JP2000218477A - 生産管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】薄膜製品製造の分野において、特に開発品の開
発スケジュールの進行予測・判定・指示を行うことで、
開発スケジュール遵守を支援し開発期間短縮を図る。 【解決手段】計画・実績・予測の進行データを一元管理
し、開発計画全体に影響する開発ロット間の関係まで考
慮したロット優先度を設定して、実際のラインに作業指
示を行い製造する手段を有することで、現時点と近未来
の開発スケジュール上の進行遅延を早期に確実に対策
し、開発スケジュール遵守率が向上し、結果的に開発期
間の短縮を行うことを可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製品のような
薄膜製品製造の分野において、例えば開発専用ラインあ
るいは開発品と生産品の混流ラインにおいて製造する半
導体プロセス等にかかわり、特に開発品の開発期間短縮
に好適な生産方法および生産管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、生産品の複数品種のロットを流
す場合、同一装置あるいは装置群への仕掛ロットの中か
ら次の着工ロットを選択する際に、先入れ先出しの着工
ルールをベースに停滞時間から優先度を決定する以外
に、予めロット毎に定義されている優先度の高いロット
から順番に処理する方法や、両方の組合せなどが一般に
用いられている。このロットへの優先度の付け方には、
予め品種や納期によって固定的につける以外にも、「優
先処理レート＝固定納期までの時間／残存工程の処理時
間総和」とし、優先処理レートが小さいもの程優先度が
高いとする「特開平１０−５０５７１号公報」、同一装
置群への仕掛ロットの優先度を、停滞時間、初期優先
度、段取り時間、バッチ処理などの処理形態から個々に
求めた優先度にそれぞれ係数をかけ加算した結果から最
終優先度を求める「特開平６−１７６０３０号公報」な
ど、動的に変更する方法もある。

【０００３】半導体製品のような薄膜製品の開発では、
部分的な実験を行ってプロセス条件を確定するための条
件出し作業を効率良く行い、プロセスフロー全体を処理
した一貫処理ウエハで電気特性検査を行い、所定の特性
が得られることをいかに早く確認できるかが非常に重要
である。開発マネージャーは、開発品種毎の全体開発計
画からロット進行計画を作成する際に、電気特性確認ま
で行う一貫処理を行う本体ロットと、本体ロットより前
に新規プロセスの条件出しを行うことを目的として部分
的に流す複数の部分試作ロット（以降、加工先行ロッ
ト）、本体ロットのバックアップを目的としたバックア
ップロットを組合せた流し方を検討する。

【０００４】また、開発品の本体ロットの出来はそのま
ま開発結果に結び付くため、ライン内のロット進行管理
においても重要ロットとして注目し、開発期間短縮のた
めに本体ロットを特急扱いロットで流すために優先度を
高く設定することが通常行われている。ただし、同じ開
発品であっても、その他の加工先行ロットやバックアッ
プロットは本体ロットの進行状況と相互に影響を与える
ことはわかっても、従来の優先度の設定方法だけでは仕
掛ロットの中の明確な優先度が不明なため、作業者の長
年の経験や勘で処理されていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の「特開平１０−
５０５７１号公報」や「特開平６−１７６０３０号公
報」などのロット優先度の設定方法は生産品の納期を遵
守することが主体だった。よって、開発品の場合、本体
ロットのような注目ロット以外のロット、つまり加工先
行ロットやバックアップロットはその目的や、リンク先
の本体ロットの進行状況まではライン内では共有化され
ていないために、場合によっては本体ロット以上に他の
ロット優先度を高くするなど他のロットとの関係まで考
慮することができなかった。つまり、生産品と同様の優
先度の設定方法では、他のロット間との関係が不明なた
め、開発スケジュールのロットの目的を達成することが
困難であった。

