KR101289366B1 - 기판 반송 설비 - Google Patents

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KR101289366B1
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요시테루 이케하타
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Abstract

본 발명은, 인출 대상 기판이 부상용(浮上用) 공기 분출체와 접촉되지 않는 기판 반송 설비를 제공한다. 지지판에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부에 인접하는 부분에 설치되어, 인출 대상 기판(1) 하면과 상기 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)의 상면과의 사이에 공기를 분출하는 부상용 공기 분출체(71)와, 부상용 공기 분출체(71)의 상면과 인출 수단에 의해 인출되는 인출 대상 기판(1)의 하면과의 사이를 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출체(71)를 설치한다.
기판, 공기 분출체, 인출 수단, 보조 공기 분출체, 지지판

Description

기판 반송 설비{SUBSTRATE TRANSPORTING FACILITY}
본 발명은, 직사각형의 기판을 탑재 지지하는 복수 개의 지지판이 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 병설된 수납 용기와; 상기 복수 개의 지지판 중 상기 수납 용기로부터 인출되는 인출 대상 기판을 지지하는 상기 지지판에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부에 인접하는 용기 인접 부분에 설치되어, 상기 인출 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판의 상면과의 사이에 공기를 분출하는 부상용 공기 분출체와; 상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 상기 지지판으로부터 부상된 상기 인출 대상 기판을 상기 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키는 상태로 상기 수납 용기로부터 인출하는 인출 수단;이 설치되어 있는 기판 반송 설비에 관한 것이다.
이러한 기판 반송 설비는, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등의 직사각형의 기판이, 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 병설된 지지판 상에 탑재 지지된 상태로 수납 용기에 복수 개 수납되어 있고, 그 수납 용기에 수납된 복수 개의 기판 중의 인출 대상 기판을 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 지지판으로부터 부상시키고, 그 부상시킨 기판을 인출 수단에 의해 수납 용기로부터 인출하는 것이므로, 수납 용기에 수납되어 있는 기판을 마찰 등에 의해 쉽게 손상되지 않는 상태로 인출할 수 있는 것이다.
그리고, 이와 같은 기판 반송 설비에 있어서, 종래에는, 기판 인출 방향에 있어서 용기 인접 부분에 설치된 부상용 공기 분출체가, 기판 인출 방향의 상류측 단부에 형성된 분출구로부터 인출 대상 기판의 하면과 상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하는 지지판과의 사이를 향해 수평 방향으로 공기를 분출하도록 구성되며, 인출 대상 기판과 지지판 사이에 기판 인출 방향의 하류측으로부터 상류측을 향해 유동하는 공기층을 형성함으로써, 이 공기층에 의해 인출 대상 기판을 지지하고, 인출 수단이, 그 기판을 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키도록 하여 인출하도록 되어 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
[특허 문헌 1] 일본공개특허 제2006-315850호 공보
그러나, 종래의 기판 반송 설비에서는, 부상용 공기 분출체가 그 기판 인출 방향의 상류측 단부에 형성된 분출구로부터 수평 방향으로 공기를 분출하는 것이므로, 부상용 공기 분출체의 상기 분출구보다 기판 인출 방향의 하류측에는 공기의 분출에 의해 형성되는 공기층이 형성되지 않는다. 또한, 상기 분출구로부터 수평 방향으로 공기를 분출하기 위해서는, 어느 정도 길이의 노즐 등의 공기 안내부를 기판 인출 방향을 따라 형성할 필요가 있으므로, 공기층이 형성되지 않는 영역에 있어서의 부상용 공기 분출체의 인출 방향의 길이는 어느 정도 긴 것이 된다. 그 러므로, 인출 대상 기판을 인출 수단에 의해 인출하는 경우에, 부상용 공기 분출체의 위쪽에 위치하는 부분은 공기층에 의해 지지되지 않게 되어, 인출 대상 기판이 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과할 때 부상용 공기 분출체에 접촉할 우려가 있었다.
본 발명은, 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 인출 대상 기판이 부상용 공기 분출체와 접촉되지 않는 기판 반송 설비를 제공하는 점에 있다.
본 발명에 관한 기판 반송 설비는, 직사각형의 기판을 탑재 지지하는 복수 개의 지지판이 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 병설된 수납 용기와; 상기 복수 개의 지지판 중 상기 수납 용기로부터 인출되는 인출 대상 기판을 지지하는 상기 지지판에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부에 인접하는 용기 인접 부분에 설치되어, 상기 인출 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판의 상면과의 사이에 공기를 분출하는 부상용 공기 분출체와;
상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 상기 지지판으로부터 부상된 상기 인출 대상 기판을 상기 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키는 상태로 상기 수납 용기로부터 인출하는 인출 수단;이 설치되어 있는 기판 반송 설비로서,
상기 부상용 공기 분출체의 상면과 상기 인출 수단에 의해 인출되는 상기 인출 대상 기판의 하면과의 사이를 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출체가 설치되 어 있다.
즉, 부상용 공기 분출체의 상면과 인출 수단에 의해 인출되는 인출 대상 기판의 하면과의 사이를 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출체가 설치되어 있으므로, 보조 공기 분출체로부터 분출되는 공기에 의해 부상용 공기 분출체의 상부에는 공기층이 형성되고, 이 공기층에 의해 부상용 공기 분출체의 위쪽에 있어서도 인출 대상 기판이 지지된다.
따라서, 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과할 때 인출 대상 기판이 부상용 공기 분출체와 접촉되지 않는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 부상용 공기 분출체가, 위쪽을 향해 공기를 분출하는 공기 분출구와, 이 공기 분출구의 기판 인출 방향의 상류측 단부로부터 위쪽으로 연장되는 형상으로 형성되어 상기 공기 분출구로부터 위쪽을 향해 분출된 공기를 상기 부상용 공기 분출체의 상면을 따라 수납 용기 측을 향해 수평 방향으로 유동(流動)하도록 유도(誘導)하는 유도 곡면을 구비하여, 상기 보조 공기 분출체를 겸용하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 부상용 공기 분출체의 공기 분출구로부터 위쪽을 향해 분출된 공기는, 코안다 효과(coanda effect) 에 의해 유도 곡면을 따라 유동된 후, 부상용 공기 분출체의 상면을 따라 수평 방향으로 유동하고, 그대로 기판 인출 방향의 상류측에 위치하는 수납 용기를 향해 수평 방향으로 유동되므로, 공기 분출구로부터 분출된 공기는, 인출 대상 기판의 하면과 부상용 공기 분출체의 상면과의 사이를 향해 공기가 분출되도록 유도 곡면에 의해 유도되고, 그 후에는, 인출 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 지지판의 상면과의 사이에 공기가 분출되도록 수납 용기 측을 향해 수평 방향으로 유동한다.
따라서, 부상용 공기 분출체에 의해 보조 공기 분출체를 겸용할 수 있으므로, 보조 공기 분출체를 부상용 공기 분출체와는 별도로 설치할 필요가 없고, 보조 공기 분출체를 개별적으로 설치되는 것에 비해, 구성의 간소화를 도모할 수 있게 된다.
따라서, 구성의 간소화를 도모할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 용기 인접 부분에 있어서 상기 공기 분출구보다 기판 인출 방향의 하류측으로 공기를 공급하는 공급용 공기 분출체가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 공급용 공기 분출체에 의해, 용기 인접 부분에 있어서 공기 분출구보다 기판 인출 방향의 하류측으로 공기를 공급할 수 있다.
즉, 공기 분출구 주위의 공기는, 부상용 공기 분출체의 공기 분출구로부터 분출되는 공기에 유인되어 이 공기와 함께 유동하므로, 공기 분출구의 주위, 특히, 공기 분출구의 기판 인출 방향의 하류 측에 있어서 부압(負壓)으로 되고, 인출 수단에 의해 반송되는 인출 대상 기판이 부압에 의해 흡인되어 아래쪽으로 가라앉게 되기 쉬워지지만, 공급용 공기 분출체에 의해 용기 인접 부분에 있어서 공기 분출구보다 기판 인출 방향의 하류측으로 공기를 공급함으로써, 공기 분출구의 기판 인출 방향의 하류측을 정압화(正壓化)할 수 있어 공기 분출구의 기판 인출 방향의 하류측에 있어서의 인출 대상 기판의 가라앉음을 억제할 수 있다.
따라서, 공기 분출구의 기판 인출 방향의 하류측에 있어서의 인출 대상 기판의 가라앉음을 억제하여, 기판을 안정적으로 인출할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 의한 실시예에 있어서, 상기 부상용 공기 분출체가, 기판 인출 방향과 교차하는 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 복수 개 병설되고, 상기 공급용 공기 분출체가, 상기 가로폭 방향으로 상기 부상용 공기 분출체의 사이에 설치되고, 또한 위쪽을 향해 공기를 분출하는 역방향용 공기 분출구와, 이 역방향용 공기 분출구보다 상부측이며 또한 기판 인출 방향의 하류측에 위치하여 상기 역방향용 공기 분출구로부터 위쪽을 향해 분출된 공기를 상기 공급용 공기 분출체의 상면을 따라 수납 용기 측과는 반대측을 향해 수평 방향으로 유동하도록 유도하는 역방향용 유도 곡면을 구비하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 부상용 공기 분출체와 마찬가지로, 공급용 공기 분출체의 역방향용 공기 분출구로부터 위쪽을 향해 분출된 공기는, 코안다 효과에 의해 역방향용 유도 곡면을 따라 유동된 후, 부상용 공기 분출체의 상면을 따라 수평 방향으로 유동하고, 그대로 기판 인출 방향의 하류측을 향해 수평 방향으로 유동되므로, 공기 분출구로부터 분출된 공기는, 유도 곡면에 의해 유도된 후에는, 부상용 공기 분출체의 공기 분출구보다 기판 인출 방향의 하류측으로 공기를 공급하도록 기판 인출 방향의 하류측을 향해 수평 방향으로 유동한다.
또한, 공급용 공기 분출체가, 가로폭 방향으로 병설된 부상용 공기 분출체의 사이에 설치되어 있으므로, 공급용 공기 분출체를, 부상용 공기 분출체로부터 분출 된 공기와 충돌하지 않는 상태로 설치할 수 있는 동시에, 기판 인출 방향의 하류측을 향해 수평 방향으로 유동하는 공기에 의해 형성되는 공기층에 의해 인출 대상 기판을 지지할 수 있으므로 인출 수단에 의한 기판의 인출을 보다 안정적으로 행할 수 있다.
따라서, 공기 분출구의 기판 인출 방향의 하류측에 있어서의 기판 인출 대상 기판의 가라앉음을 억제할 수 있는 동시에, 인출 수단에 의한 기판의 인출을 보다 안정적으로 행할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 의한 실시예에 있어서, 상기 부상용 공기 분출체가, 그 상면이 상기 공급용 공기 분출체의 상면보다 아래쪽에 위치하도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 부상용 공기 분출체로부터 분출되어 기판 인출 방향의 상류측을 향해 수평 방향으로 유동하는 공기층의 높이가, 공급용 공기 분출체로부터 분출되어 기판 인출 방향의 하류측을 향해 수평 방향으로 유동하는 공기층의 높이보다 낮아진다.
즉, 공급용 공기 분출체에 의해, 부상하고 있는 인출 대상 기판에 대하여 적절한 높이로 공기층을 형성하면서, 부상용 공기 분출체에 의해, 지지판에 탑재 지지된 부상하고 있지 않는 인출 대상 기판을 부상시키는 데 적절한 높이로 공기층을 형성할 수 있게 되므로, 인출 수단에 의한 기판의 인출을 보다 안정적으로 행할 수 있는 동시에, 지지판에 탑재 지지되어 있는 인출 대상 기판을 확실하게 부상시킬 수 있다.
따라서, 인출 수단에 의한 기판의 인출을 보다 안정적으로 행할 수 있는 동 시에, 지지판에 탑재 지지되어 있는 인출 대상 기판을 확실하게 부상시킬 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 있어서의 실시예에 있어서, 상기 부상용 공기 분출체에 공급되는 공기의 공급량을 조정 가능한 공기 공급 장치와, 상기 부상용 공기 분출체로부터 분출되는 공기의 분출량이 목표 공급량을 향해 단계적으로 많아지도록 상기 공기 공급 장치의 작동을 제어하는 공기 공급용 제어 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 부상용 공기 분출체로부터의 공기의 분출을 개시했을 때, 부상용 공기 분출체로부터 분출되는 공기의 분출량이 목표 공급량을 향해 단계적으로 많아지므로, 인출 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 지지판의 상면과의 사이에 유동하는 공기의 양도 단계적으로 많아지므로, 기판을 서서히 부상시킬 수 있어 부상시킬 때의 기판의 덜거덕거림을 억제할 수 있다.
따라서, 부상시킬 때의 기판의 덜거덕거림을 억제할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 있어서의 실시예에 있어서, 상기 인출 수단에 의해 인출된 상기 기판을 수취하고 또한 수취한 상기 기판의 하면을 향해 공기를 공급하여 상기 기판을 비접촉 상태로 지지한 상태에서 반송하는 지지 반송 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 인출 수단에 의해 인출된 기판을 지지 반송 수단에 의해 수취하고, 지지 반송 수단은 기판의 하면을 향해 공기를 공급하여 기판을 비접촉 상태로 지지한 상 태로 반송할 수 있고, 인출 수단에 의해 인출된 기판을 쉽게 손상되지 않는 상태로 반송할 수 있다.
따라서, 인출 수단에 의해 인출된 기판을 쉽게 손상되지 않는 상태로 반송할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 의한 실시예에 있어서, 상기 인출 수단이, 상기 수납 용기에 수납되는 수납 대상의 기판을 상기 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키는 상태로 또한 상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 상기 지지판으로부터 부상시킨 상태로 상기 수납 용기에 수납 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 인출 수단에 의해, 수납 용기에 수납하는 수납 대상의 기판을 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키는 상태로 또한 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 지지판으로부터 부상시킨 상태로 수납 용기에 수납시킬 수 있고, 수납 용기로부터의 인출 대상 기판의 인출과 수납 용기로의 수납 대상 기판의 수납을 행할 수 있어, 사용 편리성이 양호한 것으로 된다.
따라서, 사용 편리성이 양호한 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 의한 실시예에 있어서, 상기 수납 용기가, 통형(筒形)으로 형성되어 그 일단부에 기판 인출용의 개구가 수평 방향으로 열리도록 형성되고 또한 내부에 기판을 복수 개 수납하는 용기 본체와, 상기 용기 본체에 대하여 장착 및 분리 가능하며 상기 용기 본체에 장착한 상태에 있어서 상기 개구의 전체면을 닫는 커버 부재를 구비하여 구성되며,
상기 커버 부재를 상기 수납 용기로부터 이탈시키는 커버 이탈 수단이 설치 되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 수납 용기가, 용기 본체에 대하여 장착 및 분리 가능하며 용기 본체에 장착한 상태에 있어서 개구의 전체면을 닫는 커버 부재를 구비하여 구성되며, 이 커버 부재를 수납 용기로부터 이탈시키는 커버 이탈 수단이 설치되어 있으므로, 인출 수단에 의해 기판을 인출하지 않을 때는, 커버 부재를 용기 본체에 장착하여 개구의 전체면을 닫는 것에 의해, 개구로부터 용기 본체 내에 먼지가 침입하는 것을 막아 수납되어 있는 기판이 먼지에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있고, 또한 인출 수단에 의해 기판을 인출할 때는, 커버 이탈 수단에 의해 수납 용기로부터 커버 부재를 이탈시킴으로써, 커버 부재가 이탈된 수납 용기의 개구를 통해 인출 수단에 의해 수납 용기의 용기 본체에 대하여 직접적으로 기판을 인출할 수 있다.
즉, 커버 이탈 수단에 의해 용기 본체로부터 커버 부재가 이탈될 수 있으므로, 인출 수단에 의해 수납 용기로부터 기판을 인출할 때 용기 본체와 인출 수단 사이에 커버 부재가 존재하지 않으므로, 용기 본체를 인출 수단 및 부상용 공기 분출체에 대하여 기판 이송탑재 방향으로 근접시킬 수 있고, 부상용 공기 분출체에 의해 적은 공기량으로 기판을 지지판으로부터 확실하게 부상시키고 쉽고, 또한 인출 수단에 의한 기판을 인출하기 위한 스트로크가 짧아져, 인출 수단에 의한 기판의 인출을 쉽게 행할 수 있게 된다. 또한, 인출 수단에 의해 기판을 인출할 때, 커버 부재에 기판 인출용의 간극을 형성하여, 그 간극을 통과시키도록 하여 기판을 인출할 필요가 없기 때문에, 이 점으로부터도, 인출 수단에 의한 기판의 인출을 쉽게 행할 수 있게 된다.
따라서, 수납 용기에 수납되어 있는 기판이 먼지에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있는 동시에 인출 수단에 의한 기판의 인출을 쉽게 행할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 의한 실시예에 있어서, 상기 부상용 공기 분출체, 상기 인출 수단 및 상기 보조 공기 분출체가, 위치 고정 상태로 설치되고, 상기 수납 용기를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단과, 상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판을 상기 부상용 공기 분출체 및 상기 인출 수단에 대응하는 인출용 높이에 위치시키도록 상기 승강 수단의 작동을 제어하는 승강용 제어 수단이 설치되고, 상기 커버 이탈 수단이, 상기 커버 부재에 의해 상기 수납 용기의 상기 개구에 있어서의 상기 인출 대상 기판보다 위쪽의 부분을 닫도록, 상기 이탈시킨 상기 커버 부재를 상기 인출 대상 기판보다 위쪽이며 또한 상기 기판 인출 방향으로 상기 수납 용기의 상기 개구에 근접하는 위치에 지지되도록 구성하며, 상기 수납 용기의 상기 개구에 있어서의 상기 기판 인출 대상 기판보다 아래쪽의 부분을 닫도록, 상기 인출 대상 기판보다 하방이며 또한 상기 기판 인출 방향으로 상기 수납 용기의 상기 개구에 근접하는 위치에 고정 커버가 위치 고정 상태로 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 승강 수단에 의해 수납 용기를 승강시켜, 복수 개의 지지판 중 인출 대상 기판을 탑재 지지하는 지지판을 부상용 공기 분출체 및 인출 수단에 대응하는 인출용 높이에 위치시킴으로써, 그 지지판에 탑재 지지되어 있는 기판을 인출할 수 있으므로, 복수 개의 지지판으로부터 기판을 랜덤으로 인출할 수 있다.
또한, 수납 용기를 승강 수단에 의해 승강시킴으로써, 수납 용기보다 구성이 복잡한 부상용 공기 분출체 및 인출 수단을 승강 이동시킬 필요가 없기 때문에, 지지판과 부상용 공기 분출체 및 인출 수단과의 높이 방향에서의 위치맞춤을 간단하게 행할 수 있다.
그리고, 커버 부재에 의해 수납 용기의 개구에 있어서의 인출 대상 기판보다 위쪽의 부분을 닫고, 고정 커버에 의해 수납 용기의 개구에 있어서의 인출 대상 기판보다 아래쪽의 부분을 닫으므로, 인출 수단에 의해 수납 용기로부터 기판을 인출할 때 커버 부재와 고정 커버로 개구에 있어서의 인출 대상 기판의 위쪽의 부분 및 아래쪽의 부분을 닫는 것에 의해, 인출 수단에 의해 수납 용기로부터 기판을 인출할 때 개구로부터 용기 본체 내에 먼지가 침입하는 것을 막아 수납 용기 내의 기판이 먼지에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 커버 이탈 수단에 의해 용기 본체로부터 이탈시킨 커버 부재를, 수납 용기의 개구에 있어서의 인출 대상 기판보다 위쪽의 부분을 막도록 이용함으로써, 이 개구에 있어서의 위쪽의 부분을 막기 위해 별도 커버를 준비할 필요가 없으므로, 수납 용기의 개구에 있어서의 위쪽의 부분과 아래쪽의 부분을 간소한 구성으로 막을 수가 있다.
따라서, 복수 개의 지지판으로부터 기판을 랜덤으로 인출할 수 있고 또한 지지판과 부상용 공기 분출체 및 인출 수단과의 높이 방향에서의 위치맞춤을 간단하게 행할 수 있고, 수납 용기의 개구에 있어서의 위쪽의 부분과 아래쪽의 부분을 간소한 구성으로 방지할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
기판 반송 설비에 있어서, 종래에는, 기판 인출 수단이, 인출 대상 기판에서의 기판 인출 방향의 하류측 단부를 지지하는 지지부를 기판 출입 방향에 따른 이동 경로를 따라 이동시켜, 인출 대상 기판의 전체가 수납 용기 내에 위치하는 수납 위치로부터, 인출 대상 기판의 전체가 수납 용기 밖에 위치하는 인출 위치까지 인출 대상 기판을 반송하는 지지식 반송 수단을 구비하여 구성되어 있었다.
그러나, 상기한 종래의 기판 반송 설비에서는, 지지부가 기판에서의 기판 출입 방향의 하류측 단부를 지지한 상태에서, 반송 수단에 의해 인출 대상 기판의 전체가 수납 용기 내에 위치하는 수납 위치로부터, 인출 대상 기판의 전체가 수납 용기 밖에 위치하는 인출 위치까지, 기판을 반송하는 것이므로, 지지부는, 수납 위치로부터 인출 위치까지의 기판의 반송 거리만큼 이동 경로를 따라 이동한다. 그러므로, 지지부의 기판 인출 방향에서의 이동 거리가 길어져, 지지식 반송 수단, 특히, 그 지지식 반송 수단에서의 지지부를 안내하는 부재가 기판 인출 방향으로 큰 것으로 되어 있었다.
또한, 인출 대상 기판을 수납 위치로부터 인출 위치까지 반송할 때는, 그 기판의 기판 인출 방향의 하류측 단부만을 지지하는 상태이므로, 기판 인출 수단에 의해 인출 대상 기판을 안정적으로 반송하기 어려웠다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 실시예에 있어서는, 상기 인출 수단이,
상기 인출 대상 기판에서의 기판 인출 방향의 하류측 단부를 협지하는 협지부를 기판 인출 방향에 따른 이동 경로를 따라 이동시켜, 상기 인출 대상 기판의 전체가 상기 수납 용기 내에 위치하는 수납 위치로부터, 상기 인출 대상 기판의 일부가 상기 수납 용기 밖에 위치하는 중계 위치까지 상기 인출 대상 기판을 반송하는 협지 반송 수단과,
상기 중계 위치로 반송된 상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하여, 상기 인출 대상 기판을 상기 중계 위치로부터 상기 인출 대상 기판의 전체가 상기 수납 용기 밖에 위치하는 인출 위치로 반송하는 탑재 지지 반송 수단을 설치하여 구성되며,
상기 협지 반송 수단이, 상기 인출 대상 기판을 상기 중계 위치로 반송한 상태에서 상기 인출 대상 기판에 대한 협지를 해제한 상기 협지부를, 상기 탑재 지지 반송 수단에 의해 반송되는 상기 인출 대상 기판의 반송 경로로부터 퇴피시킨 퇴피 위치로 이동시키는 퇴피 조작 수단을 구비하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 인출 대상 기판에서의 기판 인출 방향의 하류측 단부를 협지하는 협지부를 기판 인출 방향에 따른 이동 경로를 따라 이동시킴으로써, 협지 반송 수단에 의해, 인출 대상 기판의 전체가 수납 용기 내에 위치하는 수납 위치로부터, 인출 대상 기판의 일부가 수납 용기 밖에 위치하는 중계 위치까지 인출 대상 기판을 반송할 수 있다. 또한, 탑재 지지 반송 수단에 의해, 중계 위치로 반송된 인출 대상 기판을 탑재 지지하여, 인출 대상 기판을 중계 위치로부터 그 전체가 수납 용기 밖에 위치하는 인출 위치로 반송할 수 있다.
따라서, 협지 반송 수단에 의해 인출 대상 기판의 전체가 수납 용기 내에 위치하는 수납 위치로부터 인출 대상 기판의 일부가 수납 용기 밖에 위치하는 중계 위치까지 반송하는 것이므로, 협지부의 기판 인출 방향에서의 이동 거리는 짧아지 게 되고, 협지 반송 수단, 특히, 그 반송 수단에서의 지지부를 안내하는 부재를 기판 인출 방향으로 작게 할 수 있다.
또한, 탑재 지지 반송 수단이, 인출 대상 기판을 중계 위치로부터 인출 위치로 반송할 때는, 기판은, 그 탑재 지지 반송 수단에 의해 탑재 지지되는 상태이므로, 탑재 지지 수단에 의해 기판의 가로폭 방향의 양 단부 등에 있어서 기판의 하면에 지지 작용함으로써, 기판 인출 수단에 의해 인출 대상 기판을 인출 위치까지 안정적으로 반송할 수 있다.
그리고, 인출 대상 기판을 중계 위치로 반송하고 또한 인출 대상 기판에 대한 협지를 해제한 협지부는, 지지 반송 수단에 의해 반송되는 인출 대상 기판의 반송 경로로부터 퇴피시킬 수 있으므로, 탑재 지지 반송 수단에 의해 인출 대상 기판을 중계 위치로부터 인출 위치로 반송할 때 인출 대상 기판이 협지 반송 수단에서의 협지부와 맞닿는 것을 회피할 수 있다.
또한, 협지 반송 수단은 인출 대상 기판을 협지하여 반송하는 것이므로, 흡착되어 반송하는 것에 비해 기판에 지지 작용하는 부분을 상하 방향으로 얇게 형성할 수 있으므로 상하 방향으로 간격이 좁은 상태에서 기판이 수납된 수납 효율이 높은 수납 용기로부터라도 기판을 인출하게 할 수가 있다.
따라서, 기판 인출 수단에서의 협지 반송 수단을 기판 인출 방향으로 소형화를 도모할 수 있는 동시에, 기판 인출 수단에 의해 인출 대상 기판을 안정적으로 쉽게 반송할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 협지부가, 상기 이동 경로를 따라 이동 가 능한 이동체에 세로축심 주위로 요동(搖動) 가능하게 지지되고,
상기 퇴피 조작 수단이, 상기 이동체의 상기 이동 경로에 따른 이동에 의해 상기 협지부와 맞닿아, 상기 협지부를 기판 인출 방향과 교차하는 가로폭 방향의 바깥쪽으로 안내하게 하도록 세로축심 주위로 요동시킴으로써 상기 퇴피 위치로 퇴피시키는 요동 안내 부재에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 이동체의 이동 경로에 따른 이동에 따라 요동 안내 부재가 협지부에 맞닿고, 이 접촉에 의해, 협지부는 기판 인출 방향과 교차하는 가로폭 방향의 바깥쪽으로 안내되도록 세로축심 주위로 요동하여 퇴피 위치로 퇴피하므로, 이동체를 이동 경로를 따라 직선형으로 이동시키는 것만으로 협지부를 퇴피 위치로 안내할 수 있다. 이로써, 협지부를 퇴피 위치로 이동시키기 위해 이동체를 이동 경로와 교차하는 방향으로 이동 가능하게 구성한 것이나 이동체를 퇴피 위치로 이동시키는 구동 수단을 별개로 설치한 것과 비교하여, 협지 반송 수단의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
따라서, 협지 반송 수단의 구성의 간소화를 도모할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 탑재 지지 반송 장치가, 기판의 출입 방향에 병설되어 상기 인출 대상 기판의 하면에 접촉하는 복수 개의 지지용 반송 롤러와, 상기 중계 위치에 위치하는 상기 인출 대상 기판의 상면에 접촉하여 상기 지지용 반송 롤러와의 협동에 의해 상기 인출 대상 기판을 협지하는 협지용 반송 롤러를 구비하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 복수 개의 지지용 반송 롤러와 협지용 반송 롤러로 인출 대상 기판을 협지한 상태로 반송하므로, 탑재 지지 반송 장치에 의해 인출 대상 기판을 중계 위치로부터 인출 위치에 확실하게 반송할 수 있다.
즉, 인출 대상 기판이 중계 위치에 위치하고 있는 상태에서는, 인출 대상 기판의 일부가 수납 용기 밖에 위치하고 있을 뿐이므로, 복수 개의 지지용 반송 롤러 만으로 인출 대상 기판을 중계 위치로부터 인출 위치로 반송하도록 해도, 인출 대상 기판은 기판 인출 방향의 하류측의 부분이 소수의 지지용 반송 롤러에 의해 탑재 지지되어 있을 뿐이므로, 인출 대상 기판의 지지용 반송 롤러에 대한 접촉압이 작고, 지지용 반송 롤러가 용이하게 공전(空轉)하므로, 탑재 지지 반송 장치에 의해 인출 대상 기판을 확실하게 반송하기 어렵다. 그러나, 협지용 반송 롤러를 설치하여 지지용 반송 롤러와의 협동에 의해 협지한 상태로 인출 대상 기판을 반송함으로써, 인출 대상 기판의 지지용 반송 롤러에 대한 접촉압을 크게 할 수 있고, 지지용 반송 롤러가 공전하기 어려워지므로, 탑재 지지 반송 장치에 의해 인출 대상 기판을 확실하게 반송할 수 있게 된다.
따라서, 탑재 지지 반송 장치에 의해 인출 대상 기판을 확실하게 쉽게 반송할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 협지 반송 수단이, 상기 인출 대상 기판에서의 상기 기판 인출 방향과 교차하는 가로폭 방향의 양 단부를 협지하도록 상기 협지부를 상기 가로폭 방향으로 한쌍 설치하여 구성되며,
상기 탑재 지지 반송 수단이, 상기 인출 대상 기판에서의 상기 가로폭 방향 의 양 단부를 탑재 지지하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 인출 대상 기판은, 그 인출 대상 기판에서의 인출 방향의 하류측 단부이며 또한 가로폭 방향의 양 단부가 협지부에 의해 협지된 상태로 협지 반송 수단에 의해 수납 위치로부터 중계 위치로 반송되고, 또한 인출 대상 기판에서의 양 단부가 탑재 지지된 상태로 탑재 지지 반송 수단에 의해 중계 위치로부터 인출 위치로 반송된다.
따라서, 인출 대상 기판을 수납 위치로부터 인출 위치로 반송하는 데 있어서, 협지 반송 수단 및 탑재 반송 수단은 인출 대상 기판의 가로폭 방향의 양 단부에 작용하고, 가로폭 방향의 중앙부에는 작용하지 않으므로, 기판에서의 가로폭 방향 중앙부의 손상을 방지할 수 있다.
따라서, 인출 대상 기판에서의 가로폭 방향 중앙부의 손상을 방지할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 수납 용기를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단과, 상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판을 상기 부상용 공기 분출체 및 상기 인출 수단에 대응하는 인출용 높이에 위치시키도록 상기 승강 수단의 작동을 제어하는 승강용 제어 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 승강 수단에 의해 수납 용기를 승강시켜, 복수 개의 지지판 중 인출 대상 기판을 탑재 지지하는 지지판을 부상용 공기 분출체 및 인출 수단에 대응하는 인출용 높이에 위치시킴으로써, 그 지지판에 탑재 지지되는 기판을 인출할 수 있으므로, 복수 개의 지지판으로부터 기판을 랜덤으로 인출할 수 있다.
또한, 수납 용기를 승강 수단에 의해 승강시킴으로써, 수납 용기보다 구성이 복잡한 부상용 공기 분출체 및 인출 수단을 승강 이동시킬 필요가 없기 때문에, 지지판과 부상용 공기 분출체 및 인출 수단과의 높이 방향에서의 위치맞춤을 간단하게 행할 수 있다.
따라서, 복수 개의 지지판으로부터 기판을 랜덤으로 인출할 수 있고 또한 지지판과 부상용 공기 분출체 및 인출 수단과의 높이 방향에서의 위치맞춤을 간단하게 행할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 탑재 지지 반송 수단이, 상기 수납 용기에 수납하는 수납 대상의 기판을 상기 인출 위치로부터 상기 중계 위치로 반송 가능하게 구성되며,
상기 협지 반송 수단이, 상기 협지부를 이동 경로를 따라 기판 반입 방향의 상류측으로부터 하류측으로 이동시켜, 상기 탑재 지지 반송 수단에 의해 상기 중계 위치로 반송된 상기 수납 대상의 기판을, 상기 협지부의 선단 부분에 의해 가압하는 상태에서 상기 중계 위치로부터 상기 수납 위치까지 반송하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 탑재 지지 반송 수단에 의해 수납 용기에 수납하는 수납 대상의 기판을 인출 위치로부터 중계 위치로 반송할 수 있고, 또한 협지 반송 수단에 의해 수납 대상의 기판을 중계 위치로부터 수납 위치로 반송할 수 있으므로, 인출 수단에 의해, 인출 대상 기판의 수납 용기로부터의 인출에 더하여 수납 용기로의 수납 대상 기판의 수납도 행할 수 있어, 사용 편리성이 양호하게 된다.
또한, 협지 반송 수단에 의해 수납 대상의 기판을 중계 위치로부터 수납 위치로 반송할 때는, 협지부의 선단 부분에 의해 가압하는 상태에서 수납 대상의 기판을 반송하는 것이므로, 협지하는 경우와 같이, 협지나 협지 해제의 동작이 필요없어, 신속히 반송할 수 있다.
따라서, 사용 편리성이 양호하고, 또한 수납 대상의 기판을 신속히 수납 용기에 수납하는 것이 가능한 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
기판 반송 설비에 있어서, 종래에는, 지지판은, 그 상면이 평탄하게 형성되어 있고, 수납 대상의 기판은 지지판의 평탄한 상면에 직접 탑재 지지하도록 구성되어 있고, 수납 대상의 기판을 수납 수단에 의해 수납하여 수납 대상의 기판을 지지판 상에 위치시킨 후에는, 부상용 공기 분출체를 분출 정지 상태로 전환하여 공기의 분출을 정지시켜, 수납 대상의 기판을 지지판에 의해 탑재 지지시키고 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
그러나, 상기한 종래의 기판 반송 설비에서는, 지지판의 상면이 평탄하게 형성되어 있으므로, 부상용 공기 분출체를 분출 정지 상태로 전환해도, 수납 대상의 기판과 이것을 탑재 지지하는 지지판 사이에 공기가 체류함으로써, 지지판에 의해 수납 대상의 기판을 탑재 지지 가능할 때까지에 시간이 걸리게 된다. 따라서, 종래의 기판 반송 설비에서는, 수납 대상의 기판을 수납 용기에 신속히 수납할 수 없게 되어 있었다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명의 실시예에 있어서는, 상기 부상용 공기 분출체는, 공기를 분출하는 분출 상태 및 공기의 분출을 정지시킨 분출 정 지 상태로 전환 가능하며,
상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 부상한 상기 수납 대상의 기판을, 상기 기판을 탑재 지지하는 지지판 상에 위치하도록 상기 수납 용기에 수납하는 수납 수단이 형성되어 있고,
상기 지지판이, 상기 기판을 탑재 지지하는 탑재면보다 아래쪽으로 요입(凹入)되고, 또한 기판을 탑재 지지하는 지지 예정 영역의 내외로 연장되는 요입부를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
즉, 지지판에, 기판을 탑재 지지하는 탑재면보다 아래쪽으로 요입되고 또한 기판을 탑재 지지하는 지지 예정 영역의 내외로 연장되는 요입부가 구비되어 있기 때문에, 수납 대상의 기판과 이것을 탑재 지지하는 지지판과의 사이의 공기를 요입부를 통해 외측으로 적극적으로 배기시킬 수 있다. 따라서, 부상용 공기 분출체를 분출 정지 상태로 전환했을 때, 수납 대상의 기판과 이것을 탑재 지지하는 지지판과의 사이의 공기를 신속하게 외측으로 배기시켜, 수납 대상의 기판을 탑재면에 의해 탑재 지지할 수 있다.
따라서, 수납 대상의 기판을 수납 용기에 신속히 수납할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 요입부가, 상기 지지 예정 영역의 중앙부로부터 상기 지지 예정 영역의 외부로 연장되는 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 요입부가, 지지 예정 영역의 중앙부로부터 지지 예정 영역의 외부로 연 장되는 형상으로 형성되어 있으므로, 수납 대상의 기판에서의 중앙부 아래쪽의 공기를 요입부를 통해 외측으로 배기시킬 수 있다. 이로써, 공기가 체류하기 쉬운 수납 대상의 기판에서의 중앙부 아래쪽의 공기를 적극적으로 외측으로 배기시키는 것이 가능하므로, 수납 대상의 기판과 이것을 탑재 지지하는 지지판과의 사이의 공기를 효율적으로 외측으로 배기시킬 수 있다. 따라서, 수납 대상의 기판을 수납 용기에 의해 신속히 수납하는 것이 가능하다.
따라서, 수납 대상의 기판을 수납 용기에 의해 신속히 수납하는 것이 가능하다 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 요입부가, 상기 지지 예정 영역에 있어서의 기판 수납 방향의 상류측 단부로부터 하류측 단부에 걸쳐 직선형으로 연장되는 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 요입부가, 지지 예정 영역에 있어서의 기판 수납 방향의 상류측 단부로부터 하류측 단부에 걸쳐 직선형으로 연장되는 형상으로 형성되어 있으므로, 기판 수납 방향의 상류측 단부로부터 하류측 단부의 전체에 이르는 수납 대상의 기판과 이것을 탑재 지지하는 지지판과의 사이의 공기를 외측으로 배기시킬 수 있다. 이로써, 수납 대상의 기판과 이것을 탑재 지지하는 지지판과의 사이의 공기를 효율적으로 또한 보다 신속하게 외측으로 배기시킬 수 있다. 또한, 수납 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 지지판의 상면과의 사이에 공기를 분출할 때는, 요입부를 이용하여 기판 수납 방향의 상류측 단부로부터 하류측 단부에 걸쳐 유동시킬 수 있고, 그 유동에 의해 수납 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하 는 지지판의 상면과의 사이의 전체에 걸쳐 공기를 정확하게 공급할 수 있고, 수납 수단에 의한 기판의 수납을 안정적으로 쉽게 행할 수 있게 된다.
따라서, 수납 대상의 기판을 수납 용기에 의해 신속히 수납할 수 있는 동시에, 수납 수단에 의한 기판의 수납을 안정적으로 쉽게 행할 수 있는 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 부상용 공기 분출체가, 상기 기판 수납 방향과 교차하는 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 병설되고,
상기 지지판이, 상기 가로폭 방향으로 병설된 상기 부상용 공기 분출체의 사이에 위치하도록 상기 요입부를 구비하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 지지판이, 가로폭 방향으로 병설된 부상용 공기 분출체의 사이에 위치하도록 요입부를 구비하여 구성되어 있으므로, 부상용 공기 분출체에 의해 수납 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 지지판의 상면과의 사이에 분출된 공기의 유동이, 지지판에 있어서의 탑재부를 형성하는 부분에 의해 방해받지 않아, 기판 수납 방향의 상류측 단부로부터 하류측 단부에 걸쳐 공기를 적정하게 유동시킬 수 있다. 따라서, 수납 수단에 의한 기판의 수납을 보다 안정적으로 쉽게 행할 수 있게 된다.
따라서, 수납 수단에 의한 기판의 수납을 보다 안정적으로 쉽게 행할 수 있는 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 지지판이, 상면이 평탄한 지지용 기판과 상기 탑재면을 구비하고 또한 상기 지지용 기판의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하는 복수 개의 돌기부를 구비하여 구성되며, 또한 상기 돌기부를 상기 지지용 기판에 기판 수납 방향 및 이 방향과 교차하는 가로폭 방향으로 병설함으로써 상기 요입부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 지지판을, 상면이 평탄한 지지용 기판과 상기 탑재면을 구비하고 또한 지지용 기판의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하는 복수 개의 돌기부를 구비하여 구성하고, 돌기부를 지지용 기판에 기판 수납 방향 및 가로폭 방향으로 병설함으로써 요입부를 형성하고 있으므로, 기판 수납 방향에 따른 요입 부분과 가로폭 방향에 따른 요입 부분이 서로 교차하도록 요입부를 형성할 수 있다. 따라서, 단지, 지지용 기판에 복수 개의 돌기부를 구비하는 간단한 구성이면서, 기판 수납 방향으로도 가로폭 방향으로도 공기를 외측으로 배기할 수 있는 요입부를 형성할 수 있고, 수납 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 지지판의 상면과의 사이의 공기를 신속하게 외측으로 배기할 수 있다.
따라서, 지지판에 있어서의 요입부를 용이하게 형성하면서, 수납 대상의 기판을 수납 용기에 의해 신속히 수납하는 것이 가능한 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 수납 용기를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단과, 상기 수납 대상의 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판을 상기 부상용 공기 분출체 및 상기 수납 수단에 대응하는 수납용 높이에 위치시키도록 상기 승강 수단의 작동을 제어하는 승강용 제어 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 승강 수단에 의해 수납 용기를 승강시켜, 복수 개의 지지판 중 어느 하 나를 부상용 공기 분출체 및 수납 수단에 대응하는 수납용 높이에 위치시킴으로써, 그 지지판에 탑재 지지되도록 수납 대상의 기판을 수납할 수 있으므로, 수납 대상의 기판을 복수 개의 지지판에 대하여 랜덤으로 탑재 지지할 수 있다.
또한, 수납 용기를 승강 수단에 의해 승강시킴으로써, 수납 용기보다 구성이 복잡한 부상용 공기 분출체 및 수납 수단을 승강 이동시킬 필요가 없기 때문에, 지지판과 부상용 공기 분출체 및 인출 수단과의 높이 방향에서의 위치맞춤을 간단하게 행할 수 있다.
따라서, 수납 대상의 기판을 복수 개의 지지판에 대하여 랜덤으로 탑재 지지할 수 있고 또한 지지판과 부상용 공기 분출체 및 인출 수단과의 높이 방향에서의 위치맞춤을 간단하게 행할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명은, 인출 대상 기판이 부상용(浮上用) 공기 분출체와 접촉되지 않는 기판 반송 설비를 제공한다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
몇가지 실시예에 대하여 설명하지만, 하나의 실시예의 특징과 다른 실시예의 특징의 조합도 본 발명의 범위 내에 포함된다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 처리 설비는, 직사각형의 기판(1)을 상하 방향으로 간격을 두고 정렬되는 상태로 복수 개 유지하는 수납 용기(2)를 수납하는 복수 개의 수납부(4)를 구비한 물품 수납 선반(5)과, 수납부(4)와 기판 출입부(6) 사이에서 수납 용기(2)를 반송하는 수납 용기 반송 장치로서의 스태커 크레인(7)과, 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)로부터 기판(1)을 1매씩 인출하여 기판(1)을 처리하는 기판 처리 장치(도시하지 않음)에 반송하고 또한 기판 처리 장치로부터 반송되는 기판(1)을 1매씩 수납 용기(2)에 수납하는 기판 반송 장치(8)를 구비하여 구성되어 있다. 여기서, 기판 반송 장치(8)가 본 발명에 관한 기판 반송 설비에 상당한다.
그리고, 이 기판 처리 설비에 있어서는, 수납 용기(2)를 물품 수납 선반(5)에 보관하면서, 보관한 수납 용기(2)를 기판 출입부(6)에 반송하고, 그 기판 출입부(6)에 반송된 수납 용기(2)로부터 기판(1)을 1매 단위로 인출하여 기판 처리 장치에 반송하여 소정의 처리를 행하고, 그 소정의 처리가 행해진 기판(1)을 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)에 대하여 1매 단위로 수납시키도록 하고 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 처리 설비에는, 클린 공간(13)에 있어서 정화 공기를 천정부보다 바닥부에 통풍시키는 다운플로식의 정화 공기 통풍 수단(23)이 형성되어 있고, 그 다운플로의 클린 공간(13) 내에, 수납 선반(5), 스태커 크레인(7), 및 기판 반송 장치(8)가 장비되어 있다.
정화 공기 통풍 수단(23)에 대하여 설명을 추가하면, 도 2에 나타낸 바와 같이, 정화 공기 통풍 수단(23)은, 클린 공간(13)의 바닥부가 다공형(多孔形)의 그레이팅 바닥(14)에 의해 형성되고, 클린 공간(13)의 천정부가 HEPA 필터 등으로 이루어지는 에어 필터(15)에 의해 형성되는 동시에, 그레이팅 바닥(14)의 하부 측에 형성된 흡기실(16)과 에어 필터(15)의 위쪽에 형성된 챔버실(17)이 통풍 팬(18) 및 프리필터(21)를 구비한 순환로(19)에 의해 연통되어 있고, 클린 공간(13) 내의 공기를, 프리필터(21)와 에어 필터(15)로 청정화시키면서 순환시켜, 정화 공기를 천정부로부터 바닥부로 통풍시키도록 구성되어 있다. 그리고, 순환로(19)에는, 통풍 팬(18)보다 상류측에 외기 도입 유로(20)가 접속되고, 통풍 팬(18)보다 하류측에 배기 유로(22)가 접속되어 있고, 정화 공기 통풍 수단(23)에 의해 순환되는 클린 공간(13) 내의 공기의 일부를 외기와 교환하고 있다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 장치(8)에 의해 기판 출입부(6)의 수납 용기(2)와 기판 처리 장치 사이에서 기판(1)을 반송하는 기판 반송 영역(24)에는, 물품 수납 선반(5) 측의 단부가 개방되고 또한 기판 처리 장치 측의 단부가 기판 처리 장치와 연통되도록 기판 반송 공간을 덮는 구획벽(25)이 설치되고, 이 구획벽(25)의 천정부에 복수 개의 영역용 팬필터 유닛(26)이 설치되어 있다. 그리고, 복수 개의 영역용 팬필터 유닛(26)에 의해, 클린 공간(13)의 정화 공기를 보다 청정화시킨 정화 공기를 천정측으로부터 바닥부측으로 통풍시켜, 구획벽(25)에 의해 덮히는 기판 반송 공간을 다운플로의 공간으로 하고 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 수납 선반(5)의 각각은, 선반 전후방향으로 정렬된 전후 한쌍의 지지기둥(支柱)에 의해 구성된 지지기둥 세트(28)가 선반 가로폭 방향으로 배열되어 세워설치되고, 지지기둥 세트(28)를 구성하는 전후 한쌍의 지지기둥에 걸쳐 복수 개의 물품 지지부(29)가 상하 방향으로 배열하여 가설되어 있고, 수납 용기(2)를 물품 지지부(29)에 의해 탑재 지지시킨 상태로 수납하는 수납부(4)가 종횡으로 정렬되는 상태로 복수 개 설치되어 있다. 또한, 물품 수납 선반(5)은, 그레이팅 바닥(14) 상에 서로 대향하는 상태로 한쌍 설치되어 있다.
그리고, 물품 수납 선반(5)에 설치된 복수 개의 수납부(4) 중 일부가 기판 출입부(6)로 되어 있다. 설명을 추가하면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 수납 선반(5)에 설치된 최하단의 복수 개의 수납부(4) 중 일부의 수납부(4)는, 그 수납부(4)에 수납된 수납 용기(2)에 대하여 물품 수납 선반(5)의 배면측을 통해 기판 반송 장치(8)에 의해 기판(1)을 1매씩 인출하는 것이나 1매씩 수납하는 것이 가능하도록 구성되어 있고, 기판 출입부(6)로 되어 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(7)은, 서로 대향하는 상태로 설치된 한쌍의 수납 선반(5) 사이에 형성된 이동 공간을 그 길이 방향을 따라 주행 이동하는 이동 캐리지(31)와, 이동 캐리지(31)에 세워 설치된 캐리지 주행 방향으로 정렬된 한쌍의 승강 마스트(32)에 승강 가능하게 안내 지지되는 승강대(33)와, 승강대(33)에 지지되어 수납부(4)와의 사이에서 수납 용기(2)를 이송탑재 가능한 포크식의 물품 이송탑재 장치(34)가 구비되어 있고, 이동 캐리지(31)의 수평 이동, 승강대(33)의 승강 이동, 및 물품 이송탑재 장치(34)의 작동에 의해, 기판 출입부(6)로서의 수납부(4)와 이 이외의 수납부(4) 사이에서 수납 용기(2)를 반송하도록 구성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 이송탑재 장치(34)는, 상하 축심 주위에 선회 가능한 선회대(35), 및 그 선회대(35) 상에 설치된 탑재부(36)를 출퇴 이동 가능하게 지지하는 링크 기구(37)로 구성되어 있다. 그리고, 물품 이송탑재 장 치(34)는, 링크 기구(37)의 신축에 의해 물품 이송탑재 장치(34)를 승강대(33) 상으로 퇴피시킨 상태나 물품 이송탑재 장치(34)를 수납부(4) 측으로 돌출된 상태로 전환 가능하고, 또한 선회대(35)의 선회에 의해 물품 이송탑재 장치(34)의 출퇴 방향을 180도 변경할 수 있도록 구성되어 있다.
본 발명에 관한 기판 반송 설비인 기판 반송 장치(8)는, 도 3 등에 나타낸 바와 같이, 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)와 기판 반송 컨베이어(51) 사이에서 기판(1)을 1매씩 받아건네도록 구성되어 있다. 그리고, 기판 반송 장치(8)로서는, 기판(1)을 탑재 지지하는 복수 개의 지지판(45)이 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 병설된 수납 용기(2)와, 기판(1)을 탑재 반송하는 기판 반송 컨베이어(51)와, 수납 용기(2)로부터 기판(1)을 1매씩 인출하여 기판 반송 컨베이어(51)에 받아건네고 또한 기판 반송 컨베이어(51)로부터 수취한 기판(1)을 1매씩 수납 용기(2)에 수납하는 기판 중계 유닛(70)과, 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단(61)과, 기판 반송 장치(8)의 작동을 제어하는 제어 장치 H(도 19 참조)가 구비되어 있다.
다음에, 기판 반송 장치(8)에 대하여 상세한 설명을 더하지만, 기판 인출 방향의 하류측(기판 수납 방향의 상류측)을 전방측으로 하고, 기판 인출 방향의 상류측(기판 수납 방향의 하류측)을 후방측으로 하고, 기판 인출 방향(기판 수납 방향)에 따른 방향을 전후 방향이라고 하고, 이 방향과 교차하는 방향을 가로폭 방향으로 하여 설명하는 경우가 있다.
〔수납 용기〕
도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 수납 용기(2)는, 전후 면이 개구되는 옆으로 넘어지는 자세의 사각통형으로 형성된 용기 본체(41)와, 용기 본체(41)의 앞쪽 단부에 앞면의 개구를 폐색하는 상태로 설치된 커버 부재(42)와, 용기 본체(41)의 뒤쪽 단부에 후면의 개구를 폐색하는 상태로 설치된 팬필터 유닛(43)과, 수납 용기(2) 내에 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 병설된 복수 개의 지지판(45)을 구비하여 구성되어 있다.
용기 본체(41)는, 프레임재에 의해 직육면체 형상으로 프레임을 형성하는 동시에 좌우 면 및 상하 면의 개구를 판재에 의해 폐색함으로써, 전술한 전후 면이 수평 방향으로 개구되는 옆으로 넘어지는 자세의 사각통형으로 형성되어 있다. 그리고, 용기 본체(41)의 앞면의 개구를 기판 출입구(44)로서 용기 본체(41)에 대하여 기판 출입구(44)를 통해 기판(1)의 출입이 가능하게 구성되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)는, 기판 출입구(44)와 같은 형상의 개구가 형성되도록 커버 형성용의 프레임재에 의해 프레임이 형성되어 있고, 그 개구는 투명한 판재에 의해 폐색되어 있다.
또한, 커버 부재(42)에는, 용기 본체(41)에 위쪽으로부터 걸어맞추어지는 피걸어맞춤 프레임(46)이 설치되어 있다. 즉, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 대하여 아래쪽으로 이동시켜 피걸어맞춤 프레임(46)을 용기 본체(41)에 걸어맞춤으로써 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착할 수 있어, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 대하여 위쪽으로 이동시킴으로써 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시킬 수 있도록 커버 부재(42)가 구성되어 있다.
그리고, 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 장착된 상태에 있어서, 용기 본체(41) 사이에 간극이 형성되는 형상으로 형성되어 있고, 팬필터 유닛(43)에 의해 수납 용기(2) 내에 도입된 공기는, 용기 본체(41)와 커버 부재(42) 사이에 형성된 간극을 통해 외부에 배출된다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 팬필터 유닛(43)은, 용기 본체(41)의 후면의 개구로부터 기판 출입구(44)를 향해 통풍시키도록 용기 본체(41)의 후단부에 장착 및 분리 가능하게 장착되어 있다.
그리고, 상세한 설명은 생략하지만, 팬필터 유닛(43)에는, 수전부(受電部)와 이 수전부에 공급된 전력을 저장하는 배터리가 구비되어 있고, 팬필터 유닛(43)은, 수납 용기(2)가 수납부(4)에 수납되어 있는 상태에서는, 수납부(4)의 각각에 구비된 급전부로부터 수전부에 급전된 전력에 의해 작동하고, 수납 용기(2)가 스태커 크레인(7)에 의해 반송되어 있을 때 등의 수전부가 급전부로부터 이격되어 수전부에 전력이 공급되지 않는 상태에서는, 배터리에 저장된 전력에 의해 작동하도록 구성되어 있다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 복수 개의 지지판(45)의 각각은, 프레스 가공에 의해 위쪽으로 돌출하는 복수 개의 돌기부(48)가 형성된 지지용 기판(47)과, 탑재 지지한 기판(1)의 가로폭 방향 및 후방으로의 이동을 규제하는 규제 부재(49)가 구비되어 있다. 그리고, 돌기부(48)의 상면은, 수평인 평면으로 형성되어 있고 기판(1)을 탑재 지지하는 탑재면(48a)으로 되어 있다.
또한, 복수 개의 지지판(45)의 각각은, 도 9 등에 나타낸 바와 같이, 그 전 단 부분(45a)의 상면이 전방측일수록 아래쪽으로 위치하는 경사지는 평면으로 형성되고, 전단 부분(45a) 및 돌기부(48) 이외의 부분의 상면이 수평인 평면으로 형성되어 있고, 기판(1)을 탑재 지지하는 지지 예정 영역 E가 전단 부분(45a)으로부터 그 이외의 부분에 걸쳐 설정되어 있다. 돌기부(48)는, 기판(47)을 지지하기 위해, 각각의 지지판(45)에 있어서, 가로폭 방향으로는 적어도 2개 설치되는 것이 바람직하고, 전후방향으로는 적어도 5개 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 돌기부(48)는, 직경 10mm의 원형상으로 또한 유리 기판(1)의 두께 보다 얇은 두께 0.2mm로 형성되어 있다.
그리고, 복수 개의 지지판(45)의 각각에는, 돌기부(48)를 지지용 기판(47)에 전후 방향 및 가로폭 방향으로 병설함으로써 요입부(50)가 형성되어 있다.
설명을 추가하면, 지지판(45)에 있어서의 돌기부(48)를 형성하고 있지 않은 부분이 탑재면(48a)보다 아래쪽으로 요입되게 된다. 전술한 바와 같은 지지용 기판(47)에 돌기부(48)를 병설함으로써, 탑재면(48a)보다 아래쪽으로 요입되는 요입부(50)가 격자형으로 형성되게 되고, 이와 같이 형성된 요입부(50)는, 지지 예정 영역 E의 중앙부로부터 지지 예정 영역 E의 외부로 연장되는 형상이며, 또한 지지 예정 영역 E에 있어서의 전단부로부터 후단부에 걸쳐 직선형으로 연장되는 형상으로 형성된다. 지지판(45)의 상면과 기판(1)의 하면 사이에 공기가 공급되는 것에 의해, 기판(1)이 지지판(45)으로부터 부상하는 것이지만, 지지판(45)의 상면과 기판(1)의 하면 사이로의 공기의 공급이 정지되었을 때, 예를 들면 도 7의 점선 화살표로 나타낸 바와 같이, 지지판(45)과 기판(1) 사이에 존재하는 공기가, 요입 부(50)를 따라 지지 예정 영역 E의 외부까지 유동하게 된다. 그 결과, 지지판(45)과 기판(1) 사이에 존재하는 공기를 신속하게 배출할 수 있어, 돌기부(48)에 의해 기판(1)을 안정적으로 탑재 지지할 수 있다.
규제 부재(49)는, 지지 예정 영역 E의 좌우 양측에 위치하도록 지지용 기판(47)에 있어서의 좌우 양 단부에 있어서 전후방향으로 간격을 두고 병설되고, 또한 지지 예정 영역 E의 후방 측에 위치하도록 지지용 기판(47)에 있어서의 후단부에 있어서 가로폭 방향으로 간격을 두고 병설되어 있다.
〔승강 수단〕
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 승강 수단(61)은, 기판 출입부(6)에 형성되어 있고, 승강용 모터(62)(도 19 참조)에 의해 승강 이동하여 수납 용기(2)를 탑재 지지하는 좌우 한쌍의 지지대(63)와, 좌우 한쌍의 지지대(63)를 별개로 승강 가능하게 안내 지지하는 좌우 한쌍의 안내 지지기둥(64)을 구비하여 구성되어 있다.
그리고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판 출입부(6)에는, 수납 용기(2)에 있어서의 커버 부재(42)의 피걸어맞춤 프레임(46)에 걸어맞추어지는 걸어맞춤 부재(65)가 구획벽(25)의 천정부에 지지되는 상태로 형성되어 있고, 스태커 크레인(7)에 의해 수납 용기(2)가 승강 수단(61)에 의해 탑재 지지되도록 기판 출입부(6)에 반입됨에 따라 피걸어맞춤 프레임(46)이 걸어맞춤 부재(65)에 걸어맞추어지고 또한 용기 본체(41)로부터 이탈하여 커버 부재(42)가 용기 본체(41)로부터 분리되어 스태커 크레인(7)에 의해 기판 출입부(6)로부터 수납 용기(2)가 반출됨에 따라 피걸어맞춤 프레임(46)이 용기 본체(41)와 걸어맞추어지고 또한 걸어맞춤 부 재(65)로부터 이탈하여 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 장착된다.
따라서, 승강 수단(61)에 의해 수납 용기(2)에 있어서의 용기 본체(41)를 탑재 지지한 지지대(63)를 승강시킴으로써, 커버 부재(42)를 걸어맞춤 부재(65)에 지지시킨 상태로 수납 용기(2)에 있어서의 커버 부재(42) 이외의 부분을 승강 이동시켜, 기판 출입구(44)의 개구량이 변경되도록 구성되어 있다.
기판 출입부(6)로의 수납 용기(2)의 반입에 대하여 설명을 추가하면, 스태커 크레인(7)에 의해, 수납 용기(2)를 기판 인출 방향의 하류측을 향해, 상부 위치까지 수평 이동시킨 후, 수납 용기(2)를 중간 위치까지 연직(鉛直) 아래쪽으로 하강 이동시켜, 그 하강 이동 도중의 커버 이탈 위치에 있어서 커버 착탈 수단(122)에 의해 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시키고(분리하고), 커버 부재(42)를 이탈시킨(분리한) 수납 용기(2)를 승강 수단(61)에 탑재 지지시키도록 언로드한다. 그 후, 승강 수단(61)에 의해 커버 부재(42)가 이탈한 수납 용기(2)를 중간 위치로부터 기판 이송탑재 위치 P4에 연직 아래쪽으로 하강 이동시킨다.
또한, 기판 출입부(6)로부터의 수납 용기(2)의 반출에 대하여 설명을 추가하면, 승강 수단(61)에 의해 커버 부재(42)를 이탈시킨 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4로부터 중간 위치에 연직 위쪽으로 상승 이동시킨다. 그 후, 스태커 크레인(7)에 의해 승강 수단(61) 상의 수납 용기(2)를 들어올려 취하고, 그 수납 용기(2)를 중간 위치로부터 상부 위치에 연직 위쪽으로 상승 이동시켜, 그 상승 이동 도중의 커버 이탈 위치에 있어서 커버 착탈 수단(122)에 의해 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착시킨 후, 커버 부재(42)가 장착된 수납 용기(2)를 기판 인출 방 향의 상류측을 향해 상부 위치로부터 수평 이동시킨다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 기판 이송탑재 위치 P4는, 기판 중계 유닛(70)에 의해 수납 용기(2)에 대하여 기판(1)을 이송탑재(출입) 가능한 수납 용기의 위치이다. 그리고, 승강 수단(61)은, 기판 중계 유닛(70)에 의해 이송탑재 가능한 높이에 용기 본체(41)의 최하 위치에 수납되어 있는 기판(1)을 위치시키는 기판 이송탑재 위치 P4로서의 상승측 기판 이송탑재 위치와, 기판 중계 유닛(70)에 의해 이송탑재 가능한 높이에 용기 본체(41)의 최상 위치에 수납되어 있는 기판(1)을 위치시키는 기판 이송탑재 위치 P4로서의 하강측 기판 이송탑재 위치에 걸쳐 수납 용기(2)를 승강 이동시켜, 수납 용기(2)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)을 기판 중계 유닛(70)에 대응하는 이송탑재 높이에 위치시키도록 구성되어 있다.
그리고, 중간 위치는, 스태커 크레인(7)과 승강 수단(61) 사이에서 수납 용기(2)가 받아건네질 때의 수납 용기(2)의 위치이며, 커버 이탈 위치는, 커버 착탈 수단(122)에 의해 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 장착 및 분리될 때의 수납 용기(2)의 위치이다.
커버 부재(42)의 피걸어맞춤 프레임(46)에 대하여 설명을 추가하면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)의 피걸어맞춤부(66)는, 커버 본체(116)의 상단부에 커버 부재(42)를 용기 본체 측으로 돌출하는 상태로 구비된 피걸어맞춤 프레임(46)에 의해 구성되어 있다.
이 피걸어맞춤 프레임(46)은, 가로폭 방향에서 볼 때 하방이 개구되는 "ㄷ" 자형으로 형성되어 배열 방향의 커버 부재 측의 하단부가 커버 본체(116)와 연결 지지된 연결 프레임 부분(46a)을 가로폭 방향으로 배열하여 한쌍 설치하고, 연결 프레임 부분(46a)에 있어서의 용기 본체(41)와 커버 부재(42)가 정렬된 배열 방향의 용기 본체 측의 하단부에 연결 지지된 걸어맞춤용 봉형(棒形) 부분(46b)을 한쌍의 연결 프레임 부분(46a)에 걸쳐 가설하고, 이 봉형 부분(46b)이 용기 본체(41)의 걸어맞춤부(도시하지 않음)에 위쪽으로부터 걸어맞추어지도록 구성되어 있다.
그리고, 피걸어맞춤 프레임(46)은, 용기 본체(41)에 있어서의 기판 출입구가 형성된 일단 측의 상단 부분에 위치하는 걸어맞춤부에 걸어맞춤 지지되어 있고, 피걸어맞춤부(115)에 상당한다.
또한, 피걸어맞춤 프레임(46)에는, 캐치(catch) 지지체(123)로서의 걸어맞춤 부재(65)에 의해 캐치 지지되는 지지용 봉형 부분(46c)이 구비되어 있고, 이 지지용 봉형 부분(46c)은, 연결 프레임 부분(46a)에 있어서의 배열 방향의 용기 본체 측의 하단부에 연결 지지되어 한쌍의 연결 프레임 부분(46a)에 걸쳐 가설되어 있다. 즉, 도 4에 나타낸 바와 같이, 피걸어맞춤 프레임(46)이, 걸어맞춤 부재(65)에 의해 캐치 지지되는 피지지부(119)와 용기 본체(41)에 있어서의 걸어맞춤부에 걸어맞춤 지지되는 피걸어맞춤부(115)를 겸용하도록 구성되어 있고, 피걸어맞춤 프레임(46)은, 커버 본체(116)의 상단부로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 설치되어 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 캐치 지지체(123)는, 커버 부재(42)의 가로폭 방향 양측에 위치하는 피지지부(119)를 캐치하여 지지하도록, 상기 상부 위치에 위치 하고 있는 상태에 있어서 커버 본체(116)의 상면과 피걸어맞춤 프레임(46)의 지지용 봉형 부분(46c) 사이에 위치하도록, 천정부에 지지되는 상태로 설치되어 있다.
그리고, 캐치 지지체(123)는, 이탈시킨 커버 부재(42)에 의해 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)보다 위쪽의 부분을 닫도록, 이탈시킨 커버 부재(42)를 이송탑재 대상의 기판(1)보다 위쪽이며 또한 기판 이송탑재 방향으로 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 근접하는 위치에 지지하도록 구성되어 있다.
즉, 커버 이탈 위치는, 그 커버 이탈 위치에 위치하는 수납 용기(2)에 장착된 커버 부재(42)가 기판 중계 유닛(70)의 부상용 공기 분출체(71)와 상하 방향에서 볼 때 중복되는 위치이며, 또한 커버 이탈 위치에 위치하는 수납 용기(2)에 장착된 커버 부재(42)가, 기판 출입 기구(73)에 의한 기판(1)의 이송탑재나 부상용 공기 분출체(71)에 의한 기판(1)의 부상을 저해하지 않도록 기판 중계 유닛(70)의 위쪽에 기판 중계 유닛(70)에 근접하는 위치가 되도록 설정되어 있다.
그리고, 커버 이탈 위치에 위치하는 수납 용기(2)에 장착된 커버 부재(42)가 기판 중계 유닛(70)의 부상용 공기 분출체(71)와 상하 방향에서 볼 때 중복되는 위치이므로, 용기 반송 수단(111)에 의해 커버 이탈 위치로부터 연직 아래쪽으로 하강 이동시켜 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4에 위치시킬 뿐이며, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시킬 수 있는 동시에, 기판 이송탑재 위치 P4에서의 수납 용기(2)의 위치를 용기 본체(41)와 기판 중계 유닛(70)과의 기판 이송탑재 방향에서의 간격을 커버 부재(42)의 기판 이송탑재 방향(배열 방향)에서의 두께 보다 작게 할 수 있어, 기판 중계 유닛(70)과 수납 용기(2)의 용기 본체(41)를 기판 이송탑재 방향으로 근접시킬 수 있다. 이로써, 기판 중계 유닛(70)에 의한 수납 용기(2)의 용기 본체(41)에 대한 기판의 이송탑재를 쉽게 행할 수 있게 된다.
기판 반송 설비에는, 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)보다 아래쪽의 부분을 닫도록, 이송탑재 대상의 기판(1)보다 하방에서 또한 기판 이송탑재 방향에서 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 근접하는 위치에 고정 커버(121)가 위치 고정 상태로 설치되어 있다.
또한, 고정 커버(121)는, 기판 중계 유닛(70)의 부상용 공기 분출체(71)와 상하 방향에서 볼 때 중복되도록 형성되어 있고, 기판 중계 유닛(70)에 있어서의 기판 출입 기구(73)에 의한 기판(1)의 이송탑재나 부상용 공기 분출체(71)에 의한 기판(1)의 부상을 저해하지 않도록 기판 중계 유닛(70)의 아래쪽에 있어서 기판 중계 유닛(70)에 근접시킨 상태로 설치되어 있다.
〔기판 중계 유닛〕
다음에, 기판 중계 유닛(70)에 대하여 설명한다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판 중계 유닛(70)은, 가로폭 방향을 따라 주행하는 주행 캐리지(74)에 의해 가로폭 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있고, 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2) 사이에서 기판(1)을 1매씩 인출하거나 또는 수납할 때는, 주행 캐리지(74)의 주행에 의해 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)에 인접하는 위치에 기판 중계 유닛(70)이 배치되도록 구성되어 있다.
기판 중계 유닛(70)의 평면도인 도 8에 나타낸 바와 같이, 기판 중계 유닛(70)은, 인출 대상 또는 수납 대상의 기판(1)의 하면과 상기 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)의 상면과의 사이에 공기를 분출하는 부상용 공기 분출체(71)와, 부상용 공기 분출체(71)보다 기판 인출 방향의 하류측으로 공기를 공급하는 공급용 공기 분출체(72)와, 부상용 공기 분출체(71)에 의한 공기의 분출에 의해 지지판(45)으로부터 부상한 인출 대상 기판(1)을 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)의 위쪽을 통과시키는 상태로 수납 용기(2)로부터 인출하고, 또한 부상용 공기 분출체(71)에 의한 공기의 분출에 의해 부상한 수납 대상의 기판(1)을 그 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45) 상에 위치하도록 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)의 위쪽을 통과시키는 상태로 수납 용기(2)에 수납하는 기판 출입 기구(73)를 구비하여 구성되어 있다.
또한, 기판 출입 기구(73)는, 기판(1)을 수납 용기(2)로부터 인출하는 인출 수단과 기판(1)을 수납 용기(2)에 수납하는 수납 수단에 겸용되고 있다.
〔주행 캐리지〕
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 주행 캐리지(74)는, 가로폭 방향을 따라 설치된 한쌍의 주행용 레일(76)의 각각에 대응하여 설치되어 주행용 모터(77)에 의해 회전 구동되는 주행용 차륜(78)을 구비하고, 부상용 공기 분출체(71), 공급용 공기 분출체(72) 및 기판 출입 기구(73)를 지지하도록 구성되며, 주행용 모터(77)에 의해 주행용 차륜(78)을 회전 구동시킴으로써, 기판 중계 유닛(70)을 가로폭 방향으로 주행 이동시켜 수납 용기(2)와 인접하는 위치와 기판 반송 컨베이어(51)에 인접하는 위치로 이동 가능하게 구성되어 있다.
〔기판 출입 기구〕
기판 출입 기구(73)는, 기판(1)을 협지 반송하는 협지 반송 수단(81)과 기판(1)을 탑재 반송하는 탑재 지지 반송 수단(88)을 구비하여 구성되어 있다.
협지 반송 수단(81)은, 기판(1)을 수납 용기(2)로부터 인출하는 경우에는, 인출 대상 기판(1)에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부를 협지하는 협지부(82)를 기판 인출 방향에 따른 이동 경로를 따라 기판 인출 방향의 상류측으로부터 하류측으로 이동시켜, 인출 대상 기판(1)의 전체가 수납 용기(2) 내에 위치하는 수납 위치(도 9 및 도 10 참조)로부터 인출 대상 기판(1)의 일부가 수납 용기(2) 밖에 위치하는 중계 위치(도 11 및 도 12 참조)까지 인출 대상 기판(1)을 반송하고, 또한 기판(1)을 수납 용기(2)에 수납하는 경우에는, 협지부(82)를 이동 경로를 따라 기판 반입 방향의 상류측으로부터 하류측으로 이동시켜, 중계 위치에 위치하는 수납 대상의 기판(1)을, 협지부(82)의 선단 부분에 의해 가압하는 상태에서 중계 위치로부터 수납 위치까지 반송하도록 구성되어 있다.
그리고, 협지 반송 수단(81)은, 기판(1)을 수납 용기(2)로부터 인출할 때는 인출 대상 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 양 단부를 협지하고, 기판(1)을 수납 용기(2)에 수납할 때는 수납 대상의 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 양 단부를 가압하도록, 협지부(82)를 가로폭 방향으로 한쌍 설치하여 구성되어 있다. 이로써, 세로축심 주위에서의 기판(1)의 회전을 방지하고 또한 기판(1)을 안정된 자세로 반송할 수 있는 동시에, 기판(1)에 대하여 접촉하는 위치를 기판 인출 방향의 하류측 단부의 일부로 할 수 있다.
협지부(82)는, 협동에 의해 기판(1)을 상하 방향으로 협지하는 한쌍의 협지 작용 부분(83)과, 한쌍의 협지 작용 부분(83)을 지지하는 지지 부분(84)을 구비하여 구성되어 있다. 한쌍의 협지 작용 부분(83)은, 지지 부분(84)의 가로 방향으로 돌출하는 상태에서, 서로 원근 이동 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 한쌍의 협지 작용 부분(83)은, 한쌍의 협지 작용 부분(83)을 서로 근접시켜 기판(1)을 협지하는 협지 상태(도 11 참조)와, 한쌍의 협지 작용 부분(83)을 서로 이격시킨 협지 해제 상태(도 9 참조)와, 한쌍의 협지 작용 부분(83)을 협지 상태보다 더욱 근접시켜 서로 접촉시키는 가압 상태(도 13 참조)로 전환 가능하게 구성되어 있다.
협지부(82)는, 기판 인출 방향에 따른 이동 경로를 따라 직선형으로 이동 가능한 이동체(87)에 지지되어 있고, 이 이동체(87)의 이동 경로에 따른 이동에 의해 협지부(82)가 기판 인출 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이동체(87)의 상부에는, 이동체(87)에 대하여 세로축심 주위에서 요동 가능하게 연결된 요동 연결 부재(85)가 설치되고, 그 요동 연결 부재(85)에 있어서 기판 인출 방향으로 연장되는 부분의 단부에는, 그 상부에 협지부(82)가 고정 지지되어 있다. 이로써, 협지부(82)는, 이동체(87)에 세로축심 주위로 요동 가능하게 지지되어 있다.
또한, 협지부(82)가 요동하는 세로축심은, 평면에서 볼 때 지지 부분(84)이 존재하는 부분으로부터 벗어난 부분에 위치하고 있고, 협지 작용 부분(83)이 존재하는 부분에 위치하고 있다.
또한, 협지 반송 수단(81)은, 인출 대상 기판(1)을 중계 위치로 반송한 상태 에서 인출 대상 기판(1)에 대한 협지를 해제한 협지부(82)를, 탑재 지지 반송 수단(88)에 의해 반송되는 인출 대상 기판(1)의 반송 경로(기판(1)을 반송할 때 기판(1)이 차지하는 공간)로부터 퇴피시킨 퇴피 위치로 이동시키는 퇴피 조작 수단으로서의 요동 안내 부재(89)를 구비하여 구성되어 있다.
이 요동 안내 부재(89)는, 이동체(87)의 이동 경로에 따른 이동에 의해 협지부(82)에 맞닿아, 협지부(82)를 기판 인출 방향과 교차하는 가로폭 방향의 바깥쪽으로 안내하도록 세로축심 주위로 요동시킴으로써, 협지부(82)를 퇴피 위치로 퇴피시키도록 구성되어 있다.
요동 안내 부재(89)에 대하여 설명을 추가하면, 요동 안내 부재(89)는, 요동 연결 부재(85) 및 안내 롤러(86)를 안내하는 안내홈(89a)을 구비하여 구성되어 있다. 즉, 요동 연결 부재(85)는, 안내홈(89a)이 형성되어 있는 판체를 관통하는 상태로 안내홈(89a)의 내벽과 맞닿도록 형성되어 있고, 안내 롤러(86)는, 요동 연결 부재(85)의 기판 인출 방향으로 연장되는 부분의 단부에 있어서 그 하부 측에 안내홈(89)의 내벽과 맞닿도록 한쌍 설치되어 있다.
그리고, 안내홈(89a)은, 기판 인출 방향의 상류측의 부분이 이동체(87)의 이동 경로에 따른 직선형으로 형성되고, 이 상류측의 부분과 연속하는 하류측의 부분이 가로폭 방향의 바깥쪽으로 구부러지는 곡선형으로 형성되어 있다.
즉, 도 9 ~ 도 13에 나타낸 바와 같이, 인출 대상 기판(1)을 수납 위치로부터 중계 위치로 반송하거나 또는 수납 대상의 기판(1)을 중계 위치로부터 수납 위치로 반송할 수 있도록 이동체(87)를 이동 경로를 따라 이동시키고 있는 동안은, 안내 롤러(86)는 안내홈(89a)에 있어서의 직선형으로 형성된 부분에 의해 직선형으로 안내되므로 협지부(82)의 자세는 협지 작용 부분(83)과 지지 부분(84)이 이동 경로에 따른 방향으로 정렬된 자세로 유지된다.
그리고, 도 14 및 도 15에 나타낸 바와 같이, 수납 위치의 인출 대상 기판(1)에 대하여 협지를 해제한 후에, 이동체(87)를 기판 인출 방향의 하류측으로 이동시킴으로써, 안내 롤러(86)는 안내홈(89a)에 있어서의 곡선형으로 형성된 부분에 의해 가로폭 방향의 바깥쪽으로 이동하도록 곡선형으로 안내되므로 협지부(82)의 자세는 지지 부분(84)이 협지 작용 부분(83)에 대하여 가로폭 방향 바깥쪽에 위치하도록 이동 경로에 대하여 기울어진 자세로 변경된다. 또한, 이 상태로부터 이동체(87)를 기판 인출 방향의 상류측으로 이동시킴으로써, 안내 롤러(86)는 안내홈(89a)에 있어서의 곡선형으로 형성된 부분에 의해 가로폭 방향의 내측으로 이동하도록 곡선형으로 안내되므로 협지부(82)의 자세는 협지 작용 부분(83)과 지지 부분(84)이 이동 경로에 따른 방향으로 정렬된 자세로 변경된다.
그리고, 도 10 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 협지부(82)는, 이동 경로에 따른 방향으로 정렬된 자세에서는, 평면에서 볼 때 한쌍의 협지 작용 부분(83) 및 지지 부분(84)이 기판(1)의 반송 경로의 가로폭 내에 위치하므로, 기판(1)에 대하여 기판 인출 방향의 하류측으로부터 협지 또는 가압할 수 있어 도 15에 나타낸 바와 같이, 이동 경로에 대하여 기울어진 자세에서는, 평면에서 볼 때 한쌍의 협지 작용 부분(83)의 일부 및 지지 부분(84)이 기판(1)의 반송 경로로부터 가로 외측으로 벗어나 위치하므로, 협지부(82)에 방해받지 않고 탑재 지지 반송 수단(88)에 의해 기 판(1)을 반송할 수 있다.
또한, 협지부(82)는 이동 경로에 대하여 기울어진 자세에서는 퇴피 위치(도 14 및 도 15 참조)에 위치하고 있다. 이 때, 한쌍의 협지 작용 부분(83)은, 평면에서 볼 때 기판(1)의 반송 경로 상에 존재하게 되지만, 한쌍의 협지 작용 부분(83)을 협지 해제 상태로 함으로써, 기판(1)의 통과를 허용하는 것이 가능하다.
〔탑재 지지 반송 수단〕
탑재 지지 반송 수단(88)은, 기판(1)을 수납 용기(2)로부터 인출하는 경우에는, 협지 반송 수단(81)에 의해 중계 위치로 반송된 인출 대상 기판(1)을 탑재 지지하여, 인출 대상 기판(1)을 중계 위치로부터 인출 대상 기판(1)의 전체가 수납 용기(2) 밖에 위치하는 인출 위치(도 14 참조)로 반송하고, 기판(1)을 수납 용기(2)에 수납하는 경우에는, 기판 반송 컨베이어(51)로부터 수취한 수납 대상의 기판(1)을 인출 위치로부터 중계 위치로 반송하도록 구성되어 있다.
또한, 탑재 지지 반송 수단(88)은, 기판 중계 유닛(70)을 가로폭 방향으로 주행 이동시킬 때는 기판(1)을 그 전체가 탑재 지지 반송 수단(88) 상에 위치하는 인출 위치에서 탑재 지지하는 동시에, 인출 위치에 위치하는 인출 대상 기판(1)을 기판 반송 컨베이어(51)에 받아건네고, 기판 반송 컨베이어(51)로부터 수취한 수납 대상의 기판(1)을 인출 위치로 반송하도록 구성되어 있다.
탑재 지지 반송 수단(88)에 대하여 설명을 추가하면, 탑재 지지 반송 수단(88)은, 기판(1)의 하면을 향해 공기를 공급하여 수평 자세로 기판을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(52)과, 그 송풍식 지지 수단(52)에 의해 지지된 기판(1)에 대하여 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(53)을 설치하여 구성되어 있다.
송풍식 지지 수단(52)은, 기판(1)의 반송 경로의 아래쪽에 설치되어 위쪽을 향해 공기를 송풍하는 블로어(54)와, 이 블로어(54)와 기판(1)의 반송 경로 사이에 설치된 다공형의 정풍판(整風板)(55)과, 블로어(54)에 공기를 공급하는 컨베이어용 공기 공급 장치(56)(도 19 참조)를 구비하여 구성되어 있다. 또한, 추진력 부여 수단(53)은, 기판 인출 방향으로 병설되어 기판(1)의 하면에 접촉하는 복수 개의 지지용 반송 롤러(57)와, 중계 위치에 위치하는 기판(1)의 상면과 접촉되어 지지용 반송 롤러(57)의 협동에 의해 기판(1)을 협지하는 협지용 반송 롤러(58)를 구비하여 구성되며, 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 양 단부를 탑재 지지 및 협지하도록, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)가 가로폭 방향으로 한쌍 설치되어 구성되어 있다.
복수 개의 지지용 반송 롤러(57)로서 기판(1)의 가로폭 방향으로의 이동을 규제하는 콜러(鍔)를 구비한 콜러가 부가된 지지용 반송 롤러(57)와, 콜러를 구비하고 있지 않은 콜러가 없는 지지용 반송 롤러(57)가 형성되어 있고, 콜러가 없는 지지용 반송 롤러(57)는, 중계 위치에 위치하는 기판(1)의 하면에 접촉하고 또한 협지용 반송 롤러(58)와의 협동으로 기판(1)을 협지하도록, 탑재 지지 반송 수단(88)(기판 출입 기구(73))에 있어서의 기판 인출 방향의 상류측 단부에 설치되어 있고, 콜러가 부가된 지지용 반송 롤러(57)는, 중계 위치에 위치하는 기판(1)의 하면에 접촉되지 않도록, 탑재 지지 반송 수단(88)(기판 출입 기구(73))에 있어서의 콜러가 없는 지지용 반송 롤러(57)보다 기판 인출 방향의 하류측에 병설되어 있다.
또한, 협지용 반송 롤러(58)는, 콜러가 없는 지지용 반송 롤러(57)와 마찬가지로, 탑재 지지 반송 수단(88)(기판 출입 기구(73))에 있어서의 기판 인출 방향의 상류측 단부에 설치되어 있다.
즉, 탑재 지지 반송 수단(88)은, 중계 위치가 기판(1)에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부가 복수 개의 지지용 반송 롤러에 있어서의 콜러가 없는 지지용 반송 롤러(57)로 지지되고, 또한 협지용 반송 롤러(58)와의 협동에 의해 협지되는 위치가 되도록 구성되어 있고, 협지 반송 수단(81)에 의한 인출 대상 기판(1)의 반송은, 지지용 반송 롤러(57)와 협지용 반송 롤러(58)로 협지되도록, 기판(1)에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부가 탑재 지지 반송 수단(88)에 있어서의 기판 인출 방향의 상류측 단부에 위치하도록 반송한다.
요컨대, 중계 위치가, 기판(1)에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부가 탑재 지지 반송 수단(88)에 있어서의 기판 인출 방향의 상류측 단부에 설치된 콜러가 없는 지지용 반송 롤러(57)와 협지용 반송 롤러(58)와의 협동에 의해 협지되는 위치이며, 수납 위치에 가까운 위치이므로, 협지 반송 장치(81)에 의한 기판(1)의 반송 거리가 짧아지므로, 협지부(82)의 이동 거리를 짧게 할 수 있다.
또한, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)가 탑재 지지 및 협지하는 부분은, 협지 반송 수단(81)이 협지하는 부분보다 가로폭 방향으로 바깥쪽이 되도록 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)가 설치되어 있다. 이로써, 협지 반송 수단(81)에 의한 기판(1)의 반송 범위와 탑재 지지 반송 수단(88)에 의 한 기판(1)의 반송 범위가 기판 인출 방향으로 중복되도록 구성되어 있다. 따라서, 협지 반송 수단(81)에 의해 탑재 지지 반송 수단(88)으로 반송 가능한 중계 위치까지 기판(1)을 반송할 수 있고, 반대로, 탑재 지지 반송 수단(88)에 의해 협지 반송 수단(81)으로 반송 가능한 중계 위치까지 기판(1)을 반송할 수 있다. 그 결과, 협지 반송 수단(81)과 탑재 지지 반송 수단(88) 사이에서의 받아건넴을 정확하게 행할 수 있다. 또한, 협지 반송 수단(81)으로부터 탑재 지지 반송 수단(88)에 기판(1)을 주고받을 때는, 기판(1)을 협지부(82)에 협지한 상태로부터 탑재 지지한 상태로 이행하게 되지만, 지지용 반송 롤러(57)와 협지용 반송 롤러(58)와의 협동에 의해 기판(1)을 협지한 상태로 반송할 수 있으므로, 협지 반송 수단(81)과 탑재 지지 반송 수단(88) 사이에서의 받아건넴을 정확하게 행하면서 기판(1)을 적정하게 반송할 수 있다.
그리고, 탑재 지지 반송 수단(88)은, 기판(1)의 가로폭 방향 중앙부를 송풍식 지지 수단(52)에 의해 비접촉 상태로 지지하고, 또한 기판(1)의 가로폭 방향의 양 단부를 추진력 부여 수단(53)에 의해 접촉 지지 및 협지하여, 반송용 모터(59)에 의해 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)를 회전 구동시킴으로써 기판(1)을 반송 방향을 따라 반송하도록 구성되어 있다.
또한, 기판 반송 컨베이어(51)는, 탑재 지지 반송 수단(88)과 마찬가지로, 블로어와 정풍판과 공기 공급 장치를 구비한 송풍식 지지 수단, 및 복수 개의 지지용 반송 롤러를 구비한 추진력 부여 수단을 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 기판 반송 컨베이어(51)에는, 협지용 반송 롤러는 설치되어 있지 않다.
도 16에 나타낸 바와 같이, 부상용 공기 분출체(71)는, 위쪽을 향해 공기를 분출하는 공기 분출구(91)와, 이 공기 분출구(91)의 기판 인출 방향의 상류측 단부로부터 위쪽으로 연장되는 형상으로 형성되어 공기 분출구(91)로부터 위쪽을 향해 분출된 공기를 부상용 공기 분출체(71)의 상면을 따라 수납 용기(2) 측을 향해 수평 방향으로 유동하도록 유도하는 유도 곡면(92)을 구비하여, 용기 인접 부분 A에 있어서, 기판 출입 기구(73)에 의해 인출되는 인출 대상 기판(1) 및 수납되는 수납 대상의 기판(1)의 하면과 부상용 공기 분출체(71)의 상면과의 사이를 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출체를 겸용하도록 구성되어 있다.
즉, 도 16의 (a)에 있어서 화살표로 나타낸 바와 같이, 부상용 공기 분출체(71)의 공기 분출구(91)로부터 위쪽을 향해 분출된 공기는, 코안다 효과에 의해 유도 곡면(92)을 따라 유동한 후, 그 유도 곡면(92)에 이어지는 부상용 공기 분출체(71)의 상면을 따라 수평 방향으로 유동하고, 그대로 기판 인출 방향의 상류측에 위치하는 수납 용기(2)를 향해 수평 방향으로 유동하므로, 공기 분출구(91)로부터 분출된 공기는, 인출 대상 기판(1)의 하면과 부상용 공기 분출체(71)의 상면과의 사이를 향해 공기가 분출되도록 유도 곡면(92)에 의해 유도되고, 그 후에는, 인출 대상 기판(1)의 하면과 상기 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)의 상면과의 사이에 공기가 분출되도록 수납 용기(2) 측을 향해 수평 방향으로 유동한다.
공급용 공기 분출체(72)는, 부상용 공기 분출체(71)와 마찬가지로 구성된 분출체를 수평 방향으로 유동하는 공기의 방향을 역방향이 되도록 설치한 것이며, 위쪽을 향해 공기를 분출하는 역방향용 공기 분출구(93)와, 이 역방향용 공기 분출 구(93)보다 상부측이며 또한 기판 인출 방향의 하류측에 위치하여 역방향용 공기 분출구(93)로부터 위쪽을 향해 분출된 공기를 공급용 공기 분출체(72)의 상면을 따라 수납 용기(2) 측과는 반대측을 향해 수평 방향으로 유동하도록 유도하는 역방향용 유도 곡면(94)을 구비하여 구성되어 있다.
즉, 역방향용 공기 분출구(93)로부터 분출된 공기는, 용기 인접 부분 A에 있어서 부상용 공기 분출체(71)의 공기 분출구(91)보다 기판 인출 방향의 하류측으로 공기를 공급하도록 수납 용기(2) 측과는 반대측인 기판 인출 방향의 하류측을 향해 수평 방향으로 유동한다.
도 8 및 도 17에 나타낸 바와 같이, 부상용 공기 분출체(71)는, 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 복수 개 병설되고, 공급용 공기 분출체(72)는, 가로폭 방향과 부상용 공기 분출체(71) 사이에 설치되어 있고, 복수 개의 부상용 공기 분출체(71)와 복수 개의 공급용 공기 분출체(72)는 가로폭 방향의 양단에 부상용 공기 분출체(71)가 위치하는 상태로 가로폭 방향으로 교호적으로 일렬로 정렬되어 있다. 이로써, 도 17 중 화살표로 나타낸 바와 같이, 기판(1)을 반송할 때는, 공급용 공기 분출체(72)에 의해 분출되는 공기를 부상용 공기 분출체(71)의 공기 분출구(91)에 대하여 기판 인출 방향의 하류측에 공급할 수 있다. 이로써, 부상용 공기 분출체(71)의 공기 분출구(91)로부터의 공기의 분출에 의해, 그 기판 인출 방향의 하류측이 부압으로 되어도, 공급용 공기 분출체(72)로부터의 공기에 의해 그 부분이 정압화(正壓化)되어 기판(1)을 적정하게 지지할 수 있다.
그리고, 기판 출입 기구(73)에 있어서의 기판 인출 방향의 상류측 단부에는, 상면의 높이가 정풍판(55)의 상면과 같은 높이가 되는 상태로 또한 기판 인출 방향의 상류측으로 연장되는 상태로 연장판(96)이 지지되어 있고, 공급용 공기 분출체(72)는, 그 상면이 연장판(96)의 상면과 같은 높이로 또한 기판 인출 방향으로 이어지는 상태로 연장판(96)에 지지되어 있고, 부상용 공기 분출체(71)는, 그 상면이 연장판(96)의 상면보다 수밀리(예를 들면 2 ~ 3mm 정도) 아래쪽에 위치하는 높이로 또한 기판 인출 방향의 하류측에 공기 분출구(91)로부터 분출된 공기가 통과하는 간극이 형성되는 상태로 연장판(96)에 지지되어 있다.
즉, 부상용 공기 분출체(71)는, 그 상면이 공급용 공기 분출체(72)의 상면보다 수밀리 아래쪽에 위치하도록 설치되어 있다.
부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)에는 공기 공급 장치로서의 분출체용 공기 공급 장치(95)(도 19 참조)로부터 공기가 공급되고, 이 분출체용 공기 공급 장치(95)는 공급하는 공기의 공급량을 조정할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 분출체용 공기 공급 장치(95)로부터 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)에 공기를 공급함으로써, 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)는 공기를 분출하는 분출 상태로 전환되고, 분출체용 공기 공급 장치(95)로부터 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)로의 공기의 공급을 정지시킴으로써, 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)는 공기의 분출을 정지시킨 분출 정지 상태로 전환된다.
다음에, 제어 장치 H에 대하여 설명한다.
도 18 및 도 19에 나타낸 바와 같이, 기판 중계 유닛(70)에는, 협지부(82)에 의해 협지되어 있는 기판(1) 및 협지부(82)에 의해 가압되어 있는 기판(1)의 존재 여부를 검출하는 기판 존재 여부 검출 센서(101), 수납 용기(2)가 기판(1)의 인출 및 수납에 적정한 높이에 위치하고 있는지 여부를 검출하는 용기 높이 검출 센서(102), 기판(1)이 인출 위치에 위치하고 있는지 여부를 검출하는 인출 위치 검출 센서(103), 기판(1)이 중계 위치에 위치하고 있는지 여부를 검출하는 중계 위치 검출 센서(104), 및 탑재 지지 반송 수단(88)에 의한 기판(1)의 반송 속도를 감속시키는 감속 위치 검출 센서(105)가 설치되고, 기판 출입부(6)에는, 수납 용기(2)로부터 기판(1)의 일부가 외부로 비어져 나오고 있는지 여부를 검출하는 기판 비어져 나옴 검출 센서(106)가 형성되어 있고, 이들 검출 센서로부터의 검출 정보가 제어 장치 H에 입력되도록 구성되어 있다.
그리고, 제어 장치 H는, 이들 검출 센서나 상위의 컨트롤러로부터의 지령 등에 기초하여, 기판 중계 유닛(70)에 있어서의 주행 캐리지(74), 기판 출입 기구(73) 및 분출체용 공기 공급 장치(95)의 작동, 및 승강 수단(61) 및 기판 반송 컨베이어(51)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
제어 장치 H는, 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)로부터 분출하는 공기의 분출량이 목표 공급량을 향해 단계적으로 많아지도록 분출체용 공기 공급 장치(95)의 작동을 제어하는 공기 공급용 제어 수단, 및 인출 대상 또는 수납 대상의 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)을 부상용 공기 분출체(71) 및 기판 출입 기구(73)에 대응하는 높이(인출용 높이 또한 수납용 높이)에 위치시키기 위해 승강 수단(61)의 작동을 제어하는 승강용 제어 수단으로서의 기능도 구비되어 있다.
즉, 제어 장치 H는, 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)를 분출 정지 상태로부터 분출 상태로 전환할 때, 분출체용 공기 공급 장치(95)로부터 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)에 공급하는 공기의 양을 단계적으로 많게 하고, 이들 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)로부터 분출되는 공기의 분출량이 목표 공급량을 향해 단계적으로 많아지도록 분출체용 공기 공급 장치(95)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
또한, 제어 장치 H는, 기판(1)을 수납 용기(2)로부터 인출하거나 또는 수납하는 경우에는, 그 인출하거나 또는 수납하는 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)을 부상용 공기 분출체(71) 및 기판 출입 기구(73)에 대응하는 높이에 위치시켜, 부상용 공기 분출체(71)로부터 분출되는 공기가 인출되거나 또는 수납되는 기판(1)의 하면과 그 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)의 상면 사이에 분출시키고, 또한 부상용 공기 분출체(71)에 의한 공기의 분출에 의해 부상한 기판(1)을 협지부(82)에 의해 협지 또는 가압 가능하도록, 승강 수단(61)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
기판 존재 여부 센서(101)는, 한쌍의 협지부(82)의 각각에 협지 작용 부분(83)의 직전에 있어서의 기판(1)의 존재 여부를 검출하도록 한쌍 형성되어 있고, 제어 수단 H는, 한쌍의 기판 존재 여부 센서(101)의 양쪽이 기판(1)의 존재를 검출하는 검출 상태이면 기판(1)을 협지 또는 가압하고 있는 것으로 판별하고, 한쌍의 기판 존재 여부 센서(101)의 한쪽 또는 양쪽이 기판(1)을 검출하고 있지 않은 비검 출 상태이면 기판(1)을 협지 및 가압하고 있지 않은 것으로 판별하도록 구성되어 있고, 협지부(82)에 의해 협지 또는 가압하고 있는 상태에 있어서 기판(1)을 협지 및 가압하고 있지 않은 것으로 판별하면, 기판 반송 장치(8)의 작동을 정지시킨다.
용기 높이 검출 센서(102)는, 수납 용기(2)에 복수 개의 지지판(45)의 각각에 대응하여 상하 방향으로 병설된 복수 개의 검출판(107)의 존재 여부를 검출하도록 형성되어 있고, 제어 수단 H는, 수납 용기(2)가 복수 개의 지지판(45) 중 어느 하나가 부상용 공기 분출체(71) 및 기판 출입 기구(73)에 대응하는 높이에 위치하여 용기 높이 검출 센서(102)에 의해 복수 개의 검출판 중 어느 하나를 검출하는 검출 상태이면 수납 용기(2)가 적정한 높이인 것으로 판별하고, 수납 용기(2)가 대응하는 높이로부터 상하 방향으로 어긋나 용기 높이 검출 센서(102)가 복수 개의 검출판 모두를 검출하지 않는 비검출 상태이면 수납 용기(2)가 적정한 높이는 아닌 것으로 판별하도록 구성되어 있고, 기판(1)을 수납 용기(2)에 대하여 출입할 때 수납 용기(2)가 적정한 높이가 아닌 것으로 판별하면, 기판 반송 장치(8)의 작동을 정지시킨다.
