CN103559566A

CN103559566A - 一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法

Info

Publication number: CN103559566A
Application number: CN201310220485.0A
Authority: CN
Inventors: 沈晓栋; 娄晓祺; 邵雄
Original assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Current assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date: 2013-06-04
Filing date: 2013-06-04
Publication date: 2014-02-05
Anticipated expiration: 2033-06-04
Also published as: CN103559566B

Abstract

本发明公开了一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其应用于设有输入单元、计算统计单元和控制单元的主机系统以及派工系统上，其中，采用如下步骤：建立一数据记录的数据库；设定制程机台在规定生产时间范围或规定产品批数范围内无缺陷扫描结果的警告值和限定值；通过所述输入单元将所述制程机台每批产品生产完成时的生产数据输入到所述数据库中；通过所述计算统计单元对所述生产数据和所述警告值、所述限定值进行计算统计。本发明实现了控制任一制程机台在固定时间范围内或者在固定产品批数范围内有缺陷扫描结果，通过定时对缺陷扫描结果监控，能够及时发现有问题的机台或产品，避免或者减小产品良率的损失。

Description

一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法

技术领域

本发明涉及半导体生产自动化控制和半导体缺陷扫描自动化控制技术领域，尤其涉及一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法。

背景技术

目前半导体生产的自动化已经可以实现自动根据工艺流程定义生产，自动记录生产过程记录，而对于制程机台在自动化生产过程中，能够使产出的产品在一定时间范围内或者一定批数内有扫描缺陷的结果的控制方面，行业内并不多，而对于缺陷扫描的对于良率来说非常重要，若能够做到定时、定批数得到扫描结果或者说若超过定时定批数强制得出扫描结果的话，将能够有效提高缺陷扫描的效果。

而现在行业内进入缺陷扫描的方法是通过对产品工艺流程中抽样的一种设置，如下述两个专利：

中国发明专利（公开号：CN101452027）公开了一种晶圆的出货品质保证检测方法，包括：将晶圆分成若干区域，每一区域内包括若干个芯片，其中每一区域内的芯片数量相等或至多相差1个；根据晶圆的质量等级确定需要检测的芯片的最少数量；根据需要检测的芯片的最少数量，在所述区域内随机选取芯片进行检测，其中每一区域内检测的芯片数量相同或至多相差1个。该发明的检测方法是随机选择芯片进行检测的，在不增加检测芯片数量的情况下，检测到了更大的晶圆区域，通过对多个晶圆抽样，实现了对晶圆大部分区域芯片的检测，提高了检测结果的精确度。

中国发明专利申请（公开号：CN1590989）公开了一种缺陷分析抽样控制系统及方法，其包括一基本设定模块、批次设定模块及在制品预测模块，该基本设定模块与批次设定模块是针对不同的产品种类进行选择，以选择设定相对的抽样规则，并对各批次的抽样规则作设定；再配合在制品预测模块来记录所有进行中的产品，以提供查看该产品的状态与进度。该发明可解决现有技术存在的分析抽样控制困难的缺陷，以应映产品的多样性，使各产品抽样规则的控制和调整更加简便，并使抽样规则的设置更加灵活。

缺陷扫描的抽样是通过当产品达到扫描区域时若设定了抽样就进入扫描，若没有设定抽样，就自动跳过此步骤的方法，这样的数据控制结果，大大简化了设定任意一个产品进入缺陷扫描区域的过程。但往往在产品流程数据生成后就固定，除非人为去干预，强制指定产品进入缺陷扫描区域才能得到扫描结果。

对于制程机台来说，虽然缺陷扫描已经定义了抽样比率，但往往同一种类的机台，半导体生产中往往不止一台甚至十几台，这样很有可能抽样的产品在很长一段时间没有经过需要监控的制程机台，而对于机台和工艺角度讲，机台可能在这一段时间受到其他因素的影响，若没有被缺陷扫描过，而产生一定损失，造成产品良率的损失。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其应用于设有输入单元、计算统计单元和控制单元的主机系统以及派工系统上，其中，采用如下步骤：建立一数据记录的数据库；设定制程机台在规定生产时间范围或规定产品批数范围内无缺陷扫描结果的警告值和限定值；通过所述输入单元将所述制程机台每批产品生产完成时的生产数据输入到所述数据库中；通过所述计算统计单元对所述生产数据和所述警告值、所述限定值进行计算统计，当所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数超过警告值、而未超过限定值时，由所述派工系统对所述制程机台的产品进行缺陷扫描派工，以得到缺陷扫描结果；当所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数超过限定值时，由所述控制单元控制所述制程机台自动停止工作。

