CN109911620A - 移载设备、移载方法 - Google Patents

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Abstract

一种移载设备(10)，其将箱子(90)向蒸镀装置(80)移载，该移载设备(10)具备承接台(30)和移载机(20)，承接台(30)、移载机(20)以及蒸镀装置(80)的载物口(83)配置于俯视时重叠的位置，移载机(20)构成为：使箱子(90)在承接台(30)与蒸镀装置(80)的载物口(83)之间升降移动，承接台(30)构成为：在移载机(20)将箱子(90)相对于承接台(30)进行搬入或搬出时，承接台(30)位于箱子(90)的升降路径上；在箱子(90)通过移载机(20)而进行升降时，承接台(30)能够向避开箱子(90)的升降路径的方向移动。

Description

移载设备、移载方法
技术领域
本发明涉及将收纳有物品的容器朝着对物品进行处理的处理装置移载的移载设备以及容器的移载方法。
背景技术
作为上述移载设备，例如，具有：将收纳有基板的箱子(容器)朝向作为处理装置的腔室移载的设备(例如参照专利文献1)。在专利文献1的移载设备中，箱子搬送单元将由搬送台车单元搬送来的箱子朝向设备内搬入，箱子移载单元(移载机)将由箱子搬送单元搬入的箱子朝向腔室移载。或者，箱子移载单元接收被移载到腔室内的箱子，箱子搬送单元将被箱子移载单元接收到的箱子朝向搬送台车单元搬出。
箱子搬送单元从搬送台车单元搬入的箱子在通过箱子移载单元而朝着腔室内移载之前，先被载置于：在腔室的上方设置的支承架台(承接台)上。同样地，箱子移载单元从腔室中接收到的箱子在通过箱子搬送单元而向搬送台车单元移载之前，先被载置于支承架台上。
箱子移载单元从上方把持箱子而使其升降移动，由此，将载置于支承架台的箱子朝向腔室移载，或者将从腔室中接收到的箱子向支承架台载置。
专利文献
专利文献1：韩国注册日本特许第10－1511963号公报
发明内容
但是，如上所述的移载设备中，在箱子移载单元(移载机)把持箱子(容器)而使其升降移动时，由于箱子(容器)与支承架台(承接台)发生干涉，故而，为了避免与支承架台(承接台)发生干涉而需要使箱子(容器)进行回转等动作。因此，存在有：在支承架台(承接台)与腔室(处理装置)之间移载箱子(容器)时需要花费时间的问题。另外，还存在如下问题，即：由于箱子移载单元(移载机)进行上述动作，所以，无法以对箱子进行定位的状态来保持箱子(容器)，导致箱子移载单元(移载机)的移载精度变差。
因此，本发明的目的在于，提供一种如下所述的移载设备以及移载方法，即，在将收纳有物品的容器朝向对物品进行处理的处理装置移载的移载设备中，能够高效率地进行：处理装置的载物口与设置于处理装置的载物口上方的承接台之间的容器的移载。
本发明所要解决的课题如上所述，接下来，对用于解决该课题的方案进行说明。
即，本发明的移载设备是将收纳有物品的容器移载给对所述物品进行处理的处理装置的移载设备，其具备：承接台，该承接台设置于所述处理装置的上方；以及移载机，该移载机用于在所述承接台与所述处理装置之间对所述容器进行搬送，所述承接台、所述移载机以及所述处理装置的载物口被配置于俯视时彼此重叠的位置，所述移载机构成为：将所述容器相对于所述承接台进行搬入或搬出，并使所搬入或搬出的容器在所述承接台与所述处理装置之间进行升降移动；所述承接台构成为：在所述移载机将所述容器相对于所述承接台进行搬入或搬出时，所述承接台位于所述容器的升降路径上，在所述容器通过所述移载机而进行升降时，所述承接台能够向避开所述容器的升降路径的方向移动。
在上述构成中，承接台根据移载机使容器进行的升降移动，而在容器的升降路径上与避开容器的升降路径的位置之间进行移动。
本发明的移载设备在上述移载设备的基础上，所述承接台构成为：能够向与所述容器的升降路径正交的方向移动。
在上述构成中，承接台根据移载机使容器进行的升降移动，而向与容器的升降路径正交的方向移动。
本发明的移载设备在上述移载设备的基础上，所述承接台具备：对所述容器进行载置的多个载置部，所述多个载置部构成为：能够向彼此分离的方向移动。
在上述构成中，多个载置部根据移载机使容器进行的升降移动，而向彼此分离的方向移动。
本发明的移载设备在上述移载设备的基础上，具备：进行所述承接台上的所述容器的定位的定位装置，所述定位装置构成为：在所述容器通过所述移载机而进行升降时，所述定位装置能够向避开所述容器的升降路径的方向移动。
在上述构成中，定位装置根据移载机使容器进行的升降移动，而在进行容器定位的位置与避开容器的升降路径的位置之间进行移动。
本发明的移载方法是：将收纳有物品的容器移载给对所述物品进行处理的处理装置的容器移载方法，该方法如下：将设置于所述处理装置的上方的承接台、在所述承接台与所述处理装置之间对所述容器进行升降搬送的移载机、以及所述处理装置的载物口配置在俯视时彼此重叠的位置，并将被支承于所述承接台的容器通过所述移载机而从所述承接台搬出来，使所述承接台向避开所述移载机的升降路径的方向移动，由此，所述移载机使从所述承接台搬出来的容器进行升降移动。
在上述方法中，承接台根据移载机使容器进行的升降移动，而在容器的升降路径上与避开容器的升降路径的位置之间进行移动。
根据本发明的移载设备以及容器的移载方法，当使容器在承接台与处理装置的载物口之间进行升降移动时，承接台向避开容器的升降路径的位置移动，因此，容器不会与承接台发生干涉(容器不会与承接台相接触)。由此，不需要：为了避免与承接台的干涉而在移载机使容器进行升降移动时再使容器进行回旋等动作，能够高效率地进行：容器在承接台与处理装置的载物口之间的移载。另外，由于移载机不需要进行上述动作，所以，移载机能够以容器被定位状态来保持容器，从而能够使移载机的移载精度得到提高。
附图说明
图1是本发明所涉及的移载设备的俯视图。
图2是上述移载设备的主视图。
图3A是上述移载设备中箱子载置在承接台上时的俯视图。
图3B是上述移载设备中箱子通过移载机而进行升降时的俯视图。
图4是上述移载设备中的浮动单元的侧视截面图。
图5是表示上述移载设备中的货叉单元将箱子从搬送台车搬出来时的概略的侧视截面图。
图6A是表示上述移载设备中的货叉单元将箱子向移载设备搬入之前的概略的侧视图。
图6B是表示上述移载设备中的货叉单元将箱子向移载设备搬入之前的概略的俯视图。
图7是表示上述移载设备中的货叉单元将箱子向移载设备搬入时的概略的侧视截面图。
图8A是表示上述移载设备中的移载机将箱子从承接台搬出时的概略的侧视图。
图8B是表示上述移载设备中的移载机将箱子从承接台搬出时的概略的俯视图。
图9是表示上述移载设备中的移载机将箱子向蒸镀装置的载物口移载时的概略的主视截面图。
附图标记的说明：
10…移载设备、20…移载机、30…承接台、80…蒸镀装置(处理装置)、83…载物口、90…箱子(容器)、91…基板(物品)。
具体实施方式
对本发明所涉及的移载设备10进行说明。
如图1及图2所示，移载设备10是：附加设置于蒸镀装置80(“处理装置”的一例)的设备，其中，蒸镀装置80是对作为半导体产品或者液晶显示元件产品的半成品的基板91(“物品”的一例)进行蒸镀处理的装置，移载设备10用于将收纳有板状体的基板91的箱子90(“容器”的一例)向蒸镀装置80的载物口83移载。在移载设备10，被搬入到移载设备10的箱子90又朝向蒸镀装置80的载物口83被移载，并且，从蒸镀装置80的载物口83搬出的箱子90又被搬出到移载设备10的外部。
在移载设备10所搬送的箱子90是由一侧面或者两侧面开口的大致箱型形状的部件形成。能够在箱子90的内部收纳多个基板91。在箱子90的上部，形成有：多个卡止于后面叙述的移载机20的凸缘部92。凸缘部92由设置成从箱子90的上表面突出出来的钩状的部件构成。凸缘部92设置于箱子90的上表面的多个部位。
移载设备10附加设置于蒸镀装置80的上方。附加设置于移载设备10的蒸镀装置80的装置整体是被装置壳体81覆盖。在装置壳体81的内部具有：能够容纳蒸镀装置80的内部空间。在装置壳体81的上部形成有：用于将箱子90向内部搬送的箱子搬入口82。
在装置壳体81的内部空间，设置有：用于载置箱子90的载物口83。具体而言，载物口83设置于：箱子搬入口82的正下方(后面叙述的移载机20的正下方、且是通过移载机20进行升降的箱子90的升降路径上)。
在移载设备10的侧方，且是蒸镀装置80的上方设置有：将箱子90相对于移载设备10进行搬送的货叉单元40。即，将箱子90从蒸镀装置80的上方且是移载设备10的侧方搬入或搬出。
如图1所示，货叉单元40对箱子90进行载置而使箱子90沿着水平方向进行进入或退出移动。货叉单元40将箱子90从沿着台车移动轨道85移动的搬送台车86搬出去，将搬出去的箱子90又向移载设备10搬入。另外，货叉单元40将箱子90从移载设备10搬出去，将搬出去的箱子90又向搬送台车86移载。
货叉单元40构成为主要包括：货叉41，在其上表面具有用于对箱子90进行载置的载置面41a；屈伸式臂42，其用于使货叉41沿着水平方向进行进入或退出移动；以及回旋台43，其使屈伸式臂42回旋。
货叉41由能够对箱子90进行载置且移载的大致长方形状的板构成。通过使屈伸式臂42屈伸，使得货叉41相对于搬送台车86或者移载设备10(承接台30)而进行进入或退出移动。
屈伸式臂42构成为：通过使一对臂伸长，使得货叉41水平移动至搬出搬入位置45、或者箱子搬出搬入位置11，其中，搬出搬入位置45是箱子90相对于搬送台车86进行的搬出或搬入的位置，箱子搬出搬入位置11是货叉单元40以及移载机20相对于承接台30进行箱子90的搬入或搬出的位置。
如图1所示，在货叉单元40的两侧方，设置有：用于暂时保管箱子90的缓冲站95。在缓冲站95设置有：用于对箱子90进行载置的载置台96。
如图1及图2所示，在移载设备10的下部，设置有：用于将箱子90相对于蒸镀装置80的载物口83而搬出的箱子搬出口14。箱子搬出口14设置成：与装置壳体81的箱子搬入口82连通。
移载设备10具备：移载机20，其为移载设备10中的箱子90的搬送部；承接台30，其为移载设备10中的箱子90的接收部；以及推杆25(“定位装置”的一例)，其为移载设备10中的箱子90的定位部。
移载机20、承接台30、以及载物口83配置于：俯视时彼此重叠的位置。具体而言，自移载设备10的上方(顶侧)开始，按照移载机20、承接台30、载物口83的顺序，将承接台30以及载物口83配置在：箱子90通过移载机20进行升降的升降路径上。
如图2所示，移载机20将箱子90相对于承接台30而搬出或搬入，并使搬出或搬入的箱子90在承接台30与载物口83之间进行升降移动。移载机20设置于载物口83的上方，并配置于俯视时与承接台30以及载物口83重叠的位置。移载机20将利用货叉单元40而搬送到承接台30的箱子90从承接台30搬出去，或者，将从载物口83搬出去的箱子90搬入于承接台30。移载机20构成为：在蒸镀装置80的上方，将箱子90的上部卡止而使其沿竖直方向进行升降移动，由此，对箱子90进行搬送。移载机20主要由用于使箱子90进行升降移动的升降机构21、以及用于将箱子90的上部进行卡止的卡止机构24构成。
升降机构21以利用转动轴22B来悬挂卡止机构24的状态而对卡止机构24进行支承。升降机构21构成为包括：第一升降部22，其使卡止机构24(箱子90)进行升降移动；以及第二升降部23，其使第一升降部22以及卡止机构24(箱子90)进行升降移动。即，升降机构21利用两个阶段的升降移动而使箱子90进行升降。
第一升降部22构成为主要包括：多条升降带22A，它们将卡止机构24悬挂而进行支承；转动轴22B，其使升降带22A一体地卷绕及放卷；以及第一马达22C，其使转动轴22B转动。第一升降部22构成为：利用第一马达22C的驱动而使转动轴22B转动，从而对升降带22A进行卷绕及放卷，由此，使卡止机构24(箱子90)进行升降移动。第一升降部22通过对升降带22A进行卷绕及放卷而使卡止机构24(箱子90)进行升降移动，因此，能够容易地进行箱子90相对于载物口83的精准对位。
第二升降部23构成为主要包括：支承体23A，其将转动轴22B的两端支承为能够转动；引导体23B，其将支承体23A引导为能够升降；驱动带23C，其使支承体23A升降移动；以及第二马达23D，其用于使驱动带23C转动。
支承体23A由一对长条状的部件构成，在沿着竖直方向立起设置的上端部，将转动轴22B支承为能够转动，并且，其下端部被引导体23B引导为能够升降。引导体23B由一对长条状的部件构成。驱动带23C以能够转动的方式架设于引导体23B的上端部与下端部之间。第二马达23D设置于引导体23B的下端部。
第二升降部23构成为：使第二马达23D驱动而使驱动带23C转动，由此，使支承体23A沿着引导体23B升降移动。由此，支承体23A所支承的转动轴22B进行升降，借助升降带22A而被支承的卡止机构24(箱子90)利用该升降而进行升降移动。第二升降部23使转动轴22B在沿着竖直方向延伸设置的长条状的一对引导体23B之间进行升降移动，由此，进行箱子90相对于载物口83的大概位置对准。
像这样，升降机构21利用第二升降部23而使箱子90相对于载物口83进行下降至大概的位置，接下来，利用第一升降部22而使箱子90相对于载物口83进行下降至接近的位置，由此，进行箱子90相对于载物口83的位置对准。
如图1及图2所示，卡止机构24被多个升降带22A支承，并且，将箱子90的上部的凸缘部92卡止。卡止机构24具有：在箱子90的卡止时，用于将箱子90的凸缘部92卡止于与箱子90对置的一侧的卡止部24A。在与箱子90的凸缘部92相对应的位置，设置有：多个(图1中为4个)卡止部24A。卡止部24A由能够卡止于凸缘部92的钩状的部件形成，并构成为：该钩状的部件能够沿着规定方向回旋。卡止机构24构成为：卡止部24A将凸缘部92卡止，由此，对箱子90以悬挂的状态进行支承。
如图2所示，承接台30为：对利用货叉单元40而向移载设备10搬入的箱子90、以及利用移载机20而从载物口83搬出去的箱子90进行接收的台。在载物口83的上方，承接台30被设置于：货叉单元40的货叉41搬送箱子90的路径、与移载机20使箱子90进行升降的路径相交叉的位置(箱子搬出搬入位置11)。
如图3A所示，在货叉单元40或者移载机20将箱子90向承接台30上搬入时、以及货叉单元40或者移载机20将承接台30上的箱子90搬出时，承接台30位于：移载机20使箱子90进行升降的路径(箱子90的升降路径、箱子搬出搬入位置11)上。另一方面，如图3B所示，在移载机20使箱子90进行升降时，承接台30向避开箱子90的升降路径的方向移动。即，承接台30构成为：能够根据移载机20使箱子90进行的升降移动而移动。
如图1、图3A以及图3B所示，承接台30构成为包括：多个(图1、图3A以及图3B中为4个)浮动工作台31(“载置部”的一例)，它们对箱子90进行载置；基台32，其对浮动工作台31进行支承；以及轨道33，其用于使基台32滑动。
浮动工作台31配置于：能够对由货叉单元40搬送来的箱子90进行载置的位置，并能够利用移载机20将箱子90的上部卡止的位置，且能够无偏向地对箱子90进行载置的位置。在浮动工作台31的载置面31a设置有浮动单元50。浮动单元50用于将载置于载置面31a的箱子90承接而支承为在水平方向所有方位上移动自如。浮动单元50形成为圆形。浮动单元50被收纳于：构成浮动工作台31的框体的内部。
如图4所示，浮动单元50具有如下结构：具备支承部51的活动部52被固定部53承接住，并被支承为相对于固定部53能够沿着水平方向移动自如，其中支承部51用于对箱子90进行载置和支承。浮动单元50构成为：利用转动式支承体56承接住具备物品载置支承用的支承部51的活动部52，并将活动部52支承为相对于固定部53在水平方向的所有方位上移动自如且俯视时旋转自如，其中转动式支承体56具备多个转动部件54，能够利用保持器55将多个转动部件54保持为旋转自如的状态。
