JP2002288444A - マスク取引システム及び方法 - Google Patents
マスク取引システム及び方法Info
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- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G06Q40/08—Insurance
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- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】マスク購入予定者及びマスク製造工場間の情報
交換を密にすることにより、マスク製品の注文から納品
までを迅速化する。 【解決手段】マスク取引システムのホスト装置２０は、
ネットワークを介して購入予定者に対して情報の交換を
行う購入エージェント２２と、製造工場６０に対して情
報の交換を行う工場エージェント２４とを有する。ホス
ト装置２０はまた、算出部２６、進行選択部２８及び製
作指示部３２を有する。算出部２６は、製造工場６０の
製造ラインに関するライン情報及びマスク売買価格に関
する価格情報を参照してマスクの製品の予定価格及び予
定納期を算出する。進行選択部２８は、予定価格及び予
定納期をマスク購入予定者に伝達し、マスクの製作を進
行させるか否かを選択させる。製作指示部３２は、マス
クの製作を進行させる場合、マスク製造工場６０にマス
ク製作要求を伝達する。
交換を密にすることにより、マスク製品の注文から納品
までを迅速化する。 【解決手段】マスク取引システムのホスト装置２０は、
ネットワークを介して購入予定者に対して情報の交換を
行う購入エージェント２２と、製造工場６０に対して情
報の交換を行う工場エージェント２４とを有する。ホス
ト装置２０はまた、算出部２６、進行選択部２８及び製
作指示部３２を有する。算出部２６は、製造工場６０の
製造ラインに関するライン情報及びマスク売買価格に関
する価格情報を参照してマスクの製品の予定価格及び予
定納期を算出する。進行選択部２８は、予定価格及び予
定納期をマスク購入予定者に伝達し、マスクの製作を進
行させるか否かを選択させる。製作指示部３２は、マス
クの製作を進行させる場合、マスク製造工場６０にマス
ク製作要求を伝達する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置製造用の
フォトマスクの取引を、ネットワークを介して行うため
のマスク取引システム及び方法に関する。
フォトマスクの取引を、ネットワークを介して行うため
のマスク取引システム及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造用のフォトマスクを取引
きする場合、基本的には次のような手順で取引が進めら
れる。先ず、マスク購入予定者がマスク製造業者に対し
て注文書の発行を行う。注文書には、マスクの仕様、数
量、希望納期、及び検査スペック等の情報が盛り込まれ
る。マスク製造業者は、注文書に基づいて、工場におい
て注文されたマスクを製作する。マスク製造業者は、製
作されたマスクの製品の検査を行い、もし製品の検査デ
ータが注文書に示された仕様に適わない場合は、マスク
の再製作を行う。このようにして、マスク製造業者は、
マスクの製作と検査とを繰返し、注文書に示された仕様
に適うマスクの製品ができあがった時点で、マスク購入
予定者に納品を行う。
きする場合、基本的には次のような手順で取引が進めら
れる。先ず、マスク購入予定者がマスク製造業者に対し
て注文書の発行を行う。注文書には、マスクの仕様、数
量、希望納期、及び検査スペック等の情報が盛り込まれ
る。マスク製造業者は、注文書に基づいて、工場におい
て注文されたマスクを製作する。マスク製造業者は、製
作されたマスクの製品の検査を行い、もし製品の検査デ
ータが注文書に示された仕様に適わない場合は、マスク
の再製作を行う。このようにして、マスク製造業者は、
マスクの製作と検査とを繰返し、注文書に示された仕様
に適うマスクの製品ができあがった時点で、マスク購入
予定者に納品を行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】現在、マスク製品の良
否は製品上に存在する欠陥のサイズ及び個数のみで決定
されている。このため、本発明者等によれば、以下に述
べるような２つの場合、実使用上問題のないマスク製品
まで不良品と判断している可能性があることが見出され
ている。即ち、第１は、マスク製品上の欠陥が半導体製
造工程において半導体ウエハ上に転写されない場合であ
る。第２は、マスク製品上の欠陥が半導体製造工程にお
いて半導体ウエハ上に転写されるが、その欠陥が半導体
デバイスの動作に問題を起こさない場合である。
否は製品上に存在する欠陥のサイズ及び個数のみで決定
されている。このため、本発明者等によれば、以下に述
べるような２つの場合、実使用上問題のないマスク製品
まで不良品と判断している可能性があることが見出され
ている。即ち、第１は、マスク製品上の欠陥が半導体製
造工程において半導体ウエハ上に転写されない場合であ
る。第２は、マスク製品上の欠陥が半導体製造工程にお
いて半導体ウエハ上に転写されるが、その欠陥が半導体
デバイスの動作に問題を起こさない場合である。
【０００４】典型的なマスク製造工場では、製作後の検
査で１つのマスク製品上に数十個の欠陥が検出される。
マスクパターンの微細化と共に欠陥スペックが厳しくな
り、マスク歩留りは低下してきている。このため、マス
ク製造業者側では、その内部でマスク製作→マスク検査
→マスク再製作といった繰り返しを行うことが多くなっ
ている。その結果、マスク購入予定者はいつ自分の注文
したマスクが入手できるかわからず、一方、マスク製造
業者は不良品ばかり製造しており利益なき繁忙状態とな
っている。
査で１つのマスク製品上に数十個の欠陥が検出される。
マスクパターンの微細化と共に欠陥スペックが厳しくな
り、マスク歩留りは低下してきている。このため、マス
ク製造業者側では、その内部でマスク製作→マスク検査
→マスク再製作といった繰り返しを行うことが多くなっ
ている。その結果、マスク購入予定者はいつ自分の注文
したマスクが入手できるかわからず、一方、マスク製造
業者は不良品ばかり製造しており利益なき繁忙状態とな
っている。
【０００５】更に、マスク購入予定者が注文書の発行し
た後、マスク製造業者からマスクの製品の予定価格及び
予定納期の連絡を受けるまでにかなりの時間を要する場
合がある。これは、単なる時間の無駄だけでなく、マス
ク購入予定者が複数のマスク製造業者から最適な業者を
選択する幅を狭める原因となっている。
た後、マスク製造業者からマスクの製品の予定価格及び
予定納期の連絡を受けるまでにかなりの時間を要する場
合がある。これは、単なる時間の無駄だけでなく、マス
ク購入予定者が複数のマスク製造業者から最適な業者を
選択する幅を狭める原因となっている。
【０００６】本発明はかかる従来技術の問題点に鑑みて
なされたものであり、マスク購入予定者及びマスク製造
工場間の情報交換を密にすることにより、マスク製品の
注文から納品までを迅速化することである。
なされたものであり、マスク購入予定者及びマスク製造
工場間の情報交換を密にすることにより、マスク製品の
注文から納品までを迅速化することである。
【０００７】本発明はまた、マスク購入予定者及びマス
ク製造工場間の情報交換を密にすることにより、重大で
ない欠陥を有するマスク製品を廃棄するような無駄を省
くことである。
ク製造工場間の情報交換を密にすることにより、重大で
ない欠陥を有するマスク製品を廃棄するような無駄を省
くことである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の視点は、
半導体装置製造用のフォトマスクを取引きするためのシ
ステムであって、ネットワークを介してマスク購入予定
者に対して情報の交換を行う購入仲介部と、マスク製造
工場に対して情報の交換を行う工場仲介部と、前記購入
仲介部を介して入力されるマスクの仕様、数量、希望納
期、及び検査スペックを含むマスク製作要求を記憶する
製作要求記憶部と、前記工場仲介部を介して入力される
マスク製造工場の製造ラインにおける処理能力状況を含
むライン情報を記憶するライン情報記憶部と、マスク製
作要求内容とマスク売買価格との関係を含む価格情報を
記憶する価格情報記憶部と、前記価格情報及び前記ライ
ン情報を参照し、前記マスク製作要求に応答して前記マ
スクの製品の予定価格及び予定納期を算出する算出部
と、前記購入仲介部を介して、前記マスク購入予定者に
前記予定価格及び前記予定納期を伝達し、前記マスクの
製作を進行させるか否かを選択させる進行選択部と、前
記マスクの製作を進行させることが選択された場合、前
記工場仲介部を介して、前記マスク製造工場に前記マス
ク製作要求を伝達する製作指示部と、を具備することを
特徴とする。
半導体装置製造用のフォトマスクを取引きするためのシ
ステムであって、ネットワークを介してマスク購入予定
者に対して情報の交換を行う購入仲介部と、マスク製造
工場に対して情報の交換を行う工場仲介部と、前記購入
仲介部を介して入力されるマスクの仕様、数量、希望納
期、及び検査スペックを含むマスク製作要求を記憶する
製作要求記憶部と、前記工場仲介部を介して入力される
マスク製造工場の製造ラインにおける処理能力状況を含
むライン情報を記憶するライン情報記憶部と、マスク製
作要求内容とマスク売買価格との関係を含む価格情報を
記憶する価格情報記憶部と、前記価格情報及び前記ライ
ン情報を参照し、前記マスク製作要求に応答して前記マ
スクの製品の予定価格及び予定納期を算出する算出部
と、前記購入仲介部を介して、前記マスク購入予定者に
前記予定価格及び前記予定納期を伝達し、前記マスクの
製作を進行させるか否かを選択させる進行選択部と、前
記マスクの製作を進行させることが選択された場合、前
記工場仲介部を介して、前記マスク製造工場に前記マス
ク製作要求を伝達する製作指示部と、を具備することを
特徴とする。
【０００９】本発明の第２の視点は、半導体装置製造用
のフォトマスクを取引きするため、ネットワークを介し
てマスク購入予定者に対して情報の交換を行う購入仲介
部と、マスク製造工場に対して情報の交換を行う工場仲
介部と、を有するシステムを用いて行うマスク取引方法
であって、前記購入仲介部を介して入力されるマスクの
仕様、数量、希望納期、及び検査スペックを含むマスク
製作要求を記憶する工程と、前記工場仲介部を介して入
力されるマスク製造工場の製造ラインにおける処理能力
状況を含むライン情報を記憶する工程と、マスク製作要
求内容とマスク売買価格との関係を含む価格情報を記憶
する工程と、前記価格情報及び前記ライン情報を参照
し、前記マスク製作要求に応答して前記マスクの製品の
予定価格及び予定納期を算出する工程と、前記購入仲介
部を介して、前記マスク購入予定者に前記予定価格及び
前記予定納期を伝達し、前記マスクの製作を進行させる
か否かを選択させる工程と、前記マスクの製作を進行さ
せることが選択された場合、前記工場仲介部を介して、
前記マスク製造工場に前記マスク製作要求を伝達する工
程と、を具備することを特徴とする。
のフォトマスクを取引きするため、ネットワークを介し
てマスク購入予定者に対して情報の交換を行う購入仲介
部と、マスク製造工場に対して情報の交換を行う工場仲
介部と、を有するシステムを用いて行うマスク取引方法
であって、前記購入仲介部を介して入力されるマスクの
仕様、数量、希望納期、及び検査スペックを含むマスク
製作要求を記憶する工程と、前記工場仲介部を介して入
力されるマスク製造工場の製造ラインにおける処理能力
状況を含むライン情報を記憶する工程と、マスク製作要
求内容とマスク売買価格との関係を含む価格情報を記憶
する工程と、前記価格情報及び前記ライン情報を参照
し、前記マスク製作要求に応答して前記マスクの製品の
予定価格及び予定納期を算出する工程と、前記購入仲介
部を介して、前記マスク購入予定者に前記予定価格及び
前記予定納期を伝達し、前記マスクの製作を進行させる
か否かを選択させる工程と、前記マスクの製作を進行さ
せることが選択された場合、前記工場仲介部を介して、
前記マスク製造工場に前記マスク製作要求を伝達する工
程と、を具備することを特徴とする。
【００１０】更に、本発明の実施の形態には種々の段階
の発明が含まれており、開示される複数の構成要件にお
ける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得
る。例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つ
かの構成要件が省略されることで発明が抽出された場
合、その抽出された発明を実施する場合には省略部分が
周知慣用技術で適宜補われるものである。
の発明が含まれており、開示される複数の構成要件にお
ける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得
る。例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つ
かの構成要件が省略されることで発明が抽出された場
合、その抽出された発明を実施する場合には省略部分が
周知慣用技術で適宜補われるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して以下に説明する。なお、以下の説明におい
て、略同一の機能及び構成を有する構成要素について
は、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行
う。
を参照して以下に説明する。なお、以下の説明におい
て、略同一の機能及び構成を有する構成要素について
は、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行
う。
【００１２】図１は本発明の実施の形態に係る半導体装
置製造用のフォトマスクを取引きするためのシステム
と、マスク購入予定者側の端末と、マスク製造工場との
関係を示すブロック図である。
置製造用のフォトマスクを取引きするためのシステム
と、マスク購入予定者側の端末と、マスク製造工場との
関係を示すブロック図である。
【００１３】本実施の形態において、マスク取引システ
ムのホスト装置（仮想工場）２０は、ネットワーク１
２、特にインターネット（公衆通信回線網）の伝送路を
介して、パーソナルコンピュータ等からなる利用者端末
装置１４によりアクセス可能なサイトに配設される。こ
のため、ホスト装置２０、即ちホストコンピュータ（ウ
ェブサーバー、アプリケーションサーバー、データベー
スサーバー）は、マスク購入予定者に対して情報の交換
を行う窓口となる購入エージェント（購入仲介部）２２
を有し、これがネットワーク１２に接続される。また、
ホスト装置２０は、マスク製造工場６０に対して情報の
交換を行う窓口となる工場エージェント（工場仲介部）
２４を有し、これはマスク製造工場６０への専用ライン
６２に接続される。なお、図中符号１６はモデム、１８
は接続サーバーを示す。
ムのホスト装置（仮想工場）２０は、ネットワーク１
２、特にインターネット（公衆通信回線網）の伝送路を
介して、パーソナルコンピュータ等からなる利用者端末
装置１４によりアクセス可能なサイトに配設される。こ
のため、ホスト装置２０、即ちホストコンピュータ（ウ
ェブサーバー、アプリケーションサーバー、データベー
スサーバー）は、マスク購入予定者に対して情報の交換
を行う窓口となる購入エージェント（購入仲介部）２２
を有し、これがネットワーク１２に接続される。また、
ホスト装置２０は、マスク製造工場６０に対して情報の
交換を行う窓口となる工場エージェント（工場仲介部）
２４を有し、これはマスク製造工場６０への専用ライン
６２に接続される。なお、図中符号１６はモデム、１８
は接続サーバーを示す。
【００１４】ホスト装置２０にはデータベース４０が付
設され、データベース４０には、製作要求ファイル４
２、ライン情報ファイル４４、価格情報ファイル４６、
検査データファイル４８等が形成される。製作要求ファ
イル４２には、購入エージェント２２を介して入力され
るマスクの仕様、数量、希望納期、及び検査スペック等
を含むマスク製作要求が記憶される。なお、マスク購入
予定者とマスク製造工場６０との間で、予めマスクの製
品名や製品番号が設定されている場合は、マスクの製品
名や製品番号をマスクの仕様を代用する情報とすること
ができる。ライン情報ファイル４４には、工場エージェ
ント２４を介して随時入力されるマスク製造工場６０の
製造ラインにおける処理能力状況を含むライン情報が記
憶される。価格情報ファイル４６には、マスク製作要求
内容とマスク売買価格との関係を含む価格情報が記憶さ
れる。
設され、データベース４０には、製作要求ファイル４
２、ライン情報ファイル４４、価格情報ファイル４６、
検査データファイル４８等が形成される。製作要求ファ
イル４２には、購入エージェント２２を介して入力され
るマスクの仕様、数量、希望納期、及び検査スペック等
を含むマスク製作要求が記憶される。なお、マスク購入
予定者とマスク製造工場６０との間で、予めマスクの製
品名や製品番号が設定されている場合は、マスクの製品
名や製品番号をマスクの仕様を代用する情報とすること
ができる。ライン情報ファイル４４には、工場エージェ
ント２４を介して随時入力されるマスク製造工場６０の
製造ラインにおける処理能力状況を含むライン情報が記
憶される。価格情報ファイル４６には、マスク製作要求
内容とマスク売買価格との関係を含む価格情報が記憶さ
れる。
【００１５】検査データファイル４８には、工場エージ
ェント２４を介して入力される、マスク製造工場６０で
製作されたマスクの製品の検査データが記憶される。検
査データは、マスクの製品に発生した欠陥の座標及び寸
法を含み、また必要に応じて、欠陥の総数や画像データ
を含む。更に、検査データは、当該マスクの製品をウエ
ハに対して用いた場合の光学シミュレーション画像を含
むことができる。即ち、検査データの内容は、マスク購
入予定者が入力するマスク製作要求内の検査スペック等
に依存して、適宜変更可能となる。
ェント２４を介して入力される、マスク製造工場６０で
製作されたマスクの製品の検査データが記憶される。検
査データは、マスクの製品に発生した欠陥の座標及び寸
法を含み、また必要に応じて、欠陥の総数や画像データ
を含む。更に、検査データは、当該マスクの製品をウエ
ハに対して用いた場合の光学シミュレーション画像を含
むことができる。即ち、検査データの内容は、マスク購
入予定者が入力するマスク製作要求内の検査スペック等
に依存して、適宜変更可能となる。
【００１６】データベース４０に記憶された上述の情報
を利用して、マスク購入予定者とマスク製造工場６０と
の間の第１段階の仲介を行うため、ホスト装置２０は、
算出部２６、進行選択部２８、製作指示部３２等を有す
る。算出部２６は上述の価格情報及びライン情報を参照
し、購入エージェント２２を介して入力されるマスク製
作要求に応答してマスクの製品の予定価格及び予定納期
を算出する。進行選択部２８は購入エージェント２２を
介して、マスク購入予定者に予定価格及び予定納期を伝
達し、マスクの製作を進行させるか否かを選択させる。
製作指示部３２は、マスクの製作を進行させることが選
択された場合、工場エージェント２４を介して、マスク
製造工場６０にマスク製作要求を伝達する。
を利用して、マスク購入予定者とマスク製造工場６０と
の間の第１段階の仲介を行うため、ホスト装置２０は、
算出部２６、進行選択部２８、製作指示部３２等を有す
る。算出部２６は上述の価格情報及びライン情報を参照
し、購入エージェント２２を介して入力されるマスク製
作要求に応答してマスクの製品の予定価格及び予定納期
を算出する。進行選択部２８は購入エージェント２２を
介して、マスク購入予定者に予定価格及び予定納期を伝
達し、マスクの製作を進行させるか否かを選択させる。
製作指示部３２は、マスクの製作を進行させることが選
択された場合、工場エージェント２４を介して、マスク
製造工場６０にマスク製作要求を伝達する。
【００１７】更に、データベース４０に記憶された上述
の情報を利用して、マスク購入予定者とマスク製造工場
６０との間の第２段階の仲介を行うため、ホスト装置２
０は、検査データ伝達部３４、購入選択部２９、再製作
選択部３１、再製作指示部３３等を有する。検査データ
伝達部３４は、購入エージェント２２を介して、マスク
購入予定者に検査データを伝達する。購入選択部２９
は、購入エージェント２２を介して、マスク購入予定者
に検査データに基づいてマスクの製品を購入するか否か
を選択させる。購入選択部２９はまた、購入エージェン
ト２２を介して、マスク購入予定者に検査データに基づ
いてマスクの製品の購入希望価格を入力させる手段３０
を有する。この手段３０は、例えば、製品に欠陥がある
が受入れ可能である場合等に有効となる。再製作選択部
３１は、購入エージェント２２を介して、マスク購入予
定者に検査データに基づいてマスクを再製作するか否か
を選択させる。再製作指示部３３は、マスクを再製作す
ることが選択された場合、工場エージェント２４を介し
て、マスク製造工場６０にマスクの再製作を指示する。
の情報を利用して、マスク購入予定者とマスク製造工場
６０との間の第２段階の仲介を行うため、ホスト装置２
０は、検査データ伝達部３４、購入選択部２９、再製作
選択部３１、再製作指示部３３等を有する。検査データ
伝達部３４は、購入エージェント２２を介して、マスク
購入予定者に検査データを伝達する。購入選択部２９
は、購入エージェント２２を介して、マスク購入予定者
に検査データに基づいてマスクの製品を購入するか否か
を選択させる。購入選択部２９はまた、購入エージェン
ト２２を介して、マスク購入予定者に検査データに基づ
いてマスクの製品の購入希望価格を入力させる手段３０
を有する。この手段３０は、例えば、製品に欠陥がある
が受入れ可能である場合等に有効となる。再製作選択部
３１は、購入エージェント２２を介して、マスク購入予
定者に検査データに基づいてマスクを再製作するか否か
を選択させる。再製作指示部３３は、マスクを再製作す
ることが選択された場合、工場エージェント２４を介し
て、マスク製造工場６０にマスクの再製作を指示する。
【００１８】マスク製造工場６０において、マスクの製
造ラインはコンピュータ等からなる製造ライン管理部６
４によって管理される。また、マスク取引システムのホ
スト装置２０に対して、マスク製造工場６０はコンピュ
ータ等からなるデータ管理部６６のみをもって接続され
る。製造ライン管理部６４及びデータ管理部６６は共通
の工場データベース６８に接続される。工場データベー
ス６８には、マスク取引システムのホスト装置２０との
間でやり取りされる情報、即ち、上述のマスク購入予定
者によるマスク製作要求、製造ラインのライン情報、マ
スクの製品の検査データ等が記憶される。
造ラインはコンピュータ等からなる製造ライン管理部６
４によって管理される。また、マスク取引システムのホ
スト装置２０に対して、マスク製造工場６０はコンピュ
ータ等からなるデータ管理部６６のみをもって接続され
る。製造ライン管理部６４及びデータ管理部６６は共通
の工場データベース６８に接続される。工場データベー
ス６８には、マスク取引システムのホスト装置２０との
間でやり取りされる情報、即ち、上述のマスク購入予定
者によるマスク製作要求、製造ラインのライン情報、マ
スクの製品の検査データ等が記憶される。
【００１９】なお、工場データベース６８には、マスク
製作要求に基づいて製作されているマスクの進捗状況を
製造ライン管理部６４から随時取込むことができる。こ
の場合、マスク取引システムのホスト装置２０のデータ
ベース４０にも対応のファイルを形成すれば、マスク製
造工場６０のデータ管理部６６からホスト装置２０のデ
ータベース４０にマスクの進捗状況を伝達して記憶させ
ることができる。これにより、マスク購入予定者は、購
入エージェント２２を介してマスクの製作の進捗状況を
必要に応じて知ることが可能となる。
製作要求に基づいて製作されているマスクの進捗状況を
製造ライン管理部６４から随時取込むことができる。こ
の場合、マスク取引システムのホスト装置２０のデータ
ベース４０にも対応のファイルを形成すれば、マスク製
造工場６０のデータ管理部６６からホスト装置２０のデ
ータベース４０にマスクの進捗状況を伝達して記憶させ
ることができる。これにより、マスク購入予定者は、購
入エージェント２２を介してマスクの製作の進捗状況を
必要に応じて知ることが可能となる。
【００２０】図２は図１図示のシステムを使用して行わ
れるマスク取引方法の業務フローを示すフローチャート
である。図３は同マスク取引方法のシステムフローを示
すフローチャートである。以下、図２及び図３を参照し
てマスク取引方法を説明する。
れるマスク取引方法の業務フローを示すフローチャート
である。図３は同マスク取引方法のシステムフローを示
すフローチャートである。以下、図２及び図３を参照し
てマスク取引方法を説明する。
【００２１】先ず、マスク購入予定者が、その利用者端
末装置１４を、ネットワーク１２を介してマスク取引シ
ステムのホスト装置２０に接続する（工程Ｇ１〜Ｇ４：
工程Ｓ１）。図２図示のフローにおいて、接続サーバー
１８は、利用者端末装置１４とホスト装置２０との接続
にＩＤ及びパスワードを要求するものとして示される。
即ち、この場合、ホスト装置２０には、契約関係にある
特定の利用者のみがアクセスできるようになる。
末装置１４を、ネットワーク１２を介してマスク取引シ
ステムのホスト装置２０に接続する（工程Ｇ１〜Ｇ４：
工程Ｓ１）。図２図示のフローにおいて、接続サーバー
１８は、利用者端末装置１４とホスト装置２０との接続
にＩＤ及びパスワードを要求するものとして示される。
即ち、この場合、ホスト装置２０には、契約関係にある
特定の利用者のみがアクセスできるようになる。
【００２２】利用者端末装置１４とホスト装置２０との
接続後、マスク購入予定者は、マスクの仕様、数量、希
望納期、及び検査スペック等を含むマスク製作要求を、
購入エージェント２２へ入力する（工程Ｇ５：工程Ｓ
２）。ホスト装置２０は、入力されたマスク製作要求を
データベース４０の製作要求ファイル４２に記憶する。
図４はマスク製作要求を入力する際、マスク購入予定者
に対して表示する画面を示す図である。図４において、
「製品名」は、マスク購入予定者とマスク製造工場６０
との間で、予めマスクの製品名や製品番号が設定されて
いる場合に使用可能となる。即ち、場合によっては、マ
スクの製品名や製品番号をマスクの仕様を代用する情報
とすることができる。
接続後、マスク購入予定者は、マスクの仕様、数量、希
望納期、及び検査スペック等を含むマスク製作要求を、
購入エージェント２２へ入力する（工程Ｇ５：工程Ｓ
２）。ホスト装置２０は、入力されたマスク製作要求を
データベース４０の製作要求ファイル４２に記憶する。
図４はマスク製作要求を入力する際、マスク購入予定者
に対して表示する画面を示す図である。図４において、
「製品名」は、マスク購入予定者とマスク製造工場６０
との間で、予めマスクの製品名や製品番号が設定されて
いる場合に使用可能となる。即ち、場合によっては、マ
スクの製品名や製品番号をマスクの仕様を代用する情報
とすることができる。
【００２３】なお、マスク製造工場６０からは、製造ラ
インにおける処理能力状況を含むライン情報が、工場エ
ージェント２４へ随時入力され（工程Ｓ３）、ライン情
報ファイル４４に記憶される。また、データベース４０
の価格情報ファイル４６には、既に、マスク製作要求内
容とマスク売買価格との関係を含む価格情報が記憶され
ている。
インにおける処理能力状況を含むライン情報が、工場エ
ージェント２４へ随時入力され（工程Ｓ３）、ライン情
報ファイル４４に記憶される。また、データベース４０
の価格情報ファイル４６には、既に、マスク製作要求内
容とマスク売買価格との関係を含む価格情報が記憶され
ている。
【００２４】マスク製作要求が入力されると、ホスト装
置２０は、製作要求されたマスクが製作できるものであ
るか否かを判断する（工程Ｓ４）。マスクが製作できな
い場合（工程Ｓ４で「Ｎｏ」）、その旨をマスク購入予
定者に伝え、取引は不成立となる（工程Ｓ５）。これに
代え、マスクが製作できない場合（工程Ｓ４で「Ｎ
ｏ」）、その旨をマスク購入予定者に伝え、マスク製作
要求の内容を変更させるようにすることもできる（工程
Ｓ６）。
置２０は、製作要求されたマスクが製作できるものであ
るか否かを判断する（工程Ｓ４）。マスクが製作できな
い場合（工程Ｓ４で「Ｎｏ」）、その旨をマスク購入予
定者に伝え、取引は不成立となる（工程Ｓ５）。これに
代え、マスクが製作できない場合（工程Ｓ４で「Ｎ
ｏ」）、その旨をマスク購入予定者に伝え、マスク製作
要求の内容を変更させるようにすることもできる（工程
Ｓ６）。
【００２５】マスクが製作できる場合、算出部２６が上
述の価格情報及びライン情報を参照し、マスクの製品の
予定価格及び予定納期を算出する（工程Ｇ６：工程Ｓ
７）。進行選択部２８は、算出された予定価格及び予定
納期を、購入エージェント２２を介して、マスク購入予
定者に伝達し（工程Ｓ８）、マスクの製作を進行させる
か否かを選択させる（工程Ｓ９）。
述の価格情報及びライン情報を参照し、マスクの製品の
予定価格及び予定納期を算出する（工程Ｇ６：工程Ｓ
７）。進行選択部２８は、算出された予定価格及び予定
納期を、購入エージェント２２を介して、マスク購入予
定者に伝達し（工程Ｓ８）、マスクの製作を進行させる
か否かを選択させる（工程Ｓ９）。
【００２６】図５はマスクの製作を進行させるか否かを
選択させる際、マスク購入予定者に対して表示する画面
を示す図である。ここで、マスク購入予定者が製作を進
行させないことを選択した場合（工程Ｓ９で「Ｎ
ｏ」）、取引は不成立となる（工程Ｓ１０）。一方、マ
スク購入予定者が製作を進行させることを選択した場合
（工程Ｓ９で「Ｙｅｓ」）、製作指示部３２は、工場エ
ージェント２４を介して、マスク製造工場６０のデータ
管理部６６にマスク製作要求を伝達する（工程Ｇ７：工
程Ｓ１１）。
選択させる際、マスク購入予定者に対して表示する画面
を示す図である。ここで、マスク購入予定者が製作を進
行させないことを選択した場合（工程Ｓ９で「Ｎ
ｏ」）、取引は不成立となる（工程Ｓ１０）。一方、マ
スク購入予定者が製作を進行させることを選択した場合
（工程Ｓ９で「Ｙｅｓ」）、製作指示部３２は、工場エ
ージェント２４を介して、マスク製造工場６０のデータ
管理部６６にマスク製作要求を伝達する（工程Ｇ７：工
程Ｓ１１）。
【００２７】データ管理部６６は、マスク製作要求を受
取ると、製造ライン管理部６４に製作指示を出す（工程
Ｓ１２）。製造ライン管理部６４は、これに基づいて、
製造ラインおいて、マスク製品の製作を行う（工程Ｇ
８：工程Ｓ１３）。マスク製品の完成後、マスク製造工
場６０において同製品の検査を行い、検査データを作成
する（工程Ｇ９：工程Ｓ１４）。検査データは、マスク
の製品に発生した欠陥の座標及び寸法を含み、また必要
に応じて、欠陥の総数や画像データを含む。更に、検査
データは、当該マスクの製品をウエハに対して用いた場
合の光学シミュレーション画像を含むことができる。
取ると、製造ライン管理部６４に製作指示を出す（工程
Ｓ１２）。製造ライン管理部６４は、これに基づいて、
製造ラインおいて、マスク製品の製作を行う（工程Ｇ
８：工程Ｓ１３）。マスク製品の完成後、マスク製造工
場６０において同製品の検査を行い、検査データを作成
する（工程Ｇ９：工程Ｓ１４）。検査データは、マスク
の製品に発生した欠陥の座標及び寸法を含み、また必要
に応じて、欠陥の総数や画像データを含む。更に、検査
データは、当該マスクの製品をウエハに対して用いた場
合の光学シミュレーション画像を含むことができる。
【００２８】マスク製造工場６０のデータ管理部６６
は、上述の検査データを、該当するマスク製作要求との
対応関係を明確にした状態で、ホスト装置２０の工場エ
ージェント２４へ入力する。ホスト装置２０は、入力さ
れた検査データをデータベース４０の検査データファイ
ル４８に記憶すると共に、検査データ伝達部３４によっ
て、購入エージェント２２を介して、マスク購入予定者
に伝達する（工程Ｇ１０：工程Ｓ１５）。マスク購入予
定者は、検査データを見て、マスクの製品を購入するか
否か、及び／または、マスクを再製作するか否か等を、
ホスト装置２０の購入選択部２９及び再製作選択部３１
を介して選択する（工程Ｇ１１：工程Ｓ１６）。
は、上述の検査データを、該当するマスク製作要求との
対応関係を明確にした状態で、ホスト装置２０の工場エ
ージェント２４へ入力する。ホスト装置２０は、入力さ
れた検査データをデータベース４０の検査データファイ
ル４８に記憶すると共に、検査データ伝達部３４によっ
て、購入エージェント２２を介して、マスク購入予定者
に伝達する（工程Ｇ１０：工程Ｓ１５）。マスク購入予
定者は、検査データを見て、マスクの製品を購入するか
否か、及び／または、マスクを再製作するか否か等を、
ホスト装置２０の購入選択部２９及び再製作選択部３１
を介して選択する（工程Ｇ１１：工程Ｓ１６）。
【００２９】図６はマスク製品の検査結果がマスク製作
要求で指定された検査スペックに合格している場合に、
マスク購入予定者に対して表示する画面を示す図であ
る。ここで、マスク購入予定者は、通常の状況であれ
ば、「ＯＫ」ボタンを選択する（工程Ｓ１６で「Ｙｅ
ｓ」）。ホスト装置２０は、これをマスク購入依頼とし
て受付け、マスク製造工場６０に伝達する（工程Ｇ１
２：工程Ｓ１７）。以降、マスク製造工場６０における
マスク製品の梱包及び送付（工程Ｇ１３：工程Ｓ１８）
を経て、マスク購入予定者によるマスク製品の受領（工
程Ｇ１４：工程Ｓ１９）、マスク代金の支払となる。な
お、図６図示の画面において、マスク購入予定者が「Ｏ
Ｋ」ボタンを選択しない場合は、例外的な処置が必要と
なるため、ここでは説明を省略する。
要求で指定された検査スペックに合格している場合に、
マスク購入予定者に対して表示する画面を示す図であ
る。ここで、マスク購入予定者は、通常の状況であれ
ば、「ＯＫ」ボタンを選択する（工程Ｓ１６で「Ｙｅ
ｓ」）。ホスト装置２０は、これをマスク購入依頼とし
て受付け、マスク製造工場６０に伝達する（工程Ｇ１
２：工程Ｓ１７）。以降、マスク製造工場６０における
マスク製品の梱包及び送付（工程Ｇ１３：工程Ｓ１８）
を経て、マスク購入予定者によるマスク製品の受領（工
程Ｇ１４：工程Ｓ１９）、マスク代金の支払となる。な
お、図６図示の画面において、マスク購入予定者が「Ｏ
Ｋ」ボタンを選択しない場合は、例外的な処置が必要と
なるため、ここでは説明を省略する。
【００３０】図７はマスク製品の検査結果がマスク製作
要求で指定された検査スペックに合格していない場合
に、マスク購入予定者に対して表示する画面を示す図で
ある。前述の如く、マスク製品が検査スペックに合格し
ていない場合であっても、マスク製品上の欠陥が半導体
製造工程において半導体ウエハ上に転写されない場合
や、マスク製品上の欠陥が半導体製造工程において半導
体ウエハ上に転写されるが、その欠陥が半導体デバイス
の動作に問題を起こさない場合がある。従って、マスク
製品が検査スペックに合格していない場合であって、マ
スク購入予定者に検査データを解析する機会を与え、も
し、欠陥の程度が許容範囲内のものであれば、マスク製
品を購入できるようにすることにより、マスク製品の無
駄を省くことができるようになる。
要求で指定された検査スペックに合格していない場合
に、マスク購入予定者に対して表示する画面を示す図で
ある。前述の如く、マスク製品が検査スペックに合格し
ていない場合であっても、マスク製品上の欠陥が半導体
製造工程において半導体ウエハ上に転写されない場合
や、マスク製品上の欠陥が半導体製造工程において半導
体ウエハ上に転写されるが、その欠陥が半導体デバイス
の動作に問題を起こさない場合がある。従って、マスク
製品が検査スペックに合格していない場合であって、マ
スク購入予定者に検査データを解析する機会を与え、も
し、欠陥の程度が許容範囲内のものであれば、マスク製
品を購入できるようにすることにより、マスク製品の無
駄を省くことができるようになる。
【００３１】従って、図７図示の画面には、検査データ
と共に、「購入」、「購入＋再製作」、「再製作」の３
つの選択ボタンと、欠陥を含むマスク製品の購入希望価
格（割引価格）を入力する欄とが表示される。ここで、
マスク購入予定者が購入希望価格の入力無しで「購入」
ボタンを選択した場合（工程Ｓ１６で「Ｙｅｓ」）、ホ
スト装置２０は、これをマスク購入依頼として受付け、
マスク製造工場６０に伝達する（工程Ｇ１２：工程Ｓ１
７）。また、マスク購入予定者が購入希望価格の入力有
りで「購入」ボタンを選択した場合、ホスト装置２０
は、適当な査定部で確認を得た上で、これをマスク購入
依頼として受付け、マスク製造工場６０に伝達する（工
程Ｇ１２：工程Ｓ１７）。これ等の場合は、以降、マス
ク製造工場６０におけるマスク製品の梱包及び送付（工
程Ｇ１３：工程Ｓ１８）を経て、マスク購入予定者によ
るマスク製品の受領（工程Ｇ１４：工程Ｓ１９）、マス
ク代金の支払となる。
と共に、「購入」、「購入＋再製作」、「再製作」の３
つの選択ボタンと、欠陥を含むマスク製品の購入希望価
格（割引価格）を入力する欄とが表示される。ここで、
マスク購入予定者が購入希望価格の入力無しで「購入」
ボタンを選択した場合（工程Ｓ１６で「Ｙｅｓ」）、ホ
スト装置２０は、これをマスク購入依頼として受付け、
マスク製造工場６０に伝達する（工程Ｇ１２：工程Ｓ１
７）。また、マスク購入予定者が購入希望価格の入力有
りで「購入」ボタンを選択した場合、ホスト装置２０
は、適当な査定部で確認を得た上で、これをマスク購入
依頼として受付け、マスク製造工場６０に伝達する（工
程Ｇ１２：工程Ｓ１７）。これ等の場合は、以降、マス
ク製造工場６０におけるマスク製品の梱包及び送付（工
程Ｇ１３：工程Ｓ１８）を経て、マスク購入予定者によ
るマスク製品の受領（工程Ｇ１４：工程Ｓ１９）、マス
ク代金の支払となる。
【００３２】一方、図７図示の画面において、マスク購
入予定者が「再製作」ボタンを選択した場合（工程Ｓ１
６で「Ｎｏ」）、ホスト装置２０は、これをマスク再製
作依頼として受付ける。この場合、再製作指示部３３
は、工場エージェント２４を介して、マスク製造工場６
０のデータ管理部６６にマスク再製作指示を伝達する
（工程Ｇ１５：工程Ｓ２０）。データ管理部６６は、マ
スク製作要求を受取ると、製造ライン管理部６４に再製
作指示を出す（工程Ｇ１６：工程Ｓ２１）。製造ライン
管理部６４は、これに基づいて、製造ラインおいて、マ
スク製品の再製作を行う（工程Ｇ８：工程Ｓ１３）。そ
して、上述の検査工程（工程Ｇ９：工程Ｓ１４）以降の
工程を繰返す。
入予定者が「再製作」ボタンを選択した場合（工程Ｓ１
６で「Ｎｏ」）、ホスト装置２０は、これをマスク再製
作依頼として受付ける。この場合、再製作指示部３３
は、工場エージェント２４を介して、マスク製造工場６
０のデータ管理部６６にマスク再製作指示を伝達する
（工程Ｇ１５：工程Ｓ２０）。データ管理部６６は、マ
スク製作要求を受取ると、製造ライン管理部６４に再製
作指示を出す（工程Ｇ１６：工程Ｓ２１）。製造ライン
管理部６４は、これに基づいて、製造ラインおいて、マ
スク製品の再製作を行う（工程Ｇ８：工程Ｓ１３）。そ
して、上述の検査工程（工程Ｇ９：工程Ｓ１４）以降の
工程を繰返す。
【００３３】更に、図７図示の画面において、マスク購
入予定者が「再製作＋再製作」ボタンを選択した場合、
上述の「購入」ボタンを選択した場合の工程と「再製
作」ボタンを選択した場合の工程とが並行して行われ
る。
入予定者が「再製作＋再製作」ボタンを選択した場合、
上述の「購入」ボタンを選択した場合の工程と「再製
作」ボタンを選択した場合の工程とが並行して行われ
る。
【００３４】図８はマスク製品の検査結果が、マスク製
作要求で指定された検査スペックに合格していない場合
に、マスク購入予定者に対して表示する別の画面を示す
図である。ここでは、検査データとして、更に、当該マ
スクの製品をウエハに対して用いた場合の光学シミュレ
ーション画像が含まれる。光学シミュレーション画像
は、マスク購入予定者が「Simulation」の欄のセルをク
リックすることにより、別画面で表示される。光学シミ
ュレーション画像を検査データに含めることにより、マ
スク購入予定者が、検査スペックに合格していないマス
クに関して、欠陥の程度が許容範囲内のものであるか否
かを十分に検討できるようになる。
作要求で指定された検査スペックに合格していない場合
に、マスク購入予定者に対して表示する別の画面を示す
図である。ここでは、検査データとして、更に、当該マ
スクの製品をウエハに対して用いた場合の光学シミュレ
ーション画像が含まれる。光学シミュレーション画像
は、マスク購入予定者が「Simulation」の欄のセルをク
リックすることにより、別画面で表示される。光学シミ
ュレーション画像を検査データに含めることにより、マ
スク購入予定者が、検査スペックに合格していないマス
クに関して、欠陥の程度が許容範囲内のものであるか否
かを十分に検討できるようになる。
【００３５】なお、上述の実施の形態においては、マス
ク取引システムのホスト装置２０には１つのマスク製造
工場６０のみが接続されるが、複数のマスク製造工場を
並列に或いは直列にホスト装置２０に接続することも可
能である。また、マスク取引システムのホスト装置２０
に１つのマスク製造工場６０のみが接続される場合、マ
スク製造工場６０のデータ管理部６６とマスク取引シス
テムのホスト装置２０とを一体化することもできる。
ク取引システムのホスト装置２０には１つのマスク製造
工場６０のみが接続されるが、複数のマスク製造工場を
並列に或いは直列にホスト装置２０に接続することも可
能である。また、マスク取引システムのホスト装置２０
に１つのマスク製造工場６０のみが接続される場合、マ
スク製造工場６０のデータ管理部６６とマスク取引シス
テムのホスト装置２０とを一体化することもできる。
【００３６】その他、本発明の思想の範疇において、当
業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るも
のであり、それら変更例及び修正例についても本発明の
範囲に属するものと了解される。
業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るも
のであり、それら変更例及び修正例についても本発明の
範囲に属するものと了解される。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マスク購入予定者及びマスク製造工場間の情報交換を密
にすることにより、マスク製品の注文から納品までを迅
速化することができる。
マスク購入予定者及びマスク製造工場間の情報交換を密
にすることにより、マスク製品の注文から納品までを迅
速化することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る半導体装置製造用の
フォトマスクを取引きするためのシステムと、マスク購
入予定者側の端末と、マスク製造工場との関係を示すブ
ロック図。
フォトマスクを取引きするためのシステムと、マスク購
入予定者側の端末と、マスク製造工場との関係を示すブ
ロック図。
【図２】図１図示のシステムを使用して行われるマスク
取引方法の業務フローを示すフローチャート。
取引方法の業務フローを示すフローチャート。
【図３】図１図示のシステムを使用して行われるマスク
取引方法のシステムフローを示すフローチャート。
取引方法のシステムフローを示すフローチャート。
【図４】マスク製作要求を入力する際、マスク購入予定
者に対して表示する画面を示す図。
者に対して表示する画面を示す図。
【図５】マスクの製作を進行させるか否かを選択させる
際、マスク購入予定者に対して表示する画面を示す図。
際、マスク購入予定者に対して表示する画面を示す図。
【図６】マスク製品の検査結果がマスク製作要求で指定
された検査スペックに合格している場合に、マスク購入
予定者に対して表示する画面を示す図。
された検査スペックに合格している場合に、マスク購入
予定者に対して表示する画面を示す図。
【図７】マスク製品の検査結果がマスク製作要求で指定
された検査スペックに合格していない場合に、マスク購
入予定者に対して表示する画面を示す図。
された検査スペックに合格していない場合に、マスク購
入予定者に対して表示する画面を示す図。
【図８】マスク製品の検査結果が、マスク製作要求で指
定された検査スペックに合格していない場合に、マスク
購入予定者に対して表示する別の画面を示す図。
定された検査スペックに合格していない場合に、マスク
購入予定者に対して表示する別の画面を示す図。
１２…ネットワーク １４…利用者端末装置 ２０…マスク取引システムのホスト装置 ２２…購入エージェント（購入仲介部） ２４…工場エージェント（工場仲介部） ２６…算出部 ２８…進行選択部 ２９…購入選択部 ３０…希望価格入力手段 ３１…再製作選択部 ３２…再製作指示部 ３４…検査データ伝達部 ４０…データベース ４２…製作要求ファイル ４４…ライン情報ファイル ４６…価格情報ファイル ４８…検査データファイル ６０…マスク製造工場
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｆ 1/08 Ｇ０３Ｆ 1/08 Ｚ
Claims (14)
- 【請求項１】半導体装置製造用のフォトマスクを取引き
するためのシステムであって、 ネットワークを介してマスク購入予定者に対して情報の
交換を行う購入仲介部と、 マスク製造工場に対して情報の交換を行う工場仲介部
と、 前記購入仲介部を介して入力されるマスクの仕様、数
量、希望納期、及び検査スペックを含むマスク製作要求
を記憶する製作要求記憶部と、 前記工場仲介部を介して入力されるマスク製造工場の製
造ラインにおける処理能力状況を含むライン情報を記憶
するライン情報記憶部と、 マスク製作要求内容とマスク売買価格との関係を含む価
格情報を記憶する価格情報記憶部と、 前記価格情報及び前記ライン情報を参照し、前記マスク
製作要求に応答して前記マスクの製品の予定価格及び予
定納期を算出する算出部と、 前記購入仲介部を介して、前記マスク購入予定者に前記
予定価格及び前記予定納期を伝達し、前記マスクの製作
を進行させるか否かを選択させる進行選択部と、 前記マスクの製作を進行させることが選択された場合、
前記工場仲介部を介して、前記マスク製造工場に前記マ
スク製作要求を伝達する製作指示部と、を具備すること
を特徴とするマスク取引システム。 - 【請求項２】前記工場仲介部を介して入力される、前記
マスク製造工場で製作された前記マスクの製品の検査デ
ータを記憶する検査データ記憶部と、 前記購入仲介部を介して、前記マスク購入予定者に前記
検査データを伝達する検査データ伝達部と、を更に具備
することを特徴とする請求項１に記載のマスク取引シス
テム。 - 【請求項３】前記購入仲介部を介して、前記マスク購入
予定者に前記検査データに基づいて前記マスクの製品を
購入するか否かを選択させる購入選択部を更に具備する
ことを特徴とする請求項２に記載のマスク取引システ
ム。 - 【請求項４】前記購入選択部は、前記購入仲介部を介し
て、前記マスク購入予定者に前記検査データに基づいて
前記マスクの製品の購入希望価格を入力させる手段を更
に具備することを特徴とする請求項３に記載のマスク取
引システム。 - 【請求項５】前記購入仲介部を介して、前記マスク購入
予定者に前記検査データに基づいて前記マスクを再製作
するか否かを選択させる再製作選択部と、 前記マスクを再製作することが選択された場合、前記工
場仲介部を介して、前記マスク製造工場に前記マスクの
再製作を指示する再製作指示部と、を更に具備すること
を特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のマスク
取引システム。 - 【請求項６】前記検査データは、前記マスクの製品に発
生した欠陥の座標及び寸法を含むことを特徴とする請求
項２乃至５のいずれかに記載のマスク取引システム。 - 【請求項７】前記検査データは、前記マスクの製品の光
学シミュレーション画像を更に含むことを特徴とする請
求項６に記載のマスク取引システム。 - 【請求項８】半導体装置製造用のフォトマスクを取引き
するため、ネットワークを介してマスク購入予定者に対
して情報の交換を行う購入仲介部と、マスク製造工場に
対して情報の交換を行う工場仲介部と、を有するシステ
ムを用いて行うマスク取引方法であって、 前記購入仲介部を介して入力されるマスクの仕様、数
量、希望納期、及び検査スペックを含むマスク製作要求
を記憶する工程と、 前記工場仲介部を介して入力されるマスク製造工場の製
造ラインにおける処理能力状況を含むライン情報を記憶
する工程と、 マスク製作要求内容とマスク売買価格との関係を含む価
格情報を記憶する工程と、 前記価格情報及び前記ライン情報を参照し、前記マスク
製作要求に応答して前記マスクの製品の予定価格及び予
定納期を算出する工程と、 前記購入仲介部を介して、前記マスク購入予定者に前記
予定価格及び前記予定納期を伝達し、前記マスクの製作
を進行させるか否かを選択させる工程と、 前記マスクの製作を進行させることが選択された場合、
前記工場仲介部を介して、前記マスク製造工場に前記マ
スク製作要求を伝達する工程と、を具備することを特徴
とするマスク取引方法。 - 【請求項９】前記工場仲介部を介して入力される、前記
マスク製造工場で製作された前記マスクの製品の検査デ
ータを記憶する工程と、 前記購入仲介部を介して、前記マスク購入予定者に前記
検査データを伝達する工程と、を更に具備することを特
徴とする請求項８に記載のマスク取引方法。 - 【請求項１０】前記購入仲介部を介して、前記マスク購
入予定者に前記検査データに基づいて前記マスクの製品
を購入するか否かを選択させる工程を更に具備すること
を特徴とする請求項９に記載のマスク取引方法。 - 【請求項１１】前記購入仲介部を介して、前記マスク購
入予定者に前記検査データに基づいて前記マスクの製品
の購入希望価格を入力させる工程を更に具備することを
特徴とする請求項１０に記載のマスク取引方法。 - 【請求項１２】前記購入仲介部を介して、前記マスク購
入予定者に前記検査データに基づいて前記マスクを再製
作するか否かを選択させる工程と、 前記マスクを再製作することが選択された場合、前記工
場仲介部を介して、前記マスク製造工場に前記マスクの
再製作を指示する工程と、 を更に具備することを特徴とする請求項９乃至１１のい
ずれかに記載のマスク取引方法。 - 【請求項１３】前記検査データは、前記マスクの製品に
発生した欠陥の座標及び寸法を含むことを特徴とする請
求項９乃至１２のいずれかに記載のマスク取引方法。 - 【請求項１４】前記検査データは、前記マスクの製品の
光学シミュレーション画像を更に含むことを特徴とする
請求項１３に記載のマスク取引方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001087470A JP2002288444A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | マスク取引システム及び方法 |
| US10/078,394 US20020138404A1 (en) | 2001-03-26 | 2002-02-21 | Mas trading system and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001087470A JP2002288444A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | マスク取引システム及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002288444A true JP2002288444A (ja) | 2002-10-04 |
Family
ID=18942713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001087470A Pending JP2002288444A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | マスク取引システム及び方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020138404A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002288444A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007536560A (ja) * | 2003-07-03 | 2007-12-13 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法およびシステム |
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|---|---|---|---|---|
| JP2002287329A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | フォトマスクの製造者を選定する選定装置、フォトマスクの製造者を選定する選定方法、およびフォトマスクの製造者を選定するためのプログラム |
| JP3982270B2 (ja) * | 2002-01-29 | 2007-09-26 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウエーハの製造方法および半導体ウエーハ製造の受注方法ならびに半導体ウエーハ製造の受注システム |
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