CN101206728A - 半导体制造的派工管理系统及方法 - Google Patents

Abstract

一种半导体制造的派工管理方法，包括：根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。应用本发明方法，可根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。

Description

半导体制造的派工管理系统及方法

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种半导体制造的派工管理系统及方法。

背景技术

对于当前半导体工厂中广泛应用的制造执行系统(MES)，如国际商业机器(1BM)公司的SIVIEW，提供的派工管理机制无法保证准时交货率，即利用此派工管理机制实施的派工管理无法体现在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素。由于制造执行系统缺乏有效的派工管理机制，制程工程师在处理需考虑上述因素的批货情况时必须以纸本记录等人工方式在设备机台上指定制程程序编号且使用手动模式处理，使得制造程序拖延，违反厂区自动化的趋势。

如何提供一种可保证准时交货率的派工管理方法成为本领域技术人员亟待解决的问题。

专利号为“ZL 200310103814.X”的中国专利中提供了一种半导体制程等待时间限制下的派工控制方法，其实施于一具有输入单元及运算单元的电子计算机及一运送系统，用以决定多个晶圆产品中哪一种能送进制造系统。应用该方法进行派工控制的步骤包括：首先，由该输入单元接收每一种晶圆产品的相对产量及等待时间限制。接着，由该计算单元计算每一晶圆产品的多制造过程加工需求时间以及每一晶圆产品的总等待时间限制。由该计算单元根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定哪一种晶圆产品可被送入该制造系统，当一晶圆产品的多制造过程加上需求时间小于总等待时间限制，批次晶圆可被送入制造系统中处理或者在既定的机台中进一步处理该晶圆产品，再依据该派工结果，将该选定的晶圆严品运送至该制造系统。

显然，应用该方法进行派工控制时，仅通过制程等待时间限制保证准时交货率，而无法根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。

发明内容

本发明提供了一种半导体制造的派工管理方法及系统，可根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。

本发明提供的一种半导体制造的派工管理方法，包括：

根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；

以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；

利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。

执行所述派工操作包括利用所述扩展单元计算设备及在制品的扩展信息以及利用所述重组单元将所述WIP按顺序排列；执行所述派工操作还包括利用所述过滤单元保留能在当前设备上运行的WIP；执行所述派工操作还包括利用所述分组单元根据将所述WIP分为真值组和假值组；执行所述派工操作还包括利用所述批处理单元对瓶颈设备前的WIP进行批处理；执行所述派工操作还包括利用所述修饰单元隐藏运算过程中产生的中间数据；所述派工管理方法还包括利用监控单元监控所述派工操作的执行情况。

利用所述监控单元对所述派工操作的执行情况进行监控的方法包括：

利用记录单元获得设备加工在制品后第一派工清单；

利用激活判别单元确定所述第一派工清单内被激活的在制品数/在制品批数；

利用派工评估单元确定所述第一派工清单内存在被激活的在制品时，则利用标准判别单元检查被激活的在制品是否满足派工基准，若满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则获得设备加工在制品前第二派工清单，并利用激活判别单元确定所述第二派工清单内被激活的在制品数/在制品批数，当所述被激活的在制品满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则判定为派工失败；

利用派工评估单元确定所述第一派工清单内不存在被激活的在制品时，则获得设备加工在制品前第二派工清单，若被禁止的在制品数/在制品批数为零，则判定所述派工无效；若被禁止的在制品数/在制品批数不为零，则判定所述派工失败。所述派工无效包括对生产线内非瓶颈设备进行派工操作。所述被禁止的在制品包含不满足至少一个派工标准的在制品。

本发明提供的一种半导体制造的派工管理系统，包括：

信息管理单元，用以存储所述设备及在制品的基本信息及扩展信息；

规则管理单元，用以存放并解析对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；

派工处理单元，用以根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对确定设备的在制品进行派工操作，并提供派工清单。

所述派工处理单元包括扩展单元和重组单元；所述扩展单元用以计算设备及在制品的扩展信息；所述重组单元用以将所述WIP按顺序排列；所述派工处理单元还包括过滤单元，所述过滤单元用以保留能在当前设备上运行的WIP；所述派工处理单元还包括分组单元，所述分组单元用以将所述WIP分为真值组和假值组；所述派工处理单元还包括批处理单元，所述批处理单元用以对瓶颈设备前的WIP进行批处理；所述派工处理单元还包括利修饰单元，所述修饰单元用以隐藏运算过程中产生的中间数据；所述派工管理系统还包括监控单元。

所述监控单元包括：

记录单元，用以获得设备加工在制品的派工清单，包括第一派工清单及第二派工清单；

激活判别单元，用以确定所述派工清单内的在制品处于被激活态或非激活态；

标准判别单元，用以确定派工清单内处于被激活态的在制品满足或不满足派工标准；

派工评估单元，根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，且满足派工标准，判定为派工成功；根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，但不满足派工标准时，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品满足派工标准时，则判定为派工成功；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品不满足派工标准时，则判定为派工失败；若派工清单内不存在被激活的在制品，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数为零时，则判定所述派工无效；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数不为零时，则判定所述派工失败。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

1.通过利用所述设备及在制品的基本信息计算得到所述设备及在制品的扩展信息，进而根据所述基本信息及扩展信息实现派工操作，可根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制；

2.通过在所述派工操作中利用分组单元执行分组操作，可根据对应的派工要素及派工标准对所述在制品执行不同的派工操作；

3.通过在派工管理系统中增加监控单元，可对设备和操作员派工操作的实际执行情况进行及时评估。

附图说明

图1为说明本发明实施例的派工管理方法流程示意图；

图2为说明本发明实施例的派工监控流程示意图；

图3为说明本发明实施例的派工管理系统结构示意图。

具体实施方式

尽管下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应当理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列的描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛教导，而并不作为对本发明的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于具有本发明优势的本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下列说明和权利要求书本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

应用本发明提供的方法进行派工管理的步骤包括：根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。

图1为说明本发明实施例的派工管理方法流程示意图，如图1所示，应用本发明提供的方法进行派工管理的具体步骤包括：

首先，根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元。

所述基本信息包含设备参数、在制品需求日期、流程参数、WIP优先级及等待时间等；所述扩展信息包括根据所述基本信息数据库内基本信息可直接计算得出的选择性的所述设备及WIP的信息要素，如后续设备的占用情况及所述设备及在制品的运行状况等，以及经由所述基本信息可直接计算得出的确定的所述设备及WIP的信息要素，如WIP分布状况、设备的占用情况、在制品出货紧急程度及制程时间限制等。

所述基本信息可由制造执行系统(MES)中导出的数据库中获得。所述设备参数包括设备的加工能力及负载状况等；所述在制品需求日期包括在制品的交期；所述流程参数包括在制品的原料供应商、操作设备、经过的工序、生产时间/日期和关键的工艺参数以及在制品的位置顺序、加工时间及各类在制品的顺序加工时间等。

所述设备及在制品的运行状况包括检测统计、抽样统计及制程转换统计等。所述检测统计用以提供已经过检测的在制品信息，如在一定时间内，有多少在制品已经经过检测等；所述抽样统计用以判断所述在制品已作为样品进入检测工序或未作为样品进入检测工序；所述制程转换统计用以提供运行过程中需进行制程转换的在制品信息。

所述WIP分布状况包括仓库以及前工序、中工序、后工序线上的每种在制品数量，WIP的剩余净加工时间以及WIP在待加工工序设备上所需的加工时间等，此加工时间是实际的加工时间、装载时间、卸载时间与工序变化或在制品品种变化引起的准备时间之和。此加工时间与在制品的品种及加工顺序相关。

作为本发明的实施例，所述设备的占用情况即设备资源占用程度根据待加工WIP总量与选定设备每小时出货量的比值确定。显然，应用此算法可以根据实际需要获得任意一道或者多道工序的设备资源占用程度，可对实际派工操作提供预留时间，便于优化生产安排。

所述在制品出货紧急程度根据实际剩余时间和理论剩余时间的比值确定。此比值为正值时，表示可能延期，且此比值越大，紧急程度越高，即使是延期的在制品，也可以按照交期的紧急程度计算优先级高低。所述实际剩余时间为当前时间与在制品需求日期或交期的差值；所述理论剩余时间为在制品生产周期与剩余工序比率的乘积；所述在制品生产周期为在制品需求日期或交期与投产日期的差值；所述剩余工序比率为剩下工序数量与总工序数量的比值。

所述制程时间限制根据在制品要求及工艺条件确定。

然后，以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准。

所述派工标准根据工艺及生产要求确定。所述派工标准包含所述设备及在制品的各信息要素对应的至少一个生产要求及派工方法。所述信息要素代表所述设备及在制品的所述基本信息及扩展信息中的一种。所述派工基准包含对WIP执行派工操作需遵守的规则，如对派工清单内前三位的WIP进行生产操作等。

所述派工要素可根据实际生产需要对所述基本信息及扩展信息中包含的各项信息要素进行灵活选择后确定。所述信息要素包括但不限于设备参数、在制品需求日期、流程参数、WIP分布状况、后续设备的占用情况、在制品出货紧急程度、制程时间限制、WIP优先级等信息中的一种或其组合。

上述各项信息在所述派工要素中具有不同权重表示，所述各项基本信息及扩展信息在所述派工要素中的权重根据生产要求确定。

作为本发明的实施例，可选用设备占用情况，出货紧急程度，WIP优先级三项信息构成所述派工要素，所谓权重可为这三项信息的顺序，即若这三项信息的重组为设备占用情况，出货紧急程度，WIP优先级，则设备占用情况的权重最大，首先根据设备占用情况重组，继而顺序根据出货紧急程度和WIP优先级重组。

所谓权重还可为这三项信息在重组参数中各自占据的比例因数，即作为示例，若选定设备占用情况的权重最大，则可将设备占用情况(T1)的权重设为5，出货紧急程度(T2)和WIP优先级(T3)的权重分别设为3和1，则对于重组参数量化值为5T1+3T2+T3，所述重组可按此重组参数量化值大小综合重组。

显然，所述权重的选取及计算方法以及所述派工要素、派工标准及派工基准为便于本发明的具体实施而做出的特殊选择，不应作为对本发明方法实施方式的限定，本领域技术人员对此作出的任意合理的修改及等同变换不影响本发明方法的实施，且应包含在本发明的保护范围内。

最后，利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。

所述派工操作包括对在制品根据所述派工要素中包含的所述不同信息要素的顺序或重组参数量化值顺序排列。

执行所述派工操作包括利用所述扩展单元计算设备及在制品的扩展信息，以增加实现派工操作的数据支持；以及，利用所述重组单元将所述WIP按所述派工要素中包含的所述不同信息的顺序或重组参数量化值大小顺序排列。

执行所述派工操作还可包括利用所述过滤单元在对WIP进行重组操作之前将不能在当前设备上运行的WIP过滤掉，只保留能在当前机器上运行的WIP，以优化生产及减少派工占用时间。

通常对于确定在制品可在复数个设备上实现生产操作。生产实践中，根据相同在制品在不同设备上的参数统计，可在所述复数个设备中选择良率统计较佳的设备进行所述在制品的生产操作；同理，在确定设备上可对复数种在制品进行生产操作，根据生产实践中所述设备对不同在制品的参数统计，可在所述设备上选择良率统计较佳的在制品进行生产操作。即对任意确定设备，均可确定可在所述设备上运行的WIP。确定可在所述设备上运行的WIP的依据为经由MES获得的生产数据。

执行所述派工操作还可包括利用所述分组单元根据所述在制品满足或不满足选定信息要素及相应派工标准将所述WIP分为真值组和假值组；对所述真值组和假值组可分别根据不同的派工要素及相应派工标准执行所述派工操作。在所述派工清单中，对所述真值组内在制品的重组位于对所述假值组内在制品之前。

通常，选择根据所述在制品满足或不满足选定所述扩展信息中包含的信息要素及相应派工标准将所述WIP分为真值组和假值组，对所述真值组和假值组分别根据不同的派工要素及相应派工标准执行所述派工操作。

作为示例，选择所述在制品满足或不满足所述设备及在制品的检测统计及相应派工标准将所述WIP分组。此时若所述在制品已经过检测，则执行制程时间要求优先及出货紧急程度优先的派工顺序；如果所述在制品未经过检测，就执行出货紧急程度优先，设备占用情况优先的派工顺序。

所述派工操作可包含分别对所述真值组和假值组进行的派工操作。对所述真值组内WIP进行派工操作用以提供实际派工清单；对所述假值组内WIP进行派工操作可用以提供预期后续派工清单，为实际生产安排提供预计操作。

执行所述派工操作还可包括利用所述批处理单元将瓶颈设备前的WIP进行批处理以提升效率；执行所述派工操作还可包括利用所述修饰单元隐藏运算过程中产生的中间数据，以提供简洁化的操作界面。

实际生产中，对所述派工操作的执行情况可进行监控。所述派工操作的执行情况包括设备及/或操作人员的执行情况。

图2为说明本发明实施例的派工监控流程示意图，如图2所示，对所述派工操作的执行情况进行监控的具体步骤包括：

首先，利用记录单元获得设备加工在制品后第一派工清单。

随后，利用激活判别单元确定所述第一派工清单内被激活的在制品数/在制品批数。所述被激活的在制品为已利用所述设备进行加工的在制品。

通常，将具有绝对优先权的在制品的派工情况判定为派工成功。所述具有绝对优先权的在制品为不参与排序即可获得优先处理的在制品，或参与排序且确定排序在前的在制品。

利用派工评估单元确定所述第一派工清单内存在被激活的在制品时，则利用标准判别单元检查被激活的在制品是否满足派工基准，若满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则获得设备加工在制品前第二派工清单，并利用激活判别单元确定所述第二派工清单内被激活的在制品数/在制品批数，当所述被激活的在制品满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则判定为派工失败；

利用派工评估单元确定所述第一派工清单内不存在被激活的在制品时，则获得设备加工在制品前第二派工清单，若被禁止的在制品数/在制品批数为零，则判定所述派工无效；若被禁止的在制品数/在制品批数不为零，则判定所述派工失败。所述派工无效包括对生产线内非瓶颈设备进行派工操作。所述被禁止的在制品包含不满足至少一个派工标准的在制品。

为避免不必要的难于理解，用以描述利用所述第一派工清单及第二派工清单进行派工操作的流程示意图被摞列展示。利用所述第一派工清单进行派工操作的顺序如图中实线标示的流程所示，利用所述第二派工清单进行派工操作的顺序如图中虚线标示的流程所示。

所述获得第一派工清单及第二派工清单步骤之间的时间间隔大于或等于从制造执行系统获得生产数据的延迟时间，且在此时间间隔内生产数据库只完成一次数据刷新。即若：系统从制造执行系统获得生产数据的延迟时间为10分钟，生产数据库在设备加工在制品前5分钟完成数据刷新时，所述获得设备加工在制品后第一派工清单及所述设备加工在制品前第二派工清单的时间可分别为5分钟和10分钟。

显然，所述获得生产数据的延迟时间、生产数据库数据刷新时间及与此相关的获得第一派工清单和第二派工清单的时间为便于本发明的具体实施而做出的特殊选择，不应作为对本发明方法实施方式的限定，本领域技术人员对此作出的任意合理的修改及等同变换不影响本发明方法的实施，且应包含在本发明的保护范围内。

图3为说明本发明实施例的派工管理系统结构示意图，如图3所示，所述派工管理系统包括：信息管理单元；规则管理单元；派工处理单元。此外，为对派工操作的实际执行情况进行评估，所述派工管理系统还可包括监控单元。

所述信息管理单元包含至少两个数据库(其数据结构可为以表格方式记录数据)，分别为基本信息数据库及扩展信息数据库。所述基本信息数据库用以存储所述设备及在制品的基本信息，包含设备参数、在制品需求日期、流程参数、WIP优先级及等待时间等；所述扩展信息数据库用以存储所述设备及在制品的扩展信息，包括根据所述基本信息数据库内基本信息可直接计算得出的选择性的所述设备及WIP的信息要素，如后续设备的占用情况及所述设备及在制品的运行状况等，以及经由所述基本信息可直接计算得出的确定的所述设备及WIP的信息要素，如WIP分布状况、设备的占用情况、在制品出货紧急程度及制程时间限制等。

所述基本信息数据库内的基本信息可由制造执行系统(MES)中导出的数据库中获得。所述设备参数包括设备的加工能力及负载状况等；所述在制品需求日期包括在制品的交期；所述流程参数包括在制品的原料供应商、操作设备、经过的工序、生产时间/日期和关键的工艺参数以及在制品的位置顺序、加工时间及各类在制品的顺序加工时间等。

所述设备及在制品的运行状况包括检测统计、抽样统计及制程转换统计等。所述检测统计用以提供已经过检测的在制品信息，如在一定时间内，有多少在制品已经经过检测等；所述抽样统计用以判断所述在制品已作为样品进入检测工序或未作为样品进入检测工序；所述制程转换统计用以提供运行过程中需进行制程转换的在制品信息。

所述WIP分布状况包括仓库以及前工序、中工序、后工序线上的每种在制品数量，WIP的剩余净加工时间以及WIP在待加工工序设备上所需的加工时间等，此加工时间是实际的加工时间、装载时间、卸载时间与工序变化或在制品品种变化引起的准备时间之和。此加工时间与在制品的品种及加工顺序相关。

作为本发明的实施例，所述设备的占用情况即设备资源占用程度根据待加工WIP总量与选定设备每小时出货量的比值确定。显然，应用此算法可以根据实际需要获得任意一道或者多道工序的设备资源占用程度，可对实际派工操作提供预留时间，便于优化生产安排。

所述在制品出货紧急程度根据实际剩余时间和理论剩余时间的比值确定。此比值为正值时，表示可能延期，且此比值越大，紧急程度越高，即使是延期的在制品，也可以按照交期的紧急程度计算优先级高低。所述实际剩余时间为当前时间与在制品需求日期或交期的差值；所述理论剩余时间为在制品生产周期与剩余工序比率的乘积；所述在制品生产周期为在制品需求日期或交期与投产日期的差值；所述剩余工序比率为剩下工序数量与总工序数量的比值。

所述制程时间限制根据在制品要求及工艺条件确定。

所述规则管理单元用以存放并解析所述派工标准及派工基准。所述规则管理单元包含规则存储单元及规则解析单元。所述规则存储单元用以存放所述派工标准及派工基准；所述规则解析单元用以将存储于所述规则存储单元的所述派工标准及派工基准解析成派工系统可执行的语言格式。

所述派工标准根据工艺及生产要求确定。所述派工标准包含所述设备及在制品的各信息要素对应的至少一个生产要求及派工方法。所述信息要素代表所述设备及在制品的所述基本信息及扩展信息中的一种。所述派工基准包含对WIP执行派工操作需遵守的规则，如对派工清单内前三位的WIP进行生产操作等。

所述派工要素可根据实际生产需要对所述基本信息及扩展信息中包含的各项信息要素进行灵活选择后确定。所述信息要素包括但不限于设备参数、在制品需求日期、流程参数、WIP分布状况、后续设备的占用情况、在制品出货紧急程度、制程时间限制、WIP优先级等信息中的一种或其组合。

上述各项信息在所述派工要素中具有不同权重表示，所述各项基本信息及扩展信息在所述派工要素中的权重根据生产要求确定。

作为本发明的实施例，可选用设备占用情况，出货紧急程度，WIP优先级三项信息构成所述派工要素，所谓权重可为这三项信息的顺序，即若这三项信息的重组为设备占用情况，出货紧急程度，WIP优先级，则设备占用情况的权重最大，首先根据设备占用情况重组，继而顺序根据出货紧急程度和WIP优先级重组。

所谓权重还可为这三项信息在重组参数中各自占据的比例因数，即作为示例，若选定设备占用情况的权重最大，则可将设备占用情况(T1)的权重设为5，出货紧急程度(T2)和WIP优先级(T3)的权重分别设为3和1，则对于重组参数量化值为5T1+3T2+T3，所述重组可按此重组参数量化值大小综合重组。

显然，所述权重的选取及计算方法以及所述派工要素、派工标准及派工基准为便于本发明的具体实施而做出的特殊选择，不应作为对本发明方法实施方式的限定，本领域技术人员对此作出的任意合理的修改及等同变换不影响本发明方法的实施，且应包含在本发明的保护范围内。

所述信息管理单元与所述规则管理单元间相互独立，但其内包含的信息间相互对应。如：所述信息管理单元包含的某确定设备的参数与所述规则管理单元包含的对应该设备派工标准间相互对应；所述信息管理单元包含的确定在制品的基本信息及扩展信息与所述规则管理单元包含的对应该确定在制品的派工标准间相互对应。

所述派工处理单元用以计算所述设备及在制品的扩展信息，并对确定设备的在制品进行派工操作及提供派工清单。所述派工操作包括对在制品根据所述派工要素中包含的所述不同信息要素的顺序或重组参数量化值顺序排列。

其中，所述派工处理单元包括扩展单元和重组单元。所述扩展单元用以计算设备及在制品的扩展信息，增加实现派工操作的数据支持；所述重组单元用以将所述WIP按所述派工要素中包含的所述不同信息的顺序或重组参数量化值大小顺序排列。

此外，所述派工单元还可包括过滤单元、分组单元、批处理单元及/或修饰单元。

所述过滤单元用以在对WIP进行重组操作之前将不能在当前设备上运行的WIP过滤掉，只保留能在当前机器上运行的WIP；所述过滤单元用以根据所述设备参数及所述WIP的属性确定可在所述设备上运行的WIP，以优化生产及减少派工占用时间。

通常对于确定在制品可在复数个设备上实现生产操作。生产实践中，根据相同在制品在不同设备上的参数统计，可在所述复数个设备中选择良率统计较佳的设备进行所述在制品的生产操作；同理，在确定设备上可对复数种在制品进行生产操作，根据生产实践中所述设备对不同在制品的参数统计，可在所述设备上选择良率统计较佳的在制品进行生产操作。即对任意确定设备，均可确定可在所述设备上运行的WIP。确定可在所述设备上运行的WIP的依据为经由MES获得的生产数据。

所述分组单元用以根据所述在制品满足或不满足选定信息要素及相应派工标准将所述WIP分为真值组和假值组；对所述真值组和假值组可分别根据不同的派工要素及相应派工标准执行所述派工操作。在所述派工清单中，对所述真值组内在制品的重组位于对所述假值组内在制品之前。

通常，选择根据所述在制品满足或不满足选定所述扩展信息中包含的信息要素及相应派工标准将所述WIP分为真值组和假值组，对所述真值组和假值组分别根据不同的派工要素及相应派工标准执行所述派工操作。

作为示例，选择所述在制品满足或不满足所述设备及在制品的检测统计及相应派工标准将所述WIP分组。此时若所述在制品已经过检测，则执行制程时间要求优先及出货紧急程度优先的派工顺序；如果所述在制品未经过检测，就执行出货紧急程度优先，设备占用情况优先的派工顺序。

所述派工操作可包含分别对所述真值组和假值组进行的派工操作。对所述真值组内WIP进行派工操作用以提供实际派工清单；对所述假值组内WIP进行派工操作可用以提供预期后续派工清单，为实际生产安排提供预计操作。

所述批处理单元用以将瓶颈设备前的WIP进行批处理以提升效率；所述修饰单元用以隐藏运算过程中产生的中间数据，以提供简洁化的操作界面。

所述监控单元，用以对所述派工处理单元执行派工操作的实际情况进行监控。

所述监控单元包括：

记录单元，用以获得设备加工在制品的派工清单，包括第一派工清单及第二派工清单；

激活判别单元，用以确定所述派工清单内的在制品处于被激活态或非激活态；

标准判别单元，用以确定派工清单内处于被激活态的在制品满足或不满足派工标准；

派工评估单元，根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，且满足派工标准，判定为派工成功；根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，但不满足派工标准时，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品满足派工标准时，则判定为派工成功；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品不满足派工标准时，则判定为派工失败；若派工清单内不存在被激活的在制品，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数为零时，则判定所述派工无效；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数不为零时，则判定所述派工失败。

所述被激活的在制品为已利用所述设备进行加工的在制品。所述被禁止的在制品包含不满足至少一个派工标准的在制品。

通常，所述派工评估单元将派工清单内不参与重组或参与重组且确定重组在前的在制品的派工情况判定为派工成功。

所述获得第一派工清单及第二派工清单步骤之间的时间间隔大于或等于从制造执行系统获得生产数据的延迟时间，且在此时间间隔内生产数据库只完成一次数据刷新。即若：系统从制造执行系统获得生产数据的延迟时间为10分钟，生产数据库在设备加工在制品前5分钟完成数据刷新时，所述获得设备加工在制品后第一派工清单及所述设备加工在制品前第二派工清单的时间可分别为5分钟和10分钟。

显然，所述获得生产数据的延迟时间、生产数据库数据刷新时间及与此相关的获得第一派工清单和第二派工清单的时间为便于本发明的具体实施而做出的特殊选择，不应作为对本发明方法实施方式的限定，本领域技术人员对此作出的任意合理的修改及等同变换不影响本发明方法的实施，且应包含在本发明的保护范围内。

尽管通过在此的实施例描述说明了本发明，和尽管已经足够详细地描述了实施例，申请人不希望以任何方式将权利要求书的范围限制在这种细节上。对于本领域技术人员来说另外的优势和改进是显而易见的。因此，在较宽范围的本发明不限于表示和描述的特定细节、表达的设备和方法和说明性例子。因此，可以偏离这些细节而不脱离申请人总的发明概念的精神和范围。

Claims (16)

1.一种半导体制造的派工管理方法，包括：

根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；

以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；

利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。

2.根据权利要求1所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作包括利用扩展单元计算所述设备及在制品的扩展信息以及选取所述基本信息及扩展信息后利用重组单元将所述WIP按所述顺序排列。

3.根据权利要求2所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作还包括利用过滤单元保留能在当前设备上运行的WIP。

4.根据权利要求3所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作还包括利用分组单元根据将所述WIP分为真值组和假值组。

5.根据权利要求4所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作还包括利用批处理单元对瓶颈设备前的WIP进行批处理。

6.根据权利要求5所述的派工管理方法，其特征在于：执行所述派工操作还包括利用修饰单元隐藏运算过程中产生的中间数据。

7.根据权利要求1所述的派工管理方法，其特征在于：所述派工管理方法还包括利用监控单元监控所述派工操作的执行情况。

8.根据权利要求7所述的派工管理方法，其特征在于：利用所述监控单元对所述派工操作的执行情况进行监控的方法包括：

利用记录单元获得设备加工在制品后第一派工清单；

利用激活判别单元确定所述第一派工清单内被激活的在制品数/在制品批数；

利用派工评估单元确定所述第一派工清单内存在被激活的在制品时，则利用标准判别单元检查被激活的在制品是否满足派工基准，若满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则获得设备加工在制品前第二派工清单，并利用激活判别单元确定所述第二派工清单内被激活的在制品数/在制品批数，当所述被激活的在制品满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则判定为派工失败；

利用派工评估单元确定所述第一派工清单内不存在被激活的在制品时，则获得设备加工在制品前第二派工清单，若被禁止的在制品数/在制品批数为零，则判定所述派工无效；若被禁止的在制品数/在制品批数不为零，则判定所述派工失败。所述派工无效包括对生产线内非瓶颈设备进行派工操作。所述被禁止的在制品包含不满足至少一个派工标准的在制品。

9.一种半导体制造的派工管理系统，包括：

信息管理单元，用以存储所述设备及在制品的基本信息及扩展信息；

规则管理单元，用以存放并解析对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；

派工处理单元，用以根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对确定设备的在制品进行派工操作，并提供派工清单。

10.根据权利要求9所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元包括扩展单元和重组单元；所述扩展单元用以计算设备及在制品的扩展信息；所述重组单元用以在选取所述基本信息及扩展信息后将所述WIP按顺序排列。

11.根据权利要求10所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元还包括过滤单元，所述过滤单元用以保留能在当前设备上运行的WIP。

12.根据权利要求11所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元还包括分组单元，所述分组单元用以将所述WIP分为真值组和假值组。

13.根据权利要求12所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元还包括批处理单元，所述批处理单元用以对瓶颈设备前的WIP进行批处理。

14.根据权利要求13所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工处理单元还包括利修饰单元，所述修饰单元用以隐藏运算过程中产生的中间数据。

15.根据权利要求9所述的派工管理系统，其特征在于：所述派工管理系统还包括监控单元。

16.根据权利要求15所述的派工管理系统，其特征在于：所述监控单元包括：

记录单元，用以获得设备加工在制品的派工清单，包括第一派工清单及第二派工清单；

激活判别单元，用以确定所述派工清单内的在制品处于被激活态或非激活态；

标准判别单元，用以确定派工清单内处于被激活态的在制品满足或不满足派工标准；

派工评估单元，根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，且满足派工标准，判定为派工成功；根据所述第一派工清单，确定派工清单内存在被激活的在制品，但不满足派工标准时，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品满足派工标准时，则判定为派工成功；根据所述第二派工清单，所述被激活的在制品不满足派工标准时，则判定为派工失败；若派工清单内不存在被激活的在制品，则获得设备加工在制品前第二派工清单；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数为零时，则判定所述派工无效；根据第二派工清单，确定被禁止的在制品数不为零时，则判定所述派工失败。

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