CN103413771B - 晶圆可接受测试机台的派工方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种晶圆可接受测试机台的派工方法，包括如下步骤：步骤1，设定派工规则；步骤2，对在在线监控测试区域的产品归类排序、检查计算，由派工系统派工，得到初级产品；步骤3，由传送系统将初级产品传送至最终出货测试区域，二次归类排序、二次检查计算，由派工系统二次派工。本发明设定派工规则，分别定义各类别产品在Inline？WAT区域和Final？WAT区域的排序，并按照派工规则对WAT机台派工，通过检查计算，每次安排一批产品进行测试，及时高效地完成WAT区域的测试过程；实现了WAT机台无人操作的自动化派工生产，最大限度的发挥了WAT区域的WAT机台的产能。

Description

晶圆可接受测试机台的派工方法

技术领域

本发明涉及半导体生产自动化控制技术领域，尤其涉及一种晶圆可接受测试机台的派工方法。

背景技术

在目前半导体代工生产中，自动化设备已经非常的普遍，生产工艺设备已经能够进行自动传片，制程加工，数据记录，自动判断生产晶片是否符合制程等自动化生产。但是对于代工生产中，由于产品类型复杂多样，技术工艺各不相同，所以需要对安排上机台的产品的生产次序进行安排，目前行业里主要的方式是通过操作人员根据数据统计的方式来安排生产。

在Fab（工厂）生产区域中的晶圆可接受测试（WaferAcceptanceTest，简称WAT）区域，主要对晶圆进行一系列的工艺稳定性监控，产品设计规则测试，此项测试目前主要分为半导体工艺前段的和后段产品出货前的最终测试，即WAT区域包括在线监控测试（InlineWAT）区域和最终出货测试（FinalWAT）区域，由于测试还需要同时使用的一种测试探针卡，所以一般目前半导体制造主要对于此项测试步骤由人工进行派工，费时费力，且容易出错。

中国发明专利（公开号：CN1499570）公开了一种半导体制程派工控制方法以及制造半导体组件的方法，其实施于一电脑及一运送系统，用以决定复数晶圆产品中那一种能送进制造系统，首先由该电脑取得每一种晶圆产品的相对产量及等待时间限制，接着并计算每一晶圆产品的多制程加工需求时间以及每一晶圆产品的总等待时间限制，该电脑并根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定那一种晶圆产品可被送入该制造系统，当一晶圆产品的多制程加工需求时间小于总等待时间限制，批次晶圆可被送入制造系统中处理或者在即定的机台中进一步处理该晶圆产品，再由该运送系统依据该派工结果，将该选定的晶圆产品运送至该制造系统。

中国发明专利申请（公开号：CN101996359A）公开了一种半导体制造过程的派工方法，包括：判断在制品中是否包括最大允许等待时间小于设定值的在制品；若该在制品中包括最大允许等待时间小于设定值的在制品，且制造系统正在运行次要产品或所述在制品中包括触发产品，则首先派工最大允许等待时间小于设定值的在制品，之后派工最大允许等待时间不小于设定值的次要产品，最后派工最大允许等待时间不小于设定值的主要产品。该发明根据设备的运行状况、在制品的最大允许等待时间、等待时间、优先级、片数以及过货时间等因素灵活地实现派工控制，既保证了在制品的品质，又充分利用了光刻设备的产能。

上述两专利均公开了半导体制造过程中的派工方法，但并未涉及到对WAT机台的派工方法，WAT区域是对于晶圆在经过工程师指定的工艺步骤之后，进行指定的一项测试，以确保半导体工艺电性能的稳定，验证半导体设计规则，检查是否存在工艺问题，对于WAT区域的InlineWAT区域和FinalWAT区域需要设计不同的派工；对于InlineWAT区域派工时需要着重考虑在不影响流片速度的情况下，使产品批次能够按照生产目标的需要的先后次序安排测试，并且需要考虑WAT区域的测试对于工艺设计改进提高的产品测试，所以在保证产品出货的优先次序的情况下，还要保证工程测试晶圆的派工安排，另外对于FinalWAT区域的派工则需要着重考虑出货的产品的次序安排，按照产品出货的时间，同时也要考虑一些能够提高工艺改善的产品的安排。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种晶圆可接受测试机台的派工方法，通过设定WAT区域的派工规则，合理有效地对WAT机台进行自动派工，解决上述人工派工带来的费时费力、容易出错的问题。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种晶圆可接受测试机台的派工方法，其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和输出单元的主机、一派工系统以及一传送系统上，其中，晶圆可接受测试机台所在的晶圆可接受测试区域包括在线监控测试区域和最终出货测试区域，其中，包括如下步骤：步骤1，通过设定单元对各类别产品分别设定在线监控测试区域和最终出货测试区域的派工规则；步骤2，对在所述在线监控测试区域的产品按照所述在线监控测试区域的派工规则通过主机进行归类排序、检查计算，由派工系统根据检查计算结果向晶圆可接受测试机台派工，得到所述在线监控测试区域测试后的初级产品；步骤3，由传送系统将所述初级产品传送至所述最终出货测试区域，按照所述最终出货测试区域的派工规则通过主机进行二次归类排序、二次检查计算，由派工系统根据二次检查计算结果向晶圆可接受测试机台二次派工。

上述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其中，在所述步骤2中，具体方法为：步骤201，对在所述在线监控测试区域等待测试的每一批产品进行归类，由输入排序单元接收归类信息后按照所述在线监控测试区域的派工规则进行排序；步骤202，由检查计算单元对所述排序后的产品进行检查计算，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；步骤203，由输出单元向派工系统输出所述在线监控测试区域测试排序，由派工系统按照所述在线监控测试区域测试排序对所述在线监控测试区域内的晶圆可接受测试机台进行自动派工；步骤204，所述在线监控测试区域内的晶圆可接受测试机台对在所述在线监控测试区域等待测试的产品进行测试，得到初级产品。

上述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其中，在步骤202中，由检查计算单元对所述排序后的产品进行检查计算，其方法如下：检查计算所述排序后同类别产品是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的同类别产品按照剩余允许等待时间从小到大排序，检查计算剩余允许等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的剩余允许等待时间排序相同的每个次序产品进行随机排序，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序。

上述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其中，在所述步骤3中，具体方法为：步骤301，由传送系统将所述初级产品传送至最终出货测试区域；步骤302，对在所述最终出货测试区域等待测试的每一批产品进行二次归类，由输入排序单元接收归类信息后按照所述最终出货测试区域的派工规则进行二次排序；步骤303，由检查计算单元对所述二次排序后的产品进行二次检查计算，得到的二次检测计算结果为最终出货测试区域测试排序；步骤304，由输出单元向派工系统输出所述最终出货测试区域测试排序，由派工系统按照所述最终出货测试区域测试排序对所述最终出货测试区域内的晶圆可接受测试机台进行二次自动派工。

上述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其中，在步骤303中，由检查计算单元对所述二次排序后的产品进行二次检查计算，其方法如下：检查计算所述排序后同类别产品是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的同类别产品按照剩余允许等待时间从小到大排序，检查计算剩余允许等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的剩余允许等待时间排序相同的每个次序产品按照出货时间从短到长排序，检测计算出货时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的出货时间排序相同的每个次序产品按照等待时间从长到短排序，检查计算等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的等待时间排序相同的每个次序产品进行随机排序，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序。

上述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其中，在所述步骤1中，所述在线监控测试区域的派工规则包括对各类别产品进行排序，所述各类别产品的先后次序为：允许等待时间限定产品，第一优先级产品，重要测试产品，第二优先级产品，测试超过控制标准产品，一般测试产品，分条件定制条件卡产品。

上述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其中，所述允许等待时间限定产品为设定允许等待时间、且限定实际等待时间不超过允许等待时间的产品，所述分条件定制条件卡产品为在晶圆可接受测试区域内定制多种测试条件进行测试的产品。

上述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其中，在所述步骤1中，所述最终出货测试区域的派工规则包括对各类别产品进行排序，所述各类别产品的先后次序为：允许等待时间限定产品，待出货时间限定产品，第一优先级产品，重要测试产品，第二优先级产品，测试超过控制标准产品第一般测试产品，分条件定制条件卡产品。

上述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其中，所述允许等待时间限定产品为设定允许等待时间、且限定实际等待时间不超过允许等待时间的产品，所述待出货时间限定产品为待出货时间小于三天的产品，所述分条件定制条件卡产品为在晶圆可接受测试区域内定制多种测试条件进行测试的产品。

本发明具有如下优点或者有益效果：

1、设定派工规则，分别定义各类别产品在InlineWAT区域和FinalWAT区域的排序，并按照派工规则对WAT机台派工，通过检查计算，每次安排一批产品进行测试，及时高效地完成WAT区域的测试过程；

2、实现了WAT机台无人操作的自动化派工生产，对于InlineWAT区域使产品批次能够按照生产目标的需要的先后次序安排测试；对于FinalWAT区域除了按照生产目标的需要的先后次序测试，还重点安排出货时间较近的产品测试，最大限度的发挥了WAT区域的WAT机台的产能。

附图说明

图1是本发明实施例中晶圆可接受测试机台的派工方法的流程示意图；

图2是本发明实施例在线监控测试区域中进行检测计算过程的流程示意图；

图3是本发明实施例最终出货测试区域中进行二次检测计算过程的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

作为本发明的一个实施例，本实施例晶圆可接受测试机台的派工方法，其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和输出单元的主机、一派工系统以及一传送系统上，本实施例中产品均指晶圆，其中，晶圆可接受测试机台所在的晶圆可接受测试区域包括在线监控测试区域和最终出货测试区域，如图1所示，包括如下步骤：

步骤1，通过设定单元对各类别产品分别设定在线监控测试区域和最终出货测试区域的派工规则。

其中，在线监控测试区域的派工规则包括对各类别产品进行排序，各类别产品的先后次序为：允许等待时间限定产品，第一优先级产品，重要测试产品，第二优先级产品，测试超过控制标准产品，一般测试产品，分条件定制条件卡产品。其说明如下：

（1）允许等待时间（RemainQueTime，RQT）限定产品，由于制程和产品品质的需要，晶圆在生产过程中在某些制程之后，暴露在Fab环境中的时间需要控制在某一范围内，所以需要设置允许等待时间，不能让晶圆的实际等待时间超过允许等待时间，也就是说，允许等待时间限定产品为设定允许等待时间、且限定实际等待时间不超过允许等待时间的产品，在本实施例中，允许等待时间限定产品在WAT机台的InlineWAT区域的派工规则中次序为第一位。

（2）第一优先级产品（Priority1Lot），Fab生产往往会定义每一批产品的优先级，以保证按时出货，第一优先级产品，即优先级为1的产品，在每一个步骤都必须安排在优先级为2或者3的产品前面，并且生产中大都有规定的等待时间限定，在本实施例中，第一优先级产品在WAT机台的InlineWAT区域的派工规则中次序为第二位。

（3）重要测试产品（CriticalLot），即WAT工程师因需要进行一些重要的工艺测试验证的产品，在本实施例中，重要测试产品在WAT机台的InlineWAT区域的派工规则中次序为第三位。

（4）第二优先级产品（Priority2Lot），即优先级为2的产品，在生产中大都允许等待时间限定比优先等级为1的产品长，在本实施例中，第二优先级产品在WAT机台的InlineWAT区域的派工规则中次序为第四位。

（5）测试超过控制标准产品（OCAPLot，OCAP：OutofControlAction），是在WAT区域测试未通过后，WAT工程师对应进行工程处理的流程，一般指货已经测试完成但是没有同产品参数标准，在WAT工程师检查确定重新测试或者修改测试条件后再次测试，来进一步确定问题，在本实施例中，测试超过控制标准产品在WAT机台的InlineWAT区域的派工规则中次序为第五位。

（6）一般测试产品（TestLot），WAT工程师因需要进行一些一般的工艺测试验证的产品，在本实施例中，一般测试产品在WAT机台的InlineWAT区域的派工规则中次序为第六位。

（7）分条件定制条件卡（SplitRunCard）产品，一般是其他区域的工程师因实验或者工艺问题确定而申请在WAT区域进行一些定制的测试，往往一个批次的产品会分成几种测试条件测试，测试时间也比较长，在本实施例中，分条件定制条件卡产品在WAT机台的InlineWAT区域的派工规则中次序为第七位。

当然，上述在线监控测试区域对各类别产品进行排序派工规则的次序排位并不是一定的，有时，需要测试的产品类别可能不足七种，那么依旧按照上述排序的先后次序排位，没有的类别忽略不计，比如现有三个类别的产品：允许等待时间限定产品，第一优先级产品，一般测试产品，那么他们的排序就是第一位为允许等待时间限定产品，第二位为第一优先级产品，第三位为一般测试产品。

接下来，最终出货测试区域的派工规则包括对各类别产品进行排序，各类别产品的先后次序为：允许等待时间限定产品，待出货时间限定产品，第一优先级产品，重要测试产品，第二优先级产品，测试超过控制标准产品，一般测试产品，分条件定制条件卡产品。其说明如下：

（1）允许等待时间（RemainQueTime，RQT）限定产品，由于制程和产品品质的需要，晶圆在生产过程中在某些制程之后，暴露在Fab环境中的时间需要控制在某一范围内，所以需要设置允许等待时间，不能让晶圆的实际等待时间超过允许等待时间，也就是说，允许等待时间限定产品为设定允许等待时间、且限定实际等待时间不超过允许等待时间的产品，在本实施例中，允许等待时间限定产品在WAT机台的FinalWAT区域的派工规则中次序为第一位。

（2）待出货时间限定产品（ShipLot），为待出货时间小于三天的产品，在本实施例中，待出货时间限定产品在WAT机台的FinalWAT区域的派工规则中次序为第二位。

（3）第一优先级产品（Priority1Lot），Fab生产往往会定义每一批产品的优先级，以保证按时出货，第一优先级产品，即优先级为1的产品，在每一个步骤都必须安排在优先级为2或者3的产品前面，并且生产中大都有规定的等待时间限定，在本实施例中，第一优先级产品在WAT机台的FinalWAT区域的派工规则中次序为第三位。

（4）重要测试产品（CriticalLot），即WAT工程师因需要进行一些重要的工艺测试验证的产品，在本实施例中，重要测试产品在WAT机台的FinalWAT区域的派工规则中次序为第四位。

（5）第二优先级产品（Priority2Lot），即优先级为2的产品，在生产中大都允许等待时间限定比优先等级为1的产品长，在本实施例中，第二优先级产品在WAT机台的FinalWAT区域的派工规则中次序为第五位。

（6）测试超过控制标准产品（OCAPLot，OCAP：OutofControlAction），是在WAT区域测试未通过后，WAT工程师对应进行工程处理的流程，一般指货已经测试完成但是没有同产品参数标准，在WAT工程师检查确定重新测试或者修改测试条件后再次测试，来进一步确定问题，在本实施例中，测试超过控制标准产品在WAT机台的FinalWAT区域的派工规则中次序为第六位。

（7）一般测试产品（TestLot），WAT工程师因需要进行一些一般的工艺测试验证的产品，在本实施例中，一般测试产品在WAT机台的FinalWAT区域的派工规则中次序为第七位。

（8）分条件定制条件卡（SplitRunCard）产品，一般是其他区域的工程师因实验或者工艺问题确定而申请在WAT区域进行一些定制的测试，往往一个批次的产品会分成几种测试条件测试，测试时间也比较长，在本实施例中，分条件定制条件卡产品在WAT机台的FinalWAT区域的派工规则中次序为第八位。

当然，上述在最终出货测试区域对各类别产品进行排序派工规则的次序排位并不是一定的，有时，需要测试的产品类别可能不足八种，那么依旧按照上述排序的先后次序排位，没有的类别忽略不计，比如现有四个类别的产品：允许等待时间限定产品，待出货时间限定产品，第二优先级产品，一般测试产品，那么他们的排序就是第一位为允许等待时间限定产品，第二位为待出货时间限定产品，第三位为第一优先级产品，第四位为一般测试产品。

步骤2，对在在线监控测试区域的产品按照在线监控测试区域的派工规则通过主机进行归类排序、检查计算，由派工系统根据检查计算结果向晶圆可接受测试机台派工，得到在线监控测试区域测试后的初级产品。

其中，在步骤2中，具体方法为：

步骤201，对在在线监控测试区域等待测试的每一批产品进行归类，由输入排序单元接收归类信息后按照在线监控测试区域的派工规则进行排序。

步骤202，由检查计算单元对排序后的产品进行检查计算，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序。

步骤203，由输出单元向派工系统输出在线监控测试区域测试排序，由派工系统按照在线监控测试区域测试排序对在线监控测试区域内的晶圆可接受测试机台进行自动派工。

步骤204，在线监控测试区域内的晶圆可接受测试机台对在在线监控测试区域等待测试的产品进行测试，得到初级产品。

在步骤202中，由检查计算单元对排序后的产品进行检查计算，参见图2，其方法如下：检查计算排序后同类别产品是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的同类别产品按照剩余允许等待时间从小到大排序，检查计算剩余允许等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的剩余允许等待时间排序相同的每个次序产品进行随机排序，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序。

也就是说，检查计算过程中，总是优先安排一批产品进行InlineWAT区域测试，也就是先按照派工规则中各类别的先后次序测试，如果同类别中不只一批产品，那么就优先安排剩余允许等待时间小的一批产品，如果剩余允许等待时间一样小的也不只一批产品，那么就随机排序，优先安排随机排序后次序在前的一批产品进行InlineWAT区域测试。

步骤3，由传送系统将初级产品传送至最终出货测试区域，按照最终出货测试区域的派工规则通过主机进行二次归类排序、二次检查计算，由派工系统根据二次检查计算结果向晶圆可接受测试机台二次派工。

其中，在步骤3中，具体方法为：

步骤301，由传送系统将初级产品传送至最终出货测试区域。

步骤302，对在最终出货测试区域等待测试的每一批产品进行二次归类，由输入排序单元接收归类信息后按照最终出货测试区域的派工规则进行二次排序。

步骤303，由检查计算单元对二次排序后的产品进行二次检查计算，得到的二次检测计算结果为最终出货测试区域测试排序。

步骤304，由输出单元向派工系统输出最终出货测试区域测试排序，由派工系统按照最终出货测试区域测试排序对最终出货测试区域内的晶圆可接受测试机台进行二次自动派工。

在步骤303中，由检查计算单元对二次排序后的产品进行二次检查计算，参见图3，其方法如下：检查计算排序后同类别产品是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的同类别产品按照剩余允许等待时间从小到大排序，检查计算剩余允许等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的剩余允许等待时间排序相同的每个次序产品按照出货时间从短到长排序，检测计算出货时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的出货时间排序相同的每个次序产品按照等待时间从长到短排序，检查计算等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；将上述多于一批产品的等待时间排序相同的每个次序产品进行随机排序，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序。

也就是说，二次检查计算过程中，总是优先安排一批产品进行FinalWAT区域测试，也就是先按照派工规则中各类别的先后次序测试，如果同类别中不只一批产品，那么就优先安排剩余允许等待时间小的一批产品，如果剩余允许等待时间一样小的也不只一批产品，那么就优先安排出货时间短的一批产品，如果出货时间一样短的也不只一批产品，那么就优先安排等待时间长的一批产品，如果等待时间一样长的也不只一批产品，那么就随机排序，优先安排随机排序后次序在前的一批产品进行FinalWAT区域测试。

本实施例设定了派工规则，分别定义各类别产品在InlineWAT区域和FinalWAT区域的排序，并按照派工规则对WAT机台派工，通过检查计算，每次安排一批产品进行测试，及时高效地完成WAT区域的测试过程；实现了WAT机台无人操作的自动化派工生产，对于InlineWAT区域使产品批次能够按照生产目标的需要的先后次序安排测试；对于FinalWAT区域除了按照生产目标的需要的先后次序测试，还重点安排出货时间较近的产品测试，最大限度的发挥了WAT区域的WAT机台的产能。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (7)

1.一种晶圆可接受测试机台的派工方法，其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和输出单元的主机、一派工系统以及一传送系统上，其中，晶圆可接受测试机台所在的晶圆可接受测试区域包括在线监控测试区域和最终出货测试区域，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，通过设定单元对各类别产品分别设定在线监控测试区域和最终出货测试区域的派工规则；

步骤2，对在所述在线监控测试区域的产品按照所述在线监控测试区域的派工规则通过主机进行归类排序、检查计算，由派工系统根据检查计算结果向晶圆可接受测试机台派工，得到所述在线监控测试区域测试后的初级产品；

其中在所述步骤2中，具体方法为：

步骤201，对在所述在线监控测试区域等待测试的每一批产品进行归类，由输入排序单元接收归类信息后按照所述在线监控测试区域的派工规则进行排序；

步骤202，由检查计算单元对所述排序后的产品进行检查计算，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；

步骤203，由输出单元向派工系统输出所述在线监控测试区域测试排序，由派工系统按照所述在线监控测试区域测试排序对所述在线监控测试区域内的晶圆可接受测试机台进行自动派工；

步骤204，所述在线监控测试区域内的晶圆可接受测试机台对在所述在线监控测试区域等待测试的产品进行测试，得到初级产品；

步骤3，由传送系统将所述初级产品传送至所述最终出货测试区域，按照所述最终出货测试区域的派工规则通过主机进行二次归类排序、二次检查计算，由派工系统根据二次检查计算结果向晶圆可接受测试机台二次派工；

其中在所述步骤3中，具体方法为：

步骤301，由传送系统将所述初级产品传送至最终出货测试区域；

步骤302，对在所述最终出货测试区域等待测试的每一批产品进行二次归类，由输入排序单元接收归类信息后按照所述最终出货测试区域的派工规则进行二次排序；

步骤303，由检查计算单元对所述二次排序后的产品进行二次检查计算，得到的二次检测计算结果为最终出货测试区域测试排序；

步骤304，由输出单元向派工系统输出所述最终出货测试区域测试排序，由派工系统按照所述最终出货测试区域测试排序对所述最终出货测试区域内的晶圆可接受测试机台进行二次自动派工。

2.根据权利要求1所述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其特征在于，在所述步骤202中，由检查计算单元对所述排序后的产品进行检查计算，其方法如下：

检查计算所述排序后同类别产品是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；

将上述多于一批产品的同类别产品按照剩余允许等待时间从小到大排序，检查计算剩余允许等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；

将上述多于一批产品的剩余允许等待时间排序相同的每个次序产品进行随机排序，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序。

3.根据权利要求1所述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其特征在于，在所述步骤303中，由检查计算单元对所述二次排序后的产品进行二次检查计算，其方法如下：

检查计算所述排序后同类别产品是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；

将上述多于一批产品的同类别产品按照剩余允许等待时间从小到大排序，检查计算剩余允许等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；

将上述多于一批产品的剩余允许等待时间排序相同的每个次序产品按照出货时间从短到长排序，检测计算出货时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；

将上述多于一批产品的出货时间排序相同的每个次序产品按照等待时间从长到短排序，检查计算等待时间排序中每个次序是否只有一批产品，若是，则得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序；若否，则进行下一步；

将上述多于一批产品的等待时间排序相同的每个次序产品进行随机排序，得到的检测计算结果为在线监控测试区域测试排序。

4.根据权利要求1所述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其特征在于，在所述步骤1中，所述在线监控测试区域的派工规则包括对各类别产品进行排序，所述各类别产品的先后次序为：允许等待时间限定产品，第一优先级产品，重要测试产品，第二优先级产品，测试超过控制标准产品，一般测试产品，分条件定制条件卡产品。

5.根据权利要求4所述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其特征在于，所述允许等待时间限定产品为设定允许等待时间、且限定实际等待时间不超过允许等待时间的产品，所述分条件定制条件卡产品为在晶圆可接受测试区域内定制多种测试条件进行测试的产品。

6.根据权利要求1所述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其特征在于，在所述步骤1中，所述最终出货测试区域的派工规则包括对各类别产品进行排序，所述各类别产品的先后次序为：允许等待时间限定产品，待出货时间限定产品，第一优先级产品，重要测试产品，第二优先级产品，测试超过控制标准产品，一般测试产品，分条件定制条件卡产品。

7.根据权利要求6所述的晶圆可接受测试机台的派工方法，其特征在于，所述允许等待时间限定产品为设定允许等待时间、且限定实际等待时间不超过允许等待时间的产品，所述待出货时间限定产品为待出货时间小于三天的产品，所述分条件定制条件卡产品为在晶圆可接受测试区域内定制多种测试条件进行测试的产品。