인출 위치 검출 센서(103)는, 인출 위치에 위치하는 기판(1)의 기판 인출 방향의 상류측 단부에 대응하는 위치와 하류측 단부에 대응하는 위치에 한쌍 형성되어 있고, 제어 수단 H는, 기판(1)이 인출 위치에 위치하여 한쌍의 인출 위치 검출 센서(103)가 기판(1)을 검출하는 검출 상태이면 기판(1)이 인출 위치에 위치하고 있는 것으로 판별하고, 기판(1)이 인출 위치로부터 어긋나 한쌍의 인출 위치 검출 센서(103)의 한쪽 또는 양쪽이 비검출 상태이면 기판(1)이 인출 위치에 위치하고 있지 않은 것으로 판별하도록 구성되어 있다.
중계 위치 검출 센서(104)는, 중계 위치에 위치하는 기판(1)의 기판 인출 방향의 하류측 단부에 대응하는 위치와 이 위치보다 더 하류측의 위치에 기판 인출 방향으로 인접하는 상태로 한쌍 형성되어 있고, 제어 수단 H는, 기판 인출 방향의 상류측에 위치하는 중계 위치 검출 센서(104)가 기판(1)을 검출하는 검출 상태이며 하류측에 위치하는 중계 위치 검출 센서(104)가 기판(1)을 검출하지 않는 비검출 상태이면 기판(1)이 중계 위치에 위치하고 있는 것으로 판별하고, 기판(1)이 중계 위치로부터 어긋나 한쌍의 중계 위치 검출 센서(104)의 양쪽이 검출 상태 또는 비검출 상태이면 기판(1)이 중계 위치에 위치하고 있지 않은 것으로 판별하도록 구성되어 있다.
감속 위치 검출 센서(105)는, 인출용과 수납용의 한쌍이 인출 위치에 위치하는 기판(1)의 전후폭 내에 위치하도록 형성되어 있고, 제어 수단 H는, 탑재 지지 반송 수단(88)에 의해 기판(1)을 중계 위치로부터 인출 위치로 반송하는 데 있어서, 반송 개시 직후에는 반송 속도를 반송 고속도가 되도록 가속시켜, 인출용의 감속 위치 검출 센서(105)가 기판(1)을 검출하는 검출 상태로 되면, 반송 속도를 반송 고속도보다 저속의 반송 저속도가 되도록 감속시키고, 또한 탑재 지지 반송 수단(88)에 의해 기판 반송 컨베이어(51)로부터 수취한 기판(1)을 인출 위치로 반송하는 데 있어서, 기판 반송 컨베이어(51)로부터 수취하는 기판(1)의 반송 속도를 유지시켜, 수납용의 감속 위치 검출 센서(105)가 기판(1)을 검출하는 검출 상태로 되면, 반송 속도를 수취한 기판의 반송 속도보다 저속의 반송 저속도가 되도록 감 속시키도록, 추진력 부여 수단(53)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
기판 비어져 나옴 검출 센서(106)는, 수납 용기(2)의 직전에 있어서의 기판(1)의 존재 여부를 검출하도록 형성되어 있고, 제어 수단 H는, 기판 비어져 나옴 검출 센서(106)가 기판(1)을 검출하는 검출 상태이면 기판(1)이 수납 용기(2)로부터 비어져 나와 있는 것으로 판별하고, 기판 비어져 나옴 검출 센서(106)가 기판(1)을 검출하지 않는 비검출 상태이면 기판(1)이 수납 용기(2)로부터 비어져 나와 있지 않은 것으로 판별하도록 구성되어 있다.
제어 수단 H에 의해 기판 반송 장치(8)의 작동에 대하여, 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)로부터 기판(1)을 인출하여 도시하지 않은 기판 처리 장치에 반송하는 경우를 설명한다.
먼저, 기판 중계 유닛(70)이 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)와 인접하여 위치하도록 주행 캐리지(74)를 주행시킨다. 다음에, 인출 대상 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)이 부상용 공기 분출 수단(71) 및 기판 출입 기구(73)에 대응하는 높이로 되도록 승강 수단(61)에 의해 수납 용기(2)를 승강 이동시킨 상태에서, 분출체용 공기 공급 장치(95)를 작동시켜 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)를 분출 상태로 하고, 또한 컨베이어용 공기 공급 장치(56)를 작동시켜 송풍식 지지 수단(52)을 정풍판(55)으로부터 위쪽을 향해 공기를 분출하는 상태로 한다. 이 때, 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)는, 인출 대상 기판(1)을 지지하는 지지판(45)에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부에 인접하는 용기 인접 부분 A에 설치되게 된다. 이로써, 부상용 공기 분출체(71)에 의해 분출되는 공기를 인출 대상 기판(1)의 하면과 지지판(45) 사이에 적정하게 공급할 수 있고, 인출 대상 기판(1)을 정확하게 지지판(45)으로부터 부상시킬 수 있다. 부상용 공기 분출체(71)의 공기의 분출에 의해 인출 대상 기판(1)이 지지판(45)으로부터 부상된 상태에서, 협지 해제 상태의 협지부(82)를 수납 위치의 인출 대상 기판(1)을 협지 가능한 협지 위치(도 9 및 도 10 참조)로 이동시키도록 이동체(87)를 기판 인출 방향의 하류측으로부터 상류측으로 이동시킨다.
그리고, 협지부(82)를 협지 상태로 전환하여 협지부(82)에 의해 인출 대상 기판(1)을 협지하고, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)가 기판(1)을 기판 인출 방향의 상류측으로부터 하류측으로 반송하도록 회전시킨 상태에서, 협지 상태의 협지부(82)를 중계 위치에 대응하는 협지 해제 위치(도 11 및 도 12 참조)까지 이동시키도록 이동체(87)를 기판 인출 방향의 상류측으로부터 하류측으로 이동시켜 기판(1)을 중계 위치로 반송한다. 이 때, 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)의 상부에도 공기가 공급되고 있으므로, 그 공기에 의해 형성되는 공기층에 의해 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)의 상부를 통과하는 기판(1)을 정확하게 지지할 수 있다. 그 후, 기판(1)을 중계 위치로 반송한 상태에서 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)의 회전을 정지시키고, 또한 분출체용 공기 공급 장치(95)의 작동을 정지시켜 부상용 공기 분출체(71)를 분출 정지 상태로 한다.
그리고, 협지부(82)를 협지 해제 상태로 전환한 후, 협지 해제 상태의 협지부(82)를 퇴피 위치(도 14 및 도 15 참조)로 이동시키기 위해 이동체(87)를 기판 인출 방향의 상류측으로부터 하류측으로 이동시키고, 또한 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)를 기판(1)을 기판 인출 방향의 상류측으로부터 하류측으로 반송하도록 회전시켜, 기판(1)을 인출 위치로 반송한 후, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)의 회전을 정지시킨다.
그 후에는, 기판 중계 유닛(70)이 기판 반송 컨베이어(51)와 인접하여 위치하도록 주행 캐리지(74)를 주행시킨 상태에서, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)가 기판(1)을 기판 인출 방향의 상류측으로부터 하류측으로 반송하도록 회전시키고, 기판(1)을 기판 반송 컨베이어(51)에 받아건네고, 기판 반송 컨베이어(51)에 의해 기판(1)을 기판 처리 장치에 반송한다.
다음에, 기판 처리 장치로부터 반출된 기판(1)을 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)에 수납하는 경우를 설명한다.
먼저, 기판 중계 유닛(70)이 기판 반송 컨베이어(51)와 인접하여 위치하도록 주행 캐리지(74)를 주행시키고, 또한 컨베이어용 공기 공급 장치(56)를 작동시켜 송풍식 지지 수단(52)을 정풍판(55)으로부터 위쪽을 향해 공기를 분출시킨다. 이 상태에서, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)가 기판(1)을 기판 수납 방향의 상류측으로부터 하류측으로 반송하도록 회전시켜, 기판 처리 장치로부터 반출되어 기판 반송 컨베이어(51)에 의해 반송되는 기판(1)을 수취하여 인출 위치로 반송한다. 그 후, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)의 회전을 정지시켜, 기판 중계 유닛(70)이 기판 출입부(6)에 위치하는 수납 용기(2)와 인접하여 위치하도록 주행 캐리지(74)를 주행시킨다.
그리고, 수납 대상의 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)가 부상용 공기 분출 수단(71) 및 기판 출입 기구(73)에 대응하는 높이로 되도록 승강 수단(61)에 의해 수납 용기(2)를 승강 이동시킨 상태에서, 분출체용 공기 공급 장치(95)를 작동시켜 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)를 분출 상태로 한다. 이와 같은 상태에서, 가압 상태의 협지부(82)를 협지 위치보다 기판(1)의 협지량만큼 기판 수납 방향의 상류측의 가압 종료 위치(도 13 참조)로 이동시키도록 이동체(87)를 기판 수납 방향의 상류측으로부터 하류측으로 이동시켜 기판(1)을 수납 위치로 반송한다. 그 후, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)의 회전을 정지시키고, 또한 분출체용 공기 공급 장치(95) 및 컨베이어용 공기 공급 장치(56)를 정지시키는 동시에, 다음에 기판(1)의 수납을 행하고 있으면 협지부(82)를 퇴피 위치로 이동시키도록, 또한 다음에 기판(1)의 인출을 행하고 있으면 협지부(82)를 협지 해제 위치로 이동시키도록, 이동체(87)를 기판 수납 방향의 하류측으로부터 상류측으로 이동시킨다.
이와 같이 분출체용 공기 공급 장치(95)를 정지시킴으로써 부상용 공기 분출체가 분출 정지 상태로 되므로 수납 대상 기판의 상면과 상기 기판을 탑재 지지하는 지지판의 상면과의 사이로의 공기의 공급이 정지되어, 전술한 바와 같은, 기판과 지지판 사이에 존재하는 공기가 배출된다.
이하, 커버 부재를 용기 본체로부터 이탈시키는 구성의 다른 실시예를, 다른 실시예 1 ~ 3으로 하여 설명한다.
《다른 실시예 1》 회전체 지지형
이하, 다른 실시예 1을 도면을 참조하여 설명한다.
도 20에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비에는, 수납 용기(2)를 반송하는 용기 반송 수단(111)과, 용기 반송 수단(111)에 의해 반송된 수납 용기(2)에 대하여 기판(1)을 이송탑재하는 기판 중계 유닛(70)이 설치되어 있다.
그리고, 기판 중계 유닛(70)은, 용기 반송 수단(111)에 의해 반송된 수납 용기(2)로부터 기판(1)을 인출하고 또한 수납 용기(2)에 기판(1)을 수납하도록 구성되어 있고, 기판(1)의 이송탑재로서 수납 용기(2)로부터의 기판(1)의 인출과 수납 용기(2)로의 기판(1)의 수납, 양쪽을 행하도록 구성되어 있다.
〔수납 용기〕
도 20 및 도 21에 나타낸 바와 같이, 수납 용기(2)는, 옆으로 넘어지는 자세의 통형으로 형성되고, 또한 내부에 기판(1)을 복수 개 수납하는 용기 본체(41)와, 용기 본체(41)의 일단부에 장착된 커버 부재(42)와, 용기 본체(41)의 타단부에 장착된 팬필터 유닛(43)을 구비하여 구성되어 있다.
도 22에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(41)는, 기판(1)을 탑재 지지하는 복수 개의 지지판(45)을 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 구비하여 구성되며, 복수 개의 지지판(45)에 의해 별개로 기판(1)을 탑재 지지하는 형태로 직사각형의 기판(1)을 상하 방향으로 간격을 두고 수평 자세로 복수 개 지지하여 수납되어 있다.
커버 부재(42)는, 통형의 용기 본체(41)의 일단부에 형성된 기판 이송탑재용 개구로서의 기판 출입구(44)의 전체면을 닫아서 폐색시킬 수 있도록 용기 본체(41)의 일단부에 장착되어 있다. 또한, 팬필터 유닛(43)은, 통형의 용기 본체(41)의 타단부에 형성된 기판 출입구(44)의 전체면을 닫아서 폐색시키고 또한 용기 본체(41)의 타단부 측으로부터 일단부 측을 향해 통풍시키도록 용기 본체(41)의 타단부에 장착되어 있다. 그리고, 이들 커버 부재(42) 및 팬필터 유닛(43)은, 용기 본체(41)에 대하여 장착 및 분리 가능하게 구성되어 있다.
또한, 커버 부재는, 용기 본체의 기판 출입구(44)의 상하 방향의 폭보다 크게 또한 가로폭 방향의 폭보다 크게 형성되어 있다.
그리고, 편의상, 용기 본체(41)와 커버 부재(42)가 정렬된 방향을 배열 방향이라고 하고, 이 배열 방향과 교차하는 수평 방향에 따른 방향을 가로폭 방향이라고 한다.
그리고, 도 23에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 있어서의 일단부의 상단 부분에 위치하는 걸어맞춤부(114)에 상부측으로부터 걸어맞추어져 걸어맞춤부(114)에 걸어맞추어지지되는 피걸어맞춤부(115)가 설치되어 있다. 즉, 커버 부재(42)는, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 대하여 아래쪽으로 이동시킴으로써 피걸어맞춤부(115)를 걸어맞춤부(114)에 걸어맞추어 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착할 수 있고, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 대하여 위쪽으로 이동시킴으로써 피걸어맞춤부(115)를 걸어맞춤부(114)로부터 이탈시켜 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시킬 수 있도록 구성되어 있다.
이와 같이, 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 대하여 상부측으로부터 장착 가능하게 또한 상부측으로 이탈 가능하게 구성되어 있다.
커버 부재(42)의 피걸어맞춤부(115)는, 커버 본체(116)의 상단부에 커버 부 재(42)를 용기 본체 측으로 돌출하는 상태로 구비된 설편(舌片;armature)(117)의 선단부에 아래쪽으로 돌출하는 상태로 지지되어 있고, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에 있어서 용기 본체(41) 및 커버 부재(42)의 가로폭 내에 위치하도록 커버 부재(42)에 설치되어 있다. 또한, 피걸어맞춤부(115)의 하단에 위치하는 선단부는, 구형으로 형성되어 있다.
용기 본체(41)의 걸어맞춤부(114)는, 평면에서 볼 때 형상이 원형이며 또한 아래쪽으로 요입되는 형상으로 형성되어 있고, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에 있어서 커버 부재(42)에 설치된 한쌍의 피걸어맞춤부(115)의 각각에 대응한 위치에 형성되어 있다.
걸어맞춤부(114)의 형상에 대하여 설명을 추가하면, 걸어맞춤부(114)의 바닥측 부분은, 상하 방향과 같은 직경의 원기둥 형상이며, 또한 피걸어맞춤부(115)가 끼워맞추어지도록 그 선단부의 직경보다 약간 큰 직경이 되는 크기로 형성되어 있다. 또한, 걸어맞춤부(114)의 입구측 부분은, 피걸어맞춤부(115)를 바닥측 부분으로 안내하도록, 하단이 바닥측 부분과 같은 직경이며 상부측일수록 대경으로 되는 형상으로 형성되어 있다.
또한, 도 21 및 도 22에 나타낸 바와 같이, 설편(117)은, 커버 본체(116)에 있어서의 가로폭 방향의 한쪽측 부분과 다른 쪽 부분 각각에 구비되어 있고, 피걸어맞춤부(115)는 한쌍의 설편(117)의 각각에 지지되어 있다. 또한, 용기 본체(41)에 있어서의 걸어맞춤부(114)는, 기판 출입구(44)보다 위쪽의 부분에 형성되어 있고, 기판 출입구(44)보다 위쪽에서 피걸어맞춤부(115)가 걸어맞추어지도록 형성되 어 있다.
따라서, 도 23에 나타낸 바와 같이, 수납 용기(2)는, 전술한 바와 같은 걸어맞춤부(114) 및 피걸어맞춤부(115)가 형성되어 있는 것에 의해, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착할 때 피걸어맞춤부(115)가 걸어맞춤부(114)에 걸어맞추어지기 용이해져, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 장착되기 쉽도록 되어 있다.
또한, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에서는, 피걸어맞춤부(115)가 걸어맞춤부(114)의 바닥측 부분에 끼워맞추어지는 것에 의해, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에 있어서 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 수평 방향으로 이동하는 것이 규제되어 있다.
또한, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에서는, 피걸어맞춤부(115)의 선단부를 구형(球形)으로 형성하고, 또한 이 선단부보다 위쪽의 부분이 광폭의 걸어맞춤부(114)의 입구측 부분에 위치하므로, 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 장착한 상태에 있어서 걸어맞춤부(114)를 중심으로 가로폭 방향에 따른 가로 축심 주위로 요동 가능하게 구성되어 있다.
그리고, 전술한 바와 같은 피걸어맞춤부(115)를 커버 부재(42)에 설치함으로써, 피걸어맞춤부(115)가 배열 방향에 있어서 커버 부재(42)의 중심(重心)보다 용기 본체 측에 설치되게 된다. 따라서, 커버 부재(42)는, 도 23의 (a)에 나타낸 바와 같은 용기 본체(41)에 장착한 상태에서는, 자중(自重)에 의해 용기 본체 측으로 가압되고, 그 자중에 의한 가압에 의해 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 가압되어 커버 부재(42)가 요동하지 않도록 되어 있다.
커버 부재(42)가 용기 본체(41)의 일단부에 장착되어 있는 상태에 있어서, 용기 본체(41)와 커버 부재(42) 사이에 배기용의 간극 E가 형성되어 있다.
설명을 추가하면, 배기용의 간극 E를 형성하기 위한 스페이서(118)가, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 장착된 상태에 있어서 용기 본체(41)와 커버 부재(42) 사이에 위치하도록, 커버 부재(42)에 있어서의 용기 본체 측의 면에 구비되어 있다.
이와 같이 커버 부재(42)에 스페이서(118)를 구비함으로써, 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 장착된 상태에 있어서 용기 본체(41) 사이에 배기용의 간극 E가 형성되는 형상으로 형성되어 있고, 팬필터 유닛(43)에 의해 용기 본체(41) 내에 도입된 공기는, 도 22에 화살표로 나타낸 바와 같이, 용기 본체(41)와 커버 부재(42) 사이에 형성된 배기용의 간극 E를 통해 외부로 배기된다.
그리고, 커버 부재(42)는, 피걸어맞춤부(115)와 스페이서(118)에서만 용기 본체(41)에 접촉되어 있고, 배기용의 간극 E는, 스페이서(118)의 존재에 의해 기판 출입구(44)의 주위의 일부는 폐쇄된 상태로 전 주위에 걸쳐 형성되어 있다.
도 22 및 도 23에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)에는, 커버 본체(116)의 상단부에 있어서의 가로폭 방향 양측에 커버 본체(116)로부터 가로폭 방향 바깥쪽으로 돌출하는 상태로 피지지부(119)가 설치되어 있다.
이 피지지부(119)는, 가로폭 방향에 따른 가로 축심 주위에 회전 가능한 회전체(120)를 배열 방향을 따라 2개 배열하여 구성되어 있다. 이들 2개의 회전체(120)는, 커버 부재(42)와 같은 높이에 위치하도록 설치되고, 또한 직경이 같은 크기로 형성되어 있다.
그리고, 2개의 회전체(120) 중 배열 방향의 커버 부재 측에 위치하는 회전체(120)는, 커버 부재(42)의 중심보다 위쪽이며 또한 중심보다 배열 방향의 커버 부재 측에 위치하도록 커버 본체(116)에 형성되어 있고, 배열 방향의 용기 본체 측에 위치하는 회전체(120)는, 커버 부재(42)의 중심보다 위쪽이며 또한 중심보다 배열 방향의 용기 본체 측에 위치하도록 커버 본체(116)에 설치되어 있다. 이로써, 2개의 회전체(120)의 중심(重心) 사이이며 또한 아래쪽에 커버 부재(42)의 중심이 위치하게 되어, 후술하는 걸어넣음 오목부(124)에 의해 캐치 지지하여 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시킬 때의 배열 방향에 따른 커버 부재(42)의 요동을 억제하여 커버 부재(42)의 용기 본체(41)에 대한 접촉을 방지할 수 있도록 되어 있다.
〔기판 중계 유닛〕
도 16의 (a)에 나타낸 바와 같이, 기판 중계 유닛(70)은, 이송탑재 대상의 기판(1)의 하면과 상기 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)의 상면과의 사이에 공기를 분출하는 부상용 공기 분출체(71)와, 부상용 공기 분출체(71)에 의한 공기의 분출에 의해 지지판(45)으로부터 부상한 이송탑재 대상의 기판(1)을 부상용 공기 분출체(71)의 위쪽을 통과시키는 상태로 수납 용기(2)에 대하여 이송탑재하는 기판 출입 기구(73)를 구비하여, 커버 부재(42)가 이탈된 용기 본체(41)로부터 기판 출입구(44)를 통해 기판(1)을 이송탑재하도록 구성되어 있다.
그리고, 부상용 공기 분출체(71)는, 분출된 공기를 부상용 공기 분출체(71) 의 상면을 유동시키도록 하여, 부상용 공기 분출체(71)의 상면과 기판 출입 기구(73)에 의해 이송탑재되는 기판 사이를 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출체를 겸용하도록 구성되어 있다.
또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판 중계 유닛(70)은, 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)에 대하여 용기 본체(41)의 기판 출입구(44)가 형성되는 일단부 측에 위치하도록, 바닥면 상에 위치 고정 상태로 설치되어 있다.
〔용기 반송 수단〕
도 20, 도 24 및 도 25에 나타낸 바와 같이, 용기 반송 수단(111)은, 기판 중계 유닛(70)의 기판 인출 방향의 상류측에 인접하는 상태로 설치된 승강 수단(61)과, 이 승강 수단(61)의 기판 인출 방향 상류측에 인접하는 상태로 설치된 스태커 크레인(7)을 구비하여 구성되어 있다.
그리고, 용기 반송 수단(111)에 의해 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4(도 25 참조)에 반송하는 경우에는, 먼저, 스태커 크레인(7)에 의해, 수납 용기(2)를 기판 인출 방향의 하류측을 향해 상부 위치 P1(도 24의 (a) 참조)까지 수평 이동시킨 후, 수납 용기(2)를 상부 위치 P1로부터 중간 위치 P3(도 24의 (c) 참조)로 연직 아래쪽으로 하강 이동시켜, 수납 용기(2)를 승강 수단(61)에 탑재 지지시키도록 언로드한다. 그 후, 승강 수단(61)에 의해 수납 용기(2)를 중간 위치 P3로부터 기판 이송탑재 위치 P4(도 25 참조)로 연직 아래쪽으로 하강 이동시킨다.
또한, 용기 반송 수단(111)에 의해 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4로부터 반송하는 경우에는, 먼저, 승강 수단(61)에 의해 수납 용기(2)를 기판 이송탑 재 위치 P4로부터 중간 위치 P3로 연직 위쪽으로 상승 이동시킨다. 그 후, 스태커 크레인(7)에 의해 승강 수단(61) 상의 수납 용기(2)를 들어올려 취하고, 그 수납 용기(2)를 중간 위치 P3로부터 상부 위치 P1로 연직 위쪽으로 상승 이동시킨 후, 수납 용기(2)를 상부 위치 P1로부터 기판 인출 방향의 상류측을 향해 수평 이동시킨다.
그리고, 스태커 크레인(7)에 의해 수납 용기(2)를 상부 위치 P1와 중간 위치 P3 사이에서 연직 방향으로 승강 이동시키는 동안 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2(도 24의 (b) 참조)를 통과하도록, 커버 이탈 위치 P2가 설정되어 있다.
