KR20200039236A - 이송 장치의 동작 제어 방법 - Google Patents
이송 장치의 동작 제어 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20200039236A KR20200039236A KR1020180118906A KR20180118906A KR20200039236A KR 20200039236 A KR20200039236 A KR 20200039236A KR 1020180118906 A KR1020180118906 A KR 1020180118906A KR 20180118906 A KR20180118906 A KR 20180118906A KR 20200039236 A KR20200039236 A KR 20200039236A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- destination
- transport
- load port
- load
- teaching information
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
Abstract
이송 장치의 동작 제어 방법이 개시된다. 상기 방법은, 반송물의 종류와 목적지의 위치 정보를 수신하는 단계와, 이송 차량을 상기 목적지의 위치 정보를 이용하여 목적지로 이동시키는 단계와, 상기 반송물의 로드 또는 언로드를 위한 티칭 정보를 수신하는 단계와, 상기 티칭 정보를 이용하여 상기 목적지에 상기 반송물을 로드하거나 상기 목적지로부터 상기 반송물을 언로드하는 단계를 포함한다.
Description
본 발명의 실시예들은 이송 장치의 동작 제어 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반송물의 이송을 위한 오버헤드 호이스트 이송 장치(overhead hoist transport; 이하 ‘OHT 장치’라 한다)의 동작 제어 방법에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 웨이퍼, 유리기판, 인쇄회로기판, 반도체 장치들, 디스플레이 장치들과 같은 반송물들은 RGV(rail guided vehicle), OHT 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기 OHT 장치는 반송물의 이송을 위하여 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있으며, 핸드 유닛을 이용하여 다양한 종류의 반송물들을 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정 설비, 상기 반송물들의 보관을 위한 사이드 버퍼 장치 또는 언더 버퍼 장치 등과 같은 목적지들로 이송할 수 있다.
상기 목적지들에는 상기 반송물들에 각각 대응하는 로드 포트가 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 사이드 버퍼 장치 또는 언더 버퍼 장치의 선반 상에는 일반적인 웨이퍼 카세트의 지지를 위한 로드 포트, FOUP(front opening unified pod)의 지지를 위한 로드 포트, FOSB(front opening shipping box)의 지지를 위한 로드 포트, 인쇄회로기판 또는 리드 프레임의 수납을 위한 매거진의 지지를 위한 로드 포트 또는 반도체 패키지들의 수납을 위한 트레이들의 지지를 위한 로드 포트가 구비될 수 있다.
상기 OHT 장치는 상기 반송물들의 종류에 따라 서로 다른 로드 포트들 상으로 상기 반송물들을 각각 이송할 수 있다. 예를 들면, 상기 OHT 장치는 기 설정된 티칭 정보를 이용하여 웨이퍼 카세트를 상기 웨이퍼 카세트의 지지를 위한 제1 로드 포트 상으로 이송하거나, 기 설정된 티칭 정보를 이용하여 상기 FOUP을 상기 FOUP 지지를 위한 제2 로드 포트 상으로 이송할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 로드 포트와 제2 로드 포트에는 서로 다른 제1 및 제2 속성값들이 각각 부여될 수 있으며, 데이터 베이스에는 상기 제1 및 제2 속성값들과 각각 연결된 제1 및 제2 티칭 정보들이 저장될 수 있다. 결과적으로, 상기 제1 로드 포트에는 상기 웨이퍼 카세트만 로드될 수 있고, 상기 제2 로드 포트에는 상기 FOUP만 로드될 수 있다. 결과적으로, 상기 로드 포트들의 사용 효율이 크게 저하될 수 있다.
