JPH05316605A - 無人車 - Google Patents

無人車

Info

Publication number
JPH05316605A
JPH05316605A JP4118659A JP11865992A JPH05316605A JP H05316605 A JPH05316605 A JP H05316605A JP 4118659 A JP4118659 A JP 4118659A JP 11865992 A JP11865992 A JP 11865992A JP H05316605 A JPH05316605 A JP H05316605A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
box
battery
unmanned vehicle
station
stocker
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4118659A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshimi Yasuda
利美 安田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP4118659A priority Critical patent/JPH05316605A/ja
Publication of JPH05316605A publication Critical patent/JPH05316605A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10Energy storage using batteries
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/60Electric or hybrid propulsion means for production processes
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02TCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T10/00Road transport of goods or passengers
    • Y02T10/60Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
    • Y02T10/70Energy storage systems for electromobility, e.g. batteries

Landscapes

  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
  • Secondary Cells (AREA)
  • Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】バッテリ交換時間や車上充電時間をなくし無駄
な作業をなくし搬送効率を向上させる。 【構成】ボックス2を収納するステーション14のスト
ッカ9のそれぞれの棚に充電用の電極10a,10bを
配置し、無人車体1上の受台3にある動力供給用の電極
12a,12bと接触する内部電池6の電極5a,5b
をもつ電池ユニット1aをボックス2に取付け、ボック
ス2の車上からストッカ9の棚に、移載毎に、ある程度
放電した電池ユニット1aをもつボックス2とストッカ
9で新しく充電された電池ユニット1aをもつボックス
2とを交換し、常に充電された状態で無人車を走行させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板(以下単に
ウェハと呼ぶ)を加工処理する製造設備ライン毎に配置
されるステーション間を自走し、各ステーションのスト
ッカにウェハを収納するキャリアを収納するボックスを
受け渡しする無人車に関する。
【0002】
【従来の技術】図2は従来の無人車の一例を説明するた
めのステーションに無人車が停止した状態を示す図であ
る。図3はクリーンルーム内に配置された各装置を模式
的に表した図である。
【0003】ウェハ上に集積回路を形成する前工程の生
産現場は、一例として図3に示されるように、極めて高
い清浄度が維持されているクリーンルーム15である。
このクリーンルーム15は隔壁18により区切られてお
り、多くの生産設備はベイ17内に設置される。また、
隔壁18の裏側は、生産設備の用力機械室16となって
いる。ウェハが収納されたキャリアはベイ17内および
ベイ間を移動しながらこれら多くの前記生産設備で集積
回路の形成処理が行われる。
【0004】さらに、各ベイには棚のあるステーション
14がそれぞれ配置されており、それらは工程間搬送装
置19で結ばれている。工程間搬送装置19は一般的に
地上一次制御方式のリニアモータ搬送装置が利用されて
いる。ベイ内の搬送装置は工程間搬送装置と同じリニア
モータを利用したものや床に固定軌道を設け軌道上を走
行する有軌道無人車,あるいは床に磁気テープや光学テ
ープをはりつけた無軌道方式の自立無人車などが利用さ
れ、工程内搬送装置と呼ばれる。
【0005】一方、工程間搬送装置に天井下に軌道を有
するリニアモータ搬送装置を使用し、工程内搬送装置に
は無軌道方式の無人車4を利用していた。また、この工
程内搬送装置に使用される無人車4は充電可能な電池を
搭載し走行することができるようになっている。
【0006】ウェハはキャリアと呼ばれる容器に複数枚
収納され、さらに二つのキャリアを1ロットとしてさら
に別の容器に収納される。この容器のことを一般的にボ
ックスと呼んでいる。工程間搬送装置19によりボック
スは次に処理を行う生産設備の最寄りのステーション1
4に運ばれ、自動的にステーション14の棚に収納保管
される。ボックスは予め決められた約束に従ってさらに
工程内搬送装置つまり無人車4により目的のステーショ
ン14へと運ばれる。
【0007】ステーション14から無人車4へのボック
ス2aの移載は、図2に示すように、ステーション14
に組み込まれているボックス移載機8により無人車4へ
移載される。無人車4は図中には示されていないが、光
通信などの方法によりステーション14より行き先のデ
ータを受け取る。このデータに従って無人車4は目的の
ステーション14まで走行し、ステーション14に到着
するとボックス移載機8によりボックス2aはステーシ
ョン14の棚へ移載される。
【0008】以上が無人車4に標準的な作業である。一
方、この無人車4は電池を利用して走行するため、電池
が放電してしまうと走行が困難になってしまう。このた
め定期的に電池の充電が必要になる。充電方法には二つ
の方法があり、ひとつは無人車にユニット形式で電池を
搭載しておき、充電が必要になったらその電池ユニット
1bをまるごと交換する方法である。このときは電池を
自動的に交換するいわゆる電池交換機が必要である。も
うひとつの方法は車上充電方式であり、電池の充電が必
要になったときに決められた場所で地上側に設置された
充電機の充電端子を無人車の電池端子に接続し、急速充
電により充電する方法である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来の無人車は充電のための時間が必要であった。電池
交換方式では、無人車が電池交換場所まで移動する時間
と実際に電池を交換する時間が無人車の本来の作業を行
っていない時間である。また、車上充電方式の場合でも
充電中は無人車は停止しているわけであるから、これも
本来の作業を行っていない時間である。
【0010】電池交換方式の場合は、1回の電池交換に
要する時間はおおむね2分ほどで、1回の充電で3時間
ほど走行が可能であるから1日あたり16分ほどの停止
時間が見込まれる。また、車上充電方式の場合でも、1
時間の走行で5分ほどの急速充電が必要であるため、1
日あたり120分ほどの停止が見込まれる。つまり、こ
の時間は無人車は作業ができない状態であり、生産その
ものには寄与しないことになる。
【0011】本発明の目的は、充電のために、浪費する
時間をなくし、より効率的に作業する無人車を提供する
ことである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の無人車は、製造
設備ライン毎に配置されるステーション間を自走し、各
ステーションのストッカに被運搬物を収納するボックス
を受け渡しする無人車において、動力を供給する電極に
接触する電池の電極を外部に露呈するとともにこの電池
を収納する電池ユニットを前記ボックスに取付け、前記
ストッカの棚に前記電池の電極と接触して前記電池を充
電させる充電電極を配置し、前記ステーションに停止毎
に車体上の前記ボックスと前記ストッカ上の前記ボック
スと交換し、常に充電された状態の電池を搭載して自走
することを特徴としている。
【0013】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
【0014】図1(a)〜(c)は本発明の無人車の一
実施例を説明するための図であり、(a)はステーショ
ンに停止している状態を示す斜視図、(b)は無人車の
電池ユニットを示す図、(c)はボックスと受台の載置
状態を示す図である。
【0015】この無人車は、図1に示すように、無人車
本体1の受台3に載置されるキャリア7を収納するボッ
クス2に電池ユニット1aを取り付け、この電池ユニッ
ト1aがボックス2の移動および移載の際に、常に電池
ユニット1aもボックス2とともに移動及び移載される
ようにしたことである。なお、受台3には電池ユニット
1aの内部電池6の電極5a,5bと接触して無人車の
動力に電源を供給するための電極12a,12bがばね
13を介して取り付けられる。また、ストッカ9のボッ
クス2を載置する棚の受部には、内部電池6を充電する
ための電極10a,10bが設けられ、ストッカ9にボ
ックス2が収納される毎に内部電池は充電される。
【0016】次に、この無人車の動作について説明す
る。まず、他のステーションからボックス2を積載して
無人車11が目的のベイ内のステーション14に到着す
る。次に、ステーション14のボックス移載機8が無人
車上のボックス2をすくいあげ、ステーション14へ引
き込む。
【0017】ボックス2が取り去られた時点で、無人車
は電源を失うことになるから停電状態となる。次にステ
ーション14のボックス移載機8はステーション14上
で搬送を待っていたボックスを無人車に積載する。この
時点で無人車11はボックス2に取付られた電池ユニッ
ト1aから電源の供給を受けるので復電する。無人車は
光通信装置などによりステーションから次の行き先を得
ることができる。この行き先のデータにより無人車は新
しい目的地を目指して走行を開始する。
【0018】ステーション14に引き取られたボックス
2はボックス移載機8によりストッカ9の空いている棚
に収納される。ストッカ9に各棚も図1(c)のように
ボックス下部に設けらた電池の電極に位置的に迎合する
ように充電用の電極10a,10bが設けらている。
【0019】ボックス2が棚に収納されると充電機によ
りボックス2の下部の電池ユニット1aの電極5aおよ
び5bがそれぞれ棚の電極10a,および10bに接触
し充電が開始される。従ってボックス2がストッカ9に
保管されている間に充電が行われる。
【0020】無人車が1回の搬送で走行する距離は数メ
ートルから20数メートル程度であるので消費電力は比
較的少なく、従って電池の蓄電容量は小さくてすむ。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、運搬物を
収納するボックスに電極が露呈する電池収容用の電池ユ
ニットと、このボックスを保管するステーションの棚に
前記電極と接触して電池を充電する光電電極を備えるこ
とによって、無人車はボックスを移載するたびに充電さ
れた新しいボックスの電源で走行することになり、従来
の例で示したような電池の交換あるいは車上での充電が
不必要となる。つまり、無人車の作業に無駄なものがな
くなり、生産性を向上させることができるという効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の無人車の一実施例を説明するための図
であり、(a)はステーションに停止している状態を示
す斜視図、(b)は無人車の電池ユニットを示す図、
(c)はボックスと受台の載置状態を示す図である。
【図2】従来の無人車の一例を説明するための無人車が
ステーションに停止した状態を示す斜視図である。
【図3】クリーンルーム内に配置された各装置を模式的
に表した図である。
【符号の説明】
1 無人車体 1a,1b 電池ユニット 2,2a ボックス 3 受台 4 無人車 5a,5b,10a,10b,12a,12b 電極 6 内部電池 7 キャリア 8 ボックス移載機 9 ストッカ 11 軌道 13 ばね 14 ステーション 15 クリーンルーム 16 用力機械室 17 ベイ 18 隔壁 19 工程間搬送装置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 製造設備ライン毎に配置されるステーシ
    ョン間を自走し、各ステーションのストッカに被運搬物
    を収納するボックスを受け渡しする無人車において、動
    力を供給する電極に接触する電池の電極を外部に露呈す
    るとともにこの電池を収納する電池ユニットを前記ボッ
    クスに取付け、前記ストッカの棚に前記電池の電極と接
    触して前記電池を充電させる充電電極を配置し、前記ス
    テーションに停止毎に車体上の前記ボックスと前記スト
    ッカ上の前記ボックスと交換し、常に充電された状態の
    電池を搭載して自走することを特徴とする無人車。
JP4118659A 1992-05-12 1992-05-12 無人車 Withdrawn JPH05316605A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4118659A JPH05316605A (ja) 1992-05-12 1992-05-12 無人車

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4118659A JPH05316605A (ja) 1992-05-12 1992-05-12 無人車

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05316605A true JPH05316605A (ja) 1993-11-26

Family

ID=14742045

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4118659A Withdrawn JPH05316605A (ja) 1992-05-12 1992-05-12 無人車

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05316605A (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5959423A (en) * 1995-06-08 1999-09-28 Minolta Co., Ltd. Mobile work robot system
JP2008500216A (ja) * 2004-05-27 2008-01-10 モンテック アーゲー 燃料電池によって駆動する走行ワゴンを備えた輸送システム
CN103231899A (zh) * 2013-05-06 2013-08-07 哈尔滨工业大学 一种用于档案传送的自动导引小车
KR101318820B1 (ko) * 2012-06-20 2013-10-29 국민대학교산학협력단 추락방지기능을 갖춘 전기자동차용 견인식 배터리 자동교환시스템
KR101346079B1 (ko) * 2011-12-20 2013-12-31 (주)클릭앤터치 이동 가능한 충전 장치와 연동한 전기 자동차 운영 시스템
KR101373598B1 (ko) * 2012-06-29 2014-03-13 한국항공대학교산학협력단 전기버스, 전기버스 배터리 교환 시스템 및 그 방법
KR101403707B1 (ko) * 2012-06-29 2014-06-05 한국항공대학교산학협력단 차량용 상부 교체형 배터리의 배터리장착부 개폐장치
KR101402676B1 (ko) * 2012-06-29 2014-06-11 국민대학교산학협력단 클램핑장치의 과상승 방지기능을 갖춘 전기자동차용 견인식 배터리 자동교환시스템
KR101450028B1 (ko) * 2007-12-28 2014-10-16 건국대학교 산학협력단 자동차 배터리 교환 시스템 및 그 방법
CN112046933A (zh) * 2020-07-20 2020-12-08 沈飞辰 用于无人车换电系统的有源智能转运箱

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5959423A (en) * 1995-06-08 1999-09-28 Minolta Co., Ltd. Mobile work robot system
JP2008500216A (ja) * 2004-05-27 2008-01-10 モンテック アーゲー 燃料電池によって駆動する走行ワゴンを備えた輸送システム
KR101450028B1 (ko) * 2007-12-28 2014-10-16 건국대학교 산학협력단 자동차 배터리 교환 시스템 및 그 방법
KR101346079B1 (ko) * 2011-12-20 2013-12-31 (주)클릭앤터치 이동 가능한 충전 장치와 연동한 전기 자동차 운영 시스템
KR101318820B1 (ko) * 2012-06-20 2013-10-29 국민대학교산학협력단 추락방지기능을 갖춘 전기자동차용 견인식 배터리 자동교환시스템
KR101373598B1 (ko) * 2012-06-29 2014-03-13 한국항공대학교산학협력단 전기버스, 전기버스 배터리 교환 시스템 및 그 방법
KR101403707B1 (ko) * 2012-06-29 2014-06-05 한국항공대학교산학협력단 차량용 상부 교체형 배터리의 배터리장착부 개폐장치
KR101402676B1 (ko) * 2012-06-29 2014-06-11 국민대학교산학협력단 클램핑장치의 과상승 방지기능을 갖춘 전기자동차용 견인식 배터리 자동교환시스템
CN103231899A (zh) * 2013-05-06 2013-08-07 哈尔滨工业大学 一种用于档案传送的自动导引小车
CN112046933A (zh) * 2020-07-20 2020-12-08 沈飞辰 用于无人车换电系统的有源智能转运箱

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108136580B (zh) 用于机器人的电池和硬驱动交换站
JPH0616206A (ja) クリーンルーム内搬送システム
US7887277B2 (en) Reticle storage pod (RSP) transport system utilizing FOUP adapter plate
JP2022539061A (ja) モジュール式電池を動力源とするシステムおよび方法
WO2003070610A2 (en) Local store for a wafer processing station
KR20170007115A (ko) 물품 반송 설비
CN104842964A (zh) 电动车辆的电池更换设备
JPH05316605A (ja) 無人車
TW202132192A (zh) 具有載體內部的污染管理功能的自動搬送系統
JPH0657987A (ja) 充電装置を具えた機械式駐車装置
CN113602141A (zh) 换电站及换电站的换电方法
CN112959917A (zh) 一种模块化换电站
JPH0697262A (ja) 半導体ウエハ搬送装置
JP2008236997A (ja) 無人搬送車および無人搬送システム
CN216101642U (zh) 一种换电站
CN113997794A (zh) 用于管理物品搬送车辆的电力的装置以及方法
JPH0564301A (ja) 移動車用バツテリーの充放電履歴管理装置
KR20050019234A (ko) 무인 반송차의 배터리 자동 교환 시스템
CN112644326A (zh) 换电站及多换电站电池分配方法
US20230411193A1 (en) Automated material handling system for use in power outage recovery
JP2024020769A (ja) 作業システム
JPS6295904A (ja) 無人搬送システム
KR100657790B1 (ko) 무인 반송차의 배터리 충전 및 교체 장치
JPH05102285A (ja) 無人搬送装置
JP2023183807A (ja) 作業システム

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990803