CN1501434A - 连续异常缺陷快速警示系统及方法 - Google Patents

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Abstract

一种连续异常缺陷快速警示系统及方法，包括使用一缺陷资料统计系统统计缺陷扫描站所取得的缺陷检测资料以制作一缺陷检测资料趋势图、一缺陷资料分析系统在固定时间内分析该缺陷检测资料趋势图，并记录连续异常缺陷事件以制作一缺陷警示报表，以及一电子邮件系统在设定的时间发送该缺陷警示报表通知负责工程师。接获该通知的工程师利用缺陷扫描图形资料库中己知事件的缺陷分布图形来比对缺陷扫描站所取得的缺陷分布图形，以判别连续异常事件是否为已知事件，进而决定处理对策。

Description

连续异常缺陷快速警示系统及方法
技术领域
本发明是有关一种晶圆厂的警示系统及方法，特别是关于一种半导体制程中连续异常缺陷快速警示系统及方法。
发明背景
在半导体晶圆制造的过程中，对于因机台或制程因素而产生的缺陷，一般而言在某一些制程完成后需要设置缺陷检测站以检测其缺陷数量及分析种类，其流程如图1所示，首先步骤S10对产品做缺陷扫描(defectscan)，接着步骤S11统计产品的缺陷数量是否超出上限，若为是，则进行步骤S13，否则进行步骤S12不一予理会。在步骤S13由作业员对缺陷数量超出上限的产品做缺陷复核(defect review)，接着在步骤S14作业员将复核结果通知负责工程师，然后在步骤S15工程师依据复核结果通知相关机台负责人停机。对于工程师来说，必须等到线上作业员将缺陷种类分类好并计算数量后，接获通知才能得知为单一事件或者是有连续异常事件发生，如此的作业模式容易因人为疏失而延迟异常事件警示的时效性。
在台湾专利公告号331650中，针对半导体厂有关缺陷的线上检测分析、离线缺陷检测的方式及设备加以改善，其为一般性的流程及作法，并未揭示缺陷事件发生时的后续作法及如何缩减因缺陷事件所造成的产品损失。
因此，一种能快速警示连续异常缺陷事件以减少良率损失的缺陷警示系统及方法及乃为所冀。
发明内容
本发明的目的之一，在于提出一种缺陷警示系统及方法，能快速警示连续异常缺陷事件，以减少因连续异常缺陷所造成产品良率的损失。
本发明的目的是这样实现的：一种连续异常缺陷快速警示系统，包括：
一缺陷扫描站，以扫描产品缺陷分布情形并产生一缺陷检测资料及制作一缺陷分布图；
一缺陷资料统计系统，以统计该缺陷检测资料的缺陷数量，并依时间的先后制作一缺陷检测资料趋势图；
一缺陷资料分析系统，在固定时间内分析该缺陷检测资料趋势图，并记录连续两批或以上产品缺陷数量超出上限的资料，以制作一缺陷警示报表；
一电子邮件系统，在预定的时间透过网路传送该缺陷警示报表给负责工程师；及
一缺陷扫描图形资料库，贮存许多已知事件缺陷分布图，用以比对该缺陷分布图。
一种连续异常缺陷快速警示方法，包括下列步骤：
扫描同类产品的缺陷并制作一缺陷分布图及一缺陷检测资料；
统计该缺陷检测资料的缺陷数量并依时间先后制作一缺陷检测资料趋势图；
分析该缺陷检测资料趋势图，记录连续两批或两批以上缺陷数量超出制定上限的资料，并依据该资料制作一缺陷警示报表；及
使用一电子邮件系统自动发送该缺陷警示报表给负责工程师。
更包括使用一缺陷扫描图形资料库以比对该缺陷分布图的步骤。
要包括当该缺陷分布图为已知事件时通知相关机台负责人停机。
更包括当该缺陷分布图非已知事件时通知作业员做缺陷复核，再依复核结果通知相关机台负责人停机。
根据本发明，一种缺陷警示系统使用一缺陷资料统计系统统计缺陷扫描站所取得的缺陷检测资料，并制作一缺陷检测资料趋势图，在固定时间内，一缺陷资料分析系统分析缺陷检测资料趋势图，当某一缺陷扫描站的缺陷数量连续两批或两批以上同类型的产品超出上限时，缺陷资料分析系统便记录该资料并制作一缺陷警示报表，以及利用电子邮件系统在设定的时间自动发送该缺陷警示报表给负责工程师，工程师在接获该通知后，利用缺陷扫描图形资料库中已知事件的缺陷分布图形来比对缺陷扫描站所扫描的连续异常事件缺陷分布图形，以判别该连续异常事件是否为已知事件。
本发明的特点在于让工程师在作业员完成缺陷复核的前早一步得知是否有连续的异常事件发生，对于无法判断原因的异常事件可由作业员优先进行缺陷复核，若是已知事件则工程师不必等到缺陷复核的结果出来，便能够直接通知相关机台负责人停机，如此可减少因连续缺陷所造成产品良率的损失。
附图说明
图1是已知的缺陷检测方法的流程图；
图2是本发明的缺陷警示系统的方块图；
图3是缺陷检测资料趋势图，横轴为时间，纵轴为数量；
图4是在晶圆上的缺陷分布图形；及
图5是本发明的缺陷检测方法的流程图。
图号说明
10    生产线             20    缺陷扫描站
30    缺陷资料统计系统   40    缺陷资料分析系统
50    电子邮件系统       60    负责工程师的电脑
