KR101350252B1 - 물품 수납 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 구성의 복잡화를 초래하는 것을 방지하면서, 선반 전후 방향에서의 설치 스페이스를 보다 작게 할 수 있는 물품 수납 설비를 제공한다. 상하 방향 및 좌우 방향으로 수납부(1)를 복수 개 구비한 물품 수납 선반(2)과, 그 물품 수납 선반(2)에 있어서의 각각의 수납부(1)에 물품(3)을 반송(搬送)할 수 있는 물품 반송 장치(4)가 설치되고, 물품 반송 장치(4)는, 물품 수납 선반(2)의 선반 가로폭 방향으로 이동 가능한 이동체(移動體)(12)와, 그 이동체(12)에 대하여 물품 수납 선반(2)의 선반 전후 방향으로 이동 가능한 승강 안내 마스트(mast)(13)와, 선반 전후 방향에서의 승강 안내 마스트(13)의 이동에 따라 수납부(1)에 대한 물품 이송탑재용 돌출 위치와 수납부(1)로부터 퇴피(退避)하는 퇴피 위치로 이동 가능하고, 또한 승강 안내 마스트(13)에 의해 승강 가능하게 안내 지지된 물품 지지체(14)로 구성되어 있다.

Description

물품 수납 설비{ARTICLE STORAGE FACILITY}
본 발명은, 상하 방향 및 좌우 방향으로 수납부를 복수 개 구비한 물품 수납 선반과, 그 물품 수납 선반에 있어서의 각각의 수납부에 물품을 반송(搬送) 가능한 물품 반송 장치가 설치되어 있는 물품 수납 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 수납 설비는, 예를 들면, 복수 개의 스테이션을 경유하는 천정측의 이동 경로를 따라 이동 가능한 천정 반송 장치가 설치된 물품 반송 설비에 있어서, 천정 반송 장치에 의해 스테이션에 반송하는 물품을 일시적으로 보관하기 위해 사용되고 있다. 여기서, 물품은, 예를 들면, 복수 개의 반도체 기판을 수납한 용기이며, 스테이션은, 반도체 기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 복수 개의 물품 처리부의 각각에 대응하여 바닥부 측에 설치되고, 천정 반송 장치는, 물품을 매단 상태로 파지 가능한 파지부를 승강시킴으로써, 스테이션과의 사이에서 물품을 이송탑재하도록 구성되어 있다.
그리고, 물품 수납 설비에서는, 물품 수납 선반에 있어서 최상부에 위치하는 수납부가, 천정 반송 장치가 물품을 이송탑재 가능한 반출입용(搬出入用)의 수납부로서 구성되어 있고, 물품 반송 장치가, 반출입용의 수납부와 그 이외의 수납부와의 사이에서 물품을 반송하도록 하고 있다.
종래의 물품 수납 설비에서는, 물품 수납 선반에 있어서 복수 개의 수납부가 선반 전후 방향의 동일 위치에서 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열되도록 설치되고, 물품 반송 장치는, 물품 수납 선반의 선반 가로폭 방향으로 이동 가능한 이동체(移動體)와, 이동체에 세워 설치된 승강 안내 마스트(mast)에 승강 가능하게 안내 지지된 승강체와, 승강체에 장비된 물품 지지체로 구성되어 있다. 그리고, 물품 지지체는, 물품 수납 선반의 선반 전후 방향에 있어서, 수납부에 대한 물품 이송탑재용 돌출 위치와 수납부로부터 퇴피하는 퇴피 위치로 출퇴(出退) 가능하게 승강체에 지지되어 있다(예를 들면, 하기 특허 문헌 1 참조).
이 종래의 물품 수납 설비에서는, 물품 반송 장치가 복수 개의 수납부 중 이송탑재 대상인 수납부와의 사이에서 물품을 이송탑재할 때는, 이동체를 선반 가로폭 방향으로 이동시키고, 또한 승강체를 승강 안내 마스트를 따라 승강시킴으로써, 물품 지지체를 이송탑재 대상이 되는 수납부와 대향하는 위치로 이동시킨 후, 물품 지지체가 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 선반 전후 방향으로 돌출 이동함으로써 이송탑재 대상의 물품을 이송탑재하도록 하고 있다.
일본공개특허 1997-315521호 공보
상기 종래의 물품 수납 설비에 있어서, 물품 지지체는, 선반 전후 방향에 있어서, 퇴피 위치와 돌출 위치로 이동 가능하게 승강체에 지지되어 있으므로, 물품 지지체를 선반 전후 방향으로 이동 가능하게 승강체에 의해 지지하기 위한 구성을 필요로 한다. 예를 들면, 물품 지지체는, 승강체에 구비된 선반 전후 방향을 따른 안내 레일에 의해 이동 가능하게 지지되어 있고, 상하 방향 및 좌우 방향에서의 이동을 규제하면서, 물품 지지체를 선반 전후 방향으로 출퇴시키도록 하고 있다. 이로써, 물품 지지체가 돌출 위치에 위치할 때, 선반 전후 방향에 있어서 물품 지지체의 전체가 승강체로부터 돌출되지 않고, 선반 전후 방향에서 물품 지지체의 일부를 승강체와 중복시키고, 그 중복되는 물품 지지체의 일부를 승강체에 구비된 안내 레일에 의해 지지하도록 하고 있다. 따라서, 물품 지지체에는, 물품을 지지하기 위한 지지 구성과, 그 지지 구성과는 별도로 안내 레일 등에 의해 지지되는 부분을 구비하지 않으면 안되므로, 선반 전후 방향으로 길이가 긴 것으로 된다.
상기와 같은 물품 지지체로서 상기 특허 문헌 1에 기재된 물품 수납 설비에서는, 물품을 파지하는 척(chuck) 수단을 구비한 것이 예시되어 있지만, 물품 지지체를 선반 전후 방향으로 이동 가능하게 승강체에 의해 지지하기 위한 구성이 개시되어 있지 않다. 그래서, 예를 들면, 물품 지지체로서 출퇴 가능하게 승강체에 지지된 포크식의 물품 지지체가 사용되는 경우가 있으므로, 이 포크식의 물품 지지체를 사용하여, 선반 전후 방향으로 길이가 길어지는 점에 대하여 설명한다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 승강체(100)는, 승강 안내 마스트(101)에 승강 가능하게 안내 지지되어 있고, 물품 지지체(102)가, 승강체(100)에 구비된 안내 레일 등에 의해 승강체(100)에 대하여 선반 전후 방향(도면 중 좌우 방향)으로 퇴피 위치(도 9의 (a) 참조)와 돌출 위치(도 9의 (b) 참조))로 출퇴 가능하게 설치되어 있다. 물품 지지체(102)는, 그 돌출 방향의 선단 측에 물품(103)을 탑재 지지하는 탑재 지지부(102a)를 구비하고 있지만, 도 9의 (b)에 나타낸 바와 같이, 물품 지지체(102)가 돌출 위치에 위치할 때, 선반 전후 방향(도면 중 좌우 방향)에서 물품 지지체(102)의 기단(基端) 부분을 승강체(100)와 중복시키고, 그 중복되는 물품 지지체(102)의 기단 부분을 승강체(100)의 안내 레일 등이 지지하게 된다. 따라서, 물품 지지체(102)에는, 선반 전후 방향에 있어서, 탑재 지지부(102a)와는 별도로, 승강체(100)의 안내 레일 등이 지지하는 피지지 부분(102b)을 구비하지 않으면 안되므로, 선반 전후 방향의 길이가 길어진다.
따라서, 물품 지지체는, 선반 전후 방향에서의 길이가 길어지게 되므로, 승강체도 선반 전후 방향에서의 길이가 길어지고, 그 결과, 물품 수납 설비가 전체적으로 선반 전후 방향으로 대형으로 되어 버린다. 특히, 전술한 바와 같은 천정 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비에서는, 복수 개의 물품 처리부나 복수 개의 스테이션을 설치하지 않으면 안되므로, 물품 수납 설비의 설치 스페이스로서는, 보다 작은 스페이스로 하는 것이 요구되고 있고, 이 요구에 따르는 것이 어려워진다.
또한, 물품 지지체가 선반 전후 방향으로 길어지면, 물품 지지체에 대하여 하방 측으로 작용하는 모멘트가 커지므로, 물품 지지체가 하방 측으로 이동하므로, 예를 들면, 승강 안내 마스트에 의해 승강체를 안내 지지하는 부분의 강도를 견고하게 하는 등의 구성이 필요해 지므로, 구성의 복잡화를 초래하게 된다. 예를 들면, 승강체에 있어서 승강 안내 마스트에 의해 안내 지지되는 부분을 상하 방향으로 길게 함으로써, 그 부분의 강도를 견고하게 할 수 있지만, 이와 같은 구성을 구비하지 않으면 안되므로, 구성의 복잡화를 초래하게 되는 동시에, 새로운 문제가 생기게 된다. 즉, 승강체에 있어서 승강 안내 마스트에 의해 안내 지지되는 부분을 상하 방향으로 길게 하면, 승강체가 상하 방향으로 커지므로, 물품 수납 선반으로서 상하 방향으로 대형화를 초래하거나 승강체에 의해 승강할 수 있는 범위가 제한되는 등의 문제가 생기게 된다.
본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 구성의 복잡화를 초래하는 것을 방지하면서, 선반 전후 방향에서의 설치 스페이스를 작게 할 수 있는 물품 수납 설비를 제공하는 점에 있다.
이 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 물품 수납 설비의 제1 특징적 구성은, 상하 방향 및 좌우 방향으로 수납부를 복수 개 구비한 물품 수납 선반과, 그 물품 수납 선반에 있어서의 각각의 수납부에 물품을 반송할 수 있는 물품 반송 장치가 설치되어 있는 물품 수납 설비에 있어서,
상기 물품 반송 장치는, 상기 물품 수납 선반의 선반 가로폭 방향으로 이동 가능한 이동체와, 그 이동체에 대하여 상기 물품 수납 선반의 선반 전후 방향으로 이동 가능한 승강 안내 마스트와, 상기 선반 전후 방향에서의 상기 승강 안내 마스트의 이동에 따라 상기 수납부에 대한 물품 이송탑재용 돌출 위치와 상기 수납부로부터 퇴피하는 퇴피 위치로 이동 가능하고, 또한 상기 승강 안내 마스트에 의해 승강 가능하게 안내 지지된 물품 지지체로 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 물품 반송 장치는, 선반 가로폭 방향에서의 이동체의 이동, 물품 지지체의 승강, 선반 전후 방향에서의 승강 안내 마스트의 이동에 따라, 수납부와의 사이에서 물품을 이송탑재하게 된다. 이로써, 물품 지지체는, 물품의 이송탑재를 위해, 선반 전후 방향에서의 승강 안내 마스트의 이동에 따라 선반 전후 방향으로 이동하게 되므로, 물품 지지체에는, 물품을 지지하기 위한 지지 구성만을 구비하면 되고, 선반 전후 방향에서 컴팩트화를 도모할 수 있다. 그리고, 물품 지지체를 선반 전후 방향에서 컴팩트하게 함으로써, 물품 지지체에 대하여 하방 측으로 작용하는 모멘트를 작게 할 수 있다. 따라서, 물품 지지체가 하방 측으로 이동하므로, 예를 들면, 승강 안내 마스트에 의해 승강체를 안내 지지하는 부분의 강도를 견고하게 하는 등의 구성이 필요하지 않아, 구성의 복잡화를 초래하는 것을 방지할 수 있다.
이상으로부터, 구성의 복잡화를 초래하는 것을 방지하면서, 선반 전후 방향에서의 설치 스페이스를 작게 할 수 있는 물품 수납 설비를 실현할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 수납 설비의 제2 특징적 구성은, 상기 복수 개의 수납부는, 상기 선반 전후 방향의 동일 위치에서 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열되도록 설치되고, 상기 물품 반송 장치는, 상기 선반 가로폭 방향에서의 상기 이동체의 이동에 따라 상기 선반 전후 방향에서 각각의 수납부와 대향하는 대향 위치로 상기 물품 지지체를 이동 가능하고, 또한 그 대향 위치에 상기 물품 지지체를 위치시킨 상태에서 상기 선반 전후 방향에서의 상기 승강 안내 마스트의 이동에 따라 각각의 수납부에 있어서의 상기 돌출 위치로 상기 물품 지지체를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 물품 수납 선반으로서는, 단지, 선반 전후 방향의 동일 위치에서 수납부를 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열되도록 설치하면 되므로, 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 물품 반송 장치는, 선반 가로폭 방향에서의 이동체의 이동에 따라 각각의 수납부에 있어서의 대향 위치로 물품 지지체를 이동 가능하고, 또한 그 대향 위치에 물품 지지체를 위치시킨 상태에서, 선반 전후 방향에서 승강 안내 마스트를 이동시키는 것만으로, 물품 지지체를 각각의 수납부에 있어서의 돌출 위치로 이동시켜 물품을 이송탑재할 수 있다. 이로써, 물품 반송 장치로서의 동작을 단순하게 하면서, 각각의 수납부와의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 수납 설비의 제3 특징적 구성은, 상기 복수 개의 수납부 중, 상기 선반 가로폭 방향의 단부(端部)측에 설치되고, 또한 상하 방향으로 복수 개 배열되도록 설치된 단부측 수납부는, 상기 선반 전후 방향에 있어서, 상기 선반 가로폭 방향의 중앙부에 설치되고, 또한 상하 방향으로 복수 개 배열되도록 설치된 중앙 수납부보다 상기 승강 안내 마스트에 근접하는 측에 위치하도록 설치되고, 상기 물품 반송 장치는, 상기 선반 전후 방향에서 상기 중앙 수납부와 대향하도록 상기 물품 지지체를 위치시킨 상태에서, 상기 선반 전후 방향에서의 상기 승강 안내 마스트의 이동에 따라 상기 중앙 수납부에 있어서의 상기 돌출 위치 및 상기 선반 전후 방향에서 상기 단부측 수납부와 동일 위치가 되는 단부측 동일 위치로 상기 물품 지지체를 ,이동 가능하고, 또한 상기 단부측 동일 위치에 상기 물품 지지체를 위치시킨 상태에서 상기 선반 가로폭 방향에서의 상기 이동체의 이동에 따라 상기 단부측 수납부에 있어서의 상기 돌출 위치로 상기 물품 지지체를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 중앙 수납부와 단부측 수납부는, 선반 전후 방향에 있어서 상이한 위치에 설치하고, 또한 단부측 수납부는, 중앙 수납부와 인접하는 상태로 승강 안내 마스트에 근접하는 측에 설치할 수 있다. 이로써, 선반 가로폭 방향에 있어서 중앙 수납부의 양쪽을 빈 스페이스로 할 수 있다. 따라서, 그 빈 스페이스를 다른 용도에 활용할 수 있다.
예를 들면, 천정 반송 장치를 설치한 물품 반송 설비에서는, 천정 반송 장치를 이동시키는 이동 경로가 만곡되도록 설치된 개소에 있어서, 그 빈 스페이스를 이용하여, 수평 방향에 있어서 이동 경로와 중복되지 않게 하면서, 물품 수납 설비를 이동 경로에 매우 근접한 상태로 설치할 수 있다. 따라서, 이동 경로가 만곡되도록 설치된 개소에 있어서, 물품 수납 설비를 설치하기 위해 필요한 스페이스를 작게 할 수 있다. 그 결과, 물품 수납 설비의 공간 절약화에 의해 생기는 스페이스를 다른 장치의 설치 스페이스로서 활용할 수 있다.
물품 반송 장치는, 선반 전후 방향에서 중앙 수납부와 대향하도록 물품 지지체를 위치시킨 상태에서, 선반 전후 방향에서의 승강 안내 마스트의 이동에 따라 중앙 수납부에 있어서의 돌출 위치로 물품 지지체를 이동시켜, 중앙 수납부와의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있다. 그리고, 물품 반송 장치는, 예를 들면, 선반 전후 방향에서 중앙 수납부와 대향하도록 물품 지지체를 위치시킨 상태에서 중앙 수납부에 있어서의 퇴피 위치에 물품 지지체를 위치시킴으로써, 단부측 동일 위치에 물품 지지체를 위치시킨다. 따라서, 물품 반송 장치는, 단부측 동일 위치에 물품 지지체를 위치시킨 상태에서, 선반 가로폭 방향으로 이동체를 이동시킴으로써, 단부측 수납부에 있어서의 돌출 위치로 물품 지지체를 이동시켜, 단부측 수납부와의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있다. 그 결과, 물품 반송 장치는, 중앙 수납부 및 단부측 수납부의 양쪽에 대하여 물품을 적절하게 이송탑재할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 수납 설비의 제4 특징적 구성은, 상기 이동체는, 바닥부 측에 설치된 상기 선반 가로폭 방향을 따른 선반 가로폭 이동 레일을 따라 이동할 수 있도록 구성되며, 상기 승강 안내 마스트는, 상기 이동체에 구비된 상기 선반 전후 방향을 따른 선반 전후 이동 레일을 따라 이동할 수 있도록 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 이동체를 선반 가로폭 방향으로 이동시키기 위해, 단지, 바닥부 측에 선반 가로폭 이동 레일을 설치하면 되므로, 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 승강 안내 마스트는, 그 이동체에 구비된 선반 전후 이동 레일을 따라 이동 가능하게 설치하는 것만으로 되므로, 승강 안내 마스트를 선반 전후 방향으로 이동 가능하게 설치하기 위한 구성도 간소한 것으로 할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 수납 설비의 제5 특징적 구성은, 상기 복수 개의 수납부 중, 최상부에 배치된 수납부 중 일부는, 천정측의 이동 경로를 따라 이동 가능한 천정 반송 장치가 물품을 이송탑재 가능한 반출입용의 수납부로서 구성되며, 상기 물품 반송 장치는, 상기 천정 반송 장치로부터 상기 반출입용의 수납부에 이송탑재된 물품을 다른 수납부로 반송 가능하며, 또한 상기 반출입용의 수납부 이외의 수납부에 수납되어 있는 물품을 상기 반출입용의 수납부로 반송 가능하게 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 천정 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비에 있어서, 천정 반송 장치에 의해 반송되는 물품을 일시 보관하기 위해 물품 수납 설비를 사용하는 데 있어서, 최상부의 수납부의 일부를 천정 반송 장치와의 사이에서 물품을 이송탑재하기 위한 반출입용의 수납부로 할 수 있고, 물품 수납 선반과는 별도로 반출입부를 설치하지 않아도 되어, 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
그리고, 물품 반송 장치는, 반출입용의 수납부에 이송탑재된 물품을 다른 수납부로 반송하거나, 또는 반출입용의 수납부 이외의 수납부에 수납되어 있는 물품을 반출입용의 수납부로 반송할 수 있어, 반출입용의 수납부와 천정 반송 장치와의 사이에서의 물품의 이송탑재를 정확하게 행하면서, 천정 반송 장치에 의해 반송되는 물품을 보관할 수 있다.
본 발명은, 상하 방향 및 좌우 방향으로 수납부를 복수 개 구비한 물품 수납 선반과, 그 물품 수납 선반에 있어서의 각각의 수납부에 물품을 반송할 수 있는 물품 반송 장치가 설치되어 있는 물품 수납 설비에 바람직하게 이용할 수 있다.
도 1은 물품 수납 설비의 측면도이다.
도 2는 물품 수납 설비의 측면도이다.
도 3은 물품 수납 설비의 평면도이다.
도 4는 물품 수납 설비의 선반 가로폭 방향에서 볼 때의 주요부 확대도이다.
도 5는 물품 수납 설비의 주요부 확대 평면도이다.
도 6은 물품 수납 설비의 주요부 확대 평면도이다.
도 7은 물품 수납 설비의 선반 전후폭 방향에서 볼 때의 주요부 확대도이다.
도 8은 제2 실시예에 있어서의 물품 수납 설비의 평면도이다.
도 9는 종래의 물품 수납 설비에 있어서의 승강체 및 물품 지지체를 나타낸 도면이다.
본 발명에 관한 물품 수납 설비의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
〔제1 실시예〕
이 물품 수납 설비는, 도 1~도 3에 나타낸 바와 같이, 그 주위가 에워싸인 상자형으로 구성되어 있고, 상하 방향 및 좌우 방향으로 수납부(1)를 복수 개 구비한 물품 수납 선반(2)과, 그 물품 수납 선반(2)에 있어서의 각각의 수납부(1)에 물품(3)을 반송할 수 있는 물품 반송 장치(4)가 설치되어 있다. 여기서, 물품(3)은, 예를 들면, 복수 개의 반도체 기판을 수납한 용기에 의해 구성되어 있다.
이하, 도 1~도 7을 참조하여 설명한다.
물품 수납 선반(2)은, 선반 전후 방향(도 3 중 좌우 방향)으로 간격을 두고 설치된 전후 한쌍의 측부 프레임(5)과, 전후 한쌍의 측부 프레임(5) 중 후방측의 측부 프레임(5a)끼리를 연결하는 연결 프레임(6)과, 연결 프레임(6)으로부터 선반 전후 방향의 전방측으로 연장되도록 설치된 탑재 지지부(7)를 구비하고 있다. 연결 프레임(6)은, 상하 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개(예를 들면, 7개) 설치되어 있고, 탑재 지지부(7)는, 수평 방향으로 배열되도록 복수 개(예를 들면, 3개) 설치되어 있다. 탑재 지지부(7)는, 평면에서 볼 때 ㄷ자형으로 설치되어 있고, 선반 가로폭 방향(도 3 중 상하 방향)의 중앙부가 중공(中空) 공간으로 되도록 구성되어 있다.
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수납부(1)는, 탑재 지지부(7)에 의해 물품(3)을 탑재 지지하는 상태에서 물품(3)을 수납하도록 구성되어 있다. 복수 개의 수납부(1)는, 선반 전후 방향의 동일 위치에서 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열되도록 설치되어 있다. 탑재 지지부(7)에는, 3개의 위치결정핀(8)이 설치되어 있고, 위치결정핀(8)을 물품(3)의 저부(低部)에 형성된 구멍부에 끼워맞춤으로써, 수납부(1)가 물품(3)을 위치 결정한 상태로 수납하도록 구성되어 있다.
복수 개의 수납부(1) 중, 최상부에 배치된 수납부(1)의 일부는, 천정측의 이동 레일(9)(이동 경로에 상당함)을 따라 이동 가능한 천정 반송 장치(10)가 물품(3)을 이송탑재 가능한 반출입용의 수납부(1a)로서 구성되어 있다. 즉, 물품 수납 선반(2)의 최상부의 수납부(1a)는, 그 상부를 차폐(遮蔽)하는 부재 등이 설치되어 있지 않고, 그 상부가 개방되어 있다. 천정 반송 장치(10)는, 물품(3)을 매단 상태로 파지 가능한 파지부(11)를 구비하고 있다. 그리고, 천정 반송 장치(10)는, 이동 레일(9)에 있어서 반출입용의 수납부(1a)와 대응하는 정지 개소(반출입용의 수납부(1a)의 상부에 상당하는 개소)에 정지한 상태에서, 파지부(11)를 승강시킴으로써 반출입용의 수납부(1a)와의 사이에서 물품(3)을 이송탑재하도록 구성되어 있다. 이로써, 이 물품 수납 설비는, 천정 반송 장치(10)에 의해 반송되는 물품(3)을 물품 수납 선반(2)에 의해 일시 보관하도록 구성되어 있다.
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물품 반송 장치(4)는, 물품 수납 선반(2)의 선반 가로폭 방향으로 이동 가능한 이동체(12)와, 그 이동체(12)에 대하여 물품 수납 선반(2)의 선반 전후 방향으로 이동 가능한 승강 안내 마스트(13)와, 선반 전후 방향에서의 승강 안내 마스트(13)의 이동에 따라 수납부(1)에 대한 물품 이송탑재용 돌출 위치(도 2 참조)와 수납부(1)로부터 퇴피하는 퇴피 위치(도 1 참조)로 이동 가능하고, 또한 승강 안내 마스트(13)에 의해 승강 가능하게 안내 지지된 물품 지지체(14)로 구성되어 있다.
이동체(12)는, 평면에서 볼 때 선반 가로폭 방향으로 짧고, 또한 선반 전후 방향으로 긴 직사각형으로 형성되어 있고(도 3, 도 5 및 도 6 참조), 바닥부 측에 설치된 선반 가로폭 방향을 따른 선반 가로폭 이동 레일(15)을 따라 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 선반 가로폭 이동 레일(15)은, 선반 전후 방향에 있어서 이동체(12)의 물품 수납 선반(2)에 근접하는 부분을 선반 가로폭 방향으로 이동 가능하게 지지하도록 구성되어 있다. 또한, 선반 전후 방향에 있어서 이동체(12)의 물품 수납 선반(2)으로부터 이격되는 측의 단부에는, 수평 축심 주위에서 회전 가능한 이동용 가이드 롤러(16)가 설치되고, 이 이동용 가이드 롤러(16)를 안내하는 이동 안내부(17)가 선반 가로폭 방향을 따라 설치되어 있다.
도 4 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 이동용 가이드 롤러(16)는, 이동 안내부(17)의 상면부와 맞닿는 제1 이동용 가이드 롤러(16a)와, 이동 안내부(17)의 측면부와 맞닿는 제2 이동용 가이드 롤러(16b)와, 이동 안내부(17)의 하면부와 맞닿는 제3 이동용 가이드 롤러(16c)의 3종류가 설치되어 있다. 이로써, 이동 안내부(17)를 이동용 가이드 롤러(16)에 의해 상하 방향에서 끼워넣고, 또한 이동 안내부(17)의 측면부와 이동용 가이드 롤러(16)와의 접촉 및 선반 가로폭 이동 레일(15)에 의한 안내에 따라, 상하 방향 및 선반 전후 방향에서의 이동을 규제하면서, 이동체(12)를 선반 가로폭 방향으로 이동시킬 수 있다.
이동체(12)를 선반 가로폭 방향으로 이동시키기 위한 이동체 구동 수단(18)이 물품 수납 선반(2)의 하부 공간에 설치되어 있다. 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 이동체 구동 수단(18)은, 선반 가로폭 방향의 일단부에 설치된 이동체 구동 회전체(19)와, 선반 가로폭 방향의 타단부에 설치된 이동체 종동(縱動) 회전체(20)에 걸쳐 권취된 무단상(無端狀)의 이동체 구동용 벨트(21)와, 이동체 구동 회전체(19)를 회전 구동시키는 이동체 구동 모터(22)로 구성되어 있다. 이동체(12)는, 선반 전후 방향의 물품 수납 선반(2)에 근접하는 측의 단부가 이동체 연결부(23)에 의해 이동체 구동용 벨트(21)와 연결되어 있다. 이동체 구동 수단(18)은, 이동체 구동 모터(22)에 의해 이동체 구동 회전체(19)를 회전 구동시켜 이동체 구동용 벨트(21)를 이동 조작시킴으로써, 이동체(12)를 선반 가로폭 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다.
승강 안내 마스트(13)는, 선반 가로폭 방향에 있어서 이동체(12)의 전체 길이에 이르는 직사각형으로 형성된 기대(基臺)(24) 상에 세워 설치되어 있고, 기대(24)는, 이동체(12)에 구비된 선반 전후 방향을 따른 선반 전후 이동 레일(25)에 의해 선반 전후 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 선반 전후 이동 레일(25)은, 선반 가로폭 방향으로 간격을 두고 한쌍 설치되고, 선반 가로폭 방향의 기대(24)의 일단부 및 타단부의 각각을 이동 가능하게 지지하도록 구성되어 있다.
승강 안내 마스트(13)를 선반 전후 방향으로 이동시키기 위해 승강 안내 마스트 구동 수단(26)이 설치되어 있다. 도 4 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 승강 안내 마스트 구동 수단(26)은, 선반 전후 방향을 따라 이동체(12)에 설치된 랙 부(27), 그 랙 부(27)에 걸어맞추어지는 상태로 회전 가능한 피니언(28), 피니언(28)을 회전 구동시키는 승강 안내 마스트 구동 모터(29)로 구성되어 있다. 승강 안내 마스트 구동 수단(26)은, 승강 안내 마스트 구동 모터(29)에 의해 피니언(28)을 회전 구동시킴으로써, 승강 안내 마스트(13)를 선반 전후 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다.
물품 지지체(14)는, 승강 안내 마스트(13)에 의해 승강 가능하게 안내되는 안내부(30)와, 그 안내부(30)로부터 수평 방향으로 연장되도록 설치되어 물품(3)을 탑재 지지하는 판형의 지지부(31)로 구성되어 있다. 물품 지지체(14)는, 선반 전후 방향에서의 승강 안내 마스트(13)의 이동에 따라 선반 전후 방향으로 이동하므로, 지지부(31)로서는, 선반 전후 방향에 있어서 물품(3)을 탑재 지지할 만큼의 길이를 가지고 있으면 되므로, 지지부(31)의 길이를 매우 짧게 할 수 있다. 따라서, 선반 전후 방향에서의 물품 지지체(14)의 길이를 짧게 할 수 있어, 선반 전후 방향에 있어서 물품 수납 설비의 컴팩트화를 도모할 수 있다.
안내부(30)는, 승강 안내 마스트(13)의 가이드부(32)에 맞닿아 안내되는 수평 축심 주위에서 회전 가능한 승강 가이드 롤러(33)가 설치되어 있다. 도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 가이드부(32)는, 선반 가로폭 방향으로 간격을 두고 한쌍 설치되고, 한쌍의 가이드부(32)의 각각에 대하여 승강 가이드 롤러(33)가 맞닿도록 설치되어 있다. 승강 가이드 롤러(33)는, 선반 전후 방향에 있어서 가이드부(32)를 양쪽으로부터 끼워넣는 상태로 설치되어 선반 전후 방향에서의 물품 지지체(14)의 이동을 규제하는 제1 승강 가이드 롤러(33a)와, 선반 가로폭 방향에 있어서 가이드부(32)에 맞닿아 선반 가로폭 방향에서의 물품 지지체(14)의 이동을 규제하는 제2 승강 가이드 롤러(33b)의 2종류로 구성되어 있다. 지지부(31)는, 돌출 위치에 있어서, 수납부(1)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간을 상하 방향으로 통과할 수 있도록 선반 가로폭 방향으로 협폭(狹幅)으로 구성되어 있다. 또한, 지지부(31)에는, 2개의 위치결정핀(34)이 설치되고, 이 위치결정핀(34)을 물품(3)의 저부(低部)에 형성된 구멍부에 끼워맞춤으로써, 지지부(31)는, 물품(3)을 위치 결정한 상태로 탑재 지지하도록 구성되어 있다.
물품 지지체(14)를 승강시키기 위해 승강 구동 수단(35)이 승강 안내 마스트(13)에 설치되어 있다. 도 1, 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 승강 구동 수단(35)은, 승강 안내 마스트(13)의 하단부에 설치된 승강 구동 회전체(36)와, 승강 안내 마스트(13)의 상단부에 설치된 승강 종동 회전체(37)에 걸쳐 권취된 무단상의 승강 구동용 벨트(38)와, 승강 구동 회전체(36)를 회전 구동시키는 승강 구동 모터(39)로 구성되어 있다. 승강 구동용 벨트(38)의 도중 부분에, 물품 지지체(14)에 있어서의 안내부(30)가 연결되어 있고, 승강 구동 수단(35)은, 승강 구동 모터(39)에 의해 승강 구동 회전체(36)를 회전 구동시켜 승강 구동용 벨트(38)를 이동 조작시킴으로써, 물품 지지체(14)를 승강시키도록 구성되어 있다.
물품 반송 장치(4)는, 선반 가로폭 방향에서의 이동체(12)의 이동에 따라 선반 전후 방향에서 각각의 수납부(1)와 대향하는 대향 위치에 물품 지지체(14)를 이동 가능하고, 또한 그 대향 위치에 물품 지지체(14)를 위치시킨 상태에서 선반 전후 방향에서의 승강 안내 마스트(13)의 이동에 따라 각각의 수납부(1)에 있어서의 돌출 위치로 물품 지지체(14)를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 장치(4)는, 선반 전후 방향에서 이동체(12)의 수납부(1)로부터 이격되는 측의 단부에 승강 안내 마스트(13)를 위치시킴으로써, 물품 지지체(14)를 퇴피 위치에 위치시키도록 구성되어 있다. 도 3에 있어서 선반 가로폭 방향(도면 중 상하 방향)에서의 화살표에 의해 나타낸 바와 같이, 물품 반송 장치(4)는, 물품 지지체(14)를 퇴피 위치에 위치시킨 상태에서 이동체(12)를 선반 가로폭 방향으로 이동시킴으로써, 물품 지지체(14)와 수납부(1)가 간섭하지 않고, 물품 지지체(14)를 선반 가로폭 방향으로 이동시킬 수 있다. 이로써, 물품 반송 장치(4)는, 물품 지지체(14)를 퇴피 위치에 위치시킨 상태에서 이동체(12)를 선반 가로폭 방향으로 이동시킴으로써, 각각의 수납부(1)와 대향하는 대향 위치로 물품 지지체(14)를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 장치(4)는, 도 3에 있어서 선반 전후 방향(도면 중 좌우 방향)에서의 화살표에 의해 나타낸 바와 같이, 어떤 수납부(1)에 대한 대향 위치에 물품 지지체(14)를 위치시킨 상태에서 선반 전후 방향에서 이동체(12)의 수납부(1)에 근접하는 측의 단부에 승강 안내 마스트(13)를 이동시킴으로써, 그 수납부(1)에 있어서의 돌출 위치로 물품 지지체(14)를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
도시는 생략하지만, 물품 반송 장치(4)의 작동을 제어하는 제어 장치가 형성되어 있고, 이 제어 장치는, 인출 대상인 수납부(1)에 수납된 물품(3)을 인출하고, 그 인출한 물품(3)을 수납 대상인 수납부(1)에 수납하기 위해, 물품 반송 장치(4)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
제어 장치는, 물품 지지체(14)를 퇴피 위치에 위치시킨 상태에서 인출 대상인 수납부(1)와 대향하는 대향 위치로 물품 지지체(14)를 이동시키기 위해, 이동체(12)를 선반 가로폭 방향으로 이동시키고, 또한 승강 안내 마스트(13)에 의해 안내하여 물품 지지체(14)를 승강시키도록 이동체 구동 수단(18)의 작동 및 승강 구동 수단(35)의 작동을 제어한다. 여기서, 각각의 수납부(1)와 대응하는 대향 위치에 대해서는, 제어 장치가 미리 기억하고 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 선반 가로폭 방향에 있어서 물품 지지체(14)가 어디에 위치하는지를 검출하는 선반 가로폭 방향 위치 검출 수단, 및 상하 방향에 있어서 물품 지지체(14)가 어디에 위치하는지를 검출하는 상하 위치 검출 수단을 설치하고 있고, 제어 장치는, 선반 가로폭 방향 위치 검출 수단의 검출 정보에 기초하여, 대향 위치에 대하여 선반 가로폭 방향에서 동일 위치에 물품 지지체(14)를 이동시키도록 이동체 구동 수단(18)의 작동을 제어하고, 또한 상하 위치 검출 수단의 검출 정보에 기초하여, 대향 위치에 대하여 상하 방향으로 동일 위치에 물품 지지체(14)를 이동시키도록 승강 구동 수단(35)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 선반 가로폭 방향 위치 검출 수단에 대해서는, 측거용(測距用) 레이저광을 목표물을 향해 수광하여 그 반사한 광을 수광함으로써 목표물까지의 거리를 검출하는 측거 센서 등을 사용할 수 있다.
제어 장치는, 인출 대상인 수납부(1)와 대향하는 대향 위치에 물품 지지체(14)를 위치시킨 상태에서, 선반 전후 방향에서 이동체(12)의 수납부(1)에 근접하는 측의 단부에 승강 안내 마스트(13)를 이동시키도록 승강 안내 마스트 구동 수단(26)의 작동을 제어한다. 이로써, 수납부(1)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간에 물품 지지체(14)의 지지부(31)를 삽입하여 물품 지지체(14)를 돌출 위치에 위치시킨다. 그리고, 제어 장치는, 승강 안내 마스트(13)에 의해 안내하게 하여 물품 지지체(14)를 설정 거리만큼 상승시키도록 승강 구동 수단(35)의 작동을 제어한다. 따라서, 물품 지지체(14)의 지지부(31)에 의해 물품(3)을 탑재 지지하는 상태로 수납부(1)로부터 물품(3)을 들어올리도록 하고 있다. 그 후, 제어 장치는, 선반 전후 방향에서 이동체(12)의 수납부(1)로부터 이격되는 측의 단부로 승강 안내 마스트(13)를 이동시키도록 승강 안내 마스트 구동 수단(26)의 작동을 제어한다.
제어 장치는, 물품(3)을 탑재 지지한 물품 지지체(14)를 퇴피 위치로 위치시킨 상태에서 수납 대상인 수납부(1)와 대향하는 대향 위치로 물품 지지체(14)를 이동시키기 위해, 이동체(12)를 선반 가로폭 방향으로 이동시키고, 또한 승강 안내 마스트(13)에 의해 안내하게 하여 물품 지지체(14)를 승강시키도록 이동체 구동 수단(18)의 작동 및 승강 구동 수단(35)의 작동을 제어한다. 그리고, 수납부(1)로부터 물품(3)을 들어올려 취할 때와 마찬가지로, 제어 장치는, 선반 전후 방향에서 이동체(12)의 수납부(1)에 근접하는 측의 단부에 승강 안내 마스트(13)를 이동시키도록 승강 안내 마스트 구동 수단(26)을 작동시킨 후, 수납부(1)로부터 물품(3)을 들어올려 취할 때와는 반대로, 승강 안내 마스트(13)에 의해 안내하여 물품 지지체(14)를 설정 거리만큼 하강시키도록 승강 구동 수단(35)의 작동을 제어한다. 이와같이 하여, 물품 지지체(14)로부터 물품(3)을 수납부(1)에 언로드하도록 하고 있다.
물품 반송 장치(4)는, 천정 반송 장치(10)로부터 반출입용의 수납부(1a)에 이송탑재된 물품(3)을 다른 수납부(1)에 반송 가능하며, 또한 반출입용의 수납부(1a) 이외의 수납부(1)에 수납되어 있는 물품(3)을 반출입용의 수납부(1a)에 반송 가능하게 구성되어 있다. 즉, 천정 반송 장치(10)로부터 반출입용의 수납부(1a)에 물품(3)이 반입(搬入)되면, 제어 장치는, 그 반입용의 수납부(1a)를 물품(3)이 수납되어 있지 않은 다른 수납부(1)에 수납하기 위해, 물품 반송 장치(4)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 천정 반송 장치(3)에 의해 수납부(1)에 수납되어 있는 물품(3)을 반송할 때는, 제어 장치는, 수납부(1)에 수납되어 있는 물품(3)을 반출입용의 수납부(1a)에 수납시킬 수 있도록, 물품 반송 장치(4)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
〔제2 실시예〕
이 제2 실시예에서는, 상기 제1 실시예에 있어서, 물품 수납 선반(2)에 있어서의 수납부(1)의 배치 구성이 상이한 다른 실시예이다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 물품 수납 선반(2)에 있어서, 복수 개의 수납부(40) 중, 선반 가로폭 방향(도면 중 상하 방향)의 단부측에 설치된 단부측 수납부(41)는, 선반 전후 방향에 있어서, 선반 가로폭 방향의 중앙부에 설치된 중앙 수납부(42)보다 승강 안내 마스트(13)에 근접하는 측에 위치하도록 설치되어 있다. 즉, 선반 전후 방향(도면 중 좌우 방향)에 있어서, 중앙 수납부(42)와 단부측 수납부(41)는 상이한 위치에 설치되어 있고, 또한 단부측 수납부(41)는, 중앙 수납부(42)와 인접하는 상태로 승강 안내 마스트(13)에 근접하는 측에 설치되어 있다. 그리고, 중앙 수납부(42)에 대해서는, 물품(3)의 출입 방향을 선반 전후 방향으로 하고 있고, 단부측 수납부(41)에 대해서는, 물품(3)의 출입 방향을 선반 가로폭 방향으로 하고 있다.
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이로써, 선반 가로폭 방향에 있어서 중앙 수납부(41)의 양쪽을 빈 스페이스로 할 수 있다. 따라서, 천정 반송 장치(10)를 이동시키는 이동 레일(9)이 만곡되도록 설치한 개소에 있어서, 그 빈 스페이스를 이용하여, 물품 수납 설비를 이동 레일(9)에 매우 근접한 상태로 설치할 수 있다. 즉, 천정 반송 장치(3)의 이동을 방해하지 않도록, 수평 방향에 있어서 이동 레일(9)과 중복되지 않는 개소에 물품 수납 설비를 설치하는 경우에, 만곡되는 이동 레일(9)에 맞추어 매우 근접하여 물품 수납 설비를 설치할 수 있다. 따라서, 이동 레일(9)이 만곡되도록 설치된 개소에 있어서, 물품 수납 설비를 설치하기 위해 필요한 스페이스를 작게 할 수 있다. 그 결과, 물품 수납 설비의 공간절약화에 의해 생기는 스페이스를 물품 처리부의 설치 스페이스로서 활용할 수 있어, 스페이스의 유효 활용을 도모할 수 있다.
물품 반송 장치(4)는, 선반 전후 방향에서 중앙 수납부(42)와 대향하도록 물품 지지체(14)를 위치시킨 상태에서, 선반 전후 방향에서의 승강 안내 마스트(13)의 이동에 따라 중앙 수납부(42)에 있어서의 돌출 위치 및 선반 전후 방향에서 단부측 수납부(41)와 동일 위치가 되는 단부측 동일 위치에 물품 지지체(14)를 이동 가능하고, 또한 단부측 동일 위치에 물품 지지체(14)를 위치시킨 상태에서 선반 가로폭 방향에서의 이동체(12)의 이동에 따라 단부측 수납부(41)에 있어서의 돌출 위치로 물품 지지체(14)를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
물품 지지체(14)의 지지부(31)에 대하여, 상기 제1 실시예와는 상이한 구성으로 하고 있다. 예를 들면, 지지부(31) 상에, 선반 가로폭 방향 및 선반 전후 방향의 양쪽에 있어서 폭이 좁은 탑재대(43)를 설치하고, 그 탑재대(43)에 의해 물품(3)을 탑재 지지하도록 구성되어 있다. 그리고, 탑재대(43)는, 단부측 수납부(41) 및 중앙 수납부(42)에 대한 돌출 위치에 물품 지지체(14)를 위치시켜 승강시킬 때의 설정 거리와 대응하는 높이를 가지고 있다.
이로써, 탑재대(43)는, 중앙 수납부(42)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간에 대하여 선반 전후 방향으로 삽입 및 인출 가능하게, 또한 단부측 수납부(41)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간에 대하여 선반 가로폭 방향으로 삽입 및 인출 가능하게 구성되어 있다. 또한, 탑재대(43)는, 중앙 수납부(42)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간을 상하 방향으로 통과할 수 있고, 또한 단부측 수납부(41)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간을 상하 방향으로 통과할 수 있도록 구성되어 있다.
중앙 수납부(42)와의 사이에서 물품(3)을 이송탑재할 때는, 제어 장치가, 도면 중 좌우 방향에서의 화살표에 의해 나타낸 바와 같이, 물품 지지체(14)를 퇴피 위치에 위치시키고, 또한 중앙 수납부(42)와 대향하는 대향 위치에 물품 지지체(14)를 위치시킨 상태에서, 선반 전후 방향에서 이동체(12)의 중앙 수납부(42)에 근접하는 측의 단부로 승강 안내 마스트(13)를 이동시키도록 승강 안내 마스트 구동 수단(26)의 작동을 제어한다. 이로써, 중앙 수납부(42)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간에 물품 지지체(14)의 지지부(31) 상에 설치한 탑재대를 삽입시켜, 물품 지지체(14)를 중앙 수납부(42)에 있어서의 돌출 위치에 위치시키도록 하고 있다. 그 후, 제어 장치가, 승강 안내 마스트(13)에 의해 안내하여 물품 지지체(14)를 설정 거리만큼 상승 또는 하강시키도록 승강 구동 수단(35)의 작동을 제어함으로써, 탑재대(43)를 중앙 수납부(42)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간을 상하 방향으로 통과시켜, 중앙 수납부(42)로부터 물품(3)을 들어올려 취하거나 또는 중앙 수납부(42)에 물품(3)을 언로드하도록 하고 있다.
단부측 수납부(41)와의 사이에서 물품(3)을 이송탑재할 때는, 제어 장치가, 물품 지지체(14)를 퇴피 위치에 위치시키고, 또한 중앙 수납부(42)와 대향하는 대향 위치에 물품 지지체(14)를 위치시키도록 물품 반송 장치(4)의 작동을 제어하면, 선반 전후 방향에서 단부측 수납부(41)와 동일 위치가 되는 단부측 동일 위치에 물품 지지체(14)를 위치시키게 된다. 그리고, 제어 장치가, 도면 중 상하 방향에서의 화살표에 의해 나타낸 바와 같이, 단부측 동일 위치에 물품 지지체(14)를 위치시킨 상태에서, 이동체(12)를 선반 가로폭 방향으로 이동시키도록 이동체 구동 수단(18)의 작동을 제어한다. 이로써, 단부측 수납부(41)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간에 물품 지지체(14)의 지지부(31) 상에 설치한 탑재대를 삽입시켜, 물품 지지체(14)를 단부측 수납부(41)에 있어서의 돌출 위치에 위치시키도록 하고 있다. 그리고, 제어 장치가, 승강 안내 마스트(13)에 의해 안내하여 물품 지지체(14)를 설정 거리만큼 상승 또는 하강시키도록 승강 구동 수단(35)의 작동을 제어함으로써, 탑재대(43)를 단부측 수납부(41)에 있어서의 탑재 지지부(7)의 중공 공간을 상하 방향으로 통과시켜, 단부측 수납부(41)으로부터 물품(3)을 들어올리거나 또는 단부측 수납부(41)에 물품(3)을 언로드하도록 하고 있다.
〔다른 실시예〕
(1) 상기 실시예에 있어서, 천정측에 설치된 선반 가로폭 방향을 따른 선반 가로폭 이동 레일을 따라 이동체를 이동 가능하게 설치하고, 그 이동체에 구비된 선반 전후 방향을 따른 선반 전후 이동 레일을 따라 이동 가능하게 승강 안내 마스트를 설치할 수도 있다.
(2) 상기 실시예에서는, 천정 반송 장치(10)를 설치한 물품 반송 설비에, 본 발명에 관한 물품 수납 설비를 적용하여, 천정 반송 장치(10)에 의해 반송하는 물품(3)을 일시 보관하도록 하고 있지만, 천정 반송 장치(10)를 설치한 물품 반송 설비에 한정되지 않고, 그 외에 각종 물품 반송 설비에 적용할 수 있다.
(3) 상기 실시예에서는, 물품(3)을, 반도체 기판을 수납한 용기로 하고 있지만, 그 외의 물품으로 할 수도 있다.
[산업상의 이용 가능성]
본 발명은, 상하 방향 및 좌우 방향으로 수납부를 복수 개 구비한 물품 수납 선반과, 그 물품 수납 선반에 있어서의 각각의 수납부에 물품을 반송할 수 있는 물품 반송 장치가 설치되어 있는 물품 수납 설비에 바람직하게 이용할 수 있다.

Claims (5)

  1. 상하 방향 및 좌우 방향으로 수납부를 복수 개 구비한 물품 수납 선반과,
    상기 물품 수납 선반에 있어서의 각각의 수납부에 물품을 반송(搬送) 가능한 물품 반송 장치가 설치되어 있는 물품 수납 설비로서,
    상기 물품 반송 장치는, 상기 물품 수납 선반의 선반 가로폭 방향으로 이동 가능한 이동체(移動體)와, 상기 이동체에 대하여 상기 물품 수납 선반의 선반 전후 방향으로 이동 가능한 승강 안내 마스트(mast)와, 상기 선반 전후 방향에서의 상기 승강 안내 마스트의 이동에 따라 상기 수납부에 대한 물품 이송탑재용 돌출 위치와 상기 수납부로부터 퇴피(退避)하는 퇴피 위치로 이동 가능하고 또한 상기 승강 안내 마스트에 의해 승강 가능하게 안내 지지된 물품 지지체로 구성되고,
    상기 승강 안내 마스트는, 상기 선반 전후 방향으로 이동 가능하게 상기 이동체에 지지된 기대(基臺)의, 상기 선반 전후 방향에서의 상기 물품 수납 선반과는 반대측의 단부(端部)에 세워 설치되고,
    상기 기대를 상기 선반 전후 방향에서 상기 물품 수납 선반측으로 이동시켜 상기 물품 지지체를 상기 돌출 위치로 위치시킬 때에, 상기 선반 전후 방향에서의 상기 물품 수납 선반측의 상기 기대의 단부가, 상기 물품 수납 선반의 하부 공간으로 진입하도록 구성되어 있는,
    물품 수납 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 수납부는, 상기 선반 전후 방향의 동일 위치에서 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열되도록 설치되고,
    상기 물품 반송 장치는, 상기 선반 가로폭 방향에서의 상기 이동체의 이동에 따라 상기 선반 전후 방향에서 각각의 수납부와 대향하는 대향 위치로 상기 물품 지지체를 이동 가능하고, 또한 그 대향 위치에 상기 물품 지지체를 위치시킨 상태에서 상기 선반 전후 방향에서의 상기 승강 안내 마스트의 이동에 따라 각각의 수납부에 있어서의 상기 돌출 위치로 상기 물품 지지체를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있는, 물품 수납 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 수납부 중, 상기 선반 가로폭 방향의 단부측에 설치되고, 또한 상하 방향으로 복수 개 배열되도록 설치된 단부측 수납부는, 상기 선반 전후 방향에 있어서, 상기 선반 가로폭 방향의 중앙부에 설치되고 또한 상하 방향으로 복수 개 배열되도록 설치된 중앙 수납부보다 상기 승강 안내 마스트에 근접하는 측에 위치하도록 설치되고,
    상기 물품 반송 장치는, 상기 선반 전후 방향에서 상기 중앙 수납부에 대향하도록 상기 물품 지지체를 위치시킨 상태에서, 상기 선반 전후 방향에서의 상기 승강 안내 마스트의 이동에 따라 상기 중앙 수납부에 있어서의 상기 돌출 위치 및 상기 선반 전후 방향에서 상기 단부측 수납부와 동일 위치가 되는 단부측 동일 위치로 상기 물품 지지체를 이동 가능하고, 또한 상기 단부측 동일 위치에 상기 물품 지지체를 위치시킨 상태에서 상기 선반 가로폭 방향에서의 상기 이동체의 이동에 따라 상기 단부측 수납부에 있어서의 상기 돌출 위치로 상기 물품 지지체를 이동시킬 수 있도록 구성되어 있는, 물품 수납 설비.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 이동체는, 바닥부 측에 설치된 상기 선반 가로폭 방향을 따른 선반 가로폭 이동 레일을 따라 이동할 수 있도록 구성되며,
    상기 기대는, 상기 이동체에 구비된 상기 선반 전후 방향을 따른 선반 전후 이동 레일을 따라 이동할 수 있도록 구성되어 있는, 물품 수납 설비.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수 개의 수납부 중, 최상부에 배치된 수납부 중 일부는, 천정측의 이동 경로를 따라 이동 가능한 천정 반송 장치가 물품을 이송탑재 가능한 반출입용(搬出入用)의 수납부로서 구성되며,
    상기 물품 반송 장치는, 상기 천정 반송 장치로부터 상기 반출입용의 수납부에 이송탑재된 물품을 다른 수납부로 반송 가능하며, 또한 상기 반출입용의 수납부 이외의 수납부에 수납되어 있는 물품을 상기 반출입용의 수납부로 반송 가능하게 구성되어 있는, 물품 수납 설비.
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
CN102470985B (zh) * 2009-11-27 2015-07-22 株式会社大福 顶棚输送车
JP5800193B2 (ja) * 2011-11-07 2015-10-28 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP5545498B2 (ja) * 2011-12-21 2014-07-09 株式会社ダイフク 物品保管設備及び物品保管設備におけるメンテナンス方法
JP5733580B2 (ja) * 2012-11-13 2015-06-10 株式会社ダイフク 物品搬送装置及びそれを備えた物品収納設備
CN103318812B (zh) * 2013-07-09 2015-04-01 京东方科技集团股份有限公司 一种堆垛机用货叉组件及堆垛机、搬送卡匣的方法
CN105705440B (zh) * 2013-11-12 2019-09-10 株式会社大福 物品收纳设备
JP6275824B2 (ja) * 2014-03-20 2018-02-07 株式会社日立国際電気 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム
KR20190009371A (ko) * 2016-06-27 2019-01-28 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
US11684155B2 (en) 2017-01-27 2023-06-27 143046 Canada Inc. Pivotable overhead storage unit
WO2018137017A1 (en) 2017-01-27 2018-08-02 Eleaizer Gelber Overhead storage unit
FR3072371A1 (fr) * 2017-10-12 2019-04-19 Exotec Solutions Systeme de stockage et de transport d'objets entreposes dans des rayonnages d'un entrepot
CN107934329B (zh) * 2017-11-14 2020-08-11 深圳市招科智控科技有限公司 港口集装箱立体存放系统及方法
CN108001923A (zh) * 2017-12-27 2018-05-08 广州大学 一种物品自动存放装置
CN110615221B (zh) * 2019-09-19 2024-06-07 基点生物科技(成都)有限公司 一种样本架存储输送方法及循环系统
CA3156689A1 (en) 2019-10-04 2021-04-08 143046 Canada Inc. HIGH STORAGE UNIT WITH SWIVEL STORAGE CONTAINERS

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000159304A (ja) * 2000-01-01 2000-06-13 Advanced Display Inc カセットの搬送方法および該方法に用いる自動倉庫
JP2001171807A (ja) * 1999-12-22 2001-06-26 Tcm Corp サイドフォークリフトを用いた棚設備
US20060087927A1 (en) * 2004-10-25 2006-04-27 Fujitsu Limited Fault tolerant transport mechanism in storage and method of controlling the same

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5516884Y2 (ko) * 1975-10-09 1980-04-19
JPS5250487A (en) 1975-10-20 1977-04-22 Nakayama Seikosho:Kk Automatic control system using phenomenal configuration produced objec t of control as control deviation signal
JPH0224594Y2 (ko) * 1985-01-18 1990-07-05
JPS6260703A (ja) * 1985-09-09 1987-03-17 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 移載装置の出入装置
JP3067528B2 (ja) * 1994-06-20 2000-07-17 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP3669057B2 (ja) 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
JP3469789B2 (ja) * 1998-09-28 2003-11-25 三洋電機株式会社 自動販売機の商品搬出装置
JP3408162B2 (ja) * 1998-09-28 2003-05-19 三洋電機株式会社 自動販売機の商品搬出装置
JP2003054705A (ja) * 2001-08-07 2003-02-26 Nippon Yusoki Co Ltd 自動倉庫システム
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2005272053A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Daifuku Co Ltd 物品収納設備
US7670555B2 (en) * 2006-09-08 2010-03-02 Rex A. Hoover Parallel gripper for handling multiwell plate
JP4807579B2 (ja) * 2006-09-13 2011-11-02 株式会社ダイフク 基板収納設備及び基板処理設備
JP4363432B2 (ja) * 2006-09-21 2009-11-11 村田機械株式会社 移載装置
CN101139032B (zh) * 2007-10-17 2011-05-11 郑卫星 转向架立体存储库

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001171807A (ja) * 1999-12-22 2001-06-26 Tcm Corp サイドフォークリフトを用いた棚設備
JP2000159304A (ja) * 2000-01-01 2000-06-13 Advanced Display Inc カセットの搬送方法および該方法に用いる自動倉庫
US20060087927A1 (en) * 2004-10-25 2006-04-27 Fujitsu Limited Fault tolerant transport mechanism in storage and method of controlling the same

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