KR20120018062A - 용기 보관 설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부에 있어서, 가스 공급관의 열화와 분진(粉塵)의 발생을 극력(極力) 방지할 수 있으면서, 용기 내에 불활성 가스를 공급할 수 있는 용기 보관 설비를 제공하고자 하는 것으로서, 용기 보관부는, 보관 위치 및 반송 수단과의 사이에서 용기를 주고받는 교환 위치에 걸쳐 고정 프레임체(29)에 대하여 이동 가능하게 설치된 용기 지지체(28)를 구비하고, 보관 위치의 용기 지지체에 의해 지지된 용기에 대하여 불활성 가스를 공급하는 가스 공급 수단(60)에서의 가스 공급관은, 고정측 부분 및 용기 지지체와 일체로 이동 가능한 이동측 부분을 구비하고, 교환 위치로부터 보관 위치로의 용기 지지체(28)의 이동에 의해 고정측 부분과 이동측 부분을 연결하고, 보관 위치로부터 교환 위치로의 용기 지지체(28)의 이동에 의해 고정측 부분과 이동측 부분과의 연결을 해제하여 고정측 부분으로부터 이동측 부분을 이격(離隔)시키는 연결체(63)가 설치되어 있는 용기 보관 설비.

Description

용기 보관 설비{CONTAINER STORAGE FACILITY}

본 발명은, 기판을 수용하기 위한 용기를 반송(搬送)하는 반송 수단과, 그 반송 수단에 의해 반송되는 용기를 보관하는 용기 보관부가 설치된 용기 보관 설비에 관한 것이다.

상기와 같은 용기 보관 설비에서는, 예를 들면, 용기로부터 기판을 인출하여 기판에 대한 처리를 행하는 복수의 처리 장치의 사이에서 용기를 반송하도록 반송 수단이 설치되어 있다. 용기 보관부는, 처리 장치로 반송하는 용기를 일시적으로 보관하기 위해, 또는 처리 장치에 있어서의 처리가 종료하여 설비의 외부로 출고하는 용기를 보관해 두기 위해 형성되어 있고, 반송 수단과의 사이에서 용기를 교환(즉 받아건넴)도 가능하게 구성되어 있다.

이 용기 보관 설비에서는, 종래, 용기를 보관 가능한 용기 수납부가 상하 방향과 수평 방향으로 복수 개 배열되어 배치된 보관 선반이 설치되고, 이 보관 선반이 용기 보관부로서 구성되어 있는 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 이 특허 문헌 1에 기재된 설비에서는, 보관 선반이, 바닥면에 설치된 고정식으로 구성되어 있고, 반송 수단이 고정 상태의 복수 개의 용기 수납부와의 사이에서 용기를 주고받도록 구성되어 있다.

또한, 다른 용기 보관 설비로서, 용기 보관부가, 반송 수단의 이동 경로를 따라 배열된 상태로 복수 개 설치되어 있는 것도 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조). 이 특허 문헌 2에 기재된 설비에서는, 용기 보관부가, 고정 상태로 설치된 고정 프레임체와, 용기를 보관하는 보관 위치, 및 반송 수단과의 사이에서 용기를 주고받는 교환 위치와의 사이에 걸쳐 고정 프레임체에 대하여 이동 가능하게 설치된 용기 지지체를 구비하여 구성되어 있다. 반송 수단과 용기 보관부와의 사이에서 용기를 주고받을 때는, 보관 위치에 위치하는 용기 지지체를 보관 위치로부터 교환 위치로 이동시키고, 반송 수단이 교환 위치에 위치하는 용기 지지체와의 사이에서 용기를 교환하고, 그 교환이 완료되면, 용기 지지체를 교환 위치로부터 보관 위치로 되돌리도록 하고 있다.

일본공개특허 제2001-338971호 공보 일본공개특허 제2009-253162호 공보

전술한 바와 같이, 용기 보관부로서는, 특허 문헌 1에서의 고정 상태의 용기 보관부와, 특허 문헌 2에서의 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부가 있다. 종래의 용기 보관 설비에서는, 통상, 용기 보관부로서, 고정 상태의 용기 보관부와, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부와의 양쪽이 설치되어 있다. 반송 수단은, 고정 상태의 용기 보관부에 대하여 이동 가능하고, 고정 상태의 용기 보관부와의 사이에서 용기를 교환할 수 있도록 구성되고, 또한 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부에 대해서도 이동 가능하고, 보관 위치로부터 교환 위치로 이동시킨 용기 보관부와의 사이에서 용기를 교환할 수 있도록 구성되어 있다.

여기서, 용기 내의 기판(예를 들면, 반도체 웨이퍼)의 표면에 공기 중의 산소에 의한 산화막이 형성되는 것을 방지하기 위해, 용기 내의 공간을 질소나 아르곤 등의 불활성 가스, 또는 CDA(Clean Dry Air)에 의해 충만하게 하는 것이 행해지고 있다. 그래서, 특허 문헌 1에 기재된 설비에서는, 고정 상태의 용기 보관부에 보관되어 있는 용기에 대하여, 불활성 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 설치되어 있다. 용기에는, 내부에 질소 가스를 공급하기 위한 공급구와 용기 내부의 산소를 포함하는 공기를 배출하는 배기구가 설치되어 있다. 가스 공급 수단은, 보관 선반에 보관되어 있는 용기의 공급구로부터 불활성 가스를 공급하고, 내부의 공기와의 교환을 행하여, 용기 내를 불활성 가스에 의해 충만하게 하도록 하고 있다.

이와 같이, 용기 내에 불활성 가스를 공급하는 개소로서, 용기 보관부를 이용하는 것이 고려되고 있다. 그러나, 특허 문헌 1에 기재된 바와 같이, 고정 상태의 용기 보관부에 대해서는, 가스 공급 수단이 설치되어 있지만, 특허 문헌 2에 기재된 바와 같이, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부에 대해서는, 가스 공급 수단이 설치되어 있지 않고, 용기 내의 공간을 불활성 가스에 의해 충만하게 할 수 없다. 그러므로, 종래에 있어서는, 불활성 가스의 충전이 필요한 용기에 대해서는, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부에는 반송하지 않고, 용기 내에 불활성 가스를 공급할 수 있는 고정 상태의 용기 보관부까지 반송 수단에 의해 반송하여, 용기 내의 공간을 불활성 가스에 의해 충만하게 하고 있다.

그런데, 바닥면에는, 실제로 기판의 생산에 직접 기여하는 처리 장치 등 다른 장치의 설치 스페이스를 확보할 필요가 있으므로, 처리 장치의 근처에 복수 개의 보관 선반을 설치하는 것이 어렵다. 그러므로, 용기 내에 불활성 가스를 공급하는 개소를 고정 상태의 용기 보관부만으로 하면, 처리 장치에 있어서의 처리가 완료하고 나서 반송 수단이 보관을 위해 용기 보관부까지 용기를 반송하는 거리가 길어져, 반송 수단의 반송 능력을 소비해 버려, 반송 수단의 반송 능력을 유효하게 활용할 수 없는 문제가 있다.

또한, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부는, 고정 상태의 용기 보관부에 비하여, 설치 스페이스가 작고, 비교적 큰 스페이스가 존재하는 천정측에 설치할 수 있다. 그러므로, 최근, 고정 상태의 용기 보관부 대신하거나, 또는 고정 상태의 용기 보관부를 생략하여, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부를 다수 설치하는 것과 같은 설비도 고려되고 있다. 이와 같은 설비에서는, 용기 내에 불활성 가스를 공급할 수 있는 고정 상태의 용기 보관부의 수가 적어지므로, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부에 있어서도, 용기 내에 불활성 가스를 공급할 수 있도록 하는 것이 요구되고 있다.

그래서, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부에, 용기 지지체가 교환 위치와 보관 위치와의 사이에 걸쳐 이동해도, 그 이동에 연동하여 신축 가능한 가스 공급관를 구비하는 것에 의해, 용기 내에 불활성 가스를 공급하는 것을 고려할 수 있다. 그러나, 이 경우에는, 용기 지지체가 교환 위치와 보관 위치와의 사이에서 이동될 때마다, 가스 공급관이 신축되므로, 가스 공급관이 쉽게 열화되게 된다. 또한, 가스 공급관이 신축될 때, 분진(粉塵)이 발생하여, 기판의 품질을 확보하는 데 있어서 바람직하지 않다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부에 있어서, 가스 공급관의 열화, 및 분진의 발생을 극력(極力) 방지할 수 있으면서, 용기 내에 불활성 가스를 공급할 수 있는 용기 보관 설비를 제공하는 점에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는, 기판을 수용하기 위한 용기를 반송하는 반송 수단과, 그 반송 수단에 의해 반송되는 용기를 보관하는 용기 보관부가 설치된 용기 보관 설비에 있어서, 상기 용기 보관부는, 고정 상태로 설치된 고정 프레임체와, 상기 용기를 보관하는 보관 위치, 및 상기 반송 수단과의 사이에서 상기 용기를 주고받는 교환 위치와의 사이에 걸쳐 상기 고정 프레임체에 대하여 이동 가능하게 설치된 용기 지지체를 구비하고, 상기 보관 위치에 위치하는 상기 용기 지지체에 의해 지지된 상기 용기에 대하여 가스 공급관을 통해 불활성 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 설치되고, 상기 가스 공급관은, 상기 고정 프레임체 측에 설치된 고정측 부분, 및 상기 용기 지지체와 일체로 이동 가능하게 상기 용기 지지체 측에 설치된 이동측 부분을 구비하고, 상기 교환 위치로부터 상기 보관 위치로의 상기 용기 지지체의 이동에 의해 상기 고정측 부분과 상기 이동측 부분을 연결하고, 또한 상기 보관 위치로부터 상기 교환 위치로의 상기 용기 지지체의 이동에 의해 상기 고정측 부분과 상기 이동측 부분과의 연결을 해제하여 상기 고정측 부분으로부터 상기 이동측 부분을 이격(離隔)시키는 연결체가 설치되어 있다.

이와 같은 구성에 의하면, 용기 지지체가 교환 위치에 위치하고 있으면, 물품 반송 장치와의 사이에서 용기의 교환을 행할 수 있다. 또한, 용기 지지체가 보관 위치에 위치하고 있으면, 용기를 보관할 수 있다. 따라서, 반송 수단에 의해 반송되는 용기를 용기 보관부에 의해 보관할 수 있다. 그리고, 보관 위치에 위치하는 용기 지지체에 의해 지지된 용기에 대하여 가스 공급관을 통해 불활성 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 설치되어 있으므로, 용기를 용기 보관부에 의해 보관하고 있을 때 용기에 대하여 불활성 가스를 공급할 수 있다.

