KR20220094580A - 이송 장치 및 이를 진단하는 방법 - Google Patents

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Abstract

이송 장치의 진단 방법이 개시된다. 상기 이송 장치는, 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과, 상기 이송 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈과, 상위 제어기로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기와, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브를 포함하며, 상기 진단 방법은, 상기 상위 제어기와 상기 모션 제어기 사이에 주파수 응답 특성을 분석하기 위한 주파수 응답 분석기를 연결하는 단계와, 상기 주파수 응답 특성에 기초하여 상기 이송 장치를 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 단계를 포함한다.

Description

이송 장치 및 이를 진단하는 방법{TRANSPORT APPARATUS AND METHOD OF DIAGNOSING THE SAME}
본 발명의 실시예들은 이송 장치 및 이를 진단하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 자재의 이송을 위해 사용되는 이송 장치와 이를 진단하는 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 인쇄회로기판, 리드 프레임, 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다. 일 예로서, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있다.
상기 이송 차량은 상기 주행 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 이송 모듈 및 상기 이송 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함할 수 있다.
상기 이송 모듈은 주행 이송 레일 상에 배치되는 전방 휠들과 상기 전방 휠들을 회전시키기 위한 전방 구동 모터를 포함하는 전방 구동 유닛 및 상기 주행 레일 상에 배치되는 후방 휠들과 상기 후방 휠들을 회전시키기 위한 후방 구동 모터를 포함하는 후방 구동 유닛을 포함할 수 있다.
상기 호이스트 모듈은 상기 자재, 예를 들면, 반도체 웨이퍼들의 이송을 위한 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기를 핸들링하기 위한 핸드 유닛과 승강 벨트를 이용하여 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.
한편, 상기 이송 장치에 대한 유지 보수는 주기적으로 수행될 수 있으나, 예상치 못한 장치의 고장이 발생되는 경우 상기 자재에 대한 물류 흐름이 크게 정체될 수 있으며 이에 따른 공정 지연이 발생될 수 있다. 따라서, 상기 이송 장치의 동작 상태를 미리 진단하여 예방 정비를 수행할 수 있는 방법이 요구되고 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2020-0073488 (공개일자 2020년 06월 24일) 대한민국 공개특허공보 제10-2020-0082011 (공개일자 2020년 07월 08일)
본 발명의 실시예들은 이송 장치의 진단 방법과 이를 수행할 수 있도록 구성된 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과, 상기 이송 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈과, 상위 제어기로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기와, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브를 포함하는 이송 장치의 진단 방법에 있어서, 상기 진단 방법은, 상기 상위 제어기와 상기 모션 제어기 사이에 주파수 응답 특성을 분석하기 위한 주파수 응답 분석기를 연결하는 단계와, 상기 주파수 응답 특성에 기초하여 상기 이송 장치를 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 진단 방법은, 상기 상위 제어기와 상기 주파수 응답 분석기 사이에 디지털/아날로그 컨버터를 연결하고 상기 주파수 응답 분석기와 상기 모션 제어기 사이에 아날로그/디지털 컨버터를 연결하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과, 상기 이송 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈과, 상위 제어기로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기와, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브를 포함하는 이송 장치의 진단 방법에 있어서, 상기 진단 방법은, 상기 모션 제어기에 사인파 형태의 입력 신호를 제공하는 단계와, 상기 입력 신호에 대응하는 상기 이송 모듈의 위치 신호를 검출하는 단계와, 상기 입력 신호와 상기 위치 신호에 기초하여 보드 선도를 생성하는 단계와, 상기 보드 선도를 통해 획득되는 상기 이송 장치의 주파수 응답 특성을 분석하여 상기 이송 장치를 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 입력 신호를 제공하는 단계에서 상기 입력 신호의 주파수를 변경하면서 연속적으로 상기 입력 신호를 제공할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치를 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 단계는, 상기 보드 선도로부터 공진이 발생되는 주파수 영역을 검출하는 단계와, 상기 공진이 발생되는 주파수 영역에 대응하는 부품을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 이송 장치는, 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과, 상기 이송 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈과, 상위 제어기로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기와, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브와, 상기 모션 제어기에 사인파 형태의 입력 신호를 제공하고 상기 이송 모듈의 위치 신호를 수신하며 상기 입력 신호와 상기 위치 신호에 기초하여 보드 선도를 생성하고 상기 보드 선도에 기초하여 상기 이송 모듈과 상기 호이스트 모듈을 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 신호 분석 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 모듈은, 상기 주행 레일 상에 배치되는 전방 휠들과, 상기 전방 휠들을 회전시키기 위한 전방 구동 모터와, 상기 전방 구동 모터의 회전수를 측정하기 위한 전방 엔코더와, 상기 주행 레일 상에 배치되는 후방 휠들과, 상기 후방 휠들을 회전시키기 위한 후방 구동 모터와, 상기 후방 구동 모터의 회전수를 측정하기 위한 후방 엔코더를 포함할 수 있으며, 상기 신호 분석 유닛은 상기 전방 엔코더와 상기 후방 엔코더 중 어느 하나의 신호를 수신할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 신호 분석 유닛은 상기 입력 신호의 주파수를 변경하면서 연속적으로 상기 입력 신호를 제공할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 신호 분석 유닛은 상기 보드 선도로부터 공진이 발생되는 주파수 영역을 검출하고 상기 공진이 발생되는 주파수 영역에 대응하는 부품을 검출할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치의 주파수 응답 특성을 분석함으로써 상기 이송 장치를 구성하는 부품들의 상태를 진단할 수 있으며, 이를 통해 상기 이송 장치의 부품들에 이상이 발생되기 전에 미리 상기 이송 장치의 예방 정비를 수행할 수 있는 진단 정보를 획득할 수 있다. 특히, 상기 신호 분석 유닛을 상기 이송 차량에 탑재함으로써 상기 이송 차량의 주행 중에 상기 이송 차량의 상태를 보다 정확하게 진단할 수 있으며, 이를 통해 상기 이송 차량의 고장 발생 가능성을 크게 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 진단 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 진단 방법을 수행하기 위한 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 도 2에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치의 진단 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5는 도 4에 도시된 진단 방법을 수행할 수 있도록 구성된 이송 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 진단 방법을 설명하기 위한 순서도이며, 도 2는 도 1에 도시된 진단 방법을 수행하기 위한 장치를 설명하기 위한 블록도이고, 도 3은 도 2에 도시된 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)의 진단 방법은 반도체 장치의 제조 공정에서 자재(10)의 이송을 위해 사용되는 이송 장치(100)를 진단하기 위해 사용될 수 있다. 일 예로서, 상기 이송 장치(100)는 OHT 장치일 수 있다.
상기 이송 장치(100)는 주행 레일(102)을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 차량들(110)을 포함할 수 있다. 상기 이송 차량들(110)은 각각 상기 주행 레일(102)을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈(120)과, 상기 이송 모듈(120)의 하부에 연결되는 호이스트 모듈(130)과, OCS(OHT Control System) 장치와 같은 상위 제어기(50)로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈(120)이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈(120)의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기(140)와, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈(120)에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브(150)를 포함할 수 있다.
상기 이송 모듈(120)은, 상기 주행 레일(102) 상에 배치되는 전방 휠들(122), 상기 전방 휠들(122)을 회전시키기 위한 전방 구동 모터(124), 상기 주행 레일(102) 상에 배치되는 후방 휠들(126), 및 상기 후방 휠들(126)을 회전시키기 위한 후방 구동 모터(128)를 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 전방 및 후방 구동 모터들(124, 128)에는 상기 전방 휠들(122)과 후방 휠들(126)의 회전수를 측정하기 위한 전방 엔코더와 후방 엔코더가 각각 장착될 수 있으며, 또한 전방 감속기와 후방 감속기가 각각 장착될 수 있다.
상기 호이스트 모듈(130)은 상기 자재(10), 예를 들면, FOUP(Front Opening Unified Pod)을 파지하기 위한 그리퍼를 구비하는 핸드 유닛(132)과, 승강 벨트들을 통해 상기 핸드 유닛(132)을 승강시키기 위한 호이스트 유닛(134)을 포함할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 이송 차량(110)의 위치와 속도 제어는 상기 전방 엔코더 또는 후방 엔코더의 신호를 이용하여 상기 모션 제어기(140)에 의해 피드백 방식으로 제어될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 먼저 S110 단계에서, 상기 상위 제어기(50)와 상기 모션 제어기(140) 사이에 주파수 응답 특성을 분석하기 위한 주파수 응답 분석기(Frequency Response Analyzer; FRA, 160)를 연결할 수 있다. 또한, 상기 상위 제어기(50)와 상기 주파수 응답 분석기(160) 사이에 디지털/아날로그 컨버터(170)를 연결할 수 있으며, 상기 주파수 응답 분석기(160)와 상기 모션 제어기(140) 사이에 아날로그/디지털 컨버터(172)를 연결할 수 있다.
상기와 같이 주파수 응답 분석기(160)를 연결한 후 S120 단계에서 상기 주파수 응답 특성을 분석하여 상기 이송 장치(100)를 구성하는 부품들의 상태를 진단할 수 있다. 예를 들면, 상기 주파수 응답 분석기(160)는 사인파 형태의 입력 신호를 제공할 수 있으며, 상기 전방 엔코더 또는 후방 엔코더로부터 피드백되는 위치 신호에 기초하여 보드 선도를 생성할 수 있다. 특히, 상기 보드 선도로부터 공진이 발생되는 주파수 영역을 검출할 수 있으며, 상기 공진이 발생되는 주파수 영역에 대응하는 부품을 검출할 수 있다. 예를 들면, 약 30Hz 정도의 주파수 영역에서 공진이 발생되는 경우 상기 전방 또는 후방 구동 모터(124 또는 128)에 이상이 있는 것으로 판단할 수 있으며, 약 50Hz 정도의 주파수 영역에서 공진이 발생되는 경우 상기 전방 또는 후방 감속기에서 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다.
상기와 같이 이송 차량(110)의 주파수 응답 특성을 분석하여 상기 이송 차량(110)을 구성하는 부품들의 상태를 미리 진단할 수 있으며, 이를 통해 상기 이송 차량(110)에 대한 예방 정비 시기를 적절하게 결정할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치의 진단 방법을 설명하기 위한 순서도이며, 도 5는 도 4에 도시된 진단 방법을 수행할 수 있도록 구성된 이송 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 진단 방법을 수행할 수 있도록 구성된 이송 장치(200)는, 주행 레일(미도시)을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈(220)과, 상기 이송 모듈(220)의 하부에 연결되는 호이스트 모듈(미도시)과, 상위 제어기(50)로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈(220)이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈(220)의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기(240)와, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈(220)에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브(250)와, 상기 모션 제어기(240)에 사인파 형태의 입력 신호를 제공하고 상기 이송 모듈(220)의 위치 신호를 수신하며 상기 입력 신호와 상기 위치 신호에 기초하여 보드 선도를 생성하고 상기 보드 선도에 기초하여 상기 이송 모듈(220)과 상기 호이스트 모듈을 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 신호 분석 유닛(260)을 포함할 수 있다.
상기 이송 모듈(220)은, 상기 주행 레일 상에 배치되는 전방 휠들과, 상기 전방 휠들을 회전시키기 위한 전방 구동 모터와, 상기 주행 레일 상에 배치되는 후방 휠들과, 상기 후방 휠들을 회전시키기 위한 후방 구동 모터를 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 전방 및 후방 구동 모터들에는 상기 전방 휠들과 후방 휠들의 회전수를 측정하기 위한 전방 엔코더와 후방 엔코더가 각각 장착될 수 있으며, 또한 전방 감속기와 후방 감속기가 각각 장착될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, S210 단계에서, 상기 신호 분석 유닛(260)은 상기 모션 제어기(240)에 사인파 형태의 입력 신호를 제공할 수 있으며, S220 단계에서 상기 입력 신호에 대응하는 상기 이송 모듈(220)의 위치 신호를 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 신호 분석 유닛(260)은 상기 전방 엔코더와 상기 후방 엔코더 중 어느 하나의 신호를 수신할 수 있다.
이어서, 상기 신호 분석 유닛(260)은 S230 단계에서 상기 입력 신호와 상기 위치 신호에 기초하여 보드 선도를 생성할 수 있으며, S240 단계에서 상기 보드 선도를 통해 획득되는 상기 이송 장치(200)의 주파수 응답 특성을 분석하여 상기 이송 장치(200)를 구성하는 부품들의 상태를 진단할 수 있다. 상기 신호 분석 유닛(260)에 의해 분석된 진단 정보는 상기 상위 제어기(50)로 전송될 수 있으며, 상기 상위 제어기(50)는 상기 진단 정보에 기초하여 상기 이송 장치(200)의 예방 정비 시기를 결정할 수 있다.
또한, 상기 신호 분석 유닛(260)은 상기 입력 신호의 주파수를 기 설정된 저주파수 영역에서 기 설정된 고주파수 영역까지 연속적으로 변경하면서 상기 입력 신호를 제공할 수 있으며, 이에 대응하여 수신되는 위치 신호로부터 상기 보드 선도를 생성할 수 있다. 또한, 상기 신호 분석 유닛(260)은 상기 보드 선도로부터 공진이 발생되는 주파수 영역을 검출할 수 있으며, 상기 공진이 발생되는 주파수 영역에 대응하는 부품을 검출할 수 있다. 예를 들면, 약 30Hz 정도의 주파수 영역에서 공진이 발생되는 경우 상기 전방 또는 후방 구동 모터에 이상이 있는 것으로 판단할 수 있으며, 약 50Hz 정도의 주파수 영역에서 공진이 발생되는 경우 상기 전방 또는 후방 감속기에서 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다.
특히, 상기 이송 장치(200)의 진단을 위한 단계들은 이송 차량이 이동하는 도중에 수행될 수 있으며, 이를 통해 상기 이송 장치(200)의 상태를 보다 정확하게 진단할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치(100, 200)의 주파수 응답 특성을 분석함으로써 상기 이송 장치(100, 200)를 구성하는 부품들의 상태를 진단할 수 있으며, 이를 통해 상기 이송 장치(100, 200)의 부품들에 이상이 발생되기 전에 미리 상기 이송 장치(100, 200)의 예방 정비를 수행할 수 있는 진단 정보를 획득할 수 있다. 특히, 상기 신호 분석 유닛(260)을 상기 이송 차량에 탑재함으로써 상기 이송 차량의 주행 중에 상기 이송 차량의 상태를 보다 정확하게 진단할 수 있으며, 이를 통해 상기 이송 차량의 고장 발생 가능성을 크게 감소시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 자재 50 : 상위 제어기
100 : 이송 장치 102 : 주행 레일
110 : 이송 차량 120 : 이송 모듈
130 : 호이스트 모듈 140 : 모션 제어기
150 : 서보 드라이브 160 : 주파수 응답 분석기
170 : 디지털/아날로그 컨버터 172 : 아날로그/디지털 컨버터
200 : 이송 장치 220 : 이송 모듈
240 : 모션 제어기 260 : 신호 분석 유닛

Claims (9)

  1. 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과, 상기 이송 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈과, 상위 제어기로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기와, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브를 포함하는 이송 장치의 진단 방법에 있어서,
    상기 상위 제어기와 상기 모션 제어기 사이에 주파수 응답 특성을 분석하기 위한 주파수 응답 분석기를 연결하는 단계; 및
    상기 주파수 응답 특성에 기초하여 상기 이송 장치를 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 진단 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 상위 제어기와 상기 주파수 응답 분석기 사이에 디지털/아날로그 컨버터를 연결하고 상기 주파수 응답 분석기와 상기 모션 제어기 사이에 아날로그/디지털 컨버터를 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 진단 방법.
  3. 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과, 상기 이송 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈과, 상위 제어기로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기와, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브를 포함하는 이송 장치의 진단 방법에 있어서,
    상기 모션 제어기에 사인파 형태의 입력 신호를 제공하는 단계;
    상기 입력 신호에 대응하는 상기 이송 모듈의 위치 신호를 검출하는 단계;
    상기 입력 신호와 상기 위치 신호에 기초하여 보드 선도를 생성하는 단계; 및
    상기 보드 선도를 통해 획득되는 상기 이송 장치의 주파수 응답 특성을 분석하여 상기 이송 장치를 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 진단 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 입력 신호를 제공하는 단계에서 상기 입력 신호의 주파수를 변경하면서 연속적으로 상기 입력 신호를 제공하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 진단 방법.
  5. 제3항에 있어서, 상기 이송 장치를 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 단계는,
    상기 보드 선도로부터 공진이 발생되는 주파수 영역을 검출하는 단계와,
    상기 공진이 발생되는 주파수 영역에 대응하는 부품을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 진단 방법.
  6. 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈;
    상기 이송 모듈의 하부에 연결되는 호이스트 모듈;
    상위 제어기로부터 제공되는 위치 명령에 기초하여 상기 이송 모듈이 목적지에 도달하도록 상기 이송 모듈의 위치와 속도를 제어하기 위한 제어 신호를 제공하는 모션 제어기;
    상기 제어 신호에 기초하여 상기 이송 모듈에 구동 전류를 인가하는 서보 드라이브; 및
    상기 모션 제어기에 사인파 형태의 입력 신호를 제공하고 상기 이송 모듈의 위치 신호를 수신하며 상기 입력 신호와 상기 위치 신호에 기초하여 보드 선도를 생성하고 상기 보드 선도에 기초하여 상기 이송 모듈과 상기 호이스트 모듈을 구성하는 부품들의 상태를 진단하는 신호 분석 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 이송 모듈은,
    상기 주행 레일 상에 배치되는 전방 휠들과,
    상기 전방 휠들을 회전시키기 위한 전방 구동 모터와,
    상기 전방 구동 모터의 회전수를 측정하기 위한 전방 엔코더와,
    상기 주행 레일 상에 배치되는 후방 휠들과,
    상기 후방 휠들을 회전시키기 위한 후방 구동 모터와,
    상기 후방 구동 모터의 회전수를 측정하기 위한 후방 엔코더를 포함하며,
    상기 신호 분석 유닛은 상기 전방 엔코더와 상기 후방 엔코더 중 어느 하나의 신호를 수신하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 신호 분석 유닛은 상기 입력 신호의 주파수를 변경하면서 연속적으로 상기 입력 신호를 제공하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 신호 분석 유닛은 상기 보드 선도로부터 공진이 발생되는 주파수 영역을 검출하고 상기 공진이 발생되는 주파수 영역에 대응하는 부품을 검출하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006240866A (ja) * 2005-03-07 2006-09-14 Hitachi Plant Technologies Ltd 搬送装置のモニタリングシステム
KR20080055789A (ko) * 2005-07-11 2008-06-19 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 지능형 상태 감시 및 결함 진단 시스템
KR20200039236A (ko) * 2018-10-05 2020-04-16 세메스 주식회사 이송 장치의 동작 제어 방법
KR20200073488A (ko) 2018-12-14 2020-06-24 세메스 주식회사 센서 간섭 방지 장치
KR20200082011A (ko) 2018-12-28 2020-07-08 세메스 주식회사 천장 이송 장치의 비히클
KR102226760B1 (ko) * 2019-10-14 2021-03-12 세메스 주식회사 Oht의 비이클 제어 방법과 장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006240866A (ja) * 2005-03-07 2006-09-14 Hitachi Plant Technologies Ltd 搬送装置のモニタリングシステム
KR20080055789A (ko) * 2005-07-11 2008-06-19 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 지능형 상태 감시 및 결함 진단 시스템
KR20200039236A (ko) * 2018-10-05 2020-04-16 세메스 주식회사 이송 장치의 동작 제어 방법
KR20200073488A (ko) 2018-12-14 2020-06-24 세메스 주식회사 센서 간섭 방지 장치
KR20200082011A (ko) 2018-12-28 2020-07-08 세메스 주식회사 천장 이송 장치의 비히클
KR102226760B1 (ko) * 2019-10-14 2021-03-12 세메스 주식회사 Oht의 비이클 제어 방법과 장치

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