70    缺陷扫描图形资料库
80～88  产品缺陷数量超出制定上限的标点
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本发明再作进一步详细的说明。
图2是根据本发明的缺陷警示系统应用在检测产品缺陷的方块图，许多生产线10依据不同的产品传送到预定的缺陷扫描站20，每一缺陷扫描站20扫描产品缺陷分布的情形产生一缺陷检测资料及一缺陷分布图，缺陷资料统计系统30统计缺陷检测资料中缺陷的数量并依产品制程时间的先后制作一缺陷检测资料趋势图，如图3所示，工程师能依据此图监测线上是否有因缺陷数量过高而造成的异常事件发生。在固定时间内，缺陷资料分析系统40分析缺陷检测资料趋势图，当有连续两批或两批以上同类型产品超出制定的上限时，例如，在第三图中标点82、84、86及88所示，缺陷资料分析系统40使记录连续超出制定的上限的资料以制作成缺陷警示报表，如下表一所示。
表一中Pr01及Pr02是表示两种有连续缺陷异常事件的产品，其中Pr01是以图3为例，由此报表可看出产品Pr01有四批货在缺陷扫描站863357的缺陷数量连续超出上限。电子邮件系统50在预定的时间自动将缺陷警示报表传送到负责工程师的电脑60以通知工程师，工程师收到报表后利用缺陷扫描图形资料库70中已知缺陷事件的缺陷分布图比对该连续异常缺陷的缺陷分布图以判别是否为已知事件，若为已知则通知相关机台负责人停机，若为未知则通知作业员优先对连续异常事件进行缺陷复核，工程师再依据复核的结果通知相关机台负责人停机，并将此连续异常缺陷分布图形及复核结果贮存到缺陷扫描图形资料库70，以便再发生相同事件时可快速处理而不用等到缺陷复核完成。此系统能让工程师在作业员完成缺陷复核之前提早得知连续异常缺陷事件并优先处理，进而减少因连续异常缺陷所造成产品良率的损失。
                              表一
              Defect Scan Alarm REPORT
              ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝         id Msc9046
ROUTE    PROD    OPER      LOT_ID     Iteml    Iteml    Iteml
Route01  Pr01    863357    lot00001   DD_WEB
Route01  Pr01    863357    lot00002   DD_WEB
Route01  Pr01    863357    lot00003   DD_WEB
Route01  Pr01    863357    lot00004   DD_WEB
Route02  Pr02    860597    lot00005   DC_ML1   DD_ML1
Route02  Pr02    860597    lot00006   DC_ML1   DD_ML1
Result of Data(Today 12:00 To Today 17:00)
Order by 1)Route_ID 2)Oper_No 3)Reprt_Date 4)Reprt_Time
图3是缺陷资料统计系统30统计同一缺陷扫描站20的缺陷检测资料并依产品制程的时间先后所制作的缺陷检测资料趋势图，如图所示，其有五批产品80、82、84、86及88的缺陷数量超出限定上限，80为单批事件，故缺陷警示报表不记录，而82、84、86及88为连续事件，故缺陷警示报表记录这四批连续事件的资料，如表一所示。
图4是在对晶圆作缺陷扫描时所侦测的缺陷分布图形，其中许多的黑点即为缺陷的部分。缺陷的分布图形具有特征，可以表示某一种特定事件所造成，工程师可根据此缺陷分布图来判定是何种异常事件。
图5是根据本发明的缺陷检测方法的流程图，首先步骤S10对产品做缺陷扫描，接着步骤S11统计产品的缺陷数量是否超出上限，若为是，则进行步骤S16，否则进行步骤S12不予理会。步骤S16即判定是否有连续两批或两批以上同类型产品的缺陷数量超出上限，若为是，则进行步骤S17，否则进行步骤S13。在步骤S13由作业员对缺陷数量超出上限的产品做缺陷复核，接着在步骤S14作业员将复核结果通知负责工程师，然后在步骤S15工程师依据复核的结果通知相关机台负责人停机。步骤S17将连续缺陷事件的产品资料利用电子邮件自动发送给负责工程师，接着在步骤S18由工程师判断连续异常事件是否为已知事件，若为否，则进行步骤S19，否则进行步骤S15。在步骤S19由作业员优先对连续异常事件做缺陷复核，接着再依序进行步骤S14至S15。利用本方法能早一步得知是否有连续异常事件发生，对于无法判断原因的异常事件可由作业员优先做缺陷复核，若为已知事件则能直接通知相关机台负责人停机，如此可减少晶圆良率的损失。

