JP2003288509A - 受注者を選定するための選定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フォトマスクなどを製造させるメーカを容易
に決定する。 【解決手段】 サーバ１００は、フォトマスクの製造に
対してウェハメーカが支払う対価に影響を与える２以上
の要因を含む要因データを入力する入力回路と、マスク
メーカ用コンピュータ２００に要因データを送信する送
信回路とを含み、要因データを受信したマスクメーカ用
コンピュータ２００は、２以上の要因の中から選択され
た要因に基づいて算定された見積価格を含む見積りデー
タを送信し、サーバ１００はさらに、見積りデータを受
信する受信回路と、受信した見積りデータを記憶する記
憶回路と、２以上のマスクメーカ用コンピュータ２００
から受信した２以上の見積りデータに基づいて、１の受
注者を選定する選定回路とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品の製造を依頼
する発注者が、２以上の製造者の中から１の受注者を選
定するシステムに関し、特に、半導体デバイスの発注シ
ステムにおいて、半導体デバイス用ウエハの原版として
使用されるフォトマスクの受注者を選定するシステムに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、顧客が要求した仕様によって
配線パターンが変更される回路を備えたＩＣ（Integrat
ed Circuit）チップが、ＩＣチップ製造メーカ（ウェハ
メーカ）により生産されている。このようなＩＣチップ
は、ＩＣチップの製造工程の１つであるフォトリソグラ
フィー工程において、合成石英基板上に金属薄膜で遮光
パターンを形成したフォトマスクを原版として製造され
る。このフォトマスクは、マスクメーカにより製造され
る。仕様に関する情報は、発注者であるマスクメーカか
ら、受注者であるマスクメーカに、磁気テープ等に格納
されて送付されたり、またはオンラインで送信されたり
する。マスクメーカは、送られてきた仕様に関する情報
に基づいて、フォトマスクを製造するための製造データ
を生成する。一方、フォトマスクの数量、納期等の注文
情報は、発注者であるウェハメーカから、受注者である
マスクメーカに、電話で伝えられたり、オンラインで伝
えられたりする。マスクメーカは、注文情報に基づいて
生産管理に必要な優先順位、製造品番、数量、発送先お
よび納期などの情報と、品質管理に必要な情報とを含む
管理データを生成する。作成された管理データは、フォ
トマスク製造ライン送られる。フォトマスク製造ライン
は、仕様に基づいて生成された製造データと、注文情報
に基づいて作成された管理データとに基づいて、フォト
マスクを製造する。フォトマスクは、たとえば、製造デ
ータによって制御される電子ビーム露光装置によって作
成される。

【０００３】このようなＩＣチップの製造システムとし
て、特開平９−１８０９８０号公報に開示されるシステ
ムがある。この公報に開示されたシステムは、顧客の仕
様要求によって露光パターンが変更される露光工程を含
む複数の工程によって製造されるＩＣチップの製造シス
テムである。システムは、入力端末、演算処理装置およ
び製造ラインを含む。入力端末は、各顧客に対応して設
けられる。入力端末は、顧客によって要求されたＩＣチ
ップの仕様、数量などを含む情報を入力する入力回路を
含む。演算処理装置は、入力端末に入力された情報に基
づいて、露光工程に必要なデータと、ＩＣチップの生産
および品質管理に必要なデータとを生成する生成回路
と、生成回路により生成されたデータを製造ラインに伝
送する伝送回路とを含む。製造ラインは、演算処理装置
から伝送されたデータに従ってＩＣチップを製造する。

【０００４】このシステムによると、各顧客に対応して
入力端末が設けられ、この入力端末のみから半導体装置
の仕様、数量などを含む情報が入力される。したがっ
て、磁気テープおよび電話を含む種々の方法により、半
導体装置の仕様、数量などを含む情報が送られていた従
来に比べ、これらの情報の処理を迅速かつ容易に行なう
ことが可能となり、注文の優先順位の管理も容易にな
る。

【０００５】さらに、特開平１１−３９３８９号公報
は、資材を適正な価格で購入するとともに、その納入業
者を速やかに決定する電子購買システムを開示する。こ
の電子購買システムは、資材の発注者のホストコンピュ
ータと、受注者のクライアントコンピュータとを含む。
ホストコンピュータは、見積り内容を表わすデータが含
まれた見積依頼データを発注者が入力する入力回路と、
その見積依頼データを通信ネットワークを介してクライ
アントコンピュータに送信する送信回路と、見積回答デ
ータをクライアントコンピュータから受信して表示する
表示回路と、表示回路に表示される見積依頼データの画
面表示形式と同一の形式で見積回答データを表示するよ
うに表示回路を制御する制御回路とを含む。クライアン
トコンピュータは、見積依頼データをホストコンピュー
タから受信する受信回路と、受信した見積依頼データを
表示する表示回路と、見積依頼データに見積り内容に対
応する見積価格を入力する入力回路と、その見積回答デ
ータをネットワークを介してホストコンピュータに送信
する送信回路とを含む。

【０００６】この電子購買システムによると、資材の発
注者は、ホストコンピュータにおいて、見積り依頼時と
同様の画面表示書式で見積回答データを確認することが
できるので、見積りを依頼した内容に対して見積価格が
どのようになっているかを、容易に把握することができ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
９−１８０９８０号公報に開示されたシステムの伝送回
路は、生成回路により生成されたデータを優先順に伝送
するが、どのような優先順であるのかは記載されていな
い。フォトマスクを発注する場合、このような優先順を
決定するための多くの要因が存在する。その要因は、フ
ォトマスクの製造メーカによって大きく異なる。そのた
め、複数のマスクメーカから１つのマスクメーカを決定
することは容易でなく、人の判断により行なわれてい
た。このフォトメーカの決定する一要因である見積価格
を、特開平１１−３９３８９号公報に開示された電子購
買システムを用いて受信しても、以下の問題が発生す
る。電子購買システムにおいては、発注者のホストコン
ピュータから送信された見積り依頼データに基づいて、
受注者がクライアントコンピュータを用いて見積価格を
入力する。そのため、受注者を決定するための一要因で
ある見積価格は、発注者から提示された見積り内容に沿
うように、受注者が決定しなければならない。その一方
で前述のように見積価格を算出するための要因は、各マ
スクメーカによって異なる。たとえば、マスクメーカに
おいては、同じようなマスクを製造する場合であって
も、他のマスクメーカとは異なる製造技術を有する。受
注メーカが、見積り依頼データに沿って見積価格を一様
に算定したのでは、その製造技術の差が表れにくく、見
積価格に差が表れにくい。一方、仕様や数量以外の見積
り依頼データをマスクメーカの自由に任せたのでは、発
注者が複数のマスクメーカから受信した見積価格を単純
に比較できない。

【０００８】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたものであって、フォトマスクなどを製造させるメ
ーカを容易に決定できる、受注者を選定するための選定
方法を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係る選定方
法は，発注者のために、物品の製造およびサービスの提
供のいずれかを実行する２以上の受注候補者の中から、
１の受注者を選定する。この選定方法は、物品の製造ま
たはサービスの提供に対して、発注者が支払う対価に影
響を与える、２以上の要因を含む価格要因データを、発
注者が入力する入力ステップと、受注候補者のコンピュ
ータに、価格要因データを送信する送信ステップと、見
積りデータを受信する受信ステップと、受信した見積り
データを記憶する記憶ステップと、２以上の受注候補者
から受信した２以上の見積りデータに基づいて、受注候
補者の中から１の受注者を選定する選定ステップとを含
む。

【００１０】第１の発明によると、入力ステップにて、
価格要因データが入力される。この価格要因データは、
発注者により入力されて、物品の製造またはサービスの
提供に対して発注者が支払う対価に影響を与える要因を
表わす。この価格要因データは、送信ステップにて受注
候補者のコンピュータに送信される。この価格要因デー
タを受信した受注候補者は、２以上の要因の中から自己
が選択した要因に基づいて、物品の製造またはサービス
の提供に対する見積価格を算定する。算定された見積価
格を含む見積りデータは、受信ステップにて受信され
る。選定ステップにて、受注候補者のコンピュータから
受信した見積りデータ、たとえば、選択された要因と見
積価格とに基づいて、２以上の受注候補者の中から１の
受注者が選定される。これにより、発注者により入力さ
れた要因の中から受注候補者は自己の条件に合致する要
因を選択して、見積価格を算出することができる。受注
候補者は、発注者の決めた範囲内で対価に影響を与える
要因を自由に選択して、見積価格を算出できるので、発
注者が要求する仕様であって、自己が得意とする条件で
見積価格を算出できる。その結果、フォトマスクなどを
製造させるメーカを容易に決定できる、受注者を選定す
るための選定方法を提供することができる。

【００１１】第２の発明に係る選定方法は、第１の発明
の構成に加えて、選定ステップにて選定された１の受注
者に対する発注データを作成する作成ステップをさらに
含む。

【００１２】第２の発明によると、作成ステップにて、
選定された１の受注者に送信するための発注データを作
成することができる。

【００１３】第３の発明に係る選定方法は、第２の発明
の構成に加えて、作成ステップにて作成された発注デー
タを、受注者のコンピュータに送信するステップをさら
に含む。

【００１４】第３の発明によると、選定された１の受注
者に送信するための発注データをその受注者のコンピュ
ータに送信することができ、発注手続きを自動的に処理
できる。

【００１５】第４の発明に係る選定方法においては、第
１〜第３の発明の構成に加えて、物品は半導体ウェハの
製造に使用されるフォトマスクであって、発注者は、ウ
ェハメーカであり、受注者はマスクメーカであるもので
ある。

【００１６】第４の発明によると、フォトマスクの製造
においては、その製造に対して支払う対価に影響を与え
る要因が非常に多い。そのため、マスクメーカにおいて
は、ウェハメーカが入力した要因の中で、自己が得意と
する条件で見積価格を算出できる。マスクメーカ毎に得
意とする要因が異なることが多いので、見積価格に差を
出すことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一
の部品には同一の符号を付してある。それらの名称およ
び機能も同じである。したがってそれらについての詳細
な説明は繰返さない。なお、以下においては、フォトマ
スクを製造するマスクメーカを選定するマスクメーカ選
定システムについて説明するが、本発明はこれに限定さ
れない。本発明は、フォトマスク以外の物品の製造や、
物品の製造以外のサービスの提供を行なう者を選定する
全てのシステムに適用することが可能である。

【００１８】図１を参照して、本実施の形態に係るマス
クメーカ選定システムは、フォトマスクを製造する複数
のマスクメーカのコンピュータ２００と、フォトマスク
の発注データを作成して、サーバ１００により選定され
たマスクメーカのコンピュータ２００に送信する発注用
コンピュータ３００と、これらのコンピュータにネット
ワーク５００を介して接続されたサーバ１００とを含
む。

【００１９】サーバ１００は、フォトマスクの価格を決
定する要因である発注明細データを記憶する。サーバ１
００には、記憶された発注明細データの中から選択され
た要因であって、発注のために見積りを依頼するマスク
についての要因が入力される。サーバ１００は、選択さ
れた要因を表わすデータ（価格表データ）とその要因の
条件を表わすデータとを、複数のマスクメーカコンピュ
ータ２００に送信する。マスクメーカコンピュータ２０
０には、受信した価格表データに含まれる要因の中から
そのマスクメーカが選択した要因と、選択された要因の
条件とが入力される。マスクメーカコンピュータ２００
には、選択した要因および条件に対応して、そのフォト
マスクの単価データが入力される。マスクメーカコンピ
ュータ２００は、サーバ１００に、選択された要因と単
価データとを送信する。サーバ１００は、受信したデー
タに基づいて、フォトマスクを発注するマスクメーカを
選択する。このようにサーバ１００は、複数のマスクメ
ーカの中からフォトマスクを発注するマスクメーカを選
定するというマスクメーカ選定機能を実現する。

【００２０】本実施の形態に係るマスクメーカ選定シス
テムのサーバ１００におけるマスクメーカ選定機能は、
コンピュータにおいて、ＣＰＵ（Central Processing U
nit）により所定のプログラムを実行することにより実
現される。

【００２１】図２に、マスクメーカ選定機能を実現する
サーバ１００の一例であるコンピュータシステムの外観
を示す。図２を参照してこのコンピュータシステムは、
ＦＤ（Flexible Disk）駆動装置１０６およびＣＤ−Ｒ
ＯＭ（Compact Disc-Read Only Memory)駆動装置１０８
を備えたコンピュータ１０２と、モニタ１０４と、キー
ボード１１０と、マウス１１２とを含む。

【００２２】図３に、このコンピュータシステムの構成
をブロック図形式で示す。図３に示すように、コンピュ
ータ１０２は、上記したＦＤ駆動装置１０６およびＣＤ
−ＲＯＭ駆動装置１０８に加えて、相互にバスで接続さ
れたＣＰＵ（Central Processing Unit）１２０と、メ
モリ１２２と、固定ディスク１２４と、他のコンピュー
タと通信するための通信インターフェイス１２８とを含
む。ＦＤ駆動装置１０６にはＦＤ１１６が装着される。
ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置１０８にはＣＤ−ＲＯＭ１１８が
装着される。これらのＦＤ１１６およびＣＤ−ＲＯＭ１
１８には、ソフトウェアに対応した所定のプログラムが
格納されている。

【００２３】既に述べたように、マスクメーカ選定機能
を有するサーバ１００は、コンピュータハードウェアと
ＣＰＵ１２０により実行されるソフトウェアとにより実
現される。一般的にこうしたソフトウェアは、ＦＤ１１
６、ＣＤ−ＲＯＭ１１８などの記録媒体にプログラムと
して格納されて流通し、ＦＤ駆動装置１０６またはＣＤ
−ＲＯＭ駆動装置１０８などにより記録媒体から読取ら
れて固定ディスク１２４に一旦格納される。さらに固定
ディスク１２４からメモリ１２２に読出されて、ＣＰＵ
１２０により実行される。

【００２４】これらのコンピュータのハードウェア自体
は一般的なものである。コンピュータは、ＣＰＵを含む
制御回路、記憶回路、入力回路、出力回路およびＯＳ
（Operating System）を含み、プログラムを実行する環
境を備えたものである。本発明のプログラムは、このよ
うなコンピュータを、マスクマーカ選定装置として機能
させるプログラムである。したがって本発明の最も本質
的な部分は、ＦＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、メモリカード、固定
ディスクなどの記録媒体に記録されたプログラムであ
る。

【００２５】なお、図２および図３に示したコンピュー
タ自体の動作は周知であるので、ここではその詳細な説
明は繰返さない。

【００２６】図１に示したマスクメーカ用コンピュータ
２００も、一般的なコンピュータシステムである。その
ため、図２および図３に、マスクメーカ用コンピュータ
２００に対応する参照符号を括弧付きで示す。

【００２７】図４を参照して、本実施の形態に係るサー
バ１００の固定ディスク１２４に記憶される発注明細デ
ータについて説明する。図４に示す発注明細データは、
ウェハメーカがフォトマスクをマスクメーカに発注する
際の明細を表わす。図４に示すように、複数の項目が記
憶されている。これらの項目の中で、特にフォトマスク
の見積価格に大きな影響を与える要因が、サーバ１００
から、マスクメーカコンピュータ２００に価格要因デー
タとして送信される。たとえば、図４に示す太枠線内の
項目が、価格要因データとして送信される。

【００２８】図５を参照して、サーバ１００からマスク
メーカコンピュータ２００に送信されるフォトマスクの
見積価格に大きな影響を与える要因を含む価格要因デー
タを説明する。この価格要因データは、図４に示した発
注明細データの中の一部の項目を見積価格に大きな影響
を与える要因として抽出したものである。たとえば、マ
スクメーカ、マスク種別、製作区分記号、ペリクル記
号、マスクサイズなどが抽出されている。なお、図５に
示す価格要因データは、図４に示す発注明細データの中
から、ウェハメーカが独自に選択し、マスクメーカコン
ピュータ２００に送信する。そのため、図５に示す価格
要因データに含まれる要因の種類は、ウェハメーカ毎に
異なる。

【００２９】図６を参照して、サーバ１００からマスク
メーカコンピュータ２００に送信される価格要因に対す
る条件データを説明する。図６に示すように、たとえ
ば、図５に示した価格要因データに含まれる要因毎に、
マスクメーカが選択可能な条件が設定されている。たと
えば、フォトマスクの見積価格に大きな影響を与える１
つの要因である「マスクメーカ」の条件として「ＤＮ
Ｐ」、「ＨＯＹ」、「ＴＯＰ」、「ＭＨＤ」、「ＤＵ
Ｐ」のようにマスクメーカが選択可能な条件が設定され
ている。

【００３０】図７を参照して、マスクメーカ用コンピュ
ータ２００からサーバ１００へ送信される価格表データ
について説明する。図６に示すように、価格表データ
は、条件番号毎に、価格要因データに対応してマスクメ
ーカが選択した条件データを含む。たとえば、このマス
クメーカは、条件番号が「０００００１」に対して、マ
スクメーカを「ＤＮＰ」、マスク種別を「Ｃ」、製作区
分記号を「Ｓ」、「デバ種／デザルール」を「Ｃ−ＳＩ
−８１Ｃ−１」と設定したことを表わす。このように設
定された内容がサーバ１００に送信される。このような
データが複数のマスクメーカ用コンピュータ２００から
サーバ１００に送信され、サーバ１００は、複数の価格
表データを固定ディスク１２４に記憶する。

【００３１】図８を参照して、マスクメーカ用コンピュ
ータ２００からサーバ１００へ送信される単価データに
ついて説明する。図８に示すように、単価データは、単
価表番号および条件番号毎に、フォトマスクの単価（見
積価格）を含む。条件番号は、前述の図７の条件番号に
対応する。サーバ１００は、受信した単価データに含ま
れる条件番号と、受信した価格表データに含まれるマス
クメーカにより選択された要因とに基づいて、複数のマ
スクメーカの中から１のマスクメーカを選定する。この
とき、条件番号に基づいて、マスクメーカが選択した要
因が、発注明細データの中の要因であって、ウェハメー
カが選択した要因であるか否かが判断される。その後サ
ーバ１００は、単価などに基づいて、１のマスクメーカ
を選定する。

【００３２】図９を参照して、本実施の形態に係るマス
クメーカ選定システムのサーバ１００およびマスクメー
カ用コンピュータ２００で実行されるプログラムの制御
構造について説明する。

【００３３】ステップ（以下、ステップをＳと略す。）
１００にて、ウェハメーカのサーバ１００のＣＰＵ１２
０は、固定ディスク１２４に記憶された発注明細データ
の中から価格要因データを抽出する。このとき、図４に
示す発注明細データの中から、サーバ１００のキーボー
ド１１０またはマウス１１２などを用いてウェハメーカ
の担当者が入力した情報に基づいて、図５に示す価格要
因データが抽出される。

【００３４】Ｓ１０２にて、ＣＰＵ１２０は、価格要因
別の条件を抽出する。このとき、サーバ１００のキーボ
ード１１０またはマウス１１２を用いて、ウェハメーカ
の担当者が入力した情報に基づいて、価格要因別の条件
が抽出される。抽出された結果は、固定ディスク１２４
に、図６に示すように、価格要因毎の条件データとして
記憶される。

【００３５】Ｓ１０４にて、ＣＰＵ１２０は、価格要因
データ（図５）および条件データ（図６）を、マスクメ
ーカ用コンピュータ２００に送信する。

【００３６】Ｓ１０６にて、ＣＰＵ１２０は、価格表デ
ータ（図７）および単価データ（図８）をマスクメーカ
用コンピュータ２００から受信したか否かを判断する。
価格表データおよび単価データをマスクメーカ用コンピ
ュータ２００から受信する（Ｓ１０６にてＹＥＳ）、処
理はＳ１０８へ移される。もしそうでないとＳ１０６に
てＮＯ、処理はＳ１０６へ戻され、価格表データおよび
単価データをマスクメーカ用コンピュータ２００から受
信するまで待つ。

【００３７】Ｓ１０８にて、ＣＰＵ１２０は、予め定め
られた数の、価格表データおよび単価データを受信した
か否かを判断する。このとき、複数のマスクメーカ用コ
ンピュータ２００から、異なる価格表データおよび単価
データを受信する。予め定められた数の価格表データお
よび単価データを受信すると（Ｓ１０８にてＹＥＳ）、
処理はＳ１１０へ移される。もしそうでないと（Ｓ１０
８にてＮＯ）、処理はＳ１０６へ戻され、マスクメーカ
用コンピュータ２００からの価格表データおよび単価デ
ータの受信を待つ。

【００３８】Ｓ１１０にて、ＣＰＵ１２０は、Ｓ１００
にて抽出された価格要因と、価格表データに含まれる要
因とが整合するか否かを判断する。抽出された価格要因
と価格表データとが整合する場合には（Ｓ１１０にてＹ
ＥＳ）、処理はＳ１１２へ移される。もしそうでないと
（Ｓ１１０にてＮＯ）、ウェハメーカのサーバ１００に
おける処理は終了する。

【００３９】Ｓ１１２にて、ＣＰＵ１２０は、受信した
単価データに基づいて、１の発注先マスクメーカを選定
する。Ｓ１１４にて、ＣＰＵ１２０は、発注データを作
成して、発注用コンピュータ３００に送信する。なお、
Ｓ１１４における処理において、発注用コンピュータ３
００に発注データを送信するものとして説明したが、こ
れに限定されるものではない。たとえば、サーバ１００
のＣＰＵ１２０は、発注データを作成して、その発注デ
ータを直接マスクメーカ用コンピュータ２００に送信す
るようにしてもよい。

【００４０】Ｓ２００にて、マスクメーカ用コンピュー
タ２００のＣＰＵ２２０は、価格要因データおよび条件
データをサーバ１００から受信したか否かを判断する。
価格要因データおよび条件データをサーバ１００から受
信すると（Ｓ２００にてＹＥＳ）、処理はＳ２０２へ移
される。もしそうでないと（Ｓ２００にてＮＯ）、処理
はＳ２００へ戻され、価格要因データおよび条件データ
をウェハメーカのサーバ１００から受信するまで待つ。

【００４１】Ｓ２０２にて、ＣＰＵ２２０は、受信した
価格要因データの中から希望する要因を登録する。この
とき、ＣＰＵ２２０は、マスクメーカ用コンピュータ２
００のキーボード２１０またはマウス２１２などからマ
スクメーカの担当者が入力した情報に基づいて、ウェハ
メーカが抽出した価格要因の中からマスクメーカが希望
する要因が登録される。

【００４２】Ｓ２０４にて、ＣＰＵ２２０は、登録され
た価格要因の条件を登録する。このとき、ＣＰＵ２２０
は、受信した条件データの一覧をモニタ２０４に表示
し、その表示を見たマスクメーカの担当者が入力した情
報に基づいて、価格要因の条件が登録される。

【００４３】Ｓ２０６にて、ＣＰＵ２２０は、登録され
た要因と条件とに基づいて、価格表データ（図７）を作
成する。Ｓ２０８にて、ＣＰＵ２２０は、マスクメーカ
の担当者がキーボード２１０またはマウス２１２などを
用いて入力した単価に基づいて、単価データ（図８）を
作成する。Ｓ２１０にて、ＣＰＵ２２０は、価格表デー
タ（図７）と単価データ（図８）とをウェハメーカのサ
ーバ１００に送信する。

【００４４】以上のような構造およびフローチャートに
基づく、本実施の形態に係るマスクメーカ選定システム
の動作について説明する。

【００４５】ウェハメーカの担当者は、複数のマスクメ
ーカに見積価格の算出を依頼するフォトマスクが決定す
ると、そのフォトマスクに対応する発注明細データの中
から価格要因データを抽出する（Ｓ１００）。ウェハメ
ーカの担当者は、抽出した価格要因別に、その条件を抽
出する（Ｓ１０２）。発注明細データから抽出した価格
要因データ（図５）と、抽出された要因に対応する条件
データ（図６）とが、マスクメーカ用コンピュータ２０
０に送信される（Ｓ１０４）。

【００４６】マスクメーカ用コンピュータ２００は、価
格要因データ、条件データを受信すると（Ｓ２００にて
ＹＥＳ）、マスクメーカの担当者により入力された情報
に基づいて、受信した価格要因データに含まれる複数の
要因の中から希望する要因が登録される（Ｓ２０２）。
このとき、たとえばマスクメーカ用コンピュータ２００
のモニタ２０４には、図１０に示す画面が表示される。
図１０に示すように選択できる要因の一覧が表示される
とともに、マスクメーカの担当者がマウス２１２を用い
て、選択した「マスクメーカ」、「マスク種別」、「製
作区分記号」、「デバ種／デザルール」が選択されたこ
とを表わしている。

【００４７】マスクメーカの担当者は、登録された価格
要因に対する条件を登録する（Ｓ２０４）。このとき、
図１１に示すようにマスクメーカ用コンピュータ２００
のモニタ２０４には価格表条件設定画面が表示される。
図１１に示す表示画面に基づいて、マスクメーカの担当
者は、選択した要因毎に、ウェハメーカから受信した条
件データ（図６）に含まれる条件のいずれかを設定す
る。マスクメーカ用コンピュータ２００は、登録された
要因と条件とに基づいて、価格表データを作成する（Ｓ
２０６）。マスクメーカの担当者は、マスクメーカ用コ
ンピュータ２００のキーボード２１０またはマウス２１
２を用いて、単価を入力し、マスクメーカ用コンピュー
タ２００は、入力された単価に基づいて単価データ（図
８）を作成する（Ｓ２０８）。このとき、マスクメーカ
用コンピュータ２００のモニタ２０４には、図１２に示
すような単価入力画面が表示される。マスクメーカの担
当者は、条件番号毎に入力された条件に対応してフォト
マスクの単価を入力する。その後、作成された価格表デ
ータと単価データとは、ウェハメーカのサーバ１００に
送信される（Ｓ２１０）。

【００４８】ウェハメーカのサーバ１００が、マスクメ
ーカ用コンピュータ２００から送信された価格表データ
および単価データを受信する（Ｓ１０６にてＹＥＳ）、
予め定められた数のデータを受信したか否かが判断され
る（Ｓ１０８）。たとえばこのとき１０社のマスクメー
カから価格表データおよび単価データを受信したか否か
が判断される。予め定められた数の価格表データおよび
単価データを受信すると（Ｓ１０８にてＹＥＳ）、抽出
された価格要因と価格表データとが整合しているか否か
が判断される（Ｓ１１０）。この判断は、ウェハメーカ
が抽出した価格要因と、マスクメーカが選択した価格表
データに含まれる要因とが整合しているか否かが判断さ
れる。詳しくは、マスクメーカにより選択された要因の
すべてが、ウェハメーカが抽出した価格要因に含まれて
いるか否かが判断される。抽出された価格要因と価格表
データとが整合すると（Ｓ１１０にてＹＥＳ）、受信し
た単価データに基づいて、１の発注先マスクメーカが選
定される（Ｓ１１２）。発注データが作成されて、発注
用コンピュータ３００を介して選定されたマスクメーカ
用コンピュータ２００に、発注データが送信された発注
処理が完了する（Ｓ１１４）。

【００４９】以上のようにして、本実施の形態に係るマ
スクメーカ選定システムによると、フォトマスクの発注
者であるウェハメーカが予め複数の要因を選択する。選
択された要因は、フォトマスクの見積価格に大きな影響
を及ぼす。ウェハメーカは選択された要因に対応する条
件を選択する。選択された要因と条件とを表わすデータ
がフォトマスクの製造者であるマスクメーカのコンピュ
ータに送信される。フォトマスクのマスクメーカは、受
信した複数の要因の中から、自社が得意とする要因を選
択し、その要因に対応する条件を設定する。選択された
要因および設定した条件に基づいて、マスクメーカの担
当者はフォトマスクの単価を入力する。マスクメーカ用
コンピュータは、マスクメーカの担当者により選択され
た要因と単価とをウェハメーカのサーバに送信する。ウ
ェハメーカのサーバにおいては、マスクメーカにより選
択された要因が、予めウェハメーカが選択した範囲内に
あるか否かを判断し、その範囲内にあれば見積価格に基
づいて、複数のマスクメーカの中から１のマスクメーカ
を選定する。これにより、仕様や数量以外をマスクメー
カの自由に任せることなく、マスクメーカの特徴を十分
に反映させた見積価格を入手することができる。その結
果、フォトマスクなどを製造させるメーカを容易に決定
できる受注者を選定するためのシステムを実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態に係るマスクメーカ選定
システムの全体構成図である。

【図２】 図１に示すサーバを実現するコンピュータの
外観図である。

【図３】 図２に示すコンピュータの制御ブロック図で
ある。

【図４】 サーバに記憶される発注明細データを表わす
図である。

【図５】 サーバからマスクメーカ用コンピュータに送
信される価格要因データを表わす図である。

【図６】 サーバからマスクメーカ用コンピュータに送
信される価格要因の条件データを表わす図である。

【図７】 マスクメーカ用コンピュータからサーバに送
信される価格表データを表わす図である。

【図８】 マスクメーカ用コンピュータからサーバに送
信される単価データタを表わす図である。

【図９】 本発明の実施の形態に係るマスクメーカ選定
システムで実行されるプログラムの制御構造を示すフロ
ーチャートである。

【図１０】 マスクメーカ用コンピュータのモニタの表
示画面例（その１）を表わす図である。

【図１１】 マスクメーカ用コンピュータのモニタの表
示画面例（その２）を表わす図である。

【図１２】 マスクメーカ用コンピュータのモニタの表
示画面例（その３）を表わす図である。

【符号の説明】

１００ サーバ、１０２、２０２ コンピュータ、１０
４、２０４ モニタ、１０６、２０６ ＦＤ駆動装置、
１０８、２０８ ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置、１１０、２１
０ キーボード、１１２、２１２ マウス、１１６、２
１６ ＦＤ、１１８、２１８ ＣＤ−ＲＯＭ、１２０、
２２０ ＣＰＵ、１２２、２２２ メモリ、１２４、２
２４ 固定ディスク、１２８、２２８ 通信インターフ
ェイス、２００ マスクメーカ用コンピュータ、３００
発注用コンピュータ、５００ネットワーク。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 発注者のために、物品の製造およびサー
   ビスの提供のいずれかを実行する２以上の受注候補者の
   中から、１の受注者を選定するための選定方法であっ
   て、 前記選定方法は、 前記物品の製造または前記サービスの提供に対して、前
   記発注者が支払う対価に影響を与える、２以上の要因を
   含む価格要因データを、前記発注者が入力する入力ステ
   ップと、 前記受注候補者のコンピュータに、前記価格要因データ
   を送信する送信ステップとを含み、 前記価格要因データを受信した前記受注候補者は、前記
   ２以上の要因の中から選択した要因に基づいて、前記物
   品の製造または前記サービスの提供に対する見積価格を
   含む見積りデータを送信し、 前記選定方法はさらに、 前記見積りデータを受信する受信ステップと、 前記受信した見積りデータを記憶する記憶ステップと、 前記２以上の受注候補者から受信した２以上の前記見積
   りデータに基づいて、前記受注候補者の中から１の受注
   者を選定する選定ステップとを含む、選定方法。
2. 【請求項２】 前記選定方法は、前記選定ステップにて
   選定された前記１の受注者に対する発注データを作成す
   る作成ステップをさらに含む、請求項１に記載の選定方
   法。
3. 【請求項３】 前記選定方法は、前記作成ステップにて
   作成された前記発注データを、前記受注者のコンピュー
   タに送信するステップをさらに含む、請求項２に記載の
   選定方法。
4. 【請求項４】 前記物品は半導体ウェハの製造に使用さ
   れるフォトマスクであって、前記発注者は、ウェハメー
   カであり、前記受注者はマスクメーカである、請求項１
   〜３のいずれかに記載の選定方法。