TW201643576A - 一種爐管製程的派工控制方法 - Google Patents

Abstract

一種爐管製程的派工控制方法，包括下列步驟。決定有效派工區間。決定進入爐管的批次形成站點。當多個批貨進入爐管的前N站機台時，依照第一批貨的優先權進行派工。於有效派工區間中，搜索與第一批貨的爐管條件相同的第二批貨。提高第二批貨的優先權，使得第二批貨與第一批貨在批次形成站點時為同一批次。當第一批貨進入批次形成站點時，於批次形成站點進行派工。

Description

一種爐管製程的派工控制方法

本發明是有關於一種長時間批次處理製程的派工控制方法，且特別是有關於一種爐管製程的派工控制方法。

在半導體製程中，爐管機台(Furnace equipment)為長時間且多批次的生產機台。若爐管機台的單次製程的批量(Batch size)無法滿足所述爐管機台的最大產量，則會造成所述爐管機台的產能損失。因此，在半導體製程中，爐管機台的派工控制方法扮演相當重要的角色。

以半導體代工廠為例，同一世代下有許多不同客戶的產品。而所述產品因為設計不同，其爐管條件也隨之改變，以符合各產品的設計需求。因此，為了因應不同的爐管條件，更增加爐管機台的派工上的困難。在產品和爐管條件的組合下，如何滿足爐管機台的最大產量，以避免造成爐管機台產能的損失將成為重要的一門課題。

本發明提供一種爐管製程的派工控制方法，其可滿足爐管機台的最大產量，且避免造成爐管機台產能的損失。

本發明提供一種爐管製程的派工控制方法，包括下列步驟。決定有效派工區間。有效派工區間定義為爐管到爐管的前N站機台之間，其中N為大於0的整數。決定進入爐管的批次形成站點。當多個批貨進入爐管的前N站機台時，依照批貨的第一批貨的優先權進行派工。第一批貨具有最高優先權以及第一爐管條件。於有效派工區間中，搜索具有第一爐管條件(recipe)的第二批貨。提高第二批貨的優先權，使得第二批貨與第一批貨在批次形成站點時為同一批次。當第一批貨進入批次形成站點時，於批次形成站點進行派工。

在本發明的一實施例中，決定上述有效派工區間的方法包括依據爐管的產能與生產時間來決定爐管的前N站機台的N值。

在本發明的一實施例中，決定進入爐管的批次形成站點的方法如下。當第一批貨進入爐管之前有等待時間(Q-time)限制，則批次形成站點為爐管的前一站。

在本發明的一實施例中，決定進入爐管的批次形成站點的方法如下。當第一批貨進入爐管之前沒有等待時間限制，則批次形成站點為爐管當站。

在本發明的一實施例中，於上述有效派工區間中未搜索 到具有第一爐管條件的第二批貨時，更包括以下步驟。在爐管的前N+1站機台中搜索具有第一爐管條件的第三批貨。提高第三批貨的優先權，使得第三批貨與第一批貨在批次形成站點時為同一批次。

在本發明的一實施例中，當第一批貨進入批次形成站點時，於批次形成站點進行派工的步驟如下。確認可生產的爐管機台。依照批貨清單進行排序並確認各批貨的爐管條件。依照批貨清單中的第一批貨的優先權進行派工。當批貨清單中的具有第一爐管條件的批貨滿足爐管的批量，則於批次形成站點開始派工，且進行生產。

在本發明的一實施例中，當第一批貨進入批次形成站點時，於批次形成站點進行派工的步驟如下。確認可生產的爐管機台。依照批貨清單進行排序並確認各批貨的爐管條件。依照批貨清單中的第一批貨的優先權進行派工。當批貨清單中的具有第一爐管條件的批貨無法滿足爐管的批量，則於批次形成站點之前搜索具有第一爐管條件的第四批貨。提高第四批貨的優先權。

在本發明的一實施例中，在提高第四批貨的優先權之後，更包括判斷加速第四批貨到批次形成站點的時間是否符合第一批貨的製程時間，以決定是否等待第四批貨到批次形成站點。

在本發明的一實施例中，其中批貨清單中的具有第一爐管條件的批貨無法滿足爐管的批量包括批貨清單中的具有第一爐管條件的批貨大於或小於爐管的批量。

在本發明的一實施例中，當批貨清單中的具有第一爐管條件的批貨大於爐管的批量，則將批貨進行分割。

基於上述，在有效派工區間中，本發明可搜索具有第一爐管條件的第二批貨以及第三批貨，並提高其優先權，使得第二批貨、第三批貨以及第一批貨在批次形成站點時為同一批次，以同時進入爐管中。因此，本發明便可滿足爐管機台的最大產量，且避免造成爐管機台產能的損失，進而提升整體產能。

為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

S100、S200、S201~S203、S300、S301~S306、S400、S401~S408‧‧‧步驟

圖1為本發明之一實施例的爐管製程的派工控制方法的流程圖。

圖2為圖1之步驟S200的流程圖。

圖3為圖1之步驟S300的流程圖。

圖4為圖1之步驟S400的流程圖。

圖1為本發明之一實施例的爐管製程的派工控制方法的流程圖。圖2為圖1之步驟S200的流程圖。圖3為圖1之步驟S300的流程圖。圖4為圖1之步驟S400的流程圖。

請參照圖1，本實施例的爐管製程的派工控制方法包括下列步驟。首先，進行步驟S100，決定有效派工區間。所述有效派工區間可定義為爐管到爐管的前N站機台之間，其中N為大於0的整數。舉例來說，當N值為3，所述有效派工區間則是從爐管到爐管的前3站機台算起，也就是總共3站機台的區間。在一實施例中，決定上述爐管的前N站機台中的N值可依據爐管的產能與生產時間以及前N站機台的各機台的產能與生產時間來決定。 具體地說，當爐管的產能與生產時間以及前N站機台的各機台的產能與生產時間較滿，則N值較小。反之，當爐管的產能與生產時間以及前N站機台的各機台的產能與生產時間較空，則N值較大。所述N值可以依據即時機台的產能與生產時間情況來進行調整，本發明不以此為限。另外，在半導體製程中，在進入爐管機台之前，批貨通常必須先移除殘餘的微粒，即進行清洗動作。因此，在一實施例中，爐管的前N站機台可例如是清洗機台，但本發明不限於此。

接著，進行步驟S200，決定進入爐管的批次形成站點。 詳細地說，當多個批貨欲進入爐管之前，須將所述批貨進行分組與排序，從而得到多個批次，以進入爐管。在本實施例中，所述批次形成站點可視為進行上述動作的站點。而所述批次形成站點可依據不同情況而有所不同。具體而言，請同時參照圖1與圖2，先進行步驟S201，確認所述批貨在進入爐管之前是否有等待時間(Q-time)限制。若所述批貨沒有等待時間限制，則進行步驟 S202，以爐管當站為批次形成站點。反之，若所述批貨有等待時間限制，則進行步驟S203，以爐管的前一站為批次形成站點。本實施例可藉由上述步驟S201~S203避免因為等待時間限制而導致晶圓報廢的問題，或是避免因為超過等待時間而使得所述批貨必須重製，進而浪費製程成本。

請再回到圖1，進行步驟S300，當多個批貨進入爐管的前N站機台時，進行加速優先權的邏輯判斷。詳細地說，請同時參照圖1與圖3，先進行步驟S301，當多個批貨進入爐管的前N站機台時，依照所述批貨的第一批貨的優先權進行派工。第一批貨具有最高優先權。所謂優先權可例如是判斷每一批貨是否為特急批貨(Super Hot Lot)、急批貨(Hot Lot)、相應每一批貨之階段目標(Stage Target)等各種不同狀況。依據上述狀況可分別定義一權值，且每一批貨具有一加總權值，用以進行優先權的排序。在本實施例中，所述第一批貨可例如是特急批貨。

之後，進行步驟S302，確認第一批貨的爐管條件(以下簡稱為第一爐管條件)和所述爐管的可生產的批量。然後，進行步驟S303，確認在有效派工區間中是否有具有第一爐管條件的第二批貨。若有，則進行步驟S304，提高第二批貨的優先權，使得第二批貨與第一批貨在批次形成站點時為同一批次，以同時進入爐管。反之，則進行步驟S305，確認在爐管的前N+1站機台中是否有具有第一爐管條件的第三批貨。若有，則進行步驟S306，提高第三批貨的優先權，使得第三批貨與第一批貨在批次形成站點 時為同一批次，以同時進入爐管。在一實施例中，第二批貨與第三批貨可例如是一個或多個批貨。

值得一提的是，本發明可藉由步驟S300搜索具有第一爐管條件的第二批貨以及第三批貨，並提高其優先權，以滿足爐管機台的最大產量，且避免造成爐管機台產能的損失，進而提升整體產能。

請再回到圖1，進行步驟S400，當上述批貨進入批次形成站點時，於批次形成站點進行派工。詳細地說，請同時參照圖1與圖4，先進行步驟S401，確認可生產的爐管機台。然後，進行步驟S402，依照批貨清單進行排序並確認各批貨的爐管條件。之後，進行步驟S403，依照批貨清單中的第一批貨的優先權進行派工。接著，在批貨清單中搜索具有第一爐管條件的批貨。然後，進行步驟S404，確認具有第一爐管條件的批貨是否滿足爐管的批量。所謂確認具有第一爐管條件的批貨是否滿足爐管的批量可例如是確認具有第一爐管條件的批貨是否等於爐管的批量。舉例來說，當可生產的爐管的批量為100批貨，具有第一爐管條件的批貨再加上第一批貨的數量亦為100批貨時，則可視為滿足爐管的批量。反之，則可視為無法滿足。若滿足爐管的批量，則進行步驟S406，於批次形成站點開始派工，且進行生產。

在一實施例中，無法滿足的情況分成兩種。其一，是指具有第一爐管條件的批貨小於爐管的批量。此時進行步驟S405，於批次形成站點之前搜索具有第一爐管條件的第四批貨。接著， 提高第四批貨的優先權。其二，則是指具有第一爐管條件的批貨大於爐管的批量。此時則可將所述批貨進行分割，以符合爐管單次製程可處理的最多批貨數量。

在進行步驟S405(提高第四批貨的優先權)之後，可進行步驟S407，判斷加速第四批貨到批次形成站點的時間是否符合第一批貨的製程時間。此步驟S407可進一步減少爐管機台產能的損失，進而提升整體產能。若是加速第四批貨到批次形成站點的時間不符合第一批貨的製程時間，則不需要等待第四批貨，而直接進行步驟S406。反之，若是加速第四批貨到批次形成站點的時間符合第一批貨的製程時間，則進行步驟S408，等待第四批貨到批次形成站點之後，再開始派工，且進行生產。

綜上所述，在有效派工區間中，本發明可搜索具有第一爐管條件的第二批貨以及第三批貨，並提高其優先權，使得第二批貨、第三批貨以及第一批貨在批次形成站點時為同一批次，以同時進入爐管中。因此，本發明便可滿足爐管機台的最大產量，且避免造成爐管機台產能的損失，進而提升整體產能。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

S100、S200、S300、S400‧‧‧步驟

Claims (10)

1. 一種爐管製程的派工控制方法，包括：決定一有效派工區間，該有效派工區間定義為一爐管到該爐管的前N站機台之間，其中N為大於0的整數；決定進入該爐管的一批次形成站點；當多個批貨進入該爐管的前N站機台時，依照該些批貨的一第一批貨的優先權進行派工，其中該第一批貨具有最高優先權以及一第一爐管條件；於該有效派工區間中，搜索具有該第一爐管條件的一第二批貨，並提高該第二批貨的優先權，使得該第二批貨與該第一批貨在該批次形成站點時為同一批次；以及當該第一批貨進入該批次形成站點時，於該批次形成站點進行派工。
2. 如申請專利範圍第1項所述的爐管製程的派工控制方法，其中決定該有效派工區間的方法包括依據該爐管的產能與生產時間來決定該爐管的前N站機台的N值。
3. 如申請專利範圍第1項所述的爐管製程的派工控制方法，其中決定進入該爐管的該批次形成站點的方法包括：當該第一批貨進入該爐管之前有等待時間限制，則該批次形成站點為該爐管的前一站。
4. 如申請專利範圍第1項所述的爐管製程的派工控制方法，其中決定進入該爐管的該批次形成站點的方法包括： 當該第一批貨進入該爐管之前沒有等待時間限制，則該批次形成站點為該爐管當站。
5. 如申請專利範圍第1項所述的爐管製程的派工控制方法，於該有效派工區間中未搜索到具有該第一爐管條件的該第二批貨時，更包括：在該爐管的前N+1站機台中搜索具有該第一爐管條件的一第三批貨，並提高該第三批貨的優先權，使得該第三批貨與該第一批貨在該批次形成站點時為同一批次。
6. 如申請專利範圍第1項所述的爐管製程的派工控制方法，當該第一批貨進入該批次形成站點時，於該批次形成站點進行派工的步驟包括：確認可生產的爐管機台；依照一批貨清單進行排序並確認各批貨的爐管條件；依照該批貨清單中的該第一批貨的優先權進行派工；以及當該批貨清單中的具有該第一爐管條件的該些批貨滿足該爐管的批量，則於該批次形成站點開始派工，且進行生產。
7. 如申請專利範圍第1項所述的爐管製程的派工控制方法，當該第一批貨進入該批次形成站點時，於該批次形成站點進行派工的步驟包括：確認可生產的爐管機台；依照一批貨清單進行排序並確認各批貨的爐管條件；依照該批貨清單中的該第一批貨的優先權進行派工； 當該批貨清單中的具有該第一爐管條件的該些批貨無法滿足該爐管的批量，則於該批次形成站點之前搜索具有該第一爐管條件的一第四批貨；以及提高該第四批貨的優先權。
8. 如申請專利範圍第7項所述的爐管製程的派工控制方法，在提高該第四批貨的優先權之後，更包括判斷加速該第四批貨到該批次形成站點的時間是否符合該第一批貨的製程時間，以決定是否等待該第四批貨到該批次形成站點。
9. 如申請專利範圍第7項所述的爐管製程的派工控制方法，其中該批貨清單中的具有該第一爐管條件的該些批貨無法滿足該爐管的批量包括該批貨清單中的具有該第一爐管條件的該些批貨大於或小於該爐管的批量。
10. 如申請專利範圍第9項所述的爐管製程的派工控制方法，當該批貨清單中的具有該第一爐管條件的該些批貨大於該爐管的批量，則將該些批貨進行分割。