JP2976566B2 - クリーンルーム用の無人搬送装置 - Google Patents
クリーンルーム用の無人搬送装置Info
- Publication number
- JP2976566B2 JP2976566B2 JP3088064A JP8806491A JP2976566B2 JP 2976566 B2 JP2976566 B2 JP 2976566B2 JP 3088064 A JP3088064 A JP 3088064A JP 8806491 A JP8806491 A JP 8806491A JP 2976566 B2 JP2976566 B2 JP 2976566B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coupler unit
- ground
- vehicle
- clean room
- unmanned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
- H01L21/67393—Closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02J—CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
- H02J7/00—Circuit arrangements for charging or depolarising batteries or for supplying loads from batteries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエファや電子
材料用基板等の搬送に使用される無人搬送装置に関す
る。
材料用基板等の搬送に使用される無人搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体ＩＣ等の製造は、常に空気を清浄
化しているクリーンルーム内で行なわれるが、半導体集
積回路の集積度が高くなると、半導体ウエファや電子材
料用基板の表面に形成される自然酸化膜が問題となり、
歩留り向上のために、この自然酸化膜の成長を抑制する
必要がある。
化しているクリーンルーム内で行なわれるが、半導体集
積回路の集積度が高くなると、半導体ウエファや電子材
料用基板の表面に形成される自然酸化膜が問題となり、
歩留り向上のために、この自然酸化膜の成長を抑制する
必要がある。
【０００３】図１３及び図１４は、「超ＬＳＩウルトラ
クリーン テクノロジーシンポジュウム（１９９０年１
１月１９日）」で発表された論文中に記載されているも
ので、図１３はシリコン半導体ウエファの自然酸化膜
（空気中の酸素と水分が作る）の形成と時間との関係を
示した図であり、図１４は抵抗率と時間との関係を示し
た図である。図１３から明らかな如く、シリコン半導体
ウエファを大気中にさらしておくと、１００〜２００分
後には酸化膜の成長が著しくなり、抵抗率は、図１４に
示されるように、約１時間後から急激に高くなる。
クリーン テクノロジーシンポジュウム（１９９０年１
１月１９日）」で発表された論文中に記載されているも
ので、図１３はシリコン半導体ウエファの自然酸化膜
（空気中の酸素と水分が作る）の形成と時間との関係を
示した図であり、図１４は抵抗率と時間との関係を示し
た図である。図１３から明らかな如く、シリコン半導体
ウエファを大気中にさらしておくと、１００〜２００分
後には酸化膜の成長が著しくなり、抵抗率は、図１４に
示されるように、約１時間後から急激に高くなる。
【０００４】上記クリーンルーム内において、半導体ウ
エファを工程から次の工程へ搬送するのにバッテリを駆
動電源とする移動ロボットを搭載した無人搬送車を用い
るが、この工程間の搬送に用する時間は、通常、数分程
度の短い時間であり、上記問題となる自然酸化膜の形成
には約１時間以上かかるので、この搬送期間において
は、上記自然酸化膜は問題視する必要がないとして、従
来、大気にさらした状態で工程間搬送が行なわれてい
た。
エファを工程から次の工程へ搬送するのにバッテリを駆
動電源とする移動ロボットを搭載した無人搬送車を用い
るが、この工程間の搬送に用する時間は、通常、数分程
度の短い時間であり、上記問題となる自然酸化膜の形成
には約１時間以上かかるので、この搬送期間において
は、上記自然酸化膜は問題視する必要がないとして、従
来、大気にさらした状態で工程間搬送が行なわれてい
た。
【０００５】確かに、上記無人搬送車を用いる搬送シス
テムが正常に稼働している状態では、上記自然酸化膜の
形成は問題視する必要がないが、搬送先である半導体製
造装置の故障、搬送系の故障、停電による機器・装置の
停止、あるいは搬送路の障害などにより、無人搬送車が
スケジュール通りに稼働しなくなると、半導体ウエファ
を無人搬送車上に放置した状態が長時間続くことにな
り、この間に、上記した自然酸化膜が急成長してしまう
という問題があった。
テムが正常に稼働している状態では、上記自然酸化膜の
形成は問題視する必要がないが、搬送先である半導体製
造装置の故障、搬送系の故障、停電による機器・装置の
停止、あるいは搬送路の障害などにより、無人搬送車が
スケジュール通りに稼働しなくなると、半導体ウエファ
を無人搬送車上に放置した状態が長時間続くことにな
り、この間に、上記した自然酸化膜が急成長してしまう
という問題があった。
【０００６】そこで、本発明者等は、半導体ウエファ等
を搭載したまま、その搬送が、自らの原因で、また移載
・搬送先等の原因で、長時間の中断を余儀なくされた場
合でも、上記自然酸化膜の生成を抑制することができる
無人搬送装置を提案した。図１１及び図１２は本発明者
等が先に提案したこの種の無人搬送装置の１つの例を示
したものである。
を搭載したまま、その搬送が、自らの原因で、また移載
・搬送先等の原因で、長時間の中断を余儀なくされた場
合でも、上記自然酸化膜の生成を抑制することができる
無人搬送装置を提案した。図１１及び図１２は本発明者
等が先に提案したこの種の無人搬送装置の１つの例を示
したものである。
【０００７】両図において、１は半導体ウエファ２を収
納したウエファカセット、１０、２０は半導体製造装置
である。半導体製造装置１０、２０はある間隔を隔てて
クリーンルーム内に配設されている。３０は無人搬送車
であって、台車枠３０Ａの天板３０Ｂ上の一方端部寄り
に移載ロボット３１を搭載し、該天板３０Ｂ上の他部に
搬送ボックス４０を載せて固定している。３２は駆動
輪、３３はキャスタである。
納したウエファカセット、１０、２０は半導体製造装置
である。半導体製造装置１０、２０はある間隔を隔てて
クリーンルーム内に配設されている。３０は無人搬送車
であって、台車枠３０Ａの天板３０Ｂ上の一方端部寄り
に移載ロボット３１を搭載し、該天板３０Ｂ上の他部に
搬送ボックス４０を載せて固定している。３２は駆動
輪、３３はキャスタである。
【０００８】この搬送ボックス４０は、図示しないヒン
ジでボックス本体４１に取りつけられた蓋４２を有し、
内部に在荷センサ４３を備えている。蓋４２は図示しな
い開閉機構、例えば電動シリンダで開閉される。この搬
送ボックス４０の底壁にはガス注入口４４と排気口４５
が形成されている。
ジでボックス本体４１に取りつけられた蓋４２を有し、
内部に在荷センサ４３を備えている。蓋４２は図示しな
い開閉機構、例えば電動シリンダで開閉される。この搬
送ボックス４０の底壁にはガス注入口４４と排気口４５
が形成されている。
【０００９】無人搬送車３０の上記台車枠３０Ａ内に
は、不活性ガスボンベ（この例では、窒素ガスボンベ）
５０が設けられており、該窒素ガスボンベ５０の口と搬
送ボックス４０のガス注入口４４とは減圧弁５１と給ガ
ス弁５３が介在する配管５２で接続されている。搬送ボ
ックス４０の排気口４５からは、排気弁５４を有する排
気管５５が天板３０Ｂを貫通して台車枠３０Ａ内に伸び
ている。６０は制御器であって、無人搬送車３０及び移