【０００６】また、開発マネージャーが各ロットの進行
状況によって、開発スケジュールを変更することも考え
られるが、ラインの作業指示にまで連動しないと、当初
の開発スケジュールを遵守することが不可能となり、結
果的に開発期間が長くなることを避けられなかった。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決する為
に、本発明では複数の製造設備ならびに検査設備によっ
て構成される製造ラインを用い、複数品種の開発品専用
あるいは複数品種の開発品および生産品を混流で製造す
る生産方式において、製造ラインから収集するロット進
行管理データと、進行予測シミュレーションによって求
めた進行予測データと、開発品の品種毎に計画された開
発ロットの進行計画およびロット間の関係を含む開発ス
ケジュールデータを統合して、計画・実績・予測の進行
データを一元管理し、開発計画全体に影響する開発ロッ
ト間の関係まで考慮したロット優先度を設定して、実際
のラインに作業指示を行い製造する手段を有することを
特徴とする生産管理システムを提供する。

【０００８】また本発明では、上記方法で開発計画全体
に影響する開発ロット間の関係まで考慮したロット優先
度を設定した後、新たに設定したロット優先度を用いて
進行予測シミュレーションを行い、変更前の進行予測デ
ータと比較することで他のロットへの影響や効果を確認
してから、実際のラインに作業指示を行い製造する手段
を有することを特徴とする生産管理システムを提供す
る。

【０００９】また本発明は、計画・実績・予測の進行デ
ータを一元管理することで、開発品種毎の開発全体日程
の計画・実績・予測に関する進捗状況を一覧表示し、開
発計画の進捗データを共有化する手段を有することを特
徴とする生産管理システムを提供する。

【００１０】また本発明は、計画・実績・予測の進行デ
ータを一元管理することで、定期的にロット毎の進行計
画と進行実績・予測データとの差異および余裕度を算出
して、予め設定した連絡条件データと比較し、開発スケ
ジュール進行上の問題となる判定した場合に、特定のユ
ーザに自動で連絡する手段を有することを特徴とする生
産管理システムを提供する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、半導体製
品のような薄膜製品製造の分野において、開発専用ライ
ンあるいは開発品と生産品の混流ラインにおいて製造す
る半導体プロセス等の生産方法の実施例について説明す
る。

【００１２】図１は本発明に係る生産方式を実施するた
めのシステム構成の一実施例を示す図である。半導体製
造ライン１は、複数の製造装置２および複数の検査装置
３等から構成され、ロット進行管理手段４とネットワー
クによって接続されているロット進行データ収集手段５
とライン内作業者へ特定装置の仕掛ロットに関する情報
を提供する作業指示手段６が設置されている。製造ライ
ン１の上位システムは、ロット進行管理手段４、進行予
測シミュレーション手段７、開発スケジュール設定・管
理手段８および各種データ記憶手段から構成され、同一
またはネットワークによって接続された個別のコンピュ
ータマシン上に構築されている。各種データ記憶手段
は、ロット情報データ９、進行実績データ１０、ライン
モデルデータ１１、進行予測データ１２、プロセス開発
スタッフデータ１３、開発スケジュールデータ１４、ア
ラーム連絡条件データ１５がある。また、各手段は表示
装置１６ａ〜ｄと入力端末１７ａ〜ｄを有する。

【００１３】ロット情報データ９には、ライン内でロッ
トを処理し、進行管理を行うために必要な情報、例えば
ロットＮｏ、品種名、製造プロセスフロー、納期、初期
優先度、期間限定優先度、暫定優先度、仕掛工程名など
が含まれている。優先度は高低を表す数値あるいは記
号、特急、普通などの名称で設定する。この中の製造プ
ロセスフローには、プロセスフローの各工程名、処理条
件、検査条件、処理予定時間、スタッフ作業の有無、担
当スタッフ名、適用可能装置名、レシピＮｏなどが登録
されている。開発ロットの場合、処理条件が決定してい
ない工程が複数存在し、それぞれ担当のプロセス開発ス
タッフの指示に基づいて処理を行い、プロセス結果の判
定のために通常の生産品とは異なり、詳細な寸法、膜
厚、合わせ、外観等の各種検査を行う。

