CN112614795A - 炉管工艺的派工优化方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种炉管工艺的派工优化方法，包括：对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组；采集和预测晶圆到达炉管站点的时间；根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案，以形成方案池；依次生成每一批次晶圆的方案池，每一批次晶圆的方案池都基于上一批次的方案池所生成，当某一批次晶圆具有两种或两种以上相同的派工方案时，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案，被淘汰的派工方案不能参与下一批次晶圆的方案池的形成；对所有批次晶圆进行方案池生成和派工方案淘汰，最后保留一个派工方案。本发明可以减少人工派工时间，减少因人工失误导致晶圆派工出错的几率，并且可以提高机台使用效率。

Description

炉管工艺的派工优化方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种炉管工艺的派工优化方法。
背景技术
炉管工艺机台存在多个放置晶圆的位置，由于放置位置会影响晶圆的物理和化学特性，因此生产过程中对不同产品和类型的晶圆在炉管机台的放置位置有着严格的要求。现有技术中使用的人工按现有规则将不同类型的晶圆分放到不同位置，然而这种方法可能因人为疏忽导致放置错误。并且由于人工在派工过程中考虑不全面，不充分，会导致派工不合理而导致机台产能浪费。
发明内容
本发明的目的在于提供一种炉管工艺的派工优化方法，可以减少人工，可以节省时间，从而可以提高出货效率，并且还能减少晶圆存放出错的几率。
为了达到上述目的，本发明提供了一种炉管工艺的派工优化方法，用于对多个晶圆在进行炉管工艺时的派工方法进行优化，包括：
对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组；
采集和预测晶圆到达炉管站点的时间，参照晶圆生产等级，以先进先出的原则确定晶圆的派工顺序；
根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案，所有派工方案形成方案池；
根据派工顺序依次生成每一批次晶圆的方案池，每一批次晶圆的方案池都基于上一批次的方案池所生成，当某一批次晶圆具有两种或两种以上相同的派工方案时，对相同的派工方案进行比较，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案，被淘汰的派工方案不能参与下一批次晶圆的方案池的形成；
对所有批次晶圆进行方案池生成和派工方案淘汰，最后保留一个派工方案。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组的方法包括：
获取不同产品的晶圆在炉管站点的允许存放的位置；
按照允许存放的位置依次对工单内的晶圆进行标记；
将工单内标记一致的晶圆分为同一组。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，按照允许存放的位置依次对工单内的晶圆进行标记的方法包括：若能存放在机台某一位置的格子内，则标记为1，若不能存放在机台某一位置的格子内，则标记为0；依次判断完所有晶圆，以得到完整标记。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，将工单内标记一致的晶圆分为同一组的方法包括：将完整标记相同的晶圆分为同一组。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，每一个位置的格子最多能够放12片或13片晶圆。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，采集和预测晶圆到达炉管站点的时间，在考虑晶圆生产等级的基础上，以先进先出的原则确定组内晶圆的派工顺序的方法包括：
以炉管站点当站和炉管站点前几个站点的晶圆信息为基础，获取晶圆到达炉管站点时间；
考虑晶圆生产等级，以先进先出的原则确定派工顺序。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，以炉管站点当站和炉管站点前几个站点的晶圆信息为基础，获取晶圆到达炉管站点时间的方法包括：
对于炉管站点前几个站点的晶圆，依据历史数据中该产品的晶圆在各站点作业时间的统计值，以求和的方式估算出该晶圆到达炉管站点的时间。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，参照晶圆生产等级的方法包括，对于高生产等级的晶圆，放入高生产等级的序列，对于一般等级的晶圆，放入一般等级的队列，所述高生产等级和所述一般等级均为发明人的设定的等级。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案的方法包括：按照机台位置顺序挑选能用的晶圆，每个能用的晶圆组合成为一个派工方案，其中也包括机台位置空置的方案。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，下一批次晶圆的方案池的形成是基于上一批次晶圆的方案池所生成，在下一批次晶圆的方案池生成过程中，下一批次晶圆的派工方案不能和上一批次晶圆的派工方案选择同一片晶圆。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，当某一批次晶圆具有两种及以上相同的派工方案时，对相同的派工方案进行比较，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案的方法包括：
对每个派工方案的价值赋分；
淘汰分数低的派工方案。
可选的，在所述的炉管工艺的派工优化方法中，对派工方案的价值赋分的项目包括：该派工方案在单位时间内的产能；机台相邻位置是否放置同一工单的晶圆；高等级晶圆是否优先派。
在本发明提供的一种炉管工艺的派工优化方法中，每一批次晶圆参照上一批次晶圆的派工方案，生成方案池并选出此批次晶圆的最优的派工方案。相比于现有技术中人工决定的派工方案，本发明可以减少人工派工时间，减少因人工失误导致晶圆派工出错的几率，并且可以提高机台使用效率，提升工厂出货速度。
附图说明
图1是本发明实施例的炉管工艺的派工优化方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。
参照图1，本发明提供了一种炉管工艺的派工优化方法，用于对多个晶圆在进行炉管工艺时的派工方法进行优化，包括：
S11：对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组；
S12：采集和预测晶圆到达炉管站点的时间，参照晶圆生产等级，以先进先出的原则确定晶圆的派工顺序；
S13：根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案，所有派工方案形成方案池；
S14：根据派工顺序依次生成每一批次晶圆的方案池，每一批次晶圆的方案池都基于上一批次的方案池所生成，当某一批次晶圆具有两种或两种以上相同的派工方案时，对相同的派工方案进行比较，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案，被淘汰的派工方案不能参与下一批次晶圆的方案池的形成；
S15：对所有批次晶圆进行方案池生成和派工方案淘汰，最后保留一个派工方案。
本发明实施例中，对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组的方法包括：
获取不同产品晶圆在炉管站点的允许存放位置；
按照允许存放位置依次对工单内的晶圆进行标记；
将工单内标记一致的晶圆分为同一组。
每个工单(lot)包含的数据可能不同，从数据库中抓取线上工单信息，包括站点信息，晶圆数量，工单等级(晶圆生产等级)等信息，依据历史数据中该产品的晶圆在各站点作业时间的统计值，以求和的方式估算出该晶圆到达炉管站点的时间。对获取的工单根据等级，分组信息，晶圆数量进行分类。而分组信息是指各个产品的晶圆允许放置于机台中的位置，也就是说可以据此判断此工单中的晶圆能否放置于机台中的某个位置。
本发明实施例中，按照允许存放位置依次对工单内的晶圆进行标记方法包括：若能存放在某一组的格子内，则标记为1，若不能存放在某一组的格子内，则标记为0；依次判断完所有组，以得到完整标记。将工单内标记一致的晶圆分为同一组的方法包括：将完整标记相同的晶圆分为同一组。
本发明实施例中，每一个位置的格子最多能够放12片或13片晶圆。
例如，一个炉管内分为底层、下层和上层，其中底层有一个位置可以放置13片晶圆，下层和上层分别有两个位置可以放置25片晶圆。底层、下层和上层按照从下到上依次设置在炉管内。每一层可以存放十多片晶圆，首先将这三层分为五个位置，上层为1号位和2号位，下层为3号位和4号位，底层为5号位。所有晶圆都是按产品设定位置约束，如果在1号位可以存放，则在此做个可以存放的标记，例如，标记为1，如果不可以存放就标记为0；接着，判断2号位，可以存放的标记，标记为1，如果不可以存放就标记为0；接着，判断第3号位，可以存放的标记，标记为1，如果不可以存放就标记为0；接着，又判断4号位，可以存放的标记，标记为1，如果不可以存放就标记为0；最后，判断5号位，可以存放的标记，标记为1，如果不可以存放就标记为0。假设第一个单位晶圆判断完成后的总的标记为01110。如果第二单位的晶圆判断完成后总的标记也为01110，那么就将两个单位晶圆分为同一组。最后这样可以把所有晶圆分为一组、两组甚至多组。
进一步的，采集和预测晶圆到达炉管站点的时间，在考虑晶圆生产等级的基础上，以先进先出的原则确定组内晶圆的派工顺序的方法包括：以炉管站点当站和炉管站点前几个站点的晶圆信息为基础，获取晶圆到达炉管站点时间；考虑晶圆生产等级，以先进先出的原则确定派工顺序。具体的，对于炉管站点前几个站点的晶圆，依据历史数据中该产品的晶圆在各站点作业时间的统计值，以求和的方式估算出该晶圆到达炉管站点的时间。
进一步的，参照晶圆生产等级的方法包括，对于高生产等级的晶圆，放入高生产等级的序列，对于一般等级的晶圆，放入一般等级的队列，所述高生产等级和所述一般等级均为发明人的设定的等级。高生产等级的等级大于一般等级，这只是对晶圆等级的一个划分，具体的划分方法为现有技术，由发明人决定。高生产等级的晶圆一般是工期比较紧张的晶圆，或者试产中的晶圆，因为试产进度会影响整个项目的进度。一般等级大批量出货的晶圆一般都是正常等级。
进一步的，根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案的方法包括：按照机台位置顺序挑选能用的晶圆，每个能用的晶圆组合成为一个派工方案，其中也包括机台位置空置的方案。下一批次晶圆的方案池的形成是基于上一批次晶圆的方案池所生成，在下一批次晶圆的方案池生成过程中，下一批次晶圆的派工方案不能和上一批次晶圆的派工方案选择同一片晶圆。
例如，根据晶圆在炉管机台中的分组信息，生成第一批次晶圆的所有晶圆的派工方案，形成方案池。假设有3个工单(lot)各25片的晶圆A、B、C标记分别为00110、11000、00111。则在第一批次晶圆中，这3个工单的晶圆可以采用如下放置方式：BBAAC、BBCC_、BBACC或者BBCAC等，这些放置方式都是可行的派工方案，这些放置方式形成这一批次晶圆的方案池。当然这些只是作为讲解实例的例子，在本发明的其他实施例中，还可能有更多的其他的放置方式，这样就可能有更多的派工方法。在第二批次晶圆及以后批次的晶圆，每一批次晶圆的方案池都基于上一批次晶圆的方案池所生成，当其中某一批次晶圆具有两种或两种以上的派工方案时，则对这些派工方案进行比较，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案，被淘汰的派工方案在下一批次不能参与到下一次晶圆的派工方案的生成中。
接着，将对多批次晶圆进行派工方案优化，每一个批次都是在基于上一批次方案池的基础上进行。在具体操作时，会假设已经按照上一批次的方案池中的派工方案进行派工，然后在此基础上选择新的备选派工方案，此批次晶圆的派工方案是上一批次晶圆的派工方案与新的备选派工方案的组合，此批次晶圆的方案池由所有此批次晶圆的派工方案构成。最后，再不断地筛选和淘汰，最后方案池中仅会剩余唯一的派工方案，该方案即为最终选择的炉管工艺派工方案。
其中，筛选和淘汰是指，当某一批次晶圆具有两种及以上相同的派工方案时，对相同的派工方案进行比较，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案的方法包括：对每个派工方案的价值赋分；淘汰分数低的派工方案。具体的，对派工方案的价值赋分的项目包括：该派工方案在单位时间内的产能；机台相邻位置是否放置同一工单(lot)的晶圆；高等级晶圆是否优先派。
对相同的派工方案进行比较时，要求待比较的派工方案具有如下特征：待比较的派工方案须在完工晶圆的数量、晶圆分组方式以及每片晶圆的生产等级均相同。同样以上述3个工单为例，方案BBACC和方案BBCAC作业的晶圆数量和类型都一致，但由于BBCAC不满足机台相邻位置放置同一工单的晶圆的原则，因此比方案BBACC劣势，该派工方案将被淘汰。而其他方案例如BBAAC和BBCC_、不满足比较条件，均会保留于此批次晶圆的方案池中。
优选的，炉管工艺的派工优化方法针对的晶圆是处于正常生产流程中的晶圆，不考虑工程片、试验片或处于其他异常状态中的晶圆。
在本发明实施例提供的一种炉管工艺的派工优化方法中，每一批次晶圆参照上一批次晶圆的派工方案，按照派工顺序来确定上一批次和下一批次的顺序。生成方案池并选出此批次晶圆的最优的派工方案。相比于现有技术中人工决定的派工方案，本发明可以减少人工派工时间，减少因人工失误导致晶圆派工出错的几率，并且可以提高机台使用效率，提升工厂出货速度。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种炉管工艺的派工优化方法，用于对多个晶圆在进行炉管工艺时的派工方法进行优化，其特征在于，包括：
对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组；
采集和预测晶圆到达炉管站点的时间，参照晶圆生产等级，以先进先出的原则确定晶圆的派工顺序；
根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案，所有派工方案形成方案池；
根据派工顺序依次生成每一批次晶圆的方案池，每一批次晶圆的方案池都基于上一批次的方案池所生成，当某一批次晶圆具有两种或两种以上相同的派工方案时，对相同的派工方案进行比较，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案，被淘汰的派工方案不能参与下一批次晶圆的方案池的形成；
对所有批次晶圆进行方案池生成和派工方案淘汰，最后保留一个派工方案。
2.如权利要求1所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组的方法包括：
获取不同产品的晶圆在炉管站点的允许存放的位置；
按照允许存放的位置依次对工单内的晶圆进行标记；
将工单内标记一致的晶圆分为同一组。
3.如权利要求2所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，按照允许存放的位置依次对工单内的晶圆进行标记的方法包括：若能存放在机台某一位置的格子内，则标记为1，若不能存放在机台某一位置的格子内，则标记为0；依次判断完所有晶圆，以得到完整标记。
4.如权利要求3所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，将工单内标记一致的晶圆分为同一组的方法包括：将完整标记相同的晶圆分为同一组。
5.如权利要求3所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，每一个位置的格子最多能够放12片或13片晶圆。
6.如权利要求1所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，采集和预测晶圆到达炉管站点的时间，在考虑晶圆生产等级的基础上，以先进先出的原则确定组内晶圆的派工顺序的方法包括：
以炉管站点当站和炉管站点前几个站点的晶圆信息为基础，获取晶圆到达炉管站点时间；
考虑晶圆生产等级，以先进先出的原则确定派工顺序。
7.如权利要求6所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，以炉管站点当站和炉管站点前几个站点的晶圆信息为基础，获取晶圆到达炉管站点时间的方法包括：
对于炉管站点前几个站点的晶圆，依据历史数据中该产品的晶圆在各站点作业时间的统计值，以求和的方式估算出该晶圆到达炉管站点的时间。
8.如权利要求7所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，参照晶圆生产等级的方法包括，对于高生产等级的晶圆，放入高生产等级的序列，对于一般等级的晶圆，放入一般等级的队列，所述高生产等级和所述一般等级均为发明人的设定的等级。
9.如权利要求1所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案的方法包括：按照机台位置顺序挑选能用的晶圆，每个能用的晶圆组合成为一个派工方案，其中也包括机台位置空置的方案。
10.如权利要求1所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，下一批次晶圆的方案池的形成是基于上一批次晶圆的方案池所生成，在下一批次晶圆的方案池生成过程中，下一批次晶圆的派工方案不能和上一批次晶圆的派工方案选择同一片晶圆。
11.如权利要求1所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，当某一批次晶圆具有两种及以上相同的派工方案时，对相同的派工方案进行比较，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案的方法包括：
对每个派工方案的价值赋分；
淘汰分数低的派工方案。
12.如权利要求11所述的炉管工艺的派工优化方法，其特征在于，对派工方案的价值赋分的项目包括：该派工方案在单位时间内的产能；机台相邻位置是否放置同一工单的晶圆；高等级晶圆是否优先派工。
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