CN103646301B - 一种炉管设备的组批派工系统和方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种炉管设备的组批派工系统，包括设置装置，采集装置，分配装置，计算装置以及排序装置。本发明还公开了一种炉管设备的组批派工方法。本发明具有如下优点或者有益效果：采用本发明的方法和系统，通过计算等待作业的所有组批制品的组批分数，并对组批分数进行排序，由排序结果决定炉管设备的派工；避免了操作人员在制品列表中寻找、判断制品时带来的疏失，兼顾生产效率和不同优先级等级制品的成产周期，无需大量的循环运算和逻辑判断，提高了炉管设备的生产效率。

Description

一种炉管设备的组批派工系统和方法

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种炉管设备的组批派工系统和方法。

背景技术

在半导体生产制造过程中，对炉管设备的组批派工一直是个难题。由于炉管设备作业时间长，可多批次制品（lot）同时作业，所以使得操作者在作业时难以兼顾效率和优先级。若按照业界的自动派货规则，这需要大量的循环运算和逻辑判断。

中国专利（公开号：CN101996359A）公开了一种半导体制造过程的派工方法，包括：判断在制品中是否包括最大允许等待时间小于设定值的在制品；若该在制品中包括最大允许等待时间小于设定值的在制品，且制造系统正在运行次要产品或所述在制品中包括触发产品，则首先派工最大允许等待时间小于设定值的在制品，之后派工最大允许等待时间不小于设定值的次要产品，最后派工最大允许等待时间不小于设定值的主要产品。该发明根据设备的运行状况、在制品的最大允许等待时间、等待时间、优先级、片数以及过货时间等因素灵活地实现派工控制，既保证了在制品的品质，又充分利用了光刻设备的产能。

中国专利（公开号：CN1763666）公开了一种自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品，具体涉及一种计算机可实现的自动派工方法，其适用于以载具进行馈入的批次制程设备中。该发明所提的方法及系统首先将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较，当载具的目前占有率小于最佳占有率时，保留载具所载物件的分配信息，并将载具中的物件进行结合。然后，由批次制程设备处理已结合的物件。于处理完成后，根据所保留的分配信息将物件分配于载具中。该发明所述的自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品，有效地解决批次制程设备因载具占有率不足所导致的效能问题。

由上述两个专利可知，现有的自动派工方法需要大量的循环运算和逻辑判断，操作人员在制品列表中寻找、判断制品时很容易存在疏失，从而导致急需作业的制品被耽搁，降低了炉管设备的生产效率。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种炉管设备的组批派工系统和方法，使得炉管设备的组批派工无需大量的循环运算和逻辑判断，减少人为判断的疏失，提高了炉管设备的生产效率。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种炉管设备的组批派工方法，其中，采用如下步骤：

步骤S1，设置权重分配规则；

步骤S2，采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；

步骤S3，根据所述权重分配规则和所述作业信息分配所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重；

步骤S4，根据所述作业信息计算程序系数，然后根据所述制品数量信息、所述制品权重和所述程序系数计算所述等待作业的所有组批制品的组批分数；

步骤S5，对所述等待作业的所有组批制品按照所述组批分数从高到低进行组批排序，根据所述组批排序进行组批派工。

上述的炉管设备的组批派工方法，其中，在所述步骤S1中，所述权重分配规则为根据组批制品中每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级以及许容时间分配不同制品权重的规则。

上述的炉管设备的组批派工方法，其中，所述炉管作业的步骤为将组批制品中每个批次的制品到炉管作业的过程分为十个步骤，其中，第十个步骤为当前炉管作业步骤，设置第十个步骤的步骤权重为100%，从第十个步骤到第一个步骤的步骤权重依次递减10%。

上述的炉管设备的组批派工方法，其中，在所述步骤S2中，所述作业信息包括所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间，以及所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级和许容时间；在所述步骤S3中，所述制品权重包括根据所述权重分配规则和所述作业信息分配的步骤权重、等级权重和许容时间权重。