上述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其中，所述限定值大于所述警告值。

上述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其中，通过所述计算统计单元对所述生产数据和所述警告值、所述限定值进行计算统计的具体方法为：判断所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数是否超过所述警告值，若否，则所述制程机台继续工作；若是，则继续判断所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数是否超过所述限定值，若否，则由派工系统对制程机台的最后一批产品进行缺陷扫描派工，以得到缺陷扫描结果；若是，则由所述控制单元控制所述制程机台自动停止工作。

上述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其中，还包括：得到所述缺陷扫描结果后，由所述计算统计单元自动删除所述生产数据，再重复所述生产数据输入、计算统计步骤，根据缺陷扫描结果控制制程机台。

上述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其中，还包括：由所述控制单元控制所述制程机台自动停止工作后，所述控制单元通过通讯方式通知工程师，所述工程师对所述制程机台的最后一批产品进行强制缺陷扫描派工处理，得到缺陷扫描结果后，由所述控制单元控制所述制程机台重新恢复工作。

上述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其中，由所述控制单元控制所述制程机台重新恢复工作后，由所述计算统计单元自动删除所述生产数据，再重复所述生产数据输入、计算统计步骤，根据缺陷扫描结果控制制程机台。

上述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其中，所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间为最后一批产品生产完成时间与第一批产品生产完成时间之间的时间差值。

上述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其中，所述生产数据中无缺陷扫描结果的产品批数为当前生产产品的总批数。

上述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其中，所述生产数据包括制程机台编号、每批产品编号、每批产品生产完成时间、是否必须进行缺陷扫描以及最后一批产品生产完成时间和当前生产产品的总批数。

本发明具有如下优点或者有益效果：

1、实现了控制任一制程机台在固定时间范围内或者在固定产品批数范围内有缺陷扫描结果，定时对缺陷扫描结果监控，能够及时发现有问题的机台或产品，避免或者减小产品良率的损失；

2、当机台生产的产品超出规定时间范围或者规定批数范围未进行缺陷扫描时，控制产品无论在扫描区域是否被抽样，都必须进入扫描区域扫描，从而保证产品的良率提高。

具体附图说明

图1是本发明第一实施例的流程示意图；

图2是本发明第一实施例中计算统计的流程示意图；

图3为本发明第二实施例的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

本发明的第一实施例为一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其应用于设有输入单元、计算统计单元和控制单元的主机系统以及派工系统上，如图1所示，采用如下步骤：

1、建立一数据记录的数据库，用于记录制程机台在生产过程中的一系列生产数据，以及记录接下来需要设定的警告值和限定值。

2、设定制程机台在规定生产时间范围或规定产品批数范围内无缺陷扫描结果的警告值和限定值，将该警告值和限定值记录到数据库中，其中限定值大于警告值。

3、通过输入单元将制程机台每批产品生产完成时的生产数据输入到数据库中，其中，生产数据包括制程机台编号、每批产品编号、每批产品生产完成时间、是否必须进行缺陷扫描以及最后一批产品生产完成时间和当前生产产品的总批数。

这些生产数据以及步骤2中的警告值和限定值可以通过下面两张表（表1和表2）来进行表示。

参见表1，表1是编号为“Key Tool1”的制程机台的生产设定表。所有制程机台的生产设定均可汇至到一张生产设定表中。

表1

由表1可以看出，对编号为“Key Tool1”的制程机台设定的无缺陷扫描结果的规定生产时间范围的警告值是12小时，限定值是24小时，该制程机台最后一批产品生产完成时间是“2012/6/5，22:10”；设定的无缺陷扫描结果的规定产品批数范围的警告值是10批，限定值是15批，该制程机台当前生产产品的总批数是4批。

参见表2，表2是编号为“Key Tool1”的制程机台的生产记录表。所有制程机台的生产记录均可汇至到一张生产记录表中。

表2

制程机台编号	每批产品编号	每批产品生产完成时间	是否必须进行缺陷扫描
				Key Tool1	Lot1	2012/6/510:00	否
Key Tool1	Lot2	2012/6/511:00	否
				Key Tool1	Lot3	2012/6/513:00	否
Key Tool1	Lot4	2012/6/522:10	是

由表2可以看出，对编号为“Key Tool1”的制程机台的每批产品生产数据进行记录，每批产品的编号从Lot1开始，该表中共有4批产品，与表1中的数据相符，且最后一批产品的生产完成时间也与表1中相应。

4、通过计算统计单元对生产数据和警告值、限定值进行计算统计，当生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数超过警告值、而未超过限定值时，由派工系统对制程机台的产品进行缺陷扫描派工，以得到缺陷扫描结果；当生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数超过限定值时，由控制单元控制制程机台自动停止工作。

参见图2，通过计算统计单元对生产数据和警告值、限定值进行计算统计的具体方法为：判断生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数是否超过警告值，若否，则制程机台继续工作；若是，则继续判断生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数是否超过限定值，若否，则由派工系统对制程机台的最后一批产品进行缺陷扫描派工，以得到缺陷扫描结果；若是，则由控制单元控制制程机台自动停止工作。

其中，生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间为最后一批产品生产完成时间与第一批产品生产完成时间之间的时间差值，生产数据中无缺陷扫描结果的产品批数为当前生产产品的总批数。

以表1和表2中的生产数据为例，编号为Lot4的产品与编号为Lot2的产品之间的时间差值为12小时零10分，当前生产产品的总批数为4批；首先判断生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数是否超过警告值，可以看出，无缺陷扫描结果的生产时间已经超过了警告值，无缺陷扫描结果的产品批数未超过警告值，再判断生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间是否超过限定值，可以看出，无缺陷扫描结果的生产时间未超过限定值，那么就由派工系统对该制程机台Key Tool1的最后一批产品Lot4进行缺陷扫描派工，以得到缺陷扫描结果。

本实施例当机台生产的产品超出规定时间范围或者规定批数范围未进行缺陷扫描时，控制产品无论在扫描区域是否被抽样，都必须进入扫描区域扫描，从而保证产品的良率提高。

本发明的第二实施例为一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，参见图3，本实施例在第一实施例的基础上，增加了如下步骤：

5、得到缺陷扫描结果后，由计算统计单元自动删除生产数据，再重复生产数据输入、计算统计步骤，根据缺陷扫描结果控制制程机台。

或者在第一实施例的基础上，增加了如下步骤：

5’、由控制单元控制制程机台自动停止工作后，控制单元通过通讯方式通知工程师，工程师对制程机台的最后一批产品进行强制缺陷扫描派工处理，得到缺陷扫描结果后，由控制单元控制制程机台重新恢复工作。

6’、由控制单元控制制程机台重新恢复工作后，由计算统计单元自动删除生产数据，再重复生产数据输入、计算统计步骤，根据缺陷扫描结果控制制程机台。

本实施例实现了控制任一制程机台在固定时间范围内或者在固定产品批数范围内有缺陷扫描结果，定时对缺陷扫描结果监控，能够及时发现有问题的机台或产品，避免或者减小产品良率的损失。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现变化例，这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims

1.一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其应用于设有输入单元、计算统计单元和控制单元的主机系统以及派工系统上，其特征在于，采用如下步骤：

建立一数据记录的数据库；

设定制程机台在规定生产时间范围或规定产品批数范围内无缺陷扫描结果的警告值和限定值；

通过所述输入单元将所述制程机台每批产品生产完成时的生产数据输入到所述数据库中；

通过所述计算统计单元对所述生产数据和所述警告值、所述限定值进行计算统计，当所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数超过警告值、而未超过限定值时，由所述派工系统对所述制程机台的产品进行缺陷扫描派工，以得到缺陷扫描结果；当所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数超过限定值时，由所述控制单元控制所述制程机台自动停止工作。

2.根据权利要求1所述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其特征在于，所述限定值大于所述警告值。

3.根据权利要求1所述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其特征在于，通过所述计算统计单元对所述生产数据和所述警告值、所述限定值进行计算统计的具体方法为：

判断所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数是否超过所述警告值，若否，则所述制程机台继续工作；若是，则继续判断所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间或产品批数是否超过所述限定值，若否，则由派工系统对制程机台的最后一批产品进行缺陷扫描派工，以得到缺陷扫描结果；若是，则由所述控制单元控制所述制程机台自动停止工作。

4.根据权利要求1或3所述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其特征在于，还包括：得到所述缺陷扫描结果后，由所述计算统计单元自动删除所述生产数据，再重复所述生产数据输入、计算统计步骤，根据缺陷扫描结果控制制程机台。

5.根据权利要求1或3所述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其特征在于，还包括：由所述控制单元控制所述制程机台自动停止工作后，所述控制单元通过通讯方式通知工程师，所述工程师对所述制程机台的最后一批产品进行强制缺陷扫描派工处理，得到缺陷扫描结果后，由所述控制单元控制所述制程机台重新恢复工作。

6.根据权利要求5所述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其特征在于，由所述控制单元控制所述制程机台重新恢复工作后，由所述计算统计单元自动删除所述生产数据，再重复所述生产数据输入、计算统计步骤，根据缺陷扫描结果控制制程机台。

7.根据权利要求1或3所述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其特征在于，所述生产数据中无缺陷扫描结果的生产时间为最后一批产品生产完成时间与第一批产品生产完成时间之间的时间差值。

8.根据权利要求1或3所述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其特征在于，所述生产数据中无缺陷扫描结果的产品批数为当前生产产品的总批数。

9.根据权利要求1所述的缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其特征在于，所述生产数据包括制程机台编号、每批产品编号、每批产品生产完成时间、是否必须进行缺陷扫描以及最后一批产品生产完成时间和当前生产产品的总批数。