CN101685305A - 输送控制装置以及输送控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种输送控制装置以及输送控制方法，即使在被输送物的输送目的地的负荷高的情况下，也可以实现缩短整个处理装置的生产节拍时间，此外，即使是单片输送线也不会增大需要进行运算处理的数据量，无需大型运算处理装置，运算处理时间不会变长。输送控制装置具备控制处理设备的各个输送装置的控制单元(2)。控制单元(2)从上位系统(1)接收工序流程，根据该工序流程生成生产批量信息，将该生产批量信息以及处理内容分配给所述处理设备的所述各个处理装置，并且判定有无空闲的处理装置以及生产批量的完成，根据该判断结果决定将各个被输送物中的哪个被输送物输送到哪个所述处理装置，根据该决定控制所述输送装置(3－1、3－2、.....、3－n)。

Description

输送控制装置以及输送控制方法
技术领域
本发明涉及当在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径时，控制在这些输送路径上输送被输送物的输送装置的输送控制装置以及输送控制方法。
背景技术
目前，存在具有多个处理装置的处理设备。在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径。并且，处理设备还具有在这些输送路径上输送被输送物的输送装置。并且，在该处理设备中，对一个输送装置对应着多个被输送物。
在这样的处理设备中，为了实现高效率的处理，关于将哪个被输送物输送到哪个处理装置，需要适当地控制输送装置。
在现有的输送控制方法中，按照根据被输送物向输送装置的到达顺序、到达时刻、输送时间、以及等待时间等预定的顺序、或者按照根据负荷状况等预先安排的顺序，输送装置输送被输送物。
此外，在现有的输送控制方法中，将被输送物装载在装载箱中集中起来一次输送多个被输送物。
例如，在日本特开平9-30617号公报中，记载了以下的输送系统：与被输送物的输送同步地从控制装置向下一个控制装置输出输送指示数据，由此，使输送设备迅速地输送被输送物。作为在自动仓库内输送被输送物的输送装置，该输送系统具备：堆垛起重机、有轨台车、接收用输送器、以及出入库用输送器。起重机控制装置控制起重机，台车控制装置控制有轨台车，输送器控制装置控制各输送器。通过同一通信线路连接着各个控制装置和生成指示输送作业的数据(输送指示数据)的在库管理计算机。
从在库管理计算机输出的输送指示数据，经由通信线路依次从控制装置向控制装置输出，各个控制装置按照输送指示数据控制输送装置来进行输送作业。
发明内容
在上述现有的输送控制方法中，因为在装载箱中装载多个被输送物集中起来一次输送多个被输送物，所以在被输送物的更换较少的工序中输送效率会提高。但是，在被输送物的更换较多的工序中，输送效率会降低。在被输送物的更换较多的工序中，不是在装载箱中装载多个被输送物来进行输送，而是通过一个一个输送被输送物的所谓的单片输送方法进行输送，这种输送方法会使输送效率提高。
但是，在一片一片地输送被输送物的单片输送线中，运算处理数据量巨大，所以由于运算处理所需要的时间的原因难以缩短生产节拍时间(tact time)。此外，作为运算处理装置，需要大型的装置。
例如，在液晶面板制造工厂中，生产管理系统管理全部的工序顺序。但是，当一片一片进行输送来处理基板时，生产管理系统和单片输送控制系统的通信量增大，生产管理系统管理全部的工序处理的顺序就变得困难。
因此，本发明的目的在于提供：即使在所谓的单片输送线中，也不增大运算处理数据量，作为运算处理装置不需要大型的装置，并且运算处理所需要的时间也不会变长的输送控制装置以及输送控制方法。
本发明的输送控制装置，是在一种在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，具有多个沿着所述输送路径输送被输送物的输送装置，并且使多个被输送物与一个所述输送装置对应的处理设备中，对所述输送装置进行控制的装置。输送控制装置具备控制所述各个输送装置的控制单元。所述控制单元从上位系统接收工序流程，根据该工序流程生成生产批量信息，将该生产批量信息以及处理内容分配给所述各个处理装置，并且判定有无空闲的处理装置以及生产批量的完成，根据该判断结果决定将所述各个被输送物中的哪个被输送物输送到哪个所述处理装置，根据该决定控制所述输送装置。
本发明的输送控制方法，是在一种在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，具有多个沿着所述输送路径输送被输送物的输送装置，并且对一个所述输送装置对应了多个被输送物的处理设备中，对所述输送装置进行控制的方法。根据所述输送控制方法，从上位系统取得工序流程，根据该工序流程生成生产批量信息，将该生产批量信息以及处理内容分配给所述各个处理装置，并且判定有无空闲的处理装置以及生产批量的完成，根据该判断结果决定将所述各个被输送物中的哪个被输送物输送到哪个所述处理装置，根据该决定控制所述输送装置。
根据本发明的输送控制装置，控制单元，从上位系统接收流程工序，决定应该将各被输送物中的哪个被输送物输送到哪个处理装置。因此，控制单元，即使关于被输送物的每一个没有从上位系统取得指示，也可以按照工序顺序单独地处理被输送物，所以输送效率提高。
根据本发明的输送控制方法，控制单元从上位系统接收工序流程，决定应该将各被输送物中的哪个被输送物输送到哪个处理装置。因此，即使关于被输送物的每一个没有从上位系统取得指示，也可以按照工序顺序处理被输送物，所以输送效率提高。
附图说明
图1是表示本发明的输送控制装置的一实施方式的结构的方框图。
图2是表示应用了所述输送控制装置的处理设备的结构的(a)平面图以及(b)侧面图。
图3是表示执行本发明的输送控制方法的一实施方式的处理设备的结构的方框图。
图4是表示所述输送控制装置的输送控制系统的动作的流程图。
图5(a)是表示所述输送控制装置的输送控制系统的工序信息的生成动作的流程图，(b)是表示生产批量完成信息的项目例子的表，(c)是表示生产批量信息的项目例子的表，(d)是表示输送指示信息的项目例子的表。
图6(a)是表示所述输送控制装置的输送控制系统的分类信息的生成动作的流程图，(b)是表示分类信息的项目例子的表。
图7(a)是表示所述输送控制装置从生产管理系统接收的工序流程的例子的方框图，(b)是表示与(a)对应的输送物的流动的例子的流动图。
图8(a)是表示所述输送控制装置从生产管理系统接收的分类条件的例子的方框图，(b)是表示与(a)对应的输送物的流动的流动图。
符号说明
1生产管理系统(上位系统)；2输送控制系统(控制单元)；3-1～n设备控制板；101～104处理装置(工序A～D)；106、107输送装置
具体实施方式
以下，根据附图说明本发明的一实施方式。
(输送控制装置的结构)
图1是表示本实施方式的输送控制装置的结构的方框图。
如图1所示，本实施方式的输送控制装置具有从生产管理系统(上位系统)1接收指示的输送控制系统(控制单元)2。输送控制系统2控制多个设备控制板3-1、3-2、……、3-n，经由设备控制板3-1、3-2、……、3-n控制多个处理装置以及输送装置的动作。多个处理装置以及输送装置构成了处理设备。
图2是表示应用了本实施方式的输送控制装置的处理设备的结构的(a)平面图以及(b)侧面图。
在应用了本实施方式的输送控制装置的处理设备中，如图2(a)所示，从成为出入口105的端口A～E，放入被输送物。通过输送器(输送装置)106、107在多个处理装置(工序装置)101～104之间输送被输送物。
如图2所示，输送器107由带有分支功能的输送器(以下成为分支输送器：FCV)、以及带有纵向输送(升降)功能的输送器(以下称为纵向输送输送器：纵向CV)所组成。分支输送器(FCV)水平地输送被输送物，并且在处理装置101～104之间进行被输送物的收发。
在该处理设备中，在上下方向上装载配置有工序A的处理装置101和工序D的处理装置104。此外，在上下方向上装载配置有工序B的处理装置102和工序C的处理装置103。与分支输送器(FCV)相向地配置这些各个处理装置101～104。并且，在输送线的起始端以及终端设置了缓冲器108。此外，在处理装置101和处理装置104之间设置了缓冲器109。并且，在处理装置102和处理装置103之间设置了缓冲器110。与纵向输送输送器(纵向CV)相向地配置了这些缓冲器108、109、110。在这些缓冲器108、109、110中临时滞留从某个处理装置输送到下一个处理装置之前期间的被输送物。
在该处理设备中，通过本实施方式的输送控制装置控制输送器106、107，由此将各个被输送物输送到各个处理装置101～104以及各个缓冲器108～110的任意场所，由各个处理装置101～104对各个被输送物执行规定处理(检查)。
图3是表示执行本实施方式的输送控制方法的处理设备的结构的方框图。
如图3所示，在处理设备中，在多个处理装置101～104之间存在多个被输送物的输送路径。处理设备具有沿输送路径输送被输送物的多个输送装置。此外，对于一个输送装置对应了多个被输送物。
在这样的处理设备中，按照从上位系统取得的处理装置101～104(工序A～D)之间的输送信息，在处理装置101～104之间依次输送输送线内的被输送物(例如，FPD、用于半导体的玻璃基板等)。本实施方式的输送控制方法改善这样的处理设备的输送效率。
在该处理设备中，被投入到出入口105的被输送物依次被输送到各个处理装置101～104，执行规定的处理，然后再次返回到出入口105。在该处理设备中，对于被输送物，有可能根据在各个处理装置的处理结果(例如检查结果)，变更下一个输送目的地处理装置(工序)。此外，在该处理设备中，因为有时将被输送物多次输送给同一处理装置(例如检查装置)，所以在各个处理装置之间的输送路径中存在多个分支、汇合。
本实施方式的输送控制方法特别适合于一片一片地输送被输送物的单片输送线。在单片输送线中，同时进行输送控制的被输送物的数量巨大，通过现有的输送控制方法控制极为困难。
(输送控制装置的动作(输送控制方法))
图4是表示本实施方式的输送控制装置的输送控制系统的动作的流程图。
在该输送控制装置中，输送控制系统2执行图4所示的处理。
在步骤st1中，收纳了多个被输送物的装载箱到达工序(处理设备)。在步骤st2，从生产管理系统(上位系统)1接收工序流程，处理进入到步骤St3以及步骤st4。
在步骤st3中，展开工序流程使其成为工序信息，将工序信息分配给各个处理装置(工序装置)。在工序信息数据库中积存工序信息。
另一方面，在步骤st4中，从生产管理系统(上位系统)1接收分类信息，处理进入到步骤st5以及步骤st6。
在步骤st5中，将分类信息展开，对各个装载箱分配分类信息。在分类信息数据库中积存分类信息。
在步骤st6中，根据在步骤st3积存的工序信息，生成装载箱内的各个被输送物(例如基板)的工序流程，处理进入到步骤st7。在步骤st7中，按照工序流程，输送被输送物(基板)，处理进入到步骤st8。
在步骤st8中，对应工序处理结果，根据工序流程决定下一输送目的地，处理进入到步骤st9。在步骤st9，判断直到步骤st8所进行的处理是否为最终处理，如果是最终处理，则处理进入步骤st10，如果不是最终处理，则处理返回到步骤st7。
在步骤st10中，根据在步骤st5中积存的分类信息，按照分类条件将被输送物(基板)输送到分类用装载箱。
图5(a)是表示本实施方式的输送控制装置的输送控制系统中的工序信息的生成动作的流程图。
如图5(a)所示，在生成工序信息时，当在步骤st11中输送控制系统2接收到工序流程时，处理进入到步骤st12以及步骤st13。在此，在图7(a)中表示了一个方框图，该方框图表示输送控制系统从生产管理系统接收的工序流程的一例。如图7(a)所示，工序流程例如由“生产批量信息”、“品种代码”、“批量ID”、“当前工序代码”、“分类代码”、“下一工序代码”、“下一工序制法ID”组成。图7(b)表示与图7(a)对应的被输送物(基板)的流动的例子。
在步骤st12中，生成生产批量信息，处理进入到步骤st14。在步骤st14中，判定是否接收到生产批量完成信息，如果接收到生产批量完成信息，则处理进入步骤st15。如果没有接收到生产批量完成信息，则处理停留在步骤st14。如图5(b)所示，生产批量完成信息例如由“管理ID”、“品种代码”、“批量ID”、“工序代码”、“分类代码”组成。
在步骤st15中，附加批量末端标记，处理进入步骤st19。
另一方面，在步骤st13中，生成不同输送线的生产批量信息，处理进入步骤st16。如图5(c)所示，生产批量信息例如由“管理ID”、“品种代码”、“批量ID”、“工序代码”、“分类代码”、“处理片数”、“完成片数”、“损坏片数”、“处理状态”组成。
在步骤st16中，判断是否具有空闲的处理装置，如果具有空闲的处理装置，则处理进入步骤st17。如果没有空闲的处理装置，则处理停留在步骤st16。在步骤st17中，对输送线的处理装置分配生产批量信息，处理进入步骤st18。在步骤st18中，对处理装置分配制法ID(处理内容)，处理进入步骤st19。
在步骤st19，生成输送指示信息，处理进入步骤st20。如图5(d)所示，输送指示信息例如由“输送ID”、“基板ID”、“批量末端标记”、“开始(From)位置”、“结束(To)位置”、“最终输送目的地”、“处理状态”组成。
在步骤st20中，判断可否进行向下一工序的输送，如果可以输送，则处理进入步骤st21。如果不可进行输送，处理停留在步骤st20。在步骤st21中，指示输送被输送物，处理进入步骤st22。在步骤st22中，判定是否为批量末端，如果为批量末端，则结束批量。如果不是批量末端，则处理返回到步骤st19。
图6(a)是表示本实施方式的输送控制装置的输送控制系统中的分类信息的生成动作的流程图。
如图6(a)所示，在生成分类信息时，当在步骤st21中输送控制系统2接收到分类条件时，处理进入步骤st32。在此，图8表示一方框图，该方框图表示输送控制系统从生产管理系统接收的分类条件的一例。如图8(a)所示，分类条件例如由“管理ID”、“品种代码”、“批量ID”、“代表工序代码”、“代表分类代码”、“优先度”、“基板信息”、“输送基板片数”、“处理状态”组成。在图7(b)中表示与图7(a)对应的输送物(基板)的流动的例子。
在步骤st32中，生成分类信息，处理进入到步骤st33。如图6(b)所示，分类信息例如由“管理ID”、“品种代码”、“批量ID”、“代表工序代码”、“代表分类代码”、“优先度”、“基板信息”、“送出基板片数”、“处理状态”组成。
在步骤st33中，判断是否存在空闲端口，如果有空闲的端口，则处理进入到步骤st34。如果没有空闲的端口，处理停留在步骤st33。
在步骤st34，判定生产批量是否已开始，如果已经开始，则处理进入步骤st35。如果没有开始，则处理停留在步骤st34。
在步骤st35中，判定生产批量是否已完成，如果已经完成，则处理进入步骤st36。如果没有完成，则处理停留在步骤st35。
在步骤st36，判断是否存在优先度高的分类条件，如果存在优先度高的分类条件，则处理进入步骤st37。如果不存在优先度高的分类条件，则处理停留在步骤st36。
在步骤st37中，对端口分配分类信息，处理结束。

Claims (2)

1.一种输送控制装置，其是在处理设备中对所述输送装置进行控制的输送控制装置，该处理设备在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，具有多个沿着所述输送路径输送被输送物的输送装置，并且使多个被输送物与一个所述输送装置对应，该输送控制装置具备控制所述各个输送装置的控制单元，
所述控制单元，从上位系统接收工序流程，根据该工序流程生成生产批量信息，将该生产批量信息以及处理内容分配给所述各个处理装置，并且判定有无空闲的处理装置以及生产批量的完成，根据该判断结果决定将所述各个被输送物中的哪个被输送物输送到哪个所述处理装置，根据该决定控制所述输送装置。
2.一种输送控制方法，其是在处理设备中对所述输送装置进行控制的输送控制方法，该处理设备在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，具有多个沿着所述输送路径输送被输送物的输送装置，并且对一个所述输送装置对应了多个被输送物，该输送控制方法，
从上位系统取得工序流程，
根据该工序流程生成生产批量信息，
将该生产批量信息以及处理内容分配给所述各个处理装置，并且判定有无空闲的处理装置以及生产批量的完成，
根据该判断结果决定将所述各个被输送物中的哪个被输送物输送到哪个所述处理装置，
根据该决定控制所述输送装置。
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