CN111539648B - 设备群间动态产能的自动分配装置和方法 - Google Patents

设备群间动态产能的自动分配装置和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111539648B
CN111539648B CN202010392842.1A CN202010392842A CN111539648B CN 111539648 B CN111539648 B CN 111539648B CN 202010392842 A CN202010392842 A CN 202010392842A CN 111539648 B CN111539648 B CN 111539648B
Authority
CN
China
Prior art keywords
machine
product
operation time
operable
machines
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010392842.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111539648A (zh
Inventor
崔小琳
管维康
周菁
徐秋晨
郑小平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd filed Critical Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Priority to CN202010392842.1A priority Critical patent/CN111539648B/zh
Publication of CN111539648A publication Critical patent/CN111539648A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111539648B publication Critical patent/CN111539648B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • G06Q10/063—Operations research, analysis or management
    • G06Q10/0631—Resource planning, allocation, distributing or scheduling for enterprises or organisations
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • G06Q10/063—Operations research, analysis or management
    • G06Q10/0639—Performance analysis of employees; Performance analysis of enterprise or organisation operations
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/10—Office automation; Time management
    • G06Q10/109—Time management, e.g. calendars, reminders, meetings or time accounting
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
    • G06Q50/04—Manufacturing
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing

Landscapes

  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Human Resources & Organizations (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Strategic Management (AREA)
  • Entrepreneurship & Innovation (AREA)
  • Economics (AREA)
  • Tourism & Hospitality (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Marketing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Business, Economics & Management (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Development Economics (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Educational Administration (AREA)
  • Game Theory and Decision Science (AREA)
  • Data Mining & Analysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Primary Health Care (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

本发明公开了一种设备群间动态产能的自动分配装置，包括：数据准备装置、机台均衡作业时间预估装置和产品分配装置；数据准备装置用于获取数据，包括：获取各产品在各机台上的作业时间，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态，获取机台产能。机台均衡作业时间预估装置用于：预估各机台的平均作业时间；产品分配装置用于实现：根据平均作业时间，将产品分配到各机台，分配逻辑包括：最大限度提高可作业产品数最少的机台产能的利用率；将优先级更高的产品优先分配到各机台作业。本发明还公开了一种设备群间动态产能的自动分配方法。本发明能较稳定的将产品根据机台可作业情况，均衡的分配给机台作业，充分利用机台产能，缩短产品整体生产周期。

Description

设备群间动态产能的自动分配装置和方法
技术领域
本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种设备群间动态产能的自动分配装置。本发明还涉及一种设备群间动态产能的自动分配方法。
背景技术
目前半导体生产制造中设备动态产能平衡的实现方法主要有两种方法：
一种为启发式规则方法，通过对产品状态的一系列逻辑判断将产品逐个分配至机台即设备，以期望达到设备作业平衡，但该方法对产品状态的变化敏感性大，微小的变化将导致结果的颠覆性变化，对设备利用率提高的作用不稳定。
如图1所示，是产品批次(lot)在机台上的可作业性统计表格图；产品批次包括9个依次为图1中所示的APxxxxxx1、APxxxxxx2直至APxxxxxx9，机台则包括3个依次为图1中所示的xxx1、xxx2和xxx3。图1中，×号表示产品批次在机台上不可作业，√号表示产品批次在机台上可作业，可以看出，机台xxx1上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4和APxxxxxx6这3个产品批次的产品，机台xxx2上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4、APxxxxxx6和APxxxxxx7这4个产品批次的产品，机台xxx3上能够作业APxxxxxx1、APxxxxxx2直至APxxxxxx9这9个产品批次的产品。
如图2所示，是现有方法中将产品批次分配到机台上分配表格图；现有采用启发式规则方法进行产品批次分配时，对产品状态的变化敏感性较大，图2中可以看出，机台xxx1上仅分配了一个产品批次即APxxxxxx6，机台xxx2上则分配了2个产品批次即APxxxxxx4和APxxxxxx7，剩下的6个产品批次都分配到机台xxx2上，采用3个机台来完成上述9个批次的产品共需要6小时，机台xxx1的产能不能充分利用。
另一种为人工智能方法，可用于复杂生产线，但是这种方法并不适用于不具备实现该方法的软硬件的生产线。
所以在当前生产线资源的基础上，构建一种适用复杂生产线且具有稳定效果的动态产能分配方法就是本发明的主要目的。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种设备群间动态产能的自动分配装置，能较稳定的将产品根据机台可作业情况，均衡的分配给机台作业，充分利用机台产能，缩短产品整体生产周期。为此，本发明还提供一种设备群间动态产能的自动分配方法。
为解决上述技术问题，本发明提供的设备群间动态产能的自动分配装置包括：数据准备装置、机台均衡作业时间预估装置和产品分配装置。
所述数据准备装置用于获取数据，包括：获取各产品在各机台上的作业时间(Process Time，PT)，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态，获取机台产能。
所述机台均衡作业时间预估装置用于实现：根据所述数据准备装置所获取的数据，预估各所述机台的平均作业时间，以使各所述机台能均衡作业。
所述产品分配装置用于实现：根据各所述机台对应的平均作业时间，将所有产品分配到各所述机台，分配逻辑包括：最大限度提高可作业产品数最少的机台产能的利用率；将优先级更高的产品优先分配到各所述机台作业。
进一步的改进是，所述机台分为有腔机台或无腔机台两种，所述有腔机台又分为各腔均相关、部分腔相互独立和各腔相互独立三种。
进一步的改进是，获取各产品在各机台上的作业时间根据各所述产品对应的工艺菜单(recipe)在所述机台上的作业时间获取，所述工艺菜单包括有多个作业条件，所述作业条件中包括所述作业时间。
进一步的改进是，获取各产品在各机台上的作业时间包括：
当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，直接获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间。
当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，将所有独立腔作为单独的机台，获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台对应的独立腔上的作业时间。
进一步的改进是，用于获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态的数据包括所述产品的抑制信息(Inhibit)和机台状态。
进一步的改进是，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态包括：
当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，当整机的机台状态为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台上为可作业。本发明中，符合所述机台的源种限制的意思为，当所述机台有源种限制时，则需要符合所述机台的源种限制；而如果所述机台没有源种限制，则不需要考虑源种限制，也即任何源种都符合。
当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，当整机和独立腔的机台状态都为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台的独立腔上为可作业。
进一步的改进是，获取机台产能包括：
判断所述机台和所述产品的制程的关系，包括：多个所述制程完全共用多个所述机台，多个所述制程不完全共用多个所述机台，多个所述制程完全不共用任何所述机台。
根据所述机台和所述制程的关系计算机台产能，包括：
当多个所述制程完全共用多个所述机台时，将各所述制程绑定为同一组并作为同一制程进行计算，共用机台产能。
当多个所述制程不完全共用多个所述机台时，在所述机台中对各所述制程划分优先级，在分配时，根据优先级的高低，优先将产能满足优先级高的所述制程。
当多个所述制程完全不共用任何所述机台时，各所述制程所对应的所述机台均为所述制程的产能。
进一步的改进是，预估各所述机台的平均作业时间包括：
获取需分配的产品，判断各所述产品在各所述机台上的可作业性。
计算各所述机台作业所有可作业的所述产品的实际可作业时间并将所述机台按照所述实际可作业时间从小至大排序，排序后的所述机台的机台编号依次为：1，2，…，m。
递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间，n＝1，2，…，m，共包括m个所述平均可作业时间。
将所述机台所参与计算的所有所述平均可作业时间中的最小值作为所述机台的平均作业时间。
进一步的改进是，所述产品分配装置中的所述分配逻辑的实现步骤包括：
步骤1、将所述机台按照所述平均作业时间排序并编号，令所述机台编号为j，j取大小为1的初始值，令j对应的机台为机台j。
步骤2、获取所述机台j可作业的所有未分配的产品批次并将所述产品批次排序并形成产品编号，令所述产品编号用i表示，i的初始值为1，令i对应的产品批次为产品批次i。
步骤3、获取所述产品批次i在机台j上的作业时间，令所述产品批次i在机台j上的作业时间为PTij。
步骤4、如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和小于等于机台j的所述平均作业时间，则将所述产品批次i分配给机台j。
如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和大于机台j的所述平均作业时间则不将所述产品批次i分配给机台j，且当i小于所述产品编号最大值时i加1并重复步骤2和3，而当i大于等于所述产品编号最大值时则进行后续步骤5。
步骤5、如果j小于所述机台编号的最大值，则j加1并重复步骤2至4。
如果j大于等于所述机台编号的最大值，则进行后续步骤6。
步骤6、确定是否仍有所述产品批次未分配，如果没有未分配的所述产品批次进行步骤8；如果有未分配的所述产品批次，则进行步骤7。
步骤7、选择已分配的作业时间最小且小于最大可作业时间的机台。
将选择出来的所述机台可作业的所述产品批次进行排序，将排序最高的所述产品批次分配给所述机台，之后返回到步骤6。
步骤8、结束分配并输出分配结果。
进一步的改进是，所述机台的最大可作业时间为24小时。
为解决上述技术问题，本发明提供的设备群间动态产能的自动分配方法包括如下步骤：
步骤一、进行数据准备；在所述数据准备阶段中进行数据获取，包括：获取各产品在各机台上的作业时间，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态，获取机台产能。
步骤二、进行机台均衡作业时间预估，包括：根据所述数据准备装置所获取的数据，预估各所述机台的平均作业时间，以使各所述机台能均衡作业。
步骤三、进行产品分配，根据各所述机台对应的平均作业时间将所有产品分配到各所述机台，分配逻辑包括：最大限度提高可作业产品数最少的机台产能的利用率；将优先级更高的产品优先分配到各所述机台作业。
进一步的改进是，所述机台分为有腔机台或无腔机台两种，所述有腔机台又分为各腔均相关、部分腔相互独立和各腔相互独立三种。
进一步的改进是，获取各产品在各机台上的作业时间根据各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间获取，所述工艺菜单包括有多个作业条件，所述作业条件中包括所述作业时间。
进一步的改进是，获取各产品在各机台上的作业时间包括：
当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，直接获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间。
当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，将所有独立腔作为单独的机台，获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台对应的独立腔上的作业时间。
进一步的改进是，用于获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态的数据包括所述产品的抑制信息和机台状态。
进一步的改进是，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态包括：
当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，当整机的机台状态为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台上为可作业。