Claims (5)

1、一种连续异常缺陷快速警示系统，包括：
一缺陷扫描站，以扫描产品缺陷分布情形并产生一缺陷检测资料及制作一缺陷分布图；
一缺陷资料统计系统，以统计该缺陷检测资料的缺陷数量，并依时间的先后制作一缺陷检测资料趋势图；
一缺陷资料分析系统，在固定时间内分析该缺陷检测资料趋势图，并记录连续两批或以上产品缺陷数量超出上限的资料，以制作一缺陷警示报表；
一电子邮件系统，在预定的时间透过网路传送该缺陷警示报表给负责工程师；及
一缺陷扫描图形资料库，贮存许多已知事件缺陷分布图，用以比对该缺陷分布图。
2、一种连续异常缺陷快速警示方法，包括下列步骤：
扫描同类产品的缺陷并制作一缺陷分布图及一缺陷检测资料；
统计该缺陷检测资料的缺陷数量并依时间先后制作一缺陷检测资料趋势图；
分析该缺陷检测资料趋势图，记录连续两批或两批以上缺陷数量超出制定上限的资料，并依据该资料制作一缺陷警示报表；及
使用一电子邮件系统自动发送该缺陷警示报表给负责工程师。
3、如权利要求2所述的连续异常缺陷快速警示方法，其特征在于，更包括使用一缺陷扫描图形资料库以比对该缺陷分布图的步骤。
4、如权利要求3所述的连续异常缺陷快速警示方法，其特征在于，要包括当该缺陷分布图为已知事件时通知相关机台负责人停机。
5、如权利要求3所述的连续异常缺陷快速警示方法，其特征在于，更包括当该缺陷分布图非已知事件时通知作业员做缺陷复核，再依复核结果通知相关机台负责人停机。
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