CN103605092B - Wat测试系统及测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种WAT测试系统，通过在现有的WAT测试系统中增加查找模块和显示模块，在利用测试模块对产品进行WAT测试前，预先利用该查找模块根据测试条件模块中存储的多个测试结构名称，查找测试结构模块中是否存在与每个测试模块结构名称相同的测试结构名称，若存在，则可启动测试模块对产品进行WAT测试工艺；若不存在，则通过显示模块显示在测试结构模块中缺少的测试结构名称，从而避免了漏测数据的情况发生，进而完善了WAT测试系统，能够利用该系统精确反映产品的良率，为生产提供准确有力的数据，减少了生产隐患。

Description

WAT测试系统及测试方法

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种WAT测试系统。

背景技术

随着技术的进步，集成电路制造工艺要求日益提高，且由于集成电路制造周期长，成本高，因此，提高制造工艺的制造效率及质量尤为重要。

在产品的制造过程中，需要经过上百道工艺步骤，晶圆允收测试（Wafer Acceptance Test，简称：WAT）作为芯片质量的检测工艺扮演着重要的角色，晶圆允收测试包括多种测试项目，且为芯片制作中不可或缺的步骤。

现有的WAT测试系统，包括测试条件模块、测试结构模块和测试模块，测试条件模块中存放有测试结构名称和与该测试结构名称对应的测试条件，测试结构模块中存放有测试结构名称和与该测试结构模块对应的测试坐标。在进行WAT测试工艺时，测试模块根据测试结构名称在测试结构模块中进行查找该测试结构名称，当查找到该测试结构名称时，即获取了该测试结构名称相对应的测试坐标，从而根据该测试坐标进行WAT测试工艺；当测试模块在测试结构模块中没有查找到该测试结构名称时，测试模块将跳过此测试结构模块，根据下一步的测试条件模块中的测试结构名称进行查找。这样，导致漏测 数据，从而使得WAT测试结果不能准确反映产品的实际情况，存在很大的隐患。

中国专利（公开号：CN101847569B）公开了一种以轨迹模型实现晶圆允收测试先进工艺控制的系统与方法，包括：在处理中的多个晶片批次上执行一金属层间WAT；使用一批次取样取样程序自所述多个晶片批次中选出一晶片批次子集合；通过该晶片批次子集合选出一组取样晶片。该组取样晶片经IM WAT后将提供IM WAT数据。上述方法还包括：根据该组取样晶片的IM WAT数据，估算处理中所有晶片批次的所有晶片的末端IM WAT数据，将之提供给一WAT APC程序以控制其中工艺。

该发明虽然能够实现以轨迹模型实现晶片允收测试先进工艺控制的系统与方法；但是该发明仍然未能解决由于WAT测试系统的缺陷，导致漏测情况的发生，从而造成产品测试数据不准确的问题，进而导致由于WAT测试结果不能准确反映产品的实际情况，使得生产存在很大的隐患。

中国专利（CN101826509A）公开了一种晶圆可接受测试结构，包括：多行互连层连接孔，其中至少有一个连接孔与其它连接孔间隙在该连接孔所属行的投影有重叠。

该发明提供的WAT结构，以提高制备的检测样片的质量，提高检测效果，进而提高采用WAT结构测试的测试效果；但是该发明仍然未能解决由于WAT测试系统的缺陷，导致漏测情况的发生，从而造成产品测试数据不准确的问题，进而导致由于WAT测试结果不能 准确反映产品的实际情况，使得生产存在很大的隐患。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明提供一种WAT测试系统，以克服现有技术中由于WAT测试系统的缺陷，导致漏测情况的发生，造成产品测试数据不准确的问题，也克服现有技术中由于WAT测试系统缺陷，导致测试结果不能准确反映产品的实际情况，使得生产存在很大隐患的问题，进而完善了WAT测试系统，能够利用该系统精确反映产品的良率，从而为生产提供准确有力的数据，减少了生产隐患。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种WAT测试系统，包括测试条件模块、测试结构模块和测试模块，其中，所述测试系统还包括：查找模块和显示模块；

所述测试条件模块和所述测试结构模块中均存储有多个测试结构名称的信息；

所述查找模块根据所述测试条件模块中存储的测试结构名称于所述测试结构模块中进行查找操作，并将该查找操作的查找结果信息传送至所述测试模块或者所述显示模块；

所述测试模块接收所述查找结果信息并进行WAT测试工艺；

所述显示模块接收并显示所述查找结果信息。

上述的WAT测试系统，其中，所述测试条件模块中的每个所述测试结构名称均对应有多个参数名称、多个算法、多个测试条件、多个管脚号和多个输出。

上述的WAT测试系统，其中，所述测试结构模块中的每个所述测试结构名称均对应于一坐标信息。

上述的WAT测试系统，其中，所述查找操作包括：

在所述测试结构模块中查找与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称；

若在所述测试结构模块中能够查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称，则将所述查找结果信息传送至所述测试模块；

若在所述测试结构模块中不能够查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称，则将所述查找结果信息传送至所述显示模块。

上述的WAT测试系统，其中，当在所述测试结构模块中能够查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，所述查找结果信息为：启动后续工艺。

上述的WAT测试系统，其中，当在所述测试结构模块中不能够查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，所述查找结果信息为缺少的测试结构名称；

所述缺少的测试结构名称为：在所述测试结构模块中不能够查找到与所述测试条件模块中存储的测试结构名称相同的测试结构名称。

一种WAT测试方法，应用上述的WAT测试系统，其中，包括以下步骤：

利用所述查找模块于所述测试结构模块中查找与所述测试条件 模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称；

当所述查找模块能够在所述测试结构模块中查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，启动所述测试模块进行WAT测试工艺；

当所述查找模块不能够在所述测试结构模块中查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，所述显示模块显示缺少的测试结构名称；

其中，所述缺少的测试结构名称为：在所述测试结构模块中不能够查找到与所述测试条件模块中存储的测试结构名称相同的测试结构名称。

上述技术方案具有如下优点或者有益效果：

本发明通过在现有的WAT测试系统中增加查找模块和显示模块，在利用测试模块对产品进行WAT测试前，预先利用该查找模块根据测试条件模块中存储的多个测试结构名称，查找测试结构模块中是否存在与每个测试模块结构名称相同的测试结构名称，若存在，则可启动测试模块对产品进行WAT测试工艺；若不存在，则通过显示模块显示在测试结构模块中缺少的测试结构名称，从而避免了漏测数据的情况发生，进而完善了WAT测试系统，能够利用该系统精确反映产品的良率，为生产提供准确有力的数据，减少了生产隐患。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发 明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是本发明实施例1提供的WAT测试系统的结构示意图；

图2是本发明实施例2应用实施例1提供的WAT测试系统的WAT测试方法的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

实施例1：

图1是本发明实施例1提供的WAT测试系统的结构示意图；如图所示，在本发明实施例1中提供的WAT测试系统，包括测试条件模块、测试结构模块、测试模块、查找模块和显示模块；而测试条件模块和测试结构模块中均存储有多个测试结构名称，且测试条件模块中的每个测试结构名称均对应有多个参数名称、多个算法、多个测试条件、多个管脚号和多个输出，此测试条件模块中的各个单元均与现有技术相同；另外，测试结构模块中的每个测试结构名称均对应于一坐标信息，该坐标信息包括X坐标数值和Y坐标数值，通过该坐标信息，便可以知道对应于该测试结构名称的测试结构在晶圆上的具体位置，从而能够精确的进行WAT测试。

在利用WAT测试系统进行WAT测试工艺，首先，WAT测试系 统中的查找模块根据测试条件模块中存储的测试结构名称于测试结构模块中进行查找操作，该查找操作具体为：在测试结构模块中查找与测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称，即：查找模块根据测试条件模块中的第一个测试结构名称在测试结构模块中进行查找，得到在测试结构模块中是否存在相同名称的测试结构名称，若存在，查找模块继续根据测试条件模块中的下一个测试结构名称在测试结构模块中进行查找，直至测试条件模块中的所有测试结构名称均在测试结构模块中查找到相同的测试结构名称，就将查找结果信息传送至测试模块，而后测试模块进行WAT测试工艺。

当查找模块根据测试条件模块中的第一个测试结构名称在测试结构模块中进行查找，若不存在，查找模块记录该测试结构名称，而后继续根据测试条件模块中的下一个测试结构名称在测试结构模块中进行查找，无论其存在不存在，直到测试条件模块中的所有测试结构名称均进行过查找工作，查找模块只记录在测试结构模块中不存在与测试条件模块中相同的测试结构名称，然后将查找结果信息传送至显示模块，该显示模块便显示该查找结果信息。

其中，当在测试结构模块中能够查找到与测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，所述查找结果信息为：启动后续工艺；当在测试结构模块中不能够查找到与测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，所述查找结果信息为缺少的测试结构名称，该缺少的测试结构名称为：在测试结构模块中不能够查找到与测试条件模块中存储的测试结构名称相同的测试结 构名称。

所以，本发明实施例1通过在现有的WAT测试系统中增加查找模块和显示模块，在利用测试模块对产品进行WAT测试前，预先利用该查找模块根据测试条件模块中存储的多个测试结构名称，查找测试结构模块中是否存在与每个测试模块结构名称相同的测试结构名称，若存在，则可启动测试模块对产品进行WAT测试工艺；若不存在，则通过显示模块显示在测试结构模块中缺少的测试结构名称，从而避免了漏测数据的情况发生，进而完善了WAT测试系统，能够利用该系统精确反映产品的良率，为生产提供准确有力的数据，减少了生产隐患。

实施例2：

图2是本发明实施例2应用实施例1提供的WAT测试系统的WAT测试方法的流程结构示意图；如图所示，WAT测试方法包括：提供测试条件数据和测试结构数据，即：在测试结构模块中存储有测试条件数据，在测试结构模块中存储有测试结构数据；上述测试条件数据包括：测试结构名称以及与每个测试结构名称均对应有多个参数名称、多个算法、多个测试条件、多个管脚号和多个输出；上述的测试结构数据包括：测试结构名称以及与每个测试结构名称对应的坐标信息，该坐标信息包括横向坐标数值和纵向坐标数值。

而后利用查找模块进行查找操作，即：利用查找模块于测试结构模块中查找与测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称，查找操作后获得查找结果信息。

当查找模块能够在测试结构模块中查找到与测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，查找结果信息为：启动后续工艺，并将该查找结果信息传送至测试模块，从而启动测试模块便进行WAT测试工艺；

当查找模块不能够在测试结构模块中查找到与测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，查找结果信息为：缺少的测试结构名称，该缺少的测试结构名称为：在测试结构模块中不能够查找到与测试条件模块中存储的测试结构名称相同的测试结构名称，并将该查找结果信息传送至显示模块，显示模块显示在测试结构模块中缺少的测试结构名称，从而避免了漏测数据的情况发生，进而完善了WAT测试系统，能够利用该系统精确反映产品的良率，为生产提供准确有力的数据，减少了生产隐患。

所以，本发明实施例2通过在现有的WAT测试系统中增加查找模块和显示模块，在利用测试模块对产品进行WAT测试前，预先利用该查找模块根据测试条件模块中存储的多个测试结构名称，查找测试结构模块中是否存在与每个测试模块结构名称相同的测试结构名称，若存在，则可启动测试模块对产品进行WAT测试工艺；若不存在，则通过显示模块显示在测试结构模块中缺少的测试结构名称，从而避免了漏测数据的情况发生，进而完善了WAT测试系统，能够利用该系统精确反映产品的良率，为生产提供准确有力的数据，减少了生产隐患。

综上所述，本发明通过在现有的WAT测试系统中增加查找模块 和显示模块，在利用测试模块对产品进行WAT测试前，预先利用该查找模块根据测试条件模块中存储的多个测试结构名称，查找测试结构模块中是否存在与每个测试模块结构名称相同的测试结构名称，若存在，则可启动测试模块对产品进行WAT测试工艺；若不存在，则通过显示模块显示在测试结构模块中缺少的测试结构名称，从而避免了漏测数据的情况发生，进而完善了WAT测试系统，能够利用该系统精确反映产品的良率，为生产提供准确有力的数据，减少了生产隐患。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不予赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (4)

1.一种WAT测试系统，包括测试条件模块、测试结构模块和测试模块，其特征在于，所述测试系统还包括：查找模块和显示模块；

所述测试条件模块和所述测试结构模块中均存储有多个测试结构名称的信息；

所述查找模块根据所述测试条件模块中存储的测试结构名称于所述测试结构模块中进行查找操作，并将该查找操作的查找结果信息传送至所述测试模块或者所述显示模块；

所述测试模块接收所述查找结果信息并进行WAT测试工艺；

所述显示模块接收并显示所述查找结果信息，其中，

在所述测试结构模块中查找与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称；

若在所述测试结构模块中能够查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称，则将所述查找结果信息传送至所述测试模块；

若在所述测试结构模块中不能够查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称，则将所述查找结果信息传送至所述显示模块；

当在所述测试结构模块中能够查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，所述查找结果信息为：启动后续工艺；

当在所述测试结构模块中不能够查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，所述查找结果信息为缺少的测试结构名称；

所述缺少的测试结构名称为：在所述测试结构模块中不能够查找到与所述测试条件模块中存储的测试结构名称相同的测试结构名称。

2.如权利要求1所述的WAT测试系统，其特征在于，所述测试条件模块中的每个所述测试结构名称均对应有多个参数名称、多个算法、多个测试条件、多个管脚号和多个输出。

3.如权利要求1所述的WAT测试系统，其特征在于，所述测试结构模块中的每个所述测试结构名称均对应于一坐标信息。

4.一种WAT测试方法，应用如权利要求1～3中任意一项所述的WAT测试系统，其特征在于，包括以下步骤：

利用所述查找模块于所述测试结构模块中查找与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称；

当所述查找模块能够在所述测试结构模块中查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，启动所述测试模块进行WAT测试工艺；

当所述查找模块不能够在所述测试结构模块中查找到与所述测试条件模块中存储的每个测试结构名称相同的测试结构名称时，所述显示模块显示缺少的测试结构名称；

其中，所述缺少的测试结构名称为：在所述测试结构模块中不能够查找到与所述测试条件模块中存储的测试结构名称相同的测试结构名称。