그리고, 가스 공급관은, 고정 프레임체 측에 설치된 고정측 부분, 및 용기 지지체와 일체로 이동 가능하게 용기 지지체 측에 설치된 이동측 부분을 구비하고 있고, 용기 지지체가 교환 위치로부터 보관 위치로 이동하면, 연결체가, 고정측 부분과 이동측 부분을 연결하고, 용기 지지체가 보관 위치로부터 교환 위치로 이동하면, 연결체가, 고정측 부분과 이동측 부분과의 연결을 해제하여 고정측 부분으로부터 이동측 부분을 이격시키므로, 용기 지지체가 교환 위치와 보관 위치와의 사이에서 이동해도, 고정측 부분 및 이동측 부분의 각각의 형상은 유지된다. 그러므로, 가스 공급관이 용기 지지체의 이동량만큼 크게 변형되지 않으므로, 용기 지지체가 반복 이동해도, 가스 공급관이 변형에 의해 열화될 우려가 없다. 따라서, 가스 공급관의 열화에 의한 분진의 발생을 극력 방지할 수 있다.

이와 같이, 상기한 구성에 의하면, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 가능한 용기 보관부에 있어서, 가스 공급관의 열화, 및 분진의 발생을 극력 방지할 수 있으면서, 용기 내에 불활성 가스를 공급할 수 있는 용기 보관 설비를 얻기에 이르렀다.

본 발명에 관한 용기 보관 설비의 실시예에 있어서는, 상기 용기 지지체가 상기 보관 위치에 위치하는 것을 검출하는 보관 위치 검출 수단과, 상기 용기 지지체에 용기가 지지되어 있는 것을 검출하는 지지 상태 검출 수단과, 상기 보관 위치 검출 수단 및 상기 지지 상태 검출 수단의 검출 정보에 기초하여, 상기 용기 지지체가 상기 보관 위치에 위치하고, 또한 상기 용기 지지체에 용기가 지지되어 있는 경우에는, 상기 가스 공급관에 의한 불활성 가스의 공급을 허용하고, 상기 용기 지지체가 상기 보관 위치에 위치하지 않거나 또는 상기 용기 지지체에 용기가 지지되어 있지 않은 경우에는, 상기 가스 공급관에 의한 불활성 가스의 공급을 금지하는 불활성 가스 공급 제어 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 용기 지지체가 보관 위치에 위치하고, 또한 용기 지지체에 용기가 지지되어 있는 경우에는, 불활성 가스 공급 제어 수단이, 가스 공급관에 의한 불활성 가스의 공급을 허용한다. 한편, 용기 지지체가 보관 위치에 위치하지 않거나 또는 용기 지지체에 용기가 지지되어 있지 않은 경우에는, 불활성 가스 공급 제어 수단이, 가스 공급관에 의한 불활성 가스의 공급을 금지한다. 따라서, 용기 보관부에 용기가 실제로 보관되어 있는 경우에만 불활성 가스가 용기에 대하여 공급되고, 용기를 지지하지 않는 상태의 용기 지지체가 보관 위치에 위치하고 있는 경우나, 용기를 지지하고 있는 용기 지지체가 보관 위치에 위치하고 있지 않고, 가스 공급관의 고정측 부분과 이동측 부분과의 연결이 해제되어 있는 경우에까지 불활성 가스가 불필요하게 공급되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명에 관한 용기 보관 설비의 실시예에 있어서는, 상기 연결체는, 상기 고정측 부분 및 상기 이동측 부분의 한쪽에 설치되고, 상기 보관 위치와 상기 교환 위치와의 사이에서의 상기 용기 지지체의 이동 방향으로 출퇴(出退) 이동 가능하며, 또한 가압 수단에 의해 돌출측으로 복귀 가압된 가동 노즐과, 상기 고정측 부분 및 상기 이동측 부분의 외측에 설치되고, 상기 가동 노즐이 삽탈(揷脫) 가능한 요입부(凹入部)를 구비하고, 상기 가동 노즐에는, 상기 요입부에 상기 가동 노즐이 삽입된 상태에 있어서, 상기 고정측 부분의 고정측 가스 유로와 상기 이동측 부분의 이동측 가스 유로가 연통되어 상기 용기 지지체의 이동 방향을 따라 불활성 가스를 통류(通流) 가능한 내부 유로가 구비되고, 상기 요입부에 상기 가동 노즐이 삽입된 상태에서, 상기 요입부와 상기 가동 노즐과의 사이를 실링(sealing)하는 시일체가 구비되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 용기 지지체가 보관 위치에 위치하면, 연결체에서의 가동 노즐이 요입부에 삽입되므로, 고정측 부분과 이동측 부분이 연결된다. 여기서, 가동 노즐은, 고정측 부분 및 이동측 부분의 한쪽에 설치되고, 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서의 용기 지지체의 이동 방향으로 출퇴 이동 가능하며, 또한 가압 수단에 의해 돌출측으로 복귀 가압되어 있고, 요입부는, 고정측 부분 및 이동측 부분의 가동 노즐이 설치되어 있는 측과는 반대측에 설치되어 있다. 따라서, 가동 노즐은 가압 수단에 의한 돌출측으로의 가압력에 의해 요입부에 가압된 상태로 삽입되는 것에 의해, 가동 노즐이 요입부에 확실하게 삽입된다. 따라서, 가스 공급관의 고정측 부분과 이동측 부분이 확실하게 연결된다.

그리고, 가동 노즐에는, 요입부에 가동 노즐이 삽입된 상태에 있어서, 고정측 부분의 고정측 가스 유로와 이동측 부분의 이동측 가스 유로가 연통되어 용기 지지체의 이동 방향을 따라 불활성 가스를 통류 가능한 내부 유로가 구비되어 있으므로, 용기 지지체가 보관 위치에 위치하면, 고정측 가스 유로와 이동측 가스 유로가 내부 유로에 의해 연통되어, 용기에 이르는 가스 공급관이 확실하게 형성된다. 또한, 요입부에 가동 노즐이 삽입된 상태에서, 시일체가, 요입부와 가동 노즐과의 사이를 실링함으로써, 용기에 이르는 가스 공급관의 유로의 기밀성이 향상된다.

본 발명에 관한 용기 보관 설비의 실시예에 있어서는, 상기 내부 유로는, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 상기 가동 노즐의 내부를 관통하는 직선형의 유로에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 가동 노즐의 불활성 가스의 유로에서의 통류 저항이 작아지므로, 가동 노즐의 내부에 있어서 불활성 가스를 원활하게 통류시킬 수 있다.

본 발명에 관한 용기 보관 설비의 실시예에 있어서는, 상기 내부 유로는, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 상기 가동 노즐의 돌출측 단부(端部)로부터 퇴피측 단부의 바로 앞부분까지를 연통시키는 직선형의 제1 유로 부분과, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 상기 가동 노즐의 퇴피측에 있어서 상기 가동 노즐의 직경 방향으로 상기 제1 유로 부분과 상기 가동 노즐의 외부를 연통시키는 제2 유로 부분을 구비하고, 상기 용기 지지체가 상기 교환 위치에 위치하는 경우에는, 상기 제2 유로 부분을 봉지(封止)하고, 또한 상기 용기 지지체가 상기 보관 위치에 위치하는 경우에는, 상기 제2 유로 부분을 개방하는 봉지 개방 수단이 구비되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 용기 지지체가 보관 위치에 위치하는 경우에는, 봉지 개방 수단이, 제2 유로 부분을 개방하므로, 제1 유로 부분과 가동 노즐의 외부를 연통시키는 제2 유로 부분이 개방됨으로써, 가동 노즐의 돌출측 단부로부터 퇴피측 단부의 바로 앞부분까지를 연통시키는 직선형의 제1 유로 부분이 외부와 연통된다. 이로써, 가동 노즐의 내부 유로에 불활성 가스를 통류시켜 용기에 대하여 불활성 가스를 통류시킬 수 있다. 용기 지지체가 교환 위치에 위치하는 경우에는, 봉지 개방 수단이, 제2 유로 부분을 봉지하므로, 가동 노즐의 돌출측 단부로부터 퇴피측 단부의 바로 앞부분까지를 연통시키는 직선형의 제1 유로 부분의 퇴피측이 외부와 차단된다. 따라서, 용기 지지체가 교환 위치에 위치하여, 가동 노즐과 요입부가 이격되어 있을 때, 제1 유로 부분이 외부와 차단됨으로써, 고정측 부분과 이동측 부분과의 연결이 해제되어 고정측 부분으로부터 이동측 부분을 이격시켜도, 가동 노즐의 돌출측의 단부로부터 고정측 부분에 외기(外氣)가 진입하는 것을 극력 방지할 수 있다.

본 발명에 관한 용기 보관 설비의 실시예에 있어서는, 상기 반송 수단이, 상기 용기 보관부에 대한 용기 교환 개소를 경유하는 이동 경로를 따라 이동 가능하며, 또한 용기를 유지하는 유지부를 구비한 물품 반송용 이동차에 의해 구성되며, 상기 보관 위치가, 상기 이동 경로에 대하여 이격된 위치에 설정되고, 상기 교환 위치가, 상기 이동 경로에 대하여, 상기 보관 위치보다 접근한 위치에 설정되고, 상기 용기 지지체를 상기 보관 위치와 상기 교환 위치로 위치 변경 가능하게 지지하는 용기 지지체 지지 수단과, 상기 용기 교환 개소에 정지한 상기 이동차에 접근한 접근 위치와 이격된 이격 위치로 이동 가능한 피조작체가 설치되고, 상기 피조작체가, 상기 접근 위치에서는 상기 용기 지지체를 상기 보관 위치로 조작하고, 또한 상기 이격 위치에서는 상기 용기 지지체를 상기 교환 위치로 조작하도록, 상기 용기 지지체 지지 수단에 연계되고, 상기 이동차가, 상기 이동차로부터 돌출하는 측의 이동에 의해 상기 피조작체를 상기 접근 위치로부터 상기 이격 위치에 푸시 조작하고, 또한 상기 이동차에 퇴피하는 측의 이동에 의해 상기 피조작체를 상기 이격 위치로부터 상기 접근 위치로 당겨 조작하는 푸시풀(push-pull) 조작식의 조작 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 물품 반송 수단으로서의 이동차가, 용기 교환 개소에 정지한 상태로 푸시풀 조작식의 조작 수단에 의해, 피조작체를 이동차에 접근한 접근 위치와 이격된 이격 위치로 이동 조작하면, 피조작체가, 용기 지지체를 보관 위치와 교환 위치로 위치 변경 가능하게 지지하는 용기 지지체 지지 수단에 연계되어 있으므로, 피조작체가 접근 위치로 조작되면 용기 지지체가 보관 위치로 조작되고, 또한 피조작체가 이격 위치로 조작되면 용기 지지체가 교환 위치로 조작된다. 이와 같이, 이동체가 구비하는 조작 수단에 의해, 용기 보관부의 용기 지지체를 이동 조작 가능하므로, 용기 보관부를 복수 개 설치하는 경우, 이동체의 조작 수단을 사용하여 복수 개의 용기 보관부에서의 용기 지지체를 이동 조작 가능하므로, 각 용기 보관부의 각각에 용기 지지체를 이동 구동하는 구동 수단을 포함할 필요가 없다.

그러므로, 용기 보관부에 대한 배선을 매우 적게 하여 구성의 간소화를 도모하면서, 복수 개의 용기 반송부에 공용의 구동 수단을 이동차에 설치하여 비용의 억제를 도모할 수 있다.

본 발명에 관한 용기 보관 설비의 실시예에 있어서는, 상기 이동 경로 및 상기 고정 프레임체가 천정측에 설치되고, 상기 용기 지지체 지지 수단이, 상기 고정 프레임체에 대하여 상기 용기 지지체의 상단부를 슬라이드 이동 가능하게 현수(懸垂) 지지하는 슬라이드 안내 기구에 의해 구성되며, 상기 용기 지지체는, 용기를 탑재 지지 가능하게 구성되며, 또한 그 이동 방향에서 볼 때 좌우 방향에서의 중앙부를 상기 슬라이드 안내 기구에 의해 현수 지지된 상태로 이동 가능하게 구성되며, 상기 고정 프레임체는, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 좌우 방향의 길이가 상기 용기 지지체의 같은 방향에서의 길이보다 짧게 형성되고, 상기 피조작체가, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 상기 고정 프레임체의 좌우 방향의 한쪽에 배치되고, 상기 가스 공급관의 상기 연결체가, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 상기 고정 프레임체의 좌우 방향의 다른 쪽에 배치되고, 상기 가스 공급관의 상기 이동측 부분이, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 상기 용기 지지체의 좌우 방향의 다른 쪽의 측부에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성에 의하면, 용기 지지체의 상단부가, 용기 지지체 지지 수단으로서의 슬라이드 안내 기구에 의해 고정 프레임체에 대하여 슬라이드 이동 가능하게 현수 지지되고, 용기 지지체는, 이동 방향에서 볼 때 좌우 방향에서의 중앙부가 현수 지지된 상태로 이동하므로, 용기 지지체는 양호한 밸런스로 안정된 상태로 고정 프레임체에 대하여 슬라이드 이동하게 된다. 그러므로, 용기 지지체를 정확하게 보관 위치와 교환 위치로 이동시킬 수 있다.

그리고, 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 고정 프레임체의 좌우 방향의 한쪽에는, 피조작체가 배치되고, 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 고정 프레임체의 좌우 방향의 다른 쪽에는, 가스 공급관의 연결체가 배치된다. 따라서, 피조작체와 연결체가 고정 프레임체의 좌우로 분산 배치되므로, 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 좌우 방향의 길이가 용기 지지체의 같은 방향에서의 길이보다 짧게 형성된 고정 프레임체가 천정측에 설치됨으로써 형성되는 천정측에서의 고정 프레임체의 좌우의 스페이스를 유효하게 이용하여, 피조작체와 연결체가 쉽게 서로 간섭하지 않도록 배치할 수 있다.

또한, 가스 공급관의 이동측 부분은, 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 용기 지지체의 좌우 방향의 다른 쪽의 측부에 배치되어 있으므로, 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때, 연결체와 같은 측에 배치되게 되어, 연결체 및 이동측 부분의 전체 구성의 컴팩트화를 도모할 수 있다.

도 1은 물품 보관 설비의 전체 평면도이다.
도 2는 물품 반송차의 측면도이다.
도 3은 용기 보관부의 사시도이다.
도 4는 용기 보관부의 사시도이다.
도 5는 용기 지지체의 지지 구조를 나타낸 분해사시도이다.
도 6은 용기 지지체가 보관 위치에 위치할 때의 용기 보관부의 측면도이다.
도 7은 용기 지지체가 교환 위치에 위치할 때의 용기 보관부의 측면도이다.
도 8은 연결체의 종단 측면도이다.
도 9는 릴레이 회로에 대한 입출력을 나타낸 블록도이다.
도 10은 다른 실시예에 관한 연결체의 종단(終端) 측면도이다.

본 발명에 관한 용기 보관 설비의 실시예에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 이 용기 보관 설비는, 예를 들면, 정화 공기를 천정측으로부터 하방측으로 통풍시키는 다운 플로식의 정화 공기 통풍 수단을 구비한 청정실 내에 설치되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 용기 보관 설비는, 복수의 처리 장치(1)를 경유하는 상태로 주행 레일(2)(이동 경로에 상당함)이 천정측에 설치되고, 이 주행 레일(2)을 따라 이동 가능한 물품 반송차(3)(이동차에 상당함)이 설치되어 있다. 물품 반송차(3)가, 반도체 기판(기판의 일례)을 수납한 용기(W)를 복수의 처리 장치(1) 사이에서 반송하도록 구성되어 있다. 처리 장치(1)에서는, 반도체 기판의 제조 도중의 반제품 등에 대하여 소정의 처리를 행하도록 구성되어 있다.

물품 반송차(3)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 차체 본체부(5)와, 주행 레일(2) 상을 주행하는 주행부(6)와, 용기(W)를 매단 상태로 파지하는 파지부(7)(유지부에 상당함)를 구비하고 있다. 주행부(6)는, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 간격을 두고 차체 본체부(5)의 전단부에 상당하는 위치와 후단부에 상당하는 위치에 전후 한쌍 형성되어 있고, 전후 한쌍의 주행부(6)의 각각이, 연결축(8)에 의해 차체 본체부(5)에 대하여 상하 축심(軸心) 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 파지부(7)는, 차체 본체부(5)에 대하여 승강 가능하게 구비되어 있다.

전후 한쌍의 주행부(6)의 각각에는, 전동식의 구동 모터(9)에 의해 회전 구동되어 좌우 한쌍의 주행 레일(2) 각각의 수평으로 연장되는 상면을 전동하는 주행륜(10)과, 좌우 한쌍의 주행 레일(2) 각각의, 대향하는 상하 방향으로 연장되는 측면에 맞닿아 자유 회전 가능한 안내륜(11)이 구비되어 있다. 주행륜(10)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향[도 2의 지면(紙面) 표리(表裏) 방향]의 양 단부에 1개씩 설치되어 있다. 또한, 안내륜(11)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 양 단부에 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 배열된 상태로 2개씩 설치되어 있다. 그리고, 주행부(6)는, 구동 모터(9)에 의해 주행륜(10)이 수평 축심 주위에서 회전 구동되고, 상하 축심 주위로 회전 가능한 안내륜(11)이 한쌍의 주행 레일(2)에 맞닿아 수평 방향으로 안내되는 것에 의해, 주행 레일(2)에 안내되어 주행하도록 구성되어 있다.

전후 한쌍의 주행부(6)의 각각은, 연결축(8)에 의해 차체 본체부(5)에 대하여 상하 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 연결축(8)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향에서 좌우 한쌍의 주행 레일(2)의 간극의 중앙부에 설치되어 있고, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 차체 본체부(5)의 중앙부와 주행부(6)의 중앙부를 연결하고 있다.

물품 반송차(3)의 전후 방향에서 전후 한쌍의 연결축(8) 사이에는, 평면에서 볼 때 직사각형상의 수전부(受電部)(13)가 설치되어 있다. 도시는 생략하지만, 수전부(13)는, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 차체 본체부(5)의 중앙부에 설치되어 있고, 물품 반송차(3)의 전후 방향에 따른 방향에서 볼 때의 단면(斷面) 형상이, 상하 방향으로 간격을 둔 2개의 수평으로 연장되는 직선 부분과 이들 2개의 수평 부분의 각각의 중앙부를 연결하는 상하 방향으로 연장되는 부분을 가지는 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 한쌍의 주행 레일(2)을 따라 설치된 한쌍의 급전선(12)에 교류 전류를 통전함으로써 자계를 발생시키고, 이 자계에 의해 구동용 전력을 수전부(13)에 발생시켜, 무접촉 상태로 급전을 행하도록 구성되어 있다. 이로써, 급전선(12)으로부터 무접촉으로 구동용 전력을 수전부(13)에 급전함으로써, 물품 반송차(3)가 그 구동용 전력에 의해 주행부(6)의 주행 및 파지부(7)의 승강 등을 행하도록 되어 있다.

차체 본체부(5)는, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 연장되는 수평 부분과, 이 수평 부분의 전단 부분과 후단 부분에 있어서 하방측으로 연장되는 수직 부분을 가지고, 하방측이 개방된 ㄷ자형으로 형성된 프레임체(21)를 구비하고 있고, 프레임체(21)에서의 수직 부분을 형성하는 전후 한쌍의 세로 프레임체(22) 사이에 파지부(7)가 설치되어 있다. 그리고, 차체 본체부(5)에는, 파지부(7)를 승강시키기 위한 전동식의 승강용 모터(14), 파지부(7)를 상하 축심 주위에서 선회시키기 위한 전동식의 선회용 모터(15)가 구비되어 있다.

승강용 모터(14)는, 벨트(16)가 권취된 회전 드럼(17)을 회전 구동시킴으로써, 벨트(16)를 권취 또는 풀어내보냄으로써, 상승 위치와 하강 위치에 파지부(7)를 승강 가능하게 구성되어 있다. 벨트 대신에, 예를 들면, 와이어를 적용하는 것도 가능하다. 여기서, 도시는 생략하지만, 상승 위치란, 차체 본체부(5)에 근접시키는 위치이며, 하강 위치란, 바닥면 측에 설치된 처리 장치(1)의 각각에 대응하는 용기 이송탑재용 스테이션(1a)과의 사이에서 용기(W)의 이송탑재를 행하기 위한 위치이다.

스테이션(1a)은, 용기(W)를 탑재 지지하기 위해, 바닥부에 설치된 탑재대에 의해 구성되어 있다. 스테이션(1a)은, 처리 장치(1)에 의해 소정의 처리를 행하는 용기(W)를 물품 반송차(3)로부터 수취하거나 또는 처리 장치(1)에 의해 소정의 처리를 행한 용기(W)를 물품 반송차(3)에 건네기 위한 것이며, 복수의 처리 장치(1)의 각각에 대응하여 배치되어 있다. 물품 반송차(3)는, 파지부(7)를 상승 위치에 위치시킨 상태에서 주행 레일(2)을 따라 이동하고, 복수 개의 스테이션(1a) 중, 이송탑재 대상의 스테이션(1a)에 대응하는 용기 교환 개소에 정지한 상태에서 파지부(7)를 상승 위치와 하강 위치와의 사이에서 승강시킴으로써, 스테이션(1a)과의 사이에서 용기(W)의 교환(즉 받아건넴)을 행하도록 구성되어 있다.

파지부(7)는, 차체 본체부(5)의 상단부로부터 하방측으로 연장되는 선회축(18)에 의해 차체 본체부(5)에 대하여 상하 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 그리고, 선회용 모터(15)는, 벨트를 가지는 회전 구동력 전달부(19)를 통하여 선회축(18)을 상하 축심 주위로 회전 구동함으로써, 파지부(7)를 상하 축심 주위로 선회 가능하게 구성되어 있다.

파지부(7)는, 용기(W)를 파지하기 위한 파지구(把持具)(20), 및 용기(W)를 파지하는 파지 자세와 그 파지를 해제하는 파지 해제 자세에 파지구(20)를 자세 전환 조작하기 위한 도시하지 않은 전동식의 파지용 모터를 구비하고 있다. 도 2에서는, 파지구(20)를 파지 자세로 전환한 상태를 나타내고 있다.

스테이션(1a)에 반송하는 용기(W)를 일시적으로 보관하기 위해, 주행 레일(2)의 측부에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(2)에 대하여 좌우 한쪽에 용기 보관부(4)가 설치되어 있다. 그리고, 용기 보관부(4)는, 주행 레일(2)을 따라 인접하여 배열된 상태로 복수 개 설치되어 있다.

이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여, 용기 보관부(4)에 대하여 설명한다.

복수 개의 용기 보관부(4)는, 천정측에 고정 상태로 설치된 고정 프레임체(29)와, 용기(W)를 보관하는 보관 위치 및 물품 반송차(3)와의 사이에서 용기(W)를 주고받는 교환 위치에 걸쳐 고정 프레임체(29)에 대하여 이동 가능하게 설치된 용기 지지체(28)를 구비하여 구성되어 있다.

용기 지지체(28)는, 용기 보관부(4)에 대한 용기 교환 개소에 정지한 물품 반송차(3)의 파지부(7)로부터 용기(W)를 수취하기 위해, 또한 파지부(7)에 용기(W)를 건네기 위해서, 주행 레일(2)에 근접하는 측으로 돌출하는 용기 교환용의 교환 위치(도 7 참조)와, 주행 레일(2)로부터 이격되는 측으로 퇴피하는 보관 위치(도 6 참조)로 위치 변경 가능하게 설치되어 있다.

즉, 물품 반송차(3)는, 용기 보관부(4)에 대한 용기 교환 개소를 경유하는 이동 경로로서의 주행 레일(2)을 따라 이동 가능하며, 또한 용기(W)를 유지하는 유지부로서의 파지부(7)를 구비한 물품 반송용 이동차이며, 본 발명의 반송 수단으로서 기능한다.

이하, 용기 지지체(28)의 보관 위치 및 교환 위치에 이르는 이동 방향, 즉 도 1 등에 있어서 화살표 X에 의해 나타낸 방향을 지지체 이동 방향이라고 하고, 이 지지체 이동 방향에서 볼 때의 좌우 방향, 즉 도 1 등에 있어서 화살표 Y에 의해 나타낸 방향을 좌우 방향이라고 하여 설명한다.

용기 지지체(28)는, 도 3 내지 도 7에 나타낸 바와 같이, 보관 위치에 대응하여 천정측에 설치된(즉 천정에 의해 지지된) 고정 프레임체(29)에 대하여, 용기 지지체 지지 수단으로서의 슬라이드 안내 기구에 의해 보관 위치와 교환 위치로 위치 변경 가능하게 용기 지지체(28)의 상단부를 슬라이드 이동 가능하게 현수 지지되어 있다. 또한, 용기 지지체(28)는, 용기(W)를 탑재 지지 가능하게 구성되며, 또한 좌우 방향에서의 중앙부를 슬라이드 안내 기구에 의해 현수 지지된 상태로 이동 가능하게 구성되어 있다.

용기 교환 개소는, 복수 개의 용기 보관부(4)의 각각에 대응하여 정해져 있다. 좌우 방향에서의 용기 지지체(28)의 폭은 물품 반송차(3)에서의 전후 한쌍의 세로 프레임체(22)의 간격보다 작아지도록 형성되어 있다. 따라서, 용기 교환 개소에 물품 반송차(3)가 정지한 상태에 있어서, 물품 반송차(3)에서의 전후 한쌍의 세로 프레임체(22) 사이에 용기 지지체(28)를 삽입 가능하도록 구성되어 있다.

보관 위치는, 용기 지지체(28)가 보관 위치에 위치할 때, 용기 지지체(28) 및 이에 지지되는 용기(W)가 물품 반송차(3)의 이동이나 파지부(7)의 승강의 방해가 되지 않도록, 주행 레일(2)의 존재 개소로부터 지지체 이동 방향으로 벗어난 주행 레일(2)의 측부에 정해져 있다. 교환 위치는, 용기 지지체(28)가 교환 위치에 위치할 때, 용기 교환 개소에 정지한 물품 반송차(3)에 있어서 상승 위치에 접근하는 위치에 위치하는 파지부(7)와의 사이에서 용기(W)를 교환 가능하도록, 용기 교환 개소에 정지한 물품 반송차(3)에서의 파지부(7)와 수평 방향에 있어서(즉, 상하 방향에서 볼 때) 중복되는 위치로 정해져 있다.

용기 지지체(28)는, 고정 프레임체(29)에 대하여 지지체 이동 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 또한 고정 프레임체(29)로부터 아래쪽으로 연장되는 형상으로 형성된 이동체(30)와, 이동체(30)의 하단부로부터 지지체 이동 방향의 주행 레일(2)에 접근하는 측으로 연장되도록 설치된 탑재체(31)를 구비하고 있다.

고정 프레임체(29)는, 지지체 이동 방향으로 간격을 둔 한쌍의 고정 프레임체 지지용의 지지 레일체(32)에 이르는 상태로 현수 지지되어 있다. 고정 프레임체(29)는, 현수 지지부(33)로서, 지지체 이동 방향의 한쪽 및 다른 쪽의 각각에 있어서 고정 프레임체(29)로부터 위쪽으로 연장되는 입벽(立壁) 부분(33a)과, 입벽 부분(33a)의 상단부끼리를 연결하는 수평 연결 부분(33b)을 구비하고 있다. 수평 연결 부분(33b)에서의 지지체 이동 방향의 일단부 및 타단부의 각각은, 한쌍의 지지 레일체(32)의 각각에 형성된 캐치(catch) 지지부(32a)에 의해 캐치되어 지지되어 있다. 고정 프레임체(29)는, 한쌍의 지지 레일체(32)의 각각에서의 캐치 지지부(32a)에 의해 캐치 지지된 상태로 고정함으로써, 천정측에 설치된 한쌍의 지지 레일체(32)에 현수 지지 되도록 구성되어 있다.

이동체(30)는, 위쪽보다 아래쪽이 지지체 이동 방향에서의 폭이 협폭(狹幅)으로 되는 상태로 아래쪽으로 연장되는 형상으로 형성된 좌우 한쌍의 지지암체(34)와, 좌우 한쌍의 지지암체(34)의 상단부끼리를 연결하는 상부 연결체(35)와, 좌우 한쌍의 지지암체(34)의 상단부로부터 아래쪽으로 연장되는 부분끼리를 연결하는 중간 연결체(36)로 구성되어 있다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 좌우 한쌍의 지지암체(34)의 한쪽에는, 보관 위치 검출용의 피검출체(23)가 세워설치되어 있다. 피검출체(23)는 상단부에 평면에서 볼 때 볼록형의 수평 부분(23a)을 형성하도록 고정 프레임체(29)의 방향으로 절곡 가공된 L자형 부재에 의해 구성되어 있다.

상부 연결체(35)에는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 좌우 방향의 중앙부에 위쪽으로 돌출하는 돌출부(37)가 설치되고, 좌우 방향의 일단부에 봉형(棒形)의 연계용 피조작체(39)가 상부 연결체(35)의 상면에 세워설치되어 있다. 돌출부(37)에는, 그 측면부에 수평 축심 주위로 회전 가능하게 지지된 좌우 한쌍의 제1 가이드 롤러(38a)가 지지체 이동 방향으로 간격을 두고 2세트 설치되고, 또한 그 상면부에 상하 축심 주위로 회전 가능하게 지지된 좌우 한쌍의 제2 가이드 롤러(38b)가 지지체 이동 방향으로 간격을 두고 2세트 설치되어 있다.

고정 프레임체(29)는, 이동체(30)의 돌출부(37)을 내부에 삽입시킨 상태로 이동체(30)의 돌출부(37)의 지지체 이동 방향에서의 이동을 허용하도록 하방을 개방한 통형으로 형성되어 있다. 고정 프레임체(29)의 하방은, 좌우 방향의 전체 길이에 걸쳐 개방되어 있는 것은 아니고, 그 중앙부만 개방되어 있고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 양측의 측벽부(29a)로부터 수평 방향으로 연장되는 저부(29b)가 설치되어 있다. 고정 프레임체(29)의 저부(29b)는, 고정 프레임체(29)의 내부에 삽입되는 돌출부(37)에 지지된 제1 가이드 롤러(38a)를 지지체 이동 방향으로 안내하도록 구성되어 있다. 고정 프레임체(29)의 상부에는, 하방측으로 돌출하는 안내 레일부(29c)가 지지체 이동 방향을 따라 설치되어 있다. 이 안내 레일부(29c)는, 고정 프레임체(29)의 내부에 삽입된 돌출부(37)에 지지된 제2 가이드 롤러(38b)를 지지체 이동 방향으로 안내하도록 구성되어 있다. 이로써, 이동체(30)는, 고정 프레임체(29)에 대하여 지지체 이동 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 지지되어 있다.

이와 같이, 고정 프레임체(29)의 저부(29b) 및 안내 레일부(29c) 및 제1 가이드 롤러(38a) 및 제2 가이드 롤러(38b)를 구비한 돌출부(37)에 의해 용기 지지체 지지 수단으로서의 슬라이드 안내 기구가 구성되어 있다. 그리고, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 고정 프레임체(29)는, 용기 지지체(28)를 자중(自重)에 의해 보관 위치 측으로 이동 가압시키기 위해, 용기 지지체(28)가 교환 위치 측에 위치할 수록 높이가 높아지는 경사진 자세로 장착되어 있다.

탑재체(31)는, 좌우 방향에 있어서 용기(W)보다 작은 폭을 가지고, 이동체(30)의 하단부로부터 지지체 이동 방향의 주행 레일(2)에 접근하는 측으로 연장되도록 설치된 접촉 탑재부(40)와, 접촉 탑재부(40)로부터 좌우 방향으로 연장되도록 설치되어 용기(W)의 측면부와 맞닿는 입벽 부분(41a)(도 4 참조)을 구비하고, 또한 지지체 이동 방향에 있어서 용기(W)보다 협폭으로 형성된 좌우 이동 규제부(41)로 구성되어 있다. 좌우 이동 규제부(41)는, 접촉 탑재부(40)에 있어서 용기(W)의 지지체 이동 방향에서의 중앙부에 상당하는 개소로부터 좌우 방향을 따른 일방향 및 다른 방향으로 연장되도록 한쌍 설치되어 있다.

접촉 탑재부(40)에는, 접촉 탑재부(40)로부터 지지체 이동 방향으로 연장되도록 설치되어 용기(W)의 측면부와 맞닿은 입벽 부분(42a)을 구비하고, 또한 좌우 방향에 있어서 접촉 탑재부(40)보다 협폭으로 형성된 전후 이동 규제부(42)가 설치되어 있다. 전후 이동 규제부(42)는, 좌우 방향에 있어서 접촉 탑재부(40)의 양 단부에 설치되어 있다. 이로써, 지지체 이동 방향에서의 용기(W)의 이동을 규제하여 용기(W)를 탑재 지지할 수 있다. 접촉 탑재부(40)에는, 용기(W)를 위치 결정한 상태로 탑재하기 위해 복수 개의 위치결정핀(K)이 설치되어 있다. 위치결정핀(K)의 설치 개소는, 평면에서 볼 때 삼각형의 각각의 모서리부로 되도록 설치되어 있다.

접촉 탑재부(40)에서의 지지체 이동 방향에서 이송탑재 위치측의 단부에 있는 위치결정핀(K)의 근방에는, 접촉 탑재부(40)에 탑재 지지되는 용기(W)의 유무를 검출하는 지지 상태 검출 수단으로서의 좌우 한쌍의 제1 착석(着席) 센서(25a) 및 제2 착석 센서(25b)가 장착되어 있다. 이들 착석 센서는, 돌출 상태로 복귀 가압된 푸시 버튼(26)을 구비하고 있고, 이 푸시 버튼(26)이 용기(W)의 저면에 의해 눌러져 내장하는 광센서의 검출광이 푸시 버튼(26)에 의해 차광(遮光)됨으로써, 용기(W)의 착석을 검출할 수 있도록 되어 있다. 용기(W)가 용기 지지체(28)에 적절하게 탑재 지지되어 있으면, 좌우로 분산 배치한 2개의 착석 센서(25a?25b)가 모두 착석을 검출하므로, 제1 착석 센서(25a) 및 제2 착석 센서(25b)의 검출 상태에 기초하여 용기(W)가 용기 지지체(28)에 적절하게 탑재 지지되어 있는 것을 검출할 수 있다. 이들 착석 센서는 종래 기술에 속하는 것이며, 광센서를 이용하지 않는 센서를 이용하는 것도 가능하다.

이동체(30)와 접촉 탑재부(40)는, 지지체 이동 방향으로 연속하는 상태로 설치되고, 또한 좌우 방향에서의 폭이 같거나 또는 거의 같은 폭으로 되도록 구성되어 있다. 고정 프레임체(29)는, 좌우 방향에 있어서 이동체(30)의 중앙부에 형성되어 있고, 이동체(30)를 양호한 밸런스로 안정된 상태로 지지체 이동 방향으로 이동 가능하게 지지할 수 있다. 고정 프레임체(29)는, 보관 위치의 용기 지지체(28)와 좌우 방향 및 지지체 이동 방향에 있어서, 상하 방향에서 볼 때 중복되도록 설치되고, 또한 좌우 방향에 있어서 접촉 탑재부(40)보다 협폭으로 형성되어 있다. 즉, 고정 프레임체(29)는, 용기 지지체(28)의 이동 방향에서 볼 때 좌우 방향의 길이가 용기 지지체(28)의 같은 방향에서의 길이보다 짧게 형성되어 있다.

고정 프레임체(29)에는, 지지체 이동 방향에 있어서 용기 교환 개소에 정지한 물품 반송차(3)에 접근하는 접근 위치(도 3 및 도 6 참조)와, 용기 교환 개소에 정지한 물품 반송차(3)로부터 이격되는 이격 위치(도 7 참조)로 이동 가능하게 지지된 피조작체(43)가, 고정 프레임체(29)의 좌우 방향의 한쪽에 설치되어 있다. 피조작체(43)는, 접근 위치에서는 용기 지지체(28)를 보관 위치로 조작하고, 또한 이격 위치에서는 용기 지지체(28)를 교환 위치로 조작하도록, 전술한 슬라이드 이동 기구와 연계되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 피조작체(43)는, 그 길이 방향의 중앙부가 고정 프레임체(29)의 상부에 설치된 ㄷ자형의 기체(基體)(44)에 축지지 연결되어, 그 연결 개소인 제1 요동(搖動) 축심 P1 주위로 요동 가능하게 설치되어 있다. 피조작체(43)는, 접근 위치에 위치하는 상태에 있어서, 제1 요동 축심 P1으로부터 물품 반송차(3)에 접근하는 측으로 연장되는 제1 피조작 부분(43a)과, 제1 요동 축심 P1로부터 물품 반송차(3)로부터 이격되는 쪽으로 연장되는 제2 피조작 부분(43b)을 상하로 단차를 형성하여 일체로 형성되어 있다.

피조작체(43)는, 제1 요동 축심 P1 주위에서의 요동에 의해 접근 위치와 이격 위치로 전환 가능하고, 또한 접근 위치에 있어서는 제1 피조작 부분(43a)이 제1 요동 축심 P1보다 용기 교환 개소에 정지한 물품 반송차(3)에 접근하는 자세로 되도록 설치되어 있다. 피조작체(43)의 제1 피조작 부분(43a)에는, 피조작체(43)가 접근 위치에 위치하는 상태에 있어서, 지지체 이동 방향에 대하여 교차하는 방향을 따라 제1 요동 축심 P1 측으로 연장되는 홈부(45)가 형성되어 있다. 이 홈부(45)는, 용기 교환 개소에 정지한 물품 반송차(3)에 접근하는 측의 선단을 지지체 이동 방향을 따라 개구된 형상으로 형성되어 있다.

피조작체(43)가 접근 위치에 위치하면, 도 6에 나타낸 바와 같이, 용기 지지체(28)를 보관 위치에 위치시키고, 또한 피조작체(43)가 이격 위치에 위치하면, 도 7에 나타낸 바와 같이, 용기 지지체(28)를 교환 위치에 위치시키도록, 피조작체(43)의 동작과 용기 지지체(28)의 동작을 연계시키는 연계 기구(46)가 설치되어 있다.

연계 기구(46)는, 도 3, 도 4 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 상하 축심 주위로 요동 가능한 제1 링크암(47), 제2 링크암(48) 및 제3 링크암(49)의 3개의 링크암으로 구성되어 있다. 제1 링크암(47)은, 일단부가 피조작체(43)의 제2 조작 부분(43b)의 일단부에 축지지 연결되고, 또한 타단부가 제2 링크암(48)의 길이 방향의 도중 부분에 축지지 연결되어 있다. 제2 링크암(48)은, 일단부가 기체(44)에 축지지 연결되고, 또한 타단부가 제3 링크암(49)의 일단부에 축지지 연결되어 있다. 제3 링크암(49)은, 타단부가 고정 프레임체(29)에 세워 설치된 연계용 피조작체(39)에 축지지 연결되어 있다.

고정 프레임체(29)의 좌우 방향의 한쪽[피조작체(43)가 설치되어 있는 측]에는, 용기 지지체(28)가 보관 위치에 위치하는 것을 검출하는 보관 위치 검출 수단으로서의 보관 위치 검출 센서(24)(도 4 참조)가, 고정 프레임체(29)의 좌우 방향의 한쪽으로 연장 형성된 센서가 장착된 브래킷(27)에 의해 장착되어 있다. 보관 위치 검출 센서(24)는, ㄷ자 형상에 있어서 대항(對抗)하는 위치로 되는 한쌍의 선단부에 투수광부(投受光部)를 구비한 포토마이크로센서(photomicrosensor)에 의해 구성되고 있고, 대항하는 한쌍의 선단부가 상하로 배열된 방향으로 장착되어 있다. 대항하는 한쌍의 선단부의 상하 방향의 중간 높이에 피검출체(23)의 평면에서 볼 때 볼록형의 수평 부분(23a)이 위치하도록, 피검출체(23) 및 보관 위치 검출 센서(24)의 상대 높이가 조정되어 있다.

전술한 제1 착석 센서(25a) 및 제2 착석 센서(25b) 및 상기 보관 위치 검출 센서(24)는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 전자 밸브(54)를 개폐 제어하는 릴레이 회로(55)와 접속되어 있다. 전자 밸브(54) 및 릴레이 회로(55)는, 고정 프레임체(29)의 지지체 이동 방향에서 퇴피 위치측의 단부에 장착된 장착 패널(56)의 배면측에 설치되어 있다. 그리고, 제1 착석 센서(25a) 및 제2 착석 센서(25b)의 신호선은 도시하지 않은 케이블 가이드에 내장되어 있고, 용기 지지체(28)의 이동에 의해 적절한 배선 경로를 따르게 함으로서 단선(斷線) 등을 방지하고 있다.

도 2 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)에는, 용기 지지체(28)를 보관 위치와 교환 위치로 변경 조작하기 위한 조작 수단(50)이 설치되어 있다. 조작 수단(50)은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)의 차체 본체부(5)에 있어서, 좌우 방향으로 한쪽에 형성되어 있고, 도 7에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)에 고정되어 지지체 이동 방향으로 장척형(長尺形)의 베이스(51)와, 그 베이스(51)에 대하여 지지체 이동 방향으로 이동 가능하게 설치된 장척형의 조작체(52)와, 그 조작체(52)의 선단부의 하면측에 설치된 걸어맞춤 롤러(53)로 구성되어 있다. 조작 수단(50)은, 도시하지 않은 액츄에이터의 작동에 의해 베이스(51)에 대하여 조작체(52)를 출퇴하게 하여, 걸어맞춤 롤러(53)을 지지체 이동 방향으로 이동시키는 돌출 작동 및 퇴피 작동을 행하도록 구성되어 있다.

걸어맞춤 롤러(53)는, 좌우 방향에 있어서 피조작체(43)의 홈부(45)의 폭과 같은 또는 그 폭보다 작은 직경으로 형성되어 있다. 이로써, 걸어맞춤 롤러(53)가, 지지체 이동 방향에서의 이동에 의해 피조작체(43)의 홈부(45)에 걸ㄹ리거나 분리 가능하게 구성되어 있다. 조작 수단(50)이, 돌출 작동에 의해 걸어맞춤 롤러(53)을 홈부(45)에 걸어맞추어 피조작체(43)를 접근 위치로부터 이격 위치에 푸시 조작하고, 또한 퇴피 작동에 의해 걸어맞춤 롤러(53)를 홈부(45)에 걸어맞추어 피조작체(43)를 이격 위치로부터 접근 위치로 당겨 조작하고, 그 후 걸어맞춤 롤러(53)을 홈부(45)로부터 이탈시키는 푸시풀식으로 구성되어 있다.

도 3, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 용기 보관부(4)에는, 보관 위치에 위치하는 용기 지지체(28)에 의해 탑재 지지된 용기(W)에 대하여 가스 공급관을 통해 불활성 가스로서의 질소를 공급하는 가스 공급 수단(60)이 설치되어 있다. 불활성 가스로서는, 질소 외에, 아르곤 등을 사용할 수 있다.