載ロボット３１を制御する主制御装置（図示しない）と
の間で所要のタイミング信号の授受を行い、給ガス弁５
３と排気弁５４に対する開閉信号を出力する他、搬送ボ
ックス４０の蓋４２を開閉するための信号を出力する。
は、不活性ガスボンベ（この例では、窒素ガスボンベ）
５０が設けられており、該窒素ガスボンベ５０の口と搬
送ボックス４０のガス注入口４４とは減圧弁５１と給ガ
ス弁５３が介在する配管５２で接続されている。搬送ボ
ックス４０の排気口４５からは、排気弁５４を有する排
気管５５が天板３０Ｂを貫通して台車枠３０Ａ内に伸び
ている。６０は制御器であって、無人搬送車３０及び移
載ロボット３１を制御する主制御装置（図示しない）と
の間で所要のタイミング信号の授受を行い、給ガス弁５
３と排気弁５４に対する開閉信号を出力する他、搬送ボ
ックス４０の蓋４２を開閉するための信号を出力する。
【００１０】この無人搬送装置を用いると、半導体ウエ
ファ２を収納したウエファカセット１を搬送ボックス４
０内に収め、この搬送ボックス４０内の雰囲気を不活性
気体である窒素ガス雰囲気にした状態で所定位置から所
定位置まで搬送することができるので、例えば、何んら
かの原因で、搬送途中に無人搬送車３０が長時間（上記
自然酸化膜が成長するに充分な時間）の停車を余儀なく
されたような場合でも、半導体ウエファ２の表面におけ
る上記自然酸化膜の成長を抑えることができる。
ファ２を収納したウエファカセット１を搬送ボックス４
０内に収め、この搬送ボックス４０内の雰囲気を不活性
気体である窒素ガス雰囲気にした状態で所定位置から所
定位置まで搬送することができるので、例えば、何んら
かの原因で、搬送途中に無人搬送車３０が長時間（上記
自然酸化膜が成長するに充分な時間）の停車を余儀なく
されたような場合でも、半導体ウエファ２の表面におけ
る上記自然酸化膜の成長を抑えることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方式に
は、下記に述べるようないくつかの問題がある。
は、下記に述べるようないくつかの問題がある。
【００１２】即ち、無人搬送車３０の車体に、大形で大
重量の酸素ガスボンベ等の不活性ガス貯留源を搭載して
いるので、その分、無人搬送車３０が大形・大重量化
し、搭載しているバッテリの充電頻度が高くなる。
重量の酸素ガスボンベ等の不活性ガス貯留源を搭載して
いるので、その分、無人搬送車３０が大形・大重量化
し、搭載しているバッテリの充電頻度が高くなる。
【００１３】また、不活性ガス貯留源は、貯留するガス
が消費されて空になると新しいものと交換しなくてはな
らないが、その交換には人手を要し、また、その間、無
人搬送車３０やシステム全体を止めたり、自動モードか
らはずす必要もある。
が消費されて空になると新しいものと交換しなくてはな
らないが、その交換には人手を要し、また、その間、無
人搬送車３０やシステム全体を止めたり、自動モードか
らはずす必要もある。
【００１４】更に、不活性ガスは高圧容器に入っている
ので、無人搬送車３０が万が一暴走したりした場合を考
えると、不活性ガス貯留源を無人搬送車３０に搭載して
おくのは危険である。
ので、無人搬送車３０が万が一暴走したりした場合を考
えると、不活性ガス貯留源を無人搬送車３０に搭載して
おくのは危険である。
【００１５】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、地上側に配設した不活性ガス貯留源から不活
性ガスを得るようにし、上記自然酸化膜の生成を、車の
大形・大重量化を招くことなく、抑制することができ、
安全性の高いクリーンルーム用の無人搬送装置を提供す
ることを目的とする。
たもので、地上側に配設した不活性ガス貯留源から不活
性ガスを得るようにし、上記自然酸化膜の生成を、車の
大形・大重量化を招くことなく、抑制することができ、
安全性の高いクリーンルーム用の無人搬送装置を提供す
ることを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、搬送物を容器に収納して搬送し、該容器が、
内部雰囲気置換可能に給ガス路を介して不活性ガス貯溜
源と接続されるクリーンルーム用の無人搬送装置におい
て、無人搬送装置は上記給ガス路に接続された車側カプ
ラーユニットを有し、上記不活性ガス貯溜源は地上側に
あって、地上側カプラー装置のカプラーユニットに配管
を通して接続され、上記給ガス路は両カプラーユニット
を通して上記不活性ガス貯溜部に連絡される構成とし
た。
するため、搬送物を容器に収納して搬送し、該容器が、
内部雰囲気置換可能に給ガス路を介して不活性ガス貯溜
源と接続されるクリーンルーム用の無人搬送装置におい
て、無人搬送装置は上記給ガス路に接続された車側カプ
ラーユニットを有し、上記不活性ガス貯溜源は地上側に
あって、地上側カプラー装置のカプラーユニットに配管
を通して接続され、上記給ガス路は両カプラーユニット
を通して上記不活性ガス貯溜部に連絡される構成とし
た。
【００１７】請求項２では、地上側カプラー装置は、カ
プラーユニットを車側カプラーユニットに対して進退さ
せる進退機構を有し、上記カプラーユニットは信号用コ
ネクタを備える他、ガス路継手を備え、車側カプラーユ
ニットは上記コネクタに電気的に離接可能な信号用コネ
クタと上記ガス路継手に離接可能なガス路継手を備える
構成とした。
プラーユニットを車側カプラーユニットに対して進退さ
せる進退機構を有し、上記カプラーユニットは信号用コ
ネクタを備える他、ガス路継手を備え、車側カプラーユ
ニットは上記コネクタに電気的に離接可能な信号用コネ
クタと上記ガス路継手に離接可能なガス路継手を備える
構成とした。
【００１８】請求項３では、車側カプラーユニットが地
上側のカプラーユニットに対して進退するようにした。
上側のカプラーユニットに対して進退するようにした。
【００１９】請求項４では、ガス路継手は逆止弁機能を
有する構成とした。
有する構成とした。
【００２０】請求項５では、地上側カプラー装置は、そ
の信号用コネクタと車側の信号用コネクタの電気的接続
により閉成するガス路接続制御回路に挿入されたガス路
接続検知器を有し、カプラーユニットと不活性ガス貯溜
部とを連絡する配管中の開閉弁が該ガス路接続検知器の
検知信号に基づいて開弁するようにした。
の信号用コネクタと車側の信号用コネクタの電気的接続
により閉成するガス路接続制御回路に挿入されたガス路
接続検知器を有し、カプラーユニットと不活性ガス貯溜
部とを連絡する配管中の開閉弁が該ガス路接続検知器の
検知信号に基づいて開弁するようにした。
【００２１】請求項６では、無人搬送装置は自動充電ス
テーションで充電されるバッテリを搭載した無人搬送装
置であって、地上側カプラユニットはこの自動充電ステ
ーションに配設されており、上記カプラユニット及び車
側カプラユニットが、充電用コネクタとガス路継手を備
えている構成とした。
テーションで充電されるバッテリを搭載した無人搬送装
置であって、地上側カプラユニットはこの自動充電ステ
ーションに配設されており、上記カプラユニット及び車
側カプラユニットが、充電用コネクタとガス路継手を備
えている構成とした。
【００２２】請求項７では、無人搬送装置は自動充電ス
テーションで充電されるバッテリを搭載した無人搬送装
置であって、地上側カプラユニットはこの自動充電ステ
ーションに配設されており、上記カプラユニット及び車
側カプラユニッの充電用コネクタがガス路継手を兼ねる
ようにした。
テーションで充電されるバッテリを搭載した無人搬送装
置であって、地上側カプラユニットはこの自動充電ステ
ーションに配設されており、上記カプラユニット及び車
側カプラユニッの充電用コネクタがガス路継手を兼ねる
ようにした。
【００２３】請求項８では、地上側のカプラユニットと
車側のカプラーユニットが、地上側の充電用コネクタも
しくはガス路継手と車側の充電用コネクタもしくはガス
路継手とが結合する時のカプラー相互間隔よりも短い間