上述的炉管设备的组批派工方法，其中，在所述步骤S4中，所述程序系数为通过所述作业信息中的所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间分别除以炉管设备的所有程序平均作业时间得到的不同的数值；

所述组批分数的计算方法为：

组批分数=（Σ等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重）/程序系数。

一种炉管设备的组批派工系统，其中，包括：

设置装置，用于设置权重分配规则；

采集装置，用于采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；

分配装置，用于根据所述权重分配规则和所述作业信息分配所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重；

计算装置，用于根据所述作业信息计算程序系数，然后根据所述制品数量信息、所述制品权重和所述程序系数计算所述等待作业的所有组批制品的组批分数；

排序装置，用于对所述等待作业的所有组批制品按照所述组批分数从高到低进行组批排序，根据所述组批排序进行组批派工。

上述的炉管设备的组批派工系统，其中，在所述设置装置中，所述权重分配规则为根据组批制品中每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级以及许容时间分配不同制品权重的规则。

上述的炉管设备的组批派工系统，其中，所述炉管作业的步骤为将组批制品中每个批次的制品到炉管作业的过程分为十个步骤，其中，第十个步骤为当前炉管作业步骤，设置第十个步骤的步骤权重为100%，从第十个步骤到第一个步骤的步骤权重依次递减10%。

上述的炉管设备的组批派工系统，其中，在所述采集装置中，所述作业信息包括所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间，以及所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级和许容时间；在所述分配装置中，所述制品权重包括根据所述权重分配规则和所述作业信息分配的步骤权重、等级权重和许容时间权重。

上述的炉管设备的组批派工系统，其中，在所述计算装置中，所述程序系数为通过所述作业信息中的所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间分别除以炉管设备的所有程序平均作业时间得到的不同的数值；

所述组批分数的计算方法为：

组批分数=（Σ等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重）/程序系数。

本发明具有如下优点或者有益效果：

采用本发明的方法和系统，通过计算等待作业的所有组批制品的组批分数，并对组批分数进行排序，由排序结果决定炉管设备的派工；避免了操作人员在制品列表中寻找、判断制品时带来的疏失，兼顾生产效率和不同优先级等级制品的成产周期，无需大量的循环运算和逻辑判断，提高了炉管设备的生产效率。

具体附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是本发明第一实施方式的流程示意图；

图2是本发明第二实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

本发明的第一实施方式涉及一种炉管设备的组批派工方法。具体流程如图1所示，采用如下步骤：

步骤S1，设置权重分配规则，权重分配规则为根据组批制品中每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级以及许容时间分配不同制品权重的规则。

在本实施方式中，炉管作业的步骤为将组批制品中每个批次的制品到炉管作业的过程分为十个步骤，其中，第十个步骤为当前炉管作业步骤，设置第十个步骤的步骤权重为100%，从第十个步骤到第一个步骤的步骤权重依次递减10%。

优先级等级的权重分配规则为将组批制品按照第一优先级、第二优先级、第三优先级和一般优先级分配等级权重，比如，第一优先级的等级权重为2，第二优先级的等级权重为1.5，第三优先级的等级权重为1.2，一般优先级的等级权重为1。

许容时间（Q-time）是指制品在上一作业中完成后到炉管设备作业的过程中的最大允许等待时间，对于许容时间的权重分配规则为将即将超过许容时间的一批次制品的许容时间权重设为3，其余批次制品的许容时间权重设为1。

此外，炉管设备作业的每个组批制品中包括不超过五个批次的制品，每个批次的制品数量不超过25。

步骤S2，采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息，其中，作业信息包括等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间，以及等待作业的所有组批制品中的每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级和许容时间。

在本实施方式中，存在两个组批制品，一批为XXX组批制品，另一批为YYY组批制品。在XXX组批制品中包括三个批次制品，每个批次制品的制品数量均为25片，且三个批次制品处于炉管作业的步骤分别为第七个步骤、第八个步骤和第十个步骤，其中，第七个步骤的优先级等级为第一优先级，第八个步骤的优先级等级为第二优先级，第十个步骤的优先级等级为一般优先级。在YYY组批制品中包括五个批次制品，每个批次制品的制品数量均为25片，且五个批次制品均处于炉管作业的第十个步骤，其中一个批次制品的优先级等级为第三优先级，其余四个批次制品的优先级等级为一般优先级。

步骤S3，根据权重分配规则和作业信息分配等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重，其中，制品权重包括根据权重分配规则和作业信息分配的步骤权重、等级权重和许容时间权重。

在本实施方式中，对XXX组批制品和YYY组批制品的制品权重分配及每个批次制品数量的关系如下表1和表2所示：

表1

其中，XXX组批制品中，第一批次制品的制品数量为25，步骤权重为70%，等级权重为2，许容时间权重为1；第二批次制品的制品数量为25，步骤权重为80%，等级权重为1.5，许容时间权重为1；第三批次制品的制品数量为25，步骤权重为100%，等级权重为1，许容时间权重为1。

表2

其中，YYY组批制品中，第一批次制品的制品数量为25，步骤权重为100%，等级权重为1.2，许容时间权重为1；第二～五批次制品的制品数量均为25（表2中为四个批次制品的制品数量共计100），步骤权重均为100%，等级权重均为1，许容时间权重均为1。

步骤S4，根据作业信息计算程序系数，然后根据制品数量信息、制品权重和程序系数计算等待作业的所有组批制品的组批分数；其中，程序系数为通过作业信息中的等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间分别除以炉管设备的所有程序平均作业时间得到的不同的数值，由于炉管设备的所有程序进行作业的时间有长有短，计算得到的程序系数也有大有小，可以将其用百分比的形式表达，通常，作业时间短的程序在组批派工时会更优先。

在本实施方式中，XXX组批制品中的程序系数为67%，YYY组批制品中的程序系数为117%；组批分数的计算方法为：

组批分数=（Σ等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重）/程序系数。即：

XXX组批制品的组批分数=（XXX组批制品中的第一批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重+XXX组批制品中的第二批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重+XXX组批制品中的第三批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重）/程序系数=（25*70%*2*1+25*80%*1.5*1+25*100%*1*1）/67%=135。

同理，YYY组批制品的组批分数=111.4。

步骤S5，对等待作业的所有组批制品按照组批分数从高到低进行组批排序，根据组批排序进行组批派工。

在本实施方式中，XXX组批制品的组批分数明显高于YYY组批制品，因此，组批排序为：XXX组批制品、YYY组批制品，即优先对排序在前的XXX组批制品进行炉管设备的组批派工。

另外，本实施方式中的制品指晶圆。

本实施方式通过计算等待作业的所有组批制品的组批分数，并对组批分数进行排序，由排序结果决定炉管设备的派工；避免了人为判断派工顺序的疏失，兼顾生产效率和不同优先级等级制品的成产周期，方法简单，无需大量的循环运算和逻辑判断，提高了炉管设备的生产效率。

上面各种方法的步骤划分，只是为了描述清楚，实现时可以合并为一个步骤或者对某些步骤进行拆分，分解为多个步骤，只要包含相同的逻辑关系，都在本专利的保护范围内；对算法中或者流程中添加无关紧要的修改或者引入无关紧要的设计，但不改变其算法和流程的核心设计都在该专利的保护范围内。

