TWI630163B - 搬送裝置 - Google Patents

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TWI630163B
TWI630163B TW103126765A TW103126765A TWI630163B TW I630163 B TWI630163 B TW I630163B TW 103126765 A TW103126765 A TW 103126765A TW 103126765 A TW103126765 A TW 103126765A TW I630163 B TWI630163 B TW I630163B
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Abstract

本發明提供一種搬送裝置，具有：使一對大型用支持部之各支持部朝大型用支持位置與大型用退避位置移動的大型用驅動部、與使一對小型用支持部之各支持部朝小型用支持位置跟小型用退避位置移動的小型用驅動部。小型用退避位置設定為比起由一對大型用支持部所支持之被支持部，一對小型用支持部位於更上方的高度，又，一對小型用支持部在橫寬方向設於一對大型用支持部之間。

Description

搬送裝置 發明領域
本發明是有關於一種搬送裝置，其設有：將搬送物上端部所具備之被支持部用前述搬送物之橫寬方向兩側來支持的一對支持部、將前述一對支持部支持之移動體、及使前述移動體移動的搬送用驅動部。
如上述搬送裝置的一例記載於日本特開2003-171081號公報(專利文獻1)。專利文獻1之搬送裝置中，構造成使其在用一對支持部支持搬送物之被支持部的狀態下使移動體移動並搬送物品，而該搬送裝置是為了搬送搬送物而使用。
用以解決課題之手段
上述之專利文獻1的搬送裝置構造成使其搬送1種搬送物，但在搬送裝置中，會有要求搬送容積不同之複數種物品的情形。
具體舉例而言，專利文獻1之搬送裝置中，將收容半導體晶圓之FOUP當作搬送物來搬送，但FOUP中，會有收容450mm大小之半導體晶圓的FOUP(以下為大型搬送物之一例)、或收容300mm大小之半導體晶圓的FOUP(以下為小型 搬送物之一例)，會有要求搬送這些容積不同之FOUP之情形。且，上述之450mm用FOUP與300mm用FOUP中，隨著容積不同，被支持部之橫寬方向的寬度(橫寬)亦會不同。
如上所述，欲搬送大型搬送物與小型搬送物時，用一對支持部所支持的被支持部會有因大型搬送物與小型搬送物而橫寬不同的情形。
因此，可考慮構造成使其搬送被支持部之橫寬有所不同的大型搬送物與小型搬送物時，例如使一對支持部之位置可變更位置於：彼此間隔比大型搬送物之被支持部橫寬更寬廣的退避位置、成為對應於大型搬送物之被支持部橫寬之間隔的大型用支持位置、及成為對應於小型搬送物之支持部橫寬之間隔的小型用支持位置，藉此便可用一對支持部來支持大型搬送物與小型搬送物。
然而，如上述構成時，在大型用支持位置之一對支持部的間隔比在退避位置之一對支持部的間隔更窄，在小型用支持位置之一對支持部的間隔比在大型用支持位置之一對支持部的間隔進而更窄。故，從一對支持部之退避位置到小型用支持位置為止之移動距離很長，由於使一對支持部從退避位置到小型用支持位置為止移動所需要之時間變長，因此便造成對於小型搬送物之支持或支持解除之切換動作會需要較長的時間。
因此，尋求一種搬送裝置，其可搬送大型搬送物與小型搬送物，並且可迅速地進行這些搬送物之被支持部的支持或支持解除的切換動作。
本發明之搬送裝置，具有：一對支持部，將搬送物上端部所具備之被支持部用前述搬送物之橫寬方向的兩側來支持；移動體，支持前述一對支持部；及搬送用驅動部，使前述移動體移動；在此，作為前述搬送物，有小型搬送物與比該當小型搬送物體積更大的大型搬送物，而前述大型搬送物之前述被支持部會比前述小型搬送物之前述被支持部在前述橫寬方向形成為更寬廣，又，該搬送裝置特徵在於：作為前述一對支持部，會個別設置：支持前述大型搬送物之前述被支持部的一對大型用支持部、與支持前述小型搬送物之前述被支持部的一對小型用支持部，又，會設置：大型用驅動部，使前述一對大型用支持部之各支持部移動於在與另一方前述大型用支持部之前述橫寬方向的間隔會成為比前述大型搬送物之前述被支持部橫寬更窄幅之間隔的大型用支持位置，以及，在與另一方之前述大型用支持部之前述橫寬方向的間隔會成為比前述大型搬送物之前述被支持部橫寬更寬廣之間隔的大型用退避位置；小型用驅動部，使前述一對小型用支持部之各支持部移動於在與另一方前述小型用支持部之前述橫寬方向之間隔成為比前述小型搬送物之前述被支持部之橫寬更窄幅之間隔的小型用支持位置，以及，在與另一方之前述小型用支持部之前述橫寬方向之間隔會成為比前述小型搬送物之前述被支持部之橫寬 更寬廣之間隔且比前述大型搬送物之前述被支持部之橫寬更窄幅之間隔的小型用退避位置，且，前述小型用退避位置會設定成比起由前述一對大型用支持部所支持之前述大型搬送物之前述被支持部，前述一對小型用支持部位於更上方的高度，前述一對小型用支持部在前述橫寬方向設於前述一對大型用支持部之間。
根據該構成，藉由使一對大型用支持部從大型用退避位置朝大型用支持位置移動，便可用一對大型用支持部來支持大型搬送物的被支持部。且，如上所述，在用一對大型用支持部來支持大型搬送物之被支持部的狀態下，藉由使移動體移動，便可搬送大型搬送物。
又，藉由使一對小型用支持部從小型用退避位置朝小型用支持位置移動，便可用一對小型用支持部來支持小型搬送物的被支持部。且，如上所述，在用一對小型用支持部來支持小型搬送物之被支持部的狀態下，藉由使移動體移動，便可搬送小型搬送物。
且，將大型用退避位置設定於一對大型用支持部之彼此間隔比大型搬送物之被支持部橫寬更寬廣的位置，相對於此，將小型用退避位置設定於一對小型用支持部之彼此間隔比小型搬送物之被支持部橫寬更寬廣且比大型搬送物之被支持部橫寬更窄幅的位置。
亦即是，位於小型用退避位置之一對小型用支持部的間隔比位於大型用退避位置之一對大型用支持部之間隔在橫寬方向更窄。故，使一對小型用支持部在小型用退避位 置與小型用支持位置之間移動時，便可使該移動距離較短，便可謀求支持小型搬送物時或解除支持時之時間的縮短。
小型用退避位置設定於比用一對大型用支持部所支持之被支持部而一對小型用支持部位於更上方的高度。故，為了謀求搬送裝置之小型化，即使將一對小型用支持部配置於一對大型用支持部之間，亦可避免以一對大型用支持部所支持之大型搬送物的被支持部與位於小型用退避位置之一對小型用支持部接觸的情形，因此便可搬送大型搬送物與小型搬送物。
如上所述，就可提供一種搬送裝置，其可搬送大型搬送物與小型搬送物，並且迅速地進行這些搬送物之被支持部的支持或支持解除的切換動作。
以下，針對本發明之適宜之實施形態的範例來說明。
本發明之搬送裝置的實施形態中，宜為前述一對大型用支持部構造成繞著沿與前述橫寬方向正交之前後方向的大型用擺動軸心，由前述移動體支持成自由擺動，並且利用繞前述大型用擺動軸心之擺動，在前述大型用支持位置與前述大型用退避位置自由移動，又，前述一對小型用支持部構造成繞著沿前述前後方向之小型用擺動軸心，由前述移動體支持成自由擺動，並且利用繞前述小型用擺動軸心之擺動，在前述小型用支持位置與前述小型用退避位置自由移動。
根據該構成，藉由使一對大型用支持部繞著大型用擺動軸心擺動，便可使一對大型用支持部在橫寬方向與上下方向移動且朝大型用退避位置或大型用支持位置移動。又，藉由使一對小型用支持部繞著小型用擺動軸心擺動，便可使一對小型用支持部在橫寬方向與上下方向移動且朝小型用退避位置或小型用支持位置移動。
如上所述，由於只使一對大型用支持部或一對小型用支持部繞著擺動軸心擺動，便可朝退避位置或支持位置移動，因此與個別設置使支持部朝橫寬方向移動之機構與使支持部朝上下方向移動之機構的情形相比，便可謀求構成的簡化。
本發明之搬送裝置的實施形態中，宜為針對前述一對大型用支持部，將位於前述橫寬方向其中一方側即第1方向側之前述大型用支持部當作第1大型用支持部，將位於與前述橫寬方向之前述第1方向側相反側即第2方向側之前述大型用支持部當作第2大型用支持部，針對前述一對小型用支持部，將位於前述第1方向側之前述小型用支持部當作第1小型用支持部，將位於前述第2方向側之前述小型用支持部當作第2小型用支持部，又，設置：將前述第1大型用支持部與前述第1小型用支持部移動操作之第1操作部、與將前述第2大型用支持部與前述第2小型用支持部移動操作之第2操作部，前述第1操作部在藉由從第1基準位置移動往前述第1方向側，將位於比前述第1大型用支持部之前述大型用擺動軸心更上方的大型用被操作部分朝前述第1方向 側推壓，而將前述第1大型用支持部從前述大型用退避位置朝前述大型用支持位置移動操作，且，藉由從前述第1基準位置朝前述第2方向側移動，將位於比前述第1小型用支持部之前述小型用擺動軸心更下方的小型用被操作部分朝前述第2方向側推壓，而將前述第1小型用支持部從前述小型用退避位置朝前述小型用支持位置移動操作的狀態下，在前述橫寬方向設置成使其至少一部分位在前述第1大型用支持部與前述第1小型用支持部之間，前述第2操作部在藉由從第2基準位置朝前述第2方向側移動，將位於比前述第2大型用支持部之前述大型用擺動軸心更上方的大型用被操作部分朝前述第2方向側推壓，而將前述第2大型用支持部從前述大型用退避位置朝前述大型用支持位置移動操作，且，藉由從前述第2基準位置朝前述第1方向側移動，將位於比前述第2小型用支持部之前述小型用擺動軸心更下方的小型用被操作部分朝前述第1方向側推壓，而將前述第2小型用支持部從前述小型用退避位置朝前述小型用支持位置移動操作的狀態下，在前述橫寬方向設置成使其至少一部分位於前述第2大型用支持部與前述第2小型用支持部之間，又，設置將前述第1操作部與前述第2操作部連繫之連繫部而使前述第1操作部與前述第2操作部在前述橫寬方向彼此朝相反方向以同步的狀態來移動，且，將驅動操作前述連繫部之支持用驅動部加以設置來作為前述大型用驅動部與前述小型用驅動部。
根據該構成，藉由連繫部之操作，可使第1操作 部朝第1方向側移動並使第1大型用支持部從大型用退避位置往大型用支持位置移動操作，並且使第2操作部朝第2方向側移動並使第2大型用支持部從大型用退避位置往大型用支持位置移動操作。又，藉由連繫部之操作，可使第1操作部朝第2方向側移動並使第1小型用支持部從小型用退避位置往小型用支持位置移動操作，並且使第2操作部朝第1方向側移動並使第2小型用支持部從小型用退避位置往小型用支持位置移動操作。
且，由於可使朝第1操作部之第1方向的移動與朝第2操作部之第2方向的移動同步，又，可使朝第1操作部之第2方向之移動與朝第2操作部之第1方向之移動同步，因此在橫寬方向兩側使一對支持部同時地移動，容易將搬送物適切地支持。
又，可在驅動操作連繫部之1個支持用驅動部使其具備：具有作為使一對大型用支持部朝大型用退避位置與大型用支持位置移動之大型用驅動部的功能、與具有作為使一對小型用支持部朝小型用退避位置與小型用支持位置移動的小型用驅動部的功能，故，便可使驅動部之個數減少。
本發明之搬送裝置的實施形態中，其宜設有：將前述第1大型用支持部之前述大型用被操作部分朝前述第2方向側賦予勢能的第1大型用賦予勢能構件、將前述第2大型用支持部之前述大型用被操作部分朝前述第1方向側賦予勢能之第2大型用賦予勢能構件、將前述第1小型用支持部之前述小型用被操作部分朝前述第1方向側賦予勢能之 第1小型用賦予勢能構件、及將前述第2小型用支持部之前述小型用被操作部分朝前述第2方向側賦予勢能之第2小型用賦予勢能構件。
根據該構成，在使第1大型用支持部朝第1大型用支持位置移動之狀態下，第1大型用支持部之被操作部分(大型用被操作部分)用第1大型用賦予勢能構件朝第1操作部所存在之第2方向側來賦予勢能。故，第1大型用支持部之被操作部分會被押附至第1操作部，便可使第1大型用支持部保持於第1大型用支持位置。同樣地，可使第2大型用支持部保持於第2大型用支持位置，使第1小型用支持部保持於第1小型用支持位置，並使第2小型用支持部保持於第2小型用支持位置。
如上所述，由於可將一對大型用支持部之各支持部保持於大型用支持位置，並可將一對小型用支持部之各支持部保持於小型用支持位置，因此便可將大型搬送物或小型搬送物適切地支持來搬送。
1‧‧‧天花板搬送車
2‧‧‧行走軌道
3‧‧‧處理裝置
4‧‧‧物品支持台
6‧‧‧搬送物
6L‧‧‧大型搬送物
6S‧‧‧小型搬送物
7‧‧‧本體部
8‧‧‧連結部
9‧‧‧被支持部
10‧‧‧凹入部
12‧‧‧行走移動部
13‧‧‧昇降支持部
15‧‧‧行走用馬達(搬送用驅動部)
16‧‧‧驅動輪
17‧‧‧引導輪
19‧‧‧支持機構
20‧‧‧昇降操作機構
20a‧‧‧捲取帶體
21‧‧‧罩體部
22‧‧‧防止落下體
24‧‧‧捲繞體
25‧‧‧昇降用馬達(搬送用驅動部)
27‧‧‧防止落下用馬達
29L‧‧‧大型用限制構件
29S‧‧‧小型用限制構件
30L‧‧‧大型用賦予勢能構件(第1大型用賦予勢能構件、第2大型用賦予勢能構件)
30S‧‧‧小型用賦予勢能構件(第1小型用賦予勢能構件、第2小型用賦予勢能構件)
31‧‧‧支持部
31L‧‧‧大型用支持部
31La‧‧‧第1大型用支持部
31Lb‧‧‧第2大型用支持部
31S‧‧‧小型用支持部
31Sa‧‧‧第1小型用支持部
31Sb‧‧‧第2小型用支持部
32‧‧‧移動體
33‧‧‧支持用馬達(支持用驅動部、大型用驅動部、小型用驅動部)
34‧‧‧突起部
36‧‧‧旋轉軸
37a‧‧‧第1移動塊體
37b‧‧‧第2移動塊體
38‧‧‧引導軌道
39a‧‧‧第1引導塊體
39b‧‧‧第2引導塊體
40La‧‧‧第1大型用操作部
40Lb‧‧‧第2大型用操作部
40Sa‧‧‧第1小型用操作部
40Sb‧‧‧第2小型用操作部
40a‧‧‧第1操作部
40b‧‧‧第2操作部
41a‧‧‧第1連結構件
41b‧‧‧第2連結構件
43‧‧‧驅動側滑輪
44‧‧‧隨動側滑輪
45‧‧‧驅動帶體
46‧‧‧制動器
47L‧‧‧大型用被操作部分(被操作部分)
47S‧‧‧小型用被操作部分(被操作部分)
PL‧‧‧大型用擺動軸心(擺動軸心)
PS‧‧‧小型用擺動軸心(擺動軸心)
圖1(a)、(b)是物品搬送設備之正面圖。
圖2是支持大型搬送物之搬送裝置的正面圖。
圖3是支持小型搬送物之搬送裝置的正面圖。
圖4是顯示移動體之內部構造的平面圖。
圖5是移動體之縱斷正面圖。
圖6是已使一對大型用支持部朝支持位置移動之移動體的縱斷正面圖。
圖7是已使一對小型用支持部朝支持位置移動之移動體的縱斷正面圖。
圖8(a)~(c)是第1操作部之移動作用圖。
以下，將具有本發明之搬送裝置之物品搬送設備的實施形態根據圖式來說明。
如圖1~圖4所示，物品搬送設備設有：作為搬送裝置之天花板搬送車1、對基板進行處理之處理裝置3、及以鄰接於該處理裝置3之狀態設於地板側的物品支持台4。天花板搬送車1由沿著行走路徑並配置於天花板側之行走軌道2來引導支持，並沿著該當行走路徑來行走。搬送物6是收容收容物之搬送容器，具體而言是收容半導體晶圓的FOUP。
如圖2與圖3所示，搬送物6具備有：收容複數片基板之本體部7、比該本體部7位於更上方且設在搬送物6上端部之被支持部9、及連結本體部7與被支持部9之連結部8。被支持部9形成為從連結部8朝容器前後方向與容器左右方向突出之形狀，本體部7與被支持部9之間則形成有後述之支持部31朝橫寬方向(容器橫寬方向)可插入的間隙。容器前後方向與容器左右方向是彼此正交之方向，容器前後方向與容器左右方向之各方向是與上下方向(容器上下方向)正交的方向。又，被支持部9之上表面具備有天花板搬送車1所具備之突起部34從上方卡合的凹入部10(參照圖6與圖7)。圖示雖省略，但本體部7之前面形成有用以使基板出入本體部7之收容空間之開口部。
如圖2與圖3所示，在搬送物6有：小型搬送物6S(例如收容300mm大小之半導體晶圓的FOUP)與比該當小型搬送物6S體積更大之大型搬送物6L(例如收容450mm大小之半導體晶圓的FOUP)。大型搬送物6L之本體部7與小型搬送物6S之本體部7相比，在上下方向、容器左右方向、及容器前後方向會形成為更大，便可收容比小型搬送物6S之本體部7更大的基板。
順帶一提，圖1是顯示以大型搬送物6L為例，天花板搬送車1在與處理裝置3之物品支持台4之間傳遞搬送物6之狀態的圖。又，圖2是顯示將大型搬送物6L搬送之天花板搬送車1的圖，圖3是將小型搬送物6S搬送之天花板搬送車1的圖。
如圖6與圖7所示，大型搬送物6L之連結部8與小型搬送物6S之連結部8相比，在上下方向形成為更長。故，在大型搬送物6L之本體部7與被支持部9之間朝上下方向所形成的間隙會比小型搬送物6S之本體部7與被支持部9之間朝上下方向所形成的間隙成為更寬的間隙。
又，大型搬送物6L之被支持部9與小型搬送物6S之被支持部9相比，在容器前後方向與容器左右方向形成為更寬廣。順帶一提，大型搬送物6L之凹入部10與小型搬送物6S之凹入部10會形成為相同大小與形狀。
〔天花板搬送車〕
如圖2與圖3所示，天花板搬送車1構造成具有：沿著行走路徑行走於行走軌道2上之行走移動部12、與由行走移動 部12所懸吊支持而使其位於行走軌道2之下方的昇降支持部13。昇降支持部13將用來支持搬送物6的支持機構19支持成可自由昇降移動。
順帶一提，將沿著天花板搬送車1之行走方向的方向稱為橫寬方向，將與該橫寬方向交差之方向(在此為正交之方向)且與上下方向正交的方向成為前後方向。搬送物6在其之容器左右方向沿著天花板搬送車1之橫寬方向的狀態下，由昇降支持部13所支持。故，以下，將搬送物6之容器左右方向稱為橫寬方向來說明。又，將橫寬方向之其中一方側(圖4之左側)稱為第1方向側，將與橫寬方向之第1方向相反側(圖4之右側)稱為第2方向側。
