JPH05102285A - 無人搬送装置 - Google Patents
無人搬送装置Info
- Publication number
- JPH05102285A JPH05102285A JP3257373A JP25737391A JPH05102285A JP H05102285 A JPH05102285 A JP H05102285A JP 3257373 A JP3257373 A JP 3257373A JP 25737391 A JP25737391 A JP 25737391A JP H05102285 A JPH05102285 A JP H05102285A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- automatic
- unmanned
- battery
- carriage
- charged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】無人搬送台車が、バッテリ充電の時間が来る
と、被搬送物があっても充電しなければならないという
問題を解決することと、１台が稼働していても、もう１
台は充電中もしくは待機中となってしまうので、１台余
分に無人搬送台車が必要になるという問題を解決する。 【構成】自動棚３および自動パスボックス５（以後移載
場と略す）に、バッテリ充電端子８を設けたのと、無人
搬送台車１にバッテリ充電端子接触板９を設けた。 【効果】無人搬送台車１の１台稼働が可能。又、移載場
で待機しながら自動充電が可能。又、自動充電機２がな
くても良い。又、バッテリ交換方式に比べて、バッテリ
７の個数が少なくてすむ。
と、被搬送物があっても充電しなければならないという
問題を解決することと、１台が稼働していても、もう１
台は充電中もしくは待機中となってしまうので、１台余
分に無人搬送台車が必要になるという問題を解決する。 【構成】自動棚３および自動パスボックス５（以後移載
場と略す）に、バッテリ充電端子８を設けたのと、無人
搬送台車１にバッテリ充電端子接触板９を設けた。 【効果】無人搬送台車１の１台稼働が可能。又、移載場
で待機しながら自動充電が可能。又、自動充電機２がな
くても良い。又、バッテリ交換方式に比べて、バッテリ
７の個数が少なくてすむ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は無人搬送装置に関し、特
に半導体製造工場における半導体ウェーハの搬送に使う
無人搬送装置に関する。
に半導体製造工場における半導体ウェーハの搬送に使う
無人搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の無人搬送装置は、図２，図３に示
す様に、半導体ウェーハを搬送する無人搬送台車１とこ
の無人搬送台車１を稼働させるにあたり無人搬送台車１
内に収納してあるバッテリ７を充電する為の自動充電機
２と、無人搬送台車１が被搬送物を積荷・荷おろしする
時に必要な自動棚３と、無人搬送台車１が自動棚３から
被搬送物を積荷した時に荷おろしする自動パスボックス
５（又は、自動棚３に荷おろしする時に積荷して来る自
動パスボックス５）を有している。
す様に、半導体ウェーハを搬送する無人搬送台車１とこ
の無人搬送台車１を稼働させるにあたり無人搬送台車１
内に収納してあるバッテリ７を充電する為の自動充電機
２と、無人搬送台車１が被搬送物を積荷・荷おろしする
時に必要な自動棚３と、無人搬送台車１が自動棚３から
被搬送物を積荷した時に荷おろしする自動パスボックス
５（又は、自動棚３に荷おろしする時に積荷して来る自
動パスボックス５）を有している。
【０００３】また、無人搬送台車１を、自動棚３と自動
パスボックス５間、自動棚３と自動充電機２間、自動充
電機２と自動パスボックス５間の誘導を行うのに必要な
誘導路線４と、無人搬送台車１が被搬送物を搬送する為
に必要なカウントマーク６を有している。
パスボックス５間、自動棚３と自動充電機２間、自動充
電機２と自動パスボックス５間の誘導を行うのに必要な
誘導路線４と、無人搬送台車１が被搬送物を搬送する為
に必要なカウントマーク６を有している。
【０００４】また、無人搬送台車１内に収納してあるバ
ッテリ７と自動充電機２内に自動充電させる為に必要な
バッテリ充電端子８と、この充電端子８がバッテリ７に
充電する時に接触して充電するバッテリ充電端子接触板
９を有している。
ッテリ７と自動充電機２内に自動充電させる為に必要な
バッテリ充電端子８と、この充電端子８がバッテリ７に
充電する時に接触して充電するバッテリ充電端子接触板
９を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の無人搬送装