本发明第二实施方式涉及一种炉管设备的组批派工系统，如图2所示，包含：

设置装置，用于设置权重分配规则。

采集装置，用于采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息。

分配装置，用于根据权重分配规则和作业信息分配等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重。

计算装置，用于根据作业信息计算程序系数，然后根据制品数量信息、制品权重和程序系数计算等待作业的所有组批制品的组批分数。

排序装置，用于对等待作业的所有组批制品按照组批分数从高到低进行组批排序，根据组批排序进行组批派工。

不难发现，本实施方式为与第一实施方式相对应的系统实施例，本实施方式可与第一实施方式互相配合实施。第一实施方式中提到的相关技术细节在本实施方式中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施方式中提到的相关技术细节也可应用在第一实施方式中。

值得一提的是，本实施方式中所涉及到的各模块均为逻辑模块，在实际应用中，一个逻辑单元可以是一个物理单元，也可以是一个物理单元的一部分，还可以以多个物理单元的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施方式中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的单元引入，但这并不表明本实施方式中不存在其它的单元。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现变化例，这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (6)

1.一种炉管设备的组批派工方法，其特征在于，采用如下步骤：

步骤S1，设置权重分配规则；

步骤S2，采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；

步骤S3，根据所述权重分配规则和所述作业信息分配所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重；

步骤S4，根据所述作业信息计算程序系数，然后根据所述制品数量信息、所述制品权重和所述程序系数计算所述等待作业的所有组批制品的组批分数；

步骤S5，对所述等待作业的所有组批制品按照所述组批分数从高到低进行组批排序，根据所述组批排序进行组批派工；

在所述步骤S1中，所述权重分配规则为根据组批制品中每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级以及许容时间分配不同制品权重的规则；

在所述步骤S4中，所述程序系数为通过所述作业信息中的所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间分别除以炉管设备的所有程序平均作业时间得到的不同的数值；

所述组批分数的计算方法为：

组批分数＝(Σ等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重)/程序系数。

2.根据权利要求1所述的炉管设备的组批派工方法，其特征在于，所述炉管作业的步骤为将组批制品中每个批次的制品到炉管作业的过程分为十个步骤，其中，第十个步骤为当前炉管作业步骤，设置第十个步骤的步骤权重为100％，从第十个步骤到第一个步骤的步骤权重依次递减10％。

3.根据权利要求1所述的炉管设备的组批派工方法，其特征在于，在所述步骤S2中，所述作业信息包括所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间，以及所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级和许容时间；在所述步骤S3中，所述制品权重包括根据所述权重分配规则和所述作业信息分配的步骤权重、等级权重和许容时间权重。

4.一种炉管设备的组批派工系统，其特征在于，包括：

设置装置，用于设置权重分配规则；

采集装置，用于采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；

分配装置，用于根据所述权重分配规则和所述作业信息分配所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重；

计算装置，用于根据所述作业信息计算程序系数，然后根据所述制品数量信息、所述制品权重和所述程序系数计算所述等待作业的所有组批制品的组批分数；

排序装置，用于对所述等待作业的所有组批制品按照所述组批分数从高到低进行组批排序，根据所述组批排序进行组批派工；

在所述设置装置中，所述权重分配规则为根据组批制品中每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级以及许容时间分配不同制品权重的规则；

在所述采集装置中，所述作业信息包括所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间，以及所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级和许容时间；在所述分配装置中，所述制品权重包括根据所述权重分配规则和所述作业信息分配的步骤权重、等级权重和许容时间权重。

5.根据权利要求4所述的炉管设备的组批派工系统，其特征在于，所述炉管作业的步骤为将组批制品中每个批次的制品到炉管作业的过程分为十个步骤，其中，第十个步骤为当前炉管作业步骤，设置第十个步骤的步骤权重为100％，从第十个步骤到第一个步骤的步骤权重依次递减10％。

6.根据权利要求4所述的炉管设备的组批派工系统，其特征在于，在所述计算装置中，所述程序系数为通过所述作业信息中的所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间分别除以炉管设备的所有程序平均作业时间得到的不同的数值；

所述组批分数的计算方法为：

组批分数＝(Σ等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重)/程序系数。