【００１４】進行実績データ１０は、ロット進行データ
収集手段５によって収集した製造ライン１の全ロットの
各工程着工開始実績日時や着工終了実績日時、処理装置
名などのデータが含まれている。

【００１５】ラインモデルデータ１１には、ラインの稼
働計画、ライン内の装置名称や処理能力、着工ルールな
どの装置モデルおよび保守・故障実績や保守計画、ライ
ンの作業者のスキルや勤務形態などの進行予測シミュレ
ーション手段７が使用するためのデータが登録されてい
る。

【００１６】進行予測シミュレーション手段７は、ライ
ンモデルデータ１１と、ロット情報データ９、進行実績
データ１０を用いて、ロット毎の設定優先度や装置毎の
着工ルールに基づいて、現時点の仕掛状態から進行予測
シミュレーションを行う機能を有しており、予測結果で
あるロット毎の各工程の着工開始予測日時、着工終了予
測日時、装置の稼動予定時間などを進行予測データ１２
に登録する。

【００１７】プロセス開発スタッフデータ１３には、プ
ロセス開発スタッフの名前、スキル、勤務形態などの開
発スタッフのリソースデータが登録されている。

【００１８】開発スケジュール設定・管理手段８は、ロ
ット情報データ９とプロセス開発スタッフデータ１３を
用いて、開発品種毎の開発マネージャが開発ロットの目
的（本体、加工先行、バックアップなど）や、着工開始
計画日時、着工終了計画日時、ロット間のリンク関係等
のデータなどを作成し、開発スケジュールデータ１４に
登録する。

【００１９】進行予測シミュレーション手段７では、生
産品との混流ラインの場合は、生産ロット毎の初期優先
度を用いて進行予測シミュレーションを行い、最終工程
の着工終了予定日時と納期との差異によって、暫定優先
度を自動で変更して納期遵守を図る。開発ロットの場合
は、本体ロットの進行途中の開発計画日程は、本体ロッ
トと加工先行ロット、本体ロットとバックアップロット
すべて相互に影響を受ける。よって本体ロットの開発計
画は途中工程も含めて遵守する必要がある。そのため、
開発計画を短期間例えば１日単位で区切り、納期と払い
出し工程をそれぞれ設定し、進行予測シミュレーション
を行うことも可能である。開発計画を遵守するために
は、本体ロットの進行計画を遵守することが最重要項目
のため、通常、本体ロットは初期優先度を高くし特急ロ
ット扱いとし、その他の開発ロットの初期優先度は普通
レベルとして扱うが、後述する方法で本体ロットの進行
状況を考慮しながら、暫定優先度を変更することが可能
である。

【００２０】図２は、開発スケジュール設定・管理手段
８を構成する機能の一実施例を示した図である。開発ス
ケジュール作成・登録部８１、開発状況一覧作成・表示
部８２、優先度変更部８３、進行予測指示部８４、アラ
ーム連絡部８５から構成される。以下に図２の機能毎
に、具体的な処理手順の例を説明する。

【００２１】図３は、開発スケジュール作成・登録部８
１の処理として新規に特定開発品種の開発計画を作成す
る場合の処理内容の概略例を示す図である。ユーザが計
画を設定する開発品種と設定した後、Ｓ３１ではロット
情報データ９から対象開発品種のロットＮｏを検索し、
ユーザが開発計画を設定対象ロットを１つ設定する。Ｓ
３２ではロット情報データ９から設定対象ロットの製造
プロセスフロー情報の工程名、物理時間、スタッフ作業
の有無、担当スタッフ名などを取得する。Ｓ３３ではス
タッフ作業工程に担当スタッフ情報をプロセス開発スタ
ッフデータ１３から取得する。Ｓ３４でユーザは遵守ポ
イントとする工程の着工開始計画日時、着工修了計画日
時設定を設定する。

【００２２】Ｓ３１〜Ｓ３４の情報を用いて、Ｓ３５で
は全工程の着工開始計画日時、着工修了計画日時を算出
する。Ｓ３６で他に計画が未設定の対象ロットがあるか
判定し、全対象ロットの工程毎の着工開始計画日時、着
工修了計画日時を作成するまで繰り返して処理する。Ｓ
３７では、ユーザが本体、加工先行、バックアップなど
のロットの目的とロット間のリンク関係を設定する。ロ
ット間のリンク関係には、例えばロットＡの工程Ａ１の
処理が終了した後、ロットＢの工程Ｂ１の処理を開始
し、その間のタイムラグを余裕期間Ｄとして設定する。
Ｓ３８では、設定したすべてのデータを開発スケジュー
ルデータ１４に登録する。

【００２３】図４は、開発状況一覧作成・表示部８２の
処理内容の概略例を示す図である。まずＳ４１で開発ス
ケジュールデータ１４から、特定開発品種の全ロットに
関する工程毎の着工開始計画日時、着工終了計画日時、
ロット間のリンク関係、ロットの目的などの最新データ
を取得する。Ｓ４２では、対象ロット毎に進行実績デー
タ１０から工程毎の着工開始実績日時、着工終了実績日
時を、進行予測データ１２から工程毎の着工開始予測日
時、着工終了予測日時を取得する。Ｓ４３では、ロット
毎に特定日時における着工開始の計画日時と実績・予測
日時との差異、およびリンク関係のある部分の余裕度を
算出する。この余裕度は、「余裕度＝予測（実績）余裕
期間／計画余裕期間Ｄ」で求めた値とする。また、特定
日時を任意に変更することで、過去・現在・未来のデー
タを算出可能である。Ｓ４４では、ユーザへ開発状況を
提供するために、開発状況一覧データを作成し表示装置
１６ｃに表示する。

【００２４】図５は、Ｓ４４の表示画面の一実施例を示
した図である。開発品種名Ｘの全開発ロットの計画・実
績・予測の進行状況と、ロット間のリンク関係、スタッ
フ作業工程がすべて確認することが可能である。ロット
の目的別に強調表示を行うことや、Ｓ４３で算出した進
行データの差異がｎ１以上に該当する実績・予測部分や
余裕度がｎ２未満に相当する実績・予測部分など強調表
示することも可能である。

【００２５】図６は、優先度変更支援部８３の処理内容
の概略例を示す図である。まずＳ６１では、特定開発品
種の全ロットに関する工程毎の着工開始計画日時、着工
終了計画日時、ロット間のリンク関係、ロットの目的な
どの最新データを取得する。Ｓ６２では、対象ロット毎
に進行実績データ１０から工程毎の着工開始実績日時、
着工終了実績日時を、進行予測データ１２から工程毎の
着工開始予測日時、着工終了予測日時を取得する。Ｓ６
３では、差異や余裕度を算出するチェック日時を設定す
る。初回は現在日時とする。Ｓ６４では、ロット毎にチ
ェック日時における着工開始の計画日時と実績・予測日
時との差異、およびリンク関係のある部分の残存余裕度
を算出する。Ｓ６５では、まず本体ロットの差異が許容
範囲−ｎ２からｎ１の間にあることを確認する。この時
点で、差異が許容範囲外の場合は、差異の程度によって
暫定優先度の高低を変更し、ロット情報データ９に登録
（Ｓ６６）する。

【００２６】本体ロットの進行が許容範囲内の場合は、
Ｓ６７で本体ロット以外のロットをチェック対象に設定
し、Ｓ６８ではこの対象ロットがチェック日時において
開発スケジュール全体を遵守する上で、特に開発計画遅
延への影響の大きいロット（以下、クリティカルロット
と呼ぶ）かどうか判定する。まず、加工先行ロットの場
合は、未着工工程に設定してあるリンク関係の予測デー
タ上の余裕度が、特定の値ｍ１未満の場合、つまり本体
ロットに追いつかれる危険性が高い場合に、クリティカ
ルロットとする。バックアップロットの場合は、未着工
工程に設定してあるリンク関係の予測データ上の余裕度
が、特定の値ｍ２より大きい場合、つまり本体ロットか
らの遅れが拡大しすぎる危険性が高い場合に、クリティ
カルロットとする。このｍ１、ｍ２の値を変更すれば、
遅れのチェック判断の強弱をかえることができる。クリ
ティカルロットと判定した場合は、Ｓ６９で未着工の工
程とリンク関係のあるロットの優先度取得して、Ｓ６１
０で暫定優先度を算出し、対象ロットの特定日時の暫定
優先度としてロット情報データ９に登録する。暫定優先
度の求め方の例として、リンク先の優先度に余裕度によ
って予め割り当てた加算優先度を加えて求める。

