CN103345666B - Ye区域扫描机台的派工方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种YE区域扫描机台的派工方法，其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和显示输出单元的主机以及一派工系统，其中，包括如下步骤：设定派工规则；归类，扫描排序；检查计算，以得到最终扫描排序；显示并输出最终扫描排序，自动派工。本发明具有如下优点或者有益效果：1、设定派工规则，保证及时将工厂优先出货和机台有问题的验证货品及时安排扫描；2、实现了YE区域扫描机台无人操作的自动化派工；3、通过检查计算单元的检测计算过程，保证了不会因为多个批次货品同时派工一个扫描机台引起堆货而导致货品自动跳过YE区域扫描机台的扫描站点。

Description

YE区域扫描机台的派工方法

技术领域

本发明涉及半导体生产自动化控制技术领域，尤其涉及一种YE（YieldEnhancement，良率提升）区域扫描机台的派工方法。

背景技术

在目前半导体代工生产中，自动化设备已经非常的普遍，生产工艺设备已经能够进行自动传片，制程加工，数据记录，自动判断生产晶片是否符合制程等自动化生产。但是对于代工生产中，由于产品类型复杂多样，技术工艺各不相同，所以需要对安排上机台的产品的生产次序进行安排，目前行业里主要的方式是通过操作人员根据数据统计的方式来安排生产。

中国发明专利（公开号：CN1499570）公开了一种半导体制程派工控制方法以及制造半导体组件的方法，其实施于一电脑及一运送系统，用以决定复数晶圆产品中那一种能送进制造系统，首先由该电脑取得每一种晶圆产品的相对产量及等待时间限制，接着并计算每一晶圆产品的多制程加工需求时间以及每一晶圆产品的总等待时间限制，该电脑并根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定那一种晶圆产品可被送入该制造系统，当一晶圆产品的多制程加工需求时间小于总等待时间限制，批次晶圆可被送入制造系统中处理或者在即定的机台中进一步处理该晶圆产品，再由该运送系统依据该派工结果，将该选定的晶圆产品运送至该制造系统。

中国发明专利申请（公开号：CN101996359A）公开了一种半导体制造过程的派工方法，包括：判断在制品中是否包括最大允许等待时间小于设定值的在制品；若该在制品中包括最大允许等待时间小于设定值的在制品，且制造系统正在运行次要产品或所述在制品中包括触发产品，则首先派工最大允许等待时间小于设定值的在制品，之后派工最大允许等待时间不小于设定值的次要产品，最后派工最大允许等待时间不小于设定值的主要产品。该发明根据设备的运行状况、在制品的最大允许等待时间、等待时间、优先级、片数以及过货时间等因素灵活地实现派工控制，既保证了在制品的品质，又充分利用了光刻设备的产能。

上述两专利均公开了半导体制造过程中的派工方法，但并未涉及到YE区域扫描机台的派工方法，在生产区域中YE区域的扫描机台主要担负着整个生产区域的制程机台的良率监控，YE区域根据一定的比率监控所有生产制程机台的缺陷状况，YE工程师一般情况下，会通过修改产品抽样率来控制待扫描的产品，并且需要超过扫描机台的产能，达到尽可能高的扫描机台利用率；在所有等待扫描监控的产品中还分为很多问题类型，如：制程机台监控的抽样产品；发现问题机台有产品缺陷的产品加片扫描；需要重点监控机台的来货扫描；整个生产区域需要优先优先出货的产品；机台保养后，第一批的确认产品；工程师做试验的晶片扫描等等；以上种种类型尽管都需要进行扫描，但由于YE区域扫描机台的扫描能力有限，所以目前是由YE工程师负责来选择重要程度较高的产品来扫描，这样往往会遗漏存在缺陷的产品，无法及时查出生产缺陷产品的机台存在的问题。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种YE区域扫描机台的派工方法，通过设定YE区域扫描机台的派工规则，保证生产过程正常有序，达到优先生产的产品能够及时的通过YE区域，有异常需要处理并澄清问题的产品或机台能够及时的得到扫描的结果。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种YE区域扫描机台的派工方法，其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和显示输出单元的主机以及一派工系统上，其中，包括如下步骤：步骤1，由设定单元设定派工规则，对不同类别货品的排序进行定义；步骤2，对在YE区域等待扫描的每一批次货品进行归类，由输入排序单元接收归类信息后按照派工规则进行扫描排序；步骤3，由检查计算单元对扫描排序后的货品进行检查计算，以得到最终扫描排序；步骤4，由显示输出单元显示并向派工系统输出最终扫描排序，由派工系统按照最终扫描排序对相应的YE区域扫描机台进行自动派工。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，在步骤1中，还包括定义每台YE区域扫描机台扫描最适合扫描的货品类别。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，在步骤1中，由设定单元设定派工规则，对不同类别货品的排序进行定义，不同类别货品的先后次序为：允许等待时间限定货品，第一允许等待剩余时间限定货品，关键货品，第一优先级货品，试生产货品，缺陷确认货品，第二优先级货品，关键机台货品，存在缺陷货品，缺陷超过控制标准货品，第二允许等待剩余时间限定货品，YE工程试验货品，一般优先级货品/其他区域工程师试验货品，潜在问题货品以及工程师试验货品/破片流程货品。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，所述允许等待时间限定货品的允许等待时间限定为1小时。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，当所述允许等待时间限定货品的允许等待时间小于1小时时，所述允许等待时间限定货品自动跳过YE区域扫描机台的扫描站点。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，当所述允许等待时间限定货品的允许等待时间不小于1小时时，所述允许等待时间限定货品在YE区域扫描机台的扫描站点等待扫描。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，所述第一允许等待剩余时间限定货品的第一允许等待剩余时间限定为2或3小时。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，所述第二允许等待剩余时间限定货品的第二允许等待剩余时间限定比所述第一允许等待剩余时间限定货品的第一允许等待剩余时间限定长1小时。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，在步骤3中，由检查计算单元对扫描排序后的货品进行检查计算，其方法如下：检查计算扫描排序后是否有同一类别的不同批次货品排序相同，若否，则该扫描排序为最终扫描排序；若是，则进行下一步；将上述排序相同的不同批次货品按照允许等待剩余时间从小到大排序，检查计算是否有允许等待剩余时间排序相同的不同批次货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；将上述允许等待剩余时间排序相同的不同批次货品按照已等待时间从长到短排序，检查计算是否有已等待时间排序相同的不同批次货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；将上述已等待时间排序相同的不同批次货品按照批次内货品数量由多到少排序，检查计算是否有批次内货品数量排序相同的货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；将上述批次内货品数量排序相同的不同批次货品进行随机排序，以得到最终扫描排序。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，所述批次内货品数量由多到少排序按照数量20以上，数量11～20以及数量1～10三个等级进行排序。

上述发明具有如下优点或者有益效果：

1、设定派工规则，定义不同类别货品的排序以及YE区域不同扫描机台最适合扫描的货品类别，将不同类别货品安排在不同扫描机台上进行扫描，保证及时将工厂优先出货和机台有问题的验证货品及时安排扫描；

2、实现了YE区域扫描机台无人操作的自动化派工，最大限度的发挥了YE区域扫描机台的产能，对于有异常需要处理并澄清问题的货品能够及时的得到扫描的结果；

3、通过检查计算单元的检测计算过程，当任一扫描机台需要安排货品时，派工系统将检查计算单元最终检查计算得出的一个批次货品提供给扫描机台，保证了不会因为多个批次货品同时派工一个扫描机台引起堆货而导致货品自动跳过YE区域扫描机台的扫描站点。

具体附图说明

图1是本发明派工方法的结构示意图；

图2是本发明检测计算过程的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

作为本发明的一个实施例，本实施例YE区域扫描机台的派工方法，其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和显示输出单元的主机以及一派工系统上，本实施例中所指货品均为晶片，本实施例包括如下步骤，如图1所示：

步骤1，由设定单元设定派工规则，对不同类别货品的排序进行定义，同时定义每台YE最适合扫描的货品类别；也就是说定义每台YE区域扫描机台扫描能够达到最高扫描效率的货品类别，以及每台YE区域扫描机台针对该最适合扫描货品类别的最佳扫描程序。

其中，不同类别货品的先后次序及其说明如下：

（1）允许等待时间（RemainQueTime，RQT）限定货品，由于制程和晶片品质需要，晶片在生产过程中在某些制程之后，暴露在Fab（工厂）环境中的时间需要控制在某一范围内，所以需要设置允许等待时间，不能让晶片的等待时间超过允许等待时间，一般YE区域扫描机台的扫描站点从开始扫描，包含若出现问题YE工程师需要处理的时间需要1小时左右，所以设置1小时为允许等待时间限定较为合理；当允许等待时间限定货品的允许等待时间小于1小时时，允许等待时间限定货品自动跳过YE区域扫描机台的扫描站点；当允许等待时间限定货品的允许等待时间不小于1小时时，允许等待时间限定货品在YE区域扫描机台的扫描站点等待扫描。

（2）第一允许等待剩余时间（RemainQueTimeLimit1）限定货品，由于YE区域扫描机台的扫描速度有限，所以一般情况下等待扫描的晶片都会超出YE扫描机台扫描产出能力很多，这样就会导致等待晶片的时间不断累加，俗称：堆货；为保证等待扫描的晶片不至于超出允许等待时间，所以设定第一允许等待剩余时间限定货品的第一允许等待剩余时间限定为2或3小时，以尽量减少允许等待时间少于1小时的晶片自动跳过YE区域扫描机台的扫描站点。

（3）关键货品（KeyLot），在生产过程中，发现一些晶片出现异常的缺陷，YE工程师还未找出引发缺陷的原因，需要对这些晶片在生产过程中及时优先监控，以保证及时发现异常的原因，降低更多的损失。

（4）第一优先级货品（Priority1Lot），Fab生产往往会定义每一批次货品的优先级，以保证按时出货，第一优先级货品，即优先级为1的货品，在每一个步骤都必须安排在优先级为2或者3的货品前面，并且生产中大都有规定的等待时间限定，如优先级为1的货品等待时间需要控制在0.5小时以内。

（5）试生产货品（PilotProductionLot），在机台因为有异常修复后或者保养完成后，需要试生产一批或者若干批晶片，来确认YE工程师对机台的处理是否正常，这样若扫描有缺陷就需要YE工程师及时处理，节省机台不正常而导致不能生产的时间。

（6）缺陷确认货品（DefectConfirmLot），对于YE工程师已经发现缺陷原因的晶片进行再次确认；

（7）第二优先级货品（Priority2Lot），即优先级为2的货品，在生产中大都允许等待时间限定比优先等级为1的货品长；

（8）关键机台货品（KeyToolLot），YE区域扫描机台在一定时间范围（如12个小时）或者在生产一定数量范围的货品（如每10批制程机台生产出的货品）后必须有一批扫描的货品的结果，YE工程师会定义一些关键的需要监控的制程机台，以保证持续监控，保证机台产出品质。

（9）存在缺陷货品（DefectIssueLot），YE工程师已经发现货品有缺陷，并通过工程方法来进行处理后，再次确认方法有效性的货品；

（10）缺陷超过控制标准货品（OCAPLot，OCAP：OutofControlAction），是货品发现有缺陷后，YE工程师对应进行工程处理的流程，一般指货品已经扫描完成，并已经发现超过缺陷品质控制标准，在YE工程师检查后需要增加扫描片数或者重新扫描，来进一步确定问题；

（11）第二允许等待剩余时间（RemainQueTimeLimit2）限定货品，第二允许等待剩余时间限定货品的第二允许等待剩余时间限定比第一允许等待剩余时间限定货品的第一允许等待剩余时间限定长1小时，比如4小时，这样进一步减少生产货品等待时间到达第一允许等待剩余时间限定货品的货品；

（12）YE工程试验货品（YEExperimentLot），YE工程师自己的试验生产的货品，一般依照产品优先的原则，所以试验货品优先级较低；

（13）一般优先级货品/其他区域工程师试验货品（General/SRCLot，SRC：SectorRunCard），普通优先级的货品或者其他区域工程师申请特定条件规则来生产的货品，一般也多为工程师试验的货品。

（14）潜在问题货品（PotentialConfirmLot），Fab生产中未发现任何问题，但怀疑会产生异常的货品。

（15）工程师试验货品/破片流程货品（Engineer/BRCLot，BRC：BrokenRunCard），工程师试验的货品或者破片流程的货品，破片流程是指Fab生产过程中有晶片破碎，碎屑掉落到其他晶片上，需要进行一些处理以去除未碎晶片上的碎屑，然后到YE区域扫描机台的扫描站点进行扫描缺陷的货品。

按照上述15项不同类别的货品排序的原因是：第1、2项对于允许等待时间关系到晶片最终的良率甚至是否报废，所以首先需要考虑；第3项是仅次于允许等待时间需要考虑的问题，在发现某批次货品有缺陷，但并未找到引发缺陷的原因时，为能够更早找出原因，不再引起更多的晶片缺陷而报废；第4项，在1、2、3项保证品质的前提下，考虑对于Fab生产需要最终完成客户的要求，所以重点的货就是客户需求较急的货，而优先级为1的货品即是需要较急的货；第5项试生产的货品涉及到一旦扫描得到结果若正常，可以让机台尽早开始生产或者YE工程师及时处理，从而节约Fab的产能；第6～10项都是一些个别出现问题的项目，但也属于Fab日常出现的问题，与1～5项相对来说只是些怀疑有缺陷或者说已经有了初步结论的货品，但不会直接影响品质；第11～15项是已经确定问题，包括工程师做试验的，一般情况下，工程师试验的货品不会优先于生产的货品，若确实紧急的试验需要等待结果可以通过提高优先级或者将该货品归类添加到第3项关键货品，来尽快进行扫描以得到扫描结果。

本实施例的步骤1设定派工规则，定义不同类别货品的排序以及YE区域不同扫描机台最适合扫描的货品类别，将不同类别货品安排在不同扫描机台上进行扫描，保证及时将工厂优先出货和机台有问题的验证货品及时安排扫描。

步骤2，对在YE区域等待扫描的每一批次货品进行归类，由输入排序单元接收归类信息后按照派工规则进行扫描排序；归类信息中还包括向输入排序单元输入一些不同类别货品的相关信息，之后才能正常运行，下面对需要输入相关信息的部分加以说明：

（1）允许等待时间货品：由制程控制部门设定设定允许等待时间。

（2）第一允许等待剩余时间限定货品：由制程控制部门设定允许等待时间，由主机的设定单元设定允许剩余时间的限定，这样当派工发现货品的允许等待剩余时间在此限定后即可进行相应操作。

（3）关键货品：发现有缺陷但未找到发生缺陷原因的货，由工程师定义货品的批号。

（4）第一优先级货品，由生产计划部门定义优先级。

（5）试生产货品，在得到各个机台负责部门通知后，由主机的设定单元定义货的批号。

（6）缺陷确认货品，由工程师定义货品的批号。

（7）第二优先级货品，由生产计划部门定义优先级。

（8）关键机台货品，由主机的设定单元定义货品的批号。

（9）存在缺陷货品，由主机的设定单元定义货品的批号。

（10）缺陷超过控制标准货品，自动扫描后超过缺陷控制标准，根据OCAP的工程操作流程，由主机的设定单元定义增加扫描的晶片。

（11）第二允许等待剩余时间限定货品，由制程控制部门添加允许等待时间，由主机的设定单元设定允许剩余时间的限定。

（12）YE工程试验货品，由工程师定义货品的批号。

（13）一般优先级货品/其他区域工程师试验货品，一般普通生产信息，无需添加任何信息。

（14）潜在问题货品，由工程师定义货品的批号。

（15）破片流程货品，由工程师定义货品的批号。

本实施例的步骤2根据步骤1中的派工规则进行不同批次货品扫描排序，方便快捷高效，避免出现扫描机台运能不足的问题。

步骤3，由检查计算单元对扫描排序后的货品进行检查计算，以得到最终扫描排序，参见图2，其方法如下：检查计算扫描排序后是否有同一类别的不同批次货品排序相同，若否，则该扫描排序为最终扫描排序；若是，则进行下一步；将上述排序相同的不同批次货品按照允许等待剩余时间从小到大排序，检查计算是否有允许等待剩余时间排序相同的不同批次货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；将上述允许等待剩余时间排序相同的不同批次货品按照已等待时间从长到短排序，检查计算是否有已等待时间排序相同的不同批次货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；将上述已等待时间排序相同的不同批次货品按照批次内货品数量由多到少排序，检查计算是否有批次内货品数量排序相同的货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；将上述批次内货品数量排序相同的不同批次货品进行随机排序，以得到最终扫描排序。

批次内货品数量由多到少排序按照数量20以上，数量11～20以及数量1～10三个等级进行排序，例如，晶片的数量按照20片以上，11～20片以及1～10片三个等级进行排序，优先安排数量多的一批次晶片进行扫描排序。

本实施例的步骤3，通过检查计算单元的检测计算过程，当任一扫描机台需要安排货品时，派工系统将检查计算单元最终检查计算得出的一个批次货品提供给扫描机台，保证了不会因为多个批次货品同时派工一个扫描机台引起堆货而导致货品自动跳过YE区域扫描机台的扫描站点。

步骤4，由显示输出单元显示并向派工系统输出最终扫描排序，由派工系统按照最终扫描排序对相应的YE区域扫描机台进行自动派工。

本实施例的步骤4，实现了YE区域扫描机台无人操作的自动化派工，最大限度的发挥了YE区域扫描机台的产能，对于有异常需要处理并澄清问题的货品能够及时的得到扫描的结果。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (9)

1.一种YE区域扫描机台的派工方法，其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和显示输出单元的主机以及一派工系统上，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，由设定单元设定派工规则，对不同类别货品的排序进行定义，由设定单元设定派工规则包括对不同类别货品的排序进行定义，不同类别货品的先后次序为：允许等待时间限定货品，第一允许等待剩余时间限定货品，关键货品，第一优先级货品，试生产货品，缺陷确认货品，第二优先级货品，关键机台货品，存在缺陷货品，缺陷超过控制标准货品，第二允许等待剩余时间限定货品，YE工程试验货品，一般优先级货品/其他区域工程师试验货品，潜在问题货品以及工程师试验货品/破片流程货品；

步骤2，对在YE区域等待扫描的每一批次货品进行归类，由输入排序单元接收归类信息后按照派工规则进行扫描排序；

步骤3，由检查计算单元对扫描排序后的货品进行检查计算，以得到最终扫描排序；

步骤4，由显示输出单元显示并向派工系统输出最终扫描排序，由派工系统按照最终扫描排序对相应的YE区域扫描机台进行自动派工。

2.根据权利要求1所述的YE区域扫描机台的派工方法，其特征在于，在步骤1中，还包括定义每台YE区域扫描机台扫描最适合扫描的货品类别。

3.根据权利要求1所述的YE区域扫描机台的派工方法，其特征在于，所述允许等待时间限定货品的允许等待时间限定为1小时。

4.根据权利要求3所述的YE区域扫描机台的派工方法，其特征在于，当所述允许等待时间限定货品的允许等待时间小于1小时时，所述允许等待时间限定货品自动跳过YE区域扫描机台的扫描站点。

5.根据权利要求3所述的YE区域扫描机台的派工方法，其特征在于，当所述允许等待时间限定货品的允许等待时间不小于1小时时，所述允许等待时间限定货品在YE区域扫描机台的扫描站点等待扫描。

6.根据权利要求1所述的YE区域扫描机台的派工方法，其特征在于，所述第一允许等待剩余时间限定货品的第一允许等待剩余时间限定为2或3小时。

7.根据权利要求6所述的YE区域扫描机台的派工方法，其特征在于，所述第二允许等待剩余时间限定货品的第二允许等待剩余时间限定比所述第一允许等待剩余时间限定货品的第一允许等待剩余时间限定长1小时。

8.根据权利要求1所述的YE区域扫描机台的派工方法，其特征在于，在步骤3中，由检查计算单元对扫描排序后的货品进行检查计算，其方法如下：

检查计算扫描排序后是否有同一类别的不同批次货品排序相同，若否，则该扫描排序为最终扫描排序；若是，则进行下一步；

将上述排序相同的不同批次货品按照允许等待剩余时间从小到大排序，检查计算是否有允许等待剩余时间排序相同的不同批次货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；

将上述允许等待剩余时间排序相同的不同批次货品按照已等待时间从长到短排序，检查计算是否有已等待时间排序相同的不同批次货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；

将上述已等待时间排序相同的不同批次货品按照批次内货品数量由多到少排序，检查计算是否有批次内货品数量排序相同的货品，若否，则得到最终扫描排序；若是，则进行下一步；

将上述批次内货品数量排序相同的不同批次货品进行随机排序，以得到最终扫描排序。

9.根据权利要求8所述的YE区域扫描机台的派工方法，其特征在于，所述批次内货品数量由多到少排序按照数量大于20，数量11～20以及数量1～10三个等级进行排序。