CN105204377A - 一种改进产品标准的方法 - Google Patents

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沈晓栋
邵雄
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Abstract

一种改进产品标准的方法，晶圆在进入扫描机台区域时，由自动派工系统安排扫扫描机台上，进行常规的扫描，到扫描结果超过了控制标准后，会触发一个超规格操作流程，判断下一步的处理操作，由良率工程师根据实际情况进行判断下一步的操作，由电脑来执行工程师的要求，来完成超规格晶圆的操作流程。在自动生产机台的帮助下，可以减少繁琐的工程师手工工作，工程师只需要根据操作系统的步骤指导下对每一次扫描的结果进行判断即可，这样减少工程师手动操作时可能存在的错误隐患，或者工程师记错批号和缺陷导致一些有缺陷的产品放行的问题，操作方便，非常的实用。

Description

一种改进产品标准的方法
技术领域
本发明涉及半导体生产自动化控制领域，尤其涉及一种改进产品标准的方法。
背景技术
在目前半导体代工生产中，良率工程师主要对于产线产品扫描分析产品缺陷的来源和发生原因，但对于通常半导体生产操作中主要都是半自动操作，即为人工操作进行扫描，扫描到缺陷超标后由人工进行检查或者使用人工检查的方式进行操作，这样对于自动化运作来说，仍然需要工程师进行判断及在机台端检查才能保证每一个扫描超标的问题没有被遗漏。
全自动化生产中会使用到自动扫描机台以及自动晶片缺陷匹配确定缺陷类型的机台，所以需要有一定规则来判断和处理其中一些有问题的晶圆，并且将存在工程异常的晶圆通知相应的良率工程师处理，对于没有问题晶圆放行至下一流程。
中国专利(CN102890089A)记载了一种晶圆缺陷扫描方法，包括：统计得出流水线上某一站点的各个晶圆上的各个位置出现频率最高的单元像素以后赋予虚拟晶圆上的对应位置得到虚拟完美晶圆并保存所述虚拟完美晶圆；将保存的虚拟完美晶圆与所述流水线上某一站点的晶圆做对比，检测晶圆层面的缺陷。
中国专利(CN103531498A)记载了一种晶圆缺陷分析系统，包括：晶圆缺陷扫描库，用于存储设定时间内的晶圆扫描机台扫描的晶圆的缺陷扫描图，缺陷位置获取单元用于对所述位置信息进行排序，缺陷位置匹配单元用于对一个晶圆的缺陷扫描图中的一个缺陷的位置信息与另一个晶圆的缺陷扫描图的一个缺陷的位置信息进行匹配，并标记匹配组；缺陷组分析单元用获得缺陷组的位置信息；缺陷组关联性分析单元，用于对两个晶圆之间的缺陷组的位置信息进行关联性分析，缺陷标记单元用于将存在关联性的缺陷在缺陷扫描图中高亮显示。
上述两个专利均未记载有关良率扫描机台根据出现的缺陷进行判断并调整的技术特征。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供一种改进产品标准的方法。
本发明解决技术问题所采用的技术方案为：
一种改进产品标准的方法，应用于晶圆缺陷扫描，其中，该方法包括以下步骤：
步骤S1，对晶圆进行缺陷扫描，若所述晶圆没有超出标准，则放行进行下一步操作，若所述晶圆缺陷扫描超出设定规格，则操作系统报警，进行步骤S2；
步骤S2，良率工程师通过数据分析软件对报警的晶圆进行初步判断并选择进行重新测量或者增加晶圆扫描片数和微观检查；
步骤S3，根据步骤S2操作结果由良率工程师判断所述操作系统报警原因，并根据所述报警原因进行调整出现的缺陷。
上述的方法，其中，所述步骤S2中的重新测量即是重复一次相同的派工扫描。
上述的方法，其中，所述步骤S2中的增加晶圆扫描片数即增加扫描一批产品的某些单序号或双序号数的晶圆。
上述的方法，其中，所述步骤S2中的微观检查为使用另一种机台进行微观检测，得到并放大晶圆缺陷位置。
上述的方法，其中，所述步骤S2中确定进行增加晶圆扫描片数和微观检查操作后，良率工程师根据初步的缺陷判断，调整扫描程式、扫描机台和扫描晶圆。
上述的方法，其中，扫描机台具备有标准规格控制软件。
上述的方法，其中，所述操作系统为自动生产物料运输系统。
上述的方法，其中，所述自动物料运输系统包括：自动调用产品机台，自动扫描机台，自动目检机台。
上述技术方案具有如下优点或有益效果：
通过上述方法，在自动生产机台的帮助下，可以减少繁琐的工程师手工工作，工程师只需要根据操作系统的步骤指导下对每一次扫描的结果进行判断即可，这样减少工程师手动操作时可能存在的错误隐患，或者工程师记错批号和缺陷导致一些有缺陷的产品放行的问题，操作方便，非常的使用。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
图1是超规格操作流程示意图。
具体实施方式
本发明提供一种改进产品标准的方法，可应用于半导体生产自动化控制领域，优选的可应用于大于等于130nm、90nm、65/55nm、45/40nm、32/28nm和小于等于22nm等技术节点的工艺中，并运用于YEOCAPDispatchFlow等技术平台和YE的技术模组中，当使用该方法后，能够通过自动生产机台的帮助可以减少工程师繁琐的手工工作，以及在手动操作时产生的误操作。
本发明的核心思想是先通过良率扫描机台对晶圆扫描，当扫描结果显示超出预设规格后，良率工程师根据显示的问题进行相关的操作来消除缺陷，提高产品的良率。
晶圆在进入扫描机台区域时，由自动派工系统安排扫扫描机台上，进行常规的扫描，到扫描结果超过了控制标准后，会触发一个超规格操作流程，判断下一步的处理操作，由良率工程师根据实际情况进行判断下一步的操作，由电脑来执行工程师的要求，来完成超规格晶圆的操作流程。
如图1所示，本发明是一种改进产品标准的方法，应用于晶圆缺陷的扫描，首先对警员进行扫描，当晶圆缺陷扫描超出设定的规格后，自动生产都会有自动派工功能的系统，来安排产品的生产操作，将超规格操作流程定义到自动派工系统中，其中，晶圆因扫描超规格系统将相关缺陷信息通过其他分析缺陷的软件提交到良率工程师进行初步判断，产品必须是区别于其他没有超规格的产品的状态下才被扣留，良率工程师通过数据分析软件的帮助，得到一个初步判断的结果，并得到一下几个操作方案：
1、重新测量：一般情况下扫描机台是由预先设定的通过影响的方式来寻找缺陷的，可能存在影响不清晰，或者存在一定的误差，所以当工程师发现无法判断时需要重新测量；
2、增加晶圆扫描片数：因扫描的缺陷会与一些机台产生的缺陷又相关性，所以工程师会选择增加扫描片数，来验证自己的判断是否正确，比如：有些缺陷会与机台生产时单数晶圆由相关性，所以工程师就会增加扫描一批产品的某些单序号数的晶圆；
3、微观检查：产品缺陷影像清晰，也基本确定缺陷的机台来源，但还有其他具体缺陷情况需要进一步了解，所以需要使用到另一种自动机台进行微观检测，将缺陷位置的图片进一步放大来检查机台。
通过上述3中操作，基本已经定义了所有扫描到超规格晶圆的初步处理，然后由计算机系统根据工程师选择解决方案进行操作：重新测量，增加晶圆扫描片数和微观检查，其中，良率工程师根据初步的扫描结果和缺陷判断，对机台上的扫描程式进行修改，使用更加适合扫描的程式，以达到最好的扫描效果。其次经过初步检查缺陷类型，因不同机台对于扫描的效果也有所不同，一般良率扫描还分为暗场，明场扫描等不同的光学性能，所以工程师可以修改机台组或者指定某一台机台来进行进一步的扫描。当增加晶圆扫描片数和微观检测的设定完成后，工程师可根据实际情况调整扫描晶圆。
其中，该操作系统为一自动生产物料运输系统，该系统中包括有自动调用产品机台，自动扫描机台，自动目检机台等。
通过上述方法，在自动生产机台的帮助下，可以减少繁琐的工程师手工工作，工程师只需要根据操作系统的步骤指导下对每一次扫描的结果进行判断即可，这样减少工程师手动操作时可能存在的错误隐患，或者工程师记错批号和缺陷导致一些有缺陷的产品放行的问题，操作方便，非常的实用。
通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims (8)

1.一种改进产品标准的方法，应用于晶圆缺陷扫描，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤S1，对晶圆进行缺陷扫描，若所述晶圆没有超出标准，则放行进行下一步操作，若所述晶圆缺陷扫描超出设定规格，则操作系统报警，进行步骤S2；
步骤S2，良率工程师通过数据分析软件对报警的晶圆进行初步判断并选择进行重新测量或者增加晶圆扫描片数和微观检查；
步骤S3，根据步骤S2操作结果由良率工程师判断所述操作系统报警原因，并根据所述报警原因进行调整出现的缺陷；
重复步骤S2-S3，直至修复产生的缺陷。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中的重新测量即是重复一次相同的派工扫描。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中的增加晶圆扫描片数即增加扫描一批产品的某些单序号或双序号数的晶圆。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中的微观检查为使用另一种机台进行微观检测，得到并放大晶圆缺陷位置。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S3中确定进行增加晶圆扫描片数和微观检查操作后，良率工程师根据初步的缺陷判断，调整扫描程式、扫描机台和扫描晶圆。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，扫描机台具备有标准规格控制软件。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述操作系统为自动生产物料运输系统。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述自动物料运输系统包括：自动调用产品机台，自动扫描机台，自动目检机台。
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