CN217426137U - 智能电子工单设备及半导体工单管理系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种智能电子工单设备及半导体工单管理系统，涉及半导体技术领域。本申请通过在工单承载板的相对的两侧分别安装与该工单承载板连接在一起的卡挂组件和限位组件，由卡挂组件将工单承载板卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上，并由限位组件用于将工单承载板可拆卸地固定在标签外壳上，同时将射频识别阅读器安装在工单承载板的远离标签外壳的第一板面上，使射频识别阅读器能够相应获取该半导体治具的运行工单内容进行显示，以便操作人员通过无纸化工单快速获取想要了解的工单内容进行批阅，从而有效提升半导体工单的内容可读性、批阅便捷性及信息存储安全性，提高操作人员的使用体验以及半导体器件的制备维护效果。

Description

智能电子工单设备及半导体工单管理系统

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种智能电子工单设备及半导体工单管理系统。

背景技术

随着科学技术的不断发展，经半导体技术制造出的半导体器件(例如，芯片、场效应晶体管)在各大行业内的应用越发广泛，用于追踪半导体器件的具体制备流程和具体制备状况的制备管理系统的重要地位也在逐渐提高。在制备管理系统的具体实现过程中，目前通常采用纸质工单对半导体治具的具体运行状况进行记录，并将纸质工单折叠存放在半导体治具的工单套内，以便操作人员从对应半导体治具的工单套内拿出纸质工单进行查阅和/或批注修改。其中值得注意的是，随着半导体制备工艺不断复杂化，同时单个纸质工单记录的工单信息和可批注区域始终有限，并且容易丢失、污损，导致操作人员往往无法快速从众多纸质工单中筛选出需要的工单内容进行查阅和/或批注，影响操作人员的使用体验以及半导体器件的制备维护效果。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种智能电子工单设备及半导体工单管理系统，能够通过无纸化工单提升半导体工单的内容可读性、批阅便捷性及信息存储安全性，提高操作人员的使用体验以及半导体器件的制备维护效果。

为了实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本申请提供一种智能电子工单设备，所述工单设备包括工单承载板、射频识别阅读器、卡挂组件及限位组件；

所述卡挂组件和所述限位组件分别安装在所述工单承载板的相对的两侧，并与所述工单承载板连接在一起，其中所述卡挂组件用于将所述工单承载板卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上，所述限位组件用于将所述工单承载板可拆卸地固定在所述标签外壳上；

所述射频识别阅读器安装在所述工单承载板的远离所述标签外壳的第一板面上，用于获取所述射频识别标签所对应的半导体治具的运行工单内容进行显示。

在可选的实施方式中，所述卡挂组件包括卡挂件及铰接件；

所述铰接件的第一活动部件固定安装在所述第一板面上，所述铰接件的第二活动部件固定安装在所述卡挂件上，其中所述第一活动部件与所述第二活动部件相互铰接，所述卡挂件可通过所述铰接件相对于所述工单承载板转动，所述卡挂件用于直接接触地卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上。

在可选的实施方式中，所述卡挂件包括挂挡板、连接板及安装板；

所述挂挡板和所述安装板相互间隔设置在所述连接板的同一侧板面，并与所述连接板固定连接，其中所述挂挡板与所述安装板各自的板面相互平行，所述挂挡板配合所述连接板卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上；

所述安装板的远离所述挂挡板的板面与所述铰接件的第二活动部件固定连接。

在可选的实施方式中，所述限位组件包括多个固定夹；

多个所述固定夹相互间隔地安装在所述工单承载板的靠近所述标签外壳的第二板面上，用于将所述工单承载板固定在所述卡挂组件所卡挂的射频识别标签的标签外壳上。

在可选的实施方式中，所述卡挂组件、所述工单承载板及所述限位组件各自的外表面包覆形成有防静电硅胶薄膜。

在可选的实施方式中，所述工单承载板的第一板面上开设有安装槽，所述射频识别阅读器嵌设在所述安装槽内，其中所述射频识别阅读器的远离所述安装槽底部的阅读器表面与所述第一板面相互齐平。

