CN108227508B - 晶圆装卸台效率监控方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种晶圆装卸台效率监控方法，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：1）结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；2）当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。本发明通过结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型，在晶圆装卸台闲置时可以通过所述监控模型正确区分正常闲置与非正常闲置，从而提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体工艺领域，特别是涉及一种晶圆装卸台效率监控方法。
背景技术
在传统的半导体生产线上，有大量的机台(Tool)，而每个机台又有几个乃至十几个用于装置产品的晶圆装卸台(Load Port)，所述晶圆装卸台是制造部门可用于监控机台的最小单位。
传统上，仅仅将晶圆装卸台区分为跑货(RUN)/闲置(IDLE)/停机(DOWN)几种状态，并不结合机台闲置，在晶圆装卸台闲置时无法区分是正常显示还是非正常闲置，无法通过减小非正常闲置提高效率。
为了提升生产线效率，提高产量，传统上会通过监控机台是否有空闲时间，减少空闲时间即可以提高机台利用率(Efficiency)，从而提高生产线的整体效率。但该方法存在如下问题：1.对于制造部门来说，在实际的检查中，往往发现机台组(EQP Group，由多个同型机台组成)有大量的在制品，但机台是处于闲置状态的，究其原因是机台中存在晶圆装卸台非正常(即不合理)的闲置导致的；2.该方法依然不能区分晶圆装卸台是正常闲置还是非正常闲置；3.在整个生产线上有多种机台，各机台的特性不同，判断晶圆装卸台是否属于非正常闲置不能一概而论。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种晶圆装卸台效率监控方法，用于解决现有技术中在晶圆装卸台闲置时无法区分是正常闲置还是非正常闲置，从而导致生产线效率低下的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种晶圆装卸台效率监控方法，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：
1)结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；
2)当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。
作为本发明晶圆装卸台效率监控方法的一种优选的方案，所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，判断所述机台的晶圆装卸台是否均闲置；若所述机台的晶圆装卸台并非均闲置，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台的晶圆装卸台均闲置，检测所述机台限制是否有在制品可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所述机台限制有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
作为本发明晶圆装卸台效率监控方法的一种优选的方案，所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序中所使用的反应腔室中是否有至少一个反应腔室处于闲置状态，若没有反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若有至少一个反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
作为本发明晶圆装卸台效率监控方法的一种优选的方案，所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序中所使用的反应腔室是否均处于闲置状态，若并非所有的反应腔室均处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所有的反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
作为本发明晶圆装卸台效率监控方法的一种优选的方案，所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，若跑货中的在制品的数量大于或等于控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的在制品的数量小于控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数，判断跑货中的晶圆盒的数量是否小于可接受的最大工艺晶圆盒数量，若跑货中的晶圆盒的数量大于或等于可接受的最大工艺晶圆盒数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的晶圆盒的数量小于可接受的最大工艺晶圆盒数量，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
作为本发明晶圆装卸台效率监控方法的一种优选的方案，所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，若跑货中的在制品的批次数量大于或等于可同时进行的最小工艺批次数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的在制品的批次数量小于可同时进行的最小工艺批次数量，判断跑货中的在制品的批次数量是否小于可同时进行的最大工艺批次数量，若跑货中的在制品的批次数量大于或等于可同时进行的最大工艺批次数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若跑货中的在制品的批次数量小于可同时进行的最大工艺批次数量，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
如上所述，本发明的晶圆装卸台效率监控方法具有以下有益效果：本发明通过结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型，在晶圆装卸台闲置时可以通过所述监控模型正确区分正常闲置与非正常闲置，从而提高生产效率。
附图说明
图1至图5显示为为本发明晶圆装卸台效率监控方法中不同示例的工艺流程图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅附图1至5。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，虽图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
本发明提供一种晶圆装卸台效率监控方法，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：
1)结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型，具体的，根据各机台的产能的主要反应腔室、单元及辅助系统的特征，有串行模式(Serialmode)、并行模式(Parallel mode)、SWC mode、批量运行(Batch run)及缓冲单元类型等等，为了避免闲置，其对晶圆装卸台的运行数量及运行在制品有不同的要求，结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；
2)当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。
请参阅图1，在一示例中，对于单一工艺类型或单一单元型的机台，属于串行模式，主要辅助系统为约束系统(Constraints system)，该示例中的机台可以为注入工艺区的主机台及大部分量测机台；此时，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，判断所述机台的晶圆装卸台是否均闲置；若所述机台的晶圆装卸台并非均闲置，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台的晶圆装卸台均闲置，检测所述机台限制是否有在制品可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所述机台限制有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
请参阅图2，在另一示例中，对于晶圆工艺只过单一类型的反应腔室的机台，主要辅助系统为RCP(配方)及约束系统(Constraints system)，此时，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序(RCP sequence)中所使用的反应腔室中是否有至少一个反应腔室处于闲置状态，若没有反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若有至少一个反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。需要说明的是，对于RCP sequence，譬如RCP sequence为ABC的意思为：在制品的某一产品批次需要依次通过某机台的A反应腔室、B反应腔室及C反应腔室。
请参阅图3，在又一示例中，对于晶圆工艺过连续类型反应腔室，属于串行与并行混合的模式，主要辅助系统为RCP(配方)及约束系统(Constraints system)，此时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序中所使用的反应腔室是否均处于闲置状态，若并非所有的反应腔室均处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所有的反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。同样，需要说明的是，对于RCPsequence，譬如RCP sequence为ABC的意思为：在制品的某一产品批次需要依次通过某机台的A反应腔室、B反应腔室及C反应腔室，此时，若其中一个反应腔室因故障无法工艺，则该批产品批次无法进行工艺。
请参阅图4，在又一示例中，对于单一工艺带缓冲机台、串行模式、缓冲单一类型及晶圆工艺较多分层分级较多，较为复杂的情形，主要辅助系统为RCP(配方)、约束系统(Constraints system)及自动控制系统(APC system)，此示例中的机台为光刻区主机台光刻机；此时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：首先定义设置两个参数：可接受的最大工艺晶圆盒数量(Max FOUP Count)及控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数(Minimal Idle PCS)；当所述机台有晶圆装卸台闲置时，若跑货中的在制品的数量大于或等于控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的在制品的数量小于控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数，判断跑货中的晶圆盒的数量是否小于可接受的最大工艺晶圆盒数量，若跑货中的晶圆盒的数量大于或等于可接受的最大工艺晶圆盒数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的晶圆盒的数量小于可接受的最大工艺晶圆盒数量，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
请参阅图5，在又一示例中，对于缓冲的批次处理类型机台，批次类型、缓冲类型，主要辅助系统为约束系统(Constraints system)，此示例中的机台为酸槽批次类及炉管类机台；此时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：首先定义设置两个参数：可同时进行的最大工艺批次数量(Max Processing BatchCount)及可同时进行的最小工艺批次数量(Minimal Batch Count)，当所述机台有晶圆装卸台闲置时，若跑货中的在制品的批次数量大于或等于可同时进行的最小工艺批次数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的在制品的批次数量小于可同时进行的最小工艺批次数量，判断跑货中的在制品的批次数量是否小于可同时进行的最大工艺批次数量，若跑货中的在制品的批次数量大于或等于可同时进行的最大工艺批次数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若跑货中的在制品的批次数量小于可同时进行的最大工艺批次数量，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
综上所述，本发明提供一种晶圆装卸台效率监控方法，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：1)结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；2)当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。本发明通过结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型，在晶圆装卸台闲置时可以通过所述监控模型正确区分正常闲置与非正常闲置，从而提高生产效率。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (6)
1.一种晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：
1)结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；
2)当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。
2.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，判断所述机台的晶圆装卸台是否均闲置；若所述机台的晶圆装卸台并非均闲置，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台的晶圆装卸台均闲置，检测所述机台限制是否有在制品可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所述机台限制有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
3.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序中所使用的反应腔室中是否有至少一个反应腔室处于闲置状态，若没有反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若有至少一个反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
4.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序中所使用的反应腔室是否均处于闲置状态，若并非所有的反应腔室均处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所有的反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
5.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，若跑货中的在制品的数量大于或等于控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的在制品的数量小于控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数，判断跑货中的晶圆盒的数量是否小于可接受的最大工艺晶圆盒数量，若跑货中的晶圆盒的数量大于或等于可接受的最大工艺晶圆盒数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的晶圆盒的数量小于可接受的最大工艺晶圆盒数量，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
6.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，若跑货中的在制品的批次数量大于或等于可同时进行的最小工艺批次数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的在制品的批次数量小于可同时进行的最小工艺批次数量，判断跑货中的在制品的批次数量是否小于可同时进行的最大工艺批次数量，若跑货中的在制品的批次数量大于或等于可同时进行的最大工艺批次数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若跑货中的在制品的批次数量小于可同时进行的最大工艺批次数量，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。
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