한편, 상기 로드 포트들의 사용 효율을 개선하기 위하여 하나의 로드 포트에 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 로드할 수 있도록 구성하는 경우, 상기 로드 포트에는 상기 반송물들의 종류에 따라 복수의 속성값들이 부여될 수 있다. 예를 들면, 상기 로드 포트는 상기 웨이퍼 카세트의 로드를 위한 제1 속성값과 상기 FOUP의 로드를 위한 제2 속성값을 모두 가질 수 있다. 그러나, 이 경우 상기 반송물들을 이송하는 과정에서 에러가 발생될 수 있다. 예를 들면, 상기 웨이퍼 카세트를 이송하기 위한 제1 이송 차량의 목적지로 제1 속성값이 지정되고, 상기 FOUP을 이송하기 위한 제2 이송 차량의 목적지로 제2 속성값이 지정되는 에러가 발생될 수 있다. 결과적으로, 상기 제1 이송 차량과 제2 이송 차량 모두가 상기 로드 포트의 상부로 이동하는 문제점이 발생될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 반송물들의 이송 과정에서 발생될 수 있는 에러를 제거할 수 있는 이송 장치의 동작 제어 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법은, 반송물의 종류와 목적지의 위치 정보를 수신하는 단계와, 이송 차량을 상기 목적지의 위치 정보를 이용하여 목적지로 이동시키는 단계와, 상기 반송물의 로드 또는 언로드를 위한 티칭 정보를 수신하는 단계와, 상기 티칭 정보를 이용하여 상기 목적지에 상기 반송물을 로드하거나 상기 목적지로부터 상기 반송물을 언로드하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 목적지에는 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 지지하기 위한 로드 포트가 구비될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법은, 상기 로드 포트 상에 상기 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 로드하기 위하여 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 상기 티칭 정보는 상기 데이터 베이스로부터 선택될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법은, 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 핸드 유닛들을 각각 갖는 복수의 이송 차량들 중에서 상기 반송물에 대응하는 이송 차량을 선택하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량이 상기 목적지로 이동될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법은, 복수 종류의 반송물들을 로드 포트 상에 선택적으로 로드하기 위하여 상기 반송물들에 각각 대응하는 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련하는 단계와, 이송하고자 하는 반송물의 종류를 결정하는 단계와, 상기 반송물을 상기 로드 포트 상에 로드하기 위하여 상기 로드 포트가 위치된 목적지로 이송 차량을 이동시키는 단계와, 상기 데이터 베이스로부터 상기 반송물의 로드를 위한 티칭 정보를 선택하는 단계와, 상기 티칭 정보를 이용하여 상기 로드 포트 상에 상기 반송물을 로드하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량은 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 주행 모듈과 상기 반송물의 로드를 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 호이스트 모듈은, 상기 반송물의 로드를 위한 핸드 유닛과, 상기 핸드 유닛의 수평 이동을 위한 수평 구동 유닛과, 상기 핸드 유닛의 회전을 위한 회전 구동 유닛을 포함할 수 있으며, 상기 티칭 정보는, 상기 주행 모듈의 위치 좌표와, 상기 핸드 유닛의 위치 좌표와, 상기 핸드 유닛의 회전 각도를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 목적지는 상기 주행 레일의 일측에 배치되는 사이드 버퍼 장치 또는 상기 주행 레일의 아래에 배치되는 언더 버퍼 장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 데이터 베이스는 상기 목적지의 위치 정보를 포함할 수 있으며, 상기 방법은 상기 목적지의 위치 정보를 상기 이송 차량에 전송하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 로드 포트는 상기 반송물들에 각각 대응하는 복수의 로드 영역들을 포함할 수 있으며, 상기 로드 영역들은 서로 중첩될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법은, 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 핸드 유닛들을 각각 갖는 복수의 이송 차량들 중에서 상기 반송물에 대응하는 이송 차량을 선택하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량이 상기 목적지로 이동될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법은, 복수 종류의 반송물들을 로드 포트 상에 선택적으로 로드하기 위하여 상기 반송물들에 각각 대응하는 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련하는 단계와, 상기 로드 포트 상에 로드된 반송물의 종류를 확인하는 단계와, 상기 반송물을 상기 로드 포트로부터 언로드하기 위하여 상기 로드 포트가 위치된 목적지로 이송 차량을 이동시키는 단계와, 상기 데이터 베이스로부터 상기 반송물의 언로드를 위한 티칭 정보를 선택하는 단계와, 상기 티칭 정보를 이용하여 상기 로드 포트로부터 상기 반송물을 언로드하는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 복수 종류의 반송물들을 로드 포트 상에 선택적으로 로드하기 위한 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련하고, 로드 또는 언로드하고자 하는 반송물의 종류에 따라 상기 티칭 정보들 중 하나를 선택적으로 사용할 수 있다. 