当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，当整机和独立腔的机台状态都为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台的独立腔上为可作业。
进一步的改进是，获取机台产能包括：
判断所述机台和所述产品的制程的关系，包括：多个所述制程完全共用多个所述机台，多个所述制程不完全共用多个所述机台，多个所述制程完全不共用任何所述机台。
根据所述机台和所述制程的关系计算机台产能，包括：
当多个所述制程完全共用多个所述机台时，将各所述制程绑定为同一组并作为同一制程进行计算，共用机台产能；
当多个所述制程不完全共用多个所述机台时，在所述机台中对各所述制程划分优先级，在分配时，根据优先级的高低，优先将产能满足优先级高的所述制程；
当多个所述制程完全不共用任何所述机台时，各所述制程所对应的所述机台均为所述制程的产能。
进一步的改进是，预估各所述机台的平均作业时间包括：
获取需分配的产品，判断各所述产品在各所述机台上的可作业性。
计算各所述机台作业所有可作业的所述产品的实际可作业时间并将所述机台按照所述实际可作业时间从小至大排序，排序后的所述机台的机台编号依次为：1，2，…，m。
递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间，n＝1，2，…，m，共包括m个所述平均可作业时间。
将所述机台所参与计算的所有所述平均可作业时间中的最小值作为所述机台的平均作业时间。
进一步的改进是，所述分配逻辑的实现步骤包括：
步骤1、将所述机台按照所述平均作业时间排序并编号，令所述机台编号为j，j取大小为1的初始值，令j对应的机台为机台j。
步骤2、获取所述机台j可作业的所有未分配的产品批次并将所述产品批次排序并形成产品编号，令所述产品编号用i表示，i的初始值为1，令i对应的产品批次为产品批次i。
步骤3、获取所述产品批次i在机台j上的作业时间，令所述产品批次i在机台j上的作业时间为PTij。
步骤4、如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和小于等于机台j的所述平均作业时间，则将所述产品批次i分配给机台j。
如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和大于机台j的所述平均作业时间则不将所述产品批次i分配给机台j，且当i小于所述产品编号最大值时i加1并重复步骤2和3，而当i大于等于所述产品编号最大值时则进行后续步骤5。
步骤5、如果j小于所述机台编号的最大值，则j加1并重复步骤2至4。
如果j大于等于所述机台编号的最大值，则进行后续步骤6。
步骤6、确定是否仍有所述产品批次未分配，如果没有未分配的所述产品批次进行步骤8；如果有未分配的所述产品批次，则进行步骤7。
步骤7、选择已分配的作业时间最小且小于最大可作业时间的机台。
将选择出来的所述机台可作业的所述产品批次进行排序，将排序最高的所述产品批次分配给所述机台，之后返回到步骤6。
步骤8、结束分配并输出分配结果。
进一步的改进是，所述机台的最大可作业时间为24小时。
本发明能在现有启发式规则方法的基础上，增加机台均衡作业时间预估装置模型，形成三阶段模型，将产品在出货等允许范围内，能较稳定的将产品根据机台可作业情况，均衡的分配给机台作业，从而能充分利用机台产能，缩短产品整体生产周期。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1是产品批次在机台上的可作业性统计表格图；
图2是现有方法中将产品批次分配到机台上分配表格图；
图3是本发明实施例设备群间动态产能的自动分配装置的示意图；
图4A是本发明实施例中获取各产品在各机台上的作业时间的示意图；
图4B是本发明实施例中获取各产品在各所述机台上的可作业状态的示意图；
图4C是本发明实施例中获取机台产能的示意图；
图4D是本发明实施例中预估各所述机台的平均作业时间的示意图；
图5是本发明实施例中产品分配装置中的分配逻辑的实现步骤的流程图；
图6是本发明实施例中递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间的示意图；
图7是本发明实施例中将产品批次分配到机台上分配表格图。
具体实施方式
如图3所示，是本发明实施例设备群间动态产能的自动分配装置的示意图；本发明实施例设备群间动态产能的自动分配装置包括：数据准备装置1、机台均衡作业时间预估装置2和产品分配装置3。
所述数据准备装置1用于获取数据，包括：获取各产品在各机台上的作业时间，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态，获取机台产能。
所述机台均衡作业时间预估装置2用于实现：根据所述数据准备装置1所获取的数据，预估各所述机台的平均作业时间，以使各所述机台能均衡作业。
所述产品分配装置3用于实现：根据各所述机台对应的平均作业时间，将所有产品分配到各所述机台，分配逻辑包括：最大限度提高可作业产品数最少的机台产能的利用率；将优先级更高的产品优先分配到各所述机台作业。
如图4A所示，所述机台分为标记103所示的有腔机台或标记102所示的无腔机台两种，所述有腔机台又分为各腔均相关、部分腔相互独立和各腔相互独立三种，分别如标记103a、103b和103c所示。
获取各产品在各机台上的作业时间根据各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间获取，所述工艺菜单包括有多个作业条件，所述作业条件中包括所述作业时间。
如图4A所示，是本发明实施例中获取各产品在各机台上的作业时间的示意图；获取各产品在各机台上的作业时间包括：
首先进行标记101所示的判定机台类型的步骤；
如标记104a对应的步骤所示，当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，直接获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间。
如标记104b对应的步骤所示，当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，将所有独立腔作为单独的机台，获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台对应的独立腔上的作业时间。
用于获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态的数据包括所述产品的抑制信息和机台状态。如图4B所示，是本发明实施例中获取各产品在各所述机台上的可作业状态的示意图；获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态包括：
如标记105a对应的步骤所示，当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，当整机的机台状态为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台上为可作业。本发明实施例中，符合所述机台的源种限制的意思为，当所述机台有源种限制时，则需要符合所述机台的源种限制；而如果所述机台没有源种限制，则不需要考虑源种限制，也即任何源种都符合。
如标记105b对应的步骤所示，当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，当整机和独立腔的机台状态都为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台的独立腔上为可作业。
如图4C所示，是本发明实施例中获取机台产能的示意图；获取机台产能包括：
如标记106所示的判断所述机台和所述产品的制程的关系，包括：多个所述制程完全共用多个所述机台，多个所述制程不完全共用多个所述机台，多个所述制程完全不共用任何所述机台，上述三种关系分别如标记107a、107b和107c所示。
根据所述机台和所述制程的关系计算机台产能，包括：
如标记108a所示，当多个所述制程完全共用多个所述机台时，将各所述制程绑定为同一组并作为同一制程进行计算，共用机台产能。
如标记108b所示，当多个所述制程不完全共用多个所述机台时，在所述机台中对各所述制程划分优先级，在分配时，根据优先级的高低，优先将产能满足优先级高的所述制程。
如标记108c所示，当多个所述制程完全不共用任何所述机台时，各所述制程所对应的所述机台均为所述制程的产能。
如图4D所示，是本发明实施例中预估各所述机台的平均作业时间的示意图；预估各所述机台的平均作业时间包括：
获取需分配的产品即如标记201所示的获取可作业产品列表。
如标记202的步骤所示，判断各所述产品在各所述机台上的可作业性。所述产品通常为一个批次的产品，令产品批次对应的产品编号用i表示以及令机台编号用j表示，令j对应的机台为机台j，令i对应的产品批次为产品批次i，标记202对应的步骤即为获取Lot i在机台j上的可作业性，可作业性用Xij表示。
假设各产品批次在各机台上的作业时间均为1，各产品批次的紧急程度相同，各机台的产能无限大，则获取获取Lot i在机台j上的可作业性可参考图1所示，产品批次包括9个依次为图1中所示的APxxxxxx1、APxxxxxx2直至APxxxxxx9，分别对应于Lot 1至Lot 9；机台则包括3个依次为图1中所示的xxx1、xxx2和xxx3，分别对应于机台1至机台3。图1中，×号表示产品批次在机台上不可作业即Xij为0，√号表示产品批次在机台上可作业即Xij为1。
计算各所述机台作业所有可作业的所述产品的实际可作业时间即如标记203所示的计算机台j的实际可作业时间ActScorej，这里ActScore表示实际可作业时间。由图1所示可知，机台xxx1上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4和APxxxxxx6这3个产品批次的产品，所以ActScore1为3；机台xxx2上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4、APxxxxxx6和APxxxxxx7这4个产品批次的产品，所以ActScore2为4；机台xxx3上能够作业APxxxxxx1、APxxxxxx2直至APxxxxxx9这9个产品批次的产品，所以ActScore3为9。
将所述机台按照所述实际可作业时间从小至大排序即如标记204所示的将所有机台按照ActScorej从小到大排序。排序后的所述机台的机台编号依次为：1，2，…，m。由于图1中仅显示了3个所述机台，按照ActScorej从小到大排序后依然为机台xxx1、机台xxx2和机台xxx3,3个机台编号依次为1,2,3。
递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间即如标记204所示根据机台顺序依次计算前n个机台的平均PT，n＝1，2，…，m，共包括m个所述平均可作业时间；由标记204的步骤可以看出，平均可作业时间采用AvgScoren表示，AvgScoren为机台集合{M1，M2，M3，...，Mn}的ActScore，M1表示机台编号为1的机台，同样M2至Mn分别表示对应编号的机台。如图6所示，是本发明实施例中递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间的示意图；n＝1时，机台集合仅为{M1}，此时机台xxx1即M1上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4和APxxxxxx6这3个产品批次的产品，故AvgScore1即Avg1为3。n＝2时，机台集合为{M1，M2}，此时机台xxx1和机台xxx2即M2上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4、APxxxxxx6和APxxxxxx7这4个产品批次的产品，故AvgScore2即Avg2为4/2＝2。n＝3时，机台集合为{M1，M2，M3}，此时机台xxx1、机台xxx2和机台xxx3即M3上能够作业APxxxxxx1至APxxxxxx9这9个产品批次的产品，故AvgScore3即Avg3为9/3＝3。
将所述机台所参与计算的所有所述平均可作业时间中的最小值作为所述机台的平均作业时间即如标记206所示的机台j的AvgScorej＝Min(含该机台的AvgScoren)。如图5所示可知，机台1即M1的AvgScorej即Avg(M1)＝Min(Avg1，Avg2，Avg3)＝Min(3,2,3)＝2；机台2即M2的AvgScorej即Avg(M2)＝Min(Avg2，Avg3)＝Min(2,3)＝2；机台3即M3的AvgScorej即Avg(M3)＝Min(Avg3)＝Min(3)＝3。
如图5所示，是本发明实施例中产品分配装置中的分配逻辑的实现步骤的流程图，所述产品分配装置3中的所述分配逻辑的实现步骤包括：
步骤1、如标记301对应的步骤所示，将所述机台按照所述平均作业时间排序并编号。
如标记302对应的步骤所示，令所述机台编号为j，j取大小为1的初始值，令j对应的机台为机台j。图7中，xxx1、xxx2和xxx3的排序不变，机台1依然为xxx1，机台2依然为xxx2，机台3依然为xxx3。
步骤2、获取所述机台j可作业的所有未分配的产品批次并将所述产品批次排序并形成产品编号，令所述产品编号用i表示，i的初始值为1，令i对应的产品批次为产品批次i。
首先、进行如标记303所示的获取机台j可作业的所有未分配Lot集j。
之后，进行如标记304所示的将集合J中的所有Lot排序并进编号By Target Lot/Step Gap/可作业机台数/CR level。
之后进行如标记305所示的令Lot编号i＝1。
由图1所示可知，对应机台xxx1，对应的Lot集j包括APxxxxxx2、APxxxxxx4和APxxxxxx6，3个产品批次的编号i分别为1,2,3，i＝1对应于APxxxxxx2。
步骤3、获取所述产品批次i在机台j上的作业时间，令所述产品批次i在机台j上的作业时间为PTij，即进行如标记306所示的获取Lot i在机台j的PTij。
步骤4、如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和小于等于机台j的所述平均作业时间，则将所述产品批次i分配给机台j。
如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和大于机台j的所述平均作业时间则不将所述产品批次i分配给机台j。
即进行如标记307所示的判断步骤：已分配机台j的UsedScorej+PTij＜＝AvgScorej。如果是则进行如标记308所示的将Loti分配给机台j的步骤，UsedScorej表示在机台j上已经分配的作业时间。如果否则进行如标记309所示的判断步骤即i＜该机台可作业Total Lot数，当i小于所述产品编号最大值时i加1即进行标记310所示步骤并重复步骤2和3，而当i大于等于所述产品编号最大值时则进行后续步骤5。
j为1以及i为1为例，所述产品批次1为APxxxxxx2，由于机台1上最初始的UsedScorej为0，机台1的AvgScorej为2，APxxxxxx2本身所具有的作业时间为1，故在步骤307中判断结果为是，APxxxxxx2会分配给机台1即xxx1，UsedScorej会变为1；之后，i加1从而变为2，i＝2对应的产品批次为APxxxxxx4，在重复步骤307时判断结果依然为是，故APxxxxxx4会分配给机台1，UsedScorej会变为2；之后，i再加1变为3，i＝3对应的产品批次为APxxxxxx6，这时再重复步骤307时，UsedScorej和APxxxxxx6的作业时间的和为3，大于AvgScorej，故判断结果为否，产品批次APxxxxxx6不会再分配给机台xxx1。由图7所示可知，产品批次APxxxxxx2和APxxxxxx4都分配给机台xxx1，但是APxxxxxx6未分配给机台xxx1。
步骤5、如果j小于所述机台编号的最大值，则j加1即进行标记311所示步骤并重复步骤2至4。
也即这时，j会加1进入步骤311。j加1后变为2，机台2对应为图7中的机台xxx2，这是再进行标记303所示步骤，可以看出，机台xxx2对应的未分配的Lot集J为APxxxxxx6和APxxxxxx7，经过和j为1时同样的循环步骤2至4可知，APxxxxxx6和APxxxxxx7都会分配到机台xxx2。
j再加1变为3后，对应的机台3为图7中的机台xxx3，机台xxx3对应的AvgScorej为3，通过和j为1同样的循环步骤2至4可以将产品批次APxxxxxx1、APxxxxxx3和APxxxxxx5分配都机台xxx3中。
如果j大于等于所述机台编号的最大值，则进行后续步骤6。也即，当标记312所示的j＜机台数为否时，进行后续标记313开始的步骤6。
步骤6、确定是否仍有所述产品批次未分配，该判断对应于标记313所示的是否仍有Lot未被分配。如果没有未分配的所述产品批次进行步骤8即标记317所示步骤；如果有未分配的所述产品批次，则进行步骤7。
步骤7、选择已分配的作业时间最小且小于最大可作业时间的机台，即标记314所示的选择已分配的UsedScore最小且小于该机台的最大可作业时间MaxScore的机台。对于图7所示情形，未分配的产品批次为APxxxxxx8和APxxxxxx9，这两个产品批次对应的可作业机台仅为机台xxx3，故标记314所选择的机台为机台xxx3。
通常，所述机台的最大可作业时间为24小时。
将选择出来的所述机台可作业的所述产品批次进行排序，即进行标记315所示的将机台可作业Lot进行排序By Target Lot/Step Gap/可作业机台数/CR Level。
将排序最高的所述产品批次分配给所述机台即进行标记316所示的将排序最高的Lot分配给该机台，则之后返回到步骤6。对于两个产品批次APxxxxxx8和APxxxxxx9，假设标记315的步骤中的排序结果为APxxxxxx8和APxxxxxx9，则标记316的步骤中会将APxxxxxx8分配给机台xxx3。APxxxxxx9则会在下一次循环中分配给机台xxx3。
步骤8、结束分配并输出分配结果，即标记317所示的分配结束，输出分配结果。
本发明实施例最后得到的分配结果如图7所示，可以看出，需要的总完成时间为5小时。和图2所示的总完成时间为6小时相比，本发明实施例充分利用到了机台xxx1的产能，最后缩短的生产周期即总完成时间。
本发明实施例能在现有启发式规则方法的基础上，增加机台均衡作业时间预估装置2模型，形成三阶段模型，将产品在出货等允许范围内，能较稳定的将产品根据机台可作业情况，均衡的分配给机台作业，从而能充分利用机台产能，缩短产品整体生产周期。
本发明实施例方法设备群间动态产能的自动分配方法包括步骤：
步骤一、进行数据准备；在所述数据准备阶段中进行数据获取，包括：获取各产品在各机台上的作业时间，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态，获取机台产能。
步骤二、进行机台均衡作业时间预估，包括：根据所述数据准备装置1所获取的数据，预估各所述机台的平均作业时间，以使各所述机台能均衡作业。
步骤三、进行产品分配，根据各所述机台对应的平均作业时间将所有产品分配到各所述机台，分配逻辑包括：最大限度提高可作业产品数最少的机台产能的利用率；将优先级更高的产品优先分配到各所述机台作业。
如图4A所示，所述机台分为标记103所示的有腔机台或标记102所示的无腔机台两种，所述有腔机台又分为各腔均相关、部分腔相互独立和各腔相互独立三种，分别如标记103a、103b和103c所示。
获取各产品在各机台上的作业时间根据各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间获取，所述工艺菜单包括有多个作业条件，所述作业条件中包括所述作业时间。
如图4A所示，是本发明实施例方法中获取各产品在各机台上的作业时间的示意图；获取各产品在各机台上的作业时间包括：
首先进行标记101所示的判定机台类型的步骤；
如标记104a对应的步骤所示，当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，直接获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间。
如标记104b对应的步骤所示，当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，将所有独立腔作为单独的机台，获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台对应的独立腔上的作业时间。
用于获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态的数据包括所述产品的抑制信息和机台状态。如图4B所示，是本发明实施例方法中获取各产品在各所述机台上的可作业状态的示意图；获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态包括：
如标记105a对应的步骤所示，当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，当整机的机台状态为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台上为可作业。
如标记105b对应的步骤所示，当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，当整机和独立腔的机台状态都为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台的独立腔上为可作业。
如图4C所示，是本发明实施例方法中获取机台产能的示意图；获取机台产能包括：
如标记106所示的判断所述机台和所述产品的制程的关系，包括：多个所述制程完全共用多个所述机台，多个所述制程不完全共用多个所述机台，多个所述制程完全不共用任何所述机台，上述三种关系分别如标记107a、107b和107c所示。
根据所述机台和所述制程的关系计算机台产能，包括：
如标记108a所示，当多个所述制程完全共用多个所述机台时，将各所述制程绑定为同一组并作为同一制程进行计算，共用机台产能。
如标记108b所示，当多个所述制程不完全共用多个所述机台时，在所述机台中对各所述制程划分优先级，在分配时，根据优先级的高低，优先将产能满足优先级高的所述制程。
如标记108c所示，当多个所述制程完全不共用任何所述机台时，各所述制程所对应的所述机台均为所述制程的产能。
如图4D所示，是本发明实施例方法中预估各所述机台的平均作业时间的示意图；预估各所述机台的平均作业时间包括：
获取需分配的产品即如标记201所示的获取可作业产品列表。
如标记202的步骤所示，判断各所述产品在各所述机台上的可作业性。所述产品通常为一个批次的产品，令产品批次对应的产品编号用i表示以及令机台编号用j表示，令j对应的机台为机台j，令i对应的产品批次为产品批次i，标记202对应的步骤即为获取Lot i在机台j上的可作业性，可作业性用Xij表示。
假设各产品批次在各机台上的作业时间均为1，各产品批次的紧急程度相同，各机台的产能无限大，则获取获取Lot i在机台j上的可作业性可参考图1所示，产品批次包括9个依次为图1中所示的APxxxxxx1、APxxxxxx2直至APxxxxxx9，分别对应于Lot 1至Lot 9；机台则包括3个依次为图1中所示的xxx1、xxx2和xxx3，分别对应于机台1至机台3。图1中，×号表示产品批次在机台上不可作业即Xij为0，√号表示产品批次在机台上可作业即Xij为1。
计算各所述机台作业所有可作业的所述产品的实际可作业时间即如标记203所示的计算机台j的实际可作业时间ActScorej，这里ActScore表示实际可作业时间。由图1所示可知，机台xxx1上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4和APxxxxxx6这3个产品批次的产品，所以ActScore1为3；机台xxx2上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4、APxxxxxx6和APxxxxxx7这4个产品批次的产品，所以ActScore2为4；机台xxx3上能够作业APxxxxxx1、APxxxxxx2直至APxxxxxx9这9个产品批次的产品，所以ActScore3为9。
将所述机台按照所述实际可作业时间从小至大排序即如标记204所示的将所有机台按照ActScorej从小到大排序。排序后的所述机台的机台编号依次为：1，2，…，m。由于图1中仅显示了3个所述机台，按照ActScorej从小到大排序后依然为机台xxx1、机台xxx2和机台xxx3,3个机台编号依次为1,2,3。
递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间即如标记204所示根据机台顺序依次计算前n个机台的平均PT，n＝1，2，…，m，共包括m个所述平均可作业时间；由标记204的步骤可以看出，平均可作业时间采用AvgScoren表示，AvgScoren为机台集合{M1，M2，M3，...，Mn}的ActScore，M1表示机台编号为1的机台，同样M2至Mn分别表示对应编号的机台。如图6所示，是本发明实施例方法中递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间的示意图；n＝1时，机台集合仅为{M1}，此时机台xxx1即M1上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4和APxxxxxx6这3个产品批次的产品，故AvgScore1即Avg1为3。n＝2时，机台集合为{M1，M2}，此时机台xxx1和机台xxx2即M2上能够作业APxxxxxx2、APxxxxxx4、APxxxxxx6和APxxxxxx7这4个产品批次的产品，故AvgScore2即Avg2为4/2＝2。n＝3时，机台集合为{M1，M2，M3}，此时机台xxx1、机台xxx2和机台xxx3即M3上能够作业APxxxxxx1至APxxxxxx9这9个产品批次的产品，故AvgScore3即Avg3为9/3＝3。
将所述机台所参与计算的所有所述平均可作业时间中的最小值作为所述机台的平均作业时间即如标记206所示的机台j的AvgScorej＝Min(含该机台的AvgScoren)。如图5所示可知，机台1即M1的AvgScorej即Avg(M1)＝Min(Avg1，Avg2，Avg3)＝Min(3,2,3)＝2；机台2即M2的AvgScorej即Avg(M2)＝Min(Avg2，Avg3)＝Min(2,3)＝2；机台3即M3的AvgScorej即Avg(M3)＝Min(Avg3)＝Min(3)＝3。
如图5所示，是本发明实施例方法中产品分配装置中的分配逻辑的实现步骤的流程图，所述产品分配装置3中的所述分配逻辑的实现步骤包括：
步骤1、如标记301对应的步骤所示，将所述机台按照所述平均作业时间排序并编号。
如标记302对应的步骤所示，令所述机台编号为j，j取大小为1的初始值，令j对应的机台为机台j。图7中，xxx1、xxx2和xxx3的排序不变，机台1依然为xxx1，机台2依然为xxx2，机台3依然为xxx3。
步骤2、获取所述机台j可作业的所有未分配的产品批次并将所述产品批次排序并形成产品编号，令所述产品编号用i表示，i的初始值为1，令i对应的产品批次为产品批次i。
首先、进行如标记303所示的获取机台j可作业的所有未分配Lot集j。
之后，进行如标记304所示的将集合J中的所有Lot排序并进编号By Target Lot/Step Gap/可作业机台数/CR level。
之后进行如标记305所示的令Lot编号i＝1。
由图1所示可知，对应机台xxx1，对应的Lot集j包括APxxxxxx2、APxxxxxx4和APxxxxxx6，3个产品批次的编号i分别为1,2,3，i＝1对应于APxxxxxx2。
步骤3、获取所述产品批次i在机台j上的作业时间，令所述产品批次i在机台j上的作业时间为PTij，即进行如标记306所示的获取Lot i在机台j的PTij。
步骤4、如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和小于等于机台j的所述平均作业时间，则将所述产品批次i分配给机台j。
如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和大于机台j的所述平均作业时间则不将所述产品批次i分配给机台j。
即进行如标记307所示的判断步骤：已分配机台j的UsedScorej+PTij＜＝AvgScorej。如果是则进行如标记308所示的将Loti分配给机台j的步骤，UsedScorej表示在机台j上已经分配的作业时间。如果否则进行如标记309所示的判断步骤即i＜该机台可作业Total Lot数，当i小于所述产品编号最大值时i加1即进行标记310所示步骤并重复步骤2和3，而当i大于等于所述产品编号最大值时则进行后续步骤5，如转到标记312所示步骤。
j为1以及i为1为例，所述产品批次1为APxxxxxx2，由于机台1上最初始的UsedScorej为0，机台1的AvgScorej为2，APxxxxxx2本身所具有的作业时间为1，故在步骤307中判断结果为是，APxxxxxx2会分配给机台1即xxx1，UsedScorej会变为1；之后，i加1从而变为2，i＝2对应的产品批次为APxxxxxx4，在重复步骤307时判断结果依然为是，故APxxxxxx4会分配给机台1，UsedScorej会变为2；之后，i再加1变为3，i＝3对应的产品批次为APxxxxxx6，这时再重复步骤307时，UsedScorej和APxxxxxx6的作业时间的和为3，大于AvgScorej，故判断结果为否，产品批次APxxxxxx6不会再分配给机台xxx1。由图7所示可知，产品批次APxxxxxx2和APxxxxxx4都分配给机台xxx1，但是APxxxxxx6未分配给机台xxx1。
步骤5、如果j小于所述机台编号的最大值，则j加1即进行标记311所示步骤并重复步骤2至4。
也即这时，j会加1进入步骤311。j加1后变为2，机台2对应为图7中的机台xxx2，这是再进行标记303所示步骤，可以看出，机台xxx2对应的未分配的Lot集J为APxxxxxx6和APxxxxxx7，经过和j为1时同样的循环步骤2至4可知，APxxxxxx6和APxxxxxx7都会分配到机台xxx2。
j再加1变为3后，对应的机台3为图7中的机台xxx3，机台xxx3对应的AvgScorej为3，通过和j为1同样的循环步骤2至4可以将产品批次APxxxxxx1、APxxxxxx3和APxxxxxx5分配都机台xxx3中。
如果j大于等于所述机台编号的最大值，则进行后续步骤6。也即，当标记312所示的j＜机台数为否时，进行后续标记313开始的步骤6。
步骤6、确定是否仍有所述产品批次未分配，该判断对应于标记313所示的是否仍有Lot未被分配。如果没有未分配的所述产品批次进行步骤8即标记317所示步骤；如果有未分配的所述产品批次，则进行步骤7。
步骤7、选择已分配的作业时间最小且小于最大可作业时间的机台，即标记314所示的选择已分配的UsedScore最小且小于该机台的最大可作业时间MaxScore的机台。对于图7所示情形，未分配的产品批次为APxxxxxx8和APxxxxxx9，这两个产品批次对应的可作业机台仅为机台xxx3，故标记314所选择的机台为机台xxx3。
通常，所述机台的最大可作业时间为24小时。
将选择出来的所述机台可作业的所述产品批次进行排序，即进行标记315所示的将机台可作业Lot进行排序By Target Lot/Step Gap/可作业机台数/CR Level。
将排序最高的所述产品批次分配给所述机台即进行标记316所示的将排序最高的Lot分配给该机台，则之后返回到步骤6。对于两个产品批次APxxxxxx8和APxxxxxx9，假设标记315的步骤中的排序结果为APxxxxxx8和APxxxxxx9，则标记316的步骤中会将APxxxxxx8分配给机台xxx3。APxxxxxx9则会在下一次循环中分配给机台xxx3。
步骤8、结束分配并输出分配结果，即标记317所示的分配结束，输出分配结果。
以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。

Claims (16)

1.一种设备群间动态产能的自动分配装置，其特征在于，包括：数据准备装置、机台均衡作业时间预估装置和产品分配装置；
所述数据准备装置用于获取数据，包括：获取各产品在各机台上的作业时间，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态，获取机台产能；
所述机台均衡作业时间预估装置用于实现：根据所述数据准备装置所获取的数据，预估各所述机台的平均作业时间，以使各所述机台能均衡作业；
所述产品分配装置用于实现：根据各所述机台对应的平均作业时间，将所有产品分配到各所述机台，分配逻辑包括：最大限度提高可作业产品数最少的机台产能的利用率；将优先级更高的产品优先分配到各所述机台作业；
预估各所述机台的平均作业时间包括：
获取需分配的产品，判断各所述产品在各所述机台上的可作业性；
计算各所述机台作业所有可作业的所述产品的实际可作业时间并将所述机台按照所述实际可作业时间从小至大排序，排序后的所述机台的机台编号依次为：1，2，…，m；
递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间，n＝1，2，…，m，共包括m个所述平均可作业时间；
将所述机台所参与计算的所有所述平均可作业时间中的最小值作为所述机台的平均作业时间；
所述产品分配装置中的所述分配逻辑的实现步骤包括：
步骤1、将所述机台按照所述平均作业时间排序并编号，令所述机台编号为j，j取大小为1的初始值，令j对应的机台为机台j；
步骤2、获取所述机台j可作业的所有未分配的产品批次并将所述产品批次排序并形成产品编号，令所述产品编号用i表示，i的初始值为1，令i对应的产品批次为产品批次i；
步骤3、获取所述产品批次i在机台j上的作业时间，令所述产品批次i在机台j上的作业时间为PTij；
步骤4、如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和小于等于机台j的所述平均作业时间，则将所述产品批次i分配给机台j；
如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和大于机台j的所述平均作业时间则不将所述产品批次i分配给机台j，且当i小于所述产品编号最大值时i加1并重复步骤2和3，而当i大于等于所述产品编号最大值时则进行后续步骤5；