行走移動部12設有：用行走用馬達15所旋轉驅動且轉動於行走軌道2上表面的驅動輪16、與抵接於行走軌道2側面之可自由旋轉的引導輪17。且，行走移動部12是構造成藉由用行走用馬達15將驅動輪16旋轉驅動，引導輪17被行走軌道2接觸引導，藉此行走移動部12便會被行走軌道2引導而沿著行走路徑來行走。
昇降支持部13構造成具有：支持搬送物6之支持機構19、使支持機構19昇降移動之昇降操作機構20、將位於搬送用位置之搬送物6的上方側與行走路徑長邊方向兩側包覆的罩體部21、及防止以支持機構19在搬送用位置所支持之搬送物6落下的防止落下體22。
昇降操作機構20設有：用來捲繞在前端部將支持機構19連結支持之捲取帶體20a之捲繞體24、與將捲繞體24 旋轉驅動之昇降用馬達25。且，會構造成使其用昇降用馬達25使捲繞體24朝正方向與相反方向旋轉驅動，而將捲取帶體20a捲取與拉出操作，藉此使支持機構19昇降移動。如圖2或圖3所示，在已將捲取帶體20a捲取之狀態下，由支持機構19所支持之搬送物6(大型搬送物6L與小型搬送物6S)便會位於罩體部21內之搬送用位置。
防止落下體22以在橫寬方向並排之狀態來設置一對，且構造成可自由變更位置使一對防止落下體22之間隔可成為比小型搬送物6S之橫寬方向寬度更窄幅的抓取用間隔(參照圖1(a)、圖2、及圖3)、以及比大型搬送物6L之橫寬方向端物更寬廣的退避用間隔(參照圖1(b))。
且，藉由防止落下用馬達27之驅動，將一對防止落下體22之間隔變更成抓取用間隔，藉此在天花板搬送車1行走中，即使支持機構19之支持脫落，亦可用防止落下體22來抓住搬送物6，藉此便可防止搬送物6落下。又，藉由防止落下用馬達27之驅動，將一對防止落下體22之間隔變更成退避用間隔，藉此如圖1所示，便可使支持機構19昇降移動並將搬送物6朝物品支持台4遞送或從物品支持台4將搬送物6收取。
〔支持機構〕
接著，針對天花板搬送車1之支持機構19來說明。
如圖4與圖5所示，天花板搬送車1之支持機構19設有：將搬送物6之被支持部9載置支持的一對支持部31、將一對支持部31支持成可繞著沿前後方向之軸心自由擺動的移動 體32、作為使一對支持部31相對於移動體32的位置移動到支持位置與退避位置之支持用驅動部的支持用馬達33、及與搬送物6之凹入部10卡合並對於移動體32在水平方向對準中心的突起部34。一對支持部31以橫寬方向兩側來支持搬送物6之被支持部9。
移動體32可藉由行走用馬達15之驅動使天花板搬送車1行走移動而沿著水平方向移動，並藉由昇降用馬達25之驅動使支持機構19昇降移動而昇降移動。故，這些行走用馬達15或昇降用馬達25相當於使移動體32移動之搬送用驅動部。
作為一對支持部31，個別設有：將大型搬送物6L之被支持部9載置支持的一對大型用支持部31L、與將小型搬送物6S之被支持部9載置支持的一對小型用支持部31S，支持機構19設有2組支持部31、共計4個支持部31。且，一對小型用支持部31S在橫寬方向，設於一對大型用支持部31L之間。又，一對小型用支持部31S在上下方向設於與一對大型用支持部31L相同高度。即，一對小型用支持部31S之上下方向的配置區域具有與一對大型用支持部31L之上下方向的配置區域重複的部分。
如圖5與圖6所示，一對大型用支持部31L之各支持部是由移動體32支持成繞著沿前後方向之大型用擺動軸心PL可自由擺動。一對大型用支持部31L之各支持部構造成使其藉由繞大型用擺動軸心PL擺動，對於移動體32而移動於大型用支持位置(參照圖6)與大型用退避位置(參照圖5)。
又，如圖5與圖7所示，一對小型用支持部31S之各支持部是由移動體32支持成繞著沿前後方向之小型用擺動軸心PS可自由擺動。一對小型用支持部31S之各支持部構造成使其藉由繞小型用擺動軸心PS擺動，對於移動體32而移動於小型用支持位置(參照圖7)與小型用退避位置(參照圖5)。
如上所述，移動體32會將一對大型用支持部31L與一對小型用支持部31S之各支持部支持成可繞著沿前後方向之擺動軸心自由擺動。
如圖5~圖7所示，大型用支持位置會設定成在與另一方大型用支持部31L之橫寬方向的間隔(一對大型用支持部31L橫寬方向之間隔)成為比大型搬送物6L之被支持部9的橫寬更窄幅且比小型搬送物6S之被支持部9的橫寬更寬廣的間隔的位置。大型用退避位置會設定成在與另一方之大型用支持部31L之橫寬方向的間隔成為比大型搬送物6L之被支持部9之橫寬更寬廣的間隔的位置。一對大型用支持部31L之橫寬方向的間隔是各個大型用支持部31L之後述支持用部分之間之橫寬方向的間隔。又，該大型用退避位置設定成比大型用支持位置設定高度更高的位置(支持用部分之設定高度較高的位置)，且設定成比起用一對小型用支持部31S所載置支持之小型搬送物6S的被支持部9，一對大型用支持部31L會位於更上方的高度。
小型用支持位置會設定成在與另一方之小型用支持部31S之橫寬方向的間隔(一對小型用支持部31S之橫寬方向的間隔)成為比小型搬送物6S之被支持部9之橫寬更 窄幅的間隔的位置。小型用退避位置會設定成在與另一方之小型用支持部31S之橫寬方向的間隔成為比小型搬送物6S之被支持部9之橫寬更寬廣且比大型搬送物6L之被支持部9之橫寬更窄幅之間隔的位置。一對小型用支持部31S之橫寬方向的間隔是各個小型用支持部31S之後述支持用部分之間之橫寬方向的間隔。又，該小型用退避位置會設定成比起小型用支持位置，設定高度更高的位置(支持用部分之設定高度較高的位置)，並設定成比起用一對大型用支持部31L所載置支持之大型搬送物6L之被支持部9，一對小型用支持部31S會位於更上方。
順帶一提，一對大型用支持部31L與一對小型用支持部31S由移動體32支持成使大型用擺動軸心PL與小型用擺動軸心PS成為相同的高度(參照圖8)。且，在使大型用支持部31L位於大型用支持位置之狀態下之從大型用擺動軸心PL到大型用支持部31L之載置面為止之上下方向的間隔、與在使小型用支持部31S位於小型用支持位置之狀態下之從小型用擺動軸心PS到小型用支持部31S之載置面為止之上下方向的間隔會成為相同的間隔。
如圖5與圖6所示，針對一對大型用支持部31L，將位於橫寬方向之第1方向側的大型用支持部31L當作第1大型用支持部31La，並將位於橫寬方向之第2方向側的大型用支持部31L當作第2大型用支持部31Lb。且，如圖6所示，構造成使支持機構19用第1大型用支持部31La，將大型搬送物6L之被支持部9之第1方向側端部來載置支持，並用第2 大型用支持部31Lb，將大型搬送物6L之被支持部9之第2方向側端部來載置支持，藉此將大型搬送物6L懸吊支持。
又，如圖5與圖7所示，針對一對小型用支持部31S，將位於橫寬方向之第1方向側之小型用支持部31S當作第1小型用支持部31Sa，並將位於橫寬方向之第2方向側之小型用支持部31S當作第2小型用支持部31Sb。且，如圖7所示，構造成使支持機構19用第1小型用支持部31Sa，將小型搬送物6S之被支持部9之第1方向側端部來載置支持，並用第2小型用支持部31Sb，將小型搬送物6S之被支持部9之第2方向側端部來載置支持，藉此將小型搬送物6S懸吊支持。
如圖8所示，一對大型用支持部31L之各支持部從支持位置朝向退避位置側，用大型用賦予勢能構件30L來賦予勢能，並且利用與大型用限制構件29L之抵接來限制從退避位置朝與支持位置相反側的擺動。故，如圖8(b)、(c)所示，一對大型用支持部31L之各支持部用大型用賦予勢能構件30L之勢能押附於大型用限制構件29L，藉此保持於退避位置。
又，一對小型用支持部31S之各支持部從支持位置朝向退避位置側，用小型用賦予勢能構件30S來賦予勢能，並且從退避位置朝支持位置相反側之擺動會利用與小型用限制構件29S之抵接而被限制。故，如圖8(a)、(b)所示，一對小型用支持部31S之各支持部用小型用限制構件29S之勢能押附於小型用限制構件29S，藉此保持於退避位置。
順帶一提，圖8中，一對大型用支持部31L當中只圖示了第1大型用支持部31La，一對小型用支持部31S當中只圖示了第1小型用支持部31Sa。又，大型用賦予勢能構件30L與小型用賦予勢能構件30S是用線圈彈簧來構成。
如圖4所示，支持機構19設有：與旋轉軸36螺合且伴隨著旋轉軸36之旋轉而朝橫寬方向移動的第1移動塊體37a及第2移動塊體37b、以由引導軌道38引導之狀態朝橫寬方向自由移動之第1引導塊體39a與第2引導塊體39b、移動操作第1大型用支持部31La之第1大型用操作部40La、移動操作第2大型用支持部31Lb之第2大型用操作部40Lb、移動操作第1小型用支持部31Sa之第1小型用操作部40Sa、及移動操作第2小型用支持部31Sb之第2小型用操作部40Sb。
且，在橫寬方向位於相同第1方向側之第1移動塊體37a、第1引導塊體39a、第1大型用操作部40La、及第1小型用操作部40Sa會用第1連結構件41a彼此連結而使其一體地朝橫寬方向移動。
又，在橫寬方向位於相同第2方向側之第2移動塊體37b、第2引導塊體39b、第2大型用操作部40Lb、及第2小型用操作部40Sb會用第2連結構件41b彼此連結而使其一體地朝橫寬方向移動。
順帶一提，會用移動操作第1大型用支持部31La之第1大型用操作部40La與移動操作第1小型用支持部31Sa之第1小型用操作部40Sa來構成第1操作部40a。又，會用移動操作第2大型用支持部31Lb之第2大型用操作部40Lb與移 動操作第2小型用支持部31Sb之第2小型用操作部40Sb來構成第2操作部40b。
且，會用旋轉軸36、第1移動塊體37a、第2移動塊體37b、第1連結構件41a、及第2連結構件41b構成連繫第1操作部40a與第2操作部40b之連繫部而使第1操作部40a與第2操作部40b朝橫寬方向移動。連繫部會連繫第1操作部40a與第2操作部40b而使第1操作部40a與第2操作部40b在橫寬方向以同步的狀態彼此朝相反方向來移動。
又，支持用馬達33與驅動操作連繫部之支持用驅動部相當，並被設置作為將一對大型用支持部31L之各支持部朝大型用支持位置與大型用退避位置移動的大型用驅動部、及將一對小型用支持部31S之各支持部朝小型用支持位置與小型用退避位置移動的小型用驅動部。即，支持用馬達33具有：作為大型用驅動部之功能與作為小型用驅動部之功能的兩方功能。
如圖5~圖8所示，第1操作部40a藉由從第1基準位置(參照圖5)朝第1方向側移動，將比第1大型用支持部31La之大型用擺動軸心PL位於更上方的大型用被操作部分47L朝第1方向側推壓並將第1大型用支持部31La從大型用退避位置朝大型用支持位置來移動操作。又，第1操作部40a藉由從第1基準位置朝第2方向側移動，將比第1小型用支持部31Sa之小型用擺動軸心PS位於更下方的小型用被操作部分47S朝第2方向側推壓並將第1小型用支持部31Sa從小型用退避位置朝小型用支持位置來移動操作。
如上所述，第1操作部40a會設置成使其藉由從第1基準位置朝第1方向側移動，來移動操作第1大型用支持部31La，並藉由從第1基準位置朝第2方向側移動，來移動操作第1小型用支持部31Sa。且，第1操作部40a會設置成使其在橫寬方向至少一部分位於第1大型用支持部31La與第1小型用支持部31Sa之間。具體而言，第1操作部40a之將大型用被操作部分47L朝第1方向側推壓的推壓部、與第1操作部40a之將小型用被操作部分47S朝第2方向側推壓的推壓部會在橫寬方向配置於第1大型用支持部31La之大型用被操作部分47L與第1小型用支持部31Sa之小型用被操作部分47S之間。
第2操作部40b藉由從第2基準位置(參照圖5)朝第2方向側移動，將比第2大型用支持部31Lb之大型用擺動軸心PL位於更上方之大型用被操作部分47L朝第2方向側推壓並將第2大型用支持部31Lb從大型用退避位置朝大型用支持位置移動操作。又，第2操作部40b藉由第2基準位置朝第1方向側移動，將比第2小型用支持部31Sb之小型用擺動軸心PS位於更下方之小型用被操作部分47S朝第1方向側推壓並將第2小型用支持部31Sb從小型用退避位置朝小型用支持位置移動操作。
如上所述，第2操作部40b設置成使其藉由從第2基準位置朝第2方向側移動，來操作移動第2大型用支持部31Lb，並藉由從第2基準位置朝第1方向側移動，來移動操作第2小型用支持部31Sb。且，第2操作部40b設置成使至少一部分 在橫寬方向位於第2大型用支持部31Lb與第2小型用支持部31Sb之間。具體而言，第2操作部40b之將大型用被操作部分47L朝第2方向側推壓之推壓部、與第2操作部40b之將小型用被操作部分47S朝第1方向側推壓之推壓部會在橫寬方向配置於第2大型用支持部31Lb之大型用被操作部分47L與第2小型用支持部31Sb之小型用被操作部分47S之間。
如圖4所示，在支持用馬達33之輸出軸設置驅動側滑輪43，並在旋轉軸36之第1方向側端部設置隨動側滑輪44，且橫跨這些驅動側滑輪43與隨動側滑輪44來捲繞驅動帶體45。藉由使支持用馬達33朝正方向或反方向旋轉驅動，使旋轉軸36朝正方向或反方向旋轉。又，移動體32設有制動旋轉軸36之旋轉的制動器46。
旋轉軸36螺刻有用以使第1移動塊體37a或第2移動塊體37b螺合之螺牙。該旋轉軸36螺刻有：在位於第1移動塊體37a所螺合之第1方向側之部分、與位於第2移動塊體37b所螺合之第2方向側之部分彼此逆向的螺牙。故，使旋轉軸36旋轉時之第1移動塊體37a之移動方向與第2移動塊體37b之移動方向彼此會是反方向。
4個支持部31之各支持部構造成具有：形成為沿著前後方向之板狀的支持用部分、與形成為使其從該支持用部分前後方向兩端部朝上方豎起(形成為使其朝上方延伸)的一對連結部分，並在橫寬方向視點下形成為U字狀。利用支持用部分之上表面，來形成將被支持部9載置支持的載置面。且，利用第1大型用支持部31La之支持用部分(板 狀部分)與連結部分所包圍的空間，來配置驅動側滑輪43、隨動側滑輪44、及驅動帶體45等。
接著，根據圖8，針對一對大型用支持部31L與一對小型用支持部31S之操作構造來說明。
第1大型用支持部31La或第1小型用支持部31Sa之操作構造與第2大型用支持部31Lb或第2小型用支持部31Sb之操作構造除了在橫寬方向使其反向之點以外都構造成相同，故，在此針對第1大型用支持部31La或第1小型用支持部31Sa之操作構造來說明，且針對第2大型用支持部31Lb或第2小型用支持部31Sb之操作構造，便省略說明。
第1大型用支持部31La以可繞著大型用擺動軸心PL擺動的方式連結到移動體32，並在比第1大型用支持部31La之大型用擺動軸心PL更上方處設有大型用被操作部分47L。故，第1大型用支持部31La藉由使大型用被操作部分47L朝第1方向側來推壓操作，朝逆時針方向地擺動並從大型用退避位置朝大型用支持位置移動操作。
順帶一提，伴隨著解除推壓操作，第1大型用支持部31La便可利用大型用賦予勢能構件30L之勢能朝順時針方向地擺動並從大型用支持位置朝大型用退避位置移動操作。
又，圖8所示之大型用賦予勢能構件30L會與使第1大型用支持部31La之大型用被操作部分47L朝第2方向側來賦予勢能的第1大型用賦予勢能構件相當，關於使第2大型用支持部31Lb之大型用被操作部分47L朝第1方向側來賦予勢能 的第2大型用賦予勢能構件，則省略圖示。
第1小型用支持部31Sa以可繞著小型用擺動軸心PS擺動的方式連結到移動體32，並在比第1小型用支持部31Sa之小型用擺動軸心PS更下方處設有小型用被操作部分47S。故，第1小型用支持部31Sa藉由使小型用被操作部分47S朝第2方向側來推壓操作，朝反時針方向地擺動並從小型用退避位置朝小型用支持位置移動操作。
順帶一提，伴隨著解除推壓操作，第1小型用支持部31Sa便可利用小型用賦予勢能構件30S之勢能朝順時針方向地擺動並從小型用支持位置朝小型用退避位置移動操作。
又，圖8所示之小型用賦予勢能構件30S會與使第1小型用支持部31Sa之小型用被操作部分47S朝第1方向側來賦予勢能的第1小型用賦予勢能構件相當，關於使第2小型用支持部31Sb之小型用被操作部分47S朝第2方向側來賦予勢能的第2小型用賦予勢能構件，則省略圖示。
且，如圖8(a)、(b)所示，使第1操作部40a從第1基準位置(參照圖8(b))朝第1方向側移動，藉此在使第1小型用支持部31Sa維持於小型用退避位置之狀態下，便可使第1大型用支持部31La從大型用退避位置朝大型用支持位置移動操作。
又，如圖8(b)、(c)所示，使第1操作部40a從第1基準位置朝第2方向側移動，藉此在使第1大型用支持部31La維持於大型用退避位置之狀態下，便可使第1小型用支持部31Sa 從小型用退避位置朝小型用支持位置移動操作。
物品搬送設備設有控制天花板搬送車1之動作的控制裝置(未圖示)。該控制裝置構造成使其執行將搬送物6朝物品支持台4遞送之遞送處理、與將搬送物6從物品支持台4收取之收取處理。
遞送處理中，首先，在使支持搬送物6之天花板搬送車1停止於與物品支持台4對應之停止位置的狀態下，將防止落下體22之間隔變更成退避用間隔後，將捲取帶體20a只拉出對應於搬送用位置之搬送物6下表面與物品支持台4之載置面之高低差的長度。且，搬送物6為大型搬送物6L時，使一對大型用支持部31L從大型用支持位置朝大型用退避位置移動而將大型搬送物6L朝物品支持台4遞送，並在搬送物6為小型搬送物6S時，使一對小型用支持部31S從小型用支持位置朝小型用退避位置移動而將小型搬送物6S朝物品支持台4遞送。之後，將捲取帶體20a捲取天花板搬送車1之高度與位於物品支持台4之搬送物6之被支持部9的高度的高低差所對應的長度。如上所述，為了使各機構動作，控制行走用馬達15、昇降用馬達25、防止落下用馬達27、及支持用馬達33的動作並執行遞送處理。
又，收取處理中，首先，在使未支持搬送物6之天花板搬送車1在與物品支持台4對應之停止位置停止的狀態下，將捲取帶體20a只拉出天花板搬送車1之高度與位於物品支持台4之搬送物6之被支持部9的高度的高低差所對應的長度。且，搬送物6為大型搬送物6L時，使一對大型用 支持部31L從大型用退避位置朝大型用支持位置移動並將大型搬送物6L從物品支持台4收取，在搬送物6為小型搬送物6S時，使一對小型用支持部31S從小型用退避位置朝小型用支持位置移動並將小型搬送物6S從物品支持台4收取。之後，將捲取帶體20a只捲取搬送用位置之搬送物6下表面與物品支持台4之載置面之高低差所對應的長度。如上所述，為了使各機構動作，控制行走用馬達15、昇降用馬達25、防止落下用馬達27、及支持用馬達33並執行收取處理。
如上所述，所構成之天花板搬送車1中，位於小型用退避位置之一對小型用支持部31S之間隔比位於大型用退避位置之一對大型用支持部31L之間隔更窄，故，使一對小型用支持部31S在小型用退避位置與小型用支持位置之間移動時，便可使該移動距離較短。故，便可謀求支持小型搬送物6S時或解除支持時之時間的縮短。
〔不同實施形態〕
(1)上述實施形態中，已使大型用擺動軸心PL之高度與小型用擺動軸心PS之高度為相同高度，但亦可使大型用擺動軸心PL之高度與小型用擺動軸心PS之高度為不同之高度。具體而言，亦可例如使大型用擺動軸心PL比小型用擺動軸心PS為更高的高度。此時，亦可在比大型用擺動軸心PL更低且比小型用擺動軸心PS更高的高度，設置大型用操作部與小型用操作部。
(2)上述實施形態中，已構造成使一對大型用支持部31L之各支持部繞大型用擺動軸心PL擺動並朝大型用 支持位置與大型用退避位置移動，但亦可構造成使一對大型用支持部31L之各支持部個別地朝左右方向與上下方向移動並朝大型用支持位置與大型用退避位置移動。又，已構造成使一對小型用支持部31S之各支持部繞小型用擺動軸心PS擺動並朝小型用支持位置與小型用退避位置移動，但亦可構造成使一對小型用支持部31S之各支持部個別地朝左右方向與上下方向移動並朝小型用支持位置與小型用退避位置移動。
(3)上述實施形態中，已構造成使支持用驅動部設置作為大型用驅動部與小型用驅動部，並用1個驅動部，來移動操作4個支持部31，但亦可構造成個別設置大型用驅動部與小型用驅動部，並用2個驅動部來移動操作4個支持部31，又，亦可構造成作為大型用驅動部，設置移動操作第1大型用支持部31La之第1大型用驅動部移動操作第2大型用支持部31Lb之第2大型用驅動部，作為小型用驅動部，設置移動操作第1小型用支持部31Sa之第1小型用驅動部與移動操作第2小型用支持部31Sb之第2小型用驅動部，並用4個驅動部來移動操作4個支持部31移動操作。
(4)上述實施形態中，已使其作為搬送物6，搬送大型搬送物6L與小型搬送物6S的2種搬送物6，但亦可作為搬送物6，搬送3種以上的搬送物6。又，作為一對支持部31，設置了一對大型用支持部31L與一對小型用支持部31S之2組的一對支持部31，亦可設置3組以上的一對支持部31。
(5)上述實施形態中，已構造成使其設置第1大型 用賦予勢能構件、第2大型用賦予勢能構件、第1小型用賦予勢能構件、及第2小型用賦予勢能構件，並利用賦予勢能構件之勢能來使支持部31保持於支持位置，但亦可構造成使其不設置上述賦予勢能構件，使支持部31保持於支持位置。
具體而言，例如為第1大型用支持部31La，亦可構造成設置與第1大型用支持部31La一體繞大型用擺動軸心PL旋轉之小齒輪，並在第1大型用操作部40La設置齒條，第1大型用操作部40La朝第1方向側移動時，齒條與小齒輪咬合並使第1大型用支持部31La從大型用退避位置朝大型用支持位置來移動操作，並且利用齒條與小齒輪之咬合將第1大型用支持部31La保持於大型用支持位置。順帶一提，如上所述構成時，亦可構造成使第1大型用操作部40La朝第2方向側移動時，齒條與小齒輪之咬合脫離且第1大型用支持部31La不從大型用退避位置移動。
(6)上述實施形態中，已使搬送裝置為行走於天花板附近之天花板搬送車1，但亦可為行走於地板面上之地板面行走車、或沿著引導桅桿而昇降移動之昇降台車、或固定於地板面上等之移載機器人等。
(7)上述實施形態中，使搬送物為FOUP，但亦可例如在容器箱(container)上表面安裝有被支持部之物體等，以其他物品來作為搬送物。

Claims (4)

  1. 一種搬送裝置，具有：一對支持部，在前述搬送物之橫寬方向的兩側用以支持設於搬送物之上端部的被支持部；移動體，支持前述一對支持部；及搬送用驅動部，使前述移動體移動，在此，作為前述搬送物，有小型搬送物、與比該小型搬送物體積更大的大型搬送物，前述大型搬送物之前述被支持部比前述小型搬送物之前述被支持部在前述橫寬方向形成為更寬廣，該搬送裝置特徵在於：作為前述一對支持部，會個別設置：支持前述大型搬送物之前述被支持部的一對大型用支持部、與支持前述小型搬送物之前述被支持部的一對小型用支持部，且會設置：大型用驅動部，使前述一對大型用支持部之各個移動於大型用支持位置、及大型用退避位置，前述大型用支持位置是在與另一方前述大型用支持部之前述橫寬方向的間隔會成為比前述大型搬送物之前述被支持部橫寬更窄幅之間隔的位置，前述大型用退避位置是在與另一方之前述大型用支持部之前述橫寬方向的間隔會成為比前述大型搬送物之前述被支持部橫寬更寬廣之間隔的位置；及 小型用驅動部，使前述一對小型用支持部之各個移動於小型用支持位置、及小型用退避位置，前述小型用支持位置是在與另一方前述小型用支持部之前述橫寬方向之間隔成為比前述小型搬送物之前述被支持部之橫寬更窄幅之間隔的位置，前述小型用退避位置是在與另一方之前述小型用支持部之前述橫寬方向之間隔會成為比前述小型搬送物之前述被支持部之橫寬更寬廣之間隔，且比前述大型搬送物之前述被支持部之橫寬更窄幅之間隔的位置，且，前述小型用退避位置會設定成比起由前述一對大型用支持部所支持之前述大型搬送物之前述被支持部，前述一對小型用支持部是位於更上方的高度，前述大型用退避位置會設定成比起由前述一對小型用支持部所支持之前述小型搬送物之前述被支持部，前述一對大型用支持部會位於更上方的高度，前述一對小型用支持部在前述橫寬方向設於前述一對大型用支持部之間。
  2. 如請求項1之搬送裝置，其中前述一對大型用支持部構造成繞著大型用擺動軸心自由擺動地被前述移動體支持，並且利用繞前述大型用擺動軸心之擺動，在前述大型用支持位置與前述大型用退避位置自由移動，前述大型用擺動軸心是沿著與前述橫寬方向正交的前後方向，前述一對小型用支持部構造成繞著沿前述前後方向之小型用擺動軸心自由擺動地被前述移動體支持，並 且利用繞前述小型用擺動軸心之擺動，在前述小型用支持位置與前述小型用退避位置自由移動。
  3. 一種搬送裝置，具有：一對支持部，在前述搬送物之橫寬方向的兩側用以支持設於搬送物之上端部的被支持部；移動體，支持前述一對支持部；及搬送用驅動部，使前述移動體移動，在此，作為前述搬送物，有小型搬送物、與比該小型搬送物體積更大的大型搬送物，前述大型搬送物之前述被支持部比前述小型搬送物之前述被支持部在前述橫寬方向形成為更寬廣，該搬送裝置特徵在於：作為前述一對支持部，會個別設置：支持前述大型搬送物之前述被支持部的一對大型用支持部、與支持前述小型搬送物之前述被支持部的一對小型用支持部，且會設置：大型用驅動部，使前述一對大型用支持部之各個移動於大型用支持位置、及大型用退避位置，前述大型用支持位置是在與另一方前述大型用支持部之前述橫寬方向的間隔會成為比前述大型搬送物之前述被支持部橫寬更窄幅之間隔的位置，前述大型用退避位置是在與另一方之前述大型用支持部之前述橫寬方向的間隔會成為比前述大型搬送物之前述被支持部橫寬更寬廣之間隔的位置； 小型用驅動部，使前述一對小型用支持部之各個移動於小型用支持位置、及小型用退避位置，前述小型用支持位置是在與另一方前述小型用支持部之前述橫寬方向之間隔成為比前述小型搬送物之前述被支持部之橫寬更窄幅之間隔的位置，前述小型用退避位置是在與另一方之前述小型用支持部之前述橫寬方向之間隔會成為比前述小型搬送物之前述被支持部之橫寬更寬廣之間隔，且比前述大型搬送物之前述被支持部之橫寬更窄幅之間隔的位置，且，前述小型用退避位置會設定成比起由前述一對大型用支持部所支持之前述大型搬送物之前述被支持部，前述一對小型用支持部是位於更上方的高度，前述一對小型用支持部在前述橫寬方向設於前述一對大型用支持部之間，前述一對大型用支持部構造成繞著大型用擺動軸心自由擺動地被前述移動體支持，並且利用繞前述大型用擺動軸心之擺動，在前述大型用支持位置與前述大型用退避位置自由移動，前述大型用擺動軸心是沿著與前述橫寬方向正交的前後方向，前述一對小型用支持部構造成繞著沿前述前後方向之小型用擺動軸心自由擺動地被前述移動體支持，並且利用繞前述小型用擺動軸心之擺動，在前述小型用支持位置與前述小型用退避位置自由移動，針對前述一對大型用支持部，將位於前述橫寬方向 其中一方側即第1方向側之前述大型用支持部當作第1大型用支持部，將位於與前述橫寬方向之前述第1方向側相反側即第2方向側之前述大型用支持部當作第2大型用支持部，針對前述一對小型用支持部，將位於前述第1方向側之前述小型用支持部當作第1小型用支持部，將位於前述第2方向側之前述小型用支持部當作第2小型用支持部，且設置：將前述第1大型用支持部與前述第1小型用支持部移動操作之第1操作部、與將前述第2大型用支持部與前述第2小型用支持部移動操作之第2操作部，前述第1操作部設置成在藉由從第1基準位置往前述第1方向側移動，將位於比前述第1大型用支持部之前述大型用擺動軸心更上方的大型用被操作部分朝前述第1方向側推壓，而將前述第1大型用支持部從前述大型用退避位置朝前述大型用支持位置移動操作，且，藉由從前述第1基準位置朝前述第2方向側移動，將位於比前述第1小型用支持部之前述小型用擺動軸心更下方的小型用被操作部分朝前述第2方向側推壓，而將前述第1小型用支持部從前述小型用退避位置朝前述小型用支持位置移動操作的狀態下，在前述橫寬方向使其至少一部分位在前述第1大型用支持部與前述第1小型用支持部之間，前述第2操作部設置成在藉由從第2基準位置朝前 述第2方向側移動，將位於比前述第2大型用支持部之前述大型用擺動軸心更上方的大型用被操作部分朝前述第2方向側推壓，而將前述第2大型用支持部從前述大型用退避位置朝前述大型用支持位置移動操作，且，藉由從前述第2基準位置朝前述第1方向側移動，將位於比前述第2小型用支持部之前述小型用擺動軸心更下方的小型用被操作部分朝前述第1方向側推壓，而將前述第2小型用支持部從前述小型用退避位置朝前述小型用支持位置移動操作的狀態下，在前述橫寬方向使其至少一部分位於前述第2大型用支持部與前述第2小型用支持部之間，設置連繫部，前述連繫部是將前述第1操作部與前述第2操作部連繫，使前述第1操作部與前述第2操作部在前述橫寬方向彼此朝相反方向以同步的狀態來移動，並且驅動操作前述連繫部之支持用驅動部是被設置來作為前述大型用驅動部與前述小型用驅動部。
  4. 如請求項3之搬送裝置，其設有：將前述第1大型用支持部之前述大型用被操作部分朝前述第2方向側賦予勢能的第1大型用賦予勢能構件、將前述第2大型用支持部之前述大型用被操作部分朝前述第1方向側賦予勢能之第2大型用賦予勢能構件、將前述第1小型用支持部之前述小型用被操作部分朝前述第1方向側賦予勢能之第1小型用賦予勢能構件、及將前述第2小型用支持部之前述小型用被操作部分朝前述第2方向側賦予勢能之第2小 型用賦予勢能構件。
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