CN109754133B - 半导体加工设备以及fab各区的排货方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种半导体加工设备及FAB各区的排货方法及系统，排货包括：获取半导体加工设备的所有可跑货物；基于第一排序规则，将可跑货物排序并选取最优级可跑货物，得到第一可跑货物，记录第一可跑货物的制程；于剩余可跑货物中选取与第一可跑货物具有相同制程的货物，得到第二可跑货物；基于第二排序规则将第二可跑货物排序并选取，第一可跑货物及选出的第二可跑货物生成第一加工批次。通过上述方案，本发明的排货方法及系统是分散式的，相对于集中式的，可以减轻系统负担；不需要额外再买大型机器来架设派工服务器，节约成本；FAB各区域派工规则可以单独进行灵活设定，便于维护修改；排货与备货系统结合，提高生产效率，改善生产周期。

Description

半导体加工设备以及FAB各区的排货方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体生产排货领域，特别是涉及一种半导体设备排货方法和系统以及FAB各区系统化排货方法和系统。

背景技术

在半导体制造中，由于生产工艺和过程及其复杂，每种产品在生产过程中会使用不同类型、不同功能的半导体加工设备。工程师根据产品在每个半导体加工设备上设置不同的生产配方(EQP Recipe)，生产配方提供了晶圆进入半导体加工设备加工时所用到的工艺步骤以及每个工艺步骤所用到的全部参数，同一个半导体加工设备可以通过设置不同的生产配方以生产不同的产品。

世界上最先进的晶圆厂已经实现全自动化生产，实现全自动化生产最主要的一个部分就是采用实时派货系统(RTD，Real Time Dispatching)来负责生产线上晶圆批次(Lot)的排货，准确的将晶圆批次派到半导体加工设备，保证晶圆批次可以在半导体加工设备上生产。

目前，现有的现有技术是集中式计算进行的派工，此方法存在如下问题：它是把生产系统的产品流程资料(RUNCARD)进行集中式的计算，所有的功能都集成到主服务器上,没有独立性；同时这样对主服务器配置要求很高，耗费资源较大，性能也不好，如果主服务器一旦发生故障则排货系统将无法使用。

因此，如何提供一种半导体加工设备的排货方法和系统，以及FAB各区的排货方法及系统，以解决现有技术中的上述问题实属必要。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种半导体加工设备及FAB各区的排货方法及系统，用于解决现有技术中集中的排货派工方式所导致的诸多问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种半导体加工设备的排货方法，包括如下步骤：

1)获取所述半导体加工设备的所有可跑货物；

2)基于第一排序规则，将所述可跑货物排序并选取最优级的可跑货物，以得到第一可跑货物，并记录下所述第一可跑货物的制程；

3)于剩余的所述可跑货物中选取与所述第一可跑货物具有相同制程的可跑货物，以得到至少一个第二可跑货物；以及

4)基于第二排序规则，将所有所述第二可跑货物排序并依据预设条件进行选取，所述第一可跑货物及选取出的所述第二可跑货物生成所述半导体加工设备的第一加工批次。

作为本发明的一种优选方案，还包括步骤5)，生成所述第一加工批次后，将剩余的所述第二可跑货物继续按照步骤1)至步骤4)进行排货。

作为本发明的一种优选方案，循环所述步骤1)至步骤4)，依次生成所述半导体加工设备的后续各加工批次。

作为本发明的一种优选方案，步骤1)中，所述半导体加工设备的所述可跑货物依据生产系统获取的实时站点信息以及派工系统抓取的产品流程资料对比获得；步骤4)中，所述预设条件为所述半导体加工设备的跑货数量上限。

作为本发明的一种优选方案，步骤2)中，所述第一排序规则包括：

2-1)选取所述可跑货物中具有Q-TIME的货物，依据所述Q-TIME的剩余时间自少至多排列；

2-2)对于所述Q-TIME剩余时间相同或者不具有Q-TIME的货物，依据货物的优先等级自高至低排列；

2-3)对于优先等级相同的货物，依据距交货日期剩余时间自少至多排列；以及

2-4)对于交货日期相同的货物，依据所述可跑货物在所述半导体加工设备站点已经停留的时间自长至短排列。

作为本发明的一种优选方案，步骤4)的所述第二排序规则与所述第一排序规则相同。

作为本发明的一种优选方案，步骤2)中，选取出最优级的可跑货物的步骤包括：

a)定时获取Q-TIME结束站点为所述半导体加工设备的货物；

b)自步骤a)获取的货物中选取出正处于所述Q-TIME开始站点的货物；以及

c)基于第三排序规则，将步骤b)所得到的货物进行排序形成待拉货物清单，并得到所述最优级的可跑货物。

作为本发明的一种优选方案，步骤c)的所述第三排序规则与所述第一排序规则相同。

作为本发明的一种优选方案，还包括对所述待拉货物执行了拉货动作后，将被拉走的货物从所述待拉货物清单中删除的步骤。

作为本发明的一种优选方案，步骤1)中，还包括排除所述可跑货物中有跑货限制的可跑货物的步骤，其中，排除规则依据不同半导体加工设备的特性以及制程需求而设定。

作为本发明的一种优选方案，所述半导体加工设备为炉管。

本发明还提供一种FAB各区半导体加工设备分散式系统化排货的方法，包括如下步骤：

1)提供一派工服务器，所述派工服务器与半导体加工设备相匹配，并采用如上述任一项方案所述的排货方法对各所述半导体加工设备进行排货，其中，所述派工服务器设置于系统主服务器上；

2)提供若干机台客户端，所述机台客户端一端与所述派工服务器连接，另一端与所述半导体加工设备相连接，用于自所述派工服务器中获取其所对应的所述半导体加工设备的排货信息并将所述排货信息输出。

作为本发明的一种优选方案，步骤1)中，所述派工服务器的派工系统数据库与所述系统主服务器的系统主数据库为相互独立的数据库。

作为本发明的一种优选方案，步骤1)中，所述系统主服务器的数量为两个，与每个所述系统主服务器相连接的所述派工服务器的数量为三个。

作为本发明的一种优选方案，还包括将备货系统集合于所述派工服务器的步骤，以使用户点击所述备货系统的备货按钮即可获取已经被预订的货物及其对应的所述半导体加工设备的信息。

本发明还提供一种半导体加工设备的排货系统，所述排货系统包括：

存储模块，用于获取并存储所述半导体加工设备的可跑货物的信息；

处理模块，获取所述存储模块中可跑货物的信息，并基于第一排序规则选取出最优级的可跑货物作为第一可跑货物，自剩余所述可跑货物中选取与所述第一可跑货物具有相同制程的第二可跑货物，基于第二排序规则排列所述第二可跑货物并依预设条件进行选取；

排货模块，用于依据所述处理模块得到的所述第一可跑货物以及选出的所述第二可跑货物生成所述半导体加工设备的第一加工批次。

作为本发明的一种优选方案，所述存储模块还包括：

Q-TIME信息处理单元，用于定时获取Q-TIME结束站点为所述半导体加工设备的货物，并自所获取的货物中选取出正处于Q-TIME开始站点的货物，再基于第三排序规则进行排序，以形成待拉货物清单，并得到所述最优级的可跑货物。

本发明还提供一种FAB各区半导体加工设备分散式系统化排货的方法，包括：

派工模块，包括派工服务器，所述派工服务器设置于系统主服务器上，所述派工模块包括如上述任一项方案所述的排货系统，用于对各半导体加工设备进行排货；

显示模块，一端与所述派工模块相连接，另一端与所述半导体加工设备相连接，用于自所述派工模块中获取所述半导体加工设备的排货信息并将所述排货信息输出。

作为本发明的一种优选方案，还包括：备货模块，包括备货系统，集合于所述派工服务器，以使用户点击所述备货系统的备货按钮即可获取已经被预订的货物及其对应的所述半导体加工设备的信息。

如上所述，本发明提供的半导体加工设备及FAB各区排货方法及系统，有如下有益效果：

本发明提供的排货方法及系统是分散式的，相对于现有技术中派工相关的产品流程资料的集中式的处理方式，可以减轻系统负担，不会将系统拖垮；本申请不需要额外再买大型机器来架设派工服务器，节约成本；FAB各区域派工规则可以单独进行灵活设定，便于维护修改；同时，在排货备货中，解决了大量人为手动时间等，提高了生产效率，改善了生产周期。

附图说明

图1显示为本发明提供的半导体加工设备的排货方法流程图。

图2显示为本发明提供的排货方法对具有Q-TIME的货物排序形成待拉货物清单示意图。

图3显示为按照本发明提供的排货方法形成的不同加工批次的示意图。

图4显示为本发明将派工系统和备货系统结合的示意图。

图5显示为本发明的FAB各区分散式排货系统的结构示意图。

图6显示为本发明的FAB各区分散式排货系统的运作流程图。

元件标号说明

11 主系统模块

111 派工模块

21 主系统数据库

22 派工数据库

31 机台客户端

41 控制半导体设备

51 半导体加工设备

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图6。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，虽图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。

实施例一：

请参阅图1，本发明提供一种半导体加工设备的排货方法，包括如下步骤：

1)获取所述半导体加工设备的所有可跑货物；

2)基于第一排序规则，将所述可跑货物排序并选取最优级的可跑货物，以得到第一可跑货物，并记录下所述第一可跑货物的制程；

3)于剩余的所述可跑货物中选取与所述第一可跑货物具有相同制程的可跑货物，以得到至少一个第二可跑货物；以及

4)基于第二排序规则，将所有所述第二可跑货物排序并依据预设条件进行选取，所述第一可跑货物及选取出的所述第二可跑货物生成所述半导体加工设备的第一加工批次。

作为示例，步骤4)中，所述预设条件为所述半导体加工设备的跑货数量上限。

具体的，本发明提供了一种半导体加工设备，如炉管机台的排货方法，其排货方式是按照加工批次(Batch)进行排货，同Batch货物(LOT)要求为相同制程(PPID)。其具体做法为：先选出半导体加工设备可跑的货物(LOT)中优先级最优的货物，作为一个参考标准，再选出与其可以组成一个加工批次的其他可跑货物，依据相同制程条件选择，再定义一个预设条件，如根据所述半导体加工设备定义的同一批的货物数量(Batch Size)，在不超过Spec(指货物数量不能超过设定的Batch Size)的前提下，把同制程(PPID)中优先级最高的货物(LOT)排在第一个Batch中排货。

作为示例，步骤1)中，所述半导体加工设备的所述可跑货物依据生产系统获取的实时站点信息以及派工系统抓取的产品流程资料对比获得。

作为示例，还包括排除所述可跑货物中有跑货限制的货物的步骤，其中，排除规则依据不同设备的特性以及制程需求而设定。

具体的，本示例给出了一种可跑货物的选取方式，在生产线上跑的所有货物的当前制程站点信息是有另外的生产系统(PROMIS)会去实时更新的，派工系统可以直接进行抓取；另外，派工系统还会抓取所有的产品流程资料(每个制程站点会定义机台组信息)，这样两方面结合对比就可以找出每个制程站点上面的货物信息，同时，再排除掉制程站点对应的机台不可以跑的货物(排除规则是根据不同区域的特性根据制程需要来进行的)，从而依据上述信息，最终得到所述半导体加工设备对应的所有可跑货物。

作为示例，步骤2)中，所述第一排序规则包括：

2-1)选取所述可跑货物中具有Q-TIME的货物，依据所述Q-TIME的剩余时间自少至多排列；

2-2)对于所述Q-TIME剩余时间相同或者不具有Q-TIME的货物，依据货物的优先等级自高至低排列；

2-3)对于优先等级相同的货物，依据距交货日期剩余时间自少至多排列；以及

2-4)对于交货日期相同的货物，依据所述可跑货物在所述半导体加工设备站点已经停留的时间自长至短排列。

作为示例，步骤4)的所述第二排序规则与所述第一排序规则相同。

具体的，对于最优级可跑货物的选取，是基于上述具体的第一排序规则进行排序的，其中，首先按照具有Q-TIME的货物优先选取，这样可以保证有Q-TIME的货物可以在规定时间完成，其中，Q-TIME是指当某一工序完成后，一定要在特定时间内完成另一工序；然后，再一次依据货物优先等级、交货日期以及已经在该站点等待的时间进行排序，选出最优级货物，当然，所述第一排序规则依据实际的生产需求设定，在此不做具体限制。

另外，对选出的具有与第一可跑货物相同制程的第二可跑货物后，对其进行排序方式可以按照与第一排序规则相同的排序规则进行排序的方式。

作为示例，步骤2)中，选取出最优级的可跑货物的步骤包括：

a)定时获取Q-TIME结束站点为所述半导体加工设备的货物；

b)自步骤a)获取的货物中选取出正处于所述Q-TIME开始站点的货物；以及

c)基于第三排序规则，将步骤b)所得到的货物进行排序形成待拉货物清单，并得到所述最优级的可跑货物。

作为示例，步骤c)中，所述第三排序规则包括按照可跑货物的Q-TIME的剩余时间、优先等级、距交货日期剩余时间以及可跑货物在所述半导体加工设备站点已经停留的时间进行排序，优选地，所述第三排序规则与所述第一排序规则相同。

作为示例，还包括对所述待拉货物执行了拉货动作后，将被拉走的货物从所述待拉货物清单中删除的步骤。

具体的，在所述第一排序规则的设定中，还包括对具有Q-TIME的货物进行选取排列的步骤，实际也是针对半导体加工设备(如炉管机台)作为Q-time结束站点的，需要控制正处于Q-time开始站点的货物能够往下放的数量，以免量大造成有Q-time的货物Over Q-time。

具体为，首先是结合产品制程资料(这个资料会明确此机台在哪些产品的站点是处于Q-time结束站点)，再结合当前WIP LOT所对应的制程站点，可以知道正处于Q-time开始站点的货物(对应的Q-TIME结束站点是如此炉管机台)，就可以通过炉管机台进行选取拉货(拉货是指从前面的Q-TIME开始站点往后面的炉管机台Q-TIME结束站点拉)，拉货选取的优先规则参照派工的规则一样，所述第三排序规则与所述第一排序规则相同，进行了拉货动作后，在货物到达此炉管机台之前，在前面的上家站点排货时需要最优先排这些货物(因有Q-TIME的时间限制)，以便可以尽快到达炉管机台跑，控制Q-TIME时间。

具体的，还包括在对所述待拉货物执行了拉货动作后，将被拉货物从所述待拉货物清单中删除的步骤，以免重复拉货，造成资源浪费。

如图2所示，以DPPK01为例对上述操作进行详细说明，在DPPK01上拉了6批LOT(这6批LOT需满足同样的制程PPID)，将这6批货物：P5A00901.1、P5A00911.1、PZC70.1、P1D03450.1、P1D03458.1、PVB00458.1进行拉货后，在Q-time的开始站点WCGD02机台Dispatch时：原来这6批货物是处于等待拉货(WAIT PULL)的状态，货物在Q-TIME开始站点机台重新排货查询时，系统会去抓取货物有无被拉货的记录，如果有记录则系统会自动将货物等待拉货的状态解除，同时，将货物(LOT)显示在线上货物列表(WIP LOT LIST)的最上端，排货的人员以此作为参考进行排货。

作为示例，还包括步骤5)，生成所述第一加工批次后，剩余的所述第二可跑货物继续按照步骤1)至步骤4)进行排货。

具体的，当第一加工批次生成完成后，有可能是第二可跑货物已经全部被选入第一加工批次当中，还可能是有部分第二可跑货物由于已经超过机台的可跑货物数量上限，而没有被排进第一加工批次中，那此种情况下暂不对剩余的第二可跑货物进行处理，而是再随同其他不同制程的货物继续重复上述排货规则进行排货。

作为示例，循环所述步骤1)至步骤4)，依次生成所述半导体加工设备的后续各加工批次。

具体的，本发明提供的半导体加工设备的排货方法，在第一加工批次排满货物以后，按照步骤1)至步骤4)的具体方法，再进行重复排列，依次生成Batch2，Batch3……BatchN，从而完成该半导体加工设备的排货。其中，生成了4个Batch的结构如图3所示。

作为示例，所述半导体加工设备为炉管。

本发明还提供一种半导体加工设备的排货系统，其中，所述排货系统对应本发明的半导体加工设备的排货方法，所述排货系统包括：

存储模块，用于获取并存储所述半导体加工设备的可跑货物的信息；

处理模块，获取所述存储模块中可跑货物的信息，并第一排序规则选取出最优级的可跑货物作为第一可跑货物，自剩余所述可跑货物中选取与所述第一可跑货物具有相同制程的第二可跑货物，基于第二排序规则排列所述第二可跑货物并依预设条件进行选取；

排货模块，用于依据所述处理模块得到的所述第一可跑货物以及选出的所述第二可跑货物生成所述半导体加工设备的第一加工批次。

具体的，本发明的排货系统通过依次连接的存储模块、处理模块以及排货模块实现对所述半导体加工设备的排货。

作为示例，所述存储模块还包括：

Q-TIME信息处理单元，用于定时获取Q-TIME结束站点为所述半导体加工设备的货物，并自所获取的货物中选取出正处于Q-TIME开始站点的货物，再基于第三排序规则进行排序，以形成待拉货物清单，并得到所述最优级的可跑货物。

具体的，所述Q-TIME信息处理单元用于对具有Q-TIME的货物进行选取排列的步骤，实际也是针对半导体加工设备(如炉管机台)作为Q-time结束站点的，需要控制正处于Q-time开始站点的货物能够往下放的数量，以免量大造成有Q-time的货物Over Q-time。具体为，首先是结合产品制程资料(这个资料会明确此机台在哪些产品的站点是处于Q-time结束站点)，再结合当前WIP LOT所对应的制程站点，可以知道正处于Q-time开始站点的货物(对应的Q-TIME结束站点是如此炉管机台)，就可以通过炉管机台进行选取拉货(拉货是指从前面的Q-TIME开始站点往后面的炉管机台Q-TIME结束站点拉)，拉货选取的优先规则参照派工的规则一样，所述第三排序规则与所述第一排序规则相同，进行了拉货动作后，在货物到达此炉管机台之前，在前面的上家站点排货时需要最优先排这些货物(因有Q-TIME的时间限制)，以便可以尽快到达炉管机台跑，控制Q-TIME时间。

实施例二：

本发明还提供一种FAB各区半导体加工设备分散式系统化排货的方法，包括如下步骤：

1)提供一派工服务器，所述派工服务器与半导体加工设备相匹配，并采用如实施例一中任意一种方案所述的排货方法对各所述半导体加工设备进行排货，其中，所述派工服务器设置于系统主服务器上；

2)提供若干机台客户端，所述机台客户端一端与所述派工服务器连接，另一端与所述半导体加工设备相连接，用于自所述派工服务器中获取其所对应的所述半导体加工设备的排货信息并将所述排货信息输出。

需要说明的是，本发明提供一种基于实施例一的半导体加工设备的排货方法，实施对整个FAB各区的半导体进行分散式计算排货的方法。其中，所述分散式计算主要是针对资料是进行分散式处理的，主要体现在：产品流程等资料都是在生产系统的主服务器数据库上，派工系统在计算机台的相关派工逻辑时，是单独将对应机台信息及机台对应的产品资料信息转移到派工服务器上进行运算的，这样可以最大程度减少对主服务器的影响，同时，各个区域的派工规则不一样，各区域派工程序是独立分开存在的，可以互不影响；每个机台会一一对应一台电脑客户端，保证每个机台的派工资料独立，在与派工服务器交互时不受影响，技术员只能按机台来查询派工信息，不能查询所有机台的派工系统。

作为示例，步骤1)中，所述派工服务器的派工系统数据库与所述系统主服务器的系统主数据库为相互独立的数据库。

具体的，本示例中，所述派工服务器的数据库与所述MES主系统数据库是两个不同的数据可，二者相互独立，可以有信息交换，其中，对机台进行派工时，会将对应机台的制程资料以及机台对应的WIP(在制品)的Constraint等信息从主服务器数据库存储在派工数据库上，尽量将资料分散到派工数据库，减少直接连接主服务器的影响，同时，减少数据量，提高派工速度。

作为示例，步骤1)中，所述系统主服务器的数量为两个，与每个所述系统主服务器相连接的所述派工服务器的数量为三个。

具体的，本示例中，MES系统AP应用端主服务器设置为两台(可以包括EQP Server、LOT Server、数据收集的Server以及派工Server等)，其中，派工服务器(派工Server)进行派工运算后会将资料存储在派工系统数据库，不同区域的派工程序是分别独立的，运算后的资料也是分区域分别存储在数据库表中，也是为了分散降低各个区域派工的负载(loading)。

另外，本示例中，AP端的两台主服务器都挂有派工服务器，每台AP上面可以挂有多支派工服务器，以实际情况设定，本示例中选择为3支，挂多支派工服务器的设置也是为考虑接受Client端信息时可以多支Server同时接收，是为了分散平衡server loading，避免处理信息时造成堆积。

本示例中，设计的派工Server(派工服务器)只处理派工事宜，与其他的Server互不干涉，在与机台客户端(Client端)进行连接时，为达到分散平衡降低派工Serverloading的目的，实际Client端电脑与AP连接时，按照1:1原则分别连接两台派工Server，也就是指，使用派工的Client端电脑一半的数量连接第一台AP服务器，另一半连接第二台AP服务器，以达到平衡的目的。另外，Server端计算后的派工数据，在Client端会以FTP方式下载到电脑端，再在界面进行显示。

作为示例，还包括将备货系统集合于所述派工服务器的步骤，以使用户点击所述备货系统的备货按钮即可获取已经被预订的货物及其对应的所述半导体加工设备的信息。

具体的，备货功能是需要预先把可跑货物上到机台，等待已经在机台跑的货物跑完时，机台可以继续跑已经备完的货，节约机台跑货时间。其中，没有将功能结合备货系统之前：生产人员要查询其它报表，自己查询需要备货的LOT，再把需要备货的几批Lot名字需要记下来(一般为5到6批)，手动输入到备货系统，在手动选择机台执行备货动作，这个会有使用不同报表系统来回切换查看耽误的时间，这期间也有LOT会输入错的问题也会耽误时间。相对于现有的方式，本申请将备货系统结合后，派工系统查询出的货物(如炉管是分batch排列的)，生产人员直接预订好batch lot后，系统就可以直接连接到备货系统(将货物名和机台名自动带出进行备货)。

需要说明的是，现有生产系统Server配置较多，通过现有平台使用C语言单独编译开发生成Dispatch Server,，这样Dispatch server专职处理派工事务，弹性强，便于功能修改维护，能够保持Dispatch系统的独立性和稳定性；通过VB语言开发了派工系统客户端，通过提供网络TCP/IP技术协定元件的中介程式(FANET)与Server端相连接；同时使用每台生产电脑派工时默认将电脑名与派工跑货的机台名进行一一关联，这样可以保证各个生产电脑独立使用，互不影响；由于每个区域的派工特性不一样，每个区域的派工程序是保持独立运作的，各个区域互不影响，同时可以根据生产线实际情况及时切换派工规则；把生产系统的产品流程资料(RUNCARD)通过定时器的方式抓取存储在dispatch数据库进行分散式的计算,可减轻生产系统Loading，缩短派工操作的响应时间；用户使用生产电脑在派工系统客户端查询需派工的机台后，系统通过中介程式(FANET)将客户端的消息送到服务器，系统根据派工规则处理数据后生成文件，通过FTP将文件抓取到本地，再由程序读取文件，取得派工数据在界面上显示。

另外，派工相关的产品流程资料(RUNCARD)是集中式的，但Dispatch是进行的分散式个别计算，这样不会把系统拖垮；不需要额外再买大型机器来架设Dispatch服务器，节省了购买大型机器的钱；各区域派工规则可以单独进行灵活设定，便于维护修改；提高生产效率和改善生产周期(CYCLE TIME)。技术员(TA)在备用机台排货时系统可自动将需要跑的晶圆(LOT)切换到备用生产流程(alternate flow)，节约人为手动切换时间；派工系统可实时检查各种跑货限制(constraint),避免手工卸件(manual unload)浪费时间，提高生产效率；系统将炉管备货功能相连接，可节约炉管技术员(TA)在备货时手动选机台和手动输入晶圆(LOT)的时间；通过系统拉货的方式提升炉管机台的满管率，达到提升产能的目的；简化了黄光(PHOTO)光罩的借取流程，提升了工作效率。

本实施例还提供一种FAB各区半导体加工设备分散式系统化的排货系统，其中，所述排货系统优选基于本实施例提供的FAB各区半导体加工设备分散式系统化的排货方法，包括：

派工模块，包括派工服务器，所述派工服务器设置于系统主服务器上，所述派工模块用于包括如实施例一中任意一种方案所述的排货系统，用于对各半导体加工设备进行排货；

显示模块，一端与所述派工模块相连接，另一端与所述半导体加工设备相连接，用于自所述派工模块中获取所述半导体加工设备的排货信息并将所述排货信息输出。

作为示例，还包括：备货模块，包括备货系统，集合于所述派工服务器，以使用户点击所述备货系统的备货按钮即可获取已经被预订的货物及其对应的所述半导体加工设备的信息。

综上所述，本发明提供一种半导体加工设备以及FAB各区的排货方法及系统，包括如下步骤：获取所述半导体加工设备的所有可跑货物；基于第一排序规则，将所述可跑货物排序并选取最优级的可跑货物，以得到第一可跑货物，并记录下所述第一可跑货物的制程；于剩余的所述可跑货物中选取与所述第一可跑货物具有相同制程的可跑货物，以得到至少一个第二可跑货物；以及基于第二排序规则，将所有所述第二可跑货物排序并依据预设条件进行选取，所述第一可跑货物及选取出的所述第二可跑货物生成所述半导体加工设备的第一加工批次。通过上述方案，本发明提供的排货方法及系统是分散式的，现对于现有技术中的派工相关的产品流程资料的集中式处理，减轻系统负担，不会将系统拖垮；不需要额外再买大型机器来架设派工服务器，节约成本；FAB各区域派工规则可以单独进行灵活设定，便于维护修改；同时，在排货备货中，解决了大量人为手动时间等，提高了生产效率，改善了生产周期。因此，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (17)

1.一种半导体加工设备的排货方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）获取所述半导体加工设备的所有可跑货物；

2）基于第一排序规则，将所述可跑货物排序并选取最优级的可跑货物，以得到第一可跑货物，并记录下所述第一可跑货物的制程；

3）于剩余的所述可跑货物中选取与所述第一可跑货物具有相同制程的可跑货物，以得到至少一个第二可跑货物；以及

4）基于第二排序规则，将所有所述第二可跑货物排序并依据预设条件进行选取，所述第一可跑货物及选取出的所述第二可跑货物生成所述半导体加工设备的第一加工批次；

其中，步骤2）中，所述第一排序规则包括：

2-1）选取所述可跑货物中具有Q-TIME的货物，依据所述Q-TIME的剩余时间自少至多排列；

2-2）对于所述Q-TIME剩余时间相同或者不具有Q-TIME的货物，依据货物的优先等级自高至低排列；

2-3）对于优先等级相同的货物，依据距交货日期剩余时间自少至多排列；以及

2-4）对于交货日期相同的货物，依据所述可跑货物在所述半导体加工设备站点已经停留的时间自长至短排列；

步骤2）中，选取出最优级的可跑货物的步骤包括：

a）定时获取Q-TIME结束站点为所述半导体加工设备的货物；

b）自步骤a）获取的货物中选取出正处于所述Q-TIME开始站点的货物；以及

c）基于第三排序规则，将步骤b）所得到的货物进行排序形成待拉货物清单，并得到所述最优级的可跑货物。

2.根据权利要求1所述的半导体加工设备的排货方法，其特征在于，还包括步骤5），生成所述第一加工批次后，将剩余的所述第二可跑货物继续按照步骤1）至步骤4）进行排货。

3.根据权利要求1所述的半导体加工设备的排货方法，其特征在于，循环所述步骤1）至步骤4），依次生成所述半导体加工设备的后续各加工批次。

4.根据权利要求1所述的半导体加工设备的排货方法，其特征在于，步骤1）中，所述半导体加工设备的所述可跑货物依据生产系统获取的实时站点信息以及派工系统抓取的产品流程资料对比获得；步骤4）中，所述预设条件为所述半导体加工设备的跑货数量上限。

5.根据权利要求1所述的半导体加工设备的排货方法，其特征在于，步骤4）的所述第二排序规则与所述第一排序规则相同。

6.根据权利要求1所述的半导体加工设备的排货方法，其特征在于，步骤c）中的所述第三排序规则与所述第一排序规则相同。

7.根据权利要求1所述的半导体加工设备的排货方法，其特征在于，还包括对所述待拉货物执行了拉货动作后，将被拉走的货物从所述待拉货物清单中删除的步骤。

8.根据权利要求1所述的半导体加工设备的排货方法，其特征在于，步骤1）中，还包括排除所述可跑货物中有跑货限制的可跑货物的步骤，其中，排除规则依据不同半导体加工设备的特性以及制程需求而设定。

9.根据权利要求1~8中任一项所述的半导体加工设备的排货方法，其特征在于，所述半导体加工设备为炉管。

10.一种FAB各区半导体加工设备分散式系统化排货方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）提供一派工服务器，所述派工服务器与半导体加工设备相匹配，并采用如权利要求1~9中任一项所述的排货方法对各所述半导体加工设备进行排货，其中，所述派工服务器设置于系统主服务器上；

2）提供若干机台客户端，所述机台客户端一端与所述派工服务器连接，另一端与所述半导体加工设备相连接，用于自所述派工服务器中获取其所对应的所述半导体加工设备的排货信息并将所述排货信息输出。

11.根据权利要求10所述的FAB各区半导体加工设备系统化排货方法，其特征在于，步骤1）中，所述派工服务器的派工系统数据库与所述系统主服务器的系统主数据库为相互独立的数据库。

12.根据权利要求10所述的FAB各区半导体加工设备系统化排货的方法，其特征在于，步骤1）中，所述系统主服务器的数量为两个，与每个所述系统主服务器相连接的所述派工服务器的数量为三个。

13.根据权利要求10~12中任一项所述的FAB各区半导体加工设备系统化排货的方法，其特征在于，还包括将备货系统集合于所述派工服务器的步骤，以使用户点击所述备货系统的备货按钮即可获取已经被预订的货物及其对应的所述半导体加工设备的信息。

14.一种半导体加工设备的排货系统，其特征在于，所述排货系统包括：

存储模块，用于获取并存储所述半导体加工设备的可跑货物的信息；

处理模块，获取所述存储模块中可跑货物的信息，并基于第一排序规则排列选取出最优级的可跑货物作为第一可跑货物，自剩余所述可跑货物中选取与所述第一可跑货物具有相同制程的第二可跑货物，并基于第二排序规则排列所述第二可跑货物并依预设条件进行选取；

排货模块，用于依据所述处理模块得到的所述第一可跑货物以及选出的所述第二可跑货物生成所述半导体加工设备的第一加工批次；

其中，所述第一排序规则包括：

2-1）选取所述可跑货物中具有Q-TIME的货物，依据所述Q-TIME的剩余时间自少至多排列；

2-2）对于所述Q-TIME剩余时间相同或者不具有Q-TIME的货物，依据货物的优先等级自高至低排列；

2-3）对于优先等级相同的货物，依据距交货日期剩余时间自少至多排列；以及

2-4）对于交货日期相同的货物，依据所述可跑货物在所述半导体加工设备站点已经停留的时间自长至短排列；

选取出最优级的可跑货物的步骤包括：

a）定时获取Q-TIME结束站点为所述半导体加工设备的货物；

b）自步骤a）获取的货物中选取出正处于所述Q-TIME开始站点的货物；以及

c）基于第三排序规则，将步骤b）所得到的货物进行排序形成待拉货物清单，并得到所述最优级的可跑货物。

15.根据权利要求14所述的半导体加工设备的排货系统，其特征在于，所述存储模块还包括：

Q-TIME信息处理单元，用于定时获取Q-TIME结束站点为所述半导体加工设备的货物，并自所获取的货物中选取出正处于Q-TIME开始站点的货物，再基于第三排序规则进行排序，以形成待拉货物清单，并得到所述最优级的可跑货物。

16.一种FAB各区半导体加工设备分散式系统化的排货系统，其特征在于，包括：

派工模块，包括派工服务器，所述派工服务器设置于系统主服务器上，所述派工模块包括如权利要求14~15中任一项所述的排货系统，用于对各半导体加工设备进行排货；

显示模块，一端与所述派工模块相连接，另一端与所述半导体加工设备相连接，用于自所述派工模块中获取所述半导体加工设备的排货信息并将所述排货信息输出。

17.根据权利要求16所述的FAB各区半导体加工设备分散式系统化的排货系统，其特征在于，还包括：备货模块，包括备货系统，集合于所述派工服务器，以使用户点击所述备货系统的备货按钮即可获取已经被预订的货物及其对应的所述半导体加工设备的信息。