JP2013154983A - 物品搬送設備 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】天井搬送車1を、支持体18の昇降により物品授受部4の第1支持位置P1に物品Wを受け渡し自在で且つ支持体18の昇降により物品授受部4の第2支持位置P2から物品Wを受け取り自在に構成し、第1支持位置P1及び前記第2支持位置P2と物品処理装置3が物品Wに対して処理を行う処理位置P3との間で物品Wを搬送する地上側搬送装置6を備え、第1支持位置P1と第2支持位置P2と処理位置P3とを、物品処理装置3と物品授受部4とが並ぶ並び方向に沿って並ぶ状態で物品授受部4に設定し、天井搬送車1を、第1支持位置P1の直上と第2支持位置P2の直上とに並び方向に沿って支持体18を移動操作する移動操作手段20を備えて構成する。
【選択図】図3
Description
そのため、例えば、経路長手方向に並設されている物品処理装置の夫々に対して物品授受部を設ける場合等では、物品授受部も経路長手方向に複数並設する必要があるが、経路長手方向に長い物品授受部では設置スペースを確保し難いものとなっていた。
前記第1支持位置と前記第2支持位置と前記処理位置とが、前記並び方向に沿って並ぶ状態で前記物品授受部に設定され、前記天井搬送車が、前記第1支持位置の直上と前記第2支持位置の直上とに前記並び方向に沿って前記支持体を移動操作する移動操作手段を備えて構成されている点にある。
そのため、例えば、経路長手方向に並設されている物品処理装置の夫々に対して物品授受部を設ける場合等では、物品授受部も経路長手方向に複数並設する必要があるが、物品授受部は経路長手方向に短くできるため、物品授受部の設置スペースを確保し易いものとなる。
そして、天井搬送車が第2支持位置の物品を受け取った後、処理側搬送台にて物品を処理位置から第1支持位置に搬送させ、処理側搬送台及び授受側搬送台を第1支持位置に位置させた状態で授受側搬送台を処理側搬送台に対して相対的に上昇移動させることで、物品を処理側搬送台から授受側搬送台に受け渡し、授受側搬送台にて物品を第1支持位置から第2支持位置に搬送させることができる。
図1〜図4に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール2に案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な天井搬送車1と、物品Wに対して処理を行う物品処置装置としての処理装置3に隣接する状態で床側に設けられた物品授受部としての容器授受部4と、天井に吊り下げ支持されて複数の物品Wを保管可能な保管棚5とが設けられている。
尚、走行経路に沿う方向を経路長手方向と称し、前後方向に直交する水平方向を経路横方向と称する場合がある。
そして、ケーシング10の上面には、天井搬送車1の支持機構18にて支持されるトップフランジ12が形成され、ケーシング10の底面には、容器授受部4に設けられた地上側搬送装置6の位置決め突起25が係合する被係合部13(図6参照)が備えられている。
図2〜図4に示すように、天井搬送車1は、物品Wを支持する支持機構18を昇降自在に備えており、支持機構18の昇降により容器授受部4の第1支持位置P1に基板収納容器9を受け渡し自在で且つ支持機構18の昇降により容器授受部4の第2支持位置P2から基板収納容器9を受け取り自在に構成されている。次に、この天井搬送車1について説明を加える。
図1に示すように、天井搬送車1は、走行レール2上を走行経路に沿って走行する走行部15と、走行レール2の下方に位置するように走行部15に吊り下げ支持され且つ基板収納容器9を昇降移動自在に支持する本体部16とを備えて構成されている。
昇降操作機構19は、先端部に支持機構18を連結支持した巻き取りベルト19aを巻取り及び繰出し自在に構成されており、巻き取りベルト19aを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構18及びそれに支持された基板収納容器9を昇降移動させるように構成されている。
受渡処理では、図2に示すように、基板収納容器9を支持する天井搬送車1を容器授受部4に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト19aの繰り出した後に把持爪18aの解除姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器9を第1支持位置P1に受け渡し、その後、巻き取りベルト19aを巻き取る。
また、受取処理では、図3に示すように、基板収納容器9を支持しない天井搬送車1を容器授受部4に対応する停止位置に停止させた状態で、支持体20aを突出位置にスライド移動させ、巻き取りベルト19aを繰り出した後に把持爪18aを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器9を第2支持位置P2から受け取り、その後、巻き取りベルト19aを巻き取り、支持体20aを引退位置にスライド移動させる。
尚、容器授受部4と保管棚5とは、経路長手方向で異なる位置に設けられている。また、容器授受部4における第2支持位置P2と保管棚5における基板収納容器9を支持する位置とは、走行レール2に対して経路横幅方向で同じ側で且つ同じ距離に設定されている。
図2〜図4に示すように、容器授受部4は、処理装置3に隣接する状態で床側に設けられている。容器授受部4には、天井搬送車1から基板収納容器9を受け取る第1支持位置P1と、天井搬送車1に基板収納容器9を受け渡す第2支持位置P2と、処理装置3が基板収納容器9に対して処理を行う処理位置P3とが設定されている。これら第1支持位置P1と第2支持位置P2と処理位置P3とは、経路横幅方向に沿って一直線上に並ぶ状態で容器授受部4に設定されており、処理位置P3と第2支持位置P2との間に第1支持位置P1が設定されている。また、基板収納容器9を処理位置P3に位置させた状態で、処理装置3が当該基板収納容器9の蓋11を開閉し且つ基板収納容器9に対して基板8を出し入れするようになっており、処理位置P3が開閉処理と出し入れ処理を行う位置となっている。
また、第1支持位置P1と第2支持位置P2とは、これらに位置する基板収納容器9が経路横幅方向で重複しないように設定されており、第2支持位置P2に別の基板収納容器9が載置支持されている状態で、天井搬送車1から第1支持位置P1に基板収納容器9を受け取り自在に構成されている。
この地上側搬送装置6は、基板収納容器9の底面における一部分を載置支持して経路横幅方向に移動することで処理位置P3と第1支持位置P1との間で基板収納容器9を搬送自在な処理側搬送台23と、基板収納容器9の底面における処理側搬送台23にて載置支持されない部分を載置支持して経路横幅方向に移動することで第1支持位置P1と第2支持位置P2との間で基板収納容器9を搬送自在な授受側搬送台24とを備え、処理側搬送台23と授受側搬送台24とが相対的に昇降移動することで処理側搬送台23と授受側搬送台24との間で基板収納容器9を受け渡し自在に構成されている。
また、処理側搬送台23における切り欠きの周囲部、及び、授受側搬送台24の外周縁部の夫々には、基板収納容器9の被係合部13に係合するキネマティックピンである位置決め突起25が3箇所に備えられており、3箇所の位置決め突起25が基板収納容器9の被係合部13に係合することで各搬送台23,24上の規定位置に位置決めされるように構成されている。
つまり、地上側搬送装置6は、処理側搬送台23にて基板収納容器9を処理位置P3から第1支持位置P1に搬送した後、授受側搬送台24を上昇移動させて処理側搬送台23から授受側搬送台24に基板収納容器9を受け渡し、その後、授受側搬送台24にて基板収納容器9を第1支持位置P1から第2支持位置P2に搬送するようにして、基板収納容器9を処理位置P3から第2支持位置P2に搬送するように構成されている。
処理装置3による基板収納容器9に対する処理が完了した後、図5(c)(d)及び図6(c)(d)に示すように、処理側搬送台23及び授受側搬送台24を移動させて、基板収納容器9を処理位置P3から第2支持位置P2に移動させる。
(1)上記実施形態では、保管棚5を、走行レール2に対して第2支持位置P2と経路横幅方向で同じ側に設けたが、図7に示すように、保管棚5を、走行レール2に対して第2支持位置P2と経路横幅方向で異なる側に設けてもよく、また、第2支持位置P2と経路横幅方向で同じ側と異なる側との両側に設けてもよい。
この場合、スライド操作機構20を、引退位置と突出位置とに加えて、支持機構18及びそれに支持された基板収納容器9を走行レール2に対して経路横幅方向の他方側に位置する他方側突出位置に支持体20aを移動自在に構成する。
また、保管棚5を、天井搬送車1による物品Wの搬送及び地上側搬送装置6による物品Wの搬送の邪魔にならないように、走行レール2の直下で且つ物品授受部の直上に設けてもよい。
具体例を挙げると、例えば、地上側搬送装置6を、物品Wを載置支持する固定支持台を第2支持位置P2に設け、物品Wを第1支持位置P1から処理位置P3に搬送自在で且つ処理位置P3から固定支持台上に受渡自在な搬送台を設けて構成してもよい。
また、物品授受部を経路長手方向に沿って複数並設したが、物品授受部を経路長手方向に分散させた状態で複数設置してもよい。尚、単体の物品授受部を設置する場合において、物品授受部の設置が物品処理装置の税路長手方向の幅内に限られている場合でも、物品授受部の設置スペースを確保し易いものとなっている。
2 走行レール
3 物品処理装置
4 物品授受部
8 基板
9 基板収納容器
11 蓋
18 支持部
20 移動操作手段
23 処理側搬送台
24 授受側搬送台
P1 第1支持位置
P2 第2支持位置
P3 処理位置
W 物品
Claims (5)
- 天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品を支持する支持体を昇降自在に備えた天井搬送車と、
物品に対して処理を行う物品処理装置に隣接する状態で床側に設けられた物品授受部とが設けられ、
前記天井搬送車の走行経路が、前記物品授受部の上方を前記物品処理装置と前記物品授受部とが並ぶ並び方向と交差する経路長手方向に沿って設定され、
前記天井搬送車が、前記支持体の昇降により前記物品授受部の第1支持位置に物品を受け渡し自在で且つ前記支持体の昇降により前記物品授受部の第2支持位置から物品を受け取り自在に構成され、
前記第1支持位置及び前記第2支持位置と、前記物品処理装置が物品に対して処理を行う処理位置との間で物品を搬送する地上側搬送装置を備えて構成されている物品搬送設備であって、
前記第1支持位置と前記第2支持位置と前記処理位置とが、前記並び方向に沿って並ぶ状態で前記物品授受部に設定され、
前記天井搬送車が、前記第1支持位置の直上と前記第2支持位置の直上とに前記並び方向に沿って前記支持体を移動操作する移動操作手段を備えて構成されている物品搬送設備。 - 前記物品授受部が、前記経路長手方向に沿って複数並設されている請求項1記載の物品搬送設備。
- 前記並び方向において、前記処理位置と前記第2支持位置との間に前記第1支持位置が設定され、
前記天井搬送車及び前記地上側搬送装置の作動を制御する制御手段が設けられ、
前記制御手段が、前記天井搬送車にて前記第1支持位置に物品を受け渡した後、当該物品を前記地上側搬送装置にて前記第1支持位置から前記処理位置に搬送するとともに前記天井搬送車にて前記第2支持位置の物品を受け取り、その後、前記処理位置での処理が終了した物品を前記地上側搬送装置にて前記処理位置から前記第2支持位置に搬送するべく、前記天井搬送車及び前記地上側搬送装置の作動を制御するように構成されている請求項1又は2記載の物品搬送設備。 - 前記地上側搬送装置が、物品の底面における一部分を載置支持して前記並び方向に移動することで前記処理位置と前記第1支持位置との間で物品を搬送自在な処理側搬送台と、物品の底面における前記処理側搬送台にて載置支持されない部分を載置支持して前記並び方向に移動することで前記第1支持位置と前記第2支持位置との間で物品を搬送自在な授受側搬送台とを備え、前記処理側搬送台と前記授受側搬送台とが相対的に昇降移動することで前記処理側搬送台と前記授受側搬送台との間で物品を受け渡し自在に構成されている請求項3記載の物品搬送設備。
- 物品が、複数枚の基板を収納可能で且つ基板の出し入れ口を塞ぐ蓋が着脱自在に備えられている基板収納容器であって、
前記処理位置が、前記基板収納容器における蓋の開閉処理、及び、前記基板収納容器に対して基板を出し入れする出し入れ処理を行う位置である請求項1〜4のいずれか1項に記載の物品搬送設備。
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