TW201721314A - 機台監控聯鎖系統 - Google Patents

機台監控聯鎖系統 Download PDF

Info

Publication number
TW201721314A
TW201721314A TW104140235A TW104140235A TW201721314A TW 201721314 A TW201721314 A TW 201721314A TW 104140235 A TW104140235 A TW 104140235A TW 104140235 A TW104140235 A TW 104140235A TW 201721314 A TW201721314 A TW 201721314A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
monitoring
interface
operation interface
machine
remote operation
Prior art date
Application number
TW104140235A
Other languages
English (en)
Inventor
張明朝
Original Assignee
佳霖科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 佳霖科技股份有限公司 filed Critical 佳霖科技股份有限公司
Priority to TW104140235A priority Critical patent/TW201721314A/zh
Priority to CN201510953498.8A priority patent/CN106814661A/zh
Priority to CN201521061943.1U priority patent/CN205427515U/zh
Publication of TW201721314A publication Critical patent/TW201721314A/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/042—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using digital processors
    • G05B19/0428—Safety, monitoring
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/20—Pc systems
    • G05B2219/25—Pc structure of the system
    • G05B2219/25257—Microcontroller

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Alarm Systems (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)

Abstract

本發明提供一種機台監控聯鎖系統，設置在第一遠端操作介面及複數個機台模組之間，系統包含輸入/輸出介面及監控處理器。輸入/輸出介面連接於複數個機台模組及網路之間。監控處理器透過輸入/輸出介面連接於複數個機台模組，且透過網路連接至第一遠端操作介面。其中當複數個機台模組之至少其中之一處在異常工作模式時，其傳送至少一異常工作訊號至監控處理器，監控處理器對應至少一異常工作訊號鎖定第一遠端操作介面。直到使用者操作近端操作介面使所有複數個機台模組回到正常工作模式，解除對第一遠端操作介面之鎖定。

