CN107792668B - 一种量测系统及玻璃基板的量测方法 - Google Patents

Abstract

一种量测系统，包括，投料仓、计算机控制系统、量测暂存回收仓以及量测设备，其中，投料仓用于玻璃基板的投料，量测设备用于玻璃基板的量测，计算机控制系统用于判别量测暂存回收仓的优先级，再控制投料仓将玻璃基板传送至优先级最高的量测暂存回收仓，等待量测设备空闲时，将所述量测暂存回收仓内的玻璃基板送至量测设备进行量测，待量测完成后，玻璃基板再返回量测暂存回收仓。节约厂房面积，减少搬送设备的采购，每增加一台量测设备可以减少100万的建厂成本，智能分配投入比例将设备的利用率达到了最大化。

Description

一种量测系统及玻璃基板的量测方法

技术领域

本发明是应用于液晶显示领域的一种量测系统及玻璃基板的量测方法。

背景技术

按目前液晶行业的生产状况，现在大部分量测设备都是与搬送设备进行一对一测量，少部分采用多对一测量，即多个量测设备与一个搬送设备搭配作业。

量测设备与搬送设备进行一对一测量，可以最大化的提高量测设备的使用率，但是会增加搬送设备的采购量与建厂面积的浪费。

多个量测设备与一个搬送设备搭配作业，可以减少载具的来回搬送，使量测目标能一次性完成多项量测同时减少搬送设备的采购量与建厂面积的浪费。但是现实情况是各量测设备之间的量测时间差异较大，经常会出现量测设备A已经全部量测完成，量测设备B还有好几片玻璃基板还没有完成测量，导致装有该玻璃基板的载具不能及时搬走占用量测仓(载具生产时固定的位置)，影响后续需要进入量测设备A的玻璃基板。最终使量测设备A的利用率大大下降，产能发生损失。

以目前彩膜基板通过需要三台量测设备进行测量为例，如图1所示，包括一台搬送设备1和三台量测设备：TTP(total pitch，精密测长机)21、MCPD(Micro-Photometry，显微生光光度机)22以及SP(Surface Profile，探针式膜厚量测机)23搭配，玻璃基板的量测方式有15种顺序组合：SP+MCPD+TTP、TTP+MCPD+SP、SP+TTP+MCPD、MCPD+SP+TTP、MCPD+TTP+SP、TTP+SP+MCPD、SP+MCPD、SP+TTP、MCPD+SP、MCPD+TTP、TTP+SP、TTP+MCPD、TTP、MCPD以及SP。现有搬送设备是严格按照此顺序进行，给三台量测设备送片。玻璃基板在送入量测设备和送出量测设备过程中需要同一卡夹完成，实际生产过程中，当顺序发生重叠时，如两块玻璃基板分别需要进行MCPD+SP+TTP量测和MCPD+SP量测，而此时MCPD正在进行其他基板的量测，SP却是空闲的，这样待量测的两块玻璃基板全部等待MCPD量测，就很容易出现MCPD量测设备阻塞，即一台量测设备不停量测，而另外的量测设备空闲的情况发生，如果不按照量测顺序执行，跳过量测过程中重叠的量测设备，即跳过MCPD量测设备，进行SP量测，这样两块基板同时跳跃到SP则又发生新的重叠，使机台生产越来越混乱，导致卡夹内的玻璃基板一直在卡夹上无法量测，已经完成量测的玻璃基板不能进行下一个制程。

发明内容

本发明的目的在于克服上述缺陷，提出一种量测系统，以多对一的方式为基础，合理解决设备使用率及产能问题。

一种量测系统，包括，

投料仓、计算机控制系统、量测暂存回收仓以及量测设备，

其中，投料仓用于玻璃基板的投料，量测设备用于玻璃基板的量测，计算机控制系统用于判别量测暂存回收仓的优先级，再控制投料仓将玻璃基板传送至优先级最高的量测暂存回收仓，等待量测设备空闲时，将所述量测暂存回收仓内的玻璃基板送至量测设备量测，待量测完成后，玻璃基板再返回量测暂存回收仓。

可选的，所述量测暂存回收仓包括SP量测暂存回收仓、MCPD量测暂存回收仓以及TTP量测暂存回收仓；所述量测设备包括SP量测设备、MCPD量测设备以及TTP量测设备。

可选的，所述SP量测暂存回收仓存放待SP量测设备量测的玻璃基板，所述MCPD量测暂存回收仓存放待MCPD量测设备量测的玻璃基板，所述TTP量测暂存回收仓存放待TTP量测设备量测的玻璃基板。

可选的，所述SP量测暂存回收仓、MCPD量测暂存回收仓以及TTP量测暂存回收仓分别可暂存多个玻璃基板，其中，存放玻璃基板个数越少的量测暂存回收仓其优先级越高。

可选的，所述量测暂存回收仓和投料仓内设置有卡夹，当量测暂存回收仓卡夹内的玻璃基板全部量测完毕后，卡夹携带量测完毕的玻璃基板退出量测暂存回收仓。

一种玻璃基板的量测方法，包括以下步骤：

(1)、计算机控制系统依据暂存回收仓的玻璃基板数量判断优先级最高的量测暂存回收仓在投入玻璃基板后是否导致量测暂存回收仓满载；

(2)、量测暂存回收仓未满载的情况下，将盛放玻璃基板的卡夹搬送到投料仓；

(3)、判断需要进行量测的玻璃基板的量测项目；

(3)、将玻璃基板投入到相应的量测暂存回收仓；

(4)、量测完毕后判断量测暂存回收仓内的卡夹上是否还有其他量测项目的玻璃基板；

(5)将盛放玻璃基板的量测暂存回收仓内的卡夹退出。

可选的，步骤(1)中投入玻璃基板后导致满载后，计算机控制系统重新计算，直至选出优先级最高的量测暂存回收仓。

可选的，步骤(2)中需要进行量测的玻璃基板量测项目单量测项目和多量测项目。

可选的，单量测项目直接进行步骤(4)，多量测项目则判断量测暂存回收仓的优先级，将多量测项目的玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓。

可选的，步骤(4)中卡夹内有其他量测项目玻璃基板则判断量测暂存回收仓的优先级，将玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓，卡夹内无其他量测项目的玻璃基板则进行步骤(5)。

本发明具有以下优点：设置量测暂存回收仓，将待测量的设备先送至优先级高的量测暂存回收仓内等待测量，克服了现有量测技术中两个玻璃基板在遇到重叠量测设备测量时，都积压在同一量测设备里造成阻塞的情况发生，智能分配投入比例将设备的利用率达到了最大化。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1是现有技术三台量测设备与一台搬送设备的搭配示意图；

图2是本发明玻璃基板多机台混合量测的设备搭配示意图；

图3是本发明玻璃基板多机台混合量测的方法流程图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

一种量测系统，包括，

投料仓1’、计算机控制系统、量测暂存回收仓以及量测设备，其中，其中，投料仓1’用于玻璃基板的投料，量测设备用于玻璃基板的量测，计算机控制系统用于判别量测暂存回收仓的优先级，再控制投料仓1’将玻璃基板传送至优先级最高的量测暂存回收仓，等待量测设备空闲时，将所述量测暂存回收仓内的玻璃基板送至量测设备量测，待量测完成后，玻璃基板再返回量测暂存回收仓。

如图2所示，为本发明量测系统示意图，包括投料仓1’和量测暂存回收仓，所述量测暂存回收仓包括SP量测暂存回收仓31、MCPD量测暂存回收仓32以及TTP量测暂存回收仓33；所述量测设备包括SP量测设备21、MCPD量测设备22以及TTP量测设备23。其中：TTP(total pitch，精密测长机)；MCPD(Micro-Photometry，显微生光光度机)；SP(SurfaceProfile，探针式膜厚量测机)23。

所述SP量测暂存回收仓31存放待SP量测设备21量测的玻璃基板，所述MCPD量测暂存回收仓32存放待MCPD量测设备22量测的玻璃基板，所述TTP量测暂存回收仓33存放待TTP量测设备23量测的玻璃基板。所述SP量测暂存回收仓31、MCPD量测暂存回收仓32以及TTP量测暂存回收仓33分别可暂存多个玻璃基板，其中，存放玻璃基板个数越少的量测暂存回收仓其优先级越高。所述量测暂存回收仓和投料仓1’内设置有卡夹，当量测暂存回收仓卡夹内的玻璃基板全部量测完毕后，量测暂存回收仓卡夹携带量测完毕的玻璃基板退出量测暂存回收仓。

一种玻璃基板的量测方法流程图，包括以下步骤：

(1)、计算机控制系统依据暂存回收仓的玻璃基板数量判断优先级最高的暂存回收仓在投入玻璃基板后是否导致量测暂存回收仓满载；

(2)、量测暂存回收仓未满载的情况下，将盛放玻璃基板的卡夹搬送到投料仓；

(3)、判断需要进行量测的玻璃基板的量测项目种类，将玻璃基板投入到相应的优先级最高的量测暂存回收仓；

(4)、量测完毕后判断量测暂存回收仓内的卡夹上是否还有未量测的玻璃基板；

(5)、量测暂存回收仓内的玻璃基板全部完成量测后，量测暂存回收仓内的玻璃基板全部退出。

其中：步骤(1)中投入玻璃基板后导致满载后，计算机控制系统重新计算，直至选出优先级最高的量测暂存回收仓。

其中：步骤(2)中需要进行量测的玻璃基板量测项目单量测项目和多量测项目。

其中：单量测项目直接进行步骤(4)，多量测项目则判断量测暂存回收仓的优先级，将多量测项目的玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓。

其中：步骤(4)中卡夹内有其他量测项目玻璃基板则判断量测暂存回收仓的优先级，将玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓，卡夹内无其他量测项目的玻璃基板则进行步骤(5)。

如图3所示为本发明玻璃基板多机台混合量测的方法流程图，首先，依据量测暂存回收仓内的玻璃基板的数量判断优先级，优先级最高量测暂存回收仓内的卡夹在投入玻璃基板后是否导致量测暂存回收仓满载，如未满载，将盛有待测玻璃基板的卡夹搬送到投料仓；如已经满载，计算机控制系统则重新计算，依据量测暂存回收仓内的玻璃基板数量计算出优先级最高的量测暂存回收仓卡夹，直至优先级最高量测暂存回收仓内的卡夹在投入玻璃基板后不会造成满载，才进入下一步骤：将盛有待测玻璃基板的卡夹搬送到投料仓。

然后，判断出需要进入量测设备的玻璃基板的量测项目，对于单量测项目的玻璃基板则投入到相应的量测暂存回收仓存放，待量测设备可量测时完成对玻璃基板的量测，将单量测项目的玻璃基板送回到原量测暂存回收仓；对于多量测设备的玻璃基板则需要依据量测暂存回收仓内玻璃基板的数量判断量测暂存回收仓的优先级，根据计算出的优先级将玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓，待量测设备可量测时完成对玻璃基板的量测，量测完毕后，进行下一量测，将玻璃基板投入到下一量测暂存回收仓。

最后，回卡夹，判断量测暂存回收仓内的卡夹内是否还有其他量测项目的玻璃基板，如无其他项目的玻璃基板，则将卡夹连同卡夹盛放的量测好的玻璃基板退出，换新的空卡夹。若卡夹内还有其他量测项目的玻璃基板，则继续依据量测暂存回收仓内的玻璃基板数量判断优先级，根据计算出的优先级将玻璃基板投入到相应的量测暂存回收仓内，待量测设备可进行量测时完成对量测设备的量测。

例如：量测顺序为SP+TTP的玻璃基板，首先，分别判断SP量测暂存回收仓内暂存的玻璃基板的数量和TTP量测暂存回收仓内暂存的玻璃基板的数量；

SP量测暂存回收仓内暂存的玻璃基板的数量为25片和TTP量测暂存回收仓内暂存的玻璃基板的数量为20片，SP量测暂存回收仓内暂存的玻璃基板的数量和TTP量测暂存回收仓内暂存的玻璃基板的数量在投入基板后都不会满载，但SP量测暂存回收仓内暂存的玻璃基板的数量大于TTP量测暂存回收仓内暂存的玻璃基板的数量，因此TTP量测暂存回收仓具备最高优先级；

将盛放玻璃基板的卡夹搬送至投料仓，由于玻璃基板为多量测设备基板，因此根据量测暂存回收仓玻璃基板数量判断优先级，TTP量测暂存回收仓具备最高优先级，将玻璃基板先送入到TTP量测暂存回收仓，待TTP量测设备对玻璃基板完成量测后，由于其需要SP量测设备进行量测，继续依据量测暂存回收仓具内的玻璃基板数量判断优先级，直至满足要求，将玻璃基板投入到SP量测暂存回收仓内，待SP量测设备对玻璃基板完成量测后，将玻璃基板再送回到SP量测暂存回收仓卡夹内。此时卡夹内没有其他量测项目，将盛放有量测好的玻璃基板的SP量测暂存回收仓卡夹从SP量测暂存回收仓退出。

虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种玻璃基板多机台混合量测的设备，其特征在于：包括，

投料仓、计算机控制系统、量测暂存回收仓、量测设备以及卡夹，

其中，投料仓用于玻璃基板的投料，量测设备用于玻璃基板的量测，计算机控制系统用于判别量测暂存回收仓的优先级，并判断投入玻璃基板后是否导致量测暂存回收仓满载，且在所述量测暂存回收仓未满载的情况下，将盛放玻璃基板的卡夹搬送到投料仓，所述计算机控制系统还用于判断需要进行量测的玻璃基板的量测项目种类，再控制投料仓将玻璃基板传送至优先级最高的量测暂存回收仓，等待量测设备空闲时，将所述量测暂存回收仓内的玻璃基板送至量测设备进行量测，待量测完成后，玻璃基板再返回量测暂存回收仓，所述计算机控制系统还用于判断量测暂存回收仓内的卡夹上是否还有未量测的玻璃基板，且在所述量测暂存回收仓内的玻璃基板全部完成量测后，所述量测暂存回收仓内的玻璃基板全部退出。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板多机台混合量测 的设备，其特征在于：所述量测暂存回收仓包括SP量测暂存回收仓、MCPD量测暂存回收仓以及TTP量测暂存回收仓；所述量测设备包括SP量测设备、MCPD量测设备以及TTP量测设备。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板多机台混合量测 的设备，其特征在于：所述SP量测暂存回收仓存放待SP量测设备量测的玻璃基板，所述MCPD量测暂存回收仓存放待MCPD量测设备量测的玻璃基板，所述TTP量测暂存回收仓存放待TTP量测设备量测的玻璃基板。

4.根据权利要求2所述的玻璃基板多机台混合量测 的设备，其特征在于：所述SP量测暂存回收仓、MCPD量测暂存回收仓以及TTP量测暂存回收仓分别暂存多个玻璃基板，其中，存放玻璃基板个数越少的量测暂存回收仓其优先级越高。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板多机台混合量测 的设备，其特征在于：所述卡夹设于所述量测暂存回收仓和投料仓内，当量测暂存回收仓卡夹内的玻璃基板全部量测完毕后，卡夹携带量测完毕的玻璃基板退出量测暂存回收仓。

6.一种玻璃基板多机台混合量测的方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)、计算机控制系统依据暂存回收仓的玻璃基板数量判断优先级最高的暂存回收仓在投入玻璃基板后是否导致量测暂存回收仓满载；

(2)、量测暂存回收仓未满载的情况下，将盛放玻璃基板的卡夹搬送到投料仓；

(3)、判断需要进行量测的玻璃基板的量测项目种类，将玻璃基板投入到相应的优先级最高的量测暂存回收仓；

(4)、量测完毕后判断量测暂存回收仓内的卡夹上是否还有未量测的玻璃基板；

(5)、量测暂存回收仓内的玻璃基板全部完成量测后，量测暂存回收仓内的玻璃基板全部退出。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板多机台混合量测 的方法，其特征在于：步骤(1)中投入玻璃基板后导致满载后，计算机控制系统重新计算，直至选出优先级最高的量测暂存回收仓。

8.根据权利要求6所述的玻璃基板多机台混合量测 的方法，其特征在于：步骤(2)中需要进行量测的玻璃基板量测项目包括单个量测项目和多个量测项目。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板多机台混合量测 的方法，其特征在于：单量测项目直接进行步骤(4)，多量测项目则判断量测暂存回收仓的优先级，将多量测项目的玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓。

10.根据权利要求6所述的玻璃基板多机台混合量测 的方法，其特征在于：步骤(4)中量测暂存回收仓内有其他未量测的玻璃基板，则判断量测暂存回收仓的优先级，将玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓。