TWI441764B - 物品收納設備 - Google Patents

物品收納設備 Download PDF

Info

Publication number
TWI441764B
TWI441764B TW098101888A TW98101888A TWI441764B TW I441764 B TWI441764 B TW I441764B TW 098101888 A TW098101888 A TW 098101888A TW 98101888 A TW98101888 A TW 98101888A TW I441764 B TWI441764 B TW I441764B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
article
shed
storage
rear direction
moving
Prior art date
Application number
TW098101888A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200942468A (en
Inventor
Yoshitaka Inui
Original Assignee
Daifuku Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Kk filed Critical Daifuku Kk
Publication of TW200942468A publication Critical patent/TW200942468A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI441764B publication Critical patent/TWI441764B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • B65G1/1373—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed for fulfilling orders in warehouses
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

物品收納設備 發明領域
本發明係關於一種物品收納設備，其設置有於上下方向及左右方向具備複數之收納部之物品收納棚、及將物品搬送自如於該物品收納棚中之各收納部之物品搬送裝置。
 發明背景
上述之物品收納設備，例如係於設有沿經由複數之工作站之天花板側移動路徑移動自如之天花板搬送裝置的物品搬送設備中，用於將藉由天花板搬送裝置搬送至工作站之物品暫時保管。於此，物品例如係收納複數之半導體基板之容器，工作站係分別對應於對半導體基板進行特定處理之複數之物品處理部地配設於地板部側，天花板搬送裝置係構造成藉由使以垂吊狀態把持自如物品之把持部升降，而於與工作站之間移載物品。
然後，於物品收納設備中，於物品收納棚中位於最上部之收納部係作為天花板搬送裝置將物品移載自如之搬出入用收納部而構成，物品搬送裝置於搬出入用收納部及其以外之收納部之間搬送物品。
於先前之物品收納設備中，於物品收納棚中配設有複 數之收納部，該複數之收納部係於棚前後方向之同一位置並列於上下方向及左右方向，物品搬送裝置則由於物品收納棚之棚橫寬方向移動自如之移動體、升降自如地被導引支撐於豎立設置在移動體之升降導桿的升降體、及裝備於升降體之物品支撐體。然後，物品支撐體於物品收納棚之棚前後方向上，可出退自如於對收納部之物品移載用突出位置及自收納部退縮之退縮位置地被支撐於升降體(例如參照專利文獻1)。
於此先前之物品收納設備中，物品搬送裝置在複數之收納部中之移載對象之收納部之間移載物品時，藉由使移動體於棚橫寬方向移動且使升降體沿升降導桿升降，使物品支撐體移動至與成為移載對象之收納部相對之位置後，物品支撐體自退縮位置沿棚前後方向突出移動至突出位置，藉此移載移載對象之物品。
[專利文獻1]日本特開平9-315521號公報
 發明揭示
上述先前之物品收納設備中，物品支撐體因為於棚前後方向上，可移動自如於退縮位置與突出位置地被支撐於升降體，故需要用以藉由升降體將物品支撐體於棚前後方向移動自如地支撐之構造。例如，物品支撐體藉由升降體所具備之沿棚前後方向之導軌而移動自如地被支撐，一面限制上下方向及左右方向之移動，一面使物品支撐體於棚前後方向突出退縮。藉此，物品支撐體位於突出位置時，於棚前後方向上並非物品支撐體之全體由升降體突出，而係於棚前後方向上物品支撐體之一部分與升降體重疊，該重疊之物品支撐體之一部分由升降體所具備之導軌支撐。因此，於物品支撐體中必須具備用以支撐物品之支撐構造，及與該支撐構造不同的由導軌等支撐之部分，成為於棚前後方向上長度較長者。
作為上述物品支撐體，於上述專利文獻1所記載之物品收納設備中，例示有具備把特物品之夾持機構者，但並未揭示用以藉由升降體將物品支撐體於棚前後方向移動自如地支撐之構造。因此，例如作為物品支撐體，因為有使用出退自如地被支撐於升降體之叉式物品支撐體之情形，故使用該叉式之物品支撐體，就於棚前後方向長度變長之點進行說明。
如第9圖所示，升降體100係升降自如地導引支撐於升降導桿101，物品支撐體102藉由升降體100所具備之導軌等，相對於升降體100於棚前後方向(圖中左右方向)出退自如於退縮位置(參照第9(a)圖)及突出位置(參照第9(b)圖)地設置。物品支撐體102於其突出方向之前端側具備載置支撐物品103之載置支撐部102a，但如第9(b)圖所示，物品支撐體102位於突出位置時，於棚前後方向(圖中左右方向)物品支撐體102之基端部分與升降體100重疊，該重疊之物品支撐體102之基端部分由升降體100之導軌等支撐。因此，於物品支撐體102，在棚前後方向上除載置支撐部102a外，必須另外具備升降體100之導軌等所支撐之被支撐部分102b，棚前後方向之長度變長。
因此，物品支撐體因為於棚前後方向之長度變長，故升降體亦棚前後方向之長度變長，其結果，物品收納設備全體於棚前後方向大型化。特別是，上述之具備天花板搬送裝置之物品搬送設備中，必須配設複數之物品處理部及複數之工作站，作為物品收納設備之設置空間要求較小之空間，難以對應此要求。
又，因物品支撐體於棚前後方向變長，則對物品支撐體朝下方側作用之力矩變大，故為使物品支撐體向下方側移動，需要例如將藉由升降導桿導引支撐升降體之部分之強度強固化等之構造，會使構造複雜化。例如，藉由將升降體中藉由升降導桿導引支撐之部分於上下方向變長，可使該部分之強度強固化，但必須具備此構造，會招致構造之複雜化，同時產生新的問題。即，將升降體中藉由升降導桿導引支撐之部分於上下方向變長，會使升降體於上下方向變大，而產生物品收納棚於上下方向大型化、藉由升降體可升降之範圍受限等問題。
本發明係著眼於上述問題而完成者，其目的在於提供一種物品收納設備，其可一面防止招致構造之複雜化，一面縮小棚前後方向之設置空間。
為達成上述目的，本發明之物品收納設備之第1特徵構成係在於設置有：物品收納棚，係於上下方向及左右方向具備複數之收納部；及物品搬送裝置，係將物品搬送自如於該物品收納棚中之各收納部；前述物品搬送裝置，係由於前述物品收納棚之棚橫寬方向移動自如之移動體、相對於該移動體於前述物品收納棚之棚前後方向移動自如之升降導桿、及藉由於前述棚前後方向之前述升降導桿之移動而移動自如於對前述收納部之物品移載用突出位置與自前述收納部退縮之退縮位置，且藉由前述升降導桿升降自如地被導引支撐之物品支撐體所構成。
即，物品搬送裝置係藉由棚橫寬方向之移動體之移動、物品支撐體之升降、棚前後方向之升降導桿之移動，於與收納部之間移載物品。藉此，物品支撐體為移載物品，因藉由於棚前後方向之升降導桿之移動而移動於棚前後方向，故於物品支撐體只要具備用於支撐物品之支撐構造即可，可圖謀棚前後方向之緊緻化。然後，藉由使物品支撐體於棚前後方向緊緻，可減少對物品支撐體朝下方側作用之力矩。因此，為使物品支撐體向下方側移動，例如不需要將藉由升降導桿導引支撐升降體之部分之強度強固化等之構造，可防止招致構造之複雜化。
如上所述，可實現可一面防止招致構造之複雜化，一面縮小棚前後方向之設置空間之物品收納設備。
本發明之物品收納設備之第2特徵構成係在於，前述複數之收納部係於前述棚前後方向之同一位置，以並列於上下方向及左右方向之方式配設，前述物品搬送裝置係構造成，藉由前述棚橫寬方向之前述移動體之移動，使前述物品支撐體移動自如於前述棚前後方向上與各收納部相對之相對位置，且於使前述物品支撐體位於該相對位置之狀態下，藉由前述棚前後方向之前述升降導桿之移動，使前述物品支撐體移動自如於各收納部之前述突出位置。
即，作為物品收納棚，只要單純地於棚前後方向之同一位置將收納部以並列於上下方向及左右方向之方式配設即可，可圖謀構造之簡化。物品搬送裝置則藉由棚橫寬方向之移動體之移動，使物品支撐體移動至各收納部之相對位置，且於使物品支撐體位於該相對位置之狀態下，僅使升降導桿於棚前後方向移動，可使物品支撐體移動至各收納部之突出位置後移載物品。藉此，可一面使物品搬送裝置之動作單純化，且於與各收納部之間移載物品。
本發明之物品收納設備之第3特徵構成係在於，前述複數之收納部中配設於前述棚橫寬方向之端部側且複數並列於上下方向地配設之端部側收納部，係配設成於前述棚前後方向上位於比中央收納部接近前述升降導桿之側，前述中央收納部係配設於前述棚橫寬方向之中央部，且複數並列於上下方向地配設；前述物品搬送裝置係構造成，使前述物品支撐體位於在前述棚前後方向與前述中央收納部相對之狀態下，藉由前述棚前後方向之前述升降導桿之移動，使前述物品支撐體移動自如於前述中央收納部之前述突出位置、及於前述棚前後方向與前述端部側收納部同一位置之端部側同一位置，且於使前述物品支撐體位於前述端部側同一位置之狀態下，藉由前述棚橫寬方向之前述移動體之移動使前述物品支撐體移動自如於前述端部側收納部之前述突出位置。
即，中央收納部與端部側收納部，可配設於棚前後方向不同之位置，且端部側收納部可於與中央收納部鄰接之狀態配設於接近升降導桿之側。藉此，於棚橫寬方向可使中央收納部之兩側成為空閒之空間。因此，可將該空閒之空間活用於其他用途。
例如，於設有天花板搬送裝置之物品搬送設備中，在使天花板搬送裝置移動之移動路徑彎曲般配設之位置，可利用該空閒之空間，一面於水平方向不與移動路徑重複，一面將物品收納設備以極力接近於移動路徑之狀態配設。因此，在移動路徑彎曲地配設之位置，可縮小為設置物品收納設備所必要之空間。其結果，可將藉由物品收納設備之省空間化所產生之空間作為其他裝置之設置空間加以活用。
物品搬送裝置可於使物品支撐體位於在棚前後方向與中央收納部相對之狀態下，藉由棚前後方向之升降導桿之移動使物品支撐體移動至中央收納部之突出位置，於與中央收納部之間移載物品。然後，物品搬送裝置，例如於使物品支撐體位於在棚前後方向與中央收納部相對之狀態下，藉由使物品支撐體位於中央收納部之退縮位置，使物品支撐體位於端部側同一位置。因此，物品搬送裝置可於使物品支撐體位於端部側同一位置之狀態下，藉由使移動體於棚橫寬方向移動，使物品支撐體移動至端部側收納部之突出位置，於與端部側收納部之間移載物品。其結果，物品搬送裝置可對中央收納部及端部側收納部兩方正確地移載物品。
本發明之物品收納設備之第4特徵構成係在於，前述移動體係構造成沿設置於地板部側之沿前述棚橫寬方向之棚橫寬移動軌道移動自如，前述升降導桿係構造成沿前述移動體所具備之沿前述棚前後方向之棚前後移動軌道移動自如。
即，為使移動體於棚橫寬方向移動，只要單純地於地板部側配設棚橫寬移動軌道即可，可圖謀構造之簡化。而且，升降導桿只要沿移動體所具備之棚前後移動軌道移動自如地設置即可，可使用以將升降導桿於棚前後方向移動自如地設置之構造亦簡化。
本發明之物品收納設備之第5特徵構成係在於，前述複數之收納部中配置於最上部之收納部之一部分，係構成作為沿天花板側之移動路徑移動自如之天花板搬送裝置將物品移載自如的搬出入用收納部，前述物品搬送裝置係構造成，將自前述天花板搬送裝置移載至前述搬出入用收納部之物品搬送自如於其他收納部，且將收納於前述搬出入用收納部以外之收納部之物品搬送自如於前述搬出入用收納部。
即，於具備天花板搬送裝置之物品搬送設備中，為暫時保管由天花板搬送裝置搬送之物品而使用物品收納設備時，可將最上部之收納部之一部分作為用以於與天花板搬送裝置之間移載物品之搬出入用收納部，可不與物品收納棚獨立地另外設置搬出入部，圖謀構造之簡化。
然後，物品搬送裝置係可將移載至搬出入用收納部之物品搬送至其他收納部，或者將收納於搬出入用收納部以外之收納部之物品搬送至搬出入用收納部，可一面確實地進行搬出入用收納部與天花板搬送裝置之間的物品移載，一面保管由天花板搬送裝置所搬送之物品。
圖式簡單說明
第1圖係物品收納設備之側面圖。
第2圖係物品收納設備之側面圖。
第3圖係物品收納設備之平面圖。
第4圖係物品收納設備之棚橫寬方向視之要部放大圖。
第5圖係物品收納設備之要部放大平面圖。
第6圖係物品收納設備之要部放大平面圖。
第7圖係物品收納設備之棚前後寬方向視之要部放大圖。
第8圖係第2實施形態中之物品收納設備之平面圖。
第9(a)-(b)圖係顯示先前之物品收納設備中之升降體及物品支撐體之圖。
 用以實施發明之最佳形態
基於圖式說明本發明之物品收納設備之實施形態。
[第1實施形態]
該物品收納設備如第1圖~第3圖所示，構造成其周圍被包圍之箱狀，設有於上下方向及左右方向具備複數之收納部1之物品收納棚2、及將物品3搬送自如於該物品收納棚2中之各收納部1之物品搬送裝置4。於此，物品3例如由收納複數之半導體基板之容器構成。
以下，基於第1圖~第7圖進行說明。
物品收納棚2具備：前後一對之側部框5，係於棚前後方向(第3圖中左右方向)隔著間隔設置；連結框6，係連結前後一對之側部框5中後部側之側部框5a彼此之間；及載置支撐部7，係自連結框6向棚前後方向之前方側延伸地設置。
連結框6於上下方向隔著一定間隔設置複數個(例如7個)，載置支撐部7於水平方向並列地設置複數個(例如3個)。載置支撐部7於平面視中形成為字形，以棚橫寬方向(第3圖中上下方向)之中央部成為中空空間之方式構成。
收納部1係構造成以載置支撐部7載置支撐物品3之狀態收納物品3。複數之收納部1於棚前後方向之同一位置並列於上下方向及左右方向地配設。於載置支撐部7設有3個定位銷8，且構造成藉由將定位銷8嵌合於物品3底部所具備之孔部，而使收納部1以定位物品3之狀態進行收納。
複數之收納部1中配置於最上部之收納部1之一部分，作為沿天花板側之移動軌道9(相當於移動路徑)移動自如的天花板搬送裝置10將物品3移載自如之搬出入用收納部1a而構成。即，物品收納棚2之最上部之收納部1a未設有遮蔽其上部之構件等，其上部開放。天花板搬送裝置10具備將物品3以垂吊狀態把持自如之把持部11。然後，天花板搬送裝置10構造成於停止於移動軌道9中對應於搬出入用收納部1a之停止位置(相當於搬出入用收納部1a之上部之位置)之狀態下，藉由使把持部11升降而於與搬出入用收納部1a之間移載物品3。藉此，該物品收納設備構成為將由天花板搬送裝置10搬送之物品3暫時由物品收納棚2保管。
物品搬送裝置4，係由於物品收納棚2之棚橫寬方向移動自如之移動體12、相對於該移動體12於物品收納棚2之棚前後方向移動自如之升降導桿13、及藉由於棚前後方向之升降導桿13之移動而移動自如於對收納部1之物品移載用突出位置(參照第2圖)與自收納部1退縮之退縮位置(參照第1圖)，且藉由升降導桿13升降自如地被導引支撐之物品支撐體14所構成。
移動體12形成為於平面視中棚橫寬方向較短且棚前後方向較長之矩形(參照第3圖、第5圖及第6圖)，且構造成沿設置於地板部側之沿棚橫寬方向之棚橫寬移動軌道15移動自如。棚橫寬移動軌道15構造成將於棚前後方向上移動體12之接近於物品收納棚2之部分於棚橫寬方向移動自如地支撐。又，於棚前後方向上移動體12之遠離物品收納棚2之側之端部，設有繞水平軸心旋轉自如之移動用導輥16，且沿棚橫寬方向設有導引該移動用導輥16之移動導引部17。
如第4圖及第7圖所示，移動用導輥16設有抵接於移動導引部17之上面部之第1移動用導輥16a、抵接於移動導引17之側面部之第2移動用導輥16b、及抵接於移動導引部17之下面部之第3移動用導輥16c之三種。藉此，將移動導引部17利用移動用導輥16由上下方向夾住，且藉由移動導引部17之側面部與移動用導輥16之抵接及棚橫寬移動軌道15之導引，可一面限制上下方向及棚前後方向之移動，一面使移動體12於棚橫寬方向移動。
用以使移動體12於棚橫寬方向移動之移動體驅動機構18係設置於物品收納棚2之下部空間。如第4圖及第5圖所示，移動體驅動機構18係由無端狀之移動體驅動用皮帶21及移動體驅動馬達22構成，該無端狀之移動體驅動用皮帶21係卷繞於配設在棚橫寬方向之一端部之移動體驅動旋轉體19與配設在棚橫寬方向之另一端部之移動體從動旋轉體20，該移動體驅動馬達22係使移動體驅動旋轉體19旋轉驅動。移動體12其棚前後方向上之接近於物品收納棚2之側之端部藉由移動體連結部23連結於移動體驅動用皮帶21。移動體驅動機構18構造成藉由移動體驅動馬達22使移動體驅動旋轉體19旋轉驅動，使移動體驅動用皮帶21移動操作，藉此使移動體12於棚橫寬方向移動。
