KR20010110160A - 반도체 제품의 전자상거래방법, 그 전자상거래시스템,생산시스템, 생산방법, 생산설비 설계시스템, 생산설비설계방법 및 생산설비 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 반도체 제품을 실제로 제조하는 실생산라인(14)과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축하고 최적의 로트 진행방법을 계산하는 가상 생산라인(13)과, 가상 생산라인(13)을 네트워크(10)를 매개로 하여 클라이언트 단말(11)에 접속하는 접속서버(12)를 구비하여 이루어진 반도체 제품의 전자상거래시스템에 있어서, 클라이언트 단말(11)로부터 입력된 조건을 접속서버(12)에 의해 가상 생산라인(13)으로 전송하고, 전송된 조건 하에 가상 생산라인(13)에서 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션하며, 시뮬레이션 결과를 접속서버(12)에 의해 클라이언트 단말(11)로 전송하고, 시뮬레이션 결과에 기초하여 비즈니스를 행한다.

Description

반도체 제품의 전자상거래방법, 그 전자상거래시스템, 생산시스템, 생산방법, 생산설비 설계시스템, 생산설비 설계방법 및 생산설비 제조방법 {BUSINESS METHOD OF SEMICONDUCTOR PRODUCT AND BUSINESS SYSTEM THEREOF, PRODUCTION SYSTEM, PRODUCTION METHOD, PRODUCTION FACILITY DESIGN SYSTEM, PRODUCTION FACILITY DESIGN METHOD, AND METHOD MANUFACTURING OF PRODUCTION FACILITY}

본 발명은 네트워크를 매개로 하여 반도체 제품의 상거래를 행하기 위한 반도체 제품의 전자상거래방법 및 시스템, 그리고 공장에 있어서 효율적인 운영을 행하기 위한 생산시스템, 생산방법, 생산설비 설계시스템, 생산설비 설계방법, 생산설비 제조방법에 관한 것이다.

종래의 전형적인 반도체공장에서는 메모리 등의 범용품이 월생산 수천 로트(lot)규모로 생산되고 있다. 생산라인 내에는 대단히 많은 로트가 존재하고, 공기(工期)도 길며, 투입한 제품이 언제 나오는지를 예측하는 것은 곤란했다. 이와 같은 상황에서도 범용품의 경우는, 로트를 납기에 맞추어 투입한다는 것에 특별한 주의를 기울이는 것은 불필요하여, 그다지 문제로 되고 있지 않다.

한편, SOC(System On Chip)시대의 반도체공장에서는 고객의 요구에 따라 주로 시스템 LSI가 월생산 수백로트 규모로 생산되는 것으로 된다고 생각되고 있다. 이와 같은 규모가 작은 공장(이하에서는 미니팹: mini-fab이라고 부른다)에서는, 이용자의 요구에 맞추어 로트를 필요한 만큼만 투입하고, 적절한 로트 진척관리를 행하여 납기를 지킬 필요가 있다. 더욱이, 이용자의 요구(사양, 수량, 납기, 가격등)에 따라, 실제로 제품을 제조할 수 있는지 없는지의 판단이 필요하다.

그렇지만, 종래의 미니팹에서는 로트 진척관리를 엄밀히 행하는 것은 곤란하고, 더욱이 제품을 납기를 지켜 제조할 수 있는지 없는지의 판단을 올바르게 행하는 것도 곤란했다. 또, 시스템 LSI 등의 반도체 제품에 있어서는, 인터넷을 비롯한 네트워크를 이용한 전자상거래시스템을 구축할 수 있으면, 비즈니스 기회가 급격히 증가한다고 생각된다. 그렇지만, 상기와 같이 로트 진척관리 및 제품제조의 판단이 곤란하다는 것 때문에, 이런 종류의 반도체 제품의 전자상거래를 행하는 것은 극히 곤란했다.

이와 같이 종래의 반도체 공장에 있어서는, 로트 진척관리 및 제품을 제조할 수 있는지 없는지의 판단을 올바르게 행하는 것은 곤란하고, 특히 SOC시대의 미니팹에 있어서는 이것이 비즈니스 기회를 놓치는 요인으로 되었다.

또, 종래의 전형적인 반도체공장에 있어서 갖가지의 공정에서 사용하는 장치는, 동일 용도의 것이 수대에서 수십대 있는 것이 통상이다. 따라서, 수많은 로트가 동일 종류의 장치에 있어서 처리가 이루어지기 때문에, 로트의 흐름의 파악이 어렵다고 하는 문제가 있었다. 로트의 흐름을 파악하는 시스템으로서, 타이싱사의 맨심이라는 소프트가 있다. 이것은, 제품의 각 공정에서의 사용장치 및 처리시간, 장치군 등의 정보를 입력하고, 가상적으로 컴퓨터 상에서 로트를 돌리며(순환시키며), 로트의 흐름의 파악이나 생산라인의 최적화, 생산계획을 행하려고 하는 것이다.

생산라인의 최적화, 생산계획을 행하기 위해서는, 우선 실제의 생산라인에서의 로트의 진척정보, 장치의 상태에 관한 정보, 제품의 공정정보 등의 각종 정보를 컴퓨터 상에 가상적으로 구축한 가상공장측으로 전송한다. 그리고, 그들 각종 정보를 입력데이터로 하여 로트의 진척예상계산을 행하고, 그 결과 얻어지는 정보를 작업지시로서 실제의 생산라인 측으로 전송할 필요가 있다. 그러나, 월생산 수천로트라는 대규모의 생산시스템에 있어서는, 컴퓨터의 처리능력의 제약으로부터, 각종 처리를 간략화하여 계산하고 있는 것이 실정이다. 따라서, 반드시 정확한 시뮬레이션을 행하고 있는 것은 아니다.

또, 이것과 유사한 방법으로서, 생산시작(試作)시스템의 정보와 버츄얼시스템(Virtual System: 가상 시스템)의 정보를 공유정보를 매개로 하여 주고받음으로써, 시뮬레이션을 행한 결과를 이용하여 생산 혹은 시작(試作)의 제조공정을 관리하는 제조관리시스템의 제안이 행해지고 있다(일본 특개평10-207506호 공보). 그렇지만, 이 수법에서는 주로 디바이스 시뮬레이션이나 프로세스 시뮬레이션, 회로, 형상, 논리 시뮬레이션 등이 가상공장에 짜넣여져 있지만, 로트를 도는 부분은 포함되어 있지 않아 로트 플로우(lot flow: 로트 흐름)의 예측이 불가능하다는 문제가 있었다.

도 1에 맨심을 이용하여 얻어지는 스루풋(throughput: 생산량) 및 공기의 계산결과의 예를 나타낸다. 이 도면에서, 가로축은 생산라인 내의 로트수(= Work in Process: WIP)를 나타내고, 세로축은 스루풋(월당 생산량) 및 공기를 나타내고 있다. 이 도면으로부터, WIP가 적은 경우는 스루풋은 WIP에 거의 비례하고, 공기는 일정치로 되고 있음을 알 수 있다. 이 상태에서는, 로트의 대기는 거의 발생하지않는다. WIP가 커지면 스루풋의 기울기는 서서히 작아지고, 결국은 스루풋은 일정치로 되어 버린다. 이 스루풋은 보틀넥(bottleneck)장치의 처리능력에 대응함을 알 수 있다. 그리고 이 영역에서는, 공기는 WIP에 비례하여 증가하고 있음을 알 수 있다.

생산라인의 생산성을 크게 하기 위해서는, 스루풋을 크게 하면서 공기를 짧게 할 필요가 있다. 공기를 최단으로 하기 위해서는 대기로트수를 줄일 필요가 있고, 이 도면에서는 WIP를 A부근으로 가져 올 필요가 있다. 그렇지만, 스루풋이 너무 작기 때문에 현실적이지는 않다. 한편, 스루풋을 최대로 하기 위해서는, 도면의 C부근과 같이 WIP를 크게 하면 좋지만, 공기가 길어져 버린다. 따라서, 도면의 B점 부근에서 운영하는 것이 적당하다고 생각된다.

그런데, 생산이 장치의 유지보수나 고장, 보틀넥장치로의 제품의 도착의 요동 등에 기인하여, 도 1 중의 점선과 같이 스루풋이 저하하여 생산성이 저하된다. 이와 같은 스루풋저하를 방지하기 위해서는, 로트의 진척을 정확히 예측하고, 스루풋을 크게 하며, 공기를 짧게 하기 위해 최적으로 되는 처리를 행할 필요가 있다. 그렇지만, 상술한 바와 같이 대규모의 생산시스템에 있어서는 컴퓨터의 처리능력의 제약때문에 각종 처리를 간략화하여 계산하지 않을 수 없는 바, 로트의 진척을 엄밀히 예측하는 것은 곤란했다.

한편, 어떤 장치에 있어서 로트를 처리할 때에는 몇 가지 선택이 발생하는 일이 있다. 예컨대, 복수의 로트를 동시에 처리할 수 있는 배치(batch)장치에 있어서, 1로트가 대기로트로서 있는 경우에, 그 로트를 곧바로 처리해야 하는지 혹은다른 로트가 올 때까지 기다려야 하는지의 선택을 행할 필요가 있다. 또, 어떤 장치에서 우선도가 낮은 로트가 대기로트로서 있고, 또한 우선도가 높은 로트가 어떤 시간후에 온다고 예상되는 경우에, 그 우선도가 낮은 로트를 먼저 처리해야 하는지 혹은 기다렸다가 우선도가 높은 로트를 먼저 처리해야 하는지의 선택을 행할 필요가 있다. 또, 그 이외에 연속공정(예컨대, 전처리→산화(또는 CVD)→후처리, 24시간 이내)이 도입되어 있는 경우에, 어떠한 타이밍에서 처리를 개시해야 하는지가 문제로 된다.

상기와 같은 복수의 선택으로부터 최적의 것을 선택하는 방법은 상황에 따라 여러 가지로 변화한다고 생각된다. 그러나, 전술한 맨심에서는 어떠한 선택을 택할 것인지의 규칙(rule)을 일의적(一義的)으로 정하고, 그 조건 하에서 로트의 진척을 계산하도록 되어 있다. 이 때문에, 상기와 같은 선택이 생긴 경우, 맨심에서는 그와 같은 계산은 불가능한 바, 이것도 해결해야 할 큰 문제로 되고 있다.

이와 같이 종래, 반도체 생산라인의 최적화, 생산계획을 행하기 위해서는, 실제의 생산라인에서의 각종 처리를 시뮬레이션할 필요가 있지만, 컴퓨터 처리능력의 제약때문에 각종 처리를 간략화하여 계산하고 있는 것이 실정인 바, 정확한 시뮬레이션을 행하는 것은 곤란했다. 이 때문에, 로트의 진척을 엄밀히 예측하는 것은 곤란했다. 또, 복수의 선택으로부터 최적의 것을 고르는 방법은 상황에 따라 변화하는 것이므로, 종래방법에서는 최적의 것을 선택하는 것이 곤란했다.

본 발명의 목적은, 로트 진척관리 및 제품을 제조할 수 있는지 없는지의 판단을 올바르게 행할 수 있고, 비즈니스 기회를 넓힐 수 있는 반도체 제품의 전자상거래방법 및 시스템을 제공하는 것에 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은, 실제의 생산라인에서의 각종 처리를 정확하게 시뮬레이션할 수 있고, 비교적 소규모의 공장에 있어서도 효율적인 운영을 행하기 위한 생산시스템, 생산방법, 생산설비 설계시스템, 생산설비 설계방법, 생산설비 제조방법을 제공하는 것에 있다.

도 1은 맨심을 이용한 종래기술에 따른 스루풋 및 공정의 계산결과의 예를 나타낸 도면,

도 2는 제1실시형태에 따른 반도체 제품의 전자상거래시스템의 전체 구성을 나타낸 블록도,

도 3은 제1실시형태에서의 전체의 처리흐름을 설명하기 위한 플로우차트,

도 4는 제1실시형태에서의 전체의 처리흐름을 설명하기 위한 플로우차트,

도 5는 디바이스 사양의 입력선택을 행하기 위한 모니터화면의 예를 나타낸 도면,

도 6a 및 도 6b는 디바이스 사양을 입력하기 위한 모니터화면의 예를 나타낸 도면,

도 7은 주문수량과 납기에 따른 가격의 회답예를 표시한 모니터화면의 예를 나타낸 도면,

도 8은 발주량과 납기를 입력하기 위한 모니터화면의 예를 나타낸 도면,

도 9는 디바이스 메이커 측으로부터의 가능한 납기와 가격을 표시한 모니터화면의 예를 나타낸 도면,

도 10은 납기와 가격의 재교섭을 행하는 모니터화면의 예를 나타낸 도면,

도 11은 제2실시형태를 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 전자상거래방법에 사용하는 반도체 생산시스템의 예를 나타낸 블록도,

도 12는 동 실시형태에 따른 반도체 생산시스템을 이용한 로트진척 계산처리의 개념도,

도 13a∼도 13e는 동 실시형태에 따른 반도체 생산시스템을 이용한 로트진척 계산처리의 입력데이터를 나타낸 도면,

도 14는 동 실시형태에 따른 가상공장(13)에서 파악되는 어떤 시점에서의 다른 로트의 처리종료를 기다리지 않고 처리한 경우의 로트의 흐름을 나타낸 도면,

도 15는 제2실시형태를 설명하기 위한 것으로, 로트진척 예상시에 발생하는 선택종류의 예를 나타낸 도면,

도 16은 동 실시형태에 따른 가상공장(13)에서 파악되는 어떤 시점에서의 다른 로트의 처리종료를 기다렸다가 처리한 경우의 로트의 흐름을 나타낸 도면,

도 17은 제2실시형태를 설명하기 위한 것으로, 로트진척시에 발생하는 여러 가지 선택의 조합 중에서 최적으로 되는 조합을 선택하는 수순을 나타낸 도면,

도 18은 전력의 평준화가 가능한 로트 선독출 계산처리를 실행하는 가상공장의 구성을 나타낸 도면,

도 19는 전력의 평준화를 행하는 가상공장(13)에 등록된 장치의 전력·용력의 특성곡선을 나타낸 도면,

도 20은 전력의 평준화를 행하는 가상공장(13)에 등록된 장치의 전력·용력의 조건의 데이터예를 나타낸 도면,

도 21은 제3실시형태의 생산시스템을 설명하기 위한 도면,

도 22a∼도 22c는 전력의 평준화를 행하지 않은 경우의 생산시스템을 설명하기 위한 도면,

도 22d∼도 22f는 전력의 평준화를 행한 경우의 생산시스템을 설명하기 위한 도면,

도 23은 제3실시형태의 생산시스템을 설명하기 위한 도면으로, 로트진척시에 발생하는 여러 가지 선택의 조합 중에서 최적으로 되는 조합을 선택하는 수순을 나타낸 도면,

도 24a 및 도 24b는 대규모 생산라인과 소규모 생산라인의 전력을 나타낸 도면,

도 25는 동 실시형태에 따른 시간 시프트의 개념을 나타낸 도면,

도 26은 제4실시형태의 생산시스템을 설명하기 위한 도면,

도 27a∼도 27c는 초순수의 평준화를 행하지 않은 경우의 생산시스템을 설명하기 위한 도면,

도 27d∼도 27f는 초순수의 평준화를 행한 경우의 생산시스템을 설명하기 위한 도면,

도 28은 제4실시형태의 생산시스템을 설명하기 위한 도면으로, 로트진척시에 발생하는 여러 가지 선택의 조합 중에서 최적으로 되는 조합을 선택하는 수순을 나타낸 도면이다.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같은 구성을 채용하고 있다.

즉, 본 발명은 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자와 반도체 제품을 구입하는 구입자가 상거래를 행하는 반도체 제품의 전자상거래방법에 있어서, 구입자 또는 그 대리자가 사용하는 클라이언트 단말을 반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산공정을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인(virtual production line)에 접속하고, 구입자가 소망하는 제품이 구입자가 소망하는 조건으로 가상 생산라인에서 돌고 있는지를 실시간으로 시뮬레이션하며, 구입자가 희망하는 조건으로 제품이 제조되는지 어떤지를 판정하는 것을 특징으로 한다.

또 다른 본 발명은, 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자와 반도체 제품을 구입하는 구입자가 네트워크를 이용하여 상거래를 행하는 반도체 제품의 전자상거래방법에 있어서, 반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산공정을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인과, 구입자 또는 그 대리자가사용하는 클라이언트 단말을, 네트워크를 매개로 하여 접속하는 단계와, 상기 클라이언트 단말로부터 구입자가 구입해야 할 제품 및 소망하는 조건을 입력하여 상기 가상 생산라인으로 전송하는 단계, 상기 가상 생산라인에 입력된 제품 및 조건에 기초하여 구입자가 희망하는 조건으로 그 가상 생산라인을 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션하는 단계, 상기 가상 생산라인에서의 시뮬레이션의 결과를 상기 클라이언트 단말로 전송하는 단계, 상기 시뮬레이션의 결과에 대하여 상기 클라이언트 단말로부터 비즈니스를 성립시킬 것인지 아닌지를 응답하는 단계 및, 비즈니스 성립이면 상기 가상 생산라인으로부터 상기 실생산라인으로 반도체 제품 제조의 지시를 내리는 단계를 갖춘 것을 특징으로 한다.

또 다른 본 발명은, 반도체 제품을 구입하는 구입자가 네트워크를 이용하여 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자와 상거래를 행하는 반도체 제품의 전자상거래방법에 있어서, 반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인에 대하여 구입자 또는 그 대리자가 사용하는 클라이언트 단말을 네트워크를 매개로 하여 접속하는 단계와, 상기 클라이언트 단말로부터 구입해야 할 제품 및 그 조건을 입력하는 단계, 상기 입력된 제품 및 조건에 기초하여 구입자가 희망하는 조건으로 상기 가상 생산라인을 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션한 결과를 상기 클라이언트 단말에서 수신하는 단계 및, 상기 수취한 시뮬레이션 결과에 대하여 클라이언트 단말로부터 반도체 제품을 구입할 것인지 아닌지를 응답하는 단계를 갖춘 것을 특징으로 한다.

또 다른 본 발명은, 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자가 네트워크를 이용하여 반도체 제품을 구입하는 구입자와 상거래를 행하는 반도체 제품의 전자상거래방법에 있어서, 반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인을 네트워크를 매개로 하여 구입자 또는 그 대리자가 사용하는 클라이언트 단말에 접속하는 단계와, 상기 클라이언트 단말로부터 입력된 구입해야 할 제품 및 그 조건을 상기 가상 생산라인으로 전송하는 단계, 상기 가상 생산라인으로 전송된 제품 및 조건에 기초하여 구입자가 희망하는 조건으로 그 가상 생산라인을 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션하는 단계, 상기 시뮬레이션의 결과를 상기 클라이언트 단말로 전송하는 단계 및, 상기 시뮬레이션 결과에 기초한 상기 클라이언트 단말로부터의 응답에 의해 비즈니스를 성립시킬 것인지 아닌지를 판정하고, 비즈니스 성립이면 상기 가상 생산라인으로부터 상기 실생산라인으로 반도체 제품 제조의 지시를 내리는 단계를 갖춘 것을 특징으로 한다.

또 다른 본 발명은, 반도체 제품을 실제로 제조하는 실생산라인에서의 생산공정을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인과, 이 가상 생산라인을 네트워크를 매개로 하여 클라이언트 단말에 접속하는 접속서버(connection server)를 구비하여 이루어진 반도체 제품의 전자상거래시스템에 있어서, 상기 접속서버는 상기 클라이언트 단말로부터 입력된 조건을 상기 가상 생산라인으로 전송하고, 전송된 조건 하에 상기 가상 생산라인에서 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션한 결과를 상기 클라이언트 단말로 전송하는 것을 특징으로 한다.

또 다른 본 발명은, 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인과, 상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인으로 전송하는 수단, 상기 전송된 정보를 기초로 상기 가상 생산라인에서 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단, 상기 계산결과에 기초한 작업지시 데이터를 상기 실생산라인으로 전송하는 수단 및, 상기 가상 생산라인을 네트워크를 매개로 하여 클라이언트 단말에 접속하는 접속서버를 구비하여 이루어진 반도체 제품의 전자상거래시스템에 있어서, 상기 클라이언트 단말로부터 입력된 조건을 상기 접속서버에 의해 상기 가상 생산라인으로 전송하고, 전송된 조건 하에 가상 생산라인에서 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션하며, 시뮬레이션 결과를 상기 접속서버에 의해 상기 클라이언트 단말로 전송하고, 시뮬레이션 결과에 기초하여 비즈니스를 행하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는 영업맨(Man business) 혹은 고객인 사용자가 네트워크를 매개로 하여 가상 생산라인과 접속하고, 소정의 LSI의 제품명, 사양, 납기, 가격 등을 입력하며, 그와 같은 제품이 제조가능한지 아닌지를 가상 생산라인에서 시뮬레이션한다. 이 시뮬레이션에 의해 제조가능이라는 결과가 얻어지면 비즈니스를 성립시키고, 실제의 생산라인에 작업지시를 행한다. 불가능이라는 결과가 얻어진 경우라도, 반도체 제품의 사양, 수량, 납기, 가격 등을 변화시켜, 허용가능한 해가 얻어지면 비즈니스를 성립시키고, 실제의 생산라인에 작업지시를 행한다.

여기서, 가상 생산라인은 반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산공정를 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축되어 있으므로, 이것을 이용하여 시뮬레이션함으로써 실생산라인에서의 로트 진척관리 및 제품을 제조가능한지 아닌지의 판단을 올바르게 행하는 것이 가능하게 된다. 따라서, SOC시대의 미니팹에 있어서, 반도체 제품의 전자상거래를 행하는 것이 가능하게 되고, 비즈니스 기회를 넓힐 수 있다.

또 다른 본 발명은, 비교적 소규모의 공장에 있어서 효율적인 운영을 행하기 위한 생산시스템에 있어서, 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과, 이 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인, 상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인으로 전송하는 수단, 상기 전송된 정보를 기초로 상기 가상 생산라인에서 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단 및, 상기 계산의 결과에 기초한 작업지시 데이터를 상기 실생산라인으로 전송하는 수단을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또 다른 본 발명은, 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과, 이 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인을 이용하고, 가상 생산라인에서 시뮬레이션함으로써 실생산라인에서의 효율적인 운용을 가능하게 하기 위한 생산방법으로, 상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인으로 전송하는 단계와, 상기 전송된 정보를 기초로 상기 가상 생산라인에서 최적의 로트 진행방법을 계산하는 단계, 상기 계산결과에 기초한 작업지시 데이터를 상기 실생산라인으로 전송하는 단계 및, 상기 작업지시 데이터에 기초하여 상기 실생산라인에서 생산을 개시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 반도체공장, 특히 월생산 수천매 혹은 그 이하의 비교적 소규모 반도체공장(실생산라인: 미니팹)에 있어서 효과적인 생산라인의 운영을 행하기 위해, 제품(시작품을 포함한다)을 가상적으로 제조하는 가상공장(가상 생산라인)를 설치한다. 그리고, 제품을 실제로 제조하는 실생산라인으로부터의 로트 진척정보, 장치의 상황에 관한 정보를 가상 생산라인 측으로 전송한다. 그리고, 그들 정보 및 가상 생산라인 내에 갖춘 제품의 공정정보를 입력데이터로 하여 로트진척 예상계산을 행한다. 그 계산결과 얻어지는 최적의 처리로트, 순서 등의 정보를 출력하고, 그것을 실생산라인 측으로 작업지시로서 전송한다. 실생산라인에서는 전송된 작업지시에 기초하여 작업을 행한다. 이에 따라, 생산라인의 효율적인 운영이 가능하게 된다.

로트 진척정보, 장치의 상황에 관한 정보, 제품의 공정정보를 입력데이터로 하여 로트진척 예상계산을 행하는 과정에서, 어떤 장치에 있어서 로트를 처리할 때에 몇 가지 선택이 발생하는 일이 있다. 예컨대, 복수의 로트를 동시에 처리할 수 있는 배치장치에 있어서, 1로트가 대기로트로서 있는 경우에 그 로트를 즉시 처리해야 할지 혹은 다른 로트가 올 때까지 기다려야 할지의 선택을 행하는 일이 있다. 다른 로트가 곧바로 올 것이라고 예상되는 경우에는, 그 로트를 기다리는 편이 득이라고 생각되고, 한편 로트가 곧바로 올 것같지 않은 경우는 1로트에서만 처리를 행하는 편이 득이라고 생각된다. 따라서, 상황에 따라 최적의 처리방법은 변화한다고 생각된다. 또, 어떤 장치에서 우선도가 낮은 로트가 대기로트로서 있고, 또한 우선도가 높은 로트가 어떤 시간 후에 올 것이라고 예상되는 경우에, 그 우선도가 낮은 로트를 먼저 처리해야 할지 혹은 기다려야 할지의 선택을 행할 필요가 있다.

이와 같은 갖가지의 선택에 대해 본 발명에서는, 그 전부 혹은 그 일부에 대해 계산을 행한다. 선택을 행할 개소가 복수개 있는 경우에는, 그들의 모든 조합 혹은 그 중의 일부의 조합에 대해 로트진척 예측을 행한다. 이 조작을 입력데이터로 지정한 계산대상시간동안 행한다.

월생산 수만매 혹은 그 이상의 웨이퍼를 생산하는 대규모 반도체공장에 있어서는, 동일 종류의 장치가 수대에서 수십대 있고, 상술한 조합을 계산하려고 하면 대단히 막대한 계산을 행하는 것이 필요하게 되어, 실질적으로 이와 같은 계산은 곤란했다. 한편, 월생산 수천매 혹은 그 이하의 웨이퍼를 생산하는 반도체공장에 있어서는, 동일 종류의 장치는 최저 1대, 있어도 수대이고, 복수의 선택을 발생시키기 쉬운 장치, 예컨대 복수의 로트를 차지(charge)하는 장치는 전체의 1/3이하로 되어 있어, 선택을 행할 기회는 월생산 수만매의 웨이퍼를 처리하는 대규모 반도체공장에 비하면 적다. 따라서, 조합의 수도 적어지고, 로트진척 계산의 대상으로 되는 시간을 길게 할 수 있다.

구체적으로는, 종래의 대규모 공장에서는 계산기의 제약에 의해, 예컨대 10분의 진척 밖에 계산할 수 없었는데 반해, 본 발명이 대상으로 하고 있는 미니팹에서는 동일 계산기를 이용하여 예컨대 1주간의 진척을 계산할 수 있어, 실용적으로 된다. 이 로트진척 예측에 기초하여 별도로 입력한 최적의 처리방법 혹은 처리순서를 결정하기 위한 판정조건과 대조하여, 최적의 처리방법 혹은 처리순서를 결정하는 것이 가능하게 된다. 이 처리방법을 생산라인 측에 작업지시한다. 그 결과, 로트가 효율적으로 돌게 되고, 공기가 짧아 스루풋을 크게 할 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼의 제조 생산성이 향상되게 된다.

이와 같은 반도체 웨이퍼의 제조방법을 이용하여, 우선도가 높은 제품이 우선한 처리 및 우선도가 낮은 제품을 가능한 범위 내에서 효과적으로 처리하는 것이 가능하게 된다. 또, 유지보수의 방식이나 장치의 유지보수가 행해지고 있을 때, 혹은 행하려고 하고 있을 때의 로트 처리순서의 최적화가 가능하게 된다.

(발명의 실시형태)

이하, 본 발명의 상세(詳細)를 도시한 실시형태에 따라 설명한다.

제1실시형태

도 2는 본 발명의 제1실시형태에 따른 반도체 제품의 전자상거래시스템의 전체 구성을 나타낸 블록도이다.

네트워크(10)는, 예컨대 인터넷으로 대표되는 컴퓨터 네트워크이고, 본 시스템은 이 네트워크(10)를 매개로 하여 전자상거래를 수행한다.

네트워크(10)에는 복수의 클라이언트 단말(11)과 접속서버(12)가 접속되어 있다. 클라이언트 단말(11)은 고객인 사용자나 영업맨이 조작하는 단말로, 인터넷 접속가능한 퍼스널 컴퓨터나 휴대전화를 이용할 수 있다. 접속서버(12)에는 미니팹(mini-fab)이라고 불리는 가상공장(가상 생산라인; 13)이 접속된다. 이 접속서버(12)에서는 클라이언트 단말(11)과 가상공장(13)과의 사이에서 각종 데이터의 주고받음을 행하도록 되어 있다. 가상공장(13)은, 후술되는 바와 같이, 실제로 반도체 제품을 제조하기 위한 미니팹인 실공장(14)과 접속되어 있다. 이 가상공장(13)은, 예컨대 컴퓨터 시스템에 의해 실현되고, 실공장(14)에서의 각 처리를 컴퓨터 상에 가상적으로 구축하고 있다. 또, 클라이언트 단말(11), 가상공장(13), 실공장(14)에는 각각 네트워크(10)와의 사이에서 각종 정보를 전송 및 수신하는 전송/수신수단(11a, 13a, 14a)을 갖춘다.

실공장(14)에서의 각종 정보는, 가상공상(13) 측으로 수동으로 혹은 자동적으로 전송된다. 가상공장(13)은 실공장(14) 측으로부터 전송된 어떤 시점에서의 로트의 진척정보, 장치의 상태정보를 입력데이터로 하여 어떤 시간범위 내에서의 로트진척 예측의 시뮬레이션을 행한다. 가상공장(13)에서의 시뮬레이션 결과는 실공장(14)측으로 작업지시로서 전송된다. 예컨대, 작업자에게 어떤 장치에 있어서 로트처리가 끝나는 시간을 연락하고, 그 장치에 다음으로 투입해야 할 로트지시 및 종료한 로트를 다음에 어디로 가지고 갈 것인지 혹은 어떤 반송장치로 이동할 것인지의 지시 등을 행한다.

다음으로, 본 실시형태에서의 전자상거래의 상태를 도 3의 플로우차트를 참조하여 설명한다.

가상공장(13)에서는, 항상 실공장(14)의 로트 진척상황 및 장치의 상태를 관리하고, 실공장(14)과 동등한 로트진척을 계산할 수 있도록 해 둔다(S1). 구체적으로는, 실공장(14)으로부터 가상공장(13)으로 로트의 진척정보, 장치의 상황정보가 전송되고 있다. 이 상태에서, 고객인 사용자 혹은 영업맨(이하, 이용자라고 칭한다)이 가상공장(13)에 네트워크(10), 접속서버(12)를 매개로 하여 접속하고, 소망하는 제품(LSI의 제품명, 사양, 수량, 납기, 가격 등)을 입력한다(S2). 입력된 각 정보는 가상공장(13)으로 전송된다.

가상공장(13)에서는 S2에서 입력된 각 정보를 수신하고, 이 수신한 정보를 기초로 로트의 진척예측을 계산한다(S3). 즉, 이용자로부터 입력된 제품이 제조가능한지 아닌지를 시뮬레이션한다. 그리고, 시뮬레이션 결과에 기초하여 제조가능한지 아닌지를 판정하고(S4), 제조가능한 경우는 이용자에게 그것을 전달한다(S5). 이용자에게 전달하는 방법은, 접속서버(12), 네트워크(10)를 매개로 하여 제조가능함을 나타내는 데이터를 클라이언트 단말(11)로 송신한다. 클라이언트 단말(11)은 수신한 데이터에 기초하여 모니터화면(도시하지 않음)에 제조가능함을 나타내는 정보를 표시하고, 이용자에게 구입의 가부를 재촉한다.

모니터화면에 표시된 시뮬레이션 결과를 기초로 이용자는 제품을 구입할 것인지 아닌지를 결정하고(S6), 그것을 승낙하면 비즈니스 성립으로 된다. 제품을 구입할 것인지 아닌지, 즉 제품의 구입을 승낙할 것인지 아닌지는 클라이언트 단말(11)의 입력수단(도시하지 않음)을 이용하여 제품을 구입함을 나타내는 정보, 혹은 제품을 구입하지 않음을 나타내는 정보를 입력함으로써 행해진다. 제품을 구입함을 나타내는 정보를 가상공장(13)이 수신하면, 비즈니스 성립이라고 판정한다. 이 경우, 자동적으로 혹은 반자동적으로 가상공장(13)은 실공장(14)에서 그 제품을 작성하도록 지시한다(S7). 자동적이라는 것은, 비즈니스 성립이라고 판정한 후, 인간의 동작을 개재하지 않고 실공장(14)에 작업지시명령을 컴퓨터에 의해 행하는 경우이다. 또, 반자동적이라는 것은, 비즈니스 성립이라고 판단한 후,가상공장(13)의 오퍼레이터에게 작업지시를 행할 것인지 아닌지 등의 판단을 시키고, 오퍼레이터의 작업지시 확인입력 등의 인간의 동작을 개재한 후에 실공장(14)에 작업지시명령을 컴퓨터에 의해 행하는 경우이다.

상기 S4에 있어서, 소망하는 제품의 제조가 불가능하다는 계산결과가 나왔으면, 루프A를 이용한다. 구체적으로는, 이용자의 요구내용(사양, 수량, 납기, 가격 등)을 변화시키고(S11), 그와 같은 제품이 제조가능한지 가상공장(13)에서 다시 시뮬레이션한다. 즉, 이용자의 요구내용을 변화시킨 조건으로 로트진척 예측계산을 다시 행하고(S3), 그 계산결과에 기초하여 제품 제조의 가부를 판정한다(S4). 그리고, 이용자의 요구내용을 변경시킨 경우의 LSI의 제조가 가능하다는 계산결과가 나왔으면, 이용자에게 그 사실을 전달한다(S5). 그 때, 요구의 갱신내용도 포함시켜 전달한다. 이용자가 그것을 승낙하면 비즈니스 성립으로 된다.

이용자의 요구내용을 변경시켜도 제조할 수 없는 경우는, 루프B를 이용한다. 구체적으로는, 가상공장(13)에 있어서 로트상황을 변화시키고(S12), 그와 같은 제품이 제조가능한지 가상공장(13)에서 다시 시뮬레이션을 행한다. 즉, 로트상황의 조건을 변화시킨 조건으로 로트진척 예측계산을 다시 행하고(S3), 그 계산결과에 기초하여 제품 제조의 가부를 판정한다(S4). 예컨대, 어떤 때에 우선도가 높은 제품이 실공장(14)내에 다수 있는 경우에, 그들이 지출되어 실공장(14)내의 로트가 감소한다고 예상되는 경우에는, 로트의 투입을 지연시킴으로써, 제품이 제조가능한지 아닌지를 가상공장(13)에서 시뮬레이션한다. 로트의 투입을 지연시킨 조건에서의 시뮬레이션에 의해 그 LSI의 제품의 제조가 가능하다는 결과가 도출된 경우, 이용자에게 그 사실을 전달한다(S5). 그 때, 로트의 투입을 지연시키는 것 및 납기를 전달한다. 이용자가 그것을 승낙하면 비즈니스 성립으로 된다.

상기의 어느 루프에서도 제조할 수 없는 경우는, 루프C를 이용한다. 구체적으로는, 다른 미니팹을 선택하고(S13), 상기와 마찬가지의 조작을 행하여 제조가능한지 아닌지를 판정한다(S4). 즉, 다른 미니팹에 대해 로트진척 예측계산을 행하고(S3), 계산결과에 기초하여 제품 제조의 가부를 판정하고(S4), 가능하다고 판정되면 이용자에게 그 사실을 전달한다(S5). 불가능하다고 판정되면, 루프A나 루프B를 이용하여 다시 시뮬레이션을 행하여 제조가능한 조건을 찾는다. 다른 미니팹에 있어서도 제조할 수 없는 경우는, 비즈니스 불성립으로 된다. 다른 미니팹에 있어서 제조가능한 경우는, 그 사실을 이용자에게 전달하고, 미니팹으로부터의 통지에 대하여 이용자가 승낙하면 비즈니스 성립으로 된다.

다음으로, 상기의 처리를 도 4의 플로우차트 및 도 5∼도 11의 모니터화면을 참조하여 더 자세히 설명한다.

우선, 사용자가 클라이언트 단말(11)로부터 접속서버(12)에 대하여 다이얼 업을 행하면, 서버(12) 측으로부터 ID, 패스워드의 요구가 행해진다. 사용자가 ID, 패스워드를 입력하면, 접속서버(12)는 ID, 패스워드가 올바르면 이것을 접수하고, 가상공장(13)에 접속한다. 이와 동시에, 클라이언트 단말(11)의 모니터화면에 도 5에 나타낸 바와 같이 디바이스 사양을 입력하기 위한 제1화면을 출력한다.

제1화면은, 사용자가

① 기능을 입력하고, 디바이스 구성을 솔루션(solution: 해)으로서 구한다.

② 디바이스 구성을 옵션으로부터 선택하여 시스템을 구성한다.

의 어느 하나를 선택할 수 있도록 되어 있다.

디바이스의 기능을 지정하는 경우에는, 도 6a에 나타낸 바와 같이 제2a화면으로 진행하고, 디바이스 구성·파트를 지정하는 경우에는 도 6b에 나타낸 바와 같이 제2b화면으로 진행한다. 제2a화면에서는 시스템으로서 필요한 파트를 입력한다. 제2b화면에서는 SOC의 구성파트를 선택한다.

사용자로부터 디바이스 사양이 입력되면, 서버(12)는 이것을 가상공장(13)으로 보낸다. 가상공장(13)과 실공장(14)의 사이에서는 현재 돌고 있는 로트의 상황, 제조에 관한 예정 등이 실시간으로 교환되고 있다. 따라서, 가상공장(13)에서는 현재 돌고 있는 로트 및 신규 투입로트를 고려하여 시뮬레이션을 행할 수 있다. 가상공장(13)은 이들 현재 돌고 있는 로트 및 신규 투입로트 등에 기초하여 납기와 가격을 도출하고, 회답을 서버(12)를 매개로 하여 클라이언트 단말(11)로 보낸다. 이 때, 클라이언트 단말(11)의 모니터화면의 표시는, 예컨대 도 7과 같은 제3화면으로 된다.

사용자는 제3화면을 참조하여 다음으로 진행하는 경우는, 제3화면의 다음화면 버튼의 선택에 응답하여 가상공장(13)은 다음의 도 8과 같은 제4화면을 클라이언트 단말(11)의 모니터화면에 표시시킨다. 사용자는 이 제4화면에 따라 필요사항(개수, 납기)을 입력한다. 이 필요사항(개수, 납기)을 수신한 가상공장(13)은 이 필요사항에 따른 해를 찾는다. 그리고, 가상공장(13) 측으로부터 클라이언트 단말(11)로 제1차 해로서 도 9에 나타낸 바와 같은 제5화면을 표시하고, 사용자에게 가능한 납기와 가격(제1차 해)을 제시한다. 사용자는 제1차 해에 만족스런 해가 있으면 발주한다. 만족스런 해가 없으면, 그 사실을 가상공장(13)으로 전달한다. 가상공장(13)은 이것에 응답하여 도 10에 나타낸 바와 같은 제6화면을 클라이언트 단말(11)의 모니터화면에 표시시키고, 다시 사용자와 교섭한다. 사용자로부터의 교섭이 있는 경우, 가상공장(13) 측에서는 예컨대 납기를 빨리할 때 가격이 올라가는 정도 등을 계산하고, 사용자에 대하여 회답한다. 사용자로의 회답은, 클라이언트 단말(11)의 모니터화면에 필요정보를 표시함으로써 행한다. 사용자는 제2차 교섭에서 만족스런 해가 있는 경우는 발주한다. 사용자로부터 발주가 있으면, 가상공장(13)에서는 주문을 접수하고, 상세한 납기를 다시 시뮬레이션에 의해 도출하며, 사용자에게 회답한다. 이와 동시에, 실공장(14)에 지시를 내린다. 실공장(14)은 이 지시에 의해 제품의 제작을 개시한다.

이와 같이 본 실시형태에 의하면, 반도체 제품의 제조를 행하는 실공장(14)에서의 생산공정를 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 가상공장(13)을 구축해 두고, 영업맨 혹은 고객인 사용자가 네트워크를 매개로 하여 가상공장(13)과 접속하며, 소정의 LIS의 제품명, 사양, 납기, 가격 등을 입력하고, 그와 같은 제품이 제조가능한지 아닌지를 가상공장(13)에서 시뮬레이션함으로써, 실공장(14)에서의 로트 진척관리 및 제품이 제조가능한지 아닌지의 판단을 올바르게 행하는 것이 가능하게 된다.

그리고, 상기의 시뮬레이션에 의해 제조가능하다는 결과가 얻어지면 비즈니스를 성립시키고, 실공장(14)에 작업지시를 행한다. 불가능하다는 결과가 얻어진 경우라도, 반도체 제품의 사양, 수량, 납기, 가격, 로트상황, 제조를 행하는 미니팹 등을 변화시켜, 허용가능한 해가 얻어지면 비즈니스를 성립시키고, 실공장(14)으로 작업지시를 행한다. 이에 따라, SOC시대의 미니팹에 있어서, 반도체 제품의 전자상거래를 행하는 것이 가능하게 되어 비즈니스 기회를 현격히 넓힐 수 있다.

다음으로, 본 실시형태의 전자상거래시스템을 이용한 실제의 전자상거래의 예에 대해 이하의 (1)∼(9)에 설명해 둔다.

(1) 사용자가 소망하는 조건으로 영업맨이 소망하는 제품을 가상공장에서 돌린 결과, 부드럽게 돌고, 제조가능하다는 것을 알았으므로 비즈니스를 성립시키며, 가상공장 경유로 작업지시를 행했다.

(2) 사용자가 소망하는 조건으로 영업맨이 소망하는 제품을 가상공장에서 돌린 결과, 제조가 불가능하다는 것을 알았다. 납기를 변화시켜 재계산을 행한 경우에, 납기를 10일 늦추면 제조가능하다는 결과가 얻어졌으므로, 사용자에게 그 사실을 연락하고, 승낙이 얻어졌으므로 비즈니스를 성립시키며, 가상공장 경유로 작업지시를 행했다.

(3) 사용자가 소망하는 조건으로 영업맨이 소망하는 제품을 가상공장에서 돌린 결과, 제조가 불가능하다는 것을 알았다. 동작주파수 스펙을 변화시켜 재계산을 행한 경우에, 동작주파수 스펙을 50MHz 내리면 제조가능하다는 결과가 얻어졌으므로, 사용자에게 그 사실을 연락하고, 승낙이 얻어졌으므로 비즈니스를 성립시키며, 가상공장 경유로 작업지시를 행했다.

(4) 사용자가 소망하는 조건으로 영업맨이 소망하는 제품을 가상공장에서 돌린 결과, 제조가 불가능하다는 것을 알았다. 가격을 변화시켜 재계산을 행한 경우에, 가격을 7% 올리면 제조가능하다는 결과가 얻어졌으므로, 사용자에게 그 사실을 연락하고, 승낙이 얻어졌으므로 비즈니스를 성립시키며, 가상공장 경유로 작업지시를 행했다.

(5) 사용자가 소망하는 조건으로 영업맨이 소망하는 제품을 가상공장에서 돌린 결과, 제조가 불가능하다는 것을 알았다. 수량과 납기를 변화시켜 재계산을 행한 경우에, 수량을 10% 줄이거나, 납기를 7일 늦추면 제조가능하다는 결과가 얻어졌으므로, 사용자에게 그 사실을 연락했다. 사용자가 후자를 선택했으므로 비즈니스를 성립시키고, 가상공장 경유로 작업지시를 행했다.

(6) 사용자가 소망하는 조건으로 영업맨이 소망하는 제품을 가상공장에서 돌린 결과, 제조가 불가능하다는 것을 알았고, 더욱이 조건을 변화시켜도 제조가 불가능하다는 것을 알았다. 그 때문에, 다른 미니팹을 시뮬레이션할 수 있는 가상공장에 접속하여, 마찬가지의 계산을 행한 결과, 제조가능하다는 것을 알았으므로, 사용자에게 그 사실을 연락하고, 승낙이 얻어졌으므로 비즈니스를 성립시키며, 가상공장 경유로 작업지시를 행했다.

(7) 사용자가 소망하는 조건으로 영업맨이 소망하는 제품을 가상공장에서 돌린 결과, 제조가 불가능하다는 것을 알았고, 더욱이 조건을 변화시켜도 제조가 불가능하다는 것을 알았다. 2, 3일 후에 우선도가 높은 제품이 지출되어 소망하는 제품을 제조할 수 있는 확률이 높아진다는 결과가 얻어졌으므로 대기상태로 한 바,3일 후에 사용자가 소망하는 조건대로 제조가능하다는 결과가 얻어졌으므로, 사용자에게 그 사실을 연락하고, 승낙이 얻어졌으므로 비즈니스를 성립시키며, 가상공장 경유로 작업지시를 행했다.

(8) 거의 같은 시간에 2인의 사용자로부터 문의가 있고, 영업맨이 2인의 사용자가 소망하는 제품을 소망하는 조건으로 가상공장에 돌린 결과, 동시에 돌릴 수 없다는 것이 판명되었고, 각각의 조건을 변화시켜도 역시 동시에 돌릴 수 없다는 것이 판명되었다. 그래서, 2인의 사용자 중, 미니팹의 이익이 큰(혹은 미니팹으로의 부담이 적은) 사용자의 제품을 가상공장에서 돌린 결과, 제조가능하다 것이 판명되었으므로, 사용자의 승낙을 얻어 비지니스를 성립시키고, 가상공장 경유로 작업지시를 행했다.

이상 상술한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자와 반도체 제품을 구입하는 구입자가 네트워크를 매개로 하여 상거래를 행할 때에, 구입자 또는 그 대리자가 사용하는 클라이언트 단말을, 반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산공정를 계산기 상에서 모의적으로 행하는 것이 가능한 가상 생산라인이 짜넣어진 컴퓨터에 접속한다. 그리고, 구입자가 소망하는 제품이 구입자가 소망하는 조건으로 가상 생산라인에서 돌고 있는지를 실시간으로 시뮬레이션하고, 구입자가 소망하는 조건으로 제품이 제조되는지 아닌지를 판정한다. 이에 따라, 실생산라인에서의 로트 진척관리 및 제품을 제조할 수 있는지 아닌지의 판단을 올바르게 행할 수 있고, 반도체 제품의 전자상거래에서의 비즈니스 기회를 넓히는 것이 가능하게 된다.

제2실시형태

도 11은 본 발명의 제2실시형태에 따른 반도체 생산시스템의 예를 나타낸 블록도이다.

반도체 제품(및 시작품)을 실제로 제조하는 실공장(14; 실생산라인)에 있어서는 제조장치군이 존재하고, 이 실공장(14)내의 각 실생산라인에 제품이 돌고 있다. 각 제품의 로트 진척상황은 실공장(14)내의 컴퓨터에 의해 관리가 이루어지고 있다. 예컨대, 컴퓨터화면에서 적당한 처리를 행하면, 어떤 로트가 어떤 장치에 있고, 처리중인지 대기상태로 되어 있는지, 혹은 반송중인지를 알 수 있도록 되어 있다. 또, 이 컴퓨터에는 로트진척 데이터 이외에, 장치의 상태(가동중 혹은 아이들링중, 유지보수중, 고장중, 유지보수 예정 등)의 정보가 기억되어 있다.

실공장(14)에서의 각종 정보는 데이터 전송매체(16)로서의 네트워크를 매개로 하여 가상공장(13; 가상 생산라인) 측으로 수동으로 혹은 자동적으로 전송된다. 수동의 경우, 실공장(14)의 컴퓨터 오퍼레이터가 각종 정보를 입력한다. 자동의 경우, 실공장(14)의 각종 상태를 각종 센서가 검지하고, 그 검지한 데이터가 가상공장(13)으로 전송된다. 여기서, 실생산라인(14)에서의 각종 정보로서는 각 생산의 수주량, 로트의 진척상황, 장치의 상황(장치의 가동상황, 장치의 성능상황, 결함발생상황, QC상황, 장치의 정기 유지보수까지의 시간, 정기 유지보수에 필요한 시간), 노동자의 상황(노동자의 근무상황, 작업상황), 및 제품의 테스트결과 등이 있다.

가상공장(13)은 실공장(14)과 완전히 동일한 기능을 컴퓨터로 구축한 것이다. 보다 구체적으로는, 가상공장(13)은 실공장(14)의 로트 진척상황, 장치의 상황, 노동자의 상황, 제품의 테스트결과를 파악하기 위한 수치정보 등에 기초하여 실공장(14)의 가동상황을 파악하는 상황파악 프로그램을 갖추고, 이 상황파악 프로그램에 의해 실공장(14)의 가동상황을 시뮬레이션에 의해 도출하는 기능을 갖는다. 물론, 각종 정보에 기초하여 시뮬레이션 결과를 도출하는 수단은 소프트웨어에 한정되지 않고, 소정의 하드웨어를 시뮬레이션결과 도출수단의 구성요소로 해도 좋다.

현재의 컴퓨터 성능으로부터, 월생산 수만매 혹은 그 이상의 웨이퍼를 생산하는 대규모의 반도체공장에 대해서는 이것과 동일한 기능을 가상적으로 구축하는 것은 불가능하다. 따라서 본 실시형태에서는, 월생산 수천매 혹은 그 이하의 비교적 소규모의 반도체공장을 대상으로 하고 있다. 또, 대규모의 반도체공장에 대해서는 이것을 복수로 분할하여 소규모의 반도체공장의 집합으로 하면, 현재의 컴퓨터 시스템에 있어서 각각의 소규모공장에 대해 동일한 기능을 컴퓨터로 구축하는 것이 가능하다.

본 실시형태의 가상공장(13)에 있어서는, 컴퓨터 내부에 제품의 공정정보(혹은 제품이 어떠한 장치군에서 어떠한 처리가 행해지고, 각각 얼마 만큼의 시간이 걸리는지의 정보), 및 실제의 생산라인에 존재하는 장치군, 혹은 생산라인으로의 도입이 검토되고 있는 장치의 정보가 격납되어 있다. 그리고, 실공장(14) 측으로부터 전송된 어떤 시점에서의 로트의 진척정보, 장치의 상태정보를 입력데이터로 하여, 어떤 시간범위 내에서의 로트의 진척예측의 시뮬레이션을 행하도록 되어 있다.

가상공장(13)에서의 시뮬레이션 결과는, 데이터 전송매체(15)로서의 네트워크를 매개로 하여 실공장(14) 측으로 작업지시로서 전송된다. 예컨대, 작업자에게 어떤 장치에 있어서 로트처리가 끝나는 시간을 연락하고, 그 장치에 다음으로 투입해야 할 로트의 지시 및 종료한 로트를 다음에 어디로 가지고 갈 것인지, 혹은 어떤 반송장치로 이동할 것인지의 지시 등을 행한다. 또한, 실공장(14)으로부터 가상공장(13)으로의 각종 정보의 전송, 가상공장(13)에서의 최적의 로트 진행방법의 계산, 및 가상공장(13)으로부터 실공장(14)으로의 작업지시 데이터의 전송은 실시간으로 반복해서 행한다. 또, 여러 가지 조건 하에서의 지시내용의 예는 후술되는 (1)∼(9)에 나타낸다.

여기서, 가상공장(13)이 실공장(14)으로부터 전송된 정보를 이용하여 로트의 진척을 구체적으로 계산하는 반도체 시스템의 동작을 설명한다. 도 12에 있어서 나타낸 바와 같이, 제품의 레서피정보(Recipe information), 장치정보, 라인의 상황(로트 진척상황), 최적의 로트 순환방법의 판정조건을 가상공장(13)에 입력한다. 가상공장(13)은 이들 입력데이터에 기초하여 로트진척의 계산을 행하고, 예컨대, 1개월간의 로트진척 예측결과를 출력한다. 도 13a∼도 13e에 있어서, 제품의 레서피정보(도 13a), 장치정보(도 13b), 라인의 상황(로트 진척상황)(도 13c), 최적의 순환방법의 판정조건(도 13d), 1개월간의 로트진척 예측(도 13e)의 예를 나타낸다. 도 14는 어떤 시점에서의 로트 흐름의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다.

상기의 로트진척의 예상의 계산을 행할 때에, 여러 가지의 처리방법, 혹은처리 순서에 2이상의 선택이 있는 경우가 있다. 예컨대, 복수의 로트를 동시에 처리할 수 있는 배치장치에 있어서, 1로트가 대기로트로서 있는 경우에 그 로트를 곧바로 처리할 것인지, 혹은 다른 로트가 올 때까지 기다려야 할 것인지의 선택을 행할 필요가 있다. 이것을, 예로서 도 15에 나타낸다. 도 14는 도 15에서의 선택(choice)1의 경우를 나타낸 것이다. 구체적으로는, 2번째의 공정(Equipment B)에 있어서 2번째의 로트2(Lot2)를 기다리지 않고 로트1(Lot1)을 처리한 경우의 로트진척의 예이다. 이에 대해, 도 15의 선택2를 선택한 경우의 로트진척의 예를 도 16에 나타낸다. 구체적으로는, 도 16에서는 2번째의 공정(Equipment B)에 있어서 2번째의 로트2(Lot2)를 기다렸다가 로트1(Lot1)을 처리한 경우의 로트진척의 예를 나타내고 있다.

이들 도 14 및 도 16을 비교하면, 로트1(Lot1)의 3공정분의 공기는 도 16의 편이 도 14보다 길어지지만, 로트2(Lot2)의 공기는 도 16의 편이 짧아지고 있어, 후자의 진척 쪽이 보다 바람직한 경우가 있다.

또, 어떤 장치에서 우선도가 낮은 로트가 대기로트로서 있고, 또한 우선도가 높은 로트가 어떤 시간 후에 올 것이라고 예상되는 경우는, 그 우선도가 낮은 로트를 먼저 처리할 것인지, 혹은 기다려야 할 것인지의 선택을 행할 필요가 있다.

도 17은 이들 여러 가지의 선택군을 트리 상에 기재한 것이다. 본 실시형태에서는, 이와 같은 여러 가지의 선택에 대해 그 전부의 경우에 혹은 일부의 경우에 로트 진척예상의 계산을 행한다. 그리고, 각 선택마다 로트 진척예상 계산결과를 도출한다. 그 결과, 여러 가지 선택에서의 선택의 방법에 따라 로트의 진척예상계산이 가능하게 된다. 그 후, 도 17에 나타낸 바와 같이, 이들 각 로트 진척예상 계산결과 중에서 최적이라고 생각되는 로트를 진척시킬 방법을 선택한다. 그 때, 추출의 방법으로서는, 예컨대 전체의 스루풋을 크게 하고, 공기를 짧게 하는 것을 선택하도록 하거나, 어떤 우선로트가 짧은 공기로 돌도록 하거나, 비용을 최소로 하는 순환방법을 채용하거나 하는 것이 가능하다. 이들의 판단기준은 별도 가상공장(13)에 대해 도시하지 않은 입력수단으로부터 오퍼레이터가 입력할 필요가 있다. 즉, 오퍼레이터는 가상공장(13)에 접속된 모니터화면에 표시된 각 선택마다의 로트 진척예상 계산결과를 참조하여 상술한 바와 같은 로트진척의 추출조건을 설정하고, 최적이라고 생각되는 로트진척을 결정한다. 여기서는, 로트 진척예상 계산결과로부터 얻어지는 양, 예컨대 어떤 기간에서의 출력량, 평균공정, 우선도가 높은 생산량의 출력량, 평균공정 등으로부터 우선조건에 따라 가상공장(13)이 자동적으로 최적의 진척을 선택한다. 혹은, 오퍼레이터가 결과로서 출력된 몇 가지의 진척예상 계산결과 중에서 최적의 방법을 수동으로 선택하는 것도 가능하다.

또한, 로트 진척예상 계산결과는 모든 선택에 대하여 도출할 필요는 없고, 먼저 오퍼레이터가 설정한 추출조건에 대하여만 산출해도 좋다.

다음으로, 가상공장(13)은 최적이라고 생각되는 로트를 진척시키는 방법을 결정한 후, 그 결과를 실공장(14) 측으로 작업지시로서 출력한다. 구체적으로는, 위에도 설명한 바와 같이, 가상공장(13)은 예컨대 작업자에게 어떤 장치에 있어서 로트처리가 끝나는 시각을 실공장(14)에 연락하고, 그 장치에 다음으로 투입해야 할 로트의 지시, 및 종료한 로트를 다음에 어디로 가지고 갈 것인지, 혹은 어떤 반송장치로 이동할 것인지의 지시 등을 실공장(14)에 대하여 행한다. 더욱이, 여러 가지의 선택이 발생할 때의 선택의 선택방법(처리방법)의 지시를 행한다. 이 지시에 따라 실공장(14)에서 생산을 개시함으로써, 실공장(14)의 효율적인 운용이 가능하게 된다.

이와 같이 본 실시형태에 의하면, 제품을 실제로 제조하는 실공장(14)과, 이 실공장(14)과 본질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상공장(13)을 이용하여 실공장(14)에서의 생산공정을 가상공장(13)에서 시뮬레이션함으로써, 실공장(14)에서의 효율적인 운용이 가능하게 된다. 특히 월생산 수천매 혹은 그 이하의 비교적 소규모의 반도체공장에 있어서는, 실공장(14)에서의 각종 처리를 가상공장(13)에 의해 정확하게 시뮬레이션할 수 있기 때문에, 로트의 진척을 엄밀히 예측할 수 있고, 소규모 공장에서의 운영의 효율화를 도모할 수 있다.

다음으로, 본 실시형태에 따른 여러 가지 조건 하에서의 지시내용의 예를 설명한다.

(1) 실공장(14) 내의 어떤 장치에 있어서, 15분 후에 우선도가 높은 로트가 도착하는 것이 판명되었다고 한다. 이 정보는 가상공장(13)으로 전송되지만, 가상공장(13)에서는 현재의 로트처리를 곧바로 개시하는 시뮬레이션과, 현재의 로트처리를 개시하지 않고 우선도가 높은 로트가 도착하는 것을 기다렸다가 처리를 개시하는 시뮬레이션을 행한다. 그리고, 양자의 시뮬레이션 결과로부터 우선도가 높은 로트가 도착하는 것을 기다리는 편이 적당하다는 해가 얻어졌다. 이 결과를 실공장(14) 측으로 전송하고, 작업지시를 행했다. 그 결과, 우선도가 높은 로트를 짧은 공기로 제조하는 것이 가능하게 되었다.

(2) 실공장(14) 내의 어떤 장치에 있어서 유지보수를 행할 필요가 생긴 경우, 가상공장(13)에서의 시뮬레이션에 의해 유지보수의 영향을 받지 않는, 혹은 영향이 적은 로트를 우선적으로 처리하는 최적의 로트진척 예상결과가 얻어졌다. 이 결과를 작업지시함으로써, 장치 유지보수시의 실공장(14)의 효율적인 운용이 가능하게 되었다. 더욱이, 장치의 정기 유지보수가 행해지는 일정시간 전에, 유지보수시간, 그에 필요한 인원, 교환부품, 혹은 다음 다음 번의 유지보수를 위한 보충수순 등을 컴퓨터화면상에 표시함으로써, 유지보수를 효율적으로 행할 수 있었다.

(3) 장치의 고장이 발생할 것이 예측되는 경우에, 고장예측을 고려한 가상공장(13)에서의 시뮬레이션에 의해, 우선도가 높은 제품을 우선적으로 처리하는 편이 적당하다는 결과가 얻어졌다. 그 결과에 기초하여 지시를 행함으로써, 우선도가 높은 로트를 공기가 늦어지지 않게 제조하는 것이 가능하게 되었다. 더욱이, 고장의 처리방법을 컴퓨터화면상에 표시, 혹은 그와 유사한 방법으로 표시함으로써, 원활하게 고장에 대처할 수 있고, 스루풋을 떨어뜨리는 것(공기가 늘어나는 일)을 방지할 수 있다.

(4) 어떤 공정을 통과한 로트의 데이터가 이상값을 내고 있는 것이 판명된 경우에, 가상공장(13)에 의해 그 공정을 통과한 로트 중에서 이상값을 낼 가능성이 있는 로트를 추출했다. 그 로트를 대기로트로 하고, 그 후의 조사에서 양품(良品)으로는 될 수 없다는 것이 판명되었기 때문에 파기했다. 이와 같이 해서, 프로세스이상의 제품에 대한 영향을 최소로 하는 것이 가능하게 되었다.

(5) 가상공장(13)에서의 시뮬레이션에 의해 작업자의 최적의 휴식시간을 구했다. 그 결과, 어떤 공정처리가 10분후에 종료하는 것, 그 후 70분간은 작업이 발생하지 않음을 알았고, 그 사이에 휴식을 취하는 것이 적당하다는 결과가 얻어졌다. 그 결과에 기초하여, 그 공정의 처리후 60분간의 휴식를 취하도록 지시했다. 그 결과, 스루풋을 떨어뜨리는 일(공기가 늘어나는 일)없이 작업자는 휴식을 취할 수 있었다.

(6) 유품(流品)해야 할 제품이 변경된 경우에, 사용하는 장치나 그 사용시간 등의 변경에 의해 장치의 과부족이 발생하는지 어떤지를 가상공장(13)에 있어서 계산했다. 그 결과, 장치의 과부족이 발생하는 것이 판명되었다. 그 과부족을 해소하기 위한 장치개조, 장치의 교환 등을, 비용을 최소로 하는 경우 혹은 기간을 최단으로 하는 경우로 구하고, 컴퓨터화면상 혹은 그와 유사한 방법으로 표시시켰다. 그 결과에 기초하여, 최적의 장치교환수순을 결정하고, 실행했다. 그 결과, 제품의 원활한 변경이 가능하게 되었다.

(7) 실생산라인 내에서의 장치의 레이아웃을 결정할 때에 스페이스를 최소로 하는 방법, 동선을 최소로 하는 방법, 작업자를 최소로 하는 방법, 및 용력을 최소로 하는 방법에 의해, 각각 최적으로 되는 레이아웃을 구했다. 그 결과, 어떤 레이아웃이 스페이스를 최소로 하는 방법 및 동선을 최소로 하는 방법으로 구했을 때의 최적해로서 얻어지고, 또한 작업자를 적게 하면서 용력도 작게 할 수 있음을 알았다. 이 레이아웃을 채용함으로써, 생산성이 향상되었다.

(8) 결함의 대량발생 등의 이유인 제품의 웨이퍼 혹은 칩의 파기에 수반하여제품수의 감소가 예측되었다. 그 경우에, 신규로트를 우선도를 높여 투입 및 처리를 행하고, 혹은 도중에 대기중의 로트를 우선도를 높여 처리를 행했다. 그 결과, 그 제품의 양품수의 대폭적인 감소를 막는 것이 가능하게 되었다.

(9) 가상공장(13)에 있어서 직(直)재료 및 간(間)재료의 재고관리를 행했다. 그 결과, 직재료 및 간재료의 재고를 줄일 수 있었다.

변형예

본 발명은 상술한 각 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명에 이용하는 가상공장은, 반드시 제2실시형태와 같이 실공장과 완전히 동일한 처리를 가상적으로 구축할 수 있는 것일 필요는 없고, 실공장을 어느 정도 시뮬레이션할 수 있는 것이면 된다. 따라서, 현재의 컴퓨터 시스템에서 보다 대규모의 반도체공장에 대한 적용도 가능하다. 또, 네트워크는 반드시 인터넷에 한정되는 것은 아니고, 쌍방향의 데이터통신을 행할 수 있는 것이면 된다. 또, 제1실시형태에 나타낸 전자상거래방법에 본 실시형태에 따른 반도체 생산시스템을 적용하는 것이 가능하게 된다.

또, 제2실시형태에서는 반도체 생산시스템을 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 액정, 가전제품의 공장에 있어서도 비교적 규모가 작은 것이면 적용가능하다. 더욱이, 자동차, 화학플랜트의 공장에 적용하는 것도 가능하다. 또, 본 발명에서 대상으로 하는 시스템의 크기(비교적 소규모의 공장)란, 이용하는 컴퓨터로 실라인에 대하여 동일한 수의 계산을 행하는 것이 가능한 정도, 즉 실라인과 똑같은 처리를 가상적으로 구축할 수 있는 범위이고, 장래적으로 컴퓨터의 처리능력이 향상되면, 보다 규모가 큰 시스템으로의 적용도 가능하게 된다.

또, 본 실시형태의 설명에서는 1로트의 구성매수 = 25매 정도를 상정하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 1로트 = 1매로부터 임의의 매수를 대상으로 하고 있다.

이상 상술한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 제품을 실제로 제조하는 실공장(실생산라인)과, 이 실공장과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상공장(가상 생산라인)을 이용하고, 실공장에 있어서 각종 정보를 가상공장으로 전송하며, 전송된 정보를 기초로 가상공장에서 최적의 로트 진행방법을 계산하고, 이 계산결과에 기초한 작업지시 데이터를 실공장으로 전송하며, 전송된 작업지시 데이터에 기초하여 실공장에서 생산을 행하도록 하고 있으므로, 실제의 생산라인에서의 각종 처리를 정확하게 시뮬레이션하는 것이 가능하게 되고, 비교적 소규모의 공장에 있어서 효율적인 운영을 행할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, 복수의 선택을 갖는 경우에, 그 전부 혹은 그 일부에 대해 계산을 행함으로써, 상황에 따라 적절한 것을 선택하는 것이 가능하게 되고, 생산시스템의 보다 우수한 운영을 행할 수 있다.

제3실시형태

본 실시형태는 제2실시형태의 변형예에 관한 것이다.

제2실시형태에서는, 예로서 우선도가 높은 로트를 짧은 공기로 제조할 목적, 유지보수의 영향을 받지 않는 혹은 영향이 적은 로트를 우선적으로 처리할 목적 등에 따라 최적의 처리를 구하는 경우를 설명했다. 본 실시형태는 전력이 설정값을넘지 않는 처리를 행할 목적을 달성하기 위해 최적의 처리를 구하는 형태이다.

도 18에 있어서, 전력(혹은 용력)의 평준화를 행하는 것이 가능하게 되는 가상공장(13)의 구성을 나타낸다. 도 18은, 도 12와 비교하면, 장치의 전력·용력정보의 데이터, 및 전력·용력의 조건의 데이터가 입력데이터로서 부가되고 있는 점이 다르다. 각 장치의 전력·용력의 프로파일 및 전력·용력의 조건의 데이터의 일례를 도 19, 도 20에 나타낸다. 본 실시형태에서는 전력에 관한 제한의 예를 기술하고, 용력에 관한 제한의 예는 제4실시형태에서 상세히 설명하기로 한다.

이하, 본 실시형태의 생산시스템을 도 21, 도 22a∼도 22f, 도 23, 도 24a, 24b를 이용하여 설명한다. 도 22a∼도 22c는 전력의 최적화를 행하지 않은 경우의 생산시스템을 설명하기 위한 도면, 도 22d∼도 22f는 전력의 최적화를 행한 생산시스템을 설명하기 위한 도면이다.

클린룸(clean room: 청정실)을 설계할 때에는, 각 생산장치에서 사용하는 전력의 정격값을 견적한다. 이들 전력의 생산시스템에서의 견적값을 도 21에 나타낸다. 도 21은 산화로에서의 전력과 온도의 변화를 나타낸 도면이다. 이 도 21에서 전력의 최대치를 산정하고, 이 최대치에 소정의 값을 더한 값을 전력의 정격값으로 한다.

이와 같이 얻어진 생산장치의 전력정격값을 클린룸 내의 모든 생산장치에 대하여 산출하고, 이들 전력의 정격값을 가산하여 전체 전력의 설정값을 견적한다. 그리고, 이 전체 전력의 설정값에 견딜 수 있는 배선이나 배관 등의 생산설비의 설계를 행한다.

예컨대, 확산로와 RTA(Rapid Thermal Annealing)장치를 사용하는 클린룸의 경우, 각 장치에 대하여 도 21에 나타낸 바와 같은 전력특성을 구한다. 확산로에 대해 얻어진 전력특성을 도 22a, RTA장치에 대해 얻어진 전력특성을 도 22b라고 한다. 이 경우, 그들 전력특성에 기초하여 전력의 합계값을 산출한다. 산출된 전력특성을 도 22c에 나타낸다. 도 22c에 나타낸 바와 같이, 확산로와 RTA장치의 양쪽 전력의 피크가 겹치고 있기 때문에, 전력 합계값의 피크도 커지고, 따라서 전력의 설정값을 크게 설정할 필요가 있다.

각 생산장치의 정격값은, 여유분을 고려하여 실제 장치에서는 가동시에 실제로 사용되는 값의 수배에서 수십배의 값으로 큰 값으로 된다. 또, 각 생산장치는 풀(full)로 가동하고 있는 것은 아니다. 따라서, 각 생산장치에 의해 구한 전력의 합계값(설정값)은 생산라인의 가동시의 값보다도 커지는 경향에 있다. 이와 같이, 전력의 설정값이 실제로 사용되는 값보다도 너무 크면, 배선이나 배관 등의 생산설비가 과잉으로 되어, 클린룸의 건설비가 너무 높아진다고 하는 문제가 있다.

한편, RTA장치에 의한 RTA공정의 개시시간을 확산로의 개시시간보다도 20분(ΔT) 늦춘다. 즉, 도 22d에 나타낸 전력특성에 도 22e에 나타낸 전력특성을 서로 겹친다. 이에 따라, 도 22f에 나타낸 바와 같이 2개의 장치에 의한 전력의 합계값의 피크가 도 22c에 나타낸 경우보다도 작아진다.

전력의 최적화를 도모하는 본 실시형태의 생산시스템에서는, 전체 전력의 설정값을 넘지 않도록 궁리하여 로트를 돌린다. 구체적으로는, 우선 도 23에 나타낸 바와 같이, 클린룸 내의 로트의 선독출을 행한다. 로트의 선독출을 행한 경우에,예컨대 확산로와 RTA(Rapid Thermal Annealing)장치를 동시에 사용하는 것을 알았다고 한다. 이 경우, 각 장치를 동시에 사용하면, 설정한 전력값을 넘어 버린다는 것이 예상된다고 한다. 도 23의 231로 나타낸 바와 같이, 전력의 최대치가 설정값을 넘고 있음을 알았다. 그래서, 선독출계산에 의해 RTA장치에 의한 RTA공정의 개시시간을 확산로의 개시시간보다도 20분 늦춘다. 즉, 도 23의 232로 나타낸 바와 같이, 전력의 최대값이 전력의 설정값을 넘지 않음을 알았다고 한다.

도 23에서, 선택2, 선택2a를 선택하는 것에 의한 시간과 전력의 관계를 232로 나타낸다. 도 23의 232의 특성곡선에 나타낸 바와 같이, 전력의 최대값은 설정값 이하로 억제되어 있음을 알 수 있다. 본 발명에서는, 이 2종류의 가능성중, 2개의 장치의 전력의 피크를 어긋나게 하여 전력을 평준화한 로트의 순환(흐름)방법, 즉 선택2, 선택2a를 선택한다.

이에 따라, 전력의 설정값을 넘지 않는 생산이 가능하게 된다. 또, 전력의 최적화를 행하지 않은 도 22c의 경우, 전력이 설정값을 넘지 않는 조건으로 생산을 행하기 위해서는, 전력의 설정값을 크게 할 필요가 있다. 이에 대해, 최적화를 행한 도 22f의 경우에는, 전력의 설정값을 작게 할 수 있다. 본 실시형태에 의하면, 전력의 설정값을 낮게 해두면서 그 전력의 설정값을 넘지 않는 조건을 도출할 수 있다.

실제의 각 생산장치에는 수개의 로트를 대기할 수 있는 포트(port)를 배치하고, 컴퓨터가 선독출계산에 의해 각 로트에 실시한 공정을 비교하여 처리의 순서를 자동적으로 결정하며, 자동적으로 로트를 포트로부터 생산장치로 로드하여 처리를개시할 수 있도록 하는 것도 가능하다. 이에 따라, 생산장치의 오퍼레이터는 로트를 포트에 배치하는 것만으로 족하여 사람을 줄이는 것이 가능하게 된다. 혹은, 자동반송시스템을 이용하여 모두 자동화해도 좋다.

이 생산시스템은, 특히 장치의 유지보수 종료후, 대기로트를 처리하는 경우에 매우 유효한 수법으로 된다. 유지보수 종료 전에도 물론 적용할 수 있다.

혹은, 오퍼레이터가 컴퓨터의 선독출계산에 기초한 작업지시에 따라 로트의 반송, 장치로의 세트, 처리개시 등을 수동으로 행해도 좋다.

또, 이 생산시스템은 대규모 생산라인, 소규모 생산라인의 쌍방에 적용가능하지만, 특히 소규모 생산라인에 있어서 유효하다. 도 24a는 대규모 생산라인의 전력값, 도 24b는 소규모 생산라인의 전력값을 나타낸다. 가는 실선은 평준화 전(종래)의 전력값, 굵은 실선은 평준화 후(본원)의 전력값, 가는 점선은 종래의 전력설정값, 굵은 점선은 평준화 후의 전력설정값을 나타낸다. 도 24a와 도 24b를 비교하면 알 수 있는 바와 같이, 평준화한 전력값과 평준화전의 전력값의 차는 대규모 생산라인보다도 소규모 생산라인의 쪽이 크다. 즉, 평준화의 효과가 크다. 이것은 평준화전의 전력설정값과 평준화후의 전력설정값과의 차로 나타난다. 즉, 평준화전의 전력설정값과 평준화후의 전력설정값의 차는 대규모 생산라인의 경우보다도 소규모 생산라인의 경우가 크다. 이것은 소규모 생산라인 쪽이 평준화함으로써 대폭적으로 전력설정값을 저감할 수 있다는 것을 의미한다.

이와 같이 해서, 전력의 설정값을 넘지 않도록 로트를 돌리고, 전력의 설정값을 작게 함으로써, 생산설비의 건설비를 억제할 수 있다.

이상에서는 2대의 장치의 조정을 예로 설명했지만, 3대 이상의 장치가 있는 경우, 더욱이 라인 전체의 전력에 제한을 둔 경우도 상기와 마찬가지로 취급할 수 있다.

라인 내의 어떤 장치군에 대하여 적용하는 것에 의한 장점도 있다. 이후, 구체적으로 설명한다. 도 20의 전력조건에 있어서 라인 전체의 전력으로서, 예컨대 500kW의 제한을 두고, 더욱이 그룹1로서 정의한 리소그래피(Lithography)공정의 장치군에서는 150kW이하로 되도록 제한을 두고 있다. 이와 같은 그룹마다의 제한에 의해 생산라인 내의 주전원으로부터 해당 그룹 장치군까지의 배선규모를 작게 할 수 있고, 보다 저비용으로 라인의 건설이 가능하게 된다.

또, 처리를 어긋나게 하는 시간을 20분으로 했지만, 예컨대 이하와 같은 방법으로 이 시간시프트를 결정할 수 있다. 도 25에 있어서, 개시시간의 시프트량을 구하는 방법의 예를 나타낸다. 개시시간을 어긋나게 해 가면, 15분 후에 전력의 최대값은 설정값과 같아지고, 20분 후에 전력의 최대값은 설정값의 9할의 값으로 됨을 알았다고 한다. 즉, 15분 이상 어긋나게 해두면 전력의 최대값은 설정값을 넘는 일이 없음을 알 수 있지만, 시프트량을 15분이나 16분이라는 값으로 해 버리면, 예기치 않은 약간의 전력의 변동으로 설정값을 오버해 버려 정전으로 되어 라인이 스톱하고, 로트아웃이 생겨 큰 손해를 발생시켜 버리는 일도 있을 수 있다. 그 때문에, 이 예에서는 최대값이 설정값의 9할 이하로 되도록 시프트시간 = 20분으로 결정했다. 물론 9할로 한정하고 있는 것이 아니라, 전력의 변동이 큰 경우는 9할 이하로 하고, 시프트시간을 20분보다 길게 하면 좋다. 반대로, 전력의 변동이작은 경우는 9할 이상으로 하고, 시프트시간을 20분보다 짧게 하면 좋다.

본 발명은 상기 실시형태에만 한정되는 것은 아니다. 전력의 평준화를 예로 설명했지만, 물(초순수나 냉각수), 질소가스, 특수 재료 가스 등의 용력에 있어서도 마찬가지의 평준화가 가능하다. 상세한 설명은 다음의 실시형태에서 설명하기로 한다.

제4실시형태

본 실시형태는 제2실시형태의 변형예에 관한 것이다.

제2실시형태에서는, 예로서 우선도가 높은 로트를 짧은 공기로 제조할 목적, 유지보수의 영향을 받지 않는, 혹은 영향이 작은 로트를 우선적으로 처리할 목적 등에 따라 최적의 처리를 구하는 경우를 설명했다. 본 실시형태는 용력이 설정값을 넘지 않는 처리를 행할 목적을 달성하기 위해 적절한 처리를 구하는 형태이다.

이하, 본 실시형태의 생산시스템을 도 26, 도 27a∼도 27f, 도 28을 이용하여 설명한다. 도 27a∼도 27c는 용력의 최적화를 행하지 않은 경우의 생산시스템을 설명하기 위한 도면, 도 27d∼도 27f는 전력이나 용력의 최적화를 행한 생산시스템을 설명하기 위한 도면이다. 또한 이하에서는, 용력의 예로서 생산시스템의 처리프로세스인 세정에 사용하는 초순수의 평준화의 예에 의해 설명한다.

도 26은 어떤 처리장치의 초순수 사용량의 시간변화를 나타낸 도면이다. 이 도 26의 시간변화 특성에서, 첫 번째의 피크는 약액의 농도를 조정하기 위한 희석프로세스에 대응한다. 이 첫 번째의 피크보다도 늦게 방문하는 두 번째의 피크는 린스처리프로세스(rinse processing process)에 대응한다.

예컨대, 전처리장치와 후처리장치를 사용하는 클린룸의 경우, 각 장치에 대하여 도 26에 나타낸 바와 같은 초순수 사용량의 시간변화특성을 구한다. 전처리장치에 대하여 얻어진 시간변화특성이 도 27a, 후처리장치에 대하여 얻어진 시간변화특성이 도 27b인 경우, 이들 시간변화특성에 기초하여 초순수 사용량의 합계값을 산출한다. 산출된 합계값의 시간변화특성을 도 27c에 나타낸다. 도 27c에 나타낸 바와 같이, 전처리장치와 후처리장치의 양쪽의 초순수 사용량의 피크가 겹쳐져 있기 때문에, 초순수 사용량의 합계값의 피크도 커지고, 따라서 초순수 사용량의 설정값을 크게 할 필요가 있다.

한편, 후처리장치에 의한 후처리공정의 개시시간을 전처리장치의 개시시간보다도 10분(ΔT) 늦춘다. 즉, 도 27d에 나타낸 특성에 도 27e에 나타낸 특성을 겹친다. 이에 따라, 도 27f에 나타낸 바와 같이 2개의 초순수 사용량의 합계값의 피크는 도 27c에 나타낸 경우보다도 작아진다.

용력의 최적화를 도모하는 생산시스템에서는, 전체 용력의 설정값을 넘지 않도록 궁리하여 로트를 돌린다. 구체적으로는, 우선 도 28에 나타낸 바와 같이 클린룸 내의 로트의 선독출계산을 행한다. 로트의 선독출을 행한 경우에, 예컨대 전처리장치와 후처리장치를 동시에 사용하는 것을 알았다고 한다. 이 경우, 각 장치를 동시에 사용하면, 설정한 용력값을 넘어 버리는 것이 예상된다고 한다. 도 28의 281로 나타낸 바와 같이, 초순수 사용량의 최대값이 설정값을 넘고 있음을 알 수 있다. 그래서, 선독출계산에 의해 후처리장치에 의한 후처리공정의 개시시간을 전처리장치의 개시시간보다도 10분 늦춘다. 즉, 도 28의 282로 나타낸 바와 같이,초순수 사용량의 최대값이 설정값을 넘지 않는 것을 알았다고 한다.

도 28에서, 선택2, 선택2a를 선택하는 것에 의한 시간과 초순수 사용량과의 관계를 282로 나타낸다. 이 282로 나타낸 특성곡선과 같이, 초순수 사용량의 최대값은 설정값 이하로 억제되어 있음을 알 수 있다. 본 발명에서는, 이 2종류의 가능성 중, 2개의 장치의 용력의 피크를 어긋나게 하여 용력을 평균화한 로트의 순환방법, 즉 선택2, 선택2a를 선택한다.

후처리장치에 의한 후처리공정의 개시시간을 전처리장치의 개시시간보다도 늦춘 시간(여기서는 10분)은, 제3실시형태에서 설명한 수법(도 25)과 마찬가지의 방법에 의해 구할 수 있다.

이상의 수법을 이용하여, 용력의 설정값을 넘지 않는 생산이 가능하게 된다. 또, 용력의 최적화를 행하지 않은 도 27의 경우, 용력이 설정값을 넘지 않는 조건으로 생산을 행하기 위해서는 용력의 설정값을 크게 할 필요가 있다. 이에 대하여 최적화를 행한 도 27f의 경우에는, 용력의 설정값을 작게 할 수 있다. 본 실시형태에 의하면, 용력의 설정값을 낮게 해두면서 그 용력의 설정값을 넘지 않는 조건을 도출할 수 있다.

본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 용력의 일례로서 초순수에 의해 본 실시형태를 설명했지만, 냉각수, 질소가스, 특수재료가스 등의 다른 용력에 있어서도 마찬가지의 평준화를 행할 수 있다. 그 결과, 생산설비의 규모를 작게 할 수 있기 때문에, 클린룸의 제조비용을 억제할 수 있다. 더욱이, 열 배기나 케이스배기 등의 덕트배기에 대해서도, 마찬가지의 평준화가 가능하게 된다.이와 같은 배기량의 평준화를 행함으로써, 배기용 배관을 작게 할 수 있고, 송풍기동력, 국소배기동력도 억제할 수 있다.

특히, 초순수나 냉각수, 가스 등의 배관을 작게 할 수 있고, 공구 등을 이용하여 구부린 사이즈로 되면, 이음매를 사용한 용접이나 접착작업이 불필요하게 되어 배관설치작업을 용이하게 할 수 있다고 하는 메리트가 있다. 그 결과, 클린룸 건설이나 장치의 출입, 레이아웃 변경 등의 공기가 짧아진다.

물론, 제3실시형태와 제4실시형태를 조합하여 전력과 용력의 쌍방에 대하여 낮은 설정값을 설정하고, 그것을 넘지 않도록 로트를 돌림으로써 더 한층의 설비규모의 축소가 가능하게 된다.

또, 상기 제3, 제4실시형태에서는, 미리 정해진 전력 또는 용력의 설정값에 기초하여 최적의 로트진척을 관리하는 시스템이지만, 이 시스템을 이용하여 생산설비의 설계를 행할 수도 있다. 구체적으로는, 전술한 도 22a∼도 22f나 도 27a∼도 27f에 나타낸 바와 같은 전력 또는 용력의 피크의 저감방법에 따라, 그 저감된 각 장치의 전력 또는 용력의 설정값을 산출한다. 그리고, 그 설정된 전력 또는 용력의 설정값에 기초하여 생산설비의 설계를 행한다. 이에 따라, 낭비 없는 소규모의 생산설비의 설계를 행할 수 있다. 또, 이와 같은 생산설비의 설계수법에 기초하여 생산설비를 건설하는 방법도 본 발명에 포함된다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 로트 진척관리 및 제품을 제조할 수 있는지 없는지의 판단을 올바르게 행할 수 있고, 비즈니스 기회를 넓힐 수 있는반도체 제품의 전자상거래방법 및 시스템을 제공할 수 있다.

또, 실제의 생산라인에서의 각종 처리를 정확하게 시뮬레이션할 수 있고, 비교적 소규모의 공장에서도 효율적인 운영을 행하기 위한 생산시스템, 생산방법, 생산설비 설계시스템, 생산설비 설계방법, 생산설비 제조방법을 제공할 수 있다.

Claims (31)

1. 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자와 반도체 제품을 구입하는 구입자가 상거래를 행하는 전자상거래방법에 있어서,

   구입자 또는 그 대리자가 사용하는 클라이언트 단말을, 반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산공정을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인에 접속시키고,

   상기 클라이언트 단말로부터 구입자가 소망하는 제품의 구입자가 소망하는 조건을 수신하며,

   상기 구입자가 소망하는 제품이 구입자가 소망하는 조건으로 가상 생산라인에서 돌고 있는지를 실시간으로 시뮬레이션하며,

   구입자가 희망하는 조건으로 제품이 제조되는지 아닌지를 판정하는 것을 특징으로 하는 전자상거래방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 시뮬레이션의 결과, 소망하는 조건으로는 제조할 수 없는 경우에는, 소망하는 조건의 적어도 1개를 변화시켜 제품이 제조되는지 아닌지를 실시간으로 다시 시뮬레이션하는 것을 특징으로 하는 전자상거래방법.
3. 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자와 반도체 제품을 구입하는 구입자가 네트워크를 이용하여 상거래를 행하는 반도체 제품의 전자상거래방법에 있어서,

   반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산공정을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인과, 구입자 또는 그 대리자가 사용하는 클라이언트 단말을, 네트워크를 매개로 하여 접속하는 단계와,

   상기 클라이언트 단말로부터 구입자가 구입해야 할 제품 및 소망하는 조건을 입력하여 상기 가상 생산라인으로 전송하는 단계,

   상기 가상 생산라인에 입력된 제품 및 조건에 기초하여, 구입자가 희망하는 조건으로 그 가상 생산라인을 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션하는 단계,

   상기 가상 생산라인에서의 시뮬레이션의 결과를 상기 클라이언트 단말로 전송하는 단계,

   상기 시뮬레이션의 결과에 대해 상기 클라이언트 단말로부터 비지니스를 성립시킬 것인지 아닌지를 응답하는 단계 및,

   비지니스 성립이면, 상기 가상 생산라인으로부터 상기 실생산라인으로 반도체 제품 제조의 지시를 내리는 단계를 갖춘 것을 특징으로 하는 전자상거래방법.
4. 반도체 제품을 구입하는 구입자가 네트워크를 이용하여 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자와 상거래를 행하는 반도체 제품의 전자상거래방법에 있어서,

   반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인에 대해, 구입자 또는 그 대리자가 사용하는 클라이언트 단말을 네트워크를 매개로 하여 접속하는 단계와,

   상기 클라이언트 단말로부터 구입해야 할 제품 및 그 조건을 입력하는 단계,

   상기 입력된 제품 및 조건에 기초하여, 구입자가 희망하는 조건으로 상기 가상 생산라인을 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션한 결과를, 상기 클라이언트 단말에서 수신하는 단계 및,

   상기 수취한 시뮬레이션 결과에 대해 클라이언트 단말로부터 반도체 제품을 구입할 것인지 아닌지를 응답하는 단계를 갖춘 것을 특징으로 하는 전자상거래방법.
5. 반도체 제품의 제조판매를 행하는 업자가 네트워크를 이용하여 반도체 제품을 구입하는 구입자와 상거래를 행하는 반도체 제품의 전자상거래방법에 있어서,

   반도체 제품의 제조를 행하는 실생산라인에서의 생산을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인을, 네트워크를 매개로 하여 구입자 또는 그 대리자가 사용하는 클라이언트 단말에 접속하는 단계와,

   상기 클라이언트 단말로부터 입력된 구입해야 할 제품 및 그 조건을 상기 가상 생산라인에서 수신하는 단계,

   상기 가상 생산라인으로 전송된 제품 및 조건에 기초하여, 구입자가 희망하는 조건으로 상기 가상 생산라인을 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션하는 단계,

   상기 시뮬레이션의 결과를 상기 클라이언트 단말로 전송하는 단계,

   상기 시뮬레이션 결과에 기초한 상기 클라이언트 단말로부터의 응답에 의해,비지니스가 성립하는지 아닌지를 판정하는 단계 및,

   상기 판정에 의해 비지니스가 성립하는 경우, 상기 가상 생산라인으로부터 상기 실생산라인으로 반도체 제품 제조의 지시를 내리는 단계를 갖춘 것을 특징으로 하는 전자상거래방법.
6. 반도체 제품을 실제로 제조하는 실생산라인에서의 생산공정을 컴퓨터 상에서 모의적으로 행하도록 구축된 가상 생산라인과,

   이 가상 생산라인을 네트워크를 매개로 하여 클라이언트 단말에 접속하는 접속서버를 구비하여 구성되고,

   상기 접속서버는, 상기 클라이언트 단말로부터 입력된 조건을 상기 가상 생산라인으로 전송하고, 전송된 조건 하에 상기 가상 생산라인에서 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션한 결과를 상기 클라이언트 단말로 전송하는 것을 특징으로 하는 전자상거래시스템.
7. 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인과,

   상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인으로 전송하는 수단,

   상기 전송된 정보를 기초로 상기 가상 생산라인에서 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단,

   상기 계산결과에 기초한 작업지시 데이터를 상기 실생산라인으로 전송하는수단 및,

   상기 가상 생산라인을 네트워크를 매개로 하여 클라이언트 단말에 접속하는 접속서버를 구비하여 구성되고,

   상기 클라이언트 단말로부터 입력된 조건을 상기 접속서버에 의해 상기 가상 생산라인으로 전송하고, 전송된 조건 하에 상기 가상 생산라인에서 제품이 돌고 있는지 아닌지를 실시간으로 시뮬레이션하며, 시뮬레이션 결과에 기초하여 비지니스를 행하는 것을 특징으로 하는 전자상거래시스템.
8. 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인과,

   상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인에서 수신하는 수단,

   상기 수신한 정보를 기초로 상기 가상 생산라인에서 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단 및,

   상기 계산결과에 기초한 작업지시 데이터를 상기 실생산라인으로 전송하는 수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 생산시스템.
9. 제8항에 있어서, 상기 가상 생산라인에서의 각종 정보의 수신, 상기 가상 생산라인에서의 최적의 로트 진행방법의 계산 및 상기 가상 생산라인으로부터 상기 실생산라인으로의 작업지시 데이터의 전송을 실시간으로 반복해서 행하는 것을 특징으로 하는 생산시스템.
10. 제8항에 있어서, 상기 실생산라인으로부터 상기 가상 생산라인으로 전송되는 각종 정보는, 각 생산의 수주량, 로트의 진척상황, 장치의 상황, 노동자의 상황 및 제품의 테스트 결과를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산시스템.
11. 제8항에 있어서, 상기 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단은, 상기 로트의 진행방법의 조건마다 로트의 진척예측 계산결과를 복수 산출하고, 그 복수의 진척예측 계산결과 중에서 적어도 하나를 추출하는 것을 특징으로 하는 생산시스템.
12. 제11항에 있어서, 상기 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단은, 상기 복수 산출된 로트 진척예측 계산결과를 표시하여 적어도 하나의 계산결과를 선택시키는 수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 생산시스템.
13. 제11항에 있어서, 상기 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단은, 사용자에 의해 입력된 추출조건에 기초하여 상기 복수의 진척예측 계산결과 중에서 추출하는 것을 특징으로 하는 생산시스템.
14. 제8항에 있어서, 상기 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단은, 제조공기(工期)가 가장 짧으면서 월(月)당 생산량이 최대로 되는 해를 구하는 것을 특징으로 하는 생산시스템.
15. 제8항에 있어서, 상기 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단은, 수주된 제품에 대해 붙여진 우선순위에 기초하여 우선순위가 높은 제품일수록 제조공기가 짧아지는 해를 구하는 것을 특징으로 하는 생산시스템.
16. 제8항에 있어서, 상기 실생산라인에서 생산된 제품의 테스트결과를 상기 가상 생산라인으로 전송하고, 그 제품의 수주량과 대조하여 다음의 투입계획이 결정되는 것을 특징으로 하는 생산시스템.
17. 제8항 내지 제16항중 어느 한 항에 있어서, 상기 실생산라인은 반도체의 생산라인인 것을 특징으로 하는 생산시스템.
18. 제8항에 있어서, 상기 전송된 정보에 기초하여, 상기 가상 생산라인의 전력 및 용력의 적어도 하나의 시간의존성을 계산하는 수단을 더 구비하여 구성되고,

    상기 최적의 로트 진행방법을 계산하는 수단은, 상기 시간의존성을 계산하는 수단에서 얻어진 시간의존성에 기초하여, 생산라인에서 설정한 전력값 및 용력값의 적어도 하나를 넘지 않는 조건에 기초하여 로트의 진행방법을 산출하는 것을 특징으로 하는 생산시스템.
19. 제18항에 있어서, 상기 용력은, 초순수, 냉각수, 반도체 재료 가스, 반도체제조용 가스, 반도체 제조용 액체, 반도체 제조용 고체인 것을 특징으로 하는 생산시스템.
20. 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인을 이용하고, 가상 생산라인에서 시뮬레이션함으로써 실생산라인에서의 효율적인 운용을 가능하게 하기 위한 생산방법으로,

    상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인에서 수신하는 단계와,

    상기 수신한 정보를 기초로 상기 가상 생산라인에서 최적의 로트 진행방법을 계산하는 단계 및,

    상기 계산결과에 기초한 작업지시 데이터를 상기 실생산라인으로 전송하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 생산방법.
21. 제20항에 있어서, 상기 작업지시 데이터에 기초하여 상기 실생산라인에서 생산을 개시하는 단계를 더 구비한 것을 특징으로 하는 생산방법.
22. 제20항에 있어서, 상기 실생산라인으로부터 상기 가상 생산라인으로의 각종 정보의 수신, 상기 가상 생산라인에서의 최적의 로트 진행방법의 계산 및 상기 가상 생산라인으로부터 상기 실생산라인으로의 작업지시 데이터의 전송을 실시간으로 반복해서 행하는 것을 특징으로 하는 생산방법.
23. 제20항에 있어서, 상기 실생산라인으로부터 상기 가상 생산라인으로 수신되는 각종 정보는, 각 생산의 수주량, 로트의 진척상황, 장치의 상황, 노동자의 상황 및 제품의 테스트 결과를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산방법.
24. 제20항에 있어서, 상기 최적의 로트 진행방법을 계산하는 단계로서, 제조공기가 가장 짧으면서 월당 생산량이 최대로 되는 해를 구하는 것을 특징으로 하는 생산방법.
25. 제20항에 있어서, 상기 최적의 로트 진행방법을 계산하는 단계로서, 수주된 제품에 대해 붙여진 우선순위에 기초하여 우선순위가 높은 제품일수록 제조공기가 짧아지는 해를 구하는 것을 특징으로 하는 생산방법.
26. 제20항에 있어서, 상기 실생산라인에서 생산된 제품의 테스트결과를 상기 가상 생산라인으로 전송하고, 그 제품의 수주량과 대조하여 다음의 투입계획을 결정하는 것을 특징으로 하는 생산방법.
27. 제20항 내지 제26항중 어느 한 항에 있어서, 상기 실생산라인은 반도체의 생산라인인 것을 특징으로 하는 생산방법.
28. 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인과,

    상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인으로 전송하는 수단,

    상기 전송된 정보에 기초하여, 상기 가상 생산라인의 전력 및 용력의 적어도 하나의 시간의존성을 계산하는 수단,

    상기 시간의존성을 계산하는 수단에서 얻어진 시간의존성에 기초하여, 생산라인에서 사용하는 전력값 및 용력값의 적어도 하나를 설정하는 수단 및,

    상기 설정된 전력값 및 용력값의 적어도 하나에 기초하여 생산설비의 설계를 행하는 수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 생산설비 설계시스템.
29. 제28항에 있어서, 상기 생산설비는, 생산라인의 배선, 생산라인의 배관의 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 생산설비 설계시스템.
30. 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인에서 시뮬레이션함으로써 생산설비의 설계를 행하는 생산설비 설계방법으로,

    상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인에서 수신하는 단계와,

    상기 수신한 정보에 기초하여, 상기 가상 생산라인의 전력 및 용력의 적어도 하나의 시간의존성을 계산하는 단계,

    상기 시간의존성을 계산하는 단계에서 얻어진 시간의존성에 기초하여, 생산라인에서 사용하는 전력값 및 용력값의 적어도 하나를 설정하는 단계 및,

    상기 설정된 전력값 및 용력값의 적어도 하나에 기초하여 생산설비의 설계를 행하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 생산설비 설계방법.
31. 제품을 실제로 제조하는 실생산라인과 실질적으로 동일한 기능을 컴퓨터 내에 구축한 가상 생산라인에서 시뮬레이션하고, 그 시뮬레이션 결과에 기초하여 생산설비의 제조를 행하는 생산설비 제조방법으로,

    상기 실생산라인에서의 각종 정보를 상기 가상 생산라인에서 수신하는 단계와,

    상기 전송된 정보에 기초하여, 상기 가상 생산라인의 전력 및 용력의 적어도 하나의 시간의존성을 계산하는 단계,

    상기 시간의존성을 계산하는 단계에서 얻어진 시간의존성에 기초하여, 생산라인에서 사용하는 전력값 및 용력값의 적어도 하나를 설정하는 단계 및,

    상기 설정된 전력값 및 용력값의 적어도 하나를 만족하도록 생산설비를 제조하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 생산설비 제조방법.