KR20160056824A - 물품 반송 설비 - Google Patents

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Abstract

물품 반송 설비는, 천정 반송차의 지지부와 불활성 기체 공급 장치의 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환하도록, 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치를 구비한다. 불활성 기체 공급 장치는, 지지부와 토출부와의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후의 토출부와 용기와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 토출부로부터 토출한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 천정으로부터 현수(懸垂)된 주행 레일을 따라 주행하여 용기를 반송하는 물품 반송차(搬送車)가 구비되고, 상기 물품 반송차가, 상기 용기를 지지하는 지지부를 구비하고 있는 물품 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 반송 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2012―044033호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차가 주행하는 주행 경로의 측방에 물품을 보관하는 용기 보관부를 구비하고, 그 용기 보관부에, 불활성 기체(氣體)를 토출부(吐出部)로부터 토출(吐出)하는 불활성 기체 공급 장치가 구비되어 있다. 이와 같이, 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 용기 보관부에 불활성 기체 공급 장치를 구비함으로써, 용기 보관부에 용기를 보관하는 시간을 이용하여 용기 내에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다.
설명을 추가하면, 물품 반송차에는, 용기를 지지하는 지지부를 승강 이동시키는 승강 구동부가 구비되어 있고, 용기 보관부에는, 토출부를 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부가 구비되어 있다. 그리고, 물품 반송차가 용기 보관부에 대하여 미리 설정되어 있는 주행 정지 위치에 정지한 후, 토출부가 물품 반송차의 지지부에 의해 지지되어 있는 용기의 바로 아래에 위치하도록, 수평 구동부에 의해 토출부를 수평 방향을 따라 돌출 이동시키고, 그 후, 승강 구동부에 의해 지지부를 하강 이동시켜, 용기에 토출부를 접속한다.
이와 같이, 수평 구동부에 의한 토출부의 수평 이동과 승강 구동부에 의한 지지부의 승강 이동에 의해, 지지부와 토출부와의 위치 관계를, 지지부에 의해 지지된 용기에 토출부가 접속되는 접속용 위치 관계와, 지지부에 의해 지지된 용기로부터 토출부를 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 되어 있다.
또한, 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 수평 구동부에 의해 토출부를 수평 방향을 따라 돌출 이동시킴으로써, 토출부에 불활성 기체를 공급하는 질소 가스 공급로가 도중에서 분단(分斷)된다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치는, 수평 구동부에 의해 토출부를 수평 방향을 따라 돌출 이동시킨 상태로는, 토출부로부터 불활성 기체를 토출할 수 없는 구성으로 되어 있다.
따라서, 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 토출부로부터 불활성 기체를 토출하여 용기 내에 불활성 기체를 공급하기 위해, 천정 반송차는, 용기를 토출부에 접속한 후에 용기에 대한 지지부에 의한 지지를 해제하고, 불활성 기체 공급 장치는, 수평 구동부에 의해 토출부를 수평 방향을 따라 퇴피 이동시켜 질소 가스 공급로의 도중을 접속시킨다. 종래에서의 물품 반송 설비에서는, 불활성 기체 공급 장치는, 이와 같이 토출부를 퇴피 이동시킨 후에 토출부로부터 불활성 기체를 토출시켜 용기 내에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다.
일본 공개특허 제2012―044033호 공보
상기한 종래의 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차가 용기를 물품 보관부에 반송한 후에는, 다음의 용기를 반송하기 위해 물품 반송차를 주행 정지 위치로부터 주행시킨다. 그리고, 물품 보관부로부터 용기를 반송하는 경우에는, 다른 물품 반송차를 상기 주행 정지 위치까지 주행시킨 후, 상기 물품 반송차에 의해 물품 보관부로부터 다른 개소(箇所)에 반송하게 된다.
물품 보관부에 있어서 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체가 공급되고 있었던 용기를 다른 개소에 반송할 때는, 다른 물품 반송차를 주행 정지 위치까지 주행시킨 후, 물품 반송차의 승강 구동부나 불활성 기체 공급 장치의 수평 구동부를 구동시켜, 지지부에 의해 용기를 지지할 수 있는 위치 관계로 되도록 지지부와 토출부를 상대적으로 이동시키고, 또한 토출부를 용기로부터 분리하기 위해 지지부와 토출부를 상대적으로 이동시킬 필요가 있다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체가 공급되고 있었던 용기를 신속히 다른 개소로 반송하는 것이 어려웠다.
그래서, 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체가 공급되어 있었던 용기를 다른 개소에 신속히 반송할 수 있는 물품 반송 설비가 요구된다.
상기를 감안하여, 물품 반송 설비의 특징적 구성은, 천정으로부터 현수된 주행 레일을 따라 주행하여 용기를 반송하는 물품 반송차를 구비하고, 상기 물품 반송차가, 상기 용기를 지지하는 지지부를 구비하고,
불활성 기체를 토출부로부터 토출하는 불활성 기체 공급 장치가, 상기 물품 반송차가 주행하는 주행 경로의 측방(옆쪽) 또는 아래쪽에 상기 토출부가 위치하도록 구비되고, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기에 상기 토출부가 접속되는 접속용 위치 관계와, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기로부터 상기 토출부를 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환하도록, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치가 구비되고, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계가 상기 접속용 구동 장치에 의해 상기 접속용 위치 관계로 전환된 후의 상기 토출부와 상기 용기와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는 점에 있다.
이 특징적 구성에 의하면, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치로 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시켜 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환함으로써, 물품 반송차의 지지부에 지지되어 있는 용기에 토출부를 접속할 수 있다.
또한, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시켜 지지부와 토출부와의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환함으로써, 물품 반송차의 지지부에 의해 지지되어 있는 용기로부터 토출부를 분리할 수 있다.
그리고, 지지부와 토출부와의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후의 토출부와 용기와의 접속이 유지된 상태에서는, 토출부는 용기에 접속되어 있으므로, 이 상태에서 불활성 기체 공급 장치가 토출부로부터 불활성 기체를 토출함으로써, 용기 내에 불활성 기체를 공급할 수 있다.
또한, 이와 같이 용기 내에 불활성 기체를 공급하고 있는 동안, 물품 반송차는 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 위치하고 있다. 그러므로, 접속용 구동 장치에 의해 지지부와 토출부와의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환하는 것만으로, 물품 반송차의 지지부에 의해 용기가 지지되는 상태로 되어, 물품 반송차는, 지지부에 의해 용기를 지지하여 주행할 수 있는 상태로 되어 있다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체를 공급하고 있었던 용기를 물품 반송차에 의해 신속히 다른 개소로 반송할 수 있다.
도 1은, 물품 반송 설비의 측면도이며,
도 2는, 천정 반송차가 반송용(搬松用) 정지 위치에 정지하고 있는 물품 반송 설비의 측면도이며,
도 3은, 천정 반송차가 반송용 정지 위치에 정지하고 있는 물품 반송 설비의 측면도이며,
도 4는, 공급용 정지 위치에 정지하고 있는 천정 반송차의 정면도이며,
도 5는, 공급용 정지 위치에 정지하고 있는 천정 반송차의 측면도이며,
도 6은, 수취 제어의 플로우차트이며,
도 7은, 받아건넴 제어의 플로우차트이며,
도 8은, 공급 제어의 플로우차트이며,
도 9는, 다른 실시형태 1에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 주요부 정면도이며,
도 10은, 다른 실시형태 2에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 주요부 측면도이며,
도 11은, 다른 실시형태 3에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 주요부 측면도이며,
도 12는, 다른 실시형태 4에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 정면도이며,
도 13은, 다른 실시형태 4에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 정면도이다.
물품 반송 설비의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 복수의 처리 장치(1)를 경유하는 상태로 천정으로부터 현수된 주행 레일(2)이 설치되고, 그 주행 레일(2)을 따라 주행하여 복수의 처리 장치(1)의 사이에서 용기(W)를 반송하는 천정 반송차(3)(물품 반송차)가 설치되어 있다. 또한, 물품 반송 설비에는, 불활성 기체로서의 질소 가스를 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)에 공급하는 질소 가스 공급 장치(4)(불활성 기체 공급 장치)가 구비되어 있다.
그리고, 본 실시형태에서는, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기(W)로 하고 있다.
처리 장치(1)는, 반도체 기판의 제조 도중에서의 반제품 등에 대하여 소정의 처리를 행하는 장치이며, 이 처리 장치(1)에서의 용기(W)를 탑재 지지하는 탑재대(1a)가, 천정 반송차(3)에 의한 용기(W)의 반송원(搬送元) 또는 반송처(搬送處)로 되는 반송 대상 개소에 상당한다. 탑재대(1a)는, 천정 반송차(3)가 주행하는 주행 경로의 바로 아래에 위치하고 있다. 질소 가스 공급 장치(4)는, 탑재대(1a)에 대하여 주행 경로의 길이 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있다. 그리고, 주행 경로는, 주행 레일(2)을 따라 주행하는 천정 반송차(3) 및 이것에 지지된 용기(W)가 이동하는 공간을 가리키고 있다.
[용기]
도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 용기(W)에는, 복수 개의 반도체 기판을 수용하는 용기 본체부(6)와, 이 용기 본체부(6)보다 위쪽에 위치하여 용기(W)의 상단부에 구비된 플랜지부(7)(피(被)지지부)와, 용기 본체부(6)의 앞면(前面)에 형성된 기판 출입용의 기판 출입구를 폐쇄하는 착탈 가능한 커버체(도시하지 않음)가 구비되어 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 용기 본체부(6)의 바닥면[용기(W)의 바닥면]에는, 위쪽으로 오목하게 들어간 3개의 바닥면 오목부(8)(피걸어맞춤부)가 구비되어 있다. 이 바닥면 오목부(8)는, 위쪽으로 갈수록 좁은 끝이 가는 형상으로 형성되어 있고, 바닥면 오목부(8)의 내면이 경사면으로 형성되어 있다. 즉, 바닥면 오목부(8)는, 위쪽으로 오목한 형상으로서 위쪽을 향함에 따라 폭(개구폭)이 좁아지는 형상으로 형성되어 있다.
이 바닥면 오목부(8)는, 천정 반송차(3)에 의해 용기(W)가 탑재대(1a)에 반송되어 용기(W)가 탑재대(1a)에 탑재될 때(도 3 참조)에, 탑재대(1a)에 구비되어 있는 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지도록 구비되어 있다. 천정 반송차(3)에 의해 용기(W)가 탑재대(1a)에 탑재되었을 때, 용기(W)가 탑재대(1a)에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치 결정 부재(9)가 바닥면 오목부(8)의 내면에 의해 안내됨으로써, 용기(W)의 탑재대(1a)에 대한 수평 방향에서의 위치가 적정한 위치로 수정되도록 되어 있다.
그리고, 용기(W)가 탑재대(1a)에 탑재 지지되어 있는 상태에서는, 상기 용기(W)의 바닥면 오목부(8)에 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어진 상태로 되어 있고, 용기(W)는, 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어져 있는 3개의 위치 결정 부재(9)에 의해 수평 방향으로의 위치 어긋남이 규제되고, 또한 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어져 있는 3개의 위치 결정 부재(9)에 의해 탑재 지지된다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 플랜지부(7)의 상면[용기(W)의 상면]에는, 아래쪽으로 오목하게 들어간 상면 오목부(10)가 형성되어 있다. 이 상면 오목부(10)는, 아래쪽일수록 좁은 끝이 가는 형상으로 형성되어 있고, 상면 오목부(10)의 내면이 경사면으로 형성되어 있다.
이 상면 오목부(10)는, 탑재대(1a)에 용기(W)가 탑재되어 있는 상태로 천정 반송차(3)가 지지 기구(機構)(18)를 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(18)에 구비되어 있는 압압부(押壓部)(18c)가 걸어맞추어지도록 구성되어 있다. 그리고, 천정 반송차(3)가 지지 기구(18)를 하강 이동시켰을 때, 탑재대(1a)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)에 대하여 지지 기구(18)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 압압부(18c)가 상면 오목부(10)의 내면에 의해 안내됨으로써, 지지 기구(18)의 용기(W)에 대한 수평 방향에서의 위치가 적정한 위치로 수정되도록 되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 용기(W)의 바닥면에는, 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)로부터 토출된 질소 가스를 용기(W) 내에 급기(給氣)하기 위한 급기구(11)(급기부)와, 용기(W) 내의 기체를 배출하기 위한 배기구(12)가 구비되어 있다. 급기구(11)에는, 급기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되어 있고, 배기구(12)에는, 배기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 즉, 용기(W)는, 기판 출입구를 커버체에 의해 닫고, 급기구(11) 및 배기구(12)의 각각을 개폐 밸브에 의해 폐쇄함으로써, 기밀성을 가지도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 토출 노즐(27)이 「토출부」에 상당한다.
그리고, 급기구(11)의 급기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 가압되어 닫혀져 있고, 급기구(11)에 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)이 접속되어 그 토출 노즐(27)로부터 질소 가스가 분출되면, 그 분출된 질소 가스의 압력에 의해 급기용 개폐 밸브가 개방 조작되어, 질소 가스가 용기(W) 내에 공급되도록 구성되어 있다.
또한, 배기구(12)의 배기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 가압되어 닫혀져 있고, 질소 가스 공급 장치(4)에 의한 질소 가스의 공급에 의해 용기(W) 내의 압력이 높아지면 배기용 개폐 밸브가 개방 조작되어, 용기(W) 내의 기체가 배기되도록 구성되어 있다.
[천정 반송차]
도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(3)는, 주행 레일(2) 상을 그 주행 레일(2)을 따라 주행하는 주행부(15)와, 주행 레일(2)의 아래쪽에 위치하도록 주행부(15)에 현수 지지되고 또한 용기(W)를 승강 이동 가능하게 지지하는 본체부(16)를 구비하고 있다.
본체부(16)에는, 용기(W)를 지지하는 지지부로서의 지지 기구(18)와, 지지 기구(18)를 승강 이동시키는 승강 조작 기구(19)와, 상승 위치에 있는 지지 기구(18)에 의해 지지된 용기(W)의 상방측 및 경로 전후측을 덮는 커버체(20)를 구비하고 있다.
승강 조작 기구(19)는, 선단부에 지지 기구(18)를 연결 지지한 권취 벨트(19a)를 권취하는 권취체(19b)와, 그 권취체(19b)를 회전 구동시키는 승강용 모터(19c)를 구비하고 있다. 그리고, 승강 조작 기구(19)는, 승강용 모터(19c)에 의해 권취체(19b)를 정역(正逆)으로 회전 구동시켜, 권취 벨트(19a)를 권취 및 송출 조작함으로써, 지지 기구(18) 및 이것에 지지된 용기(W)를 승강 이동시키도록 구성되어 있다.
지지 기구(18)에는, 가로 축심 주위에 요동(搖動) 가능한 한 쌍의 파지(把持) 클로우(18a)와, 한 쌍의 파지 클로우(18a)를 가로 축심 주위에 요동시키는 파지용 모터(18b)(전환 구동부)와, 지지 기구(18)를 하강 이동시켰을 때 반송원에 위치하는 용기(W)에 대하여 위쪽으로부터 압압(押壓)하여 용기(W)에 대한 지지 기구(18)의 위치를 정하는 압압부(18c)가 구비되어 있다. 지지 기구(18)는, 한 쌍의 파지용 모터(18b)에 의해 한 쌍의 파지 클로우(18a)를 서로 원근 이동하도록 요동시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(18a)를 서로 근접시켜 용기(W)의 플랜지부(7)를 지지하는 지지 상태와, 파지 클로우(18a)를 서로 이격시켜 플랜지부(7)에 대한 지지를 해제하는 지지 해제 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.
한 쌍의 파지 클로우(18a)의 각각은, 그 하단부에 의해 플랜지부(7)를 아래쪽으로부터 지지하도록 구성되어 있다. 그리고, 한 쌍의 파지 클로우(18a)에 의해 플랜지부(7)를 지지한 상태에서는, 파지 클로우(18a)의 상하 방향의 중앙부는 플랜지부(7)의 측방에 위치하고 있다. 그리고, 파지 클로우(18a)의 하단부가, 플랜지부(7)를 지지하는 지지체에 상당하고, 파지 클로우(18a)의 상하 방향의 중앙부가, 한 쌍의 파지 클로우(18a)의 하단부에 의해 플랜지부(7)를 지지한 상태로 플랜지부(7)의 측방에 위치하여 플랜지부(7)의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 규제부에 상당한다.
[질소 가스 공급 장치]
도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)는, 천정에 설치되어 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 위쪽에 위치하는 장치 본체(22)와, 장치 본체(22)에 현수 지지되어 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 아래쪽까지 연장 형성된 노즐 지지체(23)를 구비하고 있다.
또한, 질소 가스 공급 장치(4)는, 질소 가스를 통류(通流)시키는 질소 가스 공급로(25)와, 그 질소 가스 공급로(25)의 도중에 배치된 전환 밸브(26)와, 질소 가스 공급로(25)의 하류측 단부(端部)에 배치되어 용기(W)의 급기구(11)에 접속되는 토출 노즐(27)과, 용기(W)의 배기구(12)에 접속되는 배기 노즐(28)과, 토출 노즐(27)이 용기(W)의 급기구(11)에 접속되어 있는 상태를 검출하는 접속 센서(29)가 구비되어 있다.
질소 가스 공급로(25)는, 질소 가스의 공급원으로부터 장치 본체(22)를 통하여 노즐 지지체(23)의 하단부까지 연장되어 있다. 전환 밸브(26)는 장치 본체(22)에 구비되고, 토출 노즐(27), 배기 노즐(28) 및 접속 센서(29)는 노즐 지지체(23)에 지지되어 있다.
질소 가스 공급 장치(4)는, 공급원(도시하지 않음)으로부터 공급된 질소 가스를 토출 노즐(27)로부터 토출하도록 구성되어 있고, 전환 밸브(26)의 전환에 의해, 토출 노즐(27)로부터 질소 가스를 토출하는 상태와, 토출 노즐(27)로부터 질소 가스를 토출하지 않는 상태로 전환되도록 구성되어 있다.
그리고, 질소 가스 공급 장치(4)는, 천정 반송차(3)가 주행하는 주행 경로의 바로 아래에 토출 노즐(27) 및 배기 노즐(28)이 위치하도록 구비되어 있다. 그리고, 천정 반송차(3)가 질소 가스 공급 장치(4)에 대하여 미리 설정되어 있는 공급용 정지 위치에 정지하고 있는 상태에서는, 토출 노즐(27)은 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)의 급기구(11)의 바로 아래에 위치하고, 배기 노즐(28)은 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)의 배기구(12)의 바로 아래에 위치하고 있다.
물품 반송 설비에는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를, 지지 기구(18)에 의해 지지된 용기(W)에 토출 노즐(27)이 접속되는 접속용 위치 관계와, 지지 기구(18)에 의해 지지된 용기(W)로부터 토출 노즐(27)을 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환하도록, 토출 노즐(27)을 지지 기구(18)에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치로서의 접속용 모터(30)가 구비되어 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 접속용 모터(30)는, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)에 구비되어 있고, 접속용 모터(30)의 구동에 의해, 노즐 지지체(23)를 연직(沿直) 방향을 따라 직선형으로 승강 이동시키도록 구성되어 있다.
즉, 천정 반송차(3)를 질소 가스 공급 장치(4)에 대하여 미리 설정된 공급용 정지 위치에 정지시킨 상태로, 접속용 모터(30)를 구동시켜 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시킴으로써 접속용 위치 관계로 되고, 접속용 모터(30)를 구동시켜 노즐 지지체(23)를 하강 위치로 하강 이동시킴으로써 분리용 위치 관계로 된다.
이와 같이, 접속용 모터(30)는, 노즐 지지체(23)를 연직 방향으로 승강 이동시킴으로써, 토출 노즐(27)과 지지 기구(18) 중의 토출 노즐(27)을 승강 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성되어 있다.
그리고, 분리용 위치 관계로 되어 있을 때의 토출 노즐(27)이나 배기 노즐(28)은, 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 아래쪽에 위치하고 있지만, 접속용 위치 관계로 되어 있을 때의 토출 노즐(27)이나 배기 노즐(28)은, 천정 반송차(3)의 주행 경로에 진입하고 있다. 그리고, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스가 공급되어 있는 용기(W)는, 전부 또는 일부가 천정 반송차(3)의 주행 경로 내에 위치하고 있다.
[제어 장치]
천정 반송차(3)의 작동 및 질소 가스 공급 장치(4)의 작동은 도 4에 나타낸 제어 장치(H)에 의해 제어되고 있다. 제어 장치(H)는, 상위의 컨트롤러로부터의 반송 지령에 기초하여, 용기(W)를 반송원이 되는 탑재대(1a)로부터 수취하는 수취 제어와 용기(W)를 반송처가 되는 탑재대(1a)에 받아건네는 받아건넴 제어를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 제어 장치(H)는, 천정 반송차(3)에 의해 지지되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 공급 제어를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동 및 질소 가스 공급 장치(4)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
도 6의 플로우차트에 나타낸 바와 같이, 수취 제어에서는, 용기(W)를 지지하지 않는 천정 반송차(3)를 반송용 정지 위치까지 주행시키는 수취용 주행 처리와, 천정 반송차(3)를 반송용 정지 위치에 정지시킨 상태로, 권취 벨트(19a)를 송출한 후에 지지 기구(18)를 파지 상태로 전환하여, 용기(W)를 탑재대(1a)로부터 수취하고, 그 후, 권취 벨트(19a)를 권취하는 수취용 승강 처리를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동이 제어된다. 이와 같이 수취 제어가 행해지는 것으로, 탑재대(1a)로부터 용기(W)가 내려져 용기(W)가 천정 반송차(3)에 의해 지지된다.
도 7의 플로우차트에 나타낸 바와 같이, 받아건넴 제어에서는, 용기(W)를 지지하는 천정 반송차(3)를 탑재대(1a)에 대응하는 반송용 정지 위치까지 주행시키는 받아건넴용 주행 처리와, 천정 반송차(3)를 반송용 정지 위치에 정지시킨 상태로, 권취 벨트(19a)를 송출한 후에 지지 기구(18)를 지지 해제 상태로 전환하고, 그 후, 권취 벨트(19a)를 권취하는 받아건넴용 승강 처리를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동이 제어된다. 이와 같이, 받아건넴 제어가 행해지는 것으로, 천정 반송차(3)에 의해 지지되어 있었던 용기(W)가 탑재대(1a)에 탑재된다.
또한, 도 7의 플로우차트에 나타낸 바와 같이, 제어 장치(H)는, 받아건넴 제어의 실행을 개시한 직후에 미리 설정된 공급 조건을 만족시키고 있는지를 판별하고, 공급 조건을 만족시키고 있는 경우에는, 받아건넴 제어를 중단하여 공급 제어를 실행한다. 그리고, 공급 조건은, 예를 들면, 상위의 컨트롤러로부터 반송 대상의 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 공급 지령이 지령되어 있는 경우나, 반송원으로부터 반송처까지의 천정 반송차(3)의 예정 주행 거리가 미리 설정된 주행 거리 이상인 경우 등이다.
그리고, 공급 조건을 만족시키고 있는지의 여부의 판별은, 수취 제어가 완료된 후, 받아건넴 제어를 개시할 때까지로 행해도 된다. 그리고, 공급 조건을 만족시키고 있는 경우에는 공급 제어를 실행하고, 공급 조건을 만족시키지 못하는 경우에는 받아건넴 제어를 실행하도록 해도 된다.
다음에 도 8의 플로우차트에 기초하여 공급 제어에 대하여 설명한다.
공급 제어에서는, 먼저, 용기(W)를 지지하는 천정 반송차(3)를 공급용 정지 위치까지 주행시키는 공급용 주행 처리를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동이 제어된다.
그리고, 천정 반송차(3)를 공급용 정지 위치에 정지시킨 상태로, 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환하는 접속 처리를 실행하도록, 질소 가스 공급 장치(4)의 작동이 제어된다. 이와 같이 접속 처리가 실행됨으로써, 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)의 급기구(11)에 토출 노즐(27)이 접속되고, 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)의 배기구(12)에 배기 노즐(28)이 접속된다.
천정 반송차(3)가 공급용 정지 위치에 정지하고 또한, 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시킨 상태로, 제어 장치(H)는, 접속 센서(29)에 의해 접속 상태[토출 노즐(27)이 급기구(11)에 적절히 접속되어 있는 상태]가 검출되고 있는 경우에는, 전환 밸브(26)를 개방 조작하는 공급 개시 처리를 행하고, 접속 센서(29)에 의해 접속 상태가 검출되어 있지 않은 경우에는, 경보 장치를 작동시키는 통지 처리를 실행한다.
공급 개시 처리가 실행됨으로써, 토출 노즐(27)로부터 질소 가스가 토출되어, 용기(W) 내로의 질소 가스의 공급이 개시된다. 그리고, 통지 처리가 실행됨으로써, 버저(buzzer)나 램프 등의 경보 장치를 작동시켜, 공급 제어에 있어서 토출 노즐(27)이 급기구(11)에 적절히 접속되지 않았던 것이 통지된다.
그리고, 제어 장치(H)는, 질소 가스 공급 처리 후의 질소 가스 공급 중에, 미리 설정된 종료 조건이 만족된 경우에는, 먼저, 전환 밸브(26)를 폐쇄 조작하는 공급 정지 처리를 행하고, 다음에, 노즐 지지체(23)를 하강 위치로 하강 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환하는 분리 처리를 실행하도록, 질소 가스 공급 장치(4)의 작동을 제어한다. 공급 정지 처리가 실행됨으로써, 토출 노즐(27)로부터의 질소 가스의 토출이 정지하여, 용기(W) 내로의 질소 가스의 공급이 종료된다.
그리고, 종료 조건은, 예를 들면, 상위의 컨트롤러로부터 반송 대상의 용기(W)에 대한 질소 가스의 공급을 종료하는 공급 종료 지령이 지령된 경우나, 질소 가스의 공급을 개시하고 나서 미리 설정된 설정 시간이 경과한 경우 등이다.
전술한 바와 같이 제어 장치(H)가 접속 처리를 실행하고 나서 분리 처리를 실행할 때까지의 사이, 천정 반송차(3)가 공급용 정지 위치에 정지하고 있고, 또한, 지지 기구(18)는 지지 상태가 유지되고 있다.
그리고, 질소 가스 공급 장치(4)는, 천정 반송차(3)가 공급용 정지 위치에 정지하고 있는 상태로, 그 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)에 토출 노즐(27)을 접속하고 또한, 토출 노즐(27)로부터 질소 가스를 토출 가능하게 구성되어 있고, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 구동 장치에 의해 접속용 위치 관계로 유지된 상태에서 불활성 기체를 토출 노즐(27)로부터 토출하도록 구성되어 있다. 즉, 질소 가스 공급 장치(4)는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 구동 장치에 의해 접속용 위치 관계로 전환된 후의 토출 노즐(27)과 용기(W)와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 토출 노즐(27)로부터 토출하도록 구성된다. 그리고, 본 실시형태에서는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후에, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 구동 장치에 의해 접속용 위치 관계로 유지됨으로써, 토출 노즐(27)과 용기(W)와의 접속이 유지된다. 즉, 본 실시형태에서는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가, 지지 기구(18)에 의해 지지된 용기(W)에 토출 노즐(27)이 접속되는 접속용 위치 관계로 유지된 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)가 불활성 기체를 토출 노즐(27)로부터 토출한다.
이와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)는, 천정 반송차(3)가 공급용 정지 위치에 정지한 후, 그 천정 반송차(3)의 지지 기구(18)에 의해 지지되어 있는 용기(W)에 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)을 접속하여, 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하도록 구성되어 있다. 그리고, 이와 같이 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하고 있는 동안, 천정 반송차(3)는 공급용 정지 위치에 정지하고 있으므로, 상기 천정 반송차(3)에 의해, 질소 가스의 공급이 종료된 후에 용기(W)를 신속히 반송할 수 있다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 실시형태에서는, 용기(W)를 지지 기구(18)에 의해 지지한 상태로 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성하였지만, 용기(W)를 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 지지한 상태로 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다.
즉, 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)의 노즐 지지체(23)에, 용기(W)의 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어지는 3개의 위치결정용의 지지 부재(31)를 구비한다. 위치결정용의 지지 부재(31)는, 위쪽을 향해 돌출하는 볼록형으로 형성되어 있다. 그리고, 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시켜 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환했을 때, 토출 노즐(27)이 급기구(11)에 접속되고, 또한 배기 노즐(28)이 배기구(12)에 접속되는 동시에 3개의 지지 부재(31)가 용기(W)에서의 3개의 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어진다. 그리고, 노즐 지지체(23)를 상승 위치보다 높은 지지 위치까지 상승시킴으로써 3개의 지지 부재(31)에 의해 용기(W)를 들어올려, 용기(W)의 플랜지부(7)가 파지 클로우(18a)로부터 위쪽으로 부상(浮上)하도록 한다. 이와 같이, 용기(W)를 3개의 지지 부재(31)에 의해 지지한 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다. 즉, 이 다른 실시형태에서는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가, 질소 가스 공급 장치(4)[여기서는 노즐 지지체(23)]에 의해 지지된 용기(W)에 토출 노즐(27)이 접속되는 위치 관계로 유지됨으로써, 토출 노즐(27)과 용기(W)와의 접속이 유지된다. 그리고, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 지지된 용기(W)에 토출 노즐(27)이 접속되는 위치 관계로 유지된 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)가 불활성 기체를 토출 노즐(27)로부터 토출한다.
또한, 도시는 생략하지만, 예를 들면, 토출 노즐(27)에 급기구(11)보다 대형의 간섭부를 구비하고, 배기 노즐(28)에 배기구(12)보다 대형의 간섭부를 구비한다. 그리고, 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시켜 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환했을 때, 토출 노즐(27)이 급기구(11)에 접속되고 또한 배기 노즐(28)이 배기구(12)에 접속되는 동시에, 토출 노즐(27)이나 배기 노즐(28)에 구비된 간섭부를 용기(W)의 바닥면에 간섭시킨다. 그리고, 노즐 지지체(23)를 상승 위치보다 높은 지지 위치까지 상승시킴으로써 2개의 간섭부에 의해 용기(W)를 들어올려, 용기(W)의 플랜지부(7)가 파지 클로우(18a)로부터 위쪽으로 부상하도록 한다. 이와 같이, 용기(W)를 2개의 간섭부에 의해 지지한 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다. 이와 같이, 용기(W)의 플랜지부(7)가 파지 클로우(18a)로부터 위쪽으로 부상시킨 경우라도, 용기(W)의 플랜지부(7)의 가로 방향으로는 지지 기구(18)의 파지 클로우(18a)가 존재하므로, 용기(W)의 플랜지부(7)가 파지 클로우(18a)에 접촉함으로써, 용기(W)가 전도(轉倒)되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 전술한 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W)를 지지한 상태로 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성한 경우, 들어올린 용기(W)의 플랜지부(7)를 압압부(18c)에 의해 위쪽으로부터 압압하도록 하여, 노즐 지지체(23)와 압압부(18c)로 상하 방향으로 협지한 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다.
또한, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W)를 지지하는 경우에는, 지지 기구(18)를 지지 해제 상태로 전환한 상태에서 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하도록 해도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 접속용 구동 장치를 질소 가스 공급 장치(4)에 구비하여, 접속용 구동 장치에 의해 토출 노즐(27)을 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성하였지만, 접속용 구동 장치를 천정 반송차(3)에 구비하여, 접속용 구동 장치에 의해 지지 기구(18)를 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성해도 된다.
구체적으로는, 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(3)를 공급용 정지 위치에 정지시킨 상태로 승강용 모터(19c)에 의해 권취체(19b)를 회전 구동시켜 지지 기구(18)를 승강 이동시킴으로써, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성해도 된다. 이 경우, 천정 반송차(3)에 구비되어 있는 승강용 모터(19c)를 접속용 구동 장치에 겸용할 수 있다.
(3) 상기 실시형태에서는, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)를, 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 위쪽에 위치하도록 구비하였지만, 도 11∼도 13에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)를, 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 아래쪽에 위치하도록 구비해도 된다. 그리고, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)를, 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 아래쪽에 위치하도록 구비하는 경우, 도 11∼도 13에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)를 천정에 현수 지지되는 상태로 설치해도 되고, 또한 질소 가스 공급 장치(4)를 처리 장치(1)와 마찬가지로 바닥면 상에 설치해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)을, 천정 반송차(3)의 주행 경로의 바로 아래에 위치하도록 구비하였지만, 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)을, 천정 반송차(3)의 주행 경로에 대하여 측방에 위치하도록 구비해도 된다.
구체적으로는, 예를 들면, 도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)에 지지되는 동시에, 제1 구동 장치(33)의 구동에 의해 연직 방향을 따라 승강 이동하는 승강대(34)를 구비한다. 이 승강대(34)에, 제2 구동 장치(35)의 구동에 의해 수평 방향을 따라 슬라이딩 이동하도록 노즐 지지체(23)를 지지하게 한다. 그리고, 제2 구동 장치(35)의 구동에 의해 노즐 지지체(23)를 돌출 이동시킨 후, 제1 구동 장치(33)의 구동에 의해 승강대(34)를 상승 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 분리용 위치 관계로부터 접속용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성해도 된다. 이와 같이 구성한 경우, 제1 구동 장치(33) 및 제2 구동 장치(35)가 접속용 구동 장치에 상당한다. 그리고, 구동 장치로서는, 전동 모터 외에 에어 실린더 등을 사용해도 되고, 구동 장치로서 에어 실린더를 사용하는 경우에는, 질소 가스 공급 장치(4)로부터의 질소 가스를 이용하도록 해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 천정 반송차(3)를 공급용 정지 위치에 정지시킨 상태로 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하도록 구성하였지만, 질소 가스 공급 장치(4)를 주행 경로를 따라 이동 가능하게 구비하고, 주행 경로를 따라 주행하는 천정 반송차(3)와 일체로 질소 가스 공급 장치(4)를 이동시키면서, 천정 반송차(3)의 지지 기구(18)에 의해 지지되어 있는 용기(W)에 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)을 접속하여, 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다.
또한, 처리 장치(1)를 경유하는 주행 경로에 대하여, 질소 가스 공급 장치(4)를 경유하는 주행 경로를 분기(branch) 및 합류하는 상태로 구비하여, 처리 장치(1)와 질소 가스 공급 장치(4)를 병렬로 구비해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 처리 장치(1)를 경유하는 주행 경로로서, 루프형의 주경로와 그 주(主) 경로에 대하여 분리 합류하는 루프형의 부(副) 경로를 구비하고, 질소 가스 공급 장치(4)를 경유하는 주행 경로를, 주 경로에 대하여 분기 합류하는 상태로 구비해도 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 용기(W)를, 반도체 기판을 수용하는 FOUP로 하였으나, 용기의 형상이나 용기에 수용하는 수용물은 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 용기를 컨테이너로 하고, 수용물을 식품으로 해도 된다. 또한, 불활성 기체로서는, 질소 가스 외에 아르곤 가스 등이라도 된다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.
물품 반송 설비는, 천정으로부터 현수된 주행 레일을 따라 주행하여 용기를 반송하는 물품 반송차를 구비하고, 상기 물품 반송차가, 상기 용기를 지지하는 지지부를 구비하고,
불활성 기체를 토출부로부터 토출하는 불활성 기체 공급 장치가, 상기 물품 반송차가 주행하는 주행 경로의 측방 또는 아래쪽에 상기 토출부가 위치하도록 구비되고, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기에 상기 토출부가 접속되는 접속용 위치 관계와, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기로부터 상기 토출부를 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환하도록, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치가 구비되고, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계가 상기 접속용 구동 장치에 의해 상기 접속용 위치 관계로 전환된 후의 상기 토출부와 상기 용기와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는 점에 있다.
이 구성에 의하면, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시켜 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환함으로써, 물품 반송차의 지지부에 지지되어 있는 용기에 토출부를 접속할 수 있다.
또한, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치로 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시켜 지지부와 토출부와의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환함으로써, 물품 반송차의 지지부에 의해 지지되어 있는 용기로부터 토출부를 분리할 수 있다.
그리고, 지지부와 토출부와의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후의 토출부와 용기와의 접속이 유지된 상태에서는, 토출부는 용기에 접속되어 있으므로, 이 상태에서 불활성 기체 공급 장치가 토출부로부터 불활성 기체를 토출함으로써, 용기 내에 불활성 기체를 공급할 수 있다.
또한, 이와 같이 용기 내에 불활성 기체를 공급하고 있는 동안, 물품 반송차는 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 위치하고 있다. 그러므로, 접속용 구동 장치에 의해 지지부와 토출부와의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환하는 것만으로, 물품 반송차의 지지부에 의해 용기가 지지되는 상태로 되어, 물품 반송차는, 지지부에 의해 용기를 지지하여 주행할 수 있는 상태로 되어 있다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체를 공급하고 있었던 용기를 물품 반송차에 의해 신속히 다른 개소로 반송할 수 있다.
여기서, 상기 접속용 구동 장치가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 구비되고, 또한 상기 토출부와 상기 지지부 중 상기 토출부만을 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 접속용 구동 장치는 불활성 기체 공급 장치에 구비되어 있고, 물품 반송차에 접속용 구동 장치를 구비할 필요가 없다. 그러므로, 천정으로부터 현수된 주행 레일을 따라 주행하는 물품 반송차의 중량화 및 물품 반송차의 구성의 복잡화를 회피할 수 있다.
또한, 상기 토출부가, 상기 주행 경로의 바로 아래에 위치하고, 상기 접속용 구동 장치가, 상기 토출부를 직선형으로 승강 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 접속용 구동 장치는, 토출부를 직선형으로 승강 이동시키는 것만으로 되므로, 접속용 구동 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
또한, 상기 접속용 구동 장치가, 상기 물품 반송차에 구비되고, 또한 상기 토출부와 상기 지지부 중 상기 지지부만을 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 접속용 구동 장치는 물품 반송차에 구비되어 있고, 불활성 기체 공급 장치에 접속용 구동 장치를 구비할 필요가 없다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치의 구성의 복잡화를 회피할 수 있다. 또한, 불활성 기체 공급 장치를 천정으로부터 현수하는 구성의 경우 등에서는, 불활성 기체 공급 장치에 접속용 구동 장치를 구비하지 않는 것으로, 불활성 기체 공급 장치의 중량화를 회피할 수 있는 점에서도 바람직하다.
또한, 상기 주행 경로의 바로 아래에, 상기 물품 반송차에 의한 물품의 반송원 또는 반송처로 되는 반송 대상 개소가 구비되고, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 반송 대상 개소에 대하여 상기 주행 경로의 길이 방향으로 어긋난 개소에 설치되고, 상기 토출부가, 상기 주행 경로의 바로 아래에 위치하고, 상기 물품 반송차가, 상기 지지부를 승강 이동시켜 물품을 상기 반송 대상 개소에 대하여 탑재하거나 내리는 것을 행하는 반송용 구동 장치를 구비하고, 상기 반송용 구동 장치가, 상기 접속용 구동 장치에 겸용되고 있으면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 용기를 반송 대상 개소에 대하여 탑재하거나 내리기를 행하기 위해 구비된 반송용 구동 장치에 의해 지지부를 승강 이동시킴으로써, 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있다. 따라서, 반송용 구동 장치를 접속용 구동 장치에 겸용할 수 있고, 반송용 구동 장치와는 별도로 접속용 구동 장치를 별도 설치할 필요가 없기 때문에, 물품 반송차에 접속용 구동 장치를 구비하는 경우라도, 물품 반송차의 중량화나 물품 반송차의 구성의 복잡화를 회피할 수 있다.
또한, 상기 용기의 바닥면에, 상기 토출부가 아래쪽으로부터 접속되는 급기 부와, 상기 토출부와 일체로 구비되어 위쪽을 향해 돌출하는 볼록형으로 형성된 위치 결정 부재가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 구비되고, 상기 피걸어맞춤부가, 위쪽으로 오목한 형상으로서 위쪽을 향함에 따라 폭이 좁아지는 끝이 가는 형상으로 형성되고, 상기 접속용 구동 장치가, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 승강 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 승강 이동시킴으로써, 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계나 분리용 위치 관계로 전환할 수 있다. 그리고, 이와 같이 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 상승 이동시킴으로써, 토출부와 일체로 구비된 위치 결정 부재가, 지지부에 의해 지지되어 있는 용기에 대하여 상대적으로 상승 이동하고, 위치 결정 부재가 용기의 피걸어맞춤부에 걸어맞추어진다. 이 때, 토출부나 위치 결정 부재에 대하여 용기가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치 결정 부재가 피걸어맞춤부의 내면에 의해 안내됨으로써, 토출부나 위치 결정 부재에 대한 용기의 수평 방향에서의 위치를 적정한 위치로 수정할 수 있어, 용기의 공급부에 토출부를 적절히 접속시키기 용이해진다.
또한, 상기 지지부가, 상기 용기의 상단부에 구비되어 있는 피지지부를 지지하는 복수의 지지체와, 상기 복수의 지지체에 의해 상기 피지지부를 지지하고 있는 상태로 상기 피지지부의 측방에 위치하여 상기 피지지부의 수평 방향의 이동을 규제하는 규제체와, 상기 복수의 지지체를 서로 근접시킨 지지 상태와 상기 복수의 지지체를 서로 이격시킨 지지 해제 상태로 전환하는 전환 구동 장치를 구비하고, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부가 상기 전환 구동 장치에 의해 상기 지지 상태로 전환되어 있는 상태에서 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 접속용 구동 장치에 의해 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환하여 토출부를 용기에 접속한 후, 지지부의 상태를 지지 상태로부터 지지 해제 상태로 전환하지 않고, 불활성 기체 공급 장치가 불활성 기체를 토출부로부터 토출하여 용기 내에 불활성 기체를 공급한다. 그러므로, 용기를 토출부에 접속한 후, 불활성 기체 공급 장치가 불활성 기체를 토출부로부터 토출할 때까지, 지지부를 지지 상태로부터 지지 해제 상태로 전환할 필요가 없다. 따라서, 용기 내로의 불활성 기체의 공급을 신속히 개시할 수 있다.
또한, 지지부를 지지 상태로 전환하고 있는 상태에서는, 용기에서의 피지지부의 측방에 지지부의 규제체가 존재하고 있다. 그러므로, 예를 들면, 접속용 구동 장치에 의해 용기가 들어올려져 피지지부가 지지체로부터 부상한 경우라도, 용기의 상단부에 구비되어 있는 피지지부가 지지부의 규제체에 접촉함으로써, 용기가 전도되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 대응하여 미리 설정된 공급용 정지 위치에 상기 물품 반송차가 정지하고 있는 상태로 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 주행하는 물품 반송차에 맞추어 불활성 기체 공급 장치를 이동시킬 필요가 없고, 불활성 기체 공급 장치를 고정 상태로 구비할 수 있으므로, 불활성 기체 공급 장치의 구성을 간소하게 할 수 있다.
1a: 탑재대(반송 대상 개소)
2: 주행 레일
3: 천정 반송차(물품 반송차)
4: 질소 가스 공급 장치(불활성 기체 공급 장치)
18: 지지 기구(지지부)
27: 토출 노즐(토출부)
30: 접속용 모터(접속용 구동 장치)
W: 용기

Claims (8)

  1. 천정으로부터 현수(懸垂)된 주행 레일을 따라 주행하여 용기를 반송(搬送)하는 물품 반송차(搬送車)를 구비한 물품 반송 설비로서,
    상기 물품 반송차가, 상기 용기를 지지하는 지지부를 구비하고,
    불활성 기체(氣體)를 토출(吐出)하는 토출부(吐出部)를 가지는 불활성 기체 공급 장치가, 상기 물품 반송차가 주행하는 주행 경로의 측방 또는 아래쪽에 상기 토출부가 위치하도록 구비되고,
    상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기에 상기 토출부가 접속되는 접속용 위치 관계와, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기로부터 상기 토출부를 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환하도록, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치가 구비되고,
    상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계가 상기 접속용 구동 장치에 의해 상기 접속용 위치 관계로 전환된 후의 상기 토출부와 상기 용기와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 접속용 구동 장치가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 구비되고, 또한 상기 토출부와 상기 지지부 중 상기 토출부만을 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하는, 물품 반송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 토출부가, 상기 주행 경로의 바로 아래에 위치하고,
    상기 접속용 구동 장치가, 상기 토출부를 직선형으로 승강 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하는, 물품 반송 설비.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 접속용 구동 장치가, 상기 물품 반송차에 구비되고, 또한 상기 토출부와 상기 지지부 중 상기 지지부만을 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하는, 물품 반송 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 주행 경로의 바로 아래에, 상기 물품 반송차에 의한 물품의 반송원(搬送元) 또는 반송처(搬送處)로 되는 반송 대상 개소(箇所)가 구비되고,
    상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 반송 대상 개소에 대하여 상기 주행 경로의 길이 방향으로 어긋난 개소에 설치되고,
    상기 토출부가, 상기 주행 경로의 바로 아래에 위치하고,
    상기 물품 반송차가, 상기 지지부를 승강 이동시켜 물품을 상기 반송 대상 개소에 대하여 탑재하거나 내리기를 행하는 반송용(搬松用) 구동 장치를 구비하고,
    상기 반송용 구동 장치가, 상기 접속용 구동 장치에 겸용되고 있는, 물품 반송 설비.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 용기의 바닥면에, 상기 토출부가 아래쪽으로부터 접속되는 급기부(給氣部)와, 상기 토출부와 일체로 구비되어 위쪽을 향해 돌출하는 볼록형으로 형성된 위치 결정 부재가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 구비되고,
    상기 피걸어맞춤부가, 위쪽으로 오목한 형상으로서 위쪽을 향함에 따라 폭이 좁아지는 끝이 가는 형상으로 형성되고,
    상기 접속용 구동 장치가, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 승강 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하는, 물품 반송 설비.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지부가, 상기 용기의 상단부에 구비되어 있는 피(被)지지부를 지지하는 복수의 지지체와, 상기 복수의 지지체에 의해 상기 피지지부를 지지하고 있는 상태로 상기 피지지부의 측방에 위치하여 상기 피지지부의 수평 방향의 이동을 규제하는 규제체와, 상기 복수의 지지체를 서로 근접시킨 지지 상태와 상기 복수의 지지체를 서로 이격시킨 지지 해제 상태로 전환하는 전환 구동 장치를 구비하고,
    상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부가 상기 전환 구동 장치에 의해 상기 지지 상태로 전환되어 있는 상태로 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는, 물품 반송 설비.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 대응하여 미리 설정된 공급용 정지 위치에 상기 물품 반송차가 정지하고 있는 상태로 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는, 물품 반송 설비.
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