KR20170007115A - 물품 반송 설비 - Google Patents

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Abstract

반송차에 주행용의 전력을 공급하는 제1 주행 경로에 속하는 반송 대상 개소와, 반송차에 주행용의 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로에 속하는 반송 대상 개소와의 사이에서, 물품을 반송하는 경우에, 관리부는, 제1 반송차가 제1 주행 경로만을 주행하도록, 제1 반송차의 주행을 관리하고, 제2 반송차가 제1 주행 경로 및 제2 주행 경로의 양쪽에 걸쳐 주행하도록 제2 반송차의 주행을 관리한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 주행 경로로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 제1 반송차(搬送車; transport vehicle)와, 축전 장치를 탑재하여 그 축전 장치로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 제2 반송차를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
예를 들면, 일본 특허 제5229363호 공보에는, 주행 경로를 따라 설치된 급전선으로부터 급전된 전력으로 작동하는 제1 반송차[천정 주행차(2)]만이 주행하는 제1 주행 경로[궤도(6)]와, 자기(自己)가 구비하는 축전지에 의해 공급되는 전력으로 작동하는 제2 반송차[로컬 대차(local vehicle)](4)만이 주행하는 제2 주행 경로[궤도(8)]가, 각각 별도로 설치된 물품 반송 설비가 기재되어 있다. 이 물품 반송 설비에는, 제1 반송차와 제2 반송차와의 양쪽이 물품을 수수(授受) 가능한 물품 유지부[버퍼(10)]가 설치되어 있다.
이 물품 반송 설비에서는, 제1 반송차와의 사이에서만 물품의 수수가 가능한 처리 장치를 반송원(搬送元)으로 하고, 제2 반송차와의 사이에서만 물품의 이송탑재(移載; transfer)가 가능한 처리 장치를 반송처(搬送處)로 하는 물품의 반송, 또는 반송원과 반송처가 그 역으로 되는 물품의 반송은, 물품 유지부[버퍼(10)]를 사용하여 다음과 같이 행해진다. 즉, 제1 반송차와 버퍼(10)와의 사이에서 물품의 이송탑재를 행하고, 또한 버퍼(10)와 제2 반송차와의 사이에서 물품의 이송탑재를 행함으로써, 제1 반송차와 제2 반송차와의 사이에서 물품을 받아건네어, 반송원으로부터 반송처로 물품이 반송된다.
즉, 이 물품 반송 설비에서는, 제1 반송차와의 사이에서만 물품의 수수가 가능한 처리 장치를 반송원으로 하고, 제2 반송차와의 사이에서만 물품의 이송탑재가 가능한 처리 장치를 반송처로 하는 물품의 반송, 또는 반송원과 반송처가 그 역으로 되는 물품의 반송을 행하는 경우에는, 제1 반송차만 또는 제2 반송차만으로, 반송원으로부터 반송처로의 물품의 반송을 완결할 수가 없다. 이와 같은 반송에서는, 전술한 바와 같이, 버퍼(10)를 통하여, 제1 반송차와 제2 반송차와의 사이에서의 물품의 받아건넴이 반드시 발생하게 되므로, 물품의 반송 효율이 저하된다.
일본 특허 제5229363호 공보
그래서, 반송차에 주행용의 전력을 공급하는 제1 주행 경로에 속하는 반송 대상 개소(箇所)와, 반송차에 주행용의 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로에 속하는 반송 대상 개소와의 사이에서, 물품을 반송하는 경우의 반송 효율의 저하를 억제하는 것이 요구된다.
본 발명의 바람직한 태양(態樣)으로서,
물품 반송 설비는,
복수의 처리 장치를 연결하도록 설치된 주행 경로와, 상기 주행 경로를 주행하여 상기 처리 장치에 의해 처리되는 물품을 반송하는 반송차와, 상기 반송차의 주행을 관리하는 관리부를 구비하고,
여기서,
상기 주행 경로는, 상기 반송차에 전력을 공급하는 제1 주행 경로와, 상기 반송차에 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로를 포함하고,
상기 반송차는, 상기 제1 주행 경로로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 제1 반송차와, 축전 장치를 탑재하여 상기 축전 장치로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 제2 반송차를 포함하고,
상기 제1 주행 경로와 상기 제2 주행 경로는, 서로 접속되고,
상기 관리부는, 상기 제1 반송차가 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로 중 상기 제1 주행 경로만을 주행하도록 상기 제1 반송차의 주행을 관리하고, 상기 제2 반송차가 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로의 양쪽에 걸쳐 주행하도록 상기 제2 반송차의 주행을 관리한다.
이 구성에 의하면, 물품 반송원과 반송처와의 양쪽이 제1 주행 경로를 따라 존재하는 경우에는, 제1 반송차 및 제2 반송차 중 어느 하나로 물품을 반송시킴으로써, 물품의 반송을 1대의 반송차로 완결시킬 수 있다. 또한, 물품 반송원과 반송처와의 양쪽이 제2 주행 경로를 따라 존재하는 경우에는, 제2 반송차로 물품을 반송시킴으로써, 물품의 반송을 1대의 반송차로 완결시킬 수 있다. 또한, 제2 반송차는, 서로 접속된 제1 주행 경로와 제2 주행 경로와의 양쪽을 주행 가능하다. 따라서, 제1 주행 경로 및 제2 주행 경로의 한쪽에 물품 반송원이 존재하고, 다른 쪽에 반송처가 존재하는 경우에는, 제2 반송차로 물품을 반송시킴으로써, 반송원으로부터 반송처까지의 물품의 반송을 1대의 반송차로 완결시킬 수 있다. 즉, 본 구성에 의하면, 반송차에 주행용의 전력을 공급하는 제1 주행 경로에 속하는 반송 대상 개소와, 반송차에 주행용의 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로에 속하는 반송 대상 개소와의 사이에서, 물품을 반송하는 경우의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 반송원과 반송처의 한쪽이 급전(給電) 정지 상태인 급전 구간에 속하는 경우나, 반송원과 반송처와의 양쪽이 급전 상태인 급전 구간에서 있어도, 그 구간에 있어서 급전 정지 상태의 급전 구간을 통과하지 않으면 안되는 경우에는, 제1 반송차만으로는 물품의 반송을 완료할 수 없다. 그러나, 이와 같은 경우라도, 제2 반송차를 사용함으로써, 반송원으로부터 반송처까지의 구간에 급전 정지 상태인 급전 구간이 포함되어 있어도, 도중에 물품의 중계를 하지 않고, 단일의 제2 반송차에 의해 물품의 반송을 행할 수 있다. 즉, 반송원으로부터 반송처까지의 구간에 급전 정지 상태인 급전 구간이 포함되어 있어도, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 설비의 가동(稼動) 효율의 저하, 및 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
물품 반송 설비의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.
도 1은 통상 반송차 및 주행 레일의 개략 측면도
도 2는 통상 반송차 및 주행 레일의 개략 정면도
도 3은 배터리 탑재 반송차의 개략 측면도
도 4는 주행 레일 및 급전 영역을 나타내는 개략 평면도
도 5는 주행 레일 부설(敷設) 공사에 따른 급전 정지 영역을 나타낸 도면
도 6은 제어 블록도
도 7은 주행이 허용되는 구간을 나타내는 허용 구간 정의 데이터를 갱신하는 제어를 나타낸 플로우차트
도 8은 관리 장치가 행하는 반송 지령의 지령 태양을 나타낸 플로우차트
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 물품 반송 설비를, 복수의 천정 반송차가 설치된 반도체 처리 설비에 적용한 실시형태를 설명한다. 천정 반송차는, 주행 경로를 따라 설치된 복수의 처리 장치에 걸쳐 물품을 반송하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 물품으로서, 반도체 기판, 및 복수 개의 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 예시한다. 그리고, FOUP를 반송하는 것은 반도체 기판을 반송하는 것과 등가(等價)이며, 「물품을 반송하는」에는, FOUP의 반송, 및 반도체 기판의 반송의 양쪽의 의미를 포함한다. 또한, 「물품을 처리하는」에는, FOUP에 대한 작업(이송탑재, 반도체 기판의 수용·인출 등), 및 반도체 기판에 대한 작업(반도체 제조 프로세스)의 양쪽의 의미를 포함한다.
본 실시형태의 물품 반송 설비를 적용한 반도체 처리 설비는, 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 물품(B)으로서의 FOUP를 유지하여 주행 가능한 반송차(V)와, 주행 경로(T)를 따라 설치되고, 천정으로부터 현수(懸垂)에 의해 지지되어 있는 주행 레일(R)을 구비하고 있다. 또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 주행 경로(T)를 따라, 물품(B)에 수용된 반도체 기판에 대한 처리를 행하는 반도체 처리 장치(STp), 및 물품(B)을 복수 보관 가능한 반도체 용기 보관 장치(STk)가, 각각 복수 설치되어 있다. 반송차(V)는, 복수의 반도체 처리 장치(STp) 중 상이한 반도체 처리 장치(STp)끼리의 사이, 복수의 반도체 용기 보관 장치(STk) 중 상이한 반도체 용기 보관 장치(STk)의 사이, 또는 반도체 처리 장치(STp)와 반도체 용기 보관 장치(STk)와의 사이 등으로 물품(B)을 반송하기 위해, 반송원의 반도체 처리 장치(STp)나 반도체 용기 보관 장치(STk)로부터 수취한 물품(B)을 유지한 상태로 주행 레일(R) 상을 주행하여 반송처의 반도체 처리 장치(STp)나 반도체 용기 보관 장치(STk)까지 반송하도록 구성되어 있다. 반도체 처리 장치(STp) 및 반도체 용기 보관 장치(STk)는, 반송원 및 반송처로 되는 처리 장치에 상당한다.
반송차(V)에는, 반도체 처리 설비에서의 물품(B)의 처리 스케줄이나, 반도체 처리 장치(STp) 또는 반도체 용기 보관 장치(STk)의 사이에서의 물품(B)의 반송을 관리하는 관리 장치(K)(도 6)로부터의 지령을 수신하는 지령 수신부(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 반도체 용기 보관 장치(STk) 및 반도체 처리 장치(STp)가 처리 장치에 상당하고, 관리 장치(K)가 관리부에 상당한다. 즉, 반도체 처리 장치(물품 반송 설비)는, 복수의 처리 장치를 연결하도록 설치된 주행 경로(T)와, 주행 경로(T)를 주행하여 처리 장치에 의해 처리되는 물품(B)을 반송하는 반송차(V)와, 반송차(V)의 주행을 관리하는 관리 장치(K)를 구비하고 있다. 그리고, 관리 장치(K)는, 마이크로 컴퓨터, 및 메모리나 통신 회로나 알고리즘이 기억된 메모리를 가진 반도체 집적 회로를 포함하고, 본 명세서에 있어서 설명되는 각종 처리나 기능을 실현하는 컨트롤러이다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 반송차(V)에 구동 전력을 공급하는 급전선(RH)(급전부)이, 주행 레일(R)을 따라 설치되어 있다. 급전선(RH)은, 절연성 재료로 구성된 지지체를 통하여, 주행 레일(R)에 지지되어 있다. 또한, 반송차(V)에는, 급전선(RH)의 주위의 자장(磁場)의 변동에 의해 유도 전류를 발생시키는 유도 코일(VE)이 장착되어 있다. 유도 코일(VE)은, 반송차(V)의 주행 등, 반송차(V)의 동작용의 전력을, 급전선(RH)으로부터 비접촉 상태로 취득한다. 이후, 본 실시형태에 있어서, 유도 코일(VE)이 급전선(RH)의 자장의 변동에 의해 유도 전류를 얻는 것을, 「급전선(RH)으로부터 급전을 받는」이라고 표현한다.
본 실시형태에서는, 반송차(V)로서, 전술한 급전선(RH)으로부터 급전을 받음으로써 작동하는 급전 구동 반송차(V1)(도 1 및 도 2를 참조)와, 급전선(RH)으로부터 급전을 받지 않고 자기[반송차(V)]가 탑재하는 축전 장치(VB)로 작동하는 배터리 구동 반송차(V2)(도 3을 참조)를 구비하고 있다.
급전 구동 반송차(V1)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(R) 상을 주행하는 주행 차륜(W1)을 구비한 주행부(11)와, 주행부(11)에 현수(縣垂)한 상태로 지지된 본체부(12)를 구비하고 있다. 주행부(11)는, 또한 주행 레일(R)의 분기 부분에서 상기 주행부(11)의 진행 방향을 전환하는 조향 안내륜(W2)을 구비하고 있다. 조향 안내륜(W2)은, 주행 레일(R)을 따라 설치되는 안내 레일(도시하지 않음)의 한 쌍의 측면 중 한쪽과 맞닿고, 주행 레일(R)의 분기 부분에서는, 맞닿는 측면을 전환함으로써, 주행부(11)의 진행 방향을 전환한다. 또한, 주행부(11)는, 상기한 주행 차륜(W1)을 회전 구동시키는 주행 구동부(M1)와, 상기한 조향 안내륜(W2)의 위치를 전환하는 조향 구동부(M2)를 구비하고 있다.
본체부(12)는, 커버부(12C)와, 커버부(12C)에 지지된 승강 구동부(M3)에 의해 승강 이동하는 승강부(13)를 구비하고 있다. 승강부(13)는, 도시는 생략하지만, 물품(B)으로서의 FOUP의 상단(上端)에 설치된 플랜지를 파지(把持)하는 파지부(把持部)를 구비하고 있다. 파지부는, 플랜지를 파지하는 파지 상태와 플랜지의 파지를 해제하는 파지 해제 상태로 전환할 수 있도록 구성되어 있다. 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)는, 전동 모터 등, 도시하지 않은 전동 액추에이터를 구비하고 있고, 전력에 의해 구동한다. 또한, 급전 구동 반송차(V1)에는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)의 작동을 제어하는 제어부(H)로서, 제1 제어부(H1)가 탑재되어 있다. 그리고, 급전 구동 반송차(V1)는, 제1 제어부(H1)에 의해 자율 주행을 행하도록 제어된다.
도 3에 나타낸 배터리 구동 반송차(V2)는, 급전 구동 반송차(V1)의 기본 구조를 이용하여 구성되어 있다. 배터리 구동 반송차(V2)는 축전 장치(VB)를 탑재하고 있고, 유도 코일(VE)이 취득한 전력 대신에 축전 장치(VB)로부터 공급되는 전력에 의해 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3) 등을 작동시킨다. 그리고, 배터리 구동 반송차(V2)에도 유도 코일(VE)이 탑재되어 있지만, 이것은 후술하는 충전 스테이션(CH)(도 5 참조)에 있어서 축전 장치(VB)를 충전하기 위해 사용된다. 즉, 유도 코일(VE)은, 축전 장치(VB)에 공급하는 전력을, 충전 스테이션(CH)의 급전선(RH)으로부터 취득한다. 배터리 구동 반송차(V2)는, 배터리 구동 반송차(V2)의 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)를 작동시킬 때는, 유도 코일(VE)이 취득한 전력을 이용하지 않고, 축전 장치(VB)의 전력을 사용한다. 또한, 배터리 구동 반송차(V2)에는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)의 작동을 제어하는 제어부(H)로서, 제2 제어부(H2)가 탑재되어 있다. 그리고, 배터리 구동 반송차(V2)는, 제2 제어부(H2)에 의해 자율 주행을 행하도록 제어된다.
그리고, 상기에 있어서, 배터리 구동 반송차(V2)는, 유도 코일(VE)이 취득한 전력 대신에 축전 장치(VB)로부터 공급되는 전력에 의해, 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)를 작동시키는 것으로 설명하였으나, 축전 장치(VB)로부터 공급되는 전력 및 유도 코일(VE)이 취득한 전력에 의해, 이들을 작동시켜도 된다. 예를 들면, 배터리 구동 반송차(V2)는, 제1 주행 경로(T1)를 주행하는 경우에는, 유도 코일(VE)이 취득한 전력에 의해 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)를 작동시키도록 해도 된다. 또한, 배터리 구동 반송차(V2)는, 제1 주행 경로(T1)를 주행하는 경우에, 유도 코일(VE)이 취득한 전력에 의해, 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)를 작동시키면서, 잉여 전력에 의해 축전 장치(VB)를 충전해도 된다. 또는, 배터리 구동 반송차(V2)는, 제1 주행 경로(T1)를 주행하는 경우에, 축전 장치(VB)로부터 공급되는 전력에 의해 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3) 등을 작동시키면서, 유도 코일(VE)이 취득한 전력에 의해 축전 장치(VB)를 충전해도 된다.
본 실시형태에 있어서, 주행 레일(R)은 도 4에 나타낸 바와 같이, 연속하여 설치되어 있다. 그러므로, 반송차(V)는, 이 주행 레일(R) 상을 연속하여 주행할 수 있다. 또한, 급전선(RH)(급전부)은, 주행 레일(R)을 따라 설치되어 있다. 따라서, 예를 들면, 도 4에 나타낸 제1 반도체 처리 장치(STp1)로부터 제2 반도체 처리 장치(STp2)로 물품(B)을 반송하는 경우, 물품(B)을 유지하는 급전 구동 반송차(V1)를, 예를 들면, RT0로 나타내는 루트로 주행시킬 수 있다. 즉, 급전 구동 반송차(V1)만을 사용하여 반송원[제1 반도체 처리 장치(STp1)]으로부터 반송처[제2 반도체 처리 장치(STp2)]로의 물품(B)의 반송을 행할 수 있다.
그런데, 본 실시형태와 같은 급전선(RH)에 대해서는, 전압이나 주파수를 급전을 위한 적정한 출력으로 제어하는 정류(整流) 장치로부터 전력이 공급되고 있다. 여기서, 급전선(RH)의 선로 길이가 길어지면 선로 저항에 의한 손실 등이 커져, 급전 효율이 악화된다. 그래서, 본 실시형태에서는, 급전선(RH)의 선로 길이가 일정한 길이 이하로 되도록, 급전선(RH)이 복수의 영역(A)[도 4 및 도 5에 나타낸 예에서는, 제1 영역(A1), 제2 영역(A2), 제3 영역(A3), 제4 영역(A4)의 4개]에 대응하여 분할되어 있다. 정류 장치는, 영역(A)의 각각에 대응하여 각각 별도로 설치되어 있다. 또한, 영역 급전 상태 전환 장치(X)(도 6)는, 정류 장치의 전환에 의해, 영역(A)마다, 급전선(RH)에 전력을 공급하는 공급 상태와, 전력의 공급을 정지시키는 공급 정지 상태를 전환한다.
예를 들면, 도 5에 나타낸 예에 있어서, 제2 영역(A2), 제3 영역(A3), 제4 영역(A4)은, 공급 상태의 영역(A)(급전 구간)이며, 제1 영역(A1)은, 공급 정지 상태의 영역(A)(급전 구간)이다. 주행 경로(T) 중, 주행 레일(R)을 따라 설치된 급전선(RH)(급전부)이 공급 상태의 영역(A)(급전 구간)에 속하는 경로를, 제1 주행 경로(T1)라고 한다. 또한, 주행 경로(T) 중, 주행 레일(R)을 따라 설치된 급전선(RH)이 공급 정지 상태의 영역(A)(급전 구간)에 속하는 경로를, 제2 주행 경로(T2)라고 한다[도 5에 탈색의 파선(破線)으로 나타내는 주행 경로(T)]. 환언하면, 제1 주행 경로(T1)에서의 급전선(RH)(급전부)은, 공급 상태의 급전 구간에 의해 구성되며, 제2 주행 경로(T2)에서의 급전선(RH)은, 전(前) 정지 상태의 상기 급전 구간에 의해 구성되어 있다. 또한, 자세한 것은 후술하지만, 급전 구동 반송차(V1)가 제1 반송차에 상당하고, 배터리 구동 반송차(V2)가 제2 반송차에 상당한다.
즉, 주행 경로(T)에는, 반송차(V)에 전력을 공급하는 제1 주행 경로(T1)와, 반송차(V)에 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로(T2)가 포함된다. 급전선(RH)은, 주행 경로(T)가 연장되는 길이 방향을 따라 제1 주행 경로(T1) 및 제2 주행 경로(T2)의 전역(全域)에 걸쳐 설치되어 있다. 그리고, 제1 주행 경로(T1)와 제2 주행 경로(T2)는, 서로 접속되어 있다. 또한, 반도체 처리 설비(물품 반송 설비)는, 반송차(V)로서, 제1 주행 경로(T1)로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 급전 구동 반송차(V1)와, 축전 장치(VB)를 탑재하여 상기 축전 장치(VB)로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 배터리 구동 반송차(V2)를 구비하고 있다. 그리고, 주행 경로(T)를 주행하는 반송차(V)에 전력을 공급하는 급전선(RH)은, 주행 경로(T)가 연장되는 길이 방향을 따라 제1 주행 경로(T1) 및 제2 주행 경로(T2)의 전역에 걸쳐 설치되어 있다. 또한, 급전선(RH)은, 전력을 공급하는 공급 상태와 전력의 공급을 정지시키는 공급 정지 상태로 급전 구간 단위로 전환 가능하게 구성되어 있다.
다음에, 관리 장치(K)가 실행하는 제어를 설명한다. 관리 장치(K)는, 반송 스케줄에 기초하여, 반송을 담당시키는 반송차(V)로서 급전 구동 반송차(V1) 또는 배터리 구동 반송차(V2)를 선택하고, 그 선택된 반송차(V)(담당 반송차라고 함)에 대하여 반송 지령을 부여하도록 구성되어 있다. 그리고, 반송 지령이란, 물품(B)의 반송원의 처리 장치[반도체 처리 장치(STp) 또는 반도체 용기 보관 장치(STk)]로부터 상기 물품(B)의 반송처의 처리 장치[반도체 처리 장치(STp) 또는 반도체 용기 보관 장치(STk)]까지 물품(B)을 반송하기 위한 반송차(V)에 대한 지령이다.
관리 장치(K)는, 반송차(V)마다, 주행 경로(T)에 있어서, 그 반송차(V)가 주행하는 것을 허용하는 구간(주행 허용 구간)을 규정하는 허용 구간 정의 데이터를 기억하는 허용 구간 정의 데이터 유지부(K1)를 구비하고 있다. 후술하는 바와 같이, 허용 구간 정의 데이터는, 관리 장치(K)가 담당 반송차를 결정할 때 사용된다. 허용 구간 정의 데이터 유지부(K1)는, 기억 장치(예를 들면, 하드디스크)에서의 폴더로서 구성되어 있고, 상기 폴더에, 각각의 반송차(V)에 대한 허용 구간 정의 데이터를 각각 별도로 파일로서 유지하고 있다. 또한, 반송차(V)도, 자체에 대응하는 허용 구간 정의 데이터를 제어부(H)에 유지하고 있다. 각각의 반송차(V)는, 자기가 유지하는 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 주행 경로(T)에 있어서 자기가 주행이 허용된 구간을 판단하고, 상기 구간을 주행하도록 제어부(H)에 의해 자율 주행 제어된다. 또한, 관리 장치(K)는, 허용 구간 정의 데이터가 갱신된 것을 최종 갱신 시각 정보로부터 판별하는 데이터 갱신 판별부(K2)를, 프로그램 형식으로 구비하고 있다.
그런데, 급전선(RH)은 주행 레일(R)을 따라 설치되어 있으므로, 예를 들면, 주행 레일(R)에 대한 작업[교환 공사나 신설 공사 등, 주행 경로(T)에서의 작업]을 행하는 경우, 작업을 행하는 해당 개소 및 주변 개소에 대응하는 급전 구간에 있어서는, 급전선(RH)을 공급 정지 상태로 하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 복수의 영역(A) 중 제1 영역(A1)에 속하는 주행 레일(R)에 연속하는 새로운 주행 레일(Ra)을 신설하거나, 제1 영역(A1)에 속하는 주행 레일(R)을 교환하거나 하도록 한 작업을 행하는 경우, 상기 작업 개소의 급전선(RH)으로의 전력의 공급을 정지한다. 즉, 도 5에 나타낸4개의 영역(A) 중, 제1 영역(A1)은, 급전 구간이 공급 정지 상태로 되는 영역으로 된다. 이하, 제1 영역(A1)의 급전선(RH)이 공급 정지 상태로 전환되어 있는 상태에서, 제1 반도체 처리 장치(STp1)로부터 제2 반도체 처리 장치(STp2)로 물품(B)을 반송하는 경우에 대한 제어를, 도 7을 참조하여 설명한다.
허용 구간 정의 데이터 유지부(K1)에는, 허용 구간 정의 데이터로서, 제1 허용 구간 정의 데이터, 및 제2 허용 구간 정의 데이터가 기억되어 있다. 제1 허용 구간 정의 데이터는, 주행 경로(T)에 있어서 급전 구동 반송차(V1)의 주행이 허용되는 구간인 제1 주행 허용 구간을 규정하는 데이터이다. 제2 허용 구간 정의 데이터는, 주행 경로(T)에 있어서 배터리 구동 반송차(V2)의 주행이 허용되는 구간인 제2 주행 허용 구간을 규정하는 데이터이다.
본 실시형태에서는, 주행 경로(T)가, 경로의 연장 방향을 따른 길이 방향으로 복수의 구간으로 구분되고, 그 각각에 식별 ID가 부여되어 있다. 이들 구간은, 물리적으로 분리되어 있을 필요는 없고, 물리적으로 연속되어도 된다. 허용 구간 정의 데이터는, 반송차(V)의 각각에 대응하여, 주행을 허용하는 구간의 식별 ID를 열거하는 데이터로서 구성되어 있다. 즉, 어떤 급전 구동 반송차(V1)에 대응하는 제1 허용 구간 정의 데이터에는, 제1 주행 경로(T1)에 있어서 상기 급전 구동 반송차(V1)가 주행이 허용되어 있는 구간의 식별 ID가 열거되어 있다. 또한, 어느 배터리 구동 반송차(V2)에 대응하는 제2 허용 구간 정의 데이터에는, 제1 주행 경로(T1)에 있어서 상기 배터리 구동 반송차(V2)가 주행이 허용되는 구간의 식별 ID, 및 제2 주행 경로(T2)에 있어서 상기 배터리 구동 반송차(V2)가 주행이 허용되고 있는 구간의 식별 ID가 열거되어 있다.
또한, 관리 장치(K)는, 제1 주행 경로(T1)에 대응하는 구간의 구간 ID와, 그 구간에 대응하는 처리 장치[반도체 처리 장치(STp) 또는 반도체 용기 보관 장치(STk)]의 배치 정보, 및 제2 주행 경로(T2)에 대응하는 구간의 구간 ID와, 그 구간에 대응하는 처리 장치[반도체 처리 장치(STp) 또는 반도체 용기 보관 장치(STk)]의 배치 정보를 기억하고 있다. 본 실시형태에서는, 제1 허용 구간 정의 데이터는, 도 5에서의 제2 영역(A2)∼제4 영역(A4)에 대응하는 구간 ID를 열거한 데이터이며, 제2 허용 구간 정의 데이터는, 제1 영역(A1)∼제4 영역(A4)의 모두에 대응하는 구간 ID를 열거한 데이터이다.
즉, 관리 장치(K)는, 주행 경로(T)에 있어서 급전 구동 반송차(V1)의 주행이 허용되는 구간인 제1 주행 허용 구간을 규정하는 제1 허용 구간 정의 데이터, 및 주행 경로(T)에 있어서 배터리 구동 반송차(V2)의 주행이 허용되는 구간인 제2 주행 허용 구간을 규정하는 제2 허용 구간 정의 데이터를 기억하도록 구성되어 있다. 또한, 제1 주행 허용 구간에는 제1 주행 경로만이 포함되고, 제2 주행 허용 구간에는 제2 주행 경로와 제1 주행 경로와의 양쪽이 포함되어 있다. 또한, 관리 장치(K)는, 복수의 처리 장치[반도체 처리 장치(STp) 또는 반도체 용기 보관 장치(STk)] 중, 제1 주행 경로(T1)에 대응하는 것에 대한 배치 정보 및 제2 주행 경로(T2)에 대응하는 것에 대한 배치 정보를 기억하고 있다.
작업자는, 영역 급전 상태 전환 장치(X)에 의해 공사를 행하는 구간이 포함되는 제1 영역(A1)의 급전선(RH)을 공급 정지 상태로 전환하기에 앞서, 허용 구간 정의 데이터 유지부(K1)로서의 폴더에, 제1 허용 구간 정의 데이터 및 제2 허용 구간 정의 데이터를 보존한다. 이 때, 폴더에 이미 허용 구간 정의 데이터가 존재하고 있을 때는, 새로운 허용 구간 정의 데이터가 재기입(overwritten) 보존된다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 데이터 갱신 판별부(K2)는, 제1 허용 구간 정의 데이터의 최종 갱신 시각 정보에 기초하여 제1 허용 구간 정의 데이터가 갱신된 것으로 판별하면(#11: Yes), 급전 구동 반송차(V1)에 새로운 제1 허용 구간 정의 데이터를 송신한다(#12). 제1 허용 구간 정의 데이터를 수취한 급전 구동 반송차(V1)의 제1 제어부(H1)는, 관리 장치(K)로부터 송신된 제1 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 제1 주행 허용 구간 내에서 급전 구동 반송차(V1)를 주행시키도록 급전 구동 반송차(V1)를 제어한다.
또한, 데이터 갱신 판별부(K2)는, 제2 허용 구간 정의 데이터의 최종 갱신 시각 정보에 기초하여 제2 허용 구간 정의 데이터가 갱신된 것으로 판별하면(#13: Yes), 배터리 구동 반송차(V2)에 새로운 제1 허용 구간 정의 데이터를 송신한다(#14). 제2 허용 구간 정의 데이터를 수취한 배터리 구동 반송차(V2)의 제2 제어부(H2)는, 관리 장치(K)로부터 송신된 제2 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 제2 주행 허용 구간 내에서 배터리 구동 반송차(V2)를 주행시키도록 배터리 구동 반송차(V2)를 제어한다.
또한, 도 5에 파선으로 나타낸 바와 같이, 급전 구동 반송차(V1) 및 배터리 구동 반송차(V2)의 각각이 물품(B)을 이송탑재 가능한 물품 유지부(ZF)도, 제1 주행 경로(T1)를 따라 설치되어 있다. 이, 물품 유지부(ZF)는, 공사 기간 중에 일시적으로 설치되는 착탈식(着脫式) 또는 가설식(假設式)의 것이라도 된다. 물품 유지부(ZF)는, 천정 반송차인 반송차(V)의 승강부(13)에 설치된 파지부 사이에서의 물품(B)의 받아건넴이 가능한 위치[예를 들면, 주행 레일(R)의 바로 아래]에 설치된다. 그리고, 반송차(V)의 파지부가 평면에서 볼 때[연직(沿直) 방향을 따른 방향에서 볼 때] 주행 레일(R)과 직교하는 측방으로 슬라이딩 가능하게 구성되어 있는 경우에는, 물품 유지부(ZF)는 주행 레일(R)의 측방에 배치되어도 된다.
전술한 바와 같이, 급전 구동 반송차(V1)는 제2 주행 경로(T2)를 주행할 수 없다. 따라서, 제1 주행 경로(T1) 내의 제1 반도체 처리 장치(STp1)를 반송원으로 하고, 제2 주행 경로(T2) 내의 제2 반도체 처리 장치(STp2)를 반송처로서 물품(B)을 반송하는 경우에, 급전 구동 반송차(V1)가 담당 반송차로서 선택된 경우에는, 반송 대상의 물품(B)을 급전 구동 반송차(V1)로부터 배터리 구동 반송차(V2)로 건네주지 않으면 안된다. 그러므로, 관리 장치(K)는, 반송 지령을 전반 반송 지령과 후반 반송 지령으로 분해하고, 전반 반송 지령을 급전 구동 반송차(V1)에 대하여 출력하고, 후반 반송 지령을 배터리 구동 반송차(V2)에 대하여 출력한다. 이하, 이 경우의 관리 장치(K)에 의한 제어예를, 도 8을 참조하여 설명한다.
먼저, 관리 장치(K)는, 물품(B)의 반송원의 처리 장치[제1 반도체 처리 장치(STp1)]로부터 상기 물품(B)의 반송처의 처리 장치(제2 반도체 처리 장치(STp2)]까지의 물품(B)의 반송의 지령인 반송 지령을 생성한다(#21: 지령 생성 처리). 이어서, 반송원[제1 반도체 처리 장치(STp1)]이 제1 주행 경로(T1)에 속하는지의 여부를 판별하고(#22), 반송원[제1 반도체 처리 장치(STp1)]이 제1 주행 경로(T1)에 속하는 것으로 판별하면(#22―Yes), 담당 반송차로서 급전 구동 반송차(V1)를 선택한다(#23: 선택 처리).
이어서, 관리 장치(K)는, 반송처인 처리 장치[제2 반도체 처리 장치(STp2)]가 제2 주행 경로(T2)에 속하는지의 여부를 판별한다(#24). 예를 들면, 관리 장치(K)가, 반송처가 제2 주행 경로(T2)에 속하지 않는, 즉 반송처가 제1 주행 경로(T1)에 속하는 것으로 판별하면(#24―No), 스텝 #21에서 생성한 반송 지령을 담당 반송차[이 경우에는, 급전 구동 반송차(V1)]로 출력한다(#31: 지령 출력 처리)]. 급전 구동 반송차(V1)는, 반송원으로부터 반송처로 물품(B)을 반송한다.
본 실시형태의 반송처는, 제2 주행 경로(T2)에 속하는 제2 반도체 처리 장치(STp2)이다. 관리 장치(K)는, 스텝 #24에있어서, 반송처[제2 반도체 처리 장치(STp2)]가 제2 주행 경로(T2)에 속하는 것으로 판별하면(#24―Yes), 중계가 필요한 것으로 판단하여 중계용의 반송처[전반(前半) 반송처)]를 설정한다. 즉, 관리 장치(K)는, 전반 반송처를 물품 유지부(ZF)에 설정한다(#25: 중계점 설정 처리). 그리고, 관리 장치(K)는, 물품(B)을 반송원[제1 반도체 처리 장치(STp1)]으로부터 물품 유지부(ZF)까지 반송하여 상기 물품 유지부(ZF)에 이송탑재하도록 급전 구동 반송차(V1)를 작동시키는 전반 반송 지령을 생성하여, 상기 전반 반송 지령을 급전 구동 반송차(V1)의 제1 제어부(H1)에 출력한다(#26: 지령 생성 처리, 지령 출력 처리).
급전 구동 반송차(V1)의 제1 제어부(H1)는, 물품(B)의 물품 유지부(ZF)로의 반송이 완료되면, 관리 장치(K)에 그 취지를 통지한다. 관리 장치(K)는, 이 통지에 기초하여 급전 구동 반송차(V1)가 물품 유지부(ZF)로의 물품(B)의 반송이 완료되었는지의 여부를 판정한다(#27). 관리 장치(K)는, 물품 유지부(ZF)로의 물품(B)의 반송이 완료되어 있는 것으로 판정하면(#27―Yes), 상기 물품(B)의 반송을 담당하는 담당 반송차로서 배터리 구동 반송차(V2)를 선택한다(#28: 선택 처리). 이어서, 관리 장치(K)는, 물품(B)을 물품 유지부(ZF)로부터 이송탑재하여 반송처의 처리 장치[제2 반도체 처리 장치(STp2)]까지 반송하는 후반 반송 지령을 생성하여, 상기 후반 반송 지령을 배터리 구동 반송차(V2)의 제2 제어부(H2)에 출력한다(#29 지령 생성 처리, 지령 출력 처리).
그런데, 반송원으로부터 반송처로의 경로 상에, 물품 유지부(ZF)가 복수 존재하는 경우, 물품(B)을 유지하고 있지 않은 어느 하나의 물품 유지부(ZF)가 전반 반송 지령에서의 반송처로서 선택되게 된다. 예를 들면, 비어 있는 물품 유지부(ZF) 중에서 최종의 반송처(처리 장치)에 가장 가까운 물품 유지부(ZF)가 선택되는 것이 바람직하다. 즉, 주행 중에 급전이 가능한 급전 구동 반송차(V1)에 의해, 가능한 한 먼 곳까지[최종의 반송처(처리 장치)의 근처까지] 물품(B)을 반송하는 것이 바람직하다. 이와 같은 물품 유지부(ZF)의 선택은, 관리 장치(K)가, 전반 반송 지령에서의 반송처로서 지정해도 되고, 급전 구동 반송차(V1)의 제1 제어부(H1)에 의한 자율 제어에 맡겨도 된다. 각각의 반송차(V)는 자율 제어에 의해 물품(B)을 반송하고 있으므로, 관리 장치(K)가 전반 반송 지령을 생성하는 시점에서는, 비어 있지 않았던 물품 유지부(ZF)가, 급전 구동 반송차(V1)가 반송을 개시한 후에 이용 가능해질 수도 있다. 급전 구동 반송차(V1)의 자율 제어에 의해 반송처로 되는 물품 유지부(ZF)를 선택함으로써, 보다 적절한 선택을 할 수 있을 가능성이 있다. 급전 구동 반송차(V1)가, 물품 유지부(ZF)를 선택한 경우에는, 제1 제어부(H1)가, 물품(B)을 이송탑재한 물품 유지부(ZF)의 식별 정보를 관리 장치(K)에 송신하는 것이 바람직하다. 관리 장치(K)는, 배터리 구동 반송차(V2)에 대하여 상기 식별 정보에 대응하는 물품 유지부(ZF)를 반송원으로 하는 후반 반송 지령을 생성하여, 배터리 구동 반송차(V2)에 출력한다.
관리 장치(K)는, 스텝 #22에 있어서, 반송원의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)에 속하지 않는, 즉 반송원의 처리 장치가 제2 주행 경로(T2)에 속하는 것으로 판별하면(#22―No), 담당 반송차로서 배터리 구동 반송차(V2)를 선택한다(#30: 선택 처리). 관리 장치(K)는, 배터리 구동 반송차(V2)의 제2 제어부(H2)에 대하여, 스텝 #21에서 생성한 반송 지령을 출력한다(#31: 지령 출력 처리). 즉, 관리 장치(K)는, 배터리 구동 반송차(V2) 단독으로, 물품(B)을 반송원의 처리 장치로부터 반송처의 처리 장치까지 반송하도록 제어한다. 여기서, 반송처의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)에 속하는 경우에는, 물품 유지부(ZF)에 의해 중계함으로써, 반송을 급전 구동 반송차(V1)에 의해 반송처에 물품(B)을 반송시킬 수 있다. 그러나, 도 8의 플로우차트에서는, 반송원이, 제2 주행 경로(T2)에 속하는 경우에는, 중계에 의한 반송 효율의 저하를 억제하기 위해, 반송처가 제1 주행 경로(T1)에 속하는지의 여부의 판정은 행해지지 않는 형태를 예시하고 있다.
이와 같이, 관리 장치(K)는, 급전 구동 반송차(V1)가 제1 주행 경로(T1) 및 제2 주행 경로(T2) 중 제1 주행 경로(T1)만을 주행하도록 급전 구동 반송차(V1)의 주행을 관리하고, 배터리 구동 반송차(V2)가 제1 주행 경로(T1) 및 제2 주행 경로(T2)의 양쪽에 걸쳐 주행하도록 배터리 구동 반송차(V2)의 주행을 관리하도록 구성되어 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 특히, 도 8의 플로우차트에서의 스텝 #21, 스텝 #26, 스텝 #29의 처리가 지령 생성 처리에 상당하고, 스텝 #23, 스텝 #28, 스텝 #30의 처리가 선택 처리에 상당하고, 스텝 #26, 스텝 #29, 스텝 #31의 처리가 지령 출력 처리에 상당한다. 전술한 바와 같이, 관리 장치(K)(관리부)는, 제1 주행 경로(T1)에 대응하는 처리 장치의 배치 정보, 및 제2 주행 경로(T2)에 대응하는 처리 장치의 배치 정보를 기억하는 동시에, 지령 생성 처리와, 선택 처리와, 지령 출력 처리를 실행한다. 즉, 관리 장치(K)는, 물품(B)의 반송원의 처리 장치로부터 상기 물품(B)의 반송처의 처리 장치까지의 물품(B)의 반송의 지령인 반송 지령을 생성하는 지령 생성 처리와, 복수의 반송차(V) 중에서 반송 지령에 관한 물품(B)의 반송을 담당하는 담당 반송차를 선택하는 선택 처리와, 선택 처리에 의해 선택된 반송차(V)에 대하여 반송 지령을 출력하는 지령 출력 처리를 실행한다. 관리 장치(K)는, 선택 처리에서는, 처리 장치의 배치 정보에 기초하여, 반송 지령의 반송원인 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 급전 구동 반송차(V1) 및 배터리 구동 반송차(V2) 중 어느 하나를 담당 반송차로서 선택하고, 반송 지령의 반송원인 처리 장치가 제2 주행 경로(T2)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 배터리 구동 반송차(V2)를 담당 반송차로서 선택한다.
또한, 관리 장치(K)는, 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치된 처리 장치를 반송원으로 하고, 제2 주행 경로(T2)를 따라 배치된 처리 장치를 반송처로 하는 물품(B)의 반송에 대하여, 물품(B)을 반송원의 처리 장치로부터 물품 유지부(ZF)까지 반송하여 상기 물품 유지부(ZF)에 이송탑재하도록 급전 구동 반송차(V1)를 작동시키는 전반 반송 지령을 제1 제어부(H1)에 출력하고, 또한 물품(B)을 물품 유지부(ZF)로부터 이송탑재하여 반송처의 처리 장치까지 반송하도록 배터리 구동 반송차(V2)를 작동시키는 후반 반송 지령을 제2 제어부(H2)에 출력하도록 구성되어 있다.
도 8을 참조하여 설명한 상기한 형태에서는, 반송원의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 급전 구동 반송차(V1)만, 또는 급전 구동 반송차(V1) 및 배터리 구동 반송차(V2)의 양쪽이 담당 반송차로서 선택되고, 반송원의 처리 장치가 제2 주행 경로(T2)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 배터리 구동 반송차(V2)만이 담당 반송차로서 선택되는 예를 나타낸다. 구체적으로는, 반송원의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 반송처의 처리 장치의 배치 위치에 따라, 급전 구동 반송차(V1)만, 또는 급전 구동 반송차(V1) 및 배터리 구동 반송차(V2)의 양쪽이 담당 반송차로서 선택되고, 반송원의 처리 장치가 제2 주행 경로(T2)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 반송처의 처리 장치의 배치 위치에 관계없이, 배터리 구동 반송차(V2)만이 담당 반송차로서 선택되는 예를 나타낸다. 그리고, 반송원의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우의, 반송처의 처리 장치의 배치 위치에 따른 구체예로서는, 반송처의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 급전 구동 반송차(V1)만이, 반송처의 처리 장치가 제2 주행 경로(T2)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 급전 구동 반송차(V1) 및 배터리 구동 반송차(V2)가 담당 반송차로서 선택되는 태양을 나타낸다.
그러나, 반송원의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우에서의 담당 반송차의 선택은, 반송처의 처리 장치의 배치 위치에 기초한 형태에 한정되지 않고, 각각의 반송차(V)와 반송원의 처리 장치와의 사이의 주행 경로에 따른 거리나, 배터리 구동 반송차(V2)의 축전 장치(VB)의 잔용량 등에 기초한 형태로 할 수도 있다. 예를 들면, 반도체 처리 설비 등의 물품 반송 설비에 있어서는, 반송차(V)의 주행 시간을 단축하는 것에 의해 반송 효율이 향상되는 경우가 있다. 즉, 반송원의 처리 장치에 가까운 장소에 위치하는 반송차(V)가, 신속하게 반송 대상의 물품(B)을 수취하러 가도록 관리 장치(K)가 제어함으로써, 설비 전체의 반송 효율을 향상시키는 것이 가능한 경우가 있다. 따라서, 반송원의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우, 반송차(V)와 반송원의 처리 장치와의 사이의 주행 경로에 따른 거리에 기초하여, 담당 반송차가 선택되는 형태도 바람직하다. 구체적으로는, 반송차(V)와 반송원의 처리 장치와의 사이의 주행 경로에 따른 거리가 가장 가까운 반송차(V)가, 담당 반송차로서 선택되는 것이 바람직하다.
배터리 구동 반송차(V2)는, 제1 주행 경로 및 제2 주행 경로의 양쪽을 주행하는 것이 가능하므로, 반송처의 처리 장치의 배치 위치에 관계없이, 담당 반송차로서 선택되어도 문제는 없다. 그리고, 급전 구동 반송차(V1)가 담당 반송차로서 선택되고, 반송처가 제2 주행 경로(T2)에 따른 처리 장치였던 경우에는, 도 8을 참조하여 설명한 바와 같이, 물품 유지부(ZF)를 중계하여 물품(B)이 반송된다. 중계에 의해 반송 효율이 저하되지만, 물품(B)을 수취할 때까지의 반송 효율은 향상되고, 또한 후술하는 바와 같이 배터리 구동 반송차(V2)의 축전 장치(VB)의 소모를 막아, 충전에 의한 이탈 시간의 억제로도 연결될 가능성이 있다.
전술한 바와 같이, 배터리 구동 반송차(V2)는, 반송원의 처리 장치의 배치 위치에 관계없이, 유연하게 이용하는 것이 가능하지만, 한편 축전 장치(VB)의 전력 용량에는 한계가 있다. 따라서, 반송원의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우의 담당 반송차의 선택 시에는, 선택 가능한 배터리 구동 반송차(V2)의 축전 장치(VB)의 잔용량도 고려되는 것이 바람직하다. 즉, 반송원의 처리 장치가 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 경우, 반송차(V)와 반송원의 처리 장치와의 사이의 주행 경로에 따른 거리가 가장 가까운 반송차(V)가, 담당 반송차의 후보로서 선택되고, 상기 후보의 반송차(V)가 배터리 구동 반송차(V2)인 경우에는, 축전 장치(VB)의 잔용량이 미리 규정된 임계값 전력 이상의 경우에, 상기 배터리 구동 반송차(V2)가 담당 반송차로서 선택되는 것이 바람직하다.
또한, 배터리 구동 반송차(V2)의 축전 장치(VB)의 축전 용량이 클 경우나, 배터리 구동 반송차(V2)가 제1 주행 경로(T1)를 주행할 때 축전 장치(VB)를 충전할 수 있는 것과 같은 경우에는, 적극적으로 배터리 구동 반송차(V2)를 이용하는 것도 바람직하다. 예를 들면, 배터리 구동 반송차(V2)가, 제1 주행 경로(T1)를 주행함으로써, 축전 장치(VB)가 소모하는 전력 이상의 충전이 가능하며, 적극적으로 배터리 구동 반송차(V2)를 이용함으로써, 배터리 구동 반송차(V2)가 충전을 위해 이탈하는 시간을 억제할 수도 있다. 이와 같은 경우에는, 선택 처리에 있어서, 관리 장치(K)는, 처리 장치의 배치 정보에 기초하여, 반송 지령에서의 반송원인 처리 장치, 및 반송 지령에서의 반송처인 처리 장치 중 적어도 한쪽이 제2 주행 경로(T2)를 따라 배치되어 있는 경우에는, 배터리 구동 반송차(V2)를 담당 반송차로서 선택하는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 반송원으로부터 반송처로의 반송 경로의 일부에, 급전 구동 반송차(V1)가 주행할 수 없는 경로를 포함하는 경우에는, 배터리 구동 반송차(V2)가 단독으로 물품(B)을 반송하게 된다. 따라서, 물품(B)을 복수의 반송차(V)의 사이에서 중계할 필요가 없어지므로, 반송 효율이 향상된다.
이상 설명한 바와 같이, 반송차(V)에 전력을 공급하는 제1 주행 경로(T1)를 따라 배치되어 있는 반송 대상 개소와, 반송차(V)에 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로(T2)를 따라 배치되어 있는 반송 대상 개소에 걸쳐 물품(B)을 반송하는 경우의 반송 효율의 저하를 최대한 억제 가능한 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
[다른 실시형태]
(1) 상기에 있어서는, 물품 반송 설비를 반도체 처리 설비에 적용하는 예를 나타냈으나, 주행 경로를 따라 주행하고 또한 전력에 의해 주행 구동되는 반송차가 설치되는 설비이면, 반도체 처리 설비 이외의 설비에도 적용할 수 있다.
(2) 상기에 있어서는, 주행 경로(T)가, 제1 영역(A1)∼제4 영역(A4)의 각각에 대응하는 4개의 급전 구간으로 구분되는 예를 나타냈으나, 급전 구간은 3개 이하, 또는 5개 이상이라도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 급전 구간이, 제1 영역(A1)∼제4 영역(A4)의 각각에 대응하여 설치되는 예를 나타냈으나, 급전 구간의 설치 형태는 적절히 변경 가능하다.
(3) 상기에 있어서는, 급전선(RH)의 주위의 자장의 변동에 의해 유도 코일(VE)에 유도 전류를 발생시키는 비접촉식의 급전부를 설치하는 구성으로 하였으나, 급전선(RH)에 접촉하는 집전자(集電子)로부터 전력의 공급을 받는 접촉식의 급전부로 해도 된다.
(4) 상기에 있어서는, 제2 주행 경로(T2)를, 급전선(RH)을 급전 정지 상태로 전환한 급전 구간에 대응하는 주행 경로(T)로 하는 구성을 나타냈으나, 이와 같은 구성 대신에, 제2 주행 경로(T2)를 급전선(RH)을 구비하지 않는 구간으로 해도 된다.
[실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 간단하게 설명한다.
본 발명의 바람직한 태양으로서, 물품 반송 설비는,
복수의 처리 장치를 연결하도록 설치된 주행 경로와, 상기 주행 경로를 주행하여 상기 처리 장치에 의해 처리되는 물품을 반송하는 반송차와, 상기 반송차의 주행을 관리하는 관리부를 구비하고,
여기서,
상기 주행 경로는, 상기 반송차에 전력을 공급하는 제1 주행 경로와, 상기 반송차에 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로를 포함하고,
상기 반송차는, 상기 제1 주행 경로로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 제1 반송차와, 축전 장치를 탑재하여 상기 축전 장치로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 제2 반송차를 포함하고,
상기 제1 주행 경로와 상기 제2 주행 경로는, 서로 접속되고,
상기 관리부는, 상기 제1 반송차가 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로 중 상기 제1 주행 경로만을 주행하도록 상기 제1 반송차의 주행을 관리하고, 상기 제2 반송차가 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로의 양쪽에 걸쳐 주행하도록 상기 제2 반송차의 주행을 관리한다.
이 구성에 의하면, 물품 반송원과 반송처와의 양쪽이 제1 주행 경로를 따라 존재하는 경우에는, 제1 반송차 및 제2 반송차 중 어느 하나로 물품을 반송시킴으로써, 물품의 반송을 1대의 반송차로 완결시킬 수 있다. 또한, 물품 반송원과 반송처와의 양쪽이 제2 주행 경로를 따라 존재하는 경우에는, 제2 반송차로 물품을 반송시킴으로써, 물품의 반송을 1대의 반송차로 완결시킬 수 있다. 또한, 제2 반송차는, 서로 접속된 제1 주행 경로와 제2 주행 경로와의 양쪽을 주행 가능하다. 따라서, 제1 주행 경로 및 제2 주행 경로의 한쪽에 물품 반송원이 존재하고, 다른 쪽에 반송처가 존재하는 경우에는, 제2 반송차로 물품을 반송시킴으로써, 반송원으로부터 반송처까지의 물품의 반송을 1대의 반송차로 완결시킬 수 있다. 즉, 본 구성에 의하면, 반송차에 주행용의 전력을 공급하는 제1 주행 경로에 속하는 반송 대상 개소와, 반송차에 주행용의 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로에 속하는 반송 대상 개소와의 사이에서, 물품을 반송하는 경우의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 반송원과 반송처의 한쪽이 급전 정지 상태인 급전 구간에 속하는 경우나, 반송원과 반송처와의 양쪽이 급전 상태인 급전 구간에 있어도, 그 구간에 있어서 급전 정지 상태의 급전 구간을 통과하지 않으면 안되는 경우에는, 제1 반송차만에서는 물품의 반송을 완료할 수 없다. 그러나, 이와 같은 경우라도, 제2 반송차를 사용함으로써, 반송원으로부터 반송처까지의 구간에 급전 정지 상태인 급전 구간이 포함되어 있어도, 도중에 물품의 중계를 하지 않고, 단일의 제2 반송차에 의해 물품의 반송을 행할 수 있다. 즉, 반송원으로부터 반송처까지의 구간에 급전 정지 상태인 급전 구간이 포함되어 있어도, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 설비의 가동 효율의 저하, 및 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
여기서, 물품 반송 설비는, 상기 관리부가, 상기 제1 주행 경로에 대응하는 상기 처리 장치의 배치 정보, 및 상기 제2 주행 경로에 대응하는 상기 처리 장치의 배치 정보를 기억하는 동시에, 물품 반송원의 상기 처리 장치로부터 상기 물품 반송처의 상기 처리 장치까지의 물품 반송의 지령인 반송 지령을 생성하는 지령 생성 처리와, 복수의 상기 반송차 중에서 상기 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 담당 반송차를 선택하는 선택 처리와, 상기 선택 처리에 의해 선택된 상기 반송차에 대하여 상기 반송 지령을 출력하는 지령 출력 처리를 실행하는 것이며, 상기 선택 처리에서는, 상기 관리부는, 상기 처리 장치의 배치 정보에 기초하여, 상기 반송 지령에서의 반송원인 상기 처리 장치, 및 상기 반송 지령에서의 반송처인 상기 처리 장치 중 적어도 한쪽이 상기 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제2 반송차를 상기 담당 반송차로서 선택하는 것이 바람직하다.
반송원 및 반송처의 처리 장치 중, 어느 한쪽의 처리 장치에서도 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 제1 반송차만으로 물품의 반송을 완료시킬 수 없다. 제1 반송차를 사용하여 물품을 반송하는 경우에는, 도중에 물품의 중계를 행하여 제2 반송차도 이용할 필요가 있다. 그러나, 담당 반송차로서 제2 반송차를 선택함으로써, 그와 같은 중계를 행하지 않고, 물품을 반송원으로부터 반송처로 반송할 수 있다. 따라서, 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다. 그리고, 제2 반송차에 탑재되는 축전 장치의 소모를 고려하면, 물품 반송 설비는, 또한 다음과 같이 구성되어 있는 것이 바람직하다. 상기 관리부는, 반송 지령에서의 반송원인 상기 처리 장치, 및 상기 반송 지령에서의 반송처인 상기 처리 장치의 양쪽이 상기 제1 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제1 반송차를 상기 담당 반송차로서 선택하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 담당 반송차를 선택함으로써, 제2 반송차를 적절히 운용할 수 있고, 제2 반송차가 축전 장치를 충전하기 위해 이탈하는 시간을 단축할 수 있어, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 물품 반송 설비는, 상기 관리부가, 상기 제1 주행 경로에 대응하는 상기 처리 장치의 배치 정보, 및 상기 제2 주행 경로에 대응하는 상기 처리 장치의 배치 정보를 기억하는 동시에, 물품 반송원의 상기 처리 장치로부터 상기 물품 반송처의 상기 처리 장치까지의 물품 반송의 지령인 반송 지령을 생성하는 지령 생성 처리와, 복수의 상기 반송차 중에서 상기 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 담당 반송차를 선택하는 선택 처리와, 상기 선택 처리에 의해 선택된 상기 반송차에 대하여 상기 반송 지령을 출력하는 지령 출력 처리를 실행하는 것이며, 상기 선택 처리에서는, 상기 관리부는, 상기 처리 장치의 배치 정보에 기초하여, 상기 반송 지령의 반송원인 상기 처리 장치가 상기 제1 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제1 반송차만, 또는 상기 제2 반송차만, 또는 상기 제1 반송차 및 상기 제2 반송차의 양쪽을 상기 담당 반송차로서 선택하고, 상기 반송 지령의 반송원인 상기 처리 장치가 상기 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제2 반송차만, 또는 상기 제2 반송차 및 상기 제1 반송차의 양쪽을 상기 담당 반송차로서 선택하는 것이 바람직하다.
즉, 반송 지령의 반송원인 처리 장치가 제1 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 제1 반송차 및 제2 반송차 중 어느 하나라도 반송 대상의 물품을 수취할 수 있다. 여기서, 반송처의 처리 장치가 제1 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 제1 반송차에 의해 물품의 반송을 완료할 수 있으므로, 담당 반송차로서 제1 반송차를 선택할 수 있다. 한편, 반송처의 처리 장치가 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 제2 반송차에 의한 반송도 필요로 하므로, 담당 반송차로서 제1 반송차 및 제2 반송차가 선택된다. 제2 반송차는, 제1 주행 경로 및 제2 주행 경로의 양쪽을 주행하는 것이 가능하므로, 반송처의 처리 장치의 배치 위치에 관계없이, 담당 반송차로서 제2 반송차를 선택할 수 있다. 물품의 반송 시에는, 주행 시간을 단축하여 반송 효율을 향상시키기 위해, 종종, 반송원의 처리 장치의 근처에 위치하는 반송차가 물품을 수취하기 위해 가도록 제어된다. 반송 지령의 반송원인 처리 장치가 제1 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 이와 같이, 유연한 대응이 가능하므로, 반송 효율의 저하가 억제된다.
반송 지령의 반송원인 처리 장치가 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 제1 반송차는 제2 주행 경로를 주행할 수 없으므로, 반송원인 처리 장치로부터 물품을 수취할 수 없다. 그래서, 반송 지령의 반송원인 처리 장치가 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 제2 반송차를 담당 반송차로서 선택함으로써, 반송원인 처리 장치로부터 물품을 수취할 수 있다. 제2 반송차는 제1 주행 경로와 제2 주행 경로와의 양쪽을 주행하는 것이 가능하므로, 반송처인 처리 장치가 제1 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우라도, 상기 제1 주행 경로에 제2 반송차를 주행시켜 물품을 반송처까지 반송할 수 있다. 그러므로, 물품의 반송 효율의 저하를 억제하는 것이 가능해진다. 그리고, 반송처의 처리 장치가 제1 반송 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 당연히 도중에 제1 반송차에 물품을 중계해도 된다. 따라서, 담당 반송차로서, 제2 반송차 및 제1 반송차의 양쪽이 선택되어도 된다. 예를 들면, 제2 반송차의 축전 장치의 축전량이 적고, 전력 소비를 억제하려고 하는 것과 같은 경우에는, 제1 반송차에 중계하는 것도 바람직하다.
여기서, 상기 선택 처리에 있어서, 상기 관리부는, 상기 처리 장치의 배치 정보에 기초하여, 상기 반송 지령의 반송원인 상기 처리 장치가 상기 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제2 반송차를 상기 담당 반송차로서 선택해도 된다.
전술한 바와 같이, 제2 반송차는 제1 주행 경로와 제2 주행 경로와의 양쪽을 주행하는 것이 가능하므로, 반송처인 처리 장치가 제1 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우라도, 상기 제1 주행 경로에 제2 반송차를 주행시켜 물품을 반송처까지 반송할 수 있다. 즉, 제1 반송차로의 중계를 반드시 필요로 하지는 않기 때문에, 반송원인 처리 장치가 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 제2 반송차만이 담당 반송차로서 선택되면, 중계에 의한 물품의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 물품 반송 설비는, 또한 상기 제1 반송차 및 상기 제2 반송차의 각각이 물품을 이송탑재 가능한 물품 유지부가, 상기 제1 주행 경로를 따라 설치되고, 상기 제1 반송차가, 상기 제1 반송차를 제어하는 제1 제어부를 구비하고, 상기 제2 반송차가, 상기 제2 반송차를 제어하는 제2 제어부를 구비하고,
상기 관리부는, 상기 주행 경로에 있어서 상기 제1 반송차의 주행이 허용되는 구간인 제1 주행 허용 구간을 규정하는 제1 허용 구간 정의 데이터, 및 상기 주행 경로에 있어서 상기 제2 반송차의 주행이 허용되는 구간인 제2 주행 허용 구간을 규정하는 제2 허용 구간 정의 데이터를 기억하고, 상기 제1 주행 허용 구간에는, 상기 제1 주행 경로만이 포함되고, 상기 제2 주행 허용 구간에는, 상기 제2 주행 경로와 상기 제1 주행 경로와의 양쪽이 포함되고,
상기 제1 제어부가, 상기 관리부로부터 취득한 상기 제1 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 상기 제1 주행 허용 구간 내에서 상기 제1 반송차를 주행시키고,
상기 제2 제어부가, 상기 관리부로부터 취득한 상기 제2 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 상기 제2 주행 허용 구간 내에서 상기 제2 반송차를 주행시키고,
상기 관리부는, 상기 제1 주행 경로를 따라 배치된 상기 처리 장치를 반송원으로 하고, 상기 제2 주행 경로를 따라 배치된 상기 처리 장치를 반송처로서 물품을 반송하는 경우에는, 물품을 상기 반송원의 상기 처리 장치로부터 상기 물품 유지부까지 반송하여 상기 물품 유지부에 이송탑재하도록 상기 제1 반송차를 작동시키는 전반 반송 지령을 상기 제1 제어부에 대하여 출력하고, 또한 물품을 상기 물품 유지부로부터 이송탑재하여 상기 반송처의 상기 처리 장치까지 반송하도록 상기 제2 반송차를 작동시키는 후반 반송 지령을 상기 제2 제어부에 대하여 출력하는 것이 바람직하다.
제1 반송차는 제2 주행 경로를 주행할 수 없기 때문에, 제1 주행 경로를 따라 배치된 처리 장치를 반송원으로 하고, 제2 주행 경로를 따라 배치된 처리 장치를 반송처로 하는 물품의 반송에 대해서는, 제2 반송차를 사용할 필요가 있다. 제1 주행 경로에 따른 반송원까지는, 제1 반송차가 주행 가능하므로, 먼저 제1 반송차가 반송원까지 주행하여 물품을 수취할 수 있다. 제1 반송차는, 물품 유지부까지 주행하는 것이 가능하므로, 물품을 물품 유지부에 이송탑재할 수 있다. 제2 반송차도, 물품 유지부까지 주행하는 것이 가능하므로, 물품 유지부에 유지되어 있는 물품을 수취하여, 제2 주행 경로를 따라 주행하여 반송처까지 물품을 반송할 수 있다. 이와 같이, 제2 반송차를 주행시킬 필요가 없는 제1 주행 경로에서는 최대한 제2 반송차를 주행시키지 않게 함으로써, 제2 반송차의 축전 장치의 소모를 억제하면서, 제1 주행 경로를 따라 배치된 처리 장치를 반송원으로 하고, 제2 주행 경로를 따라 배치된 처리 장치를 반송처로 하는 물품의 반송을 행할 수 있도록 할 수 있다.
구체적으로는, 일 태양으로서, 물품 반송 설비는, 상기 관리부가, 상기 지령 생성 처리에서는, 상기 반송 지령으로서 상기 전반 반송 지령 및 상기 후반 반송 지령을 생성하고, 상기 선택 처리에서는, 상기 전반 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 상기 담당 반송차로서 상기 제1 반송차를 선택하고, 또한 상기 후반 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 상기 담당 반송차로서 상기 제2 반송차를 선택하고, 상기 지령 출력 처리에서는, 상기 제1 제어부를 가지는 상기 제1 반송차에 상기 전반 반송 지령을 출력하고, 또한 상기 제2 제어부를 가지는 상기 제2 반송차에 상기 후반 반송 지령을 출력하는 것이 바람직하다.
또한, 물품 반송 설비는, 또한 상기 주행 경로를 주행하는 상기 반송차에 전력을 공급하는 급전부를 구비하고, 상기 급전부는, 상기 주행 경로가 연장되는 길이 방향을 따라 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로의 전역에 걸쳐 설치되고, 상기 급전부가, 상기 길이 방향으로 복수의 급전 구간으로 구분되어 있는 동시에, 상기 복수의 급전 구간의 각각이, 전력을 공급하는 공급 상태와 전력의 공급을 정지시키는 공급 정지 상태로 별개로 전환 가능하고, 상기 제1 주행 경로에서의 상기 급전부는, 상기 공급 상태의 상기 급전 구간에 의해 구성되며, 상기 제2 주행 경로에서의 상기 급전부는, 상기 공급 정지 상태의 상기 급전 구간에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.
급전부는 주행 경로를 따라 설치되어 있으므로, 예를 들면, 주행 경로를 구성하는 주행 레일에 대한 작업(교환 공사나 신설 공사 등. 이하, 주행 경로에서의 작업이라고 함)을 행하는 경우, 작업을 행하는 해당 개소 및 주변 개소에 대응하는 급전 구간에 있어서는, 급전부를 공급 정지 상태로 할 필요가 있다. 본 구성에 의하면, 주행 경로를 따라 설치되는 복수의 급전 구간의 각각에 대하여, 급전부를 각각 별도로 공급 상태와 공급 정지 상태로 전환 가능하다. 따라서, 상기와 같은 작업을 행하는 경우, 작업 대상의 급전 구간에 대하여만 공급 정지 상태로 전환할 수 있다. 그러므로, 주행 경로에서의 작업을 행하는 데 있어서, 작업 대상이 아닌 급전 구간에 대한 급전까지 정지하여 설비 전체의 반송 기능을 정지시킬 필요가 없다. 따라서, 설비의 가동 비율의 저하를 억제할 수 있다.
B: 물품
H1: 제1 제어부
H2: 제2 제어부
K: 관리 장치(관리부)
RH: 급전선(급전부)
STK: 반도체 용기 보관 장치(처리 장치)
STP: 반도체 처리 장치(처리 장치)
STp1: 반도체 처리 장치(처리 장치, 반송원)
STp2: 반도체 처리 장치(처리 장치, 반송처)
T: 주행 경로
T1: 제1 주행 경로
T2: 제2 주행 경로
V: 반송차
V1: 급전 구동 반송차(제1 반송차)
V2: 배터리 구동 반송차(제2 반송차)
VB: 축전 장치
ZF: 물품 유지부

Claims (9)

  1. 복수의 처리 장치를 연결하도록 설치된 주행 경로;
    상기 주행 경로를 주행하여 상기 처리 장치에 의해 처리되는 물품을 반송하는 반송차(transport vehicle); 및
    상기 반송차의 주행을 관리하는 관리부;
    를 포함하고,
    상기 주행 경로는, 상기 반송차에 전력을 공급하는 제1 주행 경로와, 상기 반송차에 전력을 공급하지 않는 제2 주행 경로를 구비하고,
    상기 반송차는, 상기 제1 주행 경로로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 제1 반송차와, 축전 장치를 탑재하여 상기 축전 장치로부터 공급되는 전력에 의해 주행하는 제2 반송차를 구비하고,
    상기 제1 주행 경로와 상기 제2 주행 경로는, 서로 접속되고,
    상기 관리부는, 상기 제1 반송차가 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로 중 상기 제1 주행 경로만을 주행하도록 상기 제1 반송차의 주행을 관리하고, 상기 제2 반송차가 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로의 양쪽에 걸쳐 주행하도록 상기 제2 반송차의 주행을 관리하는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 관리부는,
    상기 제1 주행 경로에 대응하는 상기 처리 장치의 배치 정보, 및 상기 제2 주행 경로에 대응하는 상기 처리 장치의 배치 정보를 기억하는 동시에,
    물품 반송원(搬送元)의 상기 처리 장치로부터 해당 물품 반송처(搬送處)의 상기 처리 장치까지의 물품 반송의 지령인 반송 지령을 생성하는 지령 생성 처리;
    복수의 상기 반송차 중에서 상기 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 담당 반송차를 선택하는 선택 처리; 및
    상기 선택 처리에 의해 선택된 상기 반송차에 대하여 상기 반송 지령을 출력하는 지령 출력 처리;를 실행하는 것이며,
    상기 선택 처리에서는, 상기 관리부는, 상기 처리 장치의 배치 정보에 기초하여,
    상기 반송 지령에서의 반송원인 상기 처리 장치, 및 상기 반송 지령에서의 반송처인 상기 처리 장치 중 적어도 한쪽이 상기 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제2 반송차를 상기 담당 반송차로서 선택하는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 관리부는,
    상기 제1 주행 경로에 대응하는 상기 처리 장치의 배치 정보, 및 상기 제2 주행 경로에 대응하는 상기 처리 장치의 배치 정보를 기억하는 동시에,
    물품 반송원의 상기 처리 장치로부터 해당 물품 반송처의 상기 처리 장치까지의 물품 반송의 지령인 반송 지령을 생성하는 지령 생성 처리;
    복수의 상기 반송차 중에서 상기 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 담당 반송차를 선택하는 선택 처리; 및
    상기 선택 처리에 의해 선택된 상기 반송차에 대하여 상기 반송 지령을 출력하는 지령 출력 처리;를 실행하는 것이며,
    상기 선택 처리에서는, 상기 관리부는, 상기 처리 장치의 배치 정보에 기초하여,
    상기 반송 지령의 반송원인 상기 처리 장치가 상기 제1 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제1 반송차만, 또는 상기 제2 반송차만, 또는 상기 제1 반송차 및 상기 제2 반송차의 양쪽을 상기 담당 반송차로서 선택하고,
    상기 반송 지령의 반송원인 상기 처리 장치가 상기 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제2 반송차만, 또는 상기 제2 반송차 및 상기 제1 반송차의 양쪽을 상기 담당 반송차로서 선택하는, 물품 반송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 선택 처리에 있어서, 상기 관리부는, 상기 처리 장치의 배치 정보에 기초하여, 상기 반송 지령의 반송원인 상기 처리 장치가 상기 제2 주행 경로를 따라 배치되어 있는 경우에는, 상기 제2 반송차를 상기 담당 반송차로서 선택하는, 물품 반송 설비.
  5. 제3항에 있어서,
    또한, 상기 제1 반송차 및 상기 제2 반송차의 각각이 물품을 이송탑재(移載; transfer) 가능한 물품 유지부가, 상기 제1 주행 경로를 따라 설치되고,
    상기 제1 반송차는, 상기 제1 반송차를 제어하는 제1 제어부를 구비하고,
    상기 제2 반송차는, 상기 제2 반송차를 제어하는 제2 제어부를 구비하고,
    상기 관리부는, 상기 주행 경로에 있어서 상기 제1 반송차의 주행이 허용되는 구간인 제1 주행 허용 구간을 규정하는 제1 허용 구간 정의 데이터, 및 상기 주행 경로에 있어서 상기 제2 반송차의 주행이 허용되는 구간인 제2 주행 허용 구간을 규정하는 제2 허용 구간 정의 데이터를 기억하고,
    상기 제1 주행 허용 구간에는, 상기 제1 주행 경로만이 포함되고,
    상기 제2 주행 허용 구간에는, 상기 제2 주행 경로와 상기 제1 주행 경로의 양쪽이 포함되고,
    상기 제1 제어부가, 상기 관리부로부터 취득한 상기 제1 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 상기 제1 주행 허용 구간 내에서 상기 제1 반송차를 주행시키고,
    상기 제2 제어부가, 상기 관리부로부터 취득한 상기 제2 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 상기 제2 주행 허용 구간 내에서 상기 제2 반송차를 주행시키고,
    상기 관리부는, 상기 제1 주행 경로를 따라 배치된 상기 처리 장치를 반송원으로 하고, 상기 제2 주행 경로를 따라 배치된 상기 처리 장치를 반송처로서 물품을 반송하는 경우에는, 상기 물품을 상기 반송원의 상기 처리 장치로부터 상기 물품 유지부까지 반송하여 상기 물품 유지부에 이송탑재하도록 상기 제1 반송차를 작동시키는 전반(前半) 반송 지령을 상기 제1 제어부에 대하여 출력하고, 또한 상기 물품을 상기 물품 유지부로부터 이송탑재하여 상기 반송처의 상기 처리 장치까지 반송하도록 상기 제2 반송차를 작동시키는 후반(後半) 반송 지령을 상기 제2 제어부에 대하여 출력하는, 물품 반송 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 관리부는,
    상기 지령 생성 처리에서는, 상기 반송 지령으로서, 상기 전반 반송 지령 및 상기 후반 반송 지령을 생성하고,
    상기 선택 처리에서는, 상기 전반 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 상기 담당 반송차로서 상기 제1 반송차를 선택하고, 또한 상기 후반 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 상기 담당 반송차로서 상기 제2 반송차를 선택하고,
    상기 지령 출력 처리에서는, 상기 제1 제어부를 가지는 상기 제1 반송차에 상기 전반 반송 지령을 출력하고, 또한 상기 제2 제어부를 가지는 상기 제2 반송차에 상기 후반 반송 지령을 출력하는, 물품 반송 설비.
  7. 제4항에 있어서,
    또한, 상기 제1 반송차 및 상기 제2 반송차의 각각이 물품을 이송탑재 가능한 물품 유지부가, 상기 제1 주행 경로를 따라 설치되고,
    상기 제1 반송차는, 상기 제1 반송차를 제어하는 제1 제어부를 포함하고,
    상기 제2 반송차는, 상기 제2 반송차를 제어하는 제2 제어부를 포함하고,
    상기 관리부는, 상기 주행 경로에 있어서 상기 제1 반송차의 주행이 허용되는 구간인 제1 주행 허용 구간을 규정하는 제1 허용 구간 정의 데이터, 및 상기 주행 경로에 있어서 상기 제2 반송차의 주행이 허용되는 구간인 제2 주행 허용 구간을 규정하는 제2 허용 구간 정의 데이터를 기억하고,
    상기 제1 주행 허용 구간에는, 상기 제1 주행 경로만이 포함되고,
    상기 제2 주행 허용 구간에는, 상기 제2 주행 경로와 상기 제1 주행 경로의 양쪽이 포함되고,
    상기 제1 제어부가, 상기 관리부로부터 취득한 상기 제1 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 상기 제1 주행 허용 구간 내에서 상기 제1 반송차를 주행시키고,
    상기 제2 제어부가, 상기 관리부로부터 취득한 상기 제2 허용 구간 정의 데이터에 기초하여, 상기 제2 주행 허용 구간 내에서 상기 제2 반송차를 주행시키고,
    상기 관리부는, 상기 제1 주행 경로를 따라 배치된 상기 처리 장치를 반송원으로 하고, 상기 제2 주행 경로를 따라 배치된 상기 처리 장치를 반송처로서 물품을 반송하는 경우에는, 상기 물품을 상기 반송원의 상기 처리 장치로부터 상기 물품 유지부까지 반송하여 상기 물품 유지부에 이송탑재하도록 상기 제1 반송차를 작동시키는 전반 반송 지령을 상기 제1 제어부에 대하여 출력하고, 또한 상기 물품을 상기 물품 유지부로부터 이송탑재하고 상기 반송처의 상기 처리 장치까지 반송하도록 상기 제2 반송차를 작동시키는 후반 반송 지령을 상기 제2 제어부에 대하여 출력하는, 물품 반송 설비.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 관리부는,
    상기 지령 생성 처리에서는, 상기 반송 지령으로서, 상기 전반 반송 지령 및 상기 후반 반송 지령을 생성하고,
    상기 선택 처리에서는, 상기 전반 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 상기 담당 반송차로서 상기 제1 반송차를 선택하고, 또한 상기 후반 반송 지령에 관한 물품의 반송을 담당하는 상기 담당 반송차로서 상기 제2 반송차를 선택하고,
    상기 지령 출력 처리에서는, 상기 제1 제어부를 가지는 상기 제1 반송차에 상기 전반 반송 지령을 출력하고, 또한 상기 제2 제어부를 가지는 상기 제2 반송차에 상기 후반 반송 지령을 출력하는, 물품 반송 설비.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 주행 경로를 주행하는 상기 반송차에 전력을 공급하는 급전부를 더 포함하고,
    상기 급전부는, 상기 주행 경로가 연장되는 길이 방향을 따라 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로의 전역(全域)에 걸쳐 설치되고,
    상기 급전부가, 상기 길이 방향으로 복수의 급전(給電) 구간으로 구분되어 있는 동시에, 상기 복수의 급전 구간의 각각이, 전력을 공급하는 공급 상태와 전력의 공급을 정지시키는 공급 정지 상태로 별개로 전환 가능하고,
    상기 제1 주행 경로에서의 상기 급전부는, 상기 공급 상태의 상기 급전 구간에 의해 구성되며,
    상기 제2 주행 경로에서의 상기 급전부는, 상기 공급 정지 상태의 상기 급전 구간에 의해 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
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