CN101673698A - 基板运送设备 - Google Patents

Abstract

提供一种取出对象的基板与浮起用空气喷出体不接触的基板运送设备。设置有：浮起用空气喷出体(71)，被配设在与支承板中的基板取出方向的下游侧端部邻接的位置上，向取出对象的基板(1)的下表面和载置支承该基板(1)的支承板(45)的上表面之间喷出空气；辅助空气喷出体(71)，向浮起用空气喷出体(71)的上表面和利用取出机构取出的取出对象的基板(1)的下表面之间喷出空气。

Description

基板运送设备

技术领域

本发明涉及一种基板运送设备，设置有：收纳容器，在沿上下方向隔开间隔的状态下并设多张载置支承矩形状的基板的支承板；浮起用空气喷出体，被配设在与上述多个支承板中的支承从上述收纳容器取出的取出对象的基板的上述支承板的基板取出方向的下游侧端部邻接的容器邻接位置上，向上述取出对象的基板的下表面和载置支承该基板的上述支承板的上表面之间喷出空气；取出机构，将利用基于上述浮起用空气喷出体的空气的喷出从上述支承板浮起的上述取出对象的基板在通过上述浮起用空气喷出体的上方的状态下从上述收纳容器取出。

背景技术

所述的基板运送设备为：多张被用于液晶显示器或等离子显示器的玻璃基板等的矩形状的基板在被载置支承在以沿着上下方向隔开间隔的状态并设的支承板上的状态下被多张地收纳在收纳容器内，借助基于浮起用空气喷出体的空气的喷出使被收纳至该收纳容器中的多张基板中的取出对象的基板从支承板浮起，借助基板取出机构从收纳容器取出该浮起的基板，且能够在不易产生由于摩擦等导致损伤的状态下取出被收纳在收纳容器中的基板。

并且，在这样的基板运送设备中，在以往，在基板取出方向中被配设在容器邻接位置的浮起用空气喷出体构成为，从形成在基板取出方向的上游侧端部的喷出口向取出对象的基板的下表面和载置支承该取出对象的基板的支承板之间朝向水平方向喷出空气，在取出对象的基板和支承板之间形成从基板取出方向的下游侧朝向上游侧流动的空气层，从而利用该空气层支承取出对象的基板，取出机构将该基板以通过浮起用空气喷出体的上方的方式取出(例如，参照专利文献1。)

专利文献1：日本特开2006-315850号公报

但是，在以往的基板运送设备中，浮起用空气喷出体是从形成在该基板取出方向的上游侧端部的喷出口朝向水平方向喷出空气的装置，所以在比浮起用空气喷出体的上述喷出口更靠基板取出方向的下游侧不能形成利用空气的喷出形成的空气层。并且，为了从上述喷出口朝向水平方向喷出空气，而必须沿着基板取出方向形成一定程度的长度的喷嘴等的空气引导部，所以，没有形成空气层的区域中的浮起用空气喷出体的取出方向的长度为一定程度的长度。因此，在借助取出机构取出取出对象的基板时，位于浮起用空气喷出体的上方的部分没有被空气层支承，在取出对象的基板通过浮起用空气喷出体的上方时有可能与浮起用空气喷出体接触。

发明内容

本发明是鉴于上述实际情况而完成的，其目的为提供一种取出对象的基板不与浮起用空气喷出体接触的基板运送设备。

本发明的基板运送设备，设有：收纳容器，在沿上下方向隔开间隔的状态下并设载置支承矩形状的基板的多张的支承板；浮起用空气喷出体，被配设在与上述多个支承板中的支承从上述收纳容器取出的取出对象的基板的上述支承板的基板取出方向的下游侧端部邻接的容器邻接位置上，向上述取出对象的基板的下表面和载置支承该基板的上述支承板的上表面之间喷出空气；

取出机构，将利用基于上述浮起用空气喷出体的空气的喷出从上述支承板浮起的上述取出对象的基板在通过上述浮起用空气喷出体的上方的状态下从上述收纳容器取出，

其特征为，

设有辅助空气喷出体，向上述浮起用空气喷出体的上表面和利用上述取出机构取出的上述取出对象的基板的下表面之间喷出空气。

即，设有向浮起用空气喷出体的上表面和利用取出机构取出的取出对象的基板的下表面之间喷出空气的辅助空气喷出体，所以借助从辅助空气喷出体喷出的空气在浮起用空气喷出体的上方形成空气层，利用该空气层在浮起用空气喷出体的上方支承取出对象的基板。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：在通过浮起用空气喷出体的上方时取出对象的基板不与浮起用空气喷出体接触。

在本发明的实施方式中优选，上述浮起用空气喷出体优选构成为，具有：空气喷出口，向上方喷出空气；引导曲面，形成为从该空气喷出口的基板取出方向的上游侧端部向上方侧延伸的形状，以沿上述浮起用空气喷出体的上表面向收纳容器侧沿着水平方向流动的方式引导从上述空气喷出口向上方喷出的空气，兼用作上述辅助空气喷出体。

即，从浮起用空气喷出体的空气喷出口向上方喷出的空气，借助附壁效应沿着引导曲面流动，之后沿着浮起用空气喷出体的上表面向水平方向流动，且以该状态向位于基板取出方向的上游侧的收纳容器沿水平方向流动，因此从空气喷出口喷出的空气，以向取出对象的基板的下表面和浮起用空气喷出体的上表面之间喷出空气的方式被引导曲面引导，之后向收纳容器侧沿水平方向流动，以便在取出对象的基板的下表面和载置支承该基板的支承板的上表面之间喷出空气。

由此，能够借助浮起用空气喷出体兼用作辅助空气喷出体，因此无需将辅助空气喷出体和浮起用空气喷出体分别设置，与另外设置辅助空气喷出体的情况相比，能够实现构成的简单化。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够实现构成的简单化。

在本发明的实施方式中优选，在上述容器邻接位置设有向比上述空气喷出体更靠基板取出方向的下游侧供给空气的供给用空气喷出体。

即，能够借助供给用空气喷出体在容器邻接位置向比空气喷出口更靠基板取出方向的下游侧供给空气。

即，空气喷出口的周围的空气，被从浮起用空气喷出体的空气喷出口喷出的空气引导而与该空气一起流动，因此，在空气喷出口的周围，特别是在空气喷出口的基板取出方向的下游侧变为负压，被取出机构运送的取出对象的基板被负压而吸引而易于向下方下沉，而通过借助供给用空气喷出体在容器邻接位置向比空气喷出口更靠基板取出方向的下游侧供给空气而能够将空气喷出口的基板取出方向的下游侧正压化，能够抑制空气喷出口的基板取出方向的下游侧的取出对象的基板的下沉。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够抑制空气喷出口的基板取出方向的下游侧的取出对象的基板的下沉，能够稳定地取出基板。

在本发明的实施方式中优选，上述浮起用空气喷出体以沿着与基板取出方向交叉的横宽方向隔开间隔的状态被并设多个，上述供给用空气喷出体，在上述横宽方向中被配设在上述浮起用空气喷出体之间，并且具有：反方向用空气喷出口，向上方喷出空气；反方向用引导曲面，位于比该反方向用空气喷出口更靠上方侧且基板取出方向的下游侧，引导从上述反方向用空气喷出口向上方喷出的空气，以使其沿着上述供给用空气喷出体的上表面向与收纳容器侧相反侧沿水平方向流动。

即，与浮起用空气喷出体相同，从供给用空气喷出体的反方向用空气喷出口向上方喷出的空气，借助附壁效应沿着反方向用引导曲面流动，之后沿着浮起用空气喷出体的上表面向水平方向流动，且以该状态向基板取出方向的下游侧沿水平方向流动，因此从空气喷出口喷出的空气被引导曲面引导之后，向基板取出方向的下游侧沿水平方向流动，以便向比浮起用空气喷出体的空气喷出口更靠基板取出方向的下游侧供给空气。

此外，供给用空气喷出体，被配设在沿横宽方向并设的浮起用空气喷出体之间，因此，能够在不与从浮起用空气喷出体喷出的空气冲突的状态下设置供给用空气喷出体，并且能够利用由向基板取出方向的下游侧沿水平方向流动的空气形成的空气层支承取出对象的基板，因此能够更稳定地进行基于取出机构的基板的取出。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够抑制空气喷出口的基板取出方向的下游侧的基板取出对象的基板的下沉，并且能够更稳定地进行基于取出机构的基板的取出。

在本发明的实施方式中优选，上述浮起用空气喷出体以其上表面位于比上述供给用空气喷出体的上表面更靠下方的方式设置。

即，从浮起用空气喷出体喷出而向基板取出方向的上游侧沿水平方向流动的空气层的高度，比从供给用空气喷出体喷出而向基板取出方向的下游侧沿水平方向流动的空气层的高度低。

即，能够借助供给用空气喷出体在相对于浮起的取出对象的基板适当的高度形成空气层，并且能够借助浮起用空气喷出体，在对于使被载置支承在支承板上的没有浮起的取出对象的基板浮起而言适当的高度形成空气层，因此，能够更稳定地进行基于取出机构的基板的取出，且能够使被载置支承在支承板上的取出对象的基板可靠地浮起。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够更稳定地进行基于取出机构的基板的取出，且能够使被载置支承在支承板上的取出对象的基板可靠地浮起。

在本发明的实施方式中优选，设置有：空气供给装置，自如地调整供给至上述浮起用空气喷出体的空气的供给量；空气供给用控制机构，以从上述浮起用空气喷出体喷出的空气的喷出量向目标供给量阶段地增多的方式控制上述空气供给装置的动作。

即，在开始从浮起用空气喷出体的空气的喷出时，从浮起用空气喷出体喷出的空气的喷出量向目标供给量阶段地增多，所以在取出对象的基板的下表面和载置支承该基板的支承板的上表面之间流动的空气的量也阶段地增多，因此，能够使基板缓缓地浮起且能够抑制浮起时的基板的突然动作。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够抑制浮起时的基板的突然动作。

在本发明的实施方式中优选，设有支承运送机构，该支承运送机构接收借助上述取出机构取出的上述基板而在向上述基板的下表面供给空气而以非接触状态支承上述基板的状态下运送该基板。

即，利用支承运送机构接收借助取出机构取出的基板，支承运送机构能够在向基板的下表面供给空气而以非接触状态支承基板的状态下进行运送，能够在不易损伤利用取出机构取出的基板的状态下进行运送。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够在不易损伤利用取出机构取出的基板的状态下进行运送。

在本发明的实施方式中优选，上述取出机构构成为，能够在使收纳在上述收纳容器中的收纳对象的基板通过上述浮起用空气喷出体的上方的状态下且在借助基于上述浮起用空气喷出体的空气的喷出使其从上述支承板浮起的状态下，将其收纳到上述收纳容器中。

即，能够借助取出机构在使收纳在收纳容器中的收纳对象的基板通过浮起用空气喷出体的上方的状态下且在借助基于浮起用空气喷出体的空气的喷出使其从支承板浮起的状态下使其收纳到收纳容器中，能够进行从收纳容器的取出对象的基板的取出和向收纳容器的收纳对象的基板的收纳，使用方便。

从而，能够提供一种使用方便的基板运送设备。

在本发明的实施方式中优选，上述收纳容器具有：容器主体，被形成为筒状，基板取出用的开口以向水平方向开放的方式被形成在容器主体的一端部上，且在容器主体的内部收纳多张基板；盖部件，相对于上述容器主体装卸自如且在安装在上述容器主体上的状态下封闭上述开口的整面，

设有使上述盖部件从上述收纳容器脱离的盖脱离机构。

即，收纳容器，构成为具有相对于容器主体装卸自如且在安装在容器主体上的状态下封闭开口的整面的盖部件，设有使该盖部件从收纳容器脱离的盖脱离机构，因此，在不借助取出机构取出基板时，将盖部件安装在容器主体上而封闭开口的整面，从而防止尘埃从开口侵入至容器主体内而能够抑制被收纳的基板被尘埃污染，此外，在借助取出机构取出基板时，通过借助盖脱离机构使盖部件从容器主体脱离，能够借助取出机构而通过盖部件被脱离了的收纳容器的开口而相对于收纳容器的容器主体直接取出基板。

即，因为能够借助盖脱离机构使盖部件从容器主体脱离，所以在借助取出机构从收纳容器取出基板时在容器主体与取出机构之间不存在盖部件，所以能够使容器主体相对于取出机构及浮起用空气喷出体沿着基板移载方向接近，易于借助浮起用空气喷出体而利用少量的空气量使基板从支承板可靠地浮起，此外，用于基于取出机构而取出基板的行程缩短，基于取出机构的基板的取出易于进行。此外，在借助取出机构取出基板时，无需如下地取出基板：在盖部件上形成基板取出用的间隙而使基板通过该间隙，因此基于取出机构的基板的取出易于进行。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够抑制被收纳在收纳容器中的基板被尘埃污染，并且基于取出机构的基板的取出易于进行。

在本发明的实施方式中优选，上述浮起用空气喷出体、上述取出机构及上述辅助空气喷出体被设置为位置固定状态，并且设置有：升降机构，升降自如地支承上述收纳容器；升降用控制机构，为了使载置支承上述取出对象的基板的上述支承板位于与上述浮起用空气喷出体及上述取出机构对应的取出用高度而控制上述升降机构的动作，并且上述盖脱离机构构成为，将上述脱离了的上述盖部件支承在比上述取出对象的基板更靠上方且在上述基板取出方向中与上述收纳容器的上述开口接近的位置上，以便借助上述盖部件封闭上述收纳容器的上述开口的比上述取出对象的基板更靠上方的部分，并且固定盖以位置固定状态被设置在比上述取出对象的基板更靠下方且在上述基板取出方向中与上述收纳容器的上述开口接近的位置，以便封闭上述收纳容器的上述开口的比上述取出对象的基板更靠下方的部分。

即，借助升降机构使收纳容器升降，使多个支承板中的载置支承取出对象的基板的支承板位于与浮起用空气喷出体及取出机构对应的取出用高度，从而，能够取出被载置支承在该支承板上的基板，所以能够从多个支承板随机地取出基板。

此外，通过借助升降机构使收纳容器升降，无需使比收纳容器构成更复杂的浮起用空气喷出体及取出机构升降移动，因此能够简单地进行支承板和浮起用空气喷出体及取出机构的在高度方向中的对位。

并且，借助盖部件封闭收纳容器的开口的比取出对象的基板更靠上方的部分，且借助固定盖封闭收纳容器的开口的比取出对象的基板更靠下方的部分，因此在借助取出机构从收纳容器取出基板时利用盖部件和固定盖封闭开口的取出对象的基板的上方部分和下方部分，从而，在借助取出机构从收纳容器取出基板时能够尽可能地防止尘埃从开口侵入至容器主体内，能够抑制容器主体内的基板被尘埃污染。

此外，将借助盖脱离机构从容器主体脱离的盖部件用于堵塞收纳容器的开口的比取出对象的基板更靠上方的部分，从而无需准备用于堵塞该开口的上方的部分的其他的盖，因此能够利用简单的构成堵塞收纳容器的开口的上方部分和下方部分。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够从多个支承板随机地取出基板且能够简单地进行支承板和浮起用空气喷出体及取出机构的在高度方向中的对位，并且能够利用简单的构成堵塞收纳容器的开口的上方部分和下方部分。

在基板运送设备中，在以往，基板取出机构具有保持式运送机构，使保持取出对象的基板的基板取出方向的下游侧端部的保持部沿着沿基板取放方向的移动路径移动，将取出对象的基板从取出对象的基板的整体位于收纳容器内的收纳位置运送到取出对象的基板的整体位于收纳容器外部的取出位置。

但是，在上述的以往的基板运送设备中，在保持部保持基板的基板取放方向的下游侧端部的状态下，利用运送机构将基板从取出对象的基板的整体位于收纳容器内的收纳位置运送到取出对象的基板的整体位于收纳容器外部的取出位置，所以保持部沿着移动路径移动了从收纳位置到取出位置的基板的运送距离。因此，保持部的在基板取出方向中的移动距离长，保持式运送机构，特别是该保持式运送机构的引导保持部的部件在基板取出方向上长。

此外，在将取出对象的基板从收纳位置运送到取出位置时，由于是只保持该基板的基板取出方向的下游侧端部的状态，因此借助基板取出机构难以稳定地运送取出对象的基板。

为了改善这样的问题，在本发明的实施方式中优选，上述取出机构构成为设置有：

夹持运送机构，使夹持上述取出对象的基板的基板取出方向的下游侧端部的夹持部沿着沿基板取出方向的移动路径移动，将上述取出对象的基板从上述取出对象的基板的整体位于上述收纳容器内的收纳位置运送到上述取出对象的基板的一部分位于上述收纳容器外部的中继位置；

载置支承运送机构，载置支承被运送到上述中继位置的上述取出对象的基板，将上述取出对象的基板从上述中继位置运送到上述取出对象的基板的整体位于上述收纳容器外部的取出位置，

上述夹持运送机构构成为具有退避操作机构，使在将上述取出对象的基板运送到上述中继位置的状态下解除了相对于上述取出对象的基板的夹持的上述夹持部，移动到从被上述载置支承运送机构运送的上述取出对象的基板的运送路径退避的退避位置。

即，通过使夹持取出对象的基板的基板取出方向的下游侧端部的夹持部沿着沿基板取出方向的移动路径移动，能够借助夹持运送机构将取出对象的基板从取出对象的基板的整体位于收纳容器内的收纳位置运送到取出对象的基板的一部分位于收纳容器外部的中继位置。此外，能够借助载置支承运送机构载置支承被运送到中继位置的取出对象的基板，且将取出对象的基板从中继位置运送到其整体位于收纳容器外部的取出位置。

由此，因为借助夹持运送机构在从取出对象的整个基板位于收纳容器内的收纳位置运送到取出对象的基板的一部分位于收纳容器外部的中继位置之间进行运送，所以夹持部的在基板取出方向中的移动距离缩短，能够将夹持运送机构、特别是该运送机构的引导保持部的部件在基板取出方向上的长度减小。

此外，载置支承运送机构，在将取出对象的基板从中继位置运送到取出位置时，由于使基板处于被该载置支承运送机构载置支承的状态，借助载置支承机构在基板的横宽方向的两端部等处在基板的下表面施加支承作用，从而能够借助基板取出机构将取出对象的基板稳定地运送到取出位置。

并且，将取出对象运送到中继位置且解除了相对于取出对象的基板的夹持的夹持部，因为能够从被支承运送机构运送的取出对象的基板的运送路径退避，所以在借助载置支承运送机构将取出对象的基板从中继位置运送到取出位置时，能够避免取出对象的基板与夹持运送机构的夹持部抵接。

此外，夹持运送机构是夹持取出对象的基板而进行运送的部件，所以与吸附运送的部件相比，能够将保持作用于基板上的部分在上下方向形成得很薄，因此，能够从在上下方向间隔狭小的状态下收纳基板的收纳效率高的收纳容器取出基板。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够实现在基板取出方向上将基板取出机构的夹持运送机构小型化，并且借助基板取出机构稳定地容易地运送取出对象的基板。

在本发明的实施方式中优选，上述夹持部被绕纵轴芯摆动自如地支承在沿上述移动路径移动自如的移动体上，

上述退避操作机构由摆动引导部件构成，该摆动引导部件，借助上述移动体的沿着上述移动路径的移动而与上述夹持部抵接，以将上述夹持部向与基板取出方向交叉的横宽方向的外方侧引导的方式使其绕纵轴芯摆动，从而使其退避到上述退避位置。

即，随着移动体的沿着移动路径的移动而摆动引导部件与夹持部抵接，借助该抵接，夹持部绕纵轴芯摆动而以夹持部向与基板取出方向交叉的横宽方向的外方侧被引导的方式退避到退避位置，因此，能够仅仅通过使移动体沿着移动路径直线状地移动而将夹持部引导到退避位置。由此，与为了使夹持部移动到退避位置而将移动体构成为能够向与移动路径交叉的方向移动的情况及另外设置使移动体移动到退避位置的驱动机构情况相比，能够实现夹持运送机构的构成的简单化。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够实现夹持运送机构的构成的简单化。

在本发明的实施方式中优选，上述载置支承运送机构具有：多个支承用运送辊，沿基板取放方向并设而与上述取出对象的基板的下表面接触；夹持用运送辊，与位于上述中继位置的上述取出对象的基板的上表面接触而借助与上述支承用运送辊的协动而夹持上述取出对象的基板。

即，在利用多个支承用运送辊和夹持用运送辊夹持取出对象的基板的状态下进行运送，因此能够借助载置支承运送装置将取出对象的基板从中继位置可靠地运送到取出位置。

即，在取出对象的基板位于中继位置的状态下，因为只是取出对象的基板的一部分位于收纳容器外部，所以若只利用多个支承用运送辊将取出对象的基板从中继位置运送到取出位置，则取出对象的基板的基板取出方向的下游侧的部分只被少数的支承用运送辊载置支承，因此，取出对象的基板的相对于支承用运送辊的接触压小，支承用运送辊容易空转，所以借助载置支承运送装置难以可靠地运送取出对象的基板，而通过设置夹持用运送辊而借助与支承用运送辊的协动在夹持的状态下运送取出对象的基板，能够增大取出对象的基板的相对于支承用运送辊的接触压，支承用运送辊难以空转，因此易于借助载置支承运送装置易于可靠地运送取出对象的基板。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：易于借助载置支承运送装置可靠地运送取出对象的基板。

在本发明的实施方式中优选，上述夹持运送机构构成为，以夹持上述取出对象的基板的与上述基板取出方向交叉的横宽方向的两端部的方式沿上述横宽方向设置一对上述夹持部，

上述载置支承运送机构构成为，载置支承上述取出对象的基板的上述横宽方向的两端部。

即，取出对象的基板，在其取出对象的基板的取出方向的下游侧端部且横宽方向的两端部被夹持部夹持的状态下被夹持运送机构从收纳位置运送到中继位置，此外，在取出对象的基板的两端部被载置支承的状态下被载置支承运送机构从中继位置运送到取出位置。

由此，在将取出对象的基板从收纳位置运送到取出位置时，夹持运送机构及载置运送机构作用于取出对象的基板的横宽方向的两端部，不作用于横宽方向的中央部，因此能够防止基板的横宽方向的中央部的损伤。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够防止取出对象的基板的横宽方向的中央部的损伤。

在本发明的实施方式中优选设有：升降机构，升降自如地支承上述收纳容器；升降用控制机构，为了使载置支承上述取出对象的基板的上述支承板位于与上述浮起用空气喷出体及上述取出机构对应的取出用高度而控制上述升降机构的动作。

即，借助升降机构使收纳容器升降，使多个支承板中的载置支承取出对象的基板的支承板位于与浮起用空气喷出体及取出机构对应的取出用高度，从而，能够取出被载置支承在该支承板上的基板，所以能够从多个支承板随机地取出基板。

此外，通过借助升降机构使收纳容器升降，无需使比收纳容器构成更复杂的浮起用空气喷出体及取出机构升降移动，因此能够简单地进行支承板和浮起用空气喷出体及取出机构的在高度方向中的对位。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够从多个支承板随机地取出基板，且能够简单地进行支承板和浮起用空气喷出体及取出机构的在高度方向中的对位。

在本发明的实施方式中优选，上述载置支承运送机构构成为，能够将收纳在上述收纳容器中的收纳对象的基板从上述取出位置运送到上述中继位置，

上述夹持运送机构构成为，使上述夹持部沿移动路径从基板输入方向的上游侧向下游侧移动，在借助上述夹持部的顶端部分按压的状态下将被上述载置支承运送机构运送到上述中继位置的上述收纳对象的基板从上述中继位置运送到上述收纳位置。

即，能够借助载置支承运送机构将收纳在收纳容器中的收纳对象的基板从取出位置运送到中继位置，此外，能够借助夹持运送机构将收纳对象的基板从中继位置运送到收纳位置，所以借助取出机构，除了取出对象的基板的从收纳容器的取出之外还能够进行向收纳容器的收纳对象的基板的收纳，使用方便。

此外，在借助夹持运送机构将收纳对象的基板从中继位置运送到收纳位置时，在借助夹持部的顶端部分按压的状态下运送收纳对象的基板，所以如夹持的情况时无需夹持及夹持解除的动作，能够迅速地运送。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：使用方便且能够将收纳对象的基板迅速地收纳在收纳容器中。

在基板运送设备中，在以往，支承板构成为，其上表面被平坦地形成，收纳对象的基板直接地载置支承在支承板的平坦的上表面上，在借助收纳机构收纳收纳对象的基板而使收纳对象的基板位于支承板上之后，将浮起用空气喷出体切换为喷出停止状态而使空气的喷出停止，借助支承板载置支承收纳对象的基板(例如，参照专利文献1)。

但是，在上述的以往的基板运送设备中，因为支承板的上表面被平坦地形成，所以即便将浮起用空气喷出体切换为喷出停止状态，空气也滞留在收纳对象的基板和载置支承该基板的支承板之间，在能够借助支承板载置支承收纳对象的基板之前浪费时间，从而，在以往的基板运送设备中，不能够将收纳对象的基板迅速地收纳在收纳容器中。

为了改善这样的问题而在本发明的实施方式中优选，上述浮起用空气喷出体，能够切换为喷出空气的喷出状态及使空气的喷出停止的喷出停止状态，

设有收纳机构，将利用基于上述浮起用空气喷出体的空气的喷出而浮起的上述收纳对象的基板以位于载置支承该基板的支承板上的方式收纳在上述收纳容器中，

上述支承板具有凹入部，该凹入部，比载置支承上述基板的载置面更向下方凹入且向载置支承基板的支承预定区域的内外延伸。

即，在支承板上具有比载置支承基板的载置面更向下方凹入且向载置支承基板的支承预定区域的内外延伸的凹入部，所以能够使收纳对象的基板和载置支承该基板的支承板之间的空气通过凹入部而主动地向外方排出。从而，在将浮起用空气喷出体切换为喷出停止状态时，使收纳对象的基板和载置支承该基板的支承板之间的空气迅速地向外方排出，能够借助载置面载置支承收纳对象的基板。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够将收纳对象的基板迅速地收纳到收纳容器中。

在本发明的实施方式中优选，上述凹入部形成为从上述支承预定区域的中央部向上述支承预定区域的外部延伸的形状。

即，凹入部形成为从支承预定区域的中央部向支承预定区域的外部延伸的形状，所以能够使收纳对象的基板的中央部下方的空气通过凹入部而向外方排出。由此，能够使空气易于滞留的收纳对象的基板的中央部下方的空气主动地向外方排出，所以能够使收纳对象的基板和载置支承该基板的支承板之间的空气高效率地向外方排出。从而，能够将收纳对象的基板更迅速地收纳到收纳容器中。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够将收纳对象的基板更迅速地收纳到收纳容器中。

在本发明的实施方式中优选，上述凹入部形成为从上述支承预定区域的基板收纳方向的上游侧端部直到下游侧端部直线状地延伸的形状。

即，凹入部形成为从支承预定区域的基板收纳方向的上游侧端部直到下游侧端部直线状地延伸的形状，所以能够使从基板收纳方向的上游侧端部到下游侧端部的整个范围内的收纳对象的基板与载置支承该基板的支承板之间的空气向外方排出。由此，能够使收纳对象的基板与载置支承该基板的支承板之间的空气向外方高效率且更迅速地排出，并且，在向收纳对象的基板的下表面和载置支承该基板的支承板的上表面之间喷出空气时，能够利用凹入部使空气在从基板收纳方向的上游侧端部到下游侧端部的范围内流动，能够借助该流动在收纳对象的基板的下表面和载置支承该基板的支承板的上表面之间的整个范围内可靠地供给空气，稳定地容易地进行基于收纳机构的基板的收纳。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够借将收纳对象的基板更迅速地收纳到收纳容器中，且稳定地容易地进行基于收纳机构的基板的收纳。

在本发明中的实施方式中优选，上述浮起用空气喷出体，在沿着与上述基板收纳方向交叉的横宽方向隔开间隔的状态下并设，

上述支承板构成为以位于沿着上述横宽方向并设的上述浮起用空气喷出体之间的方式具备上述凹入部。

即，支承板构成为，以位于沿着横宽方向并设的浮起用空气喷出体之间的方式具备凹入部，所以，借助浮起用空气喷出体向收纳对象的基板的下表面和载置支承该基板的支承板的上表面之间喷出的空气的流动，不易被支承板的形成载置部的部分干扰，能够使空气在从基板收纳方向的上游侧端部到下游侧端部的范围内适当地流动。由此，更稳定地容易地进行基于收纳机构的基板的收纳。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：更稳定地容易地进行基于收纳机构的基板的收纳。

在本发明的实施方式中优选，上述支承板，具有上表面平坦的支承用基板和上述载置面且具有从上述支承用基板的上表面向上方突出的多个突起部，并且通过在上述支承用基板上沿基板收纳方向以及与该方向交叉的横宽方向并设上述突起部而形成上述凹入部。

即，支承板构成为具有上表面平坦的支承用基板和上述载置面且具有从支承用基板的上表面向上方突出的多个突起部，通过在支承用基板上沿基板收纳方向以及横宽方向并设突起部而形成凹入部，所以能够以沿基板收纳方向的凹入部分和沿着横宽方向的凹入部分相互地交叉的方式形成凹入部。由此，简单而言，能够成为所谓在支承用基板上具有多个突起部的简易的构成，且沿基板收纳方向、横宽方向形成能够将空气向外方排出的凹入部，能够向外方迅速地排出收纳对象的基板的下表面和载置支承该基板的支承板的上表面之间的空气。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够易于形成支承板的凹入部且将收纳对象的基板更迅速地收纳在收纳容器中。

在本发明的实施方式中优选设有：升降机构，升降自如地支承上述收纳容器；升降用控制机构，为了使载置支承上述收纳对象的基板的上述支承板位于与上述浮起用空气喷出体及上述收纳机构对应的收纳用高度而控制上述升降机构的动作。

即，借助升降机构使收纳容器升降，使多个支承板中的某一个位于与浮起用空气喷出体及收纳机构对应的收纳用高度，从而，能够以载置支承在该支承板上的方式收纳收纳对象的基板，所以能够相对于多个支承板随机地载置支承收纳对象的基板。

此外，通过借助升降机构使收纳容器升降，无需使比收纳容器构成更复杂的浮起用空气喷出体及取出机构升降移动，因此能够简单地进行支承板和浮起用空气喷出体及取出机构的在高度方向中的定位。

从而，能够提供一种如下的基板运送设备：能够相对于多个支承板随机地载置支承收纳对象的基板且能够简单地进行支承板和浮起用空气喷出体及取出机构的在高度方向中的对位。

附图说明

图1是基板处理设备的主视图。

图2是基板处理设备的侧视图。

图3是基板处理设备的俯视图。

图4是基板运送装置的侧视图。

图5是收纳容器的立体图。

图6是收纳容器的立体图。

图7是表示支承板的图。

图8是基板中继单元的俯视图。

图9是表示夹持位置的夹持部的侧视图。

图10是表示夹持位置的夹持部的俯视图。

图11是表示夹持解除位置的夹持部的侧视图。

图12是表示夹持解除位置的夹持部的俯视图。

图13是表示按压结束位置的夹持部的侧视图。

图14是表示退避位置的夹持部的侧视图。

图15是表示退避位置的夹持部的俯视图。

图16是表示浮起用空气喷出体和供给用空气喷出体的侧视图。

图17是表示浮起用空气喷出体和供给用空气喷出体的立体图。

图18是表示检测传感器的概略图。

图19是控制框图。

图20是表示另一实施方式1的基板运送设备的侧视图。

图21是表示另一实施方式1的收纳容器的立体图。

图22是表示另一实施方式1的收纳容器的盖部件侧的立体图。

图23是表示另一实施方式1的盖部件被承接支承的状态的侧视图。

图24是表示另一实施方式1的收纳容器的升降位置的侧视图。

图25是表示另一实施方式1的收纳容器的升降位置的侧视图。

图26是表示另一实施方式1的盖部件被脱离的情况的立体图。

图27是表示另一实施方式2的盖部件被脱离的情况的立体图。

图28是表示另一实施方式3的盖部件被承接支承的状态的侧视图。

图29是表示另一实施方式3的盖部件被脱离的情况的立体图。

图30是表示另一实施方式3的收纳容器的升降位置的侧视图。

图31是表示另一实施方式(11)的收纳容器的升降位置的侧视图。

图32是表示另一实施方式(17)的被支承部的侧视图。

图33是表示另一实施方式(18)的多个旋转体的侧视图。

图34是表示另一实施方式(18)的板状体的图。

图35是表示另一实施方式(28)的夹持解除位置的夹持部的侧视图。

附图标记说明

1    基板

2    收纳容器

8    基板运送设备

41   容器主体

42   盖部件

44   开口

45   支承板

47   支承用基板

48   突起部

48a  载置面

50   凹入部

57   支承用运送辊

58   夹持用运送辊

61   升降机构

71   浮起用空气喷出体

71   辅助空气喷出体

72   供给用空气喷出体

73   取出机构

81   夹持运送机构

82   夹持部

87   移动体

88   载置支承运送机构

89   摆动引导部件(退避操作机构)

91   空气喷出口

92   引导曲面

93   反方向用空气喷出口

94   反方向用引导曲面

95   空气供给装置

121  固定盖

122  盖脱离机构

A    容器邻接位置

E    支承预定区域

H    空气供给用控制机构

H    升降用控制机构

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明实施方式。

说明若干个实施方式，而一个实施方式的特征和另一实施方式的特征的组合也包含在本发明的范围内。

如图1所示，基板处理设备构成为具有：物品收纳架5，具有多个收纳部4，收纳在沿上下方向隔开间隔且排列的状态下保持多张矩形状的基板1的收纳容器2；塔式起重机7，作为在收纳部4与基板取放部6之间运送收纳容器2的收纳容器运送装置；基板运送装置8，从位于基板取放部6的收纳容器2一张张地取出基板1而运送至处理基板1的基板处理装置(未图示)，并且将从基板处理装置运送来的基板1一张张地收纳至收纳容器2中。在此，基板运送装置8相当于本发明中的基板运送设备。

并且，在该基板处理设备中，一边将收纳容器2保管至物品收纳架5中一边将保管的收纳容器2运送至基板取放部6，从被运送至该基板取放部6的收纳容器2以一张为单位取出基板1而运送至基板处理装置而进行既定的处理，将进行了该既定的处理的基板1向位于基板取放部6的收纳容器2以一张为单位进行收纳。

如图1以及图2所示，在物品处理设备中，在净室13中设置有使净化空气从顶板部向地板部通风的下流动式的净化空气通风机构23，在该下流动的净室13内装备有收纳架5、塔式起重机7、以及基板运送装置8。

若对净化空气通风机构23进行说明，则如图2所示，净化空气通风机构23构成为，净室13的地板部由多孔状的格子地板14形成，净室13的顶板部利用由HEPA过滤器等构成的空气过滤器15形成，并且借助具有通风风扇18及预滤器21的循环路19将形成在格子地板14的下方侧的吸气室16和形成在空气过滤器15的上方侧的腔室17连通，使净室13内的空气在预滤器21和空气过滤器15中一边净化一边循环，使净化空气从顶板部向地板部通风。并且，在循环路19上，外部气体取入流路20连接在比通风风扇18更靠上游侧，排气流路22连接在比通风风扇18更靠下游侧，利用净化空气通风机构23循环的净室13内的空气的一部分与外部气体进行交换。

此外，如图1所示，在利用基板运送装置8在基板取放部6的收纳容器2和基板处理装置之间运送基板1的基板运送区域24中设有覆盖基板运送空间的分隔壁25，使得物品收纳架5侧的端部开放而基板处理装置侧的端部与基板处理装置连通，在该分隔壁25的顶板部设有多个区域用风扇过滤器单元26。并且，利用多个区域用风扇过滤器单元26使将净室13的净化空气进一步净化了的净化空气从顶板部通风至地板部侧，将由分隔壁25覆盖的基板运送空间作为向下流动的空间。

如图1以及图2所示，各个物品收纳架5，沿着架横宽方向排列地立设有由沿着架前后方向排列的前后一对的支柱构成的支柱组28，跨越构成支柱组28的前后一对的支柱沿着上下方向排列地架设有多个物品支承部29，在纵横地排列的状态下设置有多个在利用物品支承部29载置支承的状态下收纳收纳容器2的收纳部4。此外，物品收纳架5，在相互对置的状态下在格子地板14上设置一对。

并且，设置在物品收纳架5中的多个收纳部4中的一部分被作为基板取放部6。若进行说明，则如图3所示，设置在物品收纳架5中的最下层的多个收纳部4中的一部分的收纳部4被作为基板取放部6，构成为能够相对于收纳在该收纳部4中的收纳容器2通过物品收纳架5的背面侧而利用基板运送装置8一张张地取出及收纳基板1。

如图1以及图2所示，塔式起重机7构成为，具有：移动台车31，在移动空间中沿着其长度方向行进移动，上述移动空间形成在相互对置的状态下设置的一对的收纳架5之间；升降台33，升降自如地引导支承在一对的升降柱32上，该一对的升降柱被立设在移动台车31上且沿台车行进方向排列；叉式的物品移载装置34，被支承在升降台33上且能够在收纳部4和自身之间移载收纳容器2，借助移动台车31的水平移动、升降台33的升降移动、以及物品移载装置34的动作，在作为基板取放部6的收纳部4和除此之外的收纳部4之间运送收纳容器2。

如图3所示，物品移载装置34包括：绕上下轴芯旋转自如的旋转台35、以及进退移动自如地支承被设置在该旋转台35上的载置部36的连杆机构37。并且，物品移载装置34构成为，能够借助连杆机构37的伸缩而切换使物品移载装置34在升降台33上退回的状态及使物品移载装置34向收纳部4侧突出的状态，并且能够借助旋转台35的旋转而180度变更物品移载装置34的进退方向。

作为本发明中的基板运送设备的基板运送装置8，如图3等所示，构成为在位于基板取放部6的收纳容器2和基板输送器51之间一张张地交接基板1。并且，作为基板运送装置8，具有：收纳容器2，在沿着上下方向隔开间隔的状态下并设有多个载置支承基板1的支承板45；基板运送输送器51，载置运送基板1；基板中继单元70，从收纳容器2一张张地取出基板1而给出到基板运送输送器51上，并且一张张地将从基板输送器51接收的基板1收纳到收纳容器2中；升降机构61，升降自如地支承位于基板取放部6的收纳容器2；控制装置H(参照图19)，控制基板运送装置8的动作。

接着，若对基板运送装置8进行详细地说明，则将基板取出方向的下游侧(基板收纳方向的上游侧)作为前方侧，将基板取出方向的上游侧(基板收纳方向的下游侧)作为后方侧，将沿着基板取出方向(基板收纳方向)的方向称为前后方向，将与该方向交叉的方向作为横宽方向而进行说明。

[收纳容器]

如图5以及图6所示，收纳容器2构成为具有：容器主体41，形成为前后面开口的横倒姿态的四边形筒状；盖部件42，在闭塞前面的开口的状态下设置在容器主体41的前侧端部上；风扇过滤器单元43，在闭塞后面的开口的状态下设置在容器主体41的后侧端部上；多个支承板45，在沿着上下方向隔开间隔的状态下并设在收纳容器2内。

容器主体41，借助框架材料框架形成为长方体形状且借助板材使左右面及上下面的开口闭塞，从而形成为上述的前后面沿水平方向开口的横倒姿态的四边形筒状。并且构成为，将容器主体41的前面的开口作为基板取放口44，能够相对于容器主体41通过基板取放口44进行基板1的取放。

如图5所示，盖部件42，以形成与基板取放口44相同形状的开口的方式利用盖形成用的框架材料被框架形成，该开口被透明的板材闭塞。

此外，在盖部件42上设置从上方与容器主体41卡合的被卡合框46。即，盖部件42构成为，使盖部件42相对于容器主体41向下方移动而使被卡合框46与容器主体41卡合，从而能够将盖部件42安装在容器主体41上，通过使盖部件42相对于容器主体41向上方移动而能够使盖部件42从容器主体41脱离。

并且，盖部件42被形成为，在被安装在容器主体41上的状态下在与容器主体41之间形成间隙的形状，利用风扇过滤器单元43被导入至收纳容器2内的空气通过在容器主体41和盖部件42之间形成的间隙被排出至外部。

如图6所示，风扇过滤器43被拆装自如地安装在容器主体41的后端部，以便从容器主体41的后面的开口向基板取放口44通风。

另外，省略详细的说明，在风扇过滤器43上具有受电部和蓄存被供给至该受电部的电力的电池，风扇过滤器单元43构成为，在收纳容器2被收纳至收纳部4中的状态下，借助从配备在各个收纳部4上的供电部供给至受电部的电力而动作，在收纳容器2被塔式起重机7运送时等的受电部从供电部分离而电力不被供给至受电部的状态下，借助蓄存在电池中的电力进行动作。

如图7所示，多个支承板45分别具有：支承用基板47，借助冲压加工形成有向上方突出的多个突起部48；限制部件49，限制载置支承的基板1的向横宽方向及后方的移动。并且，突起部48的上表面形成为水平的平面而作为载置支承基板1的载置面48a。

此外，多个支承板45分别如图9等所示，其前端部分45a的上表面形成为越靠前方侧越位于下方的倾斜的平面，前端部分45a以及突起部48之外的部分的上表面形成为水平的平面，载置支承基板1的支承预定区域E从前端部分45a遍及除此之外的部分而设定。突起部48，为了支承基板47而在各个支承板45上优选沿横宽方向至少设置两个，优选沿前后方向至少设置五个。

此外，突起部48为直径10mm的圆形状且形成为比玻璃基板1的厚度薄的厚度0.2mm。

并且，在多个支承板45的各个上，在支承用基板47上在前后方向及沿横宽方向上并设突起部48，从而形成凹入部50。

若进行说明，则支承板45中的不形成突起部48的部分比载置面48a更向下方凹入。如上所述，通过在支承用基板47上并设突起部48，比载置面48a更向下方凹入的凹入部50形成为格子状，从而如此地形成的凹入部50为从支承预订区域E的中央部向支承预订区域E的外部延伸的形状，且形成为在支承预订区域E中的从前端部直到后端部直线状地延伸的形状。通过将空气供给至支承板45的上表面和基板1的下表面之间，基板1从支承板45浮起，但是在向支承板45的上表面和基板1的下表面之间的空气的供给被停止时，例如如图7的虚线箭头所示，在支承板45和基板1之间存在的空气沿着凹入部50流动到支承预订区域E的外部。其结果，能够迅速地排出在支承板45和基板1之间存在的空气，能够借助突起部48稳定地载置支承基板1。

限制部件49，在支承用基板47的后端部中沿着横宽方向隔开间隔地并设，使得位于支承预订区域E的左右两侧，使得在支承用基板47的左右两侧部中沿前后方向隔开间隔地并设且位于支承预订区域E的后方侧。

[升降机构]

如图3以及图4所示，升降机构61构成为，被设置在基板取放部6处，且具有：借助升降用马达62(参照图19)升降移动而载置收纳容器2的左右一对的支承台63；分别地升降自如地引导支承左右一对的支承台63的左右一对的引导支柱64。

并且，如图4所示，在基板取放部6中，收纳容器2的与盖部件42的被卡合框46卡合的卡合部件65以被支承在分隔壁25的顶板部上的状态设置，收纳容器2借助塔式起重机7以被升降机构61载置支承的方式被运入至基板取放部6，与此相伴，被卡合框46与卡合部件65卡合且从容器主体41脱离而盖部件42从容器主体41卸下，借助塔式起重机7从基板取放部6运出收纳容器2，与此相伴，被卡合部框46与容器主体41卡合且从卡合部件65脱离而盖部件42被安装在容器主体41上。

从而借助升降机构61使载置支承收纳容器2中的容器主体41的支承台63升降，从而在使盖部件42支承在卡合部件65上的状态下使收纳容器2中的盖部件42之外的部分升降移动，能够变更基板取放口44的开口量。

若说明向基板取放部6的收纳容器2的运入，则借助塔式起重机7，使收纳容器2向基板取出方向的下游侧水平移动到上方位置，之后使收纳容器2向铅直下方下降移动到中间位置，在其下降移动中途的盖脱离位置借助盖拆装机构122使盖部件42从容器主体41脱离(卸下)，下降以使脱离(卸下)了盖部件的收纳容器2载置支承在升降机构61上。之后，借助升降机构61使脱离了盖部件42的收纳容器2从中间位置向铅直下方下降移动到基板移载位置P4。

此外，若说明从基板取放部6的收纳容器2的运出，则借助升降机构61使脱离了盖部件42的收纳容器2从基板移载位置P4向铅直上方上升移动到中间位置。之后，借助塔式起重机7抓取升降机构61上的收纳容器2，使该收纳容器2从中间位置向铅直上方上升移动到上方位置，在该上升移动中途的盖脱离位置借助盖拆装机构122使盖部件42安装在容器主体41上，之后使安装了盖部件42的收纳容器2从上方位置向基板取出方向的上游侧水平移动。

如图4所示，基板移载位置P4是能够借助基板中继单元70相对于收纳容器2移载(取放)基板1的收纳容器的位置。并且，升降机构61构成为，使收纳容器2在以下位置之间升降移动：作为使被收纳在容器主体41的最下位置的基板1位于能够借助基板中继单元70移栽的高度的基板移载位置P4的上升侧基板移载位置、和作为使被收纳在容器主体41的最上位置的基板1位于能够借助基板中继单元70移栽的高度的基板移载位置P4的下降侧基板移载位置，使收纳容器2的载置支承移载对象的基板1的支承板45位于与基板中继单元70对应的移载高度。

此外，中间位置是在塔式起重机7与升降机构61之间交接收纳容器2时的收纳容器2的位置，盖脱离位置是借助盖拆装机构122相对于容器主体41拆装盖部件时的收纳容器2的位置。

若说明盖部件42的被卡合框46，则如图5所示，盖部件42的被卡合部66由被卡合框46构成，该被卡合框46在令盖部件42向容器主体侧突出的状态下配备在盖主体116的上端部。

该被卡合框46构成为，形成为在横宽方向看下方开口的コ字状，在横宽方向并排设置一对连结框部分46a，其排列方向的盖部件侧的下端部被连结支承在盖主体116上，在一对的连结框部分46a之间架设卡合用棒状部分46b，其被连结支承在连结框部分46a中的容器主体41和盖部件42所排列的排列方向的容器主体侧的下端部上，该棒状部分46b与容器主体41的卡合部(未图示)从上方卡合。

此外，被卡合框46，被卡合支承在位于容器主体41中的形成有基板取放口的一端部的上端部分的卡合部上，相当于被卡合部115。

此外，在被卡合框46上具有支承用棒状部分46c，其被作为承接支承体123的卡合部件65承接支承，该支承用棒状部分46c被连结支承在连结框部分46a中的排列方向的容器主体侧的下端部、且被架设在一对的连结框部分46a之间。即，如图4所示，被卡合框46构成为兼用作被卡合部件65承接支承的被支承部119和被卡合支承在容器主体41中的卡合部上的被卡合部115，被卡合框46在从盖主体116的上端部向上方侧突出的状态下被设置。

如图4所示，承接支承体123在被支承在顶板部的状态下被设置为：承接支承位于盖部件42的横宽方向两侧的被支承部119，在位于上述上方位置的状态下位于盖主体116的上表面和被卡合框46的支承用棒状部分46c之间。

并且，承接支承体123构成为，借助脱离的盖部件42封闭位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44中的比移载对象的基板1更靠上方的部分，将脱离的盖部件42支承在比移载对象的基板1更靠上方且在基板移载方向中与位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44接近的位置上。

即，盖脱离位置是下述位置：在上下方向看，被安装在位于该盖脱离位置的收纳容器2上的盖部件42与基板中继单元70的浮起用空气喷出体71重合的位置，此外，被安装在位于盖脱离位置的收纳容器2上的盖部件42，以不妨碍基于基板取放机构73的基板1的移载及基于浮起用空气喷出体71的基板1的浮起的方式被设定在基板中继单元70的上方与基板中继单元70接近的位置上。

并且，因为是在上下方向看被安装在位于盖脱离位置的收纳容器2上的盖部件42与基板中继单元70的浮起用空气喷出体71重合的位置，所以仅仅通过借助容器运送机构111使收纳容器2从盖脱离位置向铅直下方下降移动而使其位于基板移载位置P4，就能够使盖部件42从容器主体41脱离，且能够在基板移载位置P4中的收纳容器2的位置上使容器主体41与基板中继单元70的基板移载方向上的间隔比盖部件42的基板移载方向(排列方向)上的厚度小，能够使基板中继单元70与收纳容器2的容器主体41在基板移载方向上接近。由此，基于基板中继单元70的相对于收纳容器2的容器主体41的基板的移载易于进行。

在基板运送设备中，在位置固定状态下将固定盖121设置在比移载对象的基板1更靠下方且在基板移载方向中与位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44接近的位置上，以便封闭位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44中的比移载对象的基板1更靠下方的部分。

此外，固定盖121以在上下方向看与基板中继单元70的浮起用空气喷出体71重合的方式设置，在基板中继单元70的下方在与基板中继单元70接近的状态下以不妨碍基于基板中继单元70中的基板取放机构73的基板1的移载及基于浮起用空气喷出体71的基板1的浮起的方式设置。

[基板中继单元]

接着，说明基板中继单元70。

如图3及图4所示，基板中继单元70，构成为借助沿横宽方向行进的行进台车74沿横宽方向移动自如，且构成为，在与位于基板取放部6的收纳容器2之间一张张地取出或收纳基板1时，基板中继单元70借助行进台车74的行进被配置在与位于基板取放部6的收纳容器2邻接的位置上。

如作为基板中继单元70的俯视图的图8所示，基板中继单元70构成为，具有：浮起用空气喷出体71，在取出对象或者收纳对象的基板1的下表面和载置支承该基板1的支承板45的上表面之间喷出空气；供给用空气喷出体72，向比浮起用空气喷出体71更靠基板取出方向的下游侧供给空气；基板取放机构73，将借助基于浮起用空气喷出体71的空气的喷出从支承板45浮起的取出对象的基板1在通过浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72的上方的状态下从收纳容器2取出，并且，将借助基于浮起用空气喷出体71的空气的喷出而浮起的收纳对象的基板1在通过浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72的上方以位于载置支承该基板1的支承板45上的状态下收纳至收纳容器2中。

此外，基板取放机构73兼用作将基板1从收纳容器2取出的取出机构和将基板1向收纳容器2收纳的收纳机构。

[行进台车]

如图3及图4所示，行进台车74，具有分别与沿横宽方向设置的一对的行进用导轨76对应地设置而被行进用马达77驱动旋转的行进用车轮78，构成为支承浮起用空气喷出体71、供给用空气喷出体72及基板取放机构73，构成为借助行进用马达77使行进用车轮78旋转驱动从而使基板中继单元70向横宽方向行进移动而能够移动到与收纳容器2邻接的位置和与基板输送器51邻接的位置。

[基板取放机构]

基板取放机构73，构成为具有夹持运送基板1的夹持运送机构81和载置运送基板1的载置支承运送机构88。

夹持运送机构81构成为，在从收纳容器2取出基板1时，使夹持取出对象的基板1的基板取出方向的下游侧端部的夹持部82沿着沿基板取出方向的移动路径从基板取出方向的上游侧向下游侧移动，将取出对象的基板1从取出对象的基板1的整体位于收纳容器2内的收纳位置(参照图9及图10)运送到取出对象的基板1的一部分位于收纳容器2外部的中继位置(参照图11及图12)，此外，在将基板1收纳至收纳容器2中时，使夹持部82沿着移动路径从基板输入方向的上游侧向下游侧移动，在借助夹持部82的顶端部分按压的状态下将位于中继位置的收纳对象的基板1从中继位置运送到收纳位置。

并且，夹持运送机构81构成为沿横宽方向设置一对夹持部82，以便在从收纳容器2取出基板1时夹持取出对象的基板1的横宽方向的两端部，且在将基板1收纳至收纳容器2时按压收纳对象的基板1的横宽方向的两端部。从而，能够防止绕纵轴芯的基板1的旋转且能够以稳定的姿态运送基板1，又能够令相对于基板1接触的位置为基板取出方向的下游侧端部的极小一部分。

夹持部82构成为具有借助协作沿着上下方向夹持基板1的一对的夹持作用部分83、支承一对的夹持作用部分83的支承部分84。一对的夹持作用部分83以向支承部分84的横侧方突出的状态被相互远近移动自如地支承。并且，一对的夹持作用部分83构成为能够切换为使一对的夹持作用部分83相互接近而夹持基板1的夹持状态(参照图11)、使一对的夹持作用部分83相互分离的夹持解除状态(参照图9)、使一对的夹持作用部分83比夹持状态更加相互接近而相互接触的按压状态(参照图13)。

夹持部82构成为，被支承在沿着沿基板取出方向的移动路径直线状地移动自如的移动体87上，借助该移动体87的沿着移动路径的移动而夹持部82沿着基板取出方向移动自如。在移动体87的上部设置有相对于移动体87绕纵轴芯摆动自如地连结的摆动连结部件85，在该摆动连结部件85中向基板取出方向延伸的部分的端部，在其上部固定支承有夹持部82。由此，夹持部82，绕纵轴芯摆动自如地被支承在移动体87上。

此外，夹持部82摆动的纵轴芯在俯视中位于从支承部分84所在位置离开的位置，位于夹持作用部分83所在的位置。

此外，夹持运送机构81构成为具有作为退避操作机构的摆动引导部件89，在将取出对象的基板1运送至中继位置的状态下，使解除对于取出对象的基板1的夹持的夹持部82移动到从被载置支承运送机构88运送的取出对象的基板1的运送路径(在运送基板1时基板1占据的空间)退避的退避位置。

该摆动引导部件89构成为，借助移动体87的沿着移动路径的移动与夹持部82抵接，使夹持部82绕纵轴芯摆动，以便使夹持部82向与基板取出方向交叉的横宽方向的外方侧引导，从而使夹持部82退避到退避位置。

若对摆动引导部件89进行说明，则摆动引导部件89构成为具有摆动连结部件85及引导辊86的引导槽89a。即，摆动连结部件85，在贯通形成有引导槽89a的板体的状态下与引导槽89a的内壁抵接地设置，引导辊86在摆动连结部件85的沿基板取出方向延伸的部分的端部中在其下方侧以与引导槽89的内壁抵接的方式设置一对。

并且，引导槽89a，基板取出方向的上游侧的部分形成为沿着移动体87的移动路径的直线状，与该上游侧的部分连接的下游侧形成为向横宽方向的外方侧弯曲的曲线状。

即，如图9～图13所示，在为了将取出对象的基板1从收纳位置运送至中继位置或将收纳对象的基板1从中继位置运送到收纳位置而使移动体87沿着移动路径移动期间，引导辊86借助引导槽89a中的形成为直线状的部分被直线状地引导，因此夹持部82的姿态被保持为夹持作用部分83和支持部分84在沿着移动路径的方向上排列的姿态。

并且如图14及图15所示，在相对于收纳位置的取出对象的基板1解除夹持之后，通过使移动体87向基板取出方向的下游侧移动，引导辊86借助引导槽89a中的形成为曲线状的部分以向横宽方向的外方侧移动的方式被曲线状地引导，因此，夹持部82的姿态变更为以支承部件84相对于夹持作用部分83位于横宽方向外方侧的方式相对于移动路径倾斜的姿态。此外，通过使移动体87从该状态移动至基板取出方向的上游侧，引导辊86借助引导槽89a中的形成为曲线状的部分以向横宽方向的内方侧移动的方式被曲线状地引导，因此夹持部82的姿态变更为夹持作用部件83和支持部件84在沿着移动路径的方向上排列的姿态。

并且，如图10及图12所示，夹持部82，在沿着移动路径的方向排列的姿态下，在俯视中一对的夹持作用部分83及支承部分84位于基板1的运送路径的横宽内，因此能够对基板1从基板取出方向的下游侧进行夹持或者按压，如图15所示，在相对于移动路径倾斜的姿态下，在俯视中一对的夹持作用部分83的一部分及支承部分84位于从基板1的运送路径向横向外方侧离开的位置，因此不干扰夹持部82，能够借助载置支承运送机构88运送基板1。

此外，夹持部82在相对于移动路径倾斜的姿态下位于退避位置(参照图14及图15)。此时，一对的夹持作用部分83，在俯视中存在于基板1的运送路径上，但通过令一对的夹持作用部分83为夹持解除状态而能够容许基板1的通过。

[载置支承运送机构]

载置支承运送机构88构成为，在从收纳容器2取出基板1时，载置支承被夹持运送机构81运送至中继位置的取出对象的基板1，将取出对象的基板1从中继位置运送到取出对象的基板1的整体位于收纳容器2外部的取出位置(参照图14)，在将基板1收纳到收纳容器2中时，将从基板输送器51接收的收纳对象的基板1从取出位置运送到中继位置。

此外，载置支承运送机构88构成为，在使基板中继单元70沿横宽方向行进移动时，在基板1的整体位于载置支承运送机构88上的取出位置上载置支承基板1，并且将位于取出位置的取出对象的基板1给出到基板输送器51上，将从基板运送输送器51接收的收纳对象的基板1运送到取出位置。

若对于载置支承运送机构88进行说明，则载置支承运送机构88构成为设置有：送风式支承机构52，向基板1的下表面供给空气而以水平姿态以非接触状态支承基板；推进力提供机构53，对于被该送风式支承机构53支承的基板1提供运送方向的推进力。

送风式支承机构52构成为具有：被设置在基板1的运送路径的下方而向上方送出空气的鼓风机54、被设置在该鼓风机54和基板1的运送路径之间的多孔状的调风板55、将空气运送至鼓风机54的输送器用空气供给装置56(参照图19)。此外，推进力提供机构53构成为具有：多个支承用运送辊57，沿基板取出方向并设而与基板1的下表面接触；夹持用运送辊58，与位于中继位置的基板1的上表面接触而借助与支承用运送辊57的协作而夹持基板1，支承用运送辊57及夹持用运送辊58沿着横宽方向设置一对，以便载置支承及夹持基板1中的横宽方向的两端部。

作为多个支承用运送辊57，设置有：带凸缘的支承用运送辊57，具有限制基板1的向横宽方向的移动的凸缘；不具有凸缘的无凸缘的支承用运送辊57，无凸缘的支承用运送辊57被配设在载置支承运送机构88(基板取放机构73)的基板取出方向的上游侧端部，以便与位于中继位置的基板1的下表面接触且借助与夹持用运送辊58的协作夹持基板1，带凸缘的支承用运送辊57以不与位于中继位置的基板1的下表面接触的方式被并设在载置支承运送机构88(基板取放机构73)的比无凸缘的支承用运送辊57更靠基板取出方向的下游侧。

此外，夹持用运送辊58与无凸缘的支承用运送辊57相同，被配设在载置支承运送机构88(基板取放机构73)的基板取出方向的上游侧端部。

即，载置支承运送机构88构成为，中继位置为基板1的基板取出方向的下游侧端部被多个支承用运送辊中的无凸缘的支承用运送辊57支承且利用无凸缘的支承用运送辊57与夹持用运送辊58的协作被夹持的位置，基于夹持运送机构81的取出对象的基板1的运送，以基板1的基板取出方向的下游侧端部位于载置支承运送机构88的基板取出方向的上游侧端部的方式以被支承用运送辊57和夹持用运送辊58夹持的方式运送。

总之，中继位置，是基板1的基板取出方向的下游侧端部利用被配设在载置支承运送机构88的基板取出方向的上游侧端部的无凸缘的支承用运送辊57和夹持用运送辊58的协作被夹持的位置，因为是接近于收纳位置的位置，所以基于夹持运送装置81的基板1的运送距离缩短，所以能够缩短夹持部82的移动距离。

此外，支承用运送辊57及夹持用运送辊58进行载置支承及夹持的位置，以位于比夹持运送机构81进行夹持的位置在横宽方向上更靠外方侧方式配设支承用运送辊57及夹持用运送辊58。由此，基于夹持运送机构81的基板1的运送范围和基于载置支承运送机构88的基板1的运送范围在基板取出方向上重合。由此，能够借助夹持运送机构81将基板1运送至能够借助载置支承运送机构88运送基板1的中继位置，反之，借助夹持运送机构88将基板1运送至能够借助载置支承运送机构81进行运送的中继位置。其结果，能够可靠地进行夹持运送机构81与载置支承运送机构88之间的交接。而且，在将基板1从夹持运送机构81交接至载置支承运送机构88时，从在夹持部82夹持基板1的状态转换为载置支承基板的状态，能够在借助支承用运送辊57与夹持用运送辊58的协作来夹持基板1的状态下进行运送，所以能够一边可靠地进行在夹持运送机构81与载置支承运送机构88之间的交接一边准确地运送基板1。

并且，载置支承运送机构88构成为，借助送风式支承机构52以非接触状态支承基板1的横宽方向中央部，并且借助推进力提供机构53接触支承及夹持基板1的横宽方向的两端部，通过借助运送用马达59驱动支承用运送辊57及夹持用运送辊58旋转而沿着运送方向运送基板1。

此外，基板运送输送器51与载置支承运送机构88相同，构成为具有：具有鼓风机、调风板、空气供给装置的送风式支承机构；以及具有多个支承用运送辊的推进力提供机构。此外，在基板运送输送器51上不设置夹持用运送辊。

如图16所示，浮起用空气喷出体71构成为具有：空气喷出口91，向上方喷出空气；引导曲面92，形成为从该空气喷出口91的基板取出方向的上游侧端部向上方侧延伸的形状，以沿着浮起用空气喷出体71的上表面向收纳容器2侧且沿水平方向流动的方式引导从空气喷出口91向上方喷出的空气，在容器邻接位置1中，兼用作向由基板取放机构73取出的取出对象的基板1以及被收纳的收纳对象的基板1的下表面与浮起用空气喷出体71的上表面之间喷出空气的辅助空气喷出体。

即，如图16(a)中箭头所示，从浮起用空气喷出体71的空气喷出口91向上方喷出的空气，借助附壁效应(Coandǎeffect)而沿着引导曲面92流动，之后沿着与该引导曲面92相连的浮起用空气喷出体71的上表面沿水平方向流动，且以该状态向位于基板取出方向的上游侧的收纳容器2向水平方向流动，因此，从空气喷出口91喷出的空气，被引导曲面92引导，以便空气向取出对象的基板1的下表面和浮起用空气喷出体71的上表面之间喷出，之后向收纳容器2侧沿水平方向流动，以便空气被喷出到取出对象的基板1的下表面和载置支承该基板1的支承板45的上表面之间。

供给用空气喷出体72，是与浮起用空气喷出体71相同地构成的喷出体以沿水平方向流动的空气的方向相反的方式设置的部件，构成为具有：反方向用空气喷出口93，向上方喷出空气；反方向用引导曲面94，位于比该反方向用空气喷出口93更靠上方侧且更靠基板取出方向的下游侧，以沿着供给用空气喷出体72的上表面向与收纳容器2侧相反侧沿水平方向流动的方式引导从反方向用空气喷出口93向上方喷出的空气。

即，从反方向用空气喷出体93喷出的空气，向作为与收纳容器2侧相反侧的基板取出方向的下游侧沿水平方向流动，以便在容器邻接位置A中将空气供给到比浮起用空气喷出体71的空气喷出口91更靠基板取出方向的下游侧。

如图8及图17所示，浮起用空气喷出体71以沿着横宽方向隔开间隔的状态被并设多个，供给用空气喷出体72在横宽方向上被配设在浮起用空气喷出体71之间，多个浮起用空气喷出体71和多个供给用空气喷出体72以浮起用空气喷出体71位于横宽方向的两端的状态沿横宽方向交替地排列为一列。由此，如图17中箭头所示，在运送基板1时，能够将借助供给用空气喷出体72喷出的空气相对于浮起用空气喷出体71的空气喷出体91供给到基板取出方向的下游侧。由此，即便由于来自浮起用空气喷出体71的空气喷出口91的空气的喷出，该基板取出方向的下游侧变为负压，也能够借助来自供给用空气喷出体72的空气将该部分正压化而适当地支承基板1。

并且，连设板96在上表面的高度与调风板55的上表面高度相同的状态且向基板取出方向的上游侧延伸的状态被支承在基板取放机构73的基板取出方向的上游侧端部，供给用空气喷出体72在其上表面与连设板96的上表面高度相同且与基板取出方向相连的状态下被支承在连设板96上，浮起用空气喷出体71在其上表面位于比连设板96的上表面靠下方几毫米(例如2～3mm左右)的高度且在基板取出方向的下游侧形成有从空气喷出口91喷出的空气所通过的间隙的状态下被支承在连设板96上。

即，浮起用空气喷出体71以其上表面位于比供给用喷出体72的上表面更靠下方几毫米的方式设置。

空气从作为空气供给装置的喷出体用空气供给装置95(参照图19)被供给至浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72，该喷出体用空气供给装置95构成为自如调整供给的空气的供给量。并且，通过将空气从喷出体用空气供给装置95供给至浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72，浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72被切换为喷出空气的喷出状态，通过使从喷出体用空气供给装置95向浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72的空气的供给停止，浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72被切换为使空气的喷出停止的喷出停止状态。

接着，说明控制装置H。

构成为如图18及图19所示，在基板中继位置70上设有检测被夹持部82夹持的基板1及被夹持部82按压的基板1的有无的基板有无检测传感器101、检测收纳容器2是否位于适合于基板1的取出及收纳的高度的容器高度检测传感器102、检测基板1是否位于取出位置的取出位置检测传感器103、检测基板1是否位于中继位置的中继位置检测传感器104、以及使基于载置支承运送机构88的基板1的运送速度减速的减速位置检测传感器105，在基板取放部6上设有检测基板1的部分是否从收纳容器2突出到外部的基板突出检测传感器106，将来自这些检测传感器的检测信号输入至控制装置H。

并且，控制装置H构成为，基于来自这些检测传感器及上位的控制器的指令等，控制基板中继单元70的行进台车74、基板取放机构73及喷出体用空气供给装置95的动作，以及升降机构61以及基板运送输送器51的动作。

控制装置H还具有以下功能，作为控制喷出体用空气供给装置95的动作使得从浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72喷出的空气的喷出量向目标供给量阶段地增多的空气供给用控制机构、以及为了使载置支承取出对象或者收纳对象的基板1的支承板45位于与浮起用空气喷出体71及基板取放机构73对应的高度(为取出用高度且为收纳高度)而控制升降机构61的动作的升降用控制机构。

即，控制装置H构成为，控制喷出体用空气供给装置95的动作，以便在将浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72从喷出停止状态切换为喷出状态时，从喷出体用空气供给装置95供给到浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72的空气的量阶段地增多，且从这些浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72喷出的空气的喷出量向目标供给量阶段地增大。

此外，控制装置H构成为，控制升降机构61的动作，从而在从收纳容器2取出基板1或者收纳基板1时，使载置支承该取出或收纳的基板1的支承板45位于与浮起用空气喷出体71及基板取放机构73对应的高度，使从浮起用空气喷出体71喷出的空气在取出或收纳的基板1的下表面与载置支承该基板1的支承板45的上表面之间喷出，并且能够借助夹持部82夹持或按压利用基于浮起用空气喷出体71的空气的喷出浮起的基板1。

基板有无传感器101在一对的夹持部82的各个上设置一对，以便检测夹持作用部分83的稍前方的基板1的有无，控制机构H构成为，若一对的基板有无传感器101的双方为检测出基板1的存在的检出状态，则判定为夹持或按压基板1，若一对的基板有无传感器101的一方为没有检测出基板1的非检出状态，则判定为没有夹持或按压基板1，若在借助夹持部82夹持或按压的状态下判定为没有夹持或按压基板1，则使基板运送装置8的动作停止。

容器高度检测传感器102，在收纳容器2内与多个支承板45的各个对应而设置为检测沿上下方向并设的多个的检测版107的有无，控制机构H构成为，若收纳容器2为多个支承板45的某些个位于与浮起用空气喷出体71及基板取放机构73对应的高度而借助容器高度传感器102检测出多个检测板的某些个的检出状态，则判定收纳容器2处于适当的高度，若收纳容器2从对应的高度沿上下方向偏离而容器高度检测传感器102为多个检测板都没有被检测出的非检出状态，则判定收纳容器2不处于适当的高度，若在相对于收纳容器2取放基板1时判定收纳容器2不处于适当的高度，则使基板运送装置8的动作停止。

取出位置检测传感器103，在与位于取出位置的基板1的基板取出方向的上游侧端部对应的位置和与下游侧端部对应的位置上设置一对，控制机构H构成为，若基板1位于取出位置而一对的取出位置检测传感器103为检测出基板1的检出状态，则判定基板1位于取出位置，若基板1从取出位置偏离而一对的取出位置检测传感器103的一方或双方为非检出状态，则判定基板1不位于取出位置。

中继位置检测传感器104，在与位于中继位置的基板1的基板取出方向的下游侧端部对应的位置和比该位置更靠下游侧的位置上以沿基板取出方向邻接的状态设置一对，控制机构H构成为，若位于基板取出方向的上游侧的中继位置检测传感器104为检测出基板1的检出状态、位于下游侧的中继位置检测传感器104为没有检测出基板1的非检出状态，则判定基板1位于中继位置，若基板1从中继位置偏离而一对的中继位置检测传感器104的双方为检出状态或非检出状态，则判定基板1不位于中继位置。

减速位置检测传感器105，以取出用和收纳用的一对在位于取出位置的基板1的前后宽度内的方式设置，控制机构H构成为，在借助载置支承运送机构88将基板1从中继位置运送到取出位置时，若运送开始后使运送速度立即加速到运送高速度，且取出用的减速位置检测传感器105为检测出基板1的检测状态，则使运送速度减速，以便成为比运送高速度低速的运送低速度，此外，在借助载置支承运送机构88将从基板运送输送器51接收的基板1运送到取出位置时，若使从基板运送输送器51接收的基板1的运送速度维持，且收纳用的减速位置检测传感器105为检出基板1的检出状态，则控制推进力提供机构53的动作，以使运送速度减速到比接收的基板的运送速度更低的运送低速度。

基板突出检测传感器106，以检测收纳容器2的稍前方的基板1的有无的方式设置，控制机构H构成为，若基板突出检测传感器106为检测出基板1的检出状态，则判定基板1从收纳容器2突出，若基板突出检测传感器106为没有检测出基板1的非检出状态，则判定基板1没有从收纳容器2突出。

有关于基于控制机构H的基板运送装置8的动作，说明从位于基板取放部6的收纳容器2取出基板1而运送到图外的基板处理装置的情况。

首先，使行进台车74行进，以基板中继单元70位于与位于基板取放部6的收纳容器2邻接的位置。接着，在以载置支承取出对象的基板1的支承板45处于与浮起用空气喷出机构71及基板取放机构73对应的高度的方式借助升降机构61使收纳容器2升降移动，在该状态下，使喷出体用空气供给装置95动作而使浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72为喷出状态，并且使输送器用空气供给装置56动作而使送风式支承机构52为从调风板55向上方喷出空气的状态。此时，浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72，被配设在与支承取出对象的基板1的支承板45的基板取出方向的下游侧端部邻接的容器邻接位置A。由此，能够将由浮起用空气喷出体71喷出的空气适当地供给到取出对象的基板1的下表面和支承板45之间，能够可靠地使取出对象的基板1从支承板45浮起。在利用浮起用空气喷出体71的空气的喷出使取出对象的基板1从支承板45浮起的状态下，使移动体87从基板取出方向的下游侧向上游侧移动，以便使夹持解除状态的夹持部82移动到能够夹持收纳位置的取出对象的基板1的夹持位置(参照图9及图10)。

并且，在将夹持部82切换为夹持状态而借助夹持部82夹持取出对象的基板1、且以将基板1从基板取出方向的上游侧运送到下游侧的方式使支承用运送辊57及夹持用运送辊58旋转的状态下，以使夹持状态的夹持部82移动到与中继位置对应的夹持解除位置(参照图11及图12)的方式使移动体87从基板取出方向的上游侧移动到下游侧而将基板1运送到中继位置。此时，空气被供给到浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72的上部，所以能够利用由该空气形成的空气层可靠地支承通过浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72的上部的基板1。之后，在将基板1运送到中继位置的状态下使支承用运送辊57及夹持用运送辊58的旋转停止，并且使喷出体用空气供给装置95的动作停止而使浮起用空气喷出体71为喷出停止状态。

并且，在将夹持部82切换为夹持解除状态之后，为了使夹持解除状态的夹持部82移动到退避位置(参照图14及图15)而使移动体87从基板取出方向的上游侧移动到下游侧，并且使支承用运送辊57及夹持用运送辊58旋转，以将基板1从基板取出方向的上游侧运送到下游侧，在将基板1运送到取出位置之后，使支承用运送辊57及夹持用运送辊58的旋转停止。

之后，在以基板中继单元70位于与基板运送输送器51邻接的位置的方式使行进台车74行进的状态下，使支承用运送辊57及夹持用运送辊58旋转，以便将基板1从基板取出方向的上游侧运送到下游侧，将基板1交接到基板运送输送器51上，借助基板运送输送器51将基板1运送到基板处理装置。

接着，说明将从基板处理装置运出的基板1收纳到位于基板取放部6的收纳容器2中的情况。

首先，使行进台车74行进，以使基板中继单元70位于与基板运送输送器51邻接的位置，并且使输送器用空气供给装置56动作而使送风式支承机构52从调风板55向上方喷出空气。在该状态下，使支承用运送辊57及夹持用运送辊58旋转以将基板1从基板收纳方向的上游侧运送到下游侧，交接从基板处理装置运出而被基板运送输送器51运送的基板1而运送到取出位置。之后，使支承用运送辊57及夹持用运送辊58的旋转停止，使行进台车74行进，以使基板中继单元70位于与位于基板取放部6的收纳容器2邻接的位置。

并且，在以载置支承收纳对象的基板1的支承板45处于与浮起用空气喷出机构71及基板取放机构73对应的高度的方式借助升降机构6使收纳容器2升降移动的状态下，使喷出体用空气供给装置95动作而使浮起用空气喷出体71及供给用空气喷出体72为喷出状态。在这样的状态下，以使按压状态的夹持部82移动到比夹持位置向基板收纳方向的上游侧靠近移动基板1的夹持量的按压结束位置(参照图13)的方式使移动体87从基板收纳方向的上游侧向下游侧移动而将基板1运送到收纳位置。之后，使支承用运送辊57及夹持用运送辊58的旋转停止，并且使喷出体用空气供给装置95及输送器用空气供给装置56停止，并且使移动体87从基板收纳方向的下游侧向上游侧移动，以便若接着进行基板1的收纳则使夹持部82移动到退避位置，此外若接着进行基板1的取出则使夹持部82移动到夹持解除位置。

通过这样地使喷出体用空气供给装置95停止而使浮起用空气喷出体变为喷出停止状态，因此向收纳对象的基板的上表面和载置支承该基板的支承板的上表面之间的空气的供给停止，如上所述，存在于基板与支承板之间的空气被排出。

以下，将使盖部件从容器主体脱离的构成的另一实施方式作为另一实施方式1～3进行说明。

《另一实施方式1》旋转体支承型

以下，参照附图说明另一实施方式1。

如图20所示，在基板运送设备上设置有：容器运送机构111，运送收纳容器的收纳容器2；基板中继单元70，相对于被容器运送机构111运送的收纳容器2而移载基板1。

并且，基板中继单元70构成为从被容器运送机构111运送的收纳容器2取出基板1且将基板1收纳在收纳容器2中，构成为作为基板1的移载而进行从收纳容器2的基板1的取出和向收纳容器2的基板1的收纳。

[收纳容器]

如图20及图21所示，收纳容器2构成为具有：容器主体41，形成为横倒姿态的筒状且在内部收纳多张基板1；盖部件42，被安装在容器主体41的一端部；风扇过滤器单元43，被安装在容器主体41的另一端部。

如图22所示，容器主体41构成为在沿上下方向隔开间隔的状态下具备载置支承基板1的多张的支承板45，借助多张支承板45而以分别载置支承基本1的方式沿着上下方向隔开间隔而以水平姿态保持且收纳多张矩形状的基本1。

盖部件42安装在容器主体41的一端部上，用于封闭而闭塞形成在筒状的容器主体41的一端部的作为基板移载用的向水平方向开放的开口的基板取放口44的整面。此外，风扇过滤器单元43安装在容器主体41的另一端部，用于封闭而闭塞形成在筒状的容器主体41的另一端部的基板取放口44的整面并且从容器主体41的另一端部侧向一端部侧通风。并且，这些盖部件42及风扇过滤器单元43，构成为相对于容器主体41拆装自如。

此外，盖部件形成为，比容器主体的基板取放口44的上下方向的宽度大且比横宽方向的宽度大。

另外，为了方便而将容器主体41和盖部件42排列的方向称为排列方向，将沿着与该排列方向交叉的水平方向的方向称为横宽方向。

并且，如图23所示，盖部件42设有被卡合部115，该被卡合部115从上方侧卡合在位于容器主体41的一端部的上端部分的卡合部114上且被卡合支承在卡合部114上。即，盖部件42构成为，能够借助使盖部件42相对于容器主体41向下方移动而使被卡合部115与卡合部114卡合而将盖部件42安装在容器主体41上，能够借助使盖部件42相对于容器主体41向上方移动而使被卡合部115从卡合部114脱离而使盖部件42从容器主体41脱离。

如此，盖部件42构成为相对于容器主体41从上方侧安装自如且向上方侧脱离自如。

盖部件42的被卡合部115，在向下方突出的状态下被支承在舌片117的顶端部上，该舌片117在向容器主体侧突出的状态下被设置在盖主体116的上端部，该被卡合部以在将盖部件42安装在容器主体41上的状态下位于容器主体41及盖部件42的横宽内的方式设置在盖部件42上。此外，被卡合部115的位于下端的顶端部被形成为球状。

容器主体41的卡合部114俯视形状为圆形且形成为向下方凹入的形状，被形成在下述位置处：在将盖部件42安装在容器主体41上的状态下与设置在盖部件42上的一对的被卡合部115分别对应的位置。

若说明卡合部114的形状，则卡合部114的底侧部分为上下方向同直径的圆柱形状，且形成为直径比被卡合部115的顶端部的直径稍大以使被卡合部115嵌合。此外，卡合部114的入口侧部分，形成为下端与底侧部分同直径且越靠上方侧直径越大的形状，以便向底侧部分引导被卡合部115。

此外，如图21以及图22所示，舌片117被分别设置在盖主体116的横宽方向的一方侧部分和另一方侧部分上，被卡合部115分别被支承在一对的舌片117上。此外，容器主体41中的卡合部114，被形成在比基板取放口44靠上方的位置上，被形成为在比基板取放口44靠上方处卡合卡合部115。

从而，如图23所示，收纳容器2形成有如上所述的卡合部114以及被卡合部115，从而在将盖部件42安装在容器主体41上时被卡合部115易于卡合在卡合部114上，盖部件42易于安装在容器主体41上。

此外，在将盖部件42安装在容器主体41上的状态下，被卡合部115与卡合部114的底侧部分嵌合，从而在将盖部件42安装在容器主体41上的状态下限制盖部件42相对于容器主体41向水平方向移动。

此外，在将盖部件42安装在容器主体41上的状态下，将被卡合部115的顶端部形成为球形且比该顶端部更靠上方的部分位于宽幅的卡合部114的入口侧部分，所以盖部件42构成为在安装在容器主体41上的状态下以卡合部114为中心而绕沿着横宽方向的横轴心摆动自如。

并且，通过如上所述地在盖部件42上设置被卡合部115，被卡合部115被设置在排列方向中比盖部件42的重心更靠容器主体侧。从而，盖部件42在如图23(a)所示的安装在容器主体41上的状态下，借助自重向容器主体侧受到施力，盖部件42借助基于该自重的施力而被按压在容器主体41上而盖部件42不易摆动。

在盖部件42被安装在容器主体41的一端部上的状态下，在容器主体41和盖部件42之间形成排气用的间隙E。

若加以说明，则在盖部件42中的容器主体侧的面上设置用于形成排气用的间隙E的衬垫118，使得在将盖部件42安装在容器主体41上的状态下衬垫118位于容器主体41和盖部件42之间。

通过如此地在盖部件42上设置衬垫118，盖部件42形成为在被安装在容器主体41上的状态下在与容器主体41之间形成排气用的间隙E的形状，借助风扇过滤器单元43而被导入至容器主体41内的空气，如图22的箭头所示，通过在容器主体41和盖部件42之间形成的排气用的间隙E而向外部排出。

并且，盖部件42，仅仅通过被卡合部115和衬垫118与容器主体41接触，排气用的间隙E，在由于衬垫118的存在而基板取放口44的周围的一部分被封闭的状态下沿着全周形成。

如图22及图23所示，在盖部件42上，在盖主体116的上端部的横宽方向两侧，在从盖主体116向横宽方向外方侧突出的状态下设有被支承部119。

该被支承部119沿着排列方向排列两个绕沿着横宽方向的横轴心旋转自如的旋转体120而构成。这两个的旋转体120，以位于相同高度的方式被设置在盖部件42上且为直径形成相同的大小。

并且，两个旋转体120中的位于排列方向的盖部件侧的旋转体120，以位于比盖部件42的重心更靠上方且比重心更靠排列方向的盖部件侧的方式被设置在盖主体116上，位于排列方向的容器主体侧的旋转体120，以位于比盖部件42的重心更靠上方且比重心更靠排列方向的容器主体侧的方式被设置在盖主体116上。从而，盖部件42的重心位于两个旋转体120的中间且下方，从而抑制借助后述的卡入凹部124承接支承而使盖部件42从容器主体41脱离时的盖部件42的沿着排列方向的摆动，能够防止盖部件42的向容器主体41的接触。

[基板中继单元]

如图16(a)所示，基板中继单元70，具有：浮起用空气喷出体71，向移载对象的基板1的下表面和载置支承该基板1的支承板45的上表面之间喷出空气；基板取放机构73，将借助基于浮起用空气喷出体71的空气的喷出而从支承板45浮起的移载对象的基板1在通过浮起用空气喷出体71的上方的状态下相对于收纳容器2移载，从盖部件42被脱离了的容器主体41通过基板取放口44移载基板1。

并且，浮起用空气喷出体71构成为，使喷出的空气在浮起用空气喷出体71的上表面流动，兼用作向浮起用空气喷出体71的上表面和被基板取放机构73移载的基板之间喷出空气的辅助空气喷出体。

此外，如图4所示，基板中继单元70在位置固定状态下被设置在地面上，以使其相对于位于基板移载位置P4的收纳容器2而位于容器主体41的形成有基板取放口44的一端部侧。

[容器运送机构]

如图20、图24及图25所示，容器运送机构111构成为具有：升降机构61，在与基板中继单元70的基板取出方向的上游侧邻接的状态下被设置；塔式起重机7，在与该升降机构61的基板取出方向上游侧邻接的状态下被设置。

并且，在借助容器运送机构111向基板移载位置P4(参照图25)运送收纳容器2时，首先，借助塔式起重机7使收纳容器2向基板取出方向的下游侧水平移动到上方位置P1(参照图24(a))，之后使收纳容器2从上方位置P1向铅直下方下降移动至中间位置P3(参照图24(c))，卸载以使收纳容器2载置支承在升降机构61上。之后，借助升降机构61使收纳容器2从中间位置P3向铅直下方下降移动到基板移载位置P4(参照图25)。

此外，在借助容器运送机构111从基板移载位置P4运送收纳容器2时，首先，借助升降机构61使收纳容器2从基板移载位置P4向铅直上方上升移动到中间位置P3。之后借助塔式起重机7抓取升降机构61上的收纳容器2，使该收纳容器2从中间位置P3向铅直上方上升移动到上方位置P1，之后使收纳容器2从上方位置P1向基板取出方向的上游侧水平移动。

并且，设定盖脱离位置P2，使得在借助起重机7使收纳容器2在上方位置P1与中间位置P3之间沿铅直方向升降移动期间收纳容器2通过盖脱离位置P2(参照图24(b))。

即，升降机构61相当于载置下降台，载置支承收纳容器2而使收纳容器2从比基板移载位置P4更靠上方且比盖脱离位置P2更靠下方的中间位置P3向铅直下方下降移动至基板移载位置P4；塔式起重机7相当于移载装置，用于使收纳容器2载置在升降机构61上而使收纳容器2从比盖脱离位置P2更靠上方的上方位置P1向铅直下方下降移动至中间位置P3；由塔式起重机7和升降机构61构成的容器运送机构111构成为，使收纳容器2从盖脱离位置P2向铅直下方下降移动至基板移载位置P4而进行运送。

如图20所示，升降机构61构成为具有：载置支承收纳容器2中的容器主体41而进行升降移动的左右一对的支承台63、分别升降自如地引导支承该左右一对的支承台63的左右一对的引导支柱64。

并且，如图25所示，升降机构61构成为，为了使收纳容器2中的载置支承移载对象的基板1的支承板45位于与基板中继单元70对应的移载高度，在基板移载位置P4中升降自如地支承收纳容器2。

即，升降机构61构成为，使收纳容器2在作为使收纳在容器主体41的最下位置上的基板1位于能够借助基板中继单元70移载的高度的基板移载位置P4的上升侧基板移载位置P5(参照图25(d))、和作为使收纳在容器主体41的最上位置上的基板1位于能够借助基板中继单元70移载的高度的基板移载位置P4的下降侧基板移载位置P6(参照图25(e))的范围内升降移动，使收纳容器2中的移载对象的基板1及载置支承该基板1的支承板45位于与基板中继单元70对应的移载高度。

[固定盖]

在基板运送设备中，在位置固定状态下将固定盖121设置在比移载对象的基板1更靠下方且在基板移载方向中与位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44接近的位置上，以便封闭位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44中的比移载对象的基板1更靠下方的部分，借助该固定盖121封闭在上升侧基板移载位置P5和下降侧基板移载位置P6之间升降移动的收纳容器2的基板取放口44中的比移载对象的基板1更靠下方的部分。

此外，固定盖121以在上下方向看与基板中继单元70的浮起用空气喷出体71重合的方式设置，在基板中继单元70的下方在与基板中继单元70接近的状态下以不妨碍基于基板取放机构73的基板1的移载及基于浮起用空气喷出体71的基板1的浮起的方式设置。

[盖拆装机构]

如图24所示，在基板运送设备上设有作为盖脱离机构的盖拆装机构122，该盖拆装机构122在收纳容器2位于盖脱离位置P2的状态下使盖部件42从容器主体41脱离，借助该盖拆装机构122，除了上述的盖部件42的脱离之外，还可以在收纳容器2位于盖脱离位置P2的状态下使盖部件42安装在容器主体41上。

盖拆装机构122构成为具有承接支承体123，在基于容器运送机构111的收纳容器2的向基板移载位置P4的下降移动中途的盖脱离位置P2处承接支承盖部件42的被支承部119而使盖部件42从容器主体41脱离。

即，如图24及图26所示，在借助塔式起重机7以通过盖脱离位置P2的方式使安装有盖部件42的收纳容器2从上方位置P1向铅直下方下降移动至中间位置P3时，在盖脱离位置P2处盖部件42的被支承部119被承接支承体123承接支承而盖部件42从容器主体41脱离。

此外，在借助塔式起重机7以通过盖脱离位置P2的方式使盖部件42被脱离了的收纳容器2从中间位置P3向铅直上方上升移动至上方位置P1时，在盖脱离位置P2中盖部件42的被卡合部115被卡合支承在容器主体41的卡合部114上而盖部件42被安装在容器主体41上。

若说明承接支承体123，则如图20所示，承接支承体123以承接支承位于盖部件42的横宽方向两侧的被支承部119的方式被设置在位于基板移载位置P4的收纳容器2的横宽方向两侧，以分别被支承在一对的引导支柱64上的方式被支承在升降机构61上。

并且，如图23所示，承接支承体123以从引导支柱64向基板取出方向的下游侧突出的方式设置，构成为在其顶端部具有被支承部119(两个旋转体120)卡入的卡入凹部124。

如图23所示，卡入凹部124的承接支承被支承部119的底面形成为越靠基板取出方向的下游侧越位于上方的倾斜面。

从而，因为卡入凹部124的底面被形成为如上所述的倾斜面，形成为直径相同的大小的两个旋转体120以相同的高度被设置在盖部件42上，盖部件42的重心位于两个旋转体120的中间且下方，并且盖部件42绕横轴心摆动自如地被支承在容器主体41上，所以在收纳容器2下降移动而借助承接支承体123承接支承两个旋转体120时，首先，排列方向的盖部件侧(基板取出方向的下游侧)的旋转体120最先与卡入凹部124的底面接触，随着盖部件42相对于容器主体41向上方相对地移动，盖部件42以将被卡合部115作为支点而下部从容器主体41远离的方式摆动。

之后，排列方向的容器主体侧(基板取出方向的上游侧)的旋转体120与卡入凹部124的底面接触，下部从容器主体41远离的盖部件42的摆动被限制。并且，进而随着盖部件42相对于容器主体41向上方相对地移动，被卡合部115从容器主体41的卡合部114分离，盖部件42从容器主体41脱离。并且，在盖部件42如此地从容器主体41脱离时，两个旋转体120被卡入凹部124的底面承接支承，除了盖部件42的下部从容器主体41远离的盖部件42的摆动的限制之外，盖部件42的下部与容器主体41接近的盖部件42的摆动也被限制，因此抑制沿着排列方向的盖部件42的摆动而防止盖部件42的向容器主体41的接触。

此外，被承接支承体123承接支承的盖部件42构成为，借助卡入凹部124的倾斜面承接支承被支承部119而以越靠下部侧越从容器主体41远离的方式倾斜，因此在借助承接支承体123承接支承盖部件42的状态下使收纳容器2在盖脱离位置P2和基板移载位置P4之间升降移动时及在基板移载位置P4中使收纳容器2升降移动时，容器主体41与盖部件42不易摩擦，不易产生尘埃。

此外，卡入凹部124相当于限制部，在借助承接支承体123支承盖部件42时限制盖部件42的向从容器主体41远离侧的设定角度以上的由于自重导致的摆动。

卡入凹部124中的基板移载方向的两侧的侧表面形成为越靠下方侧在基板移载方向中越位于凹部内方侧的倾斜面，在被支承部119卡入卡入凹部124时被支承部119易于卡入卡入凹部124，易于借助承接支承体123承接支承盖部件42。另外，卡入凹部124的底面的倾斜比侧面的倾斜缓和。

并且，如图25所示，盖拆装机构122(承接支承体123)构成为，为了借助脱离了的盖部件42封闭位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44中的比移载对象的基板1更靠上方的部分，将脱离的盖部件42支承在比移载对象的基板1更靠上方且在基板移载方向中与位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44接近的位置上，借助利用盖脱离机构122脱离了的盖部件42，封闭在上升侧基板移载位置P5和下降侧基板移载位置P6之间升降移动的收纳容器2的基板取放口44中的比移载对象的基板1更靠上方的部分。

即，盖脱离位置P2是下述位置：在上下方向看，被安装在位于该盖脱离位置P2的收纳容器2上的盖部件42与基板中继单元70的浮起用空气喷出体71重合的位置，此外，被安装在位于盖脱离位置P2的收纳容器2上的盖部件42，以不妨碍基于基板取放机构73的基板1的移载及基于浮起用空气喷出体71的基板1的浮起的方式被设定在基板中继单元70的上方与基板中继单元70接近的位置上。

并且，因为是在上下方向看被安装在位于盖脱离位置P2的收纳容器2上的盖部件42与基板中继单元70的浮起用空气喷出体71重合的位置，所以仅仅通过借助容器运送机构111使收纳容器2从盖脱离位置P2向铅直下方下降移动而使其位于基板移载位置P4，就能够使盖部件42从容器主体41脱离，且能够在基板移载位置P4中的收纳容器2的位置上使容器主体41与基板中继单元70的基板移载方向上的间隔比盖部件42的基板移载方向(排列方向)上的厚度小，能够使基板中继单元70与收纳容器2的容器主体41在基板移载方向上接近。由此，基于基板中继单元70的对于收纳容器2的容器主体41的基板的移载易于进行。

在借助容器运送机构111将收纳容器2运送至基板移载位置P4(上升侧基板移载位置P5以下、下降侧基板移载位置P6以上的位置)时，首先，借助塔式起重机7，使收纳容器2向基板取出方向的下游侧水平移动到上方位置P1(参照图24(a))，之后使收纳容器2从上方位置P1向铅直下方下降移动至中间位置P3(参照图24(c))，在该下降移动中途的盖脱离位置P2(参照图24(b))中借助盖拆装机构122使盖部件42从容器主体41脱离，以载置支承在升降机构61上的方式卸下使盖部件42脱离了的收纳容器2。之后，借助升降机构61使盖部件42脱离了的收纳容器2从中间位置P3向铅直下方下降移动至基板移载位置P4。

此外，在借助容器运送机构111从基板移载位置P4(上升侧基板移载位置P5以下、下降侧基板移载位置P6以上的位置)运送收纳容器2时，首先，借助升降机构61使盖部件42脱离了的收纳容器2从基板移载位置P4向铅直上方上升移动至中间位置P3。之后，借助塔式起重机7抓取升降机构61上的收纳容器2，使该收纳容器2从中间位置P3向铅直上方上升移动至上方位置P1，在该上升移动中途的盖脱离位置P2处借助盖拆装机构122将盖部件42安装在容器主体41上，之后使安装有盖部件42的收纳容器2从上方位置P1向基板取出方向的上游侧水平移动。

《另一实施方式2》板状体支承型

以下，参照附图说明另一实施方式2。

另外，另一实施方式2除了被支承部119的构成不同以外与另一实施方式1为相同构成，所以对于与另一实施方式1相同的构成标注相同的符号而省略说明，而主要说明不同于另一实施方式1的构成。

如图27所示，在盖部件42上，在下述状态下设置被支承部119：在盖本体116的上端部的横宽方向两侧从盖本体116向横宽方向外侧以及容器本体侧突出的状态。

该被支承部119由形成为板状的板状体126构成，其下表面形成为沿着排列方向的水平的平坦面。此外，在被支承部119的容器本体侧的顶端部，在向下方突出的状态下支承有被卡合部115。

而且，板状体126以比盖部件42的重心靠上方且相对于重心从排列方向的容器本体侧到盖部件侧沿着排列方向的姿态设置。另外，承接支承体123中的卡入凹部124的形状与第一实施方式的稍有不同，但底面及侧面形成为倾斜面这一点与第一实施方式的情况相同。

由此，由于卡入凹部124的底面如上所述地形成为倾斜面、板状体126的下表面形成为沿着排列方向的水平的平坦面、且盖部件42绕横轴心摆动自如地支承在容器本体41上，所以在利用承接支承体123承接支承板状体126时，首先板状体126的排列方向的盖部件侧(基板取出方向的下游侧)的部分先与卡入凹部124的底面接触，盖部件42相对于容器本体41相对地向上方移动，与此相伴，盖部件42以被卡合部115为支点而以下部从容器本体41分离的方式摆动，之后，板状体126的排列方向的容器本体侧(基板取出方向的上游侧)的部分与卡入凹部124的底面接触而限制盖部件42的上述摆动。而且，随着盖部件42进一步相对于容器本体41相对地向上方移动，被卡合部115从容器本体41的卡合部114分离，盖部件42从容器本体41脱离。

《另一实施方式3》压力缸支承型

以下，参照附图说明另一实施方式3。

另外，另一实施方式3，因为除了卡合部114、被支承部119以及盖拆装机构122的构成不同以外与另一实施方式1为相同构成，所以对于与另一实施方式1相同的构成标注相同的符号而省略说明，而主要说明不同于另一实施方式1的构成。

如图28所示，盖部件42设有被卡合部115，该被卡合部115从排列方向中的盖部件侧的斜上方侧与位于容器主体41中的一端部的上端部分的卡合部114卡合而被卡合支承在卡合部114上。即，盖部件42构成为，能够使盖部件42相对于容器主体41向排列方向中的容器主体侧的斜下方移动而使被卡合部115与卡合部114卡合而将盖部件42安装在容器主体41上，能够使盖部件42相对于容器主体41向排列方向中的盖部件侧的斜上方移动从而使被卡合部115从卡合部114脱离而使盖部件42从容器主体41脱离。

如此地，盖部件42构成为，相对于容器主体41从排列方向中的盖部件侧的斜上方侧安装自如且向排列方向中的盖部件侧的斜上方侧脱离自如。

容器主体41的卡合部114，俯视形状为圆形且形成为向下方凹入的形状，被形成在与设置在盖部件42上的被卡合部115对应的位置上，形成为越靠上方侧越大径的研钵状。

从而，如图28(a)所示，在向容器主体41上安装了盖部件42的状态下，被卡合部115与卡合部114卡合，从而在向容器主体41上安装了盖部件42的状态下盖部件42相对于容器主体41向水平方向的移动被限制。

此外，在向容器主体41上安装了盖部件42的状态下，由于被卡合部115的顶端部被形成为球状，所以盖部件42在安装在容器主体41上的状态下以卡合部114为中心绕沿着横宽方向的横轴心摆动自如。

如图28以及图29所示，在盖部件42上，分别在盖主体116的横宽方向横侧表面上设有向横宽方向内方侧凹入的被支承部128。

若说明被支承部128的形状，则被支承部128的底侧部分为在横宽方向同径的圆柱形状，且形成为比该形成为球状的顶端部的直径稍大的直径的大小，以便后述的压力缸129嵌合。此外，被支承部128的入口侧部分，形成为横宽方向内方侧与底侧部分同径而越靠外方侧直径越小的形状，以便将被嵌入的压力缸129的顶端部分129a引导至底侧部分。

此外，被支承部128沿着上下方向被两个并排地分别设置在盖主体116的横宽方向横侧表面上。

如图29所示，盖拆装机构122为，与位于盖脱离位置P2的收纳容器2中的盖部件42的被支承部128对应地沿着上下方向两组并排一对的压力缸129(省略一方的压力缸129的图示)而构成。一对的压力缸129，在以各自杆部的顶端部分129a相互远近移动的方式对抗的状态下被设置。

并且，盖拆装机构122构成为，如图29(b)所示，在收纳容器2位于盖脱离位置P2的状态下使一对的压力缸129进行突出动作而使顶端部分129a相互地接近，从而借助一对的压力缸129夹持盖部件42，如图29(a)所示，通过使一对的压力缸129退回而使顶端部分129a相互地分离，从而解除基于一对的压力缸129的对于盖部件42的夹持。

即，一对的压力缸129中的顶端部分129a相当于一对的支承体，在支承盖部件42的相互接近的接近位置和解除对于盖部件42的支承的相互分离的分离位置之间沿着横宽方向相互远近移动自如。

另外，两组一对的压力缸129沿上下方向排列地支承在门型的支承框130上，该门型的支承框130以包围在上方位置P1和基板移载位置P4之间升降移动的收纳容器2的横宽方向两侧以及上方侧的方式设置。

若对一对的压力缸129的位置进行说明，则一对的压力缸129设置在下述位置：在收纳容器2位于盖脱离位置P2的状态下通过使其突出动作而与被支承部128的入口侧部分、详细而言相对于底侧部分在排列方向上位于盖部侧的斜上方的被抵接部分抵接。

而且，通过将被支承部128的入口侧部分如上所述地形成，如图28所示，形成有越靠近排列方向中的盖部件侧的斜上方位置越位于横宽方向的容器外方侧的引导面，用于随着在收纳容器2位于盖脱离位置P2的状态下一对的压力缸129的顶端部分129a移动到接近位置，与一对的压力缸129的顶端部分129a抵接的盖部件42的被抵接部分借助与压力缸129的顶端部分129a的抵接而使盖部件42向排列的方向的盖部件侧的斜上方移动。

从而，如图28所示，通过在收纳容器2位于盖脱离位置P2(图30(a)参照)的状态下使压力缸129突出动作而令顶端部分129a向接近位置移动，压力缸129的顶端部分129a与被支承部128卡合，能够利用压力缸129支承盖部件42。而且，通过利用压力缸129支承盖部件42，由压力缸129的顶端部分129a和被支承部128的被抵接部分构成的凸轮机构发生作用，盖部件42相对于容器本体41向排列方向的盖部件侧的斜上方移动，盖部件42从容器本体41脱离。

此外，在收纳容器2位于盖脱离位置P2的状态下，通过使压力缸129退回动作而令顶端部分129a向分离位置移动，从而压力缸129的顶端部分129a从被支承部128脱离，能够解除基于压力缸129的对盖部件42的支承。而且，通过解除基于压力缸129的对盖部件42的支承，盖部件42的被卡合部115沿着容器本体41的卡合部114的倾斜被引导，盖部件42相对于容器本体41向排列方向的容器本体侧的斜下方移动，盖部件42被安装在容器本体41上。

而且，由压力缸129支承的盖部件42相对于容器本体41位于排列方向的盖部件侧的斜上方而退避在从容器本体41分离的位置，所以在盖部件42由压力缸129支承的状态下使收纳容器2在盖脱离位置P2和基板移载位置P4之间升降移动时、及在基板移载位置P4处使收纳容器2升降移动时，容器本体41不易与盖部件42摩擦，不易产生尘埃。

在利用容器运送机构111将收纳容器2运送至基板移载位置P4时，首先利用塔式起重机7将收纳容器2向基板取出方向的下游侧水平移动到盖脱离位置P2(参照图30(a))，之后令一对的压力缸129的顶端部分129a向接近位置移动而使盖部件42从停止在盖脱离位置的容器本体41脱离。然后，将盖部件42脱离后的收纳容器2从盖脱离位置P2向铅直下方下降移动到中间位置P3(参照图30(b))，将收纳容器2卸载以将其载置支承在升降机构61上。然后，利用升降机构61将收纳容器2从中间位置P3向铅直下方下降移动到基板移载位置P4。

此外，在利用容器运送机构111将收纳容器2从基板移载位置P4进行运送时，首先利用升降机构61将收纳容器2从基板移载位置P4向铅直上方上升移动至中间位置P3。然后利用塔式起重机7抓取升降机构61上的收纳容器2，从中间位置P3将该收纳容器2向铅直上方上升移动至盖脱离位置P2，然后令一对的压力缸129的顶端部分向分离位置移动而将盖部件42安装在容器本体41上。之后，使安装有盖部件42的收纳容器2向基板取出方向的上游侧从盖脱离位置P2水平移动。

[另一实施方式]

(1)在上述实施方式中，浮起用空气喷出体71构成为具有空气喷出口91和引导曲面92，且兼用作辅助空气喷出体，但也可以构成为具有：上游用空气喷出口，向基板取出方向的上游侧喷出空气以便向取出对象的基板1的下表面和载置支承该基板1的支承板45的上表面之间喷出空气；上方用空气喷出口，向上方喷出空气以便向浮起用空气喷出体71的上表面和取出对象的基板1的下表面之间喷出空气，且兼用作辅助空气喷出体。

此外，浮起用空气喷出体71也可以构成为，只具有上述的上游用空气喷出口而不兼用作辅助空气喷出体，也可以将具有向上方喷出空气的辅助空气喷出口以向浮起用空气喷出体71的上表面和取出对象的基板1的下表面之间喷出空气的辅助空气喷出体与浮起用空气喷出体71分别设置。

(2)在上述实施方式中，供给用空气喷出体72构成为具有反方向用空气喷出口93和反方向用引导曲面94、且设置为位于比浮起用空气喷出体71的空气喷出口91更靠基板取出方向的上游侧，但是供给用空气喷出体72也可以以构成为不具有反方向引导曲面94而只具有反方向用空气喷出口93、且设置为位于比浮起用空气喷出体71的空气喷出口91更靠基板取出方向的下游侧。

(3)在上述实施方式中，浮起用空气喷出体71以其上表面位于比供给用空气喷出体72的上表面更靠下方的方式设置，但是浮起用空气喷出体71也可以以其上表面位于与供给用空气喷出体72的上表面相同高度的位置的方式设置，此外，也可以以其上表面位于比供给用空气喷出体72的上表面更靠上方的方式设置。

(4)在上述实施方式中，利用空气供给用控制机构(控制装置)H以从浮起用空气喷出体71喷出的空气的喷出量向目标供给量阶段地增多的方式控制空气供给机构95的动作，但是也可以以从浮起用空气喷出体71喷出的空气的喷出量迅速地变成目标供给量的方式控制空气供给机构95的动作

(5)在上述实施方式中，载置支承运送机构88构成为，在借助送风式支承机构52以非接触状态支承基板1的状态下利用推进力提供机构53进行运送，但也可以构成为，不设置送风式支承机构52，借助推进力提供机构53以接触支承的状态运送基板1。

(6)在上述实施方式中，设有升降自如地支承收纳容器2的升降机构61，但也可以设有升降自如地支承浮起用空气喷出体71、供给用空气喷出体72以及基板取放机构73的升降装置。此时，为了使供给用空气喷出体71、供给用空气喷出体72以及基板取放机构73位于与载置支承取出对象或收纳对象的基板1的支承板45对应的高度而借助升降用控制机构(控制装置)H控制升降装置的动作。

(7)在上述实施方式中，取出机构73构成为，作为基板取放机构能够进行取出对象的基板1的从收纳容器2的取出和收纳对象的基板1的向收纳容器2的收纳，但是也可以构成为只能够进行取出对象的基板1的从收纳容器2的取出，在取出机构之外具有将收纳对象的基板1收纳到收纳容器2的收纳机构。

此外，夹持运送机构也可以构成为在借助夹持部夹持的状态下将收纳对象的基板从中继位置运送到收纳位置。

(8)在上述实施方式中，收纳容器2的容器主体41构成为，形成为前后面开口的横倒姿态的四边形筒状，通过使左右面和上下面闭口而不能够从左右面侧及上下面侧排出空气，但收纳容器2的容器主体41也可以构成为，形成为前后面、上下面及左右面的各个开口的框架形状，通过使左右面和上下面开口而能够从左右面及上下面侧排出空气。

在上述参考实施方式中，在收纳容器2上具有盖部件42和风扇过滤器单元43，但是也可以具有盖部件42和风扇过滤器单元43中的一方或者双方。

(9)在上述实施方式中，借助冲压加工形成突起部48，但是也可以使墨水等的涂料喷射在支承板45的上表面上而形成突起部48等，也可以通过在支承板45的上表面进行印刷而形成突起部48，此外，也可以通过将分体的突起部件贴在支承用基板47的上表面上而形成突起部48。

(10)在上述实施方式中，将多个浮起用空气喷出体71和多个供给用空气喷出体72，在浮起用空气喷出体71位于横宽方向的两端的状态下沿横宽方向交替地排列为一列，但是可以适宜地变更多个浮起用空气喷出体71和多个供给用空气喷出体72的排列方式。

即，例如也可以将浮起用空气喷出体71和供给用空气喷出体72的一方或双方在沿着横宽方向连续两个或三个的状态下排列，此外，也可以在供给用空气喷出体72位于横宽方向的一端或两端的状态下排列。

(11)在上述实施方式中，以在利用塔式起重机7使收纳容器2在上方位置P1和中间位置P3之间沿着铅直方向升降移动期间收纳容器2通过盖脱离位置P2的方式设定盖脱离位置P2，但也可以如图31所示，以在利用升降机构61使收纳容器2在中间位置P3和基板移载位置P4之间沿着铅直方向升降移动期间收纳容器2通过盖脱离位置P2的方式设定盖脱离位置P2。

此时，升降机构61相当于支承下降台，载置支承收纳容器2而使收纳容器2从比盖脱离位置P2更靠上方的上方位置P1下降移动到基板移载位置P4，塔式起重机7相当于备用运送机构，为了使收纳容器2载置在支承下降台上而将收纳容器2运送到上方位置P1。此外，塔式起重机7使收纳容器2沿着水平方向向基板取出方向的下游侧移动而使收纳容器2水平移动到比上方位置更靠上方的上端位置P0(参照图31(a))，之后使收纳容器2从上端位置P0向铅直下方下降移动到上方位置P1(参照图31(b))，卸载以使收纳容器2载置支承在升降机构6上。

此外，在上述各实施方式中，也可以借助塔式起重机7使收纳容器2一边向基板取出方向的下游侧移动一边使其下降移动到上方位置P1。

(12)在上述实施方式中，容器运送机构111包括：使收纳容器2从上方位置P1或盖脱离位置P2向铅直下方下降移动到中间位置P3的塔式起重机7、和使收纳容器2从中间位置P3向铅直下方下降移动到基板移载位置P4的升降机构61，但是容器运送机构111也可以由使收纳容器2从上方位置P1或盖脱离位置P2向铅直下方下降移动到基板移载位置P4的塔式起重机7构成。

(13)在上述实施方式中，盖脱离机构122构成为，为了借助脱离的盖部件42封闭位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44中的比移载对象的基板1更靠上方的部分，被支承在下述位置：比通过脱离的盖部件42的移载对象的基板1更靠上方且在基板移载方向上与位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44接近的位置，但盖脱离机构122也可以构成为，被支承在下述位置而使得不借助脱离了的盖部件42封闭位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44：比位于基板移载位置P4的收纳容器2更靠上方、或在基板移载方向上与位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44分离。

此外，设有封闭位于基板移载位置P4的收纳容器2的基板取放口44中的比移载对象的基板1更靠下方的部分的固定盖121，但也可以不设置该固定盖121。

(14)在上述实施方式中，在容器主体的一端部的上表面上具有向下方凹入的被卡合部，盖部件与容器主体的上端部卡合，但是也可以构成为，在容器主体的横侧部上具有向横向外方突出的被卡合部，盖部件与容器主体的横侧部卡合。

(15)在上述实施方式中，使基板中继单元70和基板移载位置P4的收纳容器2中的基板移载位置P4的收纳容器2升降移动，使收纳容器2中的支承移载对象的基板1的支承板45位于与基板中继单元70对应的高度，但是也可以如下，使基板中继单元70和基板移载位置P4的收纳容器2中的基板中继单元70升降移动，使收纳容器2中的支承移载对象的基板1的支承板45位于与基板中继单元对应的高度。

(16)在上述实施方式中，基板的形状为被用于液晶显示器及等离子显示器的玻璃基板等的矩形状的基板，但是用途及基板的形状能够适宜变更，例如被用于IC芯片的半导体晶片等的圆形状的基板等。

(17)在上述实施方式中，在直径形成为相同的大小且各旋转体120的旋转轴为相同高度的状态下沿着排列方向并列地设置构成被支承部119的两个旋转体120，且两个旋转体120的下端的高度为相同的高度，但是位于盖部件侧的旋转体120的下端的高度也可以比位于容器主体侧的旋转体120的下端的高度低。

即，如图32(a)所示，也可以在直径形成为相同的大小且位于排列方向的盖部件侧的旋转体120的高度比位于排列方向的容器主体侧的旋转体120的高度低的状态下，沿着排列方向排列地设置构成被支承部119的两个旋转体120，此外，也可以如图32(b)所示，在将位于排列方向的盖部件侧的旋转体120形成为比位于排列方向的容器主体侧的旋转体直径大且各旋转体120的旋转轴为相同高度的状态下，沿着排列方向排列地设置构成被支承部119的两个旋转体120。

在如此地构成时，在收纳容器2下降移动而利用承接支承体123承接支承两个旋转体120时，首先，排列方向的盖部件侧的旋转体120最先与卡入凹部124的底面接触而盖部件42摆动，之后，排列方向的容器主体侧的旋转体120与卡入凹部124的底面接触而盖部件42的摆动被限制。

此外，卡入凹部124的底面的形状能够适宜地变更为形成为水平面等，只要是排列方向的盖部件侧的旋转体120比排列方向的容器主体侧的旋转体120先与卡入凹部124的底面接触的形状就可以。

