WO2021090542A1 - 搬送車システム - Google Patents

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WO2021090542A1
WO2021090542A1 PCT/JP2020/028768 JP2020028768W WO2021090542A1 WO 2021090542 A1 WO2021090542 A1 WO 2021090542A1 JP 2020028768 W JP2020028768 W JP 2020028768W WO 2021090542 A1 WO2021090542 A1 WO 2021090542A1
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WO
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container
inert gas
transport vehicle
foup
support base
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PCT/JP2020/028768
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Inventor
陽一 本告
Original Assignee
村田機械株式会社
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Priority to JP2021554819A priority patent/JP7188615B2/ja
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    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • This disclosure relates to a transport vehicle system.
  • an inert gas such as nitrogen gas is injected into a container such as FOUP (Front Opening Unified Pod) that houses the semiconductor substrate to eliminate oxygen in the container.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • N2 purge is known.
  • Patent Document 1 discloses an article transport facility provided with a nitrogen gas supply device that supplies nitrogen gas to the FOUP held by the ceiling carrier.
  • the nitrogen gas supply device is provided at a position along the traveling path of the ceiling carrier.
  • Patent Document 2 discloses a configuration in which a nitrogen gas storage cylinder is provided on an automatic guided vehicle (AGV) that conveys an object to be conveyed such as a semiconductor element.
  • the nitrogen gas storage cylinder stores nitrogen gas to be supplied to the storage chamber of the object to be transported in the transport vehicle.
  • AGV automatic guided vehicle
  • nitrogen gas can be supplied to the FOUP held by the ceiling carrier only at the gas supply position provided with the nitrogen gas supply device. Therefore, when the traveling time of the ceiling carrier is long, the nitrogen gas in the FOUP gradually decreases during the running of the ceiling carrier, and the semiconductor substrate in the FOUP may be oxidized.
  • nitrogen gas can be supplied from the nitrogen gas storage cylinder to the storage chamber during transportation of the object to be transported, but the nitrogen gas in the nitrogen gas storage cylinder is not emptied. It is necessary to regularly replace the nitrogen gas storage cylinder.
  • One aspect of the present disclosure is to provide a transport vehicle system capable of efficiently maintaining the supply of inert gas to a container during transport.
  • the transport vehicle system is a transport vehicle that travels on a track and transports a container, and has a storage unit for storing an inert gas, and the storage unit is used during transportation of the container. It includes a transport vehicle that supplies an inert gas inside the container, and a gas supply device that is provided along the track and supplies the inert gas to the storage portion of the transport vehicle.
  • the transport vehicle has a storage unit for supplying an inert gas inside the container being transported.
  • the inert gas can be continuously supplied into the container during the transportation of the container, and the state in which the inside of the container is appropriately filled with the inert gas can be appropriately maintained.
  • a gas supply device for supplying the inert gas to the storage unit is provided along the track on which the transport vehicle travels. Thereby, the inert gas can be easily and appropriately supplied (replenished) to the storage portion of the transport vehicle.
  • the carrier is run along the track to the position where the gas supply device is provided (gas supply position) to replenish the inert gas, thereby replenishing the storage section.
  • the state in which the inert gas is stored can be appropriately maintained.
  • the supply of the inert gas to the container during transport can be efficiently maintained.
  • the carrier system monitors the state of the inert gas stored in the storage section, determines whether or not the inert gas needs to be supplied to the storage section based on the state of the inert gas, and determines whether or not the inert gas needs to be supplied to the storage section. If it is determined that the supply of the inert gas is necessary, the controller may further include a controller for traveling the carrier to the position where the gas supply device is provided. According to the above configuration, the controller can automate the monitoring of the state of the inert gas in the storage unit and the replenishment of the inert gas into the storage unit. As a result, it is appropriately prevented that the inert gas in the storage portion of the transport vehicle is emptied.
  • the transport vehicle is connected to a storage unit and is connected to a gas supply pipe for passing an inert gas and an injection port provided at the tip of the gas supply pipe and provided on the bottom surface of the container to release the inert gas. It may have a nozzle to be supplied to the inside of the container and a support base that supports the bottom surface of the container and can fix the nozzle at a position corresponding to the injection port of the container.
  • the container is supported by the support base and the load of the container is applied to the support base, so that the injection port of the container and the nozzle fixed to the support base can be closely connected to each other.
  • the inert gas in the storage unit can be supplied into the container in a stable state through the gas supply pipe, the nozzle, and the injection port.
  • the transport vehicle further has a main body in which the container is stored during transportation of the container, and a lifting mechanism that allows the container to be suspended and lifts and lowers with respect to the main body, and the support base is provided by at least the lifting mechanism. It may be configured so that it can be retracted to a retracted position that does not interfere with the container suspended by the elevating mechanism and the elevating mechanism during the evacuation operation. According to the above configuration, since the support base is configured to be retractable to the evacuation position, it is possible to appropriately perform the container transfer operation (loading or unloading) accompanied by the evacuation operation by the evacuation mechanism.
  • the container In the transport vehicle, the container is stored in the main body by grasping the container with the elevating mechanism and raising the container with the support base retracted to the evacuation position, and after the container is stored in the main body, the support base is used. May be placed below the container from the retracted position, and after the support base is placed below the container, the elevating mechanism may be operated so that the container is placed on the support base.
  • the elevating mechanism may be operated so that the container is placed on the support base.
  • the support base may have a regulating member that regulates the vertical movement of the container. According to the above configuration, the container is prevented from popping upward with respect to the support during the transportation of the container (during the supply of the inert gas into the container). This makes it possible to stabilize the connection state between the injection port of the container and the nozzle fixed to the support base.
  • FIG. 1 is a diagram showing a ceiling carrier system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram showing a locking mechanism provided on the support base.
  • FIG. 3 is a diagram showing a state in which the inert gas is supplied from the gas supply device to the ceiling carrier.
  • FIG. 4 is a flowchart showing an example of the operation of the ceiling carrier system.
  • FIG. 5 is a flowchart showing an example of the operation of the ceiling carrier from grabbing the FOUP to unloading it.
  • 6 (A) and 6 (B) are views showing the operation of the ceiling carrier during the load gripping process.
  • 7 (A) and 7 (B) are views showing the operation of the ceiling carrier during the load gripping process.
  • FIG. 1 is a diagram showing a ceiling carrier system according to an embodiment.
  • the ceiling transport vehicle system 1 (conveyance system) includes a traveling rail 2 (track), a ceiling transport vehicle 3 (transport vehicle), a gas supply device 4, and a host controller 5. ing.
  • the traveling rail 2 is provided at a position higher than the floor surface (for example, the ceiling of a clean room).
  • the ceiling carrier 3 travels on the traveling rail 2.
  • the ceiling carrier 3 transports a FOUP10 (container), a reticle pod, or the like between, for example, a storage facility and a predetermined load port.
  • the ceiling transport vehicle system 1 includes a plurality of ceiling transport vehicles 3, but in the present embodiment, one ceiling transport vehicle 3 will be focused on.
  • the FOUP 10 accommodates a plurality of semiconductor wafers and the like.
  • the FOUP 10 has a flange 10a gripped by the ceiling carrier 3. Further, the bottom surface 10b of the FOUP 10 is provided with an injection port 10c that communicates the inside of the FOUP 10 (in the present embodiment, a storage chamber in which a plurality of semiconductor wafers are housed) and the outside.
  • the direction along the traveling rail 2 is the X-axis direction
  • the vertical direction is the Z-axis direction
  • the X-axis direction and the Z-axis are the directions along the traveling rail 2
  • the direction orthogonal to both directions is defined as the Y-axis direction.
  • the X-axis direction is also the traveling direction of the ceiling carrier 3.
  • the Y-axis direction is also the width direction of the ceiling carrier 3.
  • the ceiling carrier 3 includes a main body 31, a traveling unit 32, an elevating mechanism 33, a tank 34 (storage unit), a gas supply pipe 35, a controller 36, and a support base 37. And have.
  • FIG. 1 shows a ceiling carrier 3 that conveys the FOUP 10 while supplying an inert gas to the inside of the FOUP 10.
  • the main body 31 is located below the traveling rail 2.
  • the traveling unit 32 is a member (for example, a roller or the like) that travels along the traveling rail 2.
  • the main body portion 31 is suspended and supported by the traveling portion 32.
  • a storage space S for storing the FOUP 10 is formed inside the main body 31.
  • the main body portion 31 has a pair of wall portions that cover the FOUP 10 in the front-rear direction (that is, both sides of the FOUP 10 in the X-axis direction).
  • the storage space S is a space sandwiched between the pair of wall portions.
  • the elevating mechanism 33 has a grip portion 33a that grips the flange 10a of the FOUP 10, and one or a plurality (for example, four) belts 33b that are connected to the grip portion 33a and elevate with respect to the main body portion 31. ..
  • the elevating mechanism 33 elevates and elevates the grip portion 33a by winding up or feeding out the belt 33b. As a result, the raising and lowering operation of the FOUP 10 held by the grip portion 33a is realized.
  • the tank 34 stores an inert gas such as nitrogen gas.
  • the tank 34 is, for example, a gas cylinder or the like that stores an inert gas in a compressed state.
  • the tank 34 has a discharge port 34a for discharging the inert gas in the tank 34 to the outside, and a supply port 34b (see FIG. 3) for supplying (replenishing) the inert gas into the tank 34. doing.
  • the gas supply pipe 35 is a hollow tubular member that is connected to the discharge port 34a of the tank 34 and allows the inert gas from the tank 34 to flow.
  • a nozzle 35a is provided at the end (tip) of the gas supply pipe 35 opposite to the tank 34 side.
  • the nozzle 35a is connected to the injection port 10c of the FOUP 10.
  • the inert gas discharged from the discharge port 34a of the tank 34 is supplied to the inside of the FOUP 10 via the gas supply pipe 35, the nozzle 35a, and the injection port 10c.
  • the inert gas filled inside the FOUP 10 gradually leaks to the outside through a minute gap or the like of the FOUP 10.
  • the FOUP 10 may be provided with an exhaust port (not shown) for appropriately adjusting the gas pressure or the like in the FOUP 10.
  • the controller 36 is an electronic control unit composed of a computer having a processor (for example, CPU or the like) and a memory (for example, ROM or RAM or the like).
  • the controller 36 controls various operations of the ceiling carrier 3.
  • the controller 36 can communicate with the upper controller 5 that outputs a transport command (for example, a travel command including information on the unloading point and the unloading point) to the ceiling carrier 3 by wireless communication or the like.
  • the controller 36 has a sensor or the like that monitors the state of the inert gas stored in the tank 34 (for example, the amount of gas (remaining amount), gas pressure, etc.). As an example, the controller 36 determines whether or not the supply (replenishment) of the inert gas to the tank 34 is necessary based on the state of the inert gas in the tank 34. For example, when the controller 36 detects that the gas amount and / or gas pressure of the inert gas in the tank 34 is less than a preset threshold value, the controller 36 needs to supply the inert gas to the tank 34. Is determined to be.
  • the controller 36 When it is determined that the supply of the inert gas to the tank 34 is necessary, the controller 36 notifies the host controller 5 of information indicating that fact, as an example.
  • the host controller 5 sets the position of the ceiling transport vehicle 3 that is the notification source of the information, the planned travel route of the ceiling transport vehicle 3 (for example, the travel route according to the transport command assigned to the ceiling transport vehicle 3), and the like. Based on this, the optimum gas supply device 4 is determined. For example, the host controller 5 determines the gas supply device at the current position of the ceiling carrier 3 or the position closest to the planned travel path of the ceiling carrier 3 as the optimum gas supply device 4.
  • the host controller 5 notifies the controller 36 of the ceiling carrier 3 of the determined travel command to the gas supply device 4.
  • the controller 36 controls the operation of the ceiling carrier 3 so as to travel to the position where the gas supply device 4 is provided.
  • the controller 36 determines whether or not the supply of the inert gas to the tank 34 is necessary, but the determination may be made by the host controller 5. For example, the controller 36 may notify the host controller 5 of information on the amount and / or gas pressure of the inert gas in the tank 34, and the host controller 5 may make the above determination based on the information. Further, in the above example, the traveling control to the gas supply device 4 is realized by the controller 36 and the upper controller 5, but the function of the upper controller 5 described above may be mounted on the controller 36. That is, the controller 36 mounted on the ceiling carrier 3 may autonomously perform the above-mentioned control. In this case, the host controller 5 may be omitted.
  • the support base 37 is a member for supporting the bottom surface 10b of the FOUP 10 during the transportation of the FOUP 10 (that is, while the inert gas is being supplied to the FOUP 10).
  • the support base 37 is formed in a flat plate shape.
  • the support base 37 is configured so that the nozzle 35a can be fixed at a position corresponding to the injection port 10c of the FOUP 10.
  • the tip portion of the gas supply pipe 35 that is, the portion provided with the nozzle 35a
  • An insertion hole 37a is formed.
  • the nozzle 35a inserted and fixed in the insertion hole 37a is arranged at a position facing the injection port 10c of the FOUP 10 in the Z-axis direction. Then, the FOUP 10 is placed on the support base 37, and the load of the FOUP 10 is applied to the support base 37, so that the injection port 10c is in close contact with the nozzle 35a, and the injection port 10c and the nozzle 35a are connected.
  • the support base 37 is a support position for supporting the bottom surface 10b of the FOUP 10 during transportation of the FOUP 10 (that is, a position below the FOUP 10 and the elevating mechanism 33, and is viewed from the Z-axis direction. (Position that overlaps with FOUP10).
  • the support base 37 if the support base 37 is fixed to the support position, the support base 37 interferes with the elevating mechanism 33 or the FOUP 10 suspended by the elevating mechanism 33 during the elevating operation of the elevating mechanism 33. Therefore, the support base 37 is configured to be able to retract to a retracted position that does not interfere with the elevation mechanism 33 or the FOUP 10 during the elevation operation by the elevation mechanism 33.
  • the support base 37 has a support state arranged at the support position to support the bottom surface 10b of the FOUP 10 being conveyed and a retracted state arranged at the retracted position so as not to interfere with the evacuation operation of the evacuation mechanism 33. It is configured to be switchable.
  • the support base 37 may be configured to be slidable in the traveling direction (X-axis direction) or width direction (Y-axis direction) of the ceiling carrier 3.
  • the position slid from the support position in the X-axis direction or the Y-axis direction is the above-mentioned retracted position.
  • the support state and the retracted state can be switched by sliding the support base 37 in the horizontal direction.
  • the mode of movement of the support base 37 between the support position and the retracted position and the retracted position are not limited to the above modes.
  • the support base 37 may be configured to be rotatable around the X-axis or the Y-axis.
  • the support base 37 may be arranged on the side of the storage space S in the retracted state along the XZ plane or the YZ plane.
  • the support base 37 may be configured to be foldable.
  • the support base 37 may be arranged on the side of the storage space S in the retracted state with the support base 37 folded.
  • the nozzle 35a may be configured to be fixed to the support base 37 at least in the support state, and the nozzle 35a may be removed from the support base 37 in the retracted state.
  • the support base 37 includes a lock mechanism 38 for restricting the movement of the FOUP 10 with respect to the support base 37.
  • the lock mechanism 38 has a claw portion 38a (regulatory member) that regulates the movement of the FOUP 10 in the vertical direction (Z-axis direction) and a pin 38b that regulates the movement of the FOUP 10 in the horizontal direction (X-axis direction or Y-axis direction). And have.
  • the FOUP 10 includes the above-mentioned bottom surface 10b and has a bottom surface flange 10d protruding in the X-axis direction or the Y-axis direction. Further, the claw portion 38a is formed in a hook shape and comes into contact with the upper surface and the side surface of the end portion of the bottom surface flange 10d. As shown in FIG. 2, when the bottom surface flange 10d is sandwiched between the claw portion 38a and the support base 37, the bottom surface flange 10d protrudes upward with respect to the support base 37 (that is, in the vertical direction of the FOUP 10). Movement) is regulated.
  • the claw portion 38a is configured to, for example, detect that the FOUP 10 is placed on the support base 37 (the load of the FOUP 10 is applied) and shift to the locked state shown in FIG. Further, when the lifting operation by the lifting mechanism 33 is executed at the time of unloading or the like, the claw portion 38a is locked in order to shift the support base 37 to the retracted state based on, for example, a release signal from the controller 36. Is configured to release.
  • the claw portion 38a may be provided at one place or at a plurality of places.
  • the claw portions 38a may be provided at two positions located on the diagonal line of the support base 37 having a substantially rectangular shape when viewed from the Z-axis direction, or may be provided at the four corners of the support base 37.
  • the claw portions 38a are provided at a plurality of locations in this way, the movement of the FOUP 10 in the horizontal direction is also restricted by the claw portions 38a.