步骤5、如果j小于所述机台编号的最大值，则j加1并重复步骤2至4；
如果j大于等于所述机台编号的最大值，则进行后续步骤6；
步骤6、确定是否仍有所述产品批次未分配，如果没有未分配的所述产品批次进行步骤8；如果有未分配的所述产品批次，则进行步骤7；
步骤7、选择已分配的作业时间最小且小于最大可作业时间的机台；
将选择出来的所述机台可作业的所述产品批次进行排序，将排序最高的所述产品批次分配给所述机台，之后返回到步骤6；
步骤8、结束分配并输出分配结果。
2.如权利要求1所述的设备群间动态产能的自动分配装置，其特征在于：所述机台分为有腔机台或无腔机台两种，所述有腔机台又分为各腔均相关、部分腔相互独立和各腔相互独立三种。
3.如权利要求2所述的设备群间动态产能的自动分配装置，其特征在于：获取各产品在各机台上的作业时间根据各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间获取，所述工艺菜单包括有多个作业条件，所述作业条件中包括所述作业时间。
4.如权利要求3所述的设备群间动态产能的自动分配装置，其特征在于：获取各产品在各机台上的作业时间包括：
当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，直接获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间；
当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，将所有独立腔作为单独的机台，获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台对应的独立腔上的作业时间。
5.如权利要求2所述的设备群间动态产能的自动分配装置，其特征在于：用于获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态的数据包括所述产品的抑制信息和机台状态。
6.如权利要求5所述的设备群间动态产能的自动分配装置，其特征在于：获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态包括：
当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，当整机的机台状态为可作业状态，无抑制信息，有工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台上为可作业；
当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，当整机和独立腔的机台状态都为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台的独立腔上为可作业。
7.如权利要求1所述的设备群间动态产能的自动分配装置，其特征在于：获取机台产能包括：
判断所述机台和所述产品的制程的关系，包括：多个所述制程完全共用多个所述机台，多个所述制程不完全共用多个所述机台，多个所述制程完全不共用任何所述机台；
根据所述机台和所述制程的关系计算机台产能，包括：
当多个所述制程完全共用多个所述机台时，将各所述制程绑定为同一组并作为同一制程进行计算，共用机台产能；
当多个所述制程不完全共用多个所述机台时，在所述机台中对各所述制程划分优先级，在分配时，根据优先级的高低，优先将产能满足优先级高的所述制程；
当多个所述制程完全不共用任何所述机台时，各所述制程所对应的所述机台均为所述制程的产能。
8.如权利要求1所述的设备群间动态产能的自动分配装置，其特征在于：所述机台的最大可作业时间为24小时。
9.一种设备群间动态产能的自动分配方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一、进行数据准备；在所述数据准备阶段中进行数据获取，包括：获取各产品在各机台上的作业时间，获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态，获取机台产能；
步骤二、进行机台均衡作业时间预估，包括：根据所述数据准备装置所获取的数据，预估各所述机台的平均作业时间，以使各所述机台能均衡作业；
预估各所述机台的平均作业时间包括：
获取需分配的产品，判断各所述产品在各所述机台上的可作业性；
计算各所述机台作业所有可作业的所述产品的实际可作业时间并将所述机台按照所述实际可作业时间从小至大排序，排序后的所述机台的机台编号依次为：1，2，…，m；
递增式计算前n个所述机台的平均可作业时间，n＝1，2，…，m，共包括m个所述平均可作业时间；
将所述机台所参与计算的所有所述平均可作业时间中的最小值作为所述机台的平均作业时间；
步骤三、进行产品分配，根据各所述机台对应的平均作业时间将所有产品分配到各所述机台，分配逻辑包括：最大限度提高可作业产品数最少的机台产能的利用率；将优先级更高的产品优先分配到各所述机台作业；
所述分配逻辑的实现步骤包括：
步骤1、将所述机台按照所述平均作业时间排序并编号，令所述机台编号为j，j取大小为1的初始值，令j对应的机台为机台j；
步骤2、获取所述机台j可作业的所有未分配的产品批次并将所述产品批次排序并形成产品编号，令所述产品编号用i表示，i的初始值为1，令i对应的产品批次为产品批次i；
步骤3、获取所述产品批次i在机台j上的作业时间，令所述产品批次i在机台j上的作业时间为PTij；
步骤4、如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和小于等于机台j的所述平均作业时间，则将所述产品批次i分配给机台j；
如果已分配在机台j上的作业时间和PTij的和大于机台j的所述平均作业时间则不将所述产品批次i分配给机台j，且当i小于所述产品编号最大值时i加1并重复步骤2和3，而当i大于等于所述产品编号最大值时则进行后续步骤5；
步骤5、如果j小于所述机台编号的最大值，则j加1并重复步骤2至4；
如果j大于等于所述机台编号的最大值，则进行后续步骤6；
步骤6、确定是否仍有所述产品批次未分配，如果没有未分配的所述产品批次进行步骤8；如果有未分配的所述产品批次，则进行步骤7；
步骤7、选择已分配的作业时间最小且小于最大可作业时间的机台；
将选择出来的所述机台可作业的所述产品批次进行排序，将排序最高的所述产品批次分配给所述机台，之后返回到步骤6；
步骤8、结束分配并输出分配结果。
10.如权利要求9所述的设备群间动态产能的自动分配方法，其特征在于：所述机台分为有腔机台或无腔机台两种，所述有腔机台又分为各腔均相关、部分腔相互独立和各腔相互独立三种。
11.如权利要求10所述的设备群间动态产能的自动分配方法，其特征在于：获取各产品在各机台上的作业时间根据各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间获取，所述工艺菜单包括有多个作业条件，所述作业条件中包括所述作业时间。
12.如权利要求11所述的设备群间动态产能的自动分配方法，其特征在于：获取各产品在各机台上的作业时间包括：
当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，直接获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台上的作业时间；
当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，将所有独立腔作为单独的机台，获取各所述产品对应的工艺菜单在所述机台对应的独立腔上的作业时间。
13.如权利要求10所述的设备群间动态产能的自动分配方法，其特征在于：用于获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态的数据包括所述产品的抑制信息和机台状态。
14.如权利要求13所述的设备群间动态产能的自动分配方法，其特征在于：获取各所述产品在各所述机台上的可作业状态包括：
当所述机台为所述无腔机台或者为各腔均相关的所述有腔机台时，当整机的机台状态为可作业状态，无抑制信息，有工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台上为可作业；
当所述机台为部分腔相互独立或各腔相互独立的所述有腔机台时，当整机和独立腔的机台状态都为可作业状态，无抑制信息，有所述工艺菜单以及符合所述机台的源种限制时，则所述产品在对应的所述机台的独立腔上为可作业。
15.如权利要求9所述的设备群间动态产能的自动分配方法，其特征在于：获取机台产能包括：
判断所述机台和所述产品的制程的关系，包括：多个所述制程完全共用多个所述机台，多个所述制程不完全共用多个所述机台，多个所述制程完全不共用任何所述机台；
根据所述机台和所述制程的关系计算机台产能，包括：
当多个所述制程完全共用多个所述机台时，将各所述制程绑定为同一组并作为同一制程进行计算，共用机台产能；
当多个所述制程不完全共用多个所述机台时，在所述机台中对各所述制程划分优先级，在分配时，根据优先级的高低，优先将产能满足优先级高的所述制程；
当多个所述制程完全不共用任何所述机台时，各所述制程所对应的所述机台均为所述制程的产能。
16.如权利要求9所述的设备群间动态产能的自动分配方法，其特征在于：所述机台的最大可作业时间为24小时。
CN202010392842.1A 2020-05-11 2020-05-11 设备群间动态产能的自动分配装置和方法 Active CN111539648B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010392842.1A CN111539648B (zh) 2020-05-11 2020-05-11 设备群间动态产能的自动分配装置和方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010392842.1A CN111539648B (zh) 2020-05-11 2020-05-11 设备群间动态产能的自动分配装置和方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111539648A CN111539648A (zh) 2020-08-14
CN111539648B true CN111539648B (zh) 2023-08-18

Family

ID=71975609

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010392842.1A Active CN111539648B (zh) 2020-05-11 2020-05-11 设备群间动态产能的自动分配装置和方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111539648B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112926757A (zh) * 2021-03-30 2021-06-08 上海华力微电子有限公司 一种关键批次产品的调度实现方法及系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW515967B (en) * 2001-08-17 2003-01-01 Taiwan Semiconductor Mfg Method for dispatching estimation by tool performance
CN103646301A (zh) * 2013-11-08 2014-03-19 上海华力微电子有限公司 一种炉管设备的组批派工系统和方法
CN104977903A (zh) * 2014-04-03 2015-10-14 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统
CN105652812A (zh) * 2014-11-12 2016-06-08 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种针对特殊批次货物进行预排程的系统及其方法
CN109740813A (zh) * 2018-12-29 2019-05-10 上海华力微电子有限公司 晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW515967B (en) * 2001-08-17 2003-01-01 Taiwan Semiconductor Mfg Method for dispatching estimation by tool performance
CN103646301A (zh) * 2013-11-08 2014-03-19 上海华力微电子有限公司 一种炉管设备的组批派工系统和方法
CN104977903A (zh) * 2014-04-03 2015-10-14 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统
CN105652812A (zh) * 2014-11-12 2016-06-08 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种针对特殊批次货物进行预排程的系统及其方法
CN109740813A (zh) * 2018-12-29 2019-05-10 上海华力微电子有限公司 晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111539648A (zh) 2020-08-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111539610A (zh) 一种装配车间的生产管理系统、方法、装置、设备及介质
CN111882196A (zh) 一种型材挤出生产排程方法、可读存储介质及装置
CN104636871B (zh) 一种基于数据的单阶段多产品批处理的控制方法
TWI788650B (zh) 用於半導體加工調度的方法、半導體加工調度系統和非暫時性電腦可讀儲存介質
CN111489050A (zh) 一种维修任务分配方法、系统、装置及存储介质
CN111539648B (zh) 设备群间动态产能的自动分配装置和方法
CN101436064A (zh) 用于在配方执行期间更改配方过程流程的方法及设备
CN103440545B (zh) 产品批次等级管理系统和方法
Wu et al. Dynamic dispatching and preventive maintenance for parallel machines with dispatching-dependent deterioration
CN111007823B (zh) 柔性作业车间动态调度方法及装置
CN108445853B (zh) 一种基于云数据的产能共享车间
Abu Qudeiri et al. Genetic algorithm for buffer size and work station capacity in serial-parallel production lines
CN109447428A (zh) 整车生产线序排产的确定方法、装置及智能终端
Wang et al. A simulated model for cycle time reduction by acquiring optimal lot size in semiconductor manufacturing
JP3537267B2 (ja) 設備運用方法
CN113361833B (zh) 化学机械抛光系统以及相关的派工管理方法
CN116387196B (zh) 一种晶圆的加工方法、装置、电子设备及存储介质
CN112614795A (zh) 炉管工艺的派工优化方法
CN109754133B (zh) 半导体加工设备以及fab各区的排货方法及系统
CN115438952A (zh) 一种排产方法及其相关设备
Eng et al. An Integrated Robust Optimization model of capacity planning under demand uncertainty in electronic industry
Chen et al. A new release control policy (WRELM) for semiconductor wafer fabrication facilities
Mareddy et al. Simultaneous scheduling of machines and tools without tool delay using crow search algorithm
CN101794417A (zh) 基于序号的工作流调度和业务流程建模方法
US20220283573A1 (en) Method for Allocating Resources to Machines of a Production Facility

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant