TWI702679B - 容器搬送設備 - Google Patents

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Abstract

保管部具備支撐容器的第1支撐部及第2支撐部，且構成為可藉由第2支撐部的升降而變更為第1狀態及第2狀態。惰性氣體供給裝置在以下的高度上具備連接部：在保管部為第1狀態時，連接部連接到容器上，在保管部為第2狀態時，連接部是從容器向下方分離之高度。搬送用移動體具備支撐容器的第3支撐部，以及使第3支撐部進退的進退驅動部，第3支撐部是藉由進退驅動部而在進退移動時伸入至移載用空間中，且該第3支撐部的移動軌跡從上下方向來看是與連接部重疊。

Description

容器搬送設備
發明領域 本發明是關於一種容器搬送設備，具備：搬送用移動體，沿著移動路徑移動以搬送容器；保管部，保管容器；惰性氣體供給裝置，將惰性氣體供給到保管在保管部內的容器的內部；其中，容器在底面部上具備有被連接部；保管部具備第1支撐部，從下方支撐容器之底面部的第1被支撐部；惰性氣體供給裝置具備連接部，在容器被第1支撐部支撐的狀態下，連接於容器的被連接部，且惰性氣體供給裝置從連接部經由被連接部將惰性氣體供給到容器的內部。
發明背景 如上述之容器搬送設備的一例已記載於日本專利特開2012-044033號公報(專利文獻1)中。在專利文獻1的容器搬送設備中，具備有保管部，是在搬送用移動體移動的移動路徑之橫側邊上保管容器，而惰性氣體供給裝置是將惰性氣體供給到保管在保管部內的容器。如此，在專利文獻1的容器搬送設備中，由於具備有惰性氣體供給裝置，因此可以利用保管部保管容器的時間，將惰性氣體供給至容器的內部。
進一步說明，搬送用移動體具備有：將容器的上部予以懸吊支撐之搬送用支撐部，以及使該搬送用支撐部升降的升降驅動部。保管部具備有：保管用支撐部，從下方支撐容器的底面部；滑動驅動部，使此保管用支撐部沿著水平方向滑動移動。 又，保管用支撐部上支撐有惰性氣體供給裝置的連接部，而容器的底面部具備有被連接部。藉由在保管用支撐部從下方支撐容器的底面部之狀態下，惰性氣體供給裝置的連接部是連接到容器的被連接部上，而可以將惰性氣體供給到容器的內部。 並且，在搬送用移動體停止在設定於保管部的橫側邊之移載用停止位置的狀態下，保管部藉由滑動驅動部使保管用支撐部凸出後，搬送用移動體藉由升降驅動部使搬送用支撐部升降，之後，保管部藉由滑動驅動部使保管用支撐部後退，而將容器保管在保管部中，或者，從保管部中取出容器。
發明概要 課題、用以解決課題之手段 在專利文獻1所揭示的容器搬送設備中，搬送用移動體是構成為藉由搬送用支撐部而從上方懸吊支撐容器，但搬送用移動體也有構成以下內容的情況：藉由搬送用支撐部而從下方支撐容器的底面部。如此，在藉由搬送用支撐部而從下方支撐容器的底面部之情況下，由於必須一邊避免與連接於容器底面部的連接部之干涉，一邊從下方支撐底面部，因此難以穩定地支撐容器。
因此，期望有一種容器搬送設備，搬送用移動體可以穩定地從下方支撐容器的底面部之同時，可以將惰性氣體供給到保管部所保管的容器中。
有鑑於上述內容之容器搬送設備的特徵構成在於，具備：搬送用移動體，沿著移動路徑移動以搬送容器；保管部，保管前述容器；惰性氣體供給裝置，將惰性氣體供給到前述保管部所保管的前述容器之內部；前述容器在底面部上具備有被連接部；前述保管部具備第1支撐部，該第1支撐部從下方支撐前述容器之前述底面部的第1被支撐部；前述惰性氣體供給裝置具備連接部，該連接部在前述容器被前述第1支撐部支撐的狀態下，連接於前述容器的前述被連接部，且前述惰性氣體供給裝置將惰性氣體從前述連接部經由前述被連接部供給到前述容器的內部；其中，
前述保管部具備：第2支撐部，從下方支撐第2被支撐部，前述第2被支撐部是前述容器的前述底面部中與前述第1被支撐部不同的部分，且是前述被連接部不存在的部分；升降驅動部，使前述第2支撐部升降；前述保管部構成為可藉由前述第2支撐部因前述升降驅動部而升降，而變更為第1狀態及第2狀態；將前述第1支撐部所支撐的前述容器之高度設為第1高度，將被支撐於比前述第1高度還 高的高度時的前述容器之高度設為第2高度，前述第1狀態是以下狀態：使前述第2支撐部下降到比前述第1高度之前述容器的前述第2被支撐部更下方，而可藉由前述第1支撐部將前述容器支撐於前述第1高度的狀態；前述第2狀態是以下狀態：使前述第2被支撐部上升到比前述第1高度之前述容器的前述第2被支撐部更上方，而可藉由前述第2支撐部將前述容器支撐於前述第2高度的狀態；前述惰性氣體供給裝置在下述高度具備前述連接部，前述高度是：在前述保管部變更為前述第1狀態的狀態下，前述連接部是連接到前述第1高度的前述容器之前述被連接部，在前述保管部變更為前述第2狀態的狀態下，前述連接部是從前述第2高度的前述容器之前述被連接部向下方分離，在前述容器的前述底面部與前述連接部之間形成移載用空間；前述搬送用移動體具備：第3支撐部，從下方支撐第3被支撐部，前述第3被支撐部是前述容器之前述底面部中與前述第2被支撐部不同的部分；進退驅動部，在前述搬送用移動體停止在設定於前述保管部的橫側邊之移載用停止位置的狀態下，是沿著前述搬送用移動體與前述保管部並列之並列方向，使前述第3支撐部進退；前述第3支撐部藉由前述進退驅動部而進退移動時的移動軌跡，從上下方向來看是與前述連接部重疊；前述搬送用移動體藉由前述進退驅動部使前述第3支撐部進退移動，而使前述第3支撐部伸入至前述第2狀態之前述保管部中的前述移載用空間，以借助前述第3支撐部支撐前述容器的狀態，從前述保管部中 取出前述容器，或者，以借助前述第2支撐部支撐前述容器的狀態，將前述容器保管至前述保管部中。
根據此特徵構成，保管部具備有第1支撐部、第2支撐部及升降驅動部。第1支撐部是從下方支撐容器的底面部之第1被支撐部，而第2支撐部是從下方支撐容器的底面部中與第1被支撐部不同的位置。因此，藉由升降驅動部使第2支撐部升降，即可將保管部的狀態變更為第1狀態或第2狀態，第1狀態是可藉由第1支撐部將容器支撐於第1高度的狀態；第2狀態是可藉由第2支撐部將容器支撐於第2高度的狀態。
並且，在將保管部變更為第1狀態的狀態下，由於容器的被連接部上連接有惰性氣體供給裝置的連接部，因此可以對容器的內部供給惰性氣體。又，在將保管部變更為第2狀態的狀態下，由第2支撐部支撐的容器與惰性氣體供給裝置的連接部之間，形成有移載用空間。因此，即便在搬送用移動體的第3支撐部，藉由進退驅動部而進退移動時的移動軌跡，從上下方向來看是與連接部重疊的情況下，藉由使第3支撐部進退移動而使伸入至移載用空間內，仍可以在不與連接部干涉的情況下，使第3支撐部進退移動。
因此，在設定第3支撐部的形狀時，可以不須考慮使第3支撐部進退移動時與連接部的干涉，而設定平面形狀。因此，可以在使保管部的第1支撐部支撐惰性氣體供給裝置之連接部的同時，輕易地使第3支撐部的形狀形成 為可穩定地支撐容器的形狀。
藉此，即可以提供一種容器搬送設備，其中搬送用移動體可從下方穩定地支撐容器的底面部之同時，可以將惰性氣體供給到保管部所保管的容器中。
用以實施發明之形態
以下，根據圖式來說明容器搬送設備之實施形態。
如圖1所示，容器搬送設備中具備有容器搬送車1、行走軌道2、保管部3及氮氣供給裝置4。行走軌道2是沿著行走路徑(移動路徑)設置，且被懸吊支撐於天花板。容器搬送車1是沿著移動路徑在行走軌道2上行走而搬送容器W。此容器搬送車1相當於沿著移動路徑移動以搬送容器W的搬送用移動體。保管部3是懸吊支撐於天花板，且構成為可保管1個容器W。氮氣供給裝置4是對保管部3所保管的容器W內部供給氮氣，以作為惰性氣體。此氮氣供給裝置4相當於供給惰性氣體的惰性氣體供給裝置。
以下，在將容器搬送車1停止在設定於保管部3的橫側邊之移載用停止位置時的狀態下，容器搬送車1與保管部3並列的方向，稱為並列方向X。又，將從上下方向來看與並列方向X垂直的方向稱為寬度方向Y。 並且，在將容器搬送車1停止在設定於保管部3的橫側邊之移載用停止位置時的狀態下，保管部3在並列方向X上相對於容器搬送車1而存在的方向，稱為第1方向X1，而其反方向則稱為第2方向X2。
容器W可收容複數片基板，且具備有可拆卸自如的蓋體(圖中未示)，可封閉基板的出入口。在本實施形態中，基板是半導體晶圓，而容器是收容該半導體晶圓的FOUP(Front Opening Unified Pod)。 容器搬送車1將容器W搬送至保管部3並將容器W保管至保管部3，而且也從保管部3中取出保管部3所保管的容器W並搬送。 保管部3是設置在容器搬送車1的行走路徑(移動路徑)之橫側邊，且沿著寬度方向Y設置有複數個。
[容器] 如圖2所示，容器W上具備有可拆卸自如的蓋體(圖中未示)，可封閉形成在前面部9的基板出入用之基板出入口。容器W是在前方朝向第1方向X1，且後方朝向第2方向X2的狀態下，被保管在保管部3中。再者，在容器W的說明中之寬度方向Y及並列方向X，是根據容器W被保管在保管部3內的狀態而定義的方向。
如圖2所示，容器W的底面部10上具備有朝上方凹入的3個溝狀凹部11。此3個凹部11是形成為以底面基準位置P為中心使凹部11之長邊方向成為放射狀。又，3個凹部11的每一個是形成為愈往上方愈細的頭細形狀，且凹部11的內側面形成為傾斜面。再者，3個凹部11相當於容器W所具備的被卡合部。又，位於比底面基準位置P更靠向第1方向X1側的2個凹部11，相當於以下構造之凹部11：位在比第2被連接部12b更靠向第1方向X1側，且從並列方向X來看具有與第2被連接部12b重疊的部分。
容器W在底面部10上具備有4個被連接部12。容器W具備被連接部12，而該被連接部12包含：一對第1被連接部12a及一對第2被連接部12b，其中一對第1被連接部12a是從上下方向來看位於比容器W的中心還靠向第1方向X1側(前方側)；一對第2被連接部12b是從上下方向來看位於比容器W的中心還靠向第2方向X2側(後方側)。 一對第1被連接部12a是在寬度方向Y(容器W的左右方向)上並列配置，且從寬度方向Y來看，一對第1被連接部12a是重疊的。和一對第1被連接部12a同樣地，一對第2被連接部12b也是在寬度方向Y(容器W的左右方向)上並列配置，且從寬度方向Y來看，一對第2被連接部12b是重疊的。 一對第2被連接部12b的設置間隔，比一對第1被連接部12a的設置間隔狹窄，且一對第2被連接部12b在寬度方向Y上是設置在一對第1被連接部12a之間。
一對第1被連接部12a當中的一者是供氣部12i，一對第1被連接部12a當中的另一者是排氣部12o。一對第2被連接部12b兩者都是供氣部12i。 供氣部12i是用來將氮氣供給裝置4的供氣用連接部24i排出的惰性氣體，供應到容器W內部的部分，且供氣部12i上具備有供氣用開關閥(圖中未示)。排氣部12o是用來將容器W內部的氣體排出的部分，且此排氣部12o上具備有排氣用開關閥(圖中未示)。也就是說，容器W構成為：藉由以蓋體封閉基板出入口，並以開關閥封閉3個供氣部12i及1個排氣部12o，而具有氣密性。
供氣部12i的供氣用開關閥是藉由彈簧等施力體而被施力保持在封閉狀態，在氮氣供給裝置4的供氣用連接部24i連接到供氣部12i的狀態下，從該供氣用連接部24i噴出氮氣時，供氣用開關閥即藉由該噴出的氮氣之壓力而被操作為開放，使氮氣被供給到容器W的內部。 又，排氣部12o的排氣用開關閥是藉由彈簧等施力體而被施力保持在封閉狀態，因氮氣供給裝置4的氮氣供給而容器W內部的壓力提高時，排氣用開關閥即藉由該壓力而被操作為開放，使容器W內部的氣體被排出。
在容器W的底面部10上，是將保管部3的第1支撐部17從下方支撐的部分，作為第1被支撐部13。又，在容器W的底面部10上，是將保管部3的第2支撐部18從下方支撐的部分，作為第2被支撐部14。又，在容器W的底面部10上，是將容器搬送車1的第3支撐部37從下方支撐的部分，作為第3被支撐部15。 針對第1被支撐部13及第3被支撐部15，是以凹部11的長度方向中心，將凹部11分割為2個部分，在此凹部11中的分割為2的2個部分當中，是將靠近底面基準位置P的部分作為第3被支撐部15，而將凹部11的其餘部分作為第1被支撐部13。又，在容器W的底面部10上，相對於一對第1被連接部12a而在寬度方向Y上之外側的部分，則作為第2被支撐部14。 如此，容器W的第2被支撐部14是與容器W的第1被支撐部13不同的部分，而且是被連接部12不存在的部分。又，容器W的第3被支撐部15是與容器W的第1被支撐部13及第2被支撐部14不同的部分，而且是被連接部12不存在的部分。
[保管部] 如圖3到圖5所示，保管部3具備第1支撐部17、第2支撐部18及基部19。 第1支撐部17及基部19是藉由連接於天花板的支撐構件，設置為懸吊支撐於天花板，而成為相對固定於天花板的狀態。第1支撐部17具備板狀的第1基板17a，以及由此第1基板17a向上方凸出的3個第1卡合部17b。 並且，第1支撐部17是在3個第1卡合部17b與容器W上的3個凹部11相卡合的狀態下，藉由這3個第1卡合部17b，從下方支撐容器W的第1被支撐部13。如此，第1支撐部17從下方支撐容器W的底面部10上之第1被支撐部13。
第2支撐部18是在可沿著上下方向移動的狀態下，設置在保管部3上。第2支撐部18是由在並列方向X上延伸的一對棒狀之支撐體18a所構成。一對支撐體18a是設置為從上下方向來看，相對於第1支撐部17往寬度方向Y上的兩側分開。並且，第2支撐部18是藉由一對支撐體18a，從下方支撐容器W的底面部10之第2被支撐部14。如此，第2支撐部18從下方支撐容器W的底面部10之第2被支撐部14。
基部19具備升降馬達19a，作為使一對支撐體18a一體地升降以使第2支撐部18升降的升降驅動部。藉由升降馬達19a的驅動，使一對支撐體18a(第2支撐部18)升降於退避高度(如圖4所示之高度)，以及比此退避高度還高的支撐高度(如圖5所示之高度)。此升降馬達19a設置在相對於第1支撐部17而靠向第1方向X1側。
如圖4及圖5所示，保管部3構成為：藉由第2支撐部18利用升降馬達19a而升降，可以變更為第1狀態(如圖4所示的狀態)與第2狀態(如圖5所示的狀態)。 接著，針對保管部3的第1狀態及第2狀態進行說明，其中，是被第1支撐部17支撐的容器W的高度設為第1高度(如圖4所示的高度)，且將被支撐在比第1高度還高的高度之容器W的高度，作為第2高度(如圖5所示的高度)，來進行說明。
如圖4所示，第1狀態是使第2支撐部18下降到退避高度的狀態。在此第1狀態中，是構成為以下狀態：第2支撐部18下降到比第1高度的容器W之第2被支撐部14更下方，且第1支撐部17可將容器W支撐在第1高度。 如圖5所示，第2狀態是使第2支撐部18上升到支撐高度的狀態。在此第2狀態中，是構成為以下狀態：第2被支撐部14上升到比第1高度的容器W之第2被支撐部14更上方，且第2支撐部18可將容器W支撐在第2高度。
進一步地說明，在第1狀態中，第2支撐部18是位於退避高度，而保管部3所保管的容器W是被第1支撐部17支撐在第1高度。又，第2支撐部18相對於容器W的第2被支撐部14往下方離開。 從這個狀態，藉由使第2支撐部18上升，在第2支撐部18從退避高度上升到支撐高度的途中，第2支撐部18會接觸容器W的第2被支撐部14。並且，藉由使第2支撐部18上升到支撐高度而使保管部3變更到第2狀態，原本被第1支撐部17支撐的容器W會被第2支撐部18支撐在第2高度上，且第1支撐部17會相對於容器W的第1被支撐部13往下方離開。
又，在第2狀態中，第2支撐部18是位於支撐高度，且保管部3所保管的容器W是被第2支撐部18支撐在第2高度。又，第1支撐部17相對於容器W的第1被支撐部13往下方離開。 從這個狀態，藉由使第2支撐部18下降，在第2支撐部18從支撐高度下降到退避高度的途中，第1支撐部17會接觸容器W的第1被支撐部13(第1支撐部17上的3個第1卡合部17b卡合到容器W的3個凹部11)，且原本被第2支撐部18支撐的容器W會被第1支撐部17支撐在第1高度上。並且，藉由使第2支撐部18下降到退避高度且使保管部3變更到第1狀態，第2支撐部18會相對於容器W的第2被支撐部14往下方離開。 順帶一提，當第1支撐部17接觸容器W的第1被支撐部13而支撐容器W時，第1支撐部17上的3個第1卡合部17b會從下方卡合到容器W上的3個凹部11。如此，當第1支撐部17卡合到容器W時，第1支撐部17所支撐的容器W相對於第1支撐部17的適當支撐位置而在水平方向上偏移的情況下，第1卡合部17b會被凹部11的內側面引導使得容器W在水平方向上移動，且容器W在水平方向上的位置會被修正到第1支撐部17的適當支撐位置上。
[氮氣供給裝置] 如圖1及圖3所示，氮氣供給裝置4是對應於1個保管部3設置1個，各個氮氣供給裝置4分別具備：3個供氣用連接部24i、1個排氣用連接部24o、以及連接於3個供氣用連接部24i的配管23。 3個供氣用連接部24i是在容器W由第1支撐部17支撐的狀態下連接到容器W的3個供氣部12i，而由第1支撐部17所支撐。1個排氣用連接部24o是在容器W由第1支撐部17支撐的狀態下連接到容器W的1個排氣部12o，而由第1支撐部17所支撐。 如此，對應於1個保管部3，在氮氣供給裝置4上具備有4個連接部24(3個供氣用連接部24i及1個排氣用連接部24o)，在容器W由第1支撐部17支撐的狀態下連接到容器W的被連接部12。再者，在4個連接部24當中，連接到容器W的第1被連接部12a之2個連接部24是稱為第1連接部24a，而連接到容器W的第2被連接部12b之2個連接部24是稱為第2連接部24b。
氮氣供給裝置4使來自供給源(圖中未示)的氮氣流經配管23的內部，以將氮氣供給到3個供氣用連接部24i，且從3個供氣用連接部24i將該供給的氮氣經由3個供氣部12i供給到容器W的內部。如此，氮氣供給裝置4是從4個連接部24當中的一部分，經由4個被連接部12當中的一部分，將氮氣供給到容器W的內部。
氮氣供給裝置4的連接部24，在如圖4所示，保管部3變更為第1狀態的狀態下，是連接於第1高度的容器W之被連接部12，而在如圖5所示，保管部3變更為第2狀態的狀態下，連接部24是設置在從第2高度的容器W之被連接部12向下方分離的高度。 保管部3變更為第2狀態的狀態下，容器W的底面部10與氮氣供給裝置4的連接部24之間，形成有移載用空間S。
保管部3具備有存否感測器25，檢測第1支撐部17所支撐的容器W是否存在。氮氣供給裝置4是構成為：根據存否感測器25的檢測資訊，切換為從供氣用連接部24i噴出氮氣的狀態以及不噴出的狀態。
[容器搬送車] 如圖6所示，容器搬送車1具備：行走部31，行走在天花板所支撐的行走軌道2上；本體部32，懸吊支撐於行走部31而位於行走軌道2的下方。 行走部31具備有：在行走軌道2上面轉動的驅動輪34，以及使驅動輪34旋轉驅動的行走用馬達35。並且，行走部31是構成為：藉由行走用馬達35使驅動輪34旋轉驅動，行走部31會沿著行走路徑(移動路徑)行走。
本體部32具備：第3支撐部37，從下方支撐容器W的底面部10；升降操作機構38，使第3支撐部37升降移動；進退操作機構39，使升降操作機構38及第3支撐部37在並列方向X上移動；蓋體40，覆蓋以第3支撐部37支撐的容器W之上下方向的兩側以及寬度方向Y的兩側。
第3支撐部37具備板狀的第3基部37a，以及由此第3基部37a向上方凸出的3個第3卡合部37b。並且，第3支撐部37是在3個第3卡合部37b與容器W上的3個凹部11相卡合的狀態下，藉由這3個第3卡合部37b，從下方支撐容器W的第3被支撐部15。如此，第3支撐部37是從下方支撐第3被支撐部15，且第3被支撐部15是容器W的底面部10上之與第1被支撐部13及第2被支撐部14不同的部分。再者，第3卡合部37b相當於第3支撐部37所具備的卡合部。
升降操作機構38具備有藉由升降用馬達(圖中未示)的驅動而在上下方向上伸縮的升降用連桿機構38a。升降用連桿機構38a的上端部連結第3支撐部37，而升降用連桿機構38a的下端部連結中繼部41。 升降操作機構38，藉由以升降用馬達在上下方向上伸縮升降用連桿機構38a，使第3支撐部37升降到上升高度(如圖8及圖9所示的高度)，以及高度比此上升高度還低的下降高度(如圖10及圖11所示的高度)。
進退操作機構39具備伸縮用連桿機構39a，藉由伸縮用馬達(圖中未示)的驅動而在並列方向X上伸縮。伸縮用連桿機構39a的前端部連結中繼部41，而伸縮用連桿機構39a的基端部連結蓋體40。 進退操作機構39，藉由以伸縮用馬達使伸縮用連桿機構39a伸縮，令第3支撐部37在並列方向X上移動，而使第3支撐部37移動到後退位置(如圖8及圖11所示的位置)與凸出位置(如圖9及圖10所示的位置)，又前述後退位置是第3支撐部37位於蓋體40內部；前述凸出位置是第3支撐部37從蓋體40內部朝向並列方向X的一側(第1方向X1側)凸出。再者，進退操作機構39相當於沿著並列方向X使第3支撐部37進退的進退驅動部。
如圖7所示，第3支撐部37從上下方向來看是形成為矩形。第3支撐部37的寬度方向Y之大小，比一對第1被連接部12a的寬度方向Y之間隔小，且比一對第2被連接部12b的寬度方向Y之間隔大。又，第3支撐部37是構成為：在藉由第3卡合部37b，支撐容器W的底面部10上的一對第1被連接部12a之間的部分，且從上下方向來看，是第3基部37a與一對第2被連接部12b重疊的狀態下，支撐容器W。
在第3支撐部37位於後退位置的狀態下，第3支撐部37的前端(第3支撐部37的第1方向X1側端)，是比起保管部3的第1支撐部17之前端(第1支撐部17的第2方向X2側端)，以及第2支撐部18的前端(第2支撐部18的第2方向X2側端)更靠向第2方向X2側。 又，在第3支撐部37位於凸出位置的狀態下，第3支撐部37的前端是比保管部3的第1支撐部17之前端及第2支撐部18的前端更靠向第1方向X1側，且此第3支撐部37的前端不僅是比一對第2連接部24b更靠向第1方向X1側，且比一對第1連接部24a更靠向第1方向X1側。
第3支撐部37在位於凸出位置的狀態下，至少比一對第2連接部24b還靠向第1方向X1側的部分之一部分，是形成為比一對第2連接部24b的寬度方向Y之間隔大。因此，第3支撐部37藉由進退操作機構39而進退移動時的移動軌跡，從上下方向來看是與連接部24(第2連接部24b)重疊。
容器搬送車1及保管部3分別具備有控制部及通訊部。容器搬送車1的控制部是控制容器搬送車1的行走部31及本體部32，而保管部3的控制部是控制升降馬達19a。又，容器搬送車1的通訊部與保管部3的通訊部，是構成為彼此可傳送及接收資訊。
以下針對容器搬送設備中，容器搬送車1將容器W保管至保管部3的情況進行說明。 如圖8所示，容器搬送車1支撐容器W，且將容器W支撐於上升高度。又，保管部3並未保管容器W，而處於第2狀態。 使支撐容器W的容器搬送車1行走到與保管對象之保管部3相對應的移載用停止位置。接著，在容器搬送車1停止於移載用停止位置，且保管部3變更為第2狀態的狀態下，如圖9所示，使第3支撐部37從後退位置凸出到凸出位置後，如圖10所示，使第3支撐部37從上升高度下降到下降高度，並從第3支撐部37上將容器W移載到第2支撐部18上，之後，如圖11所示，使第3支撐部37從凸出位置後退到後退位置。 如圖5所示，保管部3使第2支撐部18從支撐高度下降到退避高度，而從第2狀態變更為第1狀態，將容器W從第2支撐部18上移載到第1支撐部17上。又，在保管部3中，當存否感測器25檢測到第1支撐部17上有容器W存在，氮氣供給裝置4即開始氮氣的供給。
接著，針對容器搬送設備中，容器搬送車1取出保管部3所保管的容器W之情況進行說明。 如圖11所示，使未支撐容器W的容器搬送車1，行走到與取出對象之保管部3相對應的移載用停止位置。又，使第2支撐部18從退避高度上升到支撐高度，將保管部3從第1狀態變更到第2狀態，並將容器W從第1支撐部17上移載到第2支撐部18上。又，在保管部3中，當存否感測器25不再檢測到第1支撐部17上有容器W存在，氮氣供給裝置4即停止氮氣的供給。 接著，在容器搬送車1停止於移載用停止位置，且保管部3變更為第2狀態的狀態下，如圖10所示，使第3支撐部37從後退位置凸出到凸出位置後，如圖9所示，使第3支撐部37從下降高度上升到上升高度，且將容器W從第2支撐部18上移載到第3支撐部37上，之後，如圖8所示，使第3支撐部37從凸出位置後退到後退位置。
如此，容器搬送車1是藉由伸縮用馬達使第3支撐部37進退移動，而使第3支撐部37伸入到第2狀態之保管部3的移載用空間S，且在第3支撐部37支撐容器W的狀態下，從保管部3中取出容器W，或者，在第2支撐部18支撐容器W的狀態下，將容器W保管至保管部3中。 而且，將保管部3變更為第1狀態的狀態下，由於容器W的被連接部12上連接有氮氣供給裝置4的連接部24，因此可以對容器W的內部供給氮氣。又，將保管部3變更為第2狀態的狀態下，由於容器W與連接部24之間形成有移載用空間S，因此藉由使第3支撐部37進退移動而使第3支撐部37伸入至該移載用空間S，即可從保管部3中取出容器W，以及將容器W保管至保管部3中。
[其他實施形態] (1)在上述實施形態中，第3支撐部37雖然從上下方向來看是形成為矩形，但第3支撐部37的形狀，只要是因進退驅動部而進退移動時的移動軌跡，從上下方向來看是與連接部24重疊的形狀即可。具體而言，例如，亦可以是在位於凸出位置的狀態下，比第2連接部24b更靠近前端側的部分是形成為比一對第2連接部24b的寬度方向Y之間隔寬，而與第2連接部24b在並列方向X上相同的部分，或比第2連接部24b更靠近基端側的部分，是形成為比一對第2連接部24b的寬度方向Y之間隔狹窄，而成為第3支撐部37從上下方向來看形成為T字形。
(2)在上述實施形態中，雖具備有4個連接部24，但也可以適當地變更連接部24的數量，而可以具備3個以下的連接部24，又，也可以具備5個以上的連接部24。 具體而言，連接部24亦可以僅具備一對第2連接部24b。又，連接部24亦可僅具備3個供氣用連接部24i。
(3)在上述實施形態中，是將升降驅動部(升降馬達19a)設置在相對於第1支撐部17的第1方向X1側，但升降驅動部也可以設置為在寬度方向Y相對與第1支撐部17並排。
(4)在上述實施形態中，雖然是以第1支撐部17與第3支撐部37從下方支撐容器W的底面部10之不同的部分，但也可以是藉由第1支撐部17與第3支撐部37從下方支撐容器W的底面部10之相同的部分。又，也可以是藉由第3支撐部37從下方支撐容器W的底面部10上之被連接部12。
(5)在上述實施形態中，是藉由搬送用移動體(容器搬送車1)，來進行從保管部3中取出容器W以及將容器W保管至保管部3等兩者，但也可以是藉由搬送用移動體，僅進行從保管部3中取出容器W以及將容器W保管至保管部3當中的一者。
(6)在上述實施形態中，雖然將容器W設成收容半導體基板之FOUP，但是容器之形狀與收容於容器中的收容物亦可適當變更，例如將容器設成貨櫃，收容物設成食品亦可。又，除了氮氣外，惰性氣體亦可以是氬氣等。
(7)在上述實施形態中，雖然是將搬送用移動體設成容器搬送車1(天花板搬送車)，具備行走在行走軌道2上的行走部31以及在行走軌道2下方支撐容器W的本體部32，但是搬送用移動體也可以是在行走軌道上行走且在行走軌道上方支撐容器的容器搬送車，又，也可以是堆高式起重機。
[上述實施形態的概要] 以下，針對在上述所說明之容器搬送設備的概要進行說明。
一種容器搬送設備，具備：搬送用移動體，沿著移動路徑移動以搬送容器；保管部，保管前述容器；惰性氣體供給裝置，將惰性氣體供給到前述保管部所保管的前述容器之內部；前述容器在底面部上具備有被連接部；前述保管部具備第1支撐部，從下方支撐前述容器之前述底面部的第1被支撐部；前述惰性氣體供給裝置具備連接部，在前述容器被前述第1支撐部支撐的狀態下，連接於前述容器的前述被連接部，且前述惰性氣體供給裝置將惰性氣體從前述連接部經由前述被連接部供給到前述容器的內部； 前述保管部具備：第2支撐部，從下方支撐第2被支撐部，前述第2被支撐部是前述容器的前述底面部中與前述第1被支撐部不同的部分，且是前述被連接部不存在的部分；升降驅動部，使前述第2支撐部升降；前述保管部構成為可藉由前述第2支撐部因前述升降驅動部而升降，而變更為第1狀態及第2狀態；將前述第1支撐部所支撐的前述容器之高度設為第1高度，將被支撐於比前述第1高度還高的高度時的前述容器之高度設為第2高度，前述第1狀態是以下狀態：使前述第2支撐部下降到比前述第1高度之前述容器的前述第2被支撐部更下方，而藉由前述第1支撐部將前述容器支撐於前述第1高度的狀態；前述第2狀態是以下狀態：使前述第2被支撐部上升到比前述第1高度之前述容器的前述第2被支撐部更上方，而藉由前述第2支撐部將前述容器支撐於前述第2高度的狀態；前述惰性氣體供給裝置，在前述保管部變更為前述第1狀態的狀態下，前述連接部是連接到前述第1高度的前述容器之前述被連接部；在前述保管部變更為前述第2狀態的狀態下，前述連接部是從前述第2高度的前述容器之前述被連接部向下方分離，而將前述連接部具備於前述容器的前述底面部與前述連接部之間形成有移載用空間的高度上；前述搬送用移動體具備：第3支撐部，從下方支撐第3被支撐部，前述第3被支撐部是與前述容器之前述底面部的前述第2被支撐部不同的部分；進退驅動部，在前述搬送用移動體停止在設定於前述保管部的橫側邊之移載用停止位置的狀態下，是沿著前述搬送用移動體與前述保管部並列之並列方向，使前述第3支撐部進退；前述第3支撐部藉由前述進退驅動部而在進退移動時的移動軌跡，從上下方向來看是與前述連接部重疊；前述搬送用移動體藉由前述進退驅動部使前述第3支撐部進退移動，而使前述第3支撐部伸入至前述第2狀態之前述保管部中的前述移載用空間，在前述第3支撐部支撐前述容器的狀態下，從前述保管部中取出前述容器，或者，在前述第2支撐部支撐前述容器的狀態下，將前述容器保管至前述保管部中。
根據此特徵構成，保管部具備有第1支撐部、第2支撐部及升降驅動部。第1支撐部是從下方支撐容器的底面部之第1被支撐部，而第2支撐部是從下方支撐容器的底面部中與第1被支撐部不同的位置。因此，藉由升降驅動部使第2支撐部升降，即可將保管部的狀態變更為第1狀態或第2狀態，第1狀態是可藉由第1支撐部將容器支撐於第1高度的狀態；第2狀態是可藉由第2支撐部將容器支撐於第2高度的狀態。 並且，在將保管部變更為第1狀態的狀態下，由於容器的被連接部上連接有惰性氣體供給裝置的連接部，因此可以對容器的內部供給惰性氣體。又，在將保管部變更為第2狀態的狀態下，由第2支撐部支撐的容器與惰性氣體供給裝置的連接部之間，形成有移載用空間。因此，即便在搬送用移動體的第3支撐部，藉由進退驅動部而進退移動時的移動軌跡，從上下方向來看是與連接部重疊的情況下，藉由使第3支撐部進退移動而使伸入至移載用空間內，仍可以在不與連接部干涉的情況下，使第3支撐部進退移動。 因此，在設定第3支撐部的形狀時，可以不須考慮使第3支撐部進退移動時與連接部的干涉，而設定平面形狀。因此，可以在使保管部的第1支撐部支撐惰性氣體供給裝置之連接部的同時，輕易地使第3支撐部的形狀形成為可穩定地支撐容器的形狀。 藉此，即可以提供一種容器搬送設備，其中搬送用移動體可從下方穩定地支撐容器的底面部之同時，可以將惰性氣體供給到保管部所保管的容器中。
在此，將在前述並列方向上前述保管部相對於前述搬送用移動體而存在的方向，設為第1方向，較佳是前述第3支撐部具備卡合部，而前述容器具備被卡合部，位在比前述底面部的前述被連接部還靠向前述第1方向側上，且前述卡合部在上下方向上卡合前述被卡合部，前述被卡合部具有從前述並列方向來看與前述被連接部重疊的部分。
根據此構成，被卡合部是位在比被連接部還靠向第1方向側的位置，此被卡合部具有從並列方向來看與被連接部重疊的部分。被連接部與被卡合部處於這種位置關係的情況下，在第3支撐部進退移動時，第3支撐部上的卡合部之移動軌跡，從上下方向來看是與連接部重疊。但是，藉由將保管部變更為第2狀態而將容器保管到保管部中，或從保管部中取出容器，即可在第3支撐部不與連接部干涉的情況下保管容器或取出容器。
又，從上下方向來看將與前述並列方向垂直的方向作為寬度方向，前述容器具備至少一對前述被連接部，在前述寬度方向上並列，前述第3支撐部在前述寬度方向上的大小，較佳是比一對前述被連接部的前述寬度方向之間隔大。
根據此構成，由於第3支撐部的寬度方向之大小形成為比一對被連接部的寬度方向之間隔大，因此可以在寬度方向上以寬的間隔來支撐容器，故第3支撐部可以輕易而穩定地支撐容器。 如此，第3支撐部形成為在寬度方向上寬度大的情況下，第3支撐部的移動軌跡從上下方向來看雖然與一對連接部當中的至少一者重疊，但是藉由將保管部變更為第2狀態而進行容器的保管或取出，即可在第3支撐部不與連接部干涉的情況下進行容器的保管或取出。
又，將前述並列方向上前述保管部相對於前述搬送用移動體而存在的方向，設為第1方向，而將前述第1方向的反方向設為第2方向的同時，將從上下方向來看與前述並列方向垂直的方向設為寬度方向，較佳是前述容器具備一對第1被連接部及一對第2被連接部，以作為前述被連接部，其中前述一對第1被連接部是從上下方向來看位於比前述容器的中心還靠向前述第1方向側；前述一對第2被連接部是從上下方向來看位於比前述容器的中心還靠向前述第2方向側，前述一對第1被連接部是在前述寬度方向上並列配置，前述一對第2被連接部是在前述寬度方向上配置在前述一對第1被連接部之間，前述第3支撐部是支撐前述容器的前述底面部上的前述一對第1被連接部之間的部分。
根據此構成，一對第2被連接部是設置為寬度方向上的間隔比一對第1被支撐部狹窄。並且，移載用停止位置是相對於保管部而設定在第2方向側上，搬送用移動體是從第2方向側將容器保管至保管部中，且前述容器是底面部上的一對第1被連接部之間的部分被第3支撐部所支撐，或者，搬送用移動體是從第2方向側從保管部中取出容器，使得第3支撐部支撐一對第1被連接部之間的部分。此時，位於比容器中心更靠近第2方向側，且寬度方向間隔狹窄的一對第2被連接部容易造成干擾。在此，藉由將保管部變更為第2狀態而將容器保管至保管部中，或從保管部中取出容器，即可在第3支撐部不與一對第2連接部干涉的情況下，進行容器的保管或取出。
又，較佳是將前述保管部在前述並列方向上相對於前述搬送用移動體而存在的方向，設為第1方向，前述升降驅動部是相對於前述第1支撐部設置在前述第1方向側上。
根據此構成，藉由在並列方向上並列地設置升降驅動部及第1支撐部，和在移動路徑的延伸方向上並列地設置升降驅動部與第1支撐部的情況相比之下，可以輕易地將保管部構成為在移動路徑的延伸方向上較不佔空間。因此，即可輕易地沿著移動路徑並列地設置複數個保管部。
1‧‧‧容器搬送車(搬送用移動體)2‧‧‧行走軌道3‧‧‧保管部4‧‧‧氮氣供給裝置(惰性氣體供給裝置)9‧‧‧前面部10‧‧‧底面部11‧‧‧凹部(被卡合部)12‧‧‧被連接部12a‧‧‧第1被連接部12b‧‧‧第2被連接部12i‧‧‧供氣部12o‧‧‧排氣部13‧‧‧第1被支撐部14‧‧‧第2被支撐部15‧‧‧第3被支撐部17‧‧‧第1支撐部17a‧‧‧第1基板17b‧‧‧第1卡合部18‧‧‧第2支撐部18a‧‧‧支撐體19‧‧‧基部19a‧‧‧升降馬達(升降驅動部)23‧‧‧配管24‧‧‧連接部24a‧‧‧第1連接部24b‧‧‧第2連接部24i‧‧‧供氣用連接部24o‧‧‧排氣用連接部25‧‧‧存否感測器31‧‧‧行走部32‧‧‧本體部34‧‧‧驅動輪35‧‧‧行走用馬達37‧‧‧第3支撐部37a‧‧‧第3基部
37b:第3卡合部(卡合部)
38:升降操作機構
38a:升降用連桿機構
39:進退操作機構(進退驅動部)
39a:伸縮用連桿機構
40:蓋體
41:中繼部
P:底面基準位置
S:移載用空間
W:容器
X:並列方向
X1:第1方向
X2:第2方向
Y:寬度方向
圖1是容器搬送設備的正面圖。
圖2是容器的底面圖。
圖3是保管部的平面圖。
圖4是顯示第1狀態之保管部的側面圖。
圖5是顯示第2狀態之保管部的側面圖。
圖6是容器搬送車的側面圖。
圖7是第3支撐部的平面圖。
圖8是顯示第3支撐部位於後退位置且在支撐高度上的狀態之圖。
圖9是顯示第3支撐部位於凸出位置且在支撐高度上的狀態之圖。
圖10是顯示第3支撐部位於凸出位置且在退避高度上的狀態之圖。
圖11是顯示第3支撐部位於後退位置且在退避高度上的狀態之圖。
1‧‧‧容器搬送車(搬送用移動體)
3‧‧‧保管部
4‧‧‧氮氣供給裝置(惰性氣體供給裝置)
17‧‧‧第1支撐部
18‧‧‧第2支撐部
19‧‧‧基部
24‧‧‧連接部
37‧‧‧第3支撐部
39‧‧‧進退操作機構(進退驅動部)
S‧‧‧移載用空間
X‧‧‧並列方向
X1‧‧‧第1方向
X2‧‧‧第2方向
W‧‧‧容器

Claims (5)

  1. 一種容器搬送設備，具備以下：搬送用移動體，沿著移動路徑移動以搬送容器；保管部，保管前述容器；惰性氣體供給裝置，將惰性氣體供給到前述保管部所保管的前述容器之內部；在此，前述容器在底面部上具備有被連接部；前述保管部具備第1支撐部，該第1支撐部從下方支撐前述容器之前述底面部的第1被支撐部；前述惰性氣體供給裝置具備連接部，該連接部在前述容器被前述第1支撐部支撐的狀態下，連接於前述容器的前述被連接部，且前述惰性氣體供給裝置將惰性氣體從前述連接部經由前述被連接部供給到前述容器的內部；且該容器搬送設備，具有以下特徵：前述保管部具備：第2支撐部，從下方支撐第2被支撐部，前述第2被支撐部是前述容器的前述底面部中與前述第1被支撐部不同的部分，且是前述被連接部不存在的部分；升降驅動部，使前述第2支撐部升降；且前述保管部構成為可藉由前述第2支撐部因前述升降驅動部而升降，而變更為第1狀態及第2狀態；將前述第1支撐部所支撐的前述容器之高度設為第1高度，將被支撐於比前述第1高度還高的高度時的前述容器之高度設為第2高度；前述第1狀態是以下狀態：使前述第2支撐部下降到比 前述第1高度之前述容器的前述第2被支撐部更下方，而可藉由前述第1支撐部將前述容器支撐於前述第1高度的狀態；前述第2狀態是以下狀態：使前述第2被支撐部上升到比前述第1高度之前述容器的前述第2被支撐部更上方，而可藉由前述第2支撐部將前述容器支撐於前述第2高度的狀態；前述惰性氣體供給裝置在下述高度具備前述連接部，前述高度是：在前述保管部變更為前述第1狀態的狀態下，前述連接部是連接到前述第1高度的前述容器之前述被連接部，在前述保管部變更為前述第2狀態的狀態下，前述連接部是從前述第2高度的前述容器之前述被連接部向下方分離，在前述容器的前述底面部與前述連接部之間形成移載用空間；前述搬送用移動體具備：第3支撐部，從下方支撐第3被支撐部，前述第3被支撐部是前述容器之前述底面部中與前述第2被支撐部不同的部分；進退驅動部，在前述搬送用移動體停止在設定於前述保管部的橫側邊之移載用停止位置的狀態下，是沿著前述搬送用移動體與前述保管部並列之並列方向，使前述第3支撐部進退；前述第3支撐部藉由前述進退驅動部而進退移動時的移動軌跡，從上下方向來看是與前述連接部重疊；前述搬送用移動體藉由前述進退驅動部使前述第3支撐部進退移動，而使前述第3支撐部伸入至前述第2狀態之 前述保管部中的前述移載用空間，以借助前述第3支撐部支撐前述容器的狀態，從前述保管部中取出前述容器，或者，以借助前述第2支撐部支撐前述容器的狀態，將前述容器保管至前述保管部中。
  2. 如請求項1之容器搬送設備，其中，將在前述並列方向上前述保管部相對於前述搬送用移動體而存在的方向，設為第1方向；前述第3支撐部具備卡合部；前述容器具備被卡合部，該被卡合部位在比前述底面部的前述被連接部還靠向前述第1方向側上，且前述卡合部在上下方向上卡合前述被卡合部；前述被卡合部具有從前述並列方向來看與前述被連接部重疊的部分。
  3. 如請求項1或2之容器搬送設備，其中，將從上下方向來看與前述並列方向垂直的方向作為寬度方向；前述容器具備至少一對前述被連接部，該至少一對前述被連接部是呈在前述寬度方向上並列的狀態；前述第3支撐部在前述寬度方向上的大小，比一對前述被連接部的前述寬度方向之間隔大。
  4. 如請求項1或2之容器搬送設備，其中，將前述並列方向上前述保管部相對於前述搬送用移動體而存在的方向，設為第1方向，而將前述第1方向的反方向設為第2方向，並將從上下方向來看與前述並列方向 垂直的方向設為寬度方向；前述容器具備一對第1被連接部及一對第2被連接部，以作為前述被連接部，其中前述一對第1被連接部是從上下方向來看位於比前述容器的中心還靠向前述第1方向側；前述一對第2被連接部是從上下方向來看位於比前述容器的中心還靠向前述第2方向側；前述一對第1被連接部是在前述寬度方向上並列配置；前述一對第2被連接部是在前述寬度方向上配置在前述一對第1被連接部之間；前述第3支撐部是支撐前述容器的前述底面部上的前述一對第1被連接部之間的部分。
  5. 如請求項1或2之容器搬送設備，其中，將在前述並列方向上前述保管部相對於前述搬送用移動體而存在的方向，設為第1方向；前述升降驅動部是相對於前述第1支撐部設置在前述第1方向側上。
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