【００２７】Ｓ６１１では、チェック日時において未チ
ェックの対象ロットがあるか判定し、全対象ロットの進
行状況チェックが狩猟するまで繰り返す。Ｓ６１２で
は、ロットの優先度を変更したかどうか判断し、変更し
ていなければＳ６１３でチェック日時を一定間隔例えば
１日分先に設定変更して、Ｓ６３のチェック日時に設定
し同様の処理を繰り返して行う。

【００２８】進行予測指示部８４は、優先度変更部８３
が登録した特定日時チェック結果設定した暫定優先度を
用いて、進行シミュレーションを行うことを進行予測シ
ミュレーション手段７に要求を行う。また、開発状況一
覧作成・表示部８２の表示結果から、直接ユーザがロッ
ト毎の暫定優先度を変更することも可能であり、この変
更結果を用いた進行予測シミュレーション要求を行うこ
とも可能である。

【００２９】ユーザは暫定余裕度による予測進行結果を
用いた開発状況一覧作成・表示部８２の開発進行状況を
確認することで、優先度の変更の影響や効果を確認する
ことが可能である。対象開発品種名を変更することで、
開発品全体の進行状況が確認可能である。また、開発品
と生産品の混流ラインの場合でも、進行予測シミュレー
ション手段７は全ロットスケジュール結果の進行予測デ
ータ１２から、生産品の最終工程の着工完了予測日時と
納期の差異を求めることで、影響を確認することが可能
である。影響や効果を確認した結果、特に問題がない場
合、ロット情報データ９の暫定優先度のデータを、期間
限定優先度に登録する。

【００３０】図７は、アラーム連絡部８５の処理内容の
概略例を示す図である。ユーザは予めアラーム連絡条件
データ１５に、開発品の進行状況をチェックする定時刻
と、開発品種のロット目的毎に計画と実績・予測との差
異や余裕度が特定の値以下になった場合に連絡させるた
めの判定用差異、判定用余裕度、チェック対象日時とす
る期間と間隔、および連絡先データを登録する。

【００３１】進行状況チェック時刻になると、まずＳ７
１で、全開発品種の開発スケジュールデータ１４を読み
込み全ロットに関する工程毎の着工開始計画日時、着工
終了計画日時、ロット間のリンク関係、ロットの目的な
どの最新データを取得する。Ｓ７２では、対象ロット毎
に進行実績データ１０から工程毎の着工開始実績日時、
着工終了実績日時を、進行予測データ１２から工程毎の
着工開始予測日時、着工終了予測日時を取得する。Ｓ７
３では、差異や余裕度を算出するチェック日時を設定す
る。初回は現在日時とする。Ｓ７４では、ロット毎にチ
ェック日時における着工開始の計画日時と実績・予測日
時との差異、およびリンク関係のある部分の残存余裕度
を算出する。Ｓ７５では、アラーム連絡条件データ１５
から連絡条件データをすべて読み込み、Ｓ７６ではＳ７
４で算出したロット毎の差異、余裕度を判定用差異、判
定用余裕度を比較し、判定用の値より小さければ、ロッ
トＮＯ、ロット目的、工程名、差異、余裕度からなる連
絡用データを作成する。

【００３２】Ｓ７７では、連絡条件データのチェック対
象日時とする期間と間隔から、チェック日時を変更する
必要があるか判定し、必要があればＳ７３〜Ｓ７６の処
理を繰り返し行う。Ｓ７８では、Ｓ７６で作成した連絡
用データがあれば、メールやポケットベル、ＦＡＸなど
の情報提供手段を使用して、指定連絡先のユーザにアラ
ーム連絡データを送信する。

【００３３】図８は、作業指示手段６の表示装置１６ｄ
の表示画面例を示したものである。特定の装置名称に仕
掛中のロット情報として、ロットＮＯ、優先度、品種
名、工程名、ロット目的、レシピＮＯを優先度で並び替
えて表示した場合である。この時に使用する優先度はロ
ット情報データ９に期間限定優先度データがあればこの
優先度データを、なければ初期優先度データを使用す
る。このように、開発品専用ラインあるいは、開発品と
生産品の混流ラインにおいても、複数あるロットの優先
度をライン作業者に明確に指示することが可能である。

【００３４】

【発明の効果】本発明は、半導体製品のような薄膜製品
製造の開発専用ラインあるいは開発品と生産品の混流ラ
インにおいて、ラインから収集するロット進行管理デー
タと、進行シミュレーションによって求めた進行予測デ
ータと、開発品の品種毎に計画された開発ロットの進行
計画およびロット間の関係を含む開発スケジュールデー
タを統合し、開発ロットの進行状況によって影響する他
の開発ロットへのリンク関係を、ライン作業者も含むす
べての開発関係者が共有化することで、現時点における
開発スケジュール上に影響の大きいロットの進行状況、
例えば加工先行ロットの遅れが本体ロットに影響するこ
となどが把握可能となり、対策を行うことが可能とな
る。

【００３５】また、現時点だけではなく近未来、例えば
数日から２週間先までの期間に開発スケジュール上で問
題となるロットの進行状況を確認し、早期に対策を行う
ことが可能となる。

【００３６】また、開発進行状況を定期的に提供するこ
とで、実際に開発スケジュールの作成および変更は、開
発ロットの進行状況だけではなく、プロセス開発の困難
さによっても、計画が変更されること可能性は高い。開
発マネージャーは、定期的に開発進行状況一覧を参照
し、プロセス開発上の知見からも、開発スケジュールを
変更する必要がないか判断することで、遵守すべき開発
スケジュール自体が最新の状態となるように検討するこ
とが可能となる。

【００３７】また、開発スケジュール上の問題を対策・
回避するために、一時的にロットの優先度を変更した結
果を、開発ロット内の優先度を明確にしてラインの作業
指示端末に表示し、確実にロットを処理することが可能
となる。

【００３８】さらに、実際に対策を実施する前に、再度
進行シミュレーションを行うことで、その変更結果の他
のロットへの影響ならびに効果を確認してから、ライン
内の作業指示端末に着工順序の表示を行うことが可能で
ある。

【００３９】特定ロットの遅れを挽回するためには、優
先度を一時的に変更する以外にも、装置の保守時期を変
更することも可能であり、その影響や効果も進行予測シ
ミュレーションの結果から予め確認することが可能とな
る。

【００４０】以上の効果から、開発スケジュール遵守率
が向上し、結果的に開発期間の短縮を行うことが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る生産方式を実施するためのシステ
ム構成の一実施例を示すブロック図。