즉, 이송 차량을 목적지로 이동시킨 후 상기 반송물의 종류에 따라 상기 티칭 정보들을 선택적으로 사용할 수 있으므로, 종래 기술에서의 발생될 수 있는 에러, 즉 하나의 로드 포트에 복수의 속성값들을 부여하는 경우 발생될 수 있는 에러를 완전히 제거할 수 있다. 결과적으로, 상기 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 지지할 수 있는 로드 포트들을 안정적으로 운용할 수 있으며, 이에 따라 상기 로드 포트들의 사용 효율이 크게 개선될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 반송물의 이송을 위한 OHT 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 반송물을 로드 포트 상에 로드하기 위한 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 반송물을 로드 포트로부터 언로드하기 위한 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 반송물의 이송을 위한 OHT 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 반송물을 로드 포트 상에 로드하기 위한 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 반송물을 로드 포트로부터 언로드하기 위한 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 2는 반송물의 이송을 위한 OHT 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법은 다양한 종류의 반송물들을 목적지로 이송하는 과정에서 발생될 수 있는 에러를 제거하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치의 동작 제어 방법은 주행 레일(102)을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량(110)을 포함하는 OHT 장치(100)를 이용하여 복수 종류의 반송물들 중 하나(10)를 선택적으로 로드 포트(30) 상에 로드하거나 상기 로드 포트(30) 상에 지지된 반송물(10)을 상기 로드 포트(30) 상으로부터 언로드하기 위해 사용될 수 있다.
특히, 상기 이송 장치의 동작 제어 방법은 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 지지할 수 있는 로드 포트(30) 상에 상기 반송물들 중 하나(10)를 선택적으로 로드하거나 상기 로드 포트(30) 상에 지지된 반송물(10)을 상기 로드 포트(30) 상으로부터 언로드하기 위해 사용될 수 있다. 구체적으로, 상기 로드 포트(30) 상에는 상기 복수 종류의 반송물들을 지지하기 위한 복수의 로드 영역들(미도시)이 구비될 수 있으며, 상기 로드 영역들은 서로 중첩될 수 있다. 예를 들면, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 로드 포트(30) 상에는 일반적인 웨이퍼 카세트, FOUP, FOSB, 매거진 또는 트레이들이 놓여지는 로드 영역들이 구비될 수 있다.
상기 OHT 장치(100)는 복수 종류의 반송물들을 이송하기 위한 복수의 이송 차량들과 상기 이송 차량들의 동작을 제어하기 위한 제어부(미도시)를 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량들을 이용하여 상기 반송물들을 복수의 목적지들로 각각 이송할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 OHT 장치(100)는 사이드 버퍼 장치(20) 또는 언더 버퍼 장치(22)로 상기 반송물들을 이송할 수 있다. 그러나, 상기 목적지들이 상기 사이드 버퍼 장치(20) 및 언더 버퍼 장치(22)로 한정되는 것은 아니며, 상기 OHT 장치(100)는 반도체 장치의 제조 설비들 또는 웨이퍼 또는 기판의 보관을 위한 스토커들로 상기 반송물들을 이송할 수도 있다. 이때, 상기 사이드 버퍼 장치(20) 및 언더 버퍼 장치(22) 등에는 상기 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 로드할 수 있는 로드 포트(30)가 구비될 수 있다.
상기 이송 차량들은 상기 주행 레일(102)을 따라 이동 가능하게 구성된 주행 모듈(120)과 상기 반송물(10)의 로드 및 언로드를 위한 호이스트 모듈(130)을 각각 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈(130)은 상기 반송물(10)의 로드 및 언로드를 위한 핸드 유닛(132)과 상기 핸드 유닛(132)의 수평 이동을 위한 수평 구동 유닛(134) 및 상기 핸드 유닛(132)의 회전을 위한 회전 구동 유닛(136)을 포함할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명한다.
도 1을 참조하면, 먼저 S100 단계에서, 상기 제어부는 이송하고자 하는 반송물(10)의 종류와 목적지의 위치 정보를 상기 데이터 베이스(미도시)로부터 수신할 수 있다. 상기 데이터 베이스는 상기 S100 단계 이전에 미리 마련될 수 있으며, 복수의 목적지들에 대한 위치 정보를 포함할 수 있다. 상기 목적지들에는 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 로드할 수 있는 로드 포트(30)가 각각 구비될 수 있으며, 상기 데이터 베이스는 각각의 목적지에 구비되는 로드 포트(30) 상에 상기 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 로드하기 위한 복수의 티칭 정보들을 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 데이터 베이스는 상기 로드 포트(30) 상에 웨이퍼 카세트를 로드하기 위한 제1 티칭 정보와, 상기 로드 포트(30) 상에 FOUP을 로드하기 위한 제2 티칭 정보와, 상기 로드 포트(30) 상에 FOSB를 로드하기 위한 제3 티칭 정보와, 상기 로드 포트(30) 상에 매거진을 로드하기 위한 제4 티칭 정보와, 상기 로드 포트(30) 상에 트레이들을 로드하기 위한 제5 티칭 정보를 포함할 수 있다.
상기 반송물(10)의 종류와 상기 목적지의 위치 정보를 수신한 후, S110 단계에서 상기 제어부는 상기 이송 차량(110)을 상기 목적지의 위치 정보를 이용하여 상기 목적지로 상기 이송 차량(110)을 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 이송 차량(110)은 상기 목적지의 위치 정보를 이용하여 상기 목적지 상의 로드 포트(30) 상부로 이동될 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 OHT 장치(100)는 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 핸드 유닛들을 각각 갖는 복수의 이송 차량들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 OHT 장치(100)는, 상기 웨이퍼 카세트를 핸들링하기 위한 제1 핸드 유닛을 갖는 제1 이송 차량, 상기 FOUP을 핸들링하기 위한 제2 핸드 유닛을 갖는 제2 이송 차량, 상기 FOSB를 핸들링하기 위한 제3 핸드 유닛을 갖는 제3 이송 차량, 상기 매거진을 핸들링하기 위한 제4 핸드 유닛을 갖는 제4 이송 차량, 및 상기 트레이들을 핸들링하기 위한 제5 핸드 유닛을 갖는 제5 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 제어부는 상기 이송 차량들 중에서 상기 반송물(10)에 대응하는 이송 차량(110)을 선택하고, 상기 선택된 이송 차량(110)을 상기 목적지로 이동시킬 수 있다.
상기 이송 차량(110)이 상기 목적지로 이동된 후, S120 단계에서 상기 제어부는 상기 데이터 베이스로부터 상기 반송물(10)의 로드 또는 언로드를 위한 티칭 정보를 수신할 수 있다. 이때, 상기 티칭 정보는 상기 주행 모듈(120)의 위치 좌표와 상기 핸드 유닛(132)의 위치 좌표 및 상기 핸드 유닛의 회전 각도를 포함할 수 있다.
이어서, 상기 제어부는 S130 단계에서 상기 티칭 정보를 이용하여 상기 목적지에 상기 반송물(10)을 로드하거나 상기 목적지로부터 상기 반송물(10)을 언로드할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부는 상기 주행 모듈(110)을 동작시켜 상기 주행 모듈(110)의 위치를 조절하고, 상기 수평 구동 유닛(134)과 상기 회전 구동 유닛(136)을 동작시켜 상기 핸드 유닛(132)의 위치와 회전 각도를 조절할 수 있으며, 이어서 상기 반송물(10)을 상기 로드 포트(30) 상에 로드하거나 상기 로드 포트(30)로부터 상기 반송물(10)을 언로드할 수 있다.
도 3은 반송물을 로드 포트 상에 로드하기 위한 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3을 참조하면, S200 단계에서 복수 종류의 반송물들을 로드 포트(30) 상에 선택적으로 로드하기 위하여 상기 반송물들에 각각 대응하는 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련할 수 있다. 이때 상기 데이터 베이스는 별도의 데이터 서버에 저장될 수 있다.