隔で動作する結合確認手段を備え、この結合確認手段の
出力により、開閉弁を制御する構成とした。
車側のカプラーユニットが、地上側の充電用コネクタも
しくはガス路継手と車側の充電用コネクタもしくはガス
路継手とが結合する時のカプラー相互間隔よりも短い間
隔で動作する結合確認手段を備え、この結合確認手段の
出力により、開閉弁を制御する構成とした。
【００２４】請求項９では、地上側カプラー装置は、無
人搬送装置との間で無線通信可能な制御器を有し、該制
御器は無人搬送装置側からの指令に基づき進退機構及び
開閉弁を制御するようにした。
人搬送装置との間で無線通信可能な制御器を有し、該制
御器は無人搬送装置側からの指令に基づき進退機構及び
開閉弁を制御するようにした。
【００２５】
【作用】本発明では、無人搬送車が所定のステーション
に到達すると、地上側カプラー装置の可動カプラーユニ
ットが無人搬送車へ移動して車側カプラーユニットに接
合し、無人搬送車の給ガス路が両カプラーユニットを通
して上記不活性ガス貯溜部に連絡され、容器内に半導体
ウエファ等が収納されると、該容器内の空気が不活性ガ
ス貯溜源から供給される不活性ガスで置換され、半導体
ウエファ等は不活性ガス雰囲気内に置かれて搬送され
る。
に到達すると、地上側カプラー装置の可動カプラーユニ
ットが無人搬送車へ移動して車側カプラーユニットに接
合し、無人搬送車の給ガス路が両カプラーユニットを通
して上記不活性ガス貯溜部に連絡され、容器内に半導体
ウエファ等が収納されると、該容器内の空気が不活性ガ
ス貯溜源から供給される不活性ガスで置換され、半導体
ウエファ等は不活性ガス雰囲気内に置かれて搬送され
る。
【００２６】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００２７】図１において、７０は図６の半導体製造装
置２０を備えるワークステーションに配設されている地
上側カプラー装置であって、図２の（Ａ）に示すよう
に、信号用可動コネクタ７１Ｐ、７１Ｎ、給気管継手７
２Ｍ、排気管継手７２Ｎを備えている。１００は不活性
ガス貯留タンクである。３４は無人搬送車３０に設けた
車上側カプラーユニットである。
置２０を備えるワークステーションに配設されている地
上側カプラー装置であって、図２の（Ａ）に示すよう
に、信号用可動コネクタ７１Ｐ、７１Ｎ、給気管継手７
２Ｍ、排気管継手７２Ｎを備えている。１００は不活性
ガス貯留タンクである。３４は無人搬送車３０に設けた
車上側カプラーユニットである。
【００２８】図３は地上側カプラー装置７０の１例を示
したものである。同図において、７３はフレーム、７
４、７４は門型の支持枠、７５は支持枠７４に水平に支
持されたリニアガイドレール、７６は電動リニアアクチ
ュエータであって、フレーム７３の後壁７３Ｂにピン７
７を介し支持されている。７８はカプラーユニットであ
って、その前端面から上記可動コネクタ７１Ｐ、７１
Ｎ、上記給気管継手７２Ｍ、排気管継手７２Ｎが突出し
ている。このカプラーユニット７８はリニアガイドレー
ル７５に嵌合支持された係合子７９を介して吊り下げ支
持されたブロック８０の前端面に固定されており、この
ブロック８０は内部を通るモータシリンダ７６Ａの伸縮
ロッド７６ａに連結されている。８１は係合子７７に対
する機械的ストッパ、８２は電気回路上でのストッパで
あり、そのセンサドグ８２Ａはブロック８０に固定され
ている。８３Ｍは給気管、８３Ｎは排気管であって、給
気管８３Ｍはその一端側を給気管継手７２Ｍに接続され
他端側は取付け台８４上に配設されている開閉弁８５と
減圧弁８６及び配管８７を通して不活性ガス貯留タンク
１００に接続されている。排気管８３はその一端を排気
管継手７２Ｎに接続され、他端側は図示しない排気設備
へ伸びている。
したものである。同図において、７３はフレーム、７
４、７４は門型の支持枠、７５は支持枠７４に水平に支
持されたリニアガイドレール、７６は電動リニアアクチ
ュエータであって、フレーム７３の後壁７３Ｂにピン７
７を介し支持されている。７８はカプラーユニットであ
って、その前端面から上記可動コネクタ７１Ｐ、７１
Ｎ、上記給気管継手７２Ｍ、排気管継手７２Ｎが突出し
ている。このカプラーユニット７８はリニアガイドレー
ル７５に嵌合支持された係合子７９を介して吊り下げ支
持されたブロック８０の前端面に固定されており、この
ブロック８０は内部を通るモータシリンダ７６Ａの伸縮
ロッド７６ａに連結されている。８１は係合子７７に対
する機械的ストッパ、８２は電気回路上でのストッパで
あり、そのセンサドグ８２Ａはブロック８０に固定され
ている。８３Ｍは給気管、８３Ｎは排気管であって、給
気管８３Ｍはその一端側を給気管継手７２Ｍに接続され
他端側は取付け台８４上に配設されている開閉弁８５と
減圧弁８６及び配管８７を通して不活性ガス貯留タンク
１００に接続されている。排気管８３はその一端を排気
管継手７２Ｎに接続され、他端側は図示しない排気設備
へ伸びている。
【００２９】無人搬送車３０のカプラーユニット３４
は、図２の（Ｂ）に示すように、上記信号用可動コネク
タ７１Ｐ、７１Ｎとそれぞれ自動接続可能な信号用固定
コネクタ３５Ｐ、３５Ｎと、給気管継手７２Ｍ、排気管
継手７２Ｎとそれぞれ自動連結可能な給気管継手３６
Ｍ、排気管継手３６Ｎを備え、図５に示すように、給気
管継手３６Ｍは給ガス路５２を通して搬送ボックス４０
のガス注入口４４に連絡され、排気管継手３６Ｎは配管
５５を通して搬送ボックス４０の排気口４５に連絡され
ている。なお、給気管継手３６Ｍ、排気管継手３６Ｎは
図４に示すように逆止弁３６Ｖを備える一方向性継手か
らなる。図４において、３６Ａ、３６Ｂは継手本体、３
６Ｃは弁孔、である。
は、図２の（Ｂ）に示すように、上記信号用可動コネク
タ７１Ｐ、７１Ｎとそれぞれ自動接続可能な信号用固定
コネクタ３５Ｐ、３５Ｎと、給気管継手７２Ｍ、排気管
継手７２Ｎとそれぞれ自動連結可能な給気管継手３６
Ｍ、排気管継手３６Ｎを備え、図５に示すように、給気
管継手３６Ｍは給ガス路５２を通して搬送ボックス４０
のガス注入口４４に連絡され、排気管継手３６Ｎは配管
５５を通して搬送ボックス４０の排気口４５に連絡され
ている。なお、給気管継手３６Ｍ、排気管継手３６Ｎは
図４に示すように逆止弁３６Ｖを備える一方向性継手か
らなる。図４において、３６Ａ、３６Ｂは継手本体、３
６Ｃは弁孔、である。
【００３０】信号用可動コネクタ７１Ｐ、７１Ｎ、信号
用固定コネクタ３５Ｐ、３５Ｎは図６に示すガス路接続
制御回路を構成する要素であって、可動コネクタ７１
Ｐ、７１Ｎの間には、ガス路接続検知器であるリレー９
１が挿入され、固定コネクタ３５Ｐ、３５Ｎ間には無人
搬送車３０に搭載されているバッテリ９５の一部電圧が
印加される。９３は地上側カプラー装置７０の制御器で
あって、無線通信ユニット９４を備え、電動リニアアク
チュエータ７６と開閉弁８５とを制御する。９６は無人
搬送車３０の主制御装置ＣＰＵであって、無線通信ユニ
ット９７を備えている。９８は無人搬送車３０の床下に
設けた位置検出用センサである。
用固定コネクタ３５Ｐ、３５Ｎは図６に示すガス路接続
制御回路を構成する要素であって、可動コネクタ７１
Ｐ、７１Ｎの間には、ガス路接続検知器であるリレー９
１が挿入され、固定コネクタ３５Ｐ、３５Ｎ間には無人
搬送車３０に搭載されているバッテリ９５の一部電圧が
印加される。９３は地上側カプラー装置７０の制御器で
あって、無線通信ユニット９４を備え、電動リニアアク
チュエータ７６と開閉弁８５とを制御する。９６は無人
搬送車３０の主制御装置ＣＰＵであって、無線通信ユニ
ット９７を備えている。９８は無人搬送車３０の床下に
設けた位置検出用センサである。
【００３１】次に、この装置の動作について説明する。
【００３２】今、図１１に示す半導体製造装置２０上の
ウエファカセット１を半導体製造装置１０へ搬送するも
のとする。
ウエファカセット１を半導体製造装置１０へ搬送するも
のとする。
【００３３】（１）無人搬送車３０が半導体製造装置２
