KR102268409B1

KR102268409B1 - 용기 반송 설비

Info

Publication number: KR102268409B1
Application number: KR1020170027511A
Authority: KR
Inventors: 신스케 가와무라
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2016-03-07
Filing date: 2017-03-03
Publication date: 2021-06-22
Also published as: US9899247B2; TWI702679B; US20170256428A1; JP6460015B2; CN107161703A; TW201735226A; KR20170104388A; CN107161703B; JP2017159975A

Abstract

보관부는, 용기를 지지하는 제1 지지부 및 제2 지지부를 구비하고, 제2 지지부가 승강함으로써 제1 상태와 제2 상태로 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 불활성 기체 공급 장치는, 보관부가 제1 상태에서는 용기에 접속부가 접속되고, 보관부가 제2 상태에서는 용기로부터 접속부가 아래쪽으로 분리되는 높이에, 접속부를 구비한다. 반송용 이동체는, 용기를 지지하는 제3 지지부와, 제3 지지부를 출퇴시키는 출퇴 구동부를 구비하고, 제3 지지부는, 출퇴 구동부에 의해 출퇴 이동할 때 이송탑재용 공간으로 돌입하고, 또한 그 제3 지지부의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 접속부와 중첩된다.

Description

용기 반송 설비{CONTAINER TRANSPORT FACILITY}

본 발명은, 이동 경로를 따라 이동하여 용기를 반송(transport)하는 반송용 이동체와 용기를 보관하는 보관부와 보관부에 보관되어 있는 용기의 내부에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급 장치를 구비하고, 용기는, 바닥면부에 피(被)접속부를 구비하고, 보관부는, 용기의 바닥면부에서의 제1 피(被)지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 지지부를 구비하고, 불활성 기체 공급 장치는, 용기가 제1 지지부에 지지되어 있는 상태로 용기의 피접속부에 접속되는 접속부를 구비하고, 접속부로부터 피접속부를 통하여 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 용기 반송 설비에 관한 것이다.

상기와 같은 용기 반송 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2012-044033호 공보(특허 문헌 1)에 기재되어 있다. 특허 문헌 1의 용기 반송 설비에서는, 반송용 이동체가 이동하는 이동 경로의 가로 방향으로 용기를 보관하는 보관부를 구비하고, 불활성 기체 공급 장치는, 보관부에 보관되어 있는 용기에 불활성 기체를 공급한다. 이와 같이, 특허 문헌 1의 용기 반송 설비에서는, 불활성 기체 공급 장치를 구비함으로써, 보관부에 용기를 보관하고 있는 시간을 이용하여 용기의 내부에 불활성 기체를 공급할 수 있다.

설명을 추가하면, 반송용 이동체에는, 용기의 상부를 현수(懸垂) 지지하는 반송용 지지부와, 그 반송용 지지부를 승강시키는 승강 구동부가 구비되어 있다. 보관부에는, 용기의 바닥면부를 아래쪽으로부터 지지하는 보관용 지지부와, 이 보관용 지지부를 수평 방향을 따라 슬라이딩시키는 슬라이딩 구동부가 구비되어 있다.

또한, 보관용 지지부에는, 불활성 기체 공급 장치의 접속부가 지지되어 있고, 용기의 바닥면부에는, 피접속부가 구비되어 있다. 보관용 지지부에 의해 용기의 바닥면부를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서는, 불활성 기체 공급 장치의 접속부가 용기의 피접속부에 접속되어, 용기의 내부에 불활성 기체를 공급할 수 있도록 되어 있다.

그리고, 보관부의 가로 방향으로 설정된 이송탑재용 정지(停止) 위치에 반송용 이동체가 정지하고 있는 상태에 있어서, 보관부가, 슬라이딩 구동부에 의해 보관용 지지부를 돌출된 후, 반송용 이동체가, 승강 구동부에 의해 반송용 지지부를 승강시키고, 그 후, 보관부가, 슬라이딩 구동부에 의해 보관용 지지부를 퇴피시켜, 용기를 보관부에 보관하거나, 또는 용기를 보관부로부터 인출하도록 되어 있다.

일본 공개특허 제2012-044033호 공보

특허 문헌 1에 개시된 용기 반송 설비에서는, 반송용 이동체가, 반송용 지지부에 의해 용기를 위쪽으로부터 현수라고 지지하도록 구성되어 있지만, 반송용 이동체를, 반송용 지지부에 의해 용기의 바닥면부를 아래쪽으로부터 지지하도록 구성되어 있는 경우가 있다. 이와 같이, 반송용 지지부에 의해 용기의 바닥면부를 아래쪽으로부터 지지하는 경우에는, 용기의 바닥면부에 접속되어 있는 접속부와의 간섭을 회피하면서 바닥면부를 아래쪽으로부터 지지할 필요가 있으므로, 용기를 안정적으로 지지하기 어렵다.

그래서, 반송용 이동체가, 용기의 바닥면부를 아래쪽으로부터 안정적으로 지지할 수 있으면서, 보관부에 보관하고 있는 용기에 불활성 기체를 공급할 수 있는 용기 반송 설비가 요구된다.

전술한 문제를 해결하기 위하여 용기 반송 설비의 특징적 구성은, 이동 경로를 따라 이동하여 용기를 반송하는 반송용 이동체와, 상기 용기를 보관하는 보관부와, 상기 보관부에 보관되어 있는 상기 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치를 구비하고, 상기 용기는, 바닥면부에 피접속부를 구비하고, 상기 보관부는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 제1 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 지지부를 구비하고, 상기 불활성 기체 공급 장치는, 상기 용기가 상기 제1 지지부에 지지되어 있는 상태로 상기 용기의 상기 피접속부에 접속되는 접속부를 구비하고, 상기 접속부로부터 상기 피접속부를 통하여 상기 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 용기 반송 설비에 있어서,

상기 보관부는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 상기 제1 피지지부와는 상이한 부분에서 또한 상기 피접속부가 존재하지 않는 부분인 제2 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제2 지지부와, 상기 제2 지지부를 승강시키는 승강 구동부를 구비하고, 상기 승강 구동부에 의해 상기 제2 지지부가 승강함으로써 제1 상태와 제2 상태로 변경할 수 있도록 구성되며, 상기 제1 지지부에 의해 지지되는 상기 용기의 높이를 제1 높이로 하고, 상기 제1 높이보다 높은 높이에서 지지되어 있는 상기 용기의 높이를 제2 높이로 하고, 상기 제1 상태는, 상기 제1 높이의 상기 용기에서의 상기 제2 피지지부보다 아래쪽으로 상기 제2 지지부를 하강시켜, 상기 용기를 상기 제1 높이에서 상기 제1 지지부에 의해 지지 가능한 상태이며, 상기 제2 상태는, 상기 제1 높이의 상기 용기에서의 상기 제2 피지지부보다 위쪽으로 상기 제2 피지지부를 상승시켜, 상기 용기를 상기 제2 높이에서 상기 제2 지지부에 의해 지지 가능한 상태이며, 상기 불활성 기체 공급 장치는, 상기 보관부가 상기 제1 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 상기 제1 높이의 상기 용기의 상기 피접속부에 상기 접속부가 접속되고, 상기 보관부가 상기 제2 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 상기 제2 높이의 상기 용기의 상기 피접속부로부터 상기 접속부가 아래쪽으로 분리되어, 상기 용기의 상기 바닥면부와 상기 접속부와의 사이에 이송탑재용 공간이 형성되는 높이에, 상기 접속부를 구비하고, 상기 반송용 이동체는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 상기 제2 피지지부와는 상이한 부분인 제3 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제3 지지부와, 상기 보관부의 가로 방향으로 설정된 이송탑재용 정지 위치에 상기 반송용 이동체가 정지하고 있는 상태에 있어서 상기 반송용 이동체와 상기 보관부가 배열되는 배열 방향을 따라 상기 제3 지지부를 출퇴(出退)시키는 출퇴 구동부를 구비하고, 상기 제3 지지부는, 상기 출퇴 구동부에 의해 출퇴 이동할 때의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 상기 접속부와 중첩되고, 상기 반송용 이동체는, 상기 출퇴 구동부에 의해 상기 제3 지지부를 출퇴 이동시켜, 상기 제3 지지부를 상기 제2 상태의 상기 보관부에서의 상기 이송탑재용 공간으로 돌입(突入; penetrate)시켜, 상기 용기를 상기 제3 지지부에 의해 지지하는 상태로서 상기 용기를 상기 보관부로부터 인출하거나, 또는 상기 용기를 상기 제2 지지부에 의해 지지하는 상태로서 상기 용기를 상기 보관부에 보관하는 점에 있다.

이 특징적 구성에 의하면, 보관부에, 제1 지지부와 제2 지지부와 승강 구동부가 구비되어 있다. 제1 지지부는, 용기의 바닥면부에서의 제1 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하고, 제2 지지부는, 용기의 바닥면부에서의 제1 피지지부와는 상이한 위치를 아래쪽으로부터 지지하고 있다. 그러므로, 승강 구동부에 의해 제2 지지부를 승강시킴으로써, 보관부 상태를, 제1 지지부에 의해 제1 높이에서 용기를 지지 가능한 제1 상태와, 제2 지지부에 의해 제2 높이에서 용기를 지지 가능한 제2 상태로 변경할 수 있다.

그리고, 보관부를 제1 상태로 변경하고 있는 상태에서는, 용기의 피접속부에 불활성 기체 공급 장치의 접속부가 접속되어 있으므로, 용기의 내부에 불활성 기체를 공급할 수 있다. 또한, 보관부를 제2 상태로 변경하고 있는 상태에서는, 제2 지지부에 의해 지지하고 있는 용기와 불활성 기체 공급 장치의 접속부와의 사이에는, 이송탑재용 공간이 형성되어 있다. 따라서, 반송용 이동체의 제3 지지부가, 출퇴 구동부에 의해 출퇴 이동할 때의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 접속부와 중첩되는 경우라도, 제3 지지부를 이송탑재용 공간으로 돌입시키도록 출퇴 이동시킴으로써, 접속부와 간섭하지 않고, 제3 지지부를 출퇴 이동시킬 수 있다.

그러므로, 제3 지지부의 형상을 설정할 때, 제3 지지부를 출퇴 이동시켰을 때의 접속부와의 간섭을 고려하지 않고 평면에서 볼 때의 형상을 설정할 수 있다. 그러므로, 보관부의 제1 지지부에 불활성 기체 공급 장치의 접속부를 지지시키면서, 제3 지지부의 형상을, 용기를 안정적으로 지지할 수 있는 형상으로 형성하기 용이하다.

따라서, 반송용 이동체가, 용기의 바닥면부를 아래쪽으로부터 안정적으로 지지할 수 있으면서, 보관부에 보관하고 있는 용기에 불활성 기체를 공급할 수 있는 용기 반송 설비를 제공할 수 있기에 이르렀다.

도 1은, 용기 반송 설비의 정면도이며,
도 2는, 용기의 저면도이며,
도 3은, 보관부의 평면도이며,
도 4는, 제1 상태의 보관부를 나타낸 측면도이며,
도 5는, 제2 상태의 보관부를 나타낸 측면도이며,
도 6은, 용기 반송차(搬送車; transport vehicle)의 측면도이며,
도 7은, 제3 지지부의 평면도이며,
도 8은, 제3 지지부가 퇴피 위치에서 또한 지지 높이에 위치하는 상태를 나타낸 도면이며,
도 9는, 제3 지지부가 돌출 위치에서 또한 지지 높이에 위치하는 상태를 나타낸 도면이며,
도 10은, 제3 지지부가 돌출 위치에서 또한 퇴피 높이에 위치하는 상태를 나타낸 도면이며,
도 11은, 제3 지지부가 퇴피 위치에서 또한 퇴피 높이에 위치하는 상태를 나타낸 도면이다.

이하, 용기 반송 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 용기 반송 설비에는, 용기 반송차(1)와 주행 레일(2)과 보관부(3)와 질소 가스 공급 장치(4)가 구비되어 있다. 주행 레일(2)은, 주행 경로(이동 경로)를 따라 설치되어 있고, 천정에 매달려 지지되어 있다. 용기 반송차(1)는, 이동 경로를 따라 주행 레일(2) 상을 주행하여 용기(W)를 반송한다. 이 용기 반송차(1)는, 이동 경로를 따라 이동하여 용기(W)를 반송하는 반송용 이동체에 상당한다. 보관부(3)는, 천정에 현수 지지되어 있고, 1개의 용기(W)를 보관 가능하게 구성되어 있다. 질소 가스 공급 장치(4)는, 보관부(3)에 보관되어 있는 용기(W)의 내부에 불활성 기체로서 질소 가스를 공급한다. 이 질소 가스 공급 장치(4)는, 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치에 상당한다.

이하, 보관부(3)의 가로 방향으로 설정된 이송탑재용 정지 위치에 용기 반송차(1)가 정지하고 있는 상태에 있어서, 용기 반송차(1)와 보관부(3)가 배열되는 방향을 배열 방향 X라고 한다. 또한, 상하 방향에서 볼 때, 배열 방향 X에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향 Y라고 한다.

그리고, 보관부(3)의 가로 방향으로 설정된 이송탑재용 정지 위치에 용기 반송차(1)가 정지하고 있는 상태에 있어서, 배열 방향 X와 용기 반송차(1)에 대하여 보관부(3)가 존재하는 방향을 제1 방향 X1이라고 하고, 그 반대 방향을 제2 방향 X2라고 한다.

용기(W)는, 복수 개의 기판을 수용 가능하고 또한 기판의 출입구를 막는 커버(도시하지 않음)가 착탈 가능하게 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 기판을 반도체 웨이퍼로 하고, 그 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기로 하고 있다.

용기 반송차(1)는, 용기(W)를 보관부(3)에 반송하여 용기(W)를 보관부(3)에 보관하는 동시에 보관부(3)에 보관되어 있는 용기(W)를 보관부(3)로부터 인출하여 반송한다.

보관부(3)는, 용기 반송차(1)의 주행 경로(이동 경로)의 가로 방향으로 설치되어 있고, 폭 방향 Y를 따라 복수 설치되어 있다.

[용기]

도 2에 나타낸 바와 같이, 용기(W)에는, 전면부(9)에 형성된 기판 출입용의 기판 출입구를 폐쇄하는 착탈 가능한 커버체(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 용기(W)는, 전방이 제1 방향 X1을 향하고, 후방이 제2 방향 X2를 향하는 상태로, 보관부(3)에 보관된다. 그리고, 용기(W)의 설명에서의 폭 방향 Y 및 배열 방향 X는, 용기(W)가 보관부(3)에 보관되어 있는 상태에 기초하여 방향을 정하고 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 용기(W)의 바닥면부(10)에는, 위쪽으로 오목하게 들어간 3개의 홈형의 오목부(11)가 구비되어 있다. 이 3개의 오목부(11)는, 바닥면 기준 위치(P)를 중심으로 오목부(11)의 길이 방향이 방사형으로 되도록 형성되어 있다. 또한, 3개의 오목부(11)의 각각은, 위쪽으로 갈수록 가늘고 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있고, 오목부(11)의 내측면이 경사면에 형성되어 있다. 그리고, 3개의 오목부(11)는, 용기(W)에 구비된 피걸어맞춤부에 상당한다. 또한, 바닥면 기준 위치(P)보다 제1 방향 X1 측에 위치하는 2개의 오목부(11)가, 제2 피접속부(12b)보다도 제1 방향 X1 측에 구비되고, 또한 배열 방향 X에서 볼 때 제2 피접속부(12b)와 중복되는 부분을 가지는 오목부(11)에 상당한다.

