CN103224106B - 物品运送设备 - Google Patents

Abstract

提供一种物品运送设备，由一台顶板运送车进行物品的交接，并且易于确保物品交接部的设置空间。顶板运送车（1）借助支承部（18）的升降向物品交接部（4）的第1支承位置（P1）交付物品（W），从第2支承位置（P2）接收物品（W）。地面侧运送装置（6）在两位置（P1、P2）与物品处理装置（3）对物品（W）进行处理的处理位置（P3）各自之间运送物品。在沿着物品处理装置（3）和物品交接部（4）排列的并列方向排列的状态下，在物品交接部4中设定各位置（P1、P2、P3）。顶板运送车（1）具有在第1支承位置（P1）的稍上方和第2支承位置（P2）的稍上方中沿着并列方向移动操作支承部（18）的移动操作机构（20）。

Description

物品运送设备

技术领域

本发明涉及一种物品运送设备，具有：顶板运送车，具有能够升降的支承部，设置在顶板侧；物品交接部，设置在地面侧；以及地面侧运送装置，在物品交接部和物品处理装置之间运送物品。

背景技术

在日本特开2008-244416号公报中，公开了一种物品运送设备，其构成为，在沿顶板运送车的行进方向排列的状态下在物品接受部中设定第1支承位置和第2支承位置，顶板运送车在停止于与第1支承位置对应的位置的状态下，向第1支承位置交付物品，顶板运送车在停止于与第2支承位置对应的位置的状态下，从第2支承位置接收物品。

在该物品运送设备中，在物品交接部中，以沿着顶板运送车的行进路径排列的状态设置有第1支承位置和第2支承位置。并且，在使顶板运送车停止于与第1支承位置对应的位置的状态下交付物品，之后，使顶板运送车行进至与第2支承位置对应的位置，并使其在停止于该位置的状态下接收物品。这样一来，在以往的物品运送设备中，构成为能够由顶板运送车向物品交接部交付物品之后，由该顶板运送车从物品交接部接收物品。

但是，若在沿着顶板运送车的行进路径排列的状态下设置第1支承位置和第2支承位置，则存在物品交接部在沿着顶板运送车的行进路径的路径长度方向上变长的倾向。例如，在对于沿路径长度方向并排设置的物品处理装置的各自设置物品交接部时等，也需要在路径长度方向上并排设置多个物品交接部。此时，若物品交接部在路径长度方向上变长，则难以确保设置空间。

发明内容

鉴于上述实际情况，希望提供一种物品运送设备，能够在由顶板运送车向物品交接部交付物品之后，由该顶板运送车从物品交接部接收物品，同时能够确保物品交接部的设置空间。

鉴于上述背景的本发明的物品运送设备的特征结构在于，具备：

顶板运送车，能够在由配设在顶板侧的行进轨道导向支承的状态下沿行进路径行进，并且具有能够支承物品而升降的支承部；

物品交接部，以与对物品进行预先规定的处理的物品处理装置邻接的状态，设置在地板侧，

上述顶板运送车的上述行进路径在上述物品交接部的上方沿与上述物品处理装置和上述物品交接部排列的并列方向交叉的路径长度方向设定，

上述顶板运送车构成为，借助上述支承部的升降向上述物品交接部的第1支承位置交付物品，且借助上述支承部的升降从上述物品交接部的第2支承位置接收物品，

还具备地面侧运送装置，在上述物品处理装置对物品进行上述处理的处理位置和上述第1支承位置之间、及上述处理位置和上述第2支承位置之间运送物品，

上述第1支承位置、上述第2支承位置和上述处理位置以沿着上述并列方向并排的状态被设定于上述物品交接部，

上述顶板运送车还具备移动操作机构，向上述第1支承位置的稍上方和上述第2支承位置的稍上方，沿着上述并列方向移动操作上述支承部。

根据该结构，在使顶板运送车在与物品交接部对应的位置处停止的状态、且使支承部由移动操作机构移动至第1支承位置的稍上方的状态下，通过使支承部升降能够向物品交接部的第1支承位置交付物品。并且，在使顶板运送车在与物品交接部对应的位置处停止的状态、且使支承部由移动操作机构移动至第2支承位置的正上方移动的状态下，通过使支承部升降能够从物品交接部的第2支承位置接收物品。这样地，能够由顶板运送车向物品交接部交付物品后，再由该顶板运送车从物品交接部接收物品。

并且，在沿着物品处理装置和物品交接部排列的并列方向排列的状态下，在物品交接部中设定第1支承位置、第2支承位置、处理位置。该并列方向是与路径长度方向交叉的路径宽度方向，因此能够缩短物品交接部的路径长度方向中的长度。例如，在对沿路径长度方向并排设置的物品处理装置的各自设置物品交接部时等，需要在路径长度方向上也并排设置多个物品交接部。根据本结构，此时，能够将物品交接部在路径长度方向中缩短地构成，因此易于确保物品交接部的设置空间。

以下举例表示本发明的各种实施方式。作为一个实施方式，优选沿着上述路径长度方向并排设置多个本发明的物品运送设备的上述物品交接部。例如，在沿着路径长度方向并排设置多个物品处理装置、对该多个物品处理装置的各自设置物品交接部时，或者，在对物品处理装置设置多个物品交接部时，需要沿路径长度方向并排设置多个物品交接部。根据本实施方式，此时，由于物品交接部能够在路径长度方向上缩短，因此易于确保物品交接部的设置空间。

本发明的物品运送设备中，作为一个实施方式，优选还具备控制部，控制上述顶板运送车及上述地面侧运送装置的动作，在上述并列方向中，在上述处理位置和上述第2支承位置之间设定上述第1支承位置，上述控制部控制上述顶板运送车及上述地面侧运送装置的动作，使得由上述顶板运送车向上述第1支承位置交付物品，然后由上述地面侧运送装置将该物品从上述第1支承位置运送至上述处理位置，并由上述顶板运送车接收上述第2支承位置的物品，此后，由上述地面侧运送装置将在上述处理位置的处理结束后的物品从上述处理位置运送至上述第2支承位置。

即，在并列方向中，在处理位置和第2支承位置之间设置有第1支承位置，因此即使在第2支承位置处具有物品，也能够由地面侧运送装置将物品从第1支承位置运送至处理位置。即，顶板运送车向第1支承位置交付物品之后，顶板运送车从第2支承位置接收物品之前，地面侧运送装置能够将第1支承位置的物品向着处理位置开始运送。由此，能够高效地进行借助顶板运送车的物品的交接和借助地面侧运送装置的物品的运送。

本发明的物品运送设备中，作为一个实施方式，优选构成为，上述地面侧运送装置具备：处理侧运送台，载置支承物品的底面中的一部分，并沿上述并列方向移动，从而在上述处理位置和上述第1支承位置之间运送物品；以及交接侧运送台，载置支承物品的底面中的未被上述处理侧运送台载置支承的部分，沿上述并列方向移动，从而在上述第1支承位置和上述第2支承位置之间运送物品，上述处理侧运送台和上述交接侧运送台相对升降移动，从而在上述处理侧运送台和上述交接侧运送台之间交接物品。

根据这样的结构，在由交接侧运送台载置支承物品而使该物品位于第2支承位置的状态下，能够由处理侧运送台载置支承从顶板运送车向第1支承位置交付的物品，并且，能够由处理侧运送台将该物品向处理位置运送。并且，在顶板运送车接收了第2位置的物品后，由处理侧运送台将物品从处理位置运送至第1支承位置，在使处理侧运送台及交接侧运送台位于第1支承位置的状态下使交接侧运送台对于处理侧运送台相对地上升移动，从而能够将物品从处理侧运送台向交接侧运送台交付，能够由交接侧运送台将物品从第1支承位置运送至第2支承位置。从而，作为支承物品的台，只要设置处理侧运送台和交接侧运送台即可，与例如在第1支承位置及第2支承位置的各自上设置支承物品的固定支承台、进而设置从第1支承位置的固定支承台向处理位置运送物品的运送台、及从处理位置向第2支承位置的固定支承台运送物品的运送台的情况相比，能够实现地面侧运送装置的结构的简化。

本发明的物品运送设备中，作为一个实施方式，优选物品是能够收纳多张基板、且拆装自如地具备封住基板的进出口的盖的基板收纳容器，上述处理位置是进行上述基板收纳容器的盖的开闭处理、及使基板相对于上述基板收纳容器进出的进出处理的位置。根据该结构，能够在由顶板运送车向物品交接部交付基板收纳容器后，由该顶板运送车从物品交接部接收物品，并且，能够缩短物品交接部的路径长度方向中的长度。因此，即使在例如在路径长度方向上并排设置进行盖的开闭处理或基板的进出处理的物品处理装置，对该物品处理装置的各自设置物品交接部时等，也能够在路径长度方向上缩短物品交接部，因此易于确保物品交接部的设置空间。

附图说明

图1是物品运送设备的横侧视图。

图2是表示顶板运送车向第1支承位置交付物品的状态的主视图。

图3是表示顶板运送车从第2支承位置接收物品的状态的主视图。

图4是表示顶板运送车在与保管架之间交接物品的状态的主视图。

图5A～5D是物品的运送作用侧视图。

图6A～6D是物品的运送作用俯视图。

图7是表示其他实施方式中的顶板运送车在与保管架之间交接物品的状态的主视图。

附图标记说明：

1…顶板运送车

2…行进轨道

3…处理装置（物品处理装置）

4…容器交接部（物品交接部）

8…基板

9…基板收纳容器

11…盖

18…支承机构（支承部）

20…滑动操作机构（移动操作机构）

23…处理侧运送台

24…交接侧运送台

P1…第1支承位置

P2…第2支承位置

P3…处理位置

W…物品

X…路径宽度方向

Y…路径长度方向。

具体实施方式

以下根据附图说明本发明的实施方式。如图1～图4所示，在物品运送设备上设置有：顶板运送车1，以被配设在顶板侧的行进轨道2引导支承的状态沿着行进路径行进自如；作为物品交接部的容器交接部4，在与作为对物品进行预先规定的处理（规定处理）的物品处置装置的处理装置3邻接的状态下，设置在地板侧；以及保管架5，被垂吊支承于顶板，能够保管多个物品W。此外，有时将沿着行进路径的方向称为路径长度方向，将与前后方向（路径长度方向Y）垂直的水平方向称为路径宽度方向X。

如图2所示，物品W是能够收纳多张基板8且拆装自如地配备有由封住基板8的进出口的盖11的基板收纳容器9，在本实施方式中，基板8是半导体晶片，收容该半导体晶片的FOUP（Front Opening Unified Pod）为基板收纳容器9。处理装置3例如是进行作为物品W的基板收纳容器9中所收纳的基板8（半导体晶片）的检查、加工等处理的装置，规定处理是指例如检查处理或加工处理。

基板收纳容器9构成为具备：具有用于使基板8进出的开口的外壳10、以及关闭外壳10的开口的拆装自如的盖11。并且，在外壳10的上表面形成有由顶板运送车1的支承机构18（支承部）支承的上凸缘12，在外壳10的底面具备被卡合部13，其与设置在容器交接部4上的地面侧运送装置6的定位突起25卡合（参照图6A等）。

处理装置3构成为进行基板收纳容器9的盖11的开闭处理、对基板收纳容器9的基板8的进出处理、以及对于取出的基板8的加工及清洗等的各种处理，构成为对于基板收纳容器9及从其中取出的基板8进行处理。在该处理装置3中，如图1所示，在沿着路径长度方向Y排列的状态下，设置有多个在使基板收纳容器9密接的状态下将盖11开闭、且令基板8进出的处理口7。对于处理口7的各自设置容器交接部4，沿着路径长度方向Y并排设置多个容器交接部4。

[顶板运送车]

如图2～图4所示，顶板运送车1升降自如地具备支承物品W的支承机构18（支承部），构成为借助支承机构18的升降将基板收纳容器9向容器交接部4的第1支承位置P1交付自如，且借助支承机构18将基板收纳容器9从容器交接部4的第2支承位置P2接收自如。此外，有时将沿着支承机构18升降方向的方向称为升降方向Z。升降方向Z是与上述路径长度方向Y及路径宽度方向X大致垂直的方向。

如图1所示，顶板运送车1构成为具备：行进部15，在行进轨道2上沿着行进路径行进；以及本体部16，以位于行进轨道2的下方的方式被垂吊支承于行进部15，且能够升降移动地支承基板收纳容器9。该本体部16构成为具备：支承机构18，作为支承物品W的支承部；升降操作机构19，使支承机构18升降移动；作为移动操作机构的滑动操作机构20，使升降操作机构19及支承机构18向行进部15的正下方的引退位置、及相对于行进部15在路径宽度方向X上偏移的突出位置滑动移动；以及罩体21，覆盖由支承机构18支承的基板收纳容器9的上方侧及路径前后侧。

在支承机构18上，具备绕横轴心摆动自如的一对把持爪18a。一对把持爪18a构成为使把持爪18a的姿态在把持基板收纳容器9的上凸缘12的把持姿态、和解除对于上凸缘12的把持的解除姿态之间姿态变更自如。升降操作机构19将在尖端部连结支承着支承机构18的卷收带19a构成为卷收及放出自如，通过对卷收带19a进行卷收及放出操作而使支承机构18及被其支承的基板收纳容器9升降移动。

如图2～图4所示，滑动操作机构20构成为连结支承升降操作机构19的支承体20a沿着路径宽度方向X滑动移动自如。通过使支承体20a在路径宽度方向X上滑动移动，支承机构18及被其支承的基板收纳容器9能够移动至位于行进轨道2的稍下方且第1支承位置P1的稍上方的引退位置（参照图2）、和令支承机构18及被其支承的基板收纳容器9相对于行进轨道2位于路径宽度方向X的一方侧且位于第2支承位置P2的稍上方的突出位置（参照图3及图4）。这样地，滑动操作机构20构成为，沿着路径宽度方向X将支承机构18移动操作至第1支承位置P1的稍上方和第2支承位置P2的稍上方。

在容器交接部4的上方，沿着与处理装置3和容器交接部4排列的路径宽度方向X（并列方向）交叉的路径长度方向Y设定顶板运送车1的行进路径。顶板运送车1的行进路径（行进轨道2）位于容器交接部4的第1支承位置P1的正上方。另外，顶板运送车1行进移动时，为卷收带19a被卷收且使支承体20a滑动移动至引退位置的行进用状态。并且，在行进用状态中，运送基板收纳容器9时，用于把持基板收纳容器9的把持爪18a成为把持姿态，不运送基板收纳容器9时，把持爪18a成为解除姿态。

如图2所示，顶板运送车1的动作由作为控制部的控制装置H控制，控制装置H构成为为了执行向第1支承位置P1交付基板收纳容器9的交付处理、和从第2支承位置P2接收基板收纳容器9的接受处理，控制顶板运送车1的动作。在交付处理中，如图2所示，在使支承基板收纳容器9的顶板运送车1停止在与容器交接部4对应的停止位置的状态下，放出卷收带19a，然后使把持爪18a姿态变更为解除姿态，向第1支承位置P1交付基板收纳容器9，然后将卷收带19a卷收。并且，在接收处理中，如图3所示，在使未支承基板收纳容器9的顶板运送车1停止在与容器交接部4对应的停止位置的状态下，使支承体20a滑动移动至突出位置，放出卷收带19a，然后使把持爪18a姿态变更为把持姿态，从第2支承位置P2接收基板收纳容器9，之后，将卷收带19a卷收，使支承体20a滑动移动至引退位置。

并且，控制装置H构成为为了执行将基板收纳容器9放入保管架5中的保管处理、和将基板收纳容器9从保管架5取出的取出处理，控制顶板运送车1的动作。如图4所示，取出处理除了在使顶板运送车1停止在与保管架5的收纳位置对应的停止位置的状态下进行这一点、及卷收带19a的放出及卷收量不同这一点以外，与接收处理是一样的。并且，保管处理通过按相反的顺序执行取出处理而进行。另外，容器交接部4和保管架5在路径长度方向Y中设置于不同的位置。此外，对于行进轨道2在路径宽度方向X中在相同一侧且以相同距离设定容器交接部4中的第2支承位置P2和保管架5中的支承基板收纳容器9的位置。

[容器交接部]

如图2～图4所示，容器交接部4在与处理装置3邻接的状态下设置在地板侧。在容器交接部4中，设定有从顶板运送车1接收基板收纳容器9的第1支承位置P1、向顶板运送车1交付基板收纳容器9的第2支承位置P2、及处理装置3对于基板收纳容器9进行预先规定的处理（规定处理）的处理位置P3。这些第1支承位置P1、第2支承位置P2、及处理位置P3沿着路径宽度方向X以在一条直线上排列的状态设定在容器交接部4中，第1支承位置P1设定在处理位置P3和第2支承位置P2之间。并且，在使基板收纳容器9位于处理位置P3的状态下，处理装置3将该基板收纳容器9的盖11开闭、且使基板8相对于基板收纳容器9进出，处理位置P3成为进行开闭处理和进出处理的位置。

并且，第1支承位置P1和处理位置P3以下述方式设定：在将基板收纳容器9配置于第1支承位置P1及处理位置P3时，在路径宽度方向X中（在沿着升降方向Z及路径长度方向Y的方向看），基板收纳容器9重叠。在此，所谓“重叠”，是指在沿着升降方向Z（路径长度方向Y）的方向看，配置在该位置（P1及P3）的基板收纳容器9的一部分或整体重合的状态。通过这样地设定第1支承位置P1和处理位置P3，实现容器交接部4的在路径宽度方向X中的大小的紧凑化。此外，在此，表示了在沿着升降方向Z及路径长度方向Y的方向看重叠的例子，但只要是以至少沿着升降方向Z的方向看重叠的方式设定两位置（P1、P3），就能够抑制容器交接部4的在路径宽度方向X中的大小。

并且，第1支承位置P1和第2支承位置P2如下地设定：在将基板收纳容器9配置于第1支承位置P1及第2支承位置P2时，在路径宽度方向X中（在沿着升降方向Z及路径长度方向Y的方向看），基板收纳容器9不重叠。在此，所谓“不重叠”，是指在沿着升降方向Z（路径长度方向Y）的方向看，配置于该位置（P1及P2）的基板收纳容器9一部分也不重合的状态。由此，构成为在第2支承位置P2上载置支承有其他基板收纳容器9的状态下，从顶板运送车1将基板收纳容器9向第1支承位置P1接收自如。此外，在此表示了在沿着升降方向Z及路径长度方向Y的方向看不重叠的例子，但只要是以至少在沿着升降方向Z的方向看不重叠的方式设定两位置（P1、P2），就能够在第2支承位置P2上载置支承有一个基板收纳容器9的状态下在第1支承位置P1中从顶板运送车1接收与该基板收纳容器9不同的容器。

在容器交接部4中具备在第1支承位置P1、第2支承位置P2、及处理位置P3之间运送基板收纳容器9的地面侧运送装置6。该地面侧运送装置6构成为具备：处理侧运送台23，载置支承基板收纳容器9的底面中的一部分，沿路径宽度方向X移动，从而在处理位置P3和第1支承位置P1之间运送基板收纳容器9；以及交接侧运送台24，载置支承基板收纳容器9的底面中的未被处理侧运送台23载置支承的部分，沿路径宽度方向X移动，从而在第1支承位置P1和第2支承位置P2之间运送基板收纳容器9，通过处理侧运送台23和交接侧运送台24相对地升降移动而能够在处理侧运送台23和交接侧运送台24之间交接基板收纳容器9。

若对地面侧运送装置6加以说明，则如图6A等所示，处理侧运送台23形成为从矩形切下一部分而成的形状，交接侧运送台24形成为在处理侧运送台23及交接侧运送台24位于第1支承位置P1的状态下收入在处理侧运送台23的缺口中的形状。由此，交接侧运送台24构成为能够载置支承基板收纳容器9的底面中未由处理侧运送台23载置支承的部分。并且，在处理侧运送台23中的缺口的周围部、及交接侧运送台24的外周缘部的各自上，在三处设置有作为与基板收纳容器9的被卡合部13卡合的活动销的定位突起25。构成为三处的定位突起25与基板收纳容器9的被卡合部13卡合，从而基板收纳容器9被定位在各运送台23、24上的规定位置。

如图5A～图5D及图6A～图6D所示，地面侧运送装置6向第1支承位置P1和处理位置P3水平移动自如地配备处理侧运送台23。通过使处理侧运送台23从第1支承位置P1移动至处理位置P3，将载置支承在处理侧运送台23上的基板收纳容器9从第1支承位置P1运送至处理位置P3。并且，通过使处理侧运送台23从处理位置P3移动至第1支承位置P1，将载置支承在处理侧运送台23上的基板收纳容器9从处理位置P3运送至第1支承位置P1。

并且，地面侧运送装置6向第1支承位置P1和第2支承位置P2水平移动自如地配备交接侧运送台24。通过使交接侧运送台24从第1支承位置P1移动至第2支承位置P2，将载置支承在交接侧运送台24上的基板收纳容器9从第1支承位置P1运送至第2支承位置P2。

并且，交接侧运送台24构成为升降移动自如。在处理侧运送台23及交接侧运送台24位于第1支承位置P1的状态下，通过使交接侧运送台24相对于处理侧运送台23上升移动，能够从处理侧运送台23向交接侧运送台24交付基板收纳容器9。即，地面侧运送装置6构成为由处理侧运送台23将基板收纳容器9从处理位置P3运送至第1支承位置P1，然后使交接侧运送台24上升移动，从处理侧运送台23向交接侧运送台24交付基板收纳容器9，然后由交接侧运送台24将基板收纳容器9从第1支承位置P1运送至第2支承位置P2，将基板收纳容器9从处理位置P3运送至第2支承位置P2。

如图2所示，控制装置H构成为除了控制顶板运送车1的动作还控制地面侧运送装置6的动作。如图5A～图5D所示，控制装置H构成为控制顶板运送车1及地面侧运送装置6的动作，使得由顶板运送车1向第1支承位置P1交付基板收纳容器9，然后将该基板收纳容器9由地面侧运送装置6从第1支承位置P1运送至处理位置P3，且由顶板运送车1接收第2支承位置P2的基板收纳容器9，然后将处理位置P3中的处理结束了的基板收纳容器9由地面侧运送装置6从处理位置P3运送至第2支承位置P2。

接着，对在基板收纳容器9被支承于位于容器交接部4的第2支承位置P2的交接侧运送台24的状态下顶板运送车1与容器交接部4之间交接基板收纳容器9时的、借助控制装置H的顶板运送车1及地面侧运送装置6的动作的控制加以说明。

首先，如图5A所示，执行交付处理，从顶板运送车1向位于第1支承位置P1的处理侧运送台23上交付基板收纳容器9。然后如图5B所示，接着执行接收处理，顶板运送车1接收位于第2支承位置P2的交接侧运送台24上的基板收纳容器9。

并且，在向处理侧运送台23上交付基板收纳容器9后的交付处理的执行中（卷收带19a的卷收中）、或之后的接收处理的执行中，如图5B及图6B所示，使处理侧运送台23移动，使基板收纳容器9从第1支承位置P1移动至处理位置P3。在基于处理装置3的对基板收纳容器9的处理（规定处理）结束之后，如图5C、图5D及图6C、图6D所示，使处理侧运送台23及交接侧运送台24移动，将基板收纳容器9从处理位置P3移动至第2支承位置P2。

这样地，在顶板运送车1上具备滑动操作机构20，该滑动操作机构沿着路径宽度方向X移动操作支承机构18以使支承机构18位于第1支承位置P1的稍上方、及第2支承位置P2的稍上方，并且，第1支承位置P1、第2支承位置P2、及处理位置P3以沿着路径宽度方向X排列的状态设定于容器交接部4。由此，在由顶板运送车1向容器交接部4交付基板收纳容器9后，能够由该顶板运送车1从容器交接部4接收基板收纳容器9，同时，即使处理装置3的在路径长度方向Y中的大小小时，也易于确保容器交接部4的设置空间。

[其他实施方式]

（1）在上述实施方式中，表示了在路径宽度方向X中将保管架5相对于行进轨道2设置在与第2支承位置P2相同一侧的实例。但是，也可以如图7所示，在路径宽度方向X中，将保管架5相对于行进轨道2设置在与第2支承位置P2不同的一侧。并且，保管架5也可以在路径宽度方向X中，设置在与第2支承位置P2相同侧和不同侧两侧。这种情况下，滑动操作机构20优选构成为能够将支承体20a在除了引退位置和突出位置处，还能够向另一方侧突出位置移动。所谓另一方侧突出位置，是支承机构18及被其支承的基板收纳容器9相对于行进轨道2位于路径宽度方向X的另一方侧的位置。并且，也可以将保管架5设置在行进轨道2的稍下方且物品交接部的稍上方，以便不成为基于顶板运送车1的物品W的运送、及基于地面侧运送装置6的物品W的运送的阻碍的方式，。

（2）在上述实施方式中，表示了地面侧运送装置6的实例，其构成为具备：处理侧运送台23，向第1支承位置P1和处理位置P3移动自如；以及交接侧运送台24，向第1支承位置P1和第2支承位置P2移动自如。但是，地面侧运送装置6也可以具备：支承台（上述实施方式中交接侧运送台24），构成为，支承位于第2支承位置P2的物品W；以及运送机构（上述实施方式中由处理侧运送台23和交接侧运送台24构成），在物品W存在于第2支承位置P2的状态下，将物品W从第1支承位置P1向处理位置P3运送自如地，且在第1支承位置P1及第2支承位置P2的任意一个上都不存在物品W的状态下，将物品W从处理位置P3向第2支承位置P2运送自如。若举出具体实例，则也可以例如将地面侧运送装置6构成为，将载置支承物品W的固定支承台设置在第2支承位置P2，并设置将物品W从第1支承位置P1向处理位置P3运送自如、且从处理位置P3向固定支承台上交付自如的运送台。

（3）在上述实施方式中，将行进轨道2设置在第1支承位置P1的稍上方，但行进轨道2也可以被设置在第2支承位置P2稍上方。并且，行进轨道2也可以分别被设置在第1支承位置P1的稍上方和第2支承位置P2的稍上方的各自上，平行地设置两个路径。

（4）在上述实施方式中，在处理位置P3和第2支承位置P2之间设定了第1支承位置P1，但也可以将处理位置P3和第1支承位置P1在沿路径宽度方向X离开的状态下设定，在这些处理位置P3和第1支承位置P1之间设定第2支承位置P2。

（5）在上述实施方式中，对于处理装置3（物品处理装置）设置多个物品交接部，从而沿着路径长度方向Y并排设置多个物品交接部，但也可以沿着路径长度方向Y并排设置多个物品处理装置，并对于该多个物品处理装置的各自设置物品交接部，从而沿着路径长度方向Y设置多个物品交接部。并且，沿着路径长度方向Y并排设置多个物品交接部，但也可以在使其在路径长度方向Y上分散的状态下设置多个物品交接部。此外，在设置单个物品交接部的情况中，即使物品交接部的设置被限于物品处理装置的路径长度方向的宽度内的情况下，也易于确保物品交接部的设置空间。

Claims (5)

1.一种物品运送设备，具备：

顶板运送车，能够以被配设在顶板侧的行进轨道引导支承的状态沿行进路径行进，且具有能够支承物品而升降的支承部；

物品交接部，以与对物品进行预先规定的处理的物品处理装置邻接的状态设置在地板侧，

上述顶板运送车的上述行进路径在上述物品交接部的上方被沿下述路径长度方向设定，所述路径长度方向与上述物品处理装置和上述物品交接部排列的并列方向交叉，

上述顶板运送车构成为借助上述支承部的升降向上述物品交接部的第1支承位置交付物品，且借助上述支承部的升降从上述物品交接部的第2支承位置接收物品，

还具备地面侧运送装置，在上述物品处理装置对物品进行上述处理的处理位置和上述第1支承位置之间、及上述处理位置和上述第2支承位置之间运送物品，

上述第1支承位置、上述第2支承位置、上述处理位置以沿上述并列方向并排的状态被设定于上述物品交接部，

上述顶板运送车具备移动操作机构，向上述第1支承位置的稍上方和上述第2支承位置的稍上方沿上述并列方向移动操作上述支承部，

还具备控制部，控制上述顶板运送车及上述地面侧运送装置的动作，

在上述并列方向中，在上述处理位置和上述第2支承位置之间设定上述第1支承位置，

上述控制部如下所述地控制上述顶板运送车及上述地面侧运送装置的动作：

上述顶板运送车在上述第1支承位置处交付物品；

之后，上述地面侧运送装置将该物品从上述第1支承位置运送至上述处理位置，并且上述顶板运送车在上述第2支承位置处接收物品；

之后，上述地面侧运送装置将在上述处理位置处的处理结束了的物品从上述处理位置运送至上述第2支承位置。

2.如权利要求1所述的物品运送设备，其特征在于，沿着上述路径长度方向并排设置多个上述物品交接部。

3.如权利要求1或2所述的物品运送设备，其特征在于，

上述地面侧运送装置构成为具备：处理侧运送台，载置支承物品的底面中的一部分，在上述并列方向上移动，从而在上述处理位置和上述第1支承位置之间运送物品；以及交接侧运送台，载置支承物品的底面中未被上述处理侧运送台载置支承的部分，在上述并列方向上移动，从而在上述第1支承位置和上述第2支承位置之间运送物品，上述处理侧运送台和上述交接侧运送台相对地升降移动，从而在上述处理侧运送台和上述交接侧运送台之间交接物品。

4.如权利要求1或2所述的物品运送设备，其特征在于，

物品是能够收纳多张基板且拆装自如地具备封住基板的进出口的盖的基板收纳容器，

上述处理位置是进行上述基板收纳容器的盖的开闭处理、及使基板相对于上述基板收纳容器进出的进出处理的位置。

5.如权利要求3所述的物品运送设备，其特征在于，

物品是能够收纳多张基板且拆装自如地具备塞住基板的进出口的盖的基板收纳容器，

上述处理位置是进行上述基板收纳容器的盖的开闭处理、及使基板相对于上述基板收纳容器进出的进出处理的位置。