£039» Λ 6 Π 6 五、發明説明（3 ) [産業上之利用領域] 本發明係關於一種用於搬蓮半導體晶片（wafer)或電 子材料用基板等的無人搬蓮裝置。 [以往之技術] 半導體1C等之製造傷經常在空氣保持清淨之無塵室 内施行，惟提高半導體積體電路之積體度時，則形成於半 導體晶片或電子材料用基板之表面的自然氧化膜成為問題 ,而為了提高良品率，必須抑制該自然氧化膜之成長。 第13圖及第14圖偽記載於「超LSI超無塵技.術會議（ 1990年11月19日）」中所發表之論文中之數值表，第13圖 偽表示矽半導體晶Η之自然氣化膜（因空氣中之氧與水分 所産生）之形成與時間的關係圖，第14圖傺表示電阻率與 時間的關傺圖。由第1 3圖可知，將矽半導體晶片曝露於大 氣中時，則氧化膜之成長會在1 0 0〜2 0 0分鐘後變得顯著， 而如第1 4圖所示，電阻率偽自大約1小時後會急劇地增高 (請先閲請背而之注意事項孙填寫本頁) 經濟部中央標準局员工消费合作社印製 一式數約氧程 之 下人為大然過 業 至器常 膜自行 作 蓮機通化述施 常 搬載間氧上下 正 程移時然之態 統 過之須自間狀 糸 一源所之期之 蓮 從電運題運氣 搬 片動搬問搬大 之 晶驅之述該於 車 體為間上在露 蓮 導作程成為曝 搬 半池製形認在 人 將電該而向仍 無 ， 蓄於 ，一 往 述 内有用 間此以 上 室載使時因故 用 塵裝惟短 ， ， 使 無用，很上慮 在 述使車 之以顧 。 ， 上傺運右時必運然 在時搬左小不搬固 程人鐘一膜之 過無分須化間 本紙張尺度遑用中β β家《準(CHS)甲4規格(210X297公*) 81. 7. 20,000i|c (!1) ,030 以 Λ 6 Π6 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（4 ) 狀態中，上述自然氧化膜之形成並不成為問題，惟由於作 為搬蓮目的地之半導體製造裝置故障，搬蓮条統故障，由 於停電而使機器或裝置停止，或搬蓮路之障碍等，使無人 搬運車無法依進度施行作業時，則將使半導體晶片放置於 無人搬蓮車上之時間延長，而在該期間，有急速使上述自 然氣化膜成長的問題。 因此，本發明人等曾提出一種在装載有半導體晶片等 之狀態下，由於本身之原因，或移載/搬蓮目的地等之原 因而不得不停止搬蓮一段長時間時，也可以抑制上述自然 氣化膜之生成的無人搬蓮裝置。第11圖及第12圖像表示本 發明人等先前所提出之這種無人搬運裝置的一例子。 在該兩圖中，1為收容半導體晶片2的晶片匣，10、 20 為半導體製造裝置。該半導體製造裝置10、20傺隔着某一 間距配設於無塵室内。30為無人搬蓮車，在靠近台車框30 A之頂板30B上之一方端部裝載有移載用機器人31,在該頂 板30B上之另一端部放置搬運用箱40並加以固定。32為驅 動輪，33為脚輪。 該搬蓮用箱40具有以未圖示之鉸鏈安裝於箱本體41之 蓋42,而在内部具有負載感測器43,蓋42偽使用例如電動 缸（cylinder)等未圖示之開閉機構加以關閉。在該搬蓮箱 40之底壁形成有氣體注入口 44與排氣口 45。 在無人搬蓮車30之上述台車框30A内，設有惰性氣體 桶（在本例為氮氣桶）50,該氮氣桶50之出氣口與搬蓮箱40 之氣體注入口 44係以介設有減壓閥51與供氣閥53之配管52 (請先閲請背你之注意事項再塥寫本頁) 裝· 訂_ 線. 本紙ft尺度逍用中B 家《毕(CNS) Ή規格(210X297公Λ) 81. 7. 20,000^(11) ^030^ Λ 6 Π 6 氣 排 之 4 5 閥 氣 排 有 具 經 後 然 5 4 Π 氣 hp 之 ο 4 箱 I 遵 明搬 説 。S接 bE r 遘 五相 框 車 台 至 伸 延 而 而之 1X , 3 器人 制器 控機 為用 60載 。移 内及 A ο ο 3 2J .Iml Τ®Γ RE 遘 搬 人 無 制 控 以 30用 板在 頂偽 穿器 貫制 55控 管該 閥 氣 置供 裝對 制了 控除 主並 示 圖 予 未 , 出 受輸 授又 之 ， 號外 信 之 時號 定信 之閉 須開 所出 行輸 施54 間 閥 之氣 ) fch 與 之 2 片 晶 摟 »SD 導 半 容 收 將 〇 傷 號因 信 ， 的時 42置 蓋裝 之運 o H 4 搬 箱人 蓮無 搬該 閉用 開使 以* 用
箱 運 搬 於 容 收 1X 規 所 從 下 態 狀 之 匣氣 片氮 晶之 g,之 内 ο 定 箱 運 搬 該 在 並 置 位 一 另 至 I 遘 搬 置 位 性此 惰因 入， 充 内 (請先閲請背而之注意事項再填寫本頁) 因 原 種 時 某間 於時 由長 , 留 停 中 途 0E 蓮 搬 在 須 不 得 不 ο 3 車 遘 搬 人 無 使 間 時 分 充 之 長 成 膜 化 氧 然 自 述 上 使 以 足 也 裝- 膜 化 氧 然 白 述 上 成 生 3 上題 面問 點 缺 之 決 解 欲 明 發 片 晶 體 導 半 在 制 抑 可 表 2 氪化 之型 重大 又30 大車 。 又運 題載搬 問裝人 項上無 幾體使 之 車會 述之 ， 下30此 如車因 有蓮 ， , 搬源 式人存 方無儲 該在體 在於氣 , 由 性 而 ，惰 然即等 桶 氣 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 須 必 〇 則 高盡 提殆 度耗 頻消 電 體 充氣 的之 池存 電 儲 蓄所 之源 載存 搭儲 所體 使氣 並性 , 惰 量 ， 重且 大而 增 與 或 ο 3 車 I 運 搬 人 無 止 停 須 。 必離 也切 且態 並模 , 作 工操 人 動 費自 須從 換或 更 ， 而統 , 条 新體 換整 若無 到於 慮載 考裝 此源 因存 , 儲 器體 容氣 壓性 高 惰 於將 裝則。 偽 ,事 髏時之 氣控險 性失危 惰一端 於萬極 由30為 -車30 且蓮車 δ Mr esc 而拥逢 人搬 無人 的 目 之 明 發 本紙張尺度逍用中Β國家«準(CNS) τ 4規格(210X297公*) 81. 7. 20,000¾ (II) 〇3〇奶 Λ 6 η 6 五、發明説明（δ 經濟部中央櫺準局貝工消费合作杜印製 提 ，化裝 中成置氣置惰 係上接 / 之 可 偽 偽 於體型蓮 器而裝性裝述 置而路接離 為 頭 置 在氣大搬 容源蓮惰結上 裝，管式 / 元 接 裝 的性之人 於存搬述聯於 結構氣氣接 單 路 結 目惰輛無 容儲人上側通 聯機輸電頭 結 管 聯 其得車之 收體無而面連 側退有作接 聯 氣 側 ,取成用 物氣待 ，地元 面進具器路 邊 輸 面 者源造室 蓮性：元於單 地的還接管 車 該 地 成存於塵 搬惰在單接結 ，退 ，連氣 ， ， ， 完儲致無 將於徽結連聯 中進外述輸 中 中 中 而體不之 ，接特聯管兩 置元之上述 置 。置 置 題氣而性 的連其邊配經 裝單器與上 裝者裝 裝 問性成全 目路，車經僳 之結接可與 之退之 之 述惰生安 述氣態的且路 項聯連有可 項進項 項 上之之高η上供形路 ，氣 2 邊用具及 3 行 4 5 __ 坑攻 決側膜有 成由之氣侧供 第車號傺以 第施第 第 解面化具 達經換供面述 圍對信元， 圍元圍 α 圍 了 地氣且1Β了器置述地上 範元有單器 範單範者範 問 為於然並 I 為容體上於而。利單具結接。利結利能利 像設自 ， 係該氣於設 ，源專結傜聯連頭專聯專機專 明配制化 彳明使部接俗元存請聯元邊用接請之請閥請 發從抑量 ？ 發且内連源單儲申令單車號路申侧申回申 本 種可重 t 本 ，將有存結體在可結且信管在面 在止在 一 此大。 > 蓮可具儲聯氣 有聯 ，之氣 地 有 供由與置 搬為傺體之性 具述頭離輸 對 具 (請先閲請背而之注意事項#填寫本頁) 本紙»尺度遑用中國因家«準(CNS) Τ4規格(210X297公*) 81. 7. 20,000ifc (I!) Λ 6 Π 6 20302-'? 五、發明説明（7 ) (諳先閲讀背而之注意事項再蜞寫本頁) 具有供氣管路連接檢知器，該檢知器偽插入於藉其信號用 連接器與車邊之信號用連接器之電氣接通而閉合之供氣管 路連接控制電路中，而使連接聯結單元與惰性氣體儲存部 之配管中的開閉閥依據該供氣管路連接檢知器之檢知信號 打開者。 在申請專利範圍第6項之裝置中，該無人搬蓮裝置傜 裝載有可在自動充電站充電之蓄電池，地面側聯結單元係 配設於該自動充電站，而上述聯結單元及車遴聯結單元傺 具有充電用連接器與輸氣管路接頭者。 在申請專利範圍第7項之裝置中，該無人搬蓮裝置像 裝載有可在自動充電站充電之蓄電池，而地面側聯結單元 傺配設於該自動充電站，而上述聯結單元及車邊聯結單元 之充電用連接器為兼用作輸氣管路接頭者。 經濟部中央標準局员工消费合作社印製 在申請專利範圍第8項之裝置中，地面側聯結單元與 車邊聯結單元具有結合確認機構，該機構於地面側之充電 用連接器或輸氣管路接頭與車邊充電用連接器或輸氣管路 接頭結合時可以較聯結器相互間隔更短之間隔動作，並藉 該結合確認機構之輸出來控制開閉閥者。 在申請專利範圍第9項之裝置中，地面側聯結裝置偽 具有可與無人搬蓮裝置進行無線通信之控制器，而該控制 器傺依據來自無人搬蓮裝置邊之指令來控制進退機構及開 閉閥者。 [作用] 在本發明中，當無人搬運車到達規定之站時，則地面 81. 7. 20,000¾ (II) 本紙張疋度遑用中a國家樣準(CNS)甲4規格(210x297公*) 7 ^030^ Λ 6 Π6 經濟部中央標準局貝工消费合作社印3i
五、發明説明（8 ) 上聯結裝置之活動聯結單元即向無人搬蓮車移動而接合於 車邊聯結裝置，而無人搬蓮車之供氣路即經兩聯結單元連 通於上述惰性氣體儲存部，當在容器内收容有半導體晶片 時，則該容器内之空氣即被從惰性氣體儲存源所供應之惰 性氣體所置換，因此半導髏晶片即保持在惰性氣體環境内 施行搬蓮。 [實施例] 以下，參照圖式將本發明之一實施例加以說明。 在第1圖中，70為地面側聯結裝置，偽配設於具有第11 圖所示之半導髏製造裝置20之工作站，並如第2圖之（A)所 示地具有信號用活動連接器71P> 71H、供氣管接頭72M、 及排氣管接頭72N, 100為惰性氣體儲存槽。34為設於無人 搬蓮車30的固定聯結單元。 第3圖傜表示地面側聯结裝置70之一例。在第3圖中， 73為框架，74、74為門型之支撑框，75為水平地支撑於支 撑框74的線性導軌、76為電動線性致動器（linear actuator),而該電動線性致動器傜經由銷77支撑於框架 73之後壁73B。78為聯結單元，從其前端面突出有上述活 動連接器71P、 71N、上述供氣管接頭72M及排氣管接頭72N 。該聯結單元78傜固定於由扣合體79所懸吊支撑的塊體80 之前端面，而扣合體79則嵌合支撑於線性導軌75,而該塊 體80偽連結於貫穿内部之電動缸76之伸縮桿7 6A。81為對 扣合體79的機械式止動件，82為在電氣電路上的止動件， 其感測器牽動具8 2 A係固定於塊體8 0。8 3 Η為供氣管，8 3 N (請先閲請背而之注意事項洱填寫本頁) 裝- 訂· 線- 本紙張疋度遑用中國围家«準(CNS)甲4規格(210X297公釐） 81. 7. 20,000¾ (II) Λ 6 Ιί 6 03027 五、發明説明（9 ) 為排氣管，而供氣管83M係將其一端連接於供氣管接頭72M, 另一端像經由配設於安装台84上之開閉閥85與減壓閥86及 配管87連接於惰性氣體儲存槽100。排氣管83N係將其一端 、連接於排氣管接頭72N,而另一端傺延伸至未圖示之排氣 設備。 如第2圖之（B)所示，無人攧蓮車30之聯結單元34係具 有：可分別自動連接於上述信號用活動連接器71P、71N的 信號用固定連接器35P、 35N,及可分別自動連接於供氣管 接頭72M、排氣管接頭72N的供氣管接頭36M、排氣管接頭 36N。如第5圖所示，供氣管接頭36M傺經供氣路52連通於 搬運箱40之氣體注入口 44,排氣管接頭36N傺經配管55連 通於搬蓮箱40之排氣口 45。又，供氣管接頭36M、排氣管 接頭36N偽如第4圖（A), (B)所示，由具有止回閥36V之單 方向性接頭所構成。在第4圖中，36A、 36B為接頭本體， 36C為閥孔。
信號用活動連接器7 1 P、 7 1 N及信號用固定連接器3 5 P 、35N為構成如第6圖所示之氣輸管路連接控制電路的要件 ，而在活動連接器71P與71N之間插入具有輸氣管路連接檢 知器之電驛91,而裝載於無人搬蓮車30之蓄電池95之一部 份電壓則施加於固定連接器3 5 P、3 5 N之間。9 3為地面側聯 結裝置70之控制器，具有無線通信單元94,可控制電動線 性致動器7 6與開閉閥8 5。9 6為無人搬運車3 0之主控制裝置 CPU,而該CPU具有無線通信單元97。98為設於無人搬蓮車 3 0之地板下面的位置檢出用感測器。 本紙張尺度遑用中B黷家«準(CNS)甲4規格(210x297公*) (請先閲讀背而之注意事項再塥寫本頁) 裝· 訂_ 經濟部中央標準局员工消费合作社印31 81. 7. 20,000¾ (!〇 03027 五、發明説明（10) 其次，就該裝置之動作加以說明。 Η假設要將第11圖所示之半導體製造裝置20上之晶片 匣1搬蓮至半導體製造裝置10,其動作如下： (1) 當無人搬蓮車30行走至配設半導體製造裝置20之 站（station)附近時，則搬蓮箱40之上述未圖示之電動缸 即與自主控制CPU輸出至控制器之定時信號同步而伸長動 作，並打開蓋子。當蓋子打開至所定位置時，則使未圖示 之開蓋檢知用感測器（限制開關）施行動作。 (2) 無人搬蓮車30到逹半導體製造裝置20之前面，當 主控制裝置CPU從用於檢知正規停止位置上之地上標記的 位置檢出用感測器之輸出而確認無人搬蓮車30正確停止在 半導體製造裝置20前之所定位置時，則上述開蓋檢知用感 測器（限制開關）産生檢知信號，並以此信號作為條件，使 移載用機器人31之臂、手腕部依所定之程式開始移載動作 (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂· 線. 車中 蓮例 搬此 人在 /»\ 無 © 認 通 確 Ur線 CP無 置藉 裝則 制 ， 控時 主置 當 位 , 定 面所 方述 1 上 另在 ) 止 (3停 確 正 經濟部屮央標準局员工消费合作社印製 第面 至地 應 使 供 ， 令此 指藉 接 〇 3 連 9 路器 _ 制 soan 氣控 將之 ) ο 7 信置 通裝 學結 光聯 為側 係 面 地 之 示 所 圖 置 裝 結 聯 倒 桿 co 縮車 .m BE 伸 遵 使搬 並人 ’無 作向 動 7 行元 施 單 76結 器聯 elBr&- 33 aej 致活 性 使 線且 動 ， 電S) 圖 之 3 第 如 /ί\ 長 伸 單 結 聯 定 固 之 元34僅水平移動一定距離，使信號用連接器7 1P、71 fT以所 定壓分別壓接於固定連接器35P、35H,同時使活動聯結單 元78之供氣管接頭72M、排氣管接頭72H分別結合於固定聯 81. 7. 20,000張（II) 本紙張尺度遑用中B國家《準(CNS)甲4規格(210x25)7公Λ) 10 03027 Λ 6 Π 6 經濟部屮央標準局貞工消费合作社印製 五、發明説明（11) 結單元34之供氣管接頭36Μ、排氣管接頭36Ν。當信號用連 接器71Ρ、71Ν分別壓接於固定連接器35Ρ、35Ν時，則電驛 91之線圈受到推壓，而其電驛接點成為閉路之狀態。 (4) 藉移載機器人31之上述移載動作，當晶片匣1從 半導髏製造裝置2 0收容於搬運箱4 0内時，則使載貨感測器 43即行輸出，使搬蓮箱40之上述電動缸施行縮回動作來關 閉蓋子。當蓋子關閉時，則使未圖式之閉蓋撿知用感測器 (限制開關）施行動作。 (5) 當完全關閉蓋子時，即當上述閉蓋檢知用限時開 關輸出時，則控制器6 0會將供氣開始指令（開閥指令）傳送 至主控制裝置C P U ,同時該控制器6 0内之定時器即開始計 時。主控制裝置CPU像將該供氣開始指令變換成無線信號 並傳送至地上側聯結裝置7 0之控制器9 3。 (6 )當控制器9 3接收該無線信號時，則以上述電驛接 點閉路為篠件而將開閥指令供給於開閉閥8 5。藉此，使開 閉閥85打開，而從氡氣桶100流出氮氣，並經供氣管83 Μ、 供氣管接頭72Μ. 36Μ、供氣路52及氣體注入口 44噴出至搬 蓮箱40内。搬運箱40内之空氣乃藉該氮氣推出並從排氣口 45排至排氣管55,搬蓮箱40内之氣體即為氮氣取代。上述 排氣係經由排氣管接頭3 6 Ν、 7 2 Ν及排氣管8 3 Ν排出至排氣 設備。 該氣體置換所需之時間Tk傜使用定時器來設定，當該 定時器到達設定時間時，控制器60將供氣停止指令（閉閥 指令）傳送至主控制装置CPU。主控制裝置CPU乃將該供氣 11 本紙張尺度遑用中8國家《準(CNS)T4規格(210X297公A) 81. 7. 20,000^(11) (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) ^)03027 Λ 6 Π 6 經濟部中央標準局员工消t合作社印製 五、發明説明（19 停止指令變換成無線信號並傳送至地面側聯結裝置70之控 制器9 3。 (7) 當控制器93接收該無線信號時，則將閉閥指令供 .給開閉閥85,使電動線性致動器76施行復動。藉此，使開 閉閥85關閉，而使伸縮桿76Α縮回，並且活動聯結單元78 從無人搬蓮車30之固定聯结單元34向後退，且令信號用連 接器7 1 Ρ、7 1 Ν分別從固定連接器3 5 Ρ、3 5 Ν離開，同時鬆開 活動聯結單元78之供氣管接頭72Μ、排氣管接頭72Ν與固定 聯結單元34之供氣管接頭36Μ、排氣管接頭36Ν間之結合。 (8) 繼而控制器93即將電驛90之接點輸出成為OFF之 狀態變換成無線信號並傳送至主控制装置CPU。當主控制 裝置CPU接收該信號時，則無人搬運車30開始執行向半導 髏製造裝置10行走之程式，開始向半導體製造裝置10行走 0 當供氣管接頭36M、排氣管接頭36H與供氣管接頭72M 、排氣管接頭72N之結合解開時，其止回閥之機能即産生 作用，因此，在無人搬蓮車30向半導體裝置10移動之期間 ,搬運箱40内之氮氣不會從該搬運箱40流出，而成一直儲 存於搬運箱40内之狀態。 (9) 當無人搬蓮車30停止在半導體製造裝置10前之規 定位置時，或到達該規定位置前面之某一位置時，則搬蓮 箱40之上述電動缸卽與従上述主控制裝置CPU輸出至控制 器60之定時信號同步而伸長動作，打開蓋子42,當無人搬 蓮車30停在半導體製造裝置10前之規定位置時，移載用機 12 本紙張尺度遑用中a國家樣準(CNS) T4規格(210x297公龙) 81. 7. 20f000?fc(l〇 (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) k；03027 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 五、發明説明（1岑 器人31之臂♦手腕部依所定程式開始移載動作，而使搬蓮 箱40内之晶Μ匣1移載至半導體製造裝置10。 在本實施例中，因將收容半導體晶片2之晶片匣1收容 於搬蓮箱40内，而在該搬蓮箱40内之氣髏置換為惰性之氮 氣之狀態下從規定位置搬運至另一規定位置，因此，即使 例如由於任何原因而致無人搬蓮車30不得不須在搬蓮途屮 長時間（足以使上述自然氧化膜成長所須之充分時間）停止 時，也可抑制半導體晶Η2表面的自然氧化膜的成長。 在本實施例中，由於以惰性氣體置換搬運箱40内之氣 體，而且在所必須之行走路徑之起點站配設惰性氣體儲存 槽100,在該工作站將惰性氣體供應至搬蓮箱40,因此， 不必為了更換而將惰性氣證儲存源從車髏卸下，或裝載新 的惰性氣體儲存源，故可避免更換惰性氣體儲存源而産生 的作業損失。當然，因不必將惰性氣髏儲存源搭載於無人 搬蓮車30,因此不會導致車體之大型化與增加重量等問題 〇 若無人搬運車30為可将其蓄電池95在充電站自動充電 之型式時，如在該充電站配設惰性氣體儲存槽100,則可利 用具有充電用連接器之聯结單元，因此極方便，而且費用 較低廉。 第7圖係表示共用該充電用聯結單元之一例。在該圖 中，200為充電器，201為控制該充電器的充電器控制電路 ,202為接點MCa, 203為變壓器，204為整流器，205為分 流器電阻，206為具有與電驛91之相同作用的電驛，207為 (請先閲讀背而之注意事項#项寫本頁) 本紙ft尺度遑用中a B家《毕(CNS)甲4規格(210X297公*) 81. 7. 20,000^ (11) 13 2030S7 Λ 6 Π 6 經濟部屮央標準局员工消费合作社印製 五、發明説明（1句 電阻，210為地面倒聯結裝置之聯結單元，該聯結單元210具 有充電用連接器211Ρ、211Ν與供氣管接頭212Μ、排氣管 2 12H。220為車邊聯結單元，該滕結單元具有充電用連接 .器221Ρ、221Η與供氣管接頭2 22 Μ、排氣管接頭222Ν。230 係行走控制裝置，2 31為接點MCC, 232為放電檢出器。 在本實施例中，充電用連接器221Ρ、221Ν與地面侧充 電兔連接器211Ρ、211Ν係兼用作上述之信號用連接器35Ρ 、35Ν與71Ρ、71Ν,而可將檢知輸氣管路之檢知功能利用 電驛206之接點輸出來執行，並觀察該接點輸出以施行開 閉閥8 5之開啓。 又，連接器结合確認機構並不是上述電驛2 0 6,而是 如第8圖及第9圖所示，使用設於聯结單元210之補助端子 213Ρ、213Κ與設於聯結單元220之補助端子223Ρ、223Ν及 結合確認電路240時，視該结合確認電路240之輸出以施行 開閉閥85之啓開。在第9圔中，241〜244為螺旋彈簧。 該補助端子213Ρ, 213Ν從單元210突出之長度比充電 用連接器211Ρ、211Ν短，其長度差為L,而聯結單元210則 在充電用連接器211Ρ、211Ν分別檔接於充電用連接器221Ρ 、221Ν之後[如第9圖之（Β)所示],再移動L長度[如第9圔 (C)所示]之距離]，在此期間，充電用連接器211Ρ、211Μ 與充電用連接器221Ρ、221Ν間的接觸壓即逢到規定之壓力 。當補助端子213Ρ、213H與補助端子223Ρ、2 23Ν分別以電 氣方式相接觸時，結合確認電路240即允許開始充電。 在上述第7圖實施例中，分別具有充電用連接器與輸 14 本紙張尺度遑用中Β 8家#準(CHS)甲4規格(2丨0X297公4) 81. 7. 20,000^(11) (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) 20302' Λ 6 Π6 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印31 五、發明説明（15) 氣管路接頭，惟如第10圖所示，也可以將充電用連接器 211P、211N與充電用連接器221P、221N形成中空並將内部 利用作惰性氣體通路。在這種情形，將濾氣器250與開閉 •閥251即設於充電用連接器221P、221N邊。25·2為接點， 2 5 3為油封構件。 又，在上述實施例中，係以控制器60内之未圖示定時 器來規定氮氣之供給時間，惟亦可設置可測定搬蓮箱40内 之氣氣濃度或氪氣濃度的濃度計，當測定濃度到達設定濃 度時，則從控制器60産生開閥指令。 又，亦可將台車框30Α之頂板30Β之一部份作為底部， 並使搬運箱40覆蓋於其上面。 又，上述各實施例之搬運箱40偽固定於台車框30Α,惟 有時也可以不將搬蓮箱40固定於台車框30Α,而改成可與 半導體製造裝置10、20側相授受之形態。 又，在上述各實施例中，係以搭載於無人搬運車30之 移載用機器人31施行地面側（半導體製造裝置10, 20)與搬 蓮物之授受，惟有時移載用機器人也可以設於地面側來施 行搬蓮物之授受。 在上述各實施例中，傜令地面側之聯結單元施行進退 ，惟也可以令車邊之聯結單元施行進退。 > 上述各實施例係就搭載有蓄電池之搬運車為範例加以 說明，惟本發明也可以適用於行走軌道上之供電軌道式搬 蓮車。 [發明之效果] (請先閲讀背洳之注意事項#墦寫本頁) 裝· 訂_ 線· 本蛛張尺度遑用中Β *家«準(CHS)甲4規格(210X297公*) 81. 7. 20,000¾ (II) 15 2030S? Λ 6 Π 6 五、發明説明（1 6) 站動' 之移 定車 規蓮 達搬 到人 車無 蓮向 搬元 人單 無结 當聯 於動 由活 , 之 述置 所裝 上結 如聯 像側 明面 發地 本則 時 兩有體 由容氣 經收性 係内惰 路器自 氣容應 供在供 之當被 車 ，偽 蓮部氣 搬存空 人儲之 無醱内 而氣器 , 性容 置惰該 裝述則 結上 ， 聯於時 邊通等 車連片 於元晶 合單體 接結導 並聯半 氣之 然造 自製 止體 防導 可半 間高 期提 蓮可 搬 ， 在較 此比 因相 , 術 換技 置往 所以 體與 氣而 性 ， 惰 長 之成 源之 存膜 儲 化 不成 而生 , 之 側膜 面化 地氧 在然 設自 源述 存上 儲制 髏抑 氣在 性此 惰因 述 ， 上上 於車 由蓮 且搬 而人 ， 無 率在 品設 良 必 1 搬 人 無 使 〇 即險 ; 危 量成 重造 加而 增源 與存 化儲 型體 大氣 之性 體情 車因 成 會 造不 於也 致 ， 不控 , 失 時車 明 說 單 簡 之 式 圔 第第
圖 成 構 的 例 施 實 之 明 發 本 示 表 係 圖 1X 面 正 的 元 單 結 聯 動 活 之 例 施 實 述 上 示 表 偽 \—/ A /IV 之 圖 2 (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) 圖 之 圖 2 第 面 正 的 元 單 結 聯 定 固 之 例 施 實 述 上 示 表 像 圖 經濟部中央標準局员工消费合作社印製 圖 成 f 梢 的 置 裝 結 聯 側 面 地 之 例 施 實 述 上 示 表 偽 圖 3 第 接 圖 管 '置 氣 配 供 部 之 内 元 .的 單 車 結 蓮 聯 搬 定 人 固 無 之 之 例 例 施so施 圖 黄成實 述 f 述± ^ ± 示I示 表 表 傷g傷 管 圖 ξ 圖 4 氣 5 第排第 頭 圖 路 SB 制 控 接 I 連 路 管 氣 輸 之 例 施 實 述 上 示 表 像 圖 6 第 本紙張尺度遑用中國家«準(CNS) T4規格(210X297公釐)
6 1X 81. 7. 20,000張（II) Λ 6 Π6 經濟部中央標準局员工消费合作社印製 五、發明説明（1 7) 第7圖傈表示本發明之其他實施例的電路圖。 第8圖係表示本發明之又一實施例的電路圖。 第9圖像用以說明第8圖之實施例之結合確認機構之動 、作用的說明圖。 第10圖傜表示兼用作輸氣管路接頭之充電用連接器的 構成圔。 第11圖傜表示使用以往之無人搬運裝置的無塵室条統 圔。 第12圖係表示上述以往之無人搬運裝置的内部配置圖 0 第13圖像表示矽半導髏晶片之自然氣化膜之成長與時 間的闊僳圖。 第14圖像表示因矽半導體晶片之自然氣化膜之生成的 電阻率與時間的關傷圖。 [標號之說明] 1為晶片匣，2為半導證晶片，10, 20為半導體製造裝 置，30為無人搬蓮車，30A為台車框，30B為頂板，31為移 載用機器人，34、220為固定聯結單元，35P、35N為信號 用連接器，36M、36N為輸氣管路接頭，40為搬蓮箱，42為 蓋子，4 3為負載感測器，4 4為氣髏注入口， 4 5為排氣口，_ 50為氮氣桶，52為供氣路，60為控制器，70為地面側聯結 裝置，71P、71N為信號用連接器，72M、72N為輸氣管路接 • ·' 頭，75為線性導軌，76為電動線性致動器，78、210為活 動聯結單元，80為塊髏，83M為供氣管，83N為排氣管，85 (請先閲讀背而之注意事項洱填寫本頁) 裝· 訂_ 線< 本紙張尺度遑用中Β 家《準(CNS)甲4規格(210X297公Λ) 81. 7. 20,000¾ (I!) 17 Λ 6 η 6
2030SV 五、發明説明（18) 為開閉閥，86為減壓閥，87為配管，91、206為電驛，93 為控制器，94為無線通信單元，95為蓄電池，97為無線通 信單元，CPU為主控制裝置，200為充電器，211Ρ, 211Ν為 充電用連接器，212M, 212N為輸氣管路接頭，213P, 213N 為補助端子，221P、221N為充電用連接路，2 2 2 P、22H為 輸氣管路接頭，223M, 223N為補助端子。 (請先閲讀背而之注意事項#璜寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 81. 7. 20,000^(11) 本紙張尺度遑用中家«毕(CNS)T 4規格(210X297公;*) 18