용기(W)는, 바닥면부(10)에 4개의 피접속부(12)를 구비하고 있다. 용기(W)는, 피접속부(12)로서, 상하 방향에서 볼 때 용기(W)의 중심으로부터 제1 방향 X1 측(전방측)에 위치하는 한 쌍의 제1 피접속부(12a)와 상하 방향에서 볼 때 용기(W)의 중심으로부터 제2 방향 X2 측(후방측)에 위치하는 한 쌍의 제2 피접속부(12b)를 구비하고 있다.

한 쌍의 제1 피접속부(12a)는, 폭 방향 Y[용기(W)]의 좌우 방향]으로 나란히 배치되어 있고, 폭 방향 Y에서 볼 때 한 쌍의 제1 피접속부(12a)는 중첩되어 있다. 한 쌍의 제2 피접속부(12b)도, 한 쌍의 제1 피접속부(12a)와 마찬가지로, 폭 방향 Y[용기(W)]의 좌우 방향]으로 나란히 배치되어 있고, 폭 방향 Y에서 볼 때 한 쌍의 제2 피접속부(12b)는 중첩되어 있다.

한 쌍의 제2 피접속부(12b)의 설치 간격은, 한 쌍의 제1 피접속부(12a)의 설치 간격보다 좁고, 한 쌍의 제2 피접속부(12b)는, 폭 방향 Y에 있어서 한 쌍의 제1 피접속부(12a)의 사이에 설치되어 있다.

한 쌍의 제1 피접속부(12a) 중 한쪽은, 급기부(給氣部)(12i)이며, 한 쌍의 제1 피접속부(12a) 중 다른 쪽은, 배기부(12o)이다. 한 쌍의 제2 피접속부(12b)의 양쪽은, 급기부(12i)이다.

급기부(12i)는, 질소 가스 공급 장치(4)의 급기용 접속부(24i)로부터 토출된 불활성 기체를 용기(W)의 내부에 급기하기 위한 부분이며, 급기부(12i)에는, 급기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 배기부(12o)는, 용기(W)의 내부의 기체를 배기하기 위한 부분이며, 이 배기부(12o)에는, 배기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 즉, 용기(W)는, 기판 출입구를 커버체에 의해 닫고, 3개의 급기부(12i) 및 1개의 배기부(12o)를 개폐 밸브에 의해 폐쇄함으로써, 기밀성을 가지도록 구성되어 있다.

급기부(12i)의 급기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 폐쇄 상태로 가압되어 있고, 급기부(12i)에 질소 가스 공급 장치(4)의 급기용 접속부(24i)가 접속된 상태에서 그 급기용 접속부(24i)로부터 질소 가스가 분출되면, 그 분출된 질소 가스의 압력에 의해 급기용 개폐 밸브가 개방 조작되어, 질소 가스가 용기(W)의 내부에 공급된다.

또한, 배기부(12o)의 배기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 폐쇄 상태로 가압되어 있고, 질소 가스 공급 장치(4)에 의한 질소 가스의 공급에 의해 용기(W)의 내부의 압력이 높아지면 그 압력에 의해 배기용 개폐 밸브가 개방 조작되어, 용기(W)의 내부의 기체가 배기된다.

용기(W)의 바닥면부(10)에 있어서, 보관부(3)의 제1 지지부(17)에 의해 아래쪽으로부터 지지되는 부분을 제1 피지지부(13)로 하고 있다. 또한, 용기(W)의 바닥면부(10)에 있어서, 보관부(3)의 제2 지지부(18)에 의해 아래쪽으로부터 지지되는 부분을 제2 피지지부(14)로 하고 있다. 또한, 용기(W)의 바닥면부(10)에 있어서, 용기 반송차(1)의 제3 지지부(37)에 의해 아래쪽으로부터 지지되는 부분을 제3 피지지부(15)로 하고 있다.

제1 피지지부(13) 및 제3 피지지부(15)에 대하여, 오목부(11)를 그 길이 방향의 중심으로 2분할하고, 그 오목부(11)에서의 2분할한 2개의 부분 중 바닥면 기준 위치(P)에 가까운 부분을, 제3 피지지부(15)로 하고, 오목부(11)에서의 나머지의 부분을, 제1 피지지부(13)로 하고 있다. 또한, 용기(W)의 바닥면부(10)에 있어서, 한 쌍의 제1 피접속부(12a)에 대하여 폭 방향 Y에서 외측의 부분을, 제2 피지지부(14)로 하고 있다.

이와 같이, 용기(W)의 제2 피지지부(14)는, 용기(W)의 제1 피지지부(13)는 상이한 부분이면서 또한 피접속부(12)가 존재하지 않는 부분이다. 또한, 용기(W)의 제3 피지지부(15)는, 용기(W)의 제1 피지지부(13)나 제2 피지지부(14)는 상이한 부분이면서 또한 피접속부(12)가 존재하지 않는 부분이다.

[보관부]

도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 보관부(3)는, 제1 지지부(17)와 제2 지지부(18)와 베이스부(19)를 구비하고 있다.

제1 지지부(17) 및 베이스부(19)는, 천정에 접속된 지지 부재에 의해 천정으로부터 현수 지지되어 천정에 대하여 고정 상태로 설치되어 있다. 제1 지지부(17)는, 판형의 제1 기판(17a)과 이 제1 기판(17a)으로부터 위쪽으로 돌출하는 3개의 제1 걸어맞춤부(17b)를 구비하고 있다.

그리고, 제1 지지부(17)는, 3개의 제1 걸어맞춤부(17b)가 용기(W)에서의 3개의 오목부(11)에 걸어맞추어진 상태에서, 이들 3개의 제1 걸어맞춤부(17b)에 의해, 용기(W)의 제1 피지지부(13)를 아래쪽으로부터 지지한다. 이와 같이, 제1 지지부(17)는, 용기(W)의 바닥면부(10)에서의 제1 피지지부(13)를 아래쪽으로부터 지지한다.

제2 지지부(18)는, 상하 방향을 따라 이동 가능한 상태로 보관부(3)에 설치되어 있다. 제2 지지부(18)는, 배열 방향 X로 연장되는 한 쌍의 봉형(棒形)의 지지체(18a)에 의해 구성되어 있다. 한 쌍의 지지체(18a)는, 상하 방향에서 볼 때 제1 지지부(17)에 대하여 폭 방향 Y의 양측으로 나누어 설치되어 있다. 그리고, 제2 지지부(18)는, 한 쌍의 지지체(18a)에 의해, 용기(W)의 바닥면부(10)에서의 제2 피지지부(14)를 아래쪽으로부터 지지한다. 이와 같이, 제2 지지부(18)는, 용기(W)의 바닥면부(10)에서의 제2 피지지부(14)를 아래쪽으로부터 지지한다.

베이스부(19)는, 한 쌍의 지지체(18a)를 일체로 승강시켜 제2 지지부(18)를 승강시키는 승강 구동부로서의 승강 모터(19a)를 구비하고 있다. 승강 모터(19a)의 구동에 의해, 한 쌍의 지지체(18a)[제2 지지부(18)]를, 퇴피 높이(도 4에 나타낸 높이)와 이 퇴피 높이보다 높은 지지 높이(도 5에 나타낸 높이)로 승강시킨다. 이 승강 모터(19a)는, 제1 지지부(17)에 대하여 제1 방향 X1 측에 설치되어 있다.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 보관부(3)는, 승강 모터(19a)에 의해 제2 지지부(18)가 승강함으로써, 제1 상태(도 4에 나타낸 상태)와 제2 상태(도 5에 나타낸 상태)로 변경할 수 있도록 구성되어 있다.

다음에, 보관부(3)의 제1 상태와 제2 상태에 대하여 설명하지만, 제1 지지부(17)에 의해 지지되는 용기(W)의 높이를 제1 높이(도 4에 나타낸 높이)로 하고, 제1 높이보다 높은 높이에서 지지되어 있는 용기(W)의 높이를 제2 높이(도 5에 나타낸 높이)로 하여, 설명한다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 상태는, 제2 지지부(18)를 퇴피 높이로 하강시킨 상태이다. 이 제1 상태에서는, 제1 높이의 용기(W)에서의 제2 피지지부(14)보다 아래쪽에 제2 지지부(18)가 하강하고 있고, 제1 지지부(17)에 의해 용기(W)를 제1 높이에서 지지 가능한 상태로 되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 상태는, 제2 지지부(18)를 지지 높이로 상승시킨 상태이다. 이 제2 상태에서는, 제1 높이의 용기(W)에서의 제2 피지지부(14)보다 위쪽으로 제2 피지지부(14)가 상승하고 있고, 제2 지지부(18)에 의해 용기(W)를 제2 높이에서 지지 가능한 상태로 되어 있다.

설명을 추가하면, 제1 상태에서는, 제2 지지부(18)는 퇴피 높이에 위치하고 있고, 보관부(3)에 보관되어 있는 용기(W)는, 제1 지지부(17)에 의해 제1 높이에서 지지되어 있다. 또한, 제2 지지부(18)는, 용기(W)의 제2 피지지부(14)에 대하여 아래쪽으로 이격되어 있다.

이 상태로부터, 제2 지지부(18)를 상승시킴으로써, 제2 지지부(18)가 퇴피 높이로부터 지지 높이까지 상승하는 도중에, 제2 지지부(18)가 용기(W)의 제2 피지지부(14)에 접촉한다. 그리고, 제2 지지부(18)를 지지 높이까지 상승시켜 보관부(3)를 제2 상태로 변경시킴으로써, 제1 지지부(17)에 지지되어 있었던 용기(W)는 제2 지지부(18)에 의해 제2 높이에서 지지되고, 제1 지지부(17)는, 용기(W)의 제1 피지지부(13)에 대하여 아래쪽으로 이격된다.

또한, 제2 상태에서는, 제2 지지부(18)는 지지 높이에 위치하고 있고, 보관부(3)에 보관되어 있는 용기(W)는, 제2 지지부(18)에 의해 제2 높이에서 지지되어 있다. 또한, 제1 지지부(17)는, 용기(W)의 제1 피지지부(13)에 대하여 아래쪽으로 이격되어 있다.

이 상태로부터, 제2 지지부(18)를 하강시킴으로써, 제2 지지부(18)가 지지 높이로부터 퇴피 높이까지 하강하는 도중에, 제1 지지부(17)가 용기(W)의 제1 피지지부(13)에 접촉[제1 지지부(17)에서의 3개의 제1 걸어맞춤부(17b)가 용기(W)의 3개의 오목부(11)에 걸어맞춤]하여, 제2 지지부(18)에 지지되어 있었던 용기(W)는 제1 지지부(17)에 의해 제1 높이에서 지지된다. 그리고, 제2 지지부(18)를 퇴피 높이까지 하강시켜 보관부(3)를 제1 상태로 변경시킴으로써, 제2 지지부(18)는, 용기(W)의 제2 피지지부(14)에 대하여 아래쪽으로 이격된다.

또한, 제1 지지부(17)가 용기(W)의 제1 피지지부(13)에 접촉하여 용기(W)를 지지할 때, 제1 지지부(17)에서의 3개의 제1 걸어맞춤부(17b)가 용기(W)에서의 3개의 오목부(11)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어진다. 이와 같이, 제1 지지부(17)가 용기(W)에 걸어맞추어질 때, 제1 지지부(17)에 지지되는 용기(W)가 제1 지지부(17)의 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 제1 걸어맞춤부(17b)가 오목부(11)의 내측면에 안내되어 용기(W)가 수평 방향으로 이동하고, 용기(W)의 수평 방향에서의 위치가 제1 지지부(17)의 적정 지지 위치로 수정된다.

[질소 가스 공급 장치]

도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)는, 1개의 보관부(3)에 대하여 1개 설치되어 있고, 질소 가스 공급 장치(4)의 각각은, 3개의 급기용 접속부(24i)와, 1개의 배기용 접속부(24o)와, 3개의 급기용 접속부(24i)에 접속되어 있는 배관(23)을 구비하고 있다.

3개의 급기용 접속부(24i)는, 용기(W)가 제1 지지부(17)에 지지되어 있는 상태에서 용기(W)의 3개의 급기부(12i)에 접속되도록, 제1 지지부(17)에 지지되어 있다. 1개의 배기용 접속부(24o)는, 용기(W)가 제1 지지부(17)에 지지되어 있는 상태로 용기(W)의 하나의 배기부(12o)에 접속되도록, 제1 지지부(17)에 지지되어 있다.

이와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)에는, 1개의 보관부(3)에 대하여, 용기(W)가 제1 지지부(17)에 지지되어 있는 상태로 용기(W)의 피접속부(12)에 접속되는 접속부(24)가 4개[급기용 접속부(24i)가 3개와 배기용 접속부(24o)가 1개] 구비되어 있다. 그리고, 4개의 접속부(24) 중, 용기(W)의 제1 피접속부(12a)에 접속되는 2개의 접속부(24)를 제1 접속부(24a)라고 하고, 용기(W)의 제2 피접속부(12b)에 접속되는 2개의 접속부(24)를 제2 접속부(24b)라고 한다.

질소 가스 공급 장치(4)는, 공급원(도시하지 않음)으로부터의 질소 가스를 배관(23)의 내부를 통류(通流)시켜 질소 가스를 3개의 급기용 접속부(24i)에 공급하고, 그 공급한 질소 가스를 3개의 급기용 접속부(24i)로부터 3개의 급기부(12i)를 통하여 용기(W)의 내부에 공급한다. 이와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)는, 4개의 접속부(24)의 일부로부터 4개의 피접속부(12)의 일부를 통하여 용기(W)의 내부에 질소 가스를 공급한다.

질소 가스 공급 장치(4)의 접속부(24)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 보관부(3)가 제1 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 제1 높이의 용기(W)의 피접속부(12)에 접속되고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 보관부(3)가 제2 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 제2 높이의 용기(W)의 피접속부(12)로부터 접속부(24)가 아래쪽으로 분리되는 높이로 설치되어 있다.

보관부(3)가 제2 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 용기(W)의 바닥면부(10)와 질소 가스 공급 장치(4)의 접속부(24)와의 사이에, 이송탑재용 공간(S)이 형성된다.

보관부(3)에는, 제1 지지부(17)에 의해 지지되어 있는 용기(W)의 존부(存否)를 검출하는 존부 센서(25)가 구비되어 있다. 질소 가스 공급 장치(4)는, 존부 센서(25)의 검출 정보에 기초하여, 급기용 접속부(24i)로부터 질소 가스를 분출하는 상태와 분출하지 않는 상태로 전환하도록 구성되어 있다.

[용기 반송차]

도 6에 나타낸 바와 같이, 용기 반송차(1)는, 천정에 지지된 주행 레일(2) 상을 주행하는 주행부(31)와 주행 레일(2)의 아래쪽에 위치하도록 주행부(31)에 현수 지지된 본체부(32)를 구비하고 있다.

주행부(31)에는, 주행 레일(2)의 상면을 전동(轉動)하는 구동륜(34)과, 구동륜(34)을 회전 구동시키는 주행용 모터(35)가 구비되어 있다. 그리고, 주행부(31)는, 주행용 모터(35)에 의해 구동륜(34)을 회전 구동시킴으로써, 주행부(31)가 주행 경로(이동 경로)를 따라 주행하도록 구성되어 있다.

본체부(32)는, 용기(W)의 바닥면부(10)를 아래쪽으로부터 지지하는 제3 지지부(37)와 제3 지지부(37)를 승강 이동시키는 승강 조작 기구(機構)(38)와 승강 조작 기구(38) 및 제3 지지부(37)를 배열 방향 X로 이동시키는 출퇴 조작 기구(39)와 제3 지지부(37)에 의해 지지된 용기(W)의 상하 방향의 양측 및 폭 방향 Y의 양측을 덮는 커버체(40)를 구비하고 있다.

제3 지지부(37)는, 판형의 제3 베이스부(37a)와, 이 제3 베이스부(37a)로부터 위쪽으로 돌출하는 3개의 제3 걸어맞춤부(37b)를 구비하고 있다. 그리고, 제3 지지부(37)는, 3개의 제3 걸어맞춤부(37b)가 용기(W)에서의 3개의 오목부(11)에 걸어맞추어진 상태에서, 이들 3개의 제3 걸어맞춤부(37b)에 의해, 용기(W)의 제3 피지지부(15)를 아래쪽으로부터 지지한다. 이와 같이, 제3 지지부(37)는, 용기(W)의 바닥면부(10)에서의 제1 피지지부(13)이나 제2 피지지부(14)는 상이한 제3 피지지부(15)를 아래쪽으로부터 지지한다. 그리고, 제3 걸어맞춤부(37b)가, 제3 지지부(37)가 구비하고 있는 걸어맞춤부에 상당한다.

승강 조작 기구(38)는, 승강용 모터(도시하지 않음)의 구동에 의해 상하 방향으로 신축되는 승강용 링크 기구(38a)를 구비하고 있다. 승강용 링크 기구(38a)의 상단부에는, 제3 지지부(37)가 연결되고, 승강용 링크 기구(38a)의 하단부에는, 중계부(41)가 연결되어 있다.

승강 조작 기구(38)는, 승강용 모터에 의해 승강용 링크 기구(38a)를 상하 방향으로 신축함으로써, 제3 지지부(37)가, 상승 높이(도 8 및 도 9에 나타낸 높이)와 이 상승 높이보다 높이가 낮은 하강 높이(도 10 및 도 11에 나타낸 높이)로 승강한다.

출퇴 조작 기구(39)는, 신축용(伸縮用) 모터(도시하지 않음)의 구동에 의해 배열 방향 X로 신축되는 신축용 링크 기구(39a)를 구비하고 있다. 신축용 링크 기구(39a)의 선단부에, 중계부(41)가 연결되고, 신축용 링크 기구(39a)의 기단부(基端部)는, 커버체(40)에 연결되어 있다.

출퇴 조작 기구(39)는, 신축용 모터에 의해 신축용 링크 기구(39a)를 신축시킴으로써, 제3 지지부(37)를 배열 방향 X로 이동시켜, 제3 지지부(37)가 커버체(40)의 내부에 위치하는 퇴피 위치(도 8 및 도 11에 나타낸 위치)와, 제3 지지부(37)가 커버체(40)의 내부로부터 배열 방향 X의 한쪽 측(제1 방향 X1 측)으로 돌출하는 돌출 위치(도 9 및 도 10에 나타낸 위치)로 이동시킨다. 그리고, 출퇴 조작 기구(39)가, 배열 방향 X를 따라 제3 지지부(37)를 출퇴시키는 출퇴 구동부에 상당한다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 제3 지지부(37)는, 상하 방향에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있다. 제3 지지부(37)의 폭 방향 Y의 크기는, 한 쌍의 제1 피접속부(12a)에서의 폭 방향 Y의 간격보다 작고, 또한 한 쌍의 제2 피접속부(12b)에서의 폭 방향 Y의 간격보다 크다. 또한, 제3 지지부(37)는, 제3 걸어맞춤부(37b)에 의해 용기(W)의 바닥면부(10)에서의 한 쌍의 제1 피접속부(12a)의 사이의 부분을 지지하고, 또한 상하 방향에서 볼 때 제3 베이스부(37a)가 한 쌍의 제2 피접속부(12b)와 중첩되는 상태로, 용기(W)를 지지하도록 구성되어 있다.

제3 지지부(37)가 퇴피 위치에 위치하는 상태에서는, 제3 지지부(37)의 선단[제3 지지부(37)의 제1 방향 X1 측단]은, 보관부(3)의 제1 지지부(17)의 선단[제1 지지부(17)의 제2 방향 X2 측단]이나 제2 지지부(18)의 선단[제2 지지부(18)의 제2 방향 X2 측단]보다 제2 방향 X2 측에 위치하고 있다.

또한, 제3 지지부(37)가 돌출 위치에 위치하는 상태에서는, 제3 지지부(37)의 선단은, 보관부(3)의 제1 지지부(17)의 선단이나 제2 지지부(18)의 선단보다 제1 방향 X1 측에 위치하고 있고, 이 제3 지지부(37)의 선단은, 한 쌍의 제2 접속부(24b)는 물론, 한 쌍의 제1 접속부(24a)보다도 제1 방향 X1 측에 위치하고 있다.

제3 지지부(37)는, 돌출 위치에 위치하는 상태에 있어서, 적어도 한 쌍의 제2 접속부(24b)보다 제1 방향 X1 측에 위치하는 부분의 일부가, 한 쌍의 제2 접속부(24b)에서의 폭 방향 Y의 간격보다 크게 형성되어 있다. 그러므로, 제3 지지부(37)는, 출퇴 조작 기구(39)에 의해 출퇴 이동할 때의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 접속부(24)[제2 접속부(24b)]와 중첩된다.

용기 반송차(1) 및 보관부(3)의 각각에는, 제어부와 통신부가 구비되어 있다. 용기 반송차(1)의 제어부는, 용기 반송차(1)의 주행부(31)나 본체부(32)를 제어하고, 보관부(3)의 제어부는, 승강 모터(19a)를 제어한다. 또한, 용기 반송차(1)의 통신부와 보관부(3)의 통신부는, 서로 정보를 송수신 가능하게 구성되어 있다.

용기 반송 설비에 있어서, 용기 반송차(1)가 보관부(3)에 용기(W)를 보관하는 경우에 대하여 설명한다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 용기 반송차(1)는 용기(W)를 지지하고 있고, 용기(W)를 상승 높이로 지지하고 있다. 또한, 보관부(3)는, 용기(W)를 보관하고 있지 않고, 제2 상태로 되어 있다.

용기(W)를 지지하는 용기 반송차(1)를, 보관 대상의 보관부(3)에 대응하는 이송탑재용 정지 위치까지 주행시킨다. 그리고, 용기 반송차(1)를 이송탑재용 정지 위치에 정지시키고, 또한 보관부(3)가 제2 상태로 변경되어 있는 상태에서, 도 9에 나타낸 바와 같이, 제3 지지부(37)를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 돌출된 후, 도 10에 나타낸 바와 같이, 제3 지지부(37)를 상승 높이로부터 하강 높이로 하강시켜, 용기(W)를 제3 지지부(37) 상으로부터 제2 지지부(18) 상으로 이송탑재하고, 그 후, 도 11에 나타낸 바와 같이, 제3 지지부(37)를 돌출 위치로부터 퇴피 위치로 퇴피시킨다.

보관부(3)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 지지부(18)를 지지 높이로부터 퇴피 높이로 하강시켜, 제2 상태로부터 제1 상태로 변경하고, 용기(W)를 제2 지지부(18) 상으로부터 제1 지지부(17) 상에 이송탑재(移載; transfer)시킨다. 또한, 보관부(3)에서는, 제1 지지부(17) 상에 용기(W)가 존재하는 것이 존부 센서(25)에 의해 검출되면, 질소 가스 공급 장치(4)에 의한 질소 가스의 공급이 개시된다.

다음에, 용기 반송 설비에 있어서, 보관부(3)에 보관되어 있는 용기(W)를 용기 반송차(1)가 인출하는 경우에 대하여 설명한다.

도 11에 나타낸 바와 같이, 용기(W)를 지지하지 않는 용기 반송차(1)를, 인출 대상의 보관부(3)에 대응하는 이송탑재용 정지 위치까지 주행시킨다. 또한, 제2 지지부(18)를 퇴피 높이로부터 지지 높이로 상승시켜, 보관부(3)를 제1 상태로부터 제2 상태로 변경하고, 용기(W)를 제1 지지부(17) 상으로부터 제2 지지부(18) 상으로 이송탑재시킨다. 또한, 보관부(3)에서는, 제1 지지부(17) 상에 용기(W)가 존재하는 것이 존부 센서(25)에 의해 검출되지 않게 되면 질소 가스 공급 장치(4)에 의한 질소 가스의 공급이 정지된다.

그리고, 용기 반송차(1)를 이송탑재용 정지 위치에 정지시키고, 또한 보관부(3)가 제2 상태로 변경되어 있는 상태에서, 도 10에 나타낸 바와 같이, 제3 지지부(37)를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 돌출된 후, 도 9에 나타낸 바와 같이, 제3 지지부(37)를 하강 높이로부터 상승 높이로 상승시켜, 용기(W)를 제2 지지부(18) 상으로부터 제3 지지부(37) 상에 이송탑재하고, 그 후, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제3 지지부(37)를 돌출 위치로부터 퇴피 위치로 퇴피시킨다.

이와 같이, 용기 반송차(1)는, 신축용 모터에 의해 제3 지지부(37)를 출퇴 이동시켜, 제3 지지부(37)를 제2 상태의 보관부(3)에서의 이송탑재용 공간(S)에 돌입시켜, 용기(W)를 제3 지지부(37)에 의해 지지하는 상태로서 용기(W)를 보관부(3)로부터 인출하고, 또한 용기(W)를 제2 지지부(18)에 의해 지지하는 상태로서 용기(W)를 보관부(3)에 보관한다.

그리고, 보관부(3)를 제1 상태로 변경하고 있는 상태에서는, 용기(W)의 피접속부(12)에 질소 가스 공급 장치(4)의 접속부(24)가 접속되므로, 용기(W)의 내부에 질소 가스를 공급할 수 있다. 또한, 보관부(3)를 제2 상태로 변경하고 있는 상태에서는, 용기(W)와 접속부(24)와의 사이에는 이송탑재용 공간(S)이 형성되므로, 그 이송탑재용 공간(S)에 제3 지지부(37)를 돌입시키도록 제3 지지부(37)를 출퇴 이동시킴으로써, 용기(W)를 보관부(3)로부터 인출하는 것, 및 용기(W)를 보관부(3)에 보관할 수 있다.

[다른 실시형태]

(1) 상기 실시형태에서는, 제3 지지부(37)를, 상하 방향에서 볼 때 직사각형으로 형성하였으나, 제3 지지부(37)의 형상으로서는, 출퇴 구동부에 의해 출퇴 이동할 때의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 접속부(24)와 중첩되는 형상이면 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 돌출 위치에 위치하는 상태에 있어서, 제2 접속부(24b)보다 선단측의 부분을 한 쌍의 제2 접속부(24b)에서의 폭 방향 Y의 간격보다 광폭(廣幅)으로 형성하고, 제2 접속부(24b)와 배열 방향 X와 같은 부분이나 제2 접속부(24b)보다 기단측(基端側)의 부분을 한 쌍의 제2 접속부(24b)에서의 폭 방향 Y의 간격보다 협폭(狹幅)으로 형성하여, 제3 지지부(37)를, 상하 방향에서 볼 때 T자형으로 형성해도 된다.

(2) 상기 실시형태에서는, 접속부(24)를 4개 구비하였지만, 접속부(24)의 수는 적절히 변경해도 되고, 접속부(24)를 3개 이하 구비해도 되고, 또한 접속부(24)를 5개 이상 구비해도 된다.

구체적으로는, 접속부(24)로서, 한 쌍의 제2 접속부(24b)만을 구비해도 된다. 또한, 접속부(24)로서, 3개의 급기용 접속부(24i)만을 구비해도 된다.

(3) 상기 실시형태에서는, 승강 구동부[승강 모터(19a)]를, 제1 지지부(17)에 대하여 제1 방향 X1 측에 설치했지만, 승강 구동부를, 제1 지지부(17)에 대하여 폭 방향 Y로 배열하여 설치해도 된다.

(4) 상기 실시형태에서는, 제1 지지부(17)와 제3 지지부(37)와 용기(W)의 바닥면부(10)에서의 상이한 부분을 아래쪽으로부터 지지하였으나, 제1 지지부(17)와 제3 지지부(37)와 용기(W)의 바닥면부(10)에서의 같은 부분을 아래쪽으로부터 지지하도록 해도 된다. 또한, 제3 지지부(37)에 의해, 용기(W)의 바닥면부(10)에서의 피접속부(12)를 아래쪽으로부터 지지하도록 해도 된다.

(5) 상기 실시형태에서는, 반송용 이동체[용기 반송차(1)]에 의해, 용기(W)를 보관부(3)로부터 인출하는 것과 용기(W)를 보관부(3)에 보관하는 것과의 양쪽을 행하였으나, 반송용 이동체에 의해, 용기(W)를 보관부(3)로부터 인출하는 것과 용기(W)를 보관부(3)에 보관하는 것 중 어느 한쪽만을 행해도 된다.

(6) 상기 실시형태에서는, 용기(W)를, 반도체 기판을 수용하는 FOUP로 하였으나, 용기의 형상이나 용기에 수용하는 수용물은 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 용기를 컨테이너로 하고, 수용물을 식품으로 해도 된다. 또한, 불활성 기체로서는, 질소 가스 외에 아르곤 가스 등이라도 된다.

(7) 상기 실시형태에서는, 반송용 이동체를, 주행 레일(2) 상을 주행하는 주행부(31)와 주행 레일(2)의 아래쪽에서 용기(W)를 지지하는 본체부(32)를 구비한 용기 반송차(1)(천정 반송차)로 하였으나, 반송용 이동체는, 주행 레일 상을 주행하고 또한 주행 레일의 상방에서 용기를 지지하는 용기 반송차라도 되고, 또한 스태커 크레인(stacker crane)이라도 된다.

[상기 실시형태의 개요]

이하, 상기에 있어서 설명한 용기 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.

용기 반송 설비는, 이동 경로를 따라 이동하여 용기를 반송하는 반송용 이동체와, 상기 용기를 보관하는 보관부와, 상기 보관부에 보관되어 있는 상기 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치를 구비하고, 상기 용기는, 바닥면부에 피접속부를 구비하고, 상기 보관부는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 제1 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 지지부를 구비하고, 상기 불활성 기체 공급 장치는, 상기 용기가 상기 제1 지지부에 지지되어 있는 상태로 상기 용기의 상기 피접속부에 접속되는 접속부를 구비하고, 상기 접속부로부터 상기 피접속부를 통하여 상기 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하고,

상기 보관부는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 상기 제1 피지지부와는 상이한 부분에서 또한 상기 피접속부가 존재하지 않는 부분인 제2 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제2 지지부와, 상기 제2 지지부를 승강시키는 승강 구동부를 구비하고, 상기 승강 구동부에 의해 상기 제2 지지부가 승강함으로써 제1 상태와 제2 상태로 변경할 수 있도록 구성되며, 상기 제1 지지부에 의해 지지되는 상기 용기의 높이를 제1 높이로 하고, 상기 제1 높이보다 높은 높이에서 지지되어 있는 상기 용기의 높이를 제2 높이로 하고, 상기 제1 상태는, 상기 제1 높이의 상기 용기에서의 상기 제2 피지지부보다 아래쪽으로 상기 제2 지지부를 하강시켜, 상기 용기를 상기 제1 높이에서 상기 제1 지지부에 의해 지지 가능한 상태이며, 상기 제2 상태는, 상기 제1 높이의 상기 용기에서의 상기 제2 피지지부보다 위쪽으로 상기 제2 피지지부를 상승시켜, 상기 용기를 상기 제2 높이에서 상기 제2 지지부에 의해 지지 가능한 상태이며, 상기 불활성 기체 공급 장치는, 상기 보관부가 상기 제1 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 상기 제1 높이의 상기 용기의 상기 피접속부에 상기 접속부가 접속되고, 상기 보관부가 상기 제2 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 상기 제2 높이의 상기 용기의 상기 피접속부로부터 상기 접속부가 아래쪽으로 분리되어, 상기 용기의 상기 바닥면부와 상기 접속부와의 사이에 이송탑재용 공간이 형성되는 높이에, 상기 접속부를 구비하고, 상기 반송용 이동체는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 상기 제2 피지지부와는 상이한 부분인 제3 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제3 지지부와, 상기 보관부의 가로 방향으로 설정된 이송탑재용 정지 위치에 상기 반송용 이동체가 정지하고 있는 상태에 있어서 상기 반송용 이동체와 상기 보관부가 배열되는 배열 방향을 따라 상기 제3 지지부를 출퇴시키는 출퇴 구동부를 구비하고, 상기 제3 지지부는, 상기 출퇴 구동부에 의해 출퇴 이동할 때의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 상기 접속부와 중첩되고, 상기 반송용 이동체는, 상기 출퇴 구동부에 의해 상기 제3 지지부를 출퇴 이동시켜, 상기 제3 지지부를 상기 제2 상태의 상기 보관부에서의 상기 이송탑재용 공간으로 돌입시켜, 상기 용기를 상기 제3 지지부에 의해 지지하는 상태로서 상기 용기를 상기 보관부로부터 인출하거나, 또는 상기 용기를 상기 제2 지지부에 의해 지지하는 상태로서 상기 용기를 상기 보관부에 보관하는 점에 있다.

그러므로, 제3 지지부의 형상을 설정할 때, 제3 지지부를 출퇴 이동시켰을 때의 접속부와의 간섭을 고려하지 않고 평면에서 볼 때의 형상을 설정할 수 있다. 그러므로, 보관부의 제1 지지부에 불활성 기체 공급 장치의 접속부를 지지시키면서, 제3 지지부의 형상을, 용기를 안정적으로 지지할 수 있는 형상으로 형성하기 쉽다.

여기서, 상기 배열 방향에서 상기 반송용 이동체에 대하여 상기 보관부가 존재하는 방향을 제1 방향으로 하여, 상기 제3 지지부는, 걸어맞춤부를 구비하고, 상기 용기는, 상기 걸어맞춤부가 상하 방향으로 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부를, 상기 바닥면부에서의 상기 피접속부보다도 상기 제1 방향 측에 구비하고, 상기 피걸어맞춤부는, 상기 배열 방향에서 볼 때 상기 피접속부와 중복되는 부분을 가지고 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 피걸어맞춤부는, 피접속부보다 제1 방향 측에 위치하도록 구비되어 있고, 이 피걸어맞춤부는, 배열 방향에서 볼 때 피접속부와 중복되는 부분을 가지고 있다. 피접속부와 피걸어맞춤부가 이와 같은 위치 관계의 경우에는, 제3 지지부가 출퇴 이동할 때의 제3 지지부에서의 걸어맞춤부의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 접속부와 중첩되게 된다. 그러나, 보관부를 제2 상태로 변경하여 용기를 보관부에 보관시키거나 또는 용기를 보관부로부터 인출함으로써, 제3 지지부가 접속부에 간섭하지 않고 용기를 보관시키거나 또는 용기를 인출할 수 있다.

또한, 상하 방향에서 볼 때 상기 배열 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로서, 상기 용기는, 상기 폭 방향으로 배열되는 상태로 적어도 한 쌍의 상기 피접속부를 구비하고, 상기 제3 지지부의 상기 폭 방향의 크기가, 한 쌍의 상기 피접속부에서의 상기 폭 방향의 간격보다 큰 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제3 지지부는, 그 폭 방향의 크기가 한 쌍의 피접속부에서의 폭 방향의 간격보다 크게 형성되어 있으므로, 폭 방향으로 넓은 간격으로 용기를 지지할 수 있으므로, 제3 지지부에 의해 용기를 안정적으로 지지하기 쉽다.

이와 같이, 제3 지지부를 폭 방향으로 광폭으로 형성한 경우에서는, 제3 지지부의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 한 쌍의 접속부 중 적어도 한쪽과 중복되지만, 보관부를 제2 상태로 변경하여 용기의 보관 또는 인출을 행함으로써, 제3 지지부가 접속부에 간섭하지 않고 용기의 보관 또는 인출을 행할 수 있다.

또한, 상기 배열 방향에서 상기 반송용 이동체에 대하여 상기 보관부가 존재하는 방향을 제1 방향이라고 하고, 상기 제1 방향과는 반대 방향을 제2 방향이라고 하고, 상하 방향에서 볼 때 상기 배열 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 상기 용기는, 상기 피접속부로서, 상하 방향에서 볼 때 상기 용기의 중심으로부터 상기 제1 방향 측에 위치하는 한 쌍의 제1 피접속부와 상하 방향에서 볼 때 상기 용기의 중심으로부터 상기 제2 방향 측에 구비된 한 쌍의 제2 피접속부를 구비하고, 상기 한 쌍의 제1 피접속부는, 상기 폭 방향으로 나란히 배치되고, 상기 한 쌍의 제2 피접속부는, 상기 폭 방향에 있어서 상기 한 쌍의 제1 피접속부의 사이에 배치되고, 상기 제3 지지부는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 상기 한 쌍의 제1 피접속부의 사이의 부분을 지지하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 한 쌍의 제2 피접속부는, 한 쌍의 제1 피지지부에 비하여, 폭 방향으로 좁은 간격으로 설치되어 있다. 그리고, 이송탑재용 정지 위치는, 보관부에 대하여 제2 방향 측으로 설정되어 있고, 반송용 이동체는, 제2 방향 측으로부터, 바닥면부에서의 한 쌍의 제1 피접속부의 사이의 부분을 제3 지지부에 의해 지지되어 있는 용기를 보관부에 보관하거나, 또는 한 쌍의 제1 피접속부의 사이의 부분을 제3 지지부에 의해 지지하도록, 용기를 보관부로부터 인출하게 된다. 이 때, 용기의 중심으로부터 제2 방향 측에 구비되고, 또한 폭 방향으로 좁은 한 쌍의 제2 피접속부가 방해가 되기 쉽다. 그래서, 보관부를 제2 상태로 변경하여 용기를 보관부에 보관하거나 또는 용기를 보관부로부터 인출함으로써, 제3 지지부가 한 쌍의 제2 접속부에 간섭하지 않고 용기의 보관 또는 인출을 행할 수 있다.

또한, 상기 배열 방향에서 상기 반송용 이동체에 대하여 상기 보관부가 존재하는 방향을 제1 방향으로 하여, 상기 승강 구동부는, 상기 제1 지지부에 대하여 상기 제1 방향 측에 설치되어 되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 승강 구동부와 제1 지지부를 배열 방향으로 배열하여 설치함으로써, 승강 구동부와 제1 지지부를 이동 경로가 연장되는 방향으로 배열하여 설치하는 경우와 비교하여, 보관부를, 이동 경로가 연장되는 방향으로 컴팩트하게 구성하기 쉽다. 그러므로, 보관부를, 이동 경로를 따라 복수 배열하여 설치하기 쉽다.

1: 용기 반송차(반송용 이동체)
3: 보관부
4: 질소 가스 공급 장치(불활성 기체 공급 장치)
10: 바닥면부
11: 오목부(피걸어맞춤부)
12: 피접속부
12a: 제1 피접속부
12b: 제2 피접속부
13: 제1 피지지부
14: 제2 피지지부
15: 제3 피지지부
17: 제1 지지부
18: 제2 지지부
19a: 승강 모터(승강 구동부)
24: 접속부
37: 제3 지지부
37b: 제3 걸어맞춤부(걸어맞춤부)
39: 출퇴 조작 기구(출퇴 구동부)
S: 이송탑재용 공간
W: 용기
X: 배열 방향
X1: 제1 방향
X2: 제2 방향
Y: 폭 방향

Claims

이동 경로를 따라 이동하여 용기를 반송(transport)하는 반송용 이동체;
상기 용기를 보관하는 보관부; 및
상기 보관부에 보관되어 있는 상기 용기의 내부에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급 장치;
를 포함하고,
상기 용기는, 바닥면부에 피(被)접속부를 구비하고,
상기 보관부는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 제1 피(被)지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 지지부를 구비하고,
상기 불활성 기체 공급 장치는, 상기 용기가 상기 제1 지지부에 지지되어 있는 상태로 상기 용기의 상기 피접속부에 접속되는 접속부를 구비하고, 상기 접속부로부터 상기 피접속부를 통하여 상기 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하고,
상기 보관부는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 상기 제1 피지지부와는 상이한 부분에서 또한 상기 피접속부가 존재하지 않는 부분인 제2 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제2 지지부와, 상기 제2 지지부를 승강시키는 승강 구동부를 구비하고, 상기 승강 구동부에 의해 상기 제2 지지부가 승강함으로써 제1 상태와 제2 상태로 변경할 수 있도록 구성되며,
상기 제1 지지부에 의해 지지되는 상기 용기의 높이를 제1 높이로 하고, 상기 제1 높이보다 높은 높이에서 지지되어 있는 상기 용기의 높이를 제2 높이로 하고,
상기 제1 상태는, 상기 제1 높이의 상기 용기에서의 상기 제2 피지지부보다 아래쪽으로 상기 제2 지지부를 하강시켜, 상기 용기를 상기 제1 높이에서 상기 제1 지지부에 의해 지지 가능한 상태이며,
상기 제2 상태는, 상기 제1 높이의 상기 용기에서의 상기 제2 피지지부보다 위쪽으로 상기 제2 피지지부를 상승시켜, 상기 용기를 상기 제2 높이에서 상기 제2 지지부에 의해 지지 가능한 상태이며,
상기 불활성 기체 공급 장치는, 상기 보관부가 상기 제1 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 상기 제1 높이의 상기 용기의 상기 피접속부에 상기 접속부가 접속되고, 상기 보관부가 상기 제2 상태로 변경되어 있는 상태에서는, 상기 제2 높이의 상기 용기의 상기 피접속부로부터 상기 접속부가 아래쪽으로 분리되어, 상기 용기의 상기 바닥면부와 상기 접속부와의 사이에 이송탑재용 공간이 형성되는 높이에, 상기 접속부를 구비하고,
상기 반송용 이동체는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 상기 제2 피지지부와는 상이한 부분인 제3 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 제3 지지부와, 상기 보관부의 가로 방향으로 설정된 이송탑재용 정지(停止) 위치에 상기 반송용 이동체가 정지하고 있는 상태에 있어서 상기 반송용 이동체와 상기 보관부가 배열되는 배열 방향을 따라 상기 제3 지지부를 출퇴(出退)시키는 출퇴 구동부를 구비하고,
상기 제3 지지부는, 상기 출퇴 구동부에 의해 출퇴 이동할 때의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 상기 접속부와 중첩되고,
상기 반송용 이동체는, 상기 출퇴 구동부에 의해 상기 제3 지지부를 출퇴 이동시켜, 상기 제3 지지부를 상기 제2 상태의 상기 보관부에서의 상기 이송탑재용 공간으로 돌입(突入)시켜, 상기 용기를 상기 제3 지지부에 의해 지지하는 상태로서 상기 용기를 상기 보관부로부터 인출하거나, 또는 상기 용기를 상기 제2 지지부에 의해 지지하는 상태로서 상기 용기를 상기 보관부에 보관하는,
용기 반송 설비.
제1항에 있어서,
상기 배열 방향에서 상기 반송용 이동체에 대하여 상기 보관부가 존재하는 방향을 제1 방향이라고 하고,
상기 제3 지지부는, 걸어맞춤부를 구비하고,
상기 용기는, 상기 걸어맞춤부가 상하 방향으로 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부를, 상기 바닥면부에서의 상기 피접속부보다도 상기 제1 방향 측에 구비하고,
상기 피걸어맞춤부는, 상기 배열 방향에서 볼 때 상기 피접속부와 중복되는 부분을 가지고 있는, 용기 반송 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상하 방향에서 볼 때 상기 배열 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향이라고 하고,
상기 용기는, 상기 폭 방향으로 배열되는 상태로 적어도 한 쌍의 상기 피접속부를 구비하고,
상기 제3 지지부의 상기 폭 방향의 크기가, 한 쌍의 상기 피접속부에서의 상기 폭 방향의 간격보다 큰, 용기 반송 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 배열 방향에서 상기 반송용 이동체에 대하여 상기 보관부가 존재하는 방향을 제1 방향이라고 하고, 상기 제1 방향과는 반대 방향을 제2 방향이라고 하고, 상하 방향에서 볼 때 상기 배열 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향이라고 하고,
상기 용기는, 상기 피접속부로서, 상하 방향에서 볼 때 상기 용기의 중심으로부터 상기 제1 방향 측에 위치하는 한 쌍의 제1 피접속부와 상하 방향에서 볼 때 상기 용기의 중심으로부터 상기 제2 방향 측에 구비된 한 쌍의 제2 피접속부를 구비하고,
상기 한 쌍의 제1 피접속부는, 상기 폭 방향으로 나란히 배치되고,
상기 한 쌍의 제2 피접속부는, 상기 폭 방향에 있어서 상기 한 쌍의 제1 피접속부의 사이에 배치되고,
상기 제3 지지부는, 상기 용기의 상기 바닥면부에서의 상기 한 쌍의 제1 피접속부의 사이의 부분을 지지하는, 용기 반송 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 배열 방향에서 상기 반송용 이동체에 대하여 상기 보관부가 존재하는 방향을 제1 방향이라고 하고,
상기 승강 구동부는, 상기 제1 지지부에 대하여 상기 제1 방향 측에 설치되어 있는, 용기 반송 설비.