가스 공급 수단(60)은, 고정 프레임체(29) 측에 설치되어 가스 공급원(57)(도 6)과 접속된 고정측 부분(61), 및 용기 지지체(28)와 일체로 이동 가능하게 용기 지지체(28) 측에 설치된 이동측 부분(62)을 구비하여 구성되어 있다. 교환 위치로부터 보관 위치로의 용기 지지체(28)의 이동에 의해 도 6에 나타낸 바와 같이 고정측 부분(61)과 이동측 부분(62)을 연결하고, 또한 보관 위치로부터 교환 위치로의 용기 지지체(28)의 이동에 의해 도 7에 나타낸 바와 같이 고정측 부분(61)과 이동측 부분(62)과의 연결을 해제하여 고정측 부분(61)으로부터 이동측 부분(62)을 이격시키는 연결체(63)가 설치되어 있다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 연결체(63)는, 고정측 부분(61)에 설치되어 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서의 용기 지지체(28)의 이동 방향으로 출퇴 이동 가능하며, 또한 가압 수단에 의해 돌출측으로 복귀 가압된 가동 노즐(63a)과, 이동측 부분(62)에 설치되고, 가동 노즐(63a)을 삽탈 가능한 요입부(63b)를 구비하여 구성되어 있다.

가스 공급 수단(60)의 이동측 부분(62)은, 도 3, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 양 단부에 이동측 제1 접합부(66a) 및 이동측 제2 접합부(66b)를 구비하여 복수 개소가 굴곡 형성된 이동측 제1 스테인레스관(68)과, 양 단부에 이동측 제3 접합부(66c) 및 이동측 제4 접합부(66d)를 구비하여 2개소가 굴곡 형성된 이동측 제2 스테인레스관(69)과, 이들 사이에 배치되는 압력 센서 접속부(72) 및 필터(73)가 가스 통류 방향을 따라 직렬로 접속되어 구성되어 있다. 압력 센서 접속부(72)에는 압력 센서를 장착 가능하게 되어 있고, 장착 패널(56)에 설치된 압력 센서 컨트롤러(도시하지 않음)에 의해, 질소 가스의 공급압을 감시 가능하게 되어 있다.

이동측 제1 스테인레스관(68)의 상류측 단부에서의 이동측 제1 접합부(66a)의 상류측에는 요입부(63b)가 접속되고, 하류측 단부에서의 이동측 제2 접합부(66b)의 상류측에는 오리피스(orifice)(70)가 개재되어 있다. 이동측 제2 스테인레스관(69)의 하류측 단부에 접속에 있어서의 이동측 제4 접합부(66d)의 하류측에는, 폐쇄측으로 가압된 개폐 밸브를 가지는 노즐 캡(nozzle cap)(71)이 접속되어 있다.

이동측 부분(62)은, 이동측 제1 접합부(66a)의 하류측 부분이 이동측 상류 브래킷(64)에 설치된 우레탄 블록(urethane block)(67)에 탄성 지지되고, 노즐 캡(71)이 평판형의 노즐이 장착된 플레이트(65)에 지지됨으로써, 이동측 부분(62)은, 용기 지지체(28)의 이동 방향에서 볼 때 용기 지지체(28)의 좌우 방향의 다른 쪽[피검출체(23)나 피조작체(43)가 배치되어 있는 측과는 반대측]의 측부에 배치되어 있다. 용기 지지체(28)가 보관 위치와 교환 위치로 이동함에 따라 요입부(63b)가 고정 프레임체(29)의 측부에 의해 지지체 이동 방향을 따라 이동한다. 설명을 추가하면, 이동측 상류 브래킷(64)은, 좌우 한쌍의 지지암체(34) 중 용기 지지체(28)의 다른 쪽[피검출체(23)나 피조작체(43)가 배치되어 있는 측과는 반대측]에 고정되어 있고, 이 이동측 상류 브래킷(64)에 설치된 상하 2층 구조의 우레탄 블록(67) 사이에, 이동측 제1 스테인레스관(68)의 단부를 끼워넣음으로써, 이동측 부분(62)의 상류측 단부를 탄성 지지하고 있다. 한편, 노즐이 장착된 플레이트(65)는, 탑재체(31)에서의 접촉 탑재부(40)의 선단부의 용기 지지체(28)의 다른 쪽 부분으로부터, 좌우 한쌍의 전후 이동 규제부(42) 중 용기 지지체(28)의 다른 쪽에 위치하는 것까지에 걸쳐서 수평 방향으로 연장되도록 배치되어 있다. 노즐이 장착된 플레이트(65)에는, 노즐 장착용의 원형 개구가 형성되어 있고, 평면에서 볼 때 원형의 노즐 캡(71)이 이 개구에 중심이 일치한 상태로 고정되어 있다.

용기(W)가 용기 지지체(28)의 탑재체(31)에 탑재되면, 노즐 캡(71)과 용기(W)의 저면에 설치된 공급구(Win)가 끼워맞추어지거나 또는 걸어맞추어짐으로써, 폐쇄측으로 가압된 공급구(Win)에서의 개폐 밸브가 노즐 캡(71)에 의해 밀어올려지고, 또한 폐쇄측으로 가압된 노즐 캡(71)에서의 개폐 밸브가 공급구(Win)에 의해 내리눌러진다. 이로써, 용기(W)의 내부와 가스 공급 수단(60)의 이동측 부분(62)에서의 질소 가스의 유로가 연통된다. 그리고, 용기(W)의 저면에는, 폐쇄측으로 가압된 개폐 밸브를 구비한 배기구가 형성되어 있고, 질소 가스의 공급에 의해 용기(W)의 내압(內壓)이 증대한 경우에는 배기구의 개폐 밸브가 상기 내압에 따른 개방도로 되어, 용기(W) 내의 가스가 배출된다. 이로써, 용기(W)에 대하여 공급구(Win)로부터 질소 가스를 공급함으로써 용기(W)의 내부의 기압(氣壓)을 일정하게 유지하면서 질소 가스를 충만하게 할 수 있다.

가스 공급 수단(60)의 고정측 부분(61)은, 도 3, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 가스 공급원(57)에 접속된 스테인레스관, 이 스테인레스관에 접속되고, 장착 패널(56)의 배면에 장착된 전자 밸브(54), 전자 밸브(54)와 접속된 고정측 제1 접합부(74a) 및 하우징(76)와 접속된 고정측 제2 접합부(74b)에 양 단부가 접속된 고정측 스테인레스관(75), 하우징(76)에 삽입되고, 지지체 이동 방향으로 출퇴 이동 가능하며, 또한 가압 수단으로서의 코일 군요(77)에 의해 돌출측으로 복귀 가압된 가동 노즐(63a)이 가스 통류 방향을 따라 직렬로 접속되어 구성되어 있다. 하우징(76)은, 장착 패널(56)의 정면에 장착되어 있지만, 고정측 제2 접합부(74b)가 장착 패널(56)에 형성된 개구를 관통하는 상태로 설치되어 있으므로, 고정측 부분(61)의 고정측 가스 유로가, 장착 패널(56)의 배면측으로부터 정면 측에 걸쳐 형성되고, 가동 노즐(63a)은, 장착 패널(56)의 정면 측에 있어서 고정 프레임체(29)의 좌우 방향의 측부에 배치되어 있다.

이와 같은 구성으로부터, 가스 공급 수단(60)의 연결체(63)는, 용기 지지체(28)의 이동 방향에서 볼 때 고정 프레임체(29)의 좌우 방향의 다른 쪽[보관 위치 검출 센서(24) 및 피조작체(43)가 배치되어 있는 측과는 반대측]에 배치되어 있다. 보관 위치 검출 센서(24) 및 피조작체(43)를 고정 프레임체(29)의 좌우 방향의 한쪽에 배치하고, 연결체(63)를 고정 프레임체(29)의 좌우 방향의 다른 쪽에 배치하고, 가스 공급 수단(60)의 이동측 부분(62)을, 용기 지지체(28)의 이동 방향에서 볼 때 용기 지지체(28)의 좌우 방향의 다른 쪽의 측부에 배치함으로써, 가스 공급 수단(60)의 설치 작업이 용이해져, 천정측에서의 스페이스의 유효 이용을 도모하고 있다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 가동 노즐(63a)은, 퇴피측에 위치하는 직선형의 로드부와 돌출측의 단부에 위치하는 돔형(dome type)의 헤드부를 구비하여 구성되어 있다. 가동 노즐(63a)의 내부에는, 요입부(63b)에 가동 노즐(63a)이 삽입된 상태에 있어서, 고정측 부분(61)의 고정측 가스 유로와 이동측 부분(62)의 이동측 가스 유로가 연통되어 용기 지지체(28)의 이동 방향을 따라 질소 가스를 통류 가능한 내부 유로(84)가 로드부의 후단으로부터 헤드부의 선단에 걸쳐 형성되어 있다.

본 실시예에서는, 내부 유로(84)는, 용기 지지체(28)의 이동 방향에서 가동 노즐(63a)의 내부를 관통하는 직선형의 유로에 의해 구성되어 있다. 이로써, 가동 노즐(63a)의 질소 가스의 유로에서의 통류 저항이 작아지므로, 가동 노즐(63a)의 내부에 있어서 질소 가스를 원활하게 통류시킬 수 있다.

하우징(76)은, 리니어 부싱(linear bushing)(80)을 구비하여 가동 노즐(63a)을 출퇴 가능하게 지지하는 노즐 지지 하우징(76a)과, 장착 패널(56)에 고착된 베이스 하우징(76b)을, 노즐 지지 하우징(76)에서의 퇴피측 단부의 외주부에 끼워장착된 O링(78)에 의해 실링한 상태로, 결합되어 구성되어 있다. 고정측 제2 접합부(74b) 및 가동 노즐(63a)의 내부 유로(84)의 유로가, 하우징(76) 내부에 형성되는 공간과 연통되어 있다. 이로써, 가스 공급원(57)으로부터 전자 밸브(54) 및 관 고정측 스테인레스관(75)을 경유하여 가동 노즐(63a)의 선단까지에 걸쳐 고정측 가스 유로가 형성되어 있다.

노즐 지지 하우징(76)의 돌출측 단부에는, 가동 노즐(63a)과 노즐 지지 하우징(76)과의 간극을 실링하는 환형의 패킹(gasket)(81)이 끼워져 장착되어 있고, 리니어 부싱(80)에 삽입된 가동 노즐(63a)은 기밀 상태로 출퇴 가능하게 되어 있다. 노즐 지지 하우징(76)의 돌출측의 최외단에는, 패킹(81)의 탈락을 방지하는 탈락 방지용의 플랜지(82)가 장착되어 있다. 노즐 지지 하우징(76)의 퇴피측의 단부에는, 돌출측 단부에 있어서 중심측을 향하는 플랜지부가 형성된 원통형의 칼라(collar)(79)가 설치되어 있다. 플랜지부의 내경(內徑)은, 가동 노즐(63a)의 로드부의 외형보다 큰 거의 같은 치수로 되어 있고, 가동 노즐(63a)의 돌출측 단부의 외주부에 탄착된 C형의 스냅링(83)이, 칼라(79)의 플랜지부와 맞닿음으로써 가동 노즐(63a)의 돌출측의 한도 위치가 규제되어 있다.

요입부(63b)에는, 내주면이, 삽입 방향(지지체 이동 방향)으로 내측으로 갈 수록 내경이 작아지는 테이퍼형으로 형성된 환형의 우레탄 블록(85)이, 가동 노즐(63a)과 대향하는 측으로 삽입되어, 우레탄 블록(85)의 외주 부분에 맞닿는 탈락 방지용의 플랜지(86)가 장착되어 있다. 환형의 우레탄 블록(85)은, 요입부(63b)에 가동 노즐(63a)이 삽입된 상태에서, 요입부(63b)와 가동 노즐(63a)에서의 돔형 선단부와의 사이를 실링하는 시일체로서 기능한다.

물품 반송차(3)에는, 주행부(6)의 주행 작동, 파지부(7)의 승강 작동이나 파지구(20)의 자세 전환 작동 등을 제어하여, 물품 반송차(3)의 운전을 제어하는 대차(臺車;carriage)측 제어부가 구비되어 있다. 그리고, 대차측 제어부는, 복수 개의 물품 반송차(3)의 운행을 관리하는 설비 관리용 컴퓨터로부터 반송원(搬送元) 및 반송선(搬送先)을 지정하는 반송 지령을 받으면, 그 반송 지령에 의해 지정된 반송원으로부터 반송선에 용기(W)를 반송하는 반송 처리를 행하도록 구성되어 있다. 반송원 및 반송선으로서는, 스테이션(1a)이나 용기 보관부(4)가 지정된다. 여기서, 제어부나 컴퓨터는, 종래 기술에 속하는 것이며, CPU, 메모리, 통신 유닛 등을 가지고, 본 명세서에 기재되는 기능을 실행하기 위한 알고리즘이 메모리에 기억되어 있다.

대차측 제어부는, 있는 스테이션(1a)를 반송원으로 하고, 용기 보관부(4)를 반송선으로 하는 반송 지령을 받으면, 상기 반송원의 스테이션(1a)에 대응하는 목표 정지 위치를 검출하기 위한 센서나 기준점으로부터의 물품 반송차(3)의 주행 거리를 검출하기 위한 센서 등의 각종 센서의 검출 정보에 기초하여, 지정된 반송원의 스테이션(1a)까지 주행하기 위해, 주행부(6)의 주행 작동을 제어한 후, 파지부(7)의 승강 작동이나 파지구(20)의 자세 전환 작동을 제어함으로써, 반송원의 스테이션(1a)으로부터 용기(W)를 수취하도록, 물품 반송차(3)의 운전을 제어한다. 그 후, 대차측 제어부는, 각종 센서의 검출 정보에 기초하여, 지정된 반송선의 용기 보관부(4)까지 주행하기 위해, 물품 반송차(3)의 주행을 제어한다.

물품 반송차(3)가 반송선의 용기 보관부(4)에 대응하는 용기 교환 개소에 도착하면, 대차측 제어부는, 조작 수단(50)의 출퇴 작동 및 파지구(20)의 자세 전환 작동을 제어하여, 물품 반송차(3)를 정지시킨 상태에서, 조작 수단(50)을 돌출 작동시켜 상기 용기 보관부(4)에서의 피조작체(43)를 접근 위치로부터 이격 위치로 푸시 조작함으로써, 보관 위치에 위치하고 있는 용기 지지대(28)를 교환 위치로 이동시키고, 용기(W)를 용기 지지대(28)에 탑재한다. 그리고, 조작 수단(50)을 퇴피 작동시켜 상기 용기 보관부(4)에서의 피조작체(43)를 이격 위치로부터 접근 위치로 당겨 조작함으로써, 교환 위치에 위치하고 있는 용기 지지대(28)를 보관 위치로 이동시킨다.

물품 반송차(3)에 의해 용기 지지체(28)가 보관 위치로부터 교환 위치로 이동 조작되면, 연결체(63)를 구성하는 가동 노즐(63a) 및 요입부(63b)가 이격되므로[도 8의 (b) 참조], 가스 공급 수단(60)의 고정측 부분(61)으로부터 이동측 부분(62)이 이격되어, 가스 공급 수단(60)의 고정측 부분(61)과 이동측 부분(62)과의 연결이 해제된다. 또한, 물품 반송차(3)에 의해 용기 지지체(28)가 교환 위치로부터 보관 위치로 이동 조작되면, 연결체(63)를 구성하는 가동 노즐(63a) 및 요입부(63b)가 연결[도 8의 (a) 참조]됨으로써, 가스 공급 수단(60)의 고정측 부분(61)과 이동측 부분(62)이 연결되고, 고정측 부분(61)의 고정측 가스 유로와 이동측 부분(62)의 이동측 가스 유로가 연통된다.

용기 지지체(28)에는, 불활성 가스 공급 제어 수단으로서의 릴레이 회로(55)가 설치되어 있다(도 9 참조). 릴레이 회로(55)는, 제1 착석 센서(25a) 및 제2 착석 센서(25b)의 양쪽으로부터, 용기(W)가 용기 지지체(28)에 탑재 지지되어 있는 것을 나타내는 검출 신호를 수취하고, 또한 보관 위치 검출 센서(24)로부터 용기 지지체(28)가 보관 위치에 위치하고 있는 것을 나타내는 보관 위치 신호를 받으면, 전자 밸브(54)를 열린 상태로 한다. 용기(W)가 보관되어 있지 않은 용기 보관부(4)에 있어서는, 용기 지지체(28)가 보관 위치에서 보관 위치 검출 센서(24)로부터 보관 위치 신호가 보내지지만, 제1 착석 센서(25a) 및 제2 착석 센서(25b)는 검출 신호를 발하지 않기 때문에, 상기 용기 보관부(4)에서의 전자 밸브(54)는 폐쇄된 채이다. 그러므로, 용기 지지체(28)가 보관 위치에 위치함으로써, 고정측 부분(61)의 고정측 가스 유로와 이동측 부분(62)의 이동측 가스 유로가 연통되어 있어도, 질소 가스는 통류하지 않고, 노즐 캡(71)으로부터 질소 가스는 방출되지 않는다.

릴레이 회로(55)에 대한 상세한 설명은 생략하지만, 예를 들면, 각 센서의 출력을 입력으로 하는 3개의 릴레이 출력을 직렬로 접속하여 전자 밸브(5)로의 전원 공급 라인을 개폐 제어하도록 구성하면 된다.

이와 같이, 릴레이 회로(55)는, 제1 착석 센서(25a) 및 제2 착석 센서(25b) 및 보관 위치 검출 센서(24)의 검출 정보에 기초하여, 용기 지지체(28)가 보관 위치에 위치하고, 또한 용기 지지체(28)에 용기(W)가 지지되어 있는 경우에는, 가스 공급 수단(60)에 의한 질소 가스의 공급을 허용하고, 용기 지지체(28)가 보관 위치에 위치하지 않거나 또는 용기 지지체(28)에 용기(W)가 지지되어 있지 않은 경우에는, 가스 공급 수단(60)에 의한 질소 가스의 공급을 금지하도록 되어 있다.

이상의 같은 구성에 의해, 물품 반송차(3)에 의해 용기 보관부(4)에 용기(W)가 반송된 경우에는, 상기 용기 보관부(4)에 의해 용기(W)를 보관하면서 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하여 용기(W) 내를 소정 압력의 질소 가스로 충만하게 할 수 있다. 또한, 제1 착석 센서(25a) 및 제2 착석 센서(25b) 및 보관 위치 검출 센서(24)의 검출 정보에 기초하여, 릴레이 회로(55)가 전자 밸브(54)의 개폐를 제어함으로써, 질소 가스의 불필요한 방출을 방지할 수 있다.

[다른 실시예]

이상, 본원 발명을 발명의 실시예에 기초하여 구체적으로 설명하였으나, 본원 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지 변경 가능하다. 이하, 본원 발명의 다른 실시예에 대하여 설명한다.

(1) 상기 실시예에서는, 가동 노즐로서, 내부 유로가 용기 지지체의 이동 방향에서 가동 노즐의 내부를 관통하는 직선형의 유로에 의해 구성되어 있는 것을 예시했지만, 가동 노즐의 내부 유로로서는, 각종 형태에 의해 실시 가능하다. 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 용기 지지체(28)의 이동 방향(도 10 중의 X 방향)에서 가동 노즐(63a)의 돌출측 단부로부터 퇴피측 단부의 바로 앞부분까지를 연통시키는 직선형의 제1 유로 부분(84a)과, 용기 지지체(28)의 이동 방향에서 가동 노즐(63a)의 퇴피측에 있어서 가동 노즐(63a)의 직경 방향으로 제1 유로 부분(84a)과 가동 노즐(63a)의 외부를 연통시키는 제2 유로 부분(84b)을 구비하게 하여 내부 유로(84)를 구성해도 된다.

이 경우, 제2 유로 부분(84b)의 지지체 이동 방향에서의 위치를, 도 10의 (b)에 나타낸 바와 같이, 가동 노즐(63a)이 돌출측의 한도 위치에 위치할 때, 지지체 이동 방향에서 리니어 부싱(80)의 존재 범위와 중복되는 위치에 설정하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성함으로써, 용기 지지체(28)가 교환 위치에 위치하는 경우(도 7에 나타낸 위치)에는, 제2 유로 부분(84b)을 봉지하고, 또한 용기 지지체(28)가 보관 위치(도 6에 나타낸 위치)에 위치하는 경우에는, 제2 유로 부분(84b)을 개방하는 봉지 개방 수단을 구성할 수 있다. 또한, 제2 유로 부분(84b)이 밀봉되었을 때의 기밀성을 향상시키기 위해 우레탄 등의 탄성 재료에 의해 구성된 환형의 O링(87)이, 칼라(79)의 플랜지부에 설치되어 있다.

용기 지지체(28)가 보관 위치로부터 교환 위치로 이동 조작됨으로써, 요입부(63b)가 지지체 이동 방향을 따라 가동 노즐(63a)로부터 이격되는 측으로 이동함에 따라 코일 스프링(77)에 의해 돌출측으로 복귀 가압된 가동 노즐(63a)이 지지체 이동 방향을 따라 돌출측으로 이동한다. 이로써, 가동 노즐(63a)의 퇴피측 단부에 설치된 C형의 스냅링(83)이 칼라(79)에 설치된 O링(87)에 맞닿음으로써, 가동 노즐(63a)의 돌출측의 이동이 규제되고, 또한 제2 유로 부분(84b)와 하우징(76)의 내부 공간을 실링한 상태로 차단할 수 있다.

또한, O링(87)을 설치하는 경우, 제2 유로 부분(84b)의 지지체 이동 방향에서의 위치를, 가동 노즐(63b)이 돌출측의 한도 위치에 위치할 때, 지지체 이동 방향에서 리니어 부싱(80)의 존재 범위보다 퇴피측의 위치에 설정해도 된다. 이 경우, 스냅링(83)을 환형(環形)의 O링에 의해 구성된다. 이와 같이 구성한 경우, 스냅링(83) 및 O링(87)에 의해 봉지 개방 수단이 구성된다.

이와 같이 봉지 개방 수단을 설치함으로써, 용기(W)의 이송탑재를 위해 용기 지지체(28)가 보관 위치로부터 교환 위치로 이동 조작된 경우에, 하우징(76)의 내부에 가동 노즐(63a)의 선단부로부터 외부 공기가 진입하는 것을 극력 방지할 수 있다.

