KR102535629B1 - 이송 설비, 이송 방법 - Google Patents

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Abstract

증착 장치(80)에 카세트(90)를 이송하는 이송 설비(10)이며, 수하대((30)와, 이송기(20)를 구비하고, 수하대(30)와 이송기(20)와 증착 장치(80)의 로드 포트(83)가 평면시(平面視)에서 겹치는 위치에 배치되고, 이송기(20)는 카세트(90)를 수하대(30)와 증착 장치(80)의 로드 포트(83) 사이에서 승강 이동시키도록 구성되고, 수하대(30)는, 이송기(20)가 수하대(30)에 대해서 카세트(90)를 반출 또는 반입할 때에는, 카세트(90)의 승강 경로 상에 위치하고, 이송기(20)에 의해서 카세트(90)가 승강할 때에는, 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.

Description

이송 설비, 이송 방법{TRANSFER FACILITY, TRANSFER METHOD}
본 발명은, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비 및 용기의 이송 방법에 관한 것이다.
상기 이송 설비로서는, 예를 들면, 처리 장치인 챔버에 기판을 수용한 카세트(용기)를 이송하는 설비가 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1의 이송 설비에 있어서는, 반송대차 유닛에 의해서 반송되는 카세트를 카세트 반송 유닛이 설비 내로 반입하고, 카세트 반송 유닛에 의해 반입된 카세트를 카세트 이송 유닛(이송기)이 챔버에 이송한다. 혹은 챔버에 이송된 카세트를 카세트 이송 유닛이 받아들이고, 카세트 이송 유닛이 받아들인 카세트를 카세트 반송 유닛이 반송대차 유닛으로 반출한다.
카세트 반송 유닛이 반송대차 유닛으로부터 반입한 카세트는, 카세트 이송 유닛에 의해서 챔버에 이송되기 전에, 챔버의 위쪽에 마련되는 지지 가대(架台)((수하대(荷受台))에 놓인다. 마찬가지로, 카세트 이송 유닛이 챔버로부터 받아들인 카세트는, 카세트 반송 유닛에 의해서 반송대차 유닛에 이송되기 전에 지지 가대에 놓인다.
카세트 이송 유닛은, 카세트를 위쪽으로부터 파지하여 승강 이동시키는 것에 의해, 지지 가대에 놓인 카세트를 챔버에 이송하고, 혹은 챔버로부터 받아들인 카세트를 지지 가대에 놓인다.
한국등록특허공보 제10-1511963호
그렇지만, 상기와 같은 이송 설비에 있어서는, 카세트 이송 유닛(이송기)이 카세트(용기)를 파지하여 승강 이동시킬 때에, 카세트(용기)가 지지 가대(수하대)에 간섭하기 때문에, 지지 가대(수하대)와의 간섭을 피하기 위해서, 카세트(용기)를 선회시키는 등의 동작이 필요하게 된다. 그 때문에, 지지 가대(수하대)와 챔버(처리 장치) 사이의 카세트(용기)의 이송에 시간을 필요로 한다는 문제가 있었다. 또, 카세트 이송 유닛(이송기)이, 상기 동작을 행함으로써, 카세트(용기)를 위치결정된 상태로 보존유지할 수가 없어, 카세트 이송 유닛(이송기)의 이송 정밀도가 나빠진다는 문제점이 있었다.
그래서, 본 발명은, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비에 있어서, 처리 장치의 로드 포트와, 처리 장치의 로드 포트의 위쪽에 마련되는 수하대 사이의 용기의 이송을 효율 좋게 행하는 것이 가능한 이송 설비 및 이송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 해결하려고 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.
즉, 본 발명의 이송 설비는, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 상기 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비로서, 상기 처리 장치의 위쪽에 마련되는 수하대와, 상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 상기 용기를 반송하는 이송기를 구비하고, 상기 수하대와 상기 이송기와 상기 처리 장치의 로드 포트가 평면시(平面視)에서 서로 겹치는 위치에 배치되고, 상기 이송기는, 상기 수하대에 대해서 상기 용기를 반출 또는 반입하고, 반출 또는 반입하는 용기를 상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 승강 이동시키도록 구성되고, 상기 수하대는, 상기 이송기가 상기 수하대에 대해서 상기 용기를 반출 또는 반입할 때에는, 상기 용기의 승강 경로 상에 위치하고, 상기 이송기에 의해서 상기 용기가 승강할 때에는, 상기 용기의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.
상기 구성에서는, 수하대가, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 용기의 승강 경로 상과, 용기의 승강 경로를 피하는 위치 사이를 이동한다.
본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 수하대는, 상기 용기의 승강 경로에 대해서 직교하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.
상기 구성에서는, 수하대가, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 용기의 승강 경로에 대해서 직교하는 방향으로 이동한다.
본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 수하대는, 상기 용기를 놓는 복수의 장착부를 구비하고, 상기 복수의 장착부는, 서로 떨어지는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.
상기 구성에서는, 복수의 장착부가, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 서로 떨어지는 방향으로 이동한다.
본 발명의 이송 설비는, 상기 이송 설비에 있어서, 상기 수하대에 있어서의 상기 용기의 위치결정을 행하는 위치결정 장치를 구비하고, 상기 위치결정 장치는, 상기 이송기에 의해서 상기 용기가 승강할 때에, 상기 용기의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것이다.
상기 구성에서는, 위치결정 장치는, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 용기의 위치결정을 행하는 위치와, 용기의 승강 경로를 피하는 위치 사이를 이동한다.
본 발명의 이송 방법은, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 상기 물품을 수용한 용기를 이송하는 용기의 이송 방법으로서, 상기 처리 장치의 위쪽에 마련되는 수하대와, 상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 상기 용기를 승강 반송하는 이송기와, 상기 처리 장치의 로드 포트를 평면시에서 서로 겹치는 위치에 배치하고, 상기 수하대에 지지된 용기를, 상기 이송기에 의해서 상기 수하대로부터 반출하고, 상기 수하대를 상기 이송기의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동시키는 것에 의해, 상기 수하대로부터 반출한 용기를 상기 이송기가 승강 이동시키는 방법이다.
상기 방법에서는, 수하대가, 이송기에 의한 용기의 승강 이동에 따라서, 용기의 승강 경로 상과, 용기의 승강 경로를 피하는 위치 사이를 이동한다.
본 발명의 이송 설비 및 용기의 이송 방법에 의하면, 수하대와 처리 장치의 로드 포트 사이에서 용기를 승강 이동시킬 때에, 수하대가 용기의 승강 경로를 피하는 위치로 이동하고 있기 때문에, 용기가 수하대에 간섭하는 일이 없다(용기가 수하대에 접촉하는 일이 없다). 그 때문에, 수하대와의 간섭을 피하기 위해서, 이송기에 의한 용기의 승강 이동 시에 용기를 선회시키는 등의 동작이 불필요하게 되고, 수하대와 처리 장치의 로드 포트 사이의 용기의 이송을 효율 좋게 행할 수가 있다. 또, 이송기가 상기 동작을 행할 필요가 없기 때문에, 이송기가 용기를 위치결정된 상태로 보존유지할 수가 있고, 이송기의 이송 정밀도를 향상시킬 수가 있다.
도 1은 본 발명에 관계된 이송 설비의 평면도이다.
도 2는 같은 이송 설비의 정면도이다.
도 3a는 같은 이송 설비에 있어서 카세트가 수하대 상에 놓이는 경우의 평면도이다.
도 3b는 같은 이송 설비에 있어서 카세트가 이송기에 의해 승강하는 경우의 평면도이다.
도 4는 같은 이송 설비에 있어서의 플로팅 유닛의 측면 단면도이다.
도 5는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 반송대차로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 측면 단면도이다.
도 6a는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입하기 전의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 6b는 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입하기 전의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 7은 같은 이송 설비에 있어서의 포크 유닛이 이송 설비로 카세트를 반입할 때의 개략을 나타내는 측면 단면도이다.
도 8a는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 수하대로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 8b는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 수하대로부터 카세트를 반출할 때의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 9는 같은 이송 설비에 있어서의 이송기가 증착 장치의 로드 포트에 카세트를 이송할 때의 개략을 나타내는 정면 단면도이다.
본 발명에 관계된 이송 설비(10)에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는, 반도체 제품 혹은 액정 표시 소자 제품의 아직 완성되지 않은 제품인 기판(91)(「물품」의 1예)에 대해서 증착 처리를 행하는 증착 장치(80)(「처리 장치」의 1예)에 부설되는 설비로서, 판모양체(板狀體)의 기판(91)을 수용한 카세트(90)(「용기」의 1예)를 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송하는 것이다. 이송 설비(10)에 있어서는, 이송 설비(10)로 반입되는 카세트(90)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송됨과 함께, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)로부터 반출된 카세트(90)가 이송 설비(10)의 외부로 반출된다.
이송 설비(10)에 있어서 반송되는 카세트(90)는, 그의 한쪽 측면 혹은 양측면이 개구(開口)된 대략 상자형(箱型) 형상의 부재에 의해 형성된다. 카세트(90)는, 그의 내부에 복수의 기판(91)을 수용 가능하게 되어 있다. 카세트(90)는, 그의 상부에 후술하는 이송기(20)에 계지되는 플랜지부(92)가 복수 형성되어 있다. 플랜지부(92)는 카세트(90)의 상면으로부터 돌출하여 마련되는 갈고리모양(鉤狀)의 부재에 의해 구성된다. 플랜지부(92)는, 카세트(90)의 상면의 복수 개소에 마련된다.
이송 설비(10)는, 증착 장치(80)의 위쪽에 부설되어 있다. 이송 설비(10)가 부설되는 증착 장치(80)는, 장치 전체가 장치 케이스(81)에 의해 덮여 있다. 장치 케이스(81)는, 그의 내부에 증착 장치(80)를 격납 가능한 내부 공간을 가진다. 장치 케이스(81)는, 그의 상부에, 카세트(90)를 내부로 반송하기 위한 카세트 반입구(82)가 형성되어 있다.
장치 케이스(81)는, 그의 내부 공간에 있어서 카세트(90)를 놓기 위한 로드 포트(83)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 로드 포트(83)는, 카세트 반입구(82)의 바로 밑(후술하는 이송기(20)의 바로 밑으로서, 이송기(20)에 의해서 승강하는 카세트(90)의 승강 경로 상)에 마련되어 있다.
이송 설비(10)의 옆쪽으로서 증착 장치(80)의 위쪽에는, 카세트(90)를 이송 설비(10)에 대해서 반송하는 포크 유닛(40)이 마련되어 있다. 즉, 카세트(90)는, 증착 장치(80)의 위쪽으로서, 이송 설비(10)의 옆쪽으로부터 반입 또는 반출된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 놓아 수평 방향으로 출퇴(出退) 이동시키는 것이다. 포크 유닛(40)은, 대차(台車) 주행 레일(85)을 따라 주행하는 반송대차(86)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출한 카세트(90)를 이송 설비(10)로 반입한다. 또, 포크 유닛(40)은, 이송 설비(10)로부터 카세트(90)를 반출하고, 반출한 카세트(90)를 반송대차(86)에 이송한다.
포크 유닛(40)은, 그의 상면에 카세트(90)를 놓기 위한 장착면(41a)을 가지는 포크(41)와, 포크(41)를 수평 방향으로 출퇴 이동시키기 위한 굴신식(屈伸式, bending and stretching type) 암(42)과, 굴신식 암(42)을 선회하는 선회대(43)로 주로 구성되어 있다.
포크(41)는, 카세트(90)를 놓아 이송할 수 있는 대략 장방(長方, 직사각형) 형상의 판으로 구성된다. 포크(41)는, 굴신식 암(42)을 굴신시키는 것에 의해서, 반송대차(86) 혹은 이송 설비(10)(수하대(30))에 대해서 출퇴 이동을 행한다.
굴신식 암(42)은, 한쌍의 암을 신장시키는 것에 의해, 반송대차(86)에 대해서 카세트(90)의 반출 또는 반입을 행하기 위한 반출입 위치(45), 혹은 포크 유닛(40) 및 이송기(20)가 수하대(30)에 대해서 카세트(90)의 반입 또는 반출을 행하기 위한 카세트 반출입 위치(11)까지 포크(41)를 수평 이동시킨다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 포크 유닛(40)의 양옆쪽에는, 카세트(90)를 일시적으로 보관하기 위한 버퍼 스테이션(95)이 마련되어 있다. 버퍼 스테이션(95)에는, 카세트(90)를 놓기 위한 장착대(96)가 마련되어 있다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는, 그의 하부에, 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 대해서 카세트(90)를 반출하기 위한 카세트 반출구(14)가 마련되어 있다. 카세트 반출구(14)는, 장치 케이스(81)의 카세트 반입구(82)와 연통하여 마련되어 있다.
이송 설비(10)는, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 반송부인 이송기(20)와, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 받아들임부(受入部)인 수하대(30)와, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 위치결정부인 푸셔(pusher)(25)(「위치결정 장치」의 1예)를 구비한다.
이송기(20)와, 수하대(30)와, 로드 포트(83)는, 평면시에 있어서 서로 겹치는 위치에 배치된다. 구체적으로는, 수하대(30)와 로드 포트(83)가 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 경로 상에, 이송 설비(10)의 위쪽(천정측)으로부터 이송기(20), 수하대(30), 로드 포트(83)의 순으로 배치된다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 이송기(20)는, 수하대(30)에 대해서 카세트(90)를 반출 또는 반입하고, 반출 또는 반입하는 카세트(90)를 수하대(30)와 로드 포트(83) 사이에서 승강 이동시키는 것이다. 이송기(20)는, 로드 포트(83)의 위쪽에 마련되고, 평면시에 있어서 수하대(30) 및 로드 포트(83)와 겹치는 위치에 배치된다. 이송기(20)는, 포크 유닛(40)에 의해 수하대(30)로 반송된 카세트(90)를 수하대(30)로부터 반출하고, 또는, 로드 포트(83)로부터 반출한 카세트(90)를 수하대(30)에 대해서 반입한다. 이송기(20)는, 증착 장치(80)의 위쪽에 있어서, 카세트(90)의 상부를 계지하여 연직 방향으로 승강 이동시키는 것에 의해 카세트(90)를 반송한다. 이송기(20)는, 카세트(90)를 승강 이동시키기 위한 승강 기구(21)와, 카세트(90)의 상부를 계지하기 위한 계지 기구(24)로 주로 구성되어 있다.
승강 기구(21)는, 계지 기구(24)를 회동축(22B)에 의해 매단 상태로 지지한다. 승강 기구(21)는, 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 제1 승강부(22)와, 제1 승강부(22) 및 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 제2 승강부(23)로 구성되어 있다. 즉, 승강 기구(21)는, 2단계의 승강 이동에 의해 카세트(90)를 승강시킨다.
제1 승강부(22)는, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 복수개의 승강 벨트(22A)와, 승강 벨트(22A)를 일체적으로 권취 및 권출하는 회동축(22B)과, 회동축(22B)을 회동하는 제1 모터(22C)로 주로 구성되어 있다. 제1 승강부(22)는, 제1 모터(22C)의 구동에 의해 회동축(22B)을 회동시켜 승강 벨트(22A)를 권취 및 권출함으로써 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시킨다. 제1 승강부(22)는, 승강 벨트(22A)를 권취 및 권출함으로써 계지 기구(24)(카세트(90))를 승강 이동시키는 것으로 인해, 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 미세한 위치맞춤을 용이하게 행할 수가 있다.
제2 승강부(23)는, 회동축(22B)의 양단을 회동 가능하게 지지하는 지지체(23A)와, 지지체(23A)를 승강 가능하게 가이드하는 가이드체(23B)와, 지지체(23A)를 승강 이동시키는 구동 벨트(23C)와, 구동 벨트(23C)를 회동시키기 위한 제2 모터(23D)로 주로 구성되어 있다.
지지체(23A)는, 한쌍의 긴 모양(長尺狀, long)의 부재에 의해 구성되고, 연직 방향으로 세워 설치(立設)되는 상단부에 있어서 회동축(22B)을 회동 가능하게 지지함과 함께, 그의 하단부가 가이드체(23B)에 의해 승강 가능하게 가이드된다. 가이드체(23B)는, 한쌍의 긴 모양의 부재에 의해 구성된다. 구동 벨트(23C)는 가이드체(23B)의 상단부와 하단부 사이에 회동 가능하게 걸쳐진다. 제2 모터(23D)는 가이드체(23B)의 하단부에 마련된다.
