CN101872714B - 晶圆在线检测方法及系统 - Google Patents
晶圆在线检测方法及系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101872714B CN101872714B CN2009100499911A CN200910049991A CN101872714B CN 101872714 B CN101872714 B CN 101872714B CN 2009100499911 A CN2009100499911 A CN 2009100499911A CN 200910049991 A CN200910049991 A CN 200910049991A CN 101872714 B CN101872714 B CN 101872714B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- product wafer
- product
- wafer
- detects
- measuring station
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本发明提供了晶圆在线检测方法及系统，以避免现有检测方案可能存在的耽误产品时间、降低检测效果及无法充分利用检测站点检测能力的问题。该方法包括步骤：获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量；根据获得的所述类型及数量，确定单位时间内进入检测站点检测的各类晶圆产品数目；以及检测站点检测进入自身的各类晶圆产品。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及晶圆在线检测方法及系统。
背景技术
半导体制造过程中，晶圆由一系列处理站点顺次处理，并最终形成半导体产品，所述处理站点包含一个或多个处理机台，由机台对晶圆进行工艺处理。在处理站点间包含有检测站点，以对检测站点前处理过的部分晶圆进行检测，由于该检测是在产品生产过程中进行，因此称为在线检测，其中进入检测站点检测的晶圆数目可以预先设定，该数目需小于或等于检测站点的吞吐量，即检测站点在单位时间内能够检测的最大晶圆数目。
业界通常用取样率(sampling rate)来衡量一批产品中进入检测站点的产品的数目，其中进入检测站点的产品数目等于该批产品总数与取样率的乘积。于是通过调整取样率可以调整该批产品进入检测站点的数目。
目前生产线通常是同时生产几种不同的产品，则一定时间段内需要进入检测站点进行检测的产品可能就有多种。不同产品到达检测站点的时间若不一致，则需合理设置各种产品的取样率，然后由检测站点根据设置的取样率检测相应产品，否则将可能导致一种产品检测过多耽误该产品的生产时间，或其它产品检测过少使得检测站点的检测能力得不到充分利用或检测结果可信度差等问题。
现有检测方案一般是生产人员根据生产的产品组合，人为设定各个产品的取样率来确定各种产品在该检测站点检测的数目，然后由检测站点检测相应数目的产品。
但该检测方案中，由于该取样率由生产人员根据生产的产品组合设置，因此其设置的取样率通常不够合理，一方面可能设置过大而耽误产品生产时间，另一方面可能设置过小而降低检测效果及无法充分利用检测站点的检测能力。
发明内容
本发明解决的问题是提供晶圆在线检测方法及系统，以避免现有检测方案可能存在的耽误产品时间、降低检测效果及无法充分利用检测站点检测能力的问题。
本发明提供了晶圆在线检测方法，该方法包括步骤：获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量；根据获得的所述类型及数量，确定单位时间内进入检测站点检测的各类晶圆产品数目；以及检测站点检测进入自身的各类晶圆产品。
本发明提供了晶圆在线检测系统，该系统包括：晶圆类型数量获得单元，用于获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量；检测数目确定单元，用于根据获得的所述类型及数量，确定单位时间内进入检测站点检测的各类晶圆产品数目。
由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本发明具有以下优点：
本发明的一种技术方案通过获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量，再确定各类晶圆产品进入检测站点的数目，因此能够提高各类晶圆产品进入检测站点检测数目的合理性，有利于防止检测产品数目过多导致耽误产品生产时间，以及检测产品数目不足降低检测效果和无法充分利用检测站点检测能力的问题。
附图说明
图1为本发明实施例提供的晶圆在线检测方法流程图；
图2为本发明实施例提出的晶圆在线检测系统的结构示意图。
具体实施方式
针对背景技术提及的问题，本发明实施例提出如果能够预先获得获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量，则可以根据所述类型和数量来灵活确定出各类产品在单位时间内进入检测站点检测的合理数目，避免部分产品检测过多而导致该产品生产时间延长，或者部分产品检测过少而降低检测效果或无法充分利用检测站点检测能力的问题。
图1为本发明实施例提供的晶圆在线检测方法流程图，结合该图，该方法包括步骤：
步骤1，获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量；
其中步骤1的实施方式有多种，下面给出本实施例的一种实施方式：
首先从派工单获得到达检测站点的晶圆产品类型，所述派工单为本领域公知术语，包含生产的产品类型，各类产品需经由哪些站点处理等信息；然后对于各类晶圆产品，分别执行下述a1～a3操作，直至计算出全部种类晶圆产品到达检测站点的数目：
a1，确定出该类晶圆产品在检测站点前需经过的处理站点；
a2，加总各处理站点处理在制该类晶圆产品需耗费的时间及在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理的时间；
在步骤a2中获得晶圆产品在处理站点前等待处理的时间也可以由多种方式实现，本实施例中较佳的还包括确定所述在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理时间的步骤。所述确定在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理时间的步骤可以具体包括：首先确定该处理站点处理晶圆产品的排序方式；然后根据确定的排序方式，确定到达该处理站点的在制该类晶圆产品需等待处理的时间。其中所述排序方式可以但不限于为：按照晶圆产品优先级高低排序，优先处理优先级高的晶圆产品，或者是按照等待时间长短排序，优先处理等待处理时间较长的晶圆产品等。
本实施例由于通过确定处理站点处理晶圆的排序方式，来更为有效的获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自数量，因此提高了确定出的类型及数量的合理性和准确性，进而进一步提高了确定出的各类晶圆产品进入检测站点数目的合理性和准确性。
a3，用在制晶圆产品总数除以所述加总得到的时间，得到单位时间内到达检测站点的该类晶圆产品数目。
步骤2，根据获得的所述类型及数量，确定单位时间内进入检测站点检测的各类晶圆产品数目；
本步骤确定进入检测站点检测的各类晶圆产品数目可以有多种方式，例如单位时间内到达检测站点的一种晶圆数目较多时，减少检测的该类晶圆数目，单位时间内到达检测站点的另一种晶圆数目较少时，增加检测的该类晶圆数目。在确定进入检测站点检测的各类晶圆产品数目时，可以直接确定数目，也可以通过确定取样率来间接确定数目。
步骤3，检测站点检测进入自身的各类晶圆产品。
通过上述实施过程，本实施例能够提高各类晶圆产品进入检测站点检测数目的合理性，有利于防止检测产品数目过多导致耽误产品生产时间，以及检测产品数目不足降低检测效果和无法充分利用检测站点检测能力的问题。
此外为进一步提高检测效率，防止检测站点检测能力变动导致检测效率降低，本实施例中，在检测站点检测进入自身的晶圆前，还可以检测检测站点的检测能力，所述检测能力可以为检测站点单位时间内能够检测的晶圆数量。另外如果在检测出检测站点的检测能力过小或过大，则还可以对检测站点的检测能力进行调整，以得到合理的检测能力，使得检测站点的检测能力进一步充分利用。
本发明实施例还提出晶圆在线检测系统，以解决背景技术提及的问题。
图2为本发明实施例提出的晶圆在线检测系统的结构示意图，结合该图，该系统包括：
晶圆类型数量获得单元21，用于获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量；
检测数目确定单元22，用于根据晶圆类型数量获得单元21获得的所述类型及数量，确定单位时间内进入检测站点检测的各类晶圆产品数目。
其中晶圆类型数量获得单元21可以但不限于具体包括下述子单元：
用于从派工单获得到达检测站点的晶圆产品类型的子单元；
用于确定出该类晶圆产品在检测站点前需经过的处理站点的子单元；
用于加总各处理站点处理在制该类晶圆产品需耗费的时间及在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理的时间的子单元；以及
用于用在制晶圆产品总数除以所述加总得到的时间，得到单位时间内到达检测站点的该类晶圆产品数目的子单元。
其中为确定处理站点前等待处理的晶圆产品等待的时间，还可以包括用于确定所述在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理时间的子单元。所述用于确定在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理时间的子单元可以但不限于具体包括：用于确定该处理站点处理晶圆产品的排序方式的子单元；用于根据确定的排序方式，确定到达该处理站点的在制该类晶圆产品需等待处理的时间的子单元。
参照方法实施例，所述排序方式可以有多种，例如按照晶圆产品优先级高低排序，优先处理优先级高的晶圆产品；或按照等待时间长短排序，优先处理等待处理时间较长的晶圆产品。
此外所述检测数目确定单元根据所述类型及数量，通过确定出各类晶圆产品的取样率来间接确定所述进入检测站点检测的各类晶圆产品数目。
通过上述晶圆在线检测系统，本实施例能够提高各类晶圆产品进入检测站点检测数目的合理性，有利于防止检测产品数目过多导致耽误产品生产时间，以及检测产品数目不足降低检测效果和无法充分利用检测站点检测能力的问题。
另外本实施例的晶圆在线检测系统可以包含确定排序方式的子单元，因此能够更为有效的获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自数量，因此提高了确定出的类型及数量的合理性和准确性，进而进一步提高了确定出的各类晶圆产品进入检测站点数目的合理性和准确性。
上述实施例的晶圆在线检测系统中还可以包括用于在检测站点检测晶圆产品前，检测检测站点检测能力的单元，以防止检测站点检测能力变动导致检测效率降低，此外还可以包括用于在检测站点检测晶圆产品前，调整检测站点检测能力的单元，以充分利用检测站点的检测能力。
虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (16)
1.一种晶圆在线检测方法，包括：
获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量；
根据获得的所述类型及数量，确定单位时间内进入检测站点检测的各类晶圆产品数目；
检测站点检测进入自身的各类晶圆产品；
其中，所述获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量，具体包括：
从派工单获得到达检测站点的晶圆产品类型；
对于各类晶圆产品，分别执行下述操作，直至计算出全部种类晶圆产品到达检测站点的数目：
确定出该类晶圆产品在检测站点前需经过的处理站点；
加总各处理站点处理的在制该类晶圆产品需耗费的时间及在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理的时间；
用在制晶圆产品总数除以所述加总得到的时间，得到单位时间内到达检测站点的该类晶圆产品数目。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括确定在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理时间的步骤。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述确定在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理时间的步骤具体包括：
确定该处理站点处理晶圆产品的排序方式；
根据确定的排序方式，确定到达该处理站点的在制该类晶圆产品需等待处理的时间。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述排序方式为：按照晶圆产品优先级高低排序，优先处理优先级高的晶圆产品。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述排序方式为：按照等待时间长短排序，优先处理等待处理时间较长的晶圆产品。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述类型及数量，通过确定出各类晶圆产品的取样率来间接确定所述进入检测站点检测的各类晶圆产品数目。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在检测站点检测晶圆产品前，检测检测站点检测能力的步骤。
8.根据权利要求1或7所述的方法，其特征在于，还包括在检测站点检测晶圆产品前，调整检测站点检测能力的步骤。
9.一种晶圆在线检测系统，包括：
晶圆类型数量获得单元，用于获得单位时间内到达检测站点的晶圆产品类型及各自的数量；
检测数目确定单元，用于根据晶圆类型数量获得单元获得的所述类型及数量，确定单位时间内进入检测站点检测的各类晶圆产品数目；
其中，所述晶圆类型数量获得单元具体包括：
用于从派工单获得到达检测站点的晶圆产品类型的子单元；
用于确定出该类晶圆产品在检测站点前需经过的处理站点的子单元；
用于加总各处理站点处理在制该类晶圆产品需耗费的时间及在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理的时间的子单元；
用于用在制晶圆产品总数除以所述加总得到的时间，得到单位时间内到达检测站点的该类晶圆产品数目的子单元。
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，还包括用于确定所述该类在制晶圆产品在处理站点前等待处理时间的子单元。
11.根据权利要求10所述的系统，其特征在于，所述用于确定在制该类晶圆产品在处理站点前等待处理时间的子单元具体包括：
用于确定该处理站点处理晶圆产品的排序方式的子单元；
用于根据确定的排序方式，确定到达该处理站点的在制该类晶圆产品需等待处理的时间的子单元。
12.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述排序方式为：按照晶圆产品优先级高低排序，优先处理优先级高的晶圆产品。
13.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述排序方式为：按照等待时间长短排序，优先处理等待处理时间较长的晶圆产品。
14.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述检测数目确定单元根据所述类型及数量，通过确定出各类晶圆产品的取样率来间接确定所述进入检测站点检测的各类晶圆产品数目。
15.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，还包括用于在检测站点检测晶圆产品前，检测检测站点检测能力的单元。
16.根据权利要求9或15所述的系统，其特征在于，还包括用于在检测站点检测晶圆产品前，调整检测站点检测能力的单元。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009100499911A CN101872714B (zh) | 2009-04-24 | 2009-04-24 | 晶圆在线检测方法及系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009100499911A CN101872714B (zh) | 2009-04-24 | 2009-04-24 | 晶圆在线检测方法及系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101872714A CN101872714A (zh) | 2010-10-27 |
| CN101872714B true CN101872714B (zh) | 2012-06-20 |
Family
ID=42997502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009100499911A Active CN101872714B (zh) | 2009-04-24 | 2009-04-24 | 晶圆在线检测方法及系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101872714B (zh) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102437072A (zh) * | 2011-11-28 | 2012-05-02 | 上海华力微电子有限公司 | 晶片缺陷扫描调度的方法和系统 |
| CN102446786B (zh) * | 2011-11-28 | 2013-12-04 | 上海华力微电子有限公司 | 一种半导体制程中的设备监控方法 |
| CN102945030B (zh) * | 2012-11-02 | 2015-04-01 | 上海华力微电子有限公司 | 一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法 |
| CN103811367B (zh) * | 2012-11-07 | 2016-06-15 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 产品缺陷检测方法 |
| CN104916559B (zh) * | 2014-03-10 | 2017-11-03 | 旺宏电子股份有限公司 | 结合实体坐标的位失效侦测方法 |
| CN105575838B (zh) * | 2014-10-17 | 2018-08-21 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 用于量测机台的派货的方法和系统 |
| CN107481963B (zh) * | 2016-06-07 | 2020-01-03 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种控制晶圆排队等待时间的方法和系统 |
| CN108766903B (zh) * | 2018-04-20 | 2021-07-27 | 上海华力微电子有限公司 | 一种检测站的来料负荷控制方法 |
| CN109494178B (zh) * | 2018-11-16 | 2022-04-12 | 上海华力微电子有限公司 | 一种检测机台的派工方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW392204B (en) * | 1998-12-11 | 2000-06-01 | Taiwan Semiconductor Mfg | Method of defining lot's priority of wafer |
| US6442496B1 (en) * | 2000-08-08 | 2002-08-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for dynamic sampling of a production line |
| CN1729560A (zh) * | 2002-12-18 | 2006-02-01 | 先进微装置公司 | 用于模型预测的动态适应性取样率 |
| CN1759358A (zh) * | 2003-04-03 | 2006-04-12 | 先进微装置公司 | 根据状态估算结果调整采样率的方法 |
| CN101281404A (zh) * | 2007-04-03 | 2008-10-08 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 工厂自动化系统以及相关方法 |
-
2009
- 2009-04-24 CN CN2009100499911A patent/CN101872714B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW392204B (en) * | 1998-12-11 | 2000-06-01 | Taiwan Semiconductor Mfg | Method of defining lot's priority of wafer |
| US6442496B1 (en) * | 2000-08-08 | 2002-08-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for dynamic sampling of a production line |
| CN1729560A (zh) * | 2002-12-18 | 2006-02-01 | 先进微装置公司 | 用于模型预测的动态适应性取样率 |
| CN1759358A (zh) * | 2003-04-03 | 2006-04-12 | 先进微装置公司 | 根据状态估算结果调整采样率的方法 |
| CN101281404A (zh) * | 2007-04-03 | 2008-10-08 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 工厂自动化系统以及相关方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101872714A (zh) | 2010-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101872714B (zh) | 晶圆在线检测方法及系统 | |
| EP3665462B1 (en) | Identification of air leaks in a compressed air system using a plurality of current measurement sensors | |
| US20130137196A1 (en) | Method for monitoring devices in semiconductor process | |
| CN104217978A (zh) | 半导体批次产品的处理系统和方法 | |
| US20090248189A1 (en) | Method and system for automatic generation of throughput models for semiconductor tools | |
| TW201339779A (zh) | 基於時間之裝置感測器資料與基於物質之計量統計處理控制資料的雙向關聯及圖形化取得 | |
| CN100498603C (zh) | 用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法及自动系统 | |
| CN112185831A (zh) | 抽样缺陷检测方法、及其设备和系统 | |
| JP2005157946A (ja) | 同期方法、コンピュータシステム及びプログラム | |
| CN101727098B (zh) | 生产周期目标测量方法及系统 | |
| CN101169461A (zh) | 晶片测试方法 | |
| CN108646696B (zh) | 自动处理待检测批次产品的系统及方法 | |
| CN102004451B (zh) | 用于在线缺陷扫描的动态统计采样控制方法和装置 | |
| JP2002323924A (ja) | 不良装置検出方法、不良装置検出装置、プログラム及び製品の製造方法 | |
| CN103646891A (zh) | 晶圆派工方法 | |
| CN115831813A (zh) | 一种晶圆测验批次的选取方法、装置、设备及介质 | |
| US7206653B1 (en) | Wafer-based planning methods and systems for batch-based processing tools | |
| EP3967984B1 (en) | Counter unit, data processing device, measurement system, counter unit control method, and data processing method | |
| CN114331205A (zh) | 一种产品检测方法、装置、计算机设备及可读存储介质 | |
| CN104217970A (zh) | 采样量测方法和系统 | |
| US6732000B2 (en) | Unified method and system for manufacturing tool set performance analysis | |
| US10509398B2 (en) | Manufacturing management apparatus using inspection information and trace information, and manufacturing system | |
| CN105575838B (zh) | 用于量测机台的派货的方法和系统 | |
| CN101763557A (zh) | 物料出库申请数量的控制方法 | |
| KR101694348B1 (ko) | 미터들의 시간정보와 통신성능을 고려한 검침 스케줄링 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |