KR20160056824A - Article transport facility - Google Patents

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KR20160056824A
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Abstract

An article transport apparatus includes a connection driving device which relatively moves a discharge unit with respect to a support unit to switch a position relation of the support unit of an overhead transport vehicle and the discharge unit of an inert gas supply device between a connection position relation and a separation position relation. The inert gas supply device discharges inert gas from the discharge unit in a state where the connection of the discharge unit and a container is kept after the position relation of the support unit and the discharge unit is switched to the connection position relation.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}

본 발명은, 천정으로부터 현수(懸垂)된 주행 레일을 따라 주행하여 용기를 반송하는 물품 반송차(搬送車)가 구비되고, 상기 물품 반송차가, 상기 용기를 지지하는 지지부를 구비하고 있는 물품 반송 설비에 관한 것이다. The present invention relates to a product conveyance device that is provided with a product conveyance car (conveyance vehicle) that travels along a running rail suspended from a ceiling to convey a container, and the product conveyance vehicle includes a product conveyance device .

상기와 같은 물품 반송 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2012―044033호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차가 주행하는 주행 경로의 측방에 물품을 보관하는 용기 보관부를 구비하고, 그 용기 보관부에, 불활성 기체(氣體)를 토출부(吐出部)로부터 토출(吐出)하는 불활성 기체 공급 장치가 구비되어 있다. 이와 같이, 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 용기 보관부에 불활성 기체 공급 장치를 구비함으로써, 용기 보관부에 용기를 보관하는 시간을 이용하여 용기 내에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다. An example of such an article transporting facility is described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-044033 (Patent Document 1). In the product transport system of Patent Document 1, there is provided a container storage portion for storing the article on the side of the traveling path on which the product return carriage travels, and an inert gas is discharged from the discharge portion And an inert gas supplying device for discharging the inert gas. In this way, in the article transporting apparatus of Patent Document 1, the inert gas supply device is provided in the container storage section, and the inert gas is supplied into the container by using the time for storing the container in the container storage section.

설명을 추가하면, 물품 반송차에는, 용기를 지지하는 지지부를 승강 이동시키는 승강 구동부가 구비되어 있고, 용기 보관부에는, 토출부를 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부가 구비되어 있다. 그리고, 물품 반송차가 용기 보관부에 대하여 미리 설정되어 있는 주행 정지 위치에 정지한 후, 토출부가 물품 반송차의 지지부에 의해 지지되어 있는 용기의 바로 아래에 위치하도록, 수평 구동부에 의해 토출부를 수평 방향을 따라 돌출 이동시키고, 그 후, 승강 구동부에 의해 지지부를 하강 이동시켜, 용기에 토출부를 접속한다. In addition to the above description, the article transporting vehicle is provided with a lifting and lowering driving unit for lifting and moving the supporting unit for supporting the container, and the container storage unit is provided with a horizontal driving unit for moving the discharging unit in the horizontal direction. After the article transporting vehicle is stopped at the travel stop position set in advance with respect to the container storage unit, the discharge unit is moved in the horizontal direction by the horizontal drive unit so that the discharge unit is directly below the container supported by the support unit of the product transportation car. And then the supporting portion is lowered by the elevation driving portion to connect the discharging portion to the container.

이와 같이, 수평 구동부에 의한 토출부의 수평 이동과 승강 구동부에 의한 지지부의 승강 이동에 의해, 지지부와 토출부와의 위치 관계를, 지지부에 의해 지지된 용기에 토출부가 접속되는 접속용 위치 관계와, 지지부에 의해 지지된 용기로부터 토출부를 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 되어 있다. As described above, the horizontal movement of the discharge unit by the horizontal drive unit and the upward and downward movement of the support unit by the elevation drive unit enable the positional relationship between the support unit and the discharge unit to be controlled by the positional relationship for connection to which the discharge unit is connected to the container, It is possible to switch from the container supported by the supporting portion to the separating positional relationship in which the discharging portion is separated.

또한, 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 수평 구동부에 의해 토출부를 수평 방향을 따라 돌출 이동시킴으로써, 토출부에 불활성 기체를 공급하는 질소 가스 공급로가 도중에서 분단(分斷)된다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치는, 수평 구동부에 의해 토출부를 수평 방향을 따라 돌출 이동시킨 상태로는, 토출부로부터 불활성 기체를 토출할 수 없는 구성으로 되어 있다. Further, in the product transport system of Patent Document 1, the nitrogen gas supply path for supplying the inert gas to the discharge portion is divided in the middle by projecting and moving the discharge portion along the horizontal direction by the horizontal drive portion. Therefore, the inert gas supply device is configured such that the inert gas can not be discharged from the discharge portion when the discharge portion is projected and moved along the horizontal direction by the horizontal drive portion.

따라서, 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 토출부로부터 불활성 기체를 토출하여 용기 내에 불활성 기체를 공급하기 위해, 천정 반송차는, 용기를 토출부에 접속한 후에 용기에 대한 지지부에 의한 지지를 해제하고, 불활성 기체 공급 장치는, 수평 구동부에 의해 토출부를 수평 방향을 따라 퇴피 이동시켜 질소 가스 공급로의 도중을 접속시킨다. 종래에서의 물품 반송 설비에서는, 불활성 기체 공급 장치는, 이와 같이 토출부를 퇴피 이동시킨 후에 토출부로부터 불활성 기체를 토출시켜 용기 내에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다. Therefore, in the article transporting apparatus of Patent Document 1, in order to discharge the inert gas from the discharging portion to supply the inert gas into the container, the ceiling transporting car releases the support by the supporting portion to the container after connecting the container to the discharging portion , The inert gas supply device retracts the discharge part along the horizontal direction by the horizontal drive part to connect the middle of the nitrogen gas supply path. In the conventional product transport equipment, the inert gas supply device is configured to discharge the inert gas from the discharge portion after the discharge portion is retreated and to supply the inert gas into the container.

일본 공개특허 제2012―044033호 공보Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-044033

상기한 종래의 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차가 용기를 물품 보관부에 반송한 후에는, 다음의 용기를 반송하기 위해 물품 반송차를 주행 정지 위치로부터 주행시킨다. 그리고, 물품 보관부로부터 용기를 반송하는 경우에는, 다른 물품 반송차를 상기 주행 정지 위치까지 주행시킨 후, 상기 물품 반송차에 의해 물품 보관부로부터 다른 개소(箇所)에 반송하게 된다. In the above-described conventional product transporting apparatus, after the article transporting car transports the container to the article storage section, the article transporting vehicle is caused to travel from the travel stop position to transport the next container. When the container is transported from the article storage unit, the other article transport vehicle travels to the stop position, and then is transported from the article storage unit to another location by the article transporting vehicle.

물품 보관부에 있어서 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체가 공급되고 있었던 용기를 다른 개소에 반송할 때는, 다른 물품 반송차를 주행 정지 위치까지 주행시킨 후, 물품 반송차의 승강 구동부나 불활성 기체 공급 장치의 수평 구동부를 구동시켜, 지지부에 의해 용기를 지지할 수 있는 위치 관계로 되도록 지지부와 토출부를 상대적으로 이동시키고, 또한 토출부를 용기로부터 분리하기 위해 지지부와 토출부를 상대적으로 이동시킬 필요가 있다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체가 공급되고 있었던 용기를 신속히 다른 개소로 반송하는 것이 어려웠다.When the container in which the inert gas is supplied by the inert gas supply device in the article storage portion is transported to another location, the other article transport vehicle is caused to travel to the travel stop position, and then the elevation drive portion of the product transport vehicle, It is necessary to relatively move the supporting portion and the discharging portion to move the supporting portion and the discharging portion relatively to move the supporting portion and the discharging portion relative to each other so that the container can be supported by the supporting portion. Therefore, it was difficult to quickly return the container, which was supplied with the inert gas by the inert gas supply device, to another position.

그래서, 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체가 공급되어 있었던 용기를 다른 개소에 신속히 반송할 수 있는 물품 반송 설비가 요구된다. Therefore, there is a demand for an article transporting facility capable of quickly transporting a container to which an inert gas has been supplied by an inert gas supply device to another location.

상기를 감안하여, 물품 반송 설비의 특징적 구성은, 천정으로부터 현수된 주행 레일을 따라 주행하여 용기를 반송하는 물품 반송차를 구비하고, 상기 물품 반송차가, 상기 용기를 지지하는 지지부를 구비하고, Taking the above into consideration, the characteristic configuration of the product transportation facility includes a product transportation car that runs along a running rail suspended from the ceiling to transport the container, and the product transportation car has a support portion for supporting the container,

불활성 기체를 토출부로부터 토출하는 불활성 기체 공급 장치가, 상기 물품 반송차가 주행하는 주행 경로의 측방(옆쪽) 또는 아래쪽에 상기 토출부가 위치하도록 구비되고, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기에 상기 토출부가 접속되는 접속용 위치 관계와, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기로부터 상기 토출부를 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환하도록, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치가 구비되고, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계가 상기 접속용 구동 장치에 의해 상기 접속용 위치 관계로 전환된 후의 상기 토출부와 상기 용기와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는 점에 있다. Wherein the inert gas supplying device for discharging the inert gas from the discharging portion is provided so that the discharging portion is located on the side (side) or the lower side of the traveling path on which the product returning vehicle travels, and the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion, The discharge portion is connected to the container supported by the support portion so as to switch from the connection positional relationship in which the discharge portion is connected to the container and the separation positional relationship in which the discharge portion is separated from the container supported by the support portion, Wherein the inert gas supply device is configured to change the positional relationship between the support portion and the discharge portion after the discharge portion is switched to the connection positional relationship by the connection drive device, In the state where the connection with the vessel is maintained and the inert gas is discharged from the discharge portion .

이 특징적 구성에 의하면, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치로 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시켜 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환함으로써, 물품 반송차의 지지부에 지지되어 있는 용기에 토출부를 접속할 수 있다. According to this characteristic configuration, the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is determined by moving the discharging portion relative to the supporting portion by the connecting driving device in a state in which the product conveying car is running to the position corresponding to the inert gas supplying device, By switching to the positional relationship, the discharge portion can be connected to the container supported by the support portion of the product conveyance carriage.

또한, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시켜 지지부와 토출부와의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환함으로써, 물품 반송차의 지지부에 의해 지지되어 있는 용기로부터 토출부를 분리할 수 있다. Further, in a state in which the article transporting vehicle is running at a position corresponding to the inert gas supply device, the connection drive device relatively moves the discharge portion relative to the support portion to switch the positional relationship between the support portion and the discharge portion to the separation positional relationship The discharge portion can be separated from the container supported by the support portion of the product conveyance carriage.

그리고, 지지부와 토출부와의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후의 토출부와 용기와의 접속이 유지된 상태에서는, 토출부는 용기에 접속되어 있으므로, 이 상태에서 불활성 기체 공급 장치가 토출부로부터 불활성 기체를 토출함으로써, 용기 내에 불활성 기체를 공급할 수 있다. Then, in a state where the connection between the discharge part and the container is maintained after the positional relationship between the support part and the discharge part is switched to the positional relationship for connection, the discharge part is connected to the container, The inert gas can be supplied into the container.