【図２】本発明に係る開発スケジュール設定・管理手段
を構成する機能の概略図。

【図３】本発明に係る開発スケジュール作成・登録部の
処理内容の手順を説明するフロー図。

【図４】本発明に係る開発状況一覧作成・表示部の処理
内容の手順を説明するフロー図。

【図５】本発明に係る表示端末への開発状況一覧表示の
手順を説明するフロー図。

【図６】本発明に係る優先度変更支援部の処理内容の手
順を説明するフロー図。

【図７】本発明に係るアラーム連絡部の処理内容の手順
を説明するフロー図。

【図８】本発明に係る作業指示手段の表示装置への表示
画面例を説明する図。

【符号の説明】

１…製造ライン、２…製造装置、３…検査装置、４…ロ
ット進行管理手段、５…ロット進行データ収集手段、６
…作業指示手段、７…進行予測シミュレーション手段、
８…開発スケジュール設定・管理手段、９…ロット情報
データ登録手段、１０…進行実績データ登録手段、１１
…ラインモデルデータ登録手段、１２…進行予測データ
登録手段、１３…プロセス開発スタッフデータ登録手
段、１４…開発スケジュールデータ登録手段、１５…ア
ラーム連絡条件データ登録手段、１６ａ〜ｄ…表示装
置、１７ａ〜ｄ…入力装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菓子 聡 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 竹尾 義久 東京都青梅市新町六丁目16番地の３ 株式 会社日立製作所デバイス開発センタ内 Ｆターム(参考） 3C042 RJ07 RJ12 RJ20 RL11 5B049 AA01 AA02 AA06 BB07 CC21 CC32 EE31 EE41 FF03 GG04 GG07 GG09

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の製造設備ならびに検査設備によって
   構成される製造ラインを用い、複数品種の開発品専用あ
   るいは複数品種の開発品および生産品を混流で製造する
   生産において、製造ラインから収集するロット進行管理
   データと、進行予測シミュレーションによって求めた進
   行予測データと、開発品の品種毎に計画された開発ロッ
   トの進行計画およびロット間の関係を含む開発スケジュ
   ールデータを統合して、計画・実績・予測の進行データ
   を一元管理し、開発計画全体に影響する開発ロット間の
   関係まで考慮したロット優先度を設定して、実際のライ
   ンに作業指示を行い製造する手段を有することを特徴と
   する生産管理システム。
2. 【請求項２】複数の製造設備ならびに検査設備によって
   構成される製造ラインを用い、複数品種の開発品専用あ
   るいは複数品種の開発品および生産品を混流で製造する
   生産において、製造ラインから収集するロット進行管理
   データと、進行予測シミュレーションによって求めた進
   行予測データと、開発品の品種毎に計画された開発ロッ
   トの進行計画およびロット間の関係を含む開発スケジュ
   ールデータを統合して、計画・実績・予測の進行データ
   を一元管理し、開発計画全体に影響する開発ロット間の
   関係まで考慮したロット優先度を設定し、新たに設定し
   たロット優先度を用いて進行予測シミュレーションを行
   い、変更前の進行予測データと比較することで他のロッ
   トへの影響や効果を確認してから、実際のラインに作業
   指示を行い製造する手段を有することを特徴とする生産
   管理システム。
3. 【請求項３】複数の製造設備ならびに検査設備によって
   構成される製造ラインを用い、複数品種の開発品専用あ
   るいは複数品種の開発品および生産品を混流で製造する
   生産において、製造ラインから収集するロット進行管理
   データと、進行予測シミュレーションによって求めた進
   行予測データと、開発品の品種毎に計画された開発ロッ
   トの進行計画およびロット間の関係を含む開発スケジュ
   ールデータを統合して、計画・実績・予測の進行データ
   を一元管理し、開発品種毎の開発全体日程の計画・実績
   ・予測に関する進捗状況を一覧表示し、開発計画の進捗
   データを共有化する手段を有することを特徴とする生産
   管理システム。
4. 【請求項４】複数の製造設備ならびに検査設備によって
   構成される製造ラインを用い、複数品種の開発品専用あ
   るいは複数品種の開発品および生産品を混流で製造する
   生産において、製造ラインから収集するロット進行管理
   データと、進行予測シミュレーションによって求めた進
   行予測データと、開発品の品種毎に計画された開発ロッ
   トの進行計画およびロット間の関係を含む開発スケジュ
   ールデータを統合して、計画・実績・予測の進行データ
   を一元管理し、定期的にロット毎の進行計画と進行実績
   ・予測データとの差異および余裕度を算出して、予め設
   定した連絡条件データと比較し、開発スケジュール進行
   上の問題となる判定した場合に、特定のユーザに自動で
   連絡する手段を有することを特徴とする生産管理システ
   ム。