CN108646696B - 自动处理待检测批次产品的系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种自动处理待检测批次产品的系统及方法，包括：计算待检测的批次产品的数量T与机台能够检测的批次产品的数量M，计算两者的差值L，若差值小于等于0，则返回上述第一个步骤；若差值大于0，则判断必须检测的批次产品的数量W，计算T与W的差值C，判断L与C的大小，若L大于等于C，则取消C数量的批次产品的检测；若L小于C，则取消L数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。本发明通过以上方法能够确定是要全部等待检测，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且能够确定取消的数量以及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种自动处理待检测批次产品的系统及方法。
背景技术
在半导体制造过程中，每完成一个工序，均需要随机或固定抽取一定数量的批次产品(Lot，一个批次的晶圆产品)去进行检测，以确定是否有存在缺陷或者该工序形成的结构尺寸是否满足要求。
但是，当量测站点堆货量达到一定程度时，会直接影响在线生产(inline)的周期时间(cycle time)，从而会直接影响效率。现在当出现堆货现象时，需要人工通过取消部分Lot的检测(skip Lot)来保证机台的合理利用率以及inline的工作效率。
Lot是否能够取消检测，主要是依靠工程师的经验来判断。因此，手动取消Lot的检测(manual skip Lot)会给工程师造成很大的负担(loading)。另外，依靠经验来判断是否skip Lot，会出现人为误差，在很大的程度上影响了inline的正常工作。并且，一旦出现误差，会直接导致无法检出缺陷，从而不能及时反馈到产线，严重时会影响大批量晶圆的良率。
中国专利CN104977903A公开了一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法，通过对机台组下的机台进行派货优化，避免了同一机台组下机台在预定晶圆批次时发生同时预定同一批晶圆的情况，可以在很大程度上提高工厂的生产效率，大大降低了派错误的发生几率。该专利所公开的方法虽然避免了同一机台组下机台在预定晶圆批次时发生同时预定同一批晶圆的情况，却无法避免待检测的批次产品的数量过多，造成量测站点堆货的情况发生。
发明内容
本发明的目的在于提供一种自动处理待检测批次产品的系统及方法，减少人为误差，合理利用机台资源，节约成本。
为实现上述目的，本发明提供一种自动处理待检测批次产品的方法，包括：
计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；
计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；
若所述差值小于等于0，则返回上述第一个步骤；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量，并进行以下步骤；
判断必须检测的批次产品的数量；
计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；
判断第一数量与第二数量的大小；
若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；
若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；
其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。
可选的，计算机台能够检测的批次产品的数量的方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。
可选的，当所述第一数量小于所述第二数量时，将去除必须检测的批次产品以后剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。
可选的，按照批次产品的风险等级以及种类由高到低进行排序。
可选的，在风险排序的批次产品中，从低到高选择第一数量的批次产品取消检测。
相应的，本发明还提供一种自动处理待检测批次产品的系统，包括：计算模块与判断模块，其中
所述计算模块计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；
所述计算模块计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；若所述差值小于等于0，则所述计算模块继续计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量；
所述判断模块判断必须检测的批次产品的数量；
所述计算模块计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；
所述判断模块判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；
其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须进行检测的批次产品以外的其余批次产品。
可选的，所述计算模块计算机台能够检测的批次产品的数量的方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。
可选的，还包括评估模块，当所述第一数量小于所述第二数量时，所述评估模块将去除必须检测的批次产品以后剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。
可选的，所述评估模块按照批次产品的风险等级以及种类由高到低进行排序。
可选的，在风险排序的批次产品中，从低到高选择第一数量的批次产品取消检测。
与现有技术相比，本发明提供的自动处理待检测批次产品的系统及方法，通过对待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量进行计算，对必须检测的批次产品的数量进行判断，从而确定是要继续等待检测，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且通过将以上各数量进行对比，能够确定取消检测的批次产品的数量及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。
附图说明
图1为本发明一实施例所提供的自动处理待检测批次产品的方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容做进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。其次，本发明利用示意图进行了详细的表述，在详述本发明实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应对此作为本发明的限定。
本发明的核心思想在于，通过对待检测批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量进行计算，对必须进行检测的批次产品的数量进行判断，从而确定是要继续等待，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且通过将以上各数量进行对比，能确定取消检测的批次产品的数量以及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。
请参考图1，其为本发明一实施例所提供的自动处理待检测批次产品的方法的流程图。如图1所示，所述自动处理待检测批次产品的方法，包括以下步骤：
步骤S01：计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；
步骤S02,：计算所述待检测的批次产品额数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值，若所述差值小于等于0，则返回步骤S01；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量，并进行步骤S03；
步骤S03：判断必须检测的批次产品的数量；
步骤S04：计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；
步骤S05：判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须进行检测的批次产品以外的其余批次产品。
具体的，首先，在步骤S01中，需要计算待检测的批次产品的数量T，即计算在量测站点处需要进行检测的批次产品的总数量T。并且需要计算机台能够检测的批次产品的数量M，即计算在量测站点处机台总共能够检测的批次产品的数量，所述计算方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。
然后，在步骤S02中，计算所述待检测的批次产品的数量T与所述机台能够检测的批次产品的数量M的差值L，即L＝T-M。若所述差值L小于等于0，则说明待检测批次产品的数量T小于或等于所述机台能够检测的批次产品的数量M，那么在所述量测站点处的批次产品只需要等待检测即可，即返回在步骤S01中，(计算待检测批次产品的数量T与机台能够检测的批次产品的数量M)。若所述差值L大于0，则说明待检测批次产品的数量T大于所述机台能够检测的批次产品的数量M，即待检测的批次产品超出了机台所能检测的批次产品，也就是说，超出了机台所能承受的负荷，那么就需要取消一部分批次产品的检测，即进行以下步骤，此时，将所述差值L设定为第一数量。
然后，在步骤S03中，判断必须检测的批次产品的数量W。即在待检测的批次产品中肯定会存在有必须进行检测的批次产品，本步骤中，需要将该必须检测的批次产品挑选出来，后续在取消部分批次产品的检测时，该挑选出的批次产品不能被取消。判断的方法可以包括：判断该批次产品是否为实验性产品，判断该批次产品是否为特殊制程的产品等。
接着，在步骤S04中，计算所述待检测的批次产品的数量T与所述必须检测的批次产品W的数量的差值C，即C＝T-W，将所述差值C设定为第二数量。
接着，在步骤S05中，判断所述第一数量与第二数量的大小，即判断所述差值L与所述差值C的大小。若所述第一数量大于等于所述第二数量，即L大于等于C，则取消第二数量(即数量C)的批次产品的检测。例如，假设待检测的批次产品数量T＝10，机台能够检测的批次产品的数量M＝5，必须检测的批次产品的数量W＝6，即差值L＝5，差值C＝4，则取消检测的批次产品的数量为4(即选择差值C)，即在10个待检测的批次产品中，去除6个必须检测的批次产品，其余的批次产品均可以取消检测。即取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。
若所述第一数量小于所述第二数量，即L小于C，则取消第一数量(即数量L)的批次产品的检测。例如，假设待检测的批次产品数量T＝10，机台能够检测的批次产品的数量M＝6，必须检测的批次产品的数量W＝5，即差值L＝4，差值C＝5，则取消检测的批次产品的数量为4(即选择差值L)。在10个待检测的批次产品中，去除4个必须检测的批次产品，剩余的6个批次产品可以选择4个批次产品取消检测。同样的，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。
那么，在剩余的6个批次产品中如何选择4个批次产品来取消检测，可以随机选择，也可以根据某一规则进行选择。优选的，在本实施例中，去除必须检测的批次产品以后，将剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。按照上面的例子，将剩余的6个批次产品进行排序，按照顺序从中选择4个批次产品来取消检测。更优选的，按照批次产品的风险等级以及种类等由高到低进行排序，或者也可以按照批次产品的重要度进行排序，将第二数量的批次产品(即去除必须检测的批次产品之外的其余的批次产品)进行排序，然后从低到高选择第一数量的批次产品来取消检测。
本发明提供的自动处理待检测批次产品的方法，通过对待检测的批次产品的数量T与机台能够检测的批次产品M的数量进行计算，对必须检测的批次产品W的数量进行判断，从而确定是要继续等待检测，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且通过将以上各数量进行对比，能够确定取消检测的批次产品的数量及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。
相应的，本发明还提供一种自动处理待检测批次产品的系统，包括：计算模块与判断模块，其中
所述计算模块计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；
所述计算模块计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；若所述差值小于等于0，则所述计算模块继续计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量；
所述判断模块判断必须检测的批次产品的数量；
所述计算模块计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；
所述判断模块判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；
其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须进行检测的批次产品以外的其余批次产品。
具体的，首先，所述计算模块需要计算待检测的批次产品的数量T，即计算在量测站点处需要进行检测的批次产品的总数量T。并且所述计算模块还需要计算机台能够检测的批次产品的数量M，即计算在量测站点处机台总共能够检测的批次产品的数量，所述计算方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。
然后，所述计算模块需要计算所述待检测的批次产品的数量T与所述机台能够检测的批次产品的数量M的差值L，即L＝T-M。若所述差值L小于等于0，则说明待检测批次产品的数量T小于或等于所述机台能够检测的批次产品的数量M，那么在所述量测站点处的批次产品只需要等待检测即可，即所述计算模块继续计算待检测批次产品的数量T与机台能够检测的批次产品的数量M)。若所述差值L大于0，则说明待检测批次产品的数量T大于所述机台能够检测的批次产品的数量M，即待检测的批次产品超出了机台所能检测的批次产品，也就是说，超出了机台所能承受的负荷，那么就需要取消一部分批次产品的检测，即进行以下步骤，此时，将所述差值L设定为第一数量。
然后，所述判断模块判断必须检测的批次产品的数量W。即在待检测的批次产品中肯定会存在有必须进行检测的批次产品，本步骤中，需要将该必须检测的批次产品挑选出来，后续在取消部分批次产品的检测时，该挑选出的批次产品不能被取消。判断的方法可以包括：判断该批次产品是否为实验性产品，判断该批次产品是否为特殊制程的产品等。
接着，所述计算模块接着计算所述待检测的批次产品的数量T与所述必须检测的批次产品W的数量的差值C，即C＝T-W，将所述差值C设定为第二数量。
接着，所述判断模块判断所述第一数量与第二数量的大小，即判断所述差值L与所述差值C的大小。若所述第一数量大于等于所述第二数量，即L大于等于C，则取消第二数量(即数量C)的批次产品的检测。例如，假设待检测的批次产品数量T＝10，机台能够检测的批次产品的数量M＝5，必须检测的批次产品的数量W＝6，即差值L＝5，差值C＝4，则取消检测的批次产品的数量为4(即选择差值C)，即在10个待检测的批次产品中，去除6个必须检测的批次产品，其余的批次产品均可以取消检测。即取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。
若所述第一数量小于所述第二数量，即L小于C，则取消第一数量(即数量L)的批次产品的检测。例如，假设待检测的批次产品数量T＝10，机台能够检测的批次产品的数量M＝6，必须检测的批次产品的数量W＝5，即差值L＝4，差值C＝5，则取消检测的批次产品的数量为4(即选择差值L)。在10个待检测的批次产品中，去除4个必须检测的批次产品，剩余的6个批次产品可以选择4个批次产品取消检测。同样的，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。
那么，在剩余的6个批次产品中如何选择4个批次产品来取消检测，可以随机选择，也可以根据某一规则进行选择。优选的，在本实施例中，还包括评估模块，去除必须检测的批次产品以后，所述评估模块将剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。按照上面的例子，将剩余的6个批次产品进行排序，按照顺序从中选择4个批次产品来取消检测。更优选的，所述评估模块按照批次产品的风险等级以及种类等由高到低进行排序，或者也可以按照批次产品的重要度进行排序，将第二数量的批次产品(即去除必须检测的批次产品之外的其余的批次产品)进行排序，然后从低到高选择第一数量的批次产品来取消检测。
本发明提供的自动处理待检测批次产品的系统，通过对待检测的批次产品的数量T与机台能够检测的批次产品M的数量进行计算，对必须检测的批次产品W的数量进行判断，从而确定是要继续等待检测，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且通过将以上各数量进行对比，能够确定取消检测的批次产品的数量及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。
综上所述，本发明提供的自动处理待检测批次产品的系统及方法，通过对待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量进行计算，对必须检测的批次产品的数量进行判断，从而确定是要继续等待检测，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且通过将以上各数量进行对比，能够确定取消检测的批次产品的数量及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
Claims (10)
1.一种自动处理待检测批次产品的方法，所述方法包括计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量，其特征在于，所述方法还包括：
计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；
若所述差值小于等于0，则返回至所述计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量，并进行以下步骤；
判断必须检测的批次产品的数量；
计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；
判断第一数量与第二数量的大小；
若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；
若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；
其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。
2.如权利要求1所述的自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，计算机台能够检测的批次产品的数量的方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。
3.如权利要求1所述的自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，当所述第一数量小于所述第二数量时，将去除必须检测的批次产品以后剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。
4.如权利要求3所述的自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，按照批次产品的风险等级以及种类由高到低进行排序。
5.如权利要求4所述的自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，在风险排序的批次产品中，从低到高选择第一数量的批次产品取消检测。
6.一种自动处理待检测批次产品的系统，所述系统包括计算模块，所述计算模块计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量，其特征在于，所述系统还包括：判断模块，其中，
所述计算模块还计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；若所述差值小于等于0，则所述计算模块继续计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量；
所述判断模块判断必须检测的批次产品的数量；
所述计算模块计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；
所述判断模块判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；
其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须进行检测的批次产品以外的其余批次产品。
7.如权利要求6所述的自动处理待检测批次产品的系统，其特征在于，所述计算模块计算机台能够检测的批次产品的数量的方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。
8.如权利要求6所述的自动处理待检测批次产品的系统，其特征在于，还包括评估模块，当所述第一数量小于所述第二数量时，所述评估模块将去除必须检测的批次产品以后剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。
9.如权利要求8所述的自动处理待检测批次产品的系统，其特征在于，所述评估模块按照批次产品的风险等级以及种类由高到低进行排序。
10.如权利要求9所述的自动处理待检测批次产品的系统，其特征在于，在风险排序的批次产品中，从低到高选择第一数量的批次产品取消检测。
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