즉, 승강 수단(61)이, 수납 용기(2)를 탑재 지지하여 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4보다 위쪽이며 또한 커버 이탈 위치 P2보다 아래쪽의 중간 위치 P3로부터 기판 이송탑재 위치 P4로 연직 아래쪽으로 하강 이동시키는 탑재 하강대에 상당하는 것이며, 스태커 크레인(7)이, 수납 용기(2)를 승강 수단(61)에 탑재 시킬 수 있도록 수납 용기(2)를 커버 이탈 위치 P2보다 위쪽의 상부 위치 P1으로부터 중간 위치 P3로 연직 아래쪽으로 하강 이동시키는 이송탑재 장치에 상당하는 것이며, 스태커 크레인(7)과 승강 수단(61)으로 구성되는 용기 반송 수단(111)이, 수납 용기(2)를 커버 이탈 위치 P2로부터 기판 이송탑재 위치 P4에 연직 아래쪽으로 하강 이동시켜 반송하도록 구성되어 있다.
도 20에 나타낸 바와 같이, 승강 수단(61)은, 수납 용기(2)에 있어서의 용기 본체(41)를 탑재 지지하여 승강 이동하는 좌우 한쌍의 지지대(63)와, 이 좌우 한쌍의 지지대(63)를 별개로 승강 가능하게 안내 지지하는 좌우 한쌍의 안내 지지기 둥(64)을 구비하여 구성되어 있다.
그리고, 도 25에 나타낸 바와 같이, 승강 수단(61)은, 수납 용기(2)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)을 기판 중계 유닛(70)에 대응하는 이송탑재 높이에 위치시키도록, 기판 이송탑재 위치 P4에 있어서 수납 용기(2)를 승강 가능하게 지지하도록 구성되어 있다.
즉, 승강 수단(61)은, 기판 중계 유닛(70)에 의해 이송탑재 가능한 높이에 용기 본체(41)의 최하 위치에 수납되어 있는 기판(1)을 위치시키는 기판 이송탑재 위치 P4로서의 상승측 기판 이송탑재 위치 P5(도 25의 (d) 참조)와, 기판 중계 유닛(70)에 의해 이송탑재 가능한 높이에 용기 본체(41)의 최상 위치에 수납되어 있는 기판(1)을 위치시키는 기판 이송탑재 위치 P4로서의 하강측 기판 이송탑재 위치 P6(도 25의 (e) 참조)에 걸쳐 수납 용기(2)를 승강 이동시켜, 수납 용기(2)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1) 및 그것을 탑재 지지하는 지지판(45)을 기판 중계 유닛(70)에 대응하는 이송탑재 높이에 위치시키도록 구성되어 있다.
〔고정 커버〕
기판 반송 설비에는, 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)보다 아래쪽의 부분을 닫도록, 이송탑재 대상의 기판(1)보다 하방에서 또한 기판 이송탑재 방향에서 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 근접하는 위치에 고정 커버(121)가 위치 고정 상태로 형성되어 있고, 이 고정 커버(121)에 의해, 상승측 기판 이송탑재 위치 P5와 하강측 기판 이송탑재 위치 P6 사이에서 승강 이동하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)보다 아래쪽의 부분을 닫고 있다.
또한, 고정 커버(121)는, 기판 중계 유닛(70)의 부상용 공기 분출체(71)와 상하 방향에서 볼 때 중복되도록 형성되어 있고, 기판 출입 기구(73)에 의한 기판(1)의 이송탑재나 부상용 공기 분출체(71)에 의한 기판(1)의 부상을 저해하지 않도록 기판 중계 유닛(70)의 아래쪽에 있어서 기판 중계 유닛(70)에 근접시킨 상태로 설치되어 있다.
〔커버 착탈 수단〕
도 24에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비에는, 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2에 위치하고 있는 상태에 있어서 용기 본체(41)로부터 커버 부재(42)를 이탈시키는 커버 이탈 수단으로서의 커버 착탈 수단(122)이 형성되어 있고, 이 커버 착탈 수단(122)에 의해, 전술한 커버 부재(42)의 이탈에 더하여, 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2에 위치하고 있는 상태에 있어서 용기 본체(41)에 커버 부재(42)를 장착시키도록 구성되어 있다.
그리고, 커버 착탈 수단(122)은, 용기 반송 수단(111)에 의한 수납 용기(2)의 기판 이송탑재 위치 P4로의 하강 이동 도중에 있어서의 커버 이탈 위치 P2에 있어서 커버 부재(42)의 피지지부(119)를 캐치 지지하여 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시키는 캐치 지지체(123)를 구비하여 구성되어 있다.
즉, 도 24 및 도 26에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)가 장착된 수납 용기(2)가 스태커 크레인(7)에 의해 상부 위치 P1로부터 중간 위치 P3에 커버 이탈 위치 P2를 통과하도록 연직 아래쪽으로 하강 이동될 때, 커버 이탈 위치 P2에 있어서 커버 부재(42)의 피지지부(119)가 캐치 지지체(123)에 의해 캐치되어 지지되어 커버 부재(42)가 용기 본체(41)로부터 이탈된다.
또한, 커버 부재(42)가 이탈된 수납 용기(2)가 스태커 크레인(7)에 의해 중간 위치 P3로부터 상부 위치 P1에 커버 이탈 위치 P2를 통과하도록 연직 위쪽으로 상승 이동될 때, 커버 이탈 위치 P2에 있어서 커버 부재(42)의 피걸어맞춤부(115)가 용기 본체(41)의 걸어맞춤부(114)에 걸어맞춤 지지되어 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 장착된다.
캐치 지지체(123)에 대하여 설명을 추가하면, 도 20에 나타낸 바와 같이, 캐치 지지체(123)는, 커버 부재(42)의 가로폭 방향 양측에 위치하는 피지지부(119)를 캐치하여 지지하도록, 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 가로폭 방향 양측에 형성되어 있고, 한쌍의 안내 지지기둥(64)의 각각에 지지되는 형태로 승강 수단(61)에 지지되어 있다.
그리고, 도 23에 나타낸 바와 같이, 캐치 지지체(123)는, 안내 지지기둥(64)으로부터 기판 인출 방향의 하류측으로 돌출하도록 설치되어, 그 선단부에 피지지부(119)(2개의 회전체(120))가 걸어넣어지는 걸어넣음 오목부(124)를 구비하여 구성되어 있다.
도 23에 나타낸 바와 같이, 걸어넣음 오목부(124)에 있어서의 피지지부(119)를 캐치하여 지지하는 저면은, 기판 인출 방향의 하류측일수록 위쪽에 위치하는 경사면으로 형성되어 있다.
따라서, 걸어넣음 오목부(124)의 저면이 전술한 바와 같은 경사면으로 형성되어 있는 것, 직경이 같은 크기로 형성된 2개의 회전체(120)가 같은 높이로 커버 부재(42)에 설치되어 있는 것, 2개의 회전체(120)의 중심 사이이며 또한 아래쪽에 커버 부재(42)의 중심이 위치하는 것, 및 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 가로 축심 주위로 요동 가능하게 지지되어 있으므로, 수납 용기(2)가 하강 이동하여 캐치 지지체(123)에 의해 2개의 회전체(120)를 캐치하여 지지할 때는, 먼저, 배열 방향의 커버 부재 측(기판 인출 방향의 하류측)의 회전체(120)가 걸어넣음 오목부(124)의 저면에 먼저 접촉하고, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 상대적으로 위쪽으로 이동함에 따라 커버 부재(42)가 피걸어맞춤부(115)를 지지점(支点)으로 하여 하부가 용기 본체(41)로부터 멀어지도록 요동한다.
그 후, 배열 방향의 용기 본체 측(기판 인출 방향의 상류측)의 회전체(120)가 걸어넣음 오목부(124)의 저면과 접촉하고, 하부가 용기 본체(41)로부터 멀어지도록 한 커버 부재(42)의 요동이 규제된다. 그리고, 또한 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 상대적으로 위쪽으로 이동함에 따라 피걸어맞춤부(115)가 용기 본체(41)의 걸어맞춤부(114)로부터 벗어나, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)로부터 이탈된다. 그리고, 이와 같이 커버 부재(42)가 용기 본체(41)로부터 이탈될 때는, 2개의 회전체(120)가 걸어넣음 오목부(124)의 저면에 의해 캐치되어 지지되어 있으므로, 커버 부재(42)의 하부가 용기 본체(41)로부터 멀어지도록 한 커버 부재(42)의 요동의 규제에 더하여 커버 부재(42)의 하부가 용기 본체(41)에 가까와지도록 한 커버 부재(42)의 요동도 규제되므로, 배열 방향에 따른 커버 부재(42)의 요동을 억제하여 커버 부재(42)의 용기 본체(41)로의 접촉이 방지된다.
또한, 캐치 지지체(123)에 의해 캐치 지지된 커버 부재(42)는, 걸어넣음 오목부(124)의 경사면에 의해 피지지부(119)가 캐치 지지됨으로써 하부측일수록 용기 본체(41)로부터 멀어지도록 경사지게 되므로 캐치 지지체(123)에 의해 커버 부재(42)가 캐치 지지된 상태에서 커버 이탈 위치 P2와 기판 이송탑재 위치 P4 사이에서 수납 용기(2)를 승강 이동시킬 때나 기판 이송탑재 위치 P4에 있어서 수납 용기(2)를 승강 이동시킬 때, 용기 본체(41)와 커버 부재(42)가 마찰되지 않아, 먼지가 발생하지 않도록 구성되어 있다.
또한, 걸어넣음 오목부(124)는, 커버 부재(42)가 캐치 지지체(123)에 의해 지지되었을 때에 있어서 커버 부재(42)의 용기 본체(41)로부터 멀어지는 측으로의 설정 각도 이상의 자중에 의한 요동을 규제하는 규제부에 상당한다.
걸어넣음 오목부(124)에 있어서의 기판 이송탑재 방향의 양쪽 측면은, 하부측일수록 기판 이송탑재 방향에 있어서 오목부 내측에 위치하는 경사면으로 형성되어 있고, 피지지부(119)가 걸어넣음 오목부(124)에 걸어넣어질 때 피지지부(119)가 걸어넣음 오목부(124)에 걸어넣어지기 쉬워져, 캐치 지지체(123)에 의해 커버 부재(42)를 캐치 지지하기 쉽도록 구성되어 있다. 그리고, 걸어넣음 오목부(124) 저면의 경사는 측면의 경사보다 완만한 경사로 되어 있다.
그리고, 도 25에 나타낸 바와 같이, 커버 착탈 수단(122)(캐치 지지체(123))은, 이탈시킨 커버 부재(42)에 의해 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)보다 위쪽의 부분을 닫도록, 이탈시킨 커버 부재(42)를 이송탑재 대상의 기판(1)보다 위쪽이며 또한 기판 이송탑재 방향으로 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 근접하는 위치에 지지하도록 구성되어 있고, 커버 이탈 수단(122)에 의해 이탈시킨 커버 부재(42)에 의해, 상승측 기판 이송탑재 위치 P5와 하강측 기판 이송탑재 위치 P6 사이에서 승강 이동하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)보다 위쪽의 부분을 닫고 있다.
즉, 커버 이탈 위치 P2는, 그 커버 이탈 위치 P2에 위치하는 수납 용기(2)에 장착된 커버 부재(42)가 기판 중계 유닛(70)의 부상용 공기 분출체(71)과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 위치이며, 또한 커버 이탈 위치 P2에 위치하는 수납 용기(2)에 장착된 커버 부재(42)가, 기판 출입 기구(73)에 의한 기판(1)의 이송탑재나 부상용 공기 분출체(71)에 의한 기판(1)의 부상을 저해하지 않도록 기판 중계 유닛(70)의 위쪽으로 기판 중계 유닛(70)에 근접하는 위치가 되도록 설정되어 있다.
그리고, 커버 이탈 위치 P2에 위치하는 수납 용기(2)에 장착된 커버 부재(42)가 기판 중계 유닛(70)의 부상용 공기 분출체(71)와 상하 방향에서 볼 때 중복되는 위치이므로, 용기 반송 수단(111)에 의해 커버 이탈 위치 P2로부터 연직 아래쪽으로 하강 이동시켜 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4에 위치시키는 것만으로, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시킬 수 있는 동시에, 기판 이송탑재 위치 P4에서의 수납 용기(2)의 위치를 용기 본체(41)와 기판 중계 유닛(70)과의 기판 이송탑재 방향에서의 간격을 커버 부재(42)의 기판 이송탑재 방향(배열 방 향)에서의 두께보다 작게 할 수 있어, 기판 중계 유닛(70)과 수납 용기(2)의 용기 본체(41)를 기판 이송탑재 방향으로 근접시킬 수 있다. 이로써, 기판 중계 유닛(70)에 의한 수납 용기(2)의 용기 본체(41)에 대한 기판의 이송탑재를 쉽게 행할 수 있게 된다.
용기 반송 수단(111)에 의해 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4(상승측 기판 이송탑재 위치 P5 이하, 하강측 기판 이송탑재 위치 P6 이상의 위치)로 반송하는 경우에는, 먼저, 스태커 크레인(7)에 의해, 수납 용기(2)를 기판 인출 방향의 하류측을 향해 상부 위치 P1(도 24의 (a) 참조)까지 수평 이동시킨 후, 수납 용기(2)를 상부 위치 P1로부터 중간 위치 P3(도 24의 (c) 참조)에 연직 아래쪽으로 하강 이동시켜, 그 하강 이동 도중의 커버 이탈 위치 P2(도 24의 (b) 참조)에 있어서 커버 착탈 수단(122)에 의해 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시켜, 커버 부재(42)를 이탈시킨 수납 용기(2)를 승강 수단(61)에 탑재 지지시키도록 언로드한다. 그 후, 승강 수단(61)에 의해 커버 부재(42)가 이탈한 수납 용기(2)를 중간 위치 P3로부터 기판 이송탑재 위치 P4에 연직 아래쪽으로 하강 이동시킨다.
또한, 용기 반송 수단(111)에 의해 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4(상승측 기판 이송탑재 위치 P5 이하, 하강측 기판 이송탑재 위치 P6 이상의 위치)로부터 반송하는 경우에는, 먼저, 승강 수단(61)에 의해 커버 부재(42)가 이탈한 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4로부터 중간 위치 P3에 연직 위쪽으로 상승 이동시킨다. 그 후, 스태커 크레인(7)에 의해 승강 수단(61) 상의 수납 용기(2)를 들어올려 취하고, 그 수납 용기(2)를 중간 위치 P3로부터 상부 위치 P1에 연직 위쪽으로 상승 이동시켜, 그 상승 이동 도중의 커버 이탈 위치 P2에 있어서 커버 착탈 수단(122)에 의해 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착시킨 후, 커버 부재(42)가 장착된 수납 용기(2)를 기판 인출 방향의 상류측을 향해 상부 위치 P1으로부터 수평 이동시킨다.
《다른 실시예 2》 판형체 지지형
이하, 다른 실시예 2를 도면을 참조하여 설명한다.
그리고, 다른 실시예 2는, 피지지부(119)의 구성이 상이한 것 이외에는 다른 실시예 1과 마찬가지로 구성되어 있으므로, 다른 실시예 1과 동일한 구성에 대하여는 같은 부호를 부여하여 설명은 생략하고, 주로 다른 실시예 1과 상위한 구성을 설명한다.
도 27에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)에는, 커버 본체(116)의 상단부에 있어서의 가로폭 방향 양측에 커버 본체(116)로부터 가로폭 방향 바깥쪽 및 용기 본체 측으로 돌출하는 상태로 피지지부(119)가 설치되어 있다.
이 피지지부(119)는, 판형으로 형성된 판형체(126)에 의해 구성되어 있고, 그 하면은 배열 방향에 따른 수평인 평탄면으로 형성되어 있다. 또한, 피지지부(119)의 용기 본체 측의 선단부에 피걸어맞춤부(115)가 아래쪽으로 돌출하는 상태로 지지되어 있다.
그리고, 판형체(126)는, 커버 부재(42)의 중심보다 위쪽이며 또한 중심에 대하여 배열 방향의 용기 본체 측으로부터 커버 부재 측에 걸쳐 배열 방향에 따른 자세로 설치되어 있다. 그리고, 캐치 지지체(123)에 있어서의 걸어넣음 오목부(124) 의 형상은 제1 실시예의 것과 약간 상이하게 되어 있지만, 저면이나 측면이 경사면으로 형성되어 있는 점은 제1 실시예의 것과 마찬가지로 구성되어 있다.
따라서, 걸어넣음 오목부(124)의 저면이 전술한 바와 같은 경사면으로 형성되어 있는 것, 판형체(126)의 하면이 배열 방향에 따른 수평인 평탄한 면으로 형성되어 있는 것, 및 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 가로 축심 주위로 요동 가능하게 지지되어 있으므로, 캐치 지지체(123)에 의해 판형체(126)를 캐치하여 지지할 때는, 먼저, 판형체(126)에 있어서의 배열 방향의 커버 부재 측(기판 인출 방향의 하류측)의 부분이 걸어넣음 오목부(124)의 저면에 먼저 접촉하고, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 상대적으로 위쪽으로 이동함에 따라 커버 부재(42)가 피걸어맞춤부(115)를 지점으로 하여 하부가 용기 본체(41)로부터 멀어지도록 요동하고, 그 후, 판형체(126)에 있어서의 배열 방향의 용기 본체 측(기판 인출 방향의 상류측)의 부분이 걸어넣음 오목부(124)의 저면과 접촉하여 커버 부재(42)의 상기 요동이 규제된다. 그리고, 또한 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 상대적으로 위쪽으로 이동함에 따라 피걸어맞춤부(115)가 용기 본체(41)의 걸어맞춤부(114)로부터 벗어나 커버 부재(42)가 용기 본체(41)로부터 이탈된다.
《다른 실시예 3》 실린더 지지형
이하, 다른 실시예 3을 도면을 참조하여 설명한다.
그리고, 다른 실시예 3은, 걸어맞춤부(114), 피지지부(119) 및 커버 착탈 수단(122)의 구성이 상이한 것 이외에는 다른 실시예 1과 마찬가지로 구성되어 있으므로, 다른 실시예 1과 동일한 구성에 대하여는 같은 부호를 부여하여 설명은 생략 하고, 주로 다른 실시예 1과 상위한 구성을 설명한다.
도 28에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 있어서의 일단부의 상단 부분에 위치하는 걸어맞춤부(114)에 배열 방향에 있어서의 커버 부재 측의 경사 상부측으로부터 걸어맞추어져 걸어맞춤부(114)에 걸어맞춤 지지되는 피걸어맞춤부(115)가 설치되어 있다. 즉, 커버 부재(42)는, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 대하여 배열 방향에 있어서의 용기 본체 측의 경사 아래쪽으로 이동시켜 피걸어맞춤부(115)를 걸어맞춤부(114)에 걸어맞추어 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착할 수 있고, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 대하여 배열 방향에 있어서의 커버 부재 측의 경사 위쪽으로 이동시킴으로써 피걸어맞춤부(115)를 걸어맞춤부(114)로부터 이탈시켜 커버 부재(42)를 용기 본체(41)로부터 이탈시킬 수 있도록 구성되어 있다.
이와 같이, 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 대하여 배열 방향에 있어서의 커버 부재 측의 경사 상부측으로부터 장착 가능하게 또한 배열 방향에 있어서의 커버 부재 측의 경사 상부측으로 이탈 가능하게 구성되어 있다.
용기 본체(41)의 걸어맞춤부(114)는, 평면에서 볼 때 형상이 원형이며 또한 아래쪽으로 요입되는 형상으로 형성되어 있고, 커버 부재(42)에 설치된 피걸어맞춤부(115)와 대응한 위치에 형성되어 있고, 상부측일수록 대경(大徑)으로 되는 보울(bowl)형으로 형성되어 있다.
따라서, 도 28의 (a)에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에서는, 피걸어맞춤부(115)가 걸어맞춤부(114)에 걸어맞추어짐으로써, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에 있어서 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 수평 방향으로 이동하는 것이 규제되어 있다.
또한, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에서는, 피걸어맞춤부(115)의 선단부가 구형으로 형성되어 있으므로, 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 장착한 상태에 있어서 걸어맞춤부(114)를 중심으로 가로폭 방향에 따른 가로 축심 주위로 요동 가능하게 되어 있다.
도 28 및 도 29에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(42)에는, 커버 본체(116)의 가로폭 방향 가로측 면의 각각에 가로폭 방향 내측으로 요입되는 피지지부(128)가 설치되어 있다.
피지지부(128)의 형상에 대하여 설명을 추가하면, 피지지부(128)의 바닥측 부분은, 가로폭 방향과 같은 직경의 원기둥 형상으로, 또한 후술하는 실린더(129)가 끼워맞추어지도록 그 구형으로 형성된 선단부의 직경보다 약간 큰 직경이 되는 크기로 형성되어 있다. 또한, 피지지부(128)의 입구측 부분은, 끼워 넣어지는 실린더(129)의 선단 부분(129a)을 바닥측 부분으로 안내하도록, 가로폭 방향 내측이 바닥측 부분과 같은 직경으로 바깥쪽일수록 직경이 작아지는 형상으로 형성되어 있다.
또한, 피지지부(128)는, 커버 본체(116)의 가로폭 방향 가로측 면의 각각에 상하 방향으로 2개 배열하여 설치되어 있다.
도 29에 나타낸 바와 같이, 커버 착탈 수단(122)은, 커버 이탈 위치 P2에 위치하는 수납 용기(2)에 있어서의 커버 부재(42)의 피지지부(128)에 대응하여 한쌍 의 실린더(129)(한쪽의 실린더(129)의 도시는 생략)가 상하 방향으로 2세트 배열되어 구성되어 있다. 한쌍의 실린더(129)는, 각각의 로드부의 선단 부분(129a)이 서로 원근 이동하도록 대항하는 상태로 설치되어 있다.
그리고, 커버 착탈 수단(122)은, 도 29의 (b)에 나타낸 바와 같이, 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2에 위치하고 있는 상태로 한쌍의 실린더(129)를 돌출 작동시켜 선단 부분(129a)을 서로 근접시킴으로써, 한쌍의 실린더(129)에 의해 커버 부재(42)를 협지하고, 도 29의 (a)에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 실린더(129)를 퇴피시켜 선단 부분(129a)을 서로 이격시킴으로써, 한쌍의 실린더(129)에 의한 커버 부재(42)에 대한 협지를 해제하도록 구성되어 있다.
즉, 한쌍의 실린더(129)에 있어서의 선단 부분(129a)이, 커버 부재(42)를 지지하는 서로 근접시킨 근접 위치와 커버 부재(42)에 대한 지지를 해제하는 서로 이격시킨 이격 위치에 가로폭 방향을 따라 서로 원근 이동 가능한 한쌍의 지지체에 상당한다.
그리고, 2세트의 한쌍의 실린더(129)는, 문형(門型)의 지지 프레임(130)에 상하 방향으로 배열되어 지지되어 있고, 이 문형의 지지 프레임(130)은, 상부 위치 P1와 기판 이송탑재 위치 P4에 걸쳐 승강 이동하는 수납 용기(2)의 가로폭 방향 양쪽 및 상부측을 에워싸도록 설치되어 있다.
한쌍의 실린더(129)의 배치 위치에 대하여 설명을 추가하면, 한쌍의 실린더(129)는, 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2에 위치하고 있는 상태에 있어서 돌출 작동시킴으로써, 피지지부(128)의 입구측 부분, 상세하게는, 바닥측 부분에 대 하여 배열 방향에 있어서 커버부 측의 경사 위쪽에 위치하는 피접촉 부분에 맞닿는 위치에 설치되어 있다.
그리고, 피지지부(128)의 입구측 부분이 전술한 바와 같이 형성되므로, 도 28에 나타낸 바와 같이, 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2에 위치하고 있는 상태에서 한쌍의 실린더(129)에 있어서의 선단 부분(129a)이 근접 위치로 이동함에 따라 한쌍의 실린더(129)에 있어서의 선단 부분(129a)이 맞닿는 커버 부재(42)에 있어서의 피접촉 부분이, 실린더(129)의 선단 부분(129a)의 접촉에 의해 커버 부재(42)를 배열 방향에 있어서의 커버 부재 측의 경사 위쪽으로 이동시키기 위해, 배열 방향에 있어서의 커버 부재 측의 경사 위쪽 부분일수록 가로폭 방향의 용기 바깥쪽에 위치하는 안내면으로 형성되어 있다.
따라서, 도 28에 나타낸 바와 같이, 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2(도 30의 (a) 참조)에 위치하고 있는 상태로 실린더(129)를 돌출 작동시켜 선단 부분(129a)을 근접 위치로 이동시킴으로써, 실린더(129)의 선단 부분(129a)이 피지지부(128)에 걸어맞추어져, 실린더(129)에 의해 커버 부재(42)를 지지할 수 있다. 그리고, 실린더(129)에 의해 커버 부재(42)를 지지함으로써, 실린더(129)의 선단 부분(129a)과 피지지부(128)의 피접촉 부분으로 구성되는 캠 기구가 작용하고, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 배열 방향에 있어서의 커버 부재 측의 경사 위쪽으로 이동하고, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)로부터 이탈된다.
또한, 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2에 위치하고 있는 상태로 실린더(129)를 퇴피 작동시켜 선단 부분(129a)을 이격 위치로 이동시킴으로써 실린 더(129)의 선단 부분(129a)이 피지지부(128)로부터 이탈하여, 실린더(129)에 의한 커버 부재(42)의 지지를 해제할 수 있다. 그리고, 실린더(129)에 의해 커버 부재(42)에 대한 지지가 해제되는 것에 의해, 커버 부재(42)의 피걸어맞춤부(115)가 용기 본체(41)의 걸어맞춤부(114)의 경사에 따라 안내되어 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 대하여 배열 방향에 있어서의 용기 본체 측의 경사 아래쪽으로 이동하고, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)에 장착된다.
그리고, 실린더(129)에 의해 지지된 커버 부재(42)는, 용기 본체(41)에 대하여 배열 방향에 있어서의 커버 부재 측의 경사 위쪽으로 위치하여 용기 본체(41)로부터 떨어진 위치로 퇴피하고 있으므로, 실린더(129)에 의해 커버 부재(42)가 지지된 상태로 커버 이탈 위치 P2와 기판 이송탑재 위치 P4 사이에서 수납 용기(2)를 승강 이동시킬 때나 기판 이송탑재 위치 P4에 있어서 수납 용기(2)를 승강 이동시킬 때, 용기 본체(41)와 커버 부재(42)가 마찰되지 않아, 먼지가 발생하지 않도록 구성되어 있다.
용기 반송 수단(111)에 의해 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4에 반송하는 경우에는, 먼저, 스태커 크레인(7)에 의해, 수납 용기(2)를 기판 인출 방향의 하류측을 향해 커버 이탈 위치 P2(도 30의 (a) 참조)까지 수평 이동시킨 후, 한쌍의 실린더(129)의 선단 부분(129a)을 근접 위치로 이동시켜 커버 이탈 위치에서 정지하고 있는 용기 본체(41)로부터 커버 부재(42)를 이탈시킨다. 그 후, 커버 부재(42)가 이탈된 수납 용기(2)를 커버 이탈 위치 P2로부터 중간 위치 P3(도 30의 (b) 참조)에 연직 아래쪽으로 하강 이동시켜, 수납 용기(2)를 승강 수단(61)에 탑 재 지지시키도록 언로드한다. 그 후, 승강 수단(61)에 의해 수납 용기(2)를 중간 위치 P3로부터 기판 이송탑재 위치 P4에 연직 아래쪽으로 하강 이동시킨다.
또한, 용기 반송 수단(111)에 의해 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4로부터 반송하는 경우에는, 먼저, 승강 수단(61)에 의해 수납 용기(2)를 기판 이송탑재 위치 P4로부터 중간 위치 P3에 연직 위쪽으로 상승 이동시킨다. 그 후, 스태커 크레인(7)에 의해 승강 수단(61) 상의 수납 용기(2)를 들어올려 취하고, 그 수납 용기(2)를 중간 위치 P3로부터 커버 이탈 위치 P2에 연직 위쪽으로 상승 이동시킨 후, 한쌍의 실린더(129)의 선단 부분을 이격 위치로 이동시켜 용기 본체(41)에 커버 부재(42)를 장착시킨다. 그 후, 커버 부재(42)가 장착된 수납 용기(2)를 기판 인출 방향의 상류측을 향해 커버 이탈 위치 P2로부터 수평 이동시킨다.
〔다른 실시예〕
(1) 상기 실시예에서는, 부상용 공기 분출체(71)를, 공기 분출구(91)와 유도 곡면(92)을 구비하여, 보조 공기 분출체를 겸용하도록 구성하였지만, 인출 대상 기판(1)의 하면과 상기 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)의 상면과의 사이를 향해 공기를 분출하도록 기판 인출 방향의 상류측을 향해 공기를 분출하는 상류용 공기 분출구와, 부상용 공기 분출체(71)의 상면과 인출 대상 기판(1)의 하면과의 사이를 향해 공기를 분출하도록 위쪽을 향해 공기를 분출하는 위쪽용 공기 분출구를 구비하여, 보조 공기 분출체를 겸용하도록 구성해도 된다.
또한, 부상용 공기 분출체(71)를, 전술한 상류용 공기 분출구만을 구비하여, 보조 공기 분출체를 겸용하지 않도록 구성하고, 부상용 공기 분출체(71)의 상면과 인출 대상 기판(1)의 하면과의 사이를 향해 공기를 분출하도록 위쪽을 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출구를 구비한 보조 공기 분출체를, 부상용 공기 분출체(71)와는 별도로 설치해도 된다.
(2) 상기 실시예에서는, 공급용 공기 분출체(72)를, 역방향용 공기 분출구(93)와 역방향용 유도 곡면(94)을 구비하여 구성하고, 부상용 공기 분출체(71)의 공기 분출구(91)보다 기판 인출 방향의 상류측에 위치하도록 설치하였으나, 공급용 공기 분출체(72)를, 역방향용 유도 곡면(94)을 구비하지 않고 역방향용 공기 분출구(93)만을 구비하여 구성하고, 부상용 공기 분출체(71)의 공기 분출구(91)보다 기판 인출 방향의 하류측에 위치하도록 설치해도 된다.
(3) 상기 실시예에서는, 부상용 공기 분출체(71)를, 그 상면이 공급용 공기 분출체(72)의 상면보다 아래쪽에 위치하도록 설치하였으나, 부상용 공기 분출체(71)를, 그 상면이 공급용 공기 분출체(72)의 상면과 같은 높이로 위치하도록 설치해도 되고, 또한 그 상면이 공급용 공기 분출체(72)의 상면보다 위쪽에 위치하도록 설치해도 된다.
(4) 상기 실시예에서는, 공기 공급용 제어 수단(제어 장치 H)에 의해, 부상용 공기 분출체(71)로부터 분출하는 공기의 분출량이 목표 공급량을 향해 단계적으로 많아지도록 공기 공급 수단(95)의 작동을 제어하였으나, 부상용 공기 분출체(71)로부터 분출하는 공기의 분출량이 신속히 목표 공급량으로 되도록 공기 공급 수단(95)의 작동을 제어해도 된다.
(5) 상기 실시예에서는, 탑재 지지 반송 수단(88)을, 송풍식 지지 수단(52) 에 의해 기판(1)을 비접촉 상태로 지지한 상태에서 추진력 부여 수단(53)에 의해 반송하도록 구성하였지만, 송풍식 지지 수단(52)을 설치하지 않고, 추진력 부여 수단(53)에 의해 기판(1)을 접촉 지지한 상태로 반송하도록 구성해도 된다.
(6) 상기 실시예에서는, 수납 용기(2)를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단(61)을 설치하였으나, 부상용 공기 분출체(71), 공급용 공기 분출체(72) 및 기판 출입 기구(73)를 승강 가능하게 지지하는 승강 장치를 설치해도 된다. 이 경우, 승강용 제어 수단(제어 장치 H)에 의해, 부상용 공기 분출체(71), 공급용 공기 분출체(72) 및 기판 출입 기구(73)를 인출 대상 또는 수납 대상의 기판(1)을 탑재 지지하는 지지판(45)에 대응하는 높이에 위치시키도록 승강 장치의 작동을 제어한다.
(7) 상기 실시예에서는, 인출 수단(73)을, 기판 출입 기구로서, 인출 대상 기판(1)의 수납 용기(2)로부터의 인출과 수납 대상의 기판(1)의 수납 용기(2)로의 수납을 가능하게 구성하였지만, 인출 대상 기판(1)의 수납 용기(2)로부터의 인출만을 가능하게 구성하고, 인출 수단(73)과는 별도로, 수납 대상의 기판(1)을 수납 용기(2)에 수납하는 수납 수단을 구비해도 된다.
또한, 협지 반송 수단을, 수납 대상의 기판을 협지부에 의해 협지하는 상태로 중계 위치로부터 수납 위치까지 반송하도록 구성해도 된다.
(8) 상기 실시예에서는, 수납 용기(2)의 용기 본체(41)를, 전후 면이 개구되는 옆으로 넘어지는 자세의 사각통형으로 형성하여, 좌우 면과 상하 면을 폐구(閉口)시킴으로써 좌우 면측 및 상하 면 측으로부터 공기의 배출을 불가능한 구성으로 하였으나, 수납 용기(2)의 용기 본체(41)를, 전후 면, 상하 면 및 좌우 면의 각각 이 개구되는 프레임의 세트 형상으로 형성하여, 좌우 면과 상하 면을 개구시킴으로써 좌우 면 및 상하 면 측으로부터 공기의 배출을 가능한 구성으로 해도 된다.
상기 실시예에서는, 수납 용기(2)에 커버 부재(42)와 팬필터 유닛(43)을 구비하였으나, 커버 부재(42)와 팬필터 유닛(43) 중 한쪽 또는 양쪽을 구비하지 않아도 된다.
(9) 상기 실시예에서는, 프레스 가공에 의해 돌기부(48)를 형성하였으나, 잉크 등의 도료를 지지판(45)의 상면에 분사시켜 돌기부(48)를 형성하는 등, 지지판(45)의 상면에 인쇄함으로써 돌기부(48)를 형성해도 되고, 또한 별개의 돌기 부재를 지지용 기판(47)의 상면에 접착함으로써 돌기부(48)를 형성해도 된다.
(10) 상기 실시예에서는, 복수 개의 부상용 공기 분출체(71)와 복수 개의 공급용 공기 분출체(72)를, 가로폭 방향의 양단에 부상용 공기 분출체(71)가 위치하는 상태로 가로폭 방향으로 교호적으로 일렬로 배열하였으나, 복수 개의 부상용 공기 분출체(71)와 복수 개의 공급용 공기 분출체(72)와의 배열 방법을 적당히 변경해도 된다.
즉, 예를 들면, 부상용 공기 분출체(71) 및 공급용 공기 분출체(72)의 한쪽 또는 양쪽을 2개 또는 3개 이상 가로폭 방향으로 연속하는 상태로 정렬해도 되고, 또한 가로폭 방향의 일단 또는 양단에 공급용 공기 분출체(72)가 위치하는 상태로 정렬해도 된다.
(11) 상기 실시예에서는, 스태커 크레인(7)에 의해 수납 용기(2)를 상부 위치 P1와 중간 위치 P3 사이에서 연직 방향으로 승강 이동시키는 동안 수납 용기(2) 가 커버 이탈 위치 P2를 통과하도록 커버 이탈 위치 P2를 설정했지만, 도 31에 나타낸 바와 같이, 승강 수단(61)에 의해 수납 용기(2)를 중간 위치 P3와 기판 이송탑재 위치 P4 사이에서 연직 방향으로 승강 이동시키는 동안 수납 용기(2)가 커버 이탈 위치 P2를 통과하도록 커버 이탈 위치 P2를 설정해도 된다.
이 경우, 승강 수단(61)이, 수납 용기(2)를 탑재 지지하여 수납 용기(2)를 커버 이탈 위치 P2보다 위쪽의 상부 위치 P1으로부터 기판 이송탑재 위치 P4로 하강 이동시키는 지지 하강대에 상당하고, 스태커 크레인(7)이, 수납 용기(2)를 지지 하강대에 탑재시킬 수 있도록 수납 용기(2)를 상부 위치 P1으로 반송하는 예비 반송 수단에 상당하는 것이다. 또한, 스태커 크레인(7)은, 수납 용기(2)를 수평 방향을 따라 기판 인출 방향의 하류측으로 이동시켜 수납 용기(2)를 상부 위치보다 위쪽의 상단 위치 P0(도 31의 (a) 참조)로 수평 이동시킨 후, 수납 용기(2)를 상단 위치 P0로부터 상부 위치 P1(도 31의 (b) 참조)에 연직 아래쪽으로 하강 이동시켜, 수납 용기(2)를 승강 수단(61)에 탑재 지지시키도록 하강한다.
또한, 상기 각 실시예에 있어서, 스태커 크레인(7)에 의해, 수납 용기(2)를 기판 인출 방향의 하류측을 향해 이동시키면서 상부 위치 P1까지 하강 이동시켜도 된다.
(12) 상기 실시예에서는, 용기 반송 수단(111)을, 수납 용기(2)를 상부 위치 P1 또는 커버 이탈 위치 P2로부터 중간 위치 P3까지 연직 아래쪽으로 하강 이동시키는 스태커 크레인(7)과, 수납 용기(2)를 중간 위치 P3로부터 기판 이송탑재 위치 P4까지 연직 아래쪽으로 하강 이동시키는 승강 수단(61)으로 구성하였지만, 용기 반송 수단(111)을, 수납 용기(2)를 상부 위치 P1 또는 커버 이탈 위치 P2로부터 기판 이송탑재 위치 P4까지 연직 아래쪽으로 하강 이동시키는 스태커 크레인(7)에 의해 구성해도 된다.
(13) 상기 실시예에서는, 커버 이탈 수단(122)을, 이탈시킨 커버 부재(42)에 의해 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)보다 위쪽의 부분을 닫도록, 이탈시킨 커버 부재(42)를 통과하는 이송탑재 대상의 기판(1)보다 위쪽이며 또한 기판 이송탑재 방향으로 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 근접하는 위치에 지지하도록 구성하였지만, 커버 이탈 수단(122)을, 이탈시킨 커버 부재(42)에 의해 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)를 닫지 않도록, 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)보다 위쪽, 또는 기판 이송탑재 방향으로 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 멀어지는 위치에 지지하도록 구성해도 된다.
또한, 기판 이송탑재 위치 P4에 위치하는 수납 용기(2)의 기판 출입구(44)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)보다 아래쪽의 부분을 닫는 고정 커버(121)를 설치하였으나, 이 고정 커버(121)를 형성하지 않아도 된다.
(14) 상기 실시예에서는, 용기 본체에 있어서의 일단부의 상면에 아래쪽으로 요입되는 피걸어맞춤부를 구비하여, 커버 부재를 용기 본체에 있어서의 상단부에 걸어맞추어지도록 구성하였지만, 용기 본체에 있어서의 가로측부에 가로 외측으로 돌출하는 피걸어맞춤부를 구비하여, 커버 부재를 용기 본체에 있어서의 가로측부에 걸어맞추어지도록 구성해도 된다.
(15) 상기 실시예에서는, 기판 중계 유닛(70)과 기판 이송탑재 위치 P4의 수납 용기(2) 중 기판 이송탑재 위치 P4의 수납 용기(2)를 승강 이동시켜, 수납 용기(2)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)을 지지하는 지지판(45)을 기판 중계 유닛(70)에 대응하는 높이에 위치시켰으나, 기판 중계 유닛(70)과 기판 이송탑재 위치 P4의 수납 용기(2) 중 기판 중계 유닛(70)을 승강 이동시켜, 수납 용기(2)에 있어서의 이송탑재 대상의 기판(1)을 지지하는 지지판(45)을 기판 중계 유닛에 대응하는 높이에 위치시켜도 된다.
(16) 상기 실시예에서는, 기판의 형상을, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등의 직사각형의 기판으로 했지만, IC 칩에 사용되는 반도체 웨이퍼 등의 원형상의 기판 등, 사용되는 용도나 기판의 형상은 적당히 변경 가능하다.
(17) 상기 실시예에서는, 피지지부(119)를 구성하는 2개의 회전체(120)를, 직경이 같은 크기로 형성하고 또한 각 회전체(120)의 회전축심을 같은 높이가 되는 상태로 배열 방향으로 배열하여 설치하여, 2개의 회전체(120)의 하단의 높이를 같은 높이로 했지만, 커버 부재 측에 위치하는 회전체(120) 하단의 높이가 용기 본체 측에 위치하는 회전체(120)의 하단의 높이보다 낮아지도록 해도 된다.
즉, 피지지부(119)를 구성하는 2개의 회전체(120)를, 도 32의 (a)에 나타낸 바와 같이, 직경을 같은 크기로 형성하고 또한 배열 방향의 커버 부재 측에 위치하는 회전체(120)를 배열 방향의 용기 본체 측에 위치하는 회전체(120)의 높이보다 낮은 높이가 되는 상태로, 배열 방향으로 배열하여 설치해도 되고, 또한 도 32의 (b)에 나타낸 바와 같이, 배열 방향의 커버 부재 측에 위치하는 회전체(120)를 배열 방향의 용기 본체 측에 위치하는 회전체보다 직경이 크게 형성하고 또한 각 회전체(120)의 회전축심을 같은 높이가 되는 상태로, 배열 방향으로 배열하여 설치해도 된다.
이와 같이 구성한 경우라도, 수입(收入) 용기(2)가 하강 이동하여 캐치 지지체(123)에 의해 2개의 회전체(120)를 캐치하여 지지할 때는, 먼저, 배열 방향의 커버 부재 측의 회전체(120)가 걸어넣음 오목부(124)의 저면에 먼저 접촉하여 커버 부재(42)가 요동하고, 그 후, 배열 방향의 용기 본체 측의 회전체(120)가 걸어넣음 오목부(124)의 저면과 접촉하여 커버 부재(42)의 요동이 규제된다.
또한, 걸어넣음 오목부(124)의 저면의 형상은, 배열 방향의 커버 부재 측의 회전체(120)가 용기 본체 측의 회전체(120)보다 먼저 걸어넣음 오목부(124)의 저면과 접촉하는 형상이면 되고, 수평면으로 형성하는 등, 걸어넣음 오목부(124)의 저면의 형상은 적당히 변경 가능하다.
(18) 상기 실시예의 몇가지에서는, 복수 개의 회전체(120)를 배열 방향으로 배열된 상태로 커버 부재(42)에 설치하거나 또는 판형체(126)를 배열 방향에 따른 자세로 커버 부재(42)에 설치함으로써, 피지지부(119)를 배열 방향에 따른 상태로 커버 부재(42)에 설치하였으나, 도 33의 (a)에 나타낸 바와 같이, 복수 개의 회전체(120)를 상하 방향으로 배열된 상태로 커버 부재(42)에 설치하거나, 또는 도 34의 (a)에 나타낸 바와 같이, 판형체(126)를 상하 방향에 따른 자세로 커버 부 재(42)에 설치함으로써, 피지지부(119)를 상하 방향에 따른 상태로 커버 부재(42)에 설치해도 된다.
그리고, 이와 같이 피지지부(119)를 상하 방향에 따른 상태로 커버 부재(42)에 설치한 경우, 도 33의 (b) 및 도 34의 (b)에 나타낸 바와 같이, 걸어넣음 오목부(124)의 입구측 부분에 있어서의 기판 이송탑재 방향의 양쪽 측면을, 하류측일수록 기판 이송탑재 방향에 있어서 내측에 위치하는 경사면으로 형성하고, 걸어넣음 오목부(124)의 바닥측 부분에 있어서의 기판 이동 방향의 양쪽 측면을, 입구측 부분 하단으로부터 연직 아래쪽으로 연장되는 연직면으로 형성한다. 그리고, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)로부터 이탈될 때, 피지지부(119)를 걸어넣음 오목부(124)의 연직 아래쪽으로 요입되는 바닥측 부분에 결합시키도록 하여 피지지부(119)의 경사를 규제함으로써, 커버 부재(42)의 배열 방향에 따른 요동을 억제할 수 있다.
또한, 도시하지 않지만, 걸어넣음 오목부(124)의 바닥측 부분에 있어서의 기판 이송탑재 방향의 양쪽 측면을, 입구측 부분 하단으로부터 경사 아래쪽으로 연장되는 경사면으로 형성하여, 커버 부재(42)가 용기 본체(41)로부터 이탈될 때, 피지지부(119)를 걸어넣음 오목부(124)의 경사 아래쪽으로 요입되는 바닥측 부분에 결합시키도록 하여, 캐치 지지체(123)에 의해 캐치 지지한 커버 부재(42)를, 하류측일수록 용기 본체(41)로부터 멀어지는 경사진 자세로 하도록 구성해도 된다.
(19) 상기 실시예의 몇가지에서는, 배열 방향에 따른 커버 부재(42)의 요동을 규제한 상태에서, 걸어넣음 오목부(124)에 의해 피지지부(119)를 캐치하여 지지 하도록 구성하였지만, 예를 들면 피지지부(119)를 1개의 회전체(120)에 의해 구성하는 등, 배열 방향에 따른 커버 부재(42)의 요동을 규제하지 않는 상태에서, 걸어넣음 오목부(124)에 의해 피지지부(119)를 캐치하여 지지하도록 구성해도 된다.
또한, 전술한 바와 같은 구성한 경우라도, 커버 부재(42)를 용기 본체(41)에 장착한 상태에 있어서, 걸어넣음 오목부(124)에 의해 피지지부(119)가 캐치 지지되었을 때의 커버 부재(42)의 요동축심을 커버 부재(42)의 중심보다 배열 방향의 커버 부재 측으로 되도록 설정함으로써, 걸어넣음 오목부(124)에 의해 피지지부(119)를 캐치 지지했을 때, 커버 부재(42)를 하류측일수록 용기 본체(41)로부터 멀어지도록 경사지게 하는 것이 가능하다.
(20) 상기 실시예에서는, 요입부(50)를, 지지 예정 영역 E에 있어서의 중앙부로부터 지지 예정 영역의 외부로 연장되는 형상으로 형성하였으나, 요입부(50)를, 지지 예정 영역 E에 있어서의 주위 에지부로부터 지지 예정 영역의 외부로 연장되는 형상으로 형성하여, 지지 예정 영역 E의 중앙에 요입부(50)가 형성되지 않도록 해도 된다.
(21) 상기 실시예에서는, 요입부(50)를, 지지 예정 영역 E에 있어서의 기판 수납 방향의 상류측 단부로부터 하류측 단부에 걸쳐 직선형으로 연장되는 형상으로 형성하였으나, 요입부(50)를, 지지 예정 영역 E에 있어서의 기판 수납 방향의 중간부로부터 상류측 단부 또는 중간부로부터 하류측 단부에 걸쳐, 직선형으로 연장되는 형상으로 형성해도 되고, 또한 요입부(50)를 곡선형으로 형성해도 된다.
(22) 상기 실시예에서는, 지지판(45)을, 가로폭 방향으로 병설된 부상용 공 기 분출체(71) 사이에 위치하도록 요입부(50)를 구비하여 구성하였지만, 지지판(45)을, 가로폭 방향으로 병설된 부상용 공기 분출체(71)와 전부 또는 일부가 기판 수납 방향으로 중복되어 위치하도록 요입부(50)를 구비하여 구성해도 된다.
(23) 상기 실시예에서는, 지지판(45)을 지지용 기판(47)과 복수 개의 돌기부(48)로 구성하고, 돌기부(48)를 기판 수납 방향 및 가로폭 방향으로 병설함으로써 지지판(45)에 요입부(50)를 형성하였으나, 지지판(45)을 상면에 의해 탑재면(48a)이 형성되는 지지 기판에 의해 구성하고, 이 지지 기판에 아래쪽으로 요입되는 홈을 형성함으로써 지지판(45)에 요입부(50)를 형성해도 된다.
(24) 상기 실시예에서는, 수납 용기(2)의 용기 본체(41)를, 전후 면이 개구되는 옆으로 넘어지는 자세의 사각통형으로 형성하여, 좌우 면과 상하 면을 폐구시킴으로써 좌우 면측 및 상하 면 측으로부터 공기의 배출을 불가능한 구성으로 하였으나, 수납 용기(2)의 용기 본체(41)를, 전후 면, 상하 면 및 좌우 면의 각각이 개구되는 프레임의 세트 형상으로 형성하여, 좌우 면과 상하 면을 개구시킴으로써 좌우 면 및 상하 면 측으로부터 공기의 배출을 가능한 구성으로 해도 된다.
상기 실시예에서는, 수납 용기(2)에 커버 부재(42)와 팬필터 유닛(43)을 구비하도록 하였으나, 커버 부재(42)와 팬필터 유닛(43) 중 한쪽 또는 양쪽을 구비하지 않아도 된다.
(25) 상기 실시예에서는, 퇴피 조작 수단을, 협지부(82)를 접촉 안내하는 요동 안내 부재(89)에 의해 구성하였지만, 퇴피 조작 수단(89)을, 이동 경로와 교차하는 교차 방향으로 이동 가능한 이동체(87)에 의해 구성하고, 이동체(87)를 교차 방향으로 이동시킴으로써 협지부(82)를 퇴피 위치로 퇴피시키도록 구성해도 된다.
또한, 상기 실시예에서는, 퇴피 조작 수단(89)을, 협지부(82)를 기판(1)의 반송 경로로부터 옆쪽의 퇴피 위치로 퇴피시키도록 구성하였지만, 퇴피 조작 수단(89)을, 협지부(82)를 기판(1)의 반송 경로의 위쪽 또는 아래쪽의 퇴피 위치로 퇴피시키도록 구성해도 된다.
(26) 상기 실시예에서는, 협지 반송 수단(81)을, 인출 대상 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 양 단부를 협지하도록 구성하였지만, 협지 반송 수단(81)을, 인출 대상 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 중앙부를 협지하도록 구성해도 되고, 또한 인출 대상 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 중앙부와 양 단부와의 양쪽을 협지하도록 구성해도 된다.
또한, 협지 반송 수단(81)을, 협지부(82)를 가로폭 방향으로 한쌍 설치하여 구성하였지만, 협지 반송 수단(81)을, 협지부(82)를 가로폭 방향으로 1개 또는 3개 이상 설치하여 구성해도 된다.
(27) 상기 실시예에서는, 탑재 지지 반송 수단(88)을, 인출 대상 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 양 단부를 지지하도록 탑재 지지하도록 구성하였지만, 탑재 지지 반송 수단(88)을, 인출 대상 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 중앙부를 탑재 지지하도록 구성해도 되고, 또한 인출 대상 기판(1)에 있어서의 가로폭 방향의 중앙부와 양 단부와의 양쪽을 탑재 지지하도록 구성해도 된다.
또한, 탑재 지지 반송 수단(88)을, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)를 가로폭 방향으로 한쌍 설치하여 구성하였지만, 탑재 지지 반송 수단(88) 을, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)를 가로폭 방향으로 1개 또는 3개 이상 설치하여 구성해도 된다.
(28) 상기 실시예에서는, 탑재 지지 반송 장치(88)에 협지용 반송 롤러(58)를 구비하였으나, 중계 위치에 위치하는 인출 대상 기판(1)에 대하여 복수 개의 지지용 반송 롤러(57)만으로 확실하게 가압력을 부여하는 것이 가능한 경우에는 탑재 지지 반송 장치(88)에 협지용 반송 롤러(58)를 구비하지 않아도 된다.
즉, 도 35에 나타낸 바와 같이, 탑재 지지 반송 장치(88)를, 지지용 반송 롤러(콜러가 부착된 지지용 반송 롤러)(57)만을 구비하여 구성해도 된다.
이 경우, 탑재 지지 반송 장치(88)는, 중계 위치가 기판(1)의 하류측 부분을 복수 개의 지지용 반송 롤러(57)의 일부인 기판 인출 방향의 상류측에 위치하는 복수 개의 지지용 반송 롤러(57)에 의해 탑재 지지하는 위치가 되도록 구성되어 있고, 협지 반송 수단(81)에 의한 인출 대상 기판(1)의 반송은, 상기 복수 개의 지지용 반송 롤러(57)에 의해 탑재 지지되도록, 기판(1)에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부를 포함하는 3분의 1정도 부분이 탑재 지지 반송 수단(88)에 있어서의 기판 인출 방향의 상류측 부분에 위치하도록 반송된다.
(29) 상기 실시의 액체에서는, 탑재 지지 반송 수단(88)을, 지지용 반송 롤러(57) 및 협지용 반송 롤러(58)를 구비하여 롤러식으로 구성하였지만, 탑재 지지 반송 수단(88)을, 인출 대상 기판(1)의 하면에 접촉하는 지지용 반송 벨트와, 이 지지용 반송 벨트와의 협동에 의해 인출 대상 기판(1)을 협지하는 협지용 벨트를 구비하여 벨트식으로 구성해도 된다.
도 1은 기판 처리 설비의 정면도이다.
도 2는 기판 처리 설비의 측면도이다.
도 3은 기판 처리 설비의 평면도이다.
도 4는 기판 반송 장치의 측면도이다.
도 5는 수납 용기의 사시도이다.
도 6은 수납 용기의 사시도이다.
도 7은 지지판을 나타낸 도면이다.
도 8은 기판 중계 유닛의 평면도이다.
도 9는 협지 위치의 협지부를 나타낸 측면도이다.
도 10은 협지 위치의 협지부를 나타낸 평면도이다.
도 11은 협지 해제 위치의 협지부를 나타낸 측면도이다.
도 12는 협지 해제 위치의 협지부를 나타낸 평면도이다.
도 13은 가압 종료 위치의 협지부를 나타낸 측면도이다.
도 14는 퇴피 위치의 협지부를 나타낸 측면도이다.
도 15는 퇴피 위치의 협지부를 나타낸 평면도이다.
도 16은 부상용 공기 분출체와 공급용 공기 분출체를 나타낸 측면도이다.
도 17은 부상용 공기 분출체와 공급용 공기 분출체를 나타낸 사시도이다.
도 18은 검출 센서를 나타낸 개략도이다.
도 19는 제어 블록도이다.
도 20은 다른 실시예 1에 있어서의 기판 반송 설비를 나타낸 측면도이다.
도 21은 다른 실시예 1에 있어서의 수납 용기를 나타낸 사시도이다.
도 22는 다른 실시예 1에 있어서의 수납 용기의 커버 부재 측을 나타낸 사시도이다.
도 23은 다른 실시예 1에 있어서의 커버 부재가 캐치 지지되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 24는 다른 실시예 1에 있어서의 수납 용기의 승강 위치를 나타낸 측면도이다.
도 25는 다른 실시예 1에 있어서의 수납 용기의 승강 위치를 나타낸 측면도이다.
도 26은 다른 실시예 1에 있어서의 커버 부재가 이탈되는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 27은 다른 실시예 2에 있어서의 커버 부재가 이탈되는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 28은 다른 실시예 3에 있어서의 커버 부재가 캐치 지지되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 29은 다른 실시예 3에 있어서의 커버 부재가 이탈되는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 30은 다른 실시예 3에 있어서의 수납 용기의 승강 위치를 나타낸 측면도이다.
도 31은 다른 실시예(11)에 있어서의 수납 용기의 승강 위치를 나타낸 측면도이다.
도 32는 다른 실시예(17)에 있어서의 피지지부를 나타낸 측면도이다.
도 33은 다른 실시예(18)에 있어서의 복수 개의 회전체를 나타낸 측면도이다.
도 34는 다른 실시예(18)에 있어서의 판형체를 나타낸 도면이다.
도 35는 다른 실시예(28)에 있어서의 협지 해제 위치의 협지부를 나타낸 측면도이다.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
1: 기판
2: 수납 용기
8: 기판 반송 설비
41: 용기 본체
42: 커버 부재
44: 개구
45: 지지판
47: 지지용 기판
48: 돌기부
48a: 탑재면
50: 요입부
57: 지지용 반송 롤러
58: 협지용 반송 롤러
61: 승강 수단
71: 부상용 공기 분출체
71: 보조 공기 분출체
72: 공급용 공기 분출체
73: 인출 수단
81: 협지 반송 수단
82: 협지부
87: 이동체
88: 탑재 지지 반송 수단
89: 요동 안내 부재(퇴피 조작 수단)
91: 공기 분출구
92: 유도 곡면
93: 역방향용 공기 분출구
94: 역방향용 유도 곡면
95: 공기 공급 장치
121: 고정 커버
122: 커버 이탈 수단
A: 용기 인접 부분
E: 지지 예정 영역
H: 공기 공급용 제어 수단
H: 승강용 제어 수단

Claims (24)

  1. 직사각형의 기판을 탑재 지지하는 복수 개의 지지판이 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 병설된 수납 용기와,
    상기 복수 개의 지지판 중 상기 수납 용기로부터 인출되는 인출 대상 기판을 지지하는 상기 지지판에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부에 인접하는 용기 인접 부분에 설치되어, 상기 인출 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판의 상면과의 사이에 공기를 분출하는 부상용 공기 분출체와,
    상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 상기 지지판으로부터 부상된 상기 인출 대상 기판을 상기 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키는 상태로 상기 수납 용기로부터 인출하는 인출 수단이 설치되어 있는 기판 반송 설비로서,
    상기 부상용 공기 분출체의 상면과 상기 인출 수단에 의해 인출되는 상기 인출 대상 기판의 하면과의 사이를 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출체가 설치되어 있고,
    상기 보조 공기 분출체는, 위쪽을 향해 공기를 분출하는 공기 분출구를 구비하는, 기판 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 부상용 공기 분출체는, 상기 공기 분출구와, 상기 공기 분출구의 기판 인출 방향의 상류측 단부로부터 위쪽으로 연장되는 형상으로 형성되어 상기 공기 분출구로부터 위쪽을 향해 분출된 공기를 상기 부상용 공기 분출체의 상면을 따라 수납 용기 측을 향해 수평 방향으로 유동(流動)하도록 유도(誘導)하는 유도 곡면을 구비하여, 상기 보조 공기 분출체를 겸용하도록 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 용기 인접 부분에 있어서 상기 공기 분출구보다 기판 인출 방향의 하류측으로 공기를 공급하는 공급용 공기 분출체가 더 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 부상용 공기 분출체는, 상기 기판 인출 방향과 교차하는 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 복수 개 병설되고,
    상기 공급용 공기 분출체는, 상기 가로폭 방향으로 상기 부상용 공기 분출체의 사이에 설치되고, 또한 위쪽을 향해 공기를 분출하는 역방향용 공기 분출구와, 상기 역방향용 공기 분출구보다 상부측이며 또한 기판 인출 방향의 하류측에 위치하여 상기 역방향용 공기 분출구로부터 위쪽을 향해 분출된 공기를 상기 공급용 공기 분출체의 상면을 따라 수납 용기 측과는 반대측을 향해 수평 방향으로 유동하도록 유도하는 역방향용 유도 곡면을 구비하여 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 부상용 공기 분출체는, 상기 부상용 공기 분출체의 상면이 상기 공급용 공기 분출체의 상면보다 아래쪽에 위치하도록 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 부상용 공기 분출체에 공급되는 공기의 공급량을 조정 가능한 공기 공급 장치와, 상기 부상용 공기 분출체로부터 분출되는 공기의 분출량이 목표 공급량을 향해 단계적으로 많아지도록 상기 공기 공급 장치의 작동을 제어하는 공기 공급용 제어 수단이 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 인출 수단에 의해 인출된 상기 기판을 수취하고 또한 수취한 상기 기판의 하면을 향해 공기를 공급하여 상기 기판을 비접촉 상태로 지지한 상태에서 반송하는 지지 반송 수단이 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 인출 수단은, 상기 수납 용기에 수납하는 수납 대상의 기판을 상기 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키는 상태로 또한 상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 상기 지지판으로부터 부상시킨 상태로 상기 수납 용기에 수납 가능하게 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  9. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수납 용기는, 통형으로 형성되어 그 일단부에 기판 인출용의 개구가 수평 방향으로 개구되도록 형성되고 또한 내부에 기판을 복수 개 수납하는 용기 본체와, 상기 용기 본체에 대하여 장착 및 분리 가능하며 상기 용기 본체에 장착한 상태에 있어서 상기 개구의 전체면을 닫는 커버 부재를 구비하여 구성되며,
    상기 커버 부재를 상기 수납 용기로부터 이탈시키는 커버 이탈 수단이 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 부상용 공기 분출체, 상기 인출 수단 및 상기 보조 공기 분출체가, 위치 고정 상태로 설치되고,
    상기 수납 용기를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단과,
    상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판을 상기 부상용 공기 분출체 및 상기 인출 수단에 대응하는 인출용 높이에 위치시키도록 상기 승강 수단의 작동을 제어하는 승강용 제어 수단이 설치되고,
    상기 커버 이탈 수단은, 상기 커버 부재에 의해 상기 수납 용기의 상기 개구에 있어서의 상기 인출 대상 기판보다 위쪽의 부분을 닫도록, 상기 이탈시킨 상기 커버 부재를 상기 인출 대상 기판보다 위쪽이며 또한 상기 기판 인출 방향으로 상기 수납 용기의 상기 개구에 근접하는 위치에 지지되도록 구성하며,
    상기 수납 용기의 상기 개구에 있어서의 상기 기판 인출 대상 기판보다 아래쪽의 부분을 닫도록, 상기 인출 대상 기판보다 하방이며 또한 상기 기판 인출 방향 으로 상기 수납 용기의 상기 개구에 근접하는 위치에 고정 커버가 위치 고정 상태로 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 인출 수단은,
    상기 인출 대상 기판에서의 기판 인출 방향의 하류측 단부를 협지하는 협지부를 기판 인출 방향에 따른 이동 경로를 따라 이동시켜, 상기 인출 대상 기판의 전체가 상기 수납 용기 내에 위치하는 수납 위치로부터, 상기 인출 대상 기판의 일부가 상기 수납 용기 밖에 위치하는 중계 위치까지 상기 인출 대상 기판을 반송하는 협지 반송 수단과,
    상기 중계 위치로 반송된 상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하여, 상기 인출 대상 기판을 상기 중계 위치로부터 상기 인출 대상 기판의 전체가 상기 수납 용기 밖에 위치하는 인출 위치로 반송하는 탑재 지지 반송 수단
    을 설치하여 구성되며,
    상기 협지 반송 수단은, 상기 인출 대상 기판을 상기 중계 위치로 반송한 상태에서 상기 인출 대상 기판에 대한 협지를 해제한 상기 협지부를, 상기 탑재 지지 반송 수단에 의해 반송되는 상기 인출 대상 기판의 반송 경로로부터 퇴피시킨 퇴피 위치로 이동시키는 퇴피 조작 수단을 구비하여 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 협지부는, 상기 이동 경로를 따라 이동 가능한 이동체에 세로축심 주위로 요동(搖動) 가능하게 지지되고,
    상기 퇴피 조작 수단은, 상기 이동체의 상기 이동 경로에 따른 이동에 의해 상기 협지부와 맞닿아, 상기 협지부를 기판 인출 방향과 교차하는 가로폭 방향의 바깥쪽으로 안내하도록 세로축심 주위로 요동시킴으로써 상기 퇴피 위치로 퇴피시키는 요동 안내 부재에 의해 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 탑재 지지 반송 수단은, 기판의 출입 방향으로 병설되어 상기 인출 대상 기판의 하면에 접촉되는 복수 개의 지지용 반송 롤러와, 상기 중계 위치에 위치하는 상기 인출 대상 기판의 상면에 접촉하여 상기 지지용 반송 롤러와의 협동에 의해 상기 인출 대상 기판을 협지하는 협지용 반송 롤러를 구비하여 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  14. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 협지 반송 수단은, 상기 인출 대상 기판에서의 상기 기판 인출 방향과 교차하는 가로폭 방향의 양 단부를 협지하도록 상기 협지부를 상기 가로폭 방향으로 한쌍 설치하여 구성되며,
    상기 탑재 지지 반송 수단은, 상기 인출 대상 기판에서의 상기 가로폭 방향의 양 단부를 탑재 지지하도록 구성되어 있는, 기재된 기판 반송 설비.
  15. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제5항, 제11항 또는 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수납 용기를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단과, 상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판을 상기 부상용 공기 분출체 및 상기 인출 수단에 대응하는 인출용 높이에 위치시키도록 상기 승강 수단의 작동을 제어하는 승강용 제어 수단이 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  16. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 탑재 지지 반송 수단은, 상기 수납 용기에 수납하는 수납 대상의 기판을 상기 인출 위치로부터 상기 중계 위치로 반송 가능하게 구성되며,
    상기 협지 반송 수단은, 상기 협지부를 이동 경로를 따라 기판 반입 방향의 상류측으로부터 하류측으로 이동시켜, 상기 탑재 지지 반송 수단에 의해 상기 중계 위치로 반송된 상기 수납 대상의 기판을, 상기 협지부의 선단 부분에 의해 가압하는 상태로 상기 중계 위치로부터 상기 수납 위치까지 반송하도록 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 부상용 공기 분출체는, 공기를 분출하는 분출 상태 및 공기의 분출을 정지시킨 분출 정지 상태로 전환 가능하며,
    상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 부상한 상기 수납 대상의 기판을 그 기판을 탑재 지지하는 지지판 상에 위치하도록 상기 수납 용기에 수납하는 수납 수단이 형성되어 있고,
    상기 지지판은, 상기 기판을 탑재 지지하는 탑재면보다 아래쪽으로 요입(凹入)되고 또한 기판을 탑재 지지하는 지지 예정 영역의 내외로 연장되는 요입부를 구비하고 있는, 기판 반송 설비.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 요입부는, 상기 지지 예정 영역의 중앙부로부터 상기 지지 예정 영역의 외부로 연장되는 형상으로 형성되어 있는, 기판 반송 설비.
  19. 제17항 또는 제18항에 있어서,
    상기 요입부는, 상기 지지 예정 영역에 있어서의 기판 수납 방향의 상류측 단부로부터 하류측 단부에 걸쳐 직선형으로 연장되는 형상으로 형성되어 있는, 기판 반송 설비.
  20. 제17항 또는 제18항에 있어서,
    상기 부상용 공기 분출체는, 상기 기판 수납 방향과 교차하는 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 병설되고,
    상기 지지판은, 상기 가로폭 방향으로 병설된 상기 부상용 공기 분출체의 사 이에 위치하도록 상기 요입부를 구비하여 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
  21. 제17항 또는 제18항에 있어서,
    상기 지지판은, 상면이 평탄한 지지용 기판과 상기 탑재면을 구비하고 또한 상기 지지용 기판의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하는 복수 개의 돌기부를 구비하여 구성되며, 또한 상기 돌기부를 상기 지지용 기판에 기판 수납 방향 및 상기 기판 수납 방향과 교차하는 가로폭 방향으로 병설함으로써 상기 요입부가 형성되어 있는, 기판 반송 설비.
  22. 제17항 또는 제18항에 있어서,
    상기 수납 용기를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단과, 상기 수납 대상의 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판을 상기 부상용 공기 분출체 및 상기 수납 수단에 대응하는 수납용 높이에 위치시키도록 상기 승강 수단의 작동을 제어하는 승강용 제어 수단이 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  23. 직사각형의 기판을 탑재 지지하는 복수 개의 지지판이 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 병설된 수납 용기와,
    상기 복수 개의 지지판 중 상기 수납 용기로부터 인출되는 인출 대상 기판을 지지하는 상기 지지판에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부에 인접하는 용기 인접 부분에 설치되어, 상기 인출 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판의 상면과의 사이에 공기를 분출하는 부상용 공기 분출체와,
    상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 상기 지지판으로부터 부상된 상기 인출 대상 기판을 상기 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키는 상태로 상기 수납 용기로부터 인출하는 인출 수단이 설치되어 있는 기판 반송 설비로서,
    상기 부상용 공기 분출체의 상면과 상기 인출 수단에 의해 인출되는 상기 인출 대상 기판의 하면과의 사이를 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출체가 설치되어 있고,
    상기 수납 용기는, 통형으로 형성되어 그 일단부에 기판 인출용의 개구가 수평 방향으로 개구되도록 형성되고 또한 내부에 기판을 복수 개 수납하는 용기 본체와, 상기 용기 본체에 대하여 장착 및 분리 가능하며 상기 용기 본체에 장착한 상태에 있어서 상기 개구의 전체면을 닫는 커버 부재를 구비하여 구성되며,
    상기 커버 부재를 상기 수납 용기로부터 이탈시키는 커버 이탈 수단이 설치되어 있고,
    상기 부상용 공기 분출체, 상기 인출 수단 및 상기 보조 공기 분출체가, 위치 고정 상태로 설치되고,
    상기 수납 용기를 승강 가능하게 지지하는 승강 수단과,
    상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판을 상기 부상용 공기 분출체 및 상기 인출 수단에 대응하는 인출용 높이에 위치시키도록 상기 승강 수단의 작동을 제어하는 승강용 제어 수단이 설치되고,
    상기 커버 이탈 수단은, 상기 커버 부재에 의해 상기 수납 용기의 상기 개구에 있어서의 상기 인출 대상 기판보다 위쪽의 부분을 닫도록, 상기 이탈시킨 상기 커버 부재를 상기 인출 대상 기판보다 위쪽이며 또한 상기 기판 인출 방향으로 상기 수납 용기의 상기 개구에 근접하는 위치에 지지되도록 구성하며,
    상기 수납 용기의 상기 개구에 있어서의 상기 기판 인출 대상 기판보다 아래쪽의 부분을 닫도록, 상기 인출 대상 기판보다 하방이며 또한 상기 기판 인출 방향으로 상기 수납 용기의 상기 개구에 근접하는 위치에 고정 커버가 위치 고정 상태로 설치되어 있는, 기판 반송 설비.
  24. 직사각형의 기판을 탑재 지지하는 복수 개의 지지판이 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 병설된 수납 용기와,
    상기 복수 개의 지지판 중 상기 수납 용기로부터 인출되는 인출 대상 기판을 지지하는 상기 지지판에 있어서의 기판 인출 방향의 하류측 단부에 인접하는 용기 인접 부분에 설치되어, 상기 인출 대상 기판의 하면과 상기 기판을 탑재 지지하는 상기 지지판의 상면과의 사이에 공기를 분출하는 부상용 공기 분출체와,
    상기 부상용 공기 분출체에 의한 공기의 분출에 의해 상기 지지판으로부터 부상된 상기 인출 대상 기판을 상기 부상용 공기 분출체의 위쪽을 통과시키는 상태로 상기 수납 용기로부터 인출하는 인출 수단이 설치되어 있는 기판 반송 설비로서,
    상기 부상용 공기 분출체의 상면과 상기 인출 수단에 의해 인출되는 상기 인출 대상 기판의 하면과의 사이를 향해 공기를 분출하는 보조 공기 분출체가 설치되어 있고,
    상기 인출 수단은,
    상기 인출 대상 기판에서의 기판 인출 방향의 하류측 단부를 협지하는 협지부를 기판 인출 방향에 따른 이동 경로를 따라 이동시켜, 상기 인출 대상 기판의 전체가 상기 수납 용기 내에 위치하는 수납 위치로부터, 상기 인출 대상 기판의 일부가 상기 수납 용기 밖에 위치하는 중계 위치까지 상기 인출 대상 기판을 반송하는 협지 반송 수단과,
    상기 중계 위치로 반송된 상기 인출 대상 기판을 탑재 지지하여, 상기 인출 대상 기판을 상기 중계 위치로부터 상기 인출 대상 기판의 전체가 상기 수납 용기 밖에 위치하는 인출 위치로 반송하는 탑재 지지 반송 수단
    을 설치하여 구성되며,
    상기 협지 반송 수단은, 상기 인출 대상 기판을 상기 중계 위치로 반송한 상태에서 상기 인출 대상 기판에 대한 협지를 해제한 상기 협지부를, 상기 탑재 지지 반송 수단에 의해 반송되는 상기 인출 대상 기판의 반송 경로로부터 퇴피시킨 퇴피 위치로 이동시키는 퇴피 조작 수단을 구비하여 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
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