전방이 개구된 웨이퍼 박스, 상기 웨이퍼 박스의 바텀 플레이트, 상기 웨이퍼박스의 배면에 구비되는 네임카드홀더를 포함하는 웨이퍼 캐리어에 있어서,
   상기 바텀 플레이트는,
   전방 양측에 사선 방향으로 함몰형의 전방 끼움단차가 대칭되게 형성되되, 상기 각 전방 끼움단차의 바닥면에는 2개의 원형 관통홀이 인접하게 형성되며, 상기 각 원형 관통홀의 상부 테두리에는 전방 상부 가이드가 형성됨을 포함하며;
   후방 중앙에 트랙 형태의 함몰형 후방 끼움단차가 형성되되, 상기 후방 끼움단차의 바닥면에는 1개의 트랙형 관통홀이 형성되며, 상기 트랙형 관통홀의 상부 테두리에는 후방 상부 가이드가 형성됨을 포함하고;
   상기 각 전방 끼움단차의 상부에는 2개의 콘형 핀홈을 갖는 전방 그루브 부재가 끼움되되, 상기 전방 그루브 부재는 상기 각 원형 관통홀의 내부로 삽입되도록 각 콘형 핀홈의 하단 테두리를 따라 전방 하부 가이드가 형성되고, 상기 전방 하부 가이드의 외곽에는 상기 전방 상부 가이드의 외면과 밀접되는 전방 가이드 면이 형성된 것을 포함하며;
   상기 후방 끼움단차의 상부에는 1개의 트랙형 핀홈을 갖는 후방 그루브 부재가 끼움되되, 상기 후방 그루브 부재는 상기 트랙형 관통홀의 내부로 삽입되도록 트랙형 핀홈의 하단 테두리를 따라 후방 하부 가이드가 형성되고, 상기 후방 하부 가이드의 외곽에는 상기 후방 상부 가이드의 외면과 밀접되는 후방 가이드 면이 형성된 것을 더 포함하고;
   
   상기 네임카드홀더는,
   상기 웨이퍼박스의 볼록한 외형에 상응하게 만곡된 사각형상을 이루고 있으며, 각 모서리의 외향에 상기 웨이퍼박스를 눕혔을 때 웨이퍼박스를 수평으로 받쳐주기 위한 레그부가 형성되고, 상기 각 모서리의 내향에는 상기 레그부와 일체로 되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 점 접촉되는 받침부가 형성된 것을
   더 포함하는 웨이퍼 캐리어.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 전방 상부 가이드 및 후방 상부 가이드의 외주면은 그 상단으로부터 하단으로 갈수록 점차적으로 외경이 커지게 형성되고,
   상기 전방 하부 가이드 및 후방 하부 가이드의 외주면은 그 상단으로부터 하단으로 갈수록 점차적으로 외경이 작아지게 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 전방 그루브 부재 및 후방 그루브 부재의 재질은 슈퍼 엔지니어링 플라스틱인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 받침부는, 상기 웨이퍼박스의 볼록한 배면에 상응하도록 경사진 받침단면을 가지며, 상기 받침단면 상에는 상기 웨이퍼박스의 배면과 점접촉되는 다수의 지지돌기가 소정간격을 두고 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 네임카드홀더는,
   상기 웨이퍼 박스의 배면과 나사 체결할 수 있도록 외면 중앙부에 제1 체결리브가 일체로 형성된 좌측면판;
   상기 좌측면판과 마주하게 배치되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 나사 체결할 수 있도록 외면 중앙부에 제2 체결리브가 일체로 형성된 우측면판;
   상기 좌측면판 및 우측면판 사이를 일체로 연결하게 형성되며, 상기 웨이퍼 박스의 배면과 동일 곡률로 외향으로 볼록하게 만곡 형성되는 만곡면, 상기 만곡면의 좌측단과 상기 좌측면판의 내면을 일체로 연결하는 제1 평면, 상기 만곡면의 우측단과 상기 우측면판의 내면을 일체로 연결하는 제2 평면으로 이루어져 네임카드의 뒷면을 지지하는 후면판;
   상기 만곡면의 하단에 만곡면과 동일 곡률로 만곡되게 형성된 만곡저면, 상기 만곡저면의 좌측단에 일체로 연결되며 상기 좌측면판의 하단과 일체로 연결되는 좌측저면, 상기 만곡저면의 우측단에 일체로 연결되며 상기 우측면판의 하단과 일체로 연결되는 우측저면으로 이루어진 저면판;
   상기 후면판의 좌측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 좌측단은 상기 좌측면판과 일체로 되고 하단은 상기 저면판의 좌측저면과 일체로 되어 네임카드의 전면 좌측을 지지하는 좌 전면판; 및
   상기 후면판의 우측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 우측단은 상기 우측면판과 일체로 되고 하단은 상기 저면판의 우측저면과 일체로 되어 네임카드의 전면 우측을 지지하는 우 전면판으로 구성된 것을 특징으로하는 네임카드홀더가 구비된 웨이퍼 캐리어.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 후면판에 형성된 만곡면 중앙부에는 상부 개구형의 중앙 블랭크부가 형성된 것을 특징으로 하는 네임카드홀더가 구비된 웨이퍼 캐리어.

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