升降導桿13豎立設置於基台24上，該基台24係於棚橫寬方向上跨移動體12全長地形成為矩形，基台24藉由移動體12所具備之沿棚前後方向之棚前後移動軌道25於棚前後方向移動自如地被支撐。棚前後移動軌道25於棚橫寬方向隔著間隔設置一對，且構造成將棚橫寬方向之基台24之一端部及另一端部分別移動自如地支撐。
為使升降導桿13於棚前後方向移動，設有升降導桿驅 動機構26。如第4圖及第6圖所示，升降導桿驅動機構26由沿棚前後方向配設於移動體12之齒條部27、於卡合於該齒條部27之狀態旋轉自如的小齒輪28、及使小齒輪28旋轉驅動之升降導桿驅動馬達29。升降導桿驅動機構26構造成藉由升降導桿驅動馬達29使小齒輪28旋轉驅動，藉此使升降導桿13於棚前後方向移動。
物品支撐體14由藉由升降導桿13升降自如地導引之導引部30、及自該導引部30水平方向地延伸而設置，用以載置支撐物品3之板狀之支撐部31所構成。物品支撐體14因為藉由棚前後方向之升降導桿13之移動而移動於棚前後方向，故作為支撐部31只要具有於棚前後方向可載置支撐物品3之長度即可，可極力縮短支撐部31之長度。因此，可縮短棚前後方向之物品支撐體14之長度，可圖謀棚前後方向上物品收納設備之緊緻化。
導引部30設有抵接且被導引於升降導桿13之導引部32之繞水平軸心旋轉自如的升降導輥33。如第3圖及第5圖所示，導引部32於棚橫寬方向隔著間隔設置一對，且設置成升降導輥33分別抵接於一對導引部32。升降導輥33由第1升降導輥33a及第2升降導輥33b之二種構成，該第1升降導輥33a係以於棚前後方向將導引部32由兩側夾住之狀態設置，限制棚前後方向之物品支撐體14之移動，該第2升降導輥33b係於棚橫寬方向抵接於導引部32，限制棚橫寬方向之物品支撐體14之移動。支撐部31於棚橫寬方向構造成窄寬，以便於突出位置可於上下方向通過收納部1中之載置支撐部7之中空空間。又，於支撐部31設有二個定位銷34，且支撐部31構造成藉由使該定位銷34嵌合於物品3底部所具備之孔部，而以定位物品3之狀態進行載置支撐。
為使物品支撐體14升降，於升降導桿13設有升降驅動機構35。如第1圖、第2圖及第4圖所示，升降驅動機構35係由無端狀之升降驅動用皮帶38及升降驅動馬達39構成，該無端狀之升降驅動用皮帶38係卷繞於配設在升降導桿13之下端部之升降驅動旋轉體36與配設在升降導桿13之上端部之升降從動旋轉體37，該升降驅動馬達39係使升降驅動旋轉體36旋轉驅動。於升降驅動用皮帶38之中途部分連結有物品支撐體14中之導引部30，升降驅動機構35係構造成藉由升降驅動馬達39使升降驅動旋轉體36旋轉驅動，使升降驅動用皮帶38移動操作，藉此使物品支撐體14升降。
物品搬送裝置4係構造成，藉由棚橫寬方向之移動體12之移動，使物品支撐體14移動自如於棚前後方向上與各收納部1相對之相對位置，且於使物品支撐體14位於該相對位置之狀態下，藉由棚前後方向之升降導桿13之移動，使物品支撐體14移動自如於各收納部1之突出位置。
如第1圖及第3圖所示，物品搬送裝置4構造成藉由使升降導桿13位於棚前後方向上移動體12之遠離收納部1之側之端部，使物品支撐體14位於退縮位置。於第3圖中如棚橫寬方向(圖中上下方向)之箭頭所示，物品搬送裝置4於使物品支撐體14位於退縮位置之狀態下藉由使移動體12於棚橫寬方向移動，可不使物品支撐體14與收納部1干擾地使物品支撐體14於棚橫寬方向移動。藉此，物品搬送裝置4構造成於使物品支撐體14位於退縮位置之狀態下藉由使移動體12於棚橫寬方向移動，可使物品支撐體14移動自如於與各收納部1相對之相對位置。如第2圖及第3圖所示，物品搬送裝置4如第3圖中棚前後方向(圖中左右方向)之箭頭所示，於使物品支撐體14位於相對於某收納部1之相對位置之狀態下，藉由使升降導桿13移動至棚前後方向上移動體12之接近於收納部1之側之端部，可使物品支撐體14移動自如於該收納部1之突出位置地構成。
雖省略圖式，但設有控制物品搬送裝置4之作動之控制裝置，該控制裝置係構造成控制物品搬送裝置4之作動，以便取出收納於取出對象之收納部1之物品3，並將該取出之物品3收納於收納對象之收納部1。
控制裝置為於物品支撐體14位於退縮位置之狀態使物品支撐體14移動至與取出對象之收納部1相對之相對位置，係控制移動體驅動機構18之作動及升降驅動機構35之作動，以便使移動體12於棚橫寬方向移動且藉由升降導桿13導引，使物品支撐體14升降。於此，關於對應於各收納部1之相對位置，控制裝置係預先記憶。又，雖省略圖式，但設置有檢測物品支撐體14於棚橫寬方向位於哪個位置之棚橫寬方向位置檢測機構、及檢測物品支撐體14於上下方向位於哪個位置之上下位置檢測機構，控制裝置構造成根據棚橫寬方向位置檢測機構之檢測資訊，控制移動體驅動機構18之作動，相對於相對位置使物品支撐體14移動至於棚橫寬方向上相同位置，且根據上下位置檢測機構之檢測資訊，控制升降驅動機構35之作動，相對於相對位置使物品支撐體14移動至於上下方向上相同位置。又，關於棚橫寬方向位置檢測機構，可適用藉由將測距用雷射光向目標物投光、接收該反射光，而檢測出至目標物之距離之測距感測器等。
控制裝置係於使物品支撐體14位於與取出對象之收納部1相對之相對位置之狀態下，控制升降導桿驅動機構26，使升降導桿13移動至於棚前後方向上移動體12之接近於收納部1之側之端部。藉此，使物品支撐體14之支撐部31插入收納部1中之載置支撐部7之中空空間，使物品支撐體14位於突出位置。然後，控制裝置控制升降驅動機構35之作動，藉由升降導桿13導引，使物品支撐體14上升設定距離。因此，於藉由物品支撐體14之支撐部31載置支撐物品3之狀態，自收納部1拿取物品3。之後，控制裝置控制升降導桿驅動機構26之作動，使升降導桿13移動至於棚前後方向上移動體12之遠離收納部1之側之端部。
控制裝置為於載置支撐有物品3之物品支撐體14位於退縮位置之狀態使物品支撐體14移動至與收納對象之收納部1相對之相對位置，係控制移動體驅動機構18之作動及升降驅動機構35之作動，以便使移動體12於棚橫寬方向移動且藉由升降導桿13導引，使物品支撐體14升降。然後，與自收納部1拿取物品3時相同，控制裝置使升降導桿驅動機構26作動，使升降導桿13移動至於棚前後方向上移動體12之接近於收納部1之側之端部後，與自收納部1拿取物品3時相反地，控制升降驅動機構35之作動，藉由升降導桿13導引，使物品支撐體14下降設定距離。藉此，自物品支撐體14將物品3卸下至收納部1。
物品搬送裝置4係構造成，將自天花板搬送裝置10移載至搬出入用收納部1a之物品3搬送自如於其他收納部1，且將收納於搬出入用收納部1a以外之收納部1之物品3搬送自如於搬出入用收納部1a。即，自天花板搬送裝置10搬入物品3至搬出入用收納部1a時，控制裝置構造成為將該搬入用收納部1a收納於未收納物品3之其他收納部1，而控制物品搬送裝置4之作動。又，藉由天花板搬送裝置3搬送收納於收納部1之物品3時，控制裝置構造成為將收納於收納部1之物品3收納於搬出入用收納部1a，而控制物品搬送裝置4之作動。
[第2實施形態]
此第2實施形態係於上述第1實施形態中物品收納棚2中之收納部1之配置構造不同之另一實施形態。
如第8圖所示，於物品收納棚2中，複數之收納部40中配設於棚橫寬方向(圖中上下方向)之端部側之端部側收納部41，係配設成於棚前後方向上，位於比配設於棚橫寬方向之中央部之中央收納部42接近升降導桿13之側。即，於棚前後方向(圖中左右方向)，中央收納部42與端部側收納部41配設於不同位置，且端部側收納部41以與中央收納部42鄰接之狀態配設於接近升降導桿13之側。然後，對於中央收納部42，以物品3之出入方向為棚前後方向，對於端部側收納部41，以物品3之出入方向為棚橫寬方向。
藉此，於棚橫寬方向上可使中央收納部41之兩側成為空閒之空間。因此，在使天花板搬送裝置10移動之移動軌道9彎曲般配設之位置，可利用該空閒之空間，將物品收納設備以極力接近於移動軌道9之狀態配設。即，以不妨礙天花板搬送裝置3之移動之方式，於水平方向不與移動軌道9重複之位置配設物品收納設備時，可配合彎曲之移動軌道9，極力接近地配設物品收納設備。因此，在移動軌道9彎曲地配設之位置，可縮小為設置物品收納設備所必要之空間。其結果，可將藉由物品收納設備之省空間化所產生之空間作為物品處理部之設置空間加以活用，可圖謀空間之有效活用。
物品搬送裝置4構造成可於使物品支撐體14位於在棚前後方向與中央收納部42相對之狀態下，藉由棚前後方向之升降導桿13之移動使物品支撐體14移動自如於中央收納部42之突出位置及棚前後方向上與端部側收納部41成為同一位置之端部側同一位置，且於使物品支撐體14位於端部側同一位置之狀態下，藉由棚橫寬方向之移動體12之移動，使物品支撐體14移動自如至端部側收納部41之突出位置。
關於物品支撐體14之支撐部31，成為與上述第1實施形態不同之構造。例如，於支撐部31上設置於棚橫寬方向及棚前後方向之兩方窄寬之載置台43，且藉由該載置台43載置支撐物品3地構成。然後，載置台43具有對應於使物品支撐體14位於對端部側收納部41及中央收納部42之突出位置、使之升降時之設定距離的高度。
藉此，載置台43對中央收納部42中之載置支撐部7之中空空間於棚前後方向插脫自如，且對端部側收納部41中之載置支撐部7之中空空間於棚橫寬方向插脫自如地構成。進而，載置台43可於上下方向通過中央收納部42中之載置支撐部7之中空空間，且於上下方向通過端部側收納部41中之載置支撐部7之中空空間地構成。
於與中央收納部42之間移載物品3時，控制裝置如圖中左右方向之箭頭所示，於使物品支撐體14位於退縮位置且使物品支撐體14位於與中央收納部42相對之相對位置之狀態下，控制升降導桿驅動機構26之作動，使升降導桿13移動至於棚前後方向移動體12之接近中央收納部42之側之端部。藉此，讓設於物品支撐體14之支撐部31上之載置台插入中央收納部42中之載置支撐部7之中空空間，使物品支撐體14位於中央收納部42之突出位置。然後，控制裝置藉由控制升降驅動機構35之作動，由升降導桿13導引使物品支撐體14上升或下降設定距離，而使載置台43於上下方向通過中央收納部42中之載置支撐部7之中空空間，自中央收納部42拿取物品3或於中央收納部42卸下物品3。
於與端部側收納部41之間移載物品3時，控制裝置控制物品搬送裝置4之作動，使物品支撐體14位於退縮位置且使物品支撐體14位於與中央收納部42相對之相對位置，則使物品支撐體14位於在棚前後方向上與端部側收納部41同一位置之端部側同一位置。然後，控制裝置如圖中上下方向之箭頭所示，於使物品支撐體14位於端部側同一位置之狀態下，控制移動體驅動機構18之作動，以使移動體12於棚橫寬方向移動。藉此，讓設於物品支撐體14之支撐部31上之載置台插入端部側收納部41中之載置支撐部7之中空空間，使物品支撐體14位於端部側收納部41之突出位置。然後，控制裝置藉由控制升降驅動機構35之作動，由升降導桿13導引使物品支撐體14上升或下降設定距離，而使載置台43於上下方向通過端部側收納部41中之載置支撐部7之中空空間，自端部側收納部41拿取物品3或於端部側收納部41卸下物品3。
[其他實施形態]
(1)於上述實施形態中，沿設於天花板側之沿棚橫寬方向之棚橫寬移動軌道移動自如地設置移動體，亦沿該移動體所具備之沿棚前後方向之棚前後移動軌道移動自如地設置升降導桿。
(2)於上述實施形態中，於設有天花板搬送裝置10之物品搬送設備中適用本發明之物品收納設備，暫時保管由天花板搬送裝置10所搬送之物品3，但可不限於設有天花板搬送裝置10之物品搬送設備，而適用於其他各種的物品搬送設備。
(3)於上述實施形態中，將物品3作為收納半導體基板之容器，但亦可作為其他物品。
 產業之可利用性
本發明可適用於一種物品收納設備，其設置有於上下方向及左右方向具備複數之收納部之物品收納棚、及將物品搬送自如於該物品收納棚中之各收納部之物品搬送裝置。
1．．．收納部
1a．．．搬出入用收納部
2．．．物品收納棚
3．．．物品
4．．．物品搬送裝置
5．．．側部框
5a．．．後部側之側部框
6．．．連結框
7．．．載置支撐部
8．．．定位銷
9．．．移動軌道
10．．．天花板搬送裝置
11．．．把持部
12．．．移動體
13．．．升降導桿
14．．．物品支撐體
15．．．棚橫寬移動軌道
16．．．移動用導輥
16a．．．第1移動用導輥
16b．．．第2移動用導輥
16c．．．第3移動用導輥
17．．．移動導引部
18．．．移動體驅動機構
19．．．移動體驅動旋轉體
20．．．移動體從動旋轉體
21．．．移動體驅動用皮帶
22．．．移動體驅動馬達
23．．．移動體連結部
24．．．基台
25．．．棚前後移動軌道
26．．．升降導桿驅動機構
27．．．齒條部
28．．．小齒輪
29．．．升降導桿驅動馬達
30．．．物品支撐體之導引部
31．．．支撐部
32．．．升降導桿之導引部
33．．．升降導輥
33a．．．第1升降導輥
33b．．．第2升降導輥
34．．．定位銷
35．．．升降驅動機構
36．．．升降驅動旋轉體
37．．．升降從動旋轉體
38．．．升降驅動用皮帶
39．．．升降驅動馬達
40．．．收納部
41．．．端部側收納部
42．．．中央收納部
43．．．載置台
100．．．升降體
101．．．升降導桿
102．．．物品支撐體
102a．．．載置支撐部
102b．．．被支撐部分
103．．．物品
第1圖係物品收納設備之側面圖。
第2圖係物品收納設備之側面圖。
第3圖係物品收納設備之平面圖。
第4圖係物品收納設備之棚橫寬方向視之要部放大圖。
第5圖係物品收納設備之要部放大平面圖。
第6圖係物品收納設備之要部放大平面圖。
第7圖係物品收納設備之棚前後寬方向視之要部放大圖。
第8圖係第2實施形態中之物品收納設備之平面圖。
第9(a)-(b)圖係顯示先前之物品收納設備中之升降體及物品支撐體之圖。
1．．．收納部
1a．．．搬出入用收納部
2．．．物品收納棚
3．．．物品
4．．．物品搬送裝置
5．．．側部框
5a．．．後部側之側部框
6．．．連結框
7．．．載置支撐部
9．．．移動軌道
10．．．天花板搬送裝置
11．．．把持部
12．．．移動體
13．．．升降導桿
14．．．物品支撐體
15．．．棚橫寬移動軌道
16．．．移動用導輥
16a．．．第1移動用導輥
17．．．移動導引部
18．．．移動體驅動機構
19．．．移動體驅動旋轉體
22．．．移動體驅動馬達
26．．．升降導桿驅動機構
28．．．小齒輪
30．．．物品支撐體之導引部
31．．．支撐部
35．．．升降驅動機構
36．．．升降驅動旋轉體
37．．．升降從動旋轉體
38．．．升降驅動用皮帶

Claims (5)

  1. 一種物品收納設備，其設置有：物品收納棚，是於上下方向及左右方向具備複數個收納部；及物品搬送裝置，是將物品搬送自如於該物品收納棚中之各收納部；前述物品搬送裝置，是由於前述物品收納棚之棚橫寬方向移動自如之移動體、相對於該移動體於前述物品收納棚之棚前後方向移動自如之升降導桿、及藉由前述升降導桿於前述棚前後方向之移動，而移動自如於對前述收納部之物品移載用突出位置與自前述收納部退縮之退縮位置，且藉由前述升降導桿升降自如地被導引支撐之物品支撐體所構成，前述升降導桿豎立設置於基台之前述棚前後方向中與前述物品收納棚為相反側的端部，該基台是於前述棚前後方向移動自如地支撐於前述移動體，且構成為當使前述基台朝前述棚前後方向之前述物品收納棚側移動，而使前述物品支撐體位於前述突出位置時，前述棚前後方向之前述物品收納棚側之前述基台之端部會進入前述物品收納棚之下部空間。
  2. 如申請專利範圍第1項之物品收納設備，其中前述複數個收納部是於前述棚前後方向之同一位置，以並列於上下方向及左右方向之方式配設；前述物品搬送裝置是構造成，藉由於前述棚橫寬方 向之前述移動體之移動，使前述物品支撐體移動自如於前述棚前後方向上與各收納部相對向之相對向位置，且於使前述物品支撐體位於該相對向位置之狀態下，藉由前述升降導桿於前述棚前後方向之移動，使前述物品支撐體移動自如於各收納部之前述突出位置。
  3. 一種物品收納設備，其設置有：物品收納棚，是於上下方向及左右方向具備複數個收納部；及物品搬送裝置，是將物品搬送自如於該物品收納棚中之各收納部；前述物品搬送裝置，是由於前述物品收納棚之棚橫寬方向移動自如之移動體、相對於該移動體於前述物品收納棚之棚前後方向移動自如之升降導桿、及藉由前述升降導桿於前述棚前後方向之移動，而移動自如於對前述收納部之物品移載用突出位置與自前述收納部退縮之退縮位置，且藉由前述升降導桿升降自如地被導引支撐之物品支撐體所構成，前述複數個收納部中配設於前述棚橫寬方向之端部側且複數個並列於上下方向地配設之端部側收納部，是配設成於前述棚前後方向上位於比中央收納部接近前述升降導桿之側，前述中央收納部是配設於前述棚橫寬方向之中央部，且複數個並列於上下方向地配設；前述物品搬送裝置構造成，使前述物品支撐體位於在前述棚前後方向與前述中央收納部相對向之狀態 下，藉由前述升降導桿於前述棚前後方向之移動，使前述物品支撐體移動自如於前述中央收納部之前述突出位置、及於前述棚前後方向與前述端部側收納部成為同一位置之端部側同一位置，且於使前述物品支撐體位於前述端部側同一位置之狀態下，藉由前述移動體於前述棚橫寬方向之移動，使前述物品支撐體移動自如於前述端部側收納部之前述突出位置。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項之物品收納設備，其中前述移動體構造成沿棚橫寬移動軌道移動自如，該棚橫寬移動軌道設置於地板部側且沿著前述棚橫寬方向；前述基台係構造成沿前述移動體所具備之沿著前述棚前後方向之棚前後移動軌道移動自如。
  5. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項之物品收納設備，其中前述複數個收納部中配置於最上部之收納部之一部分，是構成作為供沿天花板側之移動路徑移動自如之天花板搬送裝置將物品移載自如的搬出入用收納部；前述物品搬送裝置構造成，將自前述天花板搬送裝置移載至前述搬出入用收納部之物品搬送自如於其他收納部，且將收納於前述搬出入用收納部以外之收納部的物品搬送自如於前述搬出入用收納部。
TW098101888A 2008-04-11 2009-01-19 物品收納設備 TWI441764B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008103926A JP5234328B2 (ja) 2008-04-11 2008-04-11 物品収納設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200942468A TW200942468A (en) 2009-10-16
TWI441764B true TWI441764B (zh) 2014-06-21

Family

ID=41161752

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW098101888A TWI441764B (zh) 2008-04-11 2009-01-19 物品收納設備

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8814490B2 (zh)
EP (1) EP2277808B1 (zh)
JP (1) JP5234328B2 (zh)
KR (1) KR101350252B1 (zh)
CN (1) CN101998926B (zh)
SG (1) SG189765A1 (zh)
TW (1) TWI441764B (zh)
WO (1) WO2009125616A1 (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
CN102470985B (zh) * 2009-11-27 2015-07-22 株式会社大福 顶棚输送车
JP5800193B2 (ja) * 2011-11-07 2015-10-28 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP5545498B2 (ja) * 2011-12-21 2014-07-09 株式会社ダイフク 物品保管設備及び物品保管設備におけるメンテナンス方法
JP5733580B2 (ja) * 2012-11-13 2015-06-10 株式会社ダイフク 物品搬送装置及びそれを備えた物品収納設備
CN103318812B (zh) * 2013-07-09 2015-04-01 京东方科技集团股份有限公司 一种堆垛机用货叉组件及堆垛机、搬送卡匣的方法
CN105705440B (zh) * 2013-11-12 2019-09-10 株式会社大福 物品收纳设备
JP6275824B2 (ja) * 2014-03-20 2018-02-07 株式会社日立国際電気 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム
KR20190009371A (ko) * 2016-06-27 2019-01-28 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
US11684155B2 (en) 2017-01-27 2023-06-27 143046 Canada Inc. Pivotable overhead storage unit
WO2018137017A1 (en) 2017-01-27 2018-08-02 Eleaizer Gelber Overhead storage unit
FR3072371A1 (fr) * 2017-10-12 2019-04-19 Exotec Solutions Systeme de stockage et de transport d'objets entreposes dans des rayonnages d'un entrepot
CN107934329B (zh) * 2017-11-14 2020-08-11 深圳市招科智控科技有限公司 港口集装箱立体存放系统及方法
CN108001923A (zh) * 2017-12-27 2018-05-08 广州大学 一种物品自动存放装置
CN110615221B (zh) * 2019-09-19 2024-06-07 基点生物科技(成都)有限公司 一种样本架存储输送方法及循环系统
CA3156689A1 (en) 2019-10-04 2021-04-08 143046 Canada Inc. HIGH STORAGE UNIT WITH SWIVEL STORAGE CONTAINERS

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5516884Y2 (zh) * 1975-10-09 1980-04-19
JPS5250487A (en) 1975-10-20 1977-04-22 Nakayama Seikosho:Kk Automatic control system using phenomenal configuration produced objec t of control as control deviation signal