  • the bottom flange 10d of the FOUP 10 is provided with a plurality of (for example, three) positioning holes 10e.
  • the pin 38b is provided at a position corresponding to the positioning hole 10e. That is, the pin 38b is inserted into the positioning hole 10e in a state where the FOUP 10 is placed on the support base 37.
  • the horizontal movement of the FOUP 10 with respect to the support 37 is also regulated by such pins 38b.
  • the gas supply device 4 is a device for supplying the inert gas to the tank 34 of the ceiling carrier 3.
  • the gas supply device 4 is provided along the traveling rail 2 so as not to interfere with the traveling of the ceiling carrier 3 along the traveling rail 2.
  • the gas supply device 4 may be attached to the traveling rail 2 or may be attached to another member (for example, a ceiling or the like) arranged in the vicinity of the traveling rail 2.
  • one gas supply device 4 may be provided, or a plurality of gas supply devices 4 may be provided.
  • the gas supply device 4 stores the inert gas for supplying to the ceiling carrier 3, and is located at a predetermined position of the traveling rail 2 (in the present embodiment, a position below the gas supply device 4).
  • the inert gas can be supplied to the tank 34 of the transport vehicle 3. That is, the gas supply device 4 functions as a station for supplying the inert gas to the ceiling carrier 3.
  • the above-mentioned predetermined position is referred to as a “gas supply position”.
  • FIG. 3 is a diagram showing a state in which the gas supply device 4 supplies the inert gas to the ceiling carrier 3. That is, the gas supply device 4 supplies the inert gas to the tank 34 of the ceiling carrier 3 while the ceiling carrier 3 is stopped at the gas supply position.
  • the gas supply device 4 has a gas supply pipe 4a for flowing an inert gas from a supply source (not shown). Then, when the gas supply device 4 detects that the ceiling carrier 3 has stopped at the gas supply position, it controls the operation of the gas supply pipe 4a and supplies the connection port (tip portion) of the gas supply pipe 4a to the tank 34. Connect to port 34b.
  • the inert gas from the supply source of the gas supply device 4 is supplied to the tank 34 via the gas supply pipe 4a and the supply port 34b.
  • FIG. 3 illustrates the ceiling carrier 3 that does not carry the FOUP 10
  • the gas supply device 4 may supply the inert gas to the ceiling carrier 3 that is carrying the FOUP 10. Good.
  • the processing of supplying the inert gas from the gas supply device 4 to the tank 34 of the ceiling carrier 3 is performed as follows, for example. That is, the gas supply device 4 receives a supply request signal including information on the required gas supply amount from the controller 36 of the ceiling carrier 3 stopped at the gas supply position. Then, the gas supply device 4 executes the above-mentioned gas supply operation (that is, connection of the gas supply pipe 4a to the supply port 34b and supply of the inert gas) with the reception of the supply request signal as a trigger. .. Then, when the supply of the gas supply amount is completed, the gas supply device 4 notifies the controller 36 of the completion of the gas supply and disconnects the gas supply pipe 4a and the supply port 34b of the tank 34. As a result, the ceiling carrier 3 is disconnected from the gas supply device 4 and can move along the traveling rail 2.
  • the controller 36 of the ceiling carrier 3 continuously monitors the state of the inert gas in the tank 34 (as an example in this embodiment, the amount of gas and the gas pressure) (step S1). ). Then, while the amount of gas and the gas pressure in the tank 34 are equal to or higher than the preset threshold values (step S1: YES), the controller 36 travels based on the instruction from the upper controller 5 while continuing the above monitoring. The running of the rail 2 and the conveying operation of the FOUP 10 are executed.
  • step S1 NO
  • the controller 36 receives the gas supply from the gas supply device 4 (that is, the gas supply device 4). Control of traveling to the gas supply position) (step S2).
  • the controller 36 notifies the upper controller 5 that the inert gas needs to be supplied to the tank 34, and based on the subsequent instruction from the upper controller 5.
  • the ceiling carrier 3 is driven to the designated gas supply position. Subsequently, after the ceiling carrier 3 arrives at the gas supply position, the above-mentioned inert gas supply process is performed (step S3).
  • step S11 the controller 36 confirms whether or not the support base 37 is in the retracted state (that is, whether or not the support base 37 is located in the retracted position) (step S11). If the support base 37 is in the retracted state (step S11: YES), the process proceeds to step S13.
  • step S11: NO when the support base 37 is not in the retracted state (step S11: NO), that is, when the support base 37 is located at the support position (below the elevating mechanism 33), the support base 37 is retracted to the retracted position (step S11: NO).
  • step S12 the elevating mechanism 33 can be lowered in order to grab the FOUP 10 located below the ceiling carrier 3.
  • steps S11 and S12 described above are processes for ensuring safety, and are not essential processes. Specifically, when the previous unloading process is normally completed, the support base 37 is guaranteed to be in the retracted state. Therefore, if it is confirmed that the previous unloading process has been completed normally, the processes of steps S11 and S12 may be omitted.
  • the controller 36 executes the load-grabbing process of the FOUP10 to be transferred (step S13). Specifically, the controller 36 lowers the elevating mechanism 33 by feeding out the belt 33b, and causes the grip portion 33a to grip the flange 10a of the FOUP 10 to be transferred (see FIG. 6A). Then, the controller 36 raises the elevating mechanism 33 by winding up the belt 33b, and stores the FOUP 10 in the storage space S (see FIG. 6B).
  • the controller 36 shifts the support base 37 to the support state (see FIG. 7 (A)), and places the FOUP 10 on the support base 37 (see FIG. 7 (B)) (step S14).
  • the elevating mechanism 33 is lowered by feeding out the belt 33b.
  • the load of FOUP 10 is applied to the support base 37. That is, the bottom surface 10b of the FOUP 10 is supported by the support base 37.
  • the grip of the flange 10a by the grip portion 33a may be released.
  • the injection port 10c of the FOUP 10 and the nozzle 35a fixed to the support base 37 are connected.
  • the bottom flange 10d of the FOUP 10 is locked by the lock mechanism 38.
  • step S15 the supply of the inert gas stored in the tank 34 into the FOUP 10 is started via the gas supply pipe 35, the nozzle 35a, and the injection port 10c (step S15).
  • step S16: NO the ceiling carrier 3 travels on the traveling rail 2 while supplying the inert gas from the tank 34 into the FOUP 10.
  • the controller 36 detects that, for example, the ceiling carrier 3 has moved to the unloading position of the FOUP 10 (or a position within a predetermined distance from the unloading position), the transfer process (unloading process) of the FOUP 10 is required. Judgment (step S16: YES).
  • the controller 36 stops the supply of the inert gas from the tank 34 into the FOUP 10 in order to execute the unloading process of the FOUP 10 (step S17), and retracts the support base 37 (that is, FIG. 6 (B). ) (Step S18). Subsequently, the controller 36 executes the unloading process of the FOUP 10. Specifically, the controller 36 lowers the elevating mechanism 33 by feeding out the belt 33b, places the FOUP 10 in an unloading position such as a storage shelf, and then releases the grip of the flange 10a by the grip portion 33a. As a result, the unloading process of FOUP10 is completed.
  • the ceiling transport vehicle 3 has a tank 34 for supplying the inert gas inside the FOUP 10 being transported.
  • the inert gas can be continuously supplied into the FOUP 10 during the transportation of the FOUP 10, and the state in which the inside of the FOUP 10 is filled with the inert gas can be appropriately maintained.
  • a gas supply device 4 for supplying an inert gas to the tank 34 is provided along the traveling rail 2 on which the ceiling carrier 3 travels. As a result, the inert gas can be easily and appropriately supplied (replenished) to the tank 34 of the ceiling carrier 3.
  • the overhead carrier 3 is run along the traveling rail 2 to the position where the gas supply device 4 is provided (gas supply position) to replenish the inert gas.
  • the state in which the inert gas is stored in the tank 34 can be appropriately maintained.
  • the supply of the inert gas to the FOUP 10 during transport can be efficiently maintained.
  • the ceiling carrier system 1 includes a controller (in this embodiment, the controller 36 and the host controller 5).
  • the controller monitors the state of the inert gas stored in the tank 34, determines whether or not the supply of the inert gas to the tank 34 is necessary based on the state of the inert gas, and determines whether the inert gas needs to be supplied to the tank 34.
  • the ceiling carrier 3 is driven to the gas supply position.
  • the controller can automate the monitoring of the state of the inert gas in the tank 34 and the replenishment of the inert gas in the tank 34.
  • the inert gas in the tank 34 of the ceiling carrier 3 is appropriately prevented from being emptied. That is, according to the above configuration, the gas shortage in the tank 34 is reduced while reducing the labor of manually checking the remaining amount of the inert gas in the tank 34 of the ceiling carrier 3 and replacing the tank 34. Can be appropriately prevented.
  • the ceiling carrier 3 is connected to the tank 34 and is connected to a gas supply pipe 35 for circulating an inert gas and an injection port 10c provided at the tip of the gas supply pipe 35 and provided on the bottom surface 10b of the FOUP 10.
  • the FOUP 10 is supported by the support base 37 and the load of the FOUP 10 is applied to the support base 37, so that the injection port 10c of the FOUP 10 and the nozzle 35a fixed to the support base 37 are closely connected to each other. be able to.
  • the inert gas in the tank 34 can be supplied into the FOUP 10 in a stable state via the gas supply pipe 35, the nozzle 35a, and the injection port 10c.
  • the ceiling carrier 3 has a main body 31 in which the FOUP 10 is stored during the transportation of the FOUP 10, and an elevating mechanism 33 that allows the FOUP 10 to be suspended and moves up and down with respect to the main body 31.
  • the support base 37 is configured to be retractable to a retracted position that does not interfere with the FOUP 10 suspended by the elevating mechanism 33 and the elevating mechanism 33, at least during the evacuation operation by the elevating mechanism 33. According to the above configuration, since the support base 37 is configured to be retractable to the retracted position, it is possible to appropriately perform the transfer operation (loading or unloading) of the FOUP 10 accompanied by the evacuation operation by the evacuation mechanism 33. ..
  • the ceiling carrier 3 stores the FOUP 10 in the main body 31 by grasping and raising the FOUP 10 by the elevating mechanism 33 in a state where the support base 37 is retracted to the retracted position (step in FIG. 5). S11 to S13). Then, in the ceiling carrier 3, after the FOUP 10 is stored in the main body 31, the support base 37 is arranged below the FOUP 10 (that is, the support position) from the retracted position (see FIG. 7A), and the support base 37 is placed. Is placed below the FOUP10, and then the evacuation mechanism 33 is operated so that the FOUP10 is placed on the support base 37 (see FIG. 7B).
  • the FOUP 10 can be smoothly transitioned to a state in which the inert gas from the tank 34 can be supplied into the FOUP 10 after being loaded. Can be made to.
  • the support base 37 has a claw portion 38a that restricts the movement of the FOUP 10 in the vertical direction.
  • the FOUP 10 is prevented from jumping upward with respect to the support base 37 during the transportation of the FOUP 10 (during the supply of the inert gas into the FOUP 10).
  • the connection state between the injection port 10c of the FOUP 10 and the nozzle 35a fixed to the support base 37 can be stabilized.
  • the host controller 5 that allocates the transport command (transport of the FOUP 10 from the first point to the second point) to the ceiling transport vehicle 3 determines the state of the inert gas (gas amount and / or) in the tank 34 of the ceiling transport vehicle 3.
  • Various transport controls can be performed based on the gas pressure, etc.).
  • the host controller 5 gives a transport command based on the remaining amount of the inert gas in each tank 34 of the plurality of ceiling transport vehicles 3 arranged in the ceiling transport vehicle system 1 and the transport distance related to the transport command.
  • the ceiling carrier 3 to be assigned to may be determined.
  • the host controller 5 may determine the ceiling transport vehicle 3 having the tank 34 that stores the amount of gas that does not empty the inert gas during the transport of the FOUP 10 as the allocation destination of the transport command.
  • the inert gas in the tank 34 can be prevented from being emptied during the transfer of the FOUP 10, and the oxidation of the semiconductor wafer in the FOUP 10 can be appropriately prevented.
  • the ceiling carrier 3 in which the FOUP 10 is transferred in the vertical direction by the elevating mechanism 33 is illustrated, but the ceiling carrier 3 is configured so that the FOUP 10 can be transferred in the horizontal direction (Y-axis direction). You may. Further, when the ceiling carrier 3 is a trolley dedicated to lateral transfer in this way, it is not always necessary to retract the support pedestal 37 during the transfer operation of the FOUP 10 (at the time of grabbing or unloading). That is, the support base 37 may be a member fixed at the above-mentioned support position.
  • the ceiling transport vehicle system 1 including a plurality of overhead transport vehicles has been described, but the transport vehicle in the transport vehicle system is a vehicle traveling on a track. It may be a ground transport vehicle that travels on a rail provided on the ground, for example.

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Abstract

天井搬送車システムは、走行レールと、走行レールを走行してＦＯＵＰを搬送する天井搬送車であって、不活性ガスを貯留するタンクを有し、ＦＯＵＰの搬送中にタンクからＦＯＵＰの内部に不活性ガスを供給する天井搬送車と、走行レールに沿って設けられ、天井搬送車のタンクに不活性ガスを供給するガス供給装置と、を備える。

Description

搬送車システム
　本開示は、搬送車システムに関する。
　半導体製造プロセス中における半導体基板の酸化を防止するために、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）等の容器内に窒素ガス等の不活性ガスを注入し、容器内の酸素を排除する仕組み（Ｎ２パージ）が知られている。
　特許文献１には、天井搬送車に保持されたＦＯＵＰに窒素ガスを供給する窒素ガス供給装置が設けられた物品搬送設備が開示されている。窒素ガス供給装置は、天井搬送車の走行経路に沿った位置に設けられている。
　特許文献２には、半導体素子等の搬送対象物を搬送する搬送車（ＡＧＶ）に窒素ガス貯蔵ボンベを設けた構成が開示されている。窒素ガス貯蔵ボンベは、搬送車内の搬送対象物の収納室に供給するための窒素ガスを貯蔵する。
特開２０１６－９６１９２号公報 特開昭６１－１９６８５６号公報
　特許文献１に記載された物品搬送設備では、窒素ガス供給装置が設けられたガス供給位置でしか、天井搬送車に保持されたＦＯＵＰへの窒素ガスの供給を行うことができない。このため、天井搬送車の走行時間が長い場合、天井搬送車の走行中にＦＯＵＰ内の窒素ガスが徐々に減少し、ＦＯＵＰ内の半導体基板が酸化してしまうおそれがある。一方、特許文献２に記載された構成では、搬送対象物の搬送中に窒素ガス貯蔵ボンベから収納室へと窒素ガスを供給できるが、窒素ガス貯蔵ボンベ内の窒素ガスが空にならないように、窒素ガス貯蔵ボンベの交換作業等を定期的に実施する必要がある。
　本開示の一側面は、搬送中の容器への不活性ガスの供給を効率的に維持することができる搬送車システムを提供することを目的とする。
　本開示の一側面に係る搬送車システムは、軌道と、軌道を走行して容器を搬送する搬送車であって、不活性ガスを貯留する貯留部を有し、容器の搬送中に貯留部から容器の内部に不活性ガスを供給する搬送車と、軌道に沿って設けられ、搬送車の貯留部に不活性ガスを供給するガス供給装置と、を備える。
　上記搬送車システムでは、搬送車は、搬送中の容器の内部に不活性ガスを供給するための貯留部を有している。これにより、容器の搬送中において、不活性ガスを継続的に容器内に供給することができ、容器内が不活性ガスで満たされた状態を適切に維持することができる。更に、上記搬送車システムでは、搬送車が走行する軌道に沿って、貯留部に不活性ガスを供給するガス供給装置が設けられている。これにより、搬送車が有する貯留部への不活性ガスの供給（補充）を容易且つ適切に行うことができる。例えば、貯留部内の不活性ガスが空になる前に、ガス供給装置が設けられた位置（ガス供給位置）まで搬送車を軌道に沿って走行させて不活性ガスを補充させることにより、貯留部に不活性ガスが貯留された状態を適切に維持することができる。以上により、上記搬送車システムによれば、搬送中の容器への不活性ガスの供給を効率的に維持することができる。
　上記搬送車システムは、貯留部に貯留されている不活性ガスの状態を監視し、不活性ガスの状態に基づいて貯留部への不活性ガスの供給が必要であるか否かを判定し、不活性ガスの供給が必要であると判定された場合に、搬送車をガス供給装置が設けられた位置まで走行させるコントローラを更に備えてもよい。上記構成によれば、コントローラによって、貯留部内の不活性ガスの状態監視と貯留部内への不活性ガスの補給とを自動化することができる。その結果、搬送車の貯留部内の不活性ガスが空になってしまうことが適切に防止される。
　搬送車は、貯留部と接続され、不活性ガスを流通させるガス供給管と、ガス供給管の先端に設けられ、容器の底面に設けられた注入口に接続されることにより、不活性ガスを容器の内部に供給するノズルと、容器の底面を支持すると共に、容器の注入口に対応する位置にノズルを固定可能な支持台と、を有してもよい。上記構成によれば、容器が支持台に支持されて容器の荷重が支持台に加えられることにより、容器の注入口と支持台に固定されるノズルとを密着させて接続することができる。これにより、貯留部内の不活性ガスを、安定した状態で、ガス供給管、ノズル、及び注入口を介して、容器内へと供給することができる。
　搬送車は、容器の搬送中に容器が格納される本体部と、容器を吊り下げ可能とされ、本体部に対して昇降する昇降機構と、を更に有し、支持台は、少なくとも昇降機構による昇降動作時において、昇降機構及び昇降機構により吊り下げられた容器と干渉しない退避位置に退避可能に構成されていてもよい。上記構成によれば、支持台が退避位置に退避可能に構成されていることにより、昇降機構による昇降動作を伴う容器の移載動作（荷掴み又は荷降ろし）を適切に行うことができる。
　搬送車は、支持台を退避位置に退避させた状態で、昇降機構で容器を荷掴みして上昇させることにより、容器を本体部内に格納し、容器が本体部内に格納された後に、支持台を退避位置から容器の下方に配置し、支持台が容器の下方に配置された後に、容器が支持台上に載置されるように昇降機構を動作させてもよい。上記構成によれば、昇降機構及び支持台の一連の動作を制御することにより、容器を荷掴みした後に当該容器内に貯留部からの不活性ガスを供給可能な状態へと円滑に移行させることができる。
　支持台は、容器の上下方向への移動を規制する規制部材を有してもよい。上記構成によれば、容器の搬送中（容器内への不活性ガスの供給中）において、容器が支持台に対して上方に飛び出すことが防止される。これにより、容器の注入口と支持台に固定されたノズルとの接続状態を安定化させることができる。
　本開示の一側面によれば、搬送中の容器への不活性ガスの供給を効率的に維持することができる搬送車システムを提供することができる。
図１は、一実施形態に係る天井搬送車システムを示す図である。 図２は、支持台に設けられたロック機構を示す図である。 図３は、ガス供給装置から天井搬送車に不活性ガスを供給している状態を示す図である。 図４は、天井搬送車システムの動作の一例を示すフローチャートである。 図５は、ＦＯＵＰを荷掴みしてから荷降ろしするまでの天井搬送車の動作の一例を示すフローチャートである。 図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、荷掴み処理時における天井搬送車の動作を示す図である。 図７（Ａ）及び図７（Ｂ）は、荷掴み処理時における天井搬送車の動作を示す図である。
　以下、添付図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号が用いられ、重複する説明は省略される。
　図１は、一実施形態に係る天井搬送車システムを示す図である。図１に示されるように、天井搬送車システム１（搬送システム）は、走行レール２（軌道）と、天井搬送車３（搬送車）と、ガス供給装置４と、上位コントローラ５と、を備えている。走行レール２は、床面よりも高い位置（例えばクリーンルームの天井等）に設けられている。天井搬送車３は、走行レール２を走行する。天井搬送車３は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で、ＦＯＵＰ１０（容器）又はレチクルポッド等を搬送する。通常、天井搬送車システム１は、複数の天井搬送車３を備えているが、本実施形態では、一の天井搬送車３に着目して説明する。
　ＦＯＵＰ１０には、複数の半導体ウェハ等が収容される。ＦＯＵＰ１０は、天井搬送車３によって把持されるフランジ１０ａを有している。また、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂには、ＦＯＵＰ１０の内部（本実施形態では、複数の半導体ウェハが収容される収容室内）と外部とを連通する注入口１０ｃが設けられている。
　以下の説明では、説明の便宜上、走行レール２に沿った方向（図１の左右方向）をＸ軸方向とし、鉛直方向（図１の上下方向）をＺ軸方向とし、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の両方に直交する方向（図１の奥行方向）をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向は、天井搬送車３の走行方向でもある。Ｙ軸方向は、天井搬送車３の幅方向でもある。
　図１に示されるように、天井搬送車３は、本体部３１と、走行部３２と、昇降機構３３と、タンク３４（貯留部）と、ガス供給管３５と、コントローラ３６と、支持台３７と、を有している。図１は、ＦＯＵＰ１０の内部に不活性ガスを供給しながら当該ＦＯＵＰ１０を搬送する天井搬送車３を示している。
　本体部３１は、走行レール２の下方に位置している。走行部３２は、走行レール２に沿って走行する部材（例えばローラ等）である。本体部３１は、走行部３２に吊り下げられると共に支持されている。本体部３１の内側には、ＦＯＵＰ１０を格納するための格納空間Ｓが形成されている。本実施形態では一例として、本体部３１は、ＦＯＵＰ１０の前後方向（すなわち、Ｘ軸方向におけるＦＯＵＰ１０の両側）を覆う一対の壁部を有している。格納空間Ｓは当該一対の壁部に挟まれた空間である。
　昇降機構３３は、ＦＯＵＰ１０のフランジ１０ａを把持する把持部３３ａと、把持部３３ａに接続され、本体部３１に対して昇降する一又は複数（例えば４本）のベルト３３ｂと、を有している。昇降機構３３は、ベルト３３ｂの巻き上げ又は繰り出し等を行うことにより、把持部３３ａを昇降させる。これにより、把持部３３ａに保持されたＦＯＵＰ１０の昇降動作が実現される。
　タンク３４は、窒素ガス等の不活性ガスを貯留する。タンク３４は、例えば、圧縮された状態の不活性ガスを貯留するガスボンベ等である。タンク３４は、タンク３４内の不活性ガスを外部に排出するための排出口３４ａと、タンク３４内に不活性ガスを供給（補充）するための供給口３４ｂ（図３参照）と、を有している。
　ガス供給管３５は、タンク３４の排出口３４ａと接続され、タンク３４からの不活性ガスを流通させる中空管状部材である。ガス供給管３５のタンク３４側とは反対側の端部（先端）には、ノズル３５ａが設けられている。ノズル３５ａは、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと接続される。タンク３４の排出口３４ａから排出された不活性ガスは、ガス供給管３５、ノズル３５ａ、及び注入口１０ｃを介して、ＦＯＵＰ１０の内部へと供給される。ここで、ＦＯＵＰ１０の内部に充填された不活性ガスは、ＦＯＵＰ１０の微小な隙間等から徐々に外部に漏れていく。このため、ＦＯＵＰ１０の内部に不活性ガスが適切に充填された状態を保つためには、継続的に不活性ガスをＦＯＵＰ１０の内部に供給する必要がある。上述したガス供給管３５により、タンク３４からＦＯＵＰ１０へと不活性ガスが継続的に供給される。なお、ＦＯＵＰ１０には、注入口１０ｃとは別に、ＦＯＵＰ１０内のガス圧等を適切に調整するための図示しない排気口が設けられてもよい。
　コントローラ３６は、プロセッサ（例えばＣＰＵ等）及びメモリ（例えばＲＯＭ又はＲＡＭ等）等を有するコンピュータからなる電子制御ユニットである。コントローラ３６は、天井搬送車３の各種動作を制御する。コントローラ３６は、天井搬送車３に対して搬送指令（例えば荷掴み地点及び荷降ろし地点の情報を含む走行指令）を出力する上位コントローラ５と無線通信等によって通信可能とされている。
　コントローラ３６は、タンク３４に貯留されている不活性ガスの状態（例えば、ガス量（残量）、ガス圧等）を監視するセンサ等を有している。一例として、コントローラ３６は、タンク３４内の不活性ガスの状態に基づいて、タンク３４への不活性ガスの供給（補充）が必要であるか否かを判定する。例えば、コントローラ３６は、タンク３４内の不活性ガスのガス量及び／又はガス圧が、予め設定された閾値未満となったことを検知した場合に、タンク３４への不活性ガスの供給が必要であると判定する。
　タンク３４への不活性ガスの供給が必要であると判定された場合、コントローラ３６は、一例として、その旨を示す情報を上位コントローラ５に通知する。上位コントローラ５は、当該情報の通知元である天井搬送車３の位置、当該天井搬送車３の予定走行経路（例えば、当該天井搬送車３に割り付けられた搬送指令に応じた走行経路）等に基づいて最適なガス供給装置４を決定する。例えば、上位コントローラ５は、当該天井搬送車３の現在位置、或いは当該天井搬送車３の予定走行経路から最も近い位置にあるガス供給装置を、最適なガス供給装置４として決定する。上位コントローラ５は、決定されたガス供給装置４への走行指令を当該天井搬送車３のコントローラ３６へと通知する。そして、コントローラ３６は、当該ガス供給装置４が設けられた位置まで走行するように天井搬送車３の動作を制御する。
　なお、コントローラ３６と上位コントローラ５との役割分担は、上記形態に限られない。上記例では、コントローラ３６がタンク３４への不活性ガスの供給が必要であるか否かを判定したが、上記判定は上位コントローラ５によって行われてもよい。例えば、コントローラ３６が、タンク３４内の不活性ガスのガス量及び／又はガス圧の情報を上位コントローラ５に通知し、上位コントローラ５が、当該情報に基づいて上記判定を行ってもよい。また、上記例では、コントローラ３６及び上位コントローラ５によってガス供給装置４への走行制御が実現されたが、上述した上位コントローラ５の機能は、コントローラ３６に搭載されてもよい。すなわち、天井搬送車３に搭載されたコントローラ３６が、上述した制御を自律的に行ってもよい。この場合、上位コントローラ５は省略され得る。
　支持台３７は、ＦＯＵＰ１０の搬送中（すなわち、ＦＯＵＰ１０への不活性ガスの供給中）において、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂを支持するための部材である。一例として、支持台３７は、平板状に形成されている。支持台３７は、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃに対応する位置にノズル３５ａを固定可能に構成されている。本実施形態では一例として、支持台３７には、Ｚ軸方向から見て注入口１０ｃと重なる位置において、ガス供給管３５の先端部（すなわち、ノズル３５ａが設けられた部分）を挿通させて固定する挿通孔３７ａが形成されている。これにより、挿通孔３７ａに挿通及び固定されたノズル３５ａは、Ｚ軸方向にＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと対向する位置に配置される。そして、ＦＯＵＰ１０が支持台３７上に載置され、ＦＯＵＰ１０の荷重が支持台３７に加えられることにより、注入口１０ｃがノズル３５ａと密着し、注入口１０ｃとノズル３５ａとが接続される。
　図１に示されるように、支持台３７は、ＦＯＵＰ１０の搬送中において、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂを支持するための支持位置（すなわち、ＦＯＵＰ１０及び昇降機構３３の下方の位置であり、Ｚ軸方向から見てＦＯＵＰ１０と重なる位置）に配置される。ここで、仮に支持台３７が支持位置に固定されていると、昇降機構３３の昇降動作時において、支持台３７が昇降機構３３又は昇降機構３３により吊り下げられたＦＯＵＰ１０と干渉してしまう。そこで、支持台３７は、昇降機構３３による昇降動作時において、昇降機構３３又はＦＯＵＰ１０と干渉しない退避位置に退避可能に構成されている。すなわち、支持台３７は、搬送中のＦＯＵＰ１０の底面１０ｂを支持するために支持位置に配置される支持状態と、昇降機構３３の昇降動作を妨げないように退避位置に配置される退避状態とを切り替え可能に構成されている。
　例えば、支持台３７は、天井搬送車３の走行方向（Ｘ軸方向）又は幅方向（Ｙ軸方向）にスライド可能に構成され得る。この場合、支持位置からＸ軸方向又はＹ軸方向にスライドさせられた位置（Ｚ軸方向から見て昇降機構３３及びＦＯＵＰ１０と重ならない位置）が、上述した退避位置となる。この場合、支持台３７を水平方向にスライド移動させることにより、支持状態と退避状態とを切り換えることができる。ただし、支持位置と退避位置との間の支持台３７の移動の態様、及び退避位置は、上記形態に限られない。例えば、支持台３７は、Ｘ軸又はＹ軸周りに回動可能に構成されてもよい。この場合、支持台３７は、退避状態において、ＸＺ平面又はＹＺ平面に沿った状態で、格納空間Ｓの側方に配置され得る。また、支持台３７は、折り畳み式に構成されてもよい。この場合、支持台３７は、退避状態において、支持台３７が折り畳まれた状態で格納空間Ｓの側方に配置されてもよい。また、ノズル３５ａは、少なくとも支持状態において支持台３７に固定されるように構成されていればよく、退避状態においては、ノズル３５ａは支持台３７から取り外されていてもよい。
　図２に示されるように、支持台３７は、支持台３７に対するＦＯＵＰ１０の移動を規制するためのロック機構３８を備えている。ロック機構３８は、ＦＯＵＰ１０の鉛直方向（Ｚ軸方向）への移動を規制する爪部３８ａ（規制部材）と、ＦＯＵＰ１０の水平方向（Ｘ軸方向又はＹ軸方向）への移動を規制するピン３８ｂと、を有している。
　一例として、ＦＯＵＰ１０は、上述した底面１０ｂを含み、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に突出する底面フランジ１０ｄを有している。また、爪部３８ａは、鉤状に形成されており、底面フランジ１０ｄの端部の上面及び側面に当接する。図２に示されるように、爪部３８ａと支持台３７とに底面フランジ１０ｄが挟み込まれることにより、底面フランジ１０ｄが支持台３７に対して上方に飛び出してしまうこと（すなわち、ＦＯＵＰ１０の鉛直方向への移動）が規制される。爪部３８ａは、例えば、支持台３７にＦＯＵＰ１０が載置されたこと（ＦＯＵＰ１０の荷重が加わったこと）を検知して、図２に示されるロック状態に移行するように構成されている。また、爪部３８ａは、荷降ろし時等において昇降機構３３による昇降動作が実行される際には、例えばコントローラ３６からの解除信号に基づいて、支持台３７を退避状態に移行するためにロック状態を解除するように構成されている。
　なお、爪部３８ａは、１箇所に設けられてもよいし、複数箇所に設けられてもよい。例えば、爪部３８ａは、Ｚ軸方向から見て、略矩形状の支持台３７の対角線上に位置する２箇所に設けられてもよいし、支持台３７の四隅に設けられてもよい。このように爪部３８ａが複数箇所に設けられる場合には、爪部３８ａによってＦＯＵＰ１０の水平方向への移動も規制される。
　また、通常、ＦＯＵＰ１０の底面フランジ１０ｄには、複数（例えば３箇所）の位置決め孔１０ｅが設けられている。ここで、ピン３８ｂは、当該位置決め孔１０ｅに対応する位置に設けられている。すなわち、ピン３８ｂは、ＦＯＵＰ１０が支持台３７に載置された状態において、位置決め孔１０ｅに挿通される。支持台３７に対するＦＯＵＰ１０の水平方向の移動は、このようなピン３８ｂによっても規制される。
　ガス供給装置４は、天井搬送車３のタンク３４に不活性ガスを供給するための装置である。ガス供給装置４は、走行レール２に沿った天井搬送車３の走行を妨げないように、走行レール２に沿って設けられている。ガス供給装置４は、走行レール２に取り付けられてもよいし、走行レール２の近傍に配置された別部材（例えば、天井等）に取り付けられてもよい。天井搬送車システム１において、１つのガス供給装置４が設けられてもよいし、複数のガス供給装置４が設けられてもよい。
　ガス供給装置４は、天井搬送車３に供給するための不活性ガスを貯留しており、走行レール２の所定の位置（本実施形態では、ガス供給装置４の下方の位置）に位置する天井搬送車３のタンク３４に対して、当該不活性ガスを供給可能に構成されている。すなわち、ガス供給装置４は、天井搬送車３に不活性ガスを供給するためのステーションとして機能する。以下の説明において、上記所定の位置のことを「ガス供給位置」という。
　図３は、ガス供給装置４から天井搬送車３に不活性ガスを供給している状態を示す図である。すなわち、天井搬送車３がガス供給位置に停止した状態で、ガス供給装置４が当該天井搬送車３のタンク３４に不活性ガスを供給している。一例として、ガス供給装置４は、供給源（不図示）からの不活性ガスを流通させるガス供給管４ａを有している。そして、ガス供給装置４は、天井搬送車３がガス供給位置に停止したことを検知すると、ガス供給管４ａの動作を制御し、ガス供給管４ａの接続口（先端部）をタンク３４の供給口３４ｂに接続する。これにより、ガス供給装置４の供給源からの不活性ガスが、ガス供給管４ａ及び供給口３４ｂを介して、タンク３４に供給される。なお、図３は、ＦＯＵＰ１０を搬送していない天井搬送車３を例示しているが、ガス供給装置４は、ＦＯＵＰ１０を搬送中の天井搬送車３に対して、不活性ガスを供給してもよい。
　ガス供給装置４から天井搬送車３のタンク３４への不活性ガスの供給処理は、例えば以下のようにして行われる。すなわち、ガス供給装置４は、ガス供給位置に停止した天井搬送車３のコントローラ３６から、必要なガス供給量の情報を含む供給要求信号を受信する。そして、ガス供給装置４は、当該供給要求信号を受信したことをトリガとして、上述したガス供給動作（すなわち、供給口３４ｂへのガス供給管４ａの接続、及び不活性ガスの供給）を実行する。そして、ガス供給装置４は、上記ガス供給量の供給が完了すると、ガス供給の完了をコントローラ３６に通知すると共に、ガス供給管４ａとタンク３４の供給口３４ｂとの接続を解除する。これにより、天井搬送車３は、ガス供給装置４との接続が解除され、走行レール２に沿って移動可能となる。
　次に、図４に示されるフローチャートを参照して、天井搬送車システム１の動作の一例について説明する。図４に示されるように、天井搬送車３のコントローラ３６は、継続的に、タンク３４内の不活性ガスの状態（本実施形態では一例として、ガス量及びガス圧）を監視する（ステップＳ１）。そして、コントローラ３６は、タンク３４内のガス量及びガス圧が予め設定された閾値以上である間（ステップＳ１：ＹＥＳ）は、上記監視を継続しつつ、上位コントローラ５からの指示に基づいて走行レール２の走行及びＦＯＵＰ１０の搬送動作を実行する。
　一方、コントローラ３６は、タンク３４内のガス量及びガス圧が閾値未満となったことを検知すると（ステップＳ１：ＮＯ）、ガス供給装置４（すなわち、ガス供給装置４からのガス供給を受けるためのガス供給位置）への走行制御を行う（ステップＳ２）。上述したように、本実施形態では、コントローラ３６が、上位コントローラ５に対して、タンク３４への不活性ガスの供給が必要である旨を通知し、その後の上位コントローラ５からの指示に基づいて、指定されたガス供給位置へと天井搬送車３を走行させる。続いて、天井搬送車３がガス供給位置に到着した後、上述した不活性ガスの供給処理が行われる（ステップＳ３）。
　次に、図５に示されるフローチャートを参照して、ＦＯＵＰ１０を荷掴みしてから荷降ろしするまでの天井搬送車３（コントローラ３６）の動作の一例について説明する。ここでは、天井搬送車３の下方に位置するＦＯＵＰ１０を荷掴みする場合について説明する。まず、コントローラ３６は、支持台３７が退避状態となっているか否か（すなわち、支持台３７が退避位置に位置するか否か）を確認する（ステップＳ１１）。支持台３７が退避状態となっている場合（ステップＳ１１：ＹＥＳ）には、ステップＳ１３に進む。一方、支持台３７が退避状態になっていない場合（ステップＳ１１：ＮＯ）、すなわち支持台３７が支持位置（昇降機構３３の下方）に位置する場合、支持台３７を退避位置へと退避させる（ステップＳ１２）。これにより、天井搬送車３の下方に位置するＦＯＵＰ１０を荷掴みするために昇降機構３３を下降させることが可能となる。なお、上記のステップＳ１１及びＳ１２の処理は、安全を期すための処理であり、必須の処理ではない。具体的には、前回の荷降ろし処理が正常に完了している場合、支持台３７は退避状態であることが保証される。従って、前回の荷降ろし処理が正常に完了していることが確認できている場合等には、ステップＳ１１及びＳ１２の処理は省略されてもよい。
　続いて、コントローラ３６は、移載対象となるＦＯＵＰ１０の荷掴み処理を実行する（ステップＳ１３）。具体的には、コントローラ３６は、ベルト３３ｂを繰り出すことにより昇降機構３３を下降させ、把持部３３ａに移載対象となるＦＯＵＰ１０のフランジ１０ａを把持させる（図６（Ａ）参照）。そして、コントローラ３６は、ベルト３３ｂを巻き上げることにより昇降機構３３を上昇させ、ＦＯＵＰ１０を格納空間Ｓ内に格納する（図６（Ｂ）参照）。
　続いて、コントローラ３６は、支持台３７を支持状態に移行させ（図７（Ａ）参照）、ＦＯＵＰ１０を支持台３７上に載置する（図７（Ｂ）参照）（ステップＳ１４）。図７（Ａ）に示されるように支持台３７が支持位置に配置された後、ベルト３３ｂが繰り出されることにより昇降機構３３が下降させられる。これにより、図７（Ｂ）に示されるように、ＦＯＵＰ１０の荷重が支持台３７に加えられる。すなわち、支持台３７によってＦＯＵＰ１０の底面１０ｂが支持される。このとき、支持台３７に対してＦＯＵＰ１０の荷重を適切に預けるために、把持部３３ａによるフランジ１０ａの把持を解除してもよい。これにより、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと支持台３７に固定されたノズル３５ａとが接続される。また、このとき、図２に示されるように、ＦＯＵＰ１０の底面フランジ１０ｄは、ロック機構３８によってロックされる。
　続いて、ガス供給管３５、ノズル３５ａ、及び注入口１０ｃを介して、タンク３４に貯留されている不活性ガスのＦＯＵＰ１０内への供給が開始される（ステップＳ１５）。その後、ＦＯＵＰ１０の移載処理が必要となるまで（ステップＳ１６：ＮＯ）、天井搬送車３は、タンク３４からＦＯＵＰ１０内への不活性ガスの供給を行いつつ、走行レール２を走行する。コントローラ３６は、例えば天井搬送車３がＦＯＵＰ１０の荷降ろし位置（或いは荷降ろし位置から所定距離以内の位置）まで移動したことを検知すると、ＦＯＵＰ１０の移載処理（荷降ろし処理）が必要になったと判定する（ステップＳ１６：ＹＥＳ）。そして、コントローラ３６は、ＦＯＵＰ１０の荷降ろし処理を実行するために、タンク３４からＦＯＵＰ１０内への不活性ガスの供給を停止し（ステップＳ１７）、支持台３７を退避状態（すなわち、図６（Ｂ）に示される状態）に移行させる（ステップＳ１８）。続いて、コントローラ３６は、ＦＯＵＰ１０の荷降ろし処理を実行する。具体的には、コントローラ３６は、ベルト３３ｂを繰り出すことにより昇降機構３３を下降させ、ＦＯＵＰ１０を保管棚等の荷降ろし位置に載置した後に把持部３３ａによるフランジ１０ａの把持を解除する。これにより、ＦＯＵＰ１０の荷降ろし処理が完了する。
　以上説明した天井搬送車システム１では、天井搬送車３は、搬送中のＦＯＵＰ１０の内部に不活性ガスを供給するためのタンク３４を有している。これにより、ＦＯＵＰ１０の搬送中において、不活性ガスを継続的にＦＯＵＰ１０内に供給することができ、ＦＯＵＰ１０内が不活性ガスで満たされた状態を適切に維持することができる。更に、天井搬送車システム１では、天井搬送車３が走行する走行レール２に沿って、タンク３４に不活性ガスを供給するガス供給装置４が設けられている。これにより、天井搬送車３が有するタンク３４への不活性ガスの供給（補充）を容易且つ適切に行うことができる。例えば、タンク３４内の不活性ガスが空になる前に、ガス供給装置４が設けられた位置（ガス供給位置）まで天井搬送車３を走行レール２に沿って走行させて不活性ガスを補充させることにより、タンク３４に不活性ガスが貯留された状態を適切に維持することができる。以上により、天井搬送車システム１によれば、搬送中のＦＯＵＰ１０への不活性ガスの供給を効率的に維持することができる。
　また、天井搬送車システム１は、コントローラ（本実施形態では、コントローラ３６及び上位コントローラ５）を備えている。コントローラは、タンク３４に貯留されている不活性ガスの状態を監視し、不活性ガスの状態に基づいてタンク３４への不活性ガスの供給が必要であるか否かを判定し、不活性ガスの供給が必要であると判定された場合に、天井搬送車３をガス供給位置まで走行させる。上記構成によれば、コントローラによって、タンク３４内の不活性ガスの状態監視とタンク３４内への不活性ガスの補給とを自動化することができる。その結果、天井搬送車３のタンク３４内の不活性ガスが空になってしまうことが適切に防止される。すなわち、上記構成によれば、人手によって天井搬送車３のタンク３４内の不活性ガスの残量等をチェックしたり、タンク３４を交換したりする手間を削減しつつ、タンク３４内のガス不足の発生を適切に防止することができる。
　また、天井搬送車３は、タンク３４と接続され、不活性ガスを流通させるガス供給管３５と、ガス供給管３５の先端に設けられ、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂに設けられた注入口１０ｃに接続されることにより、不活性ガスをＦＯＵＰ１０の内部に供給するノズル３５ａと、ＦＯＵＰ１０の底面１０ｂを支持すると共に、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃに対応する位置にノズル３５ａを固定可能な支持台３７と、を有する。上記構成によれば、ＦＯＵＰ１０が支持台３７に支持されてＦＯＵＰ１０の荷重が支持台３７に加えられることにより、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと支持台３７に固定されるノズル３５ａとを密着させて接続することができる。これにより、タンク３４内の不活性ガスを、安定した状態で、ガス供給管３５、ノズル３５ａ、及び注入口１０ｃを介して、ＦＯＵＰ１０内へと供給することができる。
　また、天井搬送車３は、ＦＯＵＰ１０の搬送中にＦＯＵＰ１０が格納される本体部３１と、ＦＯＵＰ１０を吊り下げ可能とされ、本体部３１に対して昇降する昇降機構３３と、を有している。支持台３７は、少なくとも昇降機構３３による昇降動作時において、昇降機構３３及び昇降機構３３により吊り下げられたＦＯＵＰ１０と干渉しない退避位置に退避可能に構成されている。上記構成によれば、支持台３７が退避位置に退避可能に構成されていることにより、昇降機構３３による昇降動作を伴うＦＯＵＰ１０の移載動作（荷掴み又は荷降ろし）を適切に行うことができる。
　また、天井搬送車３は、支持台３７を退避位置に退避させた状態で、昇降機構３３でＦＯＵＰ１０を荷掴みして上昇させることにより、ＦＯＵＰ１０を本体部３１内に格納する（図５のステップＳ１１～Ｓ１３）。そして、天井搬送車３は、ＦＯＵＰ１０が本体部３１内に格納された後に、支持台３７を退避位置からＦＯＵＰ１０の下方（すなわち支持位置）に配置し（図７（Ａ）参照）、支持台３７がＦＯＵＰ１０の下方に配置された後に、ＦＯＵＰ１０が支持台３７上に載置されるように昇降機構３３を動作させる（図７（Ｂ）参照）。上記構成によれば、昇降機構３３及び支持台３７の一連の動作を制御することにより、ＦＯＵＰ１０を荷掴みした後に当該ＦＯＵＰ１０内にタンク３４からの不活性ガスを供給可能な状態へと円滑に移行させることができる。
　また、支持台３７は、ＦＯＵＰ１０の上下方向への移動を規制する爪部３８ａを有する。上記構成によれば、ＦＯＵＰ１０の搬送中（ＦＯＵＰ１０内への不活性ガスの供給中）において、ＦＯＵＰ１０が支持台３７に対して上方に飛び出すことが防止される。これにより、ＦＯＵＰ１０の注入口１０ｃと支持台３７に固定されたノズル３５ａとの接続状態を安定化させることができる。
　以上、本開示の好適な実施形態について詳細に説明されたが、本開示は上記実施形態に限定されない。例えば、搬送指令（第１地点から第２地点までのＦＯＵＰ１０の搬送）を天井搬送車３に割り付ける上位コントローラ５は、天井搬送車３のタンク３４内の不活性ガスの状態（ガス量及び／又はガス圧等）に基づいて、種々の搬送制御を行うことができる。例えば、上位コントローラ５は、天井搬送車システム１内に配置された複数の天井搬送車３の各々のタンク３４内の不活性ガスの残量と搬送指令に係る搬送距離とに基づいて、搬送指令の割付先となる天井搬送車３を決定してもよい。例えば、上位コントローラ５は、ＦＯＵＰ１０の搬送中に不活性ガスが空にならない程度のガス量を貯留しているタンク３４を有する天井搬送車３を、搬送指令の割付先として決定してもよい。この場合、ＦＯＵＰ１０の搬送中にタンク３４内の不活性ガスが空になることを防止し、ＦＯＵＰ１０内の半導体ウェハの酸化を適切に防止することができる。なお、上述したとおり、ＦＯＵＰ１０の搬送中であっても、ガス供給装置４によってタンク３４内に不活性ガスを供給することは可能であるが、その場合、ガス供給処理の時間だけ、ＦＯＵＰ１０の搬送処理が遅れることになる。従って、上述した割付制御によれば、ＦＯＵＰ１０の搬送中にガス供給装置４からの不活性ガスの供給を行う必要がなくなるため、ＦＯＵＰ１０の搬送が遅れてしまうことを防止することができる。
　また、上記実施形態では、昇降機構３３によって上下方向にＦＯＵＰ１０を移載する天井搬送車３を例示したが、天井搬送車３は、ＦＯＵＰ１０を水平方向（Ｙ軸方向）に移載可能に構成されてもよい。また、このように天井搬送車３が横移載専用の台車である場合、ＦＯＵＰ１０の移載動作時（荷掴み又は荷降ろし時）において、必ずしも、支持台３７を退避させる必要はない。すなわち、支持台３７は、上述した支持位置に固定された部材であってもよい。
　また、上記実施形態では、搬送車システムの一例として、複数の天井搬送車（Overhead　transport　vehicle）を含む天井搬送車システム１について説明したが、搬送車システムにおける搬送車は、軌道を走行する車両であればよく、例えば地上に設けられたレールを走行する地上搬送車であってもよい。
　１…天井搬送車システム（搬送車システム）、２…走行レール（軌道）、３…天井搬送車（搬送車）、４…ガス供給装置、５…上位コントローラ（コントローラ）、１０…ＦＯＵＰ（容器）、１０ｂ…底面、１０ｃ…注入口、３１…本体部、３３…昇降機構、３４…タンク（貯留部）、３５ａ…ノズル、３６…コントローラ、３７…支持台、３８ａ…爪部（規制部材）。

Claims (6)

  1. 　軌道と、
    　前記軌道を走行して容器を搬送する搬送車であって、不活性ガスを貯留する貯留部を有し、前記容器の搬送中に前記貯留部から前記容器の内部に前記不活性ガスを供給する前記搬送車と、
    　前記軌道に沿って設けられ、前記搬送車の前記貯留部に前記不活性ガスを供給するガス供給装置と、を備える搬送車システム。
  2. 　前記貯留部に貯留されている前記不活性ガスの状態を監視し、前記不活性ガスの状態に基づいて前記貯留部への前記不活性ガスの供給が必要であるか否かを判定し、前記不活性ガスの供給が必要であると判定された場合に、前記搬送車を前記ガス供給装置が設けられた位置まで走行させるコントローラを更に備える、請求項１に記載の搬送車システム。
  3. 　前記搬送車は、
    　　前記貯留部と接続され、前記不活性ガスを流通させるガス供給管と、
    　　前記ガス供給管の先端に設けられ、前記容器の底面に設けられた注入口に接続されることにより、前記不活性ガスを前記容器の内部に供給するノズルと、
    　　前記容器の前記底面を支持すると共に、前記容器の前記注入口に対応する位置に前記ノズルを固定可能な支持台と、を有する、請求項１又は２に記載の搬送車システム。
  4. 　前記搬送車は、前記容器の搬送中に前記容器が格納される本体部と、前記容器を吊り下げ可能とされ、前記本体部に対して昇降する昇降機構と、を更に有し、
    　前記支持台は、少なくとも前記昇降機構による昇降動作時において、前記昇降機構及び前記昇降機構により吊り下げられた前記容器と干渉しない退避位置に退避可能に構成されている、請求項３に記載の搬送車システム。
  5. 　前記搬送車は、
    　　前記支持台を前記退避位置に退避させた状態で、前記昇降機構で前記容器を荷掴みして上昇させることにより、前記容器を前記本体部内に格納し、
    　　前記容器が前記本体部内に格納された後に、前記支持台を前記退避位置から前記容器の下方に配置し、
    　　前記支持台が前記容器の下方に配置された後に、前記容器が前記支持台上に載置されるように前記昇降機構を動作させる、請求項４に記載の搬送車システム。
  6. 　前記支持台は、前記容器の上下方向への移動を規制する規制部材を有する、請求項３～５のいずれか一項に記載の搬送車システム。
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