置では、無人搬送台車１がバッテリ７満充電直後は問題
ないが、時間の経過とともにに比重が落ちて来て、無人
搬送台車１は自動充電機２に向かい、充電を自動的に行
う。
置では、無人搬送台車１がバッテリ７満充電直後は問題
ないが、時間の経過とともにに比重が落ちて来て、無人
搬送台車１は自動充電機２に向かい、充電を自動的に行
う。
【０００６】この例では、無人搬送台車１は２台あり、
１台が稼働しているとき、もう１台は自動充電機２で充
電又は稼働している無人搬送台車１の充電待ちをしてい
るので、１台余分に無人搬送台車１が必要である。
１台が稼働しているとき、もう１台は自動充電機２で充
電又は稼働している無人搬送台車１の充電待ちをしてい
るので、１台余分に無人搬送台車１が必要である。
【０００７】又、１台が故障等で稼働出来なくなると充
電直後は良いが、フル稼働することにより、バッテリ７
の充電時期がくると被搬送物を搬送したい時でも、最低
３０分間は自動充電機２において充電しなければならな
いことから、３０分間被搬送物は搬送待ちとなってしま
う問題点があった。
電直後は良いが、フル稼働することにより、バッテリ７
の充電時期がくると被搬送物を搬送したい時でも、最低
３０分間は自動充電機２において充電しなければならな
いことから、３０分間被搬送物は搬送待ちとなってしま
う問題点があった。
【０００８】本発明の目的は、前記問題点を解決し、充
電待ちを必要とせず、いつでも搬送できるようにした無
人搬送装置を提供することにある。
電待ちを必要とせず、いつでも搬送できるようにした無
人搬送装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の構成は、バッテ
リを電源として移動するタイプの無人搬送台車と、被搬
送物を移載する自動棚および自動パスボックスとを備え
た無人搬送装置において、前記無人搬送台車のバッテリ
を充電する手段が、前記自動棚および前記自動パスボッ
クスに設けられている事を特徴とする。
リを電源として移動するタイプの無人搬送台車と、被搬
送物を移載する自動棚および自動パスボックスとを備え
た無人搬送装置において、前記無人搬送台車のバッテリ
を充電する手段が、前記自動棚および前記自動パスボッ
クスに設けられている事を特徴とする。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例の無人搬送装置のレ
イアウトを示す図である。
イアウトを示す図である。
【００１１】図１において、本実施例では、自動棚３
（又は自動パスボックス５）に被搬送物が収納される
と、自動パスボックス５（又は自動棚３）に充電中又は
待機中の無人搬送台車１（図３）がカウントマーク６を
認識し、自動棚３（又は自動パスボックス５）に収納さ
れた被搬送物を積荷して自動パスボックス５（又は自動
棚３）に収納する。
（又は自動パスボックス５）に被搬送物が収納される
と、自動パスボックス５（又は自動棚３）に充電中又は
待機中の無人搬送台車１（図３）がカウントマーク６を
認識し、自動棚３（又は自動パスボックス５）に収納さ
れた被搬送物を積荷して自動パスボックス５（又は自動
棚３）に収納する。
【００１２】他に、被搬送物が自動棚３か自動パスボッ
クス５に収納されていれば、繰り返し被搬送物を搬送す
るが、被搬送物が収納されなければ、最後に荷おろしし
た場所において、無人搬送台車１は充電を行う。満充電
になっても、被搬送物が自動棚３もしくは自動パスボッ
クス５に収納されないと、最後に荷おろしした場所にお
いて、バッテリ充電端子８が無人搬送台車１に収納して
あるバッテリ７の外側に出してあるバッテリ充電端子接
触板９と離れ、無人搬送台車１は待機状態となる。
クス５に収納されていれば、繰り返し被搬送物を搬送す
るが、被搬送物が収納されなければ、最後に荷おろしし
た場所において、無人搬送台車１は充電を行う。満充電
になっても、被搬送物が自動棚３もしくは自動パスボッ
クス５に収納されないと、最後に荷おろしした場所にお
いて、バッテリ充電端子８が無人搬送台車１に収納して
あるバッテリ７の外側に出してあるバッテリ充電端子接
触板９と離れ、無人搬送台車１は待機状態となる。
【００１３】即ち、無人搬送台車１の接触板９は、自動
棚３においてバッテリ充電端子８と接触し、また自動パ
スボックスにおいてバッテリ充電端子８と接続する。
棚３においてバッテリ充電端子８と接触し、また自動パ
スボックスにおいてバッテリ充電端子８と接続する。
【００１４】従って、図２で示した自動充電機２が不要
で、そこへの誘導路線４も不要である。
で、そこへの誘導路線４も不要である。
【００１５】このように、本実施例の無人搬送システム
は、バッテリ充電端子接触板９を設けた無人搬送台車１
と、バッテリ充電端子８を設けた自動棚３と、バッテリ
充電端子８を設けた自動パスボックス５とを備えてい
る。
は、バッテリ充電端子接触板９を設けた無人搬送台車１
と、バッテリ充電端子８を設けた自動棚３と、バッテリ
充電端子８を設けた自動パスボックス５とを備えてい
る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明した、本発明は、特に自動充電
方式の自動棚と自動パスボックスに設けることにより、
今まで例えば２台で稼働していた無人搬送台車が１台で
稼働することも可能という効果を有する。
方式の自動棚と自動パスボックスに設けることにより、
今まで例えば２台で稼働していた無人搬送台車が１台で
稼働することも可能という効果を有する。
【００１７】又、本発明は、被搬送物の搬送がない時
は、自動棚もしくは自動パスボックスで待機しながら自
動充電が可能という効果も有し、さらに自動充電機がな
くても良いという効果も有し、またバッテリ交換方式に
比べてバッテリ７の個数が少なくてすむという効果も有
する。
は、自動棚もしくは自動パスボックスで待機しながら自
動充電が可能という効果も有し、さらに自動充電機がな
くても良いという効果も有し、またバッテリ交換方式に
比べてバッテリ７の個数が少なくてすむという効果も有
する。
【図１】本発明の一実施例の無人搬送装置のレイアウト
を示す図である。
を示す図である。
【図２】従来の無人搬送装置のレイアウトを示す図であ
る。
る。
【図３】図２の無人搬送台車を示す背面図である。
１ 無人搬送台車 ２ 自動充電機 ３ 自動棚 ４ 誘導路線 ５ 自動パスボックス ６ カウントマーク ７ バッテリ ８ バッテリ充電端子 ９ バッテリ充電端子接触板
Claims (1)
- 【請求項１】 バッテリを電源として移動するタイプの
無人搬送台車と、被搬送物を移載する自動棚および自動
パスボックスとを備えた無人搬送装置において、前記無
人搬送台車のバッテリを充電する手段が、前記自動棚お
よび前記自動パスボックスに設けられている事を特徴と
する無人搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3257373A JPH05102285A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 無人搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3257373A JPH05102285A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 無人搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05102285A true JPH05102285A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17305491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3257373A Pending JPH05102285A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 無人搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05102285A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002353290A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Daihen Corp | カセット搬送方法及びカセット搬送システム |
| KR20210083646A (ko) * | 2019-12-27 | 2021-07-07 | 현대무벡스 주식회사 | 천장 주행형 물품 이송 시스템 |
-
1991
- 1991-10-04 JP JP3257373A patent/JPH05102285A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002353290A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Daihen Corp | カセット搬送方法及びカセット搬送システム |
| KR20210083646A (ko) * | 2019-12-27 | 2021-07-07 | 현대무벡스 주식회사 | 천장 주행형 물품 이송 시스템 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001031 |