TWI667692B - 物品搬送設備 - Google Patents

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高田文人
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日商大福股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種物品搬送設備，其具備用以將天花板搬送車之支撐部與不活性氣體供給裝置之噴出部的位置關係切換到連接用位置關係與分離用位置關係之使噴出部相對於支撐部相對地移動的連接用驅動裝置。不活性氣體供給裝置是在將支撐部與噴出部之位置關係切換到連接用位置關係後之噴出部與容器的連接受到維持的狀態，從噴出部噴出不活性氣體。

Description

物品搬送設備 發明領域
本發明是有關於一種物品搬送設備，其具備有沿著懸吊於天花板之行進軌道行進以搬送容器之物品搬送車，且該物品搬送車具有支撐前述容器之支撐部。
發明背景
如上述之物品搬送設備的一例，已記載於日本專利特開2012-044033號公報(專利文獻1)中。在專利文獻1之物品搬送設備中，在物品搬送車行進之行進路線的側邊上具備保管物品之容器保管部，在該容器保管部中具備有將不活性氣體從噴出部噴出之不活性氣體供給裝置。像這樣，在專利文獻1之物品搬送設備中，是構成為在容器保管部中具備不活性氣體供給裝置，藉此利用將容器保管於容器保管部的時間而將不活性氣體供給至容器內。
再加以說明，即在物品搬送車中具備有使支撐容器之支撐部升降移動的升降驅動部，在容器保管部中具備有使噴出部朝水平方向移動之水平驅動部。並且，使物品搬送車相對於容器保管部停止於預先設定之行進停止位置 後，以水平驅動部使噴出部沿水平方向突出移動，以使得噴出部位於以物品搬送車之支撐部所支撐之容器的正下方，之後，以升降驅動部使支撐部下降移動，以將噴出部連接到容器。
像這樣，藉由水平驅動部所進行之噴出部的水平移動與藉由升降驅動部所進行之支撐部的升降移動，以形成為將支撐部與噴出部之位置關係切換成連接用位置關係與分離用位置關係，該連接用位置關係是將噴出部連接到以支撐部所支撐之容器，該分離用位置關係是使噴出部從以支撐部所支撐之容器分離。
順帶一提，專利文獻1之物品搬送設備中，是以水平驅動部使噴出部沿水平方向突出移動，藉此將對噴出部供給不活性氣體的氮氣供給管路於途中切斷。因此，不活性氣體供給裝置在以水平驅動部使噴出部沿水平方向突出移動的狀態下，會形成無法從噴出部噴出不活性氣體的構成。
因此，在專利文獻1之物品搬送設備中，為了從噴出部噴出不活性氣體而將不活性氣體供給到容器內，天花板搬送車在將容器連接到噴出部後，將解除支撐部對容器之支撐，而不活性氣體供給裝置會以水平驅動部使噴出部沿著水平方向後退移動，而使其連接於氮氣供給管路的途中。在以往之物品搬送設備中，不活性氣體供給裝置是構成為像這樣使噴出部後退移動後，使不活性氣體從噴出部噴出以將不活性氣體供給到容器內。
發明概要
課題、用於解決課題之手段
在上述之以往的物品搬送設備中，物品搬送車會在已將容器搬送到物品保管部後，讓用以搬送下一件容器之物品搬送車從行進停止位置開始行進。並且，形成為在從物品保管部搬送容器的情況下，使其他的物品搬送車行進至該行進停止位置後，以該物品搬送車從物品保管部搬送到其他處。
在物品保管部中，當將藉由不活性氣體供給裝置供給不活性氣體之容器搬送到其他處時，必須使支撐部與噴出部相對地移動，以在使其他物品搬送車行進到行進停止位置後，驅動物品搬送車之升降驅動部與不活性氣體供給裝置之水平驅動部，而形成為能夠以支撐部支撐容器的位置關係，此外，為了將噴出部從容器分離，必須使支撐部與噴出部相對地移動。因此，會難以將已藉由不活性氣體供給裝置供給不活性氣體之容器迅速地搬送到其他處。
因此，要尋求一種能將已藉由不活性氣體供給裝置供給不活性氣體之容器迅速地搬送到其他處的物品搬送設備。
有鑒於上述之物品搬送設備的特徵構成為具備沿著懸吊於天花板之行進軌道行進以搬送容器之物品搬送車，且前述物品搬送車具備支撐前述容器之支撐部，並將從噴出部噴出不活性氣體之不活性氣體供給裝置 設置成使前述噴出部位於前述物品搬送車行進之行進路徑的側邊或下方，且具有使前述噴出部相對於前述支撐部相對地移動以將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換成連接用位置關係與分離用位置關係之連接用驅動裝置，該連接用位置關係是將前述噴出部連接到以前述支撐部支撐之前述容器，該分離用位置關係是已使前述噴出部從以前述支撐部支撐之前述容器分離，且前述不活性氣體供給裝置是在藉由前述連接用驅動裝置將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係後維持前述噴出部與前述容器之連接的狀態下，將不活性氣體從前述噴出部噴出。
根據此特徵構成，是在使物品搬送車行進到與不活性氣體供給裝置相對應之位置的狀態下，以連接用驅動裝置使噴出部相對於支撐部相對地移動，以將支撐部與噴出部的位置關係切換到連接用位置關係，藉此，可以將噴出部連接到受物品搬送車之支撐部所支撐的容器。
又，在使物品搬送車行進到與不活性氣體供給裝置相對應之位置的狀態下，以連接用驅動裝置使噴出部相對於支撐部相對地移動，以將支撐部與噴出部的位置關係切換到分離用位置關係，藉此，可以使噴出部從受到物品搬送車之支撐部所支撐的容器分離。
並且，在維持已將支撐部與噴出部之位置關係切換成連接用位置關係後之噴出部與容器之連接的狀態下，由於噴出部被連接到容器，故可在此狀態下使不活性氣體 供給裝置從噴出部噴出不活性氣體，藉此將不活性氣體供給到容器內。
又，像這樣將不活性氣體供給到容器內的期間，物品搬送車位於與不活性氣體供給裝置相對應的位置上。因此，只要以連接用驅動裝置將支撐部與噴出部之位置關係切換到分離用位置關係，即形成為容器受物品搬送車之支撐部支撐的狀態，且物品搬送車會形成為可藉由支撐部支撐容器而行進的狀態。因此，可將已用不活性氣體供給裝置供給不活性氣體的容器，藉由物品搬送車迅速地搬送到其他處。
1‧‧‧處理裝置
1a‧‧‧載置台
2‧‧‧行進軌道
3‧‧‧天花板搬送車
4‧‧‧氮氣供給裝置
6‧‧‧容器本體部
7‧‧‧凸緣部
8‧‧‧底面凹部
9‧‧‧定位構件
10‧‧‧上表面凹部
11‧‧‧供氣口
12‧‧‧排氣口
15‧‧‧行進部
16‧‧‧本體部
18‧‧‧支撐機構
18a‧‧‧把持爪
18b‧‧‧把持用馬達
18c‧‧‧按壓部
19‧‧‧升降操作機構
19a‧‧‧捲取帶
19b‧‧‧捲繞體
19c‧‧‧升降用馬達
20‧‧‧上蓋體
22‧‧‧裝置本體
23‧‧‧噴嘴支撐體
25‧‧‧氮氣供給管路
26‧‧‧切換閥
27‧‧‧噴出噴嘴
28‧‧‧排氣噴嘴
29‧‧‧連接感測器
30‧‧‧連接用馬達
31‧‧‧支撐構件
33‧‧‧第1驅動裝置
34‧‧‧升降台
35‧‧‧第2驅動裝置
H‧‧‧控制裝置
W‧‧‧容器
圖1為物品搬送設備之側面圖。
圖2為使天花板搬送車停止於搬送用停止位置上之物品搬送設備的側面圖。
圖3為使天花板搬送車停止於搬送用停止位置上之物品搬送設備的側面圖。
圖4為停止於供給用停止位置上之天花板搬送車的正面圖。
圖5為停止於供給用停止位置上之天花板搬送車的側面圖。
圖6為接收控制的流程圖。
圖7為移交控制的流程圖。
圖8為供給控制的流程圖。
圖9為其他實施形態(1)中的天花板搬送車及氮氣供給 裝置的主要部位正面圖。
圖10為其他實施形態(2)中的天花板搬送車及氮氣供給裝置的主要部位側面圖。
圖11為其他實施形態(3)中的天花板搬送車及氮氣供給裝置的主要部位側面圖。
圖12為其他實施形態(4)之天花板搬送車及氮氣供給裝置的正面圖。
圖13為其他實施形態(4)中的天花板搬送車及氮氣供給裝置的正面圖。
用以實施發明之形態
根據圖式說明物品搬送設備之實施形態。
如圖1所示，在物品搬送設備上會以經由複數個處理裝置1的狀態，設置從天花板懸吊下來之行進軌道2，並設置有沿著該行進軌道2行進而在複數個處理裝置1之間搬送容器W的天花板搬送車3(物品搬送車)。又，在物品搬送設備中具備有氮氣供給裝置4(不活性氣體供給裝置)，其可將作為不活性氣體之氮氣供給到天花板搬送車3所支撐的容器W。
再者，在本實施形態中，是將收容半導體基板之FOUP(Front Opening Unified Pod)作為容器W。
處理裝置1是相對於半導體基板之製造途中之半成品等進行預定之處理的裝置，載置支撐此處理裝置1中的容器W的載置台1a，相當於成為天花板搬送車3之容器W的 搬送起點或搬送終點之搬送對象處。載置台1a位於天花板搬送車3行進之行進路徑的正下方。氮氣供給裝置4是設置於相對於載置台1a在行進路徑之長邊方向上錯開之處。再者，行進路徑所指的是沿著行進軌道2行進之天花板搬送車3及受其支撐之容器W移動的空間。
[容器]
如圖4及圖5所示，在容器W中具備有容器本體部6、凸緣部7(被支撐部)、與裝卸自如的蓋體(圖未示)，該容器本體部6收容複數片半導體基板，該凸緣部7(被支撐部)位於比此容器本體部6還上方且被配備在容器W的上端部，該蓋體用以將形成於容器本體部6之前面之基板進出用的基板出入口關閉。
如圖4所示，在容器本體部6之底面(容器W之底面)具備有從上方凹入之3個底面凹部8(被卡合部)。此底面凹部8是形成為愈往上方愈細之漸細形狀，且將底面凹部8之內表面形成為傾斜面。亦即，底面凹部8是形成為朝上方凹陷的形狀且隨著愈朝上方寬度(開口寬度)變得愈窄的形狀。
此底面凹部8是配備成當以天花板搬送車3將容器W搬送到載置台1a而將容器W裝載在載置台1a時(參照圖3)，使載置台1a上所具備的定位構件9從下方卡合。當以天花板搬送車3將容器W裝載在載置台1a上時，容器W相對於載置台1a在水平方向上偏移時，藉由以底面凹部8的內表面引導定位構件9，可形成為將容器W之相對於載置台1a之水平方向 上的位置修正到適當的位置。
並且，在將容器W載置支撐於載置台1a的狀態下，會形成定位構件9從下方卡合於該容器W之底面凹部8的狀態，容器W是藉由卡合在底面凹部8中的3個定位構件9而使往水平方向的位移受到限制，且透過卡合於底面凹部8中的3個定位構件9而受到載置支撐。
如圖5所示，在凸緣部7的上表面(容器W的上表面)形成有朝下方凹入之上表面凹部10。此上表面凹部10是形成為愈往下方愈細之漸細形狀，且將上表面凹部10之內表面形成為傾斜面。
此上表面凹部10是構成為在將容器W載置於載置台1a的狀態下，當天花板搬送車3使支撐機構18下降移動時，供支撐機構18所具備之按壓部18c卡合。並且，當天花板搬送車3使支撐機構18下降移動時，支撐機構18相對於被載置支撐於載置台1a上之容器W在水平方向上偏移時，藉由以上表面凹部10之內表面引導按壓部18c，形成為可將支撐機構18之相對於容器W的水平方向上的位置修正到適當的位置。
如圖5所示，容器W的底面具備有供氣口11(供氣部)與排氣口12，該供氣口11是將從氮氣供給裝置4之噴出噴嘴27噴出之氮氣供氣到容器W內，該排氣口12是用於排出容器W內之氣體。供氣口11中具備有供氣用開關閥(圖未示)，排氣口12中具備有排氣用開關閥(圖未示)。亦即，容器W是構成為藉由以蓋體關閉基板出入口，並以開關閥關 閉各自的供氣口11及排氣口12，而具有氣密性。在本實施形態中，噴出噴嘴27相當於「噴出部」。
並且，供氣口11之供氣用開關閥是構成為藉由彈簧等之賦勢體而被賦勢為關閉，當將氮氣供給裝置4之噴出噴嘴27連接到供氣口11而從該噴出噴嘴27噴出氮氣時，即藉由該噴出之氮氣的壓力將供氣用開關閥操作為打開，來將氮氣供給到容器W內。
又，排氣口12之排氣用開關閥是構成為藉由彈簧等之賦勢體而被賦勢為關閉，當藉由氮氣供給裝置4之氮氣的供給而使容器W內之壓力升高時，即將排氣用開關閥操作為打開，來將容器W內之氣體排氣。
[天花板搬送車]
如圖4及圖5所示，天花板搬送車3具備有於行進軌道2上沿行進軌道2行進之行進部15、以及被行進部15懸吊支撐成位於行進軌道2的下方且將容器W支撐成升降移動自如的本體部16。
本體部16中具備有作為支撐容器W之支撐部的支撐機構18、使支撐機構18升降移動的升降操作機構19、以及覆蓋以位於上升位置之支撐機構18所支撐之容器W的上方側及路徑前後側的蓋體20。
升降操作機構19具備有將於前端部連結支撐有支撐機構18之捲取帶19a予以捲繞的捲繞體19b、以及旋轉驅動該捲繞體19b的升降用馬達19c。並且，升降操作機構19是構成為，以升降用馬達19c使捲繞體19b以正逆的形式 旋轉驅動，而將捲取帶19a捲取及陸續放出操作，藉以使支撐機構18及受其支撐之容器W升降移動。
支撐機構18中具備有使其繞著橫軸心搖動自如的一對把持爪18a、使一對把持爪18a繞橫軸心搖動的把持用馬達18b(切換驅動部)、在已使支撐機構18下降移動時相對於位於搬送起點之容器W從上方按壓，來決定支撐機構18相對於容器W的位置之按壓部18c。支撐機構18是構成為藉由以一對把持用馬達18b使一對把持爪18a搖動成互相遠近移動，以在使一對把持爪18a相互接近而支撐容器W之凸緣部7的支撐狀態、與使把持爪18a相互拉開間隔而解除對凸緣部7之支撐的支撐解除狀態切換自如。
一對把持爪18a各自構成為以其下端部從下方支撐凸緣部7。然後，在以一對把持爪18a支撐凸緣部7的狀態下，把持爪18a之上下方向的中央部會位於凸緣部7的側邊。再者，把持爪18a的下端部相當於支撐凸緣部7的支撐體，並在以一對把持爪18a的下端部支撐凸緣部7的狀態下，使把持爪18a之上下方向的中央部位於凸緣部7的側邊，而相當於限制凸緣部7往水平方向移動的限制部。
[氮氣供給裝置]
如圖4及圖5所示，氮氣供給裝置4具備有設置於天花板而位於比天花板搬送車3之行進路徑還上方的裝置本體22、以及受裝置本體22懸吊支撐並延伸設置到比天花板搬送車3之行進路徑還下方的噴嘴支撐體23。
又，氮氣供給裝置4具備有使氮氣流通的氮氣供給管路 25、配備於該氮氣供給管路25中途的切換閥26、配備於氮氣供給管路25下游側端部而連接到容器W之供氣口11的噴出噴嘴27、連接於容器W之排氣口12的排氣噴嘴28、及檢測噴出噴嘴27為連接在容器W之供氣口11的狀態的連接感測器29。
氮氣供給管路25是透過裝置本體22而自氮氣供給源延伸設置至噴嘴支撐體23的下端部。切換閥26配備於裝置本體22，且噴出噴嘴27、排氣噴嘴28及連接感測器29會受到噴嘴支撐體23所支撐。
氮氣供給裝置4是構成為將從供給源(圖未示)所供給之氮氣從噴出噴嘴27噴出，並構成為藉由切換閥26之切換，以切換成從噴出噴嘴27噴出氮氣的狀態與不從噴出噴嘴27噴出氮氣的狀態。
並且，將氮氣供給裝置4配備成使噴出噴嘴27及排氣噴嘴28位於天花板搬送車3行進之行進路徑的正下方。並且，在使天花板搬送車3相對於氮氣供給裝置4停止於預先設置之供給用停止位置的狀態下，噴出噴嘴27會位於天花板搬送車3所支撐之容器W的供氣口11的正下方，且排氣噴嘴28會位於天花板搬送車3所支撐之容器W的排氣口12的正下方。
物品搬送設備中具備有將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換成連接用位置關係與分離用位置關係之使噴出噴嘴27相對於支撐機構18相對地移動之作為連接用驅動裝置的連接用馬達30，該連接用位置關係為將噴出 噴嘴27連接到被支撐機構18所支撐之容器W，該分離用位置關係為使噴出噴嘴27從被支撐機構18所支撐之容器W分離。
如圖4所示，連接用馬達30是配備於氮氣供給裝置4之裝置本體22中，且構成為藉由連接用馬達30之驅動，使噴嘴支撐體23沿鉛直方向直線狀地升降移動。
亦即，在使天花板搬送車3相對於氮氣供給裝置4停止在預先設定之供給用停止位置上的狀態下，是藉由驅動連接用馬達30以使噴嘴支撐體23上升移動到上升位置，而形成為連接用位置關係，並藉由驅動連接用馬達30以使噴嘴支撐體23下降移動到下降位置，而形成為分離用位置關係。
像這樣，連接用馬達30是構成為藉由使噴嘴支撐體23朝鉛直方向升降移動，來使噴出噴嘴27與支撐機構18之中的噴出噴嘴27升降移動，以將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換成連接用位置關係與分離用位置關係。
並且，形成分離用位置關係時之噴出噴嘴27與排氣噴嘴28會位於比天花板搬送車3之行進路徑還下方，而形成連接用位置關係時之噴出噴嘴27與排氣噴嘴28會進入天花板搬送車3之行進路徑。並且，藉由氮氣供給裝置4而被供給氮氣之容器W為全部或一部分位於天花板搬送車3之行進路徑內。
[控制裝置]
天花板搬送車3之作動及氮氣供給裝置4之作動是以圖 4所示之控制裝置H所控制。控制裝置H是構成為根據來自上位之控制器之搬送指令，來控制用以執行接收控制與移交控制之天花板搬送車3的作動，該接收控制是從成為搬送起點之載置台1a接收容器W，該移交控制是將容器W移交至成為搬送終點之載置台1a。又，控制裝置H是構成為控制用以執行供給控制之天花板搬送車3之作動及氮氣供給裝置4之作動，該供給控制是對以天花板搬送車3所支撐之容器W供給氮氣。
如圖6之流程圖所示，在接收控制中，是控制用以執行接收用行進處理與接收用升降處理的天花板搬送車3之作動，該接收用行進處理是使不支撐容器W之天花板搬送車3行進到搬送用停止位置，該接收用升降處理是在使天花板搬送車3停止於搬送用停止位置上的狀態下，於陸續放出捲取帶19a後將支撐機構18切換到把持狀態，而從載置台1a接收容器W，之後，將捲取帶19a捲取。藉由像這樣進行接收控制，以將容器W從載置台1a取下，而以天花板搬送車3支撐容器W。
如圖7之流程圖所示，在移交控制中，是控制用以執行移交用行進處理與移交用升降處理的天花板搬送車3之作動，該移交用行進處理是使支撐容器W之天花板搬送車3行進到與載置台1a對應的搬送用停止位置為止，該移交用升降處理是在已使天花板搬送車3停止於搬送用停止位置的狀態下，於捲取帶19a之陸續放出後將支撐機構18切換到支撐解除狀態，並於之後將捲取帶19a予以捲取。藉由像 這樣進行移交控制，可將以天花板搬送車3所支撐之容器W載置到載置台1a上。
又，如圖7之流程圖所示，控制裝置H會判別是否在剛開始進行移交控制之執行後即滿足所預先設定之供給條件，若滿足供給條件時，會中斷移交控制而執行供給控制。再者，供給條件為例如從上位控制器下達對搬送對象之容器W供給氮氣的供給指令時，或是天花板搬送車3從搬送起點到搬送終點之預定行進距離在預先設定的行進距離以上時。
再者，是否已滿足供給條件之判別，也可以在已結束接收控制後、到開始移交控制前進行。並且，也可以在滿足供給條件時執行供給控制，而未滿足供給條件時執行移交控制。
其次，根據圖8之流程圖說明供給控制。
在供給控制中，首先是控制用以執行供給用行進處理之天花板搬送車3的作動，該供給用行進處理是使支撐容器W之天花板搬送車3行進到供給用停止位置為止。
然後，控制用以執行連接處理的氮氣供給裝置4的作動，該連接處理是在使天花板搬送車3停止於供給用停止位置的狀態下，使噴嘴支撐體23上升移動到上升位置，以將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換為連接用位置關係。藉由像這樣執行連接處理，可以將噴出噴嘴27連接到天花板搬送車3所支撐之容器W的供氣口11，並將排氣噴嘴28連接到天花板搬送車3所支撐之容器W的排氣口12。
在天花板搬送車3停止於供給用停止位置且已使噴嘴支撐體23上升移動到上升位置的狀態下，控制裝置H會在以連接感測器29檢測出連接狀態(噴出噴嘴27被適當地連接到供氣口11的狀態)時，進行將切換閥26打開操作之供給開始處理，並在以連接感測器29未檢測出連接狀態時，執行使警報裝置作動的報知處理。
藉由執行供給開始處理，可從噴出噴嘴27將氮氣噴出，以開始進行對容器W內之氮氣供給。並且，藉由執行報知處理，可使蜂鳴器與警示燈等之警報裝置作動，以報知在供給控制中噴出噴嘴27並未被適當地連接到供氣口11之情形。
並且，在氮氣供給處理後之氮氣供給中，於已滿足預先設定之結束條件時，控制裝置H首先會進行將切換閥26關閉操作之供給停止處理，接著，控制用以執行分離處理之氮氣供給裝置4的作動，該分離處理是使噴嘴支撐體23下降移動到下降位置，以將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換到分離用位置關係。藉由執行供給停止處理，停止來自噴出噴嘴27之氮氣的噴出，以將對容器W內之氮氣的供給結束。
再者，結束條件為例如從上位控制器下達將對搬送對象之容器W的氮氣的供給結束之供給結束指令時，及從開始進行氮氣之供給到預先設定之設定時間已經過時等。
如上所述，在控制裝置H執行連接處理之後到執行分離處理之前的期間，是使天花板搬送車3停止於供給用 停止位置，且將支撐機構18維持在支撐狀態。
並且，氮氣供給裝置4是構成為在天花板搬送車3停止於供給用停止位置的狀態下，將噴出噴嘴27連接於該天花板搬送車3所支撐之容器W且可從噴出噴嘴27噴出氮氣，並構成為在將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係藉由連接用驅動裝置維持於連接用位置關係的狀態下，從噴出噴嘴27噴出不活性氣體。亦即，氮氣供給裝置4是構成為，在將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係藉由連接用驅動裝置切換到連接用位置關係後之噴出噴嘴27與容器W之連接受到維持的狀態下，從噴出噴嘴27噴出不活性氣體。並且，本實施形態中，在將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換到連接用位置關係後，將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係藉由連接用驅動裝置維持在連接用位置關係，藉此使噴出噴嘴27與容器W之連接受到維持。亦即，在本實施形態中，是在將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係維持在將噴出噴嘴27連接到受支撐機構18所支撐之容器W的連接用位置關係的狀態下，使氮氣供給裝置4從噴出噴嘴27噴出不活性氣體。
像這樣，氮氣供給裝置4是構成為，在天花板搬送車3已停止於供給用停止位置後，將氮氣供給裝置4的噴出噴嘴27連接到以該天花板搬送車3之支撐機構18所支撐的容器W，以將氮氣供給到容器W內。並且，在像這樣以氮氣供給裝置4將氮氣供給到容器W內的期間，因為天花板搬送車3是停止於供給用停止位置，故可藉由該天花板搬送 車3在氮氣之供給結束後迅速地搬送容器W。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中，雖然是構成為在以支撐機構18支撐容器W的狀態下藉由氮氣供給裝置4來供給氮氣，但亦可構成為在以氮氣供給裝置4支撐容器W的狀態下，藉由氮氣供給裝置4來供給氮氣。
亦即，例如，如圖9所示，在氮氣供給裝置4之噴嘴支撐體23中具備卡合於容器W之底面凹部8的3個定位用的支撐構件31。定位用支撐構件31是形成為朝向上方而突出之凸狀。並且，在使噴嘴支撐體23上升移動到上升位置以將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換到連接用位置關係時，將噴出噴嘴27連接到供氣口11且將排氣噴嘴28連接到排氣口12，並且還將3個支撐構件31卡合於容器W中的3個底面凹部8。然後，做成為藉由使噴嘴支撐體23上升到比上升位置更高的支撐位置，以用3個支撐構件31舉起容器W，而使容器W之凸緣部7從把持爪18a朝上方浮起。像這樣，亦可構成為在以3個支撐構件31支撐容器W的狀態下，以氮氣供給裝置4供給氮氣。亦即，在這個另外的實施形態中，在將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換到連接用位置關係後，將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係維持在將噴出噴嘴27連接到以氮氣供給裝置4(此處為噴嘴支撐體23)所支撐之容器W上的位置關係，藉此維持噴出噴嘴27與容器W之連接。然後，在將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係維持在將噴出噴嘴27連接到以氮氣供給裝置4 所支撐之容器W上的位置關係的狀態下，使氮氣供給裝置4從噴出噴嘴27噴出不活性氣體。
又，雖然省略圖式，但是例如噴出噴嘴27中具備比供氣口11大型的干涉部，排氣噴嘴28中具備比排氣口12大型的干涉部。並且，在使噴嘴支撐體23上升移動到上升位置以將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換到連接用位置關係時，將噴出噴嘴27連接到供氣口11且將排氣噴嘴28連接到排氣口12，並且還使噴出噴嘴27與排氣噴嘴28中所具備的干涉部干涉容器W之底面。並且，做成藉由使噴嘴支撐體23上升到比上升位置還高的支撐位置，以藉由2個干涉部舉起容器W，而使容器W之凸緣部7從把持爪18a朝上方浮起。像這樣，亦可構成為在以2個干涉部支撐容器W的狀態下，以氮氣供給裝置4供給氮氣。像這樣，即使在容器W之凸緣部7從把持爪18a朝上方浮起時，因容器W之凸緣部7的橫側邊存在支撐機構18的把持爪18a，故可藉由使容器W之凸緣部7接觸於把持爪18a，而防止容器W翻倒。
再者，如上所述，亦可構成為在以氮氣供給裝置4支撐容器W的狀態下，用氮氣供給裝置4供給氮氣時，以按壓部18c從上方按壓已舉起之容器W的凸緣部7，而在已藉由噴嘴支撐體23與按壓部18c朝上下方向進行挾持的狀態下，以氮氣供給裝置4來供給氮氣。
順帶一提，也可以做成在以氮氣供給裝置4支撐容器W時，在已將支撐機構18切換到支撐解除狀態的狀態下，以氮氣供給裝置4來將氮氣供給到容器W內。
(2)在上述實施形態中，雖然是構成為在氮氣供給裝置4中具備連接用驅動裝置，並以連接用驅動裝置移動噴出噴嘴27，來將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換到連接用位置關係與分離用位置關係，但亦可構成為在天花板搬送車3中具備連接用驅動裝置，而以連接用驅動裝置移動支撐機構18，來將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換到連接用位置關係與分離用位置關係。
具體而言，亦可構成為例如，如圖10所示，在使天花板搬送車3停止於供給用停止位置的狀態下，以升降用馬達19c旋轉驅動捲繞體19b，以升降移動支撐機構18，藉此將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係切換到連接用位置關係與分離用位置關係。此時，是將天花板搬送車3中所具備之升降用馬達19c兼用作連接用驅動裝置。
(3)在上述實施形態中，雖然氮氣供給裝置4之裝置本體22比天花板搬送車3的行進路徑還位於上方，但如圖11~圖13所示，將氮氣供給裝置4之裝置本體22配備成比天花板搬送車3的行進路徑還位於下方亦可。並且，在將氮氣供給裝置4之裝置本體22配備成比天花板搬送車3的行進路徑還位於下方時，如圖11~圖13所示，將氮氣供給裝置4以受到天花板懸吊支撐的狀態設置亦可，又，將氮氣供給裝置4和處理裝置1一樣設置在地面上亦可。
(4)在上述實施形態中，雖然將氮氣供給裝置4之噴出噴嘴27配備成位於天花板搬送車3的行進路徑的正下方，但是亦可將氮氣供給裝置4之噴出噴嘴27配備成相對於 天花板搬送車3位於側邊。
具體而言，例如，如圖12及圖13所示，除了受到氮氣供給裝置4之裝置本體22支撐外，還具備藉由第1驅動裝置33之驅動而沿鉛直方向升降移動的升降台34。在該升降台34上，是以藉由第2驅動裝置35之驅動而沿水平方向滑行移動的方式使其支撐噴嘴支撐體23。並且，亦可構成為藉由第2驅動裝置35之驅動而使噴嘴支撐體23突出移動後，藉由第1驅動裝置33之驅動使升降台34上升移動，來將支撐機構18與噴出噴嘴27之位置關係從分離用位置關係切換到連接用位置關係。在像這樣構成的情況下，第1驅動裝置33及第2驅動裝置35相當於連接用驅動裝置。再者，除電動馬達外還可以使用汽缸等作為驅動裝置，在使用汽缸作為驅動裝置時，也可做成利用來自氮氣供給裝置4的氮氣。
(5)在上述實施形態中，雖然構成為在使天花板搬送車3停止於供給用停止位置的狀態下以氮氣供給裝置4將氮氣供給到容器W內，但亦可構成為將氮氣供給裝置4配備成沿行進路徑移動自如，並一邊使氮氣供給裝置4與沿行進路徑行進之天花板搬送車3一體移動，一邊將氮氣供給裝置4之噴出噴嘴27連接於以天花板搬送車3之支撐機構18所支撐的容器W，而將氮氣供給到容器W內。
又，相對於行經處理裝置1的行進路徑，將行經氮氣供給裝置4之行進路徑以分歧及合流的狀態配備，而將處理裝置1與氮氣供給裝置4配備成並排亦可。具體而言，例如，作為行經處理裝置1的行進路徑，而具備迴圈狀的主路徑與 相對於該主路徑分離合流之迴圈狀的副路徑，並將行經氮氣供給裝置4之行進路徑以相對於主路徑分歧合流之狀態配備亦可。
(6)在上述實施形態中，雖然將容器W設成收容半導體基板之FOUP，但是容器之形狀與收容於容器中的收容物亦可適當變更，例如將容器設成貨櫃，收容物設成食品亦可。又，除了氮氣外，將氬氣等作為不活性氣體亦可。
[上述實施形態之概要]
以下，針對在上述所說明之物品搬送設備的概要進行說明。
物品搬送設備具備沿著懸吊於天花板之行進軌道行進以搬送容器之物品搬送車，且前述物品搬送車具備支撐前述容器之支撐部，並將從噴出部噴出不活性氣體之不活性氣體供給裝置設置成使前述噴出部位於前述物品搬送車行進之行進路徑的側邊或下方，且具有使前述噴出部相對於前述支撐部相對地移動以將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換成連接用位置關係與分離用位置關係之連接用驅動裝置，該連接用位置關係是將前述噴出部連接於以前述支撐部支撐之前述容器上，該分離用位置關係是已使前述噴出部從以前述支撐部支撐之前述容器分離，且前述不活性氣體供給裝置是在藉由前述連接用驅動裝置將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係後維持前述噴出部與前述容器之連接的狀態下，將不活性氣體從前述噴 出部噴出。
根據此構成，是在使物品搬送車行進到對應於不活性氣體供給裝置之位置的狀態下，以連接用驅動裝置使噴出部相對於支撐部相對地移動，以將支撐部與噴出部的位置關係切換到連接用位置關係，藉此，可將噴出部連接到受物品搬送車之支撐部所支撐的容器上。
又，在使物品搬送車行進到對應於不活性氣體供給裝置之位置的狀態下，以連接用驅動裝置使噴出部相對於支撐部相對地移動，以將支撐部與噴出部的位置關係切換到分離用位置關係，藉此，可使噴出部從受到物品搬送車之支撐部所支撐的容器分離。
並且，在維持已將支撐部與噴出部的位置關係切換成連接用位置關係後之噴出部與容器之連接的狀態下，由於噴出部被連接於容器，故可在此狀態下使不活性氣體供給裝置從噴出部噴出不活性氣體，藉此將不活性氣體供給到容器內。
又，像這樣將不活性氣體供給到容器內的期間，物品搬送車位於與不活性氣體供給裝置相對應的位置上。因此，只要以連接用驅動裝置將支撐部與噴出部之位置關係切換到分離用位置關係，即形成為容器受物品搬送車之支撐部支撐的狀態，且物品搬送車會形成為可藉由支撐部支撐容器而行進的狀態。因此，可將已藉由不活性氣體供給裝置供給不活性氣體之容器，以物品搬送車迅速地搬送到其他處。
在此，較理想的是前述連接用驅動裝置設置於前述不活性氣體供給裝置，且僅使前述噴出部與前述支撐部中的前述噴出部移動，而將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換到前述連接用位置關係與前述分離用位置關係。
根據此構成，將連接用驅動裝置設置於不活性氣體供給裝置，就不必在物品搬送車中設置連接用驅動裝置。因此，可以避免沿從天花板懸吊下來之行進軌道行進的物品搬送車的增重化及物品搬送車之構成的複雜化。
又，較理想的是使前述噴出部位於前述行進路徑的正下方，且前述連接用驅動裝置使前述噴出部直線狀地升降移動，而將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換到前述連接用位置關係與前述分離用位置關係。
根據此構成，由於連接用驅動裝置只要使噴出部直線狀地升降移動即可，故可謀求連接用驅動裝置之構成的精簡化。
又，較理想的是前述連接用驅動裝置設置於前述物品搬送車，且，僅使前述噴出部與前述支撐部中的前述支撐部移動，而將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換到前述連接用位置關係與前述分離用位置關係。
根據此構成，將連接用驅動裝置設置於物品搬送車，就不必在不活性氣體供給裝置中設置連接用驅動裝置。因此，可以避免不活性氣體供給裝置之構成的複雜化。又，在從天花板懸吊不活性氣體供給裝置之構成的情況等中， 由於在不活性氣體供給裝置中並未具備連接用驅動裝置，因而在可以避免不活性氣體供給裝置之增重化之點上也較佳。
又，較理想的是在前述行進路徑的正下方，具有成為前述物品搬送車的物品搬送起點或搬送終點之搬送對象處，並使前述不活性氣體供給裝置設於相對於前述搬送對象處在前述行進路徑的長邊方向上錯開之處，且前述噴出部位於前述行進路徑之正下方，前述物品搬送車具有使前述支撐部升降移動而將物品相對於前述搬送對象處進行載卸的搬送用驅動裝置，並可將前述搬送用驅動裝置兼用作前述連接用驅動裝置。
根據此構成，因為是藉由用於將容器相對於搬送對象處進行載卸而設置之搬送用驅動裝置來使支撐部升降移動，故可將支撐部與噴出部之位置關係切換到連接用位置關係與分離用位置關係。據此，可將搬送用驅動裝置兼用作連接用驅動裝置，而不需要在搬送用驅動裝置外另行設置連接用驅動裝置，因此即使是在物品搬送車中設置有連接用驅動裝置之情況下，也可避免物品搬送車的增重化及物品搬送車之構成的複雜化。
又，較理想的是在前述容器的底面具有供氣部與被卡合部，該供氣部供前述噴出部從下方連接，該被卡合部供與前述噴出部設置成一體且形成為朝上方突出之凸狀的定位構件從下方卡合，前述被卡合部形成為朝上方凹陷之形狀且隨著愈朝向上方寬度變得愈窄之漸細形狀，前述 連接用驅動裝置使前述噴出部相對於前述支撐部相對地升降移動，來將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係與前述分離用位置關係。
根據此構成，在使物品搬送車行進至與不活性氣體供給裝置相對應之位置的狀態下，藉由以連接用驅動裝置將噴出部相對於支撐部相對地升降移動，可將支撐部與噴出部的位置關係切換到連接用位置關係與分離用位置關係。並且，藉由像這樣使噴出部相對於支撐部相對地上升移動，以將與噴出部一體地設置之定位構件，相對於受到支撐部所支撐之容器相對地上升移動，並將定位構件卡合於容器之被卡合部。此時，當容器相對於噴出部與定位構件在水平方向上偏移時，藉由以被卡合部的內表面引導定位構件，可將容器相對於噴出部與定位構件之水平方向上的位置修正到適當的位置，而變得易於使噴出部適當地連接到容器的供給部。
又，較理想的是前述支撐部具有：複數個支撐體，支撐設置在前述容器之上端的被支撐部；限制體，在藉由前述複數個支撐體支撐前述被支撐部的狀態下，位於前述被支撐部的側邊，且限制前述被支撐部之水平方向的移動；及切換驅動裝置，切換成使前述複數個支撐體相互接近的支撐狀態與使前述複數個支撐體相互拉開間隔的支撐解除狀態，且前述不活性氣體供給裝置是在藉由前述切換驅動裝置將前述支撐部切換為前述支撐狀態的狀態下，從前述噴出部噴出不活性氣體。
根據此構成，以連接用驅動裝置將支撐部與噴出部的位置關係切換到連接用位置關係而將噴出部連接到容器後，可在不將支撐部的狀態從支撐狀態切換到支撐解除狀態的情形下，使不活性氣體供給裝置從噴出部噴出不活性氣體以將不活性氣體供給到容器內。因此，將容器連接到噴出部後，到不活性氣體供給裝置從噴出部噴出不活性氣體之前，不需要將支撐部從支撐狀態切換到支撐解除狀態。從而，可迅速開始進行對容器內之不活性氣體的供給。
又，在已將支撐部切換到支撐狀態的狀態下，會使容器中之被支撐部的側邊存在有支撐部的限制體。因此，即使是在例如藉由連接用驅動裝置將容器舉起而使被支撐部從支撐體浮起的情況下，容器之上端部所具備之被支撐部仍會接觸支撐部之限制體，藉此，可防止容器翻倒。
又，較理想的是前述不活性氣體供給裝置是在前述物品搬送車停止於對應該不活性氣體供給裝置而預先設定之供給用停止位置的狀態下，從前述噴出部噴出不活性氣體。
根據此構成，不需配合行進之物品搬送車來使不活性氣體供給裝置移動，且可將不活性氣體供給裝置以固定狀態配備，因此可將不活性氣體供給裝置之構成精簡化。

Claims (5)

  1. 一種物品搬送設備，具有沿著懸吊於天花板之行進軌道行進以搬送容器之物品搬送車，在此，前述物品搬送車具有支撐前述容器之支撐部，前述物品搬送設備具有以下特徵：將具有噴出不活性氣體之噴出部的不活性氣體供給裝置設置成使前述噴出部位於前述物品搬送車行進之行進路徑的側邊或下方，且具有使前述噴出部相對於前述支撐部相對地移動以將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換成連接用位置關係與分離用位置關係之連接用驅動裝置，該連接用位置關係是將前述噴出部連接到以前述支撐部支撐之前述容器，該分離用位置關係是已使前述噴出部從以前述支撐部支撐之前述容器分離，前述不活性氣體供給裝置是在藉由前述連接用驅動裝置將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係後維持前述噴出部與前述容器之連接的狀態，將不活性氣體從前述噴出部噴出，前述連接用驅動裝置設置在前述不活性氣體供給裝置，且僅使前述噴出部與前述支撐部中之前述噴出部移動，而將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係與前述分離用位置關係， 前述噴出部位於前述行進路徑的正下方，前述連接用驅動裝置使前述噴出部直線狀地升降移動，而將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係與前述分離用位置關係。
  2. 一種物品搬送設備，具有沿著懸吊於天花板之行進軌道行進以搬送容器之物品搬送車，在此，前述物品搬送車具有支撐前述容器之支撐部，前述物品搬送設備具有以下特徵：將具有噴出不活性氣體之噴出部的不活性氣體供給裝置設置成使前述噴出部位於前述物品搬送車行進之行進路徑的側邊或下方，且具有使前述噴出部相對於前述支撐部相對地移動以將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換成連接用位置關係與分離用位置關係之連接用驅動裝置，該連接用位置關係是將前述噴出部連接到以前述支撐部支撐之前述容器，該分離用位置關係是已使前述噴出部從以前述支撐部支撐之前述容器分離，前述不活性氣體供給裝置是在藉由前述連接用驅動裝置將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係後維持前述噴出部與前述容器之連接的狀態，將不活性氣體從前述噴出部噴出，前述連接用驅動裝置設置於前述物品搬送車，且僅使前述噴出部與前述支撐部中之前述支撐部移動，而將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接 用位置關係與前述分離用位置關係，在前述行進路徑的正下方具有成為前述物品搬送車之物品的搬送起點或搬送終點之搬送對象處，且前述不活性氣體供給裝置設於相對於前述搬送對象處在前述行進路徑的長邊方向上錯開之處，前述噴出部位於前述行進路徑之正下方，前述物品搬送車具有使前述支撐部升降移動而將物品相對於前述搬送對象處進行載卸的搬送用驅動裝置，並將前述搬送用驅動裝置兼用作前述連接用驅動裝置。
  3. 一種物品搬送設備，具有沿著懸吊於天花板之行進軌道行進以搬送容器之物品搬送車，在此，前述物品搬送車具有支撐前述容器之支撐部，前述物品搬送設備具有以下特徵：將具有噴出不活性氣體之噴出部的不活性氣體供給裝置設置成使前述噴出部位於前述物品搬送車行進之行進路徑的側邊或下方，且具有使前述噴出部相對於前述支撐部相對地移動以將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換成連接用位置關係與分離用位置關係之連接用驅動裝置，該連接用位置關係是將前述噴出部連接到以前述支撐部支撐之前述容器，該分離用位置關係是已使前述噴出部 從以前述支撐部支撐之前述容器分離，前述不活性氣體供給裝置是在藉由前述連接用驅動裝置將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係後維持前述噴出部與前述容器之連接的狀態，將不活性氣體從前述噴出部噴出，在前述容器的底面具有供氣部與被卡合部，該供氣部供前述噴出部從下方連接，該被卡合部供與前述噴出部設置為一體且形成為朝上方突出之凸狀的定位構件從下方卡合，前述被卡合部形成為朝上方凹陷的形狀並隨著愈朝上方寬度變得愈窄的漸細形狀，前述連接用驅動裝置使前述噴出部相對於前述支撐部相對地升降移動，而將前述支撐部與前述噴出部之位置關係切換為前述連接用位置關係與前述分離用位置關係。
  4. 如請求項1到3中的任1項之物品搬送設備，其中，前述支撐部具有：複數個支撐體，支撐設置在前述容器之上端部的被支撐部；限制體，在藉由前述複數個支撐體支撐前述被支撐部的狀態下，位於前述被支撐部的側邊且限制前述被支撐部之水平方向的移動；及切換驅動裝置，切換成使前述複數個支撐體相互接近的支撐狀態與使前述複數個支撐體相互拉開間隔的支撐解除狀態，且前述不活性氣體供給裝置是在藉由前述切換驅 動裝置將前述支撐部切換為前述支撐狀態的狀態下，從前述噴出部噴出不活性氣體。
  5. 如請求項1到3中的任1項之物品搬送設備，其中，前述不活性氣體供給裝置是在前述物品搬送車停止於對應該不活性氣體供給裝置而預先設定之供給用停止位置的狀態下，從前述噴出部噴出不活性氣體。
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