S210 단계에서, 상기 제어부는 이송하고자 하는 반송물(10)의 종류를 결정할 수 있으며, S220 단계에서 상기 반송물(10)을 상기 로드 포트(30) 상에 로드하기 위하여 상기 로드 포트(30)가 위치된 목적지로 이송 차량을 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 데이터 베이스는 상기 티칭 정보들과 함께 복수의 목적지들에 대한 위치 정보를 포함할 수 있으며, 상기 제어부는 상기 반송물(10)의 종류와 함께 상기 복수의 목적지들 중에서 상기 반송물(10)을 이송하고자 하는 목적지를 결정할 수 있다. 상기 목적지의 위치 정보는 상기 데이터 베이스로부터 수신될 수 있으며, 상기 제어부는 상기 목적지의 위치 정보를 상기 이송 차량(110)에 전송할 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 제어부는 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 핸드 유닛들을 각각 갖는 복수의 이송 차량들 중에서 상기 반송물(10)에 대응하는 이송 차량(110)을 선택하고, 상기 선택된 이송 차량(110)을 상기 목적지로 이동시킬 수 있다.
S230 단계에서, 상기 제어부는 상기 데이터 베이스로부터 상기 반송물(10)의 종류에 따라 상기 반송물(10)의 로드를 위한 티칭 정보를 선택할 수 있으며, S240 단계에서 상기 티칭 정보를 이용하여 상기 로드 포트(30) 상에 상기 반송물(10)을 로드할 수 있다. 구체적으로, 상기 제어부는 상기 주행 모듈(110)의 위치 및 상기 핸드 유닛(132)의 위치와 회전 각도를 조절할 수 있으며, 이어서 상기 반송물(10)을 상기 로드 포트(30) 상에 로드할 수 있다.
도 4는 반송물을 로드 포트로부터 언로드하기 위한 이송 장치의 동작 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4를 참조하면, S300 단계에서 복수 종류의 반송물들을 로드 포트(30) 상에 선택적으로 로드하기 위하여 상기 반송물들에 각각 대응하는 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련할 수 있다. 이때 상기 데이터 베이스는 별도의 데이터 서버에 저장될 수 있으며, 상기 티칭 정보는 상기 로드 포트(30) 상에 놓여진 반송물(10)의 언로드를 위해 사용될 수 있다.
S310 단계에서, 상기 제어부는 상기 로드 포트(30) 상에 로드된 반송물(10)의 종류를 확인할 수 있으며, S320 단계에서 상기 반송물(10)을 상기 로드 포트(30)로부터 언로드하기 위하여 상기 로드 포트(30)가 위치된 목적지로 이송 차량(110)을 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 데이터 베이스는 상기 티칭 정보들과 함께 복수의 목적지들에 대한 위치 정보를 포함할 수 있으며, 상기 제어부는 상기 목적지들 중 하나 상에 놓여진 상기 반송물(10)의 종류를 확인할 수 있다. 상기 반송물(10)이 놓여진 상기 목적지의 위치 정보는 상기 데이터 베이스로부터 수신될 수 있으며, 상기 제어부는 상기 목적지의 위치 정보를 상기 이송 차량(110)에 전송할 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 제어부는 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 핸드 유닛들을 각각 갖는 복수의 이송 차량들 중에서 상기 반송물(10)에 대응하는 이송 차량(110)을 선택하고, 상기 선택된 이송 차량(110)을 상기 목적지로 이동시킬 수 있다.
S330 단계에서, 상기 제어부는 상기 데이터 베이스로부터 상기 반송물(10)의 종류에 따라 상기 반송물(10)의 언로드를 위한 티칭 정보를 선택할 수 있으며, S340 단계에서 상기 티칭 정보를 이용하여 상기 로드 포트(30)로부터 상기 반송물(10)을 언로드할 수 있다. 구체적으로, 상기 제어부는 상기 주행 모듈(110)의 위치 및 상기 핸드 유닛(132)의 위치와 회전 각도를 조절할 수 있으며, 이어서 상기 반송물(10)을 상기 로드 포트(30)로부터 언로드할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 복수 종류의 반송물들을 로드 포트(30) 상에 선택적으로 로드하기 위한 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련하고, 로드 또는 언로드하고자 하는 반송물(10)의 종류에 따라 상기 티칭 정보들 중 하나를 선택적으로 사용할 수 있다. 즉, 이송 차량(110)을 목적지로 이동시킨 후 상기 반송물(10)의 종류에 따라 상기 티칭 정보들을 선택적으로 사용할 수 있으므로, 종래 기술에서의 발생될 수 있는 에러, 즉 하나의 로드 포트에 복수의 속성값들을 부여하는 경우 발생될 수 있는 에러를 완전히 제거할 수 있다. 결과적으로, 상기 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 지지할 수 있는 로드 포트들(30)을 안정적으로 운용할 수 있으며, 이에 따라 상기 로드 포트들(30)의 사용 효율이 크게 개선될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 반송물
20 : 사이드 버퍼 장치
22 : 언더 버퍼 장치 30 : 로드 포트
100 : OHT 장치 110 : 이송 차량
120 : 주행 모듈 130 : 호이스트 모듈
132 : 핸드 유닛 134 : 수평 구동 유닛
136 : 회전 구동 유닛
22 : 언더 버퍼 장치 30 : 로드 포트
100 : OHT 장치 110 : 이송 차량
120 : 주행 모듈 130 : 호이스트 모듈
132 : 핸드 유닛 134 : 수평 구동 유닛
136 : 회전 구동 유닛
Claims (12)
- 반송물의 종류와 목적지의 위치 정보를 수신하는 단계;
이송 차량을 상기 목적지의 위치 정보를 이용하여 목적지로 이동시키는 단계;
상기 반송물의 로드 또는 언로드를 위한 티칭 정보를 수신하는 단계; 및
상기 티칭 정보를 이용하여 상기 목적지에 상기 반송물을 로드하거나 상기 목적지로부터 상기 반송물을 언로드하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법. - 제1항에 있어서, 상기 목적지에는 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 지지하기 위한 로드 포트가 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 로드 포트 상에 상기 복수 종류의 반송물들을 선택적으로 로드하기 위하여 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련하는 단계를 더 포함하며,
상기 티칭 정보는 상기 데이터 베이스로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법. - 제2항에 있어서, 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 핸드 유닛들을 각각 갖는 복수의 이송 차량들 중에서 상기 반송물에 대응하는 이송 차량을 선택하는 단계를 더 포함하며,
상기 이송 차량을 상기 목적지로 이동시키는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법. - 복수 종류의 반송물들을 로드 포트 상에 선택적으로 로드하기 위하여 상기 반송물들에 각각 대응하는 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련하는 단계;
이송하고자 하는 반송물의 종류를 결정하는 단계;
상기 반송물을 상기 로드 포트 상에 로드하기 위하여 상기 로드 포트가 위치된 목적지로 이송 차량을 이동시키는 단계;
상기 데이터 베이스로부터 상기 반송물의 로드를 위한 티칭 정보를 선택하는 단계; 및
상기 티칭 정보를 이용하여 상기 로드 포트 상에 상기 반송물을 로드하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법. - 제5항에 있어서, 상기 이송 차량은 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 주행 모듈과 상기 반송물의 로드를 위한 호이스트 모듈을 포함하는 것을 이송 장치의 동작 제어 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 호이스트 모듈은, 상기 반송물의 로드를 위한 핸드 유닛과, 상기 핸드 유닛의 수평 이동을 위한 수평 구동 유닛과, 상기 핸드 유닛의 회전을 위한 회전 구동 유닛을 포함하며,
상기 티칭 정보는, 상기 주행 모듈의 위치 좌표와, 상기 핸드 유닛의 위치 좌표와, 상기 핸드 유닛의 회전 각도를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법. - 제6항에 있어서, 상기 목적지는 상기 주행 레일의 일측에 배치되는 사이드 버퍼 장치 또는 상기 주행 레일의 아래에 배치되는 언더 버퍼 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 데이터 베이스는 상기 목적지의 위치 정보를 포함하며, 상기 목적지의 위치 정보를 상기 이송 차량에 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 로드 포트는 상기 반송물들에 각각 대응하는 복수의 로드 영역들을 포함하며, 상기 로드 영역들은 서로 중첩되는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 복수 종류의 반송물들에 각각 대응하는 핸드 유닛들을 각각 갖는 복수의 이송 차량들 중에서 상기 반송물에 대응하는 이송 차량을 선택하는 단계를 더 포함하며,
상기 이송 차량을 상기 목적지로 이동시키는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법. - 복수 종류의 반송물들을 로드 포트 상에 선택적으로 로드하기 위하여 상기 반송물들에 각각 대응하는 복수의 티칭 정보들을 포함하는 데이터 베이스를 마련하는 단계;
상기 로드 포트 상에 로드된 반송물의 종류를 확인하는 단계;
상기 반송물을 상기 로드 포트로부터 언로드하기 위하여 상기 로드 포트가 위치된 목적지로 이송 차량을 이동시키는 단계;
상기 데이터 베이스로부터 상기 반송물의 언로드를 위한 티칭 정보를 선택하는 단계; 및
상기 티칭 정보를 이용하여 상기 로드 포트로부터 상기 반송물을 언로드하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 동작 제어 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180118906A KR102166348B1 (ko) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 이송 장치의 동작 제어 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180118906A KR102166348B1 (ko) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 이송 장치의 동작 제어 방법 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020200130036A Division KR102181492B1 (ko) | 2020-10-08 | 2020-10-08 | 이송 장치의 동작 제어 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20200039236A true KR20200039236A (ko) | 2020-04-16 |
| KR102166348B1 KR102166348B1 (ko) | 2020-10-15 |
Family
ID=70454990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180118906A KR102166348B1 (ko) | 2018-10-05 | 2018-10-05 | 이송 장치의 동작 제어 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102166348B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220094580A (ko) * | 2020-12-29 | 2022-07-06 | 세메스 주식회사 | 이송 장치 및 이를 진단하는 방법 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004349322A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Yaskawa Electric Corp | ロードポート |
| JP2005347576A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Hirata Corp | 複数種類の容器に対応可能なｆｏｕｐオープナ |
| JP2006282303A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
| KR101356569B1 (ko) | 2009-03-17 | 2014-01-28 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법 |
| JP6331291B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2018-05-30 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
-
2018
- 2018-10-05 KR KR1020180118906A patent/KR102166348B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004349322A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Yaskawa Electric Corp | ロードポート |
| JP2005347576A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Hirata Corp | 複数種類の容器に対応可能なｆｏｕｐオープナ |
| JP2006282303A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
| KR101356569B1 (ko) | 2009-03-17 | 2014-01-28 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법 |
| JP6331291B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2018-05-30 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220094580A (ko) * | 2020-12-29 | 2022-07-06 | 세메스 주식회사 | 이송 장치 및 이를 진단하는 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102166348B1 (ko) | 2020-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6229729B2 (ja) | 保管庫 | |
| JP2008222346A (ja) | 懸垂式軌道搬送台車及び搬送システム | |
| WO2011083525A1 (ja) | 搬送車システム | |
| JP6414338B2 (ja) | 保管装置および保管方法 | |
| JP7349240B2 (ja) | 基板倉庫及び基板検査方法 | |
| US11682571B2 (en) | Apparatus and methods for handling die carriers | |
| JP6478878B2 (ja) | 基板処理装置及び基板搬送方法並びに基板搬送プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
| KR20160134507A (ko) | 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비 | |
| EP1845552B1 (en) | Transportation system and transportation method | |
| KR102166348B1 (ko) | 이송 장치의 동작 제어 방법 | |
| JPH0278243A (ja) | ウェーハの連続処理装置及び連続処理方法 | |
| KR102181492B1 (ko) | 이송 장치의 동작 제어 방법 | |
| JP5421043B2 (ja) | 基板処理装置及びこれを備えた基板処理システム | |
| KR101992825B1 (ko) | 기판 처리 장치의 에이징 기판 교체 방법 | |
| KR20220026373A (ko) | 이송 방법 및 이송 장치 | |
| JP2719524B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP2004319889A (ja) | 製造対象物の受け渡し装置および製造対象物の受け渡し方法 | |
| JP7399552B2 (ja) | 収納体搬送装置及びレーザ加工装置 | |
| JP3932119B2 (ja) | 搬送制御システム | |
| JP2004304056A (ja) | 製造設備の搬送システム | |
| KR20210143566A (ko) | 물품 반송 시스템 및 물품 저장 장치 | |
| KR20220026374A (ko) | 이송 장치 | |
| KR20090038093A (ko) | 클린룸 카세트 반송시스템 | |
| TW202325629A (zh) | 保管系統 | |
| CN115771690A (zh) | 容器搬送设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |