CN106324900A - 彩色滤光片返工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明是彩色滤光片返工方法,包括如下工艺步骤：1）对于误判不合格产品NG进行分类后再投入黑色矩阵BM制程；2）对不合格产品NG进行返工Rework工序或重新回到主流程下一制程；3）在PS制程和PS修补制程中可以对误判不合格产品NG在返工暂存区FR01B站点人为进行判定后回到主流程下一制程；4)为了防止有时人为疏忽，误判产品不合格产品NG，设定逻辑流程。本发明的优点：1）解决设备误判返工为不合格产品NG自动进入返工Rework工序，无法直接返回主流程的情况；2）通过人为再次判定，可减少不合格产品NG比率，提高产品良率，降低产品生产成本。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种彩色滤光片返工方法，属于彩色滤光片生产技术领域。
背景技术
在彩色滤光片的生产工艺中，黑色矩阵BM、红绿蓝RGB和柱高PS制程及其修补制程，存在一定比率的不合格产品，会进入返工Rework工序，但是在实际生产构成中，由于检查机台的特性，经常会出现设备误判，把合格的产品也判定为不合格产品，这样这些误判不合格产品和不合格产品全部进入返工Rework工序，影响了彩色滤光片产品的良率。
现有技术在黑色矩阵BM、红绿蓝RGB和柱高PS制程及其修补制程之后，被检查设备判定为不合格产品，全部自动进入返工Rework工序，返工Rework设备自动蚀刻剥离使得产品变成白玻璃；这样使得被检查设备误判不合格产品也进入返工Rework工序，降低了成品率，增加了产品的成本。
发明内容
本发明提出的是一种用于彩色滤光片生产工艺中的彩色滤光片返工方法，其目的旨在解决设备误判为不合格产品自动进入返工Rework工序，对于误判不合格产品，增加虚拟站点人为进行判定，将误判的产品改判回到主制程，避免不合格产品；从而提高产品的合格率。
本发明的技术解决方案：彩色滤光片返工方法，包括如下工艺步骤：
1）在彩色滤光片的第一道黑色矩阵BM、红绿蓝RGB和柱高PS制程后不合格产品需要进行返工Rework工序，对于误判不合格产品进行分类后再投入黑色矩阵BM制程；
2）在红绿蓝RGB的制程和红绿蓝RGB修补制程中的不合格产品不但可以进行返工Rework工序，而且可以对误判不合格产品重新回到主流程下一制程；
3）在PS制程和PS修补制程中不合格产品，正常进行返工Rework工序而且可以对误判不合格产品在返工暂存区FR01B站点人为进行判定后回到主流程下一制程；
为了防止有时人为疏忽，误判产品不合格产品NG，设定逻辑流程，允许进入BM返工站点F250R、RGB返工站点F550R、PS返工站点F750R三个返工Rework工序站点的产品在未投入返工Rework之前可以跳站到返工暂存区Rework Bank站点，再复判一次；进一步减少出错的几率。
本发明的优点：
1）解决设备误判返工为不合格产品自动进入返工Rework工序，无法直接返回主流程的情况；
2）通过人为再次判定，可减少不合格产品比率，提高产品良率，降低产品生产成本。
附图说明
图1是BM制程Rework优化后的工艺流程图。
图2是RGB制程Rework优化后的工艺流程图。
图3是PS制程Rework优化后的工艺流程图。
为了描述方便，做以下定义：
F2000 BM制程；
F3000 Red制程；
F4000 Green制程；
F5000 Blue制程；
F6000 ITO制程；
F7000 PS制程；
F8000 最终检查制程；
F8500 Sort分类制程；
F250R BM返工制程；
F550R RGB返工制程；
F750R PS返工制程；
FR01B 返工暂存区。
具体实施方式
彩色滤光片返工方法，包括如下工艺步骤：
1）在彩色滤光片的第一道黑色矩阵BM、红绿蓝RGB和柱高PS制程后不合格产品需要进行返工Rework工序，对于误判不合格产品进行分类后再投入黑色矩阵BM制程；
2）在红绿蓝RGB的制程和红绿蓝RGB修补制程中的不合格产品不但可以进行返工Rework工序，而且可以对误判不合格产品重新回到主流程下一制程；
3）在PS制程和PS修补制程中不合格产品，正常进行返工Rework工序而且可以对误判不合格产品在返工暂存区FR01B站点人为进行判定后回到主流程下一制程；
为了防止有时人为疏忽，误判产品不合格产品NG，设定逻辑流程，允许进入BM返工站点F250R、RGB返工站点F550R、PS返工站点F750R三个返工Rework工序站点的产品在未投入返工Rework之前可以跳站到返工暂存区Rework Bank站点，再复判一次；进一步减少出错的几率。
下面结合附图进一步描述本发明的技术方案：
对照图1， BM制程Rework优化后的工艺流程，包括：
1)在BM和BM Repair制程，被检查设备判定不合格产品，首先进入虚拟站点FR01B等待；
2)全部为不合格产品，则让该类产品进入BM返工F250R站点，进入返工Rework工序；全部为合格产品，则让该类产品进入Red制程F3000站点，进入Red工序；为混合产品，则让该类产品进入分类Sort工序，分类选出合格产品进入Red制程F3000站点，不合格产品NG进入BM返工F250R站点。
对照图2， RGB制程Rework优化后的工艺流程，包括：
1)在RGB和RGB Repair制程，被检查设备判定不合格产品，首先进入虚拟站点等待；
2)全部为不合格产品NG，则让该类产品进入F550R站点，进入Rework工序；全部为合格产品，则让该类产品进入ITO制程F6000站点，进入ITO工序；为混合产品，则让该类产品进入分类Sort工序，分类选出合格产品进入ITO制程F6000站点，不合格产品NG进入Rework制程F550R站点。
对照图3，PS制程Rework优化后的工艺流程，包括：
1)在柱高PS制程和PS Repair制程，被检查设备判定不合格产品，首先进入虚拟站点Wait；
2)全部为不合格产品，则让该类产品进入F750R站点，进入Rework工序；全部为合格产品，则让该类产品进入R制程F8000站点，进入最终检查工序；为混合产品，则让该类产品进入Sort工序，分类选出合格产品进入最终检查制程F8000站点，不合格产品NG进入制程F750R站点；
同时，为了防止有时人为疏忽，误判产品为不合格产品NG，我们设定的逻辑流程中，允许进入F250R、F550R和F750R三个Rework工序站点的产品在未投入返工之前可以跳站到FR01B返工暂存区站点，可以再复判一次。
设备NG PORT口出账的逻辑已做更改，现不会直接进入Rework（F250R、F550R、F750R）站点，一旦NG port口在online模式下出账，NG的Lot账目会进入到Rework的虚拟站点FR01B，在这个站点需要制造部人员对基板再次进行人为确认，对这些NG Lot里的基板进行复判，判定基板的OK和NG等级；判定OK的可以回到原制程的下一站点（例如基板是从F2000判NG进来的，复判OK后经操作会返回到F3000站点），判定NG则会进入Rework站点。
实施例1
基板在Green工序F4000站点检查机台判定NG，人为通过系统复判OK后，基板会返回到F5000站点；
（1）NG port口正常出账的NG 批次信息在系统主界面的批次列表下是查询不到的，需要到批次菜单下的返工基板人为复判界面中查看；
（2）进入返工基板人为复判界面，点击查看按钮，在批次列表中可以看到各站点NGport口正常出账的NG 批次信息。上个制程站点栏位显示的是该卡匣的NG 批次来源站点，返工制程站点栏位是指该批次基板如果真实复判为NG要进入的返工Rework站点，卡匣号一栏显示的是NG批次基板进入的卡匣信息；
（3）进入返工基板人为复判界面的批次信息，需要制造部专门人员进行复判工作，如图所示，假设C6CF0498对应的批次P21569R040里的2枚基板全部复判为OK产品，进行如下操作：
1）点击批次列表下C6CF0498对应的批次P21569R040，不良品基板列表会显示出该批次下的所有基板信息，勾选全选复选框；
2）勾选良品基板列表的全选复选框；
3）点击右向箭头，会将不良品基板列表基板信息导入到良品基板列表中；
4）点击确定按钮显示执行成功后，在系统主界面的F5000站点可以看到C6CF0498对应批次信息（NG基板救回的基板信息会回到原NG站点的下一制程站点）；如下所示，产品返回到主制程，进行下一道工序。
实施例2
基板在Red工序F3000站点检查机台判定NG，人为判定若全部为NG，基板会进入F550R返工工序；
如果返工基板人为复判界面的某批次基板信息全复判为NG，如图所示，假设C6CF0647对应的批次P38569R052里的2枚基板全部复判为NG产品，进行如下操作：
1）点击批次列表下C6CF0647对应的批次P38569R052，勾选不良品基板列表全选复选框；
2）点击确定显示操作成功后后，在系统主界面的F550R站点可以看到C6CF0647对应批次信息，该NG Lot就进入返工Rework站点。
实施例3
基板在BM工序F2000站点检查机台判定NG，通过人为确认后，判定部分为OK品，部分为NG品，产品需进入不同的工序；
假如返工基板人为复判界面的某批次基板信息中有几枚基板需要判为OK回到主制程站点，其余NG送到Rework站点，假设C6CF0270对应的批次P38569R061里的2枚基板中一枚基板P385653424F7需改判为OK，其余一枚为NG，需进行如下操作：
1）点击批次下C6CF0270对应的批次P38569R061，勾选不良品基板列表下需复判为OK的基板前的复选框；
2）点击右向箭头将该OK基板信息导入到良品基板列表下；
3）点击确定显示执行成功后，则该卡匣C6CF0270对应批次信息会进入F8500站点（ST1、ST2、ST3的JUDGESORTMODE）；
4）之后通过Sorter分拣机台分选，OK品进入下一制程，NG品进入Rework工序。
Claims (2)
1.彩色滤光片返工方法，其特征是包括如下工艺步骤：
1）在彩色滤光片的第一道黑色矩阵BM、红绿蓝RGB和柱高PS制程后不合格产品需要进行返工Rework工序，对于误判不合格产品进行分类后再投入黑色矩阵BM制程；
2）在红绿蓝RGB的制程和红绿蓝RGB修补制程中的不合格产品不但可以进行返工Rework工序，而且可以对误判不合格产品重新回到主流程下一制程；
3）在PS制程和PS修补制程中不合格产品，正常进行返工Rework工序而且可以对误判不合格产品在返工暂存区FR01B站点人为进行判定后回到主流程下一制程。
2.根据权利要求1所述的彩色滤光片返工方法，其特征是所述的人为进行判定，若有时人为疏忽，误判产品不合格产品NG，则设定逻辑流程，允许进入BM返工站点F250R、RGB返工站点F550R、PS返工站点F750R三个返工Rework工序站点的产品在未投入返工Rework之前可以跳站到返工暂存区Rework Bank站点，再复判一次；进一步减少出错的几率。
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