Description

機台監控聯鎖系統
本案係關於一種機台監控聯鎖系統，更精確的說，本案提供一種根據機台模組的各種異常工作狀態，限制遠端控制能力以確保安全性的機台監控聯鎖系統。
積體電路製造技術之持續進步已經發展出許多新的半導體製程，其通常需要許多的輸入，必需予以精密地調控以維持較佳的製程品質。從半導體原料至完成封裝之積體電路元件需要許多不同的製程，例如半導體材料的成長製程、從半導體晶棒變成晶圓的切割製程、薄膜沈積製程、蝕刻製程、佈植製程、封裝製程以及測試程序，而這些製程彼此具有相當的差異性，大都在不同的區域進行，且不同的製程大都採用不同的控制技術。
近幾年來，半導體製造機台多朝向智慧化與自動化的領域邁進，其中具有智慧型監控功能，可優化製程，減少生產成本，增加效率與品質，使操作者心思與勞力需求大大降低。因此各產業紛紛針對半導體製造機台發展遠端監控功能。
然而，在現有的遠端監控系統中，仍存在需要透過近端操作來排除機台故障的情形，然而，當維修人員或使用者在近端進行操作時，缺少一安全機制來確保使用者無法從遠端進行操作，因此常危害到近端維修人員之人身安全。
為了解決上述問題，本發明提供一種機台監控聯鎖系統，設置在第一遠端操作介面及複數個機台模組之間，第一遠端操作介面透過網路連接並供使用者控制複數個機台模組，且複數個機台模組各配置有近端操作介面供使用者近端操作複數個機台模組，系統包含輸入/輸出介面及監控處理器。一輸入/輸出介面，係連接於複數個機台模組及網路之間。監控處理器透過輸入/輸出介面連接於複數個機台模組，且透過網路連接至第一遠端操作介面。其中當複數個機台模組之至少其中之一處在異常工作模式時，其傳送至少一異常工作訊號至監控處理器，監控處理器對應至少一異常工作訊號鎖定第一遠端操作介面，使得使用者無法透過第一遠端操作介面控制複數個機台模組，直到使用者操作近端操作介面使所有複數個機台模組回到正常工作模式，並傳輸正常工作訊號至監控處理器，監控處理器對應正常工作訊號解除對第一遠端操作介面之鎖定。
較佳者，機台監控聯鎖系統可進一步包含一第二遠端操作介面，其連接於輸入/輸出介面並供使用者控制複數個機台模組，其中當複數個機台模組之至少其中之一處在異常工作模式時，其傳送至少一異常工作訊號至監控處理器，監控處理器對應至少一異常工作訊號，鎖定第二遠端操作介面，使得使用者無法透過第二遠端操作介面控制複數個機台模組，直到使用者操作近端操作介面使所有複數個機台模組回到正常工作模式，並傳輸正常工作訊號至監控處理器，監控處理器對應正常工作訊號解除對第二遠端操作介面之鎖定。
較佳者，機台監控聯鎖系統可進一步包含硬體介面及管理者介面。硬體介面設置於監控處理器及網路之間。管理者介面透過網路連接至硬體介面，其經配置以供使用者在監控處理器鎖定第一遠端操作介面或第二遠端操作介面時，控制監控處理器及複數個機台模組。
較佳者，機台監控聯鎖系統可進一步包含一影像監視模組，其配置於複數個機台模組周側，其透過輸入\輸出介面連接至監控處理器，並透過監控處理器處理並輸出與複數個機台模組相關之一影像監視訊號至第一遠端操作介面及第二遠端操作介面。
較佳者，當複數個機台之至少其中之一處在異常工作模式時，監控處理器持續運作並輸出影像監視訊號至第一遠端操作介面及第二遠端操作介面。
較佳者，影像監視模組係進一步偵測複數個機台模組周側之一警示區域，若影像監視模組偵測到警示區域中有異常活動，其傳送一警示訊號至監控處理器，監控處理器根據警示訊號鎖定第一遠端操作介面及第二遠端操作介面。
較佳者，輸入/輸出介面將等正常工作訊號及等異常工作訊號轉換為數位訊號，監控處理器根據等數位訊號運算獲得一監控結果，並根據監控結果判斷是否鎖定第一遠端操作介面及第二遠端操作介面。
較佳者，監控處理器係透過一繼電器連接至第二遠端控制介面，並根據監控結果產生一控制訊號傳輸至繼電器，繼電器根據控制訊號在一開啟狀態及一關閉狀態之間切換。
較佳者，第一遠端操作介面及第二遠端操作介面各包含鍵盤、滑鼠、螢幕及通用電腦系統。
綜上所述，本發明的機台監控聯鎖系統藉由處理複數個機台模組的訊號，在異常工作狀態下，以簡單的方式切斷遠端控制介面的任何操作，直到近端使用者排除異常狀態，遂解除對遠端控制介面的鎖定。本發明的機台監控聯鎖系統除了具有多重安全機制，亦可根據不同機台模組進行調整，達成高度的適用性及系統的靈活性。。
為利  貴審查員瞭解本發明之技術特徵、內容與優點及其所能達成之功效，茲將本發明配合附圖，並以實施例之表達形式詳細說明如下，而其中所使用之圖式，其主旨僅為示意及輔助說明書之用，未必為本發明實施後之真實比例與精準配置，故不應就所附之圖式的比例與配置關係解讀、侷限本發明於實際實施上的權利範圍，合先敘明。
於此使用，詞彙“與/或”包含一或多個相關條列項目之任何或所有組合。當“至少其一”之敘述前綴於一元件清單前時，係修飾整個清單元件而非修飾清單中之個別元件。
以下將參考附圖詳細說明本發明 之機台監控聯鎖系統之實施例。第1圖係為根據本發明之機台監控聯鎖系統之第一實施例之方塊圖。如圖所示，本發明之機台監控聯鎖系統1係設置在第一遠端操作介面100及複數個機台模組101-104之間，第一遠端操作介面100透過網路105連接並供使用者控制複數個機台模組101-104，且複數個機台模組101-104各配置有近端操作介面106-109供使用者近端操作複數個機台模組101-104，機台監控聯鎖系統1包含輸入/輸出介面110及監控處理器111。輸入/輸出介面110連接於複數個機台模組101-104及網路105之間。監控處理器111透過輸入/輸出介面110連接於複數個機台模組101-104，且透過網路105連接至第一遠端操作介面100。
此處，機台模組101-104可為單一機台之各模組，可各自有獨立之控制電路，亦可為不同機台之各模組，例如真空腔體門鎖、機械手臂等類似裝置，具體而言，本發明之機台監控聯鎖系統可適用於不同規格之機台模組。
監控處理器111可為中央處理器(Central Processing Unit, CPU)、微處理器(microprocessor)、網路處理器(NP: Network Processor)、微控制器、或為具有專用功能的半導體積體電路(Integrated Circuit(IC))。
輸入/輸出介面110可為GPIO介面，輸入/輸出介面110可將正常工作訊號及異常工作訊號轉換為數位訊號，監控處理器111可將經轉換之數位訊號經過運算而獲得監控結果，並根據監控結果判斷是否鎖定該第一遠端操作介面100。第一遠端操作介面100可包含鍵盤、滑鼠、螢幕及通用電腦系統。
根據機台監控聯鎖系統1之配置，當複數個機台模組101-104之至少其中之一處在異常工作模式時，其傳送至少一異常工作訊號112至監控處理器111，監控處理器111對應至少一異常工作訊號112鎖定第一遠端操作介面100，使得使用者無法透過第一遠端操作介面100控制複數個機台模組101-104，直到使用者操作對應之近端操作介面106-109使所有複數個機台模組101-104回到正常工作模式，並傳輸正常工作訊號113至監控處理器111，監控處理器111對應正常工作訊號113解除對第一遠端操作介面100之鎖定。
藉由此機制，當機台模組101-104其中之一產生異常工作訊號時，監控處理器111進一步在第一遠端操作介面100顯示警示通知，使得正在操作第一遠端操作介面100的使用者在察覺到警示通知後，可通知近端使用者進行故障排除，直到機台模組101-104恢復正常工作狀態後，監控處理器111才對第一遠端操作介面100解除鎖定。如此，可確保近端使用者在進行維修時，不會因為遠端使用者不察而繼續進行操作，進而提昇機台之安全性。
請參考第2圖，其為根據本發明之機台監控聯鎖系統之第二實施例之方塊圖。如圖所示，本發明之機台監控聯鎖系統2係設置在第一遠端操作介面200、第二遠端操作介面214及複數個機台模組201-204之間，第一遠端操作介面200透過網路205連接並供使用者控制複數個機台模組201-204，且複數個機台模組201-204各配置有近端操作介面206-209供使用者近端操作複數個機台模組201-204，機台監控聯鎖系統2包含輸入/輸出介面210及監控處理器211。輸入/輸出介面210連接於複數個機台模組201-204及網路205之間，監控處理器211透過輸入/輸出介面210連接於複數個機台模組201-204，且透過網路205連接至第一遠端操作介面200。第二遠端操作介面214連接於輸入/輸出介面210並供使用者控制該複數個機台模組201-204。
此外，機台監控聯鎖系統2還包含硬體介面215及管理者介面216。硬體介面215設置於該監控處理器211及網路205之間。管理者介面216透過網路205連接至硬體介面215，其經配置以供使用者在該監控處理器211鎖定第一遠端操作介面200或第二遠端操作介面214時，控制監控處理器211及複數個機台模組201-204。此設置係為了在第一遠端操作介面200或第二遠端操作介面214被鎖定時，提供具有管理者權限之使用者可直接遠端進行障礙排除，其中，管理者介面216可包含使用文字控制介面(txt)、網頁控制(php)、或telnet/ssh介面等。
再者，機台監控聯鎖系統2可進一步包含影像監視模組217，其配置於該複數個機台模組201-204周側，其透過輸入\輸出介面210連接至監控處理器211，並透過監控處理器211處理並輸出與複數個機台模組相關之影像監視訊號至第一遠端操作介面200及第二遠端操作介面214。
在此實施例中，輸入/輸出介面210將該等正常工作訊號213及該等異常工作訊號212轉換為數位訊號，監控處理器211根據數位訊號運算獲得監控結果，並根據監控結果判斷是否鎖定第一遠端操作介面200及第二遠端操作介面214。類似於前述實施例，第二遠端操作介面214亦可包含鍵盤、滑鼠、螢幕及通用電腦系統。
根據機台監控聯鎖系統2之配置，當複數個機台模組201-204之至少其中之一處在異常工作模式時，其傳送至少一異常工作訊號212至監控處理器211，監控處理器211對應至少一異常工作訊號212鎖定第一遠端操作介面200及第二遠端操作介面214，使得使用者無法透過第一遠端操作介面200或第二遠端操作介面214控制複數個機台模組201-204，直到使用者操作對應之近端操作介面206-209使所有複數個機台模組201-204回到正常工作模式，並傳輸正常工作訊號213至監控處理器211，監控處理器211對應正常工作訊號213解除對第一遠端操作介面200及第二遠端操作介面214之鎖定。
藉由此機制，當機台模組201-204其中之一產生異常工作訊號時，監控處理器211進一步在第一遠端操作介面200及第二遠端操作介面214顯示警示通知，使得正在操作第一遠端操作介面200或第二遠端操作介面214的使用者在察覺到警示通知後，可通知近端使用者進行故障排除，直到機台模組201-204恢復正常工作狀態後，監控處理器211才對第一遠端操作介面200及第二遠端操作介面214解除鎖定。如此，可確保近端使用者在進行維修時，不會因為遠端使用者不察而繼續進行操作，進而提昇機台之安全性。
此實施例之另一特點在於除了透過網路連接於第一遠端控制介面外，機台監控聯鎖系統還設置有第二遠端控制介面，因此，位於系統端的使用者亦可操作複數個機台模組，然而，本發明的實施方式不限於此，機台監控聯鎖系統亦可只設置於第二遠端控制介面與複數個機台模組之間，並非一定存在網路連接，提昇了此系統的靈活度。
請參考第3圖，其為根據本發明之機台監控聯鎖系統之第二實施例之硬體架構示意圖。如圖所示，複數個機台模組係以複數個聯鎖開關Int1-Int4表示，其中，複數個聯鎖開關Int1-Int4各具有控制電路並連接至供電端，且各向第一接點CON1之複數個常開接點O (Normal Open)，供輸入控制訊號。而第一接點CON1的複數個共接點G與常開接點O連接如圖所示，使得複數個聯鎖開關Int1-Int4為串聯。電壓源則向第一接點CON1的常閉接點C(Normal Close)供應電壓，本實施例中為5V直流電(DC)。常開接點O平常處於開路，線圈通電後才與共接點G接通，常閉接點C平常處於閉路（與共接點G接通），線圈通電後才成為開路（斷路）。
在本實施例中，複數個聯鎖開關Int1-Int4還分別連接於通用輸出/入介面GPIO、USB集線器USB Hub以及串列傳輸發射器TX，其用於供使用者輸入鍵盤訊號K及滑鼠訊號S。串列傳輸發射器TX用於將鍵盤訊號K及滑鼠訊號S發送至第一繼電器Relay1的共接點G，再透過第一繼電器的常閉接點C向第二繼電器Relay傳輸。輸出/入介面GPIO之用於接收複數個聯鎖開關Int1-Int4的工作訊號，經轉換為數位訊號後輸入數位輸入端DI，再從數位輸出端DO向監控處理器311傳輸，監控處理器311將獲得的數位訊號進行運算後獲得監控結果，並根據監控結果控制第一繼電器Relay1是否允許第二遠端USB的滑鼠訊號K及鍵盤訊號K通過，再透過USB集線器USB Hub傳輸並控制複數個聯鎖開關Int1-Int4。
此外，串列傳輸發射器TX的電源S係由輸出/入介面GPIO之DI/DO RS-232介面輸入，且其之影像訊號V可從設置於複數個聯鎖開關Int1-Int4周側之影像監控模組輸入，在第二遠端處提供數位視訊介面DVI。此外，串列傳輸發射器TX還透過網路305向第一遠端處的電腦資訊管理端CIM以及第一遠端處的通用電腦端PC發送滑鼠訊號M、影像訊號V及鍵盤訊號K，電腦資訊管理端CIM具有遠端控制影像管理系統RCVM用以顯示影像，通用電腦端PC具有RS-232介面以及訊號接收端RS，經傳輸後使用者可在第一遠端處透過影像訊號V在通用電腦端PC上觀看監視影像，並且透過滑鼠訊號V及鍵盤訊號K控制複數個聯鎖開關Int1-Int4。
與前一實施例類似的，當複數個聯鎖開關Int1-Int4之至少其中之一處在異常工作狀態，複數個聯鎖開關Int1-Int4向輸出/入介面GPIO輸出異常工作訊號，GPIO經轉換後向監控處理器311輸出數位訊號，監控處理器311將其運算後獲得監控結果為異常，其透過網路305鎖定第一遠端處的通用電腦端PC的滑鼠訊號M及鍵盤訊號K，並且將第一繼電器Relay1斷開，使得使用者無法從第二遠端處透過USB集線器USB Hub的滑鼠訊號M及鍵盤訊號K控制複數個聯鎖開關Int1-Int4。直到近端使用者操作近端控制介面306-309將異常工作狀態排除，監控處理器311進而解除對通用電腦端PC的滑鼠訊號M及鍵盤訊號K的鎖定，並使第一繼電器Relay1回到閉路狀態，使得使用者恢復從第二遠端處透過USB集線器USB Hub的滑鼠訊號M及鍵盤訊號K控制複數個聯鎖開關Int1-Int4。
值得一提的是，由於影像訊號V並未通過第一繼電器Relay1，在異常工作狀態下仍可向通用電腦端PC、電腦資訊管理端CIM及第二遠端處傳輸影像訊號V，且監控處理器311亦會向上述三端之使用者傳送異常訊息，因此使用者可通知近端使用者進行異常狀態排除。
請參考第4圖，其為根據本發明之機台監控聯鎖系統之判斷流程圖。請一併參考第3圖，如圖所示，複數個聯鎖開關Int1-Int4各具有電壓源3.3V直流(DC)，若在正常工作狀態下，複數個聯鎖開關Int1-Int4處在常閉狀態NC(Normal Close)或常開狀態(Normal Open)，電壓接收端V1及V2所接收之電壓因此可能為高電位或低電位，此高低電位經過轉換為數位訊號後，可作為數位輸入訊號DI(H)或數位輸入訊號DI(L)輸入通用輸出/入介面GPIO。然而，當複數個聯鎖開關Int1-Int4至少其中之一處在異常工作狀態下，向電壓接收端V1傳輸異常工作電壓，並且判斷為電壓準位高低變異。經過轉換為數位訊號後，作為低位準數位輸入訊號DI(L)輸入通用輸出/入介面GPIO。
通用輸出/入介面GPIO將數位訊號從數位訊號輸出端DO輸出，並傳送至監控處理器。若監控處理器未正常運作，則各遠端控制介面處在鎖定狀態。若監控處理器正常運作，則其首先處理接收到的數位訊號，運算並獲得監控結果。較佳者，監控處理器將複數個數位訊號相乘，舉例而言，高位準數位輸入訊號DI(H)為1，低位準數位輸入訊號DI(L)為0，若有低位準數位輸入訊號DI(H)的存在，則相乘結果為0，此時結果為0之數位訊號被系統判定為聯鎖異常現象發生，監控處理器命令通用輸出/入介面GPIO送出控制訊號遮斷第一繼電器，使得第一繼電器處在常斷狀態，則滑鼠訊號M及鍵盤訊號K無法透過第一繼電器控制複數個機台模組306-309。且串列傳輸發射器TX亦無法將滑鼠訊號M及鍵盤訊號K透過網路傳輸，則第一遠端及第二遠端均處在鎖定狀態。
此外，此流程中還包含硬體介面415及管理者介面416。硬體介面415設置於該監控處理器及網路405之間。管理者介面416透過網路405連接至硬體介面415，其經配置以供使用者在第一遠端操作介面或第二遠端操作介面被鎖定時，控制監控處理器及複數個聯鎖開關Int1-Int4。此設置係為了在第一遠端操作介面或第二遠端操作介面被鎖定時，提供具有管理者權限之使用者可直接遠端進行障礙排除。
由於每個廠商的機台模組設計不同，但藉由本發明的機台監控聯鎖系統，可適用於不同組態及規格的機台模組，在異常狀態下，透過監控處理器直接切斷遠端控制，遠端使用者必須藉由近端使用者或是影像訊號確認設備與人員安全無虞後再行啟動遠端控制。
請參考第5圖，其為根據本發明之機台監控聯鎖系統之影像監視模組設置示意圖。如圖所示，本發明的機台監控聯鎖系統5係連接於複數個機台模組501-504，各配置有近端控制介面506-509。其中，第一遠端控制介面500、第二遠端控制介面514、管理者介面516及電腦資訊管理端CIM均類似於前述實施例，故省略重複描述。本實施例不同之處在於，機台監控聯鎖系統5之影像監視模組進一步連接於影像感測裝置IPCAM，且影像感測裝置IPCAM係用於感測位於複數個機台模組501-504周側之管制區域SR中，是否有物體進入。若影像監視模組偵測到管制區域SR中有異常活動，其傳送一警示訊號至監控處理器，監控處理器根據警示訊號鎖定第一遠端操作介面及該第二遠端操作介面，並產生警示訊號至第一遠端控制介面500、第二遠端控制介面514、管理者介面516及電腦資訊管理端CIM，直到近端使用者使用近端控制介面506-509排除警示或管制區域SR內之物體後，監控處理器遂解除對第一遠端操作介面及該第二遠端操作介面之鎖定。如此，可再進一步提昇機台監控聯鎖系統的安全性，避免人員出現在管制區域中時，遠端使用者因不察而繼續控制機台模組運作而造成的工安事故。
綜上所述，本發明的機台監控聯鎖系統藉由處理複數個機台模組的訊號，在異常工作狀態下，以簡單的方式切斷遠端控制介面的任何操作，直到近端使用者排除異常狀態，遂解除對遠端控制介面的鎖定。本發明的機台監控聯鎖系統除了具有多重安全機制，亦可根據不同機台模組進行調整，達成高度的適用性及系統的靈活性。
100、200、500‧‧‧第一遠端操作介面
101-104、201-204、501-504‧‧‧機台模組
105、205、305、405、505‧‧‧網路
106-109、206-209、306-309、506-509‧‧‧近端操作介面
110、210‧‧‧輸入/輸出介面
111、211、311‧‧‧監控處理器
112、212‧‧‧異常工作訊號
113、213‧‧‧正常工作訊號
214、514‧‧‧第二遠端操作介面
215、415、515‧‧‧硬體介面
216、416、516‧‧‧管理者介面
217、517‧‧‧影像監視模組
Int1-Int4‧‧‧聯鎖開關
O‧‧‧常開接點
G‧‧‧共接點
C‧‧‧常閉接點
Relay1‧‧‧第一繼電器
CON1‧‧‧第一接點
USB Hub‧‧‧USB集線器
GPIO‧‧‧通用輸出/入介面
TX‧‧‧串列傳輸發射器
K‧‧‧鍵盤訊號
S‧‧‧滑鼠訊號
V‧‧‧影像訊號
DI‧‧‧數位輸入端
DI(H)‧‧‧高位準數位輸入訊號
DI(L)‧‧‧低位準數位輸入訊號
DO‧‧‧數位輸出端
DVI‧‧‧數位視訊介面
CIM‧‧‧電腦資訊管理端
PC‧‧‧通用電腦端
RS‧‧‧訊號接收端
NC‧‧‧常閉狀態
NO‧‧‧常開狀態
IPCAM‧‧‧影像感測裝置
H‧‧‧高位準電壓
L‧‧‧低位準電壓
RCVM‧‧‧遠端控制影像管理系統
SR‧‧‧管制區域
本發明之上述及其他特徵及優勢將藉由參照附圖詳細說明其例示性實施例而變得更顯而易知，其中：
第1圖係為根據本發明之機台監控聯鎖系統之第一實施例之方塊圖。
第2圖係為根據本發明之機台監控聯鎖系統之第二實施例之方塊圖。
第3圖係為根據本發明之機台監控聯鎖系統之第二實施例之硬體架構示意圖。
第4圖係為根據本發明之機台監控聯鎖系統之判斷流程圖。
第5圖係為根據本發明之機台監控聯鎖系統之影像監視模組設置示意圖。
100‧‧‧第一遠端操作介面
101-104‧‧‧機台模組
105‧‧‧網路
106-109‧‧‧近端操作介面
110‧‧‧輸入/輸出介面
111‧‧‧監控處理器
112‧‧‧異常工作訊號
113‧‧‧正常工作訊號

Claims (9)

  1. 一種機台監控聯鎖系統，係設置在第一遠端操作介面及複數個機台模組之間，該第一遠端操作介面透過網路連接並供使用者控制該複數個機台模組，且該複數個機台模組各配置有近端操作介面供使用者近端操作該複數個機台模組，該系統包含： 一輸入/輸出介面，係連接於該複數個機台模組及網路之間；以及 一監控處理器，係透過該輸入/輸出介面連接於該複數個機台模組，且透過網路連接至該第一遠端操作介面； 其中，當該複數個機台模組之至少其中之一處在異常工作模式時，其透過該輸入/輸出介面傳送至少一異常工作訊號至該監控處理器，該監控處理器對應該至少一異常工作訊號鎖定該第一遠端操作介面，使得使用者無法透過該第一遠端操作介面控制該複數個機台模組，直到使用者操作近端操作介面使所有該複數個機台模組回到正常工作模式，並傳輸正常工作訊號至該監控處理器，該監控處理器對應該正常工作訊號解除對該第一遠端操作介面之鎖定。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之機台監控聯鎖系統，係進一步包含一第二遠端操作介面，其連接於該輸入/輸出介面並供使用者控制該複數個機台模組，其中當該複數個機台模組之至少其中之一處在異常工作模式時，其傳送至少一異常工作訊號至該監控處理器，該監控處理器對應該至少一異常工作訊號，鎖定該第二遠端操作介面，使得使用者無法透過該第二遠端操作介面控制該複數個機台模組，直到使用者操作近端操作介面使所有該複數個機台模組回到正常工作模式，並傳輸正常工作訊號至該監控處理器，該監控處理器對應該正常工作訊號解除對該第二遠端操作介面之鎖定。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之機台監控聯鎖系統，其進一步包含： 一硬體介面，係設置於該監控處理器及網路之間；以及 一管理者介面，係透過網路連接至該硬體介面，其經配置以供使用者在該監控處理器鎖定該第一遠端操作介面或該第二遠端操作介面時，控制該監控處理器及該複數個機台模組。
  4. 如申請專利範圍第2項所述之機台監控聯鎖系統，係進一步包含一影像監視模組，其配置於該複數個機台模組周側，其透過該輸入\輸出介面連接至該監控處理器，並透過該監控處理器處理並輸出與該複數個機台模組相關之一影像監視訊號至該第一遠端操作介面及該第二遠端操作介面。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之機台監控聯鎖系統，其中當該複數個機台之至少其中之一處在該異常工作模式時，該監控處理器持續運作並輸出該影像監視訊號至該第一遠端操作介面及該第二遠端操作介面。
  6. 如申請專利範圍第4項所述之機台監控聯鎖系統，其中該影像監視模組係進一步偵測該複數個機台模組周側之一警示區域，若該影像監視模組偵測到該警示區域中有異常活動，其傳送一警示訊號至該監控處理器，該監控處理器根據該警示訊號鎖定該第一遠端操作介面及該第二遠端操作介面。
  7. 如申請專利範圍第2項所述之機台監控聯鎖系統，其中該輸入/輸出介面將該等正常工作訊號及該等異常工作訊號轉換為數位訊號，該監控處理器根據該等數位訊號運算獲得一監控結果，並根據該監控結果判斷是否鎖定該第一遠端操作介面及該第二遠端操作介面。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之機台監控聯鎖系統，其中該監控處理器係透過一繼電器連接至該第二遠端控制介面，並根據該監控結果產生一控制訊號傳輸至該繼電器，該繼電器根據該控制訊號在一開啟狀態及一關閉狀態之間切換。
  9. 如申請專利範圍第2項所述之機台監控聯鎖系統，其中該第一遠端操作介面及該第二遠端操作介面各包含鍵盤、滑鼠、螢幕及通用電腦系統。
TW104140235A 2015-12-01 2015-12-01 機台監控聯鎖系統 TW201721314A (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW104140235A TW201721314A (zh) 2015-12-01 2015-12-01 機台監控聯鎖系統
CN201510953498.8A CN106814661A (zh) 2015-12-01 2015-12-17 机台监控联锁系统
CN201521061943.1U CN205427515U (zh) 2015-12-01 2015-12-17 机台监控联锁系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW104140235A TW201721314A (zh) 2015-12-01 2015-12-01 機台監控聯鎖系統

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201721314A true TW201721314A (zh) 2017-06-16

Family

ID=56537479

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104140235A TW201721314A (zh) 2015-12-01 2015-12-01 機台監控聯鎖系統

Country Status (2)

Country Link
CN (2) CN205427515U (zh)
TW (1) TW201721314A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI661288B (zh) * 2018-04-18 2019-06-01 致茂電子股份有限公司 半導體測試機台之電源監控方法
TWI678602B (zh) * 2017-07-14 2019-12-01 日商東芝股份有限公司 異常檢測裝置、異常檢測方法以及電腦可讀取記錄媒體

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201721314A (zh) * 2015-12-01 2017-06-16 佳霖科技股份有限公司 機台監控聯鎖系統
CN108227508B (zh) * 2016-12-15 2020-12-29 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 晶圆装卸台效率监控方法
CN110488767B (zh) * 2018-05-14 2021-09-28 上海新微技术研发中心有限公司 机台控制装置及机台控制方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7256700B1 (en) * 2003-11-12 2007-08-14 Interceptor Ignition Interlocks Inc. Ignition interlock device and method
CN100463822C (zh) * 2005-09-19 2009-02-25 北京全路通信信号研究设计院 一种计算机联锁系统
CN1959930A (zh) * 2005-11-03 2007-05-09 联华电子股份有限公司 真空系统及其预警方法
CN100530011C (zh) * 2006-10-24 2009-08-19 台达电子工业股份有限公司 多个机台的自动连接系统及方法
CN101459099B (zh) * 2007-12-13 2010-11-10 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 晶圆盒、半导体生产过程的监测系统和方法
CN101620426B (zh) * 2008-07-02 2012-08-29 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 区域机台监控管理方法及其计算机系统
CN101458505B (zh) * 2008-12-17 2012-01-18 国电南京自动化股份有限公司 基于iec61850标准的全站系统防误闭锁设计方法
US8234003B2 (en) * 2009-01-20 2012-07-31 Macronix International Co., Ltd. Monitoring circuit, monitoring device and monitoring method thereof
CN201575865U (zh) * 2009-07-08 2010-09-08 上海华虹Nec电子有限公司 半导体流水线中的零度控制器
CN103034180A (zh) * 2012-01-06 2013-04-10 武汉申安机电工程有限责任公司 高纯石墨洗涤新型自动化电气装置
CN103199036B (zh) * 2012-01-06 2015-09-09 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 集成调度系统的efem及其调度方法
CN103367103B (zh) * 2012-03-28 2016-03-23 无锡华润上华科技有限公司 半导体产品生产方法及系统
CN102620048B (zh) * 2012-04-13 2013-10-30 北京化工大学 工业锅炉现场阀门安全的图像监测方法
WO2015029110A1 (ja) * 2013-08-26 2015-03-05 日立建機株式会社 作業機械の周囲監視装置
CN104363417A (zh) * 2014-10-31 2015-02-18 无锡悟莘科技有限公司 一种无线视频监控系统的实现方法
TW201721314A (zh) * 2015-12-01 2017-06-16 佳霖科技股份有限公司 機台監控聯鎖系統

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI678602B (zh) * 2017-07-14 2019-12-01 日商東芝股份有限公司 異常檢測裝置、異常檢測方法以及電腦可讀取記錄媒體
TWI661288B (zh) * 2018-04-18 2019-06-01 致茂電子股份有限公司 半導體測試機台之電源監控方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106814661A (zh) 2017-06-09
CN205427515U (zh) 2016-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201721314A (zh) 機台監控聯鎖系統
US7208899B2 (en) Emergency-stop device
TWI510934B (zh) 裝置管理模組、遠端管理模組及其所組成的裝置管理系統
JP2013105291A (ja) 監視制御Ｗｅｂシステム
TWM523884U (zh) 機台監控聯鎖系統
CN106325243B (zh) 稼动率的确定方法以及终端
US11093014B2 (en) Method for monitoring, control and graceful shutdown of control and/or computer units
JP2013047946A (ja) コンピューターネットワークに基づく危険状態監視システム及び危険状態処理サーバー
US20120123562A1 (en) Control system for controlling a process
WO2018223323A1 (zh) 一种基于本地管理的PoE交换机及管理系统
JP2016103110A (ja) 多重化制御装置
KR101554249B1 (ko) 단위 관제점별 이상감지를 포함한 전 이중화방식의 자동제어장치 및 그 제어방법
CN102385518A (zh) 计算机系统及计算机系统的使用方法
KR101937714B1 (ko) 지능형 커넥터 제어반 및 지능형 커넥터 제어반을 이용한 지능형 컨넥터반 회선 관리 방법
JP5481238B2 (ja) ビル監視制御システムおよびビル監視制御方法
KR101779117B1 (ko) 원격 감시 및 제어용 인터페이스 장치
KR101725687B1 (ko) 원자력 발전소에서 독립성이 강화된 단방향 통신 시스템
JP2020154443A (ja) テレメータおよびポンプ制御システム
KR101197480B1 (ko) 액정표시장비의 원격제어시스템 및 원격제어방법
JP2017098856A (ja) 公衆回線通信装置及び制御監視システム
CN211454281U (zh) 一种报警检测自动断线控制仪
KR101713180B1 (ko) 디지털 알람 제어기
JP2011064565A (ja) 通信システム機器
CN116884191A (zh) 双振镜报警装置、系统及方法
JP2011123827A (ja) 監視制御システムおよび監視制御方法