제2 승강부(23)는, 제2 모터(23D)를 구동시켜 구동 벨트(23C)를 회동시키는 것에 의해 지지체(23A)를 가이드체(23B)를 따라 승강 이동시킨다. 이것에 의해, 지지체(23A)가 지지하는 회동축(22B)이 승강하고, 그 승강에 의해 승강 벨트(22A)를 개재하여 지지되는 계지 기구(24)(카세트(90))가 승강 이동한다. 제2 승강부(23)는, 연직 방향으로 연장설치되는 긴 모양의 한 쌍의 가이드체(23B) 사이에서 회동축(22B)을 승강 이동시킴으로써, 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 대략적인 위치맞춤을 행한다.
이와 같이, 승강 기구(21)는, 제2 승강부(23)에 의해 카세트(90)를 로드 포트(83)에 대해서 대략적인 위치까지 하강시키고, 계속해서 제1 승강부(22)에 의해 카세트(90)를 로드 포트(83)에 대해서 접근하는 위치까지 하강시킴으로써, 로드 포트(83)에 대한 카세트(90)의 위치맞춤을 행한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 계지 기구(24)는, 복수의 승강 벨트(22A)에 의해 지지됨과 함께, 카세트(90)의 상부의 플랜지부(92)를 계지한다. 계지 기구(24)는, 카세트(90)의 계지 시에 카세트(90)와 대향하는 측에 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지하기 위한 계지부(24A)를 가진다. 계지부(24A)는, 카세트(90)의 플랜지부(92)에 대응하는 위치에 복수(도 1에 있어서는 4개) 마련되어 있다. 계지부(24A)는, 플랜지부(92)에 계지 가능한 갈고리모양의 부재에 의해 형성되고, 해당 갈고리모양의 부재가 소정 방향으로 선회 가능하게 구성되어 있다. 계지 기구(24)는, 계지부(24A)가 플랜지부(92)를 계지하는 것에 의해 카세트(90)를 매단 상태로 지지한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)는, 포크 유닛(40)에 의해 이송 설비(10)로 반입되는 카세트(90), 및 이송기(20)에 의해 로드 포트(83)로부터 반출되는 카세트(90)를 받아들이는 대이다. 수하대(30)는, 로드 포트(83)의 위쪽에 있어서, 포크 유닛(40)의 포크(41)가 카세트(90)를 반송하는 경로와, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강시키는 경로가 교차하는 위치(카세트 반출입 위치(11))에 마련된다.
도 3a에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)는, 포크 유닛(40) 혹은 이송기(20)가 카세트(90)를 수하대(30) 상으로 반입할 때, 및 포크 유닛(40) 혹은 이송기(20)가 수하대(30) 상의 카세트(90)를 반출할 때에는, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강시키는 경로(카세트(90)의 승강 경로, 카세트 반출입 위치(11)) 상에 위치한다. 한편, 도 3B에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)는, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강시킬 때에는, 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동한다. 즉, 수하대(30)는, 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 이동에 따라서 이동 가능하게 구성되어 있다.
도 1, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)는, 카세트(90)를 놓는 복수(도 1, 도 3a 및 도 3b에서는 4개)의 플로팅 테이블(31)(「장착부」의 1예)과, 플로팅 테이블(31)을 지지하는 기대(32)와, 기대(32)를 접동(slide)시키기 위한 레일(33)로 구성되어 있다.
플로팅 테이블(31)은, 포크 유닛(40)에 의해 반송되는 카세트(90)를 놓기 가능한 위치이고, 또한 이송기(20)가 카세트(90)의 상부를 계지 가능한 위치로서, 카세트(90)를 치우침 없이 놓기 가능한 위치에 배치된다. 플로팅 테이블(31)은, 그의 장착면(31a)에 플로팅 유닛(50)이 마련되어 있다. 플로팅 유닛(50)은, 장착면(31a)에 놓이는 카세트(90)를 수평 방향 전(全)방위로 이동 자유롭게 받쳐서 지지하기 위한 것이다. 플로팅 유닛(50)은, 원 형상으로 형성된다. 플로팅 유닛(50)은, 플로팅 테이블(31)을 구성하는 프레임체(frame body)의 내부에 수납되어 있다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 플로팅 유닛(50)은, 카세트(90)를 놓아 지지하기 위한 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평 방향으로 이동 자유롭게 지지되는 구조를 가진다. 플로팅 유닛(50)은, 물품 장착 지지용의 지지부(51)를 구비한 가동부(52)가, 복수의 전동 부재(54)를 보존유지구(55)로 회전 자유롭게 보존유지하는 상태로 구비한 전동식 지지체(56)에 의해, 고정부(53)에 대해서, 수평 방향의 전방위로 이동 자유롭게 또한 평면시에서 회전 자유롭게 지지되어 있다.
전동식 지지체(56)는, 고정부(53)에 상향 상태로 구비시킨 평탄모양(平坦狀)의 고정부측 접촉면 형성 부재(57a)와, 가동부(52)에 하향 상태로 구비시킨 평탄모양의 가동부측 접촉면 형성 부재(57b) 사이에, 복수의 전동 부재(54)를 위치시킨 상태에서, 가동부(52) 및 고정부(53)에 대해서 수평 방향의 전방위로 이동 자유롭게 마련되어 있다.
플로팅 유닛(50)은, 가동부(52)를 고정부(53)에 대해서 수평 방향에 있어서의 물품 받침(受止)용 기준 위치로 복귀 이동시키는 가동부 복귀 수단(KF)과, 전동식 지지체(56)를 고정부(53)에 대해서 수평 방향에 있어서의 가동부 받침용 기준 위치로 복귀 이동시키는 지지체 복귀 수단(SF)을 가진다.
가동부 복귀 수단(KF)은, 전자석(電磁石)(58a)에 의한 자기 흡인력에 의해 가동부(52)를 이동 부세하는 자석식의 복귀 수단이며, 고정부(53)측의 전자석(58a)과, 가동부(52)측의 강자성체(58b)가 평면시에서 동일한 위치에 서로 겹치는 상태로 되도록 이동 부세되는 것에 의해, 가동부(52)를 평면시에서의 회전 방향에 있어서의 특정 회전 위상(位相)으로 복귀 회전시킨다.
지지체 복귀 수단(SF)은, 코일 스프링(59)의 탄성 부세력을 이용한 탄성 부세식(付勢式)의 복귀 수단이다. 지지체 복귀 수단(SF)은, 원환모양(圓環狀, annulus)의 전동식 지지체(56)의 지름 방향 바깥쪽측에 둘레방향(周方向)으로 등간격을 떼고 복수개의 누름 조작식의 코일 스프링(59)을 마련하고 있다. 지지체 복귀 수단(SF)은, 코일 스프링(59)의 지름 방향 바깥쪽측을 고정부(53)에 위치 고정 상태로 마련한 스프링 받침구(受具)(59a)에 의해서 받치고, 전동식 지지체(56)를 지름 방향 안쪽측을 향해 누름 조작하는 것에 의해서, 전동식 지지체(56)를 가동부 받침용 기준 위치로 복귀 이동시킨다.
도 2, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 기대(32)는, 플로팅 테이블(31)을 지지하는 복수개의 기대 본체(32A)와, 기대 본체(32A)를 놓아 지지하는 한 쌍의 좌판(座板)(32B)으로 구성된다.
기대 본체(32A)는, 좌판(32B) 상에 세워 설치되는 긴 모양의 부재이며, 그의 상부에 있어서 플로팅 테이블(31)을 지지한다.
좌판(32B)은, 복수개(도 3a 및 도 3b에서는 2개)의 기대 본체(32A)를 놓을 수 있는 장방(長方, 직사각형) 형상의 판모양의 부재에 의해 구성된다. 좌판(32B)은, 그의 하면의 긴쪽 방향의 양단부에 레일(33)에 대해서 접동 가능하게 계합(engage)하는 계합부가 형성되어 있다.
레일(33)은, 카세트(90)의 승강 경로에 대해서 직교하는 방향으로서, 카세트(90)의 승강 경로에 대해서 떨어지는 방향으로 수평으로 연장 설치된다. 레일(33)은, 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 이동 시에 카세트(90)와 간섭하지 않도록 카세트(90)의 승강 경로를 피한 위치에 부설된다. 레일(33)은, 1장(枚)의 좌판(32B)에 대해서 2개 평행하게 배치되고, 좌판(32B)의 하면에 형성되는 계합부와 접동 가능하게 계합한다.
수하대(30)는, 1장의 좌판(32B)에 대해서 2개의 기대 본체(32A)가 지지됨과 함께, 2개의 기대 본체(32A)의 각각에 1개의 플로팅 테이블(31)이 지지된다. 수하대(30)는, 2장의 좌판(32B)이 소정의 간격으로 평행하게 배치됨과 함께, 서로가 떨어지는 방향으로 수평으로 이동하도록 레일(33)을 따라 접동 가능하게 구성된다. 구체적으로는, 포크 유닛(40) 혹은 이송기(20)가 카세트(90)를 수하대(30) 상으로 반입할 때, 및 포크 유닛(40) 혹은 이송기(20)가 수하대(30) 상의 카세트(90)를 반출할 때에는, 쌍이 되는 2장의 좌판(32B)이 서로 접근하는 방향으로 레일(33)을 따라 접동하고, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강시킬 때에는, 쌍이 되는 2장의 좌판(32B)이 서로 떨어지는 방향으로 레일(33)을 따라 접동한다. 이와 같이, 기대(32)를 구성하는 한 쌍의 좌판(32B)을 레일(33)을 따라 접동시킴으로써, 수하대(30)의 장착부인 플로팅 테이블(31)이 서로 떨어지는 방향으로 이동 가능해진다.
도 2, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 푸셔(25)는, 수하대(30)에 있어서의 카세트(90)의 위치결정을 행하는 것이다. 푸셔(25)는, 수하대(30)에 놓이는 카세트(90)의 모서리부(角部)(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접함으로써, 수하대(30) 상에 있어서의 카세트(90)의 이동을 규제하여 카세트(90)의 위치결정을 행한다. 푸셔(25)는, 기대(32)의 2장의 좌판(32B)의 각각에 1개씩 세워 설치된다. 푸셔(25)는, 수하대(30)에 놓이는 카세트(90)를 쌍이 되는 푸셔(25)와 함께 끼워서 이루어지는 카세트(90)의 대각(對角) 위치 근방에 배치된다. 푸셔(25)는, 좌판(32B)에 지지되는 푸셔 본체부(25A)와, 푸셔 본체부(25A)에 지지되어 수평 방향으로 출퇴 이동 가능한 암부(25B)를 구비한다. 암부(25B)는, 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접 가능하게 구성되어 있다. 푸셔(25)는, 암부(25B)를, 쌍이 되는 푸셔(25)의 암부(25B)와 함께, 수하대(30) 상의 카세트(90)의 대각 위치로부터 끼워넣도록, 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접시킴으로써, 카세트(90)를 소정의 위치에 맞춘다. 여기서, 소정의 위치란, 이송기(20)가 수하대(30) 상의 카세트(90)의 자세를 보존유지한 상태로 계지하여 승강 가능한 위치(카세트 반출입 위치(11))이다. 암부(25B)는, 이송기(20)가 수하대(30)로부터 카세트(90)를 반출할 때에는, 카세트(90)를 향해 신장 이동을 행하는 것에 의해 카세트(90)의 모서리부(90A)(아래쪽 모서리부의 측면)에 당접한다. 암부(25B)는, 이송기(20)에 의해서 카세트(90)가 승강할 때에는, 카세트(90)로부터 떨어지는 방향으로 수축 이동을 행하는 것에 의해 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동한다.
다음에, 이송 설비(10)에 있어서의 카세트(90)의 이송 방법에 대하여 설명한다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 반송대차(86)에 의해 카세트(90)가 소정의 위치까지 반송되면, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여 포크(41)를 반송대차(86)에 대해서 수평 이동시키는 것에 의해 반송대차(86) 상의 카세트(90)를 포크(41) 상에 놓아 지지한다.
도 6a, 도 6b 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 카세트(90)가 포크(41) 상에 놓이면, 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 포크(41)에 놓은 상태에서 굴신식 암(42)을 굴곡시킴과 함께 포크(41)를 선회시킨다. 또, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여, 포크(41)를 이송 설비(10)의 수하대(30)(카세트 반출입 위치(11))의 위쪽까지 수평 이동시킨다. 포크 유닛(40)은, 카세트(90)를 수하대(30)의 위쪽까지 반송하면, 포크(41)를 하강시켜 카세트(90)를 수하대(30)에 놓는다. 이것에 의해, 카세트(90)가 포크 유닛(40)으로부터 수하대(30)에 이송된다.
도 7, 도 8a 및 도 8b에 나타내는 바와 같이, 수하대(30)에 카세트(90)가 놓이면, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 굴곡시켜, 포크(41)를 수하대(30)로부터 떨어진 위치까지 수평 이동시킨다. 또, 수하대(30)의 플로팅 유닛(50)의 작동이 해제되고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평 방향으로 이동 가능해지고), 카세트(90)가 수하대(30) 상에서 이동 가능한 상태로 된다. 계속해서, 푸셔(25)의 암부(25B)가 카세트(90)를 향해 신장 이동하고, 카세트(90)의 모서리부(90A)에 당접한다. 이것에 의해, 카세트(90)가 한 쌍의 암부(25B)에 의해 대각 방향으로부터 협지(挾持)된 상태로 된다.
푸셔(25)는, 한 쌍의 암부(25B)를 서로 신축 이동시키는 것에 의해, 카세트(90)를 사방으로 이동시킨다. 그리고, 푸셔(25)는, 카세트(90)를, 이송기(20)의 계지부(24A)(계지 기구(24))가 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지 가능한 위치(카세트 반출입 위치(11))까지 이동시킨다. 즉, 푸셔(25)는, 카세트(90)를 사방으로 이동시킴으로써, 이송기(20)의 승강 위치에 대한 카세트(90)의 위치결정을 행한다. 푸셔(25)에 의한 카세트(90)의 위치결정이 완료하면, 플로팅 유닛(50)이 작동하고(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평 방향으로 이동 불능으로 되고), 카세트(90)가 수하대(30) 상에서 이동 불능인 상태로 된다. 이것에 의해, 카세트(90)가, 푸셔(25)에 의해 위치결정된 위치, 즉, 수하대(30) 상의 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지된다.
카세트(90)가 카세트 반출입 위치(11)에서 보존유지되면, 이송기(20)의 제2 승강부(23)가 구동하고, 이송기(20)의 계지 기구(24)가 카세트(90)의 위쪽 위치까지 하강한다. 그리고, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 소정 방향으로 선회함으로써, 카세트(90)의 플랜지부(92)가 계지부(24A)에 의해 계지된다. 플랜지부(92)가 계지부(24A)에 계지되면, 플로팅 유닛(50)의 작동이 해제된다(가동부(52)가 고정부(53)에 대해서 수평 방향으로 이동 가능해진다). 이것에 의해, 카세트(90)가 이송기(20)에 의해 승강 이동 가능한 상태로 된다.
플로팅 유닛(50)의 작동이 해제되면, 푸셔(25)는, 암부(25B)를 카세트(90)로부터 떨어지는 방향(카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향)으로 수축 이동시킨다.
암부(25B)가 수축 이동하면, 수하대(30)의 기대(32)가 레일(33)을 따라 접동한다. 구체적으로는, 카세트 반출입 위치(11)에 위치하는 한 쌍의 좌판(32B)이 서로 떨어지는 방향으로 레일(33)을 따라 수평으로 접동한다. 이것에 의해, 수하대(30)의 플로팅 테이블(31)이 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동하고, 플로팅 테이블(31)이 카세트(90)를 놓고 있던 위치에, 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 경로가 형성된다.
수하대(30)의 플로팅 테이블(31)이 카세트 반출입 위치(11)로부터 떨어지면, 이송기(20)의 제2 승강부(23)가 구동하고, 카세트(90)를 계지한 계지 기구(24)가 증착 장치(80)를 향해 하강한다. 구체적으로는, 제2 모터(23D)가 구동함으로써 구동 벨트(23C)가 작동하고, 구동 벨트(23C)가 작동함으로써 지지체(23A)가 가이드체(23B)를 따라 하강한다. 그리고, 지지체(23A)에 지지되는 회동축(22B)이 지지체(23A)와 함께 하강하고, 그 하강에 의해 승강 벨트(22A)에 지지되는 계지 기구(24)(카세트(90))가 소정 위치까지 하강한다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 계지 기구(24)가 소정 위치까지 하강하면, 제2 승강부(23)의 구동이 정지하고, 제1 승강부(22)가 구동한다. 이것에 의해, 계지 기구(24)에 계지되는 카세트(90)가 증착 장치(80)의 로드 포트(83)에 이송된다. 구체적으로는, 제2 모터(23D)의 구동이 정지함으로써, 제1 모터(22C)가 구동하여 회동축(22B)이 회동한다. 이것에 의해, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 승강 벨트(22A)가 회동축(22B)에 의해서 아래쪽으로 권출되고(풀어내지고), 그 권출에 맞추어 계지 기구(24)(카세트(90))가 하강한다.
한편, 증착 장치(80)에 있어서 기판(91)에 대한 처리가 완료하면, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 카세트(90)의 플랜지부(92)를 계지한다. 그리고, 제1 모터(22C)가 구동하여 회동축(22B)이 회동한다. 이것에 의해, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 승강 벨트(22A)가 회동축(22B)에 의해서 위쪽으로 권취되고(감기고), 그 권취에 맞추어 계지 기구(24)가 상승하여 카세트(90)가 로드 포트(83)로부터 반출된다. 계지 기구(24)가 소정 위치까지 상승하면, 제1 모터(22C)의 구동이 정지하고, 제2 모터(23D)가 구동한다. 이것에 의해, 구동 벨트(23C)가 작동하고, 구동 벨트(23C)가 작동함으로써 지지체(23A)가 가이드체(23B)를 따라 상승한다. 그리고, 지지체(23A)에 지지되는 회동축(22B)이 지지체(23A)와 함께 상승하고, 그 상승에 의해 승강 벨트(22A)에 지지되는 계지 기구(24)가 상승한다.
계지 기구(24)에 계지되는 카세트(90)가 수하대(30)의 위쪽까지 상승하면, 수하대(30)의 기대(32)가 레일(33)을 따라 접동한다. 구체적으로는, 카세트 반출입 위치(11)로부터 떨어져 있던 한 쌍의 좌판(32B)이, 서로 접근하는 방향으로 레일(33)을 따라 수평으로 접동한다. 이것에 의해, 플로팅 테이블(31)이 카세트 반출입 위치(11)에 배치된다.
플로팅 테이블(31)이 카세트 반출입 위치(11)에 배치되면, 제2 모터(23D)가 구동하여 계지 기구(24)가 하강한다. 이것에 의해, 카세트(90)가 하강하여 플로팅 테이블(31)에 놓인다. 카세트(90)가 플로팅 테이블(31)에 놓이면, 계지 기구(24)의 계지부(24A)가 소정 방향으로 선회함으로써, 계지부(24A)에 의한 플랜지부(92)에의 계지가 해제된다. 계지부(24A)에 의한 플랜지부(92)에의 계지가 해제되면, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여 포크(41)를 카세트 반출입 위치(11)까지 수평 이동시킨다. 계속해서, 포크 유닛(40)은, 포크(41)를 상승시킴으로써, 수하대(30)에 놓여 있는 카세트(90)를 포크(41)에 놓아 지지한다. 또, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 굴절시킴과 함께, 카세트(90)를 놓은 포크(41)를 선회시킨다. 그리고, 포크 유닛(40)은, 굴신식 암(42)을 신장하여 포크(41)를 반송대차(86)까지 수평 이동시키고, 포크(41) 상의 카세트(90)를 반송대차(86)에 이송한다.
이상과 같이, 본 발명에 관계된 이송 설비(10)는, 수하대(30)와 로드 포트(83) 사이에서 카세트(90)를 승강 이동시킬 때에, 수하대(30)가 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 위치로 이동하고 있기 때문에, 카세트(90)가 수하대(30)에 간섭하는 일이 없다(카세트(90)가 수하대(30)에 접촉하는 일이 없다). 그 때문에, 수하대(30)와의 간섭을 피하기 위해서, 이송기(20)에 의한 카세트(90)의 승강 이동 시에 카세트(90)를 선회시키는 등의 동작이 불필요해지고, 수하대(30)와 로드 포트(83) 사이의 카세트(90)의 이송을 효율 좋게 행할 수가 있다. 또, 이송기(20)가 상기 동작을 행할 필요가 없기 때문에, 이송기(20)가 카세트(90)를 위치결정된 상태로 보존유지할 수가 있고, 이송기(20)의 이송 정밀도를 향상시킬 수가 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 이송 설비(10)에 있어서 이송되는 물품은 카세트(90)에 한정되는 것은 아니고, 수하대(30)와 이송기(20) 사이에서 이송을 행하는 것이 가능한 물품이면 상관없다.
본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)의 계지부(24A)가 카세트(90)의 상부의 갈고리모양의 플랜지부(92)를 계지한 상태에서, 이송기(20)가 카세트(90)를 승강 이동시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 이송기(20)가 카세트(90)의 측면을 파지한 상태에서 카세트(90)를 승강 이동시켜도 상관없다.
본 실시 형태에 있어서는, 이송기(20)가 제1 승강부(22)와 제2 승강부(23)에 의한 2단계의 승강 이동에 의해서 카세트(90)를 승강시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제1 승강부(22) 또는 제2 승강부(23)의 어느것인가 한쪽만, 즉, 1단계의 승강 이동에 의해서 카세트(90)를 승강시켜도 상관없다. 또, 제1 승강부(22)는, 계지 기구(24)에 부착한 승강 벨트(22A)를 회동축(22B)에 대해서 권취 및 권출함으로써 카세트(90)의 승강을 행하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 계지 기구(24)를 매달아 지지하는 지지 프레임을 볼나사에 의해서 승강시키는 것에 의해 카세트(90)의 승강을 행해도 상관없다.
본 실시 형태에 있어서는, 플로팅 유닛(50)이, 포크(41)의 폭 방향의 양단부에, 포크(41)의 긴쪽 방향을 따라 복수개 늘어놓은 상태로 장착면(41a) 상에 배치되어 있지만, 카세트(90)를 포크(41) 상에서 충분히 지지하는 것이 가능하면, 플로팅 유닛(50)의 배치 위치, 갯수는 한정되지 않는다.
본 실시 형태에 있어서는, 플로팅 유닛(50)의 가동부 복귀 수단(KF)을 자석식의 복귀 수단에 의해 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 스프링의 탄성 부세력을 이용한 탄성 부세식의 복귀 수단에 의해 구성해도 상관없다. 마찬가지로, 본 실시 형태에 있어서는, 지지체 복귀 수단(SF)을 탄성 부세식의 복귀 수단에 의해 구성하고 있지만, 자석식의 복귀 수단에 의해 구성해도 상관없다.
본 실시 형태에 있어서는, 푸셔(25)는, 카세트(90)의 모서리부(90A)에 당접함으로써 카세트(90)의 위치를 규제하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)의 측면으로서, 당접 시에 카세트(90)의 위치를 규제 가능하면, 카세트(90)의 측면의 중앙부를 당접하도록 구성해도 상관없다. 또, 2개의 푸셔(25)에 의해 카세트(90)의 위치 규제를 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개, 혹은 3개 이상의 푸셔(25)에 의해 위치 규제를 행해도 상관없다.
본 실시 형태에 있어서는, 수하대(30)를 복수의 플로팅 테이블(31)과 기대(32)에 의해 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)를 놓을 수 있고 또한 이동 가능한 구성이면, 1개의 플로팅 테이블(31)과 기대(32)(기대 본체(32A), 좌판(32B))에 의해 구성해도 상관없다.
본 실시 형태에 있어서는, 복수의 플로팅 테이블(31)이 서로 떨어지는 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 위치로 이동 가능하면, 모든 플로팅 테이블(31)을 동일한 방향으로 이동시켜도 상관없다. 또, 복수의 플로팅 테이블(31)이 카세트(90)의 승강 경로에 대해서 수평으로 직교하는 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 카세트(90)의 승강 경로를 피하는 위치로 이동 가능하면, 카세트(90)의 승강 경로에 대해서 수평으로 직교하지 않는 방향, 예를 들면, 카세트(90)의 장착 위치(카세트 반출입 위치(11))로부터 비스듬히 아래(斜下) 방향으로 이동시켜도 상관없다.
본 실시 형태에 있어서는, 기대(32)를 개재하여 플로팅 테이블(31)을 이동시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 플로팅 테이블(31) 자체를 직접 이동시켜도 상관없다.
본 실시 형태에 있어서는, 이송 설비(10)가 기판(91)에 대해서 증착 처리를 행하는 증착 장치(80)에 부설되는 설비이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비이면, 증착 장치(80) 이외의 장치에 부설되는 설비이더라도 상관없다.
10: 이송 설비
20: 이송기
30: 수하대
80: 증착 장치(처리 장치)
83: 로드 포트
90: 카세트(용기)
91: 기판(물품)

Claims (5)

  1. 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 상기 물품을 수용한 용기를 이송하는 이송 설비로서,
    상기 처리 장치의 위쪽에 마련되는 수하대(荷受台)와,
    상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 상기 용기를 반송하는 이송기
    를 구비하고,
    상기 수하대와 상기 이송기와 상기 처리 장치의 로드 포트가 평면시(平面視)에서 서로 겹치는 위치에 배치되고,
    상기 이송기는, 상기 수하대에 대해서 상기 용기를 반출 또는 반입하고, 반출 또는 반입하는 용기를 상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 승강 이동시키도록 구성되고,
    상기 수하대는, 상기 용기를 놓는 복수의 장착부를 구비하고,
    상기 복수의 장착부는,
    상기 이송기가 상기 수하대에 대해서 상기 용기를 반출 또는 반입할 때에는, 상기 용기의 승강 경로 상에 위치하고,
    상기 이송기에 의해서 상기 용기가 승강할 때에는, 상기 용기의 승강 경로를 피하는 방향에 있어서, 상기 복수의 장착부가 서로 떨어지는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것
    을 특징으로 하는 이송 설비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수하대는, 상기 용기의 승강 경로에 대해서 직교하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것
    을 특징으로 하는 이송 설비.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 수하대에 있어서의 상기 용기의 위치결정을 행하는 위치결정 장치를 구비하고,
    상기 위치결정 장치는, 상기 이송기에 의해서 상기 용기가 승강할 때에, 상기 용기의 승강 경로를 피하는 방향으로 이동 가능하게 구성되는 것
    을 특징으로 하는 이송 설비.
  4. 물품에 대해서 처리를 행하는 처리 장치에 상기 물품을 수용한 용기를 이송하는 용기의 이송 방법으로서,
    상기 처리 장치의 위쪽에 마련되어 상기 용기를 놓는 복수의 장착부를 구비하는 수하대와, 상기 수하대와 상기 처리 장치 사이에서 상기 용기를 승강 반송하는 이송기와, 상기 처리 장치의 로드 포트를 평면시에서 서로 겹치는 위치에 배치하고,
    상기 수하대에 지지된 용기를, 상기 이송기에 의해서 상기 수하대로부터 반출하고,
    상기 수하대의 상기 복수의 장착부를 상기 이송기의 승강 경로를 피하는 방향에 있어서, 상기 복수의 장착부가 서로 떨어지는 방향으로 이동시키는 것에 의해, 상기 수하대로부터 반출한 용기를 상기 이송기가 승강 이동시키는 것
    을 특징으로 하는 이송 방법.
  5. 삭제
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