CN105575838B - 用于量测机台的派货的方法和系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于量测机台的派货的方法和系统。所述方法包括：接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；以及输出所述均衡排序的排序结果，用于由所述量测机台按照所述排序结果对所述待测批次进行量测。上述方法和系统使上游的各个机台能够均衡地及时地获得反馈，从而大大提高了生产效率，降低了质量风险。

Description

用于量测机台的派货的方法和系统

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言涉及一种用于量测机台的派货(dispatch)的方法和系统。

背景技术

在半导体制造当中，除了有制程机台负责生产晶圆以外，还需要量测机台负责检测晶圆通过制程机台后的产品质量。可以说在产品质量检测方面，量测机台发挥了至关重要的作用。在实际生产中，量测机台通常具备检测多种制程的能力，也就是说，不同制程机台的下一道量测工序，对应的可能是同一部量测机台。在大量新产品下线或者工厂的产能吃紧的时候，在严把质量关的同时，量测机台往往会成为产能瓶颈，这就对量测机台的派货优化提出了更高的要求。当前的量测机台的派货方法凭借制造助理(MA)的经验选取批次(Lot，一个Lot表示一个基本批量的晶圆组)，可能使一些制程机台下来的货被量测的次数较少而无法及时获得反馈，影响这些制程机台的载荷(loading)，从而影响整体的生产效率。

发明内容

针对现有技术的不足，一方面，本发明提供一种用于量测机台的派货的方法。所述方法包括：接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；以及输出所述均衡排序的排序结果，用于由所述量测机台按照所述排序结果对所述待测批次进行量测。

在本发明的一个实施例中，所述均衡排序进一步包括：将所述待测批次进行排列组合，形成多个候选序列；分别计算所述多个候选序列中的每一个的量测反馈差值，其中所述量测反馈差值定义为所述多个上游机台中的每一个的待测批次的量测周期的偏移度之和；以及将所述量测反馈差值最小的候选序列确定为所述均衡排序的排序结果。

在本发明的一个实施例中，所述量测周期的偏移度为在每个候选序列中来自同一个上游机台的待测批次的量测间隙数的方差。

在本发明的一个实施例中，在将所述待测批次进行排列组合之前还包括：基于预定参数对来自同一个上游机台的待测批次进行第一排序；并且所述将所述待测批次进行排列组合是在保持所述第一排序的情况下进行的。

在本发明的一个实施例中，所述预定参数包括来自同一个上游机台的待测批次的出帐(trackout)时间。

在本发明的一个实施例中，所述接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息进一步包括：接收所述多个上游机台的机台标识；以及基于所述机台标识从派货数据库中采集来自所述多个上游机台的待测批次的参数信息。

另一方面，本发明还提供一种用于量测机台的派货的系统。所述系统包括：输入模块，用于接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；均衡排序模块，用于基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；以及输出模块，用于输出所述均衡排序的排序结果，用于由所述量测机台按照所述排序结果对所述待测批次进行量测。

在本发明的一个实施例中，所述均衡排序模块进一步包括：排列组合模块，用于将所述待测批次进行排列组合，形成多个候选序列；计算模块，用于分别计算所述多个候选序列中的每一个的量测反馈差值，其中所述量测反馈差值定义为所述多个上游机台中的每一个的待测批次的量测周期的偏移度之和；以及确定模块，用于将所述量测反馈差值最小的候选序列确定为所述均衡排序的排序结果。

在本发明的一个实施例中，所述量测周期的偏移度为在每个候选序列中来自同一个上游机台的待测批次的量测间隙数的方差。

在本发明的一个实施例中，所述系统还包括：第一排序模块，用于基于预定参数对来自同一个上游机台的待测批次进行第一排序；并且所述排列组合模块将所述待测批次进行排列组合是在保持所述第一排序的情况下进行的。

在本发明的一个实施例中，所述预定参数包括来自同一个上游机台的待测批次的出帐时间。

在本发明的一个实施例中，所述输入模块进一步包括：接收模块，用于接收所述多个上游机台的机台标识；以及采集模块，用于基于所述机台标识从派货数据库中采集来自所述多个上游机台的待测批次的参数信息。