또한, 이와 같이 용기 내에 불활성 기체를 공급하고 있는 동안, 물품 반송차는 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 위치하고 있다. 그러므로, 접속용 구동 장치에 의해 지지부와 토출부와의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환하는 것만으로, 물품 반송차의 지지부에 의해 용기가 지지되는 상태로 되어, 물품 반송차는, 지지부에 의해 용기를 지지하여 주행할 수 있는 상태로 되어 있다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체를 공급하고 있었던 용기를 물품 반송차에 의해 신속히 다른 개소로 반송할 수 있다. In addition, while the inert gas is supplied into the container in this manner, the product transporting vehicle is located at a position corresponding to the inert gas supply device. Therefore, only by switching the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion by the connecting drive device, the container is supported by the supporting portion of the product conveying car, and the product conveying car is conveyed to the container So that the vehicle can travel. Therefore, the container that has been supplied with the inert gas by the inert gas supply device can be quickly transported to another location by the article transporting car.

도 1은, 물품 반송 설비의 측면도이며,
도 2는, 천정 반송차가 반송용(搬松用) 정지 위치에 정지하고 있는 물품 반송 설비의 측면도이며,
도 3은, 천정 반송차가 반송용 정지 위치에 정지하고 있는 물품 반송 설비의 측면도이며,
도 4는, 공급용 정지 위치에 정지하고 있는 천정 반송차의 정면도이며,
도 5는, 공급용 정지 위치에 정지하고 있는 천정 반송차의 측면도이며,
도 6은, 수취 제어의 플로우차트이며,
도 7은, 받아건넴 제어의 플로우차트이며,
도 8은, 공급 제어의 플로우차트이며,
도 9는, 다른 실시형태 1에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 주요부 정면도이며,
도 10은, 다른 실시형태 2에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 주요부 측면도이며,
도 11은, 다른 실시형태 3에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 주요부 측면도이며,
도 12는, 다른 실시형태 4에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 정면도이며,
도 13은, 다른 실시형태 4에서의 천정 반송차 및 질소 가스 공급 장치의 정면도이다. 1 is a side view of the product transportation equipment,
Fig. 2 is a side view of the article transporting apparatus in which the ceiling conveying vehicle is stopped at a stop position for transporting (transportation)
3 is a side view of the article transporting apparatus in which the ceiling conveying vehicle is stopped at the transport stop position,
Fig. 4 is a front view of the ceiling-carrying truck stopped at the stop position for supply,
5 is a side view of the ceiling-carrying truck stopped at the stop position for supplying,
6 is a flowchart of the receiving control,
Fig. 7 is a flowchart of the receive control,
8 is a flowchart of supply control,
Fig. 9 is a front view of a main part of a ceiling-conveying vehicle and a nitrogen gas supply device according to another embodiment 1,
10 is a side view of a main part of a ceiling-conveying vehicle and a nitrogen gas supply device according to another embodiment 2,
11 is a side view of a main portion of a ceiling-conveying vehicle and a nitrogen gas supply device according to another embodiment 3,
12 is a front view of a ceiling-conveying vehicle and a nitrogen gas supply device according to another embodiment 4,
Fig. 13 is a front view of a ceiling-conveying vehicle and a nitrogen gas supply device according to another embodiment 4. Fig.

물품 반송 설비의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of an article transporting facility will be described with reference to the drawings.

도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 복수의 처리 장치(1)를 경유하는 상태로 천정으로부터 현수된 주행 레일(2)이 설치되고, 그 주행 레일(2)을 따라 주행하여 복수의 처리 장치(1)의 사이에서 용기(W)를 반송하는 천정 반송차(3)(물품 반송차)가 설치되어 있다. 또한, 물품 반송 설비에는, 불활성 기체로서의 질소 가스를 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)에 공급하는 질소 가스 공급 장치(4)(불활성 기체 공급 장치)가 구비되어 있다. As shown in Fig. 1, the product transportation facility is provided with a running rail 2 suspended from a ceiling in a state passing through a plurality of processing apparatuses 1, running along the running rail 2, A ceiling conveying carriage 3 (article conveying carriage) for conveying the container W between the apparatus 1 is provided. The product transport equipment is provided with a nitrogen gas supply device 4 (inert gas supply device) for supplying a nitrogen gas as an inert gas to the container W supported by the ceiling conveying car 3.

그리고, 본 실시형태에서는, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기(W)로 하고 있다. In this embodiment, the FOUP (Front Opening Unified Pod) that houses the semiconductor substrate is used as the container W.

처리 장치(1)는, 반도체 기판의 제조 도중에서의 반제품 등에 대하여 소정의 처리를 행하는 장치이며, 이 처리 장치(1)에서의 용기(W)를 탑재 지지하는 탑재대(1a)가, 천정 반송차(3)에 의한 용기(W)의 반송원(搬送元) 또는 반송처(搬送處)로 되는 반송 대상 개소에 상당한다. 탑재대(1a)는, 천정 반송차(3)가 주행하는 주행 경로의 바로 아래에 위치하고 있다. 질소 가스 공급 장치(4)는, 탑재대(1a)에 대하여 주행 경로의 길이 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있다. 그리고, 주행 경로는, 주행 레일(2)을 따라 주행하는 천정 반송차(3) 및 이것에 지지된 용기(W)가 이동하는 공간을 가리키고 있다. The processing apparatus 1 is a device for performing predetermined processing on a semi-finished product or the like in the course of manufacturing a semiconductor substrate, and a mounting table 1a for mounting and supporting the container W in the processing apparatus 1 is mounted on a ceiling- Corresponds to a conveyance object which is a conveyance source or a conveyance destination of the container W by the car 3. [ The stage 1a is located directly below the traveling path on which the ceiling-carrying truck 3 runs. The nitrogen gas supply device 4 is provided at a position shifted from the stage 1a in the longitudinal direction of the traveling path. The traveling path indicates a space in which the ceiling transporting carriage 3 traveling along the traveling rail 2 and the container W supported thereon moves.

[용기][Vessel]

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 용기(W)에는, 복수 개의 반도체 기판을 수용하는 용기 본체부(6)와, 이 용기 본체부(6)보다 위쪽에 위치하여 용기(W)의 상단부에 구비된 플랜지부(7)(피(被)지지부)와, 용기 본체부(6)의 앞면(前面)에 형성된 기판 출입용의 기판 출입구를 폐쇄하는 착탈 가능한 커버체(도시하지 않음)가 구비되어 있다. As shown in Figs. 4 and 5, the container W includes a container body portion 6 for accommodating a plurality of semiconductor substrates, and a container body portion 6 located above the container body portion 6, And a detachable cover member (not shown) for closing the substrate entrance and exit port formed on the front surface of the container body portion 6 are provided on the flange portion 7 have.

도 4에 나타낸 바와 같이, 용기 본체부(6)의 바닥면[용기(W)의 바닥면]에는, 위쪽으로 오목하게 들어간 3개의 바닥면 오목부(8)(피걸어맞춤부)가 구비되어 있다. 이 바닥면 오목부(8)는, 위쪽으로 갈수록 좁은 끝이 가는 형상으로 형성되어 있고, 바닥면 오목부(8)의 내면이 경사면으로 형성되어 있다. 즉, 바닥면 오목부(8)는, 위쪽으로 오목한 형상으로서 위쪽을 향함에 따라 폭(개구폭)이 좁아지는 형상으로 형성되어 있다. As shown in Fig. 4, three bottom surface concave portions 8 (engaged portions) that are recessed upward are provided on the bottom surface (bottom surface of the container W) of the container main body portion 6 have. The bottom surface concave portion 8 is formed so as to have a narrow and narrow shape toward the upper side, and the inner surface of the bottom surface concave portion 8 is formed as an inclined surface. That is, the bottom surface concave portion 8 is formed in an upwardly concave shape so that its width (opening width) becomes narrower toward the upper side.

이 바닥면 오목부(8)는, 천정 반송차(3)에 의해 용기(W)가 탑재대(1a)에 반송되어 용기(W)가 탑재대(1a)에 탑재될 때(도 3 참조)에, 탑재대(1a)에 구비되어 있는 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지도록 구비되어 있다. 천정 반송차(3)에 의해 용기(W)가 탑재대(1a)에 탑재되었을 때, 용기(W)가 탑재대(1a)에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치 결정 부재(9)가 바닥면 오목부(8)의 내면에 의해 안내됨으로써, 용기(W)의 탑재대(1a)에 대한 수평 방향에서의 위치가 적정한 위치로 수정되도록 되어 있다. The bottom surface concave portion 8 is formed so that when the container W is carried to the mounting table 1a by the ceiling-carrying truck 3 and the container W is mounted on the mounting table 1a (see Fig. 3) The positioning member 9 provided on the mounting table 1a is provided so as to be engaged from below. When the container W is shifted in the horizontal direction with respect to the mounting table 1a when the container W is mounted on the mounting table 1a by the ceiling-carrying truck 3, the positioning member 9 Is guided by the inner surface of the bottom surface concave portion 8 so that the position of the container W in the horizontal direction with respect to the mount table 1a is corrected to an appropriate position.

그리고, 용기(W)가 탑재대(1a)에 탑재 지지되어 있는 상태에서는, 상기 용기(W)의 바닥면 오목부(8)에 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어진 상태로 되어 있고, 용기(W)는, 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어져 있는 3개의 위치 결정 부재(9)에 의해 수평 방향으로의 위치 어긋남이 규제되고, 또한 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어져 있는 3개의 위치 결정 부재(9)에 의해 탑재 지지된다. In a state in which the container W is mounted on the stage 1a, the positioning member 9 is engaged with the bottom surface recess 8 of the container W from below The position of the container W in the horizontal direction is restricted by the three positioning members 9 engaged with the bottom surface concave portion 8 and is engaged with the bottom surface concave portion 8 And is mounted and supported by three positioning members (9).

도 5에 나타낸 바와 같이, 플랜지부(7)의 상면[용기(W)의 상면]에는, 아래쪽으로 오목하게 들어간 상면 오목부(10)가 형성되어 있다. 이 상면 오목부(10)는, 아래쪽일수록 좁은 끝이 가는 형상으로 형성되어 있고, 상면 오목부(10)의 내면이 경사면으로 형성되어 있다. 5, an upper surface concave portion 10 recessed downward is formed on the upper surface of the flange portion 7 (upper surface of the container W). The upper surface concave portion 10 is formed so as to have a narrower end shape as it goes downward, and the inner surface of the upper surface concave portion 10 is formed as an inclined surface.

이 상면 오목부(10)는, 탑재대(1a)에 용기(W)가 탑재되어 있는 상태로 천정 반송차(3)가 지지 기구(機構)(18)를 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(18)에 구비되어 있는 압압부(押壓部)(18c)가 걸어맞추어지도록 구성되어 있다. 그리고, 천정 반송차(3)가 지지 기구(18)를 하강 이동시켰을 때, 탑재대(1a)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)에 대하여 지지 기구(18)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 압압부(18c)가 상면 오목부(10)의 내면에 의해 안내됨으로써, 지지 기구(18)의 용기(W)에 대한 수평 방향에서의 위치가 적정한 위치로 수정되도록 되어 있다. The upper surface concave portion 10 is formed in the upper surface concave portion 10 so that when the ceiling conveying car 3 moves down the supporting mechanism 18 in a state in which the container W is mounted on the mounting table 1a, And a pressing portion 18c provided on the upper surface of the base plate 18 is engaged. When the supporting mechanism 18 is displaced in the horizontal direction with respect to the container W supported on the mounting table 1a when the ceiling conveying carriage 3 moves down the supporting mechanism 18, The pressing portion 18c is guided by the inner surface of the upper surface concave portion 10 so that the position of the supporting mechanism 18 in the horizontal direction with respect to the container W is corrected to a proper position.

도 5에 나타낸 바와 같이, 용기(W)의 바닥면에는, 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)로부터 토출된 질소 가스를 용기(W) 내에 급기(給氣)하기 위한 급기구(11)(급기부)와, 용기(W) 내의 기체를 배출하기 위한 배기구(12)가 구비되어 있다. 급기구(11)에는, 급기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되어 있고, 배기구(12)에는, 배기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 즉, 용기(W)는, 기판 출입구를 커버체에 의해 닫고, 급기구(11) 및 배기구(12)의 각각을 개폐 밸브에 의해 폐쇄함으로써, 기밀성을 가지도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 토출 노즐(27)이 「토출부」에 상당한다. 5, the bottom surface of the container W is provided with a supply mechanism (not shown) for supplying the nitrogen gas discharged from the discharge nozzle 27 of the nitrogen gas supply device 4 into the container W 11 (supply portion), and an exhaust port 12 for exhausting the gas in the container W are provided. An air supply opening / closing valve (not shown) is provided in the air supply mechanism 11, and an air supply opening / closing valve (not shown) is provided in the air exhaust opening 12. That is, the container W is constructed so as to have airtightness by closing the substrate entry / exit port with a cover member and closing each of the air supply mechanism 11 and the exhaust port 12 by an on-off valve. In this embodiment, the discharge nozzle 27 corresponds to the "discharge portion".

그리고, 급기구(11)의 급기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 가압되어 닫혀져 있고, 급기구(11)에 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)이 접속되어 그 토출 노즐(27)로부터 질소 가스가 분출되면, 그 분출된 질소 가스의 압력에 의해 급기용 개폐 밸브가 개방 조작되어, 질소 가스가 용기(W) 내에 공급되도록 구성되어 있다. The supply opening and closing valve of the air supply mechanism 11 is pressed and closed by a pressing member such as a spring and the discharge nozzle 27 of the nitrogen gas supply device 4 is connected to the air supply mechanism 11, When the nitrogen gas is ejected from the nozzle 27, the supply / discharge valve is opened by the pressure of the ejected nitrogen gas, so that the nitrogen gas is supplied into the container W.

또한, 배기구(12)의 배기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 가압되어 닫혀져 있고, 질소 가스 공급 장치(4)에 의한 질소 가스의 공급에 의해 용기(W) 내의 압력이 높아지면 배기용 개폐 밸브가 개방 조작되어, 용기(W) 내의 기체가 배기되도록 구성되어 있다. The exhaust opening / closing valve of the exhaust port 12 is pressurized and closed by a pressing member such as a spring. When the pressure in the container W is increased by the supply of the nitrogen gas by the nitrogen gas supply device 4, Closing valve is opened so that the gas in the container W is exhausted.

[천정 반송차][Ceiling conveyor]

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(3)는, 주행 레일(2) 상을 그 주행 레일(2)을 따라 주행하는 주행부(15)와, 주행 레일(2)의 아래쪽에 위치하도록 주행부(15)에 현수 지지되고 또한 용기(W)를 승강 이동 가능하게 지지하는 본체부(16)를 구비하고 있다. 4 and 5, the ceiling-carrying truck 3 is provided with a traveling section 15 for traveling on the traveling rail 2 along the traveling rail 2, a traveling section 15 for traveling on the lower side of the traveling rail 2 And a body portion 16 suspended from the travel portion 15 to support the container W so as to be movable up and down.

본체부(16)에는, 용기(W)를 지지하는 지지부로서의 지지 기구(18)와, 지지 기구(18)를 승강 이동시키는 승강 조작 기구(19)와, 상승 위치에 있는 지지 기구(18)에 의해 지지된 용기(W)의 상방측 및 경로 전후측을 덮는 커버체(20)를 구비하고 있다. The main body portion 16 is provided with a support mechanism 18 as a support portion for supporting the container W, a lifting operation mechanism 19 for lifting and moving the support mechanism 18, And a cover body (20) covering the upper side of the container (W) and the front and rear sides of the path.

승강 조작 기구(19)는, 선단부에 지지 기구(18)를 연결 지지한 권취 벨트(19a)를 권취하는 권취체(19b)와, 그 권취체(19b)를 회전 구동시키는 승강용 모터(19c)를 구비하고 있다. 그리고, 승강 조작 기구(19)는, 승강용 모터(19c)에 의해 권취체(19b)를 정역(正逆)으로 회전 구동시켜, 권취 벨트(19a)를 권취 및 송출 조작함으로써, 지지 기구(18) 및 이것에 지지된 용기(W)를 승강 이동시키도록 구성되어 있다. The lifting and lowering operation mechanism 19 is provided with a winding body 19b for winding up a winding belt 19a which supports and supports a supporting mechanism 18 at a tip end thereof and a lifting motor 19c for rotating the winding body 19b, . The lifting and lowering operation mechanism 19 rotates and rotates the winding body 19b by the lifting and lowering motor 19c and winds up and discharges the winding belt 19a, And the container W supported thereon are lifted and moved.

지지 기구(18)에는, 가로 축심 주위에 요동(搖動) 가능한 한 쌍의 파지(把持) 클로우(18a)와, 한 쌍의 파지 클로우(18a)를 가로 축심 주위에 요동시키는 파지용 모터(18b)(전환 구동부)와, 지지 기구(18)를 하강 이동시켰을 때 반송원에 위치하는 용기(W)에 대하여 위쪽으로부터 압압(押壓)하여 용기(W)에 대한 지지 기구(18)의 위치를 정하는 압압부(18c)가 구비되어 있다. 지지 기구(18)는, 한 쌍의 파지용 모터(18b)에 의해 한 쌍의 파지 클로우(18a)를 서로 원근 이동하도록 요동시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(18a)를 서로 근접시켜 용기(W)의 플랜지부(7)를 지지하는 지지 상태와, 파지 클로우(18a)를 서로 이격시켜 플랜지부(7)에 대한 지지를 해제하는 지지 해제 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. The support mechanism 18 is provided with a pair of grip claws 18a capable of swinging about the horizontal axis and a gripping motor 18b for swinging the pair of grip claws 18a around the horizontal axis, And the position of the support mechanism 18 with respect to the container W is determined by pressing the container W positioned in the conveying source from above when the support mechanism 18 is moved downward A pressing portion 18c is provided. The support mechanism 18 swings the pair of grip claws 18a to move away from each other by a pair of gripping motors 18b so that the pair of grip claws 18a are brought close to each other, And the support claws 18a are separated from each other so as to be able to be switched from the support state to the flange portion 7 to release the support to the flange portion 7. [

한 쌍의 파지 클로우(18a)의 각각은, 그 하단부에 의해 플랜지부(7)를 아래쪽으로부터 지지하도록 구성되어 있다. 그리고, 한 쌍의 파지 클로우(18a)에 의해 플랜지부(7)를 지지한 상태에서는, 파지 클로우(18a)의 상하 방향의 중앙부는 플랜지부(7)의 측방에 위치하고 있다. 그리고, 파지 클로우(18a)의 하단부가, 플랜지부(7)를 지지하는 지지체에 상당하고, 파지 클로우(18a)의 상하 방향의 중앙부가, 한 쌍의 파지 클로우(18a)의 하단부에 의해 플랜지부(7)를 지지한 상태로 플랜지부(7)의 측방에 위치하여 플랜지부(7)의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 규제부에 상당한다. Each of the pair of grip claws 18a is configured to support the flange portion 7 from below by its lower end. In the state in which the flange portion 7 is supported by the pair of grip claws 18a, the central portion in the up-and-down direction of the grip claws 18a is located on the side of the flange portion 7. The lower end portion of the grip claw 18a corresponds to a support body for supporting the flange portion 7 and the central portion in the up and down direction of the grip claw 18a is supported by the lower end portion of the pair of grip claws 18a, Which corresponds to a restricting portion which is located on the side of the flange portion 7 while supporting the flange portion 7 and regulates the movement of the flange portion 7 in the horizontal direction.

[질소 가스 공급 장치][Nitrogen gas supply device]

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)는, 천정에 설치되어 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 위쪽에 위치하는 장치 본체(22)와, 장치 본체(22)에 현수 지지되어 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 아래쪽까지 연장 형성된 노즐 지지체(23)를 구비하고 있다. 4 and 5, the nitrogen gas supply device 4 includes a device main body 22 installed on the ceiling and located above the traveling path of the ceiling conveying car 3, And a nozzle support body 23 supported in a suspended manner and extended downward beyond the traveling path of the ceiling-conveying car 3. [

또한, 질소 가스 공급 장치(4)는, 질소 가스를 통류(通流)시키는 질소 가스 공급로(25)와, 그 질소 가스 공급로(25)의 도중에 배치된 전환 밸브(26)와, 질소 가스 공급로(25)의 하류측 단부(端部)에 배치되어 용기(W)의 급기구(11)에 접속되는 토출 노즐(27)과, 용기(W)의 배기구(12)에 접속되는 배기 노즐(28)과, 토출 노즐(27)이 용기(W)의 급기구(11)에 접속되어 있는 상태를 검출하는 접속 센서(29)가 구비되어 있다. The nitrogen gas supply device 4 includes a nitrogen gas supply path 25 for flowing nitrogen gas, a switching valve 26 disposed in the middle of the nitrogen gas supply path 25, A discharge nozzle 27 disposed at the downstream end of the supply path 25 and connected to the supply mechanism 11 of the container W and a discharge nozzle 27 connected to the discharge port 12 of the container W, And a connection sensor 29 for detecting a state in which the discharge nozzle 27 is connected to the supply mechanism 11 of the container W are provided.

질소 가스 공급로(25)는, 질소 가스의 공급원으로부터 장치 본체(22)를 통하여 노즐 지지체(23)의 하단부까지 연장되어 있다. 전환 밸브(26)는 장치 본체(22)에 구비되고, 토출 노즐(27), 배기 노즐(28) 및 접속 센서(29)는 노즐 지지체(23)에 지지되어 있다. The nitrogen gas supply passage 25 extends from a supply source of nitrogen gas to the lower end of the nozzle support body 23 through the apparatus main body 22. The switching valve 26 is provided in the apparatus main body 22 and the discharge nozzle 27, the exhaust nozzle 28 and the connection sensor 29 are supported by the nozzle support 23.

질소 가스 공급 장치(4)는, 공급원(도시하지 않음)으로부터 공급된 질소 가스를 토출 노즐(27)로부터 토출하도록 구성되어 있고, 전환 밸브(26)의 전환에 의해, 토출 노즐(27)로부터 질소 가스를 토출하는 상태와, 토출 노즐(27)로부터 질소 가스를 토출하지 않는 상태로 전환되도록 구성되어 있다. The nitrogen gas supply device 4 is configured to discharge nitrogen gas supplied from a supply source (not shown) from the discharge nozzle 27. By switching the switch valve 26, nitrogen And is configured to be switched from a state in which gas is discharged to a state in which nitrogen gas is not discharged from the discharge nozzle 27.

