TW309503B - - Google Patents

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309503 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明（1 ) 本發明係關於用來處理半導體晶画，L CD用玻璃基板 等基板之基板處理方法及基板處理裝置· 在半導體晶鼷之製造時，常採用將抗光劑塗覆在基板 表面，利用石版印刷技術在抗光劑層上形成氰路鼸型，再 將抗光前屠顛像之處理系統•例如在半導體晶圓用抗光劑 塗敷/顯像處理系統中，從搬入/搬出部之供給用卡匣內 選出需要處理之晶園，將該晶園逐一搬送至處理部，經過 處理後，將晶園收容於搬入/搬#1部之回收用卡匣內•在 L C D基板用之抗光劑塗敷/顯像處理系統中，將卡匣不 能移動的固定在搬入/搬出部之載置台上*後供給用卡匣 / 中選出需要處理之基板，將該基板逐一搬送至處理部，經 過處理後將基板收容於回收用卡®內* 然而，若卡匣不能設定在搬入/搬出部之載置台上之 正確位置時，或在處理途中卡匣不能移動時，或因爲卡匣 之保持不充分而使卡匣之位置偏移時，基板搬送機發生不 正常而不能繼績進行處理•此外，因爲卡匣之位置資訊之 不正確，可能使基板衝撞基板搬送檐及其他構件，損傷基 板•因爲發生道種事故，故在習用之裝置中處理效率及良 品率不安定。 此外，爲了在晶圆表面之薄膜屠上形成高積饉度之電 路匾型，常採用將反應性氣髖在高真空下等離子化，利用 等離子化中之活性種將薄膜層予以乾式蝕刻之蝕刻處理系 統·在該蝕刻處厘系統中•亦以基板搬送機從搬入/搬出 部之供給用卡匣中取出晶圖，在處理部逐一蝕刻，然後進 民浪尺度適用中國國家標率（CNS ) A4规格（210X297公釐） "~~~ ----„------^ I裝------訂-----f線 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) -4 - 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 309503 A7 _B7_五、發明説明（2 ) 行質化及輕度蝕度，將之收容於搬入/搬出部之回收用卡 匣中。 若在處理當中發生問題而使基板搬送機及處理裝S緊 急停止時，爲了再度開始處理，或檢測發生問題之原因， 必須從處理部中將正在搬送中或處理中之基板回收至搬入 /搬出部•依照習用之方法，此時係在復置裝置後，依照 單元號碼小之順序，亦即依照處理過程較早之順序回收基， ,-s 板。 然而，依照習用之方法，因爲不能掌握各基板之處理 過程之進行程度，故不能區別可再利用之基板與不可再利 / 用之基板。因此，勢必將可再利用之基板與不可再利用之 基板一起廢棄，結果降低良品率' 本發明之目的爲提供一種可*4基板之處理效率及_品 r· fe?· 率之基板處理方法及基板處理裝置* 、 本發明之另一目的爲提供一種即使因其種f因而中斯 處理時，仍可再利用處理途中之基板之基基板處理方法及 基板處理裝置· 本發明之基板處理方法之特徽爲包含：（a)在處理 開始之前設定卡匣及基板之初期條件之過程；（b)根據 該初期條件將收容基板之卡匣分別設定於搬入/搬出部之 過程：（c)分別檢測被設定於搬入/搬出部之卡匣之狀 態，根據其檢測結果判定各卡匣是否成爲在（a )過程時 設定之狀態之過程；（d)若在過程（c)時判定至少有 —個卡匣之狀想不成爲在（a )過程時設定之狀觴時，顯 本纸張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 309503 Α7 Β7 經濟部中央梂準局員工消费合作社印製 五、發明説明（3 ) 示該卡匣之狀態之過程：（e)根據過程（d)時之顯示 ，將該卡匣重新設定爲在（a )過程時設定之狀餱之過程 ：(f)分別檢測存在於被設定於搬入/搬出部之卡匣內 之基板，根據其檢測結果產生變換資料之過程：（g)根 據樊換資料及初期條件從被設定在搬入/搬出部之卡匣內 選出基板之過程；（h)從卡匣中取出被選出之基板，將 該基板搬送至處理部依照初期條件處理之過程：及（i) 將已經過處理之基板收容於被設#在搬入/搬出部之卡匣 is 內之過程。 本發明之基板處理方法之另一特徵爲包括（A )在開 / 始處理之前分別設定-供給用卡匣，回收用卡匣*及基板之 初期條件之過程；（B)根據骸初期條件將該供給用卡匣 及回收用卡匣分別設定於搬入/搬出部之過程；（C)分 別檢測存在於被設定在搬入/搬出部之卡匣內之基板，根 據各檢測結果產生變換賫料之過程；（D)根據變換資料 及初期條件從供給卡匣內選出基板之過程；（E)從供給 用卡匣內取出被選出之基板*將該基板搬送至處理部*並 根據該初期條件處_之過程：（F)若該處理部之動作停 止而中断基板之處理時，分別檢測正在處理中之基板，已 經過處理之基板，及正在搬送當中之基板之狀態而顛示之 過程；（G)根據在過程（F)中之顯示，變換資料及該 初期條件，判定收容正在處理當中之基板|已經過處理之 基板，及正在搬送當中之基板之卡匣之遢程；及（Η )根 據過程（G)之判定，將正在處理當中之基板，已經過處 , 1裝丨| (請先閲讀背面之注意事項再填窵本頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國«家櫺準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 6 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 A7 ΒΊ_五、發明説明（4 ) 理之基板•及正在搬送當中之基板分別收容於該回收用卡 匣或供給用卡匣中之過程* 本發明之基板處理裝置之特徽包括：在處理開始之前 設定卡匣及基板之初期條件之裝置：具有載置卡匣之載置 台之搬入/搬出部；具有用來處理基板之許多處理單元之 處理部：根據該初期條件將卡ffi設定於該搬入/搬出部之 裝置；從設定於該搬入/搬出部之卡匣中取出基板，將該. 基板搬送至該處理部之基板搬送機；分別檢測存在於被設’ v> 定在搬入/搬出部之卡匣內之基板之第1偵測器；根據該 第1偵測器之檢測結果製作該卡匣內基板之變換資料，並 / 儲存該變換資料之裝置：從該資料傭存裝置中叫出變換資 料，根據該變換資料及該初期條件控制該基板搬送機之控 制裝置；及用來檢測被設定於該搬入/搬出部之卡匣之狀 態之第2偵測器；顯示該第2偵測器所檢測之卡匣之狀態 之顯示裝置，該控制裝置在判定爲由該第2偵測器檢測之 卡匣之狀態偏離該初期條件時，依照該初期條件將卡匣重 新設定於對該設定裝置之載置台上。 在此，所諝「卡匣及基板之初期條件」係指在處理開 始之前預先存檔在主電腦之資料庫中之處理計劃賫訊•例 如在搬入/搬出部之第2埠之載置台上設定識別號礴爲第 7之卡匣，又在該第7卡匣中收容識別號碼爲A 1 0 0 1 〜A 1 〇 2 5之基板，其中先處理A 1 0 0 1基板之計劃 黉訊·在處理開始後將該初期條件（處理計劃資訊）與變 換資料比較照會，即可確實防止計麵與執行間之偏差· 裝------訂------ί紙 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS > Α4规格（2丨0X297公釐） 7 309503 A7 B7 經濟部中央揉準局負工消费合作社印裝 五、發明説明（5 ) 若在基板之處理當中處理部發生緊急停止時，以處理 部內之偵測器檢測處理已中斷之基板（中途基板）之狀態 ，故可根據該檢測資訊以精確度判定將該中途基板收容於 回收用卡匣內或收容於供給用卡匣內。如此•可減少被廢 棄之基板數童，可提高良品率。 以下參照圖式說明本發明之實施例· 首先參照第1〜4圖說明本發明之第1實施例。在第 1實施例中，本發明係採用將抗光劑塗覆在半導髖晶圈W -,-. ...· r 上後顯像之抗光劑處理系統。 如第1圖所示，半導髏晶圓用抗光劑處理系統1包括/ 搬入/搬出部2，處理部3，繙子方式之基板搬送機4， 授受部5，及2個主臂10，10a。搬入/搬出部2具 有設在處理系統1之一端，並且載置許多個晶圈卡匣6之 載置台。 如第2圓所示，在搬入/搬出部2之前面設置卡匣搬 送裝置2 0，以卡匣搬送裝置2 0將卡匣6搬入或搬出該 搬入/搬出部2 ·在卡匣6內收容例如2 5片半導體晶圓 W。卡匣6係載置於搬入/搬出部2之載置台上使晶圖W 成爲水平狀態•授受部5係設在搬入/搬出部2與處理部 3之間。授受部5具有基板搬送機4，而以基板搬送機4 從卡匣6中將晶園W—片一片地取出· 處理部3具有第1處理部31，第2處理部32，及 曝光處理部4 0 ·第1處理部3 1包括許多處理單元3 4 〜37a，共同搬送部33，及基板搬送機（主臂）10 ----r-----Iri^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS )八4規《格（210X 2S»7公釐） A7 B7 經濟部中央櫟準局員工消費合作社印製 五、發明説明（6 ) 。處理單元3 4〜3 7 a排列在共同搬送通路3 3之兩側 ，而在朝向共同搬送通路3 3之方向具有搬入搬出口。主 臂1 0可沿著共同搬送通路3 3移動，而且可在鲕子4與 各處理單元3 4〜3 7 a之間授受晶圖W。第2處理部 3 2亦同樣的具有許多處理單元3 8〜3 9，共同搬送通 路33，及主臂10a。 處理單元3 4包括以刷子洗淨晶圓W之刷子洗淨裝置 *處理單元3 5包括以高壓喷水_洗淨晶钃W之噴水洗淨裝 置。處理單元3 6包括對晶圓W表面實施疏水處理之附著 力處理裝置。處理單元3 7 a具有從晶圓W上去除塗敷之 / 抗光劑之抗光劑去除裝置。處理單元3 8具有加熱晶圓W 之烘烤裝置及冷卻晶麵W之冷卻裝置。處理單元3 9包括 將抗光劑顯像之顯像裝置。 在第1處理部3 1與第2處理部3 2之間設有第1介 面30，以便經由第1介面30授受晶圖W·在第2處理 部3 2與曝光裝置4 0之間設有第2介面3 0 a，以便經 由第2介面30a授受晶圓W。 在搬入/搬出部2之逋當部位設置卡匣偵測器7，以 便檢測載置台上是否有卡匣6·卡匣偵測器7可採用例如 具有受光元件及發光元件之感光偵測器*靜電容量型偵測 器，或微開關等。該卡匣偵測器7連接於中央處理裝置（ CPU) 8之输入側。CPU8在接受卡匣撿測信號後， 與主電腦9 2互通訊息同時進行運算，將指令信號分別傅 送至基板搬送機4，警報系統9，主臂10 * 10a，處 -JI裝------訂-----ί線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家椹準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印袈 A7 __B7 五、發明説明（7 ) 理單元3 4〜3 9。警報系統9具有蜂嗚器，電鈴警報報 器’利用點燈式燈泡之顯示，或利用監視器之畫面顯示等 〇 如第3圖所示’基板搬送機4之上部驅動部1 4經由 垂直軸1 3連接於下部驅動部1 2。下部颶動部1 2包括 具有球型螺栓機構之Y軸移動機構，而下部臛動部1 2可 沿著軌道1 1滑向Y軸方向。下部驅動部1 2包括具有步 進馬達等之昇降機構及0旋轉機構，使上部韆動部1 4朝 向Z軸方向昇降，並且在Z軸周園進行0旋轉。上部驅動 部1 4包括具有步進馬連等之X軸移動機構，使鑷子1 5 /· 與保持臂16個別的在XY面由前進或後退· 鑷子1 5係由其有可插入卡匣6內之宽度之矩形狀板 構件所構成。在鑤子1 5之上面設有連通於真空泵之孔（ 未園示）以便將晶園W以真空吸著並保持·保持臂16係 由將前端切刻之環狀構件所構成。許多支持銷（未圖示） 分別朝向保持臂1 6之內方突出，而由支持銷支持晶園W 。在鑷子15之基板設有偵測器17·該偵測器17具有 例如光電型檢測元件，用來確認晶圓W對處理裝置之位置 對正。 在上部驅動部1 4之前端裝設有變換偵測器1 8，以 便檢測卡匣6內是否有晶圆W及晶圖W之種類•晶圃W之 種類檢測包括判別晶圖W之尺寸爲6吋或8吋，及晶園W 是否已處理•變換偵測器1 8係採用具有發光部1 8 a及 受光部1 8 b之感光偵測器。變換偵測器1 8又具有可檢 本紙張尺度遑用中國國家標隼（CNS ) A4规格（210X297公釐） r-----^-裝------訂-----A線 (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) -10 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 309503 a? _____B7_五、發明説明（8 ) 測其本身之誤動作之功能· 卡匣偵測器7上亦可追加可檢測本身之動作狀態之定 時器功能。由於道種功能之追加，當超過定時器設定時間 而偵測器7繼績檢測卡匣6時，警報系統9開始動作，通 知操作者偵測器7已發生誤動作。例如在搬送機器人（ AGV)自動的載置或搬送卡匣6，以該時刻做爲授受終 了時刻而發射終了信猇後•可監視繼績發生判定一定時間 內有卡匣或無卡匣之誤動作•卡匣搬送裝置2 0根據無卡 匣之檢測信號而修正卡匣6之設定位置。將卡匣6再度設 定後，再以基板搬送機4檢測卡6內是否有晶圓W，又檢 / 測晶圓W之位置。 若變換偵測器18檢測與預先設定程式之資訊不同之 資訊，或檢測到不同種類之晶圓W之存在時，皆可使警報 系統9動作，通知操作者已發生異常。鑷子1 5根據該檢 測倍號從卡匣6內退出，使基板搬送機4回到原來位置。 卡匣搬送裝置2 0根據賅檢測信號修正卡匣6之設定位置 。再度設定卡匣6後，再以基板搬送機4檢測卡匣6內是 否有晶圃W，再檢測晶圓W之位置β 以下參照第4圖所示之流程圖說明使用上述處理系統 1對半導體晶圃W實施抗光處理時之過程。 首先，在處理開始前，在主電腦之賫料庫上預先存楢 卡匣及基板之初期條件•該卡匣及基板之初期條件係根據 考慮前過程及後過程在內之一連串處理計劃製作之一定之 賫訊。 裝-- (請先聞讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) ,•11 線 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2丨0X297公釐） 11 - 經濟部中央橾隼局貝工消費合作社印裝 A7 ^____B7___ 五、發明説明（9 ) 將卡匣6搬入該搬入/搬出部2內，並將之設定在載 置台上（步驟S 1 )。卡匣6內收容2 5片未處理（抗光 處理前）之半導髏晶圓W ·然後，以偵測器6 0檢測載置 台上之卡匣6，將之檢測僧號傅送至CPU8。CPU8 根據檢測信號及初期條件先判定載置台上是否有卡匣6( 步驟S2)。若步驟S2之判定結果爲否定時，使警報系 統9動作（步騄S 11)，通知操作者及主電腦9 2載置 台上無卡匣6 ·操作者或卡匣搬送裝置2 0將卡匣6設定 在載置台上（步隳S1) *若在步驟S 2時之判定結果爲 肯定時，C P U 8根據檢測信號判定卡匣6之設定狀態是 / 否正常（步驟S 3 )。在步驟S 3時之判定結果爲否定時 ’則使警報系統9動作（步驟S 12)，通知操作者及主 電腦9 2卡匣6未被載置於一定位置上。操作者或卡匣搬 送裝置2 0將卡匣6重新設定於載置台上之一定位置上（ 步驟S 1 3 )。 在由卡匣偵測器7檢測載置台上無卡匣6時，或先檢 測有卡匣6，然後在定時器設定時間過後仍繼績檢測無卡 匣6時，亦將其信猇傅送至CPU8。CPU8根據該信 號使警報系統9動作（步驟S 1 1及步驟S 1 2)。 若在步KS 3時之判定結果爲肯定時，由變換偵測器 1 8檢測卡匣6內之晶_W *將該位置檢測賫訊做爲變換 賫料分別儲存於CPU8及主電腦92中（步驟S4)。 C P U 8根據該變換資料及預先記憶之一定之處方從卡匣 6之晶圖W中選定成爲處理對象之晶圔Wt ，以鑷子15 本紙張尺度適用中國國家梂準（CMS ) A4規格（210 X 297公釐） ^^1- ^^1 «^^1 ·· HI In 1(. I I I— n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -12 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ____B7_五、發明説明（10) 從卡匣6內取出被選定之晶匪Wt (步驊S5)· 然後，鑷子1 5將被選定之晶圓Wt授與第1主臂 10。晶圓W t由第1主臂1 〇逐一的撤入處理單元3 4 〜3 7 a中，又由第2主臂1 0 a逐一的搬入處理單元 3 8〜3 9中，又搬入曝光裝置4 0中，依照預先設定於 各處理單元及裝置中之程式逐一被處理（步驟S 6 )。亦 即晶園Wt經過洗淨處理，附著力處理，冷卻，塗敷抗光 劑，預烘烤，冷卻，曝光處理，顯餵處理*後烘烤，並冷 卻。 —連串之抗光處理終了後，以偵測器7檢測卡匣6之 / 位置，c P U 8根據該位置檢測信號判定卡匣6之設定狀 態是否爲正常（步揉S7)。若步UiS7時之判定結果爲 肯定時，則以鑷子1 5將已處理之晶園Wt插入卡匣6之 —定部位（步驟S8)。已處理之晶圓W t之位址資訊被 傅送至CPU8，以此更新變換賫料。 然後，C P U 8根據變換資料判定卡匣6內是否有未 處理（抗光處理前）之晶圓W (步KS9) ·若步篇（S9 時之判定結果爲肯定時則從卡匣6內取出未處理之晶圓W (步篇（S5)，依照一定處方逐一處理晶園W (步揉S 6 )。若在步驟S9時之判定結果爲否定時，從搬入/搬出 部5搬出該卡匣6(步驟S10)·如此，完成一連串之 全部抗光處理，已處理之晶圔W與卡匣6 —起被移送至下 一個步班· 若在步KS 7時之判定結果爲否定時，則使警報系統 民張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） r----^'-l 裝-- (锖先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線1 -13 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _______B7 _五、發明説明（11 ) 9動作，通知操作者及主電腦9 2卡匣6之設定狀態有異 常（步驟S14) *操作者及主電腦92分別掌握卡匣6 ’晶圓W及基板搬送機4之狀態，根據其結果判定是否繼 績進行處理（步揉S15)。若步班15時之判定結果具 爲否定時，則在搬入/搬出部2恢復正常狀態之前中斷或 停止晶_界之處理》 若在步驟S 1 5時之判定結果爲肯定時，則使基板搬 送機4回到原來位置（步驟S16)而復置基板搬送機4 (步驟S17)。當搬入/搬出部2回到正常狀態後，使 基板搬送機4從原來位置移動至卡匣6前面，以偵測器 / 18再度變換（步班S4)。若變換資料無變化時，則以 鑷子1 5從卡匣6內之一定部位取出晶圈W，將之搬送至 處理部3。 若卡匣6內之晶圓W之位置與發生異常前之位置不同 時，則將產生之賫訊傅送至C P U 8，並更新變換資料。 更新變換資料時，由操作者，主電腦92，及CPU8監 視卡匣6之設定狀況，基板搬送機4之動作是否逋當。道 種再變換動作亦可適用於操作者故意提起卡匣6而從載置 台移走，再放置於載置台上之情況· 如此，根據再度變換卡匣內之晶圖W而產生之最新變 換資料選定處理對象晶圓Wt ，將之從卡匣6中取出（步 驟S5)。然後，對晶園Wt實施一連串之抗光處理（步 驟S6) ·重複的進行步KS5〜S9 —直到未處理晶園 W從卡匣6內消失爲止· ^ 1 —-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14 - 309503 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 五、發明説明（12) 如上所述，因爲自動的監視收容未處理晶圓w之卡匣 之設定狀態，及自動的監視緬子1 5之動作；故可防止發 生晶圖W之錯誤搬送等問題，可依照預先設定之程式之順 序逐一的搬出晶園W而實施一定之處理。 以下參照第5〜7圖說明本發明之第2實施例•第2 實施例中係應用本發明於將抗光劑塗敷在L C D基板上後 顯像之抗光處理系統。 如第5圖所示，LCD基板用抗光處理系統1 A包括 搬入/搬出部2 A，處理部3 A，餚子方式之基板搬送機 4A，授受部5A，及2個主臂10A，10B。搬入/ / 搬出部2 A具有設在處理系統1 A之一端，並且載置許多 個晶園卡匣6A之載置台2a。 在搬入/搬出部2 A之前面設有卡匣搬送裝置（未園 示），而以卡度搬送裝置將卡匣的搬入或搬出該搬入/搬 出部2A ·在卡匣6 A內收容例如2 5片LCD基板G。 卡匣6 A係載置在搬入/搬出部2 A之載置台2 a上以便 使L C D基板G成爲水平狀。授受部5 A係設在搬入/搬 出部2 A與處理部3 A之間。授受部5 A具有基板搬送機 4A，以便利用基板搬送機4A將LCD基板G從卡匣 6 A中一片一片的取出。 處理部3A具有第1處理部3 1A，第2處理部 32A，及曝光處理部40 ·第1處理部3 1A具有許多 處理單元234〜237a ，共同搬送通路33 ，基板搬 送機（主臂）10A。處理單元234〜237a排列在 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) M—裝· 訂 線 本紙張尺度遑用中國國家標準（CNS〉Α4规格（210Χ 297公釐〉 -15 - A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（U ) 共同搬送通路3 3之兩側，而具有朝向共同搬送通路3 3 之方向之搬入搬出口。主臂1 〇 A可沿著共同搬送通路 3 3行走，以便在其與蟠子4A，各處理單元2 3 4〜 237a之間授受基板G »第2處理部32A亦同樣的具 有許多處理單元2 3 8〜2 3 9，共同搬送通路3 3，及 主臂1 Ο B。 處理單元2 3 4具有以刷子洗淨基板G之刷子洗淨裝_ 置。處理單元2 3 5具有以高壓嘖水洗淨基板G之嘖水洗’ 淨裝置。處理單元2 3 6具有在基板G之表面實施疏水化 處理之附著力處理裝置。處理單元2 3 7具有在基板G上 / 塗敷抗光劑之抗光劑塗敷裝置。處理單元2 3 7 a具有從 基板G上去除塗敷之抗光劑之抗光劑去除裝置•處理單元 2 3 8具有加熱基板G之烘烤裝置及冷卻基板G之冷卻裝 置。處理單元2 3 9具有將塗敷之抗光劑覼像之顯像裝置 〇 在第1處理部3 1 A與第2處理部3 2 A之間設有介 面30A，以便經由介面30A授受晶園W。在第2處理 部3 2A與曝光處理部4 0之間亦設有介面3 0A，並經 由介面30A授受晶園W· 如第6圓所示，基板搬送機4A之上部糴動部7 4經 由垂直軸7 3及可劻部7 6連結於下部驪動部7 2 ·下部 糴動部7 2包括具有球型螺栓機構之Y軸移動機構*而下 部鼸動部7 2可沿著軌道7 1滑向Y軸方向•可動部7 6 包括具有步進馬達等之昇降機構及0旋轉機構，以便使上 ^ I裝------訂-----(‘線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作杜印製 五、發明説明（14) 部驅動部7 4朝向Z軸方向昇降，並且在Z軸周圈進行0 旋轉·可動部7 6包括具有步進馬達等之X軸移動機構， 以便使攝子7 5在XY面內前進或後退。 鑷子7 5係由具有可插入卡匣6 A之宽度之矩形狀板 構件所構成。在鲕子7 5之上面設有連通於真空泵（未圖 示）之吸引溝7 5 a，以便將L CD基板G以真空吸著並 保持。在吸引溝7 5 a周園立設3個尼龍樹脂製突起 75b。使該突起75b接觸玻薄基板G背面，即可防止 玻璃基板G帶靜電· 在可動部7 6上裝設變換偵測器1 8 A，而以該變換 / 偵測器1 8 A檢測是否有被收容於卡匣6 A內之基板G， 其位置及片數。變換偵測器1 8 A可沿著導桿7 7移動， 以便接近或逮_卡匣6 A ·該變換偵測器1 8 A係具有發 光部1 8 c及受光部1 8 d之反射型感光檢測器•受光部 1 8 d接受從基板G反射之光束而將之變換成電氣信號* 並將之傅送至CPU8。 在上部驅動部7 4兩側裝設有可開閉自如之中央定位 臂8 0 ·中央定位臂8 0將收容於卡匣6 A內之基板G移 動至卡匣中央位置並修正其定位。中央定位臂8 0具有一 對臂構件8 1，尼龍樹脂製基板框壓構件8 2。基板框壓 構件82係裝設在各臂構件81之前端•以上部驅動部 7 4使一對臂構件8 1接近Y軸方向時，基板框壓構件 8 2推壓基板G之側端面，使基板G在卡匣的內設定中心 I—. I - —Γ- m I - II - I -I— n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS) A4规格（210X297公釐） -17 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 309503 A7 _____B7_五、發明説明（15) 在搬入/搬出部2之適當部位設置偵測器6 0，以便 檢測卡匣6 A是否由鎖定機構5 0逋當的固定*偵測器 6 0亦可採用例如具有發光元件及受光元件之慼光偵測器 ，靜電容置型偵測器或微開關等·偵測器6 0連接於 C P U 8之输入端。C P U 8在接受卡匣保持檢測信號後 ，與主電腦9 2互通訊息同時進行運算，將指令信號分別 傅送至鎖定機構5 0，基板搬送機4A，警報系統9，主 臂10A，10B，及處理單元234〜239 · 霄訾 -· 如第7 B圖所示，鎖定機構5 0係設在搬入/搬出部 2A之載置台2 a上，以驅動部5 3，54使鎖定片5 2 / 從外殻5 1突出，或縮入外般5 1內。鎖定機構5 0之驅 動部具有推壓彈簧5 3及鼂鏢管5 4 · 通電於電螺管5 4後，鎖定片5 2抗拒推壓彈簧5 3 之彈力從外般51內突出•結果，如第7A圓所示，鎖定 片5 2將卡匣6A之凸緣6 a推壓於載置台2 a上，將卡 匣6A固定於載置台2 a上，並定位於基板搬送檐4A等 〇 當偵測器6 0檢測卡匣未被固定於搬入/搬出部2之 —定位置後，警報系統9開始動作，通知操作者及主電腦 9 2卡匣間保持已發生異常。因爲鎖定機構5 0根據檢測 信號自動的再驅動，故將卡匣6 A固定於一定位置。卡E 6 A被固定於一定位置後，基板搬送機4 A再度開始驅動 ，檢測卡匣6 A內之基板G · 當變換偵測器18A撿測到與預先設定程式之資訊不 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ~ -18 - --------^ I 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

*1T 線 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（16) 同之資訊，或檢測到不同種類之基板G之存在時，以 C P U 8根據該檢測信號產生之输出信號使警報系統9動 作，通知操作者其狀態。搬送機構4 A根據該檢測僧號糴 動，基板搬送機7 5從卡匣6 A後退而暫時回到初期位置 。當卡匣6 A被固定於一定位置後，搬送機構4A再度鼷 動而檢測卡匣6 A內之基板G。 以下參照第4_所示之流程圖說明使用上述裝置1 A 對L C D基板G進行抗光處理時之狀態· 將卡匣6 A搬入該搬入/搬出部2 A內，將之載置於 載置台上（步驟S1)。在卡匣6A內收容2 5片未處理 / (抗光處理前）之L CD基板G ·然後，以偵測器6 0檢 測載置台上之卡匣6 A，將檢測信號傳送至C P U 8 * CPU8根據檢測價號先判定載置台上是否有卡匣6 A ( 步騄S2)。若在步驟S2時之判定結果爲否定時，使警 報系統9動作（步騄S 11)，通知操作者及主電腦9 2 載置台上無卡匣6 A。操作者及主電腦9 2將卡匣6 A設 定在載置台上（步揉S1) 〇 若在步驟S 2之判定結果爲肯定時，C P U 8又根據 檢測信號判定卡匣6 A之設定狀態是否爲正常（步驟S 3 )。若在步《S3時之判定結果爲否定時，則使警報系統 9動作（步驟S 12)，通知操作者及主電腦9 2卡匣 6 A未被載置於一定位置·操作者及主電腦9 2將卡匣 64A重新設定於載置台上之一定位置（步蹶S13)。 此時，亦可根據主電腦9 2所產生之指令倌號使鎖定機構 ^^1 ml ml 1^1- n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ‘線 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS > A4規格（210 X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（17) 5 0動作，以鎖定機構5 0將卡匣6 A固定在載置台上之 一定位置，或操作者以手動將卡匣6 A放置在一定位置· 如第7 A圖所示，通電於氰螺管5 4後，鎖定片5 2 抗拒彈簧5 3之弾力突出於卡匣6 A之凸緣6 a之上方， 以鎖定片5 2將凸緣6 a推壓於載置台2 a上。如此，可 將卡匣6 A固定在載置台2 a上•如第7 B圖所示，停止 通電於電螺管5 4後，鏔定片5 2因彈簧5 3之弾力而縮 入外殻5 1內，解除對卡匣6 A.之保持。CPU8根據偵’ 測器6 0所產生之檢測信號判覼鏔定機構5 0是否正常動 作* / 若在步篇（S 3時之判定結果爲肯定時，以變換偵測器 1 8 A檢測卡匣6 A內之基板G之位置，將該位置檢測資 訊做爲變換資料分別傭於CPU8及主電腦9 2中（步驟 S4) «CPU8根據該變換資料及預先記慷之一定處方 從卡匣6 A內之L CD基板G中選定需要成爲處理對象之 LCD基板Gt ，以鑷子4A從卡匣6A內取出選定之基 板G t (步驟S 5 )。 鑷子4A將基板G t授與第1主臂1 0A ·基板G t 由第1主臂1 0A逐一的搬入處理單元2 3 4〜2 3 7 a 中，又由第2主臂1 Ο B逐一的搬入處理單元2 3 8〜 2 3 9中*又被搬入曝光裝置4 0中，在各處理單元及裝 置中依照預先設定之程式順序逐一被處理（步驟S6) · 亦即基板G t被洗淨，附著力處理•冷卻，塗敷抗光劑， 預烘烤，曝光處理，顯儋處理，及後烘烤· (锖先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 本紙張尺度適用中國國家橾牵（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20 - A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印策 五、發明説明（IS ) —連串之抗光處理終了後，以偵測器6 0撿測卡匣 6 A之位置’ C P U 8根據該位置檢測信號判定卡匣6 A 之設定狀態是否正常（步應S 7) ·若在步驟S 7之判結 果爲肯定時，以緬子4 A將已處理之基板板G t插入卡匣 6A之一定之槽內（步驟S8)。已處理之基板Gt之位 址資訊被傅送至C P U 8而更新變換資料· 此時，又以變換偵測器1 8A檢測卡匣6A內之基板 G。CPU8根據該檢测賫料及%上述變換資料判定卡匣 6 A內是否有未處理（抗光處理前）之基板G (步驟S 9 )»若在步騾S9時之判定結果爲肯定時，從卡匣6A內 / 取出未處理之基板G(步驟S5)，依照一定之處方逐一 的處理基板G (步琢S6)。若在步驟S9時之判定結果 爲否定時，從搬入/搬出部5 A中搬出骸卡匣6 A (步驟 S10)。如此完全一連串之全部抗光處理，而已處厘之 基板G與卡匣一起被移送至下一步驟。 若在步班S 7時之判定結果爲否定時，警報系統9動 作，通知操作者及主電腦9 2卡匣6 A之設定狀態有異常 (步驟S 1 4 )。操作者及主電腦9 2分別掌握卡匣6 A ，基板G及基板搬送機4 A之狀想，根據其結果判定是否 繼績進處理（步KS 15) *若在步驟S 15時之判定結 果爲否定時，則在搬入/搬出部2 A恢復正常狀態之前中 醱或停止基板G之處理· 若在步RS 1 5時之判定結果爲肯定時，使基板搬送 機4A回到原來位址（步蹶S 1 6 )而復量基板搬送機 ----------I裝------訂-----(線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 309503 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（19) 4A (步驟S17) ·當搬入/搬出部2A恢復正常狀態 後，使基板搬送機4 A從原來位址移動至卡匣6 A前面， 再度以偵測器18A撿測（步KS4) ·然後，將產生之 賫訊傳送至C P U 8，更新變換資料。然後根據上述再度 檢測而產生之最新之變換賫料選定處理對象基板Gt ，將 之從卡匣6A中取出（步班S5) ·然後，對基板Gt實 施一連串之抗光處理（步驟S6) ·重複進行步驟S5〜 S 9，一直到未處理基板G ·從.卡匣6 A內消失爲止。 依照上述方法，不但可防止基板G之搬送錯誤，同時 可有效的防止基板G受到損傷，故可提高處理效率及良品 / 以下參照第8〜10函說明本發明之其他實施例*本 實施例之裝置1B中與上述第1實施例之裝置1實質上成 爲共同之部分則省略不重複說明· 在半導體晶園用抗光處理系統1 B中*於搬入/搬出 部2 B載置2個供給用卡匣6 F及2個回收用卡匣6 G · 在供給用卡® 6 F內收容未處理（抗光處理前）之晶麵W ，而在回收卡匣6 G內收容已處理（抗光處理後）之晶圓 W。 C P U 8連接於監視用顯示器9 1。操作者観察顯示 器9 1之顯示畫面即可掌握裝置1 B內之晶圖W之狀況。 偵測器5 0配設於各處理單元上，而以偵測器5 0檢 满晶釀W之識別符號及裝置之種類•各偵測器5 0將檢測 信號傅送至CPU8 * (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS > Α4规格（210Χ297公釐） -22 - A7 B7 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 五、發明説明（20) 以下參照第9，10圓所示之流程圖說明當抗光處理 系統中發生問題而中斷處理時，再度利用處理途中之晶圓 (中途晶醒）之情況。 將卡匣6F、6G分別搬入該搬入/搬出部2B內， 將之設定將裝置台2a上（步驟S21)。在卡匣6F內 收容2 5片未處理（抗光處理前）之半導镰晶圓W。卡匣 6 G在處理開始前成爲空白狀態。 分別檢測載置台2 a上之卡匣6F，6G，將檢测信‘ ά· 点 .ΪΓ 猇傅送至CPU8·CPU8根據檢測信號先判定載置台 2a上是否有卡匣6F，6G (步KS22)。若在步驟 / S 2 2時之判定結果爲否定時，警報系統9動作（步驊S 3 1)，通知操作者及主電腦9 2載置台2 a上無卡匣 6F，6G。操作者或卡匣搬送裝置20將卡匣6F * 6G設定在載置台2a上（步驊S21) · 在步驟S 2 2時之判定結果爲肯定時，C P U 8又根 據檢測信號判定卡匣6 F，6G之設定狀態是否正常（步 驟S23)。若在步KS23時之判定結果爲否定時，警 報系統9動作（步KS 3 2)，通知操作者及主霪腦9 2 卡匣6F ’ 6G未被放置於一定位置。操作者或卡匣搬送 裝置2 0將卡匣6 F，6 G重新設定於載置台2 a上之一 定位置（步驟S33)· 檢測結果載置台2 a上無卡匣6 F，6G時，或先檢 測到有卡匣6 F，6G，然而經過過定時器設定時間後仍 繼績檢測無卡匣6 F，6G時，仍然骸信號傅送至 =-1 - - ! - -II - - · ^^1 I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 h 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 ____B7__ 五、發明説明（21) CPU8 · CPU8根據該信號使警報系統9動作（步思 S31及步KS32) » 若在步騄S 2 3時之判定結果爲肯定時，以變換偵測 器1 8檢測卡匣6內之晶晒W之位置，將該位置檢測賫訊 做爲變換資料分別儀存於CPU8及主電腦9 2中（步驟 S 2 4 ) 。C P U 8根據胲變換資料及預先記憶之一定處 方從卡匣6 F內之晶圔W中選定需要成爲處理對象之晶圓 Wt以鑷子15從卡匣6內取出選定晶圔Wt (步騄 *v. S 2 5 )。 鑷子1 5又將選定之晶圔Wt授與第1主臂1 0。晶 / 圔wt由第1主臂1_〇逐一的搬入處理單元3 3 4〜 3 3 7 a內，再由第2主臂1 0 a逐一的搬入處理單元 3 3 8〜3 3 9內，又搬入曝光裝置4 0內，在各處理單 元及裝置中依照預先設定之程式順序逐一的處理（步驟S 26)。亦即晶圓Wt被洗淨處理，附著力處理，冷卻， 塗敷抗光劑，預烘烤，冷卻，曝光處理，顯像處理，後烘 烤，及冷卻。 C P U 8判定處理部3 B及搬入/搬出部2 B是否有 異常（步驟S27) ·若在步骤S27時之判定結果爲否 定時，則檢測回收用卡匣6 G之位置，C P U 8根據該位 置檢測信號將指令信號傳送至基板搬送機4，以鑷子1 5 將已處理之晶圓W t收容於回收用卡匣6 G之一定部位（ 步驟S 2 8 ) · c P U 8根據上述變換賫料判定卡匣6 F內是否有未 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 一 -24 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂

K 4 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（22) 處理（抗光處理前）之晶園W (步RS29) ·若在步應 S 2 9時之判定結果爲肯定時，從卡匿6 F內取出未處理 之晶圈W (步RS2 5)，根據一定之處方逐一處理晶園 W (步驟S26) ·在步KS26時，CPU8依照一定 之處方（時間表格）進行一連串之處理流程之時間控制（ 順序控制）·該時間控制之對象係從某一處理至下一個處 理爲止之基板之移動時閜，及有關處理本身之處理所需之 時間· &

Λ .S 若在步》S 2 9時之判定結果爲否定時，從搬入/搬 出部5內搬出該卡匣6F (步《S30) ·如此完成一連 / 串之全部抗光處理，-而且將已處理之晶圆W與卡匣6 G — 起移送至下一個過程· 若在上述步驟S 2 7時之判定結果爲肯定時，則警報 系統9動作，通知操作者及主電腦9 2處理部3 B *曝光 部4 0及搬入/搬出部2 B已發生異常（步驟S 3 4 )。 若檢測到脫離時間表格之基板，或搬送機之驅動系統發生 過電流時，CPU8判定處理部3有異常（步驟S27) 9 然後•操作者及主氰腦9 2分別掌握處理部3 B，曝 光部4 0及搬入/搬出部2 B之狀臁，根據其結果判定是 否繼績進行處理（步《S35) *若在該步驟S35時之 判定結果爲肯定時，使基板搬送機4回到原來位置（步驟 S36)，復置基板搬送機4(步«S37)。當搬入/ 搬出部恢復正常狀態後，使基板搬送機4從原來位置移動 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4現格（210X297公釐） ^|_|-1 1^1 —^1 - 11 I - - i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 -25 - A7 B7 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 五、發明説明（23 ) 至卡匣6F，6G前面，以偵測器18再度檢測（步騎 5 2 4 ) •若變換賫料無變化時，則以鑷子15從卡匣 6 F內之一定部位取出晶圓W，將之搬送至處理部3 · 若在步驟S 3 5時之判定結果爲否定時，則在恢復正 常狀態之前停止處理部3 B，曝光部4 0及搬入/搬出部 2之動作（步驟S41) ·然後，以偵測器50分別檢測 是否有正在處理途中之晶圓W及其種類，將其檢測信號傅 送至CPU88 · CPU8與主J1牖9 2互通訊息*於處 理途中之每一晶圈W指定成爲終了埠之卡匣6 F * 6G ( 步思S42)·然後，進行卡匣6F，6G內之晶gw之 檢測（步KS 4 3 )，將中途晶圈W分別回收至指定卡匣 6F，6G內（步驟S44)。在步思S44時，將完全 未處理之晶園W直接送回供給用卡匣6 F內。處理途中之 中途晶，W則回收至供給用卡匣6 F內。已處理之晶圓W 則回收至回收用卡匣6 G內· C P U 8又將處理之進行狀況賫料與中途晶圓W傅送 至主電腦92 (步KS45) ·〇Ρυ8在顬示器91上 顯示裝置1Β內之狀況（步KS46)。例如將第1個晶 圓W在塗敷中途停止，第2個晶圃W在以主臂1 〇搬送中 停止，第3個晶圔W在以刷子洗淨當中停止，第4個晶圖 W成爲搬送至處理部3前之未處理狀態等狀態以文字或已 設定之數字等顯示在顯示器91之畫面上。 搡作者一方面觀察顯示器9 1之顯示畫面，一方面解 析主電腦9 2傅送過來之賫料（步驟S47) ·然後於根 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 訂 丨線 本紙張尺度逋用中國國家標率（CNS > Α4規格（210><297公釐） -26 - 經濟部中央樣準局員工消費合作杜印製 309503 at __B7__五、發明説明（24) 據資料解析回收之毎一中途晶圖w判定是否可再利用（步 揉 S 4 8 )。 若在步揉S 4 8時之判定結果爲否定時，則廢棄胲中 途晶MW (步班S50)。若在步KS48時之判定結果 爲肯定時，則對該中途晶圔W實施未處理步驟（步驟4 9 )。例如抗光劑塗敷被中断之回收晶圓W時，則從晶圔W 上去除塗敷抗光劑，洗淨並乾燥•然後，在該晶園W上再> 度塗敷抗光劑。然後，將再度塗.敷之抗光劑曝光及顯像* 依照上述裝置及方法，因爲可在顯示器9 1上以即實 顯示各晶園W之處理狀態之畫面，故作業者可確實$握各 處理裝置停止驅動時，正在處理當中之晶圓W之處理狀況 〇 以下參照第1 1_說明本發明之其他實施例·本實施 例中係說明應用於將半導體晶圓蝕刻之蝕刻處理系統時之 例•本實施例中，與上述實施例相同之部分則不再重複說 明。 蝕刻處理系統1 C包括搬入/搬出部2 C，處理部 3C，基板搬送機4C，及授受部5C。在基板搬送機 4 C兩側裝設用來檢測卡匣6 F，6G內之晶園W之狀態 之變換偵測器（未_示）。 授受部5 C上設有進行從搬入/搬出部2 C搬送之晶 圃W之定位之對準部4 7 0。 處理部3 C包括在真空下進行晶圓W之主蝕刻之第1 蝕刻裝置4 8 1，進行灰化處理及輕度蝕刻做爲蝕刻後處 '本紙張尺度逋用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X 297公釐) ~~ -27 - -i. I..... ΙΓ I. - ―I 1 - -I n ϋ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 303503 A7 經濟部中央棟準局貝工消费合作社印製 __—_ B7_五、發明説明（25) 理之第2蝕刻裝置482·第1蝕刻裝置481及第2蝕 刻裝置482分別連接於第1與第2裝載鏔定室483, 484。在第1蝕刻裝置481與第2蝕刻裝置482之 間亦連接有第3裝載鎖定室4 8 5 * 授受部4 8 7包園在第1〜第3裝載鎖定室4 8 3， 484，485之周園。該授受部487具有暫時載置晶 圓W之可昇降之載置台4 8 6 ·在各裝載鎖定室4 8 3〜 4 8 5之大氣側及蝕刻裝置側分$別設有閛型閥。 在第1及第2蝕刻裝置481，482內，第1〜第 3裝載鎮定室4 8 3〜4 8 5內，及授受部4 8 7附近分 / 別設有用來檢測各晶豳W之處理狀戆之位置之偵澜器 450。各偵测器450連接於CPU8 * 以下說明具有上述結構之蝕刻處理系統之動作。 首先，以基板搬送機4 C之鑷子4 1 5從供給用卡匣 6 F內取出一定之晶圓W，在對準部4 7 0定位（平方定 向之定位）後，將之授與授受部487。 然後，將第1裝載鎖定室483，及第1蝕刻裝置 4 8 1內設定爲大致上成爲相同之真空度，例如1 X 1 〇_3Τ 〇 r r以下，開啓第1裝載鎖定室4 8 3之閘型 閥4 8 8，將晶圔W將第1裝載鎖定室4 8 3搬入第1蝕 刻裝置48 1內，然後，關閉第1裝載鎖定室483與第 1蝕刻裝童481間之閘型閥88。 然後，在第1蝕刻裝置4 8 1內導入蝕刻氣體（ CF4+CHF3+Ar)，並且將裝置內設定爲3 0 0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 線 本紙張尺度逋用中國國家樣準（CNS ) A4规格（210X297公釐> —28 ~ 經濟部中央樣準局員工消費合作社印聚 Α7 Β7 五、發明説明（26) mTo r r之真空•然後，在未圓示之電極間施加1 30 0W之高頻電力，使裝置內產生氣體等離子髏，以比蝕刻 晶園W之薄腆層。 經過蝕刻處理後，將晶圓W經由第3裝載鎖定室 4 8 5搬入第2蝕刻裝置4 8 2內，進行質化處理及輕度 蝕刻處理。此時，先將第2蝕刻裝置4 8 2內設定爲大約 ITo r r ，並將裝置內之溫度設定有大約250°C。然 後，供給流置大約爲3 0 0 0 S. c cm之0 2氣體做爲質 化氣鼸，並且在電極間施加7 0 0W之高頻電力·將氣體 等離子《化，對晶_W進行質化處理* / 質化處理後，降晶圓w搬入第2裝載鍍定室2 8 4內 ，經由授受部2 8 7授與搬送機構4 C，搬入回收用卡ffi 6 C內，完成一連串之處理。 若蝕刻處理系統1 C因某種問题而停止後，警報系統 9動作，通知作業者已發生問題·作業者在復置系統1 C 後接通開關*則由設在各部位之偵測器5 0檢測正在處理 當中之晶_评之處理狀況，將之顯示於顬示器9 1之畫面 上。此外，由基板搬送機4 C之變換偵測器1 8 A偵測卡 匣6 F內之晶圓W之狀態及回收用卡匣6 G內之晶圓W之 狀態•如此，第1個晶圈W在第2蝕刻裝置4 8 2中停止 ，第2個晶圓W在第3裝載鎖定室4 8 5中停止，第3個 晶圈W在第1蝕刻裝置4 8 1中停止’第4個晶國W則以 文字或已設定之數字等將搬送至處理部3 C之前未處理狀 態等狀想顯示於顯示器91之畫面上·未處理之晶圔W被 本紙張尺度適用中《國家標舉（CNS ) A4規格（210X297公釐） f I裝------訂------一丨線 (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) -29 - 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 I85l。7369级寻利中清章 f文説明曹修A7民_86年1Λ修正 _____ B7__五、發明説明（27) | yt4 \ (f 送回卡匣6 F內，而處理途中之晶圓w i百通1Γ乏蟲画"V 則被收容於回收用卡匣6 G內。如此，回收未處理或處理 途中（抗光劑塗敷等各處理已完成）之晶圖W後，作業者 去除其餘之處理中（抗光劑塗敷等各處理未完成）之中途 晶圈W，啓動蝕刻處理系統1 C而繼績進行以後之處理。 圖面之簡單說明： 第1圖爲本發明第1實施例之基板處理裝置（半導雅 晶圓用抗光處理系統）之概略平面圓； 第2圖爲沿著搬送通路表示之基板處理裝置之一部分 之概略側面圓； 第3圖爲半導髗晶圓用之搬送機（鑷子）之透視圓； 第4圖爲本發明實施例之基板處理方法之流程圓； 第5圖爲本發明實施例之基板鹿理裝置（L C D基板 用抗光處理系統之概略平面圖； 第6圖爲L CD基板用搬送機（鑷子）之透視圖： 第7 A，7B圖分別表將卡E固定於載置台上用之鎮 定機構之動作之概略側面圖； 第8圖爲本發明其他實施例之基板處理裝置（半導賺 晶圖用抗光處理系統）之概略平面圖； 第9圓爲本發明實施例之基板處理方法之流程圖： 第1 0圓爲第9圖所示流程圔之連績之流程圓； 第1 1圖爲本發明之其他實施例之基板處理裝置（半 導體晶圃用抗光處理系統）之概略平面圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -30 - 五、發明説明（28 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 圖號說明： 1:半導體晶_用抗光劑處理系統 2:搬入/搬出部 3 :處理部 4:基板搬送機 5 :授受部 6 :卡匣 7 :卡匣偵測器 8 : C P U 14:驅動部 1 8 :變換偵測器 20 :卡匣搬送裝置 3 0 :第1介面 4 0 :曝光裝置 5 0 :鎖定機構 〜 6 0 :偵測器 1A : LCD基板用抗光劑處理系統 2A :搬入/搬出部 3 A :處理部 4 A :基板搬送機 5 A :授受部 6 A :卡 ffi 1B:半導體晶園用抗光劑處理系統 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -31 7^309503 五、發明説明（29 )2B :搬入/搬出部 A7 B7 匣® 卡卡 用用 給收 供回 F G 6 6 ---------^乂-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央搮準局員工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格（210X 297公釐） -32 -

Claims (1)

1. 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A8 f !1 % 1 if _D8 ,—/_ -利範圍 第85107369號專利申請案 中文申請專利範麵修正本 民國86年1月修正 1. 一種基板處理方法，係從搬入/搬出部之許多卡 匣中取出基板，將取出之基板搬入處理部，將基板逐一的 處理，將已處理之基板收容於搬入/搬出部之許多卡匣之 基板處理方法，其特徴爲包括：（a)在處理開始之前設 定卡匣及基板之初期條件之過程；（b)根據該初期條件 將收容基板之卡匣分別設定於搬入/搬出部之過程；（c )分別檢測被設定於搬入/搬出部之卡匣之狀態，根據其 檢測結果判定各卡匣是否成爲由上述過程（a )設定之狀 態之過程；（d)若在上述過程（c)時判定至少有一個 卡匣之狀態成爲否定時*顯示該卡匣之狀態之過程；（e )根據上述過程（d )之顯示，將該卡匣重新設定成在上 述過程（a )時設定之狀態之過程：（f )分別檢測存在 於設定在搬入/搬出部之卡匣內之·'基板，根據其檢測結果 產生變換資料之過程；（g)根據變換資料及上述初期條 件從被設定在搬入/搬出部之卡匣中選出基板之過程；（ h )從卡匣中取出被選出之基板，將該基板搬送至處理部 ，並依照上述初期條件處理之過程；及將已經過處理之基 板收容於被設定在搬入/搬出部之卡匣內之過程》 2. 如申請專利範圍第1項之方法，其中若在上述過 程（C )時檢測搬入/搬出部內是否有卡匣，而在過程（ d )時判定在上述過程（c )時卡匣不在初期條件設定位 本紙張尺度適用中國國家棣窣（CNS ) A_4規格（210X 297公釐） _ (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A8 B8 C8 D8 於午I :“1/ 六、申請專利範圍 ———........................ S時，將之顯示，在上述過程（e )時將卡匣重新設定於 在上述過程（a )時設定之初期條件設定位置· (請先Μ讀背面之注$項再填寫本頁) 3. 如申請專利範園第1項之方法，其中若在上述過 程（c )時判定檢測卡E狀態用之動作錯誤，在上述過程 (d )時顯示上述檢測動作爲誤動作，並將用來檢測卡匣 狀態之動作正常化之後，回到上述過程（c)。 4. 如申請專利範圍第1項之方法，其中若在上述過 程（h )時，若基板搬送裝置之動作發生異常，則在將該 基板搬送裝置初期化之後，回到上述過程（f)。 .5 .如申請專利範園第4項之方法，其中在該過程（ f)時檢測存在於被設定在搬入/搬出部之卡匣內之基板 種類。 6 .如申請專利範園第1項之方法*其中在上述過程 (b)時將卡匣不移動的固定於搬入/搬出部之設定位置 ，在上述過程（c )時判定卡E之固定是否恰當，在上述 過程（d )時'，顯示卡匣之固定不恰當，並將固定卡匣之 動作正常化後回到上述過程（b)· 經濟部中央禕準局員工消費合作社印裝 7. 如申請專利範園第1項之方法，其中在上述過程 (d )時，若在上述過程（c )時判定至少有一個卡匣之 狀態爲否定，即發生警報· 8. 如申請專利範園第1項之基板處理方法，其中在 上述過程（d )時，若在處理部，搬入/搬出部*及基板 搬送裝置中之至少一種發生異常，則發生警報。 9. 如申請專利範園第1項之方法，其中在上述過程 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -2 - 經濟部中央標準局真工消費合作社印裝 ___D8 8，； _六、申請專利範圍 (a )時，利用前次處理時在過程（f )所產生之變換資 料設定卡匣及基扳之初期條件· 1 0 種基板處理方法，係從搬入/搬出部之供給 用卡®中取出基板•將取出之基板搬入處理部，將各基板 逐一的處理，將已處理之基板收容於搬入/搬出部之回收 用卡匣內之基板處理方法，其特徴爲包括：（A)在處理 開始前分別設定供給用卡匣，回收用卡匣及基板之初期條 件之過程；（B)根據該初期條件將該供給用卡匣及回收 用卡匣分別設定於搬入/搬出部內之過程：（C)分別檢 測存.在於被設定在搬入/搬出部之卡匣內之基板，根據其 檢測結果產生變換資料之過程：（D)根據上述變換賫料 及上述初期條件從上述供給卡匣內選出基板之過程；（E )從供給用卡匣內取出被選出之基板，將該基板搬送至處 理部，然後依照上述初期條件處理之過程；（F)當上述 處理部之動作停止而中断基板之處理時，分別檢測處理中 之基板，已處理之基板，及搬送中之基板之狀態而將之顯 示之過程；（G)根據上述過程（F)之顯示，上述變換 資料及上述該初期條件判定收容正在處理中之基板，已處 理之基板，及正在搬送當中之基板之卡匣之過程；(Η ) 依照上述過程（G)之判定，將正在處理當中之基板*已 處理之基板，及正在搬送當中之基板分別收容於上述回收 用卡匣或供給用卡匣之過程。 1 1 .如申請專利範園第1 0項之方法，其中在上述 (Ε )時，若基板搬送裝置之動作發生異常，則在將基板 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -3 - 經濟部中夬樣準局舅工消費合作社印製 309503 έ! \ C8 ： η ___D8 ; . ^六、申請專利範圍 搬送裝置初期化後，回到上述過程（c)。 1 2 .如申請專利範園第1 1項之方法，其中在上述 過程（C )時檢測存在於被設定在搬入/搬出部之卡匝內 之基板種類。 1 3 .如申請專利範團第1 0項之方法，其中在上述 過程（B )時將卡匣不移動的固定在搬入/搬出部之設定 位置，又判定卡匣是否恰當的被固定，若卡匣之固定不恰 當時則將之顯示，並將卡匣固定用之動作正常化》 1 4 .如申請專利範園第1 0項之方法，其中在上述 過程.（F )時，若在處理部，搬入/搬出部，或基板搬送 裝置中之至少一種發生異常，則發生警報· 1 5 .—種基板處理裝置，係從搬入/搬出部之供給 用卡匣中取出基板，將取出之基板搬入處理部內，將各基 板逐一的處理，將已處理之基板收容於搬入/搬出部之回 收用卡匣內之基板處理裝置，其特微爲包括：在處理開始 前設定卡匣及基板之初期條件之裝置；具有載置供~給用卡 匣及回收用卡匣之載置台之搬入/搬出部；具有用來處理 基板之許多處理單元之處理部；根據上述初期條件將供給 用卡匣及回收用卡匣設定於上述搬入/搬出部之裝置：從 被設定於上述搬入/搬出部之供給用卡匣內取出基板，將 基板搬送至上述處理部之基板搬送機；分別檢測存在於被 設定在上述搬入/搬出部之卡匣內之基板之第1偵測器； 根據第1偵測器之檢測結果製作上述卡匣內基板之變換資 料，並傭存該變換資料之裝置；從上述資料傭存裝置中叫 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS〉A4说格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -4 - A8 B8 C8 D8 % I If 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 六'申請專利範圍 出變換資料，根據該變換資料及上述初期條件控制上述基 板搬送機之控制裝置；檢測被設定於上述搬入/搬出部之 供給用卡匣及回收用卡匣之狀態之第2偵測器；及顯示該 第2偵測器所檢測之卡匣之狀態之顯示裝置，上述控制裝 置在判定結果由上述第2偵測器檢測之卡匣之狀態偏離上 述初期條件時，依照上述初期條件將供給用卡匣及回收用 卡匣對上述卡匣之設定裝置重新設定於上述載置台上。 1 6 .如申請專利範園第1 5項之裝置，其中該第2 偵測器包括將光束發射至上述搬入/搬出部之卡匣之發光 元件，及接受從卡匣上反射之反射光之受光元件，並且檢 測各載置台上是否有卡匣。 1 7 .如申請專利範園第1 5項之裝置，其中又包括 分別檢測上述第1及第2偵測器之動作，將其檢測信號傳 送至上述控制裝置之裝置•當上述控制裝置根據該裝置所 產生之檢測信猇判定上述第1或第2偵測器中之至少一方 發生誤動'作時，將之顯示於上述顯示裝置* 1 8 .如申請專利範園第1 5項之裝置，其中又成一 體的具有用來薄出上述基板檢測裝置及基板之檢測裝置， 而且具有基板種類之檢測功能。 1 9 .如申請專利範園第1 5項之裝置，其中上述卡 匣具有凸緣部，上述設定裝置包括設在外般內之鏔定片， 使鎖定片從外般內突出之電螺管驩動部，及將上述鎖定片 拉回外殻內之弾簧，使上述鎖定片從外殻內突出後，鎖定 片將放置於載置台上之卡匣之凸緣部推壓至載置台上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X29*7公釐） -5 -

   4309503 A8 B8 C8 St D8 *JC 、申請專利範圍 2 0.如申請專利範圈第1 :用來檢測存在於上述處理部內 在基板之處理當中使上述處理部 測器所產生之檢測資訊，上述初 處理被中斷之基板之狀態之裝置 狀態之判定結果顯示於上述顯示 判定結果將上述處理中断之基板 上述供給用卡匣或回收用卡®內 2 1 .如申請專利範圈第1 當處理部，搬入/搬出部，或基 生異常時發生警報之警報系統· 5項之裝置，其中又包括 之基板之第3偵測器；及 停止時，根據上述第3偵 期條件，及變換賫料判定 ，並將處理中斷之基板之 裝置上，控制裝置根據其 以上述基板搬送機收容於 〇 5項之裝置，其中又包括 板搬送機中之至少一種發 請 先 聞 讀 背 Si 之 注 項 再 填 本 頁 訂 線 經濟部中央標準局月工消費合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X29?公釐）