上述用于量测机台的派货的方法和系统使上游的各个机台能够均衡地及时地获得反馈，从而大大提高了生产效率，降低了质量风险。

附图说明

本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施例及其描述，用来解释本发明的原理。

附图中：

图1为根据本发明的实施例的用于量测机台的派货的方法的流程图；以及

图2为根据本发明的实施例的候选序列的示意图；

图3为图2的第一候选序列中来自上游机台B的Lot的量测间隙数的示意图；

图4为根据本发明的实施例的均衡排序的排序结果及其相关信息的示意图；以及

图5为根据本发明的实施例的用于量测机台的派货的系统的结构框图。

具体实施方式

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

应当理解的是，本发明能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本发明的范围完全地传递给本领域技术人员。

在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本发明的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

为了彻底理解本发明，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本发明提出的技术方案。本发明的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本发明还可以具有其他实施方式。

根据本发明的一方面，提供了一种用于量测机台的派货的方法。所述方法包括：接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；基于参数信息对待测批次进行均衡排序，以使得多个上游机台均衡地获得反馈；以及输出均衡排序的排序结果，用于由量测机台按照排序结果对待测批次进行量测。

在半导体制造当中，不同制程机台的下一道量测工序可能需要同一个量测机台来进行。例如，在制程机台里有多个主机台(这些主机台相对于量测机台可以称为上游机台)，从这些上游机台加工出来的Lot都需要去量测机台进行参数测量，然后测量结果将被反馈给相应的上游机台，上游机台再根据这些反馈参数对后继的Lot进行处理或者通知工程师作出相应的修正。这就会在上游机台和量测机台之间形成一种反馈关系，这种反馈关系表现为量测机台量测Lot的顺序会影响上游机台的Loading。因此，量测机台对来自多个上游机台的Lot的量测顺序非常重要。本发明的上述实施例提供一种用于量测机台的派货的方法，该方法对来自多个上游机台的待测批次进行均衡排序，可以使得多个上游机台均衡地获得反馈，从而使得每个上游机台都能及时获得反馈，进而提高整体的生产效率，降低质量风险。

图1示出了根据本发明的实施例的用于量测机台的派货的方法100的流程图。如图1所示，用于量测机台的派货的方法100可以包括以下步骤：

步骤101：接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；

如上所述，不同制程机台的下一道量测工序可能需要同一个量测机台来进行，因此可以从多个上游机台接收待测批次的参数信息。具体地，步骤101可以进一步包括：接收多个上游机台的机台标识；以及基于机台标识从派货数据库中采集来自多个上游机台的待测批次的参数信息。所述参数信息可以包括待测批次来自的上游机台的标识，待测批次本身的标识等。例如，需要均衡的上游机台包括3个，分别为上游机台A、上游机台B和上游机台C，则可以接收机台标识A、B以及C，例如可以分别表示为EQPA、EQPB和EQPC，其中EQP为设备(equipment)。基于所接收的机台标识，可以从派货数据库中采集来自上游机台A、B以及C的待测批次的参数信息。例如，上游机台A可以包括7个待测批次，分别为A1、A2、A3、……、A7。类似地，例如上游机台B可以包括6个待测批次，分别为B1、B2、……、B6，上游机台C可以包括5个待测批次，分别为C1、C2、……、C5。基于机台标识从派货数据库中采集来自多个上游机台的待测批次的参数信息方便快捷，可以提高处理速度。

步骤102：基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；

获得待测批次的参数信息后，可以对待测批次进行均衡地排序，例如将分别来自上游机台A、B、C的待测批次间隔排序，例如排序为A1、B1、C1、A2……等，这样可以使得上游机台A、B、C的Lot能均衡地被量测机台测量，从而使它们都能及时得到反馈。优选地，均衡排序可以进一步包括以下步骤a、b和c。

步骤a：将待测批次进行排列组合，形成多个候选序列；

图2示出了根据本发明的实施例的候选序列的示意图。在图2中，上游机台包括上游机台A、B和C，其各自的待测批次分别包括A1、A2、A3、……、A7，B1、B2、……、B6，以及C1、C2、……、C5。将这些待测批次进行排列组合，形成所有可能的多个候选序列。为了示例，图2仅示出其中的3个候选序列，分别为第一候选序列、第二候选序列和第三候选序列。

根据本发明的一个实施例，在进行步骤a之前还可以包括：基于预定参数对来自同一个上游机台的待测批次进行第一排序；并且将待测批次进行排列组合是在保持第一排序的情况下进行的。根据不同的实际情况，可能需要来自同一个上游机台的待测批次按照一定的次序排列。例如，有些待测批次可能需要紧急处理或者出帐时间较早而希望及早处理。因此，可以基于预定参数对来自同一个上游机台的待测批次进行第一排序，然后在该第一排序的基础上再对来自不同上游机台的所有待测批次进行排列组合。这样的排序更能满足实际的需要，可以灵活调整。可选地，预定参数可以包括在步骤101所接收的参数信息中。

例如，预定参数可以包括来自同一个上游机台的待测批次的出帐时间。在图2中，例如来自上游机台A的待测批次Ai先于Aj出帐，其中i<j，则可以首先将Ai排于Aj之前；类似地，将Bi排于Bj之前，Ci排于Cj之前。然后在此基础上将来自上游机台A、B、C的所有待测批次进行排列组合，形成所有可能的候选序列。

步骤b：分别计算多个候选序列中的每一个的量测反馈差值，其中量测反馈差值定义为多个上游机台中的每一个的待测批次的量测周期的偏移度之和；

如图2所示，在第一候选序列中，对于来自上游机台B的待测批次的量测为：量测A1与A2之后量测B1，测量C1、C2、A3之后量测B2，……。对于来自上游机台C的待测批次的量测为：量测A1、A2、B1之后量测C1、C2，量测A3、B2之后量测C3，……。也就是说，在每个候选序列中来自每个上游机台的待测批次的量测周期可能会有一定的偏移度。对于每个候选序列，可以分别计算每个上游机台的待测批次的量测周期的偏移度，将其相加，得到该候选序列的量测反馈差值，该量测反馈差值(可以用Measurement Feedback Difference Value表示，即MFDV)可以反映该候选序列达到均衡排序的程度。

根据本发明的一个实施例，量测周期的偏移度可以为在每个候选序列中来自同一个上游机台的待测批次的量测间隙数的方差。图3示出了图2的第一候选序列中来自上游机台B的Lot的量测间隙数的示意图。在图2的第一候选序列中，来自上游机台B的Lot的量测与来自上游机台A、C的Lot的量测是不规则穿插交错进行的。在对上游机台B的Lot B1、B2、B3、B4、B5、B6进行量测时，由于来自上游机台A、C的穿插，使得对上游机台B的量测有了间隙。如图3所示，这些量测间隙数分别为2、3、1、0、1、2。因此，可以用下式计算来自上游机台B的Lot的量测间隙数的方差D_B：

E(X)_B＝(2+3+1+0+1+2)/6＝1.5

D_B＝E((X-E(X)_B)²)＝[(2-1.5)²+(3-1.5)²+(1-1.5)²+(0-1.5)²+(1-1.5)²+(2-1.5)²]/6≈0.92

类似地，可以分别计算出第一候选序列中来自上游机台A和C的Lot的量测间隙数的方差D_A和D_C，其中D_A＝1.96，D_C＝1.84，则第一候选序列的量测反馈差值即为：

MFDV＝D_A+D_B+D_C＝1.96+0.92+1.84＝4.72

类似地，可以分别计算出第二候选序列和第三候选序列的量测反馈差值分别为0.67和33.85。

步骤c：将量测反馈差值最小的候选序列确定为均衡排序的排序结果。通过以上计算，第二候选序列的量测反馈差值最小，即在第二候选序列中每个上游机台的Lot的量测周期偏移度都比较小。也就是说，第二候选序列的排序方式实现了各个上游机台的Lot的均衡排序，因此可以将第二候选序列确定为均衡排序的排序结果。

步骤103：输出均衡排序的排序结果，用于由量测机台按照排序结果对待测批次进行量测。

接着上述实施例，最后确定图2中的第二候选序列为均衡排序的排序结果，则可以输出该第二候选序列及其相关信息，如图4所示，所述相关信息例如可以包括待测批次的标识ID、待测批次来自的历史设备(即上游机台)以及待测批次的出帐时间。可以将该第二候选序列及其相关信息显示给操作员，这样，操作员可以便利地查询该排序结果，进而操作量测机台按照该排序结果对待测批次进行量测。

通过上述用于量测机台的派货的方法，各个上游机台能够均衡地及时地获得反馈，保证程序(recipe)的时效，减少机台重置(setup)几率，降低有效处理时间(effectiveprocess time)的可变性(variability)。因而增加机台的生产速度(throughput)，缩短机台生产周期(cycle time)。

根据本发明的另一方面，还提供了一种用于量测机台的派货的系统500。系统500包括：输入模块501，用于接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；均衡排序模块502，用于基于参数信息对待测批次进行均衡排序，以使得多个上游机台均衡地获得反馈；以及输出模块503，用于输出均衡排序的排序结果，用于由量测机台按照排序结果对待测批次进行量测。

根据本发明的一个实施例，均衡排序模块502可以进一步包括：排列组合模块，用于将待测批次进行排列组合，形成多个候选序列；计算模块，用于分别计算多个候选序列中的每一个的量测反馈差值，其中量测反馈差值定义为多个上游机台中的每一个的待测批次的量测周期的偏移度之和；以及确定模块，用于将量测反馈差值最小的候选序列确定为均衡排序的排序结果。

根据本发明的一个实施例，量测周期的偏移度可以为在每个候选序列中来自同一个上游机台的待测批次的量测间隙数的方差。

根据本发明的一个实施例，系统还可以包括：第一排序模块(未在图5中示出)，用于基于预定参数对来自同一个上游机台的待测批次进行第一排序；并且排列组合模块将待测批次进行排列组合是在保持第一排序的情况下进行的。

根据本发明的一个实施例，预定参数包括来自同一个上游机台的待测批次的出帐时间。

根据本发明的一个实施例，输入模块501可以进一步包括：接收模块，用于接收多个上游机台的机台标识；以及采集模块，用于基于机台标识从派货数据库中采集来自多个上游机台的待测批次的参数信息。

本发明已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本发明并不局限于上述实施例，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。本发明的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。

Claims (10)

1.一种用于量测机台的派货的方法，包括：

接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；

基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；以及

输出所述均衡排序的排序结果，用于由所述量测机台按照所述排序结果对所述待测批次进行量测；

所述均衡排序进一步包括：

将所述待测批次进行排列组合，形成多个候选序列；

分别计算所述多个候选序列中的每一个的量测反馈差值，其中所述量测反馈差值定义为所述多个上游机台中的每一个的待测批次的量测周期的偏移度之和；以及

将所述量测反馈差值最小的候选序列确定为所述均衡排序的排序结果。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述量测周期的偏移度为在每个候选序列中来自同一个上游机台的待测批次的量测间隙数的方差。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在将所述待测批次进行排列组合之前还包括：

基于预定参数对来自同一个上游机台的待测批次进行第一排序；并且

所述将所述待测批次进行排列组合是在保持所述第一排序的情况下进行的。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述预定参数包括来自同一个上游机台的待测批次的出帐时间。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息进一步包括：

接收所述多个上游机台的机台标识；以及

基于所述机台标识从派货数据库中采集来自所述多个上游机台的待测批次的参数信息。

6.一种用于量测机台的派货的系统，包括：

输入模块，用于接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；

均衡排序模块，用于基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；以及

输出模块，用于输出所述均衡排序的排序结果，用于由所述量测机台按照所述排序结果对所述待测批次进行量测；

所述均衡排序模块进一步包括：

排列组合模块，用于将所述待测批次进行排列组合，形成多个候选序列；

计算模块，用于分别计算所述多个候选序列中的每一个的量测反馈差值，其中所述量测反馈差值定义为所述多个上游机台中的每一个的待测批次的量测周期的偏移度之和；以及

确定模块，用于将所述量测反馈差值最小的候选序列确定为所述均衡排序的排序结果。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述量测周期的偏移度为在每个候选序列中来自同一个上游机台的待测批次的量测间隙数的方差。

8.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

第一排序模块，用于基于预定参数对来自同一个上游机台的待测批次进行第一排序；并且

所述排列组合模块将所述待测批次进行排列组合是在保持所述第一排序的情况下进行的。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述预定参数包括来自同一个上游机台的待测批次的出帐时间。

10.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述输入模块进一步包括：

接收模块，用于接收所述多个上游机台的机台标识；以及

采集模块，用于基于所述机台标识从派货数据库中采集来自所述多个上游机台的待测批次的参数信息。