转动式支承体56设置成：在使多个转动部件54位于平坦状的固定部侧接触面形成部件57a与平坦状的活动部侧接触面形成部件57b之间的状态下，相对于活动部52以及固定部53而在水平方向的所有方位上移动自如，其中，平坦状的固定部侧接触面形成部件57a以朝上状态设置于固定部53，平坦状的活动部侧接触面形成部件57b以朝下状态设置于活动部52。
浮动单元50具有：活动部恢复机构KF，其使活动部52相对于固定部53而向水平方向上的物品接住用基准位置恢复移动；以及支承体恢复机构SF，其使转动式支承体56相对于固定部53而向水平方向上的活动部接住用基准位置恢复移动。
活动部恢复机构KF为：利用由电磁铁58a所带来的磁吸引力，对活动部52进行移动施力的磁铁式的恢复机构，以使得固定部53侧的电磁铁58a和活动部52侧的强磁性体58b成为俯视时在相同位置重合的状态地进行移动施力，来使活动部52恢复旋转到俯视时的旋转方向上的特定旋转相位。
支承体恢复机构SF为：利用了盘簧59的弹性施力的弹性施力式的恢复机构。支承体恢复机构SF在圆环状的转动式支承体56的径向外方侧，沿着周向隔开等间隔地设置有多个按压操作式的盘簧59。支承体恢复机构SF构成为：利用以位置固定状态被设置于固定部53的弹簧托架59a，来承接住盘簧59的径向外方侧，并朝向径向内方侧，来对转动式支承体56进行按压操作，由此，使转动式支承体56恢复移动到活动部接住用基准位置。
如图2、图3A以及图3B所示，基台32构成为包括：多个基台主体32A，它们对浮动工作台31进行支承；以及一对的座板32B，它们对基台主体32A进行载置和支承。
基台主体32A为：在座板32B上立起设置的长条状的部件，并在其上部，对浮动工作台31进行支承。
座板32B由能够对多个(图3A及图3B中为2个)基台主体32A进行载置的长方形的板状的部件构成。在座板32B的下表面的长度方向上的两端部，形成有：以能够相对于轨道33滑动的方式进行卡合的卡合部。
轨道33沿着与箱子90的升降路径正交的方向、且是离开箱子90的升降路径的方向水平而延伸设置。轨道33铺设于避开箱子90的升降路径的位置，以避免在移载机20使箱子90进行升降移动时与箱子90发生干涉。2条轨道33与1块座板32B平行地配置，以能够滑动的方式与在座板32B的下表面形成的卡合部卡合。
承接台30构成为：相对于1块座板32B而言，支承有2个基台主体32A，并且，在2个基台主体32A分别支承有1个浮动工作台31。承接台30构成为：2块座板32B以规定的间隔平行地配置，并且，能够以向彼此分离的方向水平移动的方式沿着轨道33滑动。具体而言，在货叉单元40或者移载机20将箱子90向承接台30上搬入时、以及货叉单元40或者移载机20将承接台30上的箱子90搬出时，成对的2块座板32B沿着轨道33向彼此接近的方向滑动；在移载机20使箱子90升降时，成对的2块座板32B沿着轨道33向彼此分离的方向滑动。由此，通过使构成基台32的一对的座板32B沿着轨道33滑动，能够使得承接台30的载置部亦即浮动工作台31向彼此分离的方向移动。
如图2、图3A以及图3B所示，推杆25进行：箱子90在承接台30上的定位。推杆25与载置于承接台30的箱子90的角部90A(下方角部的侧面)抵接，由此，限制箱子90在承接台30上的移动，从而进行箱子90的定位。在基台32的2块座板32B，分别立起设置有：1个推杆25。推杆25配置于：与成对的推杆25一同对载置于承接台30的箱子90进行夹持的箱子90的对角位置附近。推杆25具备：推杆主体部25A，其被支承于座板32B；以及臂部25B，其被支承于推杆主体部25A，且能够沿着水平方向进行进入或退出移动。臂部25B构成为：能够与箱子90的角部90A(下方角部的侧面)抵接。推杆25以与成对的推杆25的臂部25B一同从承接台30上的箱子90的对角位置进行夹入的方式而使臂部25B与箱子90的角部90A(下方角部的侧面)抵接，由此，能够将箱子90对准规定的位置。此处，规定的位置为：移载机20能够以保持承接台30上的箱子90的姿势的状态进行卡止并能进行升降的位置(箱子搬出搬入位置11)。在移载机20从承接台30将箱子90搬出时，臂部25B朝向箱子90进行伸长移动，由此，与箱子90的角部90A(下方角部的侧面)抵接。在通过移载机20而使箱子90升降时，臂部25B朝向离开箱子90的方向进行收缩移动，由此，向避开箱子90的升降路径的方向移动。
接下来，对移载设备10中的箱子90的移载方法进行说明。
如图5所示，当箱子90被搬送台车86搬送至规定的位置时，货叉单元40将屈伸式臂42伸长，而使货叉41相对于搬送台车86水平移动，由此，将搬送台车86上的箱子90载置于货叉41上并进行支承。
如图6A、图6B以及图7所示，当箱子90载置于货叉41上时，货叉单元40以在货叉41载置有箱子90的状态而使屈伸式臂42弯曲，并且，使货叉41回旋。此外，货叉单元40将屈伸式臂42伸长，从而使货叉41水平移动至移载设备10的承接台30(箱子搬出搬入位置11)的上方。当将箱子90搬送至承接台30的上方时，货叉单元40使货叉41下降而使箱子90载置于承接台30。由此，箱子90被从货叉单元40向承接台30移载。
如图7、图8A以及图8B所示，当箱子90载置于承接台30时，货叉单元40使屈伸式臂42弯曲，从而使货叉41水平移动至：离开承接台30的位置。另外，承接台30的浮动单元50的工作被解除(活动部52能够相对于固定部53沿水平方向移动)，箱子90成为能够在承接台30上移动的状态。接下来，推杆25的臂部25B朝向箱子90伸长移动，与箱子90的角部90A抵接。由此，成为箱子90被一对的臂部25B从对角方向夹持的状态。
推杆25使一对的臂部25B彼此伸缩移动，由此，使箱子90向四方移动。然后，推杆25使箱子90移动至：移载机20的卡止部24A(卡止机构24)能够将箱子90的凸缘部92卡止的位置(箱子搬出搬入位置11)。即，推杆25使箱子90向四方移动，由此，进行箱子90相对于移载机20的升降位置的定位。当利用推杆25完成箱子90的定位时，浮动单元50工作(活动部52不能相对于固定部53沿水平方向移动)，成为箱子90不能在承接台30上移动的状态。由此，箱子90被保持在：利用推杆25而被定位的位置、即承接台30上的箱子搬出搬入位置11。
当箱子90在箱子搬出搬入位置11被保持时，移载机20的第二升降部23驱动，移载机20的卡止机构24下降至箱子90的上方位置。然后，卡止机构24的卡止部24A沿着规定方向回旋，由此，箱子90的凸缘部92被卡止部24A卡止。当凸缘部92卡止于卡止部24A时，浮动单元50的工作被解除(活动部52能够相对于固定部53沿着水平方向移动)。由此，成为箱子90能够通过移载机20进行升降移动的状态。
当浮动单元50的工作被解除时，推杆25使臂部25B向离开箱子90的方向(避开箱子90的升降路径的方向)收缩移动。
当臂部25B进行收缩移动时，承接台30的基台32沿着轨道33滑动。具体而言，位于箱子搬出搬入位置11的一对的座板32B沿着轨道33向彼此分离的方向水平滑动。由此，承接台30的浮动工作台31向避开箱子90的升降路径的方向移动，在浮动工作台31对箱子90进行载置的位置，形成：移载机20使箱子90进行升降的升降路径。
当承接台30的浮动工作台31离开箱子搬出搬入位置11时，移载机20的第二升降部23驱动，将箱子90卡止的卡止机构24朝向蒸镀装置80下降。具体而言，通过第二马达23D驱动，而使得驱动带23C工作，通过驱动带23C工作而使得支承体23A沿着引导体23B下降。然后，被支承于支承体23A的转动轴22B与支承体23A一同下降，被支承于升降带22A的卡止机构24(箱子90)利用该下降而下降至规定位置。
如图9所示，当卡止机构24下降至规定位置时，第二升降部23的驱动停止，第一升降部22驱动。由此，卡止于卡止机构24的箱子90向蒸镀装置80的载物口83移载。具体而言，第二马达23D的驱动停止，由此，第一马达22C驱动，而使得转动轴22B转动。由此，将卡止机构24支承为悬挂的升降带22A通过转动轴22B而向下方放卷，卡止机构24(箱子90)与该放卷相对应地进行下降。
另一方面，当在蒸镀装置80中针对基板91的处理完成时，卡止机构24的卡止部24A将箱子90的凸缘部92卡止。然后，第一马达22C驱动，而使得转动轴22B转动。由此，将卡止机构24支承为悬挂的升降带22A通过转动轴22B而向上方卷绕，卡止机构24与该卷绕相对应地进行上升，而使得箱子90从载物口83搬出。当卡止机构24上升至规定位置时，第一马达22C的驱动停止，第二马达23D驱动。由此，驱动带23C进行工作，通过驱动带23C工作，而使得支承体23A沿着引导体23B上升。然后，被支承于支承体23A的转动轴22B与支承体23A一同上升，支承于升降带22A的卡止机构24利用该上升而上升。
当卡止于卡止机构24的箱子90上升至承接台30的上方时，承接台30的基台32沿着轨道33滑动。具体而言，从箱子搬出搬入位置11离开的一对的座板32B沿着轨道33而向彼此接近的方向水平滑动。由此，浮动工作台31被配置在箱子搬出搬入位置11。
当浮动工作台31被配置于箱子搬出搬入位置11时，第二马达23D驱动，卡止机构24下降。由此，箱子90下降而被载置于浮动工作台31。当箱子90载置于浮动工作台31时，卡止机构24的卡止部24A沿着规定方向回旋，由此，卡止部24A对凸缘部92施加的卡止被解除。当卡止部24对凸缘部92的卡止解除时，货叉单元40将屈伸式臂42伸长而使货叉41水平移动至箱子搬出搬入位置11。接下来，货叉单元40使货叉41上升，由此，将载置于承接台30的箱子90载置于货叉41并进行支承。此外，货叉单元40使屈伸式臂42屈折，并且，使载置有箱子90的货叉41回旋。然后，货叉单元40将屈伸式臂42伸长而使货叉41水平移动至搬送台车86，将货叉41上的箱子90向搬送台车86移载。
如上所述，根据本发明所涉及的移载设备10，当使箱子90在承接台30与载物口83之间进行升降移动时，承接台30向避开箱子90的升降路径的位置移动，因此，箱子90不会与承接台30发生干涉(箱子90不会与承接台30接触)。因此，不需要：为了避免与承接台30发生干涉而在移载机20使箱子90进行升降移动时又使箱子90回旋等动作，从而能够高效率地进行承接台30与载物口83之间的箱子90的移载。另外，由于移载机20不需要进行上述动作，所以移载机20能够以箱子90被定位的状态来对箱子90进行保持，从而能够使移载机20的移载精度得到提高。
此外，本实施方式中，在移载设备10中移载的物品并不限定于箱子90，只要是能够在承接台30与移载机20之间进行移载的物品即可。
本实施方式中，移载机20以移载机20的卡止部24A将箱子90的上部的钩状的凸缘部92卡止的状态而使箱子90进行升降移动，但并不限定于此，例如，可以以移载机20将箱子90的侧面把持的状态而使箱子90进行升降移动。
本实施方式中，移载机20通过利用第一升降部22和第二升降部23的两个阶段的升降移动，来使箱子90进行升降，但并不限定于此，可以通过仅是第一升降部22或第二升降部23中的任意一方亦即一个阶段的升降移动，来使箱子90进行升降。另外，第一升降部22通过使安装于卡止机构24的升降带22A相对于转动轴22B而卷绕以及放卷，来进行箱子90的升降，但并不限定于此，可以通过利用滚珠丝杠而使对卡止机构24进行悬挂支承的支承框升降，来进行箱子90的升降。
本实施方式中，多个浮动单元50在货叉41的宽度方向上的两端部以沿着货叉41的长度方向排列的状态而被配置于载置面41a上，不过，只要在货叉41上能够对箱子90充分地进行支承即可，浮动单元50的配置位置、个数没有限定。