그리고, 질소 가스 공급 장치(4)는, 천정 반송차(3)가 주행하는 주행 경로의 바로 아래에 토출 노즐(27) 및 배기 노즐(28)이 위치하도록 구비되어 있다. 그리고, 천정 반송차(3)가 질소 가스 공급 장치(4)에 대하여 미리 설정되어 있는 공급용 정지 위치에 정지하고 있는 상태에서는, 토출 노즐(27)은 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)의 급기구(11)의 바로 아래에 위치하고, 배기 노즐(28)은 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)의 배기구(12)의 바로 아래에 위치하고 있다. The nitrogen gas supply device 4 is provided so that the discharge nozzle 27 and the exhaust nozzle 28 are positioned just under the traveling path on which the ceiling-carrying truck 3 runs. In the state where the ceiling carriage carriage 3 is stopped at the supply stop position previously set for the nitrogen gas supply device 4, And the exhaust nozzle 28 is located directly under the exhaust port 12 of the container W supported by the ceiling-conveying carriage 3. The exhaust port 28 is located below the exhaust port 12 of the container W supported by the ceiling-

물품 반송 설비에는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를, 지지 기구(18)에 의해 지지된 용기(W)에 토출 노즐(27)이 접속되는 접속용 위치 관계와, 지지 기구(18)에 의해 지지된 용기(W)로부터 토출 노즐(27)을 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환하도록, 토출 노즐(27)을 지지 기구(18)에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치로서의 접속용 모터(30)가 구비되어 있다. The positional relationship between the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27 is determined by the positional relationship for connection in which the discharge nozzle 27 is connected to the container W supported by the support mechanism 18, A driving force for driving the discharge nozzle 27 relative to the supporting mechanism 18 so as to switch from the container W supported by the supporting mechanism 18 to the separating positional relationship in which the discharging nozzle 27 is separated A motor 30 for connection as an apparatus is provided.

도 4에 나타낸 바와 같이, 접속용 모터(30)는, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)에 구비되어 있고, 접속용 모터(30)의 구동에 의해, 노즐 지지체(23)를 연직(沿直) 방향을 따라 직선형으로 승강 이동시키도록 구성되어 있다. 4, the connecting motor 30 is provided in the apparatus main body 22 of the nitrogen gas supply device 4, and by driving the connecting motor 30, the nozzle support 23 And is configured to move up and down linearly along the vertical direction.

즉, 천정 반송차(3)를 질소 가스 공급 장치(4)에 대하여 미리 설정된 공급용 정지 위치에 정지시킨 상태로, 접속용 모터(30)를 구동시켜 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시킴으로써 접속용 위치 관계로 되고, 접속용 모터(30)를 구동시켜 노즐 지지체(23)를 하강 위치로 하강 이동시킴으로써 분리용 위치 관계로 된다. That is, the connecting motor 30 is driven so that the nozzle support body 23 is moved upward to the raised position in a state in which the ceiling carrying truck 3 is stopped at the supply stop position previously set for the nitrogen gas supply device 4 So that the connection motor 30 is driven to move the nozzle support 23 down to the lowered position, thereby becoming the positional relationship for separation.

이와 같이, 접속용 모터(30)는, 노즐 지지체(23)를 연직 방향으로 승강 이동시킴으로써, 토출 노즐(27)과 지지 기구(18) 중의 토출 노즐(27)을 승강 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성되어 있다. The connecting motor 30 lifts and moves the ejection nozzle 27 and the ejection nozzle 27 in the support mechanism 18 by moving the nozzle support 23 up and down in the vertical direction to move the support mechanism 18 And the discharge nozzle 27 can be switched to the positional relationship for connection and the positional relationship for separation.

그리고, 분리용 위치 관계로 되어 있을 때의 토출 노즐(27)이나 배기 노즐(28)은, 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 아래쪽에 위치하고 있지만, 접속용 위치 관계로 되어 있을 때의 토출 노즐(27)이나 배기 노즐(28)은, 천정 반송차(3)의 주행 경로에 진입하고 있다. 그리고, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스가 공급되어 있는 용기(W)는, 전부 또는 일부가 천정 반송차(3)의 주행 경로 내에 위치하고 있다. The discharge nozzles 27 and the exhaust nozzles 28 when they are in the positional relationship for separation are located below the traveling path of the ceiling-carrying truck 3, but the discharge nozzles 27 and the discharge nozzles 28, (27) and the exhaust nozzle (28) enter the traveling path of the ceiling-conveying car (3). All or a part of the container W to which the nitrogen gas is supplied by the nitrogen gas supply device 4 is located in the traveling path of the ceiling conveying car 3.

[제어 장치][controller]

천정 반송차(3)의 작동 및 질소 가스 공급 장치(4)의 작동은 도 4에 나타낸 제어 장치(H)에 의해 제어되고 있다. 제어 장치(H)는, 상위의 컨트롤러로부터의 반송 지령에 기초하여, 용기(W)를 반송원이 되는 탑재대(1a)로부터 수취하는 수취 제어와 용기(W)를 반송처가 되는 탑재대(1a)에 받아건네는 받아건넴 제어를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 제어 장치(H)는, 천정 반송차(3)에 의해 지지되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 공급 제어를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동 및 질소 가스 공급 장치(4)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. The operation of the ceiling conveying car 3 and the operation of the nitrogen gas supply device 4 are controlled by the control device H shown in Fig. The control device H is a control device for controlling the container H based on the conveyance instruction from the upper controller so that the container W is moved from the loading table 1a as a conveying source to the loading table 1a To control the operation of the overhead traveling carriage 3 so as to execute the skip control. The control device H also controls the operation of the ceiling conveying car 3 and the operation of the nitrogen gas supply device 3 so as to execute the supply control for supplying the nitrogen gas to the container W supported by the ceiling- (4).

도 6의 플로우차트에 나타낸 바와 같이, 수취 제어에서는, 용기(W)를 지지하지 않는 천정 반송차(3)를 반송용 정지 위치까지 주행시키는 수취용 주행 처리와, 천정 반송차(3)를 반송용 정지 위치에 정지시킨 상태로, 권취 벨트(19a)를 송출한 후에 지지 기구(18)를 파지 상태로 전환하여, 용기(W)를 탑재대(1a)로부터 수취하고, 그 후, 권취 벨트(19a)를 권취하는 수취용 승강 처리를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동이 제어된다. 이와 같이 수취 제어가 행해지는 것으로, 탑재대(1a)로부터 용기(W)가 내려져 용기(W)가 천정 반송차(3)에 의해 지지된다. As shown in the flow chart of Fig. 6, in the receiving control, there are carried out a traveling traveling process for traveling the ceiling carriage carriage 3 that does not support the container W to the carriage stop position, The support mechanism 18 is switched to the gripping state after the take-up belt 19a is delivered in the stopped state and the container W is received from the mount table 1a, The operation of the overhead conveying carriage 3 is controlled so as to execute the take-up / As the receiving control is performed in this manner, the container W is dropped from the mounting table 1a, and the container W is supported by the overhead conveying carriage 3. [

도 7의 플로우차트에 나타낸 바와 같이, 받아건넴 제어에서는, 용기(W)를 지지하는 천정 반송차(3)를 탑재대(1a)에 대응하는 반송용 정지 위치까지 주행시키는 받아건넴용 주행 처리와, 천정 반송차(3)를 반송용 정지 위치에 정지시킨 상태로, 권취 벨트(19a)를 송출한 후에 지지 기구(18)를 지지 해제 상태로 전환하고, 그 후, 권취 벨트(19a)를 권취하는 받아건넴용 승강 처리를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동이 제어된다. 이와 같이, 받아건넴 제어가 행해지는 것으로, 천정 반송차(3)에 의해 지지되어 있었던 용기(W)가 탑재대(1a)에 탑재된다. As shown in the flowchart of Fig. 7, in the received GUN control, the overhead traveling carriage 3 supporting the container W is moved to the transportation stop position corresponding to the loading table 1a, The support mechanism 18 is switched to the unsupplied state after the winding belt 19a is fed out in a state in which the ceiling conveying vehicle 3 is stopped at the stop position for conveying, The operation of the overhead conveying carriage 3 is controlled so as to execute the lifting and lowering treatment for the received conveyance. Thus, the container W supported by the ceiling-conveying carriage 3 is mounted on the mounting table 1a by performing the skip control.

또한, 도 7의 플로우차트에 나타낸 바와 같이, 제어 장치(H)는, 받아건넴 제어의 실행을 개시한 직후에 미리 설정된 공급 조건을 만족시키고 있는지를 판별하고, 공급 조건을 만족시키고 있는 경우에는, 받아건넴 제어를 중단하여 공급 제어를 실행한다. 그리고, 공급 조건은, 예를 들면, 상위의 컨트롤러로부터 반송 대상의 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 공급 지령이 지령되어 있는 경우나, 반송원으로부터 반송처까지의 천정 반송차(3)의 예정 주행 거리가 미리 설정된 주행 거리 이상인 경우 등이다. Further, as shown in the flowchart of Fig. 7, the control device H judges whether or not the supply condition set in advance is satisfied immediately after commencement of the execution of the received control, and when the supply condition is satisfied, And the supply control is executed. The supply conditions include, for example, a case where a supply command for supplying nitrogen gas to the container W to be transported is instructed from a higher controller, a case where the supply of the nitrogen gas is instructed from the upper controller to the transporting container 3, Is less than a preset travel distance, and the like.

그리고, 공급 조건을 만족시키고 있는지의 여부의 판별은, 수취 제어가 완료된 후, 받아건넴 제어를 개시할 때까지로 행해도 된다. 그리고, 공급 조건을 만족시키고 있는 경우에는 공급 제어를 실행하고, 공급 조건을 만족시키지 못하는 경우에는 받아건넴 제어를 실행하도록 해도 된다. The determination as to whether or not the supply condition is satisfied may be made after completion of the receipt control until the start of the take-off control. If the supply condition is satisfied, the supply control is executed. If the supply condition is not satisfied, the take-off control may be executed.

다음에 도 8의 플로우차트에 기초하여 공급 제어에 대하여 설명한다. Next, supply control will be described based on the flowchart of Fig.

공급 제어에서는, 먼저, 용기(W)를 지지하는 천정 반송차(3)를 공급용 정지 위치까지 주행시키는 공급용 주행 처리를 실행하도록, 천정 반송차(3)의 작동이 제어된다. In the supply control, first, the operation of the overhead traveling carriage 3 is controlled so as to execute the feed traveling processing for traveling the ceiling transporting carriage 3 supporting the container W to the supply stop position.

그리고, 천정 반송차(3)를 공급용 정지 위치에 정지시킨 상태로, 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환하는 접속 처리를 실행하도록, 질소 가스 공급 장치(4)의 작동이 제어된다. 이와 같이 접속 처리가 실행됨으로써, 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)의 급기구(11)에 토출 노즐(27)이 접속되고, 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)의 배기구(12)에 배기 노즐(28)이 접속된다. The nozzle support 23 is moved upward to the raised position while the ceiling conveying carriage 3 is stopped at the stop position for feeding so that the positional relationship between the support mechanism 18 and the ejection nozzle 27 The operation of the nitrogen gas supply device 4 is controlled so as to execute the connection process for switching to the positional relationship. The discharge nozzle 27 is connected to the air supply mechanism 11 of the container W supported by the ceiling transporting carriage 3 so that the container 17 supported by the ceiling transporting carriage 3 The exhaust nozzle 28 is connected to the exhaust port 12 of the exhaust gas purification device.

천정 반송차(3)가 공급용 정지 위치에 정지하고 또한, 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시킨 상태로, 제어 장치(H)는, 접속 센서(29)에 의해 접속 상태[토출 노즐(27)이 급기구(11)에 적절히 접속되어 있는 상태]가 검출되고 있는 경우에는, 전환 밸브(26)를 개방 조작하는 공급 개시 처리를 행하고, 접속 센서(29)에 의해 접속 상태가 검출되어 있지 않은 경우에는, 경보 장치를 작동시키는 통지 처리를 실행한다. The control device H is switched to the connected state by the connection sensor 29 in the connected state (in the state that the ceiling conveying vehicle 3 is stopped at the stop position for feeding and the nozzle support 23 is moved upward to the raised position) (State in which the switch valve 27 is properly connected to the feed mechanism 11) is detected, the supply start process for opening the switch valve 26 is performed, and the connection state is detected by the connection sensor 29 If not, a notification process for operating the alarm device is executed.

공급 개시 처리가 실행됨으로써, 토출 노즐(27)로부터 질소 가스가 토출되어, 용기(W) 내로의 질소 가스의 공급이 개시된다. 그리고, 통지 처리가 실행됨으로써, 버저(buzzer)나 램프 등의 경보 장치를 작동시켜, 공급 제어에 있어서 토출 노즐(27)이 급기구(11)에 적절히 접속되지 않았던 것이 통지된다. The supply start process is executed so that the nitrogen gas is discharged from the discharge nozzle 27 and the supply of the nitrogen gas into the container W is started. Then, the notifying process is executed to operate an alarm device such as a buzzer or a lamp to notify that the discharge nozzle 27 is not appropriately connected to the air supply mechanism 11 in the supply control.

그리고, 제어 장치(H)는, 질소 가스 공급 처리 후의 질소 가스 공급 중에, 미리 설정된 종료 조건이 만족된 경우에는, 먼저, 전환 밸브(26)를 폐쇄 조작하는 공급 정지 처리를 행하고, 다음에, 노즐 지지체(23)를 하강 위치로 하강 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환하는 분리 처리를 실행하도록, 질소 가스 공급 장치(4)의 작동을 제어한다. 공급 정지 처리가 실행됨으로써, 토출 노즐(27)로부터의 질소 가스의 토출이 정지하여, 용기(W) 내로의 질소 가스의 공급이 종료된다. When the preset termination condition is satisfied during the supply of the nitrogen gas after the nitrogen gas supply process, the control device H first performs the supply stop process for closing the switch valve 26, and then, The operation of the nitrogen gas supply device 4 is performed so that the support 23 is lowered to the lowered position to perform the separation processing for switching the positional relationship between the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27 to the separation positional relationship . The supply stop process is executed so that the discharge of the nitrogen gas from the discharge nozzle 27 is stopped and the supply of the nitrogen gas into the container W is terminated.

그리고, 종료 조건은, 예를 들면, 상위의 컨트롤러로부터 반송 대상의 용기(W)에 대한 질소 가스의 공급을 종료하는 공급 종료 지령이 지령된 경우나, 질소 가스의 공급을 개시하고 나서 미리 설정된 설정 시간이 경과한 경우 등이다. The termination condition may be set, for example, when a supply end command for terminating the supply of nitrogen gas to the container W to be transported is instructed from an upper controller, Time has elapsed, and the like.

전술한 바와 같이 제어 장치(H)가 접속 처리를 실행하고 나서 분리 처리를 실행할 때까지의 사이, 천정 반송차(3)가 공급용 정지 위치에 정지하고 있고, 또한, 지지 기구(18)는 지지 상태가 유지되고 있다. The ceiling conveying carriage 3 is stopped at the stop position for feeding during the period from the execution of the connection processing to the execution of the separation processing as described above, State is maintained.

그리고, 질소 가스 공급 장치(4)는, 천정 반송차(3)가 공급용 정지 위치에 정지하고 있는 상태로, 그 천정 반송차(3)가 지지하고 있는 용기(W)에 토출 노즐(27)을 접속하고 또한, 토출 노즐(27)로부터 질소 가스를 토출 가능하게 구성되어 있고, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 구동 장치에 의해 접속용 위치 관계로 유지된 상태에서 불활성 기체를 토출 노즐(27)로부터 토출하도록 구성되어 있다. 즉, 질소 가스 공급 장치(4)는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 구동 장치에 의해 접속용 위치 관계로 전환된 후의 토출 노즐(27)과 용기(W)와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 토출 노즐(27)로부터 토출하도록 구성된다. 그리고, 본 실시형태에서는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후에, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 구동 장치에 의해 접속용 위치 관계로 유지됨으로써, 토출 노즐(27)과 용기(W)와의 접속이 유지된다. 즉, 본 실시형태에서는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가, 지지 기구(18)에 의해 지지된 용기(W)에 토출 노즐(27)이 접속되는 접속용 위치 관계로 유지된 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)가 불활성 기체를 토출 노즐(27)로부터 토출한다. The nitrogen gas supply device 4 is connected to the discharge nozzle 27 in the container W supported by the ceiling-conveying carriage 3 in a state in which the ceiling- And the nitrogen gas can be discharged from the discharge nozzle 27. The positional relationship between the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27 is maintained in the positional relationship for connection by the connecting drive device And the inert gas is discharged from the discharge nozzle 27 in the state of FIG. That is, the nitrogen gas supply device 4 is configured such that the positional relationship between the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27 is switched between the discharge nozzle 27 and the container W And discharges the inert gas from the discharge nozzle 27 while keeping the connection between the inert gas and the inert gas. In this embodiment, after the positional relationship between the support mechanism 18 and the ejection nozzle 27 is switched to the positional relationship for connection, the positional relationship between the support mechanism 18 and the ejection nozzle 27 is changed The connection between the discharge nozzle 27 and the container W is maintained by being held in the positional relationship for connection by the driving device. That is, in the present embodiment, the positional relationship between the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27 is such that the positional relationship between the discharge nozzles 27 connected to the container W supported by the support mechanism 18 The nitrogen gas supply device 4 discharges the inert gas from the discharge nozzles 27. In this state,

이와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)는, 천정 반송차(3)가 공급용 정지 위치에 정지한 후, 그 천정 반송차(3)의 지지 기구(18)에 의해 지지되어 있는 용기(W)에 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)을 접속하여, 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하도록 구성되어 있다. 그리고, 이와 같이 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하고 있는 동안, 천정 반송차(3)는 공급용 정지 위치에 정지하고 있으므로, 상기 천정 반송차(3)에 의해, 질소 가스의 공급이 종료된 후에 용기(W)를 신속히 반송할 수 있다. As described above, the nitrogen gas supply device 4 is configured such that, after the ceiling transporting vehicle 3 is stopped at the supply stop position, the container W supported by the supporting mechanism 18 of the ceiling- Is connected to the discharge nozzle 27 of the nitrogen gas supply device 4 so as to supply nitrogen gas into the container W. [ While the nitrogen gas is being supplied into the container W by the nitrogen gas supply device 4 as described above, since the ceiling-conveying car 3 is stopped at the stop position for supply, the ceiling- The container W can be quickly transported after the supply of the nitrogen gas is finished.

[다른 실시형태][Other Embodiments]

(1) 상기 실시형태에서는, 용기(W)를 지지 기구(18)에 의해 지지한 상태로 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성하였지만, 용기(W)를 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 지지한 상태로 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다. (1) In the above embodiment, the nitrogen gas is supplied by the nitrogen gas supply device 4 while the container W is supported by the support mechanism 18. Alternatively, the container W may be supplied with nitrogen gas And nitrogen gas may be supplied by the nitrogen gas supply device 4 in a state of being supported by the nitrogen gas supply device 4.

즉, 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)의 노즐 지지체(23)에, 용기(W)의 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어지는 3개의 위치결정용의 지지 부재(31)를 구비한다. 위치결정용의 지지 부재(31)는, 위쪽을 향해 돌출하는 볼록형으로 형성되어 있다. 그리고, 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시켜 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환했을 때, 토출 노즐(27)이 급기구(11)에 접속되고, 또한 배기 노즐(28)이 배기구(12)에 접속되는 동시에 3개의 지지 부재(31)가 용기(W)에서의 3개의 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어진다. 그리고, 노즐 지지체(23)를 상승 위치보다 높은 지지 위치까지 상승시킴으로써 3개의 지지 부재(31)에 의해 용기(W)를 들어올려, 용기(W)의 플랜지부(7)가 파지 클로우(18a)로부터 위쪽으로 부상(浮上)하도록 한다. 이와 같이, 용기(W)를 3개의 지지 부재(31)에 의해 지지한 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다. 즉, 이 다른 실시형태에서는, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가, 질소 가스 공급 장치(4)[여기서는 노즐 지지체(23)]에 의해 지지된 용기(W)에 토출 노즐(27)이 접속되는 위치 관계로 유지됨으로써, 토출 노즐(27)과 용기(W)와의 접속이 유지된다. 그리고, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계가, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 지지된 용기(W)에 토출 노즐(27)이 접속되는 위치 관계로 유지된 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)가 불활성 기체를 토출 노즐(27)로부터 토출한다. 9, the nozzle supporting body 23 of the nitrogen gas supply device 4 is provided with three positioning holes (not shown) for engaging with the bottom surface concave portion 8 of the container W, And a support member (31). The positioning support member 31 is formed in a convex shape protruding upward. When the positional relationship between the support mechanism 18 and the ejection nozzle 27 is switched to the positional relationship for connection by moving the nozzle support 23 up to the raised position and the ejection nozzle 27 is moved to the feed mechanism 11, The exhaust nozzle 28 is connected to the exhaust port 12 and the three support members 31 are engaged with the three bottom surface recesses 8 in the container W. [ The container W is lifted by the three support members 31 by raising the nozzle support 23 to a position higher than the raised position so that the flange 7 of the container W is lifted up to the grip claw 18a, So as to float upward. As described above, nitrogen gas may be supplied by the nitrogen gas supply device 4 while the container W is supported by the three support members 31. [ That is, in this other embodiment, after the positional relationship between the support mechanism 18 and the ejection nozzle 27 is switched to the positional relationship for connection, the positional relationship between the support mechanism 18 and the ejection nozzle 27, And the container W supported by the nitrogen gas supply device 4 (here, the nozzle support 23) is maintained in the positional relationship in which the discharge nozzle 27 is connected to the connection between the discharge nozzle 27 and the container W / RTI > The positional relationship between the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27 is maintained in a positional relationship in which the discharge nozzle 27 is connected to the container W supported by the nitrogen gas supply device 4 , And the nitrogen gas supply device (4) discharges the inert gas from the discharge nozzle (27).

또한, 도시는 생략하지만, 예를 들면, 토출 노즐(27)에 급기구(11)보다 대형의 간섭부를 구비하고, 배기 노즐(28)에 배기구(12)보다 대형의 간섭부를 구비한다. 그리고, 노즐 지지체(23)를 상승 위치로 상승 이동시켜 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환했을 때, 토출 노즐(27)이 급기구(11)에 접속되고 또한 배기 노즐(28)이 배기구(12)에 접속되는 동시에, 토출 노즐(27)이나 배기 노즐(28)에 구비된 간섭부를 용기(W)의 바닥면에 간섭시킨다. 그리고, 노즐 지지체(23)를 상승 위치보다 높은 지지 위치까지 상승시킴으로써 2개의 간섭부에 의해 용기(W)를 들어올려, 용기(W)의 플랜지부(7)가 파지 클로우(18a)로부터 위쪽으로 부상하도록 한다. 이와 같이, 용기(W)를 2개의 간섭부에 의해 지지한 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다. 이와 같이, 용기(W)의 플랜지부(7)가 파지 클로우(18a)로부터 위쪽으로 부상시킨 경우라도, 용기(W)의 플랜지부(7)의 가로 방향으로는 지지 기구(18)의 파지 클로우(18a)가 존재하므로, 용기(W)의 플랜지부(7)가 파지 클로우(18a)에 접촉함으로써, 용기(W)가 전도(轉倒)되는 것을 방지할 수 있다. Although the illustration is omitted, for example, the ejection nozzle 27 is provided with an interference portion larger than the feed mechanism 11, and the exhaust nozzle 28 is provided with an interference portion larger than the exhaust port 12. When the positional relationship between the support mechanism 18 and the ejection nozzle 27 is switched to the positional relationship for connection by moving the nozzle support 23 up to the raised position and the ejection nozzle 27 is moved to the feed mechanism 11, And the exhaust nozzle 28 is connected to the exhaust port 12 and the interference portion provided in the ejection nozzle 27 and the exhaust nozzle 28 is interfered with the bottom surface of the container W. [ The container W is lifted by the two interference portions by raising the nozzle support 23 to a position higher than the raised position so that the flange portion 7 of the container W is lifted upward from the grip claw 18a Let them rise. As described above, nitrogen gas may be supplied by the nitrogen gas supply device 4 while the container W is supported by the two interfering parts. Even when the flange portion 7 of the container W is floated upward from the grip claw 18a as described above, in the lateral direction of the flange portion 7 of the container W, The flange portion 7 of the container W comes into contact with the holding claw 18a so that the container W can be prevented from turning over.

그리고, 전술한 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W)를 지지한 상태로 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성한 경우, 들어올린 용기(W)의 플랜지부(7)를 압압부(18c)에 의해 위쪽으로부터 압압하도록 하여, 노즐 지지체(23)와 압압부(18c)로 상하 방향으로 협지한 상태로, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다. When nitrogen gas is supplied by the nitrogen gas supply device 4 while the container W is supported by the nitrogen gas supply device 4 as described above, The nozzle 7 is pressed from above by the pressing portion 18c and the nitrogen gas is supplied by the nitrogen gas supply device 4 in the state of being held in the vertical direction by the nozzle support body 23 and the pressing portion 18c Or the like.

또한, 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W)를 지지하는 경우에는, 지지 기구(18)를 지지 해제 상태로 전환한 상태에서 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하도록 해도 된다. When the container W is supported by the nitrogen gas supply device 4, nitrogen gas is supplied into the container W by the nitrogen gas supply device 4 while the support mechanism 18 is switched to the unsupported state, Gas may be supplied.

(2) 상기 실시형태에서는, 접속용 구동 장치를 질소 가스 공급 장치(4)에 구비하여, 접속용 구동 장치에 의해 토출 노즐(27)을 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성하였지만, 접속용 구동 장치를 천정 반송차(3)에 구비하여, 접속용 구동 장치에 의해 지지 기구(18)를 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성해도 된다. (2) In the above embodiment, the connection drive device is provided in the nitrogen gas supply device 4, and the discharge nozzle 27 is moved by the connection drive device so that the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27, It is also possible to provide the connecting drive device to the ceiling conveying carriage 3 so that the supporting mechanism 18 can be moved by the connecting driving device So that the positional relationship between the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27 can be switched to the positional relationship for connection and the positional relationship for separation.

구체적으로는, 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(3)를 공급용 정지 위치에 정지시킨 상태로 승강용 모터(19c)에 의해 권취체(19b)를 회전 구동시켜 지지 기구(18)를 승강 이동시킴으로써, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성해도 된다. 이 경우, 천정 반송차(3)에 구비되어 있는 승강용 모터(19c)를 접속용 구동 장치에 겸용할 수 있다. More specifically, for example, as shown in Fig. 10, the lifting and lowering motor 19c rotates and drives the winding body 19b while the ceiling carrying truck 3 is stopped at the supply stop position, The positional relationship between the support mechanism 18 and the discharge nozzle 27 may be switched to the positional relationship for connection and the positional relationship for separation by moving the movable member 18 up and down. In this case, the elevating motor 19c provided on the overhead traveling carriage 3 can also be used as the connecting drive device.

(3) 상기 실시형태에서는, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)를, 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 위쪽에 위치하도록 구비하였지만, 도 11∼도 13에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)를, 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 아래쪽에 위치하도록 구비해도 된다. 그리고, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)를, 천정 반송차(3)의 주행 경로보다 아래쪽에 위치하도록 구비하는 경우, 도 11∼도 13에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)를 천정에 현수 지지되는 상태로 설치해도 되고, 또한 질소 가스 공급 장치(4)를 처리 장치(1)와 마찬가지로 바닥면 상에 설치해도 된다. (3) In the above embodiment, the apparatus main body 22 of the nitrogen gas supply device 4 is provided above the traveling path of the ceiling-carrying truck 3, but as shown in Figs. 11 to 13, The apparatus main body 22 of the nitrogen gas supply device 4 may be provided so as to be positioned lower than the traveling path of the ceiling conveying vehicle 3. [ When the apparatus main body 22 of the nitrogen gas supply device 4 is provided below the traveling path of the ceiling-carrying truck 3, as shown in Figs. 11 to 13, the nitrogen gas supply device 4 may be suspended in a suspended state on the ceiling or the nitrogen gas supply device 4 may be provided on the floor as in the case of the processing apparatus 1. [

(4) 상기 실시형태에서는, 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)을, 천정 반송차(3)의 주행 경로의 바로 아래에 위치하도록 구비하였지만, 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)을, 천정 반송차(3)의 주행 경로에 대하여 측방에 위치하도록 구비해도 된다. (4) In the above embodiment, the discharge nozzles 27 of the nitrogen gas supply device 4 are disposed immediately below the traveling path of the ceiling-carrying truck 3, The nozzle 27 may be provided so as to be positioned laterally with respect to the traveling path of the ceiling-conveying car 3.

구체적으로는, 예를 들면, 도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급 장치(4)의 장치 본체(22)에 지지되는 동시에, 제1 구동 장치(33)의 구동에 의해 연직 방향을 따라 승강 이동하는 승강대(34)를 구비한다. 이 승강대(34)에, 제2 구동 장치(35)의 구동에 의해 수평 방향을 따라 슬라이딩 이동하도록 노즐 지지체(23)를 지지하게 한다. 그리고, 제2 구동 장치(35)의 구동에 의해 노즐 지지체(23)를 돌출 이동시킨 후, 제1 구동 장치(33)의 구동에 의해 승강대(34)를 상승 이동시켜, 지지 기구(18)와 토출 노즐(27)과의 위치 관계를 분리용 위치 관계로부터 접속용 위치 관계로 전환할 수 있도록 구성해도 된다. 이와 같이 구성한 경우, 제1 구동 장치(33) 및 제2 구동 장치(35)가 접속용 구동 장치에 상당한다. 그리고, 구동 장치로서는, 전동 모터 외에 에어 실린더 등을 사용해도 되고, 구동 장치로서 에어 실린더를 사용하는 경우에는, 질소 가스 공급 장치(4)로부터의 질소 가스를 이용하도록 해도 된다. Specifically, for example, as shown in Figs. 12 and 13, the exhaust gas is supported by the apparatus main body 22 of the nitrogen gas supply device 4, and at the same time, And a platform 34 that moves up and down. And the nozzle support 23 is supported on the platform 34 so as to slide along the horizontal direction by driving the second drive device 35. [ After the nozzle support 23 is projected and moved by driving the second drive device 35, the platform 34 is lifted by the driving of the first drive device 33 and the support mechanism 18 The positional relationship with the discharge nozzle 27 may be switched from the separation positional relationship to the connection positional relationship. In such a configuration, the first drive device 33 and the second drive device 35 correspond to the connection drive device. As the driving device, an air cylinder other than the electric motor may be used, and when an air cylinder is used as the driving device, nitrogen gas from the nitrogen gas supplying device 4 may be used.

(5) 상기 실시형태에서는, 천정 반송차(3)를 공급용 정지 위치에 정지시킨 상태로 질소 가스 공급 장치(4)에 의해 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하도록 구성하였지만, 질소 가스 공급 장치(4)를 주행 경로를 따라 이동 가능하게 구비하고, 주행 경로를 따라 주행하는 천정 반송차(3)와 일체로 질소 가스 공급 장치(4)를 이동시키면서, 천정 반송차(3)의 지지 기구(18)에 의해 지지되어 있는 용기(W)에 질소 가스 공급 장치(4)의 토출 노즐(27)을 접속하여, 용기(W) 내에 질소 가스를 공급하도록 구성해도 된다. (5) In the above embodiment, the nitrogen gas supply device 4 is configured to supply the nitrogen gas into the container W while the ceiling transporting vehicle 3 is stopped at the supply stop position. However, (5) of the overhead traveling carriage (3) while moving the nitrogen gas supply device (4) integrally with the overhead traveling carriage (3) traveling along the traveling route, It is also possible to connect the discharge nozzle 27 of the nitrogen gas supply device 4 to the container W supported by the container 18 so as to supply the nitrogen gas into the container W.

또한, 처리 장치(1)를 경유하는 주행 경로에 대하여, 질소 가스 공급 장치(4)를 경유하는 주행 경로를 분기(branch) 및 합류하는 상태로 구비하여, 처리 장치(1)와 질소 가스 공급 장치(4)를 병렬로 구비해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 처리 장치(1)를 경유하는 주행 경로로서, 루프형의 주경로와 그 주(主) 경로에 대하여 분리 합류하는 루프형의 부(副) 경로를 구비하고, 질소 가스 공급 장치(4)를 경유하는 주행 경로를, 주 경로에 대하여 분기 합류하는 상태로 구비해도 된다. It is also possible to provide a traveling path via the nitrogen gas supply device 4 in a branching and merging state with respect to the traveling path via the treatment device 1, (4) may be provided in parallel. Concretely, for example, as a traveling route passing through the processing apparatus 1, a loop-shaped main route and a loop-shaped sub-route joining and separating to the main route are provided, The traveling path via the gas supply device 4 may be provided in a state of branching and merging with the main path.

(6) 상기 실시형태에서는, 용기(W)를, 반도체 기판을 수용하는 FOUP로 하였으나, 용기의 형상이나 용기에 수용하는 수용물은 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 용기를 컨테이너로 하고, 수용물을 식품으로 해도 된다. 또한, 불활성 기체로서는, 질소 가스 외에 아르곤 가스 등이라도 된다. (6) In the above embodiment, the container W is a FOUP for housing the semiconductor substrate. However, the shape of the container or the contents contained in the container may be changed as appropriate. For example, Water may be used as food. As the inert gas, argon gas or the like may be used in addition to nitrogen gas.

[상기 실시형태의 개요][Outline of the embodiment]

이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다. Hereinafter, the outline of the above-described article transporting facility will be described.

물품 반송 설비는, 천정으로부터 현수된 주행 레일을 따라 주행하여 용기를 반송하는 물품 반송차를 구비하고, 상기 물품 반송차가, 상기 용기를 지지하는 지지부를 구비하고, The product transporting apparatus includes a product transporting vehicle that travels along a running rail suspended from a ceiling to transport the container, and the product transporting car has a support portion for supporting the container,

불활성 기체를 토출부로부터 토출하는 불활성 기체 공급 장치가, 상기 물품 반송차가 주행하는 주행 경로의 측방 또는 아래쪽에 상기 토출부가 위치하도록 구비되고, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기에 상기 토출부가 접속되는 접속용 위치 관계와, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기로부터 상기 토출부를 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환하도록, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치가 구비되고, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계가 상기 접속용 구동 장치에 의해 상기 접속용 위치 관계로 전환된 후의 상기 토출부와 상기 용기와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는 점에 있다. Wherein the inert gas supplying device for discharging the inert gas from the discharging portion is provided such that the discharging portion is located on the side or the lower side of the traveling path on which the product conveying car runs, and the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is The discharge portion is relatively moved with respect to the support portion so as to switch from the connection positional relationship in which the discharge portion is connected to the container supported by the support portion and the separation positional relationship in which the discharge portion is separated from the container supported by the support portion Wherein the inert gas supplying device is provided with a connecting drive device for supplying the inert gas to the container after the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is switched by the connecting driving device to the connection positional relationship, And the inert gas is discharged from the discharge portion while the connection is maintained.

이 구성에 의하면, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시켜 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환함으로써, 물품 반송차의 지지부에 지지되어 있는 용기에 토출부를 접속할 수 있다. According to this configuration, in a state in which the article transporting vehicle is running at a position corresponding to the inert gas supply device, the discharge drive unit relatively moves the discharge unit relative to the support unit, The discharge portion can be connected to the container supported by the support portion of the product conveyance carriage.

또한, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치로 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 이동시켜 지지부와 토출부와의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환함으로써, 물품 반송차의 지지부에 의해 지지되어 있는 용기로부터 토출부를 분리할 수 있다. Further, in a state in which the article transporting vehicle is driven to a position corresponding to the inert gas supply device, the connection drive device relatively moves the discharge part relative to the support part to switch the positional relationship between the support part and the discharge part to the separation positional relationship The discharge portion can be separated from the container supported by the support portion of the product conveyance carriage.

그리고, 지지부와 토출부와의 위치 관계가 접속용 위치 관계로 전환된 후의 토출부와 용기와의 접속이 유지된 상태에서는, 토출부는 용기에 접속되어 있으므로, 이 상태에서 불활성 기체 공급 장치가 토출부로부터 불활성 기체를 토출함으로써, 용기 내에 불활성 기체를 공급할 수 있다. Then, in a state where the connection between the discharge part and the container is maintained after the positional relationship between the support part and the discharge part is switched to the positional relationship for connection, the discharge part is connected to the container, The inert gas can be supplied into the container.

또한, 이와 같이 용기 내에 불활성 기체를 공급하고 있는 동안, 물품 반송차는 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 위치하고 있다. 그러므로, 접속용 구동 장치에 의해 지지부와 토출부와의 위치 관계를 분리용 위치 관계로 전환하는 것만으로, 물품 반송차의 지지부에 의해 용기가 지지되는 상태로 되어, 물품 반송차는, 지지부에 의해 용기를 지지하여 주행할 수 있는 상태로 되어 있다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체를 공급하고 있었던 용기를 물품 반송차에 의해 신속히 다른 개소로 반송할 수 있다. In addition, while the inert gas is supplied into the container in this manner, the product transporting vehicle is located at a position corresponding to the inert gas supply device. Therefore, only by switching the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion by the connecting drive device, the container is supported by the supporting portion of the product conveying car, and the product conveying car is conveyed to the container So that the vehicle can travel. Therefore, the container that has been supplied with the inert gas by the inert gas supply device can be quickly transported to another location by the article transporting car.

여기서, 상기 접속용 구동 장치가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 구비되고, 또한 상기 토출부와 상기 지지부 중 상기 토출부만을 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하면 바람직하다. Here, it is preferable that the connecting drive device is provided in the inert gas supply device, and only the discharging portion of the discharging portion and the supporting portion is moved so that the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is determined as the connection positional relationship It is preferable to switch to the positional relationship for separation.

이 구성에 의하면, 접속용 구동 장치는 불활성 기체 공급 장치에 구비되어 있고, 물품 반송차에 접속용 구동 장치를 구비할 필요가 없다. 그러므로, 천정으로부터 현수된 주행 레일을 따라 주행하는 물품 반송차의 중량화 및 물품 반송차의 구성의 복잡화를 회피할 수 있다. According to this configuration, the connection drive device is provided in the inert gas supply device, and it is not necessary to provide a drive device for connection in the product transport vehicle. Therefore, it is possible to avoid the weighting of the article conveyance carriage running along the running rail suspended from the ceiling and the complication of the configuration of the article conveyance carriage.

또한, 상기 토출부가, 상기 주행 경로의 바로 아래에 위치하고, 상기 접속용 구동 장치가, 상기 토출부를 직선형으로 승강 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하면 바람직하다. And the connecting drive device linearly moves up and down the discharging part so that the positional relationship between the supporting part and the discharging part is determined by the connecting positional relationship and the separation It is preferable to switch to the positional relationship.

이 구성에 의하면, 접속용 구동 장치는, 토출부를 직선형으로 승강 이동시키는 것만으로 되므로, 접속용 구동 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. According to this configuration, since the connecting drive device merely moves the discharge portion up and down in a straight line, the configuration of the connecting drive device can be simplified.

또한, 상기 접속용 구동 장치가, 상기 물품 반송차에 구비되고, 또한 상기 토출부와 상기 지지부 중 상기 지지부만을 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하면 바람직하다. The connecting drive device may be provided in the product conveying carriage so that only the supporting portion of the discharging portion and the supporting portion is moved so that the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is determined by the connection positional relationship and the separation It is preferable to switch to the positional relationship.

이 구성에 의하면, 접속용 구동 장치는 물품 반송차에 구비되어 있고, 불활성 기체 공급 장치에 접속용 구동 장치를 구비할 필요가 없다. 그러므로, 불활성 기체 공급 장치의 구성의 복잡화를 회피할 수 있다. 또한, 불활성 기체 공급 장치를 천정으로부터 현수하는 구성의 경우 등에서는, 불활성 기체 공급 장치에 접속용 구동 장치를 구비하지 않는 것으로, 불활성 기체 공급 장치의 중량화를 회피할 수 있는 점에서도 바람직하다. According to this configuration, the connecting drive device is provided in the product conveyance car, and it is not necessary to provide a drive device for connection in the inert gas supply device. Therefore, it is possible to avoid the complication of the configuration of the inert gas supply device. Further, in the case of a configuration in which the inert gas supply device is suspended from the ceiling, etc., it is preferable that the inert gas supply device is not provided with a drive device for connection, thereby avoiding the weighting of the inert gas supply device.

또한, 상기 주행 경로의 바로 아래에, 상기 물품 반송차에 의한 물품의 반송원 또는 반송처로 되는 반송 대상 개소가 구비되고, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 반송 대상 개소에 대하여 상기 주행 경로의 길이 방향으로 어긋난 개소에 설치되고, 상기 토출부가, 상기 주행 경로의 바로 아래에 위치하고, 상기 물품 반송차가, 상기 지지부를 승강 이동시켜 물품을 상기 반송 대상 개소에 대하여 탑재하거나 내리는 것을 행하는 반송용 구동 장치를 구비하고, 상기 반송용 구동 장치가, 상기 접속용 구동 장치에 겸용되고 있으면 바람직하다. The inert gas supply device may further comprise a transporting object position which is a transporting or transporting position of the article by the product transporting vehicle immediately below the traveling path, And the conveying drive device which is disposed in a position deviating from the conveying path and in which the discharging portion is located immediately below the traveling path and the product conveying car lifts and moves the supporting portion to mount or lower the article to or from the conveying object portion And it is preferable that the above-mentioned conveying drive apparatus is also used as the above-mentioned connection drive apparatus.

이 구성에 의하면, 용기를 반송 대상 개소에 대하여 탑재하거나 내리기를 행하기 위해 구비된 반송용 구동 장치에 의해 지지부를 승강 이동시킴으로써, 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계와 분리용 위치 관계로 전환할 수 있다. 따라서, 반송용 구동 장치를 접속용 구동 장치에 겸용할 수 있고, 반송용 구동 장치와는 별도로 접속용 구동 장치를 별도 설치할 필요가 없기 때문에, 물품 반송차에 접속용 구동 장치를 구비하는 경우라도, 물품 반송차의 중량화나 물품 반송차의 구성의 복잡화를 회피할 수 있다. According to this configuration, the supporting portion is moved up and down by the conveying drive device provided for loading or unloading the container to or from the conveyance target portion, whereby the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is determined by the connecting positional relationship and the separating position Relationship. Therefore, it is not necessary to additionally provide a connecting drive device separately from the conveying drive device, so that even when the product conveying car is provided with the connecting drive device, It is possible to avoid the increase in weight of the article transporting carriage and the complexity of the structure of the article transporting carriage.

또한, 상기 용기의 바닥면에, 상기 토출부가 아래쪽으로부터 접속되는 급기 부와, 상기 토출부와 일체로 구비되어 위쪽을 향해 돌출하는 볼록형으로 형성된 위치 결정 부재가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 구비되고, 상기 피걸어맞춤부가, 위쪽으로 오목한 형상으로서 위쪽을 향함에 따라 폭이 좁아지는 끝이 가는 형상으로 형성되고, 상기 접속용 구동 장치가, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 승강 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하면 바람직하다. An uncharged portion is integrally provided on the bottom surface of the container and is connected to the discharging portion from below. An engaging portion is formed on the bottom of the container to engage the positioning member protruding upward, Wherein the engageable portion is formed in an obtuse shape having an upwardly concave shape and narrowed in width as it is directed upwardly and the connecting drive device relatively moves the discharge portion up and down relative to the support portion, It is preferable that the positional relationship between the support portion and the discharge portion is switched to the connection positional relationship and the separation positional relationship.

이 구성에 의하면, 물품 반송차를 불활성 기체 공급 장치에 대응하는 위치에 주행시킨 상태로, 접속용 구동 장치에 의해 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 승강 이동시킴으로써, 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계나 분리용 위치 관계로 전환할 수 있다. 그리고, 이와 같이 토출부를 지지부에 대하여 상대적으로 상승 이동시킴으로써, 토출부와 일체로 구비된 위치 결정 부재가, 지지부에 의해 지지되어 있는 용기에 대하여 상대적으로 상승 이동하고, 위치 결정 부재가 용기의 피걸어맞춤부에 걸어맞추어진다. 이 때, 토출부나 위치 결정 부재에 대하여 용기가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치 결정 부재가 피걸어맞춤부의 내면에 의해 안내됨으로써, 토출부나 위치 결정 부재에 대한 용기의 수평 방향에서의 위치를 적정한 위치로 수정할 수 있어, 용기의 공급부에 토출부를 적절히 접속시키기 용이해진다. According to this configuration, the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion can be achieved by connecting and discharging the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion by moving the discharging portion relative to the supporting portion by the connecting driving device while the product transporting vehicle is running at a position corresponding to the inert gas supplying device And can be switched to the positional relationship or the positional relationship for separation. By moving the discharging portion relative to the supporting portion in this way, the positioning member integrally provided with the discharging portion relatively moves upward relative to the container supported by the supporting portion, and the positioning member is moved upward And is engaged with the fitting portion. At this time, when the container is displaced in the horizontal direction with respect to the discharging portion or the positioning member, the positioning member is guided by the inner surface of the engageable portion, so that the position of the container in the horizontal direction with respect to the discharging portion and the positioning member So that it is easy to suitably connect the discharge portion to the supply portion of the container.

또한, 상기 지지부가, 상기 용기의 상단부에 구비되어 있는 피지지부를 지지하는 복수의 지지체와, 상기 복수의 지지체에 의해 상기 피지지부를 지지하고 있는 상태로 상기 피지지부의 측방에 위치하여 상기 피지지부의 수평 방향의 이동을 규제하는 규제체와, 상기 복수의 지지체를 서로 근접시킨 지지 상태와 상기 복수의 지지체를 서로 이격시킨 지지 해제 상태로 전환하는 전환 구동 장치를 구비하고, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부가 상기 전환 구동 장치에 의해 상기 지지 상태로 전환되어 있는 상태에서 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하면 바람직하다. The supporting portion may include a plurality of supporting members for supporting the supported portion provided at the upper end portion of the container and a supporting member for supporting the supported portion by the plurality of supporting members and located on the side of the supported portion, And a switching drive device for switching the support members into a support state in which the plurality of support members are brought close to each other and a support release state in which the plurality of support members are spaced apart from each other, , And an inert gas is discharged from the discharge portion in a state in which the support portion is switched to the support state by the switching drive device.

이 구성에 의하면, 접속용 구동 장치에 의해 지지부와 토출부와의 위치 관계를 접속용 위치 관계로 전환하여 토출부를 용기에 접속한 후, 지지부의 상태를 지지 상태로부터 지지 해제 상태로 전환하지 않고, 불활성 기체 공급 장치가 불활성 기체를 토출부로부터 토출하여 용기 내에 불활성 기체를 공급한다. 그러므로, 용기를 토출부에 접속한 후, 불활성 기체 공급 장치가 불활성 기체를 토출부로부터 토출할 때까지, 지지부를 지지 상태로부터 지지 해제 상태로 전환할 필요가 없다. 따라서, 용기 내로의 불활성 기체의 공급을 신속히 개시할 수 있다. According to this configuration, after the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is switched to the connecting positional relation by the connection driving device to connect the discharging portion to the container, the state of the supporting portion is not switched from the supporting state to the unsupported state, The inert gas supply device discharges the inert gas from the discharge portion to supply the inert gas into the container. Therefore, after the container is connected to the discharging portion, there is no need to switch the supporting portion from the supporting state to the releasing state until the inert gas supplying device discharges the inert gas from the discharging portion. Therefore, the supply of the inert gas into the container can be promptly started.

또한, 지지부를 지지 상태로 전환하고 있는 상태에서는, 용기에서의 피지지부의 측방에 지지부의 규제체가 존재하고 있다. 그러므로, 예를 들면, 접속용 구동 장치에 의해 용기가 들어올려져 피지지부가 지지체로부터 부상한 경우라도, 용기의 상단부에 구비되어 있는 피지지부가 지지부의 규제체에 접촉함으로써, 용기가 전도되는 것을 방지할 수 있다. Further, in a state in which the support portion is switched to the support state, there exists a restriction member of the support portion on the side of the supported portion in the container. Therefore, even when the container is lifted by the connection driving device and the supported portion floats from the support, for example, the supported portion provided at the upper end of the container comes into contact with the restriction member of the support portion to prevent the container from being conducted can do.

또한, 상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 대응하여 미리 설정된 공급용 정지 위치에 상기 물품 반송차가 정지하고 있는 상태로 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하면 바람직하다. It is also preferable that the inert gas supply device discharges the inert gas from the discharge portion in a state where the product conveyance vehicle is stopped at a predetermined stop position corresponding to the inert gas supply device.

이 구성에 의하면, 주행하는 물품 반송차에 맞추어 불활성 기체 공급 장치를 이동시킬 필요가 없고, 불활성 기체 공급 장치를 고정 상태로 구비할 수 있으므로, 불활성 기체 공급 장치의 구성을 간소하게 할 수 있다. According to this configuration, there is no need to move the inert gas supplying device in accordance with the traveling article conveying vehicle to be driven, and the inert gas supplying device can be provided in a fixed state, so that the structure of the inert gas supplying device can be simplified.

1a: 탑재대(반송 대상 개소)
2: 주행 레일
3: 천정 반송차(물품 반송차)
4: 질소 가스 공급 장치(불활성 기체 공급 장치)
18: 지지 기구(지지부)
27: 토출 노즐(토출부)
30: 접속용 모터(접속용 구동 장치)
W: 용기1a: Mounting table (object to be returned)
2: Driving rail
3: Ceiling conveyance car (goods conveyance car)
4: Nitrogen gas supply device (inert gas supply device)
18: Support mechanism (supporting part)
27: Discharge nozzle (discharge portion)
30: Connection motor (connection drive device)
W: container

Claims (8)

천정으로부터 현수(懸垂)된 주행 레일을 따라 주행하여 용기를 반송(搬送)하는 물품 반송차(搬送車)를 구비한 물품 반송 설비로서,
상기 물품 반송차가, 상기 용기를 지지하는 지지부를 구비하고,
불활성 기체(氣體)를 토출(吐出)하는 토출부(吐出部)를 가지는 불활성 기체 공급 장치가, 상기 물품 반송차가 주행하는 주행 경로의 측방 또는 아래쪽에 상기 토출부가 위치하도록 구비되고,
상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기에 상기 토출부가 접속되는 접속용 위치 관계와, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 용기로부터 상기 토출부를 분리시킨 분리용 위치 관계로 전환하도록, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 이동시키는 접속용 구동 장치가 구비되고,
상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계가 상기 접속용 구동 장치에 의해 상기 접속용 위치 관계로 전환된 후의 상기 토출부와 상기 용기와의 접속이 유지된 상태로, 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는,
물품 반송 설비. There is provided an article carrying system comprising a product transporting carriage (traveling carriage) which travels along a traveling rail suspended from a ceiling to carry containers,
Wherein the article carrying truck has a support portion for supporting the container,
An inert gas supply device having a discharge portion for discharging an inert gas is provided so that the discharge portion is located on the side of or below the traveling path on which the product conveyance vehicle runs,
Wherein the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is determined by a positional relationship for connection in which the discharging portion is connected to the container supported by the supporting portion and a positional relationship for separation in which the discharging portion is separated from the container supported by the supporting portion And a connection drive device for relatively moving the discharge portion relative to the support portion,
Wherein said inert gas supply device is configured to be inactive in a state in which the connection between said discharge portion and said container after said positional relationship between said support portion and said discharge portion is switched to said connection positional relationship by said connection drive device, And discharging the gas from the discharging portion,
Goods returning equipment. 제1항에 있어서,
상기 접속용 구동 장치가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 구비되고, 또한 상기 토출부와 상기 지지부 중 상기 토출부만을 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하는, 물품 반송 설비. The method according to claim 1,
Wherein the connecting drive device is provided in the inert gas supply device and moves only the discharge portion out of the discharge portion and the support portion so that a positional relationship between the support portion and the discharge portion is determined by the connection positional relationship and the separation For transferring a product to a location relationship. 제2항에 있어서,
상기 토출부가, 상기 주행 경로의 바로 아래에 위치하고,
상기 접속용 구동 장치가, 상기 토출부를 직선형으로 승강 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하는, 물품 반송 설비. 3. The method of claim 2,
Wherein the discharging portion is located immediately below the traveling path,
Wherein said connection drive device linearly moves said discharge portion upward and downward to switch a positional relationship between said support portion and said discharge portion into said connection positional relationship and said separation positional relationship. 제1항에 있어서,
상기 접속용 구동 장치가, 상기 물품 반송차에 구비되고, 또한 상기 토출부와 상기 지지부 중 상기 지지부만을 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하는, 물품 반송 설비. The method according to claim 1,
Wherein the connecting drive device is provided in the product transporting vehicle and only the supporting portion of the discharging portion and the supporting portion is moved so that the positional relationship between the supporting portion and the discharging portion is determined by the connecting positional relationship and the separating position Goods transfer facility to switch to a relationship. 제4항에 있어서,
상기 주행 경로의 바로 아래에, 상기 물품 반송차에 의한 물품의 반송원(搬送元) 또는 반송처(搬送處)로 되는 반송 대상 개소(箇所)가 구비되고,
상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 반송 대상 개소에 대하여 상기 주행 경로의 길이 방향으로 어긋난 개소에 설치되고,
상기 토출부가, 상기 주행 경로의 바로 아래에 위치하고,
상기 물품 반송차가, 상기 지지부를 승강 이동시켜 물품을 상기 반송 대상 개소에 대하여 탑재하거나 내리기를 행하는 반송용(搬松用) 구동 장치를 구비하고,
상기 반송용 구동 장치가, 상기 접속용 구동 장치에 겸용되고 있는, 물품 반송 설비. 5. The method of claim 4,
A conveyance object portion (place) serving as a conveyance source or a conveyance place of the article by the article conveyance vehicle is provided immediately below the traveling path,
Wherein the inert gas supply device is provided at a position shifted in the longitudinal direction of the traveling path with respect to the carrying object position,
Wherein the discharging portion is located immediately below the traveling path,
And the article conveying vehicle includes a conveying pine driving device for moving the supporting part up and down and mounting or lowering the article to or from the conveying part,
Wherein the conveying drive device is also used as the connecting drive device. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 용기의 바닥면에, 상기 토출부가 아래쪽으로부터 접속되는 급기부(給氣部)와, 상기 토출부와 일체로 구비되어 위쪽을 향해 돌출하는 볼록형으로 형성된 위치 결정 부재가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 구비되고,
상기 피걸어맞춤부가, 위쪽으로 오목한 형상으로서 위쪽을 향함에 따라 폭이 좁아지는 끝이 가는 형상으로 형성되고,
상기 접속용 구동 장치가, 상기 토출부를 상기 지지부에 대하여 상대적으로 승강 이동시켜, 상기 지지부와 상기 토출부와의 위치 관계를 상기 접속용 위치 관계와 상기 분리용 위치 관계로 전환하는, 물품 반송 설비. 6. The method according to any one of claims 1 to 5,
And a discharging portion which is integrally formed with the discharging portion and which is provided with a positioning member which is formed in a convex shape protruding upward and which is integrally formed with the discharging portion, A fitting portion is provided,
Wherein the engageable portion has an upwardly concave shape and is formed in a shape of a narrow end whose width becomes narrower toward the upper side,
Wherein said connecting drive device elevates and moves said discharge portion relative to said support portion to switch a positional relationship between said support portion and said discharge portion into said connection positional relationship and said separation positional relationship. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지부가, 상기 용기의 상단부에 구비되어 있는 피(被)지지부를 지지하는 복수의 지지체와, 상기 복수의 지지체에 의해 상기 피지지부를 지지하고 있는 상태로 상기 피지지부의 측방에 위치하여 상기 피지지부의 수평 방향의 이동을 규제하는 규제체와, 상기 복수의 지지체를 서로 근접시킨 지지 상태와 상기 복수의 지지체를 서로 이격시킨 지지 해제 상태로 전환하는 전환 구동 장치를 구비하고,
상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 지지부가 상기 전환 구동 장치에 의해 상기 지지 상태로 전환되어 있는 상태로 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는, 물품 반송 설비. 6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the support portion includes a plurality of support members for supporting a support portion provided at an upper end portion of the container and a support member for supporting the support portion by being positioned on the side of the support portion in a state of supporting the supported portion by the plurality of supports, And a switching drive device for switching the support members into a support state in which the plurality of support members are brought close to each other and a support release state in which the plurality of support members are spaced apart from each other,
Wherein the inert gas supply device discharges an inert gas from the discharge portion in a state in which the support portion is switched to the support state by the switching drive device. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급 장치가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 대응하여 미리 설정된 공급용 정지 위치에 상기 물품 반송차가 정지하고 있는 상태로 불활성 기체를 상기 토출부로부터 토출하는, 물품 반송 설비.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the inert gas supplying device discharges the inert gas from the discharging portion in a state where the product conveying vehicle is stopped at a predetermined stop position corresponding to the inert gas supplying device.
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