(18)在上述实施方式的若干个中，在沿着排列方向排列的状态下将多个旋转体120设置在盖部件42上或者以沿着排列方向的姿态将板状体126设置在盖部件42上，从而在沿着排列方向的状态下将被支承部119设置在盖部件42上，但是也可以如下：如图33(a)所示，在沿着上下方向排列的状态下将多个旋转体120设置在盖部件42上，或者如图34(a)所示，以沿着上下方向的姿态将板状体126设置在盖部件42上，从而在沿着上下方向的状态下将被支承部119设置在盖部件42上。

并且，在沿着上下方向的状态下如此地将被支承部119设置在盖部件42上时，如图33(b)以及图34(b)所示，将卡入凹部124的入口侧部分中的基板移载方向的两侧的侧表面形成为越靠下方侧在基板移载方向中越位于内方侧的倾斜面，将卡入凹部124的底侧部分中的基板移动方向的两侧的侧表面形成为从入口侧部分下端向铅直下方延伸的铅直面。并且，在使盖部件42从容器主体41脱离时，使被支承部119与卡入凹部124的向铅直下方凹入的底侧部分嵌合而限制被支承部119的倾斜，从而能够抑制盖部件42的沿着排列方向的摆动。

此外，未图示，也可以构成为将卡入凹部124的底侧部分中的基板移载方向的两侧的侧表面形成为从入口侧部分下端向斜下方伸出的倾斜面，在盖部件42从容器主体41脱离时，使被支承部119与向卡入凹部124的斜下方凹入的底侧部分嵌合，使利用承接支承体123承接支承的盖部件42成为越靠下部侧越远离容器主体41的倾斜的姿态。

(19)在上述实施方式的若干个中，在限制沿着排列方向的盖部件42的摆动的状态下，借助卡入凹部124承接支承被支承部119，但是也可以构成为在不限制沿着排列方向的盖部件42的摆动的状态下，借助卡入凹部124承接支承被支承部119，例如由一个旋转体120构成被支承部119等。

此外，在如上述地构成时，在向容器主体41上安装了盖部件42的状态下，将利用卡入凹部124承接支承被支承部119时的盖部件42的摆动轴心设定在比盖部件42的重心更靠排列方向的盖部件侧，从而在利用卡入凹部124承接支承被支承部119时，能够以越靠下部侧越远离容器主体42的方式使盖部件42倾斜。

(20)在上述实施方式中，凹入部50形成为从支承预定区域E中的中央部向支承预定区域的外部延伸的形状，但是凹入部50也可以形成为从支承预定区域E中的周缘部向支承预定区域的外部延伸的形状，也可以在支承预定区域E的中央形成有凹入部50。

(21)在上述实施方式中，凹入部50形成为从支承预定区域E中的基板收纳方向的上游侧端部直到下游侧端部直线状地延伸的形状，但是凹入部50也可以形成为从支承预定区域E中的基板收纳方向的中间部沿着上游侧端部或从中间部直到下游侧端部直线状地延伸的形状，此外凹入部50也可以形成为曲线状。

(22)在上述实施方式中，支承板45构成为以位于沿横宽方向排列的浮起用空气喷出体71之间的方式具有凹入部50，但是支承板45也可以构成为以全部或局部位于与沿横宽方向排列的浮起用空气喷出体71在基板收纳方向上重合的位置的方式具有凹入部50。

(23)在上述实施方式中，支承板45由支承用基板47和多个突起部48构成，且通过在基板收纳方向及横宽方向并设突起部48而在支承板45上形成凹入部50，但是也可以借助由上表面形成载置面48a的支承基板构成支承板45，且通过在该支承基板上形成向下方凹入的槽而在支承板45上形成凹入部50。

(24)在上述实施方式中，收纳容器2的容器主体41形成为前后面开口的横倒姿态的方形筒状，且通过使左右面和上下面闭口而令其成为从左右面侧及上下面侧不能够排出空气的构成，但收纳容器2的容器主体41也可以形成为前后面、上下面及左右面分别开口的框架形状，且通过使左右面和上下面开口而令其成为从左右面及上下面侧能够排出空气的构成。

在上述实施方式中，在收纳容器2上具有盖部件42和风扇过滤器单元43，但也可以具有盖部件42和风扇过滤器43中的一方或者两方。

(25)在上述实施方式中，退避操作机构由抵接引导夹持部82的摆动引导部件89构成，但是退避操作机构89也可以由沿与移动路径交叉的交叉方向能够移动的移动体87构成，且构成为通过使移动体87沿交叉方向移动而使夹持部82退避到退避位置。

此外，在上述实施方式中，退避操作机构89构成为使夹持部82从基板的运送路径退避到横侧方的退避位置，但是退避操作机构89也可以构成为使夹持部82退避到基板1的运送路径的上方或下方的退避位置。

(26)在上述实施方式中，夹持运送机构81构成为夹持取出对象的基板1中的横宽方向的两端部，但是夹持运送机构81也可以构成为夹持取出对象的基板1中的横宽方向的中央部，此外也可以构成为夹持取出对象的基板1中的横宽方向的中央部和两端部的两方。

此外，夹持运送机构81构成为沿横宽方向设置一对夹持部82，但是夹持运送机构81也可以构成为沿横宽方向设置一个或者三个以上的夹持部82。

(27)在上述实施方式中，载置支承运送机构88构成为以支承取出对象的基板1中的横宽方向的两端部的方式载置支承，但载置支承运送机构88也可以构成为载置支承取出对象的基板1中的横宽方向的中央部，此外也可以构成为载置支承取出对象的基板1中的横宽方向的中央部和两端部的两方。

此外，载置支承运送机构88构成为沿横宽方向设置一对支承用运送辊57及夹持用运送辊58，但是载置支承运送机构88也可以构成为沿横宽方向设置一个或三个以上支承用运送辊57及夹持用运送辊58。

(28)在上述实施方式中，在载置支承运送装置88上具有夹持用运送辊58，但是在能够只通过多个支承用运送辊57而相对于位于中继位置的取出对象的基板1适当地施加作用力的情况下，在载置支承运送装置88上也可以不设置夹持用运送辊58。

即，如图35所示，载置支承运送装置88也可以构成为只具有支承用运送辊(带凸缘支承用运送辊)57。

此时，载置支承运送装置88构成为，中继位置为令基板1的下游侧部分位于由作为多个支承用运送辊57的一部分的基板取出方向的上游侧的多个支承用运送辊57载置支承的位置，基于夹持运送机构81的取出对象的基板1的运送，以被上述多个支承用运送辊57载置支承的方式运送，以便基板1中的包含基板取出方向的下游侧端部的三分之一左右的部分位于载置支承运送机构88中的基板取出方向的上游侧部分。

(29)在上述实施方式中，载置支承运送机构88具有支承用运送辊57及夹持用运送辊58而构成为辊式，但是载置支承运送机构88也可以具有与取出对象的基板1的下表面接触的支承用运送带和借助与该支承用运送带的协动夹持取出对象的基板1的夹持用输送机而构成为带式。

Claims (22)

1.一种基板运送设备，具有：

收纳容器，在沿上下方向隔开间隔的状态下并设有载置支承矩形状的基板的多张的支承板；

浮起用空气喷出体，被配设在与上述多个支承板中的支承从上述收纳容器取出的取出对象的基板的上述支承板的基板取出方向的下游侧端部邻接的容器邻接位置上，向上述取出对象的基板的下表面和载置支承该基板的上述支承板的上表面之间喷出空气；

取出机构，将利用基于上述浮起用空气喷出体的空气的喷出从上述支承板浮起的上述取出对象的基板在通过上述浮起用空气喷出体的上方的状态下从上述收纳容器取出，

其特征为，

设有辅助空气喷出体，向上述浮起用空气喷出体的上表面和利用上述取出机构取出的上述取出对象的基板的下表面之间喷出空气。

2.如权利要求1所述的基板运送设备，其特征为，

上述浮起用空气喷出体构成为，具有：空气喷出口，向上方喷出空气；引导曲面，形成为从该空气喷出口的基板取出方向的上游侧端部向上方侧延伸的形状，以沿上述浮起用空气喷出体的上表面向收纳容器侧沿着水平方向流动的方式引导从上述空气喷出口向上方喷出的空气，兼用作上述辅助空气喷出体。

3.如权利要求2所述的基板运送设备，其特征为，

设有在上述容器邻接位置向比上述空气喷出口更靠基板取出方向的下游侧供给空气的供给用空气喷出体。

4.如权利要求3所述的基板运送设备，其特征为，

上述浮起用空气喷出体以沿着与基板取出方向交叉的横宽方向隔开间隔的状态被并设多个，

上述供给用空气喷出体，在上述横宽方向中被配设在上述浮起用空气喷出体之间，并且具有：反方向用空气喷出口，向上方喷出空气；反方向用引导曲面，位于比该反方向用空气喷出口更靠上方侧且基板取出方向的下游侧，引导从上述反方向用空气喷出口向上方喷出的空气，使其沿着上述供给用空气喷出体的上表面向与收纳容器侧相反侧沿水平方向流动。

5.如权利要求4所述的基板运送设备，其特征为，

上述浮起用空气喷出体以其上表面位于比上述供给用空气喷出体的上表面更靠下方的方式设置。

6.如权利要求1～5的任意一项所述的基板运送设备，其特征为，

设置有：空气供给装置，自如调整供给至上述浮起用空气喷出体的空气的供给量；空气供给用控制机构，以从上述浮起用空气喷出体喷出的空气的喷出量向目标供给量阶段地增多的方式控制上述空气供给装置的动作。

7.如权利要求1～5的任意一项所述的基板运送设备，其特征为，

设有支承运送机构，该支承运送机构接收借助上述取出机构取出的上述基板，且向接收的上述基板的下表面供给空气而在以非接触状态支承上述基板的状态下进行运送。

8.如权利要求1～5的任意一项所述的基板运送设备，其特征为，

上述取出机构构成为，能够将向上述收纳容器进行收纳的收纳对象的基板在通过上述浮起用空气喷出体的上方的状态下且在借助基于上述浮起用空气喷出体的空气的喷出而从上述支承板浮起的状态下，收纳到上述收纳容器中。

9.如权利要求1～5的任意一项所述的基板运送设备，其特征为，

上述收纳容器构成为，具有：容器主体，被形成为筒状，基板取出用的开口以向水平方向开放的方式被形成在容器主体的一端部上，且在容器主体的内部收纳多张基板；盖部件，相对于上述容器主体装卸自如且在安装在上述容器主体上的状态下封闭上述开口的整面，

设有使上述盖部件从上述收纳容器脱离的盖脱离机构。

10.如权利要求9所述的基板运送设备，其特征为，

上述浮起用空气喷出体、上述取出机构及上述辅助空气喷出体被设置为位置固定状态，

设置有：升降机构，升降自如地支承上述收纳容器；

升降用控制机构，为了使载置支承上述取出对象的基板的上述支承板位于与上述浮起用空气喷出体及上述取出机构对应的取出用高度而控制上述升降机构的动作，

上述盖脱离机构构成为，将上述脱离的上述盖部件支承在比上述取出对象的基板更靠上方且在上述基板取出方向中与上述收纳容器的上述开口接近的位置上，以便借助上述盖部件封闭上述收纳容器的上述开口的比上述取出对象的基板更靠上方的部分，

固定盖以位置固定状态被设置在比上述取出对象的基板更靠下方且在上述基板取出方向中与上述收纳容器的上述开口接近的位置，以便封闭上述收纳容器的上述开口的比上述取出对象的基板更靠下方的部分。

11.如权利要求1所述的基板运送设备，其特征为，

上述取出机构构成为设置有：

夹持运送机构，使夹持上述取出对象的基板的基板取出方向的下游侧端部的夹持部沿着沿基板取出方向的移动路径移动，将上述取出对象的基板从上述取出对象的基板的整体位于上述收纳容器内的收纳位置运送到上述取出对象的基板的一部分位于上述收纳容器外部的中继位置；

载置支承运送机构，载置支承被运送到上述中继位置的上述取出对象的基板，将上述取出对象的基板从上述中继位置运送到上述取出对象的基板的整体位于上述收纳容器外部的取出位置，

上述夹持运送机构构成为具有退避操作机构，使在将上述取出对象的基板运送到上述中继位置的状态下解除了相对于上述取出对象的基板的夹持的上述夹持部，移动到从被上述载置支承运送机构运送的上述取出对象的基板的运送路径退避的退避位置。

12.如权利要求11所述的基板运送设备，其特征为，

上述夹持部，被绕纵轴芯摆动自如地支承在沿上述移动路径移动自如的移动体上，

上述退避操作机构由摆动引导部件构成，该摆动引导部件，借助上述移动体的沿着上述移动路径的移动而与上述夹持部抵接，以将上述夹持部向与基板取出方向交叉的横宽方向的外方侧引导的方式使其绕纵轴芯摆动，从而使其退避到上述退避位置。

13.如权利要求11或12所述的基板运送设备，其特征为，

上述载置支承运送机构构成为具有：多个支承用运送辊，沿基板取放方向并设而与上述取出对象的基板的下表面接触；夹持用运送辊，与位于上述中继位置的上述取出对象的基板的上表面接触而借助与上述支承用运送辊的协动而夹持上述取出对象的基板。

14.如权利要求11或12所述的基板运送设备，其特征为，

上述夹持运送机构构成为，以夹持上述取出对象的基板的与上述基板取出方向交叉的横宽方向的两端部的方式沿上述横宽方向设置一对上述夹持部，

上述载置支承运送机构构成为，载置支承上述取出对象的基板的上述横宽方向的两端部。

15.如权利要求1、2、3、4、5、11、12的任意一项所述的基板运送设备，其特征为，

设有：升降机构，升降自如地支承上述收纳容器；升降用控制机构，为了使载置支承上述取出对象的基板的上述支承板位于与上述浮起用空气喷出体及上述取出机构对应的取出用高度而控制上述升降机构的动作。

16.如权利要求11或12所述的基板运送设备，其特征为，

上述载置支承运送机构构成为，能够将收纳在上述收纳容器中的收纳对象的基板从上述取出位置运送到上述中继位置，

上述夹持运送机构构成为，使上述夹持部沿移动路径从基板运入方向的上游侧向下游侧移动，在借助上述夹持部的顶端部分按压的状态下将被上述载置支承运送机构运送到上述中继位置的上述收纳对象的基板从上述中继位置运送到上述收纳位置。

17.如权利要求1所述的基板运送设备，其特征为，

上述浮起用空气喷出体，能够切换为喷出空气的喷出状态及使空气的喷出停止的喷出停止状态，

设有收纳机构，将利用基于上述浮起用空气喷出体的空气的喷出而浮起的上述收纳对象的基板以位于载置支承该基板的支承板上的方式收纳在上述收纳容器中，

上述支承板具有凹入部，该凹入部，比载置支承上述基板的载置面更向下方凹入且在载置支承基板的支承预定区域的内外延伸。

18.如权利要求17所述的基板运送设备，其特征为，

上述凹入部形成为从上述支承预定区域的中央部向上述支承预定区域的外部延伸的形状。

19.如权利要求17或18所述的基板运送设备，其特征为，

上述凹入部形成为从上述支承预定区域的基板收纳方向的上游侧端部直到下游侧端部直线状地延伸的形状。

20.如权利要求17或18所述的基板运送设备，其特征为，

上述浮起用空气喷出体，在沿着与上述基板收纳方向交叉的横宽方向隔开间隔的状态下并设，

上述支承板构成为，以位于沿着上述横宽方向并设的上述浮起用空气喷出体之间的方式具备上述凹入部。

21.如权利要求17或18所述的基板运送设备，其特征为，

上述支承板构成为具有上表面平坦的支承用基板和上述载置面且具有从上述支承用基板的上表面向上方突出的多个突起部，并且通过在上述支承用基板上沿基板收纳方向以及与该方向交叉的横宽方向并设上述突起部而形成上述凹入部。

22.如权利要求17或18所述的基板运送设备，其特征为，

设有：升降机构，升降自如地支承上述收纳容器；升降用控制机构，为了使载置支承上述收纳对象的基板的上述支承板位于与上述浮起用空气喷出体及上述收纳机构对应的收纳用高度而控制上述升降机构的动作。

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