本实施方式中，利用磁铁式的恢复机构，来构成浮动单元50的活动部恢复机构KF，不过，并不限定于此，可以通过利用弹簧的弹性施力的弹性施力式的恢复机构来构成。同样地，本实施方式中，利用弹性施力式的恢复机构，来构成支承体恢复机构SF，不过，也可以利用磁铁式的恢复机构来构成。
本实施方式中，推杆25通过与箱子90的角部90A抵接而限制箱子90的位置，不过，并不限定于此，也可以构成为：箱子90的侧面上只要是在抵接时能够限制箱子90的位置即可，将箱子90的侧面的中央部与推杆25抵接。另外，利用2个推杆25进行箱子90的位置限制，不过，并不限定于此，也可以利用1个或者3个以上的推杆25进行位置限制。
本实施方式中，利用多个浮动工作台31和基台32来构成承接台30，不过，并不限定于此，只要为能够对箱子90进行载置且能够移动的结构即可，也可以利用1个浮动工作台31和基台32(基台主体32A、座板32B)来构成。
本实施方式中，构成为：多个浮动工作台31能够向彼此分离的方向移动，不过，并不限定于此，只要能够向避开箱子90的升降路径的位置移动即可，也可以使所有浮动工作台31向同一方向移动。另外，构成为：多个浮动工作台31能够向与箱子90的升降路径水平正交的方向移动，不过，并不限定于此，只要能够向避开箱子90的升降路径的位置移动即可，也可以向不是相对于箱子90的升降路径水平正交的方向移动，例如，从箱子90的载置位置(箱子搬出搬入位置11)向斜下方移动。
本实施方式中，借助基台32而使浮动工作台31移动，不过，并不限定于此，也可以使浮动工作台31自身直接移动。
本实施方式中，移载设备10为：附加设置于对基板91进行蒸镀处理的蒸镀装置80上的设备，不过，并不限定于此，只要是：将收纳有物品的容器朝向对物品进行处理的处理装置移载的移载设备即可，也可以是：附加设置于蒸镀装置80以外的装置上的设备。

Claims (5)

1.一种移载设备，其是将收纳有物品的容器移载给对所述物品进行处理的处理装置，
所述移载设备的特征在于，具备：
承接台，该承接台设置于所述处理装置的上方；以及
移载机，该移载机用于在所述承接台与所述处理装置之间对所述容器进行搬送，
所述承接台、所述移载机以及所述处理装置的载物口被配置于俯视时彼此重叠的位置，
所述移载机构成为：将所述容器相对于所述承接台进行搬入或搬出，并使所搬入或搬搬出的容器在所述承接台与所述处理装置之间进行升降移动，
所述承接台构成为：
在所述移载机将所述容器相对于所述承接台进行搬入或搬出时，所述承接台位于所述容器的升降路径上，
在所述容器通过所述移载机而进行升降时，所述承接台能够向避开所述容器的升降路径的方向移动。
2.根据权利要求1所述的移载设备，其特征在于，
所述承接台构成为：能够向与所述容器的升降路径正交的方向移动。
3.根据权利要求1或2所述的移载设备，其特征在于，
所述承接台具备：对所述容器进行载置的多个载置部，
所述多个载置部构成为：能够向彼此分离的方向移动。
4.根据权利要求1或2所述的移载设备，其特征在于，
具备：进行所述承接台上的所述容器的定位的定位装置，
所述定位装置构成为：在所述容器通过所述移载机而进行升降时，所述定位装置能够向避开所述容器的升降路径的方向移动。
5.一种移载方法，其是：将收纳有物品的容器移载给对所述物品进行处理的处理装置的容器移载方法，
所述移载方法的特征在于，
将设置于所述处理装置的上方的承接台、在所述承接台与所述处理装置之间对所述容器进行升降搬送的移载机、以及所述处理装置的载物口配置在俯视时彼此重叠的位置，
将被支承于所述承接台的容器通过所述移载机而从所述承接台搬出，
使所述承接台向避开所述移载机的升降路径的方向移动，由此，所述移载机使从所述承接台搬出来的容器进行升降移动。
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