JPH0224594Y2 (zh) * 1985-01-18 1990-07-05
JPS6260703A (ja) * 1985-09-09 1987-03-17 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 移載装置の出入装置
JP3067528B2 (ja) * 1994-06-20 2000-07-17 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP3669057B2 (ja) 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
JP3469789B2 (ja) * 1998-09-28 2003-11-25 三洋電機株式会社 自動販売機の商品搬出装置
JP3408162B2 (ja) * 1998-09-28 2003-05-19 三洋電機株式会社 自動販売機の商品搬出装置
JP2001171807A (ja) * 1999-12-22 2001-06-26 Tcm Corp サイドフォークリフトを用いた棚設備
JP2000159304A (ja) * 2000-01-01 2000-06-13 Advanced Display Inc カセットの搬送方法および該方法に用いる自動倉庫
JP2003054705A (ja) * 2001-08-07 2003-02-26 Nippon Yusoki Co Ltd 自動倉庫システム
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2005272053A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Daifuku Co Ltd 物品収納設備
JP4387283B2 (ja) * 2004-10-25 2009-12-16 富士通株式会社 収納棚用搬送機構およびその制御方法並びにその制御プログラム
US7670555B2 (en) * 2006-09-08 2010-03-02 Rex A. Hoover Parallel gripper for handling multiwell plate
JP4807579B2 (ja) * 2006-09-13 2011-11-02 株式会社ダイフク 基板収納設備及び基板処理設備
JP4363432B2 (ja) * 2006-09-21 2009-11-11 村田機械株式会社 移載装置
CN101139032B (zh) * 2007-10-17 2011-05-11 郑卫星 转向架立体存储库

Also Published As

Publication number Publication date
US8814490B2 (en) 2014-08-26
US20110158776A1 (en) 2011-06-30
CN101998926A (zh) 2011-03-30
CN101998926B (zh) 2013-06-19
EP2277808A1 (en) 2011-01-26
JP2009256004A (ja) 2009-11-05
EP2277808A4 (en) 2013-09-18
TW200942468A (en) 2009-10-16
EP2277808B1 (en) 2015-11-11
WO2009125616A1 (ja) 2009-10-15
KR101350252B1 (ko) 2014-01-10
JP5234328B2 (ja) 2013-07-10
SG189765A1 (en) 2013-05-31
KR20100136497A (ko) 2010-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI441764B (zh) 物品收納設備
CN106477217B (zh) 物品搬运设备
KR101130124B1 (ko) 물품 반송 장치와 물품 위치 오차 검출 방법
US9073691B2 (en) Article transport facility
TWI388479B (zh) Warehousing
KR101862731B1 (ko) 물품 반송 설비
JP5453555B2 (ja) 板材搬出入棚装置
TWI630163B (zh) 搬送裝置
KR101398929B1 (ko) 반송차 시스템
KR0183493B1 (ko) 강판의 격납 및 입출고 설비
US20060168917A1 (en) System and machine for strapping articles
JP6512019B2 (ja) パレット分離設備
KR101419354B1 (ko) 반송 시스템 및 그 대차승강장치
JP6287657B2 (ja) 物品搬送設備
JPH09315520A (ja) 物品保管棚用の物品搬送装置
JP4813580B2 (ja) ローダ装置
JP4834127B2 (ja) 搬送システム
JP6287514B2 (ja) 物品搬送装置
JP4905802B2 (ja) 物品収納設備
JP3516440B2 (ja) ガス容器移載装置
JP2006213442A (ja) 物品搬送設備
JP6197753B2 (ja) 物品搬送設備
JP4834128B2 (ja) 搬送システム
JP5154148B2 (ja) 積付装置
JPH09315519A (ja) 物品保管設備