(2) 상기 실시예에서는, 용기 보관부(4)가 주행 레일(2)에 대하여 좌우 한쪽에 설치된 것을 예시했지만, 용기 보관부(4)를 주행 레일(2)에 대하여 좌우 양측에 설치할 수도 있다. 또한, 용기 보관부(4)를 안내 레일(2)을 따라 배열된 상태로 복수 개 설치하고 있지만, 용기 지지체(28)를 설치하는 수에 대해서는 적절하게 변경할 수 있다.

용기 보관부(4)를 주행 레일(2)에 대하여 좌우 양측에 설치하는 경우, 물품 반송차(3)에, 주행 방향에 있어서 한쪽에 위치하는 용기 지지체(28)를 변경 조작하기 위한 조작 수단(50)과, 물품 반송차(3)의 주행 방향에 있어서 다른 쪽에 위치하는 용기 지지체(28)를 변경 조작하기 위한 조작 수단(50)과의 2개의 조작 수단(50)을 설치해도 된다. 또한, 조작 수단(50)이, 물품 반송차(3)의 주행 방향에 대하여 우측 및 좌측의 양측에 걸어맞춤 롤러를 출퇴 가능하게 구비함으로써, 물품 반송차(3)에 1개의 조작 수단을 설치하여 실시할 수도 있다.

(3) 상기 실시예에서는, 용기 보관부(4)를 천정측에 설치한 것을 예시했지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 용기 보관부(4)를 바닥면 측에 설치한 것이어도 된다. 반송 수단으로서는, 예시한 물품 반송차(3)에 한정되지 않고, 기판을 수용한 용기를 반송 가능하고, 또한 교환 위치에 위치하는 용기 지지체와의 사이에서 용기를 교환할 수 있도록 구성된 것이면 된다.

(4) 상기 실시예에서는, 용기 보관부가, 반송 수단으로서의 이동체가 구비하는 조작 수단에 의해 접근 위치와 이격 위치에 푸시풀 조작되는 피조작체와, 피조작체에 연계된 용기 지지체 지지 수단을 포함하여, 이동체의 조작 수단에 의해 피조작부가 푸시풀 조작됨으로써 용기 지지체가 보관 위치와 교환 위치로 이동 조작되는 것을 예시했지만, 이 대신에, 용기 보관부에 용기 지지체를 이동 구동하는 이동 구동 수단을 설치하여, 이동체가 용기 교환 개소에 정지한 상태에서 이동 구동 수단을 작동시켜, 용기 지지체를 보관 위치와 교환 위치와의 사이에서 이동 작동시키는 것이어도 된다.

3: 반송 수단(이동차)
4: 용기 보관부
7: 유지부
24: 보관 위치 검출 수단
25a, 25b: 지지 상태 검출 수단
28: 용기 지지체
29: 고정 프레임체
37: 상단부, 중앙부
29b, 29c, 37: 슬라이드 안내 기구(용기 지지체 지지 수단)
43: 피조작체
50: 조작 수단
55: 불활성 가스 공급 제어 수단
60: 가스 공급 수단
61: 고정측 부분
62: 이동측 부분
63: 연결체
63a: 이동 노즐
63b: 요입부
67: 시일체
77: 가압 수단
84: 내부 유로
84a: 제1 유로 부분
84b: 제2 유로 부분
80, 84b: 봉지 개방 수단
83, 87: 봉지 개방 수단

Claims (7)

1. 기판을 수용하기 위한 용기를 반송(搬送)하는 반송 수단과,
   상기 반송 수단에 의해 반송되는 용기를 보관하는 용기 보관부가 설치된 용기 보관 설비로서,
   상기 용기 보관부는, 고정 상태로 설치된 고정 프레임체와, 상기 용기를 보관하는 보관 위치 및 상기 반송 수단과의 사이에서 상기 용기를 주고받는 교환 위치에 걸쳐 상기 고정 프레임체에 대하여 이동 가능하게 설치된 용기 지지체를 구비하고,
   상기 보관 위치에 위치하는 상기 용기 지지체에 의해 지지된 상기 용기에 대하여 가스 공급관을 통해 불활성 가스를 공급하는 가스 공급 수단이 설치되고,
   상기 가스 공급관은, 상기 고정 프레임체 측에 설치된 고정측 부분, 및 상기 용기 지지체와 일체로 이동 가능하게 상기 용기 지지체 측에 설치된 이동측 부분을 구비하고,
   상기 교환 위치로부터 상기 보관 위치로의 상기 용기 지지체의 이동에 의해 상기 고정측 부분과 상기 이동측 부분을 연결하고, 또한 상기 보관 위치로부터 상기 교환 위치로의 상기 용기 지지체의 이동에 의해 상기 고정측 부분과 상기 이동측 부분과의 연결을 해제하여 상기 고정측 부분으로부터 상기 이동측 부분을 이격(離隔)시키는 연결체가 설치되어 있는, 용기 보관 설비.
2. 제1항에 있어서,
   상기 용기 지지체가 상기 보관 위치에 위치하는 것을 검출하는 보관 위치 검출 수단과,
   상기 용기 지지체에 용기가 지지되어 있는 것을 검출하는 지지 상태 검출 수단과,
   상기 보관 위치 검출 수단 및 상기 지지 상태 검출 수단의 검출 정보에 기초하여, 상기 용기 지지체가 상기 보관 위치에 위치하고, 또한 상기 용기 지지체에 용기가 지지되어 있는 경우에는, 상기 가스 공급관에 의한 불활성 가스의 공급을 허용하고, 상기 용기 지지체가 상기 보관 위치에 위치하지 않거나 또는 상기 용기 지지체에 용기가 지지되어 있지 않은 경우에는, 상기 가스 공급관에 의한 불활성 가스의 공급을 금지하는 불활성 가스 공급 제어 수단이 설치되어 있는, 용기 보관 설비.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 연결체는, 상기 고정측 부분 및 상기 이동측 부분의 한쪽에 설치되고, 상기 보관 위치와 상기 교환 위치와의 사이에서의 상기 용기 지지체의 이동 방향으로 출퇴(出退) 이동 가능하며, 또한 가압 수단에 의해 돌출측으로 복귀 가압된 가동 노즐과, 상기 고정측 부분 및 상기 이동측 부분의 다른 쪽에 설치되고, 상기 가동 노즐을 삽탈(揷脫) 가능한 요입부(凹入部)를 구비하고,
   상기 가동 노즐에는, 상기 요입부에 상기 가동 노즐이 삽입된 상태에 있어서, 상기 고정측 부분의 고정측 가스 유로와 상기 이동측 부분의 이동측 가스 유로가 연통되어 상기 용기 지지체의 이동 방향을 따라 불활성 가스를 통류(通流) 가능한 내부 유로가 구비되고,
   상기 요입부에 상기 가동 노즐이 삽입된 상태에서, 상기 요입부와 상기 가동 노즐과의 사이를 실링(sealing)하는 시일체가 구비되어 있는, 용기 보관 설비.
4. 제3항에 있어서,
   상기 내부 유로는, 상기 용기 지지체의 이동 방향으로 상기 가동 노즐의 내부를 관통하는 직선형의 유로에 의해 구성되어 있는, 용기 보관 설비.
5. 제3항에 있어서,
   상기 내부 유로는, 상기 용기 지지체의 이동 방향으로 상기 가동 노즐의 돌출측 단부(端部)로부터 퇴피측(退避側) 단부의 바로 앞부분까지를 연통시키는 직선형의 제1 유로 부분과, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 상기 가동 노즐의 퇴피측에 있어서 상기 가동 노즐의 직경 방향으로 상기 제1 유로 부분과 상기 가동 노즐의 외부를 연통시키는 제2 유로 부분을 구비하고, 상기 용기 지지체가 상기 교환 위치에 위치하는 경우에는, 상기 제2 유로 부분을 봉지(封止)하고, 또한 상기 용기 지지체가 상기 보관 위치에 위치하는 경우에는, 상기 제2 유로 부분을 개방하는 봉지 개방 수단이 구비되어 있는, 용기 보관 설비.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 반송 수단은, 상기 용기 보관부에 대한 용기 교환 개소를 경유하는 이동 경로를 따라 이동 가능하며, 또한 용기를 유지하는 유지부를 구비한 물품 반송용 이동차에 의해 구성되며,
   상기 보관 위치는, 상기 이동 경로에 대하여 이격된 위치에 설정되고,
   상기 교환 위치는, 상기 이동 경로에 대하여, 상기 보관 위치보다 접근한 위치에 설정되고,
   상기 용기 지지체를 상기 보관 위치와 상기 교환 위치로 위치 변경 가능하게 지지하는 용기 지지체 지지 수단과,
   상기 용기 교환 개소에 정지한 상기 이동차에 접근한 접근 위치와 이격된 이격 위치로 이동 가능한 피조작체가 설치되고,
   상기 피조작체는, 상기 접근 위치에서는 상기 용기 지지체를 상기 보관 위치로 조작하고, 또한 상기 이격 위치에서는 상기 용기 지지체를 상기 교환 위치로 조작하도록, 상기 용기 지지체 지지 수단에 연계되고,
   상기 이동차는, 상기 이동차로부터 돌출하는 측의 이동에 의해 상기 피조작체를 상기 접근 위치로부터 상기 이격 위치에 푸시 조작하고, 또한 상기 이동차에 퇴피하는 측의 이동에 의해 상기 피조작체를 상기 이격 위치로부터 상기 접근 위치로 당겨 조작하는 푸시풀(push-pull) 조작식의 조작 수단을 구비하고 있는, 용기 보관 설비.
7. 제6항에 있어서,
   상기 이동 경로 및 상기 고정 프레임체가 천정측에 설치되고,
   상기 용기 지지체 지지 수단은, 상기 고정 프레임체에 대하여 상기 용기 지지체의 상단부를 슬라이드 이동 가능하게 현수(懸垂) 지지하는 슬라이드 안내 기구에 의해 구성되며,
   상기 용기 지지체는, 상기 용기를 탑재 지지 가능하게 구성되며, 또한 그 이동 방향에서 볼 때 좌우 방향에서의 중앙부를 상기 슬라이드 안내 기구에 의해 현수 지지된 상태로 이동 가능하게 구성되며,
   상기 고정 프레임체는, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 좌우 방향의 길이가 상기 용기 지지체의 같은 방향에서의 길이보다 짧게 형성되고,
   상기 피조작체는, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 상기 고정 프레임체의 좌우 방향의 한쪽에 배치되고,
   상기 가스 공급관의 상기 연결체는, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 상기 고정 프레임체의 좌우 방향의 다른 쪽에 배치되고,
   상기 가스 공급관의 상기 이동측 부분은, 상기 용기 지지체의 이동 방향에서 볼 때 상기 용기 지지체의 좌우 방향의 다른 쪽의 측부에 배치되어 있는, 용기 보관 설비.

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