在可选的实施方式中，所述工单设备还包括多个防静电硅胶垫脚；

多个所述防静电硅胶垫脚固定安装在所述工单承载板的靠近所述标签外壳的第二板面上，并与所述卡挂组件所卡挂的射频识别标签的标签外壳相互抵接，用于防止所述工单承载板与所述标签外壳发生碰撞。

在可选的实施方式中，所述工单设备还包括通信单元；

所述通信单元与所述射频识别阅读器电性连接，并与工单管理服务器通信连接，用于从所述工单管理服务器处获取所述射频识别阅读器识别到的射频识别标签所对应的半导体治具的运行工单内容，并将获取到的运行工单内容传输给所述射频识别阅读器，或者将通过所述射频识别阅读器录入的运行工单内容传输给所述工单管理服务器进行存储。

在可选的实施方式中，所述工单设备还包括信息录入器；

所述信息录入器安装在所述工单承载板的第一板面上，用于向所述射频识别阅读器录入工单信息。

第二方面，本申请提供一种半导体工单管理系统，所述工单管理系统包括工单管理服务器及至少一个前述实施方式中任意一项所述的智能电子工单设备，每个所述智能电子工单设备对应卡挂在一个半导体治具的射频识别标签的标签外壳上，其中每个所述智能电子工单设备与所述工单管理服务器通信连接，用于获取卡挂的射频识别标签所对应的半导体治具的运行工单内容进行显示。

在此情况下，本申请实施例的有益效果包括以下内容：

本申请通过在工单承载板的相对的两侧分别安装与该工单承载板连接在一起的卡挂组件和限位组件，由卡挂组件将工单承载板卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上，并由限位组件用于将工单承载板可拆卸地固定在标签外壳上，同时将射频识别阅读器安装在工单承载板的远离标签外壳的第一板面上，使射频识别阅读器能够相应获取卡挂组件所卡挂的射频识别标签所属的半导体治具的运行工单内容进行显示，以便于操作人员通过无纸化工单快速获取想要了解的工单内容进行批阅，从而有效提升半导体工单的内容可读性、批阅便捷性及信息存储安全性，提高操作人员的使用体验以及半导体器件的制备维护效果。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的智能电子工单设备的组成示意图之一；

图2为本申请实施例提供的智能电子工单设备的组成示意图之二；

图3为本申请实施例提供的智能电子工单设备的组成示意图之三；

图4为本申请实施例提供的智能电子工单设备的组成示意图之四；

图5为本申请实施例提供的半导体工单管理系统的组成示意图。

图标：100-智能电子工单设备；110-工单承载板；120-射频识别阅读器；130-卡挂组件；140-限位组件；131-卡挂件；132-铰接件；133-第一活动部件；134-第二活动部件；135-挂挡板；136-连接板；137-安装板；141-固定夹；150-防静电硅胶垫脚；160-信息录入器；10-半导体工单管理系统；200-工单管理服务器；30-标签外壳。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面结合附图，对本申请的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

请参照图1，图1是本申请实施例提供的智能电子工单设备100的组成示意图之一。在本申请实施例中，所述智能电子工单设备100能够为操作人员提供无纸化工单来确保操作人员能够快速获取想要了解的半导体治具的具体运行工单内容进行批阅，从而有效提升半导体工单的内容可读性、批阅便捷性及信息存储安全性，提高操作人员的使用体验以及半导体器件的制备维护效果，其中所述具体运行工单内容可以包括对应制备的半导体器件的物料消耗信息、操作人员的历史批注信息、对应半导体治具制备该半导体器件的具体运行数据等。

在本申请实施例中，所述智能电子工单设备100可以包括工单承载板110、射频识别阅读器120、卡挂组件130及限位组件140。所述卡挂组件130和所述限位组件140分别安装在所述工单承载板110的相对的两侧，并与所述工单承载板110连接在一起，所述射频识别阅读器120安装在所述工单承载板110上。

其中，所述工单承载板110可通过所述卡挂组件130卡挂在某个半导体治具的射频识别标签的标签外壳30上，并通过所述限位组件140可拆卸地固定在所述标签外壳30上，使所述射频识别阅读器120得以有效识别到所述卡挂组件130卡挂的射频识别标签的身份标识，并基于识别到的身份标识从远端服务器处获取该身份标识所对应的该半导体治具的运行工单内容进行显示，以便于操作人员通过所述射频识别阅读器120在显示出的运行工单内容中快速查找到想要了解的具体运行工单内容进行批阅，从而有效提升半导体工单的内容可读性、批阅便捷性及信息存储安全性，提高操作人员的使用体验以及半导体器件的制备维护效果。

在本实施例中，所述射频识别阅读器120安装在所述工单承载板110的远离所述标签外壳30的第一板面上，以便于操作人员进行信息浏览。其中，所述射频识别阅读器120可以包括显示屏，以通过该显示屏对获取到的运行工单内容进行显示。在本实施例的一种实施方式中，所述显示屏为触摸屏，此时操作人员可通过在该触摸屏上执行书写动作，完成对显示的运行工单内容的批注作业。

在本实施例中，所述限位组件140可以是，但不限于，卡扣、活塞、夹子等。其中，所述限位组件140包括多个卡扣，则对应标签外壳30上安装有与卡扣位置且尺寸匹配的卡固件，所述卡扣可与位置对应的卡固件相互卡接，以将所述工单承载板110可拆卸地固定在所述标签外壳30上；所述限位组件140包括多个活塞，则对应标签外壳30上开设有与活塞位置且尺寸匹配的固定孔，所述活塞可塞入到位置对应的固定孔内，以将所述工单承载板110可拆卸地固定在所述标签外壳30上；所述限位组件140可以包括多个固定夹141，多个所述固定夹141相互间隔地安装在所述工单承载板110的靠近所述标签外壳30的第二板面上，所述固定夹141可夹在所述标签外壳30上，以将所述工单承载板110固定在所述卡挂组件130所卡挂的射频识别标签的标签外壳30上。

在本实施例中，所述卡挂组件130可以固定安装在所述工单承载板110上，也可以与所述工单承载板110活动连接。

可选地，请参照图2，图2是本申请实施例提供的智能电子工单设备100的组成示意图之二。在本申请实施例中，所述卡挂组件130可以包括卡挂件131及铰接件132，所述卡挂件131经所述铰接件132与所述工单承载板110活动连接，其中所述卡挂件131用于实现所述卡挂组件130的卡挂功能。

其中，所述铰接件132的第一活动部件133固定安装在所述工单承载板110的第一板面上，所述铰接件132的第二活动部件134固定安装在所述卡挂件131上，其中所述第一活动部件133与所述第二活动部件134相互铰接，所述卡挂件131可通过所述铰接件132相对于所述工单承载板110转动，所述卡挂件131用于直接接触地卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳30上。

在本实施例的一种实施方式中，所述卡挂件131可以包括多个挂钩，并通过将多个挂钩挂载在对应半导体治具的射频识别标签的标签外壳30上，以实现所述卡挂件131的卡挂功能。

在本实施例的另一种实施方式中，所述卡挂件131包括挂挡板135、连接板136及安装板137。所述挂挡板135和所述安装板137相互间隔设置在所述连接板136的同一侧板面，并与所述连接板136固定连接，其中所述挂挡板135与所述安装板137各自的板面相互平行，所述挂挡板135配合所述连接板136卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳30上，其中所述安装板137的远离所述挂挡板135的板面与所述铰接件132的第二活动部件134固定连接，以确保所述安装板137可通过所述铰接件132相对于所述工单承载板110进行转动。

在本申请实施例中，所述智能电子工单设备100中的卡挂组件130、工单承载板110及限位组件140各自的外表面包覆形成有防静电硅胶薄膜，以确保所述智能电子工单设备100挂载在对应半导体治具的射频识别标签的标签外壳30上时不会被静电所干扰。

在本申请实施例中，所述工单承载板110的第一板面上开设有安装槽，所述射频识别阅读器120嵌设在所述安装槽内，并确保所述射频识别阅读器120的远离所述安装槽底部的阅读器表面与所述第一板面相互齐平，以避免所述智能电子工单设备100挂载在对应射频识别标签的标签外壳30上时出现屏幕损伤。

可选地，请参照图3，图3是本申请实施例提供的智能电子工单设备100的组成示意图之三。在本申请实施例中，所述智能电子工单设备100还可以包括多个防静电硅胶垫脚150，以通过多个所述防静电硅胶垫脚150避免所述智能电子工单设备100挂载在对应射频识别标签的标签外壳30上时对应工单承载板110与该标签外壳30发生碰撞，并避免所述射频识别阅读器120被静电干扰。

在本实施例中，多个所述防静电硅胶垫脚150固定安装在所述工单承载板110的靠近所述标签外壳30的第二板面上，并与所述卡挂组件130所卡挂的射频识别标签的标签外壳30相互抵接，用于防止所述工单承载板110与所述标签外壳30发生碰撞，并通过所述防静电硅胶垫脚150的材质避免所述射频识别阅读器120被静电干扰。

在本申请实施例中，所述智能电子工单设备100还可以包括通信单元，所述智能电子工单设备100通过所述通信单元与其他电子设备进行信息交互。其中，所述通信单元与所述射频识别阅读器120电性连接，并与工单管理服务器通信连接，用于从所述工单管理服务器处获取所述射频识别阅读器120识别到的射频识别标签所对应的半导体治具的运行工单内容，并将获取到的运行工单内容传输给所述射频识别阅读器120进行显示，或者将操作人员通过所述射频识别阅读器120针对其识别出的半导体治具录入的运行工单内容传输给所述工单管理服务器进行存储，其中所述工单管理服务器在获取到某个智能电子工单设备100传输的运行工单内容后，会判断该运行工单内容属于哪个半导体治具，并将该运行工单内容储存到对应半导体治具的数据存储区域内，以完成对不同半导体治具各自的运行工单信息的存储作业，提升半导体工单的批阅便捷性及信息存储安全性。

可选地，请参照图4，图4是本申请实施例提供的智能电子工单设备100的组成示意图之四。在本申请实施例中，所述智能电子工单设备100还可以包括信息录入器160，操作人员可通过所述信息录入器160在所述射频识别阅读器120显示的运行工单内容中进行批注作业。

其中，所述信息录入器160安装在所述工单承载板110的第一板面上，用于响应操作人员的信息录入操作，向所述射频识别阅读器120录入操作人员想要录入的工单信息。

在本实施例中，所述信息录入器160可以包括键盘、触控屏、磁吸手写笔中任意一种录入器件。在本实施例的一种实施方式中，所述信息录入器160为磁吸手写笔，所述工单承载板110的第一板面上可针对所述磁吸手写笔配置一个吸附区域，以便所述磁吸手写笔在所述吸附区域处吸附固定。

请参照图5，图5是本申请实施例提供的半导体工单管理系统10的组成示意图。在本申请实施例中，所述半导体工单管理系统10可以包括工单管理服务器200及至少一个上述任意一种智能电子工单设备100，每个所述智能电子工单设备100对应卡挂在一个半导体治具的射频识别标签的标签外壳30上，每个所述智能电子工单设备100与所述工单管理服务器200通信连接，用于获取卡挂的射频识别标签所对应的半导体治具的运行工单内容进行显示，以便操作人员通过所述智能电子工单设备100在显示出的运行工单内容中快速查找到想要了解的具体运行工单内容进行批阅，从而有效提升半导体工单的内容可读性、批阅便捷性及信息存储安全性，提高操作人员的使用体验以及半导体器件的制备维护效果。

综上所述，在本申请实施例提供的一种智能电子工单设备及半导体工单管理系统中，本申请通过在工单承载板的相对的两侧分别安装与该工单承载板连接在一起的卡挂组件和限位组件，由卡挂组件将工单承载板卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上，并由限位组件用于将工单承载板可拆卸地固定在标签外壳上，同时将射频识别阅读器安装在工单承载板的远离标签外壳的第一板面上，使射频识别阅读器能够相应获取卡挂组件所卡挂的射频识别标签所属的半导体治具的运行工单内容进行显示，以便于操作人员通过无纸化工单快速获取想要了解的工单内容进行批阅，从而有效提升半导体工单的内容可读性、批阅便捷性及信息存储安全性，提高操作人员的使用体验以及半导体器件的制备维护效果。

以上所述，仅为本申请的各种实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应当以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种智能电子工单设备，其特征在于，所述工单设备包括工单承载板、射频识别阅读器、卡挂组件及限位组件；

所述卡挂组件和所述限位组件分别安装在所述工单承载板的相对的两侧，并与所述工单承载板连接在一起，其中所述卡挂组件用于将所述工单承载板卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上，所述限位组件用于将所述工单承载板可拆卸地固定在所述标签外壳上；

所述射频识别阅读器安装在所述工单承载板的远离所述标签外壳的第一板面上，用于获取所述射频识别标签所对应的半导体治具的运行工单内容进行显示。

2.根据权利要求1所述的工单设备，其特征在于，所述卡挂组件包括卡挂件及铰接件；

所述铰接件的第一活动部件固定安装在所述第一板面上，所述铰接件的第二活动部件固定安装在所述卡挂件上，其中所述第一活动部件与所述第二活动部件相互铰接，所述卡挂件可通过所述铰接件相对于所述工单承载板转动，所述卡挂件用于直接接触地卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上。

3.根据权利要求2所述的工单设备，其特征在于，所述卡挂件包括挂挡板、连接板及安装板；

所述挂挡板和所述安装板相互间隔设置在所述连接板的同一侧板面，并与所述连接板固定连接，其中所述挂挡板与所述安装板各自的板面相互平行，所述挂挡板配合所述连接板卡挂在半导体治具的射频识别标签的标签外壳上；

所述安装板的远离所述挂挡板的板面与所述铰接件的第二活动部件固定连接。

4.根据权利要求1所述的工单设备，其特征在于，所述限位组件包括多个固定夹；

多个所述固定夹相互间隔地安装在所述工单承载板的靠近所述标签外壳的第二板面上，用于将所述工单承载板固定在所述卡挂组件所卡挂的射频识别标签的标签外壳上。

5.根据权利要求1所述的工单设备，其特征在于，所述卡挂组件、所述工单承载板及所述限位组件各自的外表面包覆形成有防静电硅胶薄膜。

6.根据权利要求1所述的工单设备，其特征在于，所述工单承载板的第一板面上开设有安装槽，所述射频识别阅读器嵌设在所述安装槽内，其中所述射频识别阅读器的远离所述安装槽底部的阅读器表面与所述第一板面相互齐平。

7.根据权利要求1所述的工单设备，其特征在于，所述工单设备还包括多个防静电硅胶垫脚；

多个所述防静电硅胶垫脚固定安装在所述工单承载板的靠近所述标签外壳的第二板面上，并与所述卡挂组件所卡挂的射频识别标签的标签外壳相互抵接，用于防止所述工单承载板与所述标签外壳发生碰撞。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的工单设备，其特征在于，所述工单设备还包括通信单元；

所述通信单元与所述射频识别阅读器电性连接，并与工单管理服务器通信连接，用于从所述工单管理服务器处获取所述射频识别阅读器识别到的射频识别标签所对应的半导体治具的运行工单内容，并将获取到的运行工单内容传输给所述射频识别阅读器，或者将通过所述射频识别阅读器录入的运行工单内容传输给所述工单管理服务器进行存储。

9.根据权利要求8所述的工单设备，其特征在于，所述工单设备还包括信息录入器；

所述信息录入器安装在所述工单承载板的第一板面上，用于向所述射频识别阅读器录入工单信息。

10.一种半导体工单管理系统，其特征在于，所述工单管理系统包括工单管理服务器及至少一个权利要求1-9中任意一项所述的智能电子工单设备，每个所述智能电子工单设备对应卡挂在一个半导体治具的射频识别标签的标签外壳上，其中每个所述智能电子工单设备与所述工单管理服务器通信连接，用于获取卡挂的射频识别标签所对应的半导体治具的运行工单内容进行显示。

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