０が配置されているステーション近傍まで走行すると、
主制御装置ＣＰＵから制御器６０へ出力されたタイミン
グ信号に同期して、搬送ボックス４０の上記図示しない
電動シリンダが伸長動作して蓋を開く。蓋が所定位置ま
で開くと図示しない蓋開検知用センサ（リミットスイッ
チ）が働く。
０が配置されているステーション近傍まで走行すると、
主制御装置ＣＰＵから制御器６０へ出力されたタイミン
グ信号に同期して、搬送ボックス４０の上記図示しない
電動シリンダが伸長動作して蓋を開く。蓋が所定位置ま
で開くと図示しない蓋開検知用センサ（リミットスイッ
チ）が働く。
【００３４】（２）無人搬送車３０が半導体製造装置２
０の前に到達し、その主制御装置ＣＰＵが、正規停止位
置であることを知らせる地上のマークを検知する位置検
出用センサ９８の出力から無人搬送車３０が半導体製造
装置１０の前の所定位置に正しく停止したことを確認す
ると、上記蓋開検知用センサ（リミットスイッチ）が検
知信号を発生したことを条件にして、移載ロボット３１
のアーム・手首部が所定のプログラムに従う移載動作を
開始する。
０の前に到達し、その主制御装置ＣＰＵが、正規停止位
置であることを知らせる地上のマークを検知する位置検
出用センサ９８の出力から無人搬送車３０が半導体製造
装置１０の前の所定位置に正しく停止したことを確認す
ると、上記蓋開検知用センサ（リミットスイッチ）が検
知信号を発生したことを条件にして、移載ロボット３１
のアーム・手首部が所定のプログラムに従う移載動作を
開始する。
【００３５】（３）一方、主制御装置ＣＰＵは、無人搬
送車３０が上記所定位置に正しく停止したことを確認す
ると、地上側カプラー装置７０の制御器９３に無線通信
（この例では、光通信とする）によりガス路接続指令を
与える。これにより、地上側カプラー装置７０の電動リ
ニアアクチュエータ７６が作動し、伸縮ロッド７６ａが
伸長し、可動カプラーユニット７８が無人搬送車３０の
固定カプラーユニット３４に向かって所定距離だけ水平
移動し、信号用コネクタ７１Ｐ、７１Ｎがそれぞれ固定
コネクタ３５Ｐ、３５Ｎに所定圧で圧接するとともに、
可動カプラーユニット７８の給気管継手７２Ｍ、排気管
継手７２Ｎがそれぞれ固定カプラーユニット３４の給気
管継手３６Ｍ、排気管継手３６Ｎに結合する。信号用コ
ネクタ７１Ｐ、７１Ｎがそれぞれ固定コネクタ３５Ｐ、
３５Ｎに圧接すると、リレー９１のコイルが付勢され、
そのリレー接点が閉路する。
送車３０が上記所定位置に正しく停止したことを確認す
ると、地上側カプラー装置７０の制御器９３に無線通信
（この例では、光通信とする）によりガス路接続指令を
与える。これにより、地上側カプラー装置７０の電動リ
ニアアクチュエータ７６が作動し、伸縮ロッド７６ａが
伸長し、可動カプラーユニット７８が無人搬送車３０の
固定カプラーユニット３４に向かって所定距離だけ水平
移動し、信号用コネクタ７１Ｐ、７１Ｎがそれぞれ固定
コネクタ３５Ｐ、３５Ｎに所定圧で圧接するとともに、
可動カプラーユニット７８の給気管継手７２Ｍ、排気管
継手７２Ｎがそれぞれ固定カプラーユニット３４の給気
管継手３６Ｍ、排気管継手３６Ｎに結合する。信号用コ
ネクタ７１Ｐ、７１Ｎがそれぞれ固定コネクタ３５Ｐ、
３５Ｎに圧接すると、リレー９１のコイルが付勢され、
そのリレー接点が閉路する。
【００３６】（４）移載ロボット３１の上記移載動作に
より、ウエファカセット１が半導体製造装置２０から搬
送ボックス４０内に収納されると、在荷センサ４３が出
力し、搬送ボックス４０の上記電動シリンダが縮み動作
をして蓋が閉される。蓋が閉されると図示しない蓋閉検
知用センサ（リミットスイッチ）が働く。
より、ウエファカセット１が半導体製造装置２０から搬
送ボックス４０内に収納されると、在荷センサ４３が出
力し、搬送ボックス４０の上記電動シリンダが縮み動作
をして蓋が閉される。蓋が閉されると図示しない蓋閉検
知用センサ（リミットスイッチ）が働く。
【００３７】（５）蓋が完全に閉まると、即ち、上記蓋
閉検知用リミットスイッチが出力すると、制御器６０は
給ガス開始指令（開弁指令）を主制御装置ＣＰＵに送る
ととも該制御器６０内のタイマが計時を開始する。主制
御装置ＣＰＵはこの給ガス開始指令を無線信号に変換し
て地上側カプラー装置７０の制御器９０に伝送する。
閉検知用リミットスイッチが出力すると、制御器６０は
給ガス開始指令（開弁指令）を主制御装置ＣＰＵに送る
ととも該制御器６０内のタイマが計時を開始する。主制
御装置ＣＰＵはこの給ガス開始指令を無線信号に変換し
て地上側カプラー装置７０の制御器９０に伝送する。
【００３８】（６）制御器９０はこの無線信号を受信す
ると、上記リレー接点が閉路していることを条件に開閉
弁８５に開弁指令を与える。これにより、開閉弁８５が
開弁し、窒素ガスボンベ１００から窒素ガスが流出し、
給気管８３Ｍ、給気管継手７２Ｍ、３６Ｍ、給ガス路５
２、ガス注入口４４を通して搬送ボックス４０内に噴出
する。搬送ボックス４０内の空気はこの窒素ガスにより
押し出されて排気口４５から排気管５５へ排気され、搬
送ボックス４０内は窒素ガスで置換される。上記排気は
排気管継手３６Ｎ、７２Ｎ、排気管８３Ｎを経由して排
気設備へ排出される。
ると、上記リレー接点が閉路していることを条件に開閉
弁８５に開弁指令を与える。これにより、開閉弁８５が
開弁し、窒素ガスボンベ１００から窒素ガスが流出し、
給気管８３Ｍ、給気管継手７２Ｍ、３６Ｍ、給ガス路５
２、ガス注入口４４を通して搬送ボックス４０内に噴出
する。搬送ボックス４０内の空気はこの窒素ガスにより
押し出されて排気口４５から排気管５５へ排気され、搬
送ボックス４０内は窒素ガスで置換される。上記排気は
排気管継手３６Ｎ、７２Ｎ、排気管８３Ｎを経由して排
気設備へ排出される。
【００３９】このガス置換に要する時間Ｔｋは上記タイ
マで設定されており、該タイマがタイムアップすると、
制御器６０は給ガス停止指令（閉弁指令）を主制御装置
ＣＰＵに送る。主制御装置ＣＰＵはこの給ガス停止指令
を無線信号に変換して地上側カプラー装置７０の制御器
９３に伝送する。
マで設定されており、該タイマがタイムアップすると、
制御器６０は給ガス停止指令（閉弁指令）を主制御装置
ＣＰＵに送る。主制御装置ＣＰＵはこの給ガス停止指令
を無線信号に変換して地上側カプラー装置７０の制御器
９３に伝送する。
【００４０】（７）制御器９３はこの無線信号を受信す
ると、開閉弁８５に閉弁指令を与えたのち、電動リニア
アクチュエータ７６が復動させる。これにより、開閉弁
８５が閉弁し、伸縮ロッド７６ａが縮み、可動カプラー
ユニット７８が無人搬送車３０の固定カプラーユニット
３４から後退し、信号用コネクタ７１Ｐ、７１Ｎがそれ
ぞれ固定コネクタ３５Ｐ、３５Ｎから離間するととも
に、可動カプラーユニット７８の給気管継手７２Ｍ、排
気管継手７２Ｎと固定カプラーユニット３４の給気管継
手３６Ｍ、排気管継手３６Ｎの結合が解かれる。
ると、開閉弁８５に閉弁指令を与えたのち、電動リニア
アクチュエータ７６が復動させる。これにより、開閉弁
８５が閉弁し、伸縮ロッド７６ａが縮み、可動カプラー
ユニット７８が無人搬送車３０の固定カプラーユニット
３４から後退し、信号用コネクタ７１Ｐ、７１Ｎがそれ
ぞれ固定コネクタ３５Ｐ、３５Ｎから離間するととも
に、可動カプラーユニット７８の給気管継手７２Ｍ、排
気管継手７２Ｎと固定カプラーユニット３４の給気管継
手３６Ｍ、排気管継手３６Ｎの結合が解かれる。
【００４１】（８）制御器９３は、リレー９０の接点出
力がＯＦＦになったことを無線信号に変換して主制御装
置ＣＰＵに伝送する。主制御装置ＣＰＵはこの信号を受
信すると、無人搬送車３０に、半導体製造装置１０に向
かう走行プログラムを実行開始させ、無人搬送車３０
は、半導体製造装置１０に向かって走行を開始する。
力がＯＦＦになったことを無線信号に変換して主制御装
置ＣＰＵに伝送する。主制御装置ＣＰＵはこの信号を受
信すると、無人搬送車３０に、半導体製造装置１０に向
かう走行プログラムを実行開始させ、無人搬送車３０
は、半導体製造装置１０に向かって走行を開始する。
【００４２】給気管継手３６Ｍ、排気管継手３６Ｎは、
給気管継手７２Ｍ、排気管継手７２Ｎとの結合を解かれ
ると、その逆止弁機能が働くので、無人搬送車３０が半
導体製造装置１０へ向かっている間に搬送ボックス４０
内の窒素ガスが該搬送ボックス４０から流出するような
ことはなく、搬送ボックス４０内に貯留されたままとな
る。
給気管継手７２Ｍ、排気管継手７２Ｎとの結合を解かれ
ると、その逆止弁機能が働くので、無人搬送車３０が半
導体製造装置１０へ向かっている間に搬送ボックス４０
内の窒素ガスが該搬送ボックス４０から流出するような
ことはなく、搬送ボックス４０内に貯留されたままとな
る。
【００４３】（９）無人搬送車３０が半導体製造装置１
０の前の所定位置に停車すると、あるいは該所定位置よ
り手前のある位置に達すると、前記主制御装置ＣＰＵか
ら制御器６０へ出力されたタイミング信号に同期して、
搬送ボックス４０の上記電動シリンダが伸長動作して蓋
４２を開き、無人搬送車３０が半導体製造装置１０の前
の所定位置に停車すると、移載ロボット３１のアーム・
手首部が所定のプログラムに従う移載動作を開始し、搬
送ボックス４０内のウエファカセット１が半導体製造装
置１０へ移載される。
０の前の所定位置に停車すると、あるいは該所定位置よ
り手前のある位置に達すると、前記主制御装置ＣＰＵか
ら制御器６０へ出力されたタイミング信号に同期して、
搬送ボックス４０の上記電動シリンダが伸長動作して蓋
４２を開き、無人搬送車３０が半導体製造装置１０の前
の所定位置に停車すると、移載ロボット３１のアーム・
手首部が所定のプログラムに従う移載動作を開始し、搬
送ボックス４０内のウエファカセット１が半導体製造装
置１０へ移載される。
【００４４】本実施例では、半導体ウエファ２を収納し
たウエファカセット１を搬送ボックス４０内に収め、こ
の搬送ボックス４０内の雰囲気を不活性気体である窒素
ガス雰囲気にした状態で所定位置から所定位置まで搬送
するので、例えば、何んらかの原因で、搬送途中に無人
搬送車３０が長時間（上記自然酸化膜が成長するに充分
な時間）の停車を余儀なくされたような場合でも、半導
体ウエファ２の表面における上記自然酸化膜の成長を抑
えることができる。
たウエファカセット１を搬送ボックス４０内に収め、こ
の搬送ボックス４０内の雰囲気を不活性気体である窒素
ガス雰囲気にした状態で所定位置から所定位置まで搬送
するので、例えば、何んらかの原因で、搬送途中に無人
搬送車３０が長時間（上記自然酸化膜が成長するに充分
な時間）の停車を余儀なくされたような場合でも、半導
体ウエファ２の表面における上記自然酸化膜の成長を抑
えることができる。
【００４５】本実施例では、搬送ボックス４０内を不活
性ガスで置換して走行する必要のある走行ルートの始点
にあたるワークステーションに不活性ガス貯留タンク１
００を配設し、このワークステーションで、地上側から
搬送ボックス４０へ不活性ガスを供給するので、不活性
ガス貯留源を、その交換のために、車体から下ろした
り、新しい不活性ガス貯留源を積み込んだりしなくても
済み、不活性ガス貯留源交換のための作業ロスも無くな
る。勿論、不活性ガス貯留源を無人搬送車３０に搭載し
ないから、車体の大形化、大重量化を招くこともない。
性ガスで置換して走行する必要のある走行ルートの始点
にあたるワークステーションに不活性ガス貯留タンク１
００を配設し、このワークステーションで、地上側から
搬送ボックス４０へ不活性ガスを供給するので、不活性
ガス貯留源を、その交換のために、車体から下ろした
り、新しい不活性ガス貯留源を積み込んだりしなくても
済み、不活性ガス貯留源交換のための作業ロスも無くな
る。勿論、不活性ガス貯留源を無人搬送車３０に搭載し
ないから、車体の大形化、大重量化を招くこともない。
【００４６】無人搬送車３０が、そのバッテリ９５を充
電ステーションにおいて、自動充電するタイプの無人車
である場合には、この充電ステーションに不活性ガス貯
留タンク１００を配設するようにすれば、充電用コネク
タを備えるカプラーユニットを利用できるので、便利で
あり、コストも安くて済む。
電ステーションにおいて、自動充電するタイプの無人車
である場合には、この充電ステーションに不活性ガス貯
留タンク１００を配設するようにすれば、充電用コネク
タを備えるカプラーユニットを利用できるので、便利で
あり、コストも安くて済む。
【００４７】図７は、この充電用のカプラーユニットを
共用する場合の１例を示したものである。同図におい
て、２００は充電器、２０１はこの充電器を制御する充
電器制御回路、２０２はコンタクタＭＣａ、２０３はト
ランス、２０４は整流器、２０５はシャント抵抗、２０
６はリレー９１と同じ役目をするリレー、２０７は抵抗
である。２１０は地上側カプラー装置のカプラーユニッ
トであって、充電用コネクタ２１１Ｐ、２１１Ｎと、給
気管継手２１２Ｍ、排気管２１２Ｎを備えている。２２
０は車側カプラーユニットであって、充電用コネクタ２
２１Ｐ、２２１Ｎと、給気管継手２２２Ｍ、排気管継手
２２２Ｎを備えている。２３０は走行制御装置、２３１
はコンタクタＭＣＣ、２３２は放電検出器である。
共用する場合の１例を示したものである。同図におい
て、２００は充電器、２０１はこの充電器を制御する充
電器制御回路、２０２はコンタクタＭＣａ、２０３はト
ランス、２０４は整流器、２０５はシャント抵抗、２０
６はリレー９１と同じ役目をするリレー、２０７は抵抗
である。２１０は地上側カプラー装置のカプラーユニッ
トであって、充電用コネクタ２１１Ｐ、２１１Ｎと、給
気管継手２１２Ｍ、排気管２１２Ｎを備えている。２２
０は車側カプラーユニットであって、充電用コネクタ２
２１Ｐ、２２１Ｎと、給気管継手２２２Ｍ、排気管継手
２２２Ｎを備えている。２３０は走行制御装置、２３１
はコンタクタＭＣＣ、２３２は放電検出器である。
【００４８】本実施例では、充電用コネクタコネクタ２
２１Ｐ、２２１Ｎと、充電用コネクタ２１１Ｐ、２１１
Ｎとが前記した信号用コネクタ３５Ｐ、３５Ｎと７１
Ｐ、７１Ｎとを兼ねており、ガス路接続検知をリレー２
０６の接点出力を利用して行なうことになり、この接点
出力で、開閉弁８５を開弁する。
２１Ｐ、２２１Ｎと、充電用コネクタ２１１Ｐ、２１１
Ｎとが前記した信号用コネクタ３５Ｐ、３５Ｎと７１
Ｐ、７１Ｎとを兼ねており、ガス路接続検知をリレー２
０６の接点出力を利用して行なうことになり、この接点
出力で、開閉弁８５を開弁する。
【００４９】また、コネクタ結合確認手段として、上記
リレー２０６ではなく、図８及び図９に示すように、カ
プラーユニット２１０に設けられた補助端子２１３Ｐ、
２１３Ｎとカプラーユニット２２０に設けられた補助端
子２２３Ｐ、２２３Ｎ及び結合確認回路２４０を用いる
場合には、この結合確認回路２４０の出力で開閉弁８５
を開弁する。図９において、２４１〜２４４はコイルば
ねである。
リレー２０６ではなく、図８及び図９に示すように、カ
プラーユニット２１０に設けられた補助端子２１３Ｐ、
２１３Ｎとカプラーユニット２２０に設けられた補助端
子２２３Ｐ、２２３Ｎ及び結合確認回路２４０を用いる
場合には、この結合確認回路２４０の出力で開閉弁８５
を開弁する。図９において、２４１〜２４４はコイルば
ねである。
【００５０】この補助端子２１３Ｐ、２１３Ｎはユニッ
ト２１０からの突出長がＬだけ充電用コネクタ２１１
Ｐ、２１１Ｎより短く、カプラーユニット２１０は、充
電用コネクタ２１１Ｐ、２１１Ｎがそれぞれ充電用コネ
クタ２２１Ｐ、２２１Ｎに当接したのち（図９の（Ｂ）
に示す）、更に距離Ｌだけ移動し（図９の（Ｃ）に示
す）、この間に、充電用コネクタ２１１Ｐ、２１１Ｎと
充電用コネクタ２２１Ｐ、２２１Ｎとの接触圧が所定圧
となる。補助端子２１３Ｐ、２１３Ｎと補助端子２２３
Ｐ、２２３Ｎとがそれぞれ電気的に接触すると、結合確
認回路２４０が充電開始を許可する。
ト２１０からの突出長がＬだけ充電用コネクタ２１１
Ｐ、２１１Ｎより短く、カプラーユニット２１０は、充
電用コネクタ２１１Ｐ、２１１Ｎがそれぞれ充電用コネ
クタ２２１Ｐ、２２１Ｎに当接したのち（図９の（Ｂ）
に示す）、更に距離Ｌだけ移動し（図９の（Ｃ）に示
す）、この間に、充電用コネクタ２１１Ｐ、２１１Ｎと
充電用コネクタ２２１Ｐ、２２１Ｎとの接触圧が所定圧
となる。補助端子２１３Ｐ、２１３Ｎと補助端子２２３
Ｐ、２２３Ｎとがそれぞれ電気的に接触すると、結合確
認回路２４０が充電開始を許可する。
【００５１】上記図７及び図８の実施例では、充電用コ
ネクタとガス路継手を別々に有しているが、図１０に示
すように、充電用コネクタ２１１Ｐ、２１１Ｎ、充電用
コネクタ２２１Ｐ、２２１Ｎを中空にして内部に不活性
ガス通路として利用するようにしてもよい。この場合に
は、充電用コネクタ２２１Ｐ、２２１Ｎ側にフィルタ２
５０と開閉弁２５１を設ける。２５２は接点、２５３は
シール部材である。
ネクタとガス路継手を別々に有しているが、図１０に示
すように、充電用コネクタ２１１Ｐ、２１１Ｎ、充電用
コネクタ２２１Ｐ、２２１Ｎを中空にして内部に不活性
ガス通路として利用するようにしてもよい。この場合に
は、充電用コネクタ２２１Ｐ、２２１Ｎ側にフィルタ２
５０と開閉弁２５１を設ける。２５２は接点、２５３は
シール部材である。
【００５２】なお、上記実施例では、窒素ガスの供給時
間を制御器６０内の図示しないタイマで規定している
が、搬送ボックス４０内の酸素濃度もしくは窒素濃度を
測定する濃度計を設け、測定濃度が所定濃度になった時
に制御器６０から開弁指令を発生させるようにしてもよ
い。
間を制御器６０内の図示しないタイマで規定している
が、搬送ボックス４０内の酸素濃度もしくは窒素濃度を
測定する濃度計を設け、測定濃度が所定濃度になった時
に制御器６０から開弁指令を発生させるようにしてもよ
い。
【００５３】また、搬送ボックス４０は、台車枠３０Ａ
の天板３０Ｂの一部を底とし、その上にかぶせるような
構造でもよい。
の天板３０Ｂの一部を底とし、その上にかぶせるような
構造でもよい。
【００５４】また、上記各実施例の搬送ボックス４０は
台車枠３０Ａに固定しているが、搬送ボックス４０は台
車枠３０Ａに非固定で、搬送ボックス４０自体を半導体
製造装置１０、２０側と授受する場合もある。
台車枠３０Ａに固定しているが、搬送ボックス４０は台
車枠３０Ａに非固定で、搬送ボックス４０自体を半導体
製造装置１０、２０側と授受する場合もある。
【００５５】また、上記各実施例では、無人搬送車３０
に搭載した移載ロボット３１で地上側（半導体製造装置
１０、２０）と搬送物の授受を行なうが、移載ロボット
は地上側に設けて、搬送物の授受を行なう場合もある。
に搭載した移載ロボット３１で地上側（半導体製造装置
１０、２０）と搬送物の授受を行なうが、移載ロボット
は地上側に設けて、搬送物の授受を行なう場合もある。
【００５６】また、上記各実施例では、地上側のカプラ
ーユニットを進退させているが、車側のカプラーユニッ
トを進退させる場合もある。
ーユニットを進退させているが、車側のカプラーユニッ
トを進退させる場合もある。
【００５７】また、上記各実施例では、バッテリ搭載の
搬送車について説明したが、本発明は、レール上を走行
する給電レール式の搬送車にも適用することができる。
搬送車について説明したが、本発明は、レール上を走行
する給電レール式の搬送車にも適用することができる。
【００５８】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、無人搬送車
が所定のステーションに到達すると、地上側カプラー装
置の可動カプラーユニットが無人搬送車へ移動して車側
カプラーユニットに接合し、無人搬送車の給ガス路が両
カプラーユニットを通して上記不活性ガス貯溜部に連絡
され、容器内に半導体ウエファ等が収納されると、該容
器内の空気が不活性ガス貯溜源から供給される不活性ガ
スで置換されるので、搬送期間中に自然酸化膜が成長す
るのを防止して、従来に比し、半導体製造の歩留りを向
上することができ、しかも、上記不活性ガス貯溜源は地
上側にあって、無人搬送車に備える必要はないので、上
記自然酸化膜の生成を、車体の大形・大重量化を招くこ
となく、抑制することができ、例え、無人搬送車暴走し
ても、不活性ガス貯留源からの危険はない。
が所定のステーションに到達すると、地上側カプラー装
置の可動カプラーユニットが無人搬送車へ移動して車側
カプラーユニットに接合し、無人搬送車の給ガス路が両
カプラーユニットを通して上記不活性ガス貯溜部に連絡
され、容器内に半導体ウエファ等が収納されると、該容
器内の空気が不活性ガス貯溜源から供給される不活性ガ
スで置換されるので、搬送期間中に自然酸化膜が成長す
るのを防止して、従来に比し、半導体製造の歩留りを向
上することができ、しかも、上記不活性ガス貯溜源は地
上側にあって、無人搬送車に備える必要はないので、上
記自然酸化膜の生成を、車体の大形・大重量化を招くこ
となく、抑制することができ、例え、無人搬送車暴走し
ても、不活性ガス貯留源からの危険はない。
【図１】本発明の実施例を示す構成図である。
【図２の（Ａ）】上記実施例における可動カプラーユニ
ットの正面図である。
ットの正面図である。
【図２の（Ｂ）】上記実施例における固定カプラーユニ
ットの正面図である。
ットの正面図である。
【図３】上記実施例における地上側カプラー装置の構成
図である。
図である。
【図４】上記実施例における固定カプラーユニットの給
気管継手、排気管継手の構成図である。
気管継手、排気管継手の構成図である。
【図５】上記実施例における無人搬送車の内部配置図で
ある。
ある。
【図６】上記実施例におけるガス路接続制御回路を示す
図である。
図である。
【図７】本発明の他の実施例を示す回路図である。
【図８】本発明の更に他の実施例を示す回路図である。
【図９】図８の実施例における結合確認手段の動作を説
明するための図である。
明するための図である。
【図１０】ガス路継手を兼ねる充電用コネクタを示す図
である。
である。
【図１１】従来の無人搬送装置を用いるクリーンルーム
システムを示す図である。
システムを示す図である。
【図１２】上記従来の無人搬送装置の内部配置を示す図
である。
である。
【図１３】シリコン半導体ウエファの自然酸化膜の成長
と時間との関係を示す図である。
と時間との関係を示す図である。
【図１４】シリコン半導体ウエファの自然酸化膜の生成
による抵抗率と時間との関係を示した図である。
による抵抗率と時間との関係を示した図である。
１ ウエファカセット ２ 半導体ウエファ １０、２０ 半導体製造装置 ３０ 無人搬送車 ３０Ａ 台車枠 ３０Ｂ 天板 ３１ 移載ロボット ３４、２２０ 固定カプラーユニット ３５Ｐ、３５Ｎ 信号用コネクタ ３６Ｍ、３６Ｎ ガス路継手 ４０ 搬送ボックス ４２ 蓋 ４３ 在荷センサ ４４ ガス注入口 ４５ 排気口 ５０ 窒素ボンベ ５２ 給ガス路 ６０ 制御器 ７０ 地上側カプラー装置 ７１Ｐ、７１Ｎ 信号用コネクタ ７２Ｍ、７２Ｎ ガス路継手 ７５ リニアガイドレール ７６ 電動リニアアクチュエータ ７８、２１０ 可動カプラーユニット ８０ ブロック ８３Ｍ 給気管 ８３Ｎ 排気管 ８５ 開閉弁 ８６ 減圧弁 ８７ 配管 ９１、２０６ リレー ９３ 制御器 ９４ 無線通信ユニット ９５ バッテリ ９７ 無線通信ユニット ＣＰＵ 主制御装置 ２００ 充電器 ２１１Ｐ、２１１Ｎ 充電用コネクタ ２１２Ｍ、２１２Ｎ ガス路継手 ２１３Ｐ、２１３Ｎ 補助端子 ２２１Ｐ、２２１Ｎ 充電用コネクタ ２２２Ｐ、２２２Ｎ ガス路継手 ２２３Ｍ、２２３Ｎ 補助端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65G 49/00 B23Q 41/02 H01L 21/02
Claims (9)
- 【請求項１】 搬送物を容器に収納して搬送し、該容器
が、内部雰囲気置換可能に給ガス路を介して不活性ガス
貯溜源と接続されるクリーンルーム用の無人搬送装置に
おいて、無人搬送装置は上記給ガス路に接続された車側
カプラーユニットを有し、上記不活性ガス貯溜源は地上
側にあって、地上側カプラー装置のカプラーユニットに
配管を通して接続され、上記給ガス路は両カプラーユニ
ットを通して上記不活性ガス貯溜部に連絡されることを
特徴とするクリーンルーム用の無人搬送装置。 - 【請求項２】 地上側カプラー装置は、カプラーユニッ
トを車側カプラーユニットに対して進退させる進退機構
を有し、上記カプラーユニットは信号用コネクタを備え
る他、ガス路継手を備え、車側カプラーユニットは上記
コネクタに電気的に離接可能な信号用コネクタと上記ガ
ス路継手に離接可能なガス路継手を備えることを特徴と
する請求項１記載のクリーンルーム用の無人搬送装置。 - 【請求項３】 車側カプラーユニットが地上側のカプラ
ーユニットに対して進退することを特徴とする請求項１
記載のクリーンルーム用の無人搬送装置。 - 【請求項４】 ガス路継手は逆止弁機能を有することを
特徴とする請求項１〜３記載のクリーンルーム用の無人
搬送装置。 - 【請求項５】 地上側カプラー装置は、その信号用コネ
クタと車側の信号用コネクタの電気的接続により閉成す
るガス路接続制御回路に挿入されたガス路接続検知器を
有し、カプラーユニットと不活性ガス貯溜部とを連絡す
る配管中の開閉弁が該ガス路接続検知器の検知信号に基
づいて開弁することを特徴とする請求項１〜４記載のク
リーンルーム用の無人搬送装置。 - 【請求項６】 無人搬送装置は自動充電ステーションで
充電されるバッテリを搭載した無人搬送装置であって、
地上側カプラユニットはこの自動充電ステーションに配
設されており、上記カプラユニット及び車側カプラユニ
ットが、充電用コネクタとガス路継手を備えていること
を特徴とする請求項１〜５記載のクリーンルーム用の無
人搬送装置。 - 【請求項７】 無人搬送装置は自動充電ステーションで
充電されるバッテリを搭載した無人搬送装置であって、
地上側カプラユニットはこの自動充電ステーションに配
設されており、上記カプラユニット及び車側カプラユニ
ッの充電用コネクタがガス路継手を兼ねていることを特
徴とする請求項６記載のクリーンルーム用の無人搬送装
置。 - 【請求項８】 地上側のカプラユニットと車側のカプラ
ーユニットが、地上側の充電用コネクタもしくはガス路
継手と車側の充電用コネクタもしくはガス路継手とが結
合する時のカプラー相互間隔よりも短い間隔で動作する
結合確認手段を備え、この結合確認手段の出力によりね
開閉弁を制御することを特徴とする請求項１〜７記載の
クリーンルーム用の無人搬送装置。 - 【請求項９】 地上側カプラー装置は、無人搬送装置と
の間で無線通信可能な制御器を有し、該制御器は無人搬
送装置側からの指令に基づき進退機構及び開閉弁を制御
することを特徴とする請求項１〜８記載のクリーンルー
ム用の無人搬送装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3088064A JP2976566B2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | クリーンルーム用の無人搬送装置 |
| TW081101278A TW203027B (ja) | 1991-04-19 | 1992-02-21 | |
| US07/850,668 US5332013A (en) | 1991-03-15 | 1992-03-13 | Unmanned conveying device in clean room |
| DE69211603T DE69211603T2 (de) | 1991-04-19 | 1992-03-17 | Unbemannte Transportvorrichtung in einem säuberen Raum |
| EP92104619A EP0509256B1 (en) | 1991-04-19 | 1992-03-17 | Unmanned conveying device in clean room |
| KR1019920005217A KR100243976B1 (ko) | 1991-04-19 | 1992-03-30 | 클린룸용무인반송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3088064A JP2976566B2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | クリーンルーム用の無人搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04322980A JPH04322980A (ja) | 1992-11-12 |
| JP2976566B2 true JP2976566B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=13932426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3088064A Expired - Fee Related JP2976566B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-04-19 | クリーンルーム用の無人搬送装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0509256B1 (ja) |
| JP (1) | JP2976566B2 (ja) |
| KR (1) | KR100243976B1 (ja) |
| DE (1) | DE69211603T2 (ja) |
| TW (1) | TW203027B (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05160242A (ja) * | 1991-12-02 | 1993-06-25 | Tadahiro Omi | 高清浄試料運搬装置及び試料運搬方法 |
| KR970054461U (ko) | 1996-03-26 | 1997-10-13 | Lcd 글래스 운반용 수동 대차 | |
| JP3871508B2 (ja) | 2000-11-15 | 2007-01-24 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送容器の給電装置 |
| DE102005009283A1 (de) * | 2005-02-22 | 2006-08-24 | Ex-Cell-O Gmbh | Werkzeugmaschinensystem, verfahrbare Belade-/Entladevorrichtung und Verfahren zur Bereitstellung/Entnahme von Gegenständen von/an Bearbeitungsstationen eines Werkzeugmaschinensystems |
| US7717254B2 (en) * | 2008-05-29 | 2010-05-18 | Corning Incorporated | Glass sheet guidance system and method for guiding glass sheets |
| JP5440871B2 (ja) | 2010-08-20 | 2014-03-12 | 株式会社ダイフク | 容器保管設備 |
| WO2016103304A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 川崎重工業株式会社 | 生産システム |
| CN106817686B (zh) | 2015-11-27 | 2020-07-10 | 大唐移动通信设备有限公司 | 一种计费方法及装置 |
| US10473712B2 (en) * | 2016-12-27 | 2019-11-12 | Infineon Technologies Ag | Integrated circuit device testing in an inert gas |
| DE102018207826A1 (de) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | Kuka Deutschland Gmbh | Handhabung, insbesondere, Transport von Gütern, insbesondere Wafern, durch einen Roboter |
| CN110039559B (zh) * | 2019-05-24 | 2021-10-26 | 郑州心忠圆科技有限公司 | 一种管廊巡检机器人身高调控方法 |
| FR3104053B1 (fr) * | 2019-12-09 | 2023-06-16 | Mecad Savoie Ind | Dispositif de robot universel de chargement et déchargement de tours à commande numérique |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0756879B2 (ja) * | 1988-03-31 | 1995-06-14 | 日鉄セミコンダクター株式会社 | 半導体の無塵化製造装置 |
| DE3826925A1 (de) * | 1988-08-09 | 1990-02-15 | Daldrop & Dr Ing Huber Gmbh & | Einrichtung zur handhabung und behandlung kontaminationsempfindlicher gegenstaende, wie halbleiterteile (wafers) oder aehnlicher produkte |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP3088064A patent/JP2976566B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-02-21 TW TW081101278A patent/TW203027B/zh active
- 1992-03-17 DE DE69211603T patent/DE69211603T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-03-17 EP EP92104619A patent/EP0509256B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-03-30 KR KR1019920005217A patent/KR100243976B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69211603D1 (de) | 1996-07-25 |
| KR100243976B1 (ko) | 2000-02-01 |
| EP0509256B1 (en) | 1996-06-19 |
| KR920020670A (ko) | 1992-11-21 |
| TW203027B (ja) | 1993-04-01 |
| EP0509256A1 (en) | 1992-10-21 |
| DE69211603T2 (de) | 1996-10-31 |
| JPH04322980A (ja) | 1992-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5332013A (en) | Unmanned conveying device in clean room | |
| JP2976566B2 (ja) | クリーンルーム用の無人搬送装置 | |
| CN106711072B (zh) | 搬送设备 | |
| TW548227B (en) | Wafer transport system | |
| CN114121739A (zh) | 物品传送车辆以及物品传送设备 | |
| US6772805B2 (en) | In-situ purge system for article containers | |
| US6688344B2 (en) | Container flush and gas charge system and method | |
| KR100243975B1 (ko) | 클린룸용 무인반송장치 | |
| JPH05316605A (ja) | 無人車 | |
| CN113997794B (zh) | 用于管理物品搬送车辆的电力的装置以及方法 | |
| WO2002065509A1 (en) | Measurement arrangement | |
| JPH0428622A (ja) | 半導体搬送装置 | |
| JP3211342B2 (ja) | クリーンルーム用の不活性ガスボンベ搭載無人搬送装置のガス自動充填ステーション | |
| CN112978058A (zh) | 物料箱、驳运车、物料驳运系统、物料驳运的控制方法及系统 | |
| WO2023042693A1 (ja) | 自動搬送装置 | |
| KR20240062100A (ko) | 가스 공급 시스템 | |
| JPH05191929A (ja) | 蓄電池接続線の断線検出回路 | |
| KR20040021264A (ko) | 무인운반차의 충전 배터리 충전/교환 장치 | |
| CN115591743B (zh) | 移动式自动化液体供应系统 | |
| KR102627684B1 (ko) | 반송차 시스템 | |
| CN221477873U (zh) | 自动接驳的agv搬运装置 | |
| JPH0465620B2 (ja) | ||
| JPH0337967A (ja) | 無人搬送車輌用のバッテリー、バッテリーを用いた無人搬送車輌および無人搬送車輌用のバッテリーの自動充電装置並びにその自動充電方法 | |
| KR20230168479A (ko) | 이송 차량 로딩 장치 및 이를 포함하는 트랙 시스템 | |
| JPH05122802A (ja) | 無人搬送車の給電装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070910 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 9 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 9 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 9 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090910 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090910